JP2003344022A - System and method for measuring dimension of slide scratch - Google Patents
System and method for measuring dimension of slide scratchInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、タービンロータ等
におけるロータジャーナル部の摺動疵深さ及び幅寸法を
計測する摺動疵寸法測定装置及び摺動疵寸法測定方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sliding flaw size measuring device and a sliding flaw size measuring method for measuring a sliding flaw depth and a width dimension of a rotor journal portion in a turbine rotor or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】タービンロータ等においては、健全性検
査の１つとしてロータジャーナル部の摺動疵深さ及び幅
寸法の計測が行われている。2. Description of the Related Art In turbine rotors and the like, the depth of sliding flaws and the width of a rotor journal are measured as one of the soundness tests.
【０００３】従来、このようなロータジャーナル部の摺
動疵深さ等の測定は、摺動疵をエポキシ樹脂等により型
取して、その型を形状測定器を用いて計測して、摺動疵
深さ及び幅寸法を得ている。Conventionally, the sliding flaw depth of the rotor journal portion has been measured by molding the sliding flaw with an epoxy resin or the like and measuring the die with a shape measuring instrument. The flaw depth and width are obtained.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように摺動疵を型取りして摺動疵深さ等の測定を行う
際には、エポキシ樹脂の硬化時間が必要になり、また形
状測定器の水平度出しを手動で行うため計測に長時間を
要する問題があった。However, when the sliding flaws are molded to measure the sliding flaw depth and the like as described above, the curing time of the epoxy resin is required, and the shape measurement is performed. There was a problem that it took a long time to measure because the leveling of the vessel was done manually.
【０００５】そこで、本発明は、短時間で精度良く摺動
疵の深さや幅寸法が計測できようにした摺動疵寸法測定
装置及び摺動疵寸法測定方法を提供することを目的とす
る。Therefore, an object of the present invention is to provide a sliding flaw size measuring device and a sliding flaw size measuring method capable of accurately measuring the depth and width dimension of a sliding flaw in a short time.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１にかかる発明は、レーザ光を出射して被計
測物との距離を計測する距離計測器と、該距離計測器が
取付けられて、当該距離計測器を１軸方向に移動させる
電動ステージと、該電動ステージが取付けられて、被計
測物に載置されるベースプレートと、電動ステージがベ
ースプレート上を移動することにより距離計測器を動か
し、そのときに該距離計測器から出力される被計測物と
の距離信号に基づき当該被計測物における摺動疵の深さ
及び幅寸法を演算出力する演算器とを有して、短時間で
精度良く摺動疵の深さや幅寸法が計測できようにしたこ
とを特徴とする。In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 provides a distance measuring device for emitting a laser beam to measure a distance to an object to be measured, and the distance measuring device is attached. And an electric stage for moving the distance measuring device in one axis direction, a base plate on which the electric stage is mounted and placed on an object to be measured, and a distance measuring device by moving the electric stage on the base plate. And a calculator for calculating and outputting the depth and width dimension of the sliding flaw in the measured object based on the distance signal to the measured object output from the distance measuring device at that time, The feature is that the depth and width of sliding flaws can be measured accurately with time.
【０００７】請求項２にかかる発明は、被計測物の摺動
疵がロータジャーナル部に形成された摺動疵で、当該ロ
ータジャーナル部の直径に対応してベースプレートの水
平を保ちながら高さが調整できるように該ベースプレー
トに脚部が設けられると共に、該ベースプレートに対す
る距離計測器の高さ位置を調整できるように当該ベース
プレートに高さステージを設けたことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, the sliding flaw of the object to be measured is a sliding flaw formed on the rotor journal portion, and the height of the sliding portion is maintained while keeping the base plate horizontal corresponding to the diameter of the rotor journal portion. The base plate is provided with legs so as to be adjustable, and a height stage is provided at the base plate so that the height position of the distance measuring device with respect to the base plate can be adjusted.
【０００８】請求項３にかかる発明は、距離計測器から
出射されたレーザ光が、ロータジャーナル部の摺動面に
対して垂直に照射されるように、当該距離計測器の水平
位置を調整する水平ステージを設けたことを特徴とす
る。According to a third aspect of the present invention, the horizontal position of the distance measuring instrument is adjusted so that the laser beam emitted from the distance measuring instrument is irradiated perpendicularly to the sliding surface of the rotor journal. It features a horizontal stage.
