JP2004054118A - 光コネクタおよびその製造方法 - Google Patents
光コネクタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004054118A JP2004054118A JP2002214070A JP2002214070A JP2004054118A JP 2004054118 A JP2004054118 A JP 2004054118A JP 2002214070 A JP2002214070 A JP 2002214070A JP 2002214070 A JP2002214070 A JP 2002214070A JP 2004054118 A JP2004054118 A JP 2004054118A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical connector
- optical
- insertion hole
- base material
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3688—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier using laser ablation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3834—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3644—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the coupling means being through-holes or wall apertures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3664—2D cross sectional arrangements of the fibres
- G02B6/3672—2D cross sectional arrangements of the fibres with fibres arranged in a regular matrix array
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【課題】寸法精度が高くかつ加工が容易で安価な、多芯化された光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイを提供する。
【解決手段】光ファイバを挿入するための複数の挿入孔が、所定の間隔で配列されてなる光コネクタであって、隣接する前記挿入孔間の中心間距離の精度が±０．５μｍ以内であり、隣接する前記挿入孔間の孔軸方向の平行度が±０．１°以内であることを特徴とする。
【選択図】 図１
【解決手段】光ファイバを挿入するための複数の挿入孔が、所定の間隔で配列されてなる光コネクタであって、隣接する前記挿入孔間の中心間距離の精度が±０．５μｍ以内であり、隣接する前記挿入孔間の孔軸方向の平行度が±０．１°以内であることを特徴とする。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバを接続するために用いられる光コネクタに関し、特に多芯光コネクタに関するものである。
【０００２】
【従来技術】
近年、情報伝達の高速化・大容量化から、光ファイバを用いた情報通信が広く行われるようになってきている。これらの光ファイバを用いた情報通信では、光ファイバ同士、または光ファイバと光情報機器とを接続する必要があり、かかる接続には、光通信用フェルールや光通信用ファイバアレイ等の光コネクタが使用されている。また、小型化・高集積化の要請により、これらの光コネクタは、多芯のものが使用されるようになってきている。
【０００３】
光コネクタは、基材に形成した挿入孔に光ファイバを嵌入し固定した構造を有するため、光ファイバの接続損失を防ぐためには、光ファイバの光軸がずれないように挿入孔の寸法精度をサブミクロンのオーダで制御する必要がある。上記のように光コネクタが多芯化や小型化されることにより、更なる寸法精度が求められるようになっている。
【０００４】
射出成形や押出し成形により成形を行い、焼成、加工の工程をへて製造される従来のファイバアレイやフェルールでは、光ファイバを嵌入させるための挿入孔の寸法精度を、その工程上、１μｍ以下にすることが困難である。
【０００５】
そのため、例えば特開平１１−１７４２７４号公報に記載されているように、二酸化珪素やシリコン基板等の基板にＶ字溝を形成し、押さえカバーにより光ファイバを挟持して固定する構造のものが用いられ、またフェルールではジルコニアセラミック等に挿入孔を形成し、光ファイバーを嵌入して固定する構造のものが用いられている。この加工方法では、上記の成型技術を用いる場合と異なり、切削加工により基材にＶ字溝や挿入孔を形成し、砥石により仕上げ加工を行うことにより、形成したＶ字溝や挿入孔の寸法精度は、０．５μｍ以下にすることが可能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｖ字溝や挿入孔の寸法精度を一定に保つためには、常に砥石の形状補正を行う必要があるため、生産性が劣るという問題があった。また、ジルコニアセラミックを基材とするフェルールでは、切削加工時の加工応力により基材の結晶構造が転移を起こし、基材が膨張してしまうため、寸法精度を確保できないといった問題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、寸法精度が高くかつ加工が容易で安価な、多芯化された光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の光コネクタは、光ファイバを挿入するための複数の挿入孔が、所定の間隔で配列されてなる光コネクタであって、隣接する前記挿入孔間の中心間距離の精度が±０．５μｍ以内であり、隣接する前記挿入孔間の孔軸方向の平行度が±０．１°以内であることを特徴とするものである。このような挿入孔の寸法精度とすることにより、結合損失の少ない光コネクタを提供することができる。
【０００９】
また、本発明の態様として、前記挿入孔が、二次元ハニカム状に配列されてなることが好ましい。このように二次元ハニカム状に挿入孔を形成することにより、単位断面積あたりの光ファイバ数を増やすことができ高集積化するとともに、同時に結合損失を低減することができる。
