JP2004067309A - Storage/discharge device of thin plate-shaped material - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は薄板状材料をカセットへ収納またはカセットから排出する技術分野に属する。
【0002】
【従来技術】
従来は、一般的に、カセットの供給が行われるカセット供給ポジションと、薄板状材料をカセットに収納または排出する薄板状材料収納(排出)ポジションと、カセットの回収が行なわれるカセット回収ポジションとは1つのポジションであって独立していない。すなわち、薄板状材料収納(排出)ポジションにカセットを供給すると、そのポジションで薄板状材料の収納または排出が行われ、それが済むと薄板状材料収納(排出)ポジションからカセットが回収される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の技術においては、カセットの供給と回収が行なわれている間は、薄板状材料の収納または排出を行うことができない。カセットの供給と回収に要する時間が長ければそれだけ薄板状材料の収納または排出のタクトタイム(生産単位時間)が長くなる。
【0004】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、薄板状材料の収納または排出のタクトタイムが短い薄板状材料の収納装置と薄板状材料の排出装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題は下記の本発明によって解決される。すなわち、
本発明の請求項1に係る薄板状材料の収納装置は、カセットの供給が行われるカセット供給ポジションと、薄板状材料の前記カセットへの収納が行なわれる薄板状材料収納ポジションと、前記カセットの回収が行なわれるカセット回収ポジションとが独立して配置され、前記カセット供給ポジションと前記薄板状材料収納ポジションと前記カセット回収ポジションとの間において前記カセットの移動を行うカセット移動手段と、前記薄板状材料収納ポジションにおいて前記薄板状材料の収納を行う薄板状材料収納手段とを具えるようにしたものである。
【0006】
本発明によれば、薄板状材料のカセットへの収納が行なわれている間にカセット回収ポジションのカセットの回収を済ませることができる。薄板状材料のカセットへの収納が済むと、カセット移動手段は空いているカセット回収ポジションに薄板状材料収納ポジションのカセットを移動し、その移動により空きができた薄板状材料収納ポジションにカセット供給ポジションのカセットを移動する。薄板状材料収納手段は、直ちに、薄板状材料のカセットへの収納を開始する。その最中に、空きができたカセット供給ポジションへのカセットの供給を済ませることができる。すなわちカセットが移動している間だけ薄板状材料のカセットへの収納が停止するに過ぎない。また2つのカセットの移動は同時に行うことができる。したがって、薄板状材料の収納におけるタクトタイムが短い薄板状材料の収納装置が提供される。
【0007】
また本発明の請求項2に係る薄板状材料の排出装置は、カセットの供給が行われるカセット供給ポジションと、薄板状材料の前記カセットからの排出が行なわれる薄板状材料排出ポジションと、前記カセットの回収が行なわれるカセット回収ポジションとが独立して配置され、前記カセット供給ポジションと前記薄板状材料排出ポジションと前記カセット回収ポジションとの間において前記カセットの移動を行うカセット移動手段と、前記薄板状材料排出ポジションにおいて前記薄板状材料の排出を行う薄板状材料排出手段とを具えるようにしたものである。
【0008】
本発明によれば、薄板状材料のカセットからの排出が行なわれている間にカセット回収ポジションのカセットの回収を済ませることができる。薄板状材料のカセットからの排出が済むと、カセット移動手段は空いているカセット回収ポジションに薄板状材料排出ポジションのカセットを移動し、その移動により空きができた薄板状材料排出ポジションにカセット供給ポジションのカセットを移動する。薄板状材料排出手段は、直ちに、薄板状材料のカセットからの排出を開始する。その最中に、空きができたカセット供給ポジションへのカセットの供給を済ませることができる。すなわちカセットが移動している間だけ薄板状材料のカセットへの排出が停止するに過ぎない。また2つのカセットの移動は同時に行うことができる。したがって、薄板状材料の排出におけるタクトタイムが短い薄板状材料の排出装置が提供される。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について実施の形態を説明する。まず本発明の薄板状材料の収納装置について図1を参照して説明する。図1は本発明の薄板状材料の収納装置の構成と動作の一例を示す説明図である。図1において、1はカセット供給ポジション、2はガラス基板収納ポジション、3はカセット回収ポジション、4はカセット移動部、5はカセット昇降部、6はガラス基板(薄板状材料)移動部、101は空カセット、102は収納中カセット、103は実カセットである。
【0010】
図1は上面図であり、図1に示すように、カセット供給ポジション1とガラス基板収納ポジション2とカセット回収ポジション3は隣接して一列に配置されている。
カセット供給ポジション1は、カセットの供給が行われるポジションである。ここに供給されるカセットは、通常、ガラス基板が収納されていない空カセット101である。ガラス基板は薄板材料の一例である。
【0011】
ガラス基板収納ポジション2は、ガラス基板のカセットへの収納が行なわれるポジションである。したがって、ここに置かれているカセットは収納中カセット102である。
カセット回収ポジション3は、ガラス基板を収納したカセットがここに移送された後に回収が行なわれるポジションである。ここから回収されるカセットは、通常、薄板状材料であるガラス基板の収納が済んでいる実カセット103である。
【0012】
カセット移動部4は、カセット供給ポジション1への供給が行なわれた空カセット101を、カセット供給ポジション1からガラス基板収納ポジション2へと移動する。ガラス基板収納ポジション2へと移動した空カセット101はガラス基板の収納が行なわれる収納中カセット102となる。そしてガラス基板の収納が完了すると、収納中カセット102はガラス基板を収納した実カセット103となる。カセット移動部4は、その実カセット103をカセット回収ポジション3へと移動する。カセット回収ポジション3の実カセット103はカセット回収ポジション3から回収される。
【0013】
