JP2004104018A

JP2004104018A - Manufacturing system

Info

Publication number: JP2004104018A
Application number: JP2002267082A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Okochi; 大河内　浩幾
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2002-09-12
Filing date: 2002-09-12
Publication date: 2004-04-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To contribute to cost reduction and energy saving in facilities of a plant and the cost reduction of processing devices by reducing the capacity of power supply equipment for supplying power to the processing devices in a manufacturing system composed of a plurality of processing devices and a control device for controlling the processing devices. <P>SOLUTION: A host computer 7 which is a control device performs the device control scheduling of semiconductor manufacturing devices 1-3 which are processing devices, and then determines power consumption limit values of respective manufacturing devices 1-3 and outputs commands to the manufacturing devices 1-3 through a communication line 6. The manufacturing devices 1-3 control power consumption by utilizing power consumption profile information and respective storage means in accordance with respective commands. Consequently the power consumption of the whole manufacturing system can be averaged and capacities of the storage means in the manufacturing devices 1-3 can be reduced, the capacity of the power supply equipment 4 in the plant can be reduced, and costs of the manufacturing devices 1-3 can be reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置とその制御装置等からなる製造システムの電力制御方法に関するもので、加工装置が半導体製造装置である場合、特に有効なものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造装置は、その高性能化にともない装置消費電力が増大している。そして、絶え間ない高性能化の要求により、今後も装置の消費電力は増加し続けることが予想される。
【０００３】
その半導体製造装置を多数設置して半導体生産を行う半導体製造工場では、各装置の要求する電力を設置台数分だけ供給可能な電力供給設備を準備する必要があり、生産ラインに何十台、何百台と半導体製造装置が並ぶ大規模工場において、その電力供給設備は巨大なものとなる。
【０００４】
電力供給設備を少容量化するためには、各装置におけるピーク電力を抑え、消費電力の平均化を行うことが有効である。そのため、特願２００１−３３２６６８（以下、先願発明という）では、装置内に蓄電手段を設け、装置の消費電力プロファイル情報を用いて、ピーク電力消費時の電力供給の一部を電力供給設備から蓄電手段に切り換えることにより、消費電力の平均化を実現する方法が提案されている。
【０００５】
消費電力プロファイルとは、装置の消費電力を測定し、時系列的に示したもので、図３がその一例である。同図においては、起動時、待機時、処理１，２，３の消費電力を時系列的に示している。
【０００６】
先願発明の特徴は、装置毎に消費電力上限値を設定する機能を持たせたことである。蓄電池と消費電力プロファイル情報を利用して、設定された消費電力上限値を超えないように設備給電から蓄電池給電に切り換えることでピーク電力を抑え、消費電力の平均化を実現している。
【０００７】
図９は、先願発明に係る半導体製造システムを示すブロック図である。同図に示すような半導体製造装置３台等からなる製造システムに、上記した消費電力プロファイル情報等を適用した場合について以下に説明する。
【０００８】
各装置は、工場の電力供給設備４より電源ライン５を通して電力の供給を受ける。図２は、半導体製造装置内部の電力供給形態の一例を示す。
図２において、電力は、工場設備である電力供給設備４から切換器８を通して電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【０００９】
蓄電池１３は、電流調整器１２を通して電力供給設備４から給電される電力を蓄電し、電力供給設備４と同じ電源形態で切換器８を通して電源部９へ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
【００１０】
図３は半導体製造装置の消費電力プロファイル、図４は半導体製造装置内の各電源の消費電力プロファイルである。各電源の消費電力プロファイルを加え合わせたものが装置の消費電力プロファイルとなる。予め、このような装置全体および各電源の消費電力プロファイルを作成し、記憶装置に保存しておく。
【００１１】
３台の半導体製造装置が稼動した場合の消費電力を図１０に示す。ここで、図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、各装置の消費電力を示し、図１０（Ｄ）は、製造システム全体の消費電力を示す。また、図１１は、従来例に係る消費電力上限設定後の消費電力を説明するためのグラフである。
【００１２】
電力供給設備の供給能力が最大１２０ｋＶＡとすると、図１０（Ｄ）から分かるように、ピーク時には１２０ｋＶＡ分の電力が不足する。そこで、図１１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）のように、各装置のピーク電力を４０ｋＶＡに制限するように各装置に消費電力上限値を設定する。
【００１３】
制御部１１は、処理１時に上限値超過が４０ｋＶＡ発生するため、この超過分の電力に相当する電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。この場合は、電源Ａが選択される。処理１時に、制御部１１は、切換器８により選択した電源Ａの給電元を電源供給設備４から蓄電池１３に切り換える。
【００１４】
また、蓄電池１３から供給される電力とその供給デューティより各処理時における蓄電池充電電流を算出しておき、制御部１１は、電流調整器１２によって蓄電池充電電流を制御する。
【００１５】
このようにして図１１（Ｄ）のように、全体の消費電力を設備の供給能力内に収めることができる。この時、各装置には、４０ｋＶＡ＊１／３（ｈ）＝１３．３ｋＶＡｈの蓄電池容量が必要になる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ピーク電力が大きい場合、むやみに電力供給設備の小容量化を目指すと、各装置に設ける蓄電手段の容量が大きくなって装置の大型化やコスト増を招き、逆に工場設備コストの増大に繋がってしまうという問題があった。
【００１７】
また、装置の消費電力上限値は、電力供給設備の設備供給能力と装置の設置台数より決定されるため、装置台数が増加するなどして条件に変更が生じた場合には各装置の消費電力上限値を算出し直し、オペレータが各装置に再設定する必要があった。
【００１８】
本発明では、装置の蓄電手段の小容量化と電力供給設備の小容量化をバランスよく可能にし、また状況の変化に対応して自動的に最適な生産性をもたらす製造システムを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の製造システムは、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段を備え該電力供給設備から給電されて作動する複数の加工装置と、該複数の加工装置を制御するための制御装置とを具備し、前記制御装置は前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置は前記消費電力制限タイミングで該加工装置内の各負荷が消費する電力のうち前記消費電力制限値を超える電力を前記蓄電手段から給電するように制御することを特徴とする。
【００２０】
