JP2003337101A - 画像取り込み装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】観測点に対して高速なスキャンを行えるように
する。 【解決手段】画像取り込み装置１を動作させる場合に
は、図示しない光源を発光され低コヒーレンス光を光開
口部１２から導波路１１に入射する。これにより、導波
路１１の光開口部１３から光１４が出射され、光１４
は、スキャンミラー２２を反射してレンズ２９により観
察対象の観察点２に集光される。この状態で、スキャン
ミラー２２の角度を変え、破線２２ａとなった時、観察
点２は観察点２ａへと位置を変える。以上のようにして
画像取り込み装置１は、観察点２の位置を変え、観察点
の走査を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光走査により画像
の取り込みを行う画像取り込み装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、医療分野において、生体中の
細胞や組織の観察を行う技術が各種実用化されている。

【０００３】ここで、生体中において細胞や組織の観察
をしようとした時、例えば細胞膜とその周囲の媒質との
間で屈折率の差が小さいため光の散乱が小さく、光の戻
りが小さい。このような微弱光から画像情報をとりだす
技術としてＯＣＴ（OpticalCoherence Tomography）が
ある。この原理について、図２３を用いて示す。

【０００４】図２３はこのような従来のＯＣＴによる画
像取り込み装置の概略構成原理について説明する説明図
である。

【０００５】図２３に示すように、画像取り込み装置９
０１は、光源９０２と、レンズ９０３，９０４，９０５
と、導波路９１０と、リファレンスミラー９０６と、デ
ィテクタ９０７とから構成されている。

【０００６】導波路９１０はその機能によって４つの部
分に分けられる。導波路９１０の１つ目の部分は、導光
路９１１であり、光源９０２側の端部である光開口部９
２１から干渉部９３０までを指す。導波路９１０の２つ
目の部分は、観察路９１２であり、干渉部９３０から観
察点９０８側の光開口部９２２までを指す。３つ目は参
照路９１３であり、干渉部９３０からリファレンスミラ
ー９０６側の光開口部９２３までを指す。４つ目は検出
路９１４であり、干渉部９３０からディテクタ９０７側
の光開口部９２４までを指す。

【０００７】光源９０２からは、低コヒーレンス光が出
射されている。光源９０２からの低コヒーレンス光は、
レンズ９０３により集光され光開口部９２１から導光路
９１１に入射する。導光路９１１に入射した光は、干渉
部９３０を介して観察路９２２側と参照路９１３側に分
岐する。

【０００８】干渉部９３０から観察路９１２側に分岐し
た光は、光開口部９２２から出射し、レンズ９０４を介
して、サンプル９０８側に行き、サンプル９０８の物質
間の屈折率の差により散乱される。散乱された光の一部
はレンズ９０４を介して光開口部９２２から観察路９１
２に戻り、干渉部９３０を介して導光路９１１側と検出
路９１４側に分岐する。検出路９１４側に分岐した光は
光開口部９２４から出射してディテクタ９０７の受光部
に受光される。

【０００９】干渉部９３０から参照路９１３側に分岐し
た光は、光開口部９２３から出射し、レンズ９０５を介
して、リファレンスミラー９０６側に行き、リファレン
スミラー９０６に反射される。反射された光はレンズ９
０５を介して光開口部９２３から参照路９１３に戻り、
干渉部９３０を介して導光路９１１側と検出路９１４側
に分岐する。検出路９１４側に分岐した光は光開口部９
２４から出射してディテクタ９０７の受光部に受光され
る。

【００１０】ここで、サンプル９０８側に行き、散乱さ
れて戻り、ディテクタ９０７へ届く光と、リファレンス
ミラー９０６に反射されてディテクタ９０７に届く光と
は、その光路の差が低コヒーレンス光源の可干渉距離以
下にあるときのみ、干渉を起こす。よってリファレンス
ミラー９０６側の光学距離をスキャンする事で、サンプ
ル９０８側の各点における反射光のうち、リファレンス
ミラー９０６の位置に対応した深さからの反射光のみと
の干渉信号を得る事ができる。

【００１１】このＯＣＴを小型化するための従来例とし
て、ＵＳＰ６，１４４、４４９号に記載のＬＣＩ（Low
Coherence Interferometry）反射計がある。

【００１２】図２４はこのような従来のＬＣＩ反射計の
走査モジュールを示す説明図である。

【００１３】図２４に示すように、符号９５０は生体内
の接触面９８０に接触するプローブヘッドであり、プロ
ーブヘッド９５０には走査モジュール９５１が配置され
ている。

【００１４】走査モジュール９５１は、縦の位置付け手
段９５２と横の位置付け手段９５３により光学チップ９
５４をサンプル９７１に対して移動させるようになって
いる。

【００１５】光学チップ９５４には、導波路９５５と、
端面ミラー９５６，９５７と、光開口部９５８，９５
９，９６０が複数セットで設けられている。

【００１６】導波路９５５は、導光路９６１、観察路９
６２、第１及び第２の参照路９６３，９６４と検出路９
６５から構成されている。導光路９６１、観察路９６
２、参照路９６３、検出路９６５は、干渉部９７０を中
心にして繋げられている。

【００１７】光開口部９５８の外側には光源９７２が設
けられ、光開口部９６０の外側にはディテクタ９７３が
設けられている。

【００１８】光源９７２からの低コヒーレンス光は、光
開口部９５８から導光路９６１に入射する。導光路９６
１に入射した光は、干渉部９７０を介して観察路９６２
側と第１の参照路９６３側に分岐する。

【００１９】干渉部９７０から観察路９６２側に分岐し
た光は、光開口部９５９から出射し、サンプル９７１側
に行き、サンプル９７１の物質間の屈折率の差により散
乱される。散乱された光の一部は光開口部９５９から観
察路９６２に戻り、干渉部９７０を介して導光路９６１
側と検出路９６５側に分岐する。検出路９６５側に分岐
した光は光開口部９６０から出射してディテクタ９７３
の受光部に受光される。

【００２０】干渉部９７０から第１の参照路９１３側に
分岐した光は、端面ミラー９５６に反射される。反射さ
れた光は第２の参照路９６４を通って端面ミラー９５７
に反射され、第２の参照路９６４、端面ミラー９５７、
第１の参照路９６３に戻り、干渉部９７０を介して導光
路９６１側と検出路９６５側に分岐する。検出路９６５
側に分岐した光は光開口部９６０から出射してディテク
タ９７３の受光部に受光される。

