JP2003347167A - Capacitor element used for solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

Capacitor element used for solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof

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JP2003347167A JP2002151097A JP2002151097A JP2003347167A JP 2003347167 A JP2003347167 A JP 2003347167A JP 2002151097 A JP2002151097 A JP 2002151097A JP 2002151097 A JP2002151097 A JP 2002151097A JP 2003347167 A JP2003347167 A JP 2003347167A
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solid electrolyte
anode body
electrolyte layer
film
capacitor element
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Takahiro Nakamura
貴広 中村
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Rohm Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce equivalent series resistance (ESR) without upsizing a capacitor element which comprises a metal anode body 1 for valve action, a dielectric film formed to the anode body, and a solid electrolyte layer 4 stacked on the dielectric film of the anode body. <P>SOLUTION: The solid electrolyte layer 4 has a laminating structure where a plurality of solid electrolyte films 4a and 4b are laminated with an insulating film 4c between. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、タンタル又はニオ
ブ等の弁作用金属による固体電解コンデンサにおいて、
これに使用するコンデンサ素子と、このコンデンサ素子
を製造する方法とに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a solid electrolytic capacitor made of a valve metal such as tantalum or niobium.
The present invention relates to a capacitor element used for this and a method for manufacturing the capacitor element.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、この種の固体電解コンデンサに
使用するコンデンサ素子は、タンタル又はニオブ等の弁
作用金属の粉末を多孔質のチップ状に焼結して成る陽極
体の表面、厳密には陽極体における各金属粉末の表面に
対して、電気絶縁性の高い誘電体膜を形成し、次いで、
前記陽極体の外周の表面に対して固体電解質層を、当該
固体電解質層が前記誘電体膜に重なるように形成し、更
に、この固体電解質層の表面に、グラファイト層と金属
層とから成る陰極側電極膜を形成するという構成になっ
ている。
2. Description of the Related Art Generally, a capacitor element used in a solid electrolytic capacitor of this type is formed by sintering a powder of a valve metal such as tantalum or niobium into a porous chip, and more precisely, a surface of an anode body. Form a dielectric film with high electrical insulation on the surface of each metal powder in the anode body,
A solid electrolyte layer is formed on the outer peripheral surface of the anode body so that the solid electrolyte layer overlaps the dielectric film. Further, a cathode comprising a graphite layer and a metal layer is formed on the surface of the solid electrolyte layer. The configuration is such that a side electrode film is formed.

【0003】ところで、この種の固体電解コンデンサ
は、前記固体電解質層のうち前記誘電体膜に対して接触
する部分における表面積が大きいことにより、単位体積
当たりの容量が大きい利点を有するが、これに使用する
コンデンサ素子における固体電解質層のうち前記誘電体
膜に接触しない部分における表面積は、当該固体電解質
層のうち前記誘電体膜に対して接触する部分における表
面積よりも遥かに小さいことにより、前記固体電解質層
には、可成り大きい等価直列抵抗(ESR)が存在し、
且つ、この等価直列抵抗(ESR)は、固体電解質層の
うち誘電体膜に接触しない部分における表面積に略反比
例することが知られている。
[0003] This type of solid electrolytic capacitor has the advantage that the capacitance per unit volume is large due to the large surface area of the portion of the solid electrolyte layer in contact with the dielectric film. The surface area of a portion of the solid electrolyte layer in the capacitor element to be used that does not contact the dielectric film is much smaller than the surface area of the portion of the solid electrolyte layer that contacts the dielectric film. The electrolyte layer has a significant equivalent series resistance (ESR),
Further, it is known that this equivalent series resistance (ESR) is substantially inversely proportional to the surface area of a portion of the solid electrolyte layer that does not contact the dielectric film.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のコンデ
ンサ素子において、その陽極体の表面に対して形成した
固体電解質層のうち誘電体膜に接触しない部分における
表面積は、前記陽極体のうち固体電解質層を形成する部
分における表面積と略等しいから、この固体電解質層に
おける等価直列抵抗(ESR)を下げることのために、
当該固体電解質層のうち誘電体膜に接触しない部分にお
ける表面積を大きくするには、前記陽極体のうち固体電
解質層を形成する部分における表面積を大きく、従っ
て、前記陽極体における外形寸法を大きくしなければな
らないから、コンデンサ素子の大型化、ひいては、完成
品としての固体電解コンデンサの大型化及び重量のアッ
プを招来するという問題があった。
However, in the conventional capacitor element, the surface area of the portion of the solid electrolyte layer formed on the surface of the anode body that is not in contact with the dielectric film is the solid electrolyte of the anode body. Since the surface area of the solid electrolyte layer is approximately equal to the surface area of the portion where the layer is formed, in order to reduce the equivalent series resistance (ESR) of the solid electrolyte layer,
In order to increase the surface area in the portion of the solid electrolyte layer that does not contact the dielectric film, the surface area in the portion of the anode body where the solid electrolyte layer is formed must be large, and therefore the outer dimensions of the anode body must be large. Therefore, there is a problem that the size of the capacitor element is increased, and eventually the size and weight of the solid electrolytic capacitor as a finished product are increased.

