【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、機器等の設置基準点表示装置、特に半導体装置の製造に際して前処理工程を行なうクリーンルーム内において、処理装置や自動搬送装置あるいはダクト、エレベータ、配管等の建物の付属物を設置する際に、機器等の設置位置を正確にコントロールし、自動搬送装置との間でロットのやりとりが確実に行なわれるようにするための位置決め手段である機器等の設置基準点表示装置及び設置方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、従来の位置決め手法を説明するための概略斜視図で、クリーンルーム内における機器配置の一例を示す。この図において、１は図示しない建物の一部を構成する柱、１０は柱１の中心で、機器等を設置する際の基準点とされる。
２はクリーンルーム内に設置される半導体装置等の処理装置、３は処理装置２に対応して設けられる自動搬送機器、４は自動搬送機器の一部であるカセット保管庫である。
【０００３】
一例として、カセット保管庫４の設置に際しての位置決め点となるケガキポイントＫの決定手法について説明する。先ず、柱１の隣接する２表面の各センターＬ、Ｍにマーキングする。次いで、ＬからＸ軸方向（図中の横方向）へ所定の寸法Ｘ０を測定し、Ｍを通るＸ軸方向の線上でその位置の床面にマーキングし、仮決めポイントＪとする。更に、ＪからＹ軸方向へ所定の寸法Ｙ０を測定し、その位置の床面にマーキングしてケガキポイントＫとする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の位置決め手法は以上のように構成され、建物の一部である柱の中心を基準点として床面にケガキをしていたため、複数の機器等を設置する場合に、機器毎に建物の異なる柱の中心から寸法取りすることがあり、この場合には、建物の寸法誤差がそのまま機器等の設置誤差になるという問題点があった。
また、据付業者によって位置決め方法が異なる場合があり、その都度、異なる基準点が床面にケガキされ、同様な作業が重複して実施されるという問題点があった。更に、ケガキした床材が動かされる可能性もあり、設置基準点としての信頼性に欠けるという問題点もあった。このため、複数の機器等を設置する場合の機器間の設置誤差を小さくするためには、複数の機器等に対するケガキを一度にまとめて行なう必要があり、作業上の負担が大きくなるという問題点があった。また、後で機器等の追加やレイアウト変更を行なう場合には、周辺の機器等と現物合わせ的に位置決めを行なうしか方法がないという問題点もあった。
【０００５】
この発明は、上記のような問題点に対処するためになされたもので、床面の邪魔にならない位置に設けられ、移動することがなく、ライン内の全ての機器等の位置基準となり、かつ方向も規定することができる機器等の設置基準点表示装置及び設置方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、機器等を設置すべき床面に設けられたグレーチングあるいは着脱可能な床材の下方で建物の構造材に固定され、基準点表示部となる上端面が上記床面とほぼ同一面となるようにされた基準点表示部材を備えたものである。
【０００７】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記基準点表示部材を、上記構造材に固定されたベース部材と、このベース部材に螺合され高さ調節可能とされた可動部材とから構成するものである。
【０００８】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記構造材を梁とするものである。
【０００９】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記構造材をコンクリート床とするものである。
【００１０】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記ベース部材に雌ねじを形成し、上記可動部材に上記雌ねじと螺合する雄ねじを形成したものである。
【００１１】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記ベース部材に雄ねじを形成し、上記可動部材に上記雄ねじと螺合する雌ねじを形成したものである。
【００１２】
この発明に係る機器等の設置方法は、上述した機器等の設置基準点表示装置において、上記基準点表示部材を四角形の角部に対応する４個所に設置し、上記各基準点表示部材を結ぶ線を基準にして機器等の位置決めを行なうものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図にもとづいて説明する。図１は、実施の形態１による機器等の設置基準点表示装置の構成を示す概略図で、例えばクリーンルームの床面に設けられたグレーチングと、その下方の構造材を含めた概略構成を示す斜視図である。この図において、１１は床面、１２は床面の一部に設けられたグレーチング、１３はグレーチング１２の下方に設けられた建物の構造材としての梁、２０はグレーチング１２の部分で梁１３上に固定された基準点表示部材で、その構成の一例を図２に斜視図で示す。即ち、２１はベース部材で、梁１３の上面に設置され、ねじ２２で固定される平板部２３と、この平板部２３から突設された筒状部２４とから構成されている。なお、この筒状部２４には雌ねじ２５が形成されている。２６は筒状部２４の雌ねじ２５に螺合された雄ねじ２７を有し、上下方向に高さ調節可能とされた可動部材で、上端面に基準点２８がマークされており、この面が図１に示すように、グレーチング１２の一部開口部を貫通してグレーチング１２の上面とほぼ同一面となるようにされている。
【００１４】
