JP2004003890A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SOI基板100表面のp+ 型層を有するp型シリコン層103に、物理量を電気信号として出力するセンサ素子、例えばピエゾ抵抗素子105を形成する。又、その外周に分離絶縁された第1接合層104を形成し、裏面に所定個所を貫通して表面のピエゾ抵抗素子105の端部と導通した第1電極を備える。又、合わせ基板120表面に、第1接合層104と接合する第2接合層122と、対向するピエゾ抵抗素子105の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極123を備える。又、裏面に信号取り出し電極123と導通した第2電極を備える。そして、ピエゾ抵抗素子105を内包するよう両基板を重ね、第1接合層104と第2接合層122を陽極接合する。これにより、頑強で、第1電極と第2電極が対向して形成された小型化半導体センサ装置が実現される。
【選択図】図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に形成されたセンサ素子からなる小型センサ装置に関する。特に、センサ素子を内包するように2枚の基板を張り合わせ、それぞれの基板裏面に第1電極と第2電極が対向するように形成し、小型で頑強に形成したセンサ装置に関する。本発明は、センサ素子がピエゾ抵抗である圧力センサに適用できる。
【0002】
【従来の技術】
従来より、ピエゾ抵抗素子を利用した小型圧力センサがある。そのピエゾ抵抗素子は、半導体製造技術によってシリコン基板上に形成されたものである。例えば、特開平8−271363号公報に開示の力検知素子およびその製造方法はその1例である。これは、図12に示すように、(110)面を主面とするシリコン基板40に、例えば<100>方向と<110>方向にピエゾ抵抗であるゲージGa1、Ga2、Gb1、Gb2と、それぞれのゲージ間に電極44a1、44a2、44b1、44b2を設け、4つのピエゾ抵抗で方形のホイートストンブリッジを構成し、そして、その上に力伝達ブロック60を設けることを特徴としている。 この構成において、力伝達ブロック60に上方から力が印加されると、各ゲージが押圧される。この時、応力によって<100>方向と<110>方向で異なるピエゾ抵抗係数により抵抗値に差が生じる。よって、このピエゾ抵抗の差を検出すれば、応力が検出されることになる。この発明では、各頂点を電極として1対の対角の頂点に定電圧を印加し、残りの2頂点の電位差を検出し、それにより力伝達ブロック60に印加された力を求めるものである。
【0003】
又、他に例えば特開2001−304997号公報に開示の半導体圧力センサがある。これは、図示はしないが(100)を主面とするシリコン基板上に、<110>方向と<100>方向にゲージを菱状に形成し、センサ素子と同一面にアンプ等の信号処理回路を作成したことを特徴としている。信号処理回路は、CMOS形成プロセスにおける閾値電圧制御や、作製後のキャリア移動度の高さから(100)面が有利となっているからである。
【0004】
そして、特開平8−271363号公報に開示の力検知素子50、又は特開2001−304997号公報に開示の半導体圧力センサは、例えば圧力センサとして製品化する場合には、例えば図13、図14に示されるようにパッケージングされる。例えば力検知素子50は、先ずセンサハウジング70中央に設置され、上記電極44a1、44a2、44b1、44b2と同一平面に形成された取り出し端子T1 、T2 、T3 、T4 が例えばワイヤー51によって接続される。そして、図14に示すように力検知素子50上部にそれに接触するように力伝達ロッド71とダイアフラム72が搭載される。即ち、圧力によるダイアフラム72の撓みが力伝達ロッド71によって力検知素子50に伝達され、力検知素子50がその力を検知し電位差で出力する構造となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したように上記構造のセンサ装置を他の機器、他のセンサに採用する場合、センサ装置は同一平面内で取り出し端子とワイヤーボンディングする必要がある。即ち、少なくとも、ボンディングワイヤーのスペースが必要となり、必ずしも小型化されるものではない。又、ワイヤーボンディング工程が必要となり、作業効率が向上するものではない。更に、ワイヤーボンディングは、振動環境には適した手法ではなく、車輌搭載等の振動環境が要求する頑強性に応えるものではない。
【0006】
本発明は上記の課題を解決するために成されたものであり、その目的は基板上にセンサ素子を形成し、そのセンサ素子を内包するように他の基板を貼り合わせ、それぞれの基板裏面に電極を形成することにより、ボンディングワイヤーをなくしてセンサ装置を従来より小型化することである。
