JP2001224159A - Linear slider - Google Patents

Linear slider

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JP2001224159A
JP2001224159A JP2000030342A JP2000030342A JP2001224159A JP 2001224159 A JP2001224159 A JP 2001224159A JP 2000030342 A JP2000030342 A JP 2000030342A JP 2000030342 A JP2000030342 A JP 2000030342A JP 2001224159 A JP2001224159 A JP 2001224159A
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JP
Japan
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linear motor
linear
armature
mover
air
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000030342A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadahiro Miyamoto
恭祐 宮本
Kazuhiro Maekawa
一弘 前川
Takashi Yamada
孝史 山田
Masahiko Tanabe
政彦 田邊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an accurate and safe linear slider, assuring easier process to lay the power feeding cable or air piping by reducing the heat to be transferred to a table form an armature portion. SOLUTION: In the linear slider easing the table 4 for a fixing tray 1 to more freely with a linear motor 5, there is provided a structure where an air duct 13 is provided to circulate the cooling air in the moving direction of a rotor 11 within the table 4, an intermediate seat 12 having the width size b2 narrower than a horizontal width b1 of an armature portion is provided between the table 4 and the armature portion as the rotor 11, and the cooling air is exhausted toward an armature coil 9 of the rotor 11 via a space portion S from an exhaust port 13B of the air duct 13. Thereby, when the rotor 11 is moved, the heat generated from the armature portion is effectively removed to control transfer of heat to the table and thermal deformation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータによ
りテーブルを固定台に対して自在に移動させるリニアス
ライダに関するものであり、特に可動子の冷却構造に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear slider for freely moving a table with respect to a fixed table by a linear motor, and more particularly to a cooling structure for a mover.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、リニアモータにより、テーブルを
固定台に対して自在に移動させることのできるリニアス
ライダは、図5のようになっている。なお、図5は従来
のリニアスライダを示す正面図である。リニアモータは
磁束貫通型構造の例を用いて説明する。図において、1
は固定台、2は固定台1上で左右両端に設けたガイドレ
ール、3はガイドレール2と対でリニアガイドを構成す
るスライダである。5はリニアモータ、6は固定台1と
垂直方向に互いに対向して固定した平板状の界磁ヨー
ク、7は界磁ヨーク6上に沿って(紙面と垂直方向)交
互に磁極が異なるように複数配設した永久磁石、8は永
久磁石7と磁気的空隙を介して対向して設けられ、か
つ、電磁鋼板を永久磁石7の高さ方向に積層して成る電
機子コア、9は電機子コア8の巻線収納部に巻回して成
る電機子コイルで、樹脂モールドで固定している。この
ようなリニアモータ5は、界磁ヨーク6と界磁用永久磁
石7とで固定子10(リニアモータ界磁部)を構成し、
電機子コア8と電機子コイル9とで可動子11(リニア
モータ電機子部)を構成している。また、19は電機子
固定板で、リニアモータ電機子部の水平方河幅b1より
広い幅寸法b2を有しており、24は電機子固定板19
の上に設けたテーブルである。電機子固定板19は、テ
ーブル4側から図示しない雄ねじを有するボルトをねじ
込んでテーブル24に締結されると共に、電機子コア8
は電機子コア8側からボルト17を貫通穴8Aに通して
雌ねじ19Aにねじ込み、電機子固定板19に締結され
る。さらに、20は電機子固定板19の内部に設けたエ
アダクトであり、エアダクト20に冷却空気を流すこと
によりリニアモータ電機子部で発生する熱を熱交換し、
テーブル24に熱が伝熱しないように電機子固定板19
の冷却を行っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a linear slider capable of freely moving a table with respect to a fixed base by a linear motor is shown in FIG. FIG. 5 is a front view showing a conventional linear slider. The linear motor will be described using an example of a magnetic flux penetration type structure. In the figure, 1
Is a fixed base, 2 is guide rails provided on both right and left ends of the fixed base 1, and 3 is a slider which forms a linear guide in combination with the guide rail 2. Reference numeral 5 denotes a linear motor, 6 denotes a plate-shaped field yoke fixed to the fixed base 1 so as to face each other in the vertical direction, and 7 denotes a magnetic pole that alternates along the field yoke 6 (in the direction perpendicular to the paper). A plurality of permanent magnets 8 are provided facing the permanent magnet 7 with a magnetic gap therebetween, and an armature core formed by laminating electromagnetic steel sheets in the height direction of the permanent magnet 7. An armature coil wound around the winding accommodating portion of the core 8 and fixed with a resin mold. In such a linear motor 5, a stator 10 (linear motor field portion) is constituted by a field yoke 6 and a field permanent magnet 7;
The armature core 8 and the armature coil 9 constitute the mover 11 (linear motor armature section). Reference numeral 19 denotes an armature fixing plate, which has a width b2 wider than the horizontal river width b1 of the linear motor armature portion, and 24 denotes an armature fixing plate.
