JP2004063186A

JP2004063186A - ガス放電パネルの製造方法

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Publication number: JP2004063186A
Application number: JP2002217866A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Sasaki; 佐々木　良樹; Hiroyuki Kado; 加道　博行; Katsuki Nishinaka; 西中　勝喜; Masafumi Okawa; 大河　政文; Kazuya Hasegawa; 長谷川　和也
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-07-26
Filing date: 2002-07-26
Publication date: 2004-02-26

Abstract

【課題】ガス放電パネル内の不純物ガスを効果的に除去することができ、ガス放電パネルの異常放電の発生を低減する。
【解決手段】対向配置した一組の基板の周縁部を封着部材で封着してパネルとする封着工程と、そのパネル内を排気する排気ベーキング工程とを有し、排気ベーキング工程では、封着部材の軟化点温度よりも高い第１の温度Ｔ_１に昇温した後封着部材の軟化点温度よりも低い第２の温度Ｔ_２に降温するとともにパネル内に酸素を含むガスを充填し、その後、第２の温度Ｔ_２以下の温度でパネル内を排気する。
【選択図】　図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テレビ等の表示装置に使用されるガス放電パネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガス放電パネルは、前面基板と背面基板とを対向配置し、その周縁部を封着部材によって封着するとともに内部に希ガスを封入して構成されている。前面基板上には平行配置された２つの電極からなる表示電極が複数形成され、その表示電極を覆うように誘電体層が形成され、さらに誘電体層上に保護層が形成されている。また、背面基板上には表示電極に垂直な方向に複数のアドレス電極が形成され、アドレス電極を覆うように絶縁性材料からなる下地層が形成されている。下地層上にはアドレス電極の間に位置するように隔壁が形成され、隔壁間の下地層上には蛍光体層が形成されている。
【０００３】
このようなガス放電パネルは、前面基板および背面基板にそれぞれ表示電極やアドレス電極などの所定の構成部材を形成した後、前面基板と背面基板とを封着してパネルを構成する封着工程、パネルを加熱するとともにパネル内を排気する排気ベーキング工程およびパネル内に放電用のガスを封入するガス封入工程を行うことにより製造される。
【０００４】
前面基板と背面基板との封着に使用する封着部材ははじめペースト状であり、非晶質性の低融点ガラスからなる粉状のフリットに溶剤と樹脂成分を含む液体を混ぜてペースト状にしたものである。封着工程では、背面基板の周縁部にペースト状の封着部材を塗布し、１１０℃程度で乾燥させることにより封着部材中の溶剤を除去した後、３６０℃程度に加熱することにより封着部材中の樹脂成分を除去する。次に、前面基板と背面基板とを対向配置して封着温度（４５０℃程度）に加熱することにより、封着部材を溶融して前面基板と背面基板とを封着する。このようにしてパネルが構成され封着工程が終了する。
【０００５】
封着工程の後の排気ベーキング工程では、パネルを排気温度（３５０℃程度）に加熱するとともにパネル内を真空排気し、次のガス封入工程においてパネル内に放電用のガスをパネル内に封入することによりガス放電パネルが得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようにして得たガス放電パネルでは使用中に異常発光現象が生じたり、あるいは長時間同じ画像パターンを表示点灯するとその周辺に異常発光現象が生じる、いわゆる焼き付き現象などが生じるという問題を有することがわかった。
【０００７】