又、SOI基板を採用することにより、センサ素子に影響を与えることなく両基板を陽極接合することである。これにより、より頑強性に優れたセンサ装置を提供することである。又、これにより量産性を高めることである。又、接着剤接合をも可能とし、製作の容易なセンサ装置を提供することである。
尚、上記目的は個々の発明が個々に達成する目的であって、一つの発明が全ての目的を達成するものと解釈されるべきではない。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1に記載のセンサ装置はSOI基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周にセンサ素子と分離されて形成された第1接合層とを備え、裏面に所定個所を貫通して表面のセンサ素子の端部と導通する第1電極を備え、又、合わせ基板表面に第1接合層と接合する第2接合層とセンサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極を備え、その裏面に信号取り出し電極と導通した第2電極を備え、そのセンサ素子を内包するようにSOI基板と合わせ基板を接合し、第1電極と第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とする。
【0008】
又、請求項2に記載のセンサ装置は、SOI基板表面の所定箇所に信号取り出し電極と、その外周に取り出し電極と分離されて形成された第1接合層を備え、その裏面に信号取り出し電極と導通した第1電極を備え、又、合わせ基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子を備え、その裏面に所定個所を貫通して表面のセンサ素子の端部と導通した第2電極を備えて、そのセンサ素子を内包するようにSOI基板と合わせ基板を接合し、第1電極と第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とする。
【0009】
又、請求項3に記載のセンサ装置は請求項1又は請求項2に記載のセンサ装置であって、第1接合層及び第2接合層は陽極接合用の接合層であって、第1接合層はセンサ素子と絶縁され、SOI基板と合わせ基板は陽極接合によって接合されることを特徴とする。
【0010】
又、請求項4に記載のセンサ装置は、第1基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周にセンサ素子と分離して第1接合層を備え、その裏面に表面のセンサ素子の端部と導通した第1電極を備え、又、第2基板表面に第1接合層と接合する第2接合層とセンサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極を備え、その裏面に信号取り出し電極と導通した第2電極を備えて、センサ素子を内包するように第1基板と第2基板を接合し、第1電極と第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とする。
【0011】
又、請求項5に記載のセンサ装置は請求項4に記載のセンサ装置であって、第1基板はシリコン基板であり、第1接合層及び第2接合層は接着剤によって接合されることを特徴とする。
又、請求項6に記載のセンサ装置は請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のセンサ装置であって、センサ素子はピエゾ抵抗素子であることを特徴とする。
【0012】
【作用及び発明の効果】
請求項1に記載のセンサ装置は、2枚の基板、即ちSOI基板と合わせ基板の接合によって形成される。SOI基板表面には、物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周にセンサ素子と分離されて形成された第1接合層とが形成される。又、その裏面にはSOI基板の所定個所を貫通して表面のセンサ素子の端部と導通した第1電極が形成されている。ここでSOI基板とは、Silicon On Insulator基板を指す。よって、半導体製造技術によって、容易に例えばピエゾ抵抗素子等のセンサ素子を作成することができる。
【0013】
又、合わせ基板表面には、第1接合層と接合する第2接合層とセンサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極が形成され、その裏面には信号取り出し電極と導通した第2電極が形成されている。そして、このSOI基板と合わせ基板をセンサ素子を内包するように重ね、SOI基板の第1接合層と合わせ基板の第2接合層を接合する。又、この時、SOI基板のセンサ素子の他方端と合わせ基板の信号取り出し電極を接触させる。即ち、SOI基板裏面の第1電極と、その表面のセンサ素子と、合わせ基板裏面の第2電極を導通状態とする。即ち、センサ素子の特性が物理量によって変化すると、その変化が第1電極、第2電極間に出力される構成とする。