It is a table provided above. The armature fixing plate 19 is fastened to the table 24 by screwing a bolt having an external thread (not shown) from the table 4 side, and the armature core 8
Is screwed into the female screw 19A from the armature core 8 side through the through hole 8A, and fastened to the armature fixing plate 19. Further, reference numeral 20 denotes an air duct provided inside the armature fixing plate 19, which exchanges heat generated in the linear motor armature portion by flowing cooling air through the air duct 20,
The armature fixing plate 19 is used to prevent heat from being transferred to the table 24.
Cooling.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが従来技術で
は、以下のような問題があった。 (1)リニアスライダは、可動子となるリニアモータ電
機子部をそれより接触面積の大きい電機子固定板19に
取り付けているため、リニアモータ電機子部の発熱を電
機子固定板19に伝え易くしてあるものの、リニアモー
タ5の推力を上げるために電機子部の発熱量が増加した
場合、エアダクト20に流す一定の冷却空気量だけで
は、冷却能力に限界があった。これにより、電機子部の
発熱をエアダクト20の空気で除去できない場合は、電
機子部の熱が電機子固定板19を介してテーブル24に
伝導して熱変形を生じたり、テーブル24に取り付けた
リニアガイドや図示しないリニアスケール等に悪影響を
与え、テーブル24の位置決め精度の誤差が生じるとい
った問題があった。 (2)また、図示しない給電ケーブルや、エアダクトに
冷却空気を供給するための給気用チューブは、電機子コ
イル9からテーブル24の上面側を通って、それぞれ制
御用電源、エア供給ユニット(何れも図示せず)に引き
出すまでの距離が長いため、給電ケーブル、給気用チュ
ーブの処理が煩雑であった。 (3)また、給電ケーブルは、テーブル24に搭載した
図示しないワークやツールあるいは外部の物体が、何ら
かのトラブルで給電ケーブルに接触した場合に、これら
が損傷するおそれがあった。 本発明は、上記問題を解決するためになされたものであ
り、電機子部からテーブルに伝熱する熱を少なくし、か
つ、給電ケーブルやエア配管の処理を容易にできる、高
精度で安全なリニアスライダを提供することを目的とす
る。
However, the prior art has the following problems. (1) In the linear slider, since the linear motor armature portion serving as the mover is attached to the armature fixing plate 19 having a larger contact area, heat generated by the linear motor armature portion can be easily transmitted to the armature fixing plate 19. However, when the heat generation amount of the armature portion is increased to increase the thrust of the linear motor 5, the cooling capacity is limited only by a fixed amount of cooling air flowing through the air duct 20. Thus, when the heat generated in the armature portion cannot be removed by the air in the air duct 20, the heat in the armature portion is transferred to the table 24 via the armature fixing plate 19 to cause thermal deformation or to be attached to the table 24. There is a problem that the linear guide and a linear scale (not shown) are adversely affected, and an error in the positioning accuracy of the table 24 occurs. (2) In addition, a power supply cable (not shown) and an air supply tube for supplying cooling air to the air duct pass from the armature coil 9 to the upper surface side of the table 24, and supply a control power supply and an air supply unit, respectively. (Not shown in the drawing), the processing of the power supply cable and the air supply tube was complicated due to the long distance until the wire was pulled out. (3) The power supply cable may be damaged when a work or tool (not shown) mounted on the table 24 or an external object comes into contact with the power supply cable due to some trouble. The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and reduces the heat transferred from the armature to the table, and can easily process the power supply cable and the air piping, thereby achieving high precision and safety. It is an object to provide a linear slider.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項1の本発明は、固定台に平行に対向配置され
たテーブルを移動自在に案内支持するガイドレールとス
ライダからなるリニアガイドと、前記テーブルを前記固
定台に対して前記ガイドレール上の長手方向に沿って往
