【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は真空乾燥装置に関し、ワークに付着している水分を真空又は減圧下で短時間で乾燥することができる真空乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、水による洗浄後の乾燥方法として真空乾燥法が知られている。真空乾燥法では、洗浄後のワークを真空槽内に設置し、真空ポンプ等により真空槽内を減圧して、水の沸点を下げることにより、ワークに付着した水分を蒸発させるものである。この方法では、水の蒸発によりワークの表面から気化熱が奪われ、ワークの表面温度が低下し、蒸発が遅くなる。
【０００３】
そこで、特開平６−２７３０３７号（特許文献１）に記載の真空乾燥装置が提案された。これは、真空槽内にヒーターランプを設置し、この輻射熱でワークを加熱するようになっている。また、真空槽には真空解放口を設けている。真空槽内が減圧されると、水の沸点が下がり、ワークに付いた水が突沸し、蒸発する。このとき、水が蒸発することによりワークの表面から気化熱が奪われて、ワークの表面温度を低下させる。そこで、ヒーターランプを点灯して、ワークに熱を与えながら乾燥を行う。
【０００４】
しかしながら、ワークとワークの間等のヒーターランプの光が直接当たらない影の部分は、他の高温部分からの熱伝導によってしか加熱されないため、温度が上がりにくくなっている。
【０００５】
そこで、所定の真空乾燥時間が経過すると、真空ポンプによる吸引を中止し、真空解放バルブを開けて、真空槽内の真空状態を解放し、真空槽外の空気を真空槽内へ送り込む。
【０００６】
真空槽内に保持された空気は、ヒーターにより直接加熱されると共に高温になっている真空槽によって加熱され、真空槽内は高温の空気で満たされる。真空槽内に満たされた高温の空気は、ワークを加熱する。このとき、ワークとワークの間のように、ヒーターの光が直接当たらない影の部分でも、高温になった空気によって加熱される。この後、再度真空ポンプで真空槽内を減圧し、真空乾燥が再開される。
【０００７】
しかしながら、上記の真空乾燥方式では、ワークに付着している水分が乾燥する際に、ウォーターマーク（イオンデポジット）と言われるシミが発生し易いという問題があった。ウォーターマークとは、水滴が乾いたように見えるシミで、ごく薄く盛り上がり、全体的に白く見えるという特徴がある。これは水分に含まれる成分と空気中の酸素とが結合してできた物質が、水分の蒸発後に取り残されてできるものであり、水は面積を減らしながら蒸発する特性があるので、王冠状の縁として残る。
【０００８】
また、大気圧に戻すとき、真空槽内に吸引される空気に含まれる水分が、冷たいワークに触れて結露し、乾燥が遅れたり、ウォーターマークが発生するという問題もあった。
【０００９】
これらの問題に対し、特開平７−４３０６６号（特許文献２）では、真空槽内を減圧状態から大気圧状態に戻すとき、予め加熱しておいた不活性ガス（窒素ガス）を供給する方法を提案している。この方法によれば、酸素が殆ど無い状態で乾燥するので、ウォーターマークの発生を防止できる。また、窒素ガスを予め加熱しておくので、窒素ガスに微量に含まれている水分がワークに触れて結露することもなくなる。
【００１０】
【特許文献１】特開平６−２７３０３７号
【特許文献２】特開平７−４３０６６号
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の真空乾燥装置は、乾燥に長時間掛かる。この原因として以下の理由が考えられる。
▲１▼ 真空槽内の減圧を開始すると、すぐに沸点降下は起こるが、最初のうちの沸点降下は少なく、蒸発速度は遅い。大幅に減圧されて大きく沸点が降下すれば早く突沸が起こり易くなって、蒸発が促進できるのであるが、このような圧に減圧するのに時間が掛かる。
▲２▼ 乾燥を開始したワークには水滴が付着しているが、従来の真空乾燥では、これらの水滴も蒸発させることで乾燥させているので蒸発させるのに時間が掛かる。
▲３▼ 真空槽内が所定の圧に減圧されてしばらくは蒸発が促進されるが、その後は、蒸発によるワークの表面温度の低下、減圧によるヒータの加熱の非効率化などにより、概して減圧時間を長くしても乾燥はあまり進まない。
上記のうち、特に▲３▼の影響が大きく、その対応策として、減圧を停止し、加熱した窒素ガスを供給してワークを暖め、再度減圧して乾燥することを繰り返している。このため繰り返し行う減圧に時間が掛かる。
【００１２】
本発明は、このような事実から考えられたもので、急速に減圧でき、乾燥時間を短縮することができる新しいタイプの真空乾燥装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、ワークを収容する乾燥室と、該乾燥室を加熱する熱源と、上記乾燥室と連通／遮断自在に設けられた真空室と、該真空室を減圧可能な真空ポンプと、上記乾燥室と真空室との間を連通／遮断する弁装置と、を有することを特徴としている。