このようにカセット移動部4は、カセット供給ポジション1のカセットをカセット供給ポジション1からガラス基板収納ポジション2へと移動し、ガラス基板収納ポジション2のカセットをカセット回収ポジション3へと移動する。カセット移動部4によるこれら2つの移動は、独立した移動として個別に行うことができる。勿論、移動先のポジションが空いていることが前提条件となる。
【0014】
また、これらのカセット移動部4による2つの移動は、関連した移動として連動して行うことができる。たとえば、2つのカセットを同時に移動し、ガラス基板収納ポジション2に空き領域を生成しながらカセット供給ポジション1のカセットがその空き領域に進入するように移動することができる。勿論、カセット回収ポジション3が空いていることが前提条件となる。
【0015】
カセット昇降部5は、ガラス基板供給部(図示せず)におけるガラス基板の供給位置と、カセットにおけるガラス基板の収納位置とを一致させるために、カセットを昇降させる部分である。カセットは複数枚のガラス基板を収納することができ、カセットにはそのための複数の収納場所が設けられている。個々の収納場所は位置において異なっている。そこで、カセット昇降部5は、カセットを昇降させることにより、空いている収納場所の位置とガラス基板の供給位置とが一致するようにする。
【0016】
ガラス基板移動部6は、カセットにガラス基板を収納するためにガラス基板の移動を行う部分である。
【0017】
図1において、矢印「→」はカセットの移動方向を示しており、矢印「⇒」はガラス基板の供給方向を示している。この流れに沿って本発明の薄板材料供給装置の動作について総括する。空カセット101は、カセット供給ポジション1の前方からカセット供給ポジション1へ供給が行われる。この供給は、先に供給された収納中カセット102へのガラス基板の収納が行なわれている間に行なわれる。
【0018】
先に供給された収納中カセット102へのガラス基板の収納が完了すると、そのカセット(実カセット103)がカセット回収ポジション3に移動する。その移動が行なわれた後またはその移動と同時に、カセット供給ポジション1から空カセット101がガラス基板収納ポジション2に移動する。そのカセット(収納中カセット102)にガラス基板の収納が行なわれている間にカセット回収ポジション3の実カセット103が回収される。
【0019】
次に、本発明の薄板状材料の排出装置について図2を参照して説明する。図2は本発明の薄板状材料の排出装置の構成と動作の一例を示す説明図である。図2において、21はカセット供給ポジション、22はガラス基板収納ポジション、23はカセット回収ポジション、24はカセット移動部、25はカセット昇降部、26はガラス基板(薄板状材料)移動部、201は実カセット、202は排出中カセット、203は空カセットである。
【0020】
図2は上面図であり、図2に示すように、カセット供給ポジション21とガラス基板排出ポジション22とカセット回収ポジション23は隣接して一列に配置されている。
カセット供給ポジション1は、カセットの供給が行われるポジションである。ここに供給されるカセットは、通常、ガラス基板が収納されている実カセット201である。ガラス基板は薄板材料の一例である。
【0021】
ガラス基板排出ポジション22は、ガラス基板のカセットからの排出が行なわれるポジションである。したがって、ここに置かれているカセットは排出中カセット202である。
カセット回収ポジション23は、ガラス基板を排出したカセットがここに移送された後に回収が行なわれるポジションである。ここから回収されるカセットは、通常、薄板状材料であるガラス基板の排出が済んでいる空カセット203である。
【0022】
カセット移動部24は、カセット供給ポジション21への供給が行なわれた実カセット201を、カセット供給ポジション21からガラス基板排出ポジション22へと移動する。ガラス基板排出ポジション22へと移動した実カセット201はガラス基板の排出が行なわれる排出中カセット202となる。そしてガラス基板の排出が完了すると、排出中カセット202はガラス基板を排出した空カセット203となる。カセット移動部24は、その空カセット203をカセット回収ポジション23へと移動する。カセット回収ポジション23の空カセット203はカセット回収ポジション23から回収される。
【0023】
このようにカセット移動部24は、カセット供給ポジション21のカセットをカセット供給ポジション21からガラス基板排出ポジション22へと移動し、ガラス基板排出ポジション22のカセットをカセット回収ポジション23へと移動する。カセット移動部24によるこれら2つの移動は、独立した移動として個別に行うことができる。勿論、移動先のポジションが空いていることが前提条件となる。
【0024】
また、これらのカセット移動部24による2つの移動は、関連した移動として連動して行うことができる。たとえば、2つのカセットを同時に移動し、ガラス基板排出ポジション22に空き領域を生成しながらカセット供給ポジション21のカセットがその空き領域に進入するように移動することができる。勿論、カセット回収ポジション23が空いていることが前提条件となる。
【0025】
カセット昇降部25は、ガラス基板排出部(図示せず)におけるガラス基板の排出位置と、カセットにおけるガラス基板の排出位置とを一致させるために、カセットを昇降させる部分である。カセットは複数枚のガラス基板を収納することができ、カセットにはそのための複数の収納場所が設けられている。個々の収納場所によって排出位置は異なっている。そこで、カセット昇降部5は、カセットを昇降させることにより、ガラス基板が収納されている収納場所に対応する排出位置とガラス基板排出部における排出位置とが一致するようにする。
【0026】
ガラス基板移動部26は、カセットからガラス基板を排出するためにガラス基板の移動を行う部分である。
【0027】
図1において、矢印「→」はカセットの移動方向を示しており、矢印「⇒」はガラス基板の供給方向を示している。この流れに沿って本発明の薄板材料供給装置の動作について総括する。実カセット201は、カセット供給ポジション21の前方からカセット供給ポジション21へ供給が行われる。この供給は、先に供給された排出中カセット202へのガラス基板の排出が行なわれている間に行なわれる。
【0028】
先に供給された排出中カセット202へのガラス基板の排出が完了すると、そのカセット(空カセット203)がカセット回収ポジション23に移動する。その移動が行なわれた後またはその移動と同時に、カセット供給ポジション21から空カセット201がガラス基板排出ポジション22に移動する。そのカセット(排出中カセット202)にガラス基板の排出が行なわれている間にカセット回収ポジション23の空カセット203が回収される。
【0029】
【発明の効果】
以上のとおりであるから、本発明の請求項1に係る薄板状材料の収納装置によれば、薄板状材料の収納におけるタクトタイムを短くすることができる。