【0005】本発明は、コンデンサ素子における大型化
を僅少にとどめた状態のもとで、固体電解質層における
等価直列抵抗を下げることを技術的課題とするものであ
る。
An object of the present invention is to reduce the equivalent series resistance in the solid electrolyte layer while keeping the size of the capacitor element small.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明におけるコンデンサ素子は、「少なくと
も、弁作用金属製の陽極体と、この陽極体に対して形成
した誘電体膜と、前記陽極体に対して前記誘電体膜に重
ねて形成した固体電解質層とから成るコンデンサ素子に
おいて、前記固体電解質層が、複数の固体電解質膜をそ
の間に絶縁膜を挟んで互いに電気的に導通するように積
層して成る積層構造である。」ことを特徴としている。
Means for Solving the Problems To achieve this technical object, a capacitor element according to the present invention is composed of at least an anode body made of a valve metal, a dielectric film formed on the anode body, In a capacitor element comprising an anode body and a solid electrolyte layer formed so as to overlap the dielectric film, the solid electrolyte layer electrically connects a plurality of solid electrolyte films to each other with an insulating film interposed therebetween. In a laminated structure. "

【0007】また、本発明における製造方法は、「少な
くとも、弁作用金属製の陽極体に対して誘電体膜を形成
する工程と、前記陽極体に対して固体電解質層を前記誘
電体膜に重ねて形成する工程とから成るコンデンサ素子
の製造方法において、前記固体電解質層を形成する工程
が、複数の固体電解質膜をその間に絶縁膜を挟んで互い
に電気的に導通するように積層して成る積層構造として
形成する工程である。」ことを特徴としている。
[0007] The manufacturing method according to the present invention comprises a step of forming at least a dielectric film on an anode body made of a valve metal, and a step of laminating a solid electrolyte layer on the dielectric film on the anode body. Forming a solid electrolyte layer, the step of forming the solid electrolyte layer comprises stacking a plurality of solid electrolyte membranes so as to be electrically connected to each other with an insulating film interposed therebetween. This is a step of forming a structure. "

【0008】[0008]

【発明の作用・効果】コンデンサ素子における固体電解
質層を、複数の固体電解質膜をその間に絶縁層を挟んで
互いに電気的に導通するように積層して成る積層構造に
することにより、この固体電解質層のうち誘電体膜に対
して接触しない部分における表面積を、前記陽極体にお
ける外形寸法を大きくすることなく、前記した複数の固
体電解質膜の層数だけ大きくすることができる。
The solid electrolyte layer of the capacitor element is formed by laminating a plurality of solid electrolyte membranes so as to be electrically connected to each other with an insulating layer interposed therebetween. The surface area of a portion of the layer that does not contact the dielectric film can be increased by the number of the plurality of solid electrolyte membranes without increasing the outer dimensions of the anode body.