【００１０】
さらに、前記挿入孔が、光ファイバの挿入側の挿入孔端部がテーパー形状を有してなることが、より好ましい態様である。このように光ファイバ挿入側をテーパ形状とすることにより、光ファイバの潜傷や光コネクタ使用時の光ファイバの損傷を低減することができる。
【００１１】
光コネクタの基材が、酸化珪素を主成分とするガラス、ガラスセラミック、石英ガラスおよび透光性アルミナならびに酸化ジルコニウムからなる群より選択されたものであることがより好ましい。このように透明性の基材を用いることにより、レーザ加工時の基材の熱損傷を避けることができる。
【００１２】
また、本発明の光コネクタは、光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイである。本発明の光通信用アレイにおいては、従来のＶ字溝を形成した基材と押さえ板とを必要とするものと比較して、部品数を減らすことができ、また、簡易かつ安価に製造することができる。
【００１３】
本発明の別の態様として、上記の光コネクタの製造方法は、前記光コネクタ用の基材を固定し、前記基材において、光ファイバの挿入側の孔軸方向の調整を行い、調整された孔軸方向から、パルスレーザ加工により挿入孔を形成する工程を含むことを特徴とするものである。
【００１４】
また、パルスレーザ加工により、前記挿入孔の形成と、任意角度を有する前記テーパ部の形成とを連続的に行う工程を含むことが好ましく、特に、パルスレーザが、フェムト秒レーザであることがより好ましい。このように、挿入孔の形成に連続してテーパ部を形成することにより、生産性を高めることができる。
【００１５】
さらに、前記レーザ加工後、形成された挿入孔およびテーパ部の内壁をエッチング処理する工程を含むことがより好ましく、特に、かかるエッチング処理は、フッ酸、塩酸、硝酸、硫酸からなる群より選択される少なくとも１種以上の無機酸により行うことがより好ましい。このようにエッチング処理することにより、さらに加工精度を高めることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の光コネクタおよびその製造方法について、図面に基づき詳細に説明する。
【００１７】
図１および図２は、本発明の実施形態を示す、光通信用ファイバアレイおよび光通信用フェルールの概略図である。まず、基材となる矩形基材１または円筒基材２を準備する。かかる基材は、酸化珪素を主成分とするガラス、ガラスセラミック、石英ガラス、透光性アルミナ等の透明材料を用いる。後に説明するレーザ加工の際の基材の熱損傷を防ぐためである。したがって、基材に含まれるＮａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、ＣａＯ、ＢａＯ等の不純物は、５０ｐｐｍ以下にしておくことが好ましい。不純物の含有量が５０ｐｐｍを超えると、透明性が損なわれる。また、基材は、孔空け加工する前に端面を光学研磨しておく。
【００１８】
孔空け加工は、パルスレーザ加工により行う。基材を保持具で固定し、レーザ照射軸と基材との位置合わせを行う。対物レンズにより、スポット径の調整を行う。なお、スポット径は、使用する光ファイバの外径により適宜調整されるが、本発明では、挿入孔を形成するこに、特に、パルスレーザのスポット径を１０〜１３０μｍに集光して行うのが有効である。
【００１９】
基材の孔空け加工の際、基材としてガラス等を用いた場合、高出力のレーザ光を連続照射すると、基材中のレーザ照射された部分が急激に温度上昇を起こし、ヒートショックにより基材にクラックを発生させてしまう。そのため、レーザ加工は、パルスレーザにより加工を行うのが好ましい。孔空け加工に使用するパルスレーザとしては、特に限定するものではなくＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等の公知のものを使用することができるが、特にアルゴンイオン励起Ｔｉ−サファイヤレーザが好ましい。なお、本発明において好適に用いられる「フェムト秒レーザ」とは、レーザパルス幅が、１ｐｓ以下のものを意味する。
【００２０】
このようにパルスレーザ加工により形成された挿入孔は、レーザ光の直進性により、複数の挿入孔を形成した場合であっても、隣接する各挿入孔の中心間距離の精度を±０．５μｍ以下にすることができ、挿入孔形成後に、精度向上のための仕上げ加工を行う必要がなくなる。また、各挿入孔の中心間距離の精度が向上するだけでなく、複数の挿入孔の軸方向の平行度を±０．１°以下とすることができ、非常に高精度な加工が可能となる。なお、各挿入孔の中心間距離とは、図３に示すように、隣接する各挿入孔端部の中心を結んだ直線距離の平均値からのずれをいい、また、軸方向の平行度とは、基準軸（基材のレーザ照射面と垂直な軸方向）と各挿入孔の軸とのなす角度を意味する。
【００２１】
また、図４に示すように、従来の基材にＶ字溝を加工するタイプの光通信用アレイでは、押さえ板を必要とすることから、複数の挿入孔を高密度で形成することが不可能であったが、図１または図２のように、パルスレーザを用いることにより、２次元ハニカム状に挿入孔を形成することができる。
【００２２】
さらに予想外なことに、挿入孔間の間隔を狭め、光ファイバを高密度化すると、光ファイバの結合損失を低減できるとの知見を得た。これは、複数の挿入孔を形成する場合に、各孔の間隔を狭めることにより両端の挿入孔間距離を短縮でき、それにより各挿入孔の寸法精度が向上するためと考えられる。
【００２３】
本発明の光コネクタは、図５に示すように、光ファイバを挿入する側の挿入孔２の端部が、テーパ形状５を有してなるものである。孔端部にテーパ加工を施すことにより、光ファイバを挿入時の損傷（潜傷）や、挿入固定後の当該端部と光ファイバの側面との接触を減らすことができ、光ファイバの損傷を防止することができる。本発明の製造方法にかかる光コネクタは、基材の挿入孔を形成する際に、連続して当該テーパ形状加工を行うことができる。従来のように、挿入孔を形成した後に、テーパ加工する必要がなくなるため、加工工程を減らすことができる。また、挿入孔の形成時に、パルスレーザの出力と加工速度を調整することにより、挿入孔の形成と当該孔端部のテーパ加工とを同時に行うこともできる。
【００２４】
なお、切削加工によりテーパ部を形成した場合は、テーパ部の内壁に発生したエッジ部分を取り除く必要があるため、別途面取りＲ加工を施す必要がある。この面取りＲ加工が不十分であると、光コネクタ使用時に光ファイバの断線を引き起こす。本発明の製造方法によれば、パルスレーザ加工により、基材が熱溶融してテーパ部が形成されるため、エッジが発生することもなく、かかる面取りＲ加工も不要であるため、作業工程の軽減が図られる。