また本発明の請求項2に係る薄板状材料の排出装置によれば、薄板状材料の排出におけるタクトタイムを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄板状材料の収納装置における構成と動作の一例を示す説明図である。
【図2】本発明の薄板状材料の排出装置における構成と動作の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
1,21 カセット供給ポジション
2,22 ガラス基板収納ポジション
3,23 カセット回収ポジション
4,24 カセット移動部
5,25 カセット昇降部
6,26 ガラス基板(薄板状材料)移動部
22 ガラス基板排出ポジション
101,203 空カセット
102 収納中カセット
202 排出中カセット
103,201 実カセット[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of storing and discharging a sheet-like material in a cassette.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in general, a cassette supply position where a cassette is supplied, a thin plate material storage (discharge) position for storing or discharging a thin plate material in a cassette, and a cassette collection position where a cassette is collected are one. One position, not independent. That is, when the cassette is supplied to the sheet material storing (discharging) position, the sheet material is stored or discharged at that position, and after that, the cassette is collected from the sheet material storing (discharging) position.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional technique, it is impossible to store or discharge the sheet-like material while the cassette is being supplied and collected. The longer the time required for supplying and collecting the cassette, the longer the tact time (production unit time) for storing or discharging the sheet-like material.
[0004]
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a thin plate material storage device and a thin plate material discharge device that have a short tact time for storing or discharging the thin plate material. It is in.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The above object is achieved by the present invention described below. That is,
According to the first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for storing a thin sheet material, a cassette supply position for supplying a cassette, a thin sheet material storing position for storing a thin sheet material in the cassette, and a collection of the cassette. A cassette moving means for moving the cassette between the cassette supply position, the thin plate material storage position, and the cassette recovery position, and a cassette recovery position in which the thin plate material storage is performed. A sheet material storing means for storing the sheet material in the position.
[0006]
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, collection | recovery of the cassette of a cassette collection | recovery position can be completed during storage of a thin plate-shaped material in a cassette. When the sheet-like material is stored in the cassette, the cassette moving means moves the cassette in the sheet-like material storage position to an empty cassette collection position, and moves the cassette supply position to the sheet-like material storage position that has been vacated by the