【００２１】ここで、サンプル９７１側に行き、散乱さ
れて戻り、ディテクタ９７３へ届く光と、端面ミラー９
５６，９５７に反射されてディテクタ９７３に届く光と
は、その光学距離の差が低コヒーレンス光源の可干渉距
離以下にあるときのみ、干渉を起こす。よって光学チッ
プ９５４を縦の位置付け手段９５２により移動させるこ
とで、サンプル９７１側の各点における反射光のうち、
端面ミラー９５６，９５７間の光学距離に対応した深さ
からの反射光のみ干渉信号を得る事ができる。

【００２２】この従来例においてはＯＣＴによる光検出
のために必要な干渉光学系を導波路９５５の光学チップ
９５４として実現し、小型化をはかっている。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】上記したＵＳＰ６，１
４４、４４９号に記載の従来の技術では、画像情報を取
るためには、観察部の深さ方向のみならず水平方向のス
キャンをしなければならないにも関わらず、現実に即し
た高速なスキャン方法については開示がなされていなか
った。さらには、光源や光検出用の素子の実装は、現実
には非常に難易度が高いにも関わらず、それらについて
も開示が無かった。

【００２４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、観測点に対して高速なスキャンを行える画像取
り込み装置を提供することを目的とする。

【００２５】また、本発明は、容易に素子間を高精度で
実装可能な画像取り込み装置を提供することを目的とす
る。

【００２６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１記載の画像取り込み装置は、面上に導波路が形
成された導波路基板と、シリコン基板上にスキャンミラ
ーを形成したミラーデバイスと、を具備し、前記導波路
基板上の導波路の出光部から光を出射させ、この光を前
記スキャンミラーに当て、このスキャンミラーから反射
した光束を観察対象に当てることで観察点を走査するこ
とを特徴とする。

【００２７】請求項２記載の画像取り込み装置は、請求
項１記載の画像取り込み装置であって、光源から導波
路、観察点、導波路、光検出器へと至る第１の光路と、
前記光源から導波路、前記光検出器へと至り、前記第１
の光路とほぼ光学的距離の等しい第２の光路と、前記第
１あるいは第２の光路を形成する導波路のうち少なくと
も片方において導波路を通過する光の光路長を変化させ
る手段と、前記第１および第２の光路を通ってきた光を
互いに干渉させる手段と、を持つ事を特徴とする。

【００２８】請求項３記載の画像取り込み装置は、請求
項１あるいは２に記載の画像取り込み装置であって、前
記ミラーデバイスが搭載された基板を有し、この基板の
面上には導波路基板と、光源素子と、光検出素子が実装
されている事を特徴とする。

【００２９】請求項４記載の画像取り込み装置は、請求
項３に記載の画像取り込み装置であって、前記導波路基
板において、前記導波路の出光部における端面が該導波
路基板表面との垂直面に対し斜めに形成されており、前
記スキャンミラーの反射面が前記ミラーデバイスの搭載
された基板の表面と平行であり、前記出光部からの出射
光が前記導波路の表面に対して斜めに出射し、出射した
光は前記スキャンミラーの反射面によって反射されるこ
とを特徴とする。

【００３０】請求項５記載の画像取り込み装置は、導波
路が表面に形成された導波路基板と、 反射面が前記導
波路基板に向いており、かつ、ほぼ平行に配置された、
角度を走査することのできるスキャンミラーを持ったミ
ラーデバイスと、前記導波路基板と平行であり、かつ前
記ミラーデバイスからみて前記スキャンミラーが形成さ
れた面側に配置されたレンズと、を具備し、前記導波路
の出光部において前記導波路が形成された平面に対して
ほぼ垂直な方向に光が出射され、この光が前記スキャン
ミラーの反射面に入射して前記導波路基板に向けて反射
され、反射された光はレンズで集光される光学系を持
ち、前記導波路基板は、前記光学系と交錯する部分の大
半が透明であり、前記スキャンミラーの角度に応じて光
束の方向が変化され、観察点の位置を走査する事を特徴
とする。

【００３１】請求項６記載の画像取り込み装置は、実装
基板と、この実装基板の実装面上に、そのデバイス表面
が実装面に向いて実装された導波路基板と、光源素子お
よび光検出素子のうち少なくとも一方と、を備えた画像
取り込み装置であって、前記実装基板の実装面には、前
記導波路基板、前記光源素子及び前記光検出素子のうち
少なくとも一つよりも面積の大きな段差が形成され、そ
の段差の中には、前記導波路基板、前記光源素子及び前
記光検出素子のうち少なくとも一つ実装されている事を
特徴とする。

【００３２】請求項７記載の画像取り込み装置は、請求
項６に記載の画像取り込み装置であって、前記実装基板
には穴があけられており、この穴を介して前記導波路基
板、前記光源素子及び前記光検出素子の表面に形成され
た電極に電気的接続手段が設けられている事を特徴とす
る。

【００３３】請求項８記載の画像取り込み装置は、請求
項６または７に記載の画像取り込み装置であって、実装
基板の実装面上に一体に形成された平面状の導波路と、
この平面状の導波路に形成された複数の光開口部と、を
具備し、前記導波路基板の出光部から出射された光は平
面状の前記導波路に入射され、前記複数の光開口部か
ら、空間上に焦点を結ぶ光ないし平行光として放射され
る事を特徴とする。

【００３４】請求項９記載の画像取り込み装置は、請求
項１，２，５の内いずれか一つに記載の画像取り込み装
置であって、請求項６乃至８の内いずれか一つに記載の
特徴をもつ。

【００３５】請求項１０記載の画像取り込み装置は、請
求項１乃至９のいずれか一つに記載の画像取り込み装置
であって、前記実装基板全体を動かすためのアクチュエ
ータを持ち、このアクチュエータを駆動する事で観察点
の走査を行うことを特徴とする。

【００３６】請求項１１記載の画像取り込み装置は、請
求項１乃至１０のいずれか一つに記載の画像取り込み装
置であって、体内に挿入可能な太さのチューブ内に実装
され、その長手方向がチューブの軸方向に略平行に配置
されていることを特徴とする。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。 （第１の実施の形態）図１は本発明の第１の実施の形態
に係る画像取り込み装置の要部を示す側面図である。

【００３８】（構成）図１に示すように、画像取り込み
装置１は、導波路基板１０と、ミラーデバイス２０と、
レンズ２９とを具備して構成される。

【００３９】導波路基板１０の面上には導波路１１が一
体に形成されている。導波路１１の一方及び他方の端部
は光開口部１２，１３となっている。光開口部１２は、
図示しない光源からの低コヒーレンス光が入射する。光
開口部１３は、導波路１１の出光部となっている。導波
路１１の図示しない光戻りは、図示しない光検出手段に
よって強度が検出される。