本発明の製造システムの好ましい一実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する複数の電源部と、該複数の電源部のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の電源部の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備える。
【００２１】
本発明の製造システムの好ましい別の実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、該加工装置内の複数の負荷のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の負荷の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電源部から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備える。
【００２２】
本発明の製造システムの好ましいさらに別の実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、前記消費電力制限値を超える電力分が前記蓄電手段から前記電源部へ給電されるように少なくとも該蓄電手段の放電または前記電源供給設備から該加工装置への給電を制御する充放電制御手段とを備える。
【００２３】
本発明において、前記制御装置は、前記複数の加工装置の消費電力プロファイル情報と前記電力供給設備の電力供給能力情報とから、前記加工装置の消費電力制限タイミングおよび消費電力制限値を算出し、該加工装置の制御スケジュールを作成することが好ましい。また、前記加工装置は、前記制御装置から指令された消費電力制限タイミングと消費電力制限値に対し、該加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様がその指令を満足できるものか否かを判断して前記制御装置に応答する手段を備えたものであるとよい。
【００２４】
また、本発明において、前記制御装置は、前記加工装置からの応答結果に応じて、最適な前記蓄電手段への変更を警告する手段を備えたものであるとよい。さらに、前記制御装置は、前記加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様を検知する手段を備え、その蓄電手段の仕様を考慮して前記加工装置の消費電力制御タイミングと消費電力制限値を算出し、前記加工装置の制御スケジュールを作成するとよい。
【００２５】
【作用】
先願発明では、装置は各々独立で稼動することを前提に、工場の電力供給設備能力と装置の設置台数より消費電力上限値を決定する方法が説明されているが、近年、大規模な半導体製造工場では多数の半導体製造装置の集中情報管理を行うために、ホストコンピュータと半導体製造装置をＬＡＮ等の通信手段で接続した、いわゆるオンライン設備が標準的に敷設されている。このオンライン設備を利用して電力供給設備に応じた最適な装置制御スケジューリングを行なう方法が特願２００１−３４２１１９に提案されている。
【００２６】
装置制御スケジューリングを行なわないで装置を稼動する場合には、各装置の消費電力上限値は工場の電力供給能力と装置設置台数で決定される。そして、従来例に示すように、すべての装置のピーク電力消費が重なることを想定しなくてはならないため、ピーク電力が大きい場合は各装置への削減要求も大きくなり、その部分の電力をカバーするため、大容量の蓄電手段を用意する必要があった。
【００２７】
一方、装置制御スケジューリングを行なうと、ピーク電力をずらして複数の装置が稼動するため、全体としての消費電力ピークを大幅に抑制できる。よって、これに先願発明を適用した本願発明によると、各装置の消費電力制限はより少ない量で済み、蓄電手段のサイズダウン、コストダウンが可能になる。
【００２８】
また、装置台数や電力供給能力の変動に対してもオンライン設備を使って自動的に各装置の消費電力制限を変更することが可能になり、設定変更忘れやミスなどによるトラブルの防止やオペレータの省力化にもつながる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明の製造システムの好ましい第１の実施形態では、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段と、該電力供給設備および該蓄電手段から給電されて加工装置内の各負荷に給電する電源部と、該電源部への給電を該電力供給設備と該蓄電手段で切り換え手段を備えた複数の加工装置と、該複数の加工装置を制御するための制御装置を具備し、前記制御装置が前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置が消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対応する電力分の給電を前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換えるように制御する。この構成により、オンライン設備を利用した装置制御スケジューリングを行なった上で各装置の消費電力制限を行なうことで、さらに効果的な省電力方法を提供することができる。
【００３０】
また、本発明の製造システムの好ましい第２の実施形態では、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段と、前記蓄電手段の充放電を制御する手段と、前記蓄電手段から給電されて加工装置内の各負荷に給電する電源部を備えた複数の加工装置と、前記複数の加工装置を制御するための制御装置を具備し、前記制御装置は前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置が消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対応する電力分の給電を前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換えるように制御する。
【００３１】
【実施例】
次に、本発明の実施例を説明する。
［第１の実施例］
半導体製造工場には、複数の半導体製造装置が設置されており、図１は、半導体露光装置等の半導体製造装置に対する電力供給およびオンライン接続形態を示している。
【００３２】
同図において、電力は、電力供給設備４から電源ライン（ケーブル）５を通し、各半導体製造装置１，２，３に供給される。また、各半導体製造装置１，２，３は、通信ライン（ケーブル）６によってオンラインでホストコンピュータ７と接続され、各種情報の入出力が行なわれる。
【００３３】
図２は、図１の半導体製造装置１の内部の電力供給形態を示している。同図において、電力は、工場設備である電力供給設備４から切換器８を通し、電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって、電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【００３４】
蓄電池１３は、電流調整器１２を通して電力供給設備４から給電される電力を蓄電し、電力供給設備４と同じ電源形態で切換器８を通して電源部９へ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットＡ，Ｂ，Ｃおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
【００３５】
図３は、図２の半導体製造装置１の消費電力プロファイルであり、図４は、図２の半導体製造装置における各電源Ａ，Ｂ，Ｃ、すなわち各ユニットＡ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルである。各電源Ａ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルを加え合わせたものが半導体製造装置１の消費電力プロファイルとなる。予め、このような装置１の全体および各電源Ａ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルを作成し、記憶装置に保存しておく。
【００３６】
また、消費電力を制限するタイミングを示す消費電力制限タイミングとその時の消費電力制限値は、ホストコンピュータ７が決定し、通信ライン６を通して半導体製造装置１、２、３に指令する。以降に説明するように、半導体製造装置１、２、３は、消費電力制限タイミングにおいて、電力供給設備４からの供給電力を消費電力制限値以上消費しないように制御される。
【００３７】
制御部１１は、消費電力制限タイミングにおける消費電力制限値と装置の消費電力プロファイルから、制限値を遵守できるかどうかを調査する。遵守できない場合は、そのタイミングでの各電源の消費電力プロファイルより超過電力分に相当する最適な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。消費電力制限タイミングで給電元を電力供給設備４から蓄電池１３に切り換えることにより、電力供給設備４からの電力消費を指令通りに制限できる。また、本実施例においては、蓄電池１３から供給される電力とその供給タイミング情報より、各処理時における蓄電池充電スケジュールを作成しておく。
【００３８】
次に、ホストコンピュータ７による消費電力制限タイミングと消費電力制限値の算出方法および実際の動作例を述べる。
【００３９】
本実施例においては、まず特願２００１−３４２１１９で提案された方法によって装置制御をスケジューリングする。装置制御スケジューリングのために、ホストコンピュータ７は、各装置から消費電力プロファイル情報を収集する。そして、全体の消費電力ピークを抑え、かつ最適な生産性をもたらす装置制御スケジューリングを行なう。