本発明者らはこの問題について鋭意検討を重ねた結果、パネル内に残留する水分や一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ_２）などの不純物ガスが影響することがわかった。これらの不純物ガスを除去する工程の１つが排気ベーキング工程であり、排気ベーキング工程でのパネルのベーキング温度（排気温度）は３５０℃程度までしか上げることができない。これは、一般的に封着部材として使用している材料が非晶質性の低融点ガラスを主成分とするもので、その軟化点温度が３７０℃前後であるためである。すなわち、排気ベーキング工程において封着部材の軟化点温度以上にパネルを加熱すると、軟化した封着部材が真空排気している間にパネル内部に引き込まれてパネル内部を排気しにくくしたり、リークして排気ができなくなるからである。
【０００８】
一方、排気ベーキング工程の前の封着工程ではパネルを４５０℃程度まで昇温するため、４５０℃付近までに多くの水分、ＣＯあるいはＣＯ_２などの不純物ガスが発生することになるが、封着工程での降温時にはこれらの不純物ガスはパネルの封着とともにパネル内に閉じ込められる。このように封着工程においてパネル内に閉じこめられた不純物ガスのうち、３５０℃より高い温度で放出される不純物ガスは、排気ベーキング工程での３５０℃程度の排気温度では放出されずパネル内に残留することになる。このようにパネル内に残留した不純物ガスはガス放電パネルの点灯時の放電エネルギーによってガス放電パネル内に放出され一部は不点灯個所へ移動し再び吸着する。これらの繰り返しによって異常放電が続くことになる。
【０００９】
本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、ガス放電パネル内の不純物ガスを効果的に除去することができ、ガス放電パネルの異常放電の発生を低減することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のガス放電パネルの製造方法は、対向配置した一組の基板の周縁部を封着部材で封着してパネルとする封着工程と、そのパネル内を排気する排気ベーキング工程とを有し、前記排気ベーキング工程では、封着部材の軟化点温度よりも高い第１の温度に昇温した後封着部材の軟化点温度よりも低い第２の温度に降温するとともにパネル内に酸素を含むガスを充填し、その後、前記第２の温度以下の温度でパネル内を排気するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１２】
図１は本発明の一実施の形態におけるガス放電パネルを示す断面図である。図１に示すように、ガス放電パネルでは、ガラス製の前面基板１上に平行に配列された一対の電極からなる表示電極２を複数設けており、表示電極２を覆うように前面基板１上に誘電体層３を形成し、さらに誘電体層３の上に保護層４を形成している。
【００１３】
一方、前面基板１と対向して配置されているガラス製の背面基板５上には、表示電極２と直交する方向にアドレス電極６を形成している。そして、アドレス電極６を覆うように背面基板５上に絶縁性材料からなる下地層７を形成しており、下地層７上にはアドレス電極６の間に位置するように隔壁８を形成している。そして、隔壁８に挟まれた各空間内に、赤色、緑色および青色の蛍光体層９を順次並べて形成している。また、背面基板５の外面には、貫通孔１０を通じてガス放電パネルの内部空間とつながるように排気およびガス封入のためのガラス材料からなる管１１が封着部材１２によって固着されている。
【００１４】
前面基板１と背面基板５とはその周縁部が封着部材１２によって封着され、前面基板１と背面基板５との間に形成された放電空間１３にはネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の放電ガスが封入されている。放電により発生する真空紫外線によって蛍光体層９が励起され、Ｒ、Ｇ、Ｂの可視光を前面基板１側から発することによりカラー表示を行っている。
【００１５】
次に、本実施の形態によるガス放電パネルの製造方法について説明する。
【００１６】