復動させるリニアモータを備え、前記リニアモータは、
前記固定台上に垂直方向に互いに間隔を置いて対向配設
した二つのリニアモータ界磁部を構成する固定子と、前
記固定子の間に空隙を介して配置したリニアモータ電機
子部を構成する可動子よりなり、給電ケーブルを介して
前記リニアモータに駆動電流を供給することにより前記
テーブルを移動させるようにしたリニアスライダにおい
て、前記テーブルと前記リニアモータの可動子との間に
は、前記可動子の水平方河の幅より狭い幅寸法を有した
柱状の間座を設けると共に、前記間座に対して前記テー
ブルと前記可動子をそれぞれボルトにより締結する構成
にしてあり、前記テーブルの内部には、前記可動子の移
動方向に穿設され、かつ、冷却空気を流通させるための
エアダクトが設けてあり、前記エアダクトは、前記テー
ブルの可動子との対向面に前記可動子に向かって冷却空
気を吐出する複数の吐出口を設けたものである。また、
請求項2記載の本発明は、請求項1記載のリニアスライ
ダにおいて、前記テーブルは、前記可動子との対向面側
に前記間座を嵌合するための凹部を設けたものである。
請求項3記載の本発明は、請求項1または2記載のリニ
アスライダにおいて、前記エアダクトを前記テーブルの
内部に設ける構成に替えて、別体となる導管で構成する
と共に、前記テーブルに前記導管を固定するための切り
欠き部を設けたものである。請求項4記載の本発明は、
請求項1から3までの何れか1項に記載のリニアスライ
ダにおいて、前記固定台上のリニアスライダの側面側
に、前記給電ケーブルを前記可動子の動きに伴って案内
・支持するスライド機構を有するケーブルベアを設けた
ものである。請求項5記載の本発明は、請求項1から4
までの何れか1項に記載のリニアスライダにおいて、前
記ケーブルベアには、前記エアダクトに冷却空気を供給
するための給気用チューブを通し、前記給電ケーブルと
共に前記給気用チューブを案内・支持するようにしたも
のである。請求項6記載の本発明は、請求項1から5ま
での何れか1項に記載のリニアスライダにおいて、前記
リニアモータのうち、前記リニアモータ界磁部は磁性体
からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の
永久磁石より構成されると共に、前記リニアモータ電機
子部は電機子コアに巻装された電機子コイルとで構成さ
れたものである。請求項7記載の本発明は、請求項1か
ら5までの何れか1項に記載のリニアスライダにおい
て、前記リニアモータのうち、前記リニアモータ界磁部
は磁性体からなる誘導子歯を有する誘導子で構成される
と共に、前記リニアモータ電機子部は前記電機子コアに
巻装してなる電機子コイルと、電機子コアのティース部
先端に設けた永久磁石とで構成されたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, a linear guide comprising a guide rail and a slider for movably guiding and supporting a table arranged in parallel with a fixed base is provided. A linear motor that reciprocates the table with respect to the fixed table along a longitudinal direction on the guide rail, the linear motor includes:
A stator that constitutes two linear motor field portions that are vertically opposed to each other on the fixed base and that are arranged oppositely, and a linear motor armature portion that is arranged with an air gap between the stators. In the linear slider configured to move the table by supplying a drive current to the linear motor through a power supply cable, a linear slider is provided between the table and the mover of the linear motor. A column-shaped spacer having a width smaller than the width of the horizontal cross section of the mover is provided, and the table and the mover are respectively fastened to the spacer by bolts. In the moving direction of the mover, an air duct is provided for flowing cooling air, and the air duct is provided with a mover of the table. It is provided with a plurality of discharge ports for discharging cooling air toward the movable element facing surfaces. Also,
According to a second aspect of the present invention, in the linear slider according to the first aspect, the table is provided with a concave portion for fitting the spacer on a surface facing the movable element.
According to a third aspect of the present invention, in the linear slider according to the first or second aspect, the air duct is configured as a separate conduit instead of being provided inside the table, and the conduit is connected to the table. A notch for fixing is provided. The present invention described in claim 4 is:
4. The linear slider according to claim 1, further comprising a slide mechanism that guides and supports the power supply cable along with the movement of the mover, on a side surface of the linear slider on the fixed base. 5. A cable bear is provided. The present invention according to claim 5 provides the invention according to claims 1 to 4.