【0014】
上記のように接合すると、第1電極と第2電極は両基板を挟んで対向するようになる。即ち、従来のようにセンサ装置と同一平面内に、例えばハーメ端子等の取り出し端子を形成し、それぞれボンディングワイヤーで接続する必要がない。即ち、直接、接合された2枚の基板の両端(第1電極、第2電極)に端子を接続するだけで、容易に物理量の変化を検出することができる。即ち、従来よりセンサ装置を小型化することができる。又、ワイヤ−ボンディングの工程が省略できるので、作業効率が向上する。又、ボンディングワイヤーがないので、従来より頑強なセンサ装置とすることもできる。
尚、第1基板と第2基板の接合は、例えば接着剤で接合する。センサ装置と第1接合層は分離されているので、接着剤の影響はセンサ素子には及ばない。
【0015】
又、請求項2に記載のセンサ装置はセンサ素子を合わせ基板に形成し、信号取り出し電極をSOI基板に形成した構成である。即ち、SOI基板表面の所定箇所に信号取り出し電極と、その外周に取り出し電極と絶縁されて形成された第1接合層を形成し、そのSOI基板裏面に信号取り出し電極と導通した第1電極を備えている。そして、合わせ基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子を備え、その合わせ基板裏面に所定個所を貫通して表面のセンサ素子の端部と導通した第2電極を備えている。両基板をそのセンサ素子を内包するようにSOI基板と合わせ基板を接合し、第1電極と第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されている。よって、請求項1に記載のセンサ装置と同等の効果がある。
【0016】
又、請求項3に記載のセンサ装置は請求項1又は請求項2に記載のセンサ装置であって、第1接合層及び第2接合層は陽極接合用の接合層であって、SOI基板と合わせ基板は陽極接合によって接合されている。尚、この時、第1接合層はセンサ素子と絶縁される構造となっている。即ち、センサ素子と分離絶縁されている。ここで、接合層とは導電体(p型シリコン、n型シリコン)上に形成された例えば不純物を含むガラス薄膜である。第1接合層と第2接合層を接触させて、例えば高温下において両層間に電圧を印加する接合方法である。両層に電圧を印加すると、接合層は薄膜であるので両薄膜間には高静電界が生じ、高温下であるので高静電界によってガラス等の絶縁体に含まれる可動イオンが移動する。その結果、両界面において新たな共有結合が生じる(陽極接合)。共有結合であるので、SOI基板と合わせ基板は極めて強固に接合される。よって、振動等に頑強なセンサ装置とすることができる。
【0017】
又、陽極接合時、センサ素子は第1接合層と分離絶縁される構造となるので、陽極接合時における電圧印加の影響は受けない。即ち、過電流、高静電界によってセンサ素子は破壊されることはない。よって、SOI基板を用いた陽極接合であれば、センサ素子に影響を与えることなく両者を強固に接合することができる。更に、SOI基板と合わせ基板を陽極接合すれば、その陽極接合後のダイシングが可能となる。即ち、チッピングの恐れや切削粉のセンサ素子への混入を防ぐことができる。即ち、信頼性の高いセンサ装置とすることができる。又、陽極接合はバッチ処理が可能であるので、生産性を飛躍的に向上させることもできる。
【0018】
又、請求項4に記載のセンサ装置は、第1基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周にセンサ素子と分離して第1接合層を備え、その裏面に表面のセンサ素子の端部と導通した第1電極を備えている。又、第2基板表面に第1接合層と接合する第2接合層とセンサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極を備え、その裏面に信号取り出し電極と導通した第2電極を備えている。そして、そのセンサ素子を内包するように第1基板と第2基板を重ねて接合する。この構造は、第1基板裏面の第1電極と、その表面のセンサ素子と、第2基板裏面の第2電極が導通する構造である。よって、センサ素子の特性が物理量によって変化するとその変化が第1電極、第2電極間に出力される。又、上記のように両基板を重ねて接合すると、第1電極と第2電極は両基板を挟んで対向することになる。即ち、請求項1及び請求項2に記載のセンサ装置と同等の効果を得ることができる。即ち、小型で頑強なセンサ装置とすることができる。
【0019】