また、図３は、基準点表示部材２０の他の例を示す斜視図である。この図において、図２と同一または相当部分には同一符号を付している。図２と異なる点は、ベース部材２１の突設部が筒状ではなく、棒状体２４として平板部２３から突設され、その表面に雄ねじ２７が形成されると共に、可動部材２６は筒状体として形成され、上記雄ねじ２７と螺合する雌ねじ２５が形成されている点である。可動部材２６の上端面には基準点２８がマークされ、グレーチング１２の上面とほぼ同一面に位置するようにされている。
【００１５】
実施の形態１は、図２あるいは図３のように構成された基準点表示部材２０を建物の構造材である梁１３の上面に固定し、基準点２８が床面に位置するようにしているため、機器等の設置工事や床下の配管工事等に際してグレーチング１２が取り外されることがあっても基準点表示部材２０は移動させられる恐れはなく、正確な基準位置を表示する。
なお、上記の実施の形態においては、基準点表示部材２０をグレーチング１２の下方で建物の構造材に固定したが、グレーチングの下方に限られるものではなく、床面の一部が着脱可能になっている床材の下方で建物の構造材に固定するようにしてもよい。また、建物の構造材として梁の例を挙げたが、これに限られるものではなく、例えばコンクリート床に固定するようにしてもよい。
また、基準点表示部材２０は可動部材２６がねじによって高さ調節可能になっているため、上端面の基準点２８がグレーチングあるいは着脱可能な床材１２の上面とほぼ同一面となるように調節することが可能であり、基準点２８がグレーチングあるいは着脱可能な床材１２より上方に飛び出したり、あるいはグレーチングや着脱可能な床材の上面に届かず、へこみになってしまうようなことがない。
【００１６】
実施の形態２．
次に、この発明の実施の形態２である設置方法を図にもとづいて説明する。
図４は、実施の形態２による設置方法を説明するための説明図で、設置された機器等の平面図と、位置決めのための基準点を示す基準点表示部材の設置の仕方とを合わせて示すものである。
この図において、１は建物の柱、２Ａ、２Ｂは処理装置、３は自動搬送機器、４はカセット保管庫である。また、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは４個の基準点表示部材２０の基準点で、各基準点表示部材２０を図のように長方形等の四角形の角部に対応させて設置し、その上面に正確な測量をしてポイントを打ち、これらをライン内の機器等の設置のための基準点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとしたものである。
【００１７】
このように設置された４個の基準点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用いて例えば目標とするケガキ位置Ｉ（基準点Ａからの座標を（Ｘ１、Ｙ１）とする）を決定する手順を図５を用いて説明する。図５は、ケガキ位置Ｉを決定するまでの複数手順において、各手順で設定されるポイントを図４に追加した形の説明図である。
第１手順として、基準点Ａ、Ｂを結んだ線を基準点Ａの側に基準点ＡからＹ１だけ延長し、そのポイントをＥとする。
第２手順として、基準点Ｃ、Ｄを結んだ線を基準点Ｄの側に基準点ＤからＹ１だけ延長し、そのポイントをＦとする。
第３手順として、基準点Ａ、Ｄを線で結び、基準点ＡからＤの側にＸ１だけ測定し、そのポイントをＧとする。
第４手順として、基準点Ｂ、Ｃを線で結び、基準点ＢからＣの側にＸ１だけ測定し、そのポイントをＨとする。
第５手順として、ポイントＧ、Ｈを結んだ線をＧ側に延長し、ポイントＥ、Ｆを結んだ線との交点を求める。この交点が目標とするケガキ位置Ｉであり、四角形に設置した基準点から容易に正確に求めることができる。
【００１８】
【発明の効果】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、機器等を設置すべき床面に設けられたグレーチングあるいは着脱可能な床材の下方で建物の構造材に固定され、基準点表示部となる上端面が上記床面とほぼ同一面となるようにされた基準点表示部材を備えたものであるため、機器等の設置工事や床下の配管工事等に際してグレーチングや着脱可能な床材が取り外されることがあっても、基準点表示部材は移動することなく、正確な基準位置を表示することができる。
【００１９】
この発明に係る機器等の設置基準点表示装置は、また、上記基準点表示部材を、上記構造材に固定されたベース部材と、このベース部材に螺合され高さ調節可能とされた可動部材とから構成したため、基準点表示部材の上端面の基準点がグレーチングあるいは着脱可能な床材の上面とほぼ同一面となるように調節することが可能であり、基準点がグレーチングあるいは着脱可能な床材より上方に飛び出したり、これらの面に届かずに、へこみになってしまうようなことがない。
【００２０】
この発明に係る機器等の設置方法は、上述した機器等の設置基準点表示装置において、上記基準点表示部材を四角形の角部に対応する４個所に設置し、上記各基準点表示部材を結ぶ線を基準にして機器等の位置決めを行なうものであるため、目標とするケガキ位置を容易に、かつ正確に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１による機器等の設置基準点表示装置の構成を示す概略図である。
【図２】実施の形態１における基準点表示部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図３】実施の形態１における基準点表示部材の構成の他の一例を示す斜視図である。
【図４】この発明の実施の形態２による設置方法を説明するための説明図である。
【図５】この発明の実施の形態２によるケガキ位置決定の手順を説明するための説明図である。
【図６】従来の位置決め手法を説明するための概略斜視図である。
【符号の説明】
１１ 床面、 １２ グレーチング、 １３ 梁、 ２０ 基準点表示部材、 ２１ ベース部材、 ２３ 平板部、 ２４ 筒状部、 ２５