In the linear slider according to any one of the above, an air supply tube for supplying cooling air to the air duct is passed through the cable carrier, and the air supply tube is guided and supported together with the power supply cable. It is like that. According to a sixth aspect of the present invention, in the linear slider according to any one of the first to fifth aspects, the linear motor field portion of the linear motor is arranged along a field yoke made of a magnetic material. The linear motor armature portion is constituted by a plurality of permanent magnets having different magnetic poles alternately, and the armature coil is wound around an armature core. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the linear slider according to any one of the first to fifth aspects, wherein the linear motor field portion of the linear motor has an inductor tooth made of a magnetic material. The linear motor armature portion is constituted by an armature coil wound around the armature core and a permanent magnet provided at the tip of a tooth portion of the armature core.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図1は、本発明の第1の実施例を示すリ
ニアスライダの正面図である。図2は図1のリニアスラ
イダを矢視A方向から見た平面図であって、テーブルお
よびテーブルの上から透視したリニアモータ電機子部を
示したものである。図3は図1のリニアスライダを矢視
B方向から見た側面図であって、固定台、リニアガイ
ド、およびリニアモータ電機子部を取り除いた状態を示
したものである。なお、本実施例は従来技術と同様に磁
束貫通型構造のリニアモータの例を示すと共に、従来と
異なる構成要素については、同じ符号を付して説明を省
略し、異なる点のみ説明する。図において、4はテーブ
ル、4Aは凹部、12は間座、12Aは雌ねじ、13は
エアダクト、13Aは給気口、13Bは吐出口、14は
給電ケーブル、15はケーブルベア、16は給気用チュ
ーブ、17はボルト、18はモールド樹脂である。本発
明が従来と異なる点を、以下説明する。テーブル4とリ
ニアモータ電機子部を構成する可動子11との間には、
可動子11の水平方河の幅b1より狭くした幅寸法b2
を有した柱状の間座12を設けてある。これにより、テ
ーブル4、可動子11および間座12で囲まれた部分に
空間部Sを形成している。テーブル4の内部は、可動子
11の移動方向に冷却空気を流通させるためのエアダク
ト13が穿設され、図2の平面図でみると、ちょうどU
字状に形成されている。このエアダクト13は、テーブ
ル4の可動子11との対向面に給気口13Aからの冷却
空気を可動子11に向かって垂直に吐出するための複数
の吐出口13Bを設けてある。吐出口13Bは、図2に
示すように電機子コイル9に対向する位置に等間隔に設
けている。また、テーブル4は、可動子11との対向面
側に間座12を嵌合するための凹部12Aを設けると共
に,可動子11と間座12を締結する際には、雄ねじを
有するボルト17を電機子コア8の下部側から貫通穴8
Aに通して雌ねじ部12Aにねじ込み,また、テーブル
4と間座12を締結する際には、図示しないボルトをテ
ーブル4の上部側の貫通穴(図示せず)に通して間座1
2の他方の雌ねじ部(図示せず)にねじ込み固定されて
いる。さらに、固定台1上のリニアスライダの側面側に
は、電機子コイル9に駆動電流を供給するための給電ケ
ーブル14を可動子11の動きに伴って案内・支持する
スライド機構を有したケーブルベア15を設けてあり、
ケーブルベア15には、エアダクト13に空気を供給す
るための給気用チューブ16を通し、給電ケーブル14
と共に給気用チューブ16を案内・支持している。次
に、動作を説明する。上記のような構成において、図示
しない電源から駆動電流を電機子コイル9に供給するこ
とにより、可動子11が一定推力を発生する。この結
果、可動子11が固定台1に対しガイドレール2上を移
動するに連れて、テーブル4内部に設けたエアダクト1
3の給気口13Aに供給された冷却空気が、図示の矢印
のごとく吐出口13Bから空間部Sを経て可動子11で
ある電機子コイル9の上部に向かって吐出され、電機子
部で発生した熱が冷却空気によって取り去られ、リニア
ガイドと電機部の間を通って外部に放散される。これよ
り、電機子部に直接、冷却空気をあてることで、テーブ
ル4への伝熱、熱変形を抑制できる。また、給電ケーブ
ル14、給気用チューブ16については、可動子11が
固定台1に対しガイドレール2上を移動すると、電機子
コイル9側、テーブル4側からそれぞれ引き出された給
電ケーブル14、給気用チューブ16がケーブルベア1
5の中で移動する。このケーブルベア15は、給電ケー
ブル14、給気用チューブ16を支持すると共に案内と
して機能するので、可動子11の移動中に、テーブル4
に搭載したワークやツールあるいは外部の物体が、給電
ケーブル14や給気用チューブ16と接触して損傷して
しまうことはない。したがって、本発明のリニアスライ
ダは、テーブル内部に冷却空気を流通させるエアダクト
を設けると共に、テーブルと可動子である電機子部の間
に空間部を形成するように電機子部の水平方向の幅より
狭い幅寸法を有する間座を設けて、エアダクトの吐出口
から冷却空気を可動子の電機子コイルに向かって吐出す
る構成にしたので、例えば、可動子を高推力で移動させ
る場合に発生する電機子部の熱を冷却空気によって効率
的に除去することができる。その結果、電機子部に直接
冷却空気をあてることができるため、テーブルへの伝
熱、熱変形を抑制できると共に、リニアガイドやリニア
スケール等の位置決め精度の誤差に影響を及ぼすことな
く、高精度のリニアスライダを提供することができる。
また、給電ケーブル、給気用チューブをケーブルベアの
中で支持・案内する構成にしたので、給電ケーブル、給
気用チューブからケーブルベアまで引き出す距離を最短
距離で接続することができ、給電ケーブル、給気用チュ
ーブを従来の様に引き回すことなく容易に処理すること
ができる。その結果、可動子の移動中にテーブルに搭載
したワークやツールあるいは外部の物体が、給電ケーブ
ルや給気用チューブと接触して損傷することはなく、安
全なリニアスライダを提供することができる。次に、本
発明の第2の実施例について説明する。図4は、本発明
の第2の実施例を示すリニアスライダの正面図である。
図において、4Bはテーブル内に設けた切り欠き部、2
1は冷却空気を供給するための導管である。第2の実施
例が第1の実施例と異なる点は、エアダクトをテーブル
4の内部に設ける構成に替えて、別体となる導管21で
構成すると共に、テーブル4の空間部Sと対向する表面
に矩形状に切り欠いた切り欠き部4Bを設けて、切り欠
き部4Bに導管21を固定した点である。なお、動作に
ついては、第1の実施例と同じなので省略する。本実施
例はこのような構成にすることにより、単に電機子部を
効率的に冷却できるだけでなく、エアダクトをテーブル
内部に加工せずに別部品として導管を用いた構造にする
ことで、製造コスト並びに工数を低減することができる