又、請求項5に記載のセンサ装置は請求項4に記載のセンサ装置であって、第1基板はシリコン基板であり、第1接合層及び第2接合層は接着剤によって接合されている。第1基板はシリコン基板であるので、半導体製造技術によって例えば応力を検知するピエゾ抵抗素子等を容易に形成することができる。また、MEMS技術等によって、例えば加速度を検出する静電素子(コンデンサ)等を容易に形成することができる。又、第1接合層と第2接合層は接着剤によって接合されている。よって、高温雰囲気、印加電圧等を必要とせず容易にセンサ装置を製造することができる。
【0020】
又、請求項6に記載のセンサ装置は請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のセンサ装置であって、センサ素子はピエゾ抵抗素子である。ピエゾ抵抗素子はシリコン上に半導体製造技術で容易に形成される素子であり、応力によって抵抗値が変化する素子である。よって、その変化量を測定すれば容易に応力を推定することができる。例えば、ダイアフラムに圧力伝達ブロックを設け、その圧力伝達ブロックでこのピエゾ素子を押圧するように構成すれば、容易に圧力検出装置を実現することができる。即ち、小型で頑強な圧力検出装置を実現することができる。尚、シリコン基板の主面はピエゾ効果が大きい(110)面が望ましいが、特に限定するものではない。他の面方位でもよい。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施例を例示する。尚、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
(第1実施例)
図1に、本発明の具体的な1実施例に係るセンサ装置を示す。このセンサ装置は印加される応力に応じて抵抗値を変化させる応力センサ装置である。又、図は、その正面図(a)と鳥瞰図(b)である。本実施例の応力センサ装置は、裏面に第1電極である電極80が形成され、表面に後述するセンサ素子と第1接合層が形成されたSOI基板100、同じく裏面に第2電極である電極90が形成され、表面に第2接合層及び上記センサ素子の一端から信号を取り出す為の信号取り出し電極が形成された合わせ基板120から構成される。本実施例のセンサ装置は、このように両面に電極80、90を設けて対向電極構造とし、小型化したことが特徴である。又、この構造により、パッケージング時のワイヤーボンディングの必要性をなくし、耐震性を向上させたことが特徴である。
【0022】
図2、図3にその内部図を示す。SOI基板100の表面中央には、センサ素子であるピエゾ抵抗素子105が形成され、その外周にはピエゾ抵抗素子105と分離絶縁された第1接合層104が形成されている。これらは、例えばリソグラフィ技術、エッチング技術等の半導体製造技術によって形成される。製造にあたっては、例えばp型シリコン基板101、絶縁層102(SiO2 層)、表面にp+ 型シリコン層を有したp型シリコン層103からなるSOI基板100を用意する。そして、リソグラフィ技術、エッチング技術等の半導体製造技術によってピエゾ抵抗素子105を形成し、その上に第1接合層104を形成する。接合層とは、不純物を含んだガラス層であり例えばパイレックスガラス(登録商標)である。そして、リソグラフィ技術、エッチング技術、スパッタリング技術等により電極106、107を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子105を伴ったSOI基板100が形成される。尚、電極106は、絶縁層102を貫通してp型シリコン基板101に導通しているものとする。
【0023】
又、合わせ基板120は、電極とオーミックコンタクトをとりやすくするために同じく両面にp+ 型層を有するp型シリコン基板121からなり、その裏面全面に第2電極90を有し、表面にSOI基板100の第1接合層104と接合する第2接合層122(パイレックスガラス層)、及びSOI基板100の電極107に接触して信号を取り出す信号取り出し電極123を有している。尚、信号取り出し電極123は第2接合層122を貫通してp型シリコン基板121に導通しているものとする。又、第2接合層122は、詳細には、予めp型シリコン基板121上にスパッタされたSiO2 層122a上に形成されている。そして、ピエゾ抵抗素子105を伴ったSOI基板100と、上記合わせ基板120が陽極接合される。
【0024】
陽極接合の方法を図3に示す。陽極接合は、ピエゾ抵抗素子105を内包するようにSOI基板100と合わせ基板120を重ねて第1接合層104と第2接合層122を接触させ、高温下で両層間に高静電界を印加することで行われる。例えば、全体を300〜400℃に加熱し両層間に数十〜数百Vを印加する。両層に電圧を印加すると、両層は薄膜であるので両薄膜間には高静電界が生じ、高温下であるので高静電界によってパイレックスガラス中のイオン化された不純物が移動する。その結果、両層の界面において新たな共有結合が生じる(陽極接合)。共有結合であるので、SOI基板100と合わせ基板120は図4に示す接合部Sにおいて極めて強固に接合される。よって、振動等に頑強なセンサ装置が形成される。