【0009】すなわち、本発明によると、固体電解コン
デンサ用コンデンサ素子の固体電解質層における等価直
列抵抗(ESR)を、当該コンデンサ素子の大型化、ひ
いては、このコンデンサ素子を使用した完成品としての
固体電解コンデンサの大型化及び重量のアップを招来す
ることなく、大幅に低くすることができる。
That is, according to the present invention, the equivalent series resistance (ESR) in the solid electrolyte layer of the capacitor element for a solid electrolytic capacitor is increased by increasing the size of the capacitor element, and further, as a solid electrolytic capacitor as a finished product using the capacitor element. The size can be significantly reduced without increasing the size and weight of the capacitor.

【0010】また、本発明の製造方法によると、前記し
た効果を有するコンデンサ素子を低コストで製造でき
る。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, a capacitor element having the above-described effects can be manufactured at low cost.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1において、符号1は、タンタル又はニ
オブ等の弁作用金属粉末をチップ状に固め成形したのち
焼成してなる多孔質の陽極体を示し、この陽極体1にお
ける一端面1aには、同じくタンタルによる陽極ワイヤ
2が上向きに突出するように固着され、且つ、この陽極
ワイヤ2の前記陽極体1に対する付け根部には、撥水性
合成樹脂製のリング体3が被嵌・装着されている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a porous anode body obtained by solidifying and molding a valve metal powder such as tantalum or niobium into a chip shape and then firing the same. One end surface 1a of the anode body 1 has Similarly, an anode wire 2 made of tantalum is fixed so as to protrude upward, and a ring body 3 made of a water-repellent synthetic resin is fitted and attached to the base of the anode wire 2 with respect to the anode body 1. I have.

【0013】前記陽極体1を、りん酸水溶液等の化成液
中に浸漬し、この状態で、前記陽極棒1と、化成液との
間に直流の電流を印加するという陽極酸化処理を行うこ
とにより、前記陽極体1の総ての表面、より詳しくは、
弁作用金属粉末の表面に五酸化タンタル等の絶縁性の高
い誘電体膜を形成する。
The anode body 1 is immersed in a chemical solution such as a phosphoric acid aqueous solution, and in this state, an anodic oxidation treatment of applying a direct current between the anode rod 1 and the chemical solution is performed. Thereby, all the surfaces of the anode body 1, more specifically,
A highly insulating dielectric film such as tantalum pentoxide is formed on the surface of the valve metal powder.

【0014】次いで、前記陽極体1の表面に対して、以
下に述べる工程によって、第1固体電解質膜4aと第2
固体電解質膜4bとをその間に絶縁膜4cを挟んで積層
して成る積層体構造の固体電解質層4を形成する。
Next, the first solid electrolyte membrane 4a and the second solid electrolyte
A solid electrolyte layer 4 having a laminated structure formed by laminating the solid electrolyte membrane 4b and the insulating film 4c therebetween is formed.

【0015】すなわち、先ず、前記陽極体1を、図2に
示すように、処理槽A内に容れた硝酸マンガン水溶液等
の固体電解質用溶液Bの中に、前記リング体3の部分ま
で浸漬して、この陽極体1の内部に固体電解質用溶液を
浸透させ、固体電解質用溶液中から引き揚げて乾燥した
のち焼成するという工程を複数回にわたって繰り返する
ことにより、前記陽極体1の表面に、二酸化マンガン等
の金属酸化物による前記第1固体電解質膜4aを、当該
固体電解質膜4aが前記誘電体膜に対して重なるように
形成する。
First, as shown in FIG. 2, the anode body 1 is immersed in a solid electrolyte solution B such as a manganese nitrate aqueous solution contained in a processing tank A, up to the ring body 3 as shown in FIG. By repeating the process of infiltrating the solution for solid electrolyte into the inside of the anode body 1, pulling it out of the solution for solid electrolyte, drying, and firing, a plurality of times, the surface of the anode body 1 The first solid electrolyte film 4a made of a metal oxide such as manganese is formed so that the solid electrolyte film 4a overlaps the dielectric film.