【００４０】
図５が装置制御スケジューリングの結果である。同図において、図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、各々半導体製造装置１、２、３の消費電力を示し、図５（Ｄ）は、全体の消費電力を示す。
【００４１】
スケジューリング後には、電源供給能力内に収めるために、全体で２０ｋＶＡ分のピーク電力を削減すれば良い。各装置に振り分けると、６．７ｋＶＡ分の削減となり、これは従来例のわずか約１７％である。
【００４２】
図６に各装置の消費電力制限を行なった結果を示す。同図において、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、半導体製造装置１、２、３の消費電力を示し、図６（Ｄ）は、全体の消費電力を示す。
【００４３】
図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）のそれぞれ点線の部分を削減すると、全体の消費電力が設備供給能力内に収まることが分かる。ホストコンピュータ７は、このように算出した消費電力制限タイミングと消費電力制限値を半導体製造装置１、２、３に対して通知する。
【００４４】
各半導体製造装置１，２，３は、消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対して最適な電源を選択して給電元を蓄電池に切り換え、消費電力制限を行なう。これを具体的に説明する。
【００４５】
半導体製造装置１では、図６（Ａ）の点線部の電力を蓄電池でまかなうために、図４の各電源の消費電力プロファイル情報より適当な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。この場合は、電源Ｂの待機時電力がそれに相当する。蓄電池容量で考えても、６．７ｋＶＡ＊２／３（ｈ）＝４．５ｋＶＡｈと、従来例の約３０％で済む。この削減効果は、ピーク電力と平均電力の差が大きいほど大きくなる。
【００４６】
半導体製造装置２、３でも同様に、図６（Ｂ）、（Ｃ）より、適当な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。
【００４７】
こうして装置制御スケジュールに従って、半導体製造装置１、２、３の稼動がはじまると、各装置１，２，３に通知された消費電力制限タイミングで制御部１１は切換器８を制御し、選択した電源の給電元を電力供給設備４から蓄電池１３に切り換える。また、予め作成した蓄電池充電スケジュールに従い、制御部１１は電流調整器１２を制御して蓄電池１３の充電を行なう。
【００４８】
このようにして、図６（Ｄ）に示すように、全体の消費電力を電力供給設備４の供給能力内に収めることができる。
【００４９】
また、電力プロファイルと消費電力制限値とから必要な蓄電池仕様は決まる。予め装置の蓄電池仕様を装置に記憶させておいて必要な蓄電池仕様と比較し、消費電力制限を守れない場合には、警告を出して蓄電池仕様の変更を要求したり、また逆に蓄電池仕様に余裕のある場合には、最適な蓄電池仕様を提示することも可能である。これをオンライン設備を通じて、ホストコンピュータ７側に行なわせても良い。
【００５０】
さらに、ホストコンピュータ７が装置制御スケジューリングを行なう際に、オンラインを通じて各装置の蓄電池仕様情報を収集することにより、各装置の蓄電池仕様に応じた消費電力制限スケジューリングを行なうことができる。
【００５１】
さらに、装置台数や蓄電池仕様、設備の電力供給能力に変更があった場合には、自動的に装置制御スケジュールや消費電力制限タイミングと消費電力制限値を再度算出し直し、オンライン設備を通して各装置に再設定することも可能である。
【００５２】
［第２の実施例］
図７を用いて本発明の第２の実施例を説明する。
本実施例において、半導体製造工場には、複数の半導体製造装置が設置されており、図７はその中の１台の装置における電力供給形態を示している。電力は、工場設備である電力供給設備４から電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって、電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換して切換器８を通してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【００５３】
蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃは、電流調整器１２（電流調整器Ａ、Ｂ、Ｃ）を通して設備から給電される電力を何らかの電源形態で蓄電し、各ユニットが使用する電源形態で切換器８を通してユニットＡ、Ｂ、Ｃへ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
半導体製造装置の構成以外は、上記した第１の実施例と同様である。
【００５４】
制御部１１は、消費電力制限タイミングに入る前に、切換器８を制御してユニットへの給電を電源から蓄電池に切り換える。また、蓄電池使用電力プロファイルをもとに蓄電池充電スケジュールを作成し、制御部１１が電流調整器１２を制御して充電電流を調整し、蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃを充電する。
【００５５】
このようにして、装置の消費電力を制限値以内に抑えることができる。
【００５６】
［第３の実施例］
図８は、第３の実施例に係る半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
本実施例では、上記した第２の実施例において電源と蓄電池を切り換える方法に代わって充放電コントローラ１４を利用して蓄電池の充放電電力を制御することにより、第２の実施例と同様の結果を得ることができる。
【００５７】
電力は、工場設備である電力供給設備４から電源部９に供給される。電源部９は、蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃによって電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃは、電力供給設備４から給電される電力を何らかの電源形態で蓄電し、ユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ給電する。制御部１１は、本体部１０の各ユニットＡ，Ｂ，Ｃおよび電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃを制御する。
【００５８】
充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃは、制御部１１からの指令によって蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電／放電量を制御する。充電量が電力供給設備４から見た半導体製造装置１の消費電力に相当し、放電量は装置内部での消費電力に相当する。したがって、充電量＝放電量ならば、設備から供給された電力がそのまま電源部に供給される。充電量＞放電量ならば、（充電量−放電量）が蓄電池に充電される。充電量＜放電量ならば、（充電量＋蓄電池からの給電）が電源部に供給される。
【００５９】
消費電力制限動作に至るまでの説明は、上記した第１の実施例と同様である。すなわち、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電量と放電量を制御する。つまり、各装置１，２，３に通知された消費電力制限タイミングと消費電力制限値より、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの放電量を制御する。また、電源部９の蓄電池から供給される電力とその供給デューティより各処理時における蓄電池充電電流を算出しておき、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電量を制御する。
【００６０】
このようにして、上記した第２の実施例と同様に、装置の消費電力を制限値以内に抑えることができる。
【００６１】
以上説明したように、上記した第１〜第３の実施例によれば、近年、半導体製造工場に標準的に敷設されているオンライン設備を利用して半導体製造工場の電力供給設備を小容量化できるため、余分な設備投資をすることなく、工場設備の低コスト化、省エネルギー化に貢献できる。さらに、各装置の蓄電手段を小容量化できるため、装置自体のコストダウン、サイズダウンが可能となり、トータルとして最適な省エネルギーシステムを構築できる。
【００６２】
また、オンライン設備を通して自動的に消費電力制限値を設定できるため、オペレータの省力化につながり、また電力供給設備や装置台数、装置搭載蓄電手段の変更に応じて自動的に消費電力制限値の設定変更が可能なため、状況の変化に応じて常に最適な省電力システムを実現できる。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、装置の蓄電手段の小容量化と電力供給設備の小容量化をバランスよく可能にし、また状況の変化に対応して自動的に最適な生産性をもたらす製造システムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例における半導体製造システムを示すブロック図である。
【図２】第１の実施例および従来例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図３】第１の実施例における半導体製造装置の消費電力プロファイルを示すグラフである。