このセンサ装置の電極90、電極80間に電圧を印加すると、図4に示すようにピエゾ抵抗素子105に電流が流れる。この電流値、換言すればこのピエゾ抵抗素子105の抵抗値を検出すれば、このセンサ素子に印加された応力が検出されることになる。
【0025】
このセンサ装置を用いた圧力センサを図5に示す。図は、圧力センサの断面図である。この圧力センサ装置は、圧力によって湾曲するダイアフラム141、そのダイアフラム直下に取り付けられた力伝達ロッド142、センサ装置130(合わせ基板120+SOI基板100)、電極端子143、144、そしてそれらを設置するハウジング145から構成される。尚、電極端子143は力伝達ロッド142とセンサ装置間に挟持され、センサ装置130の第2電極90に接続されている。又、電極端子144はセンサ装置130の第1電極80に接続されている。
【0026】
使用にあたっては、例えばセンサ素子130をハウジング145内に密閉し、ダイアフラム141が例えばエンジン燃焼室に露出されるようにしてこの圧力センサを設置する。点火によりエンジン室内の圧力が増大するとダイアフラム141が圧力によって湾曲し、その湾曲量が力伝達ロッド142によって伝達されてセンサ素子130のピエゾ抵抗値によって検出される。即ち、点火毎に圧力が検出されることになる。この圧力センサは、従来のようにセンサ素子はワイヤーボンディングで接続されていない。よって、エンジン燃焼等の振動環境においても、破壊されることがない。又、電極端子とセンサ装置のワイヤーボンディング空間がないので、圧力センサを小型化することができる。即ち、圧力センサの設置に伴う燃焼室設置への影響を最小にすることができる。
【0027】
又、本実施例のセンサ装置は、量産性にも優れている。本実施例のセンサ装置は、半導体製造技術によってシリコンウエハ上に多数作成することができ、各センサ装置は、ピエゾ抵抗素子105の周囲を取り囲んだ第1整合層104と第2接合層122の陽極接合により完全に密閉された構造となっている(図2)。よって、図6に示すように接合されたシリコンウエハをダイシング台20にセットし、接合部Sをダイシングソーによって切断すれば、容易に分離することができる。この時、密閉構造であるので、ダイシングソーによるシリコンウエハの切削粉等は混入することがない。よって、量産性に優れたセンサ装置とすることができる。
【0028】
(第2実施例)
第1実施例では、ピエゾ抵抗素子はSOI基板表面に形成したが、逆に合わせ基板(シリコン基板)表面に形成してもよい。第2実施例は、合わせ基板上にピエゾ抵抗素子を形成し、信号取り出し電極をSOI基板に形成した例である。図7に本実施例のセンサ装置の断面図を示す。
本実施例のセンサ装置は、裏面に第1電極である電極80が形成され表面に信号取り出し電極203と第1接合層204が形成されたSOI基板200と、同じく裏面に第2電極である電極90が形成され表面にピエゾ抵抗素子205と第2接合層222が形成された合わせ基板220から構成される。
【0029】
SOI基板200は、詳細には、p型シリコン基板201の上に絶縁層202(SiO2 層)が形成され、その絶縁層202を貫通して信号取り出し電極203が形成されている。又、その信号取り出し電極203の周辺には、その信号取り出し電極203と分離絶縁されて第1接合層204(パイレックスガラス層)が形成されている。これらも、第1実施例と同様、半導体製造技術で形成される。尚、信号取り出し電極203直下のシリコンはp+ 型となっており電極203とのオーミックコンタクトをとり易くしている。
【0030】
又、合わせ基板220は、n型シリコン基板221から作成される。その表面はp+ 型層となっており、そのp+ 型層に半導体製造技術によりピエゾ抵抗素子205が形成されている。そして、そのピエゾ抵抗素子205を覆うように第2接合層222(SiO2 層)が形成されている。尚、そのピエゾ抵抗素子205の片端の一部はイオン打ち込み技術等でn+ となっており、p+ 型であるピエゾ抵抗素子205の片端は電極206bを介してn+ 型に接続されており、電気抵抗が小に形成されている。又、ピエゾ抵抗素子205の他方端には、第2接合層222を貫通して電極206が形成されている。この電極206は、SOI基板200と合わせ基板220との接合時には、信号取り出し電極203と導通するものである。そして、合わせ基板220とSOI基板200が、第1実施例と同様にピエゾ抵抗素子205を内包するようにして重ねられ、陽極接合される。即ち、第1接合層204側の不純物(パイレックスガラスの不純物)が第2接合層222へ拡散することにより、両層が強固に接合される。この時、電圧はSOI基板200外周の接合層204と合わせ基板220の第2接合層222に印加されるので、外周のみ接合される。又、第1接合層204はピエゾ抵抗素子205とは分離絶縁されているので、陽極接合時の電圧印加によって破壊されることはない。