【００２５】
上記のように、パルスレーザ加工により形成された挿入孔および当該孔端部のテーパ部は、その内壁表面がなめらかであることが特徴であるが、レーザ加工時に挿入孔内壁に結晶粒が形成されることもあるため、パルスレーザ加工後に、挿入孔および当該孔端部のテーパ部をエッチング処理して、結晶粒を取り除くことが好ましい。エッチング処理液としては、フッ酸、塩酸、硝酸、硫酸からなる群より選択される少なくとも１種以上の無機酸を使用することができる。
【００２６】
【実施例】
実施例１
パルス繰り返し周波数が１ｋＨｚ、中心波長が８００ｎｍのＬＤ励起Ｔｉサファイアパルスレーザを５倍の対物レンズで集光し、スポット径を１２５μｍに調節し、レーザ照射面を光学研磨した直径３ｍｍで高さ２０ｍｍの石英ガラス製円筒状基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルス幅１３０フェムト秒以下、２００ｍＷの出力で、スキャン速度が１００μｍであった。円筒状基材に挿入孔を２５０μｍ間隔で４本形成した。次に、挿入孔が形成された円筒状基材を、４ｗｔ％のフッ酸水溶液に１時間浸漬し、超音波洗浄器を用いてエッチング処理を行い、４心の光通信用フェルールを得た。
【００２７】
得られた光通信用フェルールの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００２８】
実施例２
パルス繰り返し周波数が１ｋＨｚ、中心波長が８００ｎｍのＬＤ励起Ｔｉサファイアパルスレーザを５倍の対物レンズで集光し、スポット径を１２５μｍに調節し、レーザ照射面を光学研磨した厚さ５ｍｍの矩形の石英ガラス製基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルス幅１３０フェムト秒以下、２００ｍＷの出力で、スキャン速度が１００μｍであった。基材に挿入孔を２５０μｍ間隔で１０本形成した。次に、挿入孔が形成された円筒状基材を、４ｗｔ％のフッ酸水溶液に１時間浸漬し、超音波洗浄器を用いてエッチング処理を行い、１０心の光通信用ファイバアレイを得た。
【００２９】
得られた光通信用アレイの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、１０本の挿入孔の両端の中心間距離は、２２５０μｍ±０．４μｍであった。各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００３０】
得られた光通信用ファイバアレイに光ファイバを挿入して接着固定し、コリメータを用いて結合損失を測定した。孔間隔が２５０μｍのアレイでは結合損失が、０．２６ｄＢであった。
【００３１】
実施例３
実施例２と同様の加工条件で、挿入孔の間隔を１２５μｍに変えて、挿入孔を１０本形成し、光通信用フェルールを得た。
【００３２】
得られた光通信用アレイの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、１０本の挿入孔の両端の中心間距離は、１１２５μｍ＋０．４μｍであった。各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００３３】
実施例２と同様に、得られた光通信用アレイに、光ファイバを挿入して接着固定し、結合損失の測定を行った。孔間隔が１２５μｍのアレイでは結合損失が、０．１５ｄＢであった。
【００３４】
比較例１
基本波１０６４ｎｍ（倍波５３２ｎｍ、三倍波３５５ｎｍ）のＹＡＧレーザを、５倍の対物レンズで集光し、スポット径１２５μｍに調整し、レーザ照射面を光学研磨した厚さ５ｍｍの矩形の石英ガラス製基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルスエネルギーが５ｍＪ、スキャン速度が１００μｍであった。
【００３５】
その結果、基材の表面が僅かに窪んだだけで、挿入孔は形成されなかった。また、レーザを照射した基材表面とその裏面には、マイクロクラックの発生が観測された。
【００３６】
比較例２
比較例１において、使用するレーザの種類をＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）に変えて同条件で、孔空け加工を行った。
【００３７】
その結果、レーザの照射エネルギーが、基材に吸収されず、挿入孔は形成されなかった。
【００３８】
比較例３
比較例１において、使用するレーザの種類をＦ２レーザ（波長１５７ｎｍ）に変えて同条件で、孔空け加工を行った。
【００３９】
その結果、深さ１００μｍ程度までは、孔が形成できたが、挿入孔（深さ５ｍｍ）は形成できなかった。
【００４０】
【発明の効果】
本発明により、寸法精度が高くかつ加工が容易で安価な、多芯化された光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光コネクタの一態様である、光通信用ファイバアレイの概略図を示す図である。
【図２】本発明の光コネクタの一態様である、光通信用フェルールの概略図を示す図である。
【図３】本発明の光コネクタの挿入孔部分を拡大した図である。
【図４】従来のＶ字形溝を形成してなる光通信用ファイバアレイの一例を示した図である。
【図５】本発明の別の態様の光コネクタの概略断面図を示したものである。
【符号の説明】
１ 光通信用ファイバアレイ基材
２ 挿入孔
３ 光通信用フェルール基材
４ 押さえ板
５ テーパ部
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバを接続するために用いられる光コネクタに関し、特に多芯光コネクタに関するものである。
【０００２】
【従来技術】
近年、情報伝達の高速化・大容量化から、光ファイバを用いた情報通信が広く行われるようになってきている。これらの光ファイバを用いた情報通信では、光ファイバ同士、または光ファイバと光情報機器とを接続する必要があり、かかる接続には、光通信用フェルールや光通信用ファイバアレイ等の光コネクタが使用されている。また、小型化・高集積化の要請により、これらの光コネクタは、多芯のものが使用されるようになってきている。
【０００３】
光コネクタは、基材に形成した挿入孔に光ファイバを嵌入し固定した構造を有するため、光ファイバの接続損失を防ぐためには、光ファイバの光軸がずれないように挿入孔の寸法精度をサブミクロンのオーダで制御する必要がある。上記のように光コネクタが多芯化や小型化されることにより、更なる寸法精度が求められるようになっている。