【０００９】請求項４にかかる発明は、電動ステージの
移動に伴い距離計測器が移動した際に、当該距離計測器
の移動に応じて信号出力するエンコーダを設けたことを
特徴とする。The invention according to claim 4 is characterized in that an encoder is provided for outputting a signal according to the movement of the distance measuring device when the distance measuring device moves along with the movement of the electric stage.
【００１０】請求項５にかかる発明は、演算器が、距離
計測器からの距離信号及びエンコーダからの移動量信号
を取込み、これらに基づき摺動疵の深さ及び幅寸法を算
出するパーソナルコンピュータであることを特徴とす
る。The invention according to claim 5 is a personal computer in which the arithmetic unit takes in the distance signal from the distance measuring device and the movement amount signal from the encoder, and calculates the depth and width of the sliding flaw based on these signals. It is characterized by being.
【００１１】請求項６にかかる発明は、パーソナルコン
ピュータが、距離計測器からの距離信号及びエンコーダ
からの移動量信号を取込んで摺動疵の深さ及び幅寸法を
算出する際に、これらの信号に対してベースプレートの
水平度を自動補正して当該摺動疵の深さ及び幅寸法を算
出することを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, when the personal computer takes in the distance signal from the distance measuring device and the movement amount signal from the encoder to calculate the depth and width of the sliding flaw, It is characterized in that the horizontalness of the base plate is automatically corrected with respect to the signal, and the depth and width of the sliding flaw are calculated.
【００１２】請求項７にかかる発明は、パーソナルコン
ピュータから電動ステージに、当該電動ステージの移動
を指示するパルス信号が出力され、当該出力したパルス
信号数により計測位置が指示できるようにしたことを特
徴とする。According to a seventh aspect of the invention, a pulse signal for instructing the movement of the electric stage is output from the personal computer to the electric stage, and the measurement position can be instructed by the number of the output pulse signals. And
【００１３】請求項８にかかる発明は、パーソナルコン
ピュータにより取込まれた距離計測器からの距離信号及
びエンコーダからの移動量信号をフロッピーディスク等
の情報記録媒体に保存できるようにしたことを特徴とす
る。The invention according to claim 8 is characterized in that the distance signal from the distance measuring device and the movement amount signal from the encoder taken in by the personal computer can be stored in an information recording medium such as a floppy disk. To do.
【００１４】請求項９にかかる発明は、ベースプレート
に取付けられた電動ステージをロータジャーナル部の軸
に沿って移動させることにより、該電動ステージに取付
けられた距離計測器からのレーザ光をロータジャーナル
部の摺動面に対して走査して該摺動面までの距離を計測
し、当該距離の変化量を摺動疵の深さ寸法とし、その変
化範囲を幅寸法として算出することを特徴とする。According to a ninth aspect of the present invention, by moving the electric stage attached to the base plate along the axis of the rotor journal section, the laser light from the distance measuring instrument attached to the electric stage is applied to the rotor journal section. Is scanned to measure the distance to the sliding surface, the amount of change in the distance is used as the depth dimension of the sliding flaw, and the range of change is calculated as the width dimension. .
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図を参照し
て説明する。図１は本発明に係る摺動疵寸法測定装置を
用いてロータジャーナル部の摺動疵寸法を測定する際の
様子を概略的に示した図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram schematically showing how a sliding flaw size measuring device according to the present invention is used to measure a sliding flaw size of a rotor journal portion.
【００１６】当該摺動疵寸法測定装置１０は、ベースプ
レート１６上をロータジャーナル部３の軸方向に移動す
る電動ステージ１４、該電動ステージ１４の上面平面で
位置移動ができるように設けられた水平ステージ１９、
該水平ステージ１９に取付けられて、ヘッド部２０が上
下動する高さステージ２１、該高さステージ２１のアー
ム２２に固着されたレーザ発信器２３、ベースプレート
１６に取付けられて当該ベースプレート１６の高さ調整
や水平調整を行う脚部２４、レーザ発信器２３からの信
号に基づきロータジャーナル部３の摺動疵寸法を演算し
て出力する図示しないパーソナルコンピュータ等の演算
器を有している。The sliding flaw size measuring apparatus 10 comprises an electric stage 14 which moves on the base plate 16 in the axial direction of the rotor journal portion 3, and a horizontal stage which is provided so as to be positionally movable on the plane of the upper surface of the electric stage 14. 19,
A height stage 21 attached to the horizontal stage 19 for moving the head portion 20 up and down, a laser oscillator 23 fixed to an arm 22 of the height stage 21, a height of the base plate 16 attached to the base plate 16. It has an arithmetic unit such as a personal computer (not shown) for calculating and outputting the sliding flaw size of the rotor journal unit 3 based on signals from the leg unit 24 for adjustment and horizontal adjustment and the laser oscillator 23.
