JP2004040603A - 圧電共振子の周波数調整方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電共振子を検出ポジションへ位置させ、検出ポジションで搬送手段上の圧電共振子の塗布位置を画像認識により検出する。塗布位置の検出が終了した圧電共振子を塗布ポジションに搬送し、塗布ポジションで、周波数調整インクのY方向塗布領域が圧電共振子の塗布位置のY方向ばらつき以上の大きさを有するよう多数のノズルを等間隔に配列したオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドによって、検出手段による検出結果に基づいて選択されたノズルから周波数調整インクを圧電共振子に対して塗布する。圧電共振子の上に周波数調整インクを塗布することで、その周波数を目標周波数に近づける。
【選択図】図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電共振子の表面に周波数調整インクを塗布することにより、圧電共振子の周波数を調整する方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、圧電共振子、特にフィルタの分野において、周波数の高精度化の要求が高まっている。従来ではスクリーン印刷法や吹き付け法により周波数調整インクを電極上に塗布し、その質量負荷により周波数を調整していた。しかしながら、上記のような方法ではインクの塗布量のバラツキが大きいため、周波数の集中度が低く、高精度化に対応できなかった。また、スクリーン印刷法は接触式の塗布方法であるため、対象物に荷重がかかり、圧電基板の割れなどの問題もあった。
【0003】
そこで、帯電制御式インクジェットプリンタを用いて圧電共振子の表面に周波数調整用インクを塗布することにより、非接触式で周波数調整を行う方法が提案されている(特開平3−289807号公報)。
この方法は、塗布すべきパターンをドットマトリックスに画素分割し、それぞれの画素が持つ位置情報に比例した電圧でインク粒子を帯電させ、帯電したインク粒子を静電場で偏向して対象物に到達させることにより、所定のパターンで塗布するものである。そのため、所定量のインクを質量のばらつきを生じさせることなく圧電共振子に塗布することができ、精度よく周波数調整を行うことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、帯電制御式インクジェットプリンタの場合、インクの塗布位置精度が必ずしも高くないという欠点がある。塗布位置のバラツキには種々の原因があるが、その主な原因は、ドット状インクの偏向点から着弾点までの距離が長く (少なくとも20mm以上)、帯電ばらつきや周囲の雰囲気(湿度や気温)の状況などにより、塗布位置が変化するからである。そのため、従来の帯電制御式インクジェットプリンタの塗布位置精度は±150μm以上と粗く、微小部品に適用することは困難であった。
【0005】
そこで、部品位置を画像認識し、その目標着弾位置毎に塗布できるように印字模様をプログラミングしたり、ステージやヘッド位置を駆動系を用いて補正制御する方法が検討されている(特開平7−106892号,特開2001−244768号公報)。しかし、このような方法を用いても、駆動系自体の位置ずれが加算されるので、正確な位置合わせが困難であり、また面倒な補正作業を必要とするため、周波数調整に時間がかかるという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、周波数調整インクの塗布位置のずれを抑え、高精度な周波数調整を簡単に行うことができる圧電共振子の周波数調整方法および装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、圧電共振子の上に周波数調整インクを塗布することで、その周波数を目標周波数に近づける圧電共振子の周波数調整方法において、圧電共振子を検出ポジションへ位置させる工程と、検出ポジションで搬送手段上の圧電共振子の塗布位置を画像認識により検出する工程と、塗布位置の検出が終了した圧電共振子を塗布ポジションへX方向に搬送する工程と、塗布ポジションに配置され、周波数調整インクのY方向塗布領域が上記圧電共振子の塗布位置のY方向ばらつき以上の大きさを有するよう多数のノズルを等間隔に配列したオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドによって、上記検出手段による検出結果に基づいて選択されたノズルから周波数調整インクを圧電共振子に対して塗布する工程と、を備えたことを特徴とする圧電共振子の周波数調整方法を提供する。
