JP2004070223A - 表示装置およびその作製方法 - Google Patents
表示装置およびその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004070223A JP2004070223A JP2002232846A JP2002232846A JP2004070223A JP 2004070223 A JP2004070223 A JP 2004070223A JP 2002232846 A JP2002232846 A JP 2002232846A JP 2002232846 A JP2002232846 A JP 2002232846A JP 2004070223 A JP2004070223 A JP 2004070223A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tft
- electrode
- display device
- channel
- change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 47
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 35
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 15
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 9
- -1 polyparaphenylene vinylene Polymers 0.000 description 8
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 5
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- YEWTUGLUENRXFN-UHFFFAOYSA-N 3-(4-octylphenyl)-2-thiophen-2-ylthiophene Chemical compound C1=CC(CCCCCCCC)=CC=C1C1=C(C=2SC=CC=2)SC=C1 YEWTUGLUENRXFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CHMILGIDWWDNMF-UHFFFAOYSA-N 3-(4-octylphenyl)thiophene Chemical compound C1=CC(CCCCCCCC)=CC=C1C1=CSC=C1 CHMILGIDWWDNMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UBNBPEQRHOIIMO-UHFFFAOYSA-N 3-cyclohexyl-4-methylthiophene Chemical compound CC1=CSC=C1C1CCCCC1 UBNBPEQRHOIIMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000291 Poly(9,9-dioctylfluorene) Polymers 0.000 description 2
- 229910008065 Si-SiO Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006405 Si—SiO Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 description 1
- BRSRUYVJULRMRQ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylanthracene Chemical class C1=CC=CC=C1C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12 BRSRUYVJULRMRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNILPZLJSRHNPD-UHFFFAOYSA-N 3,4-dicyclohexylthiophene Chemical compound C1CCCCC1C1=CSC=C1C1CCCCC1 LNILPZLJSRHNPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 7-[(z)-3-methyl-4-(4-methyl-5-oxo-2h-furan-2-yl)but-2-enoxy]chromen-2-one Chemical compound C=1C=C2C=CC(=O)OC2=CC=1OC/C=C(/C)CC1OC(=O)C(C)=C1 CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 0.000 description 1
- 102100035767 Adrenocortical dysplasia protein homolog Human genes 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 101100433963 Homo sapiens ACD gene Proteins 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000282 Poly(3-cyclohexylthiophene) Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 1