まず、前面基板１上に表示電極２、誘電体層３および保護層４を形成し、背面基板５上にアドレス電極６、下地層７、隔壁８および蛍光体層９を形成する。その後の封着工程では、粉体化した低融点ガラスに有機溶剤を加えてペースト化した封着部材（封着用ペースト）１２を、背面基板５の周縁部の所定の位置に印刷やディスペンサー等の方法で塗布し乾燥させた後、その背面基板５と前面基板１とを前面基板１に対して背面基板５が上側に位置するように配置するとともに、背面基板５の外面に管１１を配置し、その管１１の周囲に封着用ペーストを塗布する。次に、前面基板１、背面基板５および管１１の所定部分を加圧しながら封着温度（４５０℃程度）まで加熱して封着用ペースト中の低融点ガラスを溶融させることにより、封着部材１２で前面基板１および背面基板５の周縁部を封着すると同時に管１１を背面基板５に固着する。このようにして封着工程が終了し、前面基板１と背面基板５とを封着して構成したパネルが得られる。
【００１７】
次に、封着工程の後に行う排気ベーキング工程について図２〜図４を用いて説明する。
【００１８】
図２は排気ベーキング工程において使用する装置の概略構成図であり、パネル１４を装置にセットした状態を示している。パネル１４はベーキング炉１５内に設置され管１１は切換装置１６を介して排気装置１７、洗浄ガスボンベ１８および放電ガスボンベ１９に接続されており、ベーキング炉１５には加熱手段２０が設けられている。切換装置１６は排気装置１７、洗浄ガスボンベ１８および放電ガスボンベ１９のいずれかとパネル１４とを接続するための装置である。洗浄ガスボンベ１８には酸素を含むガスが入っており、放電ガスボンベ１９にはネオン、キセノンなどの放電ガスが入っている。また、図３は、排気ベーキング工程におけるベーキング炉１５の温度特性図であり、横軸は時間を表し、縦軸はベーキング炉１５内の温度を表している。
【００１９】
まず、封着し終わったパネル１４を図２に示すようにベーキング炉１５内に設置するとともに管１１を排気装置１７、洗浄ガスボンベ１８および放電ガスボンベ１９に接続する。そして、図３に示すように、常温から封着部材１２の軟化点温度よりも高い温度Ｔ_１（第１の温度）まで上昇させて所定時間保持した後、封着部材１２の軟化点温度よりも低い温度Ｔ_２（第２の温度）まで下げる第１のステップ２１と、温度Ｔ_２を所定時間保持した後に常温まで下げる第２のステップ２２とから構成される温度特性にしたがってパネル１４のベーキングを行う。ここで、第１のステップ２１においては洗浄ガスボンベ１８からパネル１４内に酸素を含むガスを充填し、第２のステップ２２においては排気装置１７を用いてパネル１４内を排気する。すなわち、対向配置した一組の基板である前面基板１と背面基板５の周縁部を封着部材１２で封着してパネル１４とする封着工程と、そのパネル１４内を排気する排気ベーキング工程とを有し、排気ベーキング工程では、封着部材１２の軟化点温度よりも高い第１の温度Ｔ_１に昇温した後封着部材１２の軟化点温度よりも低い第２の温度Ｔ_２に降温するとともにパネル１４内に酸素を含むガスを充填し、その後、第２の温度Ｔ_２以下の温度でパネル１４内を排気する。
【００２０】
第１のステップ２１では、封着部材１２の軟化点温度よりも高い温度Ｔ_１まで昇温してパネル１４を加熱しており、温度Ｔ_１を高く設定することによりパネル１４内部の構成部材から多くの不純物ガスを離脱させることができる。温度Ｔ_１が高いほど構成部材から離脱する不純物ガスが多くなるため温度Ｔ_１はできるだけ高いほうがよいが、温度Ｔ_１をあまり高くすると蛍光体の劣化や他の構成部材の軟化や変形につながるので、温度Ｔ_１はパネルの構成部材に影響を与えないようにできるだけ高い温度に設定することが好ましい。また、パネル１４内に酸素を含むガスを充填することにより、パネル１４内に残留する有機物を効率良く燃焼させ、離脱しやすい不純物ガスに変えることができる。
【００２１】
また、第１のステップ２１では、温度が封着部材１２の軟化点温度より高くなるので封着部材１２が軟化することになるが、パネル１４の内部と外部との圧力差を小さくすれば前述した封着部材１２の引き込みなどのような現象が発生することはない。すなわち、パネル内に充填する酸素を含むガスの量は、封着部材１２の引き込みなどの現象が発生しないように適宜設定すればよい。なお、パネル１４内に酸素を含むガスを充填する際、その充填の前にパネル１４内を排気することになるが、パネル１４内の排気は、パネル１４を昇温する前に行ってもよいし、パネル１４を昇温し始めてから温度が封着部材１２の軟化点温度に達するまでの間に行ってもよい。
【００２２】
