JP2003338093A - Disk type information recording medium and method for manufacturing the same - Google Patents

Disk type information recording medium and method for manufacturing the same

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JP2003338093A
JP2003338093A JP2002146993A JP2002146993A JP2003338093A JP 2003338093 A JP2003338093 A JP 2003338093A JP 2002146993 A JP2002146993 A JP 2002146993A JP 2002146993 A JP2002146993 A JP 2002146993A JP 2003338093 A JP2003338093 A JP 2003338093A
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JP
Japan
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disc
information recording
protective film
type information
recording medium
Prior art date
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Application number
JP2002146993A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiki Goto
良樹 後藤
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve the long-term traveling property of a head by uniformizing and flattening the thickness of an overcoating protective film for protecting the recording layer and dielectric layer of a disk type information recording medium, such as a magneto-optical disk. <P>SOLUTION: In forming the overcoating protective film on the disk formed with the recording layer and dielectric layer on the surface of a substrate, a process step of discharging a protective film material in the form of liquid from a discharge nozzle while moving the discharge nozzle inward across the inner peripheral surface of the disk from the central part in the radial direction of the disk and a process step of developing the discharged protective film material by rotating the disk at three stages of successively greater angular speeds are performed. The material shear resistance and rotational centrifugal force based on surface tension or the like are matched by the multi-mode to rotate the disk at three stages of the angular speeds, by which the thickness of the protective film is uniformized. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク型情報記
録媒体およびその製造方法に関し、特に映像・音響分野
などで情報信号を記録するディスク型情報記録媒体およ
びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disc type information recording medium and a method for manufacturing the same, and more particularly to a disc type information recording medium for recording an information signal in the fields of video and audio and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の情報ネットワークの急速な進展に
より、ディスク型情報記録媒体に対して、DVD、C
D、HDなどに見られるように、高密度化の要求が従来
にまして強くなってきた。こうした中で、光磁気ディス
クはパーソナルな小型汎用用途の情報記録媒体として注
目され、一部はすでに商品化されている。
2. Description of the Related Art With the rapid development of information networks in recent years, DVDs, C
As seen in D, HD, etc., the demand for higher density has become stronger than ever before. Under such circumstances, the magneto-optical disk has attracted attention as a personal small-sized general-purpose information recording medium, and a part thereof has already been commercialized.

【0003】光磁気ディスクは、基板上に、磁化反転す
る記録層と誘電層とを形成し、さらにその上、すなわち
磁界変調を行う磁気ヘッド側に、接触安定性、走行性、
防湿性を確保するための保護膜と摺動膜とを順次積層し
て構成されている。基板には、光学的に透明なガラスや
プラスチックなどが用いられ、記録層はTbFeCoな
どのアモルファス合金膜で構成され、誘電層は窒化シラ
ンなどで形成され、保護膜および摺動膜は各種樹脂、セ
ラミック、無機質などで形成される。
In a magneto-optical disk, a recording layer and a dielectric layer whose magnetization is reversed are formed on a substrate, and contact stability, running property, and contact stability are provided on the magnetic layer for magnetic field modulation.
It is configured by sequentially stacking a protective film for ensuring moisture resistance and a sliding film. Optically transparent glass or plastic is used for the substrate, the recording layer is made of an amorphous alloy film such as TbFeCo, the dielectric layer is made of silane nitride, etc., the protective film and the sliding film are made of various resins, It is made of ceramic, inorganic material, etc.

【0004】その中で、上記した保護膜や摺動膜は、密
着性、平坦性、平滑性、耐摩擦・摩耗性、機械的強度、
防湿性など、実用化に重要な物性を要求されるだけでな
く、記録層の磁化反転を妨げることがないように薄膜化
および均一化が要求される。薄膜化および均一化のため
のアプローチは、たとえば(1)特開平06−3020
20号公報に、樹脂の張力を改善することでディスク外
周部の仕上がりを向上させることが開示され、(2)特
開平09−204697号公報に、ディスク外周部に吸
引治具を設置して風流によって均一化を促すことが開示
され、(3)特開平11−102544号公報に、膜厚
を材料の粘度(かなり高い粘度範囲)などと関係づけて
計算式により制御することが開示されている。
Among them, the above-mentioned protective film and sliding film have the following properties: adhesion, flatness, smoothness, abrasion / wear resistance, mechanical strength,
Not only physical properties important for practical use such as moisture resistance are required, but also thinning and homogenization are required so as not to obstruct the magnetization reversal of the recording layer. An approach for thinning and uniformizing is, for example, (1) Japanese Patent Laid-Open No. 06-3020.
No. 20 discloses that the finish of the disk outer peripheral portion is improved by improving the tension of the resin, and (2) Japanese Patent Laid-Open No. 09-204697 discloses a wind flow by installing a suction jig on the outer peripheral portion of the disk. It is disclosed that the homogenization is promoted by (3) Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-102544 discloses that the film thickness is related to the viscosity of the material (a considerably high viscosity range) and is controlled by a calculation formula. .

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】光磁気ディスクは、記
録・再生時に高速回転させながら磁気ヘッドによって磁
界反転の記録ピットを形成する方式であるため、きわめ
て一定した相対走行性が要求される。かつ、記録の際に
磁気ヘッドが昇降動作するので、ディスクの全域を有効
範囲とするために、保護膜の平坦性が決定的に重要であ
る。
Since the magneto-optical disk is a system in which recording pits for magnetic field reversal are formed by a magnetic head while rotating at high speed during recording / reproducing, extremely constant relative running property is required. Moreover, since the magnetic head moves up and down during recording, the flatness of the protective film is critically important in order to make the entire area of the disk an effective range.

【0006】しかしながら、上記した従来の各技術では
こうした観点からは十分な検討はなされておらず、厚み
精度の低下、突起物の発生、エリアマージンのロスなど
は避けられなかった。このため、安定した長期走行性と
保護膜の平坦性とを実現することがなお課題となってい
る。
However, the above-mentioned conventional techniques have not been sufficiently studied from such a point of view, and it is unavoidable that the thickness accuracy is lowered, the protrusions are generated, and the area margin is lost. Therefore, it is still a challenge to realize stable long-term running property and flatness of the protective film.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、以下のようにしたものである。 1)保護膜の形成時にディスクの回転角速度を適正化す
ることにより膜厚を均一化する。
In order to solve the above problems, the present invention has the following features. 1) The film thickness is made uniform by optimizing the rotational angular velocity of the disk when forming the protective film.