movement. Move the cassette. The sheet material storage means immediately starts storing the sheet material in the cassette. During that time, the supply of the cassette to the empty cassette supply position can be completed. That is, the storage of the sheet material in the cassette is stopped only while the cassette is moving. The movement of the two cassettes can be performed simultaneously. Therefore, there is provided an apparatus for storing a thin plate material having a short tact time in storing the thin plate material.
[0007]
Further, the sheet material discharging apparatus according to claim 2 of the present invention includes a cassette supply position where a cassette is supplied, a sheet material discharging position where a sheet material is discharged from the cassette, and a sheet discharging position where the sheet material is discharged from the cassette. Cassette moving means for independently disposing a cassette collection position where the collection is performed, and moving the cassette between the cassette supply position, the sheet material discharge position, and the cassette collection position; and the sheet material. A sheet material discharging means for discharging the sheet material at a discharge position.
[0008]
According to the present invention, the collection of the cassette at the cassette collection position can be completed while the sheet-like material is being discharged from the cassette. When the sheet-like material is discharged from the cassette, the cassette moving means moves the cassette at the sheet-like material discharge position to an empty cassette collection position, and moves the cassette supply position to the sheet-like material discharge position that has been made empty. Move the cassette. The sheet material discharging means immediately starts discharging the sheet material from the cassette. During that time, the supply of the cassette to the empty cassette supply position can be completed. That is, the discharge of the sheet-like material to the cassette only stops while the cassette is moving. The movement of the two cassettes can be performed simultaneously. Therefore, there is provided an apparatus for discharging a thin plate material having a short tact time in discharging the thin plate material.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described. First, an apparatus for storing a thin plate material according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an explanatory view showing an example of the configuration and operation of the thin plate-shaped material storage device of the present invention. In FIG. 1, 1 is a cassette supply position, 2 is a glass substrate storage position, 3 is a cassette recovery position, 4 is a cassette moving section, 5 is a cassette elevating section, 6 is a glass substrate (thin sheet material) moving section, and 101 is empty. The cassette, 102 is a stored cassette, and 103 is an actual cassette.