第２のステップ２２では、パネル１４内を排気することにより第１のステップ２１で離脱した不純物ガスなどを排出しパネル１４内を真空排気している。温度Ｔ_２については、排気中に封着部材１２の引き込みなどが発生しないように封着部材１２の軟化点温度よりも低い温度に設定すればよいが、封着部材１２の引き込みなどの発生をより確実に防止するために温度Ｔ_２を封着部材１２の軟化点温度よりも１０〜３０℃程度低い温度に設定するのが好ましい。
【００２３】
このように、排気ベーキング工程において、パネル１４の内部に酸素を含むガスを充填して封着部材１２の軟化点温度よりも高い温度に昇温した後、パネル内部を排気しているので、パネル内部の不純物ガスを効果的にパネル外部へ排出することができ、パネル内部に残留する不純物ガスを極めて少なくすることができる。このため、異常放電現象や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を抑制することができる。
【００２４】
排気ベーキング工程の後、ネオンやキセノンからなる放電ガスを放電ガスボンベ１９から所定の圧力だけパネル１４内に導入し管１１を封じ切ることによりガス放電パネルが得られる。
【００２５】
上記の説明では第１のステップ２１において酸素を含むガスをパネル１４内に充填したが、酸素を含むガスがパネル１４内を流れるようにしてもよい。この場合、図４に示すように例えばパネル１４のコーナー部の１個所に管１１を設けるとともにその対角の位置に別の管１１を設け、一方の管１１に排気装置１７および放電ガスボンベ１９を接続し、他方の管１１に洗浄ガスボンベ１８を接続する。そして、洗浄ガスボンベ１８から酸素を含むガスをパネル１４内に導入しながら排気装置１７を用いて排出することによって実施することができる。
【００２６】
このように、酸素を含むガスをパネル１４内に充填するか、あるいは流すようにするとともにパネル１４を第１の温度Ｔ_１まで昇温した後第２の温度Ｔ_２に降温し、その後第２の温度Ｔ_２以下の温度でパネル１４内を排気することにより、従来封着工程で発生してパネル内に残留し排気ベーキング工程でパネルの外部に排出されなかった不純物ガスをも効果的に除去することができ、異常放電や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を大幅に抑制することができる。
【００２７】
次に、本発明の別の実施の形態について、封着工程および排気ベーキング工程におけるベーキング炉の温度特性図である図５を用いて説明する。
【００２８】
放電電極２等を形成した前面基板１とアドレス電極６や封着部材１２等を形成した背面基板５とを、前面基板１に対して背面基板５が上側に位置するように配置し、背面基板５の外面に管１１を配置し、その管１１の周囲に封着用ペーストを塗布する。管１１は背面基板５の対角の位置に２つ設け、図４と同様に、一方の管１１に排気装置１７および放電ガスボンベ１９を接続し、他方の管１１に洗浄ガスボンベ１８を接続する。そして図５に示すように、常温から封着部材１２の軟化点温度よりも高い封着温度（４５０℃程度）に上昇させて所定時間保持した後に封着部材１２の軟化点温度よりも低い第２の温度Ｔ_２に降温する第１のステップ２１と、第２の温度Ｔ_２を所定時間保持した後に常温まで降温する第２のステップ２２から構成される温度特性にしたがってパネルを加熱する。ここで、第１のステップ２１においては、洗浄ガスボンベ１８からパネル１４内に酸素を含むガスを導入しながら排気装置１７を用いて排出することにより、酸素を含むガスがパネル１４内を流れるようにしている。また、第２のステップ２２においては排気装置１７を用いてパネル１４内を排気する。
【００２９】
第１のステップ２１において、パネル１４を封着温度に上昇させると封着部材１２が軟化しパネル１４が封着されるので、封着された後にパネル１４内に酸素を含むガスを流すようにする。このように、パネル１４を封着し、封着温度を所定時間保持した後封着部材１２の軟化点温度よりも低い第２の温度Ｔ_２に降温するとともに酸素を含むガスがパネル１４内を流れるようにしているので、従来封着工程で発生してパネル内に残留し排気ベーキング工程でパネルの外部に排出されなかった不純物ガスをも効果的に除去することができる。
【００３０】
次に第２のステップ２２では、温度Ｔ_２で所定時間保持した後降温するとともにパネル１４内を排気しており、パネル１４内の不純物ガスが排出される。パネル１４内を十分排気するためには温度が高い方がよいが、排気中に封着部材１２の引き込みなどが発生しないようにするため温度Ｔ_２を封着部材１２の軟化点温度よりも１０〜３０℃程度低い温度に設定することが好ましい。