【００１７】ベースプレート１６は、図２に示すよう
に、概略長方形の開口部１５を有し、長手方向に電動ス
テージ１４が移動可能に設けられている。なお、図２は
摺動疵寸法測定装置１０の概略上面図である。As shown in FIG. 2, the base plate 16 has a substantially rectangular opening 15, and the electric stage 14 is movably provided in the longitudinal direction. 2 is a schematic top view of the sliding flaw size measuring apparatus 10.
【００１８】これにより電動ステージ１４が動いても、
レーザ光Ｒは開口部１５からロータジャーナル部３に照
射されるようになっている。As a result, even if the electric stage 14 moves,
The laser light R is radiated from the opening 15 to the rotor journal portion 3.
【００１９】脚部２４は、４本のボルト等により形成さ
れて、各ボルトを回すことにより被計測物の大きさが変
化してもレーザ発信器２３と当該被計測物とが適正な距
離を保てるようにしている。The leg portion 24 is formed by four bolts and the like, and even if the size of the object to be measured changes by turning each bolt, the laser transmitter 23 and the object to be measured maintain an appropriate distance. I try to keep it.
【００２０】即ち、例えば被計側物としてロータジャー
ナル部３を考えた場合、このロータジャーナル部３の直
径は種々存在する。この場合、ロータジャーナル部３の
直径が小さいときには、ベースプレート１６がロータジ
ャーナル部３と当接したりするので、係る場合には脚部
２４を高くしてこれらが当接しないようにしてレーザ発
信器２３とロータジャーナル部３との距離を適正に保つ
ようにしている。That is, when the rotor journal portion 3 is considered as the object to be measured, the rotor journal portion 3 has various diameters. In this case, when the diameter of the rotor journal portion 3 is small, the base plate 16 may come into contact with the rotor journal portion 3. In such a case, the leg portions 24 are raised so that they do not come into contact with each other. The rotor journal portion 3 is kept at a proper distance.
【００２１】このような構成で、摺動疵寸法測定装置１
０をロータジャーナル部３の摺動面Ｓに載置する。この
とき、脚部２４によりベースプレート１６が摺動面Ｓに
当らないように高さ調整を行うと共に、ベースプレート
１６が水平になるように水準器等を用いながら各ボルト
を調整する。With such a structure, the sliding flaw size measuring device 1
0 is placed on the sliding surface S of the rotor journal portion 3. At this time, the height of the base plate 16 is adjusted by the legs 24 so as not to hit the sliding surface S, and each bolt is adjusted so that the base plate 16 becomes horizontal by using a level or the like.
【００２２】次に、レーザ光Ｒが摺動面Ｓに対して垂直
に照射されるように水平ステージ１９を調整し、レーザ
発信器２３と摺動面Ｓとの高さが適正な高さになるよう
に高さステージ２１で調整する。Next, the horizontal stage 19 is adjusted so that the laser beam R is irradiated perpendicularly to the sliding surface S, and the height between the laser oscillator 23 and the sliding surface S is adjusted to an appropriate height. Adjust the height stage 21 so that
【００２３】このような状態にセットできると、パーソ
ナルコンピュータから電動ステージ１４にパルス信号を
出力して当該電動ステージ１４を駆動することにより、
所望する摺動疵の位置にレーザ発信器２３を移動させ、
該レーザ発信器２３からレーザ光Ｒを摺動面Ｓに照射す
る。When such a state can be set, a pulse signal is output from the personal computer to the electric stage 14 to drive the electric stage 14,
Move the laser oscillator 23 to the position of the desired sliding flaw,
The laser light R is applied to the sliding surface S from the laser oscillator 23.