【図４】第１の実施例における電源別消費電力プロファイルを示すグラフであり、（Ａ）は電源Ａの消費電力プロファイル、（Ｂ）は電源Ｂの消費電力プロファイル、（Ｃ）は電源Ｃの消費電力プロファイルをそれぞれ示す。
【図５】第１の実施例における装置制御スケジューリング後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図６】第１の実施例における消費電力制限後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図７】第２の実施例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図８】第３の実施例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図９】先願発明に係る半導体製造システムを示すブロック図である。
【図１０】先願発明に係る消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図１１】先願発明に係る消費電力上限設定後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【符号の説明】１：半導体製造装置１，２：半導体製造装置２，３：半導体製造装置３，４：電力供給設備，５：電源ライン，６：通信ライン，７：ホストコンピュータ，８：切換器，９：電源部，１０：本体部，１１：制御部，１２：電流調整器，１３：蓄電池。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a power control method for a manufacturing system including a processing device and a control device thereof, and is particularly effective when the processing device is a semiconductor manufacturing device.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, the power consumption of semiconductor manufacturing apparatuses has been increasing due to their higher performance. It is expected that the power consumption of the device will continue to increase in the future due to the continuous demand for higher performance.
[0003]
In a semiconductor manufacturing plant that manufactures semiconductors by installing a large number of such semiconductor manufacturing equipment, it is necessary to prepare power supply facilities capable of supplying the power required by each equipment by the number of installations. In a large-scale factory with hundreds of semiconductor manufacturing equipment, the power supply equipment becomes huge.
[0004]
In order to reduce the capacity of power supply equipment, it is effective to suppress peak power in each device and average power consumption. For this reason, in Japanese Patent Application No. 2001-332668 (hereinafter referred to as the prior invention), a power storage unit is provided in the device, and a part of the power supply at the time of peak power consumption is supplied from the power supply facility using the power consumption profile information of the device. A method of realizing power consumption averaging by switching to power storage means has been proposed.
[0005]
The power consumption profile is obtained by measuring the power consumption of the apparatus and is shown in chronological order. FIG. 3 shows an example of the power consumption profile. In the figure, the power consumption at the time of starting, at the time of standby, and the processing 1, 2, and 3 are shown in time series.
[0006]
A feature of the invention of the prior application is that a function of setting an upper limit of power consumption for each device is provided. By using the storage battery and the power consumption profile information, switching from equipment power supply to storage battery power supply so as not to exceed the set upper limit of power consumption, peak power is suppressed, and power consumption is averaged.
[0007]
FIG. 9 is a block diagram showing a semiconductor manufacturing system according to the invention of the prior application. A case in which the above-described power consumption profile information and the like are applied to a manufacturing system including three semiconductor manufacturing apparatuses as shown in FIG.
[0008]
Each device receives power supply from a power supply facility 4 of a factory through a power supply line 5. FIG. 2 shows an example of a power supply mode inside the semiconductor manufacturing apparatus.
In FIG. 2, power is supplied from a power supply facility 4, which is a factory facility, to a power supply unit 9 through a switch 8. The power supply unit 9 converts the electric power into a power supply form used by the units of the main body unit 10 by the power supplies A, B, and C and supplies the power to the units A, B, and C.
[0009]
The storage battery 13 stores power supplied from the power supply facility 4 through the current regulator 12 and supplies power to the power supply unit 9 through the switch 8 in the same power supply form as the power supply facility 4. The control unit 11 controls each unit of the main body unit 10, the switch 8, and the current regulator 12.