メリットもある。なお、本実施例では、リニアモータ電
機子部を電機子コアに巻装された電機子コイルで構成し
たが、電機子コアを除いた電機子コイルのみで構成した
コアレス型の電機子としても構わない。リニアモータの
特性については、本実施例記載のリニアモータと同一の
特性を得ることができる。また、本実施例では、リニア
モータ界磁部を、磁性体からなる誘導子歯を有する誘導
子で構成し、また、リニアモータ電機子部を、磁束を通
す電機子コアと、電機子コアに巻装してなる電機子コイ
ルと、電機子コアのティース部先端に設けた永久磁石と
で構成するように替えても構わない。リニアモータの特
性については、本実施例記載のリニアモータと同一の特
性を得ることができる。また、本実施例ではリニアモー
タを磁束貫通型構造の例を用いて説明したが、リニアモ
ータ電機子部の片側にのみ、リニアモータ固定子部を対
向配置する、いわゆるギャップ対向型構造に替えても差
し支えない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a linear slider showing a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the linear slider of FIG. 1 as viewed in the direction of arrow A, and shows a table and a linear motor armature portion seen through the table. FIG. 3 is a side view of the linear slider of FIG. 1 viewed from the direction of arrow B, and shows a state in which a fixing base, a linear guide, and a linear motor armature are removed. This embodiment shows an example of a linear motor having a magnetic flux penetration structure as in the prior art, and components different from those in the related art will be denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted, and only different points will be described. In the figure, 4 is a table, 4A is a recess, 12 is a spacer, 12A is a female screw, 13 is an air duct, 13A is an air supply port, 13B is a discharge port, 14 is a power supply cable, 15 is a cable carrier, and 16 is air supply. The tube, 17 is a bolt, and 18 is a mold resin. The difference of the present invention from the conventional one will be described below. Between the table 4 and the mover 11 forming the armature portion of the linear motor,
A width b2 narrower than the width b1 of the horizontal river of the mover 11
Is provided with a columnar spacer 12 having. Thus, a space S is formed in a portion surrounded by the table 4, the mover 11, and the spacer 12. An air duct 13 for circulating cooling air in the moving direction of the mover 11 is formed in the interior of the table 4, and when viewed in a plan view of FIG.
It is formed in a character shape. The air duct 13 is provided with a plurality of discharge ports 13B for discharging cooling air from an air supply port 13A vertically toward the mover 11 on a surface of the table 4 facing the mover 11. The discharge ports 13B are provided at regular intervals at positions facing the armature coil 9 as shown in FIG. The table 4 is provided with a concave portion 12A for fitting the spacer 12 on the surface facing the mover 11, and when fastening the spacer 12 to the mover 11, a bolt 17 having a male screw is used. Through hole 8 from the lower side of armature core 8
A, and screwed into the female screw portion 12A, and when fastening the spacer 4 to the table 4, a bolt (not shown) is passed through a through hole (not shown) on the upper side of the table 4 to insert the spacer 1.
2 is screwed and fixed to the other female screw portion (not shown). Further, a cable carrier having a slide mechanism for guiding and supporting a power supply cable 14 for supplying a drive current to the armature coil 9 with the movement of the mover 11 is provided on the side surface of the linear slider on the fixed base 1. 15 are provided,
An air supply tube 16 for supplying air to the air duct 13 is passed through the cable bear 15, and a power supply cable 14 is provided.
In addition, it guides and supports the air supply tube 16. Next, the operation will be described. In the above-described configuration, the movable element 11 generates a constant thrust by supplying a driving current from a power source (not shown) to the armature coil 9. As a result, as the mover 11 moves on the guide rail 2 with respect to the fixed base 1, the air duct 1 provided inside the table 4 is moved.