【0008】2)保護膜の形成時にディスクの総回転数
を適正化することにより突起物の発生を抑制する。 3)摺動膜の形成時に雰囲気湿度を一定範囲内に制御す
ることにより膜厚を安定化する。
2) The formation of protrusions is suppressed by optimizing the total number of rotations of the disk when forming the protective film. 3) The film thickness is stabilized by controlling the atmospheric humidity within a certain range when forming the sliding film.

【0009】上記1)について 一般に使用される保護膜材料の粘度範囲であれば、下記
(1) 式が成り立ち、膜の厚みDは角速度ωに反比例す
る。前記保護膜材料は展開時に表面張力などに基くずり
抵抗を示すので、このずり抵抗値を制御するために角速
度ωの設定を工夫する必要がある。このため本発明で
は、ディスクを3段の角速度で回転させることによっ
て、材料ずり抵抗と回転遠心力とをマッチングさせ、保
護膜の厚みを均一化する。角速度を2段としたのでは、
材料ずり抵抗と回転遠心力とのマッチングの点から1段
の場合と比べて顕著な効果が得られず、4段以上とした
のでは、タクト面と実際の制御系の能力の面とから利点
が少ない。なおその際に、吐出ノズルをディスクの半径
方向中央部からディスク内周部にわたり内方へ移動させ
ながら保護膜材料を連続して吐出する方が、定点で吐出
するよりも膜の均一化に有利である。
Regarding the above 1), if the viscosity range of the protective film material generally used is within the following range:
Equation (1) is established, and the film thickness D is inversely proportional to the angular velocity ω. Since the protective film material exhibits shear resistance due to surface tension when developed, it is necessary to devise the setting of the angular velocity ω in order to control the shear resistance value. Therefore, in the present invention, by rotating the disk at three stages of angular velocities, the material shear resistance and the rotational centrifugal force are matched, and the thickness of the protective film is made uniform. If the angular velocity is set to 2 steps,
In terms of matching between material shear resistance and rotational centrifugal force, no remarkable effect was obtained compared with the case of 1 step, and if 4 steps or more, it is advantageous from the aspect of tact surface and actual control system capacity. Less is. At that time, continuously discharging the protective film material while moving the discharge nozzle inward from the center part in the radial direction of the disc to the inner peripheral part of the disc is more advantageous for uniformizing the film than discharging at a fixed point. Is.

【0010】[0010]

【数1】 上記2)について 膜を形成する際の突起物は、膜材料のミクロ部分での揮
発・飛散の揺動現象によるものであり、材料展開に時間
をかけすぎると、材料抜け跡のような微小な突起が膜面
の全体に発生する。このため本発明ではそれを防止する
ために、ディスクの総回転数を制御することによって、
保護膜材料を十分に展開させながらも時間を抑制する。
[Equation 1] Regarding the above 2), the protrusions when forming the film are due to the fluctuation phenomenon of volatilization / scattering in the micro portion of the film material. If too much time is taken for developing the material, minute protrusions such as material traces may occur. Protrusions are generated on the entire surface of the film. Therefore, in the present invention, in order to prevent this, by controlling the total number of revolutions of the disk,
The time is suppressed while the protective film material is sufficiently developed.

【0011】上記3)について 摺動膜の材料として一般に用いられる低粘性液体では、
上記(1) 式は下記(2)式のように関係づけられ、膜の厚
みDは湿度RHと関係する。
Regarding the above 3), in the low-viscosity liquid generally used as the material of the sliding film,
The above equation (1) is related as in the following equation (2), and the film thickness D is related to the humidity RH.

【0012】[0012]

【数2】 温度ファクターも蒸発に影響するが、摺動膜材料には一
般に沸点の高い溶媒を利用するためコート時にはさほど
影響せず、むしろ湿度ファクターが支配的となる。この
ため本発明では、雰囲気湿度を制御することで溶媒の揮
発性を安定させて、溶質としての膜材料の膜厚を安定化
し、その均一化はディスクの角速度と時間とを制御する
ことで実現する。
[Equation 2] The temperature factor also affects evaporation, but since a solvent with a high boiling point is generally used for the sliding film material, it does not so much during coating, and rather the humidity factor becomes dominant. Therefore, in the present invention, by controlling the atmospheric humidity, the volatility of the solvent is stabilized, the film thickness of the film material as a solute is stabilized, and its homogenization is realized by controlling the angular velocity and time of the disk. To do.

【0013】そしてこれらのことにより、膜の厚み均一
性の精度を高め、突起物の発生を防止し、記録エリアマ
ージンの広い、耐摺動性、耐走行性が持続する情報記録
媒体を実現するものである。
With these features, the accuracy of the film thickness uniformity is improved, the generation of protrusions is prevented, and the information recording medium having a wide recording area margin and having the continuous sliding resistance and running resistance is realized. It is a thing.

【0014】すなわち、請求項1記載の発明は、基板表
面に記録層および誘電層を形成したディスクの上に、オ
ーバーコート保護膜と摺動膜とを順次に形成してディス
ク型情報記録媒体を製造する際に、前記オーバーコート
保護膜は、ディスクの半径方向中央部からディスク内周
部の間で液状の保護膜材料を吐出する工程と、吐出され
た保護膜材料を、ディスクを順次に大きい3段の角速度
にて回転させることにより展開させる工程とを行なって
形成することを特徴とする。
That is, the invention of claim 1 provides a disc type information recording medium in which an overcoat protective film and a sliding film are sequentially formed on a disc having a recording layer and a dielectric layer formed on the surface of a substrate. During manufacturing, the overcoat protective film is formed by sequentially ejecting a liquid protective film material between the radial center of the disc and the inner peripheral portion of the disc, and ejecting the ejected protective film material over the disc. It is characterized in that it is formed by performing a step of expanding by rotating at three angular velocities.

【0015】請求項2記載の発明は、請求項1記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法において、吐出ノズル
をディスクの半径方向中央部からディスク内周部にわた
り内方へ移動させながら液状の保護膜材料を吐出するこ
とを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1また
は請求項2のいずれかに記載のディスク型情報記録媒体
の製造方法において、ディスクが2インチディスクであ
る時に、保護膜材料を吐出するディスクの半径方向中央
部がディスク中心より19〜21mmの位置であり、デ
ィスク内周部がディスク中心より10〜12mmの位置
であり、保護膜材料の吐出量が450〜850μlであ
り、ディスクの回転を、3000〜8000rpmの範
囲内の所定の低速度、中速度、高速度とし、かつ、各速
度間のスロープタイムを0.2sec以下とするように
シーケンシャル制御することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the method of manufacturing the disc-type information recording medium according to the first aspect, the liquid is protected while the discharge nozzle is moved inward from the central portion in the radial direction of the disc to the inner peripheral portion of the disc. A feature is that the film material is discharged. According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing the disc-type information recording medium according to the first or second aspect, when the disc is a 2-inch disc, the protective film material is ejected in a radial direction of the disc. The central portion is at a position 19 to 21 mm from the center of the disc, the inner peripheral portion is at a position 10 to 12 mm from the center of the disc, the discharge amount of the protective film material is 450 to 850 μl, and the rotation of the disc is set to 3000 to It is characterized in that it is set to a predetermined low speed, medium speed, and high speed within a range of 8000 rpm, and is sequentially controlled so that the slope time between the respective speeds is 0.2 sec or less.