- 125000005036 alkoxyphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】トランジスタと電気的に接続する電極上に、電子ビーム蒸着法により薄膜を形成するに当たり、薄膜を形成する蒸着材料に電子ビームを照射したときに、当該蒸着材料から放射される放射線が成膜表面に放射される時間を短くするために、成膜速度を制御することを特徴とするものである。実質的には、電子線の電流値を制御して成膜速度を高め、成膜表面に放射線が放射される時間を短くして、薄膜トランジスタの劣化を抑制するものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子(代表的にはトランジスタ)を各画素に設けた表示装置の作製方法に関し、特にエレクトロルミネセンス材料を用いた発光素子と半導体素子を組み合わせて画素を形成するアクティブマトリクス型の表示装置の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、基体上にトランジスタ、具体的には薄膜トランジスタやMOSトランジスタを集積化してなる液晶表示装置やエレクトロルミネセンス(Electro Luminescence)表示装置の開発が進んでいる。これらの表示装置は、いずれもガラス基体上に薄膜形成技術を用いてトランジスタを作り込み、そのトランジスタをマトリクス配列する各画素に配置し、画像表示を行う表示装置として機能させることを特徴としている。
【0003】
上記のような画素構成はトランジスタのような半導体素子を用いていることから、アクティブマトリクス方式と呼ばれている。図2は、典型的なアクティブマトリクス方式のエレクトロルミネセンス表示装置の構造を示している。図2において、201は基体であり、その上に薄膜トランジスタ202が設けられ、薄膜トランジスタ202に発光素子の陽極として機能する第1電極203が接続されている。また、第1電極203上にはそれに対応する位置に開口部を有する絶縁膜204が設けられ、それらを覆うように発光体205及び発光素子の陰極として機能する第2電極206が設けられている。エレクトロルミネセンス表示装置は、発光体205においてキャリア(正孔および電子)が再結合することにより得られる発光を用いて画像表示を行うものである。
【0004】
第1電極203及び第2電極206は、陽極及び陰極と表現され区別している。陽極を形成する電極材料は発光体205に対して正孔を注入しやすい材料を適用し、陰極を形成する電極材料は電子を注入しやすい材料を適用する。例えば、陰極を形成する電極材料としては、仕事関数が小さい(3eV以下)材料が好ましいとされている。代表的にはAl:LiやMg:Ag合金等が用いられている。
【0005】
このとき、第1電極203及び絶縁膜204の形成までは通常のプロセスで作製することが可能であるが、発光体205として有機化合物を用いる場合、成膜方法としては蒸着法、塗布法、インクジェット法若しくは印刷法が用いられている。また、その上の第2電極206の形成には、発光体205の耐熱性が100℃以下と低いため、蒸着法が用いられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、研究開発の過程において作製した図2の構造のエレクトロルミネセンス表示装置において、薄膜トランジスタ(TFTともいう)のしきい値電圧やサブスレッショルド特性に異常が見られることを発見した。そして、その原因を究明した結果、陰極となる金属膜を電子ビーム蒸着法で形成した際に、その前後でしきい値電圧(Vth)の大幅なシフトが見られることを発見した。図3に示す結果は、陰極となる金属膜の形成前後における薄膜トランジスタのドレイン電圧−ゲート電圧特性(以下、Id−Vg特性という。)である。図3から明らかなように、陰極形成前のしきい値電圧に比べて形成後のしきい値電圧は、マイナス側へ4V程度も移動していることが判明した。またさらに、スイッチング特性の急峻性を示すサブスレッショルド係数(S値)も大きくなっている(悪化している)ことが確認された。
【0007】
これは陰極を形成した際に何らかの損傷が薄膜トランジスタに与えられ、その結果しきい値電圧及びS値が大きく変化したと考えられる。本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、薄膜トランジスタが作り込まれた基体上に、その特性異常を招くことなく所望の薄膜を形成するための技術を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記薄膜トランジスタの特性異常の原因として考えられたのが、放射線損傷による影響であり、ゲート絶縁膜に電荷若しくは準位が生成されたことによる特性劣化である。放射線損傷によるトランジスタの動作不良は良く知られた現象であり、一般的には放射線(ガンマ線、中性子、エックス線等)の照射によって生じる酸化膜内正電荷の発生、Si−SiO2界面の界面準位の発生、酸化膜内の中性電子トラップの発生の三つに分類されている。この放射線損傷によるトランジスタの動作不良については、例えば、「株式会社リアライズ社、平成3年7月31日発行、谷口研二他編集、“シリコン熱酸化膜とその界面”第167〜182頁」に詳しく記載されている。
【0009】
また、電子ビーム蒸着法においては、電子ビームの照射により溶融した金属から放射線(典型的には特性X線)が発生することが知られており、本発明者らは、電子ビーム蒸着の際に発生した放射線によって薄膜トランジスタのゲート絶縁膜等に正電荷の発生や界面準位が生成し、それに起因してしきい値電圧のマイナス側へのシフトという特性異常が発生するという結論に達した。
【0010】
本発明はこれらの知見に基づいてなされたものであり、上述したような薄膜トランジスタの特性異常が低減された表示装置、およびその作製方法に関するものである。
【0011】
なお、本発明におけるTFTの特性は、しきい値電圧(Vth)、エス値(S値)、および立ち上がり電圧(Vshift)等のパラメータで表すことができる。しきい値電圧(Vth)は、図8(A)で示すようにゲート電圧(Vg)対(ドレイン電流(Id))1/2の関係において、直線領域を外挿してVg軸と交差する電圧値をその値として求めることができる。