【0031】
図8に陽極接合後の第2実施例のセンサ装置を示す。このセンサ装置の電極90、電極80間に電圧を印加すると、図8に示すようにシリコン基板201のp+ 領域、信号取り出し電極203、ピエゾ抵抗素子205、n+ 型領域を経由して電流が流れる。この電流値、即ち、ピエゾ抵抗素子205の抵抗値を検出すれば、このセンサ素子に印加された応力が検出される。このように形成しても同等の効果が得られる。
【0032】
(第3実施例)
第1実施例、及び第2実施例は、陽極接合でSOI基板と合わせ基板を接合してセンサ装置を形成する例であった。本発明のセンサ装置は、陽極接合を用いなくとも作成することができる。第3実施例は、p型シリコン基板とn型シリコン基板を用いて作成されるセンサ装置の1例である。図9に第3実施例のセンサ装置を示す。図は、断面図である。本実施例のセンサ装置は、n型シリコン基板301の裏面に第1電極である電極80を有し、表面にセンサ素子であるピエゾ抵抗素子305を有した第1基板300と、p型シリコン基板321の裏面に第2電極である電極90を有し、表面に信号取り出し電極323を有した第2基板320から構成される。
【0033】
第1基板300において、詳細には、n型シリコン基板301の裏面は高濃度のn+ 型層302となっており電極80との抵抗が低減されている。又、表面にはp+ 型層303が成膜され、このp+ 型層303に半導体製造技術で例えば図2に示すピエゾ抵抗素子105と同等のピエゾ抵抗素子305が形成されている。そして、このピエゾ抵抗素子305の上に接合層(SiO2 )304が成膜されている。尚、上記ピエゾ抵抗素子305の一端は、接合層304を貫通して第2基板320の信号取り出し電極と接触する電極307が形成され、他端の一部にはイオン打ち込み技術等によりn+ 型領域306が形成され、電極を介してピエゾ抵抗素子305の他端に接続されている。これは、n型シリコン基板301とピエゾ抵抗素子305の他端との電気抵抗を小とするためである。即ち、電流が電極307からピエゾ抵抗素子305を横方向に通過しn+ 型領域306に流れる構造となっている。
【0034】
又、第2基板320は、両面にp+ 型層を有するp型シリコン基板321からなり、裏面に第2電極90が成膜され、表面に第2接合層(SiO2 )322が成膜されている。又、表面にはこの第2接合層322の所定個所を貫通して信号取り出し電極323が形成されている。即ち、この電極323を第1基板300の電極307に接触させてピエゾ抵抗素子305に電流を流す構成である。そして、第3実施例では、第1基板300と第2基板320を接着剤で接合する。詳細には、図10に示すように両基板を重ね合わせ、側面に接着剤Bを塗布する。両基板を重ね合わせると、接合層304と接合層322間に微小な間隙が生じ、接着剤Bは例えば毛細管現象により内部に浸透し、両基板は強固に固着される。尚、接合層304は、ピエゾ抵抗素子305と溝Mを有して分離されて形成されている。溝Mは、例えばトレンチエッチ等で形成することができる。溝Mを形成すれば、接着剤Bの浸透をここで防ぐことができ、電極307、電極323との接触部、及びピエゾ抵抗素子305への影響をなくすことができる。
【0035】
このセンサ装置の電極90、電極80間に電圧を印加すると、図10に示すようにピエゾ抵抗素子305に電流が流れる。この電流値、即ち、ピエゾ抵抗素子305の抵抗値を検出すれば、このセンサ素子に印加された応力を検出することができる。このように形成しても第1実施例、及び第2実施例のセンサ装置と同等の効果を得ることができる。
なお、シリコンの第2基板320は、図11に示すように金属ブロック330とすることも可能である。即ち、金属ブロック330の上に第2接合層(SiO2 )322を形成して、それに窓を開けて金属ブロック330と接続する信号取り出し電極323を形成するようにしても良い。
【0036】
(変形例)
以上、本発明を表わす1実施例を示したが、他にさまざまな変形例が考えられる。例えば、上記実施例では、センサ素子としてピエゾ抵抗素子を用いたが、これに代えて静電容量型のセンサを構成し、コンデンサ容量の変化から圧力を検出するようにしてもよい。又、MEMS技術等により微小なカンチレバーを形成し、接点スイッチ型のセンサ装置としてもよい。即ち、所定以上の加速度が印加された場合、オン又はオフするセンサ装置としてもよい。何れのセンサ素子を採用するにあたっても、本発明によれば電極が対向するように形成されるので、小型化される。又、SOI基板を用いれば陽極接合が可能であるので頑強なセンサ装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るセンサ装置の断面図(a)、鳥瞰図(b)。