雌ねじ、 ２６ 可動部材、 ２７ 雄ねじ、 ２８ 基準点。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an installation reference point display device for equipment and the like, particularly when a processing device, an automatic transfer device or an accessory of a building such as a duct, an elevator or a pipe is installed in a clean room in which a pre-processing step is performed when manufacturing a semiconductor device. In addition, the present invention relates to an installation reference point display device and an installation method of an equipment, etc., which is a positioning means for accurately controlling the installation position of the equipment and the like, so that a lot can be exchanged with an automatic transfer device. It is.
[0002]
[Prior art]
FIG. 6 is a schematic perspective view for explaining a conventional positioning method, and shows an example of equipment arrangement in a clean room. In this figure, reference numeral 1 denotes a pillar which forms a part of a building (not shown), and reference numeral 10 denotes a center of the pillar 1, which is a reference point when installing equipment and the like.
Reference numeral 2 denotes a processing device such as a semiconductor device installed in a clean room, 3 denotes an automatic transfer device provided corresponding to the processing device 2, and 4 denotes a cassette storage which is a part of the automatic transfer device.
[0003]
As an example, a description will be given of a method of determining a marking point K serving as a positioning point when the cassette storage 4 is installed. First, the centers L and M on two adjacent surfaces of the pillar 1 are marked. Next, a predetermined dimension X0 is measured from L in the X-axis direction (horizontal direction in the figure), and marked on the floor at that position on a line in the X-axis direction passing through M to be a provisionally determined point J. Further, a predetermined dimension Y0 is measured from J in the Y-axis direction, and a marking is made on the floor at that position to be a marking point K.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional positioning method is configured as described above, and the floor is marked with the center of the pillar that is a part of the building as a reference point, so when installing a plurality of devices, the building differs for each device. In some cases, dimensions are taken from the center of the pillar, and in this case, there is a problem that a dimensional error of the building directly becomes an installation error of the equipment and the like.