【0012】
また、しきい値電圧(Vth)近傍、またはそれ以下における立ち上がり電圧(Vshift)からしきい値電圧(Vth)に至るまでの領域(サブスレッショルド領域)でのドレイン電流(Id)とゲート電圧(Vg)の関係はTFTの応答性を示すものであり、サブスレッショルド特性と呼ばれている。このサブスレッショルド特性を表す係数としてサブスレッショルド係数(以下、S値と省略して記す)が用いられる。S値は図8(B)で示すようにサブスレッショルド特性を片対数グラフにプロットしたときにドレイン電流が一桁変化するのに要するゲート電圧であって、1×10−12A以上での傾きの最大値として定義される。そしてS値が小さければ小さいほど、TFTの応答速度は速くなり、S値が大きければ大きいほど、TFTの応答速度は遅くなる。
【0013】
なお、立ち上がり電圧(Vshift)は、図8(C)に示すように、ドレイン電流(Id)対ゲート電圧(Vg)のサブスレッショルド特性において、傾きが最大になる点に引かれた接線がId=1×10−12Aの水平線と交差する電圧値として定義される。
【0014】
本発明における発明の構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置において、前記スイッチングTFTはnチャネル型TFTであり、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であり、前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置である。
【0015】
また、本発明の他の構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、前記スイッチングTFTはnチャネル型TFTであり、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であり、前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置である。
【0016】
さらに本発明の別の構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、前記スイッチングTFTおよび、前記駆動TFTはnチャネル型TFTであって、前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置である。
【0017】
さらに本発明の別の構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、前記スイッチングTFTおよび、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置である。
【0018】
また、上記構成において、nチャネル型TFTを用いる場合には、前記nチャネル型TFTの立ち上がり電圧の変化は、0〜−1.5Vであり、pチャネル型TFTを用いる場合には、前記pチャネル型TFTの立ち上がり電圧の変化は、0〜−1.2Vであることを特徴とする表示装置である。
【0019】
さらに、本発明において開示する上記表示装置の作製方法に関する構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、前記駆動TFTと電気的に接続された第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置の作製において、前記第2電極を形成する電子ビーム蒸着法により得られる膜の成膜速度を1nm/sec.以上とし、前記膜の成膜時間を400sec.以下とすることを特徴とする表示装置の作製方法である。
【0020】
また、上記表示装置の作製方法に関する別の構成は、スイッチングTFT、駆動TFT、前記駆動TFTと電気的に接続された第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置の作製において、前記第2電極を電子ビーム蒸着法により形成する際に電子ビームの発生源から発生する電子線による電流値を制御して、前記膜の成膜時間を400sec以下とすることを特徴とする表示装置の作製方法である。
【0021】
なお、上記構成において前記電子線による電流値を800mA以上とすることにより、前記膜の成膜速度を高めることを特徴とする表示装置の作製方法である。
【0022】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態について、図1を用いて説明する。図1(A)に示す画素構成において101はデータ信号線、102はゲート信号線、103は電源線、104はスイッチング用の薄膜トランジスタ(スイッチングTFTという。以下、同じ)、105は電荷保持用のコンデンサ、106は発光素子に電流を供給するための駆動用薄膜トランジスタ(駆動TFTという。以下、同じ)、107は駆動TFTのドレインに電気的に接続する第1電極であり、第1電極107は発光素子の陽極として機能する。なお、ここで発光素子とは、一対の電極(陽極及び陰極)の間に発光体を設けた素子をいう。例えば、本実施の形態においては、発光素子としてエレクトロルミネセンス素子を設ける。
【0023】
また、本実施の形態1においては、スイッチングTFTをnチャネル型TFTで形成し、駆動TFTをpチャネル型TFTで形成することとする。なお、本発明において、スイッチングTFTおよび駆動TFTをnチャネル型TFTで形成したり、スイッチングTFTおよび駆動TFTをpチャネル型TFTで形成することも可能である。
【0024】
このときのA−A’における切断面に相当する図面を図1(B)に示す。図1(B)において、110は基体であり、ガラス基体、石英基体、プラスチック基体その他の透光性基体を用いることができる。基体110の上には公知の半導体プロセスを用いて駆動用TFT106が形成される。また、駆動TFT106に接続されるように形成された第1電極107の端部及び少なくとも駆動TFT及びスイッチングTFTを覆い隠すように、格子状にパターン化された隔壁層108が設けられる。