【００４０】ミラーデバイス２０は、シリコン基板２１
上にスキャンミラー２２を形成したものである。

【００４１】スキャンミラー２２は、静電引力あるいは
電磁気力あるいは圧電体等の手段によって駆動され、そ
の角度を変化させる事ができる。このようなスキャンミ
ラー２２の駆動手段は、例えば特開２０００−３３００
６７号公報に記載のねじり揺動体等によって容易に実現
可能である。

【００４２】導波路１１の光開口部１３から出射される
光１４は、スキャンミラー２２を反射してレンズ２９に
より観察対象の観察点２に集光される。

【００４３】ここで光１４の走査手段として用いている
ミラーデバイス２０は、近年開発されている微細加工技
術によるものである。このようなミラーデバイス２０
は、は数ｍｍないしそれ以下のサイズの微細な可動ミラ
ー（スキャンミラー２２）が一体形成されている。ミラ
ーデバイス２０は、ミラー（スキャンミラー２２）が微
細であるため慣性力が小さく、よって数ｋＨｚやそれ以
上の高速なスキャンを実現できる。

【００４４】このような構成により、画像取り込み装置
１は、前記導波路基板１０上の導波路１１の出光部から
光１３を出射させ、この光１３を前記スキャンミラー２
２に当て、このスキャンミラー２２から反射した光束を
観察対象に当てることで観察点２を走査する。

【００４５】（作用）画像取り込み装置１を動作させる
場合には、図示しない光源を発光させ、低コヒーレンス
光を光開口部１２から導波路１１に入射する。これによ
り、導波路１１の光開口部１３から光１４が出射され、
光１４は、スキャンミラー２２を反射してレンズ２９に
より観察対象の観察点２に集光される。この状態で、ス
キャンミラー２２の角度を変え、破線２２ａとなった
時、観察点２は観察点２ａへと位置を変える。以上のよ
うにして画像取り込み装置１は、観察点２の位置を変
え、観察点の走査を行う。

【００４６】観察点２に集光された光は、観察点２の物
質間の屈折率の差により散乱される。散乱された光の一
部はレンズ２９を介してスキャンミラー２２に反射さ
れ、導波路１１の光開口部１３に戻り、導波路１１を介
して図示しない光検出素子の受光部に受光される。

【００４７】（効果）第１の実施の形態によれば、ミラ
ーデバイス２０は、数ｋＨｚやそれ以上の高速なスキャ
ンを実現できるため、観測点２の高速なスキャンを行
え、画像取り込み装置１の画像取り込み速度をビデオレ
ートにする事ができ、生体中において細胞や組織を高画
質の動画で観察できる。

【００４８】（第２の実施の形態）図２及び図３は本発
明の第２の実施の形態に係り、図２は導波路基板１０の
基板表面を紙面と平行にして示す平面図、図３は図２の
導波路基板をＡ−Ａ’線で仮想的に切断した断面図であ
る。

【００４９】（構成）図２に示すように、導波路基板３
０は、第１の実施の形態における導波路基板１０の構成
例であり、図示以外の部分は図１と同様になっている。

【００５０】導波路基板３０はＬｉＮｂＯ3結晶で形成
されている。導波路基板３０の面上にはＴｉの拡散など
従来技術によって導波路３１が形成されている。これら
導波路３１は、空気および導波路基板３０に対して屈折
率が高いため、光を通すと導波路３１内部だけに光を閉
じ込めて通す事ができる。

【００５１】導波路３１はその機能によって４つの部分
に分けられる。１つ目は、導光路４１であり、その右端
部である光開口部３２から干渉部５０までを指す。２つ
目は、観察路４２であり、干渉部５０から光開口部３３
までを指す。光開口部３３は、導波路基板１０における
光開口部１３に相当する。３つ目は、参照路４３であ
り、干渉部５０から導波路基板３０上を端面ミラー３４
によって折り返され、最後を端面ミラー３５によって閉
塞されている。端面ミラー３４，３５は、全反射や金属
皮膜の作成などを用いた反射面をもつ導波路３１の端面
であり、光を高い反射率で反射する事ができる。４つ目
は、検出路４４であり、干渉部５０から光開口部３６ま
でを指す。導波路基板３０の面上には、参照路４３を挟
むようにして電極３７および電極３８が形成されてい
る。

【００５２】（作用）図示しない光源によって光開口部
３２へ光を入射させると、この光は干渉部５０で二つに
分けられ、一つは観察路４２を通って光開口部３３から
出射され、図１に示した観察点２へと導かれ、観察点２
で散乱された光は光開口部３３、観察路４２を通って光
干渉部５０でさらに二つに分けられ、この一つは検出
路、光開口部３６を通って図示しない光検出器へと導か
れる。以上が第１の光路である。

【００５３】一方、光源から入射された光は干渉部５０
で分けられ、このうちの一つは参照路４３へと導かれ
る。この光は端面ミラー３４によって反射されながら最
後に端面ミラー３５によって折り返され、干渉部５０で
さらに二つに分けられ、この一つは検出路４４、光開口
部３６を通って図示しない光検出器へと導かれる。以上
が第２の光路である。

【００５４】また、第２の光路は折り返されており、そ
の光路長が第１の光路におけるトータルの光路長とほぼ
等しくなるように設計されている。

【００５５】光干渉部５０は前記第１および第２の光路
を通ってきた光を互いに干渉させる手段となっている。

【００５６】また、図３に示すように、電極３７および
電極３８間に電位差を与えると、参照路４３内部には電
界５１が生じる。この電界５１によって参照路４３内で
は電気光学効果による屈折率変化が生じるため、本の実
施の形態において第２の光路中における光路長が変化す
る。

【００５７】また、第１および第２の光路を通ってきた
光はそれぞれ光干渉部５０で分割され、さらに合成され
て図示しない光検出器に導かれるため、これら２つの光
の光路長の差が可干渉距離内にあるならば光検出器には
干渉光の信号が検出される。

【００５８】すなわち、電極３７，電極３８に印加する
電圧を走査すると、第２の光路中の光路長が走査され
る。このときの光検出器の出力信号おいて干渉信号分を
取り出せば、それは第２の光路の光路長と等しい位置に
おける第１の光路上の散乱強度となる。つまり光軸方向
における光の散乱強度分布を取り出すことができる。

【００５９】（効果）このような実施の形態によれば、
電極３７，電極３８に印加する電圧を走査することで、
図１に示す観察点２の位置をレンズ２９の光軸方向に高
速でスキャンできるので、さらに生体中において細胞や
組織を高画質の動画で観察できる。