【００２４】レーザ発信器２３からのレーザ光Ｒは摺動
面Ｓで反射するので、照射光と反射光との干渉効果等を
用いて、当該レーザ発信器２３と摺動面Ｓとの距離が測
定されて距離信号としてパーソナルコンピュータに入力
する。Since the laser beam R from the laser oscillator 23 is reflected by the sliding surface S, the distance between the laser oscillator 23 and the sliding surface S can be determined by utilizing the interference effect between the irradiation light and the reflected light. It is measured and input to the personal computer as a distance signal.
【００２５】従って、摺動疵がある所と無い所の距離の
差が、当該摺動疵の深さとなる。Therefore, the difference in the distance between the place with the sliding flaw and the place without the sliding flaw is the depth of the sliding flaw.
【００２６】そして、レーザ発信器２３をロータジャー
ナル部３の軸方向に変化させて上述した計測を行うこと
により摺動疵の幅寸法が計測される。Then, the width of the sliding flaw is measured by changing the laser oscillator 23 in the axial direction of the rotor journal 3 and performing the above-described measurement.
【００２７】即ち、摺動疵はロータジャーナル部３の摺
動面Ｓに対して周方向に沿って形成されているため、レ
ーザ発信器２３をロータジャーナル部３の軸方向に移動
させて計測を行うと、レーザ光Ｒは摺動疵を横切るよう
に走査されることになり、そのときの距離信号は摺動疵
にさしかかる前後で同じ値となる。That is, since the sliding flaw is formed along the circumferential direction with respect to the sliding surface S of the rotor journal portion 3, the laser oscillator 23 is moved in the axial direction of the rotor journal portion 3 for measurement. When this is done, the laser light R is scanned so as to traverse the sliding flaw, and the distance signal at that time has the same value before and after reaching the sliding flaw.
【００２８】そこで、レーザ発信器２３にエンコーダ２
５を取り付けることにより、レーザ発信器２３の軸方向
の移動量を移動量信号として取込み、距離信号が摺動疵
にさしかかる前と同じ値になるまでの移動量から当該摺
動疵の幅を計測している。Therefore, the encoder 2 is attached to the laser transmitter 23.
By attaching 5, the amount of axial movement of the laser oscillator 23 is captured as a movement amount signal, and the width of the sliding flaw is measured from the amount of movement until the distance signal reaches the same value as before it hits the sliding flaw. is doing.
【００２９】なお、このような方法は、ベースプレート
１６とロータジャーナル部３の軸とが平行であることを
要件としている。Incidentally, such a method requires that the axis of the base plate 16 and the axis of the rotor journal portion 3 are parallel to each other.
【００３０】このため脚部２４の各ボルトを調整してベ
ースプレート１６とロータジャーナル部３の軸とが平行
になるように水準器等を用いて高さ調整を行っている
が、係る高さ調整は手動で行うため摺動疵の深さや幅寸
法に対して十分な精度で高さ調整を行うことが困難であ
る。For this reason, each bolt of the leg portion 24 is adjusted so that the base plate 16 and the axis of the rotor journal portion 3 are parallel to each other by using a level or the like. Since it is done manually, it is difficult to adjust the height with sufficient accuracy for the depth and width of the sliding flaw.
【００３１】ベースプレート１６とロータジャーナル部
３の軸とが平行でない場合には、距離信号は単調に変化
する。When the base plate 16 and the axis of the rotor journal section 3 are not parallel, the distance signal changes monotonically.
【００３２】そこで、本発明では、この単調変化量を算
出して、少なくとも摺動疵が形成されていない点の距離
が同じ値になるように距離信号を補正している。Therefore, in the present invention, this monotonous change amount is calculated and the distance signal is corrected so that at least the distances at points where no sliding flaw is formed have the same value.
【００３３】このようにして演算された摺動疵の深さや
幅寸法は、ディスプレー上に表示され、また要求に応じ
て記録紙に記録されて出力される。The depth and width of the sliding flaw calculated in this way are displayed on the display, and are recorded on recording paper and output upon request.