【0025】
スイッチングTFT104や駆動TFT106のチャネル部を形成する半導体層には多結晶シリコン又は非晶質シリコンが適用されて、ゲート構造等に特段の制約はない。シングルドレインや低濃度ドレイン等公知の技術を適用することができる。図示している薄膜トランジスタの構成はトップゲート構造(具体的にはプレーナ構造)であるが、他の形態としてボトムゲート構造(具体的には逆スタガ構造)とすることも可能である。その場合、半導体層とゲート電極等の配置が反対になるだけである。また当然のことながら、薄膜トランジスタに限らず、単結晶シリコンウエハーにシリコンウェルを用いて形成されたMOS構造のトランジスタを適用しても良い。
【0026】
第1電極107及び隔壁層108の上には発光体111、陰極として機能する第2電極112及びパッシベーション膜113が設けられる。第1電極107、発光体111、第2電極112が重畳する部位が実質的に発光素子となる。
【0027】
この発光体111の構成は公知の構成を用いることができる。第1電極107と第2電極112との間に配設する発光体には、発光層、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層、電子輸送層等が含まれ、これらの層が積層された形態又はこれらの層を形成する材料の一部又は全部が混合された形態をとることができる。具体的に、発光層、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層、電子輸送層等が含まれる。基本的にエレクトロルミネセンス素子は、陽極/発光層/陰極が順に積層された構造を有しており、この構造に加えて、陽極/正孔注入層/発光層/陰極や、陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極等の順に積層した構造を有していても良い。
【0028】
発光体111は典型的には有機化合物を用いて形成されており、その分子数から区分された低分子系有機化合物、中分子系有機化合物、高分子系有機化合物から選ばれた一種又は複数種の層と、電子注入輸送性又は正孔注入輸送性を有する無機化合物から形成される電子注入輸送層又は正孔注入輸送層とを組み合わせて形成しても良い。尚、中分子とは昇華性や溶解性を有しない有機化合物の凝集体(好ましくは、分子数10以下)又は連鎖する分子の長さが5μm以下(好ましくは50nm以下)の有機化合物のことをいう。
【0029】
発光体111の主体となる発光材料は、低分子系有機化合物としてトリス−8−キノリノラトアルミニウム錯体やビス(ベンゾキノリラト)ベリリウム錯体等の金属錯体をはじめ、フェニルアントラセン誘導体、テトラアリールジアミン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体等が適用可能であり、これをホスト物質としてクマリン誘導体、DCM、キナクリドン、ルブレン等が適用され、その他公知の材料を適用することが可能である。高分子系有機化合物としては、ポリパラフェニレンビニレン系、ポリパラフェニレン系、ポリチオフェン系、ポリフルオレン系等があり、ポリ(パラフェニレンビニレン)(poly(p−phenylene vinylene)):(PPV)、ポリ(2,5−ジアルコキシ−1,4−フェニレンビニレン)(poly(2,5−dialkoxy−1,4−phenylene vinylene)):(RO−PPV)、ポリ(2−(2’−エチル−ヘキソキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン)(poly[2−(2’−ethylhexoxy)−5−methoxy−1,4−phenylene vinylene]):(MEH−PPV)、ポリ(2−(ジアルコキシフェニル)−1,4−フェニレンビニレン)(poly[2−(dialkoxyphenyl)−1,4−phenylene vinylene]):(ROPh−PPV)、ポリパラフェニレン(poly[p−phenylene]):(PPP)、ポリ(2,5−ジアルコキシ−1,4−フェニレン)(poly(2,5−dialkoxy−1,4−phenylene)):(RO−PPP)、ポリ(2,5−ジヘキソキシ−1,4−フェニレン)(poly(2,5−dihexoxy−1,4−phenylene))、ポリチオフェン(polythiophene):(PT)、ポリ(3−アルキルチオフェン)(poly(3−alkylthiophene)):(PAT)、ポリ(3−ヘキシルチオフェン)(poly(3−hexylthiophene)):(PHT)、ポリ(3−シクロヘキシルチオフェン)(poly(3−cyclohexylthiophene)):(PCHT)、ポリ(3−シクロヘキシル−4−メチルチオフェン)(poly(3−cyclohexyl−4−methylthiophene)):(PCHMT)、ポリ(3,4−ジシクロヘキシルチオフェン)(poly(3,4−dicyclohexylthiophene)):(PDCHT)、ポリ[3−(4−オクチルフェニル)−チオフェン](poly[3−(4octylphenyl)−thiophene]):(POPT)、ポリ[3−(4−オクチルフェニル)−2,2ビチオフェン](poly[3−(4−octylphenyl)−2,2−bithiophene]):(PTOPT)、ポリフルオレン(polyfluorene):(PF)、ポリ(9,9−ジアルキルフルオレン)(poly(9,9−dialkylfluorene):(PDAF)、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン)(poly(9,9−dioctylfluorene):(PDOF)等が挙げられる。
