JP2004065492A - 物質供給装置の防災設備 - Google Patents
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Abstract
【課題】防護囲壁内で物質の漏れを検出して供給路を遮断し、漏れた物質を防護囲壁内から強制排出して触媒処理することにより、防護囲壁内での危険な物質による火災が未然に防止できる，即ち有効な防災設備が得られる物質供給装置の防災設備を得る。
【解決手段】防護囲壁６内の物質貯蔵タンク１から自然発火性や禁水性の物質を半導体製造装置２等に供給するための物質供給装置の防護囲壁６内で、前記物質の漏れを検出すると、前記物質の供給路３を遮断した後、前記漏れた物質を防護囲壁６内から強制排出して触媒処理するようにしてなる。
【選択図】 図１
【解決手段】防護囲壁６内の物質貯蔵タンク１から自然発火性や禁水性の物質を半導体製造装置２等に供給するための物質供給装置の防護囲壁６内で、前記物質の漏れを検出すると、前記物質の供給路３を遮断した後、前記漏れた物質を防護囲壁６内から強制排出して触媒処理するようにしてなる。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、自然発火性物質及び禁水性物質，中でもシラン系物質を半導体製造装置等に供給するための物質供給装置の防災設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の物質供給装置の防災設備を図２について説明する。図２は設備全体を示す概略図である。
【０００３】
図２において、１はシラン系物質を貯蔵する物質貯蔵タンク、２は半導体製造装置、３は物質貯蔵タンク１と半導体製造装置２とを結ぶ配管、４は配管３に設けたポンプ、５は配管３に配設した電磁バルブ、６は物質貯蔵タンク１，配管３，ポンプ４，電磁バルブ５などを囲む防護囲壁で、これにより危険なシラン系物質の貯蔵部分を隔離して安全な物質供給装置を構成している。さらに、７は消火剤を放射する消火設備で、火災感知センサー７ａ，消火剤貯蔵タンク７ｂ，放出ヘッド７ｃ，制御盤７ｄなどからなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、この種の物質供給装置の防災設備としては、前記したように消火設備７が付いているのであるが、このように消火設備７が付いていてもシラン系物質を原因とする防護囲壁６内の火災に対しては、かかる消火設備７の放出ヘッド７ｃから放射する効果的な消火剤がないので、実際には消火設備７で消火できずに防護囲壁６内での電磁バルブ５の操作等によりシラン系物質の漏洩を遮断して火が完全に消えるまであの手この手で物質貯蔵タンク１を守りながら待つというのが現状で、未だに有効な消火方法，即ち有効な防災設備が存在していない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る物質供給装置の防災設備はかかる点に鑑みてなされたもので、防護囲壁内で物質の漏れを検出すると、この物質の供給路を遮断した後、漏れた物質を防護囲壁内から強制排出して触媒処理することにより、防護囲壁内での危険な物質による火災が未然に防止できる，即ち有効な防災設備が得られる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施の形態を図１について説明する。図１は設備全体を示す概略図で、図中前記した従来のものと同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０００７】
図１において、８はガス検知器、９はブロワー、１０は触媒処理装置、１１は制御盤で、ガス検知器８からガス漏れ信号が入ると触媒処理装置１０を駆動してブロワー９から防護囲壁６内のシラン系物質を強制排出して燃焼させる。
【０００８】
今、防護囲壁６内でシラン系物質が漏れて，空気より軽いシラン系物質が上昇すると、ガス検知器８がこれを感知して制御盤１１にガス漏れ信号を送る。制御盤１１ではガス漏れを確認すると、各電磁バルブ５を閉じて配管３を遮断した後，触媒処理装置１０を駆動する。触媒処理装置１０の駆動により防護囲壁６内の漏洩シラン系物質がブロワー９により強制排出され，触媒処理装置１０内で燃焼されて触媒処理される。
【０００９】
このように防護囲壁６内に漏れたシラン系物質はブロワー９により強制排出されて触媒処理装置１０により触媒処理されるので、防護囲壁６内の漏洩シラン系物質による火災の危険性がなくなると共に配管３からの新たなシラン系物質の漏洩の心配もない。
【００１０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば防護囲壁内で物質の漏れを検出すると、この物質の供給路を遮断した後、漏れた物質を防護囲壁内から強制排出して触媒処理するので、防護囲壁内での危険な物質による火災が未然に防止できる，即ち有効な防災設備が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す設備全体の概略図である。
【図２】従来の設備全体を示す概略図である。
【符号の説明】
１ 物質貯蔵タンク
２ 半導体製造装置
３ 配管
４ ポンプ
５ 電磁バルブ
６ 防護囲壁
８ ガス検知器
９ ブロワー
１０ 触媒処理装置
１１ 制御盤
【発明の属する技術分野】
この発明は、自然発火性物質及び禁水性物質，中でもシラン系物質を半導体製造装置等に供給するための物質供給装置の防災設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の物質供給装置の防災設備を図２について説明する。図２は設備全体を示す概略図である。
【０００３】