【0008】
請求項2に係る発明は、圧電共振子の上に周波数調整インクを塗布することで、その周波数を目標周波数に近づける圧電共振子の周波数調整装置において、圧電共振子を検出ポジションから塗布ポジションへX方向に搬送する搬送手段と、検出ポジションに配置され、搬送手段上の圧電共振子の塗布位置を画像認識により検出する検出手段と、塗布ポジションに配置され、周波数調整インクのY方向塗布領域が上記圧電共振子の塗布位置のY方向ばらつき以上の大きさを有するよう多数のノズルを等間隔に配列し、上記検出手段による検出結果に基づいて選択されたノズルから周波数調整インクを圧電共振子に対して塗布するオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドと、を備えたことを特徴とする圧電共振子の周波数調整装置を提供する。
【0009】
まず、圧電共振子を保持した搬送手段を検出ポジションへ移動させる。搬送手段は、搬送途中に圧電共振子がXY方向にずれが発生しないように、圧電共振子を安定に保持できる構造のものが望ましい。検出ポジションへ搬送された圧電共振子は検出手段によって画像認識され、塗布位置が検出される。例えば、圧電共振子をCCDカメラなどで撮像し、この撮像データから公知の画像認識技術によって圧電共振子のX,Y座標を求め、この座標から圧電共振子のインク塗布位置(例えば振動電極の位置)を算出する。算出された位置情報に基づき、塗布模様を作成し、例えばビットマップデータを作成する。
次に、搬送手段を塗布ポジションへX軸方向に移動させる。搬送手段が塗布ポジションを通過する間に、オンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドのノズルは、ビットマップデータに基づき、圧電共振子の必要な位置に適量のインクをドット状に塗布する。搬送手段を一定速度で移動させれば、圧電共振子が塗布ポジションを通過するタイミングとインクの塗布タイミングとを設定することで、上記の画像認識位置と実際のインク着弾位置とを合わせることができ、X軸方向の位置精度が得られる。ノズルは等間隔で並んでいるので、必要な塗布位置の直上のノズルのみが駆動され、その部分に塗布を行なう。つまり、Y軸方向の位置精度はヘッドのノズル位置で決まり、周囲の雰囲気や帯電ばらつきによる影響を受けない。
【0010】
オンデマンド式インクジェットプリンタの場合、帯電制御式インクジェットプリンタに比べて、インクの塗布位置精度を高くできるという利点がある。その理由は、ノズルからインク着弾位置までの距離を例えば0.5mm〜5mm程度まで短くすることができ、周囲の雰囲気等の影響を受けにくいからである。
請求項3のように、インクジェットプリンタ用ヘッドに設けられたノズルと搬送手段に保持された圧電共振子とのZ方向の間隔を5mm以下とした場合、微小部品に対しても適用可能な±50μm程度の塗布位置精度を実現することができる。
【0011】
請求項4のように、インクジェットプリンタ用ヘッドに設けられたノズルの配列方向を、X方向に対して所定角度だけ傾斜させるのがよい。
ヘッドに設けられるノズルのピッチ間隔を狭くするには限度があるので、その間隔が塗布されるインクのY軸方向の間隔と等しくなり、ノズル分解能をノズルピッチ以上に上げることができない。そこで、ノズルの配列方向をX方向に対して傾けること(ヘッドアングルθを90°未満とすること)で、次式のようにY軸方向の塗布間隔Sをノズルの間隔Dに比べて小さくでき、ノズル分解能を上げることができる。
S=D・sinθ
【0012】
【発明の実施の形態】
図1〜図5は本発明における圧電共振子の周波数調整装置の一例を示す。