【0030】
また、電子注入輸送層又は正孔注入輸送層を形成する上で用いられる具体的な無機化合物材料としては、ダイヤモンド状カーボン(DLC)、Si、Ge、CN、及びこれらの酸化物又は窒化物の他、これらにP、B、N等が適宜ドーピングされていても良い。またアルカリ金属又はアルカリ土類金属の、酸化物、窒化物又はフッ化物や、当該金属と少なくともZn、Sn、V、Ru、Sm、Inの化合物又は合金であっても良い。
【0031】
以上に掲げる材料は一例であり、これらを用いて正孔注入輸送層、正孔輸送層、電子注入輸送層、電子輸送層、発光層、電子ブロック層、正孔ブロック層等の機能性の各層を適宜積層することで発光体111を形成することができる。また、これらの各層を合わせた混合層又は混合接合を形成しても良い。エレクトロルミネッセンスには一重項励起状態から基底状態に戻る際の発光(蛍光)と三重項励起状態から基底状態に戻る際の発光(リン光)とがあるが、本発明に係るエレクトロルミネセンス素子はいずれか一方の発光を用いていても良いし、又は両方の発光を用いていても良い。
【0032】
パッシベーション膜113としては、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、ダイヤモンドライクカーボン膜その他の水分や酸素に高いブロッキング性を示す絶縁膜を用いることができる。
【0033】
第2電極112としては、金属成分とアルカリ金属又はアルカリ土類金属、若しくはその両者を含む成分とからなる多成分の合金若しくは化合物を用いる。金属成分としては、Al、Au、Fe、V、Pd等が挙げられ、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の具体例としては、Li(リチウム)、Na(ナトリウム)、K(カリウム)、Rb(ルビジウム)、Cs(セシウム)、Mg(マグネシウム)、Ca(カルシウム)、Sr(ストロンチウム)、Ba(バリウム)等が挙げられる。その他、これら以外にもYb(イッテルビウム)、Lu(ルテチウム)、Nd(ネオジウム)、Tm(ツリウム)等を適用しても良い。第2電極の組成は、上記金属成分にアルカリ金属又はアルカリ土類金属のうち仕事関数が3eV以下のものを0.01〜10重量%含ませた合金若しくは化合物とする。陰極として機能させる目的において、第2電極の厚さは適宜設定すれば良いが、概ね0.01〜1μmの範囲内として、電子ビーム蒸着法で形成すれば良い。
【0034】
ここで、電子ビーム蒸着法により第2電極112を形成するに当たって上記金属成分を含む蒸着材料に高エネルギーの電子ビーム(Electron Beam:EB)を照射すると、電子ビームは蒸着材料に衝突し、これを加熱する。加熱された蒸着材料は、成膜表面に蒸着される。しかし、電子ビームの照射時において、同時に放射線が成膜表面に照射されるため、成膜表面に放射線が照射される時間を短くするために、成膜速度を高め、所望の膜厚を成膜するまでの時間を短くする必要がある。なお、本発明において、成膜表面に放射線が照射される時間は、400sec.以下とすることが好ましい。
【0035】
なお、成膜速度を高めるためには電子ビームの発生源である電子銃から発生する電子線による電流値を制御することにより、成膜表面が放射線による影響を受けない程度に第2電極112を形成することができる。なお、成膜時における成膜速度は蒸着材料の種類によって異なり、例えばAlを主成分とする材料を用いて200nmの膜厚で成膜する場合には、その成膜速度を概略1nm/sec.以下とすればよい。
【0036】
以上のように、本実施の形態に示す作製方法により、電子ビーム蒸着法を用いて金属膜を形成するに当たって、成膜時間を制御することにより放射線の照射による影響を極力抑えることができるので、放射線照射によるトランジスタのしきい値電圧異常やS値異常といった不良の発生を抑制することが可能となる。
【0037】
(実施の形態2)
本実施の形態2では、電子ビーム蒸着法による第2電極形成前後における薄膜トランジスタ(nチャネル型TFT、pチャネル型TFT)の特性変化について、ドレイン電圧が1Vの時と8Vの時でそれぞれ測定した結果を図4に示す。なお、図4では、横軸に第2電極(陰極)の膜厚を示し、縦軸にTFTの立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)を示す。この結果から、第2電極の膜厚が厚くなるにつれて、すなわち、成膜時間が長くなるにつれて立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)が大きくなる様子が確認される。
【0038】
なお、第2の電極形成時における電子ビームの照射時間を短くすることにより、立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)を制御することができる。なお、本発明においては、nチャネル型TFTの場合には、グラフ中の領域aで示される部分、すなわち、立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)が0〜−1.5Vの範囲となるようにし、pチャネル型TFTの場合には、グラフ中の領域bで示される部分、すなわち、立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)が0〜−1.2Vの範囲となるようにして用いる。
【0039】
また、本発明におけるしきい値電圧の変化量(ΔVth)と立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)との関係を図5に示す。なお、この場合において、電子ビームの照射時間が400sec.の時と、800sec.の時に測定した結果をnチャネル型TFT、pチャネル型TFTのそれぞれの場合について示す。また、電子ビーム蒸着法における成膜条件は、加速電圧が−6.5kVであり、成膜速度は1nm/sec.である。なお、成膜速度が1nm/sec.の場合において、電子ビームの発生源である電子銃から発生する電子線による電流値は、800mAである。なお、本発明において、成膜速度をより高めるために、この電流値を800mA以上として実施することができる。