【００１４】
上記乾燥室に不活性ガスを供給する不活性ガス供給器を設けた構成としたり、上記熱源が上記乾燥室の外側に設けられた熱媒体槽であり、上記真空室が上記熱媒体槽の外側に設けられた構成としたり、上記真空ポンプが切換装置を有し、上記乾燥室と真空室とのいずれかを択一的に減圧可能である構成とすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例について、図面を用いて説明する。
図１は、本発明の真空乾燥装置の構成を模式的に示す図である。同図に示す符号１は乾燥室を示す。図示しないが、乾燥室１は上部に蓋を有し、この蓋を開けて中に乾燥すべきワークを設置することができるようになっている。乾燥室１の周囲と底面とは、熱源としての熱媒体槽２で囲まれている。熱媒体槽２は、ヒーターランプの代わりに用いられるもので、主として伝導熱により乾燥室１全体を加熱し、乾燥を促進させるものである。そのため、乾燥室１の上部を除く周囲と下面を覆って熱の伝導する面積を大きくしている。熱媒体としては、種々の加熱された液体、電熱ヒータ等々を使用することができるが、この実施例では、温水を使用している。水は図示しない加熱器で加熱されて温水となり、熱媒体槽２の図示しない一方から入り、乾燥室１を暖めて低温になった水が図示しない他方から出て加熱器に戻って加熱され、循環する。
【００１６】
熱媒体槽２の外側と下部には、真空室３が設けられており、以上によって、真空乾燥装置の本体は、３層構造となっている。勿論、このような３層構造に限定されるものではなく、乾燥室１、熱媒体槽２及び真空室３をそれぞれ独立して設けてもよい。ただし、このような３層構造にすることよって、熱媒体槽２による加熱効果を向上させ、容積の大きい真空室３を設けても装置全体をコンパクトにすることが可能となる。
【００１７】
乾燥室１と真空室３とは管路４で接続され、管路４の中間には電磁弁５が設けられている。真空室３には、三方弁６を介して真空ポンプ７が接続されている。乾燥室１には管路８，９，１０があり、このうちの管路８は、加熱された不活性ガス（窒素ガス）供給器１１に接続され、管路９は、排気用として大気中に開口している。管路８，９にも図示しないがそれぞれ電磁弁が設けられている。管路１０は、三方弁６を経由して真空ポンプ７に接続されている。三方弁６は、切換装置となっており、真空ポンプ７は、乾燥室１と真空室３のいずれか一方に接続されるようになっている。
【００１８】
装置には、このほか温度調節器、圧力センサ等が使用されるが、これらを含む装置全体は、シーケンサーで制御される。シーケンサーは予めインストールされたプログラムにしたがって各処理を行い、これらの操作は、図示しない操作盤で、オペレータが操作する。
【００１９】
次に、図２のフローチャートを用いて上記真空乾燥装置の作用を説明する。
予め熱媒体槽２に加熱した水を循環させて乾燥室１内を高温にしておき（＃１０１）、乾燥室１内に乾燥しようとする水滴のついたワークをセットする（＃１０３）。管路８，９を開き、加熱された窒素ガスを乾燥室１に送り込み、乾燥室１内の空気（酸素）を排出し、不活性の窒素ガスで充填してワークを暖める。この作業と並行し、或いは、先行して、真空ポンプ６を運転して三方弁６を真空室３側に切り換え、真空室３内を減圧する（＃１０５）。このとき電磁弁５は閉じておく。
【００２０】
真空室３内が予め設定された圧力まで減圧されると、電磁弁５を開き真空室３と乾燥室１とを連通する（＃１０７）。すると、乾燥室１内は急激に減圧され、乾燥室１内には突風が起こる。この突風によりワークに付着している水分がワークから吹き飛ばされて室内空間に飛散し、管路４を通って真空室３内に吸い込まれる。
【００２１】
従来は、減圧によって沸点が低下し、水分が突沸などによって蒸発して気化し、真空ポンプ７に吸引されることで乾燥が行われていた。これに対し、本発明では、急速に減圧されることによって、水分を直接吹き飛ばすようにして取り除くことでも乾燥が行われることになる。水分が気化するのを待って吸引するのに比べて大幅に乾燥時間を短縮できることになる。
【００２２】
また、吹き飛ばされた水分は気化しないまま放出されるので、蒸発潜熱による温度低下も少なくなり、乾燥室１の温度低下を少なくすることができ、加熱負荷も低減できることになる。
さらに、本発明の真空乾燥装置では、乾燥室１が所定の減圧状態に達するまでの時間が短縮されるので、これによっても乾燥時間が短縮される。
【００２３】
乾燥室１と真空室３とを連通することによる急激な減圧が終了した後も、真空ポンプ７は吸引を続けているので、減圧がさらに進み、通常の突沸による蒸発が引き続いて起こり、乾燥が継続して行われる（＃１０９）。このとき、熱媒体槽２からの熱を受けているので、ワークの温度が上昇し、乾燥を促進することになる。また、乾燥室１内は減圧されているが、窒素ガスだけであり、酸素が全く無いか、非常に希薄な状態となっているので、ワークの水と酸素とが反応することがなくなり、ウォーターマークの発生も防止できる。