【００３４】また、後日の解析や検討にために取込まれ
た距離信号等の計測データ及び計測条件はフロッピーデ
ィスク（ＦＤ）、マイクロディスク（ＭＤ）等の情報記
録媒体に記録できるようになっている。Further, the measurement data such as distance signals and the measurement conditions taken in for later analysis and examination can be recorded on an information recording medium such as a floppy disk (FD) or a micro disk (MD). There is.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電動ステージにより距離計測器を１軸方向に移動させ
て、該距離計測器によりレーザ光を出射して被計測物と
の距離を計測して、そのときに該距離計測器から出力さ
れる被計測物との距離信号に基づき演算器で当該被計測
物における摺動疵の深さ及び幅寸法を演算出力するよう
にしたので、短時間で精度良く摺動疵の深さや幅寸法が
計測できようになり利便性及び信頼性が向上する。As described above, according to the present invention,
The distance measuring device is moved in one axis direction by the electric stage, the laser light is emitted by the distance measuring device to measure the distance to the object to be measured, and the measured object output from the distance measuring device at that time. The depth and width dimensions of the sliding flaw on the object to be measured are calculated and output by the calculator based on the distance signal to the object, so the depth and width dimensions of the sliding flaw can be measured accurately in a short time. Therefore, convenience and reliability are improved.
【図１】摺動疵寸法測定装置によりロータジャーナル部
の摺動疵深さ等を計測する際の様子を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a state in which a sliding flaw depth measuring device measures a sliding flaw depth or the like of a rotor journal portion.
【図２】摺動疵寸法測定装置の概略上面図である。FIG. 2 is a schematic top view of a sliding flaw size measuring device.
３ ロータジャーナル部 １０ 摺動疵寸法測定装置 １４ 電動ステージ １５ 開口部 １６ ベースプレート １９ 水平ステージ ２０ ヘッド部 ２１ ステージ ２２ アーム ２３ レーザ発信器 ２４ 脚部 ２５ エンコーダ 3 Rotor Journal Department 10 Sliding flaw size measuring device 14 Motorized stage 15 openings 16 base plate 19 Horizontal stage 20 head 21 stages 22 arms 23 Laser transmitter 24 legs 25 encoder
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA22 AA25 AA63 BB05 CC00 FF09 FF11 FF67 GG04 HH13 MM14 MM15 MM24 MM25 MM28 PP02 UU03 2G051 AA90 AB02 AC16 AC19 BA10 CB01 EA30 Continued front page F term (reference) 2F065 AA22 AA25 AA63 BB05 CC00 FF09 FF11 FF67 GG04 HH13 MM14 MM15 MM24 MM25 MM28 PP02 UU03 2G051 AA90 AB02 AC16 AC19 BA10 CB01 EA30
Claims (9)
計測する距離計測器と、 該距離計測器が取付けられて、当該距離計測器を１軸方
向に移動させる電動ステージと、 該電動ステージが取付けられて、前記被計測物に載置さ
れるベースプレートと、 前記電動ステージが前記ベースプレート上を移動するこ
とにより前記距離計測器を動かし、そのときに該距離計
測器から出力される前記被計測物との距離信号に基づき
当該被計測物における摺動疵の深さ及び幅寸法を演算出
力する演算器とを有することを特徴とする摺動疵寸法測
定装置。1. A distance measuring device that emits a laser beam to measure a distance to an object to be measured, an electric stage to which the distance measuring device is attached, and which moves the distance measuring device in one axis direction, An electric stage is attached, a base plate mounted on the object to be measured, and the electric stage moves the distance measuring device by moving on the base plate, and at that time, the distance measuring device outputs the distance. A sliding flaw size measuring device, comprising: a calculator for calculating and outputting a depth and a width dimension of a sliding flaw in the measured object based on a distance signal to the measured object.
ル部に形成された摺動疵で、当該ロータジャーナル部の
直径に対応して前記ベースプレートの水平を保ちながら
高さが調整できるように該ベースプレートに脚部が設け
られると共に、該ベースプレートに対する前記距離計測
器の高さ位置を調整できるように当該ベースプレートに
高さステージを設けたことを特徴とする請求項１記載の
摺動疵寸法測定装置。2. The sliding flaw of the object to be measured is a sliding flaw formed in a rotor journal portion so that the height can be adjusted while keeping the base plate horizontal corresponding to the diameter of the rotor journal portion. The sliding flaw measurement according to claim 1, wherein the base plate is provided with a leg portion, and a height stage is provided on the base plate so that a height position of the distance measuring device with respect to the base plate can be adjusted. apparatus.