【図2】本発明の第1実施例に係るセンサ装置の内部説明図。
【図3】本発明の第1実施例に係るセンサ装置の接合説明断面図。
【図4】本発明の第1実施例に係るセンサ装置の電流経路説明図。
【図5】本発明の第1実施例に係るセンサ装置を用いた圧力センサ断面図。
【図6】本発明の第1実施例に係るセンサ装置(ウエハ)のダイシング個所説明図。
【図7】本発明の第2実施例に係るセンサ装置の断面図。
【図8】本発明の第2実施例に係るセンサ装置の電流経路説明図。
【図9】本発明の第3実施例に係るセンサ装置の断面図。
【図10】本発明の第3実施例に係るセンサ装置の電流経路説明図。
【図11】本発明の第3実施例の変形例に係るセンサ装置の電流経路説明図。
【図12】従来のピエゾゲージを利用した小型圧力センサの鳥瞰図。
【図13】従来のダイアフラム型圧力センサにおけるセンサ装置の搭載上面図。
【図14】従来のダイアフラム型圧力センサ断面図。
【符号の説明】
80…第1電極
90…第2電極
100、200…SOI基板
101、201、321…p型シリコン基板
102、202…絶縁層
104、204、304…第1接合層
105、205、305…ピエゾ抵抗素子
106、107、206、307…電極
120、220…合わせ基板
121…p型シリコン基板
122、222、322…第2接合層
123、203、323…信号取り出し電極
141…ダイアフラム
142…力伝達ロッド
145…ハウジング
300…第1基板
320…第2基板
301…n型シリコン基板
Claims (6)
- SOI基板表面に、物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周に前記センサ素子と分離されて形成された第1接合層とを備え、裏面に所定個所を貫通して表面の前記センサ素子の端部と導通した第1電極を備え、
合わせ基板表面に、前記第1接合層と接合する第2接合層と前記センサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極を備え、裏面に前記信号取り出し電極と導通した第2電極を備え、
前記センサ素子を内包するように前記SOI基板と前記合わせ基板を接合し、前記第1電極と前記第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とするセンサ装置。 - SOI基板表面の所定箇所に信号取り出し電極と、その外周に前記取り出し電極と分離されて形成された第1接合層を備え、裏面に前記信号取り出し電極と導通した第1電極を備え、
合わせ基板表面に物理量を電気信号として出力するセンサ素子を備え、裏面に、所定個所を貫通して表面の前記センサ素子の端部と導通した第2電極を備え、
前記センサ素子を内包するように前記SOI基板と前記合わせ基板を接合し、前記第1電極と前記第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とするセンサ装置。 - 前記第1接合層及び前記第2接合層は陽極接合用の接合層であって、前記第1接合層は前記センサ素子と絶縁され、前記SOI基板と前記合わせ基板は陽極接合によって接合されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のセンサ装置。
- 第1基板表面に、物理量を電気信号として出力するセンサ素子と、その外周に前記センサ素子と分離して第1接合層を備え、裏面に表面の前記センサ素子の端部と導通した第1電極を備え、
第2基板表面に、前記第1接合層と接合する第2接合層と前記センサ素子の他方端から信号を取り出す信号取り出し電極を備え、裏面に前記信号取り出し電極と導通した第2電極を備え、
前記センサ素子を内包するように前記第1基板と第2基板を接合し、前記第1電極と前記第2電極が両基板を挟んで対向するように形成されたことを特徴とするセンサ装置。 - 前記第1基板はシリコン基板であり、前記第1接合層及び前記第2接合層は、接着剤によって接合されることを特徴とする請求項4に記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子は、ピエゾ抵抗素子であることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のセンサ装置。
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