【０００４】
射出成形や押出し成形により成形を行い、焼成、加工の工程をへて製造される従来のファイバアレイやフェルールでは、光ファイバを嵌入させるための挿入孔の寸法精度を、その工程上、１μｍ以下にすることが困難である。
【０００５】
そのため、例えば特開平１１−１７４２７４号公報に記載されているように、二酸化珪素やシリコン基板等の基板にＶ字溝を形成し、押さえカバーにより光ファイバを挟持して固定する構造のものが用いられ、またフェルールではジルコニアセラミック等に挿入孔を形成し、光ファイバーを嵌入して固定する構造のものが用いられている。この加工方法では、上記の成型技術を用いる場合と異なり、切削加工により基材にＶ字溝や挿入孔を形成し、砥石により仕上げ加工を行うことにより、形成したＶ字溝や挿入孔の寸法精度は、０．５μｍ以下にすることが可能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｖ字溝や挿入孔の寸法精度を一定に保つためには、常に砥石の形状補正を行う必要があるため、生産性が劣るという問題があった。また、ジルコニアセラミックを基材とするフェルールでは、切削加工時の加工応力により基材の結晶構造が転移を起こし、基材が膨張してしまうため、寸法精度を確保できないといった問題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、寸法精度が高くかつ加工が容易で安価な、多芯化された光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の光コネクタは、光ファイバを挿入するための複数の挿入孔が、所定の間隔で配列されてなる光コネクタであって、隣接する前記挿入孔間の中心間距離の精度が±０．５μｍ以内であり、隣接する前記挿入孔間の孔軸方向の平行度が±０．１°以内であることを特徴とするものである。このような挿入孔の寸法精度とすることにより、結合損失の少ない光コネクタを提供することができる。
【０００９】
また、本発明の態様として、前記挿入孔が、二次元ハニカム状に配列されてなることが好ましい。このように二次元ハニカム状に挿入孔を形成することにより、単位断面積あたりの光ファイバ数を増やすことができ高集積化するとともに、同時に結合損失を低減することができる。
【００１０】
さらに、前記挿入孔が、光ファイバの挿入側の挿入孔端部がテーパー形状を有してなることが、より好ましい態様である。このように光ファイバ挿入側をテーパ形状とすることにより、光ファイバの潜傷や光コネクタ使用時の光ファイバの損傷を低減することができる。
【００１１】
光コネクタの基材が、酸化珪素を主成分とするガラス、ガラスセラミック、石英ガラスおよび透光性アルミナならびに酸化ジルコニウムからなる群より選択されたものであることがより好ましい。このように透明性の基材を用いることにより、レーザ加工時の基材の熱損傷を避けることができる。
【００１２】
また、本発明の光コネクタは、光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイである。本発明の光通信用アレイにおいては、従来のＶ字溝を形成した基材と押さえ板とを必要とするものと比較して、部品数を減らすことができ、また、簡易かつ安価に製造することができる。
【００１３】
本発明の別の態様として、上記の光コネクタの製造方法は、前記光コネクタ用の基材を固定し、前記基材において、光ファイバの挿入側の孔軸方向の調整を行い、調整された孔軸方向から、パルスレーザ加工により挿入孔を形成する工程を含むことを特徴とするものである。
【００１４】
また、パルスレーザ加工により、前記挿入孔の形成と、任意角度を有する前記テーパ部の形成とを連続的に行う工程を含むことが好ましく、特に、パルスレーザが、フェムト秒レーザであることがより好ましい。このように、挿入孔の形成に連続してテーパ部を形成することにより、生産性を高めることができる。
【００１５】
さらに、前記レーザ加工後、形成された挿入孔およびテーパ部の内壁をエッチング処理する工程を含むことがより好ましく、特に、かかるエッチング処理は、フッ酸、塩酸、硝酸、硫酸からなる群より選択される少なくとも１種以上の無機酸により行うことがより好ましい。このようにエッチング処理することにより、さらに加工精度を高めることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の光コネクタおよびその製造方法について、図面に基づき詳細に説明する。
【００１７】
図１および図２は、本発明の実施形態を示す、光通信用ファイバアレイおよび光通信用フェルールの概略図である。まず、基材となる矩形基材１または円筒基材２を準備する。かかる基材は、酸化珪素を主成分とするガラス、ガラスセラミック、石英ガラス、透光性アルミナ等の透明材料を用いる。後に説明するレーザ加工の際の基材の熱損傷を防ぐためである。したがって、基材に含まれるＮａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、ＣａＯ、ＢａＯ等の不純物は、５０ｐｐｍ以下にしておくことが好ましい。不純物の含有量が５０ｐｐｍを超えると、透明性が損なわれる。また、基材は、孔空け加工する前に端面を光学研磨しておく。
【００１８】
孔空け加工は、パルスレーザ加工により行う。基材を保持具で固定し、レーザ照射軸と基材との位置合わせを行う。対物レンズにより、スポット径の調整を行う。なお、スポット径は、使用する光ファイバの外径により適宜調整されるが、本発明では、挿入孔を形成するこに、特に、パルスレーザのスポット径を１０〜１３０μｍに集光して行うのが有効である。
【００１９】
基材の孔空け加工の際、基材としてガラス等を用いた場合、高出力のレーザ光を連続照射すると、基材中のレーザ照射された部分が急激に温度上昇を起こし、ヒートショックにより基材にクラックを発生させてしまう。そのため、レーザ加工は、パルスレーザにより加工を行うのが好ましい。孔空け加工に使用するパルスレーザとしては、特に限定するものではなくＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等の公知のものを使用することができるが、特にアルゴンイオン励起Ｔｉ−サファイヤレーザが好ましい。なお、本発明において好適に用いられる「フェムト秒レーザ」とは、レーザパルス幅が、１ｐｓ以下のものを意味する。
【００２０】