【００６０】なお、本実施の形態ではレンズ２９の光軸
方向における走査は電極３７、３８に印可する電圧で行
う、としたが、レンズ２９を高ＮＡのレンズとし、レン
ズ２９の光軸方向の走査は本画像取り込み装置の構成全
体を光軸方向に動かす事で行っても良い。このような構
成とする事で、高ＮＡのためにレンズ２９の光軸に垂直
方向の分解能が向上すると共に、レンズ２９の光軸方向
の分解能はＯＣＴにより高分解能が維持される。

【００６１】なお、本実施の形態では電気光学効果のあ
る材料としてＬｉＮｂＯ3の基板としたが、電気光学効
果のある、例えばＫＮｂＯ3等でも良い。また、第２の
光路の一部である参照路４３中に光路長を変化させる手
段を設けたが、最終的に第１および第２の光路間におけ
る相対的な光路長を変化できれば良いので、例えば観察
路４２中に設けても良い。

【００６２】（第３の実施の形態）図４及び図５は本発
明の第３の実施の形態に係り、図４は導波路基板の基板
表面を紙面と平行にして示す平面図、図５は図４の導波
路基板をＢ−Ｂ’線で仮想的に切断した断面図である。
図４及び図５の説明においては、図２及び図３に示した
第２の実施の形態と同様の構成要素には同じ符号を付し
て説明を省略している。

【００６３】（構成）図４に示すように、導波路基板６
０は、第１の実施の形態における導波路基板１０の構成
例であり、図示以外の部分は図１と同様になっている。

【００６４】導波路基板６０の紙面下端部には圧電体６
１が接続されており、これに交流電圧を印加すること
で、図５に示すように、導波路３１中に弾性波６２を発
生させる事ができる。

【００６５】また、第３の実施の形態では、参照路４３
中で折り返されて配置されている導波路３１において、
その内部のひずみが同位相になるよう、導波路３１同士
の配置間隔および圧電体６１の駆動周波数が設計されて
いる。

【００６６】（作用）第３の実施の形態では、導波路３
１に弾性波６２によるひずみが印加されると、このひず
みに応じて導波路３１内の屈折率が変化するため、第１
および第２の光路の相対的な光路長が変化する。

【００６７】（効果）第３の実施の形態では、圧電体６
１の駆動により第１および第２の光路の相対的な光路長
が変化できるので、第２の実施の形態と同様の効果が得
られる。

【００６８】ここで、第３の実施の形態では弾性波の発
生手段として圧電体６１を外付けしたが、例えばＺｎＯ
などの圧電材料を石英の基板上に堆積させ、これの表面
に電極を形成しても同様な効果が得られる。さらに、導
波路基板としてＬｉＮｂＯ3の基板を用いた場合には、
この基板自身が圧電材料であるためここに電極を付加す
るだけで同様な効果が得られる。

【００６９】（第４の実施の形態）図６は本発明の第４
の実施の形態に係る画像取り込み装置の要部を示す側面
図である。

【００７０】図６に示すように、画像取り込み装置７
は、導波路基板１０と、ミラーデバイス２０と、搭載基
板７０と、図示しないレンズからなる。

【００７１】ミラーデバイス２０及び導波路基板１０は
搭載基板７０上に固定されている。搭載基板７０には、
図示しない光源素子と光検出素子が実装されている。

【００７２】（作用）第４の実施の形態では、ミラーデ
バイス２０と導波路基板１０の相対位置が固定される。

【００７３】（効果）第４の実施の形態によれば、第１
の実施の形態と同様の効果が得られるとともに、ミラー
デバイス２０と導波路基板１０の相対位置が固定されて
いるので、光学性能が安定する。

【００７４】図７は本発明の第４の実施の形態の変形例
を示す画像取り込み装置の要部の側面図である。

【００７５】図７に示すように、画像取り込み装置８
は、搭載基板８０と，搭載基板８０上に実装された導波
路基板９０およびミラーデバイス２０と、レンズ８１と
を具備して構成される。

【００７６】ミラーデバイス２０の反射面及び導波路基
板９０の表面は、搭載基板８０と平行に配置されてい
る。

【００７７】導波路基板９０の導波路９１の出射部９２
は導波路基板９０の表面との垂直面に対して斜めに形成
されている。

【００７８】（作用）この変形例では、出射部９２から
出射した光９３は、屈折によってその中心軸が導波路基
板９０の平面に対して下方に向き、スキャンミラー２２
によって反射されレンズ８１によって観察点８２に集光
される。

【００７９】（効果）この変形例によれば、基板類が並
行配置のまま集積されるので、画像取り込み装置８の小
型化がはかれる。

【００８０】（第５の実施の形態）図８及び図９は本発
明の第５の実施の形態に係り、図８は画像取り込み装置
の断面図、図９は図８における出射部周辺の拡大図であ
る。

【００８１】図８に示すように、画像取り込み装置１０
１は、導波路基板１１０と、ミラーデバイス１２０と、
レンズ１２９とで構成されている。

【００８２】ミラーデバイス１２０は、導波路基板１１
０の裏面に貼り付けられている。レンズ１２９は導波路
基板１１０と平行に配置されている。

【００８３】導波路基板１１０の表面側には、導波路１
１１が形成されている。導波路１１１には出射部１１３
が形成されている。出射部１１３の形態としては、例え
ば図９に示すような端面ミラー１１４を用いる方法があ
る。

【００８４】ミラーデバイス１２０上にはスキャンミラ
ー１２２が形成されている。スキャンミラー１２２と対
向する導波路基板１１０の裏面には凹部１１５が形成さ
れている。凹部１１５は、スキャンミラー１２２の駆動
スペースとなっている。

【００８５】出射部１１３は、前記導波路１１１の出光
部になっている。このような構造により、画像取り込み
装置１０１は、出射部１１３おいて前記導波路１１１が
形成された平面に対してほぼ垂直な方向に光が出射さ
れ、この光が前記スキャンミラー１２２の反射面に入射
して前記導波路基板１１０に向けて反射され、反射され
た光はレンズで集光される光学系を持っている。前記導
波路基板１１０は、前記光学系と交錯する部分の大半が
透明であり、前記スキャンミラー１２２の角度に応じて
光束の方向が変化され、観察点１０２の位置を走査す
る。

【００８６】（作用）導波路１１１に導入された光は出
射部１１３から導波路基板１１０の表面に対して垂直方
向に出射される。この光はスキャンミラー１２２によっ
て反射され，レンズ１２９によって集光される。以上の
光学系を基板同士を並行配置しながら実現できる。