[0010]
FIG. 1 is a top view, and as shown in FIG. 1, a cassette supply position 1, a glass substrate storage position 2, and a cassette recovery position 3 are arranged adjacently in a line.
The cassette supply position 1 is a position where a cassette is supplied. The cassette supplied here is usually an empty cassette 101 in which no glass substrate is stored. A glass substrate is an example of a thin plate material.
[0011]
The glass substrate storage position 2 is a position where the glass substrate is stored in the cassette. Therefore, the cassette placed here is the cassette 102 being stored.
The cassette collection position 3 is a position where collection is performed after the cassette storing the glass substrates is transferred to the cassette. The cassette recovered from this is usually the
[0012]
The cassette moving section 4 moves the empty cassette 101 supplied to the cassette supply position 1 from the cassette supply position 1 to the glass substrate storage position 2. The empty cassette 101 moved to the glass substrate storage position 2 becomes the storing cassette 102 in which glass substrates are stored. When the storage of the glass substrate is completed, the storing cassette 102 becomes the
[0013]
As described above, the cassette moving unit 4 moves the cassette at the cassette supply position 1 from the cassette supply position 1 to the glass substrate storage position 2 and moves the cassette at the glass substrate storage position 2 to the cassette collection position 3. These two movements by the cassette moving unit 4 can be performed individually as independent movements. Of course, it is a precondition that the destination position is empty.
[0014]
Further, these two movements by the cassette moving unit 4 can be performed in conjunction with each other as related movements. For example, it is possible to move two cassettes at the same time and create a vacant area in the glass substrate storage position 2 while moving the cassette at the cassette supply position 1 into the vacant area. Of course, a precondition is that the cassette collection position 3 is empty.
[0015]
The cassette elevating unit 5 is a unit for elevating and lowering the cassette in order to match the glass substrate supply position in the glass substrate supply unit (not shown) with the glass substrate storage position in the cassette. The cassette can store a plurality of glass substrates, and the cassette is provided with a plurality of storage locations for that. Individual storage locations differ in location. Therefore, the cassette lifting / lowering unit 5 raises / lowers the cassette so that the position of the empty storage space and the supply position of the glass substrate coincide with each other.
[0016]
The glass substrate moving unit 6 is a part that moves the glass substrate in order to store the glass substrate in the cassette.
[0017]
In FIG. 1, an arrow “→” indicates the moving direction of the cassette, and an arrow “⇒” indicates the supply direction of the glass substrate. The operation of the sheet material supply apparatus of the present invention will be summarized along this flow. The empty cassette 101 is supplied to the cassette supply position 1 from the front of the cassette supply position 1. This supply is performed while the glass substrate is being stored in the previously supplied cassette 102 during storage.
[0018]
When the storage of the glass substrate in the previously supplied cassette 102 during storage is completed, the cassette (actual cassette 103) moves to the cassette collection position 3. After or simultaneously with the movement, the empty cassette 101 moves from the cassette supply position 1 to the glass substrate storage position 2. While the glass substrate is being stored in the cassette (the cassette 102 being stored), the
[0019]
Next, the sheet-like material discharging device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is an explanatory view showing an example of the configuration and operation of the sheet-like material discharging device of the present invention. 2, reference numeral 21 denotes a cassette supply position, 22 denotes a glass substrate storage position, 23 denotes a cassette collection position, 24 denotes a cassette moving unit, 25 denotes a cassette elevating unit, 26 denotes a glass substrate (thin sheet material) moving unit, and 201 denotes an actual unit. A cassette 202 is a discharging cassette, and 203 is an empty cassette.
[0020]
FIG. 2 is a top view. As shown in FIG. 2, the cassette supply position 21, the glass substrate discharge position 22, and the cassette collection position 23 are adjacently arranged in a line.