【0016】次いで、前記陽極体1を、図3に示すよう
に、処理槽C内に容れた合成樹脂溶液D(合成樹脂を溶
剤又は水で溶いたもの)中に、その一端面1aの近くま
で浸漬して引き揚げることにより、前記第1固体電解質
膜4aの表面に合成樹脂溶液を付着するか、或いは、前
記第1固体電解質膜4aの表面に合成樹脂溶液をスプレ
ー等にて塗布し、次いで、この付着した合成樹脂溶液を
乾燥することにより、前記第1固体電解質膜4aにおけ
る表面のうち一部を除く部分に、合成樹脂による絶縁膜
4cを重ねて形成する。
Next, as shown in FIG. 3, the anode body 1 is placed in a synthetic resin solution D (a solution obtained by dissolving a synthetic resin in a solvent or water) contained in a treatment tank C near one end face 1a thereof. The synthetic resin solution is attached to the surface of the first solid electrolyte membrane 4a, or the synthetic resin solution is applied to the surface of the first solid electrolyte membrane 4a by spraying or the like. By drying the attached synthetic resin solution, an insulating film 4c made of synthetic resin is formed on a part of the surface of the first solid electrolyte membrane 4a except for a part thereof.

【0017】そして、前記陽極体1を、再度、図4に示
すように、処理槽A内に容れた硝酸マンガン水溶液等の
固体電解質用溶液Bの中に、前記リング体3の部分まで
浸漬し、固体電解質用溶液中から引き揚げて乾燥したの
ち焼成するという工程を複数回にわたって繰り返するこ
とにより、二酸化マンガン等の金属酸化物による前記第
2固体電解質膜4bを、前記第1固体電解質膜4aの一
部及び前記絶縁膜4cに重ねて形成する。
Then, as shown in FIG. 4, the anode body 1 is immersed again in the solid electrolyte solution B such as an aqueous solution of manganese nitrate contained in the processing tank A to the ring body 3 as shown in FIG. By repeating the process of withdrawing from the solid electrolyte solution, drying, and firing, a plurality of times, the second solid electrolyte membrane 4b made of a metal oxide such as manganese dioxide is replaced with the first solid electrolyte membrane 4a. It is formed so as to partially overlap with the insulating film 4c.

【0018】これらの工程が完了すると、前記固体電解
質層4の表面に対して、グラファイト膜及び銀又は二ッ
ケル等の金属膜から成る陰極側電極膜5を形成すること
により、コンデンサ素子10の完成品にする。
When these steps are completed, the cathode side electrode film 5 made of a graphite film and a metal film such as silver or nickel is formed on the surface of the solid electrolyte layer 4 to complete the capacitor element 10. Product.

【0019】このようにして製造されたコンデンサ素子
10は、図5に示すように、タンタル又はニオブ等の弁
作用金属の粉末を多孔質のチップ状に焼結して成る陽極
体1と、この陽極体1における各金属粉末の表面に形成
した誘電体膜と、前記陽極体1に対して前記誘電体膜に
重ねて形成した固体電解質層4と、この固体電解質層4
に重ねて形成した陰極側電極膜5とから成り、前記固体
電解質層4は、第1固体電解質膜4aと第2固体電解質
膜4bとをその間に絶縁膜4cを挟んで互いに電気的に
導通するように積層して成る積層構造の構成になってい
る。
As shown in FIG. 5, the capacitor element 10 manufactured as described above has an anode body 1 obtained by sintering powder of a valve metal such as tantalum or niobium into a porous chip, and A dielectric film formed on the surface of each metal powder in the anode body 1; a solid electrolyte layer 4 formed on the anode body 1 so as to overlap the dielectric film;
The solid electrolyte layer 4 electrically connects the first solid electrolyte membrane 4a and the second solid electrolyte membrane 4b to each other with an insulating film 4c interposed therebetween. Thus, the laminated structure is formed by laminating as described above.