【0040】
この結果からnチャネル型TFTの場合において、立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)を0〜−1.5Vの範囲とする場合には、電子ビームの照射時間が400sec.であれば、しきい値電圧の変化量(ΔVth)を0〜−1.0Vの範囲内とすることができる。また、pチャネル型TFTの場合において、立ち上がり電圧の変化量(ΔVshift)を0〜−1.2Vの範囲とする場合にも、電子ビームの照射時間が400sec.であれば、しきい値電圧の変化量(ΔVth)も0〜−1.7Vの範囲内とすることができる。
【0041】
さらに、本発明におけるしきい値電圧の変化量(ΔVth)と薄膜トランジスタのS値(サブスレッショルド係数)の変化量(ΔS)との関係を図6に示す。
【0042】
なお、図6の場合においても電子ビームの照射時間が400sec.の時と、800sec.の時に測定した結果をnチャネル型TFT、pチャネル型TFTのそれぞれの場合について示す。
【0043】
この結果からnチャネル型TFTの場合において、しきい値電圧の変化量(ΔVth)を0〜−1.0Vの範囲とする場合には、電子ビームの照射時間が400sec.以内であれば、S値の変化量(ΔS)を0〜0.1(V/dec.)の範囲内とすることができる。また、pチャネル型TFTの場合において、しきい値電圧の変化量(ΔVth)を0〜−1.7Vの範囲とする場合には、電子ビームの照射時間が400sec.以内であれば、S値の変化量(ΔS)を0〜0.1(V/dec.)の範囲内とすることができる。
【0044】
すなわち、上記に示した特性値が確保できる範囲において第2電極を電子ビーム蒸着法により形成した場合でも、nチャネル型、及びpチャネル型TFT共にスイッチング素子として充分に機能させることができる。
【0045】
図1で示す構成において、電子ビーム蒸着法で形成される発光素子の第2電極112は、陰極又は陽極として機能すれば良く、そのシート抵抗が数百Ω/□以下のものであれば良い。金属材料としてAl等を用いる場合、その厚さは0.1μm以下、好ましくは0.01〜0.05μmとすれば良い。つまり、本発明において、第2電極の厚さを薄膜化して電子ビーム蒸着の時間を短くすることで薄膜トランジスタの劣化を抑制することが可能となる。すなわち、蒸着材料から放射される放射線に薄膜トランジスタが晒される時間を短縮して、その劣化をしないように制御することが可能となる。
【0046】
勿論、0.1μm以下に薄膜化した第2電極上に低抵抗化を図る目的で、抵抗加熱蒸着法やスパッタリング法等放射線の影響の無い成膜法で補助的な電極を形成しても良い。
【0047】
以上のように、本実施の形態に示す作製方法により、電子ビーム蒸着法を用いて金属膜を形成するにあたって、放射線の影響を抑えて成膜することにより、放射線照射によるトランジスタのしきい値電圧異常やS値異常といった不良の発生を抑制することが可能となる。
【0048】
(実施の形態3)
実施の形態1と2に示した表示装置は、いずれもエレクトロルミネセンス表示装置を例示しているが、本発明は基体上にトランジスタを形成し、その後電子ビーム蒸着法で所定の薄膜を形成する製造工程全般に適用できる。例えば、電子ビーム蒸着法を用いる液晶表示装置、フィールドエミッション表示装置、その他の表示装置の製造工程に適用しても良い。
【0049】
(実施の形態4)
本発明の表示装置を表示部に用いた電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機又は電子書籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)等が挙げられる。それらの電子機器の具体例を図7に示す。
【0050】
図7(A)はテレビであり、筐体2001、支持台2002、表示部2003、スピーカー部2004、ビデオ入力端子2005等を含む。本発明は表示部2003に適用することができる。なお、パソコン用、TV放送受信用、広告表示用等、全ての情報表示用のテレビが含まれる。
【0051】
図7(B)はデジタルカメラであり、本体2101、表示部2102、受像部2103、操作キー2104、外部接続ポート2105、シャッター2106等を含む。本発明は、表示部2102に適用することができる。
【0052】
図7(C)はノート型パーソナルコンピュータであり、本体2201、筐体2202、表示部2203、キーボード2204、外部接続ポート2205、ポインティングマウス2206等を含む。本発明は、表示部2203に適用することができる。
【0053】
図7(D)はモバイルコンピュータであり、本体2301、表示部2302、スイッチ2303、操作キー2304、赤外線ポート2305等を含む。本発明は、表示部2302に適用することができる。
【0054】
図7(E)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(具体的にはDVD再生装置)であり、本体2401、筐体2402、表示部A2403、表示部B2404、記録媒体(DVD等)読み込み部2405、操作キー2406、スピーカー部2407等を含む。表示部A2403は主として画像情報を表示し、表示部B2404は主として文字情報を表示するが、本発明は表示部A、B2403、2404に適用することができる。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器等も含まれる。
【0055】
図7(F)はゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)であり、本体2501、表示部2502、アーム部2503を含む。本発明は、表示部2502に適用することができる。