このようにパルスレーザ加工により形成された挿入孔は、レーザ光の直進性により、複数の挿入孔を形成した場合であっても、隣接する各挿入孔の中心間距離の精度を±０．５μｍ以下にすることができ、挿入孔形成後に、精度向上のための仕上げ加工を行う必要がなくなる。また、各挿入孔の中心間距離の精度が向上するだけでなく、複数の挿入孔の軸方向の平行度を±０．１°以下とすることができ、非常に高精度な加工が可能となる。なお、各挿入孔の中心間距離とは、図３に示すように、隣接する各挿入孔端部の中心を結んだ直線距離の平均値からのずれをいい、また、軸方向の平行度とは、基準軸（基材のレーザ照射面と垂直な軸方向）と各挿入孔の軸とのなす角度を意味する。
【００２１】
また、図４に示すように、従来の基材にＶ字溝を加工するタイプの光通信用アレイでは、押さえ板を必要とすることから、複数の挿入孔を高密度で形成することが不可能であったが、図１または図２のように、パルスレーザを用いることにより、２次元ハニカム状に挿入孔を形成することができる。
【００２２】
さらに予想外なことに、挿入孔間の間隔を狭め、光ファイバを高密度化すると、光ファイバの結合損失を低減できるとの知見を得た。これは、複数の挿入孔を形成する場合に、各孔の間隔を狭めることにより両端の挿入孔間距離を短縮でき、それにより各挿入孔の寸法精度が向上するためと考えられる。
【００２３】
本発明の光コネクタは、図５に示すように、光ファイバを挿入する側の挿入孔２の端部が、テーパ形状５を有してなるものである。孔端部にテーパ加工を施すことにより、光ファイバを挿入時の損傷（潜傷）や、挿入固定後の当該端部と光ファイバの側面との接触を減らすことができ、光ファイバの損傷を防止することができる。本発明の製造方法にかかる光コネクタは、基材の挿入孔を形成する際に、連続して当該テーパ形状加工を行うことができる。従来のように、挿入孔を形成した後に、テーパ加工する必要がなくなるため、加工工程を減らすことができる。また、挿入孔の形成時に、パルスレーザの出力と加工速度を調整することにより、挿入孔の形成と当該孔端部のテーパ加工とを同時に行うこともできる。
【００２４】
なお、切削加工によりテーパ部を形成した場合は、テーパ部の内壁に発生したエッジ部分を取り除く必要があるため、別途面取りＲ加工を施す必要がある。この面取りＲ加工が不十分であると、光コネクタ使用時に光ファイバの断線を引き起こす。本発明の製造方法によれば、パルスレーザ加工により、基材が熱溶融してテーパ部が形成されるため、エッジが発生することもなく、かかる面取りＲ加工も不要であるため、作業工程の軽減が図られる。
【００２５】
上記のように、パルスレーザ加工により形成された挿入孔および当該孔端部のテーパ部は、その内壁表面がなめらかであることが特徴であるが、レーザ加工時に挿入孔内壁に結晶粒が形成されることもあるため、パルスレーザ加工後に、挿入孔および当該孔端部のテーパ部をエッチング処理して、結晶粒を取り除くことが好ましい。エッチング処理液としては、フッ酸、塩酸、硝酸、硫酸からなる群より選択される少なくとも１種以上の無機酸を使用することができる。
【００２６】
【実施例】
実施例１
パルス繰り返し周波数が１ｋＨｚ、中心波長が８００ｎｍのＬＤ励起Ｔｉサファイアパルスレーザを５倍の対物レンズで集光し、スポット径を１２５μｍに調節し、レーザ照射面を光学研磨した直径３ｍｍで高さ２０ｍｍの石英ガラス製円筒状基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルス幅１３０フェムト秒以下、２００ｍＷの出力で、スキャン速度が１００μｍであった。円筒状基材に挿入孔を２５０μｍ間隔で４本形成した。次に、挿入孔が形成された円筒状基材を、４ｗｔ％のフッ酸水溶液に１時間浸漬し、超音波洗浄器を用いてエッチング処理を行い、４心の光通信用フェルールを得た。
【００２７】
得られた光通信用フェルールの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００２８】
実施例２
パルス繰り返し周波数が１ｋＨｚ、中心波長が８００ｎｍのＬＤ励起Ｔｉサファイアパルスレーザを５倍の対物レンズで集光し、スポット径を１２５μｍに調節し、レーザ照射面を光学研磨した厚さ５ｍｍの矩形の石英ガラス製基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルス幅１３０フェムト秒以下、２００ｍＷの出力で、スキャン速度が１００μｍであった。基材に挿入孔を２５０μｍ間隔で１０本形成した。次に、挿入孔が形成された円筒状基材を、４ｗｔ％のフッ酸水溶液に１時間浸漬し、超音波洗浄器を用いてエッチング処理を行い、１０心の光通信用ファイバアレイを得た。
【００２９】
得られた光通信用アレイの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、１０本の挿入孔の両端の中心間距離は、２２５０μｍ±０．４μｍであった。各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００３０】
得られた光通信用ファイバアレイに光ファイバを挿入して接着固定し、コリメータを用いて結合損失を測定した。孔間隔が２５０μｍのアレイでは結合損失が、０．２６ｄＢであった。
【００３１】
実施例３
実施例２と同様の加工条件で、挿入孔の間隔を１２５μｍに変えて、挿入孔を１０本形成し、光通信用フェルールを得た。
【００３２】
得られた光通信用アレイの挿入孔は真円であり、内径は１２５μｍであった。また、隣接する各挿入孔間の距離は２５０μｍ±０．４μｍであり、１０本の挿入孔の両端の中心間距離は、１１２５μｍ＋０．４μｍであった。各挿入孔のＺ軸方向（レーザ照射面と垂直な方向）の平行度は±０．０７°であった。さらに、レーザ照射側の挿入孔端部には、略６０°のテーパ部が形成されていることが確認された。
【００３３】
実施例２と同様に、得られた光通信用アレイに、光ファイバを挿入して接着固定し、結合損失の測定を行った。孔間隔が１２５μｍのアレイでは結合損失が、０．１５ｄＢであった。
【００３４】
比較例１
基本波１０６４ｎｍ（倍波５３２ｎｍ、三倍波３５５ｎｍ）のＹＡＧレーザを、５倍の対物レンズで集光し、スポット径１２５μｍに調整し、レーザ照射面を光学研磨した厚さ５ｍｍの矩形の石英ガラス製基材（材料のバンドギャップが７．９ｅＶ）に、レーザ照射を行った。照射条件および加工速度は、パルスエネルギーが５ｍＪ、スキャン速度が１００μｍであった。
【００３５】
その結果、基材の表面が僅かに窪んだだけで、挿入孔は形成されなかった。また、レーザを照射した基材表面とその裏面には、マイクロクラックの発生が観測された。