【0016】これらの条件を組み合わせることで、ディ
スク全面に均一な成膜が可能となる。2インチディスク
に対して、たとえば吐出位置が上記範囲外であると、内
周縁部に未コートが発生したり、外周縁部で厚みの盛り
上がりが発生したり、均一性が達成されない。精度よく
位置制御できる場合には、吐出位置はディスク中心より
20mmの位置から11mmの位置とするのが好まし
い。スロープタイムが0.2secより大きいと材料の
拡散が生じる恐れがあるので、0.2sec以下となる
ように制御系の能力に応じて決める。
By combining these conditions, a uniform film can be formed on the entire surface of the disk. For a 2-inch disc, if the ejection position is out of the above range, uncoating may occur at the inner peripheral edge, swelling of the thickness may occur at the outer peripheral edge, and uniformity may not be achieved. When the position can be controlled with high accuracy, it is preferable that the ejection position is from 20 mm to 11 mm from the center of the disc. If the slope time is longer than 0.2 sec, the material may be diffused. Therefore, the slope time is set to 0.2 sec or less according to the capability of the control system.

【0017】請求項4記載の発明は、請求項3記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法において、保護膜材料
の吐出量が550〜650μlであり、ディスクの回転
を、3000〜6000rpmの範囲内の所定の低速
度、中速度、高速度とし、かつ、各速度での回転時間を
1〜2secとするようにシーケンシャル制御すること
を特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing the disc type information recording medium according to the third aspect, the discharge amount of the protective film material is 550 to 650 μl, and the rotation of the disc is within the range of 3000 to 6000 rpm. The predetermined low speed, medium speed, and high speed, and sequential control is performed so that the rotation time at each speed is 1 to 2 seconds.

【0018】請求項5記載の発明は、請求項1〜請求項
4のいずれかに記載のディスク型情報記録媒体の製造方
法において、オーバーコート保護膜を形成する際のディ
スクの総回転数を350回転以内とすることを特徴とす
る。
According to a fifth aspect of the invention, in the method of manufacturing the disc-type information recording medium according to any one of the first to fourth aspects, the total number of rotations of the disc when forming the overcoat protective film is 350. It is characterized by being within rotation.

【0019】請求項6記載の発明は、請求項5記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法において、ディスクの
総回転数を150〜250回転とすることを特徴とす
る。請求項7記載の発明は、請求項1〜請求項6のいず
れかに記載のディスク型情報記録媒体の製造方法におい
て、保護膜材料が、25℃での粘度が100mPa・s
以下の紫外線硬化性アクリル酸エステル樹脂であること
を特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a disc-type information recording medium according to the fifth aspect, the total number of rotations of the disc is 150 to 250. According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing the disc-type information recording medium according to any one of the first to sixth aspects, the protective film material has a viscosity at 25 ° C. of 100 mPa · s.
It is characterized by being the following ultraviolet-curable acrylic ester resin.

【0020】請求項8記載の発明は、請求項1記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法において、摺動膜は、
液状の摺動膜材料の吐出位置をディスク内周部とし、摺
動膜材料の吐出量を400〜500μlとし、ディスク
の回転を、5000〜7000rpmの範囲内の所定の
角速度で1〜2sec回転させるようにシングルステッ
プ制御することにより形成することを特徴とする。
According to an eighth aspect of the invention, in the method of manufacturing the disc-type information recording medium according to the first aspect, the sliding film is
The discharge position of the liquid sliding film material is the inner circumference of the disc, the discharging amount of the sliding film material is 400 to 500 μl, and the disc is rotated at a predetermined angular velocity within the range of 5000 to 7000 rpm for 1 to 2 seconds. It is characterized in that it is formed by single-step control as described above.

【0021】請求項9記載の発明は、請求項8記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法において、摺動膜を形
成する際の雰囲気湿度を35〜55%RHとすることを
特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a disc-type information recording medium according to the eighth aspect, the atmospheric humidity when forming the sliding film is set to 35 to 55% RH.

【0022】請求項10記載の発明は、請求項9記載の
ディスク型情報記録媒体の製造方法において、雰囲気湿
度を40〜50%RHとすることを特徴とする。請求項
11記載の発明は、請求項1、請求項8、請求項9、ま
たは請求項10のいずれかに記載のディスク型情報記録
媒体の製造方法において、摺動膜材料が、動粘度300
〜800mm2/sのポリジメチルシリコーンであるこ
とを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing the disc type information recording medium according to the ninth aspect, the atmospheric humidity is set to 40 to 50% RH. The invention described in claim 11 is the method for manufacturing a disc-type information recording medium according to any one of claims 1, 8, 9, or 10, wherein the sliding film material has a kinematic viscosity of 300.
It is characterized in that it is a polydimethyl silicone of about 800 mm 2 / s.

【0023】請求項12記載の発明は、請求項1〜請求
項11のいずれかに記載のディスク型情報記録媒体の製
造方法において、ディスク型情報記録媒体が光磁気ディ
スクであることを特徴とする。
According to a twelfth aspect of the present invention, in the method of manufacturing the disc-type information recording medium according to any one of the first to eleventh aspects, the disc-type information recording medium is a magneto-optical disc. .