[0010]
FIG. 3 is a power consumption profile of the semiconductor manufacturing apparatus, and FIG. 4 is a power consumption profile of each power supply in the semiconductor manufacturing apparatus. The sum of the power consumption profiles of the power supplies is the power consumption profile of the device. Such power consumption profiles of the entire apparatus and each power supply are created in advance and stored in the storage device.
[0011]
FIG. 10 shows power consumption when three semiconductor manufacturing apparatuses are operated. Here, FIGS. 10A, 10B, and 10C show the power consumption of each device, and FIG. 10D shows the power consumption of the entire manufacturing system. FIG. 11 is a graph for explaining power consumption after setting a power consumption upper limit according to a conventional example.
[0012]
Assuming that the supply capacity of the power supply equipment is 120 kVA at the maximum, as shown in FIG. 10D, the power for 120 kVA is insufficient at the peak time. Therefore, as shown in FIGS. 11A, 11B, and 11C, the power consumption upper limit value is set for each device so that the peak power of each device is limited to 40 kVA.
[0013]
The control unit 11 selects and stores a power supply combination corresponding to the excess power because the upper limit value exceeds 40 kVA during the process 1. In this case, the power source A is selected. At the time of the process 1, the control unit 11 switches the power source of the power source A selected by the switch 8 from the power supply facility 4 to the storage battery 13.
[0014]
In addition, the control unit 11 controls the storage battery charging current by the current regulator 12 by calculating the storage battery charging current in each process from the power supplied from the storage battery 13 and the supply duty.
[0015]
Thus, as shown in FIG. 11D, the entire power consumption can be kept within the supply capacity of the equipment. At this time, each device requires a storage battery capacity of 40 kVA * 1/3 (h) = 13.3 kVAh.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
However, if the peak power is large, if the aim is to reduce the capacity of the power supply equipment unnecessarily, the capacity of the power storage means provided in each device will increase, resulting in an increase in the size and cost of the device, and conversely, an increase in the cost of factory equipment There was a problem that would lead to.
[0017]
In addition, the upper limit of the power consumption of the equipment is determined by the equipment supply capacity of the power supply equipment and the number of equipments installed. The upper limit value has to be recalculated and the operator has to reset it for each device.
[0018]
An object of the present invention is to provide a manufacturing system that enables a reduction in the capacity of the power storage means of the apparatus and a reduction in the capacity of the power supply equipment in a well-balanced manner, and automatically provides optimum productivity in response to a change in the situation. Aim.
[0019]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a manufacturing system according to the present invention includes: a plurality of processing apparatuses that include a power storage unit that is supplied with power from a power supply facility and stores power; A control device for controlling, the control device instructs the power consumption limit timing and the power consumption limit value to the processing device, the processing device in the processing device at the power consumption limit timing It is characterized in that control is performed such that the power exceeding the power consumption limit value among the power consumed by the load is supplied from the power storage means.
[0020]
In a preferred embodiment of the manufacturing system of the present invention, the processing device includes a plurality of power supply units that are supplied with power from the power supply facility and the power storage unit and supply power to each load in the processing device. Switching means for switching the power supply source of one or more power supply units corresponding to the power exceeding the power consumption limit value from the power supply equipment to the power storage means at the power consumption restriction timing.
[0021]
In another preferred embodiment of the manufacturing system according to the present invention, the processing apparatus includes a power supply unit that is supplied with power from the power supply equipment and supplies power to each load in the processing apparatus, and a plurality of loads in the processing apparatus. Switching means for switching the power supply source of one or more loads corresponding to the power exceeding the power consumption limit value from the power supply unit to the power storage means at the power consumption restriction timing.
[0022]
In still another preferred embodiment of the manufacturing system of the present invention, the processing apparatus includes a power supply unit that is supplied with power from the power supply facility and the power storage unit and supplies power to each load in the processing apparatus, and the power consumption limit value. Charge / discharge control means for controlling at least discharging of the power storage means or power supply from the power supply equipment to the processing apparatus such that power exceeding the power supply is supplied from the power storage means to the power supply unit.
[0023]
In the present invention, the control device calculates a power consumption limit timing and a power consumption limit value of the processing device from power consumption profile information of the plurality of processing devices and power supply capability information of the power supply facility. It is preferable to create a control schedule for the processing device. Further, the processing device determines whether or not the specification of the power storage means mounted on the processing device can satisfy the command with respect to the power consumption limit timing and the power consumption limit value instructed by the control device. It is preferable to have a means for determining and responding to the control device.
[0024]
Further, in the present invention, the control device may include a unit that warns of a change to the optimal power storage unit in accordance with a response result from the processing device. Further, the control device includes means for detecting the specification of the power storage means mounted on the processing device, and takes into account the specification of the power storage means to determine a power consumption control timing and a power consumption limit value of the processing device. It is preferable to calculate and create a control schedule for the processing apparatus.
[0025]
[Action]
In the prior application, a method of determining the upper limit of power consumption from the power supply facility capacity of a factory and the number of installed devices is described on the assumption that the devices operate independently, but in recent years, large-scale semiconductors have been described. In a manufacturing factory, so-called on-line facilities, in which a host computer and semiconductor manufacturing apparatuses are connected by a communication means such as a LAN, are installed as standard in order to centrally manage a large number of semiconductor manufacturing apparatuses. Japanese Patent Application No. 2001-342119 proposes a method of performing optimal device control scheduling according to power supply facilities using this online facility.
[0026]
When the devices are operated without performing device control scheduling, the upper limit of power consumption of each device is determined by the power supply capacity of the factory and the number of installed devices. Then, as shown in the conventional example, since it is necessary to assume that the peak power consumption of all the devices overlaps, when the peak power is large, the reduction request to each device becomes large, and the power of that portion is covered. Therefore, it is necessary to prepare a large-capacity power storage means.