【００３１】
以上のように図５に示した実施の形態では、パネル１４を封着する封着工程に引き続いて常温まで温度を低下させることなくパネル１４内を排気する排気ベーキング工程を行っているので工程を短縮することができる。さらに、前述したように、従来封着工程で発生してパネル内に残留し排気ベーキング工程でパネルの外部に排出されなかった不純物ガスをも効果的に除去することができ、異常放電や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を大幅に抑制することができる。なお、酸素を含むガスがパネル１４内を流れるようにするかわりに、パネル１４内に酸素を含むガスを充填した場合でも同様の効果を得ることができる。
【００３２】
以上では、封着部材として非晶質の低融点ガラスを用いた場合について説明したが、以下では結晶化ガラスからなる封着部材を用いた場合について、排気ベーキング工程におけるベーキング炉の温度特性図である図６を用いて説明する。
【００３３】
封着部材１２として結晶化ガラスを用いる場合、封着部材１２の軟化点温度よりも高い封着温度（４５０℃程度）に加熱して所定時間保持すると封着部材１２は結晶化する。こうして結晶化した封着部材１２は融点が非常に高くなり、５００℃程度まで加熱しても再度溶融することはない。したがって、結晶化ガラスを用いた封着部材１２で封着することにより構成したパネルを、封着温度を超えて５００℃程度まで加熱しても、封着部材１２が溶融することはない。ここで、結晶化ガラスを用いた封着部材１２の軟化点温度とは、結晶化する前の状態における軟化点温度をいう。
【００３４】
まず図２に示すように、結晶化ガラスからなる封着部材１２を用いて封着したパネル１４を、ベーキング炉１５内に設置するとともに管１１を排気装置１７、洗浄ガスボンベ１８および放電ガスボンベ１９に接続する。そして、排気ベーキング工程では図６に示すように、常温から封着部材１２の軟化点温度よりも高い温度Ｔ_３まで昇温した後に所定時間保持する第１のステップ２１と、その後、温度Ｔ_３を所定時間保持した後に常温まで降温する第２のステップ２２とから構成される温度特性にしたがってパネル１４のベーキングを行う。ここで、第１のステップ２１においては排気装置１７を用いてパネル１４内を排気した後、洗浄ガスボンベ１８からパネル１４内に酸素を含むガスを充填し、第２のステップ２２においては排気装置１７を用いてパネル１４内を排気する。
【００３５】
本実施の形態では、封着部材１２が一度結晶化するとその融点はかなり高くなるので、温度Ｔ_３はパネルの構成部材に影響を与えない限り、より高い温度に設定することが好ましく、封着温度より高い温度（４７０℃程度）に設定することができる。このように高い温度Ｔ_３に昇温するとともにパネル１４内に酸素を含むガスを充填し、その後排気しているので、従来封着工程で発生してパネル内に残留し排気ベーキング工程でパネルの外部に排出されなかった不純物ガスをも効果的に除去することができ、異常放電や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を大幅に抑制することができる。
【００３６】
ここではパネル１４内に酸素を含むガスを充填し排気する過程を１回実施しているが、第１のステップ２１において、パネル１４内に酸素を含むガスを充填し排気する過程を複数回行った後に第２のステップ２２において排気をしながら降温してもよい。また、第２のステップ２２に入って直ちに降温するようにしてもよい。すなわち、対向配置した一組の基板である前面基板１と背面基板５の周縁部を結晶化ガラスを用いた封着部材１２で封着してパネル１４とする封着工程と、そのパネル１４内を排気する排気ベーキング工程とを有し、この排気ベーキング工程では、封着部材１２の軟化点温度よりも高い温度に昇温しその後降温するとともに、パネル１４内に酸素を含むガスを充填して排気する過程を少なくとも１回行うようにする。これにより、従来封着工程で発生してパネル内に残留し排気ベーキング工程でパネルの外部に排出されなかった不純物ガスをも効果的に除去することができ、異常放電や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を大幅に抑制することができる。また、パネル１４内に酸素を含むガスを充填するかわりに、パネル１４内に酸素を含むガスを流すようにしても同様の効果を得ることができる。