In addition, there are cases where the positioning method differs depending on the installer, and in each case, a different reference point is marked on the floor surface, and there has been a problem that the same operation is repeatedly performed. Further, there is a possibility that the floor material that has been injured may be moved, and there is also a problem that the reliability as an installation reference point is lacking. For this reason, in order to reduce the installation error between devices when installing a plurality of devices, it is necessary to perform marking on the plurality of devices at once, which increases the work load. was there. In addition, when a device or the like is added or a layout is changed later, there is a problem that there is no other way but to perform positioning in accordance with a device in the vicinity.
[0005]
The present invention has been made in order to address the above-described problems, and is provided at a position that does not interfere with the floor surface, does not move, serves as a position reference for all devices and the like in the line, and It is an object of the present invention to provide an installation reference point display device and an installation method for a device or the like capable of defining a direction.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention is fixed to a structural material of a building below a grating or a detachable floor material provided on a floor on which the apparatus or the like is to be installed, and serves as a reference point display section. A reference point indicating member having an upper end surface substantially flush with the floor surface is provided.
[0007]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention further includes a base member fixed to the structural member, and a movable member which is screwed to the base member to adjust the height. It consists of and.
[0008]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention uses the structural material as a beam.
[0009]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention uses the structural material as a concrete floor.
[0010]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention has an internal thread formed on the base member and an external thread formed on the movable member to be screwed with the internal thread.
[0011]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention has a male screw formed on the base member and a female screw screwed with the male screw on the movable member.
[0012]
According to the method for installing devices or the like according to the present invention, in the above-described device or the like installation reference point display device, the above-mentioned reference point display members are installed at four locations corresponding to the corners of a square, and the above-mentioned respective reference point display members are connected. The positioning of the device or the like is performed based on the line.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Embodiment 1 FIG.
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an installation reference point display device for devices and the like according to a first embodiment. For example, a perspective view showing a schematic configuration including a grating provided on a floor of a clean room and a structural material therebelow. FIG. In this figure, 11 is a floor surface, 12 is a grating provided on a part of the floor surface, 13 is a beam as a structural material of a building provided below the grating 12, and 20 is a portion of the grating 12 on the beam 13. FIG. 2 is a perspective view showing an example of the configuration of the reference point display member fixed to the base member. That is, reference numeral 21 denotes a base member, which is provided on the upper surface of the beam 13 and includes a flat plate portion 23 fixed by screws 22 and a tubular portion 24 protruding from the flat plate portion 23. Note that a female screw 25 is formed in the cylindrical portion 24. Reference numeral 26 denotes a movable member having a male screw 27 screwed into the female screw 25 of the cylindrical portion 24, the height of which is adjustable in the vertical direction. A reference point 28 is marked on the upper end surface. As shown in FIG. 1, a part of the opening of the grating 12 is penetrated to be substantially flush with the upper surface of the grating 12.
[0014]
FIG. 3 is a perspective view showing another example of the reference point display member 20. In this figure, the same or corresponding parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. 2 is different from FIG. 2 in that the protruding portion of the base member 21 is not cylindrical, but protrudes from the flat plate portion 23 as a rod-like body 24, and a male screw 27 is formed on the surface thereof. And a female screw 25 to be screwed with the male screw 27 is formed. A reference point 28 is marked on the upper end surface of the movable member 26 so as to be located on substantially the same plane as the upper surface of the grating 12.
[0015]
In the first embodiment, the reference point display member 20 configured as shown in FIG. 2 or 3 is fixed to the upper surface of the beam 13 which is a structural material of a building, and the reference point 28 is located on the floor. Therefore, even if the grating 12 is detached in the installation work of the equipment or the like or the plumbing work under the floor, the reference point display member 20 does not have to be moved, and the accurate reference position is displayed.