[0027]
On the other hand, when the device control scheduling is performed, a plurality of devices operate while shifting the peak power, so that the power consumption peak as a whole can be significantly suppressed. Therefore, according to the present invention to which the prior invention is applied, the power consumption of each device is limited by a smaller amount, and the size and cost of the power storage unit can be reduced.
[0028]
In addition, it is possible to automatically change the power consumption limit of each device using the online equipment even when the number of devices or power supply capacity fluctuates, preventing troubles such as forgetting to change settings or mistakes, It also leads to labor savings.
[0029]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In a preferred first embodiment of the manufacturing system according to the present invention, a power storage unit that is supplied with power from a power supply facility and stores power, and a power supply unit that is supplied with power from the power supply facility and supplies power to each load in a processing apparatus And a plurality of processing devices provided with switching means for supplying power to the power supply unit with the power supply facility and the power storage means, and a control device for controlling the plurality of processing devices, wherein the control device is The power consumption limit timing and the power consumption limit value are instructed to the processing device, and the processing device switches the power supply corresponding to the power consumption limit value from the power supply facility to the power storage unit at the power consumption limit timing. To control. According to this configuration, it is possible to provide a more effective power saving method by performing power control scheduling using online facilities and then limiting power consumption of each device.
[0030]
Further, in a second preferred embodiment of the manufacturing system of the present invention, a power storage unit that is supplied with power from a power supply facility to store power, a unit that controls charging and discharging of the power storage unit, and a processing apparatus that is supplied with power from the power storage unit A plurality of processing apparatuses each including a power supply unit for supplying power to each load in the apparatus; and a control device for controlling the plurality of processing apparatuses. The control apparatus controls power consumption timing and consumption of the processing apparatuses. A power limit value is instructed, and the processing apparatus controls the power supply corresponding to the power consumption limit value to switch from the power supply facility to the power storage unit at the power consumption limit timing.
[0031]
【Example】
Next, examples of the present invention will be described.
[First Embodiment]
A plurality of semiconductor manufacturing apparatuses are installed in a semiconductor manufacturing factory, and FIG. 1 shows a power supply and online connection mode for a semiconductor manufacturing apparatus such as a semiconductor exposure apparatus.
[0032]
In the figure, power is supplied from a power supply facility 4 to power supply lines (cables) 5 to each of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3. Each of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, 3 is connected online to a host computer 7 via a communication line (cable) 6, and inputs and outputs various information.
[0033]
FIG. 2 shows a power supply mode inside the semiconductor manufacturing apparatus 1 of FIG. In the figure, electric power is supplied to a power supply unit 9 from a power supply facility 4 which is a factory facility, through a switch 8. The power supply unit 9 converts the electric power into a power supply form used by the units of the main body unit 10 by the power supplies A, B, and C and supplies the power to the units A, B, and C.
[0034]
The storage battery 13 stores power supplied from the power supply facility 4 through the current regulator 12 and supplies power to the power supply unit 9 through the switch 8 in the same power supply form as the power supply facility 4. The control unit 11 controls the units A, B, and C of the main unit 10, the switch 8, and the current regulator 12.
[0035]
FIG. 3 is a power consumption profile of the semiconductor manufacturing apparatus 1 of FIG. 2, and FIG. 4 is a power consumption profile of each of the power supplies A, B, and C, that is, the units A, B, and C in the semiconductor manufacturing apparatus of FIG. is there. The sum of the power consumption profiles of the power supplies A, B, and C is the power consumption profile of the semiconductor manufacturing apparatus 1. A power consumption profile of the entire apparatus 1 and the power supplies A, B, and C is created in advance and stored in a storage device.
[0036]
The host computer 7 determines the power consumption restriction timing indicating the power consumption restriction timing and the power consumption restriction value at that time, and instructs the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3 through the communication line 6. As described below, the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3 are controlled so that the power supplied from the power supply facility 4 does not consume more than the power consumption limit value at the power consumption restriction timing.
[0037]
The control unit 11 investigates whether or not the limit value can be observed based on the power consumption limit value at the power consumption restriction timing and the power consumption profile of the device. If the power supply cannot be complied with, the optimum power supply combination corresponding to the excess power is selected and stored from the power consumption profile of each power supply at that timing. By switching the power supply source from the power supply equipment 4 to the storage battery 13 at the power consumption restriction timing, the power consumption from the power supply equipment 4 can be limited as instructed. In the present embodiment, a storage battery charging schedule for each process is created based on the power supplied from the storage battery 13 and the supply timing information.
[0038]
Next, a method of calculating the power consumption restriction timing and the power consumption restriction value by the host computer 7 and an actual operation example will be described.
[0039]
In the present embodiment, first, device control is scheduled by the method proposed in Japanese Patent Application No. 2001-342119. For device control scheduling, the host computer 7 collects power consumption profile information from each device. Then, device control scheduling that suppresses the overall power consumption peak and that provides optimum productivity is performed.
[0040]
FIG. 5 shows the result of the device control scheduling. 5A, 5B, and 5C show the power consumption of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3, respectively, and FIG. 5D shows the entire power consumption.
[0041]
After the scheduling, the peak power may be reduced by a total of 20 kVA so as to be within the power supply capacity. Distributing to each device results in a reduction of 6.7 kVA, which is only about 17% of the conventional example.
[0042]
FIG. 6 shows the result of limiting the power consumption of each device. 6A, 6B, and 6C show the power consumption of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3, and FIG. 6D shows the entire power consumption.
[0043]
6A, 6B, and 6C, when the portions indicated by the dotted lines are reduced, it can be seen that the entire power consumption falls within the facility supply capacity. The host computer 7 notifies the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3 of the power consumption restriction timing and the power consumption restriction value thus calculated.