【００３７】
また、封着工程と排気ベーキング工程との間においてパネルの温度を常温まで低下させなくてもよい。すなわち、封着温度に昇温してパネルを封着し、その後さらに封着温度を所定時間保持した後降温するとともに、パネル１４内に酸素を含むガスを充填して排気する過程を少なくとも１回行うようにしてもよい。この場合においても、異常放電や長時間点灯後の焼き付き現象の発生を大幅に抑制することができる。また、パネル１４内に酸素を含むガスを充填するかわりに、パネル１４内に酸素を含むガスを流すようにしても同様の効果を得ることができる。
【００３８】
なお、図３および図５に示したベーキング炉の温度特性については、結晶化ガラスからなる封着部材１２を用いた場合にも適用することが可能であり、この場合には、封着部材１２が結晶化した後でパネル１４内に酸素を含むガスを充填して排気する過程を複数回行ってもよい。また、以上の各実施の形態において、酸素を含むガスとして乾燥ガスを用いるのが好ましく、例えばドライエアーや数％の酸素を含む放電ガスや酸素ガスを用いればよい。
【００３９】
次に、上記の方法によりガス放電パネルを製造した具体的な実施例について説明する。
【００４０】
（実施例１）
封着部材として軟化点温度が３８０℃の非晶質ガラスであるＬＳ０２０６（日本電気硝子（株）製）を用いた。封着部材をペースト化して背面基板の周縁部に塗布し、加熱してペースト中のバインダを除去した。次に、背面基板と前面基板を対向配置しアライメントを行った後、封着工程として、４５０℃（封着温度）まで昇温して１０分間保持した後冷却することによりパネルを作製した。その後、排気ベーキング工程に移った。排気ベーキング工程では、パネルの管を排気装置に接続して６．７×１０^−４Ｐａまで真空排気を行うとともにパネルを３５０℃まで加熱した。３５０℃に達した時点で排気を停止し、洗浄用のドライエアーボンベに切り替え、パネル内に６５０００Ｐａのドライエアーを充填するとともに引き続き４５０℃まで昇温した。４５０℃で３０分間保持した後３５０℃まで自然冷却し、ここで排気装置に切り替えてパネル内を真空に排気するとともに３５０℃を４時間保持してから自然冷却した。その後、パネル内に放電ガスを導入後、管を封じることによりガス放電パネルを製造した。
【００４１】
このようにして作製したガス放電パネルでは、パネルを評価しても異常放電等は発生しなかった。
【００４２】
（実施例２）
封着部材として軟化点温度が３８０℃の非晶質ガラスであるＬＳ０２０６（日本電気硝子（株）製）を用いた。封着部材をペースト化して背面基板の周縁部に塗布し、加熱してペースト中のバインダを除去した。次に、背面基板と前面基板を対向配置しアライメントを行った後、封着工程として、４５０℃（封着温度）まで昇温して１０分間保持した後冷却することによりパネルを作製した。その後、排気ベーキング工程に移った。すなわち、パネルのコーナーに設置した管を排気装置に接続し、その対角に設置した管を洗浄ガスボンベに接続した。洗浄ガスボンベから１００ｓｃｃｍのドライエアーをパネル内に導入しかつ排気装置で同量のガスを排気することにより、パネル内部にドライエアーが流れるようにし、パネルを４５０℃まで昇温して３０分間保持した後３５０℃まで自然冷却した。ここでドライエアーの導入を停止して排気装置によってパネル内を真空に排気するとともに３５０℃を４時間保持してから自然冷却した。その後、パネル内に放電ガスを導入後、管を封じることによりガス放電パネルを製造した。
【００４３】
このようにして作製したガス放電パネルでは、パネルを評価しても異常放電等は発生しなかった。
【００４４】
（実施例３）