【００３６】
比較例２
比較例１において、使用するレーザの種類をＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）に変えて同条件で、孔空け加工を行った。
【００３７】
その結果、レーザの照射エネルギーが、基材に吸収されず、挿入孔は形成されなかった。
【００３８】
比較例３
比較例１において、使用するレーザの種類をＦ２レーザ（波長１５７ｎｍ）に変えて同条件で、孔空け加工を行った。
【００３９】
その結果、深さ１００μｍ程度までは、孔が形成できたが、挿入孔（深さ５ｍｍ）は形成できなかった。
【００４０】
【発明の効果】
本発明により、寸法精度が高くかつ加工が容易で安価な、多芯化された光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光コネクタの一態様である、光通信用ファイバアレイの概略図を示す図である。
【図２】本発明の光コネクタの一態様である、光通信用フェルールの概略図を示す図である。
【図３】本発明の光コネクタの挿入孔部分を拡大した図である。
【図４】従来のＶ字形溝を形成してなる光通信用ファイバアレイの一例を示した図である。
【図５】本発明の別の態様の光コネクタの概略断面図を示したものである。
【符号の説明】
１ 光通信用ファイバアレイ基材
２ 挿入孔
３ 光通信用フェルール基材
４ 押さえ板
５ テーパ部
Claims (10)
- 光ファイバを挿入するための複数の挿入孔が、所定の間隔で配列されてなる光コネクタであって、隣接する前記挿入孔間の中心間距離の精度が±０．５μｍ以内であり、隣接する前記挿入孔間の孔軸方向の平行度が±０．１°以内であることを特徴とする、光コネクタ。
- 前記挿入孔が、二次元ハニカム状に配列されてなる、請求項１に記載の光コネクタ。
- 前記挿入孔が、光ファイバの挿入側の挿入孔端部がテーパー形状を有してなる、請求項１または２に記載の光コネクタ。
- 前記光コネクタの基材が、酸化珪素を主成分とするガラス、ガラスセラミックおよび石英ガラス、透光性アルミナ、ならびに酸化ジルコニウムからなる群より選択されたものである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光コネクタ。
- 前記光コネクタが、光通信用フェルールまたは光通信用ファイバアレイである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光コネクタ。
- 請求項１〜５のいずれか１項に記載の光コネクタの製造方法であって、
前記光コネクタ用の基材を固定し、
前記基材において、光ファイバの挿入側の孔軸方向の調整を行い、
調整された孔軸方向から、パルスレーザ加工により挿入孔を形成する、
工程を含むことを特徴とする、光コネクタの製造方法。 - パルスレーザ加工により、前記挿入口の形成と、任意角度を有する前記テーパ部の形成とを連続的に行う工程を含む、請求項６に記載の方法。
- 前記レーザ加工後、形成された挿入孔およびテーパ部の内壁をエッチング処理する工程を含む、請求項６または７に記載の方法。
- 前記パルスレーザが、フェムト秒レーザである、請求項６〜８のいずれか１項に記載の方法。
- 前記エッチング処理を、フッ酸、塩酸、硝酸、硫酸からなる群より選択される少なくとも１種以上の無機酸により行う、請求項６〜９のいずれか１項に記載の方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002214070A JP3917034B2 (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | 光コネクタおよびその製造方法 |
| DE10392977T DE10392977T5 (de) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | Optischer Verbinder und Verfahren für seine Herstellung |
| CNA038174979A CN1672077A (zh) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | 光连接器及其制造方法 |
| AU2003235897A AU2003235897A1 (en) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | Optical connector and method of manufacturing the optical connector |
| CA002493663A CA2493663A1 (en) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | Optical connector and method of manufacturing the same |
| US10/521,953 US20050254769A1 (en) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | Optical connector and method of manufacturing the optical connector |
| PCT/JP2003/005778 WO2004010187A1 (ja) | 2002-07-23 | 2003-05-08 | 光コネクタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002214070A JP3917034B2 (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | 光コネクタおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004054118A true JP2004054118A (ja) | 2004-02-19 |
| JP3917034B2 JP3917034B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=30767866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002214070A Expired - Fee Related JP3917034B2 (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | 光コネクタおよびその製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050254769A1 (ja) |