【００２４】
ワークを乾燥させるには、真空ポンプ７は、乾燥室１だけを減圧すればよく、真空室３を減圧する必要はない。しかし、上記では真空室３も一緒に減圧することになる。真空室３は、乾燥室１と連通したとき、急激に乾燥室１の圧力を降下させることができることが必要で、真空室３の体積を大きくするほど連通したときの水分を吹き飛ばす効果は大きくなり、かつ、乾燥室を減圧状態にする時間を短縮できる。しかし、真空室３の容積を大きくすると、乾燥室１の減圧速度が遅くなり、真空ポンプ７の負荷が増加することになる。また、装置としても大型化してしまう。そこで、本発明の実施例では、両者のバランスから、乾燥室１の体積の１〜３倍程度の体積としている。
【００２５】
それでも、乾燥室１だけを減圧すればよいのに真空室３まで減圧するのは非効率である。そこで、この問題を解消するために、この実施例では、管路１０を設けて、乾燥室１と真空室３との圧力が均衡したら、電磁弁５を閉じ、切換装置としての三方弁６を乾燥室１側に切り換え、乾燥室１だけを真空ポンプ７で吸引する構成にしている。この構成によって、乾燥室１の減圧速度が早くなり、乾燥時間を短縮することができる。
【００２６】
減圧状態が有る程度長時間続くと、乾燥室１内の温度が低下するなどの影響を受けて乾燥速度が低下する。そこで、減圧状態がある程度継続したら、乾燥が終了したが否かを判断し（＃１１１）、終了していない場合は、つぎのようにする。
【００２７】
まず、電磁弁５を閉じ、三方弁６を真空室３側に切り換え真空室３の減圧を続ける。次に、管路８を開き、高温の窒素ガスを乾燥室１内に供給し、乾燥室１の圧力を大気圧まで上げる（＃１１３）。管路９については、必ずしも開ける必要はないが、開ければ乾燥室１内に高温の窒素ガスを大量に通過させることができ、乾燥室１の温度上昇を早くすることができる。ただし、管路９を開ける場合は、乾燥室１内が大気圧以上に達してからにしないと、乾燥室１内に空気が入ってしまうので具合が悪い。
【００２８】
一方、この作業中、真空室３は真空ポンプ７によって減圧され続けている（＃１０５）。真空室３が所望の圧力に達するのを待って、＃１０７に戻り、以後、＃１１０までを、乾燥が終了するまで繰り返す。
【００２９】
以上の実施例において、管路１０は必須ではない。管路１０を設けない場合は、三方弁６も不要となり、代わりに管路４に設けられている電磁弁５と同じ電磁弁を取り付ければよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明の真空乾燥装置は、ワークを収容する乾燥室と、該乾燥室を加熱する熱源と、上記乾燥室と連通／遮断自在に設けられた真空室と、該真空室を減圧可能な真空ポンプと、上記乾燥室と真空室との間を連通／遮断する弁装置と、を有するので、乾燥室を瞬間的に低圧にすることができ、そのときの突風により水分を吹き飛ばして乾燥時間を短縮することができる。
【００３１】
上記乾燥室に不活性ガスを供給する不活性ガス供給器を設ければ、ウォーターマークの発生を防止することができる。
上記熱源が上記乾燥室の外側に設けられた熱媒体槽であり、上記真空室が上記熱媒体槽の外側に設けられた構成とすれば、３層構造となり、装置全体を小型化することができる。
【００３２】
上記真空ポンプが切換装置を有し、上記乾燥室と真空室とのいずれかを択一的に減圧可能である構成とすれば、乾燥室と真空室とを連通した後、乾燥室だけをさらに減圧することができ、乾燥時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空乾燥装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】
本発明の作用を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１ 乾燥室
２ 熱媒体槽（熱源）
３ 真空室
５ 電磁弁（弁装置）
６ 三方弁（切換装置）
７ 真空ポンプ[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a vacuum drying apparatus, and more particularly to a vacuum drying apparatus capable of drying moisture adhering to a work in a short time under vacuum or reduced pressure.