The cassette supply position 1 is a position where a cassette is supplied. The cassette supplied here is usually the actual cassette 201 containing glass substrates. A glass substrate is an example of a thin plate material.
[0021]
The glass substrate discharge position 22 is a position where the glass substrate is discharged from the cassette. Therefore, the cassette placed here is the discharging cassette 202.
The cassette collection position 23 is a position where collection is performed after the cassette from which the glass substrate has been discharged is transferred to the cassette. The cassette recovered from this is usually the
[0022]
The cassette moving unit 24 moves the actual cassette 201 supplied to the cassette supply position 21 from the cassette supply position 21 to the glass substrate discharge position 22. The actual cassette 201 moved to the glass substrate discharging position 22 becomes the discharging cassette 202 for discharging the glass substrate. When the discharge of the glass substrate is completed, the discharging cassette 202 becomes the
[0023]
As described above, the cassette moving unit 24 moves the cassette at the cassette supply position 21 from the cassette supply position 21 to the glass substrate discharge position 22 and moves the cassette at the glass substrate discharge position 22 to the cassette collection position 23. These two movements by the cassette moving unit 24 can be performed individually as independent movements. Of course, it is a precondition that the destination position is empty.
[0024]
The two movements by the cassette moving unit 24 can be performed in conjunction with each other as related movements. For example, it is possible to move two cassettes at the same time and create a free space in the glass substrate discharge position 22 while moving the cassette in the cassette supply position 21 into the free space. Of course, the precondition is that the cassette collection position 23 is empty.
[0025]
The cassette elevating unit 25 is a unit that raises and lowers the cassette in order to match the glass substrate discharge position in the glass substrate discharge unit (not shown) with the glass substrate discharge position in the cassette. The cassette can store a plurality of glass substrates, and the cassette is provided with a plurality of storage locations for that. The discharge position differs depending on the individual storage location. Therefore, the cassette elevating unit 5 raises and lowers the cassette so that the discharge position corresponding to the storage location where the glass substrate is stored and the discharge position in the glass substrate discharge unit match.
[0026]
The glass substrate moving unit 26 is a part that moves the glass substrate to discharge the glass substrate from the cassette.
[0027]
In FIG. 1, an arrow “→” indicates the moving direction of the cassette, and an arrow “⇒” indicates the supply direction of the glass substrate. The operation of the sheet material supply apparatus of the present invention will be summarized along this flow. The actual cassette 201 is supplied to the cassette supply position 21 from the front of the cassette supply position 21. This supply is performed while the glass substrate is being discharged to the discharging cassette 202 supplied earlier.
[0028]
When the discharge of the glass substrate to the previously supplied discharging cassette 202 is completed, the cassette (empty cassette 203) moves to the cassette collecting position 23. After or simultaneously with the movement, the empty cassette 201 moves from the cassette supply position 21 to the glass substrate discharge position 22. While the glass substrate is being discharged to the cassette (discharge cassette 202), the
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the thin plate material storage device according to claim 1 of the present invention, the tact time in storing the thin plate material can be shortened.
Further, according to the thin plate material discharging device according to the second aspect of the present invention, the tact time in discharging the thin plate material can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of the configuration and operation of a thin plate material storage device of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view showing an example of the configuration and operation of the sheet-like material discharging device of the present invention.
[Explanation of symbols]
1, 21 Cassette supply position 2, 22 Glass substrate storage position 3, 23 Cassette collection position 4, 24 Cassette moving part 5, 25 Cassette elevating part 6, 26 Glass substrate (thin sheet material) moving part 22 Glass
Claims (2)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11349105A (en) * | 1998-06-10 | 1999-12-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Article process device |
JP2002167038A (en) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Board transfer device |
-
2002
- 2002-08-06 JP JP2002228182A patent/JP2004067309A/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11349105A (en) * | 1998-06-10 | 1999-12-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Article process device |
JP2002167038A (en) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Board transfer device |
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
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