[0044]
Each of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3 selects an optimal power source for the power consumption limit value at the power consumption limit timing, switches the power supply source to the storage battery, and performs power consumption limitation. This will be specifically described.
[0045]
In the semiconductor manufacturing apparatus 1, an appropriate power supply combination is selected from the power consumption profile information of each power supply in FIG. 4 and stored in order to supply the power indicated by the dotted line in FIG. In this case, the standby power of the power supply B corresponds thereto. Considering the storage battery capacity, 6.7 kVA * 2/3 (h) = 4.5 kVAh, which is about 30% of the conventional example. This reduction effect increases as the difference between the peak power and the average power increases.
[0046]
Similarly, in the semiconductor manufacturing apparatuses 2 and 3, an appropriate power supply combination is selected from FIGS. 6B and 6C and stored.
[0047]
When the operation of the semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2, and 3 starts in accordance with the apparatus control schedule, the control unit 11 controls the switch 8 at the power consumption restriction timing notified to the apparatuses 1, 2, and 3, and Is switched from the power supply equipment 4 to the storage battery 13. The control unit 11 controls the current regulator 12 to charge the storage battery 13 according to a storage battery charging schedule created in advance.
[0048]
In this way, as shown in FIG. 6D, the entire power consumption can be kept within the supply capacity of the power supply equipment 4.
[0049]
The required storage battery specification is determined from the power profile and the power consumption limit value. The storage battery specifications of the device are stored in the device in advance and compared with the required storage battery specifications.If the power consumption limit cannot be observed, a warning is issued and a request to change the storage battery specifications is issued. If there is enough time, it is possible to present the optimum storage battery specification. This may be performed by the host computer 7 through online facilities.
[0050]
Further, when the host computer 7 performs the device control scheduling, by collecting the storage battery specification information of each device online, it is possible to perform the power consumption restriction scheduling according to the storage battery specification of each device.
[0051]
Furthermore, if there is a change in the number of devices, storage battery specifications, or power supply capacity of the equipment, the device control schedule, power consumption limit timing, and power consumption limit value are automatically recalculated, and each device is connected to each device through online facilities. It is also possible to reset it.
[0052]
[Second embodiment]
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In this embodiment, a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses are installed in a semiconductor manufacturing factory, and FIG. 7 shows a power supply mode in one of the apparatuses. Electric power is supplied from the power supply equipment 4 which is a factory equipment to the power supply unit 9. The power supply unit 9 converts the electric power into a power supply form used by the units of the main body unit 10 by the power supplies A, B, and C, and supplies the power to the units A, B, and C through the switch 8.
[0053]
The storage batteries A, B, and C store power supplied from the facility through the current regulators 12 (current regulators A, B, and C) in some form of power supply, and use the unit 8 through the switch 8 in the form of power supply used by each unit. Power is supplied to A, B, and C. The control unit 11 controls each unit of the main body unit 10, the switch 8, and the current regulator 12.
Except for the configuration of the semiconductor manufacturing apparatus, it is the same as the first embodiment described above.
[0054]
The control unit 11 controls the switch 8 to switch the power supply to the unit from the power supply to the storage battery before the power consumption restriction timing. In addition, the storage battery charging schedule is created based on the storage battery use power profile, the control unit 11 controls the current regulator 12 to adjust the charging current, and charges the storage batteries A, B, and C.
[0055]
In this way, the power consumption of the device can be suppressed within the limit value.
[0056]
[Third embodiment]
FIG. 8 is a block diagram illustrating a power supply mode of the semiconductor manufacturing apparatus according to the third embodiment.
In this embodiment, the same result as that of the second embodiment is obtained by controlling the charge / discharge power of the storage battery using the charge / discharge controller 14 instead of the method of switching between the power supply and the storage battery in the above-described second embodiment. Can be obtained.
[0057]
Electric power is supplied from the power supply equipment 4 which is a factory equipment to the power supply unit 9. The power supply unit 9 converts the electric power into a power supply form used by the units of the main body unit 10 by the storage batteries A, B, and C, and supplies the power to the units A, B, and C. The storage batteries A, B, and C store power supplied from the power supply facility 4 in some form of power supply, convert the power into a power supply used by the unit, and supply power to the units A, B, and C. The control unit 11 controls the units A, B, and C of the main unit 10 and the charge / discharge controllers A, B, and C of the power supply unit 9.
[0058]
The charge / discharge controllers A, B, and C control the amount of charge / discharge of the storage batteries A, B, and C according to a command from the control unit 11. The charge amount corresponds to the power consumption of the semiconductor manufacturing apparatus 1 as viewed from the power supply facility 4, and the discharge amount corresponds to the power consumption inside the apparatus. Therefore, if the amount of charge is equal to the amount of discharge, the power supplied from the facility is supplied to the power supply unit as it is. If the charge amount> the discharge amount, (the charge amount-the discharge amount) is charged to the storage battery. If the charge amount <discharge amount, (charge amount + power supply from the storage battery) is supplied to the power supply unit.
[0059]
The description up to the power consumption limiting operation is the same as that of the first embodiment. That is, the control unit 11 controls the charge amounts and the discharge amounts of the storage batteries A, B, and C of the power supply unit 9 by the charge / discharge controllers A, B, and C of the power supply unit 9. That is, based on the power consumption limit timing and the power consumption limit value notified to each of the devices 1, 2, and 3, the control unit 11 uses the charge / discharge controllers A, B, and C of the power supply unit 9 to store the batteries A and B of the power supply unit 9. , C is controlled. Further, the control unit 11 calculates the storage battery charging current in each process from the power supplied from the storage battery of the power supply unit 9 and the supply duty, and the control unit 11 uses the charge / discharge controller of the power supply unit 9 to store the storage batteries A, The charge amounts of B and C are controlled.
[0060]
In this way, the power consumption of the device can be suppressed within the limit value, as in the second embodiment.