【0020】つまり、固体電解質層4は、誘電体膜に重
なる第1固体電解質膜4aと第2固体電解質膜4bとを
その間に絶縁膜4cを挟んで互いに電気的に導通するよ
うに積層した積層構造になっていることにより、この固
体電解質層4のうち誘電体膜に対して接触しない部分に
おける表面積を、前記陽極体1における外形寸法を大き
くすることなく、前記した複数の固体電解質膜の層数だ
け大きくすることができる。
That is, the solid electrolyte layer 4 is formed by laminating a first solid electrolyte film 4a and a second solid electrolyte film 4b which overlap with a dielectric film so as to be electrically connected to each other with an insulating film 4c interposed therebetween. Due to the structure, the surface area of a portion of the solid electrolyte layer 4 that is not in contact with the dielectric film can be reduced without increasing the outer dimensions of the anode body 1. Can be increased by a number.

【0021】なお、前記した構造のコンデンサ素子10
は、図5に二点鎖線で示すように、左右一対のリード端
子6,7の間に、当該コンデンサ素子10における陽極
ワイヤ2を一方のリード端子6に対して溶接等に固着す
るように配設し、このコンデンサ素子10における陽極
体1の外周面における陰極側電極膜5に、他方のりード
端子7を接続する一方、これらの全体を合成樹脂製のパ
ッケージ体8にて密封することにより、完成品としての
固体電解コンデンサに組み立てられる。
Note that the capacitor element 10 having the above-described structure
As shown by the two-dot chain line in FIG. 5, the anode wire 2 of the capacitor element 10 is fixed between the pair of left and right lead terminals 6 and 7 to one of the lead terminals 6 by welding or the like. By connecting the other lead terminal 7 to the cathode-side electrode film 5 on the outer peripheral surface of the anode body 1 in the capacitor element 10, the entirety of these is sealed with a synthetic resin package 8. And assembled into a solid electrolytic capacitor as a finished product.

【0022】また、本発明は、前記のように構成するこ
とに限らず、前記絶縁膜4cを、当該絶縁膜4cにて前
記第1固体電解質膜4aの全体を被覆するようにして、
この絶縁膜4cに部分的に抜き孔を設けて、この絶縁膜
4cの全体に重ねて第2固体電界質膜4bを、当該第2
固体電界質膜4bが前記絶縁膜4cにおける抜き孔の部
分において前記第1固体電解質膜4aと電気的に導通す
るように形成するという構成にしても良いのである。
Further, the present invention is not limited to the configuration described above, and the insulating film 4c may be formed so as to cover the entire first solid electrolyte film 4a with the insulating film 4c.
A hole is partially formed in the insulating film 4c, and the second solid electrolyte film 4b is overlapped with the entirety of the insulating film 4c.
The solid electrolyte film 4b may be formed so as to be electrically connected to the first solid electrolyte film 4a at the portion of the hole in the insulating film 4c.

【0023】また、前記絶縁膜4cを形成する合成樹脂
は、固体電解質膜4bを焼成するときの温度に対して耐
熱性を有する合成樹脂にすべきであることはいうまでも
ない。
Needless to say, the synthetic resin forming the insulating film 4c should be a synthetic resin having heat resistance to the temperature at which the solid electrolyte film 4b is fired.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のコンデンサ素子に使用する陽極体を示
す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an anode body used for a capacitor element of the present invention.

【図2】前記陽極体に対して第1固体電解質膜を形成し
ている状態を示す図である。
FIG. 2 is a view showing a state where a first solid electrolyte membrane is formed on the anode body.

【図3】前記陽極体に対して絶縁膜を前記第1固体電解
質膜に重ねて形成している状態を示す図である。
FIG. 3 is a view showing a state in which an insulating film is formed on the anode body so as to overlap the first solid electrolyte film.