【0024】請求項13記載の発明は、基板表面に記録
層および誘電層を形成したディスクの上に、オーバーコ
ート保護膜と摺動膜とを順次に形成したディスク型情報
記録媒体であって、前記オーバーコート保護膜は、液状
の保護膜材料をディスクの半径方向中央部からディスク
内周部にわたり順次に吐出しつつ、ディスクを所定範囲
内の順次に大きい3段の角速度で回転させることにより
均一に形成し、前記摺動膜は、液状の摺動膜材料をディ
スク内周部に吐出し、ディスクを所定範囲内の角速度で
回転させることにより形成したことを特徴とする。
According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a disc type information recording medium in which an overcoat protective film and a sliding film are sequentially formed on a disc having a recording layer and a dielectric layer formed on a substrate surface. The overcoat protective film is uniformly discharged by sequentially ejecting the liquid protective film material from the central portion in the radial direction of the disc to the inner peripheral portion of the disc, while rotating the disc at three sequentially increasing angular velocities within a predetermined range. The sliding film is formed by discharging a liquid sliding film material to the inner peripheral portion of the disk and rotating the disk at an angular velocity within a predetermined range.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1を用いて説明する。図1は本発明の一実施形態
における光磁気ディスクの断面図である。図中、1は基
板であり、ガラスやプラスチックなどの光学的に透明な
材料で、厚み1mmくらいの円環状に形成されている。
2は誘電膜であり、窒化シラン膜などが、スパッタ等で
厚み0.2μmくらいに形成されている。3は光磁気膜
(記録層)であり、磁化反転を示す材料、たとえばTb
FeCoなどの合金類で構成されている。4は反射膜で
あり、アルミニウム膜などが、スパッタ等で形成され
る。5は保護膜、6は摺動膜であり、接触安定性、走行
性、防湿性を確保するためにこの順に積層されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a sectional view of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a substrate, which is an optically transparent material such as glass or plastic and is formed in an annular shape with a thickness of about 1 mm.
Reference numeral 2 is a dielectric film, and a silane nitride film or the like is formed with a thickness of about 0.2 μm by sputtering or the like. 3 is a magneto-optical film (recording layer), which is a material exhibiting magnetization reversal, such as Tb.
It is composed of alloys such as FeCo. Reference numeral 4 is a reflective film, and an aluminum film or the like is formed by sputtering or the like. Reference numeral 5 is a protective film, and 6 is a sliding film, which are laminated in this order in order to secure contact stability, running property, and moisture resistance.

【0026】保護膜5は、磁化反転を行う磁気ヘッドと
の接触面に相当し、防湿、機械的強度、接着性の観点か
ら、アクリル、エポキシなどの光・熱硬化性樹脂で厚み
2〜10μm程度に形成される。本発明においては、光
重合性のアクリル酸エステル化合物などのアクリル系樹
脂を好適に使用できる。
The protective film 5 corresponds to the contact surface with the magnetic head for reversing the magnetization, and is made of a light / thermosetting resin such as acrylic or epoxy having a thickness of 2 to 10 μm from the viewpoint of moisture resistance, mechanical strength and adhesiveness. Formed to a degree. In the present invention, an acrylic resin such as a photopolymerizable acrylic ester compound can be preferably used.

【0027】摺動膜6は、潤滑性を示す材料で形成され
る。保護膜5に用いられるアクリル系樹脂との組み合わ
せに於いては、ポリジメチルシリコーン化合物が望まし
い。ポリジメチルシリコーン化合物よりなる摺動膜6
は、アクリル系樹脂との親和性,結合関係が強固になり
易いため、他の材料で摺動膜6を構成する場合に比べて
繰り返し走行特性が飛躍的に高まる。 (実施の形態1)図1に示したような光磁気ディスク
(以下、単にディスクという)を、基板上に誘電層、光
磁気層、反射層をそれぞれ通常用いられる厚みと成膜法
で形成し(以下、この段階の基板をディスク材とい
う)、さらにその上に保護膜と摺動膜とを形成すること
により、複数種、作製した。
The sliding film 6 is made of a material exhibiting lubricity. A polydimethyl silicone compound is desirable in combination with the acrylic resin used for the protective film 5. Sliding film 6 made of polydimethyl silicone compound
Since the affinity and the bonding relationship with the acrylic resin are likely to be strong, the repetitive running characteristics are dramatically improved as compared with the case where the sliding film 6 is made of another material. (Embodiment 1) A magneto-optical disk (hereinafter, simply referred to as a disk) as shown in FIG. 1 is formed by forming a dielectric layer, a magneto-optical layer and a reflective layer on a substrate by a commonly used thickness and film forming method. (Hereinafter, the substrate at this stage is referred to as a disk material), and a protective film and a sliding film are further formed thereon to prepare a plurality of types.

【0028】基板には、ポリカーボネート材(直径5
0.8mm(2インチ)、厚み0.6mm)を用い、保
護膜材料には、25℃での粘度80mPa・sの紫外線
硬化性アクリル酸エステル樹脂(450G、日本化薬
(株))を用い、摺動膜材料には、動粘度500mm2
/sのポリジメチルシリコーン(TSF456、東芝シ
リコーン(株))を0.35wt%でn−ヘプタンに溶
解させた溶液を用いた。
The substrate is made of polycarbonate material (diameter 5
0.8 mm (2 inches), thickness 0.6 mm) is used, and as the protective film material, a UV-curable acrylic ester resin (450 G, Nippon Kayaku Co., Ltd.) having a viscosity of 80 mPa · s at 25 ° C. is used. , The sliding film material has a kinematic viscosity of 500 mm 2
/ S of polydimethyl silicone (TSF456, Toshiba Silicone Co., Ltd.) was used in a solution of 0.35 wt% dissolved in n-heptane.

【0029】保護膜の形成に際しては、ディスク中心か
ら半径方向に沿って距離12mmの位置に吐出ノズルを
固定して、上記した保護膜材料を425マイクロリッタ
ー滴下しながら、ディスク材を低速にて回転開始し、続
いて表1に示すコート条件(角速度ω、時間sec)に
て回転させることにより、保護膜材料をディスク材上で
展開させ、しかる後に硬化させた。各角速度間のスロー
プタイムは0.2sec、硬化条件は、0.65J/c
2である。
At the time of forming the protective film, the discharge nozzle is fixed at a distance of 12 mm from the center of the disc in the radial direction, and the disc material is rotated at a low speed while dropping 425 microliters of the above-mentioned protective film material. The protective film material was started and then rotated under the coating conditions (angular velocity ω, time sec) shown in Table 1 to spread the protective film material on the disk material, and then cured. The slope time between each angular velocity is 0.2 sec, and the curing condition is 0.65 J / c.
m 2 .

【0030】摺動膜の形成に際しては、ディスク中心か
ら半径方向に沿って距離12mmの位置に吐出ノズルを
固定して、上記した摺動膜材料を396マイクロリッタ
ー滴下しながら、ディスク材を低速にて回転開始し、続
いて5500rpmで3.2sec回転させることによ
り、摺動膜材料をディスク材上で展開させ、しかる後に
硬化させた。
In forming the sliding film, the discharge nozzle was fixed at a position of a distance of 12 mm from the center of the disk in the radial direction, and the above-mentioned sliding film material was dropped at 396 microliters while the disk material was spun at a low speed. Then, rotation was started, and then rotation was carried out at 5,500 rpm for 3.2 seconds, whereby the sliding film material was spread on the disk material, and then cured.