[0061]
As described above, according to the above-described first to third embodiments, in recent years, the power supply facilities of a semiconductor manufacturing plant have been reduced in size by using online facilities that are standardly installed in the semiconductor manufacturing plant. Therefore, it is possible to contribute to cost reduction and energy saving of factory equipment without extra capital investment. Furthermore, since the capacity of the power storage means of each device can be reduced, the cost and size of the device itself can be reduced, and an optimum energy-saving system can be constructed as a whole.
[0062]
In addition, the power consumption limit value can be automatically set through online facilities, which leads to labor savings for the operator. In addition, the power consumption limit value is automatically set according to changes in the power supply facilities, the number of devices, and the power storage means mounted on the devices. Since the change is possible, an optimal power saving system can be always realized according to the change of the situation.
[0063]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a reduction in the capacity of the power storage means of the apparatus and a reduction in the capacity of the power supply facility can be achieved in a well-balanced manner, and the optimum productivity is automatically provided in response to changes in the situation. A manufacturing system is obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram illustrating a semiconductor manufacturing system according to a first embodiment.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a power supply mode of the semiconductor manufacturing apparatus according to the first embodiment and a conventional example.
FIG. 3 is a graph showing a power consumption profile of the semiconductor manufacturing apparatus according to the first embodiment.
FIGS. 4A and 4B are graphs showing power consumption profiles by power supply in the first embodiment, wherein FIG. 4A shows a power consumption profile of a power supply A, FIG. 4B shows a power consumption profile of a power supply B, and FIG. The respective power consumption profiles are shown.
FIGS. 5A and 5B are graphs for explaining power consumption after device control scheduling in the first embodiment, where FIG. 5A is the power consumption of the device 1, FIG. 5B is the power consumption of the device 2, and FIG. The power consumption of the device 3 and (D) show the entire power consumption, respectively.
FIGS. 6A and 6B are graphs for explaining power consumption after power consumption limitation in the first embodiment, wherein FIG. 6A is power consumption of the device 1, FIG. 6B is power consumption of the device 2, and FIG. The power consumption of the device 3 and (D) show the entire power consumption, respectively.
FIG. 7 is a block diagram illustrating a power supply mode of a semiconductor manufacturing apparatus according to a second embodiment.
FIG. 8 is a block diagram illustrating a power supply mode of a semiconductor manufacturing apparatus according to a third embodiment.
FIG. 9 is a block diagram showing a semiconductor manufacturing system according to the invention of the prior application.
10A and 10B are graphs for explaining power consumption according to the invention of the prior application, where (A) is power consumption of the device 1, (B) is power consumption of the device 2, (C) is power consumption of the device 3, (D) shows the overall power consumption.
11A and 11B are graphs for explaining power consumption after setting a power consumption upper limit according to the invention of the prior application, wherein FIG. 11A is the power consumption of the device 1, FIG. 11B is the power consumption of the device 2, and FIG. The power consumption of the device 3 and (D) show the entire power consumption, respectively.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Semiconductor manufacturing apparatuses 1, 2: Semiconductor manufacturing apparatuses 2, 3: Semiconductor manufacturing apparatuses 3, 4: Power supply equipment, 5: Power supply line, 6: Communication line, 7: Host computer, 8: Switching , 9: power supply section, 10: main body section, 11: control section, 12: current regulator, 13: storage battery.

Claims

A plurality of processing devices that are provided with a power storage unit that is supplied with power from the power supply facility and operate, and that are operated by being supplied with power from the power supply facility, and a control device for controlling the plurality of processing devices, wherein the control device includes: The processing apparatus instructs the power consumption restriction timing and the power consumption limit value to the processing apparatus, and the processing apparatus outputs the power exceeding the power consumption restriction value among the power consumed by each load in the processing apparatus at the power consumption restriction timing. A power supply from the power storage means.

The processing device includes a plurality of power supply units that are supplied with power from the power supply facility and the power storage unit and supply power to each load in the processing device, and a power supply that exceeds the power consumption limit value among the plurality of power supply units. 2. The manufacturing system according to claim 1, further comprising: switching means for switching a power supply source of a corresponding one or a plurality of power supply units from the power supply equipment to the power storage means at the power consumption restriction timing.

The processing apparatus includes a power supply unit that is supplied with power from the power supply equipment and supplies power to each load in the processing apparatus, and a single unit corresponding to an amount of power exceeding the power consumption limit value among a plurality of loads in the processing apparatus. 2. The manufacturing system according to claim 1, further comprising a switching unit that switches a power supply source of a plurality of loads from the power supply unit to the power storage unit at the power consumption restriction timing. 3.

The processing device includes a power supply unit that is supplied with power from the power supply facility and the power storage unit and supplies power to each load in the processing device, and an amount of power that exceeds the power consumption limit value is supplied from the power storage unit to the power supply unit. 2. The manufacturing system according to claim 1, further comprising charge / discharge control means for controlling at least discharge of the power storage means or power supply from the power supply equipment to the processing apparatus.

The control device calculates a power consumption limit timing and a power consumption limit value of the processing device from power consumption profile information of the plurality of processing devices and power supply capability information of the power supply equipment, and controls the processing device. The manufacturing system according to claim 1, wherein a schedule is created.

The processing device determines whether or not the specification of the power storage means mounted on the processing device satisfies the command with respect to the power consumption limit timing and the power consumption limit value instructed by the control device. The manufacturing system according to any one of claims 1 to 5, further comprising: means for responding to the control device.

The manufacturing system according to claim 6, wherein the control device includes a unit that warns a change to the optimal power storage unit in accordance with a response result from the processing device.

The control device includes a unit that detects a specification of the power storage unit mounted on the processing device, and calculates a power consumption control timing and a power consumption limit value of the processing device in consideration of the specification of the power storage unit. 8. The manufacturing system according to claim 1, wherein a control schedule of the processing apparatus is created.