調整装置本体1の上面には、ステージ4をX軸方向およびY軸方向に移動させるリニアガイド2,3が設置されている。ステージ4は、後述するイメージセンサ10が配置された検出ポジションP1から、オンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッド20が配置された塗布ポジションP2に向かって、X軸方向に一定速度で移動可能である。また、本体1の上面には、データの入力などを行う操作パネル5が設けられ、本体1の内部にはリニアガイド2,3、イメージセンサ10、印字ヘッド20などの作動を統合的に制御するコントローラ7が配置されている。
【0013】
ステージ4上にはパレット6が載置され、パレット6上に複数のワークWが実装機などによってほぼ整列された状態で載置されている。ステージ4の移動中、パレット6およびワークWがXY方向に位置ずれしないように、パレット6はステージ4に、ワークWはパレット6にそれぞれ保持されている。しかし、パレット6に対する各ワークWの位置は常に一定している訳ではなく、例えば図4に示すように、パレット6上に5個のワークWがX軸方向に並べて載置されているが、各ワークWのX方向の間隔およびY方向位置にはばらつきがある。
【0014】
ワークWとしては、振動電極を複数個形成した圧電共振子のユニット(マザー基板)を用いることができる。圧電共振子としては、厚み縦振動モード、厚みすべり振動モード、長さ振動モードなど振動モードは問わない。ワークWは、予め目標値より高めの周波数となるように製作されており、個々のワークWの周波数が測定され、コントローラ7にその測定データが格納されている。
【0015】
検出ポジションP1の上方には、ワークWを撮像するCCDカメラなどのイメージセンサ10が設置されている。イメージセンサ10はワークWを正面から撮影できるように、XYZ軸方向の位置が調整されている。撮像前に、ワークWがイメージセンサ10の下方になるよう、ステージ4はY方向の大凡の位置に移動される。イメージセンサ10の撮像データはコントローラ7に送られ、かつモニタ11に映される。コントローラ7はワークWの形状を画像認識し、X,Y座標を求めるとともに、個々のワークWのインク塗布位置を算出する。算出された位置情報と、予め測定された周波数とに基づき、塗布模様を作成し、ビットマップデータを作成する。個々のワークWの塗布模様は、その形状や予め測定された周波数によって異なる。例えば、目標周波数との周波数差が大きいワークWでは、塗布模様(塗布密度)を濃くし、目標周波数との周波数差が小さいワークWでは、塗布模様(塗布密度)を薄くすればよい。
【0016】
コントローラ7は、上記のインク塗布位置の算出、ビットマップ化のほか、イメージセンサ10による認識位置と実際のインクの塗布位置とが合致するように、後述する通過センサ30によるステージ4の通過信号を受けて通過時から所定の遅延時間をもってインクの吐出タイミングを決定する機能や、ビットマップデータに基づき必要なノズルから適量のインクを吐出させる機能などを有する。
【0017】
塗布ポジションP2の上方には、ワークWに対して微粒子(ドット)状の周波数調整インクを塗布するオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッド20が設置されている。印字ヘッド20は駆動装置23によってXYZ軸およびθ軸方向に位置調整可能である。Z軸方向については、図2に示すように、ノズル21とワークWとの間隔Lが0.5〜5mm以下になるように調整されている。印字ヘッド20は、図3に示すように、下端部に複数チャンネルのノズル21を等間隔に配列したものであり、ノズル21のY方向塗布領域が全ワークWの塗布位置のY方向最大ばらつき以上の大きさを有する。図3では、説明を簡単にするため6チャンネル1列のノズル21を用いたが、実際にはそれ以上のチャンネルを複数列配列したものを用いる。イメージセンサ10による検出結果に基づいて、選択されたノズル21から適量の周波数調整インク22をワークWに対してドット状に塗布する。周波数調整インク22としては、例えばUV硬化樹脂、ワニス、熱硬化樹脂などが用いられる。帯電制御式の場合、インクの種類は限定されるが、オンデマンド式の場合には種々の材料を使用できる。
【0018】
印字ヘッド20に設けられたノズル21の配列方向は、図3に示すように、X方向に対して所定角度θだけ傾斜していてもよい。この場合には、次式のように塗布間隔Sをノズル21の間隔Dに比べて小さくでき、Y軸方向の分解能を上げることができる。