【0031】形成された保護膜について、ディスク半径
方向にストロークしながら光学機器にて反射率を測定
し、それより保護膜の厚み(厚み比:サンプルNo.1
で得た厚みの絶対値を1とし、それとの相対比)を求め
て、均一性を評価した。結果を図2に示す。比較例とし
て、保護膜,摺動膜の他は上記と同様にして作製された
市販の2インチディスクを用いた。
With respect to the formed protective film, the reflectance was measured with an optical instrument while making a stroke in the disk radial direction, and the thickness of the protective film (thickness ratio: sample No. 1) was measured.
The absolute value of the thickness obtained in 1. was set to 1, and the relative ratio) was calculated to evaluate the uniformity. The results are shown in Figure 2. As a comparative example, a commercially available 2 inch disk manufactured in the same manner as above was used except for the protective film and the sliding film.

【0032】[0032]

【表1】 表1,図2からわかるように、比較例のディスクでは、
ディスクの内周部から外周部に近づくにつれて保護膜の
厚み(厚み比)が増加する傾向にあり、記録特性にとっ
ても望ましくない表面である。
[Table 1] As can be seen from Table 1 and FIG. 2, in the disk of the comparative example,
The thickness (thickness ratio) of the protective film tends to increase from the inner peripheral portion to the outer peripheral portion of the disc, which is an undesirable surface for recording characteristics.

【0033】この実施の形態1で作製したディスクの
内、角速度ωを一定としたシングルモードで形成したサ
ンプルNo.1とNo.2は、保護膜の厚み(厚み比)
が増加する傾斜率こそ改善されているものの、本質的な
傾向は比較例とほぼ同様であった。
Among the disks produced in the first embodiment, sample No. 1 formed in a single mode with a constant angular velocity ω. 1 and No. 2 is the thickness of the protective film (thickness ratio)
Although the sloping rate at which is increased is improved, the essential tendency is almost the same as that of the comparative example.

【0034】一方、角速度を3ステップとしたマルチモ
ード(シーケンシャル制御)で形成したサンプルNo.
3〜6は、ディスクの内周部から外周部まで、保護膜の
厚み(厚み比)がほぼ一定であった。このことは、マル
チモード(シーケンシャル制御)で成膜することで、液
のずり抵抗と流動特性の適正化が可能であり、厚み均一
性を持った保護膜が得られることを示している。
On the other hand, the sample No. formed in the multi-mode (sequential control) in which the angular velocity is 3 steps.
In Nos. 3 to 6, the thickness (thickness ratio) of the protective film was substantially constant from the inner peripheral portion to the outer peripheral portion of the disc. This indicates that by forming the film in multi-mode (sequential control), the shear resistance of the liquid and the flow characteristics can be optimized, and a protective film having a uniform thickness can be obtained.

【0035】以上のように、相異なる3段の角速度を混
合したマルチモードの成膜条件を採用することで、ディ
スクの内周部から外周部にわたる保護膜の平坦化が可能
となり、記録エリアのマージンが有効に活用できる、記
録再生特性の優れたディスク型情報記録媒体を実現でき
る。 (実施の形態2)上記した実施の形態1と同一種のディ
スク材,保護膜材料,摺動膜材料を用い、保護膜のコー
ト条件のみ変更して、光磁気ディスクを作製した。
As described above, by adopting the multi-mode film forming conditions in which the three different angular velocities are mixed, it becomes possible to flatten the protective film from the inner peripheral portion to the outer peripheral portion of the disc, and to make the recording area It is possible to realize a disc-type information recording medium having excellent recording / reproducing characteristics, in which a margin can be effectively utilized. (Embodiment 2) A magneto-optical disk was manufactured by using the same disk material, protective film material, and sliding film material as in Embodiment 1 described above, except that the coating conditions for the protective film were changed.

【0036】表2に示すように、サンプルNo.7〜8
では、吐出ノズルをディスク中心から半径方向に沿って
距離12mmの位置に固定して、保護膜材料を滴下しな
がら(定点と記す)、ディスク材を低速にて回転させ、
続いて角速度を3ステップとしたシーケンス制御で回転
させた。サンプルNo.9〜12では、吐出ノズルをデ
ィスク中心より20mmの位置から同じく11mmの位
置まで内方へストローク移動させ、その間に保護膜材料
を連続して滴下しながら(多点と記す)、ディスク材を
低速にて回転開始し、続いて角速度を3ステップとした
シーケンス制御で回転させた。作製したディスクを、そ
の表面に発生した突起物を計数することにより評価し
た。結果を図3に示す。
As shown in Table 2, sample No. 7-8
Then, the discharge nozzle is fixed at a position of a distance of 12 mm from the center of the disc in the radial direction, and the disc material is rotated at a low speed while dropping the protective film material (referred to as a fixed point).
Then, it was rotated by a sequence control with an angular velocity of 3 steps. Sample No. In Nos. 9 to 12, the discharge nozzle was moved inward from the position 20 mm from the center of the disc to the position 11 mm, while the protective film material was continuously dropped (referred to as multiple points) while the disc material was moved at a low speed. At that time, the rotation was started, and then the rotation was performed by a sequence control in which the angular velocity was 3 steps. The produced disc was evaluated by counting the number of protrusions generated on its surface. The results are shown in Fig. 3.

【0037】[0037]

【表2】 表2,図3からわかるように、総回転数がほぼ同等で、
吐出法が相違するサンプルNo.7(定点)とNo.9
(多点)とを比較すると、突起物の個数に有意差があっ
た。これは、多点吐出の場合、保護膜材料の揮発、飛散
がミクロな領域で抑制されるためと考えられる。
[Table 2] As can be seen from Table 2 and Fig. 3, the total number of revolutions is almost the same,
Sample No. different in discharge method. 7 (fixed point) and No. 9
When compared with (multipoint), there was a significant difference in the number of protrusions. This is considered to be because in the case of multi-point discharge, volatilization and scattering of the protective film material are suppressed in a micro area.