が、ロータジャーナル部の摺動面に対して垂直に照射さ
れるように、当該距離計測器の水平位置を調整する水平
ステージを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載
の摺動疵寸法測定装置。3. A horizontal stage for adjusting the horizontal position of the distance measuring device is provided so that the laser light emitted from the distance measuring device is irradiated perpendicularly to the sliding surface of the rotor journal. The sliding flaw size measuring device according to claim 1 or 2.
計測器が移動した際に、当該距離計測器の移動に応じて
信号出力するエンコーダを設けたことを特徴とする請求
項１乃至３いずれか１項記載の摺動疵寸法測定装置。4. The encoder according to claim 1, further comprising an encoder that outputs a signal according to the movement of the distance measuring device when the distance measuring device moves along with the movement of the electric stage. The sliding flaw size measuring device according to item 1.
離信号及び前記エンコーダからの移動量信号を取込み、
これらに基づき摺動疵の深さ及び幅寸法を算出するパー
ソナルコンピュータであることを特徴とする請求項１乃
至４いずれか１項記載の摺動疵寸法測定装置。5. The arithmetic unit fetches a distance signal from the distance measuring device and a movement amount signal from the encoder,
5. The sliding flaw size measuring device according to claim 1, which is a personal computer that calculates the depth and width dimensions of the sliding flaw based on these.
離計測器からの距離信号及び前記エンコーダからの移動
量信号を取込んで前記摺動疵の深さ及び幅寸法を算出す
る際に、これらの信号に対して前記ベースプレートの水
平度を自動補正して当該摺動疵の深さ及び幅寸法を算出
することを特徴とする請求項１乃至５いずれか１項記載
の摺動疵寸法測定装置。6. When the personal computer takes in the distance signal from the distance measuring device and the movement amount signal from the encoder to calculate the depth and width of the sliding flaw, the signals are added to these signals. On the other hand, the slide flaw size measuring apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the depth and width dimensions of the slide flaw are calculated by automatically correcting the levelness of the base plate.
動ステージに、当該電動ステージの移動を指示するパル
ス信号が出力され、当該出力したパルス信号数により計
測位置が指示できるようにしたことを特徴とする請求項
５又は６記載の摺動疵寸法測定装置。7. A pulse signal for instructing the movement of the electric stage is output from the personal computer to the electric stage, and the measurement position can be instructed by the number of the output pulse signals. 5. The sliding flaw size measuring device according to 5 or 6.
まれた前記距離計測器からの距離信号及び前記エンコー
ダからの移動量信号をフロッピー（登録商標）ディスク
等の情報記録媒体に保存できるようにしたことを特徴と
する請求項５乃至６いずれか１項記載の摺動疵寸法測定
装置。8. The distance signal from the distance measuring device and the movement amount signal from the encoder taken in by the personal computer can be stored in an information recording medium such as a floppy (registered trademark) disk. The sliding flaw size measuring device according to any one of claims 5 to 6.
ージをロータジャーナル部の軸に沿って移動させること
により、該電動ステージに取付けられた距離計測器から
のレーザ光を前記ロータジャーナル部の摺動面に対して
走査して該摺動面までの距離を計測し、当該距離の変化
量を前記摺動疵の深さ寸法とし、その変化範囲を幅寸法
として算出することを特徴とする摺動疵寸法測定方法。9. A laser beam from a distance measuring device attached to the electric stage is moved to a sliding surface of the rotor journal by moving the electric stage attached to the base plate along an axis of the rotor journal. The sliding flaw size is characterized in that the distance to the sliding surface is measured by scanning, the amount of change in the distance is used as the depth dimension of the sliding flaw, and the range of change is calculated as the width dimension. Measuring method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002151780A JP2003344022A (en) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | System and method for measuring dimension of slide scratch |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002151780A JP2003344022A (en) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | System and method for measuring dimension of slide scratch |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003344022A true JP2003344022A (en) | 2003-12-03 |
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ID=29769261
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002151780A Pending JP2003344022A (en) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | System and method for measuring dimension of slide scratch |
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|---|---|
| JP (1) | JP2003344022A (en) |
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