封着部材として結晶化ガラスであるＬＳ７１０５（日本電気硝子（株）製）を用いた。封着部材をペースト化して背面基板の周縁部に塗布し、加熱してペースト中のバインダを除去した。次に、背面基板と前面基板を対向配置しアライメントを行った後、封着工程として４５０℃まで昇温して３０分間保持した後冷却することによりパネルを作製した。その後、排気ベーキング工程に移った。すなわち、パネルの管を排気装置に接続し、６．７×１０^−４Ｐａまで真空排気を行うとともにパネルを４５０℃まで昇温し保持に入った。４５０℃を所定時間保持した時点で排気を停止するとともに洗浄ガスボンベに切り替えることにより、パネル内に６５０００Ｐａのドライエアーを充填し、１分後に約２００Ｐａまで真空排気した。さらに６５０００Ｐａのドライエアーを充填した後約２００Ｐａまで真空排気する過程を１０回繰り返した。その後、真空排気しながら４５０℃から自然冷却して３５０℃になった時点で４時間保持し、続いて１０^−４Ｐａ以下になるように真空排気しながら室温まで自然冷却した。続いて、パネル内に放電ガスを導入後、管を封じることによりガス放電パネルを製造した。
【００４５】
このようにして作製したガス放電パネルでは、パネルを評価しても異常放電等は発生しなかった。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るガス放電パネルの製造方法によれば、排気温度と封着温度の間の温度でパネル内に発生し、残留している不純物ガスを有効に除去することができるので、パネルの異常放電を大幅に低減でき、表示品質の優れたガス放電パネルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるガス放電パネルの断面図
【図２】同ガス放電パネルの排気ベーキング工程において使用する装置の概略構成図
【図３】同ガス放電パネルの排気ベーキング工程におけるベーキング炉の温度特性図
【図４】同ガス放電パネルの排気ベーキング工程において使用する他の装置を示す概略構成図
【図５】同ガス放電パネルの排気ベーキング工程におけるベーキング炉の温度特性の別の例を示す温度特性図
【図６】同ガス放電パネルの排気ベーキング工程におけるベーキング炉の温度特性の別の例を示す温度特性図
【符号の説明】
１　前面基板
５　背面基板
１１　管
１２　封着部材
１４　パネル
２１　第１のステップ
２２　第２のステップ

Claims

対向配置した一組の基板の周縁部を封着部材で封着してパネルとする封着工程と、そのパネル内を排気する排気ベーキング工程とを有し、前記排気ベーキング工程では、封着部材の軟化点温度よりも高い第１の温度に昇温した後封着部材の軟化点温度よりも低い第２の温度に降温するとともにパネル内に酸素を含むガスを充填し、その後、前記第２の温度以下の温度でパネル内を排気することを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
対向配置した一組の基板の周縁部を封着部材で封着されたガス放電パネルの製造方法であって、封着部材の軟化点温度よりも高い封着温度に昇温してパネルを封着し、前記封着温度を所定時間保持した後封着部材の軟化点温度よりも低い所定の温度に降温するとともにパネル内に酸素を含むガスを充填し、その後、前記所定の温度以下の温度でパネル内を排気することを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
対向配置した一組の基板の周縁部を結晶化ガラスを用いた封着部材で封着してパネルとする封着工程と、そのパネル内を排気する排気ベーキング工程とを有し、前記排気ベーキング工程では、封着部材の軟化点温度よりも高い温度に昇温しその後降温するとともに、パネル内に酸素を含むガスを充填して排気する過程を少なくとも１回行うことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
対向配置した一組の基板の周縁部を結晶化ガラスを用いた封着部材で封着されたガス放電パネルの製造方法であって、封着部材の軟化点温度よりも高い封着温度に昇温してパネルを封着し、その後、前記封着温度を所定時間保持した後降温するとともに、パネル内に酸素を含むガスを充填して排気する過程を少なくとも１回行うことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
パネル内に酸素を含むガスを充填するかわりに、パネル内に酸素を含むガスを流すことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガス放電パネルの製造方法。
酸素を含むガスは乾燥ガスであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガス放電パネルの製造方法。