【0038】多点吐出であっても、各ステップの回転状
態がほぼ同等で、総回転数が相違するサンプルNo.1
0とNo.12とを比較すると、総回転数が多いサンプ
ルNo.12では突起物が外周と内周近傍に分散して生
じたが、総回転数が少ないサンプルNo.10では突起
物はほとんど発生しなかった。この結果は、保護膜材料
の展開に時間をかけすぎるのは望ましくないことを示し
ており、総回転数350回転以内が有効であると思われ
る。吐出法と総回転数(140回転)とがよくマッチし
たサンプルNo.11では、突起物の発生はまったくな
く、きわめて平滑な表面が得られた。これに対し、総回
転数が350回転以内であっても定点吐出のサンプルN
o.8では、突起物が比較的多く、内周縁近傍に細かく
発生していた。
Even in the case of multi-point discharge, the sample No. 3 in which the rotation states of the respective steps are almost the same and the total number of rotations is different. 1
0 and No. 12 and Sample No. 12 having a large total number of rotations. In Sample No. 12, the protrusions were generated in the vicinity of the outer circumference and the inner circumference, but the total number of rotations was small. In No. 10, almost no protrusion was generated. This result shows that it is not desirable to spend too much time on the development of the protective film material, and it seems that the total number of revolutions of 350 revolutions or less is effective. Sample No. in which the discharge method and the total number of rotations (140 rotations) matched well. In No. 11, no protrusion was generated and a very smooth surface was obtained. On the other hand, even if the total number of rotations is within 350, the sample N of fixed point discharge is
o. In No. 8, the number of protrusions was relatively large and finely generated near the inner peripheral edge.

【0039】以上のように、相異なる3段の角速度を混
合したマルチモードで、総回転数を350回転以内に設
定し、かつ多点吐出とする成膜条件を採用することで、
表面が平滑な保護膜を得ることができ、ヘッドクラッシ
ュなどに対する耐摩耗性を改善することが可能となり、
耐久性のあるディスク型情報記録媒体を実現できる。 (実施の形態3)上記した実施の形態1と同一種のディ
スク材,保護膜材料,摺動膜材料を用い、摺動膜のコー
ト条件を種々に変更して、光磁気ディスクを作製した。
As described above, in the multi-mode in which the three different angular velocities are mixed, the total number of revolutions is set within 350 revolutions, and the film forming conditions for multipoint ejection are adopted,
A protective film with a smooth surface can be obtained, and it becomes possible to improve wear resistance against head crashes,
It is possible to realize a durable disc-type information recording medium. (Embodiment 3) A magneto-optical disk was manufactured by using the same disc material, protective film material, and sliding film material as in the above-mentioned Embodiment 1, and changing the coating conditions of the sliding film in various ways.

【0040】保護膜は、実施の形態2で最もよい結果が
得られたマルチモードのサンプルNo.11の条件で形
成した。摺動膜の形成の際には、実施の形態1に記載し
たのと同様に、ディスク中心から半径方向に沿って距離
12mmの位置に吐出ノズルを固定して、摺動膜材料を
396マイクロリッター滴下しながら、ディスク材を低
速にて回転開始し、続いて5500rpmで3.2se
c回転させた。
As the protective film, the multi-mode sample No. which gave the best result in the second embodiment was used. It was formed under the condition of 11. At the time of forming the sliding film, as in the first embodiment, the discharge nozzle is fixed at a position of a distance of 12 mm from the center of the disk in the radial direction, and the sliding film material is 396 microliters. While dripping, the disc material started to rotate at a low speed, and then 3.2 sec at 5500 rpm.
c rotated.

【0041】ただし、ディスク材を保持するスピナーの
近傍の雰囲気湿度を10〜80%RHの範囲の種々の値
とした。そのためには、スピナー全体を小部屋の中に設
置し、加湿器で加湿し、スピナー近傍の温湿度計で監視
しながら調湿した。また、サンプル12では、0.6w
t%のポリジメチルシリコーン溶液を用い、成膜時の温
度を20℃とし、サンプル13では、0.6wt%のポ
リジメチルシリコーン溶液を用い、成膜時の温度を25
℃とし、サンプル14では、0.4wt%のポリジメチ
ルシリコーン溶液を用い、成膜時の温度を20℃とし
た。
However, the atmospheric humidity in the vicinity of the spinner holding the disk material was set to various values within the range of 10 to 80% RH. For that purpose, the whole spinner was installed in a small room, humidified with a humidifier, and conditioned while monitoring with a thermo-hygrometer near the spinner. Also, in sample 12, 0.6w
A t% polydimethylsilicone solution was used and the temperature at the time of film formation was set to 20 ° C. In Sample 13, a 0.6 wt% polydimethylsilicone solution was used and the film formation temperature was set to 25 ° C.
C., and in Sample 14, a 0.4 wt% polydimethylsilicone solution was used, and the temperature during film formation was 20.degree.

【0042】各コート条件で形成された摺動膜につい
て、FT−IR(日本分光8900)を用いて差スペク
トルから吸光度を測定し、摺動膜の厚み(相対比)を求
めた。結果を図3に示す。
With respect to the sliding film formed under each coating condition, the absorbance was measured from the difference spectrum using FT-IR (JASCO 8900) to determine the thickness (relative ratio) of the sliding film. The results are shown in Fig. 3.

【0043】図3のサンプルNo.12(菱形),サン
プルNo.13(四角),サンプルNo.14(三角)
において、摺動膜の厚み(相対比)は低湿度雰囲気と高
湿度雰囲気とでかなり相違しており、これは摺動膜材料
であるポリジメチルシリコーン溶液中の溶媒の揮発速度
の違いに基くと思われる。すなわち、10%RHの乾燥
下では溶媒が急速に揮発するため膜質は嵩高く(厚く)
残存し、80%RHの高湿下では逆に膜質は嵩低く(薄
く)なっており、50%RH前後では膜厚は比較的一定
している。この結果から、膜厚のバラツキを5%以内に
制御するためには、50%±5RH前後に湿度管理され
た雰囲気でコートするのが望ましいことがわかる。
The sample No. of FIG. 12 (diamond), sample No. 13 (square), sample No. 14 (triangle)
In Fig. 2, the thickness (relative ratio) of the sliding film is significantly different between the low-humidity atmosphere and the high-humidity atmosphere. This is based on the difference in the volatilization rate of the solvent in the polydimethylsilicone solution, which is the material for the sliding film. Seem. That is, the film quality is bulky (thick) because the solvent evaporates rapidly when dried at 10% RH.
On the contrary, the film quality is low (thin) under high humidity of 80% RH, and the film thickness is relatively constant around 50% RH. From this result, it can be seen that in order to control the variation of the film thickness within 5%, it is desirable to coat in a humidity-controlled atmosphere of around 50% ± 5 RH.

【0044】膜厚に対する温度の影響も見られるが(サ
ンプルNo.12,No.13参照)、濃度の設定値を
変更することによって解消することもわかった(サンプ
ルNo.13,No.14参照)。
Although the effect of temperature on the film thickness is also observed (see Sample No. 12 and No. 13), it was found that it can be eliminated by changing the set value of the concentration (see Sample No. 13 and No. 14). ).