【００８７】（効果）第５の実施の形態によれば、第１
の実施の形態と同様の効果が得られるとともに、導波路
基板１１０やミラーデバイス１２０等、基板上のデバイ
スを平行に配置できるため，装置全体を小さくできる。

【００８８】図１０及び図１１は本発明の第５の実施の
形態の変形例に係り、図１０は画像取り込み装置の断面
図、図１１は図１０における出射部周辺の拡大図であ
る。

【００８９】図１０及び図１１に示すように、画像取り
込み装置１０３は、導波路基板１３０と、ミラーデバイ
ス１４０と、レンズ１４９とで構成されている。

【００９０】導波路基板１３０の表面側には導波路１３
１が形成され，導波路１３１には出射部１３３が形成さ
れている。

【００９１】導波路基板１３０の出光部１３３にはミラ
ー１３４が形成されており、出光部から出る光を導波路
基板１３０の表面側に出射する。ミラーデバイス１４０
はスペーサ１３５を介して導波路基板１３０に取り付け
られている。導波路基板１３０は、大半が透明である。

【００９２】ミラーデバイス１４０上にはスキャンミラ
ー１４２が形成されている。導波路１３１に導入された
光１３６は出射部１３３から導波路基板１３０の表面側
に対して出射される。この光１３６はスキャンミラー１
４２によって反射され、導波路基板１３０を介して、レ
ンズ１４９によって集光される。以上の光学系を，基板
同士を並行配置しながら実現する。

【００９３】このような変形例によれば、画像取り込み
装置１０３は画像取り込み装置１０１と同等な光学要素
を備えることができる。即ち、本発明の導波路基板１３
０の出光部は、導波路基板側に光を出射するものに限ら
ない。

【００９４】（第６の実施の形態）図１２及び図１３は
本発明の第６の実施の形態に係り、図１２は画像取り込
み装置の平面図、図１３は図１２のＣ−Ｃ’線断面図で
ある。

【００９５】（構成）図１２及び図１３に示すように、
画像取り込み装置２０１は、実装基板２０２と、導波路
基板２１０と、光源素子２２０と、光検出素子２３０と
から構成されている。 導波路基板２１０と、光源素子
２２０と、光検出素子２３０は、実装基板２０２の面上
に表面を向けて実装されている。

【００９６】光源素子２２０は図２４の光源９０２に相
当し、光検出素子２３０は図２４のディテクタ９０７に
相当している。

【００９７】導波路基板２１０の面上には導波路２１１
が一体に形成されている。導波路２１１の一方及び他方
の端部は光開口部の入光部２１２及び出光部２１３とな
っている。

【００９８】光源素子２２０が実装されている実装基板
２０２の面上には段差２０３が設けられている。これに
より、光源素子２２０の出光部２２１と、導波路基板２
１０の入光部２１２とは、その中心高さが一致した状態
で対向配置されている。光検出素子２３０が実装されて
いる実装基板２０２の面上には段差２０４が設けられて
いる。この段差２０４により、導波路基板２１０と光検
出素子２３０の位置決めが行われている。

【００９９】（作用）光源素子２２０と導波路基板２１
０の導波路層とで高い光結合効率を得るには、その相互
の位置決めが重要である。

【０１００】第６の実施の形態では、光源素子２２０と
導波路基板２１０の位置決め自由度のうち、基板の厚み
方向の位置決めを実装基板２０２の基板表面からの高さ
で行う。

【０１０１】（効果）第６の実施の形態によれば、導波
路基板２１０の導波路層や光源素子２２０の出光部２２
１の高さは、実装基板２０２の基板表面から作られるた
め、実装基板２０２の表面側から計った高さは高精度に
決められる。

【０１０２】また、段差２０３は、例えばＲＩＥ（反応
性イオンエッチング法）やシリコン基板のウェットエッ
チング等の従来技術で高精度に深さを決める事ができ
る。

【０１０３】このような、２つの理由から、光源素子２
２０と導波路基板２１０の基板の厚み方向の位置決めを
高精度に行う事ができる。同様に光検出素子２３０と導
波路基板２１０の基板の厚み方向の位置決めを高精度に
行う事ができ、生産性及び品質が向上する。

【０１０４】図１４は本発明の第６の実施の形態の第１
の変形例を示す画像取り込み装置の断面図である。

【０１０５】図１４に示すように、画像取り込み装置２
４１は、実装基板２４２と、導波路基板２５０と、光源
素子２６０と、図示しない光検出素子とから構成されて
いる。

【０１０６】導波路基板２５０の面上には、導波路２１
１が一体に形成されるとともに、電極２５１が形成され
ている。光源素子２６０には、端面に出光部２２１が形
成されるとともに、表面上に電極２６１が形成されてい
る。

【０１０７】実装基板２４２には、板面を貫通して開口
部２４５，２４６が形成され、裏面に電極２４７，２４
８が設けられている。導波路基板２５０及び光源素子２
６０の表面に形成されている電極２５１，２６１は、そ
れぞれ開口部２４５，２４６に挿入された電気的接続手
段のワイヤ２５２，２６２により実装基板２４２の裏面
の電極２４７，２４８に電気的に接続されている。

【０１０８】このような第１の変形例によれば、容易に
実装基板２４２上の各素子に電源の供給をしたり、電気
出力を取り出したりできる。

【０１０９】図１５及び図１６は本発明の第６の実施の
形態の第２の変形例に係り、図１５は画像取り込み装置
の平面図、図１６は図１５のＤ−Ｄ’線断面図である。

【０１１０】（構成）図１５及び図１６に示すように、
画像取り込み装置３０１は、実装基板２０２と、導波路
基板２１０と、光源素子２２０と、光検出素子２３０と
から構成されている。

【０１１１】さらに、実装基板２０２はその上面に集光
手段のグレーティングカップラ２４０が一体に形成され
ている。

【０１１２】光源素子２２０が実装されている実装基板
２０２の面上には段差３０３が設けられ、導波路基板２
１０が実装されている実装基板２０２の面上には段差３
０５が設けられている。このために光源素子２２０の出
光部２２１と、導波路基板２１０の入光部２１２とはそ
の中心高さが一致した状態で対向配置されている。ま
た、導波路基板２１０の出光部２１３とグレーティング
カップラ２４０の入光部２４１とはその中心高さが一致
した状態で対向配置されている。

【０１１３】また、光検出素子２３０が実装されている
実装基板２０２の面上には段差３０４が設けられてい
る。

【０１１４】グレーティングカップラ２４０の表面には
グレーティング２４２が形成されている。

【０１１５】グレーティングカップラ２４０は、実装基
板２０２の実装面上に一体に形成された平面状の導波路
ととなっている。グレーティング２４２は、この平面状
の導波路に形成された複数の光開口部となっている。