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a vacuum drying method has been known as a drying method after washing with water. In the vacuum drying method, the work after cleaning is placed in a vacuum chamber, and the inside of the vacuum chamber is depressurized by a vacuum pump or the like to lower the boiling point of water, thereby evaporating moisture attached to the work. In this method, evaporation heat takes away heat of vaporization from the surface of the work, lowers the surface temperature of the work, and slows down evaporation.
[0003]
Therefore, a vacuum drying apparatus described in JP-A-6-273037 (Patent Document 1) has been proposed. In this method, a heater lamp is installed in a vacuum chamber, and the work is heated by the radiant heat. The vacuum chamber is provided with a vacuum release port. When the pressure in the vacuum chamber is reduced, the boiling point of water decreases, and the water attached to the work bumps and evaporates. At this time, heat of vaporization is taken from the surface of the work due to evaporation of the water, and the surface temperature of the work is lowered. Therefore, the heater lamp is turned on to perform drying while applying heat to the work.
[0004]
However, the shaded portion, such as between workpieces, which is not directly irradiated by the light of the heater lamp, is heated only by heat conduction from other high-temperature portions, so that the temperature does not easily rise.
[0005]
Therefore, when a predetermined vacuum drying time has elapsed, the suction by the vacuum pump is stopped, the vacuum release valve is opened, the vacuum state in the vacuum chamber is released, and air outside the vacuum chamber is sent into the vacuum chamber.
[0006]
The air held in the vacuum chamber is directly heated by the heater and heated by the high-temperature vacuum chamber, and the vacuum chamber is filled with high-temperature air. The hot air filled in the vacuum chamber heats the work. At this time, even between the workpieces, such as a shadow portion where the light of the heater does not directly hit, is heated by the hot air. Thereafter, the pressure inside the vacuum chamber is reduced again by the vacuum pump, and the vacuum drying is restarted.