S=D・sinθ
【0019】
ワークWはパレット6を介してステージ4に載せられて印字ヘッド20の下方へ搬送され、ノズル21によりワークWの必要部に周波数調整インク22が塗布される。塗布ポジションP2の下流側には、図5に示すように、UVランプやブロアーなどの硬化装置31が配置され、インク4の乾燥,硬化を行う。その後、ワークWの周波数を再度測定することで、所望の周波数になったかどうかを判定し、周波数が目標値より設定値以上高い場合には、ワークWは再度ステージ4に載せられ、上記と同様の調整を繰り返す。
【0020】
本発明にかかる周波数調整方法の一例を図4,図5にしたがって説明する。
図4の(a)は検出ポジションP1に配置されたパレット6とパレット6上に載置されたワークWとを示す。ワークWのX方向間隔およびY方向の位置にはばらつきがある。
図4の(b)は、パレット6上に載置された各ワークWの対角位置のエッジを認識し、ワークの位置を認識した状態を示す。
図4の(c)は(b)で検出されたワークの外形位置から、インク22の塗布位置を算出した状態を示す。
図4の(d)は(c)で算出した塗布位置をビットマップ化した状態を示す。
図4の(a)〜(d)までの処理は、図5の(a)で示す検出ポジションP1で実施する。
次に、リニアガイド2上のステージ4を塗布ポジションP2に向かってX軸方向へ一定速度で走らせる。その途中で、図5の(b)のように通過センサ30によってステージ4が通過したことを検出し、その信号をコントローラ7に送る。センサ30の位置と印字ヘッド20による吐出タイミングとを予め求めておき、必要に応じて遅延時間を設定することで、イメージセンサ10での認識位置と実際のインクの着弾位置とをX軸方向に合わせることができる。
次に、図5の(c)のように、ステージ4が塗布ポジションP2つまり印字ヘッド20の下方を通過することにより、各ノズル21はビットマップデータに基づき、ワークW上の必要な位置に適量のインクを塗布する。このとき、Y軸方向についてはリニアガイド3などでの位置調整は行わない。ノズル21は等間隔で複数列配列されているので、必要な塗布位置の直上のノズル21のみが駆動され、その部分にドット状にインクを塗布する。つまり、Y軸方向の位置選択をノズル位置で管理している。
図4の(e)はこのようにしてインク22を塗布した後のワークWを示す。各ワークWの位置は一定していなくても、各ワークWの必要位置にインクが正確に塗布される。
その後、図5の(d)のようにステージ4は硬化位置まで運ばれ、ここでUVランプ31によってインク22が硬化される。
【0021】
図3に示すように、インク22の塗布位置は、基準座標(画像認識位置)に対するX方向のズレとY方向のズレとが発生する。X方向のズレは、通過センサ30の通過時から計算されるインクの吐出タイミングのずれなどに起因し、このズレは搬送機構の高精度化によって小さくすることが可能である。一方、Y方向のズレの原因は、各チャンネル間のノズルの位置バラツキであるが、そのバラツキはヘッド20の製作精度に起因するものであり、従来の帯電制御式インクジェットプリンタのような帯電ばらつきや周囲の雰囲気に影響されることがない。
このように、Y軸方向の塗布位置はヘッド20のノズル位置で決まり、周囲の雰囲気や帯電性ばらつきなどの影響を受けない。塗布したい位置のノズル21のみが選択的に駆動されてインクを吐出するので、Y軸方向の塗布精度は、ノズル21のチャンネル間バラツキと分解能(解像度)に集約することができ、全チャンネルにおいてほぼ±50μm程度の塗布精度を実現することができる。ノズル分解能は、図3のようにヘッド20をX軸方向に傾斜させることで、さらに高めることが可能である。
【0022】
上記実施例では、ワークWはステージ4に載せられて印字ヘッド20の下方を一定速度で通過し、通過する間にノズル21により周波数調整インク22を塗布する例を示したが、印字ヘッド20がX軸方向に所定の大きさを有する場合には、ワークWを印字ヘッド20の下方で一旦停止させてインク22を塗布してもよい。
また、イメージセンサ10による認識位置と実際のインクの塗布位置とが合致するように、通過センサ30によるステージ4の通過信号を受けてインクの吐出タイミングを決定したが、通過センサに代えてリニアガイド3の駆動装置からの信号に基づいてインクの吐出タイミングを決定してもよい。