【0045】さらに、各コート条件で形成された摺動膜
を備えたディスクについて、磁気ヘッドを備えた回転型
試験機を用いて摺動特性を試験した。高湿度条件下で形
成された摺動膜を備えたディスクは鳴き音などが生じ、
不良と判定された。低湿度条件下で形成された摺動膜を
備えたディスクは、試験後のヘッド面に粘着皮膜のよう
な膜が観察され、不良と判定された。これに対し、50
%RH内外で形成された摺動膜を備えたディスクは、磁
気ヘッドの1000万pass後も音鳴きや面接着のよ
うな現象は全く認められず、良好なくりかえし走行性を
示すのみであった。
Further, the sliding characteristics of the disk provided with the sliding film formed under each coating condition were tested using a rotary tester equipped with a magnetic head. A disc with a sliding film formed under high humidity conditions produces squeaking noises, etc.
It was determined to be defective. The disc having the sliding film formed under the low humidity condition was judged to be defective because a film such as an adhesive film was observed on the head surface after the test. On the other hand, 50
The disk provided with the sliding film formed inside and outside the% RH did not show any phenomenon such as squeaking and surface adhesion even after 10 million passes of the magnetic head, and showed only good back-and-back running performance. .

【0046】このことからわかるように、摺動膜の形成
時に湿度雰囲気を望ましくは40〜50%RH、一般に
はその±5%RHの範囲に制御することによって、摺動
膜の厚みが安定した、耐摩擦性や耐走行性などの摺動特
性にすぐれたディスク型情報記録媒体を実現できる。
As can be seen from the above, the thickness of the sliding film was stabilized by controlling the humidity atmosphere at the time of forming the sliding film to preferably 40 to 50% RH, generally ± 5% RH. It is possible to realize a disc-type information recording medium having excellent sliding characteristics such as abrasion resistance and running resistance.

【0047】以上のようにして形成した保護膜、摺動膜
を備えたディスク型情報記録媒体は、走行性が安定する
のみならず、温度・湿度変化による特性劣化がなく、平
坦性の観点からも、磁気ヘッドによる記録書き込みがス
ムーズになり、磁気ヘッドアームの損傷もない。したが
って、走行性、高耐久性(低摩擦・低損傷)、高品質を
確保することができる。このような効果は特に光磁気デ
ィスクに望まれていたものであるが、その他の光学的デ
ィスク型情報記録媒体にも好適であることは言うまでも
ない。
The disk-type information recording medium provided with the protective film and the sliding film formed as described above not only has stable running properties, but also has no characteristic deterioration due to changes in temperature and humidity, and has a flatness. Also, recording and writing by the magnetic head becomes smooth, and the magnetic head arm is not damaged. Therefore, traveling performance, high durability (low friction and low damage), and high quality can be secured. Such an effect is particularly desired for the magneto-optical disk, but it goes without saying that it is also suitable for other optical disk type information recording media.

【0048】なお、上記した基板や膜の材料は単なる例
示であり、目的にあった機能を発揮するものであれば、
上記に限定されず使用できる。ディスクサイズによって
は、膜材料の吐出量、ディスク材の角速度、角速度の段
数の変更を要することは理解されよう。
The above-mentioned materials for the substrate and the film are merely examples, and any material can be used as long as it has a function suitable for the purpose.
It is not limited to the above and can be used. It will be understood that, depending on the disc size, it is necessary to change the discharge rate of the film material, the angular velocity of the disc material, and the number of stages of the angular velocity.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、 1)ディスクの角速度を3段とするマルチモード成膜方
法によって、保護膜の平坦化が実現できる。
As described above, according to the present invention, 1) flattening of the protective film can be realized by the multi-mode film forming method in which the angular velocity of the disk is three stages.

【0050】2)保護膜材料を多点吐出し、ディスクの
角速度、総回転数を制御することによって、保護膜を平
滑化することができ、クラッシュ走行性を防止できる。 3)摺動膜形成時の雰囲気湿度を一定範囲内に制御する
ことで、摺動膜の膜厚を安定させ、良好な摺動特性、耐
走行性を確保でき、ロングライフ化を図ることができ
る。
2) By discharging the protective film material at multiple points and controlling the angular velocity and the total number of revolutions of the disk, the protective film can be smoothed and the crash running property can be prevented. 3) By controlling the atmospheric humidity during the formation of the sliding film within a certain range, the film thickness of the sliding film can be stabilized, good sliding characteristics and running resistance can be secured, and long life can be achieved. it can.

【0051】よって、走行性、高耐久性、高品質を確保
することができる。
Therefore, it is possible to secure running property, high durability and high quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態における光学的ディスク型
情報記録媒体の構成を示す断面図
FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of an optical disc type information recording medium according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の方法で形成された保護膜の厚みとディ
スク半径位置との関係を示す図
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the thickness of a protective film formed by the method of the present invention and the disk radial position.

【図3】本発明の方法で形成された摺動膜の厚みと膜形
成時の雰囲気湿度との関係を示す図
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the thickness of a sliding film formed by the method of the present invention and the atmospheric humidity during film formation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 誘電膜 3 光磁気膜(記録層) 4 反射膜 5 保護膜 6 摺動膜 1 substrate 2 Dielectric film 3 Magneto-optical film (recording layer) 4 Reflective film 5 protective film 6 Sliding film