The cooling air supplied to the third air supply port 13A is discharged from the discharge port 13B through the space S to the upper part of the armature coil 9 as the mover 11, as shown by the arrow in the figure, and is generated in the armature part. The generated heat is removed by the cooling air and is radiated to the outside through the space between the linear guide and the electric unit. Thus, by directly applying cooling air to the armature portion, heat transfer to the table 4 and thermal deformation can be suppressed. As for the power supply cable 14 and the air supply tube 16, when the mover 11 moves on the guide rail 2 with respect to the fixed base 1, the power supply cable 14 and the power supply cable pulled out from the armature coil 9 side and the table 4 side, respectively. Care tube 16 is cable carrier 1
Move in 5. The cable carrier 15 supports the power supply cable 14 and the air supply tube 16 and functions as a guide.
There is no possibility that the work, tool or external object mounted on the power supply cable 14 or the air supply tube 16 will be damaged due to the contact. Therefore, the linear slider of the present invention has an air duct for circulating cooling air inside the table, and has a width smaller than the horizontal width of the armature so as to form a space between the table and the armature which is the mover. Since a spacer having a narrow width is provided and cooling air is discharged from the discharge port of the air duct toward the armature coil of the mover, for example, an electric motor generated when the mover is moved with high thrust. The heat of the child part can be efficiently removed by the cooling air. As a result, the cooling air can be directly applied to the armature part, so that heat transfer to the table and thermal deformation can be suppressed, and high accuracy can be achieved without affecting the positioning accuracy of the linear guide and linear scale. Can be provided.
In addition, since the power supply cable and the air supply tube are configured to be supported and guided in the cable bear, the distance from the power supply cable and the air supply tube to the cable bear can be connected with the shortest distance. The air supply tube can be easily processed without being routed as in the conventional case. As a result, it is possible to provide a safe linear slider without a work, a tool, or an external object mounted on the table being in contact with the power supply cable or the air supply tube and being damaged while the mover is moving. Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a front view of a linear slider according to a second embodiment of the present invention.
In the figure, 4B is a cutout provided in the table, 2B
1 is a conduit for supplying cooling air. The second embodiment is different from the first embodiment in that an air duct is provided inside the table 4 instead of being provided with a separate conduit 21 and the surface of the table 4 facing the space S. Is provided with a rectangular cutout 4B, and the conduit 21 is fixed to the cutout 4B. The operation is the same as that of the first embodiment, and a description thereof will be omitted. In this embodiment, by adopting such a configuration, not only can the armature portion be efficiently cooled, but also the structure using the conduit as a separate part without processing the air duct inside the table can reduce the manufacturing cost. There is also an advantage that the number of steps can be reduced. In this embodiment, the armature portion of the linear motor is constituted by the armature coil wound around the armature core, but may be a coreless armature constituted by only the armature coil excluding the armature core. Absent. Regarding the characteristics of the linear motor, the same characteristics as those of the linear motor described in this embodiment can be obtained. Further, in this embodiment, the linear motor field portion is constituted by an inductor having an inductor tooth made of a magnetic material, and the linear motor armature portion is formed by an armature core through which magnetic flux passes and an armature core. It may be replaced with a wound armature coil and a permanent magnet provided at the tip of the tooth portion of the armature core. Regarding the characteristics of the linear motor, the same characteristics as those of the linear motor described in this embodiment can be obtained. In this embodiment, the linear motor has been described using the example of the magnetic flux penetrating type structure. No problem.