[0007]
However, the above-mentioned vacuum drying method has a problem that when moisture adhering to the work is dried, a stain called a watermark (ion deposit) is easily generated. Watermarks are spots on which water droplets appear to be dry. This is a substance formed by combining the components contained in the water and oxygen in the air, and is left behind after the evaporation of the water.Water has the property of evaporating while reducing the area, so the crown-shaped Remains as an edge.
[0008]
Further, when returning to the atmospheric pressure, there is also a problem that moisture contained in the air sucked into the vacuum chamber is condensed by touching the cold work, and the drying is delayed or a watermark is generated.
[0009]
To solve these problems, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-43066 (Patent Document 2) discloses a method of supplying a preheated inert gas (nitrogen gas) when returning the inside of a vacuum chamber from a reduced pressure state to an atmospheric pressure state. Has been proposed. According to this method, since drying is performed in a state where there is almost no oxygen, generation of a watermark can be prevented. In addition, since the nitrogen gas is heated in advance, it is possible to prevent the moisture contained in the nitrogen gas in a small amount from coming into contact with the workpiece and forming dew.
[0010]
[Patent Document 1] JP-A-6-273037 [Patent Document 2] JP-A-7-43066
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-mentioned vacuum drying device requires a long time for drying. The following reasons are considered as the cause.
{Circle around (1)} When the depressurization in the vacuum chamber is started, the boiling point drops immediately, but the initial boiling point drop is small and the evaporation rate is slow. If the pressure is greatly reduced and the boiling point drops significantly, bumping is likely to occur quickly and the evaporation can be promoted, but it takes time to reduce the pressure to such a pressure.
{Circle around (2)} Although water droplets adhere to the work that has started drying, in conventional vacuum drying, these water droplets are also dried by being evaporated, so that it takes time to evaporate.
{Circle around (3)} The pressure in the vacuum chamber is reduced to a predetermined pressure, and evaporation is promoted for a while. After that, the temperature of the surface of the work is reduced due to the evaporation and the heating of the heater is inefficient due to the reduced pressure. The drying does not progress much even if the length is increased.
Among the above, the effect of (3) is particularly large, and as a countermeasure, it is repeated to stop depressurization, supply heated nitrogen gas to warm the work, and depressurize again to dry. For this reason, it takes time to repeatedly perform decompression.
[0012]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has as its object to provide a new type of vacuum drying apparatus capable of rapidly reducing pressure and shortening the drying time.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a drying chamber for accommodating a work, a heat source for heating the drying chamber, a vacuum chamber provided so as to be able to communicate / interrupt with the drying chamber, and depressurizing the vacuum chamber. It has a possible vacuum pump and a valve device for communicating / cutting off between the drying chamber and the vacuum chamber.
[0014]
The drying chamber may be provided with an inert gas supply device for supplying an inert gas, or the heat source may be a heating medium tank provided outside the drying chamber, and the vacuum chamber may be outside the heating medium tank. Or the vacuum pump has a switching device, and the pressure in either the drying chamber or the vacuum chamber can be reduced.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of the vacuum drying device of the present invention. Reference numeral 1 shown in FIG. Although not shown, the drying chamber 1 has a lid at the top, and the lid can be opened so that a work to be dried can be set therein. The periphery and the bottom of the drying chamber 1 are surrounded by a heat medium tank 2 as a heat source. The heat medium tank 2 is used instead of a heater lamp, and heats the entire drying chamber 1 mainly by conduction heat to promote drying. Therefore, the area of heat conduction is increased by covering the periphery and the lower surface of the drying chamber 1 except for the upper part. As the heat medium, various kinds of heated liquids, electric heaters, and the like can be used. In this embodiment, hot water is used. The water is heated by a heater (not shown) to become hot water, enters from one side of the heating medium tank 2 (not shown), and the water that has cooled the drying chamber 1 and has become low temperature exits from the other side (not shown) and is returned to the heater and heated. Circulate.