In the above-described embodiment, the reference point display member 20 is fixed to the structural material of the building below the grating 12, but is not limited to below the grating, and a part of the floor can be detached. It may be fixed to the structural material of the building below the floor material. In addition, although the example of the beam is given as the structural material of the building, the present invention is not limited to this, and may be fixed to a concrete floor, for example.
In addition, since the height of the movable member 26 can be adjusted by a screw, the reference point display member 20 is adjusted such that the reference point 28 on the upper end surface is substantially flush with the upper surface of the grating or the removable flooring 12. The reference point 28 does not protrude above the grating or the detachable floor material 12 or reach the upper surface of the grating or the detachable floor material, so that there is no dent.
[0016]
Embodiment 2 FIG.
Next, an installation method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an installation method according to the second embodiment, in which a plan view of installed equipment and the like and a method of installing a reference point display member indicating a reference point for positioning are combined. It is shown.
In this figure, 1 is a pillar of a building, 2A and 2B are processing devices, 3 is an automatic transport device, and 4 is a cassette storage. A, B, C, and D are the reference points of the four reference point display members 20, and each reference point display member 20 is installed corresponding to a square corner of a rectangle as shown in the figure, , And the points are set, and these are set as reference points A, B, C, and D for installation of devices and the like in the line.
[0017]
The procedure for determining a target marking position I (coordinates from the reference point A are (X1, Y1)) using the four reference points A, B, C, and D thus installed is shown. 5 will be described. FIG. 5 is an explanatory diagram of a form in which points set in each procedure are added to FIG. 4 in a plurality of procedures until the marking position I is determined.
As a first procedure, a line connecting the reference points A and B is extended to the reference point A side by Y1 from the reference point A, and the point is set to E.
As a second procedure, a line connecting the reference points C and D is extended from the reference point D by Y1 to the reference point D side, and the point is defined as F.
As a third procedure, the reference points A and D are connected by a line, X1 is measured from the reference points A to D, and the point is set to G.
As a fourth procedure, the reference points B and C are connected by a line, X1 is measured from the reference points B to C, and the point is set to H.
As a fifth procedure, a line connecting points G and H is extended to the G side, and an intersection with the line connecting points E and F is obtained. This intersection is the target marking position I, and can be easily and accurately obtained from the reference point provided in the square.
[0018]
【The invention's effect】
An installation reference point display device for devices and the like according to the present invention is fixed to a structural material of a building below a grating or a detachable floor material provided on a floor on which the devices and the like are to be installed, and serves as a reference point display unit. Since it is provided with a reference point indicating member whose upper end surface is substantially the same as the floor surface, gratings and detachable floor materials are removed at the time of installation work of equipment and the like and piping work under the floor. In some cases, the reference point display member can display an accurate reference position without moving.
[0019]
An installation reference point display device for an apparatus or the like according to the present invention further includes a base member fixed to the structural member, and a movable member which is screwed to the base member to adjust the height. Therefore, it is possible to adjust the reference point on the upper end surface of the reference point display member to be substantially the same as the upper surface of the grating or the detachable floor material, and the reference point can be adjusted by the grating or the detachable floor. There is no danger of jumping above the material or dents without reaching these surfaces.
[0020]
According to a method of installing equipment and the like according to the present invention, in the installation reference point display device for equipment and the like described above, the reference point display members are installed at four locations corresponding to the corners of a square, and the reference point display members are connected. Since the positioning of the device or the like is performed based on the line, the target marking position can be easily and accurately obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an installation reference point display device for devices and the like according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a configuration of a reference point display member according to the first embodiment.
FIG. 3 is a perspective view showing another example of the configuration of the reference point display member according to the first embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an installation method according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining a procedure for determining a marking position according to a second embodiment of the present invention;
FIG. 6 is a schematic perspective view for explaining a conventional positioning method.
[Explanation of symbols]
11 floor surface, 12 grating, 13 beams, 20 reference point display member, 21 base member, 23 flat plate portion, 24 cylindrical portion, 25
Female thread, 26 Movable member, 27 Male thread, 28 Reference point.