【0006】[0006]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、以
下の効果がある。 (1)リニアスライダのテーブル内部に冷却空気を流通
させるエアダクトを設けると共に、テーブルと可動子で
ある電機子部の間に空間部を形成するように電機子部の
水平方向の幅より狭い幅寸法を有する間座を設けて、エ
アダクトの吐出口から冷却空気を可動子の電機子コイル
に向かって吐出する構成にしたので、例えば、可動子を
高推力で移動させる場合に発生する電機子部の熱を冷却
空気によって効率的に除去することができる。その結
果、電機子部に直接冷却空気をあてることができるた
め、テーブルへの伝熱、熱変形を抑制できると共に、リ
ニアガイドやリニアスケール等の位置決め精度の誤差に
影響を及ぼすことなく、高精度のリニアスライダを得る
ことができる。 (2)また、給電ケーブル、給気用チューブをケーブル
ベアの中で支持・案内する構成にしたので、給電ケーブ
ル、給気用チューブからケーブルベアまで引き出す距離
を最短距離で接続することができ、しかもこれらのケー
ブルやチューブの類を従来の様に引き回すことなく容易
に処理することができる。その結果、可動子の移動中に
テーブルに搭載したワークやツールあるいは外部の物体
が、給電ケーブルや給気用チューブと接触して損傷する
ことはなく、安全なリニアスライダを得ることができ
る。 (3)また、エアダクトをテーブルの内部に設ける構成
に替えて、別体となる導管をテーブルに固定させた構成
にしたので、電機子部を効率的に冷却できる他、導管を
別部品とすることで、製造コスト並びに工数を低減する
ことができる。
As described above, the present invention has the following effects. (1) An air duct for circulating cooling air is provided inside the table of the linear slider, and a width dimension smaller than the horizontal width of the armature portion so as to form a space between the table and the armature portion which is a movable element. Since the cooling air is discharged from the discharge port of the air duct toward the armature coil of the mover, for example, the armature portion generated when the mover is moved with high thrust is provided. Heat can be efficiently removed by the cooling air. As a result, the cooling air can be directly applied to the armature part, so that heat transfer to the table and thermal deformation can be suppressed, and high accuracy can be achieved without affecting the positioning accuracy of the linear guide and linear scale. Can be obtained. (2) In addition, since the power supply cable and the air supply tube are configured to be supported and guided in the cable bear, the distance from the power supply cable and the air supply tube to the cable bear can be minimized. Moreover, these cables and tubes can be easily processed without being routed as in the related art. As a result, a safe linear slider can be obtained without the workpiece, tool or external object mounted on the table being in contact with the power supply cable or the air supply tube being damaged while the mover is moving. (3) Further, since the separate duct is fixed to the table in place of the configuration in which the air duct is provided inside the table, the armature portion can be efficiently cooled and the duct is formed as a separate part. As a result, manufacturing costs and man-hours can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示すリニアスライダの
正面図である。
FIG. 1 is a front view of a linear slider showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のリニアスライダを矢視A方向から見た平
面図であって、テーブルおよびテーブルの上から透視し
たリニアモータ電機子部を示したものである。
FIG. 2 is a plan view of the linear slider of FIG. 1 as viewed from the direction of arrow A, and shows a table and a linear motor armature portion seen through the table;

【図3】図1のリニアスライダを矢視B方向から見た側
面図であって、固定台、リニアガイドおよびリニアモー
タ電機子部を取り除いた状態を示したものである。
FIG. 3 is a side view of the linear slider of FIG. 1 as viewed in the direction of arrow B, and shows a state where a fixed base, a linear guide, and a linear motor armature are removed.

【図4】本発明の第2の実施例を示すリニアスライダの
正面図である。
FIG. 4 is a front view of a linear slider showing a second embodiment of the present invention.

【図5】従来のリニアスライダを示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a conventional linear slider.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:固定台 2:ガイドレール 3:スライダ 4:テーブル 4A:凹部 5:リニアモータ 6:界磁ヨーク 7:永久磁石 8:電機子コア 8A:貫通穴 9:電機子コイル 10:固定子(リニアモータ界磁部) 11:可動子(リニアモータ電機子部) 12:間座 12A:雌ねじ部 13:エアダクト 13A:給気口 13B:吐出口 14:給電ケーブル 15:ケーブルベア 16:給気用チューブ 17:ボルト 18:モールド樹脂 21:導管 S:空間部 1: fixed base 2: guide rail 3: slider 4: table 4A: concave portion 5: linear motor 6: field yoke 7: permanent magnet 8: armature core 8A: through hole 9: armature coil 10: stator (linear) Motor field part) 11: mover (linear motor armature part) 12: spacer 12A: female screw part 13: air duct 13A: air supply port 13B: discharge port 14: power supply cable 15: cable carrier 16: air supply tube 17: Bolt 18: Mold resin 21: Conduit S: Space

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田邊 政彦 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号 株式会社安川電機内 Fターム(参考) 5H609 BB03 BB08 BB12 BB18 PP02 PP07 PP08 PP09 QQ02 RR27 RR37 5H641 BB06 BB11 BB19 GG03 GG04 GG08 GG12 GG15 HH02 HH12 JA09 JB04  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Masahiko Tanabe 2-1 Kurosaki Castle Stone, Yawatanishi-ku, Kitakyushu City, Fukuoka Prefecture F-term (reference) 5H609 BB03 BB08 BB12 BB18 PP02 PP07 PP08 PP09 QQ02 RR27 RR37 5H641 BB06 BB11 BB19 GG03 GG04 GG08 GG12 GG15 HH02 HH12 JA09 JB04