| JP (1) | JP3917034B2 (ja) |
| CN (1) | CN1672077A (ja) |
| AU (1) | AU2003235897A1 (ja) |
| CA (1) | CA2493663A1 (ja) |
| DE (1) | DE10392977T5 (ja) |
| WO (1) | WO2004010187A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015196170A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | トヨタ自動車株式会社 | ジルコニアの加工方法 |
| WO2016111076A1 (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-14 | 日本電気硝子株式会社 | マイクロホールアレイ及びその製造方法 |
| KR102390948B1 (ko) * | 2021-10-18 | 2022-04-26 | 국방과학연구소 | 레이저 발진 장치, 레이저 발진 방법 및 상기 방법을 실행시키기 위하여 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7300216B2 (en) | 2001-11-20 | 2007-11-27 | Harris Corporation | Optical connector adapter for interfacing a beam splitter/combiner to optical waveguides and method of forming the same |
| WO2005105995A2 (en) * | 2004-04-14 | 2005-11-10 | Sirna Therapeutics, Inc. | RNA INTERFERENCE MEDIATED TREATMENT OF POLYGLUTAMINE (POLYQ) REPEAT EXPANSION DISEASES USING SHORT INTERFERING NUCLEIC ACID (siNA) |
| US7448809B2 (en) * | 2007-02-28 | 2008-11-11 | Corning Cable Systems, Llc | Angle-specific multi-fiber ferrules and associated methods of manufacture |
| CN103854968A (zh) * | 2012-12-03 | 2014-06-11 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 漏斗型特大硅穿孔的制作方法 |
| CN110441866A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-12 | 无锡微视传感科技有限公司 | 光纤固定装置及制作方法 |
| US11104605B2 (en) | 2019-11-26 | 2021-08-31 | Corning Research & Development Corporation | Process for making multi-fiber, physical contact fiber ferrule assemblies |
| US11630265B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-04-18 | Google Llc | Glass fiber hole plates for 2D fiber collimators and methods for alignment and fabrication for optical switching applications |
| DE102022113107B4 (de) | 2022-05-24 | 2024-02-01 | Schott Ag | Aufnahme für ein Lichtleiterbündel, Verfahren und Zwischenprodukt zu dessen Herstellung |
| CN116009143B (zh) * | 2023-03-22 | 2023-06-09 | 武汉驿路通科技股份有限公司 | 一种高精度高效耦合的fa制作方法及fa |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10268145A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ２次元光ファイバアレイ装置 |
| JP2002040293A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Kyocera Corp | 光ファイバ用フェルール及びその製造方法 |
| JP2002156548A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Kyocera Corp | 光ファイバ用フェルールおよびその加工方法 |
| US6773166B2 (en) * | 2001-06-29 | 2004-08-10 | Xanoptix, Inc. | Multi-piece fiber optic component and manufacturing technique |
| JP2003107272A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-09 | Kyocera Corp | 光ファイバ接続部材およびその加工方法 |
-
2002
- 2002-07-23 JP JP2002214070A patent/JP3917034B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-05-08 CN CNA038174979A patent/CN1672077A/zh active Pending