[0016]
A vacuum chamber 3 is provided outside and below the heat medium tank 2, and the main body of the vacuum drying apparatus has a three-layer structure as described above. Of course, the present invention is not limited to such a three-layer structure, and the drying chamber 1, the heating medium tank 2, and the vacuum chamber 3 may be independently provided. However, by adopting such a three-layer structure, the heating effect of the heating medium tank 2 can be improved, and the entire apparatus can be made compact even if the vacuum chamber 3 having a large volume is provided.
[0017]
The drying chamber 1 and the vacuum chamber 3 are connected by a pipe 4, and an electromagnetic valve 5 is provided between the pipes 4. A vacuum pump 7 is connected to the vacuum chamber 3 via a three-way valve 6. The drying chamber 1 has pipes 8, 9, and 10, of which the pipe 8 is connected to a heated inert gas (nitrogen gas) supply device 11, and the pipe 9 is used for exhaust air in the atmosphere. It is open to. Although not shown, the conduits 8 and 9 are also provided with solenoid valves. The pipe 10 is connected to a vacuum pump 7 via a three-way valve 6. The three-way valve 6 is a switching device, and the vacuum pump 7 is connected to one of the drying chamber 1 and the vacuum chamber 3.
[0018]
In addition, a temperature controller, a pressure sensor, and the like are used for the apparatus, and the entire apparatus including these is controlled by a sequencer. The sequencer performs each process according to a program installed in advance, and these operations are performed by an operator using an operation panel (not shown).
[0019]
Next, the operation of the vacuum drying apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG.
Preheated water is circulated through the heating medium tank 2 to keep the inside of the drying chamber 1 at a high temperature (# 101), and a work with water droplets to be dried is set in the drying chamber 1 (# 103). The pipes 8 and 9 are opened, the heated nitrogen gas is sent into the drying chamber 1, the air (oxygen) in the drying chamber 1 is discharged, and the work is warmed by filling with inert nitrogen gas. In parallel with or prior to this operation, the vacuum pump 6 is operated to switch the three-way valve 6 to the vacuum chamber 3 side, and the pressure in the vacuum chamber 3 is reduced (# 105). At this time, the solenoid valve 5 is closed.
[0020]
When the pressure in the vacuum chamber 3 is reduced to a preset pressure, the electromagnetic valve 5 is opened to communicate the vacuum chamber 3 with the drying chamber 1 (# 107). Then, the pressure in the drying chamber 1 is rapidly reduced, and a gust is generated in the drying chamber 1. Due to this gust, moisture adhering to the work is blown off from the work, scattered into the room, and sucked into the vacuum chamber 3 through the pipe 4.
[0021]
Conventionally, the boiling point is reduced by the reduced pressure, and the water is evaporated and vaporized by bumping or the like, and is dried by being sucked by the vacuum pump 7. On the other hand, in the present invention, drying is also performed by removing the water by blowing it off directly by rapidly reducing the pressure. The drying time can be greatly reduced as compared with suctioning after waiting for moisture to evaporate.
[0022]
Further, since the blown-off moisture is released without being vaporized, the temperature drop due to the latent heat of evaporation is reduced, the temperature drop in the drying chamber 1 can be reduced, and the heating load can be reduced.
Further, in the vacuum drying apparatus of the present invention, the time required for the drying chamber 1 to reach the predetermined reduced pressure state is reduced, and thus the drying time is also reduced.
[0023]
Even after the rapid decompression due to the communication between the drying chamber 1 and the vacuum chamber 3 is completed, the vacuum pump 7 continues suction, so that the decompression further proceeds, and normal evaporation due to bumping continues to occur. It is performed continuously (# 109). At this time, since the heat is received from the heat medium tank 2, the temperature of the work rises and drying is promoted. Although the inside of the drying chamber 1 is decompressed, it contains only nitrogen gas and has no oxygen or is very dilute, so that water and oxygen of the work do not react with each other. The generation of marks can also be prevented.