【０１１６】入光部２４１から入射した光は、グレーテ
ィングカップラ２４０内を通り、グレーティング２４２
を通り過ぎるごとに少しづつグレーティングカップラ２
４０の表面から空間中に漏れ出て行き、回折（効果）に
よって焦点２４３へ集光する。

【０１１７】（効果）このような変形例によれば、画像
取り込み装置２４１は、集光手段を一体に形成すること
ができる。

【０１１８】第６の実施の形態のさらなる光源素子２２
０等の素子の位置決めの方法として、段差２０３等の角
で突き合わせによって位置決めしても良い。また、さら
なる結合効率の向上のため、導波路基板２１０，２５
０、光源素子２２０，２６０、光検出素子２３０間にレ
ンズを設けても良い。このレンズの固定用の溝もＲＩＥ
やシリコンエッチング法を用いる事で、高精度な位置決
めが可能である。

【０１１９】（第７の実施の形態）図１７及び図１８は
本発明の第７の実施の形態に係り、図１７は画像取り込
み装置を内蔵した内視鏡の側面図、図１８は内視鏡の先
端部の断面図である。

【０１２０】（構成）図１７に示すように、内視鏡４０
１には、挿入部４０２と、操作部４０３とが設けられて
いる。

【０１２１】挿入部４０２は、細長く形成され、体腔内
に挿入されるようになっている。操作部４０３は、内視
鏡４０１の手元側に設けられ、挿入部４０２の基端部に
連結されている。

【０１２２】図１８に示すように、挿入部４０２の先端
部４１０の内部には、対物光学系４１１と、撮像素子４
１２と、スライドガラス４１３と、画像取り込み装置４
１４と、配線４１５，４１６とが設けられている。

【０１２３】撮像素子４１２は、対物光学系４１１の結
像位置に配置されている。スライドガラス４１３は、対
物光学系４１１の光軸と略直行面に並行に配置されてい
る。画像取り込み装置４１４は、スライドガラス４１３
の背面側に配置され、かつその長手方向が先端部４１０
の軸方向に略並行である。配線４１５，４１６は、撮像
素子４１２や画像取り込み装置４１４等の電子デバイス
と外部との電気的接続を可能にしている。

【０１２４】（作用）通常の内視鏡の診断において、対
物光学系４１１および撮像素子４１２を用いた診断で
は、病変部か正常部か不明確である場合がある。そのよ
うな場合に本発明による画像取り込み装置４１４によ
り、対象部の断面像ないしは３次元画像情報を得る。

【０１２５】（効果）画像取り込み装置４１４の長手方
向が先端部４１０の軸方向と略並行であるため、先端部
４１０内の構成物の実装密度が向上し、先端部４１０の
外径を小さくすることができ、体腔内への挿入性の良い
内視鏡４０２が作成できる。

【０１２６】図１９乃至図２１は本発明の第７の実施の
形態の第１の変形例に係り、図１９は内視鏡の側面図、
図２０は内視鏡に挿入されるプローブの第１の例の断面
図、図２１は内視鏡に挿入されるプローブの第２の例の
断面図である。

【０１２７】図１９に示すように、内視鏡５０１には、
挿入部５０２と、操作部５０３とが設けられている。

【０１２８】本変形例では、体内に挿入可能なチューブ
は、内視鏡５０１のチャネルに挿入可能なプローブタイ
プとしている。

【０１２９】即ち、図１９は、画像取り込み装置を内部
に実装された観察用プローブ５２１を挿入された状態の
内視鏡５０１を示している。観察用プローブ５２１の挿
入部５０２の先端部５２２は、内視鏡５０１の先端５０
３にあるチャネルの開口から突出させることができ、こ
れにより生体の体腔内壁へ先端５２２を近接ないしは接
触させ、対象部の断面像ないしは３次元画像情報を得る
ことができる。

【０１３０】先端部５２２の第１の例の内部の様子を図
２０を用いて説明する。図２０に示すように、先端部５
２２は、この先端部５２２の軸方向の画像を得るための
構成となっている。先端部５２２の内部には、スライド
ガラス５２３と、画像取り込み装置５２４と、配線５２
５とが設けられている。

【０１３１】スライドガラス５２３は、先端部５２２の
端面に配置されている。画像取り込み装置５２４は、ス
ライドガラス５２３の背面側に配置され、かつその外形
が長手方向が先端部５２２の軸方向に略並行であり、長
手方向の画像取り込みを行う。配線５２５は、画像取り
込み装置５２４と外部との電気的接続を可能とする。

【０１３２】先端部５２２の第２の例の内部の様子を図
２１を用いて説明する。図２１に示すように、先端部５
２２は、この先端部５２２の軸方向に直交する方向の画
像を得るための構成となっている。

【０１３３】先端部５２２の内部には、スライドガラス
５３３と、画像取り込み装置５３４と、配線５３５とが
設けられている。

【０１３４】スライドガラス５３３は、先端部５２２の
側面に配置されている。画像取り込み装置５３４は、ス
ライドガラス５３３の背面側に配置され、かつその外形
が長手方向が先端部５２２の軸方向に略並行であり、長
手方向に直交した方向の画像取り込みを行う。配線５３
５は、画像取り込み装置５３４と外部との電気的接続を
可能にする。

【０１３５】このような構造により、画像取り込み装置
５３４は先端部５２２の軸方向に直交する方向の画像を
得ている。

【０１３６】図２０の画像取り込み装置５２４および図
２１の画像取り込み装置５３４は、観察光の軸方向がそ
れぞれの長手方向に並行であるか、あるいは直交してい
るかの違いはあるが、いずれもそれぞれの長手方向が先
端部５２２の軸方向と略並行であるため、観察用プロー
ブ５２１の外径を小さくすることができる。

【０１３７】図２２は本発明の第７の実施の形態の第２
の変形例に係る内視鏡に挿入されるプローブの断面図で
ある。

【０１３８】図２２に示すように、プローブ６０２の先
端部６２２の内部には、画像取り込み装置６２４と回転
アクチュエータ６２５が設けられている。プローブ６０
２の先端部６２２の外装は、画像取り込み装置６２４の
観察光６３０が外装から出射できるように、透明部材６
２３によって構成されている。画像取り込み装置６２４
はその実装基板全体が先端部６２２の軸方向に沿って回
転できるよう、回転アクチュエータ６２５の回転軸６２
６に接続されている。

【０１３９】画像取り込み装置６２４は、例えば本発明
の第６の実施の形態における第２の変形例のように、観
察光の軸と直行する方向に観察光の焦点６３１を走査す
る機能を持たないものであるが、従来技術であるＯＣＴ
技術により観察光の軸方向の散乱強度情報は得ることが
できる。