【0056】
図7(G)はビデオカメラであり、本体2601、表示部2602、筐体2603、外部接続ポート2604、リモコン受信部2605、受像部2606、バッテリー2607、音声入力部2608、操作キー2609、接眼部2610等を含む。本発明は、表示部2602に適用することができる。
【0057】
図7(H)は携帯電話であり、本体2701、筐体2702、表示部2703、音声入力部2704、音声出力部2705、操作キー2706、外部接続ポート2707、アンテナ2708等を含む。本発明は、表示部2703に適用することができる。なお、表示部2703は黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費電流を抑えることができる。
【0058】
以上の様に、本発明を実施して得た表示装置は、あらゆる電子機器の表示部として用いても良い。なお、本実施の形態の電子機器には、実施の形態1〜3に示したいずれの構成を有した表示装置を用いても良い。
【0059】
【発明の効果】
本発明により、電子ビーム蒸着法により特に金属膜を形成するにあたって、被処理基体に形成されたトランジスタにガンマ線、中性子、エックス線その他の放射線が照射される不具合が解決され、放射線の照射によって生じる酸化膜内正電荷の発生、Si−SiO2界面の界面準位の発生、酸化膜内の中性電子トラップの発生に伴うトランジスタの動作不良を防止することができる。そして、しきい値電圧の異常やS値の異常を防ぐことにより信頼性の高い表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】表示装置の画素構成を示す上面図及び断面図。
【図2】表示装置の画素構成を示す断面図。
【図3】電子ビーム蒸着前後におけるTFTのID−VG特性。
【図4】第2電極の膜厚とTFTの立ち上がり電圧との関係を示すグラフ。
【図5】TFTのしきい値電圧と立ち上がり電圧との関係を示すグラフ。
【図6】TFTのしきい値電圧と立ち上がり電圧との関係を示すグラフ。
【図7】電子機器の一例を示す図。
【図8】しきい値電圧、S値、立ち上がり電圧の定義を説明する図。
【符号の説明】
101 データ信号線
102 ゲート信号線
103 電源線
104 スイッチング用TFT
105 コンデンサ
106 駆動TFT
107 第1電極
108 隔壁層
111 発光体
112 第2電極
113 パッシベーション膜
Claims (9)
- スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置において、
前記スイッチングTFTはnチャネル型TFTであり、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、
前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、
前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、
前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であり、
前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置。 - スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、
前記スイッチングTFTはnチャネル型TFTであり、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、
前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、
前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、
前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、
前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であり、
前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置。 - スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、
前記スイッチングTFTおよび、前記駆動TFTはnチャネル型TFTであって、
前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、
前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記nチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1Vの範囲内であり、
前記nチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置。 - スイッチングTFT、駆動TFT、第1電極、発光体、および第2電極を有する表示装置において、
前記スイッチングTFTおよび、前記駆動TFTはpチャネル型TFTであって、
前記第1電極は前記スイッチングTFTと電気的に接続されており、
前記第1電極上に前記発光体を介して形成される前記第2電極の成膜前後における前記pチャネル型TFTのしきい値電圧の変化は0〜−1.7Vの範囲内であり、
前記pチャネル型TFTのS値の変化は0〜0.1V/dec.の範囲内であることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記nチャネル型TFTの立ち上がり電圧の変化は0〜−1.5Vであることを特徴とする表示装置。 - 請求項1、請求項2、または請求項4のいずれか一において、