さらに、複数のワークWをパレット6に整列させて搬送する例を示したが、ワークWが予め複数の圧電共振子を一体に形成したマザー基板で構成されている場合には、ワークWをステージ4に直接載置して搬送してもよい。なお、図4では1個のワークWに対して1箇所ずつインクを塗布したが、複数箇所に塗布してもよいことは勿論である。
搬送手段としては、実施例のようなリニアガイドに限るものではなく、X軸方向に精度よく搬送できるものであれば、如何なるものでもよい。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に係る周波数調整方法によれば、検出ポジションで塗布位置が検出された圧電共振子を塗布ポジションに向かってX方向に搬送し、オンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドのノズルによって圧電共振子の必要な位置に適量のインクを塗布するようにしたので、X軸方向の塗布精度は搬送手段の精度とインクの吐出タイミングによって得られ、Y方向の塗布精度はヘッドのノズル位置によって決まる。つまり、帯電制御式インクジェットプリンタのような帯電ばらつきや周囲の雰囲気に影響されることがないので、塗布精度を格段に上げることができる。
また、塗布後のインクの位置をフィードバックして位置補正を行うといった複雑な制御が不要であり、調整が簡単であるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる周波数調整装置の一例の全体斜視図である。
【図2】図1における印字ヘッドの拡大図である。
【図3】ヘッドとワークに塗布されたインクとの位置関係を示す図である。
【図4】位置認識からインク塗布に到るワークの変化を示す図である。
【図5】本発明にかかる周波数調整方法の一例の工程図である。
【符号の説明】
W ワーク(圧電共振子)
2,3 リニアガイド(搬送手段)
4 ステージ(搬送手段)
6 パレット
7 コントローラ
10 イメージセンサ
20 印字ヘッド
21 ノズル
22 周波数調整インク
Claims (4)
- 圧電共振子の上に周波数調整インクを塗布することで、その周波数を目標周波数に近づける圧電共振子の周波数調整方法において、
圧電共振子を検出ポジションへ位置させる工程と、
検出ポジションで搬送手段上の圧電共振子の塗布位置を画像認識により検出する工程と、
塗布位置の検出が終了した圧電共振子を塗布ポジションへX方向に搬送する工程と、
塗布ポジションに配置され、周波数調整インクのY方向塗布領域が上記圧電共振子の塗布位置のY方向ばらつき以上の大きさを有するよう多数のノズルを等間隔に配列したオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドによって、上記検出手段による検出結果に基づいて選択されたノズルから周波数調整インクを圧電共振子に対して塗布する工程と、を備えたことを特徴とする圧電共振子の周波数調整方法。 - 圧電共振子の上に周波数調整インクを塗布することで、その周波数を目標周波数に近づける圧電共振子の周波数調整装置において、
圧電共振子を検出ポジションから塗布ポジションへX方向に搬送する搬送手段と、
検出ポジションに配置され、搬送手段上の圧電共振子の塗布位置を画像認識により検出する検出手段と、
塗布ポジションに配置され、周波数調整インクのY方向塗布領域が上記圧電共振子の塗布位置のY方向ばらつき以上の大きさを有するよう多数のノズルを等間隔に配列し、上記検出手段による検出結果に基づいて選択されたノズルから周波数調整インクを圧電共振子に対して塗布するオンデマンド式インクジェットプリンタの印字ヘッドと、を備えたことを特徴とする圧電共振子の周波数調整装置。 - 上記インクジェットプリンタ用ヘッドに設けられたノズルと、搬送手段に保持された圧電共振子とのZ方向の間隔は、5mm以下であることを特徴とする請求項2に記載の圧電共振子の周波数調整装置。
- 上記インクジェットプリンタ用ヘッドに設けられたノズルの配列方向は、X方向に対して所定角度だけ傾斜していることを特徴とする請求項2または3に記載の圧電共振子の周波数調整装置。
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