【０１４０】以上の構成により、ＯＣＴ技術による深さ
方向走査および回転アクチュエータ６２５による円周方
向走査による、対象物の２次元散乱光強度を得ることが
できる。

【０１４１】［付記］以上詳述したような本発明の実施
の形態によれば、以下の如き構成を得ることができる。

【０１４２】（付記項１） 面上に導波路が形成された
導波路基板と、シリコン基板上にスキャンミラーを形成
したミラーデバイスと、を具備し、前記導波路基板上の
導波路の出光部から光を出射させ、この光を前記スキャ
ンミラーに当て、このスキャンミラーから反射した光束
を観察対象に当てることで観察点を走査することを特徴
とする画像取り込み装置。

【０１４３】（付記項２） 光源から導波路、観察点、
導波路、光検出器へと至る第１の光路と、前記光源から
導波路、前記光検出器へと至り、前記第１の光路とほぼ
光学的距離の等しい第２の光路と、前記第１あるいは第
２の光路を形成する導波路のうち少なくとも片方におい
て導波路を通過する光の光路長を変化させる手段と、前
記第１および第２の光路を通ってきた光を互いに干渉さ
せる手段と、を持つ事を特徴とする付記項１に記載の画
像取り込み装置。

【０１４４】（付記項３） 前記ミラーデバイスが搭載
された基板を有し、この基板の面上には導波路基板と、
光源素子と、光検出素子が実装されている事を特徴とす
る付記項１あるいは２に記載の画像取り込み装置。

【０１４５】（付記項４） 前記導波路基板において、
前記導波路の出光部における端面が該導波路基板表面と
の垂直面に対し斜めに形成されており、前記スキャンミ
ラーの反射面が前記ミラーデバイスの搭載された基板の
表面と平行であり、前記出光部からの出射光が前記導波
路の表面に対して斜めに出射し、出射した光は前記スキ
ャンミラーの反射面によって反射されることを特徴とす
る付記項３に記載の画像取り込み装置。

【０１４６】（付記項５） 導波路が表面に形成された
導波路基板と、反射面が前記導波路基板に向いており、
かつ、ほぼ平行に配置された、角度を走査することので
きるスキャンミラーを持ったミラーデバイスと、前記導
波路基板と平行であり、かつ前記ミラーデバイスからみ
て前記スキャンミラーが形成された面側に配置されたレ
ンズと、を具備し、前記導波路の出光部において前記導
波路が形成された平面に対してほぼ垂直な方向に光が出
射され、この光が前記スキャンミラーの反射面に入射し
て前記導波路基板に向けて反射され、反射された光はレ
ンズで集光される光学系を持ち、前記導波路基板は、前
記光学系と交錯する部分の大半が透明であり、前記スキ
ャンミラーの角度に応じて光束の方向が変化され、観察
点の位置を走査する事を特徴とする画像取り込み装置。

【０１４７】（付記項６） 実装基板と、この実装基板
の実装面上に、そのデバイス表面が実装面に向いて実装
された導波路基板と、光源素子および光検出素子のうち
少なくとも一方と、を備えた画像取り込み装置であっ
て、前記実装基板の実装面には、前記導波路基板、前記
光源素子及び前記光検出素子のうち少なくとも一つより
も面積の大きな段差が形成され、その段差の中には、前
記導波路基板、前記光源素子及び前記光検出素子のうち
少なくとも一つ実装されている事を特徴とする画像取り
込み装置。

【０１４８】（付記項７） 前記実装基板には穴があけ
られており、この穴を介して前記導波路基板、前記光源
素子及び前記光検出素子の表面に形成された電極に電気
的接続手段が設けられている事を特徴とする付記項６に
記載の画像取り込み装置。

【０１４９】（付記項８） 実装基板の実装面上に一体
に形成された平面状の導波路と、この平面状の導波路に
形成された複数の光開口部と、を具備し、前記導波路基
板の出光部から出射された光は平面状の前記導波路に入
射され、前記複数の光開口部から、空間上に焦点を結ぶ
光ないし平行光として放射される事を特徴とする付記項
６または７に記載の画像取り込み装置。

【０１５０】（付記項９） 付記項６乃至８の内いずれ
か一つに記載の特徴をもつ付記項１，２，５の内いずれ
か一つに記載の画像取り込み装置。

【０１５１】（付記項１０） 前記実装基板全体を動か
すためのアクチュエータを持ち、このアクチュエータを
駆動する事で観察点の走査を行うことを特徴とする付記
項１乃至９のいずれか一つに記載の画像取り込み装置。

【０１５２】（付記項１１） 体内に挿入可能な太さの
チューブ内に実装され、その長手方向がチューブの軸方
向に略平行に配置されていることを特徴とする付記項１
乃至１０のいずれか一つに記載の画像取り込み装置。

【０１５３】（付記項１２） 前記チューブは、内視鏡
の挿入部であることを特徴とする付記項１１に記載の画
像取り込み装置。

【０１５４】（付記項１３） 前記チューブは、内視鏡
のチャンネルに挿入可能なプローブであることを特徴と
する付記項１１に記載の画像取り込み装置。

【０１５５】

【発明の効果】以上述べた様に本発明によれば、観測点
に対して高速なスキャンを行えるので、画像取り込み速
度をビデオレートにする事ができ、生体中において細胞
や組織を高画質の動画で観察できる。

【０１５６】また、本発明によれば、容易に素子間を高
精度で実装可能になるので、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の第１の実施の形態に係る画像取
り込み装置の要部を示す側面図。