前記pチャネル型TFTの立ち上がり電圧の変化は0〜−1.2Vであることを特徴とする表示装置。 - スイッチングTFT、駆動TFT、前記駆動TFTと電気的に接続された第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置の作製において、
前記第2電極を形成する電子ビーム蒸着法により得られる膜の成膜速度を1nm/sec.以上とし、前記膜の成膜時間を400sec.以下とすることを特徴とする表示装置の作製方法。 - スイッチングTFT、駆動TFT、前記駆動TFTと電気的に接続された第1電極、および発光体を間に挟んで形成された第2電極を有する表示装置の作製において、
前記第2電極を電子ビーム蒸着法により形成する際に電子ビームの発生源から発生する電子線による電流値を制御して、前記膜の成膜時間を400sec.以下とすることを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項8において、
前記電子線による電流値を800mA以上とすることを特徴とする表示装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002232846A JP2004070223A (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | 表示装置およびその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002232846A JP2004070223A (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | 表示装置およびその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004070223A true JP2004070223A (ja) | 2004-03-04 |
JP2004070223A5 JP2004070223A5 (ja) | 2005-10-20 |
Family
ID=32018126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002232846A Withdrawn JP2004070223A (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | 表示装置およびその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004070223A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005268715A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 有機半導体単結晶を用いた電界効果デバイスおよびその製造方法 |
JP2009238607A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
-
2002
- 2002-08-09 JP JP2002232846A patent/JP2004070223A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005268715A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 有機半導体単結晶を用いた電界効果デバイスおよびその製造方法 |
JP2009238607A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7488986B2 (en) | Light emitting device | |
US6956240B2 (en) | Light emitting device | |
US7880378B2 (en) | Luminous device | |
CN100470873C (zh) | 发光器件 | |
KR100891268B1 (ko) | 발광 디바이스 및 그 제조 방법 | |
US20050133783A1 (en) | Light emitting device and manufacturing method thereof | |
JP4493905B2 (ja) | 発光装置及びその作製方法 | |
JP4451054B2 (ja) | 発光装置及びその作製方法 | |
JP3708916B2 (ja) | 発光装置 | |
JP3825395B2 (ja) | 発光装置および電気器具 | |
JP2003203783A (ja) | 発光装置 | |
JP2004061751A (ja) | 表示装置の作製方法 | |
JP2004070223A (ja) | 表示装置およびその作製方法 | |
JP2004178981A (ja) | 発光装置 | |
JP4260440B2 (ja) | 発光装置及び電気器具 | |
JP2004079452A6 (ja) | 発光装置 | |
JP4244126B2 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
JP3691475B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2004152542A (ja) | 発光装置 | |
JP2011187459A (ja) | 発光装置 | |
JP2004146198A (ja) | 発光装置 | |
JP2004127592A6 (ja) | 発光装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050627 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050627 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081201 |