【図4】前記陽極体に対して第2固体電解質膜を前記第
1固体電解質膜及び絶縁膜に重ねて形成している状態を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a state in which a second solid electrolyte film is formed on the anode body so as to overlap the first solid electrolyte film and an insulating film.

【図5】本発明の実施の形態によるコンデンサ素子を示
す縦断正面図である。
FIG. 5 is a vertical sectional front view showing the capacitor element according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 コンデンサ素子 1 陽極体 2 陽極ワイヤ 3 リング体 4 固体電解質層 4a 第1固体電解質膜 4b 第2固体電解質膜 4c 絶縁膜 5 陰極側電極膜 6,7 リード端子 8 パッケージ体 10 Capacitor element 1 Anode body 2 Anode wire 3 ring body 4 Solid electrolyte layer 4a First solid electrolyte membrane 4b Second solid electrolyte membrane 4c insulating film 5 Cathode side electrode film 6,7 Lead terminal 8 Package body

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも、弁作用金属製の陽極体と、こ
の陽極体に対して形成した誘電体膜と、前記陽極体に対
して前記誘電体膜に重ねて形成した固体電解質層とから
成るコンデンサ素子において、 前記固体電解質層が、複数の固体電解質膜をその間に絶
縁膜を挟んで互いに電気的に導通するように積層して成
る積層構造であることを特徴とする固体電解コンデンサ
に使用するコンデンサ素子。
At least an anode body made of a valve metal, a dielectric film formed on the anode body, and a solid electrolyte layer formed on the anode body so as to overlap the dielectric film. In the capacitor element, the solid electrolyte layer has a laminated structure formed by laminating a plurality of solid electrolyte films so as to be electrically connected to each other with an insulating film interposed therebetween, which is used for a solid electrolytic capacitor. Capacitor element.
【請求項2】少なくとも、弁作用金属製の陽極体に対し
て誘電体膜を形成する工程と、前記陽極体に対して固体
電解質層を前記誘電体膜に重ねて形成する工程とから成
るコンデンサ素子の製造方法において、 前記固体電解質層を形成する工程が、複数の固体電解質
膜をその間に絶縁膜を挟んで互いに電気的に導通するよ
うに積層して成る積層構造として形成する工程であるこ
とを特徴とする固体電解コンデンサに使用するコンデン
サ素子の製造方法。
2. A capacitor comprising at least a step of forming a dielectric film on an anode body made of a valve metal and a step of forming a solid electrolyte layer on the anode film so as to overlap the dielectric film. In the method for manufacturing an element, the step of forming the solid electrolyte layer is a step of forming a plurality of solid electrolyte films as a laminated structure formed by laminating the solid electrolyte films so as to be electrically connected to each other with an insulating film interposed therebetween. A method for manufacturing a capacitor element used for a solid electrolytic capacitor, characterized by comprising:
【請求項3】前記請求項2の記載において、前記固体電
解質層をの積層構造として形成する工程が、前記陽極体
を固体電解質用溶液に浸漬したのち引き揚げて焼成する
ことによって第1固体電解質膜を前記誘電体膜に重ねて
形成する工程と、次いで、前記第1固体電解質膜におけ
る表面のうち一部を除く部分に絶縁膜を形成する工程
と、次いで、前記陽極体を再度固体電解質用溶液に浸漬
したのち引き揚げて焼成することによって第2固体電解
質膜を前記第1固体電解質膜の一部及び前記絶縁膜に重
ねて形成する工程とであることを特徴とする固体電解コ
ンデンサに使用するコンデンサ素子の製造方法。
3. The solid electrolyte membrane according to claim 2, wherein the step of forming the solid electrolyte layer as a laminated structure includes the steps of: dipping the anode body in a solution for solid electrolyte; Forming an insulating film on a part of the surface of the first solid electrolyte membrane except for a part thereof, and then forming the anode body again into a solid electrolyte solution. Forming a second solid electrolyte membrane so as to overlap a part of the first solid electrolyte membrane and the insulating film by immersing the solid electrolyte into a film and then firing the same. Device manufacturing method.
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