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板表面に記録層および誘電層を形成し
たディスクの上に、オーバーコート保護膜と摺動膜とを
順次に形成してディスク型情報記録媒体を製造する際
に、前記オーバーコート保護膜は、ディスクの半径方向
中央部からディスク内周部の間で液状の保護膜材料を吐
出する工程と、吐出された保護膜材料を、ディスクを順
次に大きい3段の角速度にて回転させることにより展開
させる工程とを行なって形成することを特徴とするディ
スク型情報記録媒体の製造方法。
1. When manufacturing a disc type information recording medium by sequentially forming an overcoat protective film and a sliding film on a disc having a recording layer and a dielectric layer formed on a substrate surface, the overcoat is formed. For the protective film, a step of ejecting a liquid protective film material between the central portion in the radial direction of the disc and the inner peripheral portion of the disc, and the ejected protective film material is rotated sequentially at three large angular velocities of the disc. A method of manufacturing a disc-type information recording medium, which is characterized in that it is formed by performing a step of developing it.
【請求項2】 吐出ノズルをディスクの半径方向中央部
からディスク内周部にわたり内方へ移動させながら液状
の保護膜材料を吐出することを特徴とする請求項1記載
のディスク型情報記録媒体の製造方法。
2. The disc-type information recording medium according to claim 1, wherein the liquid protective film material is ejected while the ejection nozzle is moved inward from the center of the disc in the radial direction to the inner periphery of the disc. Production method.
【請求項3】 ディスクが2インチディスクであり、保
護膜材料を吐出するディスクの半径方向中央部がディス
ク中心より19〜21mmの位置であり、ディスク内周
部がディスク中心より10〜12mmの位置であり、保
護膜材料の吐出量が450〜850μlであり、ディス
クの回転を、3000〜8000rpmの範囲内の所定
の低速度、中速度、高速度とし、かつ、各速度間のスロ
ープタイムを0.2sec以下とするようにシーケンシ
ャル制御することを特徴とする請求項1または請求項2
のいずれかに記載のディスク型情報記録媒体の製造方
法。
3. The disc is a 2-inch disc, the radial center of the disc for ejecting the protective film material is located at a position of 19 to 21 mm from the center of the disc, and the inner circumference of the disc is located at a position of 10 to 12 mm from the center of the disc. The discharge amount of the protective film material is 450 to 850 μl, the rotation of the disk is set to a predetermined low speed, medium speed, or high speed within the range of 3000 to 8000 rpm, and the slope time between the speeds is 0. The sequential control is performed so that the time is not more than 0.2 sec.
A method for manufacturing a disc-type information recording medium according to any one of 1.
【請求項4】 保護膜材料の吐出量が550〜650μ
lであり、ディスクの回転を、3000〜6000rp
mの範囲内の所定の低速度、中速度、高速度とし、か
つ、各速度での回転時間を1〜2secとするようにシ
ーケンシャル制御することを特徴とする請求項3記載の
ディスク型情報記録媒体の製造方法。
4. The discharge amount of the protective film material is 550 to 650 μm.
and the rotation of the disk is 3000 to 6000 rp
4. The disc-type information recording according to claim 3, wherein predetermined low speed, medium speed and high speed within a range of m and sequential control are performed so that the rotation time at each speed is 1 to 2 seconds. Medium manufacturing method.
【請求項5】 オーバーコート保護膜を形成する際のデ
ィスクの総回転数を350回転以内とすることを特徴と
する請求項1〜請求項4のいずれかに記載のディスク型
情報記録媒体の製造方法。
5. The disk-type information recording medium according to claim 1, wherein the total number of rotations of the disk when forming the overcoat protective film is within 350 rotations. Method.
【請求項6】 ディスクの総回転数を150〜250回
転とすることを特徴とする請求項5記載のディスク型情
報記録媒体の製造方法。
6. The method for producing a disc-type information recording medium according to claim 5, wherein the total number of revolutions of the disc is 150 to 250.
【請求項7】 保護膜材料が、25℃での粘度が100
mPa・s以下の紫外線硬化性アクリル酸エステル樹脂
であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか
に記載のディスク型情報記録媒体の製造方法。
7. The protective film material has a viscosity of 100 at 25 ° C.
7. The method for producing a disc-type information recording medium according to claim 1, wherein the method is an ultraviolet-curable acrylic ester resin having a mPa · s or less.
【請求項8】 摺動膜は、液状の摺動膜材料の吐出位置
をディスク内周部とし、摺動膜材料の吐出量を400〜
500μlとし、ディスクの回転を、5000〜700
0rpmの範囲内の所定の角速度で1〜2sec回転さ
せるようにシングルステップ制御することにより形成す
ることを特徴とする請求項1記載のディスク型情報記録
媒体の製造方法。
8. The sliding film has a discharge position of a liquid sliding film material as an inner peripheral portion of the disc, and a discharging amount of the sliding film material is 400 to 400.
Rotate the disc to 5000-700 with 500 μl.
2. The method for manufacturing a disc-type information recording medium according to claim 1, wherein the disk-type information recording medium is formed by single step control so as to rotate at a predetermined angular velocity within a range of 0 rpm for 1 to 2 seconds.
【請求項9】 摺動膜を形成する際の雰囲気湿度を35
〜55%RHとすることを特徴とする請求項8記載のデ
ィスク型情報記録媒体の製造方法。
9. An atmospheric humidity of 35 when forming the sliding film.
9. The method for manufacturing a disc-type information recording medium according to claim 8, wherein the RH is about 55%.
【請求項10】 雰囲気湿度を40〜50%RHとする
ことを特徴とする請求項9記載のディスク型情報記録媒
体の製造方法。
10. The method for producing a disc-type information recording medium according to claim 9, wherein the atmospheric humidity is 40 to 50% RH.
【請求項11】 摺動膜材料が動粘度300〜800m
2/sのポリジメチルシリコーンであることを特徴と
する請求項1、請求項8、請求項9、または請求項10
のいずれかに記載のディスク型情報記録媒体の製造方
法。
11. The kinematic viscosity of the sliding film material is 300 to 800 m.
A polydimethyl silicone of m 2 / s, Claim 1, Claim 8, Claim 9, or Claim 10.
A method for manufacturing a disc-type information recording medium according to any one of 1.
【請求項12】 ディスク型情報記録媒体が光磁気ディ
スクであることを特徴とする請求項1〜請求項11のい
ずれかに記載のディスク型情報記録媒体の製造方法。
12. The method for manufacturing a disc-type information recording medium according to claim 1, wherein the disc-type information recording medium is a magneto-optical disc.
【請求項13】 基板表面に記録層および誘電層を形成
したディスクの上に、オーバーコート保護膜と摺動膜と
を順次に形成したディスク型情報記録媒体であって、前
記オーバーコート保護膜は、液状の保護膜材料をディス
クの半径方向中央部からディスク内周部にわたり順次に
滴下しつつ、ディスクを所定範囲内の順次に大きい3段
の角速度で回転させることにより均一に形成し、前記摺
動膜は、液状の摺動膜材料をディスク内周部に滴下し、
ディスクを所定範囲内の角速度で回転させることにより
形成したことを特徴とするディスク型情報記録媒体。
13. A disc type information recording medium comprising a disc having a recording layer and a dielectric layer formed on the surface of a substrate, and an overcoat protective film and a sliding film sequentially formed on the disc. While the liquid protective film material is sequentially dropped from the central portion in the radial direction of the disc to the inner peripheral portion of the disc, the disc is rotated uniformly at three large angular velocities within a predetermined range to be uniformly formed. The moving film is a liquid sliding film material dropped on the inner circumference of the disk.
A disc-type information recording medium, which is formed by rotating a disc at an angular velocity within a predetermined range.
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