【図２】本発明の第２の実施の形態に係るは導波路基板
の基板表面を紙面と平行にして示す平面図。

【図３】図２の導波路基板をＡ−Ａ’線で仮想的に切断
した断面図。

【図４】本発明の第３の実施の形態に係る導波路基板の
基板表面を紙面と平行にして示す平面図。

【図５】図４の導波路基板をＢ−Ｂ’線で仮想的に切断
した断面図。

【図６】本発明の第４の実施の形態に係る画像取り込み
装置の要部を示す側面図。

【図７】本発明の第４の実施の形態の第１の変形例を示
す画像取り込み装置の要部の側面図。

【図８】本発明の第５の実施の形態に係る画像取り込み
装置の断面図。

【図９】図８における出射部周辺の拡大図。

【図１０】本発明の第６の実施の形態の変形例に係る画
像取り込み装置の断面図。

【図１１】図１０における出射部周辺の拡大図。

【図１２】本発明の第６の実施の形態に係る画像取り込
み装置の平面図。

【図１３】図１２のＣ−Ｃ’線断面図。

【図１４】本発明の第６の実施の形態の変形例を示す画
像取り込み装置の断面図。

【図１５】第６の実施の形態の第２の変形例に係る画像
取り込み装置の平面図。

【図１６】図１５のＤ−Ｄ’線断面図。

【図１７】本発明の第７の実施の形態に係る画像取り込
み装置を内蔵した内視鏡の側面図。

【図１８】本発明の第７の実施の形態に係る内視鏡の先
端部の断面図。

【図１９】本発明の第７の実施の形態の第１の変形例に
係る内視鏡の側面図。

【図２０】本発明の第７の実施の形態の第１の変形例の
内視鏡に挿入されるプローブの第１の例の断面図。

【図２１】本発明の第７の実施の形態の第１の変形例の
内視鏡に挿入されるプローブの第２の例の断面図。

【図２２】本発明の第７の実施の形態の第２の変形例に
係る内視鏡に挿入されるプローブの断面図。

【図２３】従来のＯＣＴによる画像取り込み装置の概略
構成原理について説明する説明図。

【図２４】従来のＬＣＩ反射計の走査モジュールを示す
説明図。

【符号の説明】

１ …画像取り込み装置 ２ …観察点 １０ …導波路基板 １１ …導波路 １２，１３ …光開口部 ２０ …ミラーデバイス ２２ …スキャンミラー ２９ …レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 26/10 １０４ Ｇ０６Ｔ 1/00 ４２０Ｆ Ｇ０６Ｔ 1/00 ４００ Ｇ０２Ｂ 6/12 Ｊ ４２０ Ｂ Ｆターム(参考） 2G059 AA05 AA06 BB12 BB14 CC16 EE09 FF01 FF02 FF09 GG10 JJ05 JJ11 JJ15 JJ17 JJ22 KK04 2H045 AB73 2H047 KA03 KA12 NA02 PA24 QA03 4C061 AA00 BB00 CC06 DD03 HH51 JJ11 LL02 LL08 NN01 PP11 5B047 AA17 BC05 BC09 BC11

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 面上に導波路が形成された導波路基板
   と、 シリコン基板上にスキャンミラーを形成したミラーデバ
   イスと、 を具備し、 前記導波路基板上の導波路の出光部から光を出射させ、
   この光を前記スキャンミラーに当て、このスキャンミラ
   ーから反射した光束を観察対象に当てることで観察点を
   走査することを特徴とする画像取り込み装置。
2. 【請求項２】 光源から導波路、観察点、導波路、光検
   出器へと至る第１の光路と、 前記光源から導波路、前記光検出器へと至り、前記第１
   の光路とほぼ光学的距離の等しい第２の光路と、 前記第１あるいは第２の光路を形成する導波路のうち少
   なくとも片方において導波路を通過する光の光路長を変
   化させる手段と、 前記第１および第２の光路を通ってきた光を互いに干渉
   させる手段と、 を持つ事を特徴とする請求項１に記載の画像取り込み装
   置。
3. 【請求項３】 前記ミラーデバイスが搭載された基板を
   有し、 この基板の面上には導波路基板と、光源素子と、光検出
   素子が実装されている事を特徴とする請求項１あるいは
   ２に記載の画像取り込み装置。
4. 【請求項４】 前記導波路基板において、前記導波路の
   出光部における端面が該導波路基板表面との垂直面に対
   し斜めに形成されており、前記スキャンミラーの反射面
   が前記ミラーデバイスの搭載された基板の表面と平行で
   あり、前記出光部からの出射光が前記導波路の表面に対
   して斜めに出射し、出射した光は前記スキャンミラーの
   反射面によって反射されることを特徴とする請求項３に
   記載の画像取り込み装置。
5. 【請求項５】 導波路が表面に形成された導波路基板
   と、 反射面が前記導波路基板に向いており、かつ、ほぼ平行
   に配置された、角度を走査することのできるスキャンミ
   ラーを持ったミラーデバイスと、 前記導波路基板と平行であり、かつ前記ミラーデバイス
   からみて前記スキャンミラーが形成された面側に配置さ
   れたレンズと、 を具備し、前記導波路の出光部において前記導波路が形
   成された平面に対してほぼ垂直な方向に光が出射され、
   この光が前記スキャンミラーの反射面に入射して前記導
   波路基板に向けて反射され、反射された光はレンズで集
   光される光学系を持ち、前記導波路基板は、前記光学系
   と交錯する部分の大半が透明であり、前記スキャンミラ
   ーの角度に応じて光束の方向が変化され、観察点の位置
   を走査する事を特徴とする画像取り込み装置。
6. 【請求項６】 実装基板と、 この実装基板の実装面上に、そのデバイス表面が実装面
   に向いて実装された導波路基板と、 光源素子および光検出素子のうち少なくとも一方と、 を備えた画像取り込み装置であって、 前記実装基板の実装面には、前記導波路基板、前記光源
   素子及び前記光検出素子のうち少なくとも一つよりも面
   積の大きな段差が形成され、その段差の中には、前記導
   波路基板、前記光源素子及び前記光検出素子のうち少な
   くとも一つ実装されている事を特徴とする画像取り込み
   装置。
7. 【請求項７】 前記実装基板には穴があけられており、
   この穴を介して前記導波路基板、前記光源素子及び前記
   光検出素子の表面に形成された電極に電気的接続手段が
   設けられている事を特徴とする請求項６に記載の画像取
   り込み装置。
8. 【請求項８】 実装基板の実装面上に一体に形成された
   平面状の導波路と、 この平面状の導波路に形成された複数の光開口部と、 を具備し、 前記導波路基板の出光部から出射された光は平面状の前
   記導波路に入射され、前記複数の光開口部から、空間上
   に焦点を結ぶ光ないし平行光として放射される事を特徴
   とする請求項６または７に記載の画像取り込み装置。
9. 【請求項９】 請求項６乃至８の内いずれか一つに記載
   の特徴をもつ請求項１，２，５の内いずれか一つに記載
   の画像取り込み装置。
10. 【請求項１０】 前記実装基板全体を動かすためのアク
    チュエータを持ち、このアクチュエータを駆動する事で
    観察点の走査を行うことを特徴とする請求項１乃至９の
    いずれか一つに記載の画像取り込み装置。
11. 【請求項１１】 体内に挿入可能な太さのチューブ内に
    実装され、その長手方向がチューブの軸方向に略平行に
    配置されていることを特徴とする請求項１乃至１０のい
    ずれか一つに記載の画像取り込み装置。