[0024]
In order to dry the work, the vacuum pump 7 only needs to reduce the pressure in the drying chamber 1 and does not need to reduce the pressure in the vacuum chamber 3. However, in the above, the pressure in the vacuum chamber 3 is also reduced. When the vacuum chamber 3 communicates with the drying chamber 1, it is necessary that the pressure in the drying chamber 1 can be rapidly reduced. As the volume of the vacuum chamber 3 increases, the effect of blowing off moisture when communicating with the vacuum chamber 3 increases. In addition, the time during which the drying chamber is kept under reduced pressure can be reduced. However, when the volume of the vacuum chamber 3 is increased, the decompression speed of the drying chamber 1 is reduced, and the load on the vacuum pump 7 is increased. In addition, the size of the apparatus is increased. Therefore, in the embodiment of the present invention, the volume is set to about 1 to 3 times the volume of the drying chamber 1 from the balance between the two.
[0025]
Even so, it is inefficient to reduce the pressure to the vacuum chamber 3 while reducing the pressure only in the drying chamber 1. Therefore, in order to solve this problem, in this embodiment, the conduit 10 is provided, and when the pressures in the drying chamber 1 and the vacuum chamber 3 are balanced, the electromagnetic valve 5 is closed, and the three-way valve 6 as a switching device is set. The configuration is switched to the drying chamber 1 side, and only the drying chamber 1 is sucked by the vacuum pump 7. With this configuration, the decompression speed of the drying chamber 1 is increased, and the drying time can be reduced.
[0026]
If the depressurized state continues for a long period of time, the drying speed is reduced due to the influence of the temperature in the drying chamber 1 being lowered. Therefore, if the decompression state continues to some extent, it is determined whether or not the drying has been completed (# 111). If not, the following is performed.
[0027]
First, the solenoid valve 5 is closed, the three-way valve 6 is switched to the vacuum chamber 3 side, and the pressure in the vacuum chamber 3 is kept reduced. Next, the conduit 8 is opened, high-temperature nitrogen gas is supplied into the drying chamber 1, and the pressure in the drying chamber 1 is increased to the atmospheric pressure (# 113). The pipe 9 is not necessarily opened, but if it is opened, a large amount of high-temperature nitrogen gas can be passed through the drying chamber 1 and the temperature of the drying chamber 1 can be increased quickly. However, when the pipe 9 is opened, air must enter the drying chamber 1 unless the pressure in the drying chamber 1 reaches the atmospheric pressure or higher, which is not good.
[0028]
On the other hand, during this operation, the pressure in the vacuum chamber 3 is continuously reduced by the vacuum pump 7 (# 105). After waiting for the vacuum chamber 3 to reach the desired pressure, the process returns to # 107, and thereafter, the processes up to # 110 are repeated until the drying is completed.
[0029]
In the above embodiment, the conduit 10 is not essential. When the pipe 10 is not provided, the three-way valve 6 is not required, and the same solenoid valve as the solenoid valve 5 provided in the pipe 4 may be attached instead.
[0030]
【The invention's effect】
As described above, the vacuum drying apparatus of the present invention includes a drying chamber for accommodating a workpiece, a heat source for heating the drying chamber, a vacuum chamber provided to be able to communicate with / block from the drying chamber, and a vacuum chamber. And a valve device for communicating / cutting off between the drying chamber and the vacuum chamber, so that the pressure in the drying chamber can be instantaneously reduced to a low pressure. It can be blown off to shorten the drying time.
[0031]
If an inert gas supply device for supplying an inert gas is provided in the drying chamber, generation of a watermark can be prevented.
If the heat source is a heat medium tank provided outside the drying chamber and the vacuum chamber is provided outside the heat medium tank, the heat source becomes a three-layer structure, and the entire apparatus can be reduced in size. it can.
[0032]
If the vacuum pump has a switching device and is configured to be able to selectively depressurize either the drying chamber or the vacuum chamber, after the drying chamber and the vacuum chamber are communicated, only the drying chamber is further moved. The pressure can be reduced, and the drying time can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a vacuum drying device of the present invention.
FIG. 2
5 is a flowchart illustrating the operation of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Drying room 2 Heat medium tank (heat source)
3 vacuum chamber 5 solenoid valve (valve device)
6 Three-way valve (switching device)
7 Vacuum pump