図２において、１はシラン系物質を貯蔵する物質貯蔵タンク、２は半導体製造装置、３は物質貯蔵タンク１と半導体製造装置２とを結ぶ配管、４は配管３に設けたポンプ、５は配管３に配設した電磁バルブ、６は物質貯蔵タンク１，配管３，ポンプ４，電磁バルブ５などを囲む防護囲壁で、これにより危険なシラン系物質の貯蔵部分を隔離して安全な物質供給装置を構成している。さらに、７は消火剤を放射する消火設備で、火災感知センサー７ａ，消火剤貯蔵タンク７ｂ，放出ヘッド７ｃ，制御盤７ｄなどからなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、この種の物質供給装置の防災設備としては、前記したように消火設備７が付いているのであるが、このように消火設備７が付いていてもシラン系物質を原因とする防護囲壁６内の火災に対しては、かかる消火設備７の放出ヘッド７ｃから放射する効果的な消火剤がないので、実際には消火設備７で消火できずに防護囲壁６内での電磁バルブ５の操作等によりシラン系物質の漏洩を遮断して火が完全に消えるまであの手この手で物質貯蔵タンク１を守りながら待つというのが現状で、未だに有効な消火方法，即ち有効な防災設備が存在していない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る物質供給装置の防災設備はかかる点に鑑みてなされたもので、防護囲壁内で物質の漏れを検出すると、この物質の供給路を遮断した後、漏れた物質を防護囲壁内から強制排出して触媒処理することにより、防護囲壁内での危険な物質による火災が未然に防止できる，即ち有効な防災設備が得られる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施の形態を図１について説明する。図１は設備全体を示す概略図で、図中前記した従来のものと同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
【０００７】
図１において、８はガス検知器、９はブロワー、１０は触媒処理装置、１１は制御盤で、ガス検知器８からガス漏れ信号が入ると触媒処理装置１０を駆動してブロワー９から防護囲壁６内のシラン系物質を強制排出して燃焼させる。
【０００８】
今、防護囲壁６内でシラン系物質が漏れて，空気より軽いシラン系物質が上昇すると、ガス検知器８がこれを感知して制御盤１１にガス漏れ信号を送る。制御盤１１ではガス漏れを確認すると、各電磁バルブ５を閉じて配管３を遮断した後，触媒処理装置１０を駆動する。触媒処理装置１０の駆動により防護囲壁６内の漏洩シラン系物質がブロワー９により強制排出され，触媒処理装置１０内で燃焼されて触媒処理される。
【０００９】
このように防護囲壁６内に漏れたシラン系物質はブロワー９により強制排出されて触媒処理装置１０により触媒処理されるので、防護囲壁６内の漏洩シラン系物質による火災の危険性がなくなると共に配管３からの新たなシラン系物質の漏洩の心配もない。
【００１０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば防護囲壁内で物質の漏れを検出すると、この物質の供給路を遮断した後、漏れた物質を防護囲壁内から強制排出して触媒処理するので、防護囲壁内での危険な物質による火災が未然に防止できる，即ち有効な防災設備が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す設備全体の概略図である。
【図２】従来の設備全体を示す概略図である。
【符号の説明】
１ 物質貯蔵タンク
２ 半導体製造装置
３ 配管
４ ポンプ
５ 電磁バルブ
６ 防護囲壁
８ ガス検知器
９ ブロワー
１０ 触媒処理装置
１１ 制御盤
Claims (1)
- 防護囲壁内の物質貯蔵タンクから自然発火性や禁水性の物質を半導体製造装置等に供給するための物質供給装置の前記防護囲壁内で、前記物質の漏れを検出すると、前記物質の供給路を遮断した後、前記漏れた物質を前記防護囲壁内から強制排出して触媒処理するようにしたことを特徴とする物質供給装置の防災設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002228225A JP2004065492A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 物質供給装置の防災設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002228225A JP2004065492A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 物質供給装置の防災設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004065492A true JP2004065492A (ja) | 2004-03-04 |
Family
ID=32014969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002228225A Pending JP2004065492A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 物質供給装置の防災設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004065492A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008040251A1 (de) | 2008-02-22 | 2009-08-27 | Hyundai Motor Co. | Brennstoffzellenstapel eines Brennstoffzellenfahrzeugs |
-
2002
- 2002-08-06 JP JP2002228225A patent/JP2004065492A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008040251A1 (de) | 2008-02-22 | 2009-08-27 | Hyundai Motor Co. | Brennstoffzellenstapel eines Brennstoffzellenfahrzeugs |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Effective date: 20050712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070116 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070612 |