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】固定台に平行に対向配置されたテーブルを
移動自在に案内支持するガイドレールとスライダからな
るリニアガイドと、前記テーブルを前記固定台に対して
前記ガイドレール上の長手方向に沿って往復動させるリ
ニアモータを備え、前記リニアモータは、前記固定台上
に垂直方向に互いに間隔を置いて対向配設した二つのリ
ニアモータ界磁部を構成する固定子と、前記固定子の間
に空隙を介して配置したリニアモータ電機子部を構成す
る可動子よりなり、給電ケーブルを介して前記リニアモ
ータに駆動電流を供給することにより前記テーブルを移
動させるようにしたリニアスライダにおいて、 前記テーブルと前記リニアモータの可動子との間には、
前記可動子の水平方河の幅より狭い幅寸法を有した柱状
の間座を設けると共に、前記間座に対して前記テーブル
と前記可動子をそれぞれボルトにより締結する構成にし
てあり、 前記テーブルの内部には、前記可動子の移動方向に穿設
され、かつ、冷却空気を流通させるためのエアダクトが
設けてあり、 前記エアダクトは、前記テーブルの可動子との対向面に
前記可動子に向かって冷却空気を吐出する複数の吐出口
を設けてあることを特徴とするリニアスライダ。
1. A linear guide comprising a guide rail and a slider for movably guiding and supporting a table disposed in parallel to a fixed base and facing the fixed base, and moving the table relative to the fixed base along a longitudinal direction on the guide rail. A linear motor that reciprocates the linear motor, the linear motor comprises a stator that constitutes two linear motor field portions that are vertically opposed to each other on the fixed base and that are spaced apart from each other; A linear slider comprising a mover that constitutes a linear motor armature portion disposed with an air gap therebetween, and configured to move the table by supplying a drive current to the linear motor via a power supply cable; And between the mover of the linear motor,
A column-shaped spacer having a width smaller than the width of the horizontal river of the mover is provided, and the table and the mover are fastened to the spacer by bolts, respectively. Inside, an air duct is provided which is bored in the moving direction of the mover, and through which cooling air flows, and the air duct is provided on a surface of the table facing the mover toward the mover. A linear slider having a plurality of discharge ports for discharging cooling air.
【請求項2】 前記テーブルは、前記可動子との対向面
側に前記間座を嵌合するための凹部を設けてある請求項
1に記載のリニアスライダ。
2. The linear slider according to claim 1, wherein the table is provided with a concave portion for fitting the spacer on the surface facing the movable element.
【請求項3】 前記エアダクトを前記テーブルの内部に
設ける構成に替えて、別体となる導管で構成すると共
に、前記テーブルに前記導管を固定するための切り欠き
部を設けてある請求項1または2に記載のリニアスライ
ダ。
3. The air duct according to claim 1, wherein the air duct is provided inside the table instead of a separate pipe, and the table is provided with a cutout for fixing the pipe. 3. The linear slider according to 2.
【請求項4】 前記固定台上のリニアスライダの側面側
に、前記給電ケーブルを前記可動子の動きに伴って案内
・支持するスライド機構を有するケーブルベアを設けて
ある請求項1から3までの何れか1項に記載のリニアス
ライダ。
4. A cable carrier having a slide mechanism for guiding and supporting the power supply cable in accordance with the movement of the mover is provided on a side surface of the linear slider on the fixed base. The linear slider according to claim 1.
【請求項5】 前記ケーブルベアに、前記エアダクトに
冷却空気を供給するための給気用チューブを通し、前記
給電ケーブルと共に前記給気用チューブを案内・支持す
るようにした請求項1から4までの何れか1項に記載の
リニアスライダ。
5. An air supply tube for supplying cooling air to the air duct through the cable carrier, and guides and supports the air supply tube together with the power supply cable. The linear slider according to any one of the above.
【請求項6】 前記リニアモータのうち、前記リニアモ
ータ界磁部は磁性体からなる界磁ヨークに沿って交互に
磁極が異なる複数の永久磁石より構成されると共に、前
記リニアモータ電機子部は電機子コアに巻装された電機
子コイルで構成される請求項1から5までの何れか1項
に記載のリニアスライダ。
6. The linear motor field part of the linear motor is constituted by a plurality of permanent magnets having different magnetic poles alternately along a field yoke made of a magnetic material. The linear slider according to any one of claims 1 to 5, comprising an armature coil wound around an armature core.
【請求項7】前記リニアモータのうち、前記リニアモー
タ界磁部は磁性体からなる誘導子歯を有する誘導子で構
成されると共に、前記リニアモータ電機子部は電機子コ
アに巻装してなる電機子コイルと、電機子コアのティー
ス部先端に設けた永久磁石とで構成される請求項1から
5までの何れか1項に記載のリニアスライダ。
7. The linear motor, wherein the linear motor field portion is formed of an inductor having inductor teeth made of a magnetic material, and the linear motor armature is wound around an armature core. The linear slider according to any one of claims 1 to 5, comprising: an armature coil formed by the armature coil; and a permanent magnet provided at a tip of a tooth portion of the armature core.
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