- 2003-05-08 US US10/521,953 patent/US20050254769A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-08 AU AU2003235897A patent/AU2003235897A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-08 CA CA002493663A patent/CA2493663A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-08 WO PCT/JP2003/005778 patent/WO2004010187A1/ja active Application Filing
- 2003-05-08 DE DE10392977T patent/DE10392977T5/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015196170A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | トヨタ自動車株式会社 | ジルコニアの加工方法 |
| WO2016111076A1 (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-14 | 日本電気硝子株式会社 | マイクロホールアレイ及びその製造方法 |
| KR102390948B1 (ko) * | 2021-10-18 | 2022-04-26 | 국방과학연구소 | 레이저 발진 장치, 레이저 발진 방법 및 상기 방법을 실행시키기 위하여 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1672077A (zh) | 2005-09-21 |
| US20050254769A1 (en) | 2005-11-17 |
| AU2003235897A1 (en) | 2004-02-09 |
| WO2004010187A1 (ja) | 2004-01-29 |
| JP3917034B2 (ja) | 2007-05-23 |
| DE10392977T5 (de) | 2005-08-25 |
| CA2493663A1 (en) | 2004-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2158509B1 (en) | Waveguide device | |
| JP3917033B2 (ja) | 光通信用ファイバアレイおよびその製造方法 | |
| JP4932955B2 (ja) | 切断起点領域形成の制御装置 | |
| JP3917034B2 (ja) | 光コネクタおよびその製造方法 | |
| EP1964820B1 (en) | Method of glass substrate working and glass part | |
| JP3155717B2 (ja) | マイクロレンズに対するレーザ加工方法 | |
| US11054574B2 (en) | Methods of singulating optical waveguide sheets to form optical waveguide substrates | |
| EP3164745B1 (en) | High power visible laser with a laser-fabricated nonlinear waveguide | |
| AU2014314785A1 (en) | High-efficiency parallel-beam laser optical fiber drawing method and optical fiber | |
| JP3885643B2 (ja) | 窪み孔を有するガラス基板の製造方法 | |
| WO2022118366A1 (ja) | 量子回路、量子コンピュータ及び量子回路の製造方法 | |
| JP3918916B2 (ja) | 光ファイバスタブの製造方法 | |
| CN115356807B (zh) | 一种光纤孔倒角的制造方法及其制造设备 | |
| JPWO2020184026A1 (ja) | 微細構造付ガラス基板を製造する方法及びガラス基板 | |
| JP2004101990A (ja) | 光ファイバアレイおよび光モジュール | |
| JP3811391B2 (ja) | 多芯マイクロキャピラリ、光回路部品、および接続構造体 | |
| JP2004145118A (ja) | 複数光ファイバの位置決め固定方法およびそれを用いて製作した光ファイバアレイ | |
| JP4058629B2 (ja) | 光ファイバアレイ用基板の製造方法 | |
| JPH0131161B2 (ja) | ||
| CN117111223A (zh) | 用于光导束的容纳件、其制造方法和中间产品 | |
| JPWO2019189680A1 (ja) | 光ファイバアレイ | |
| JP2000206353A (ja) | 光導波路素子の製造方法 | |
| JP2013088787A (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| JPH06242353A (ja) | 光ファイバアレイとその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050415 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060407 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060606 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061107 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061215 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070112 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070207 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130216 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |