JP2003332891A - Oscillator circuit, semi-conductor device including the same, semi-conductor storage device, and method for controlling the oscillator circuit - Google Patents

Oscillator circuit, semi-conductor device including the same, semi-conductor storage device, and method for controlling the oscillator circuit

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JP2003332891A
JP2003332891A JP2002140123A JP2002140123A JP2003332891A JP 2003332891 A JP2003332891 A JP 2003332891A JP 2002140123 A JP2002140123 A JP 2002140123A JP 2002140123 A JP2002140123 A JP 2002140123A JP 2003332891 A JP2003332891 A JP 2003332891A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oscillator circuit which shortens the unstable transition period of a oscillation frequency when oscillation is started in the oscillator circuit to be controlled in operating and stopping, and outputs the oscillation signal with the stabilized oscillation frequency immediately after the start of oscillation. <P>SOLUTION: When an oscillation permitting signal (EN) is in an in-active state, a switch part 1 becomes conductive, and a prescribed signal from a signal generating part 2 is supplied to a control line (VR). When the oscillation permitting signal (EN) is changed into an active state, an oscillation frequency control signal (VR) is set in the control line (VR) in a short time even with the limited driving ability of a control part 7. Thus, the unstable oscillation signal due to a transition signal transfer in the control line (VR) is prevented from being outputted from the oscillating part 8. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、作動・停止の制御
が可能なオシレータ回路、オシレータ回路を備えた半導
体装置および半導体記憶装置、およびオシレータ回路の
制御方法に関するものであり、特に、発振開始時におけ
る安定動作に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oscillator circuit capable of controlling operation / stop, a semiconductor device and a semiconductor memory device having an oscillator circuit, and a method of controlling an oscillator circuit, and more particularly to a method of controlling oscillation. In regard to stable operation in.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の電子機器における高機能化の進展
に伴い、半導体装置や半導体記憶装置においては、回路の
高機能化と相まって消費電流の低減が強く求められてい
る。これは単に携帯機器において必要とされるのみでは
なく、昨今の環境問題の高まりに起因する省エネルギー
化の傾向とも絡んで今後の製品において必須の技術とな
りつつある。
2. Description of the Related Art In recent years, with the progress of higher functionality in electronic equipment, in semiconductor devices and semiconductor memory devices, there is a strong demand for reduction of current consumption in combination with higher functionality of circuits. This is not only required for mobile devices, but is becoming an indispensable technology for future products in connection with the tendency toward energy saving due to the recent increase in environmental problems.

【0003】この要求を満たすため、回路動作に必要な
バイアス電流は極限まで低減され、また、不必要な回路
動作は停止する制御が行なわれる。オシレータ回路の発
振動作についても同様であり、発振動作に必要なバイア
ス電流を極限まで低減した回路構成が提案されると共
に、限定された回路動作のみが行なわれるパワーダウン
モード等のスタンバイ時において、オシレータ回路の発
振動作を止め、更にバイアス回路の電流経路も遮断する
等の低消費電流制御が行なわれている。
In order to meet this requirement, the bias current required for circuit operation is reduced to the utmost limit, and control is performed to stop unnecessary circuit operation. The same applies to the oscillation operation of the oscillator circuit. A circuit configuration is proposed in which the bias current required for the oscillation operation is reduced to the limit, and the oscillator is used in the standby mode such as the power-down mode where only the limited circuit operation is performed. Low current consumption control is performed such as stopping the oscillation operation of the circuit and also cutting off the current path of the bias circuit.

【0004】図13に示す半導体装置1000では、自
己の電源電圧より高い電圧の外部インターフェースを必
要とする場合やメモリセルにアクセスする場合に、電源
電圧よりも高い昇圧電圧が必要とされたり、MOSトラ
ンジスタのバックゲートバイアス用として負電圧が必要
とされる場合がある。そのため、昇圧/負電源回路20
0を備えている。一般的に、半導体装置1000におい
て、電源電圧よりも高電圧の昇圧電圧や逆極性の負電圧
をデバイス内部で生成するためには、チャージポンプ方
式等でキャパシタへの電荷の供給を行なうか、またはキ
ャパシタからの電荷の引き抜きを行なうことが必要であ
る。そのため、昇圧/負電源回路200にはオシレータ
回路100から発振信号が入力されている。
In the semiconductor device 1000 shown in FIG. 13, a boosted voltage higher than the power supply voltage is required or a MOS transistor is required when an external interface having a voltage higher than its own power supply voltage is required or a memory cell is accessed. A negative voltage may be needed for the back gate bias of the transistor. Therefore, the booster / negative power supply circuit 20
It has 0. In general, in the semiconductor device 1000, in order to generate a boosted voltage higher than the power supply voltage or a negative voltage of reverse polarity inside the device, charge is supplied to the capacitor by a charge pump method or the like, or It is necessary to extract the charge from the capacitor. Therefore, the oscillation signal is input from the oscillator circuit 100 to the booster / negative power supply circuit 200.

【0005】ここで、図13において2セットのオシレ
ータ回路100が備えられているのは、半導体装置10
00における動作状態に応じた発振信号を昇圧/負電源
回路200に供給するためである。一方のオシレータ回
路100は活性化信号ACTがイネーブル(EN)端子
に入力される。他方のオシレータ回路100は活性化信
号ACTから反転されたスタンバイ信号SBYがイネー
ブル(EN)端子に入力される。
Here, in FIG. 13, the semiconductor device 10 is provided with two sets of oscillator circuits 100.
This is for supplying an oscillating signal according to the operating state of 00 to the boosting / negative power supply circuit 200. The activation signal ACT of one oscillator circuit 100 is input to the enable (EN) terminal. In the other oscillator circuit 100, the standby signal SBY that is the inverted activation signal ACT is input to the enable (EN) terminal.

【0006】活性化信号ACTが活性化されている場合
には、内部回路400が動作状態にあるので、昇圧/負
電源回路200は充分な電源供給能力を有することが必
要である。従って、活性化信号ACTで活性化するオシ
レータ回路100は、昇圧/負電源回路200からの充
分な電源供給能力を確保するため、高周波数の発振周波
数で発振信号を出力する必要がある。この時、スタンバ
イ信号SBYで活性化するオシレータ回路100は休止
状態にある。
When activation signal ACT is activated, internal circuit 400 is in the operating state, and therefore boosting / negative power supply circuit 200 must have sufficient power supply capability. Therefore, the oscillator circuit 100 activated by the activation signal ACT needs to output an oscillation signal at a high oscillation frequency in order to secure sufficient power supply capability from the boost / negative power supply circuit 200. At this time, the oscillator circuit 100 activated by the standby signal SBY is in the idle state.

【0007】また、スタンバイ信号SBYが活性化され
ている場合には、内部回路400がスタンバイ状態にあ
る。この場合には、半導体装置1000での消費電流を
必要最小限に低減する必要がある。そこで、昇圧/負電
源回路200からは、内部回路400におけるバイアス
状態を維持するために最低限必要な電源が供給されてい
ればよい。従って、スタンバイ信号SBYで活性化する
オシレータ回路100は、活性化状態の場合に比して低
周波数で動作すればよい。この時、活性化信号ACTで
活性化するオシレータ回路100は休止状態にある。
When the standby signal SBY is activated, the internal circuit 400 is in the standby state. In this case, it is necessary to reduce the current consumption of the semiconductor device 1000 to the minimum necessary. Therefore, it is only necessary that the booster / negative power supply circuit 200 be supplied with the minimum necessary power supply for maintaining the bias state in the internal circuit 400. Therefore, the oscillator circuit 100 activated by the standby signal SBY may operate at a lower frequency than in the activated state. At this time, the oscillator circuit 100 that is activated by the activation signal ACT is in the idle state.

【0008】図14に示す半導体記憶装置2000にお
いても、半導体装置1000(図13)と同様に、内部
回路410に昇圧電圧や負電圧を供給するための昇圧/
負電源回路200が必要とされる場合があり、活性化時
に高い周波数で発振動作するオシレータ回路100と、
スタンバイ時に低い周波数で発振動作するオシレータ回
路100とを切り替えて使用する。更に、半導体記憶装
置2000においては、メモリセル500の蓄積電荷を
リフレッシュするリフレシュ制御回路300を備えてい
る。そして、リフレッシュ動作を周期的に行なうために
オシレータ回路100でリフレッシュ周期を計時してい
る。半導体記憶装置2000では、このオシレータ回路
100は、活性化信号ACTが活性化されている状態で
動作する構成である。携帯機器等で活性化状態において
のみデータの保持動作が必要な動作仕様では、スタンバ
イ状態でオシレータ回路100を休止させリフレッシュ
動作を止めることにより、スタンバイ時の消費電流を極
限まで低減することができる。
In the semiconductor memory device 2000 shown in FIG. 14 as well as the semiconductor device 1000 (FIG. 13), a voltage booster for supplying a boosted voltage or a negative voltage to the internal circuit 410 is used.
A negative power supply circuit 200 may be required, and an oscillator circuit 100 that oscillates at a high frequency when activated,
The oscillator circuit 100 that oscillates at a low frequency during standby is switched and used. Further, the semiconductor memory device 2000 includes a refresh control circuit 300 that refreshes the charges accumulated in the memory cell 500. Then, the oscillator circuit 100 measures the refresh period in order to periodically perform the refresh operation. In semiconductor memory device 2000, oscillator circuit 100 is configured to operate in a state where activation signal ACT is activated. In an operating specification in which a data holding operation is required only in the activated state in a portable device or the like, the current consumption in the standby state can be reduced to the limit by suspending the oscillator circuit 100 in the standby state and stopping the refresh operation.

【0009】以下に、オシレータ回路100としての第
1従来技術を示す。図15のオシレータ回路100で
は、発振部8のほか制御部7を備えており、制御部7か
らの発振周波数制御信号VRにより発振部8の発振周波
数を所定周波数に制御している。また、制御部7と発振
部8とはイネーブル信号ENで制御されており、イネー
ブル信号ENに応じて作動・停止が行なわれる。イネー
ブル信号ENの制御により不要な発振動作を停止して消
費電流の低減を図る構成である。また、必要最小限の消
費電流で所定周波数の発振動作を得るために、制御部7
は、発振部8と別構成となっており必要最小限のバイア
スを供給している。また、休止時には動作を休止して消
費電流の低減を図っている。
The first prior art as the oscillator circuit 100 will be shown below. The oscillator circuit 100 of FIG. 15 includes an oscillator 8 and a controller 7, and controls the oscillation frequency of the oscillator 8 to a predetermined frequency by an oscillation frequency control signal VR from the controller 7. Further, the control unit 7 and the oscillation unit 8 are controlled by the enable signal EN, and actuation / stopping is performed according to the enable signal EN. The configuration is such that unnecessary oscillation operation is stopped by controlling the enable signal EN to reduce current consumption. Further, in order to obtain an oscillating operation of a predetermined frequency with a minimum required current consumption, the control unit 7
Has a configuration different from that of the oscillating unit 8 and supplies a minimum required bias. In addition, the operation is suspended during the suspension to reduce the current consumption.

【0010】図16は、第1従来技術における第1具体
例のオシレータ回路である。制御部720は、イネーブ
ル信号ENで制御されるスイッチ素子S100が電源電
圧VDDに接続されており、PMOSトランジスタTP
100のソース端子に接続され、相互に接続されたゲー
ト端子とドレイン端子とから発振周波数制御信号VRが
出力される。また、抵抗素子R100を介して接地電圧
VSSに接続されている。発振周波数制御信号VRは、
スイッチ素子S100、PMOSトランジスタTP10
0、及び抵抗素子R100を介して形成される電流経路
に流れるバイアス電流ICにより生成される。ここで、
バイアス電流ICは低消費電流動作の要請から限定され
た小電流値に設定されることが一般的である。例えば、
抵抗素子R100の抵抗値を1MΩに設定すれば、数マ
イクロアンペア程度に設定される。
FIG. 16 shows an oscillator circuit of a first specific example in the first prior art. In the control unit 720, the switch element S100 controlled by the enable signal EN is connected to the power supply voltage VDD, and the PMOS transistor TP
The oscillation frequency control signal VR is output from the gate terminal and the drain terminal which are connected to the source terminal of 100 and are connected to each other. Further, it is connected to the ground voltage VSS via the resistance element R100. The oscillation frequency control signal VR is
Switch element S100, PMOS transistor TP10
0, and a bias current IC flowing in a current path formed via the resistance element R100. here,
The bias current IC is generally set to a limited small current value due to the demand for low current consumption operation. For example,
If the resistance value of the resistance element R100 is set to 1 MΩ, it is set to about several microamperes.

【0011】また、発振部830は、奇数段(図16で
は、3段を例示)のインバータ素子INV100乃至I
NV102がループ状に接続されてリングオシレータを
構成している。各インバータ素子INV100乃至IN
V102の電源端子は、PMOSトランジスタTP10
1を介して電源電圧VDDに接続されている。PMOS
トランジスタTP101のゲート端子は発振周波数制御
信号VRで制御される。インバータ素子INV102か
らイネーブル信号ENで制御されるスイッチ素子S10
1を介して発振信号VOSCが出力される。
Further, the oscillating section 830 includes the odd-numbered stages (in FIG. 16, three stages are illustrated) of inverter elements INV100 to INV.
The NV 102 is connected in a loop to form a ring oscillator. Each inverter element INV100 to INV
The power supply terminal of V102 is the PMOS transistor TP10.
1 to the power supply voltage VDD. PMOS
The gate terminal of the transistor TP101 is controlled by the oscillation frequency control signal VR. A switch element S10 controlled by the enable signal EN from the inverter element INV102
The oscillation signal VOSC is output via 1.

【0012】図17は、第1従来技術における第2具体
例のオシレータ回路である。第1具体例の発振部830
に代えて発振部810が備えられている。発振部810
は、インバータ素子INV102に代えてノア素子NO
R100が備えられており、ノア素子NOR100の他
方の入力端子にはイネーブル信号ENが入力される。
FIG. 17 shows an oscillator circuit of a second specific example in the first prior art. Oscillator 830 of First Specific Example
Instead of this, an oscillating unit 810 is provided. Oscillator 810
Is a NOR element NO instead of the inverter element INV102.
R100 is provided, and the enable signal EN is input to the other input terminal of the NOR element NOR100.

【0013】第1及び第2具体例では、イネーブル信号
ENがローレベルの状態で活性化される。スイッチ素子
S100が導通することにより制御部720にバイアス
電流ICが流れ、制御線VRが発振周波数制御信号VR
にバイアスされる。発振周波数制御信号VRが入力され
る発振部810、830では、駆動電流として制御部7
20と同等なバイアス電流ICが流れリングオシレータ
が発振動作を行なう。第1具体例では、スイッチ素子S
101が導通状態にあるので発振信号VOSCが出力さ
れる。また、第2具体例では、ローレベルのイネーブル
信号ENが入力されるノア素子NOR100が論理反転
素子として機能するため、リングオシレータが動作して
発振信号VOSCが出力される。
In the first and second specific examples, the enable signal EN is activated in a low level state. When the switch element S100 is turned on, the bias current IC flows through the control unit 720, and the control line VR changes the oscillation frequency control signal VR.
Biased to. In the oscillators 810 and 830 to which the oscillation frequency control signal VR is input, the controller 7 outputs the drive current.
A bias current IC equal to 20 flows and the ring oscillator oscillates. In the first specific example, the switch element S
Since 101 is conductive, the oscillation signal VOSC is output. Further, in the second specific example, since the NOR element NOR100 to which the low level enable signal EN is input functions as a logical inversion element, the ring oscillator operates and the oscillation signal VOSC is output.

【0014】図19は、第1従来技術における第3具体
例のオシレータ回路である。第2具体例の制御部720
に代えて制御部740が備えられている。制御部740
では、スイッチ素子S100に代えてスイッチ素子S1
02が、抵抗素子R100と接地電圧VSSとの間に挿
入されている。スイッチ素子S102はイネーブル信号
ENで制御される。また、ノア素子NOR100の他方
の入力端子には、インバータ素子INV103でイネー
ブル信号ENが反転されて入力される。
FIG. 19 shows an oscillator circuit of a third example of the first prior art. Control unit 720 of the second specific example
Instead of this, a control unit 740 is provided. Control unit 740
Then, instead of the switch element S100, the switch element S1
02 is inserted between the resistance element R100 and the ground voltage VSS. The switch element S102 is controlled by the enable signal EN. The enable signal EN is inverted and input to the other input terminal of the NOR element NOR100 by the inverter element INV103.

【0015】第3具体例では、イネーブル信号ENがハ
イレベルの状態で活性化される。スイッチ素子S102
が導通して制御部740にバイアス電流ICが流れ、制
御線VRが発振周波数制御信号VRにバイアスされる。
発振部810にもバイアス電流ICが流れリングオシレ
ータが発振動作を行なう。第3具体例では、イネーブル
信号ENがインバータ素子INV103で反転されてロ
ーレベルとしてノア素子NOR100に入力される。ノ
ア素子NOR100は論理反転素子として機能し、リン
グオシレータが動作して発振信号VOSCが出力され
る。
In the third example, the enable signal EN is activated in the high level state. Switch element S102
Is conducted, a bias current IC flows through the control unit 740, and the control line VR is biased by the oscillation frequency control signal VR.
The bias current IC also flows into the oscillator 810, and the ring oscillator performs an oscillating operation. In the third specific example, the enable signal EN is inverted by the inverter element INV103 and input to the NOR element NOR100 as a low level. The NOR element NOR100 functions as a logic inversion element, the ring oscillator operates and the oscillation signal VOSC is output.

【0016】また、オシレータ回路100としての第2
従来技術として、特開平11−317623号公報に開
示されている発振回路を図21に示す。図21の発振回
路では、発振部910とパルス発生部920とから構成
されている。パルス発生部920の単安定マルチバイブ
レータMMは、電源電圧VCCの立ち上がりを検出して
一定時間t1のハイレベルの制御パルスPを生成する。
これにより、発振部910に電源が投入されてから一定
時間t1は、スイッチSWがオン状態となり、圧電振動
子Xに大きな初期電流を流す構成である。
The second oscillator circuit 100 is used.
As a conventional technique, an oscillator circuit disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-317623 is shown in FIG. The oscillator circuit of FIG. 21 includes an oscillator 910 and a pulse generator 920. The monostable multivibrator MM of the pulse generator 920 detects the rising of the power supply voltage VCC and generates a high-level control pulse P for a certain time t1.
As a result, the switch SW is turned on and a large initial current is supplied to the piezoelectric vibrator X for a certain time t1 after the power supply to the oscillation unit 910 is turned on.

【0017】図22には、起動時の動作波形を示す。時
刻T1において電源電圧VCCが立ち上がると、この立
ち上がりをマルチバイブレータMMが検知して時間t1
の制御パルスPを生成する。スイッチSWがオン状態と
なり圧電振動子Xに大きな初期電流が投入される。この
スイッチSWにより、時間t2だけ早く発振が開始され
る。
FIG. 22 shows operation waveforms at the time of startup. When the power supply voltage VCC rises at time T1, the multivibrator MM detects this rise and detects the time t1.
Control pulse P is generated. The switch SW is turned on, and a large initial current is applied to the piezoelectric vibrator X. With this switch SW, oscillation is started earlier than time t2.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第1従
来技術におけるオシレータ回路100(図15)では、
第1乃至第3具体例(図16、17、19)の回路図に
示すように、イネーブル信号ENが発振部8、810、
830に入力されて、発振動作の作動・停止の制御を行
なうほか、発振信号VOSCの出力可否の制御を行なう
場合もある。また、イネーブル信号ENが入力される制
御部7、720、740は、発振部8、810、830
の発振周波数を制御する発振周波数制御信号VRを制御
する。イネーブル信号ENの活性化後に制御線VRが発
振周波数制御信号VRに達するまでには所定時間を要す
るので、発振信号VOSCが所定の周波数で発振する安
定状態に移行するまでの間は発振周波数が不安定とな
る。活性化後に一定の不安定期間が存在してしまい問題
である。この不安定期間の存在により、以下に示すよう
な具体的な諸問題が発生するおそれがある。
However, in the oscillator circuit 100 (FIG. 15) of the first conventional technique,
As shown in the circuit diagrams of the first to third specific examples (FIGS. 16, 17, and 19), the enable signal EN changes to the oscillation units 8 and 810.
It may be input to 830 to control the operation / stop of the oscillation operation, and may control the output of the oscillation signal VOSC. The control units 7, 720, 740 to which the enable signal EN is input are oscillating units 8, 810, 830.
The oscillation frequency control signal VR for controlling the oscillation frequency of Since it takes a predetermined time for the control line VR to reach the oscillation frequency control signal VR after the activation of the enable signal EN, the oscillation frequency does not change until the oscillation signal VOSC transitions to a stable state in which it oscillates at a predetermined frequency. Be stable. There is a certain unstable period after activation, which is a problem. The existence of this unstable period may cause the following specific problems.

【0019】発振部8、810、830では、イネーブ
ル信号ENの論理レベルのみで制御状態が確定するの
で、イネーブル信号ENが活性化されると同時に発振動
作状態となる。これに対して、制御部7、720、74
0では、スタンバイ状態で遮断されていた電流経路が、
イネーブル信号ENの活性化で確立されてバイアス電流
ICが流れることにより、制御線VRが発振周波数制御
信号VRまで設定されていく。ここで、バイアス電流I
Cは低消費電流動作の要請から限定された小電流値であ
るので、制御線VRが発振周波数制御信号VRに達する
までには所定時間を要してしまうことになる。発振部
8、810、830はイネーブル信号ENの活性化と同
時に発振動作状態となるので、発振周波数制御信号VR
に達するまでの過渡的な電圧レベルに対して、所定周波
数とは異なる発振周波数で発振信号VOSCが出力され
てしまうこととなる。この間が不安定期間であり回路動
作上種々の問題がある。
In the oscillating units 8, 810 and 830, the control state is determined only by the logical level of the enable signal EN, so that the oscillating operation state is set at the same time when the enable signal EN is activated. On the other hand, the control units 7, 720, 74
At 0, the current path that was interrupted in the standby state is
The control line VR is set up to the oscillation frequency control signal VR by the bias current IC flowing by being established by the activation of the enable signal EN. Where the bias current I
Since C is a small current value limited due to the request for low current consumption operation, it takes a predetermined time for the control line VR to reach the oscillation frequency control signal VR. Since the oscillating units 8, 810 and 830 are in the oscillating operation state at the same time when the enable signal EN is activated, the oscillating frequency control signal VR
The oscillation signal VOSC will be output at an oscillation frequency different from the predetermined frequency with respect to the transient voltage level until the voltage reaches. This period is an unstable period and there are various problems in circuit operation.

【0020】図18に示す不安定期間X1は、第1及び
第2具体例(図16、17)において発生する。第1及
び第2具体例の制御部720では、イネーブル信号EN
がハイレベルとなる非活性時には、制御線VRは接地電
圧VSSまで低下する。イネーブル信号ENがローレベ
ルとなり活性化されると、制御線VRは徐々に上昇して
いくが、バイアス電流が小電流値である場合には、発振
周波数制御信号VRに達するまでに所定の時間(不安定
期間X1)が必要となる。そのためこの間は、発振周波
数制御信号VRより低電圧が発振部810、830のP
MOSトランジスタTP101に印加され、設定された
バイアス電流ICより大きな駆動電流でリングオシレー
タが駆動されることとなる。これにより、発振信号VO
SCは所定周波数より高周波数で発振してしまう。
The unstable period X1 shown in FIG. 18 occurs in the first and second specific examples (FIGS. 16 and 17). In the control unit 720 of the first and second specific examples, the enable signal EN
When it is inactive, the control line VR drops to the ground voltage VSS. When the enable signal EN becomes low level and is activated, the control line VR gradually rises, but when the bias current has a small current value, a predetermined time ( An unstable period X1) is required. Therefore, during this period, a voltage lower than the oscillation frequency control signal VR is P of the oscillation units 810 and 830.
The ring oscillator is driven by a drive current that is applied to the MOS transistor TP101 and is larger than the set bias current IC. As a result, the oscillation signal VO
SC oscillates at a frequency higher than a predetermined frequency.

【0021】不安定期間X1には、オシレータ回路10
0自身の消費電流が増大することに加えて、半導体装置
1000や半導体記憶装置2000における昇圧/負電
源回路200等の回路動作も必要以上に高速な動作とな
り、半導体記憶装置2000ではリフレッシュ制御回路
300が必要以上に短い周期でリフレッシュ動作を実行
してしまい、多大な電流消費を招き問題である。電池駆
動のように電源供給能力が限定された環境で動作させた
り、電源供給経路のインピーダンスが無視できない環境
で動作させる場合に、不安定期間X1における多大な電
流消費により、半導体装置1000や半導体記憶装置2
000に供給される電源電圧が必要以上に降下してしま
い動作不良を招くおそれもあり問題である。
During the unstable period X1, the oscillator circuit 10
In addition to the increase in the current consumption of 0 itself, the circuit operation of the booster / negative power supply circuit 200 in the semiconductor device 1000 or the semiconductor memory device 2000 is faster than necessary, and the semiconductor memory device 2000 has the refresh control circuit 300. However, the refresh operation is executed in a shorter cycle than necessary, resulting in a large current consumption, which is a problem. When operating in an environment in which the power supply capacity is limited, such as battery drive, or in an environment in which the impedance of the power supply path cannot be ignored, the semiconductor device 1000 and the semiconductor memory device 1000 and the semiconductor memory device may have a large current consumption during the unstable period X1. Device 2
This is a problem because the power supply voltage supplied to 000 may drop more than necessary and may cause malfunction.

【0022】また、必要以上の高周波数で昇圧/負電源
回路200が動作すると、設定値以上の電圧が発生して
しまう場合もあり、デバイスの信頼性上悪影響を及ぼす
おそれがあり問題である。特に、イネーブル信号ENの
活性化・非活性化が頻繁に繰り返される携帯機器等の使
用環境において問題である。
If the booster / negative power supply circuit 200 operates at a higher frequency than necessary, a voltage higher than the set value may be generated, which may adversely affect the reliability of the device, which is a problem. In particular, this is a problem in a use environment of a portable device or the like in which activation / deactivation of the enable signal EN is frequently repeated.

【0023】図20に示す不安定期間X2は、第3具体
例(図19)において発生する。第3具体例の制御部7
40では、イネーブル信号ENがローレベルとなる非活
性時に、制御線VRは電源電圧VDDからPMOSトラ
ンジスタの閾値電圧Vthpを減じた電圧(VDD−V
thp)あたりまで上昇する。イネーブル信号ENがハ
イレベルとなり活性化されると、制御線VRの電圧レベ
ルが徐々に発振周波数制御信号VRまで降下していく
が、バイアス電流ICが小電流値である場合には所定の
時間(不安定期間X2)が必要となる。そのためこの間
には発振周波数制御信号VRより高電圧が発振部810
のPMOSトランジスタTP101に印加されて、設定
されたバイアス電流ICより小さな駆動電流でリングオ
シレータが駆動されるか、あるいは駆動しない場合もあ
る。これにより、発振信号VOSCは所定周波数より低
周波数での発振、あるいは発振停止の状態となる。
The unstable period X2 shown in FIG. 20 occurs in the third specific example (FIG. 19). Control unit 7 of the third specific example
In 40, when the enable signal EN is at a low level and is inactive, the control line VR has a voltage (VDD-V) obtained by subtracting the threshold voltage Vthp of the PMOS transistor from the power supply voltage VDD.
thp). When the enable signal EN becomes high level and is activated, the voltage level of the control line VR gradually drops to the oscillation frequency control signal VR, but when the bias current IC has a small current value, a predetermined time ( The unstable period X2) is required. Therefore, during this period, a voltage higher than the oscillation frequency control signal VR is generated by the oscillation unit 810.
In some cases, the ring oscillator is driven with a drive current smaller than the set bias current IC applied to the PMOS transistor TP101, or is not driven. As a result, the oscillation signal VOSC is oscillated at a frequency lower than the predetermined frequency or is in an oscillation stopped state.

【0024】不安定期間X2には、発振信号VOSCの
発振周波数が所定周波数より低周波数となってしまうの
で、半導体装置1000や半導体記憶装置2000にお
ける昇圧/負電源回路200等における電圧生成が不十
分となってしまう。昇圧電圧が不足すると、外部インタ
ーフェース部分の動作不良や、メモリセルへのアクセス
不良を招くおそれがあり問題である。また、負電圧が不
足すると、MOSトランジスタのバックゲートバイアス
が不足してしまい、閾値電圧の変動やノイズ耐性の悪化
等を招くおそれがある。
During the unstable period X2, the oscillation frequency of the oscillation signal VOSC becomes lower than the predetermined frequency, so that the voltage generation in the step-up / negative power supply circuit 200 in the semiconductor device 1000 or the semiconductor memory device 2000 is insufficient. Will be. If the boosted voltage is insufficient, there is a risk of malfunction of the external interface portion and malfunction of access to the memory cell, which is a problem. If the negative voltage is insufficient, the back gate bias of the MOS transistor will be insufficient, which may lead to fluctuations in the threshold voltage and deterioration in noise resistance.

【0025】また、半導体記憶装置2000では、リフ
レッシュ制御回路300で制御すべきリフレッシュ動作
の周期が必要以上に長くなってしまい、データ保持特性
によってはデータの消失が発生してしまうおそれがあり
問題である。
Further, in the semiconductor memory device 2000, the cycle of the refresh operation to be controlled by the refresh control circuit 300 becomes longer than necessary, which may cause data loss depending on the data retention characteristic. is there.

【0026】ここで、発振周波数制御信号VRと発振信
号VOSCの発振周波数との関係を説明する。発振周波
数は、リングオシレータを構成するインバータ素子IN
V100乃至INV102等の伝播遅延時間で決定され
る。そして、この伝播遅延時間は、インバータ素子IN
V100乃至INV102を構成するトランジスタの駆
動能力が充分大きな、第1乃至第3具体例のような場合
においては、各電源端子に供給される駆動電流であるバ
イアス電流ICによって決定される。バイアス電流IC
により各段の入力容量の充放電時間が伝播遅延時間とな
るからである。すなわち、発振信号VOSCの発振周波
数は、バイアス電流ICに比例することとなる。
Here, the relationship between the oscillation frequency control signal VR and the oscillation frequency of the oscillation signal VOSC will be described. The oscillation frequency is the inverter element IN that constitutes the ring oscillator.
It is determined by the propagation delay time such as V100 to INV102. Then, this propagation delay time is
In the cases of the first to third specific examples in which the driving capability of the transistors constituting V100 to INV102 is sufficiently large, it is determined by the bias current IC which is the driving current supplied to each power supply terminal. Bias current IC
This is because the charging / discharging time of the input capacitance of each stage becomes the propagation delay time. That is, the oscillation frequency of the oscillation signal VOSC is proportional to the bias current IC.

【0027】バイアス電流ICは、PMOSトランジス
タTP101の飽和特性で動作し、 IC=K×((VDD−VR)−Vthp)2 =K×((VDD−Vthp)−VR)2 の関係を有する。ここで、KはPMOSトランジスタP
101が有する物理定数である。また、Vthpは正の
値を示している。従って、閾値電圧としては、−Vth
pとなる。この式が成立するのは、ゲート・ソース間電
圧が閾値電圧を下回らないことが条件であるので、VR
<VDD−Vthpでの関係式である。
The bias current IC operates with the saturation characteristic of the PMOS transistor TP101, and has a relationship of IC = K × ((VDD-VR) -Vthp) 2 = K × ((VDD-Vthp) -VR) 2 . Here, K is a PMOS transistor P
A physical constant 101 has. Moreover, Vthp shows a positive value. Therefore, the threshold voltage is -Vth
p. This equation holds true because the gate-source voltage does not fall below the threshold voltage, so VR
<It is a relational expression in VDD-Vthp.

【0028】従って、VR=VDD−Vthpのとき、
IC=0となり、発振動作は停止してしまうと共に、V
R<VDD−Vthpの領域では、VRの変化に対して
2乗特性でバイアス電流ICが変化することとなる。即
ち、VRの変化に対して2乗特性で発振周波数が変化し
てしまい、不安定期間X1、X2においては、発振信号
VOSCの発振周波数が大きく変化してしまう。
Therefore, when VR = VDD-Vthp,
IC = 0, the oscillation operation stops, and V
In the region of R <VDD-Vthp, the bias current IC changes with the square characteristic with respect to the change of VR. That is, the oscillation frequency changes with the square characteristic with respect to the change of VR, and the oscillation frequency of the oscillation signal VOSC changes greatly during the unstable periods X1 and X2.

【0029】第2従来技術における発振回路(図21)
では、スイッチSWにより時間t2だけ早く発振が開始
されるものの、発振開始直後の発振信号OUTは小さな
振幅であり、徐々に大きくなって安定する。発振開始ま
での時間が短縮されたとしても発振開始後の不安定期間
を解消することはできず問題である。
Oscillation circuit in the second prior art (FIG. 21)
Then, although the switch SW causes the oscillation to start earlier by the time t2, the oscillation signal OUT has a small amplitude immediately after the start of the oscillation and gradually increases and becomes stable. Even if the time until the start of oscillation is shortened, the unstable period after the start of oscillation cannot be resolved, which is a problem.

【0030】また、第2従来技術は、電源投入を起動信
号として動作を開始する場合の回路構成である。この時
の電源電圧VCCの立ち上がり波形は、図22に示すよ
うに急峻な電圧遷移を想定している。従って、半導体装
置1000や半導体記憶装置2000に搭載され、電源
電圧が投入されたままの状態でパワーダウンモード等の
スタンバイ状態とアクティブ状態との間を移行する機能
を有し、イネーブル信号EN等の制御信号の入力に基づ
き起動動作を行なう場合には適用することができない。
The second prior art has a circuit configuration in which the operation is started by turning on the power supply as a start signal. The rising waveform of the power supply voltage VCC at this time assumes a sharp voltage transition as shown in FIG. Therefore, it is mounted on the semiconductor device 1000 or the semiconductor memory device 2000, and has a function of switching between a standby state such as a power down mode and an active state while the power supply voltage is still applied, and enables the enable signal EN and the like. It cannot be applied when the starting operation is performed based on the input of the control signal.

【0031】また、制御パルスPのハイレベルである一
定期間t1は、受動素子である抵抗素子Raと容量素子
Caにより設定される。これに対して、ハイレベルの制
御パルスPによりオン状態に制御されるスイッチSWは
能動素子である。更に圧電振動子Xへの初期電流を投入
する一定期間t1は、起動時間を最も短くできるように
実験によって選ばれる。受動素子や能動素子は、各々異
なる要素や構造により構成されているので、互いに独立
した製造上のばらつきを有していることが一般的であ
る。そのため、受動素子Ra、Caにより決定される一
定時間t1と、能動素子SWのオン状態への閾値や駆動
能力とは任意の組み合わせとなり、実験で選ばれた条件
を維持することは困難となるおそれがあり問題である。
The fixed period t1 in which the control pulse P is at the high level is set by the resistance element Ra and the capacitance element Ca which are passive elements. On the other hand, the switch SW controlled to be in the ON state by the high-level control pulse P is an active element. Further, the fixed period t1 in which the initial current is applied to the piezoelectric vibrator X is selected by an experiment so that the starting time can be minimized. Since the passive element and the active element are composed of different elements and structures, it is common that they have manufacturing variations independent of each other. Therefore, the fixed time t1 determined by the passive elements Ra and Ca may be an arbitrary combination of the threshold value and the driving ability of the active element SW in the ON state, and it may be difficult to maintain the condition selected in the experiment. There is a problem.

【0032】例えば、一定時時間t1やスイッチの駆動
能力の不足により圧電振動子Xの起動が不十分になる場
合には、一定時時間t1の終了後に更に起動時間を必要
とする。逆に、一定時時間t1が過度の場合には、必要
以上に圧電振動子Xの起動時間が継続することとなる。
いずれにしても起動時間の最適化ができず問題である。
For example, when the piezoelectric vibrator X is insufficiently activated due to the constant time t1 or the insufficient drive capability of the switch, a further activation time is required after the constant time t1 ends. On the contrary, when the constant time t1 is excessive, the activation time of the piezoelectric vibrator X continues longer than necessary.
In any case, the startup time cannot be optimized, which is a problem.

【0033】本発明は前記従来技術の問題点を解消する
ためになされたものであり、作動・停止の制御が可能な
オシレータ回路の発振開始時における発振周波数の過渡
的な不安定期間を短縮化して、発振開始直後から安定し
た発振周波数を有する発振信号を出力することが可能な
オシレータ回路、オシレータ回路を備えた半導体装置お
よび半導体記憶装置、およびオシレータ回路の制御方法
を提供することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and shortens the transient unstable period of the oscillation frequency at the start of oscillation of the oscillator circuit capable of controlling the operation / stop. It is an object of the present invention to provide an oscillator circuit capable of outputting an oscillation signal having a stable oscillation frequency immediately after the start of oscillation, a semiconductor device and a semiconductor memory device including the oscillator circuit, and a method for controlling the oscillator circuit. .

【0034】[0034]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1に係るオシレータ回路は、発振周波数制御
信号に応じた発振周波数で発振動作を行なう発振部と、
発振許可信号の活性化により、制御線を介して発振周波
数制御信号を発振部に出力する制御部と、信号発生回路
と制御線との間に配置され、発振許可信号の非活性時に
導通して、信号発生回路から制御線に所定信号を供給す
るスイッチ部とを備えることを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, an oscillator circuit according to a first aspect of the present invention includes an oscillating section that oscillates at an oscillation frequency according to an oscillation frequency control signal.
It is placed between the control unit that outputs the oscillation frequency control signal to the oscillator through the control line and the signal generation circuit and the control line when the oscillation enable signal is activated. And a switch unit for supplying a predetermined signal from the signal generating circuit to the control line.

【0035】請求項1のオシレータ回路では、発振許可
信号の活性化状態で発振部と制御部とが活性化され発振
動作が行なわれる。発振周波数は、制御部から制御線を
介して発振部に出力される発振周波数制御信号により設
定される。発振許可信号が非活性の場合、発振部と制御
部とが非活性化されるが、この時スイッチ部を介して信
号発生回路から制御線に所定信号が供給される。
In the oscillator circuit of the first aspect, the oscillating section and the control section are activated and the oscillating operation is performed in the activated state of the oscillation enable signal. The oscillation frequency is set by an oscillation frequency control signal output from the control unit to the oscillation unit via the control line. When the oscillation enable signal is inactive, the oscillating unit and the control unit are inactivated. At this time, a predetermined signal is supplied from the signal generating circuit to the control line via the switch unit.

【0036】また、請求項8に係るオシレータ回路の制
御方法は、発振周波数制御信号に応じて発振動作が行な
われる際、発振周波数の制御動作が発振許可信号の活性
化により活性化され、制御状態が予め定められた設定状
態に移行していくことにより発振周波数が設定値に移行
していくオシレータ回路の制御方法であって、発振許可
信号の非活性時において、制御状態が信号発生部からの
信号により所定状態に維持されることを特徴とする。
In the oscillator circuit control method according to the present invention, when the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the oscillation frequency control operation is activated by the activation of the oscillation enable signal, and the control state is maintained. Is a method of controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value by shifting to a preset setting state, in which the control state from the signal generator is when the oscillation enable signal is inactive. It is characterized by being maintained in a predetermined state by a signal.

【0037】また、請求項2に係るオシレータ回路は、
発振周波数制御信号に応じた発振周波数で発振動作を行
なう発振部と、発振許可信号の活性化により、制御線を
介して発振周波数制御信号を発振部に出力する第1制御
部と、発振許可信号が活性化される際、パルス信号を出
力するパルス生成部と、パルス信号により活性化され、
所定信号を出力する第2制御部と、第2制御部と制御線
との間に配置され、パルス信号により導通して、制御線
に所定信号を供給するスイッチ部とを備えることを特徴
とする。
The oscillator circuit according to claim 2 is
An oscillation unit that oscillates at an oscillation frequency according to the oscillation frequency control signal, a first control unit that outputs the oscillation frequency control signal to the oscillation unit through a control line when the oscillation permission signal is activated, and an oscillation permission signal. When activated, the pulse generator that outputs a pulse signal, and activated by the pulse signal,
It is characterized by including a second control unit that outputs a predetermined signal, and a switch unit that is arranged between the second control unit and the control line, conducts by a pulse signal, and supplies the predetermined signal to the control line. .

【0038】請求項2のオシレータ回路では、発振許可
信号の活性化状態で発振部と第1制御部とが活性化され
発振動作が行なわれる。発振周波数は、第1制御部から
制御線を介して発振部に出力される発振周波数制御信号
により設定される。発振許可信号の活性化の際、パルス
生成部より出力されるパルス信号の間、スイッチ部と第
2制御部とが活性化され、第2制御部からスイッチ部を
介して制御線に所定信号が供給される。
In the oscillator circuit of the second aspect, the oscillating section and the first control section are activated and the oscillating operation is performed in the activated state of the oscillation enable signal. The oscillation frequency is set by the oscillation frequency control signal output from the first control unit to the oscillation unit via the control line. When the oscillation enable signal is activated, the switch unit and the second control unit are activated during the pulse signal output from the pulse generation unit, and the predetermined signal is transmitted from the second control unit to the control line via the switch unit. Supplied.

【0039】また、請求項9に係るオシレータ回路の制
御方法は、発振周波数制御信号に応じて発振動作が行な
われる際、発振周波数の第1制御動作が発振許可信号の
活性化により活性化され、制御状態が予め定められた設
定状態に移行していくことにより発振周波数が設定値に
移行していくオシレータ回路の制御方法であって、発振
許可信号が活性化された以後の所定期間、制御状態を所
定状態に移行させる第2制御動作が活性化されることを
特徴とする。
Further, in the oscillator circuit control method according to the present invention, when the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the first control operation of the oscillation frequency is activated by activation of the oscillation permission signal, This is a method for controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value as the control state shifts to a preset setting state, and the control state is maintained for a predetermined period after the oscillation enable signal is activated. The second control operation that shifts to a predetermined state is activated.

【0040】これにより、発振許可信号が非活性となり
制御部が非活性である状態で、または発振許可信号の活
性状態への遷移の際のパルス信号等の所定期間に、制御
線に所定信号を供給することができるので、発振許可信
号の活性化により制御部または第1制御部が活性化され
る際に、制御線の信号が発振周波数制御信号に設定され
るまでの時間遅れを短縮することができ、発振許可時の
発振周波数の不安定期間を短縮することができる。
As a result, when the oscillation enable signal is inactive and the control unit is inactive, or during a predetermined period such as a pulse signal when the oscillation enable signal transits to the active state, a predetermined signal is applied to the control line. Therefore, when the control unit or the first control unit is activated by activating the oscillation enable signal, the time delay until the signal on the control line is set to the oscillation frequency control signal is shortened. Therefore, the unstable period of the oscillation frequency when the oscillation is permitted can be shortened.

【0041】不安定期間における発振周波数変動、およ
び発振周波数変動に伴う消費電流の増大や電圧変動、更
にこれらに伴う誤動作等を抑制することができる。通常
の使用状態とパワーダウンモード等の低消費電流対応の
スタンバイ状態との間で、動作状態が切り替えられる携
帯機器分野に代表される省電力用途に使用して好適であ
る。
It is possible to suppress fluctuations in the oscillation frequency during the unstable period, increase in consumption current and fluctuations in voltage due to fluctuations in the oscillation frequency, and malfunctions and the like accompanying them. It is suitable for use in power saving applications represented by the field of portable devices, in which the operating state can be switched between a normal use state and a standby state such as a power down mode that supports low current consumption.

【0042】請求項3に係るオシレータ回路は、請求項
1または2に記載のオシレータ回路において、制御線の
信号を検出した検出信号に応じて発振部を制御する検出
部を備えることを特徴とする。
An oscillator circuit according to a third aspect is the oscillator circuit according to the first or second aspect, further comprising a detection section for controlling the oscillating section according to a detection signal obtained by detecting a signal on the control line. .

【0043】これにより、制御線の信号を検出してお
き、所定の発振周波数に対応する信号に達した場合に、
発振部を制御して発振動作を開始させたり、または発振
信号を出力させることができる。発振許可信号の活性化
により制御部または第1制御部が活性化される際に、制
御線の信号が発振周波数制御信号に同等な信号に達して
いない場合を検出して、発振許可時の不安定な発振周波
数の出力を防止することができる。
As a result, the signal on the control line is detected, and when the signal corresponding to the predetermined oscillation frequency is reached,
The oscillating unit can be controlled to start an oscillating operation or output an oscillating signal. When the control unit or the first control unit is activated by the activation of the oscillation enable signal, it is detected that the signal on the control line has not reached a signal equivalent to the oscillation frequency control signal, and the error when the oscillation is enabled is detected. It is possible to prevent output of a stable oscillation frequency.

【0044】請求項4に係るオシレータ回路は、請求項
1または2に記載のオシレータ回路において、発振許可
信号に対して所定遅延時間を付加した遅延信号を出力し
て発振部を制御する遅延部とを備えることを特徴とす
る。
An oscillator circuit according to a fourth aspect is the oscillator circuit according to the first or second aspect, further comprising: a delay unit for controlling the oscillation unit by outputting a delay signal obtained by adding a predetermined delay time to the oscillation permission signal. It is characterized by including.

【0045】これにより、制御部または第1制御部から
出力される発振周波数制御信号が安定する時間を所定遅
延時間として付加することができ、発振周波数制御信号
が安定した時点以後に発振部を制御して発振動作を開始
させたり、または発振信号を出力させることができる。
安定した発振信号を得ることができる。
Thus, the time for the oscillation frequency control signal output from the controller or the first controller to stabilize can be added as the predetermined delay time, and the oscillator can be controlled after the oscillation frequency control signal stabilizes. Then, the oscillation operation can be started or an oscillation signal can be output.
A stable oscillation signal can be obtained.

【0046】請求項5に係る半導体装置は、請求項1乃
至4の少なくとも何れか1項に記載のオシレータ回路
と、オシレータ回路から出力される発振信号に応答して
電圧を発生する電圧発生回路とを備えることを特徴とす
る。
A semiconductor device according to a fifth aspect includes an oscillator circuit according to at least one of the first to fourth aspects, and a voltage generating circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. It is characterized by including.

【0047】また、請求項6に係る半導体記憶装置は、
請求項1乃至4の少なくとも何れか1項に記載のオシレ
ータ回路と、オシレータ回路から出力される発振信号に
応答して電圧を発生する電圧発生回路とを備えることを
特徴とする。
According to a sixth aspect of the semiconductor memory device of the present invention,
The oscillator circuit according to any one of claims 1 to 4 is provided, and a voltage generation circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit is provided.

【0048】また、請求項7に係る半導体記憶装置は、
請求項1乃至4の少なくとも何れか1項に記載のオシレ
ータ回路と、オシレータ回路から出力される発振信号に
応答してリフレッシュ周期を制御するリフレッシュ制御
回路とを備えることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the semiconductor memory device,
An oscillator circuit according to any one of claims 1 to 4, and a refresh control circuit for controlling a refresh cycle in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit.

【0049】請求項5の半導体装置または請求項6の半
導体記憶装置では、電圧発生回路において、オシレータ
回路から出力される発振信号に応答して電圧を発生す
る。また、請求項7の半導体記憶装置では、リフレッシ
ュ制御回路において、オシレータ回路から出力される発
振信号に応答してリフレッシュ周期を制御する。
In the semiconductor device of the fifth aspect or the semiconductor memory device of the sixth aspect, the voltage generating circuit generates a voltage in response to the oscillation signal output from the oscillator circuit. According to another aspect of the semiconductor memory device of the present invention, the refresh control circuit controls the refresh cycle in response to the oscillation signal output from the oscillator circuit.

【0050】これにより、発振許可信号の活性化の際に
も、不安定な発振信号が電圧発生回路やリフレッシュ制
御回路に出力されることはなく、安定した回路動作をさ
せることができる。
As a result, even when the oscillation enable signal is activated, an unstable oscillation signal is not output to the voltage generation circuit or the refresh control circuit, and stable circuit operation can be performed.

【0051】すなわち、不安定な高周波数の発振信号が
出力されることによる多大な消費電流やこれに伴う電源
電圧降下による誤動作、あるいは過度な電圧発生による
半導体装置や半導体記憶装置における信頼性上の問題等
が生ずることはない。また、逆に不安定な低周波数の発
振信号の出力あるいは発振停止によるトランジスタ特性
の変動やこれに伴うノイズ耐性の悪化、あるいは半導体
記憶装置における記憶データの消失等が生ずることはな
い。
That is, a large current consumption due to the output of an unstable high-frequency oscillation signal, a malfunction due to a power supply voltage drop accompanying this, or the reliability of a semiconductor device or a semiconductor memory device due to excessive voltage generation. No problems will occur. On the contrary, the fluctuation of the transistor characteristics due to the unstable output of the low-frequency oscillation signal or the stop of the oscillation, the deterioration of the noise resistance, the disappearance of the stored data in the semiconductor memory device, etc. do not occur.

【0052】以下、本発明の原理について、第1および
第2原理説明図(図1および図2)を参照して説明す
る。先ず、実線部分について説明する。
The principle of the present invention will be described below with reference to the first and second principle explanatory diagrams (FIGS. 1 and 2). First, the solid line portion will be described.

【0053】図1に示す本発明のオシレータ回路100
の第1原理図は、請求項1に対応する本発明の原理を説
明するものである。制御部7と発振部8とは制御線(V
R)で接続され、共に発振許可信号(EN)により制御
される。発振許可信号(EN)により、発振部8は発振
動作可能状態となり、制御部7は制御動作を開始する。
制御動作を開始した制御部7は、制御線(VR)を介し
て発振部8に対して、所定発振周波数に対応する発振周
波数制御信号(VR)を出力する。オシレータ回路10
0の外部に備えられている信号発生部2は、スイッチ部
1を介して制御線(VR)に接続されている。スイッチ
部1は、発振許可信号(EN)により制御される。
The oscillator circuit 100 of the present invention shown in FIG.
The first principle diagram of FIG. 3 illustrates the principle of the present invention corresponding to claim 1. The control unit 7 and the oscillating unit 8 have a control line (V
R) and both are controlled by the oscillation enable signal (EN). The oscillation enable signal (EN) causes the oscillator 8 to be ready for oscillation, and the controller 7 starts the control operation.
The control unit 7 that has started the control operation outputs an oscillation frequency control signal (VR) corresponding to a predetermined oscillation frequency to the oscillation unit 8 via the control line (VR). Oscillator circuit 10
The signal generator 2 provided outside 0 is connected to the control line (VR) via the switch 1. The switch unit 1 is controlled by the oscillation enable signal (EN).

【0054】制御部7は、発振許可信号(EN)により
起動されて制御動作を開始するが、低消費電流等の要請
により駆動能力が小さく制限されている場合があり、制
限された駆動能力では、制御線(VR)が発振周波数制
御信号(VR)に達するまでに長時間を必要とする場合
がある。そこで、発振許可信号(EN)が非活性の状態
において、スイッチ部1を導通させることにより、信号
発生部2からの所定信号を制御線(VR)に供給してお
く。ここで、信号発生部2は、オシレータ回路100の
外部に予め備えられ、オシレータ回路100以外に所定
信号を供給しているユニットであり、本発明の第1原理
では、この所定信号を利用する。
The control unit 7 is activated by the oscillation enable signal (EN) and starts the control operation. However, the driving capability may be limited to a small amount due to a request such as low current consumption. In some cases, it takes a long time for the control line (VR) to reach the oscillation frequency control signal (VR). Therefore, when the oscillation enable signal (EN) is inactive, the switch section 1 is turned on to supply a predetermined signal from the signal generating section 2 to the control line (VR). Here, the signal generator 2 is a unit that is provided outside the oscillator circuit 100 in advance and supplies a predetermined signal to the components other than the oscillator circuit 100. In the first principle of the present invention, the predetermined signal is used.

【0055】図1中、外部の信号発生部2とスイッチ部
とによりプリセット部A1が構成されている。発振許可
信号(EN)が非活性の状態で制御線(VR)に所定信
号が供給されているので、発振許可信号(EN)が活性
状態に遷移した際に、制御部7が制限された駆動能力で
あっても、制御線(VR)を短時間で発振周波数制御信
号(VR)に設定することができ、過渡的な制御線(V
R)の信号による不安定な発振信号が発振部8から出力
されてしまうことはない。
In FIG. 1, an external signal generator 2 and a switch section constitute a preset section A1. Since the predetermined signal is supplied to the control line (VR) while the oscillation enable signal (EN) is inactive, the control unit 7 is limited to drive when the oscillation enable signal (EN) transits to the active state. Even if the capacity is high, the control line (VR) can be set to the oscillation frequency control signal (VR) in a short time, and the transient control line (V) can be set.
The unstable oscillation signal due to the signal R) is not output from the oscillation unit 8.

【0056】図2に示す本発明のオシレータ回路100
の第2原理図は、請求項2に対応する本発明の原理を説
明するものである。第1原理図における制御部7に代え
て第1制御部7を備え、更に信号発生部2に代えて第2
制御部3を備えている。また、第1原理説明図に加えて
パルス生成部4を備えている。パルス生成部4は、発振
許可信号(EN)の入力の際に、パルス信号をスイッチ
部1および第2制御部3に出力する。パルス信号は発振
許可信号(EN)の活性化遷移の応じて出力される。パ
ルス信号が入力されることにより、スイッチ部1は導通
し、第2制御部3が活性化して出力される所定信号を制
御線(VR)に供給する。
The oscillator circuit 100 of the present invention shown in FIG.
The second principle diagram of (1) illustrates the principle of the present invention corresponding to claim 2. A first controller 7 is provided instead of the controller 7 in the first principle diagram, and a second controller 2 is provided instead of the signal generator 2.
The controller 3 is provided. Further, a pulse generator 4 is provided in addition to the first principle explanatory diagram. The pulse generation unit 4 outputs a pulse signal to the switch unit 1 and the second control unit 3 when the oscillation enable signal (EN) is input. The pulse signal is output in response to the activation transition of the oscillation enable signal (EN). When the pulse signal is input, the switch unit 1 becomes conductive, and the second control unit 3 is activated and supplies a predetermined signal output to the control line (VR).

【0057】本発明の第2原理では、第1制御部7の制
限された駆動能力を補うために、発振許可信号(EN)
の活性化遷移からの所定期間、第1制御部7に加えて第
2制御部3を駆動して、制御線(VR)が発振周波数制
御信号(VR)に至るまでの駆動能力を増強する。第1
制御部7の駆動能力を制限して低消費電流動作を維持し
ながら、発振許可信号(EN)の活性化に対して制御線
(VR)を短時間で発振周波数制御信号(VR)に設定
することができ、過渡的な制御線(VR)の信号による
不安定な発振信号が発振部8から出力されてしまうこと
はない。
According to the second principle of the present invention, in order to supplement the limited drive capability of the first controller 7, the oscillation enable signal (EN)
The second control unit 3 is driven in addition to the first control unit 7 for a predetermined period from the activation transition of (1) to enhance the drive capability until the control line (VR) reaches the oscillation frequency control signal (VR). First
The control line (VR) is set to the oscillation frequency control signal (VR) in a short time in response to the activation of the oscillation enable signal (EN) while the driving capability of the control unit 7 is limited to maintain the low current consumption operation. Therefore, the unstable oscillation signal due to the transient control line (VR) signal is not output from the oscillation unit 8.

【0058】次に、本発明の第1および第2原理説明図
において、点線で示された検出部5、遅延部6について
の説明をする。これらの構成要素5、6は、第1および
第2原理説明図において必須の構成要素ではない。何れ
か一方、または双方を備えることにより、更に確実に発
振許可信号(EN)の活性化時における不安定動作期間
を除去するための構成である。
Next, in the first and second principle explanatory diagrams of the present invention, the detection section 5 and the delay section 6 indicated by dotted lines will be described. These constituent elements 5 and 6 are not essential constituent elements in the first and second principle explanatory diagrams. By providing either one or both of them, the configuration is for surely removing the unstable operation period when the oscillation enable signal (EN) is activated.

【0059】検出部5は、制御線(VR)の信号が入力
されて設定値である発振周波数制御信号(VR)に同等
な信号に達したか否かの検出を行なう。検出結果は、検
出信号(MON)として発振部8に入力され発振動作の
制御が行なわれる。制御線(VR)の信号が発振周波数
制御信号(VR)に同等な信号に達したことを示す検出
信号(MON)により、発振部8は、発振許可信号(E
N)と共に、発振動作の開始または発振信号の出力する
ように制御される。
The detecting section 5 detects whether or not the signal on the control line (VR) has been input and has reached a signal equivalent to the oscillation frequency control signal (VR) which is the set value. The detection result is input to the oscillator 8 as a detection signal (MON) to control the oscillation operation. By the detection signal (MON) indicating that the signal on the control line (VR) has reached a signal equivalent to the oscillation frequency control signal (VR), the oscillation unit 8 causes the oscillation enable signal (E).
With N), it is controlled to start an oscillation operation or output an oscillation signal.

【0060】また、遅延部6は、発振許可信号(EN)
に対して所定遅延時間を付加して発振部8に出力してい
る。発振許可信号(EN)の活性化により制御線(V
R)の信号が発振周波数制御信号(VR)に同等な信号
に変化する過渡期間に合わせて所定遅延時間が設定され
ている。制御線(VR)の信号が発振周波数制御信号
(VR)に同等な信号に達した以後に、発振部8の発振
動作の開始または発振信号の出力をするように制御さ
れ、過渡的な発振周波数制御信号(VR)の設定による
不安定な発振信号が発振部8から出力されてしまうこと
はない。
Further, the delay section 6 has an oscillation enable signal (EN).
Is output to the oscillating unit 8 after a predetermined delay time is added. When the oscillation enable signal (EN) is activated, the control line (V
The predetermined delay time is set in accordance with the transition period in which the signal R) changes to a signal equivalent to the oscillation frequency control signal (VR). After the signal on the control line (VR) reaches a signal equivalent to the oscillation frequency control signal (VR), it is controlled to start the oscillation operation of the oscillation unit 8 or output the oscillation signal, and the transient oscillation frequency An unstable oscillation signal due to the setting of the control signal (VR) will not be output from the oscillation unit 8.

【0061】尚、検出部5を非活性化状態に維持する他
の方法として、発振許可信号(EN)により検出部5を
制御する構成とすることもできる。非活性状態で検出部
5の回路動作を非活性とすれば、制御線(VR)の信号
にかかわらず検出部5の動作を停止させておくことがで
きる。
As another method of maintaining the detection unit 5 in the inactive state, the detection unit 5 may be controlled by the oscillation enable signal (EN). If the circuit operation of the detection unit 5 is inactivated in the inactive state, the operation of the detection unit 5 can be stopped regardless of the signal of the control line (VR).

【0062】[0062]

【発明の実施の形態】以下、本発明のオシレータ回路、
オシレータ回路を備えた半導体装置および半導体記憶装
置、およびオシレータ回路の制御方法について具体化し
た実施形態を図3乃至図14に基づき図面を参照しつつ
詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an oscillator circuit of the present invention,
A semiconductor device and a semiconductor memory device including an oscillator circuit, and an embodiment embodying a method of controlling the oscillator circuit will be described in detail with reference to the drawings based on FIGS. 3 to 14.

【0063】図3に示すオシレータ回路101は、第1
原理図(図1)に対する第1実施形態のオシレータ回路
である。制御部71は、第1従来技術の第1具体例にお
ける制御部720に備えられているスイッチ素子S10
0を、PMOSトランジスタTP0およびNMOSトラ
ンジスタTN1で置き換えた構成である。ローアクティ
ブのイネーブル信号ENは、イネーブル(E)端子に入
力され、直接PMOSトランジスタTP0のゲート端子
を制御すると共に、インバータ素子I1を介してNMO
SトランジスタTN1のゲート端子を制御する。制御部
71では、バイアス電流ICは低消費電流動作の要請か
ら限定された小電流値に設定されることが一般的であ
る。例えば、抵抗素子R100の抵抗値を1MΩに設定
すれば、数マイクロアンペア程度に設定される。
The oscillator circuit 101 shown in FIG.
It is the oscillator circuit of 1st Embodiment with respect to a principle diagram (FIG. 1). The control unit 71 includes the switch element S10 included in the control unit 720 in the first specific example of the first conventional technique.
0 is replaced by a PMOS transistor TP0 and an NMOS transistor TN1. The low-active enable signal EN is input to the enable (E) terminal to directly control the gate terminal of the PMOS transistor TP0 and also to NMO via the inverter element I1.
It controls the gate terminal of the S transistor TN1. In the control unit 71, the bias current IC is generally set to a small current value limited due to a request for low current consumption operation. For example, if the resistance value of the resistance element R100 is set to 1 MΩ, it is set to about several microamperes.

【0064】発振部81は、第1従来技術の第2具体例
における発振部810と同様の構成であり、イネーブル
(E)端子を介してリングオシレータを構成するノア素
子NOR100の一方の入力端子にイネーブル信号EN
が入力される。
The oscillating section 81 has the same structure as the oscillating section 810 in the second specific example of the first prior art, and is connected to one input terminal of the NOR element NOR100 forming the ring oscillator via the enable (E) terminal. Enable signal EN
Is entered.

【0065】スイッチ部11は、PMOSトランジスタ
とNMOSトランジスタとのソース端子間およびドレイ
ン端子間を各々接続した、いわゆるトランスファゲート
SW1で構成されている。ローアクティブのイネーブル
信号ENが非活性化するハイレベル時に導通するよう
に、NMOSトランジスタのゲート端子にはイネーブル
信号ENが直接入力されると共に、PMOSトランジス
タのゲート端子にはインバータ素子I2を介して論理反
転されて入力される。スイッチ素子11は、制御線VR
とオシレータ回路101の外部に備えられている電位発
生回路21の出力端子VR2とを導通する。スイッチ部
11と電位発生回路21とにより、制御線VRのプリセ
ット回路A11を構成している。
The switch section 11 is composed of a so-called transfer gate SW1 in which the source terminal and the drain terminal of the PMOS transistor and the NMOS transistor are connected to each other. The enable signal EN is directly input to the gate terminal of the NMOS transistor and the gate terminal of the PMOS transistor is logically connected to the gate terminal of the PMOS transistor via the inverter element I2 so that the low active enable signal EN is rendered conductive at the high level. It is inverted and input. The switch element 11 has a control line VR
And the output terminal VR2 of the potential generation circuit 21 provided outside the oscillator circuit 101 are electrically connected. The switch section 11 and the potential generation circuit 21 constitute a preset circuit A11 for the control line VR.

【0066】図4に動作波形を示す。イネーブル信号E
Nがローレベルの場合には、制御部71のPMOSトラ
ンジスタTP0およびNMOSトランジスタTN1が共
に導通してバイアス電流ICが流れる。このバイアス電
流ICが、ダイオード接続されているPMOSトランジ
スタTP100に流れることにより電圧値に変換され、
制御線VRに発振周波数制御信号VRとして出力され
る。
FIG. 4 shows operation waveforms. Enable signal E
When N is at a low level, both the PMOS transistor TP0 and the NMOS transistor TN1 of the control unit 71 become conductive and the bias current IC flows. This bias current IC is converted into a voltage value by flowing into the diode-connected PMOS transistor TP100,
The oscillation frequency control signal VR is output to the control line VR.

【0067】制御線VRに出力された発振周波数制御信
号VRは、発振部810のPMOSトランジスタTP1
01のゲート端子に入力されて、リングオシレータを構
成している各インバータ素子およびノア素子NOR10
0の電源端子にバイアス電流ICを供給する。ここで、
PMOSトランジスタTP100とTP101は同一サ
イズであると仮定して、両者を流れるバイアス電流が共
に同じバイアス電流ICであるとして説明したが、両ト
ランジスタのサイズを適宜に変更して駆動能力に差を設
けてやれば、駆動能力差に応じたバイアス電流比として
設定することができることはいうまでもない。
The oscillation frequency control signal VR output to the control line VR is the PMOS transistor TP1 of the oscillator 810.
The inverter element and the NOR element NOR10 which are input to the gate terminal of the inverter 01 and constitute the ring oscillator.
A bias current IC is supplied to the 0 power supply terminal. here,
Although it has been described that the PMOS transistors TP100 and TP101 have the same size and the bias currents flowing through the two are the same bias current IC, the size of both transistors is appropriately changed to provide a difference in driving capability. Needless to say, the bias current ratio can be set according to the difference in driving ability.

【0068】この時、発振部810のイネーブル(E)
端子には、ローレベルのイネーブル信号ENが入力され
ており、ノア素子NOR100が論理反転素子として機
能している。従って、発振部810においてリングオシ
レータのループが構成されて、バイアス電流ICで駆動
された各素子により、所定周波数の発振信号VOSCが
出力される。
At this time, enable (E) of the oscillating unit 810
The low-level enable signal EN is input to the terminal, and the NOR element NOR100 functions as a logic inverting element. Therefore, a ring oscillator loop is formed in the oscillating unit 810, and each element driven by the bias current IC outputs the oscillation signal VOSC of a predetermined frequency.

【0069】発振信号VOSCの発振周波数はバイアス
電流ICで決定されるが、このバイアス電流ICは、制
御部71で生成される発振周波数制御信号VRで決定さ
れる。すなわち、発振周波数制御信号VRは、ダイオー
ド接続された所定の駆動能力を有するPMOSトランジ
スタTP100に流れるバイアス電流ICにより決定さ
れ、所定の駆動能力を有するPMOSトランジスタTP
101のゲート端子に供給されることにより、リングオ
シレータを構成する各素子の電源電流として所定のバイ
アス電流ICが設定される。バイアス電流ICにより各
段の入力容量の充放電時間による伝播遅延時間が決定さ
れ、この伝播遅延時間をリングオシレータの1周につい
て加算した時間が定常状態における発振周期T0となる
からである。
The oscillation frequency of the oscillation signal VOSC is determined by the bias current IC, which is determined by the oscillation frequency control signal VR generated by the controller 71. That is, the oscillation frequency control signal VR is determined by the bias current IC flowing in the diode-connected PMOS transistor TP100 having a predetermined driving capability, and the PMOS transistor TP having a predetermined driving capability.
By being supplied to the gate terminal of 101, a predetermined bias current IC is set as the power supply current of each element forming the ring oscillator. This is because the bias current IC determines the propagation delay time due to the charging / discharging time of the input capacitance of each stage, and the time obtained by adding the propagation delay time for one round of the ring oscillator is the oscillation period T0 in the steady state.

【0070】また、この時、スイッチ部11はオフ状態
にあるので、制御線VRと電位発生回路21の出力電圧
とは切り離されている。
At this time, since the switch section 11 is in the off state, the control line VR and the output voltage of the potential generating circuit 21 are disconnected.

【0071】次に、イネーブル信号ENがハイレベルに
遷移して、非活性の状態に移行するとする。制御部71
において、PMOSトランジスタTP0およびNMOS
トランジスタTN1は共にオフ状態となり、バイアス電
流ICの電流経路が遮断されて、制御線VRへの出力は
フローティング状態となる。同時に、発振部810にお
いて、ノア素子NOR100の出力信号がローレベルに
固定されてリングオシレータのループを遮断し、発振信
号VOSCはローレベルに固定されて発振動作が停止す
る。
Next, it is assumed that the enable signal EN makes a transition to a high level and becomes an inactive state. Control unit 71
In, the PMOS transistor TP0 and the NMOS
Both the transistors TN1 are turned off, the current path of the bias current IC is cut off, and the output to the control line VR becomes a floating state. At the same time, in the oscillation unit 810, the output signal of the NOR element NOR100 is fixed to the low level to interrupt the loop of the ring oscillator, and the oscillation signal VOSC is fixed to the low level to stop the oscillation operation.

【0072】この時、スイッチ部は導通(ON)して、
フローティング状態となっている制御部71に代わっ
て、電位発生回路21により制御線VRの電圧レベルが
所定電圧VR2となる。ここで、所定電圧VR2として
は発振周波数制御信号VRと同等の電圧レベルであるこ
とが好ましい。
At this time, the switch section is conducted (ON),
Instead of the control unit 71 in the floating state, the potential generation circuit 21 sets the voltage level of the control line VR to the predetermined voltage VR2. Here, it is preferable that the predetermined voltage VR2 has a voltage level equivalent to that of the oscillation frequency control signal VR.

【0073】イネーブル信号ENが再度ローレベルに遷
移して活性状態に移行すると、スイッチ部11が非道通
(OFF)となって電位発生回路21が制御線VRから
切り離されると共に、制御部71および発振部810が
共に活性化する。
When the enable signal EN transits to the low level again and transits to the active state, the switch section 11 is turned off (OFF), the potential generating circuit 21 is disconnected from the control line VR, and the control section 71 and the oscillation are generated. The parts 810 are activated together.

【0074】以上、詳細に説明したように第1実施形態
によれば、低消費電流動作等の要請により、制御部71
は駆動能力が小さく制限されている場合に、スイッチ部
11と電位発生回路21により構成されるプリセット部
A11によって、イネーブル信号ENによる非活性時
に、制御線VRの電圧レベルを発振周波数制御信号VR
と同等な電圧レベルである所定電圧VR2に維持してお
くことができるため、短時間の復帰時間X01で定常状
態に復帰することができる。復帰時間が短時間であるこ
とにより、過渡的な発振周波数の発生期間が短時間とす
ることができる。加えて非活性時の所定電圧VR2が発
振周波数制御信号VRと同等であることによりバイアス
電流ICの差異が僅少となり、復帰期間中の過渡的な発
振周期TS1は、定常状態における発振周期T0に近い
周期とすることができる。
As described above in detail, according to the first embodiment, the control unit 71 is operated in response to a request such as a low current consumption operation.
When the drive capability is limited to a small level, the preset section A11 including the switch section 11 and the potential generation circuit 21 controls the voltage level of the control line VR when the enable signal EN is inactive.
Since the voltage level can be maintained at the predetermined voltage VR2 that is equivalent to the voltage level, it is possible to return to the steady state in a short return time X01. Since the recovery time is short, the generation period of the transient oscillation frequency can be short. In addition, since the predetermined voltage VR2 in the inactive state is equal to the oscillation frequency control signal VR, the difference in the bias current IC becomes small, and the transient oscillation cycle TS1 during the recovery period is close to the oscillation cycle T0 in the steady state. It can be a cycle.

【0075】このとき、制御部71と電位発生回路21
とは、同等の回路要素により同等の回路構成を備えてい
ることが好ましい。これにより、製造ばらつき等による
素子パラメータのばらつきが同等に作用することとな
り、素子パラメータのばらつきに対して同等のバイアス
条件が維持される。具体的には、電位発生部21におい
て制御部71と同等の回路構成を備えていれば、素子ば
らつきが同様に作用するので、制御部71が出力する発
振周波数制御信号VRの電圧レベルと電位発生回路21
が出力する所定電圧VR2とは、常に一定の相関を有し
て設定されることとなり好都合である。
At this time, the control unit 71 and the potential generation circuit 21
And preferably have equivalent circuit configurations with equivalent circuit elements. As a result, variations in element parameters due to variations in manufacturing act equally, and the same bias condition is maintained for variations in element parameters. Specifically, if the potential generation unit 21 has a circuit configuration equivalent to that of the control unit 71, the element variation has the same effect, and therefore the voltage level of the oscillation frequency control signal VR output by the control unit 71 and the potential generation. Circuit 21
This is convenient because it is always set with a constant correlation with the predetermined voltage VR2 output by.

【0076】発振許可信号であるイネーブル信号ENが
ハイレベルとなって非活性となり制御部71が非活性で
ある状態で、制御線VRに所定信号である所定電圧VR
2を供給することができるので、イネーブル信号ENが
ローレベルとなる活性化により制御部71が活性化され
る際に、制御線VRの電圧レベルが発振周波数制御信号
VRに充電されるまでの時間遅れを短縮することがで
き、活性化時の発振周波数の不安定期間を短縮すること
ができる。
When the enable signal EN, which is an oscillation enable signal, is at a high level and is inactive and the control section 71 is inactive, a predetermined voltage VR, which is a predetermined signal, is applied to the control line VR.
Since 2 can be supplied, the time until the voltage level of the control line VR is charged to the oscillation frequency control signal VR when the control unit 71 is activated by the activation that the enable signal EN becomes low level. The delay can be shortened, and the unstable period of the oscillation frequency at the time of activation can be shortened.

【0077】また、不安定期間における発振周波数変
動、および発振周波数変動に伴う消費電流の増大や電圧
変動、更にこれらに伴う誤動作等を抑制することがで
き、通常の使用状態とパワーダウンモード等の低消費電
流対応のスタンバイ状態との間で、動作状態が切り替え
られる携帯機器分野に代表される省電力用途に使用して
好適である。
Further, it is possible to suppress fluctuations in the oscillation frequency during the unstable period, increase in consumption current and fluctuations in voltage due to fluctuations in the oscillation frequency, and malfunctions and the like accompanying these fluctuations. It is suitable for use in power-saving applications represented by the field of mobile devices in which the operating state is switched between a standby state that supports low current consumption.

【0078】図5に示すオシレータ回路102は、第2
原理図(図2)に対する第2実施形態のオシレータ回路
である。第1実施形態のオシレータ回路101における
制御部71に代えて第1制御部72を備えている。更に
第1実施形態のオシレータ回路101に加えて、パルス
生成部41、第2制御部31を備えている。また第1実
施形態で使用した電位発生回路21は使用しない構成で
ある。スイッチ部11、パルス生成部41、および第2
制御部31によりプリセット部A21を構成している。
The oscillator circuit 102 shown in FIG.
It is the oscillator circuit of 2nd Embodiment with respect to a principle diagram (FIG. 2). A first control unit 72 is provided instead of the control unit 71 in the oscillator circuit 101 of the first embodiment. Further, in addition to the oscillator circuit 101 of the first embodiment, a pulse generator 41 and a second controller 31 are provided. Further, the potential generating circuit 21 used in the first embodiment is not used. Switch unit 11, pulse generation unit 41, and second
The control section 31 constitutes a preset section A21.

【0079】第1制御部72は、第1従来技術の第1具
体例における制御部720に備えられているスイッチ素
子S100を、PMOSトランジスタTP01で置き換
えた構成である。ローアクティブのイネーブル信号EN
は、イネーブル(E)端子に入力され、直接PMOSト
ランジスタTP01のゲート端子を制御する。またPM
OSトランジスタTP100、抵抗素子R100に代え
てPMOSトランジスタTP11、抵抗素子R11を備
えている。ここで、PMOSトランジスタTP11のゲ
ート幅、ゲート長をW1、L1とする。PMOSトラン
ジスタTP11におけるゲート幅とゲート長との比(ゲ
ート幅/ゲート長=W1/L1)と、抵抗素子R11の
抵抗値とによりバイアス電流IC1が設定される。第1
実施形態の制御部71と同様に、バイアス電流IC1は
低消費電流動作の要請から限定された小電流値に設定さ
れることが一般的である。例えば、抵抗素子R11の抵
抗値を1MΩに設定すれば、数マイクロアンペア程度に
設定される。
The first control section 72 has a structure in which the switch element S100 provided in the control section 720 in the first specific example of the first prior art is replaced with a PMOS transistor TP01. Low active enable signal EN
Is input to the enable (E) terminal and directly controls the gate terminal of the PMOS transistor TP01. Also PM
A PMOS transistor TP11 and a resistance element R11 are provided instead of the OS transistor TP100 and the resistance element R100. Here, the gate width and gate length of the PMOS transistor TP11 are W1 and L1. The bias current IC1 is set by the ratio of the gate width and the gate length (gate width / gate length = W1 / L1) of the PMOS transistor TP11 and the resistance value of the resistance element R11. First
Similar to the control unit 71 of the embodiment, the bias current IC1 is generally set to a limited small current value due to a request for low current consumption operation. For example, if the resistance value of the resistance element R11 is set to 1 MΩ, it is set to about several microamperes.

【0080】パルス生成部41は、ノア素子NOR2
と、直列に接続された奇数段(図5では、3段を例示)
のインバータ素子で構成された、τX02の遅延時間を
計時する遅延回路とを備えている。ノア素子NOR2の
一方の入力端子と遅延回路の入力端子とはイネーブル
(E)端子に接続され、イネーブル信号ENが入力され
る。ノア素子NOR2の他方の入力端子は遅延回路の出
力端子SETに接続されている。パルス生成部41で
は、イネーブル信号ENのローレベル遷移をトリガ信号
にしてハイレベルのパルス信号SETを出力する。この
場合パルス幅はτX02となる。出力されたパルス信号
SETは、スイッチ部11に入力されると共に、スイッ
チ部11のインバータ素子I2により反転されて、第2
制御部31のイネーブル(E)端子に入力される。
The pulse generating section 41 has a NOR element NOR2.
And an odd number of stages connected in series (three stages are illustrated in FIG. 5)
And a delay circuit configured to measure the delay time of τX02. One input terminal of the NOR element NOR2 and the input terminal of the delay circuit are connected to the enable (E) terminal, and the enable signal EN is input. The other input terminal of the NOR element NOR2 is connected to the output terminal SET of the delay circuit. The pulse generator 41 outputs the high-level pulse signal SET by using the low-level transition of the enable signal EN as a trigger signal. In this case, the pulse width is τX02. The output pulse signal SET is input to the switch unit 11 and inverted by the inverter element I2 of the switch unit 11 to generate the second pulse signal.
It is input to the enable (E) terminal of the control unit 31.

【0081】第2制御部31は、第1制御部72と同等
の構成を有している。第1制御部72の各構成要素であ
るPMOSトランジスタTP01、TP11、および抵
抗素子R11に代えて、PMOSトランジスタTP0
2、TP12、および抵抗素子R12を備えている。ロ
ーアクティブのイネーブル信号ENはスイッチ部11で
反転された後、イネーブル(E)端子に入力され、直接
PMOSトランジスタTP02のゲート端子を制御す
る。PMOSトランジスタTP12のゲート幅、ゲート
長はW2、L2とする。電流経路に流れるバイアス電流
IC2は、PMOSトランジスタTP12のゲート幅と
ゲート長との比(ゲート幅/ゲート長=W2/L2)
と、抵抗素子R12の抵抗値とにより設定される。
The second control section 31 has the same structure as the first control section 72. Instead of the PMOS transistors TP01 and TP11 and the resistance element R11, which are the constituent elements of the first control unit 72, the PMOS transistor TP0.
2, TP12, and a resistance element R12. The low active enable signal EN is inverted by the switch unit 11 and then input to the enable (E) terminal to directly control the gate terminal of the PMOS transistor TP02. The gate width and gate length of the PMOS transistor TP12 are W2 and L2. The bias current IC2 flowing in the current path is the ratio of the gate width and the gate length of the PMOS transistor TP12 (gate width / gate length = W2 / L2).
And the resistance value of the resistance element R12.

【0082】第2制御部31のバイアス電流IC2はバ
イアス電流IC1に比して大きな電流値となるように設
定される。この際、第2制御部31のバイアス条件が第
1制御部72のバイアス条件と同等になるように、電流
値の増大に応じて、W2/L2がW1/L1に比して大
きく、また抵抗素子R12の抵抗値が抵抗素子R11の
抵抗値に比して小さく設定される。そのため、ダイオー
ド接続されているPMOSトランジスタTP12にバイ
アス電流IC2が流れて出力される第2制御部31から
の出力は、第1制御部72からの出力に比して急峻に遷
移して発振周波数制御信号VRの電圧レベルと同等の電
圧レベルとなる。第2制御部31の出力端子は、パルス
信号SETの出力期間にスイッチ部11を介して制御線
VRに接続され、制御線VRを発振周波数制御信号VR
と同等の電圧レベルに急速に充放電する。
The bias current IC2 of the second control section 31 is set to have a larger current value than the bias current IC1. At this time, W2 / L2 is larger than W1 / L1 in accordance with the increase of the current value so that the bias condition of the second control unit 31 becomes equal to the bias condition of the first control unit 72, and the resistance is increased. The resistance value of the element R12 is set smaller than the resistance value of the resistance element R11. Therefore, the output from the second control unit 31, which is output by the bias current IC2 flowing through the diode-connected PMOS transistor TP12, makes a steeper transition than the output from the first control unit 72, and oscillation frequency control is performed. The voltage level is equivalent to the voltage level of signal VR. The output terminal of the second control unit 31 is connected to the control line VR via the switch unit 11 during the output period of the pulse signal SET, and the control line VR is connected to the oscillation frequency control signal VR.
Charges and discharges rapidly to a voltage level equivalent to.

【0083】図6に動作波形を示す。イネーブル信号E
Nがローレベルである場合には、パルス生成部41の出
力はローレベルに維持されておりスイッチ部11が非導
通の状態である。発振動作については、第1実施形態の
動作波形(図4)と同等の動作が行なわれるので、ここ
での説明は省略する。
FIG. 6 shows operation waveforms. Enable signal E
When N is at the low level, the output of the pulse generation unit 41 is maintained at the low level and the switch unit 11 is in the non-conductive state. The oscillation operation is the same as the operation waveform (FIG. 4) of the first embodiment, and therefore the description thereof is omitted here.

【0084】イネーブル信号ENがハイレベルに遷移し
て、非活性の状態に移行する場合、第1制御部72にお
いてPMOSトランジスタTP01がオフ状態となる
と、バイアス電流IC1の電流経路が遮断されると共
に、制御線VRへの出力端子は抵抗素子R11を介して
接地電圧VSSに接続される。またこの時のパルス生成
部41の出力はローレベルに維持されておりスイッチ部
11は非導通の状態である。従って、制御線VRの電圧
は略接地電圧VSSまで降下する。同時に、発振部81
0のノア素子NOR100の出力信号がローレベルに固
定されてリングオシレータのループが遮断され、発振信
号VOSCはローレベルに固定されて発振動作が停止す
る。
When the enable signal EN transits to the high level and transits to the inactive state, when the PMOS transistor TP01 is turned off in the first controller 72, the current path of the bias current IC1 is cut off, and The output terminal to the control line VR is connected to the ground voltage VSS via the resistance element R11. The output of the pulse generator 41 at this time is maintained at a low level, and the switch unit 11 is in a non-conductive state. Therefore, the voltage of the control line VR drops to approximately the ground voltage VSS. At the same time, the oscillator 81
The output signal of the NOR element NOR100 of 0 is fixed to the low level to interrupt the loop of the ring oscillator, the oscillation signal VOSC is fixed to the low level, and the oscillation operation is stopped.

【0085】イネーブル信号ENが再度ローレベルに遷
移すると、第1制御部72が活性化されてバイアス電流
IC1が流れる。同時に、パルス生成部41よりパルス
信号SETが出力される。パルス信号SETはスイッチ
部11を導通して第2制御部31の出力端子を制御線V
Rに接続すると共に、第2制御部31を活性化する。第
2制御部31はスイッチ部11を介して制御線VRを発
振周波数制御信号VRと同等の電圧レベルに充電する。
When the enable signal EN transits to the low level again, the first controller 72 is activated and the bias current IC1 flows. At the same time, the pulse signal SET is output from the pulse generator 41. The pulse signal SET conducts the switch unit 11 to connect the output terminal of the second control unit 31 to the control line V.
The second control unit 31 is activated while being connected to R. The second controller 31 charges the control line VR to a voltage level equivalent to that of the oscillation frequency control signal VR via the switch 11.

【0086】以上、詳細に説明したように第2実施形態
によれば、低消費電流動作等の要請により駆動能力が小
さく制限されている第1制御部72に比して、第2制御
部31の駆動能力を充分に大きく設定しておくことによ
り、パルス信号SETの出力期間内に制御線VRの電圧
レベルを発振周波数制御信号VRの電圧レベルと同等の
電圧レベルに充電することができる。この場合、バイア
ス電流IC2の電流値とパルス信号SETの出力期間と
の調整により、パルス期間τX02は、制御線VRの電
圧レベルが発振周波数制御信号VRの電圧レベルと同等
の電圧レベルに充電される時間以上の時間に設定される
ことが好ましい。
As described above in detail, according to the second embodiment, the second control unit 31 has a smaller drive capacity than the first control unit 72 whose driving capability is limited to a small amount due to a request for a low current consumption operation or the like. By setting the driving capability of the control circuit to be sufficiently large, the voltage level of the control line VR can be charged to a voltage level equivalent to the voltage level of the oscillation frequency control signal VR within the output period of the pulse signal SET. In this case, by adjusting the current value of the bias current IC2 and the output period of the pulse signal SET, during the pulse period τX02, the voltage level of the control line VR is charged to a voltage level equivalent to the voltage level of the oscillation frequency control signal VR. It is preferable to set the time longer than the time.

【0087】このとき、第2制御部31と第1制御部7
2とは、同等の回路要素により同等の回路構成を備えて
いることが好ましい。これにより、製造ばらつき等によ
る素子パラメータのばらつきは、両制御部31、72に
対して同等に作用する。同等の回路構成を有する両制御
部31、72において、素子パラメータのばらつきに対
して同等のバイアス条件が維持され同等の作用・効果を
維持することができる。更に、パルス生成部41、スイ
ッチ部11の構成要素についても同等の回路要素を備え
る構成としておけば、製造ばらつき等による素子パラメ
ータのばらつきに対して、両制御部31、72、パルス
生成部41、およびスイッチ部11が所定の相関を持っ
てばらつくように設定することができ、素子パラメータ
のばらつきに対して同等の作用・効果を維持することが
できる。
At this time, the second controller 31 and the first controller 7
2 is preferably provided with the same circuit configuration by the same circuit element. As a result, variations in device parameters due to variations in manufacturing act equally on both control units 31 and 72. In both control units 31 and 72 having the same circuit configuration, the same bias condition can be maintained with respect to the variation of the element parameter, and the same action / effect can be maintained. Furthermore, if the constituent elements of the pulse generation unit 41 and the switch unit 11 are also provided with equivalent circuit elements, both control units 31, 72, the pulse generation unit 41, The switch section 11 and the switch section 11 can be set so as to have a predetermined correlation and can maintain the same action and effect with respect to the variation of the element parameter.

【0088】具体的には、第1制御部72が出力する発
振周波数制御信号VRの電圧レベルと第2制御部31が
出力する所定電圧とは、常に一定の相関を有して設定さ
れる。また、パルス生成部41が出力するパルス信号S
ETのパルス期間τX02と第2制御部31のバイアス
電流IC2とは、共にPMOSトランジスタの駆動能力
との相関を有している。すなわち、駆動能力が小さい場
合には、パルス生成部41の遅延部における遅延時間τ
X02が長くなると共に、バイアス電流IC2が小さく
なるという相関を有している。バイアス電流IC2が小
さい場合にはパルス期間τX02が長くなり、バイアス
電流IC2が大きい場合にはパルス期間τX02が短く
なるという相関がある。素子パラメータのばらつきに関
わらず、パルス信号SETの出力期間に制御線VRを充
電することができる。
Specifically, the voltage level of the oscillation frequency control signal VR output by the first control unit 72 and the predetermined voltage output by the second control unit 31 are always set with a certain correlation. In addition, the pulse signal S output from the pulse generator 41
The ET pulse period τX02 and the bias current IC2 of the second control unit 31 both have a correlation with the driving capability of the PMOS transistor. That is, when the driving capability is small, the delay time τ in the delay unit of the pulse generation unit 41
There is a correlation that the bias current IC2 becomes smaller as X02 becomes longer. There is a correlation that the pulse period τX02 becomes long when the bias current IC2 is small, and the pulse period τX02 becomes short when the bias current IC2 is large. The control line VR can be charged during the output period of the pulse signal SET regardless of variations in element parameters.

【0089】プリセット部A21によって、イネーブル
信号ENがローレベルに遷移して活性状態に移行した際
のパルス期間τX02に、第2制御部31により制御線
VRの電圧レベルを迅速に発振周波数制御信号VRと同
等な電圧レベルに充電することができるため、短時間の
復帰時間X02で定常状態に復帰することができる。復
帰時間が短時間であることにより、過渡的な発振周波数
の発生期間が短時間であることに加えて、発振周波数制
御信号VRの電圧レベルへの迅速な充電により、復帰期
間中の過渡的な発振周期TS2は、定常状態における発
振周期T0に近い周期とすることができる。
During the pulse period τX02 when the enable signal EN transits to the low level and transits to the active state by the preset section A21, the second control section 31 promptly changes the voltage level of the control line VR to the oscillation frequency control signal VR. Since it can be charged to a voltage level equivalent to, it can return to a steady state in a short return time X02. Since the recovery time is short, the generation period of the transient oscillation frequency is short, and in addition, the rapid charging to the voltage level of the oscillation frequency control signal VR causes the transient period during the recovery period. The oscillation cycle TS2 can be a cycle close to the oscillation cycle T0 in the steady state.

【0090】イネーブル信号ENがローレベルとなり活
性状態へ遷移する際、所定期間τX02のパルス信号S
ETで、第2制御部31から制御線VRに発振周波数制
御信号VRと同等の電圧レベルの所定信号を供給するこ
とができるので、イネーブル信号ENの活性化により第
1制御部72が活性化される際に、制御線VRの電圧レ
ベルが発振周波数制御信号VRと同等な電圧レベルに充
電されるまでの時間遅れを短縮することができ、活性化
時の発振周波数の不安定期間を短縮することができる。
When the enable signal EN changes to the low level and transitions to the active state, the pulse signal S of the predetermined period τX02
Since a predetermined signal having a voltage level equivalent to the oscillation frequency control signal VR can be supplied from the second control unit 31 to the control line VR at ET, the activation of the enable signal EN activates the first control unit 72. In this case, the time delay until the voltage level of the control line VR is charged to a voltage level equivalent to the oscillation frequency control signal VR can be shortened, and the unstable period of the oscillation frequency during activation can be shortened. You can

【0091】不安定期間における発振周波数変動、およ
び発振周波数変動に伴う消費電流の増大や電圧変動、更
にこれらに伴う誤動作等を抑制することができる。通常
の使用状態とパワーダウンモード等の低消費電流対応の
スタンバイ状態との間で、動作状態が切り替えられる携
帯機器分野に代表される省電力用途に使用して好適であ
る。
It is possible to suppress fluctuations in the oscillation frequency during the unstable period, increase in consumption current and fluctuations in voltage due to fluctuations in the oscillation frequency, and malfunctions and the like accompanying them. It is suitable for use in power saving applications represented by the field of portable devices, in which the operating state can be switched between a normal use state and a standby state such as a power down mode that supports low current consumption.

【0092】次に、第1または第2実施形態に、検出部
(図7、図8)または遅延部(図9)を備える場合の具
体例について示す。第1または第2実施形態では、制御
線VRの電圧レベルを、非活性時に所定電圧VR2に維
持しておき、または活性状態への遷移時に迅速に充電す
ることにより制御線VRの電圧レベルが発振周波数制御
信号VRと同等の電圧レベルとする時間を短縮して不安
定な発振動作を短縮することができる。図7乃至図9で
は、更に制御線VRの電圧レベルが、所定の電圧レベル
に達したことを検出し(図7、図8)、または所定の電
圧レベルに達する時間を計時する(図9)。これによ
り、起動直後の不安定な発振動作を更に確実に解消する
方策である。
Next, a concrete example of the case where the detecting unit (FIGS. 7 and 8) or the delay unit (FIG. 9) is provided in the first or second embodiment will be described. In the first or second embodiment, the voltage level of the control line VR is oscillated by maintaining the voltage level of the control line VR at a predetermined voltage VR2 when it is inactive or by rapidly charging it when transitioning to the active state. An unstable oscillation operation can be shortened by shortening the time for which the voltage level is equivalent to that of the frequency control signal VR. 7 to 9, it is further detected that the voltage level of the control line VR has reached a predetermined voltage level (FIGS. 7 and 8), or the time to reach the predetermined voltage level is measured (FIG. 9). . This is a measure to more reliably eliminate the unstable oscillation operation immediately after startup.

【0093】図7は、検出部を備える場合の第1具体例
を示している。発振部8のイネーブル(E)端子には、
ノア素子NOR3とインバータ素子I3とにより、検出
部51からの検出信号MON1とイネーブル信号ENと
の論理和が入力される。ここで、検出信号MON1およ
びイネーブル信号ENは共にローアクティブの信号であ
り、両入力信号が共にローレベルとなった場合に発振部
8のイネーブル(E)端子にローレベル信号を入力して
発振部8を活性化する。
FIG. 7 shows a first specific example in the case where a detection unit is provided. The enable (E) terminal of the oscillator 8 is
The logical sum of the detection signal MON1 from the detection unit 51 and the enable signal EN is input by the NOR element NOR3 and the inverter element I3. Here, the detection signal MON1 and the enable signal EN are both low active signals, and when both input signals are low level, the low level signal is input to the enable (E) terminal of the oscillator 8 to generate the oscillator. Activate 8.

【0094】検出部51は、制御線VRがNMOSトラ
ンジスタTN3のゲート端子に接続されている。NMO
SトランジスタTN3のソース端子は接地電圧VSSに
接続されている。ドレイン端子は、ソース端子に電源電
圧VDDが接続されゲート端子に接地電圧VSSが接続
されているPMOSトランジスタTP3のドレイン端子
に接続されており、この接続点を出力端子とする論理反
転ゲートが構成されている。この論理反転ゲートの論理
反転閾値電圧は、PMOSトランジスタTP3のコンダ
クタンスとNMOSトランジスタTN3のコンダクタン
スとのバランスで設定され、発振周波数制御信号VRと
同等の電圧レベルに対して論理反転するように設定され
ている。制御線VRの電圧レベルが、発振周波数制御信
号VRの電圧レベルを中心として許容された発振周波数
で発振動作が行なわれる許容電圧レベルに達した場合
に、論理反転されて検出信号MON1が出力される。論
理反転閾値電圧は許容電圧レベル付近に設定しておく。
In the detection section 51, the control line VR is connected to the gate terminal of the NMOS transistor TN3. NMO
The source terminal of the S transistor TN3 is connected to the ground voltage VSS. The drain terminal is connected to the drain terminal of the PMOS transistor TP3 having the source terminal connected to the power supply voltage VDD and the gate terminal connected to the ground voltage VSS, and a logical inversion gate having this connection point as an output terminal is formed. ing. The logic inversion threshold voltage of the logic inversion gate is set by the balance between the conductance of the PMOS transistor TP3 and the conductance of the NMOS transistor TN3, and is set so as to be logically inverted with respect to the voltage level equivalent to the oscillation frequency control signal VR. There is. When the voltage level of the control line VR reaches a permissible voltage level at which the oscillation operation is performed at the permissible oscillation frequency centered on the voltage level of the oscillation frequency control signal VR, the logic is inverted and the detection signal MON1 is output. . The logic inversion threshold voltage is set near the allowable voltage level.

【0095】制御部71の起動後(第1実施形態の場
合)、または第2制御部31からのプリセットの後(第
2実施形態の場合)、制御線VRの電圧レベルが許容電
圧レベルに達するまでの状態を検出し、許容電圧レベル
に達した時点で確実に論理反転されて検出信号MON1
を出力することができる。初段の論理反転ゲートの出力
は、後段の2段のインバータ素子により波形整形、駆動
能力の確保、及び論理の整合等を行なった上で検出信号
MON1として発振部8に出力される。
After activation of the control unit 71 (in the case of the first embodiment) or after presetting from the second control unit 31 (in the case of the second embodiment), the voltage level of the control line VR reaches the allowable voltage level. Up to the allowable voltage level, the logic is surely inverted and the detection signal MON1 is detected.
Can be output. The output of the first-stage logic inverting gate is output to the oscillating unit 8 as a detection signal MON1 after waveform shaping, driving capability assurance, logic matching, and the like performed by the second-stage inverter elements in the latter stage.

【0096】ここで、検出部51は常に検出状態に維持
されているので、第1実施形態に適用する場合、電位発
生回路21から出力される所定電圧VR2は、論理反転
閾値電圧より低い電圧レベルに設定しておくことが必要
である。
Here, since the detection unit 51 is always maintained in the detection state, when applied to the first embodiment, the predetermined voltage VR2 output from the potential generation circuit 21 is at a voltage level lower than the logic inversion threshold voltage. It is necessary to set to.

【0097】図8の第2具体例では、第1具体例(図
7)の検出部51に代えて検出部52が備えられてい
る。検出信号MON2およびイネーブル信号ENは共に
ローアクティブの信号であり、両入力信号が共にローレ
ベルとなった場合に発振部8のイネーブル(E)端子に
ローレベル信号を入力して発振部8を活性化する。
In the second specific example of FIG. 8, a detecting section 52 is provided in place of the detecting section 51 of the first specific example (FIG. 7). The detection signal MON2 and the enable signal EN are both low active signals, and when both input signals are low level, the low level signal is input to the enable (E) terminal of the oscillator 8 to activate the oscillator 8. Turn into.

【0098】検出部52は、イネーブル信号ENに応じ
て活性・非活性が切り替えられる回路構成である。第1
具体例の検出部51の初段回路にNMOSトランジスタ
TN4を付加した構成である。NMOSトランジスタT
N4は、NMOSトランジスタTN3と初段回路の出力
端子との間に接続され、ゲート端子にはイネーブル信号
ENがインバータ素子I4で反転されて入力されてい
る。イネーブル信号ENがローレベルとなり活性状態に
あるときは、NMOSトランジスタTN4が導通して初
段回路が活性化されるため検出動作が行なわれる。イネ
ーブル信号ENがハイレベルとなり非活性状態にあると
きは、NMOSトランジスタTN4が非導通となり検出
動作が行なわれない。同時に検出部52における電流消
費はない。また初段回路の出力端子は電源電圧VDDに
固定され検出動作は行なわれない。
The detection section 52 has a circuit configuration in which activation / deactivation is switched according to the enable signal EN. First
This is a configuration in which an NMOS transistor TN4 is added to the first stage circuit of the detection unit 51 of the specific example. NMOS transistor T
N4 is connected between the NMOS transistor TN3 and the output terminal of the first-stage circuit, and the enable signal EN is inverted by the inverter element I4 and input to the gate terminal. When the enable signal EN is at a low level and is in an active state, the NMOS transistor TN4 becomes conductive and the first-stage circuit is activated, so that the detection operation is performed. When the enable signal EN is at a high level and is inactive, the NMOS transistor TN4 is non-conductive and the detection operation is not performed. At the same time, there is no current consumption in the detector 52. The output terminal of the first-stage circuit is fixed to the power supply voltage VDD, and the detection operation is not performed.

【0099】図9は、遅延部を備える場合の具体例を示
している。発振部8のイネーブル(E)端子には、ノア
素子NOR4とインバータ素子I3とにより、遅延部6
1からの信号とイネーブル信号ENとの論理和が入力さ
れる。ここで、ノア素子NOR4に入力される信号が全
てローレベルとなった場合に発振部8のイネーブル
(E)端子にローレベル信号を入力して発振部8を活性
化する。
FIG. 9 shows a specific example of the case where the delay unit is provided. The enable (E) terminal of the oscillating unit 8 is connected to the delay unit 6 by the NOR element NOR4 and the inverter element I3.
The logical sum of the signal from 1 and the enable signal EN is input. Here, when all the signals input to the NOR element NOR4 become low level, the low level signal is input to the enable (E) terminal of the oscillator 8 to activate the oscillator 8.

【0100】遅延部61は、第1遅延部D1と第2遅延
部D2とを備えて構成されている。第1遅延部D1は、
偶数段のインバータ素子(図9は、4段の場合を例
示。)が直列に接続されて構成されている。第2遅延部
D2は、イネーブル信号ENがローレベルに遷移した
後、所定遅延時間を計時する遅延回路を構成している。イ
ネーブル信号ENはインバータ素子で反転されてナンド
素子NA1の一方の入力端子に入力される。他方の入力
端子にはインバータ素子やCR遅延素子等で構成される
遅延ユニットτを介して所定遅延時間の遅延を受けた信
号が入力される。ここで、遅延ユニットτの入出力間の
論理レベルは反転される。
The delay section 61 comprises a first delay section D1 and a second delay section D2. The first delay unit D1 is
An even number of inverter elements (FIG. 9 illustrates a case of four stages) are connected in series. The second delay unit D2 constitutes a delay circuit that measures a predetermined delay time after the enable signal EN changes to low level. The enable signal EN is inverted by the inverter element and input to one input terminal of the NAND element NA1. A signal delayed by a predetermined delay time is input to the other input terminal via a delay unit τ including an inverter element, a CR delay element and the like. Here, the logic level between the input and output of the delay unit τ is inverted.

【0101】これにより、ナンド素子NA1の出力から
インバータ素子により論理反転された出力端子には、イ
ネーブル信号ENのローレベル遷移に対して遅延ユニッ
トτで設定されている所定遅延時間のパルス幅を有する
ハイレベルのパルス信号が遅延信号Dとして得られる。
As a result, the output terminal logically inverted by the inverter element from the output of the NAND element NA1 has the pulse width of the predetermined delay time set by the delay unit τ with respect to the low level transition of the enable signal EN. A high-level pulse signal is obtained as the delay signal D.

【0102】尚、イネーブル信号ENのローレベル遷移
から遅延信号Dのハイレベル遷移までの間には回路上の
遅延時間が存在するので、インバータ素子I3からロー
レベルのハザードが発生する可能性がある。第1遅延部
D1はこの対策として備えられている。すなわち、第1遅
延部D1による遅延信号により、イネーブル信号ENの
ローレベル遷移からの回路上の遅延時間の間に、ノア素
子NOR4の少なくとも1つの入力端子にハイレベルが
入力されることとなり、ハザードを防止することができ
る。
Since there is a delay time on the circuit between the low level transition of the enable signal EN and the high level transition of the delay signal D, a low level hazard may occur from the inverter element I3. . The first delay unit D1 is provided as a countermeasure against this. That is, due to the delay signal from the first delay unit D1, the high level is input to at least one input terminal of the NOR element NOR4 during the delay time on the circuit from the low level transition of the enable signal EN, and the hazard is generated. Can be prevented.

【0103】以上、詳細に説明したように検出部51、
52を備える構成とすれば、制御線VRの電圧レベルを
検出しておき、所定の発振周波数に対応する信号に達し
た場合に、発振部8を制御して発振動作を開始させた
り、または発振信号を出力させることができる。イネー
ブル信号ENの活性化により制御部71または第1制御
部72が活性化される際に、制御線VRの電圧レベルが
発振周波数制御信号VRと同等の電圧レベルに達してい
ない場合を検出して、活性状態時の不安定な発振周波数
の出力を防止することができる。
As described above in detail, the detecting section 51,
With the configuration including 52, the voltage level of the control line VR is detected, and when the signal corresponding to the predetermined oscillation frequency is reached, the oscillation unit 8 is controlled to start the oscillation operation, or A signal can be output. When the control unit 71 or the first control unit 72 is activated by the activation of the enable signal EN, it is detected that the voltage level of the control line VR has not reached the voltage level equivalent to the oscillation frequency control signal VR. It is possible to prevent the output of an unstable oscillation frequency in the active state.

【0104】また、遅延部61を備える構成とすれば、
制御部71または第1制御部72から出力される発振周
波数制御信号VRが安定する時間を所定遅延時間τとし
て付加することができ、制御線VRの電圧レベルが安定
した時点以後に安定した発振信号を得ることができる。
If the delay section 61 is provided,
A time period during which the oscillation frequency control signal VR output from the control unit 71 or the first control unit 72 stabilizes can be added as a predetermined delay time τ, and a stable oscillation signal after the time when the voltage level of the control line VR stabilizes. Can be obtained.

【0105】また、ここで、第2遅延部D2における遅
延ユニットτを構成するCR遅延回路等を、制御部7
1、第1制御部72、または第2制御部31におけるバ
イアス電流IC、IC1、またはIC2の電流系路等の
抵抗成分と、PMOS/NMOSトランジスタ、抵抗素
子、配線容量等の容量成分とで構成されるCR遅延回路
構成の時定数と対応させておけば、制御線VRの電圧レ
ベルが安定状態に達するまでの時間と同等の時間を遅延
部61により計時することができる。更に、遅延ユニッ
トτを、制御部71、第1制御部72、または第2制御
部31と同等の回路構成を備えて構成することにより、
制御線VRの電圧レベルが安定状態に達するまでの時間
と同等の時間を計時することができる。これにより、遅
延部31として最適なタイミングで所定遅延時間を計時
することができる。
Further, here, the CR delay circuit or the like which constitutes the delay unit τ in the second delay section D2 is controlled by the control section 7
1, a resistance component such as a current system path of the bias current IC, IC1, or IC2 in the first control unit 72 or the second control unit 31, and a capacitance component such as a PMOS / NMOS transistor, a resistance element, and a wiring capacitance. By making it correspond to the time constant of the CR delay circuit configuration described above, the delay unit 61 can measure a time equivalent to the time until the voltage level of the control line VR reaches a stable state. Furthermore, by configuring the delay unit τ with a circuit configuration equivalent to that of the control unit 71, the first control unit 72, or the second control unit 31,
The time equivalent to the time until the voltage level of the control line VR reaches a stable state can be measured. As a result, the delay unit 31 can measure the predetermined delay time at the optimum timing.

【0106】図10に示す第3実施形態は、発振部82
の駆動電源電圧を制御して発振周波数を設定する、いわ
ゆる電圧制御型のオシレータ回路103の例である。制
御部73は、抵抗素子列とバッファ回路とを備えて構成
されている。抵抗素子列の所定位置の電圧をバッファ回
路で駆動能力を付加した上で、発振部82の駆動電源電
圧として供給している。制御部73の抵抗素子列および
バッファ回路には、NMOSトランジスタTN4、TN
5が、各々、抵抗素子列およびバッファ回路の電流経路
に備えられており、イネーブル信号ENがインバータ素
子で論理反転された信号により制御される。
In the third embodiment shown in FIG. 10, the oscillator 82 is used.
This is an example of a so-called voltage control type oscillator circuit 103 that controls the driving power supply voltage to set the oscillation frequency. The control unit 73 includes a resistor element array and a buffer circuit. The voltage at a predetermined position of the resistor element array is supplied as a driving power supply voltage for the oscillating unit 82 after adding driving capability to the buffer circuit. The resistor element array and the buffer circuit of the control unit 73 include NMOS transistors TN4 and TN.
5 are provided in the current paths of the resistor element array and the buffer circuit, respectively, and the enable signal EN is controlled by a signal logically inverted by the inverter element.

【0107】イネーブル信号ENがハイレベルとなる非
活性状態では、電流経路は遮断されて発振部82への電
源供給は停止され発振動作は停止する。イネーブル信号
ENがローレベルとなる活性状態では、電流経路は導通
されて発振部82に電源が供給され発振動作が行なわれ
る。
In the inactive state in which the enable signal EN is at a high level, the current path is cut off, the power supply to the oscillator 82 is stopped, and the oscillation operation is stopped. In the active state where the enable signal EN is at a low level, the current path is made conductive, the power is supplied to the oscillator 82, and the oscillation operation is performed.

【0108】オシレータ回路103においても、プリセ
ット部A1またはA2を備えることにより、第1または
第2実施形態の場合と同様の作用・効果を奏することが
できる。更に、検出部51、52(図7、図8)、また
は遅延部61(図9)を備える構成とすることもでき
る。
The oscillator circuit 103 also has the preset section A1 or A2, so that the same operation and effect as those of the first or second embodiment can be obtained. Further, the detecting units 51 and 52 (FIGS. 7 and 8) or the delay unit 61 (FIG. 9) may be provided.

【0109】次に、図11、12において、発振周波数
制御信号VRの制御形式の変形例を示す。第1または第
2実施形態は、発振部810においてバイアス電流IC
を駆動電源電流として発振周波数が制御される電流制御
型のオシレータ回路101、102である。これらのオ
シレータ回路101、102に対しては、発振周波数制
御信号VRとして、制御部71または第1制御部72に
よりバイアス電流ICまたはIC1を電圧値に変換して
制御線VRを伝播させ、発振部810において駆動電源
電流に再変換して制御する回路構成例である。
Next, FIGS. 11 and 12 show modifications of the control format of the oscillation frequency control signal VR. In the first or second embodiment, the bias current IC in the oscillator 810 is used.
Is a current control type oscillator circuit 101, 102 whose oscillation frequency is controlled by using as a driving power supply current. For these oscillator circuits 101 and 102, as the oscillation frequency control signal VR, the control unit 71 or the first control unit 72 converts the bias current IC or IC1 into a voltage value and propagates the control line VR to the oscillator unit. 8 is an example of a circuit configuration for reconverting into a driving power supply current and controlling in 810.

【0110】図11の第1変形例では、制御部74と発
振部83とを備えている。制御部74は、第1または第
2実施形態の発振部810におけるPMOSトランジス
タTP101を、制御部71または第1制御部72に取
り込んだ回路構成であり、PMOSトランジスタで構成
されるカレントミラー回路からのバイアス電流ICの出
力を制御線VRに供給する。発振部83は、発振部81
0からPMOSトランジスタTP101が除去された回
路構成であり、制御線VRから供給されるバイアス電流
をそのまま駆動電源電流として使用する回路構成であ
る。
The first modification shown in FIG. 11 includes a controller 74 and an oscillator 83. The control unit 74 has a circuit configuration in which the PMOS transistor TP101 in the oscillation unit 810 of the first or second embodiment is incorporated in the control unit 71 or the first control unit 72, and a current mirror circuit including a PMOS transistor is used. The output of the bias current IC is supplied to the control line VR. The oscillating unit 83
This is a circuit configuration in which the PMOS transistor TP101 is removed from 0, and the bias current supplied from the control line VR is used as it is as a drive power supply current.

【0111】この構成によれば、制御部74と発振部8
3とのインターフェースがバイアス電流ICであるの
で、制御線VRに対する電圧ノイズ耐性に優れている。
According to this structure, the controller 74 and the oscillator 8
Since the interface with 3 is a bias current IC, it is excellent in voltage noise resistance to the control line VR.

【0112】図12の第2変形例では、第1変形例(図
11)の発振部83に代えて発振部84を備えている。
発振部84は、駆動電源電圧で制御される回路形式であ
る。制御線VRを介して伝播されるバイアス電流ICが
抵抗素子Rにより電圧信号に変換される。変換された電
圧信号はバッファ回路を介して駆動電源電圧として供給
される。駆動電源電圧による発振周波数の制御が行なわ
れる発振部84を備えて、制御線VRに対する電圧ノイ
ズ耐性を確保する場合に好適な回路形式である。
The second modification of FIG. 12 includes an oscillating section 84 instead of the oscillating section 83 of the first modification (FIG. 11).
The oscillating unit 84 is a circuit type controlled by a driving power supply voltage. The bias current IC propagating through the control line VR is converted into a voltage signal by the resistance element R. The converted voltage signal is supplied as a drive power supply voltage via the buffer circuit. The circuit form is suitable for ensuring the voltage noise resistance with respect to the control line VR by including the oscillating unit 84 in which the oscillation frequency is controlled by the drive power supply voltage.

【0113】第1または第2変形例においても、プリセ
ット部A1またはA2を備えることにより、第1または
第2実施形態の場合と同様の作用・効果を奏することが
できる。更に、検出部51、52(図7、図8)、また
は遅延部61(図9)を備える構成とすることもでき
る。
Also in the first or second modified example, by providing the preset section A1 or A2, the same operation and effect as in the case of the first or second embodiment can be obtained. Further, the detecting units 51 and 52 (FIGS. 7 and 8) or the delay unit 61 (FIG. 9) may be provided.

【0114】尚、第3実施形態は、駆動電源電圧により
発振周波数が制御される電圧制御型のオシレータ回路に
対して、発振周波数制御信号VRとして、制御部73に
より駆動電源電圧を制御する回路構成例である。
In the third embodiment, for the voltage control type oscillator circuit whose oscillation frequency is controlled by the drive power supply voltage, the control unit 73 controls the drive power supply voltage as the oscillation frequency control signal VR. Here is an example.

【0115】以上に説明したオシレータ回路を、半導体
装置1000(図13)や半導体記憶装置2000(図
14)に備えることにより、半導体装置1000や半導
体記憶装置2000は、電圧発生回路である昇圧/負電
源回路200においてオシレータ回路から出力される発
振信号VOSCに応じた電圧を、活性化信号ACTによ
る活性化後に迅速に安定させて発生することができる。
また、リフレッシュ制御回路300においてオシレータ
回路から出力される発振信号VOSCに応じたリフレッ
シュ周期を、活性化信号ACTによる活性化後に迅速に
安定させて制御することができる。
By providing the semiconductor device 1000 (FIG. 13) and the semiconductor memory device 2000 (FIG. 14) with the oscillator circuit described above, the semiconductor device 1000 and the semiconductor memory device 2000 are provided with a voltage boosting / negative voltage generating circuit. In power supply circuit 200, a voltage corresponding to oscillation signal VOSC output from the oscillator circuit can be quickly and stably generated after activation by activation signal ACT.
Further, in the refresh control circuit 300, the refresh cycle according to the oscillation signal VOSC output from the oscillator circuit can be quickly and stably controlled after activation by the activation signal ACT.

【0116】これにより、活性化信号ACTにより動作
を開始する際の不安定な発振信号VOSCの出力期間を
最小限にとどめて、が昇圧/負電現回路200やリフレ
ッシュ制御回路300の不安定動作期間が短縮され、活
性化直後から安定した回路動作をさせることができる。
As a result, the output period of the unstable oscillation signal VOSC when the operation is started by the activation signal ACT is minimized, and the unstable operation period of the boost / negative current circuit 200 or the refresh control circuit 300 is reduced. Is shortened, and stable circuit operation can be performed immediately after activation.

【0117】具体的には、不安定な高周波数の発振信号
VOSCが出力されることによる、多大な消費電流やこ
れに伴う電源電圧の電圧降下による誤動作、あるいは過
度な電圧発生による半導体装置1000や半導体記憶装
置2000における信頼性上の問題等が生ずることはな
い。また、逆に不安定な低周波数の発振信号VOSCが
出力されることによる、トランジスタ特性の変動やこれ
に伴うノイズ耐性の悪化、あるいは半導体記憶装置20
00における記憶データの消失等が生ずることはない。
ここで、トランジスタ特性変動やノイズ耐性の悪化と
は、MOSトランジスタにおけるバックゲートバイアス
電圧の変動等が考えられる。
Specifically, the unstable high frequency oscillation signal VOSC is output, resulting in a large current consumption and a malfunction due to the voltage drop of the power supply voltage, or the semiconductor device 1000 due to excessive voltage generation. The reliability of the semiconductor memory device 2000 does not occur. On the contrary, the unstable low-frequency oscillation signal VOSC is output, which causes fluctuations in transistor characteristics and deterioration in noise resistance associated therewith, or the semiconductor memory device 20.
The loss of stored data at 00 does not occur.
Here, the transistor characteristic variation and the deterioration of noise resistance may be variation of the back gate bias voltage in the MOS transistor.

【0118】尚、本発明は前記第1乃至第3実施形態に
限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲内で種々の改良、変形が可能であることは言うまでも
ない。例えば、制御すべき駆動電源電流や駆動電源電圧
は、高電源電圧側に備える構成とすることも、低電源電圧
側に備える構成とすることもできる。また、高電源電圧側
及び低電源電圧側の双方に備える構成とすることもでき
る。更に、発振周波数を制御する制御線VRの制御信号
についても、電流信号と電圧信号とのそれぞれについて
構成することができる。そして、駆動電源電流や駆動電
源電圧と制御電流や制御電圧との組み合わせについても
適宜に行なうことができる。この場合、駆動電源電流や
駆動電源電圧の挿入位置により制御部、検出部等の回路
構成を適宜変更することは言うまでもない。その他、イ
ネーブル信号ENの論理レベル、制御線VRの電圧レベ
ルを適宜に変更することができる。この場合にも制御部
や検出部等の論理レベルを適宜に変更して対応すること
ができることは言うまでもない。また、発振部における
発振動作の作動・停止については、リングオシレータの
ループを接続・遮断する制御の他、またはこの制御に加
えて、発振信号VOSCの出力経路を接続・遮断するこ
とにより行なう構成とすることもできる。また、発振周
波数制御信号VRにより設定される発振周波数は固定と
して説明したが、制御部における抵抗素子を可変とする
構成とすれば、抵抗値に応じて発振周波数制御信号VR
の電圧レベルを可変とすることができ、発振周波数を可
変することができる。このとき、可変抵抗としては、抵抗
素子を切り替えることのほか、ゲート端子へのバイアス
を可変とすることによりMOSトランジスタのオン抵抗
を利用することもできる。また、発振部については、リ
ングオシレータで構成する場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、双安定マルチバ
イブレータや容量成分への充放電を繰り返す方式等、発
振動作を行なう回路構成であれば回路方式にかかわらず
適用することができる。また、検出部については、第1
制御部の信号出力VRと第2制御部の信号出力VR2と
を比較し、検出部からの検出信号がスイッチ部を切り替
え制御することも可能である。
Needless to say, the present invention is not limited to the first to third embodiments, and various improvements and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the drive power supply current or drive power supply voltage to be controlled may be provided on the high power supply voltage side or the low power supply voltage side. Moreover, it is also possible to adopt a configuration provided on both the high power supply voltage side and the low power supply voltage side. Further, the control signal of the control line VR for controlling the oscillation frequency can be configured for each of the current signal and the voltage signal. The combination of the drive power supply current or drive power supply voltage and the control current or control voltage can be appropriately performed. In this case, it goes without saying that the circuit configurations of the control unit, the detection unit, etc. are appropriately changed depending on the insertion position of the drive power supply current or the drive power supply voltage. In addition, the logic level of the enable signal EN and the voltage level of the control line VR can be appropriately changed. Even in this case, it goes without saying that the logic levels of the control unit, the detection unit and the like can be appropriately changed and dealt with. In addition to the control for connecting / disconnecting the loop of the ring oscillator, the oscillation operation in the oscillating section is performed by connecting / disconnecting the output path of the oscillation signal VOSC in addition to this control. You can also do it. Although the oscillation frequency set by the oscillation frequency control signal VR is described as fixed, if the resistance element in the control unit is variable, the oscillation frequency control signal VR is set according to the resistance value.
The voltage level of can be made variable, and the oscillation frequency can be made variable. At this time, as the variable resistance, the ON resistance of the MOS transistor can be used by changing the bias to the gate terminal in addition to switching the resistance element. Further, although the case where the oscillator is configured by the ring oscillator has been described, the present invention is not limited to this, and performs an oscillating operation such as a bistable multivibrator or a method of repeatedly charging and discharging the capacitive component. Any circuit configuration can be applied regardless of the circuit system. Regarding the detection unit, the first
It is also possible to compare the signal output VR of the control unit and the signal output VR2 of the second control unit, and the detection signal from the detection unit can switch and control the switch unit.

【0119】(付記1) 発振周波数制御信号に応じた
発振周波数で発振動作を行なう発振部と、発振許可信号
の活性化により、制御線を介して前記発振周波数制御信
号を前記発振部に出力する制御部と、信号発生回路と前
記制御線との間に配置され、前記発振許可信号の非活性
時に導通して、前記信号発生回路から前記制御線に所定
信号を供給するスイッチ部とを備えることを特徴とする
オシレータ回路。 (付記2) 発振周波数制御信号に応じた発振周波数で
発振動作を行なう発振部と、発振許可信号の活性化によ
り、制御線を介して前記発振周波数制御信号を前記発振
部に出力する第1制御部と、前記発振許可信号が活性化
される際、パルス信号を出力するパルス生成部と、前記
パルス信号により活性化され、所定信号を出力する第2
制御部と、前記第2制御部と前記制御線との間に配置さ
れ、前記パルス信号により導通して、前記制御線に前記
所定信号を供給するスイッチ部とを備えることを特徴と
するオシレータ回路。 (付記3) 前記所定信号は、前記発振周波数制御信号
と同等の信号であることを特徴とする付記1または2に
記載のオシレータ回路。 (付記4) 前記第2制御部の出力駆動能力は、前記第
1制御部の出力駆動能力より大きいことを特徴とする付
記2に記載のオシレータ回路。 (付記5) 前記第1制御部と前記第2制御部とは、同
等の回路要素により構成される同等の回路構成を備える
ことを特徴とする付記2に記載のオシレータ回路。 (付記6) 前記パルス信号は、前記第1制御部から所
定の前記発振周波数制御信号が出力されるまで継続され
ることを特徴とする付記2に記載のオシレータ回路。 (付記7) 前記発振部は、駆動電源電流により発振周
波数が制御され、前記発振周波数制御信号は、前記駆動
電源電流であるか、または、前記駆動電源電流を供給す
るための電流源を制御する電流信号または電圧信号であ
ることを特徴とする付記1または2に記載のオシレータ
回路。 (付記8) 前記発振部は、駆動電源電圧により発振周
波数が制御され、前記発振周波数制御信号は、前記駆動
電源電圧であるか、または、前記駆動電源電圧を供給す
るための電圧源を制御する電流信号または電圧信号であ
ることを特徴とする付記1または2に記載のオシレータ
回路。 (付記9) 前記制御線の信号を検出した検出信号に応
じて前記発振部を制御する検出部を備えることを特徴と
する付記1または2に記載のオシレータ回路。 (付記10) 前記検出部は、前記制御線の信号を、前
記発振周波数制御信号に同等な信号と比較する比較部を
備えることを特徴とする付記9に記載のオシレータ回
路。 (付記11) 前記制御線の信号は、アナログ電圧値で
あり、前記比較部は、前記発振周波数制御信号に同等な信
号を閾値電圧とする論理ゲート素子を含むことを特徴と
する付記10に記載のオシレータ回路。 (付記12) 前記検出部は、前記発振許可信号の活性
化により活性化されることを特徴とする付記9に記載の
オシレータ回路。 (付記13) 前記発振許可信号に対して所定遅延時間
を付加した遅延信号を出力して前記発振部を制御する遅
延部とを備えることを特徴とする付記1または2に記載
のオシレータ回路。 (付記14) 前記所定遅延時間は、前記発振許可信号
の活性化により、前記制御線の信号が前記発振周波数制
御信号に同等な信号に達するまでの時間以上の時間であ
ることを特徴とする付記13に記載のオシレータ回路。 (付記15) 前記遅延部は、前記制御部または前記第
1制御部と同等の回路要素により構成される同等の回路
構成を備えることを特徴とする付記13に記載のオシレ
ータ回路。 (付記16) 付記1乃至15の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答して電圧を発生する電圧発生回
路とを備えることを特徴とする半導体装置。 (付記17) 前記電圧発生回路は、昇圧回路であり、
前記発振信号に応じた昇圧電圧を発生することを特徴と
する付記16に記載の半導体装置。 (付記18) 前記電圧発生回路は、負電圧発生回路で
あり、前記発振信号に応じた負電圧を発生することを特
徴とする付記16に記載の半導体装置。 (付記19) 付記1乃至15の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答して電圧を発生する電圧発生回
路とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。 (付記20) 前記電圧発生回路は、昇圧回路であり、
前記発振信号に応じた昇圧電圧を発生することを特徴と
する付記19に記載の半導体記憶装置。 (付記21) 前記電圧発生回路は、負電圧発生回路で
あり、前記発振信号に応じた負電圧を発生することを特
徴とする付記19に記載の半導体記憶装置。 (付記22) 付記1乃至15の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答してリフレッシュ周期を制御す
るリフレッシュ制御回路とを備えることを特徴とする半
導体記憶装置。 (付記23) 発振周波数制御信号に応じて発振動作が
行なわれる際、発振周波数の制御動作が発振許可信号の
活性化により活性化され、制御状態が予め定められた設
定状態に移行していくことにより前記発振周波数が設定
値に移行していくオシレータ回路の制御方法であって、
前記発振許可信号の非活性時において、前記制御状態が
信号発生部からの信号により所定状態に維持されること
を特徴とするオシレータ回路の制御方法。 (付記24) 発振周波数制御信号に応じて発振動作が
行なわれる際、発振周波数の第1制御動作が発振許可信
号の活性化により活性化され、制御状態が予め定められ
た設定状態に移行していくことにより前記発振周波数が
設定値に移行していくオシレータ回路の制御方法であっ
て、前記発振許可信号が活性化された以後の所定期間、
前記制御状態を所定状態に移行させる第2制御動作が活
性化されることを特徴とするオシレータ回路の制御方
法。 (付記25) 前記所定状態とは、前記設定状態と同等
の状態であることを特徴とする付記23または24に記
載のオシレータ回路の制御方法。 (付記26) 前記第2制御動作による前記所定状態へ
の移行能力は、前記第1制御状態による前記設定状態へ
の移行能力より大きいことを特徴とする付記24に記載
のオシレータ回路の制御方法。
(Supplementary Note 1) An oscillating section that oscillates at an oscillating frequency according to an oscillating frequency control signal, and the oscillating frequency control signal is output to the oscillating section through a control line when an oscillation enable signal is activated. A control unit; and a switch unit arranged between the signal generation circuit and the control line, which is conductive when the oscillation enable signal is inactive and supplies a predetermined signal from the signal generation circuit to the control line. Oscillator circuit. (Supplementary Note 2) An oscillation unit that oscillates at an oscillation frequency according to an oscillation frequency control signal, and a first control that outputs the oscillation frequency control signal to the oscillation unit through a control line by activating an oscillation permission signal. A pulse generator that outputs a pulse signal when the oscillation enable signal is activated, and a second pulse generator that is activated by the pulse signal and outputs a predetermined signal
An oscillator circuit, comprising: a control unit; and a switch unit which is arranged between the second control unit and the control line and which conducts by the pulse signal and supplies the predetermined signal to the control line. . (Supplementary Note 3) The oscillator circuit according to Supplementary Note 1 or 2, wherein the predetermined signal is a signal equivalent to the oscillation frequency control signal. (Supplementary Note 4) The oscillator circuit according to Supplementary Note 2, wherein the output drive capability of the second controller is larger than the output drive capability of the first controller. (Supplementary Note 5) The oscillator circuit according to Supplementary Note 2, wherein the first control unit and the second control unit have equivalent circuit configurations configured by equivalent circuit elements. (Supplementary note 6) The oscillator circuit according to Supplementary note 2, wherein the pulse signal is continued until the predetermined oscillation frequency control signal is output from the first control unit. (Supplementary Note 7) The oscillation frequency of the oscillator is controlled by a drive power supply current, and the oscillation frequency control signal is the drive power supply current or controls a current source for supplying the drive power supply current. 3. The oscillator circuit according to appendix 1 or 2, which is a current signal or a voltage signal. (Supplementary Note 8) The oscillation frequency of the oscillation unit is controlled by a drive power supply voltage, and the oscillation frequency control signal is the drive power supply voltage or controls a voltage source for supplying the drive power supply voltage. 3. The oscillator circuit according to appendix 1 or 2, which is a current signal or a voltage signal. (Supplementary Note 9) The oscillator circuit according to Supplementary Note 1 or 2, further comprising a detection unit that controls the oscillation unit according to a detection signal obtained by detecting a signal on the control line. (Supplementary Note 10) The oscillator circuit according to Supplementary Note 9, wherein the detection unit includes a comparison unit that compares the signal on the control line with a signal equivalent to the oscillation frequency control signal. (Additional remark 11) The signal of the control line is an analog voltage value, and the comparison unit includes a logic gate element whose threshold voltage is a signal equivalent to the oscillation frequency control signal. Oscillator circuit. (Additional remark 12) The said detection part is activated by activation of the said oscillation permission signal, The oscillator circuit of Additional remark 9 characterized by the above-mentioned. (Supplementary Note 13) The oscillator circuit according to Supplementary Note 1 or 2, further comprising: a delay unit that outputs a delay signal obtained by adding a predetermined delay time to the oscillation enable signal to control the oscillation unit. (Supplementary Note 14) The predetermined delay time is at least a time until the signal on the control line reaches a signal equivalent to the oscillation frequency control signal due to activation of the oscillation enable signal. 13. The oscillator circuit according to item 13. (Supplementary Note 15) The oscillator circuit according to Supplementary Note 13, wherein the delay unit has an equivalent circuit configuration configured by a circuit element equivalent to that of the control unit or the first control unit. (Supplementary Note 16) A semiconductor comprising: the oscillator circuit according to at least any one of Supplementary Notes 1 to 15; and a voltage generation circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. apparatus. (Supplementary Note 17) The voltage generation circuit is a booster circuit,
17. The semiconductor device according to Appendix 16, which generates a boosted voltage according to the oscillation signal. (Supplementary Note 18) The semiconductor device according to Supplementary Note 16, wherein the voltage generation circuit is a negative voltage generation circuit and generates a negative voltage according to the oscillation signal. (Supplementary Note 19) A semiconductor, comprising: the oscillator circuit according to any one of Supplementary Notes 1 to 15; and a voltage generation circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. Storage device. (Supplementary Note 20) The voltage generation circuit is a booster circuit,
20. The semiconductor memory device according to appendix 19, wherein a boosted voltage is generated according to the oscillation signal. (Supplementary Note 21) The semiconductor memory device according to Supplementary Note 19, wherein the voltage generation circuit is a negative voltage generation circuit and generates a negative voltage according to the oscillation signal. (Supplementary Note 22) The oscillator circuit according to at least one of Supplementary Notes 1 to 15, and a refresh control circuit that controls a refresh cycle in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. Semiconductor memory device. (Supplementary Note 23) When the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the oscillation frequency control operation is activated by the activation of the oscillation enable signal, and the control state shifts to a preset setting state. A method of controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value according to
A method of controlling an oscillator circuit, wherein the control state is maintained in a predetermined state by a signal from a signal generator when the oscillation enable signal is inactive. (Supplementary Note 24) When the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the first control operation of the oscillation frequency is activated by activation of the oscillation permission signal, and the control state shifts to a preset setting state. A method of controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value by going a predetermined period after the oscillation enable signal is activated,
A method of controlling an oscillator circuit, wherein a second control operation for shifting the control state to a predetermined state is activated. (Supplementary Note 25) The method of controlling an oscillator circuit according to Supplementary Note 23 or 24, wherein the predetermined state is a state equivalent to the set state. (Supplementary note 26) The control method of the oscillator circuit according to supplementary note 24, wherein the ability to shift to the predetermined state by the second control operation is larger than the ability to shift to the setting state by the first control state.

【0120】[0120]

【発明の効果】本発明によれば、作動・停止の制御が可
能なオシレータ回路の発振開始時における発振周波数の
過渡的な不安定期間を短縮化して、発振開始直後から安
定した発振周波数を有する発振信号を出力することが可
能なオシレータ回路、オシレータ回路を備えた半導体装
置およびオシレータ回路を備えた半導体記憶装置、およ
びオシレータ回路の制御方法を提供することが可能とな
る。
According to the present invention, the transient instability period of the oscillation frequency at the start of oscillation of the oscillator circuit whose operation and stop can be controlled is shortened, and the oscillation frequency is stable immediately after the start of oscillation. It is possible to provide an oscillator circuit capable of outputting an oscillation signal, a semiconductor device including the oscillator circuit, a semiconductor memory device including the oscillator circuit, and a method for controlling the oscillator circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1原理図である。FIG. 1 is a first principle diagram of the present invention.

【図2】本発明の第2原理図である。FIG. 2 is a second principle diagram of the present invention.

【図3】第1実施形態の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of the first embodiment.

【図4】第1実施形態の動作波形図である。FIG. 4 is an operation waveform diagram of the first embodiment.

【図5】第2実施形態の回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of a second embodiment.

【図6】第2実施形態の動作波形図である。FIG. 6 is an operation waveform diagram of the second embodiment.

【図7】検出部を備える場合の第1具体例を示す回路図
である。
FIG. 7 is a circuit diagram showing a first specific example in the case of including a detection unit.

【図8】検出部を備える場合の第2具体例を示す回路図
である。
FIG. 8 is a circuit diagram showing a second specific example in the case of including a detection unit.

【図9】遅延部を備える場合の具体例を示す回路図であ
る。
FIG. 9 is a circuit diagram showing a specific example in the case of including a delay unit.

【図10】第3実施形態の回路図である。FIG. 10 is a circuit diagram of a third embodiment.

【図11】実施形態の第1変形例を示す回路図である。FIG. 11 is a circuit diagram showing a first modification of the embodiment.

【図12】実施形態の第2変形例を示す回路図である。FIG. 12 is a circuit diagram showing a second modification of the embodiment.

【図13】オシレータ回路を備える半導体装置を示す回
路ブロック図である。
FIG. 13 is a circuit block diagram showing a semiconductor device including an oscillator circuit.

【図14】オシレータ回路を備える半導体記憶装置を示
す回路ブロック図である。
FIG. 14 is a circuit block diagram showing a semiconductor memory device including an oscillator circuit.

【図15】従来技術の回路ブロック図である。FIG. 15 is a circuit block diagram of a conventional technique.

【図16】第1従来技術の第1具体例を示す回路図であ
る。
FIG. 16 is a circuit diagram showing a first specific example of a first conventional technique.

【図17】第1従来技術の第2具体例を示す回路図であ
る。
FIG. 17 is a circuit diagram showing a second specific example of the first conventional technique.

【図18】第1従来技術の第1および第2具体例の動作
波形図である。
FIG. 18 is an operation waveform diagram of first and second specific examples of the first conventional technique.

【図19】第1従来技術の第3具体例を示す回路図であ
る。
FIG. 19 is a circuit diagram showing a third specific example of the first conventional technique.

【図20】第1従来技術の第3具体例の動作波形図であ
る。
FIG. 20 is an operation waveform diagram of a third specific example of the first conventional technology.

【図21】第2従来技術の回路図である。FIG. 21 is a circuit diagram of a second conventional technique.

【図22】第2従来技術の動作波形図である。FIG. 22 is an operation waveform diagram of the second conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11 スイ
ッチ部 2 信号
発生部 21 電位
発生部 3、31 第2
制御部 4、41 パル
ス生成部 5、51、52 検出
部 6、61 遅延
部 7、71、73、74、720、740 制御
部 7、72 第1
制御部 8、82、83、84、810、830、910 発振
部 920 パル
ス発生部 100、101、102、103 オシ
レータ回路 200 昇圧
/負電源回路 300 リフ
レッシュ制御回路 1000 半導
体装置 2000 半導
体記憶装置 A1、A2、A11 プリ
セット部 VR 制御
線 EN イネ
ーブル信号 IC、IC1、IC2 バイ
アス電流 MON、MON1、MON2 検出
信号 SET パル
ス信号 VOSC 発振
信号 VR 発振
周波数制御信号
1, 11 Switch unit 2 Signal generating unit 21 Potential generating unit 3, 31 Second
Control unit 4, 41 Pulse generation unit 5, 51, 52 Detection unit 6, 61 Delay unit 7, 71, 73, 74, 720, 740 Control unit 7, 72 First
Control unit 8, 82, 83, 84, 810, 830, 910 Oscillation unit 920 Pulse generation unit 100, 101, 102, 103 Oscillator circuit 200 Boost / negative power supply circuit 300 Refresh control circuit 1000 Semiconductor device 2000 Semiconductor memory device A1, A2 , A11 preset part VR control line EN enable signal IC, IC1, IC2 bias current MON, MON1, MON2 detection signal SET pulse signal VOSC oscillation signal VR oscillation frequency control signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川本 悟 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 Fターム(参考) 5J043 AA13 AA26 EE01 LL01 MM00   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Satoru Kawamoto             1844-2 Kozoji-cho, Kasugai-shi, Aichi             Within Fujitsu VIS Ltd. F-term (reference) 5J043 AA13 AA26 EE01 LL01 MM00

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 発振周波数制御信号に応じた発振周波数
で発振動作を行なう発振部と、発振許可信号の活性化に
より、制御線を介して前記発振周波数制御信号を前記発
振部に出力する制御部と、信号発生回路と前記制御線と
の間に配置され、前記発振許可信号の非活性時に導通し
て、前記信号発生回路から前記制御線に所定信号を供給
するスイッチ部とを備えることを特徴とするオシレータ
回路。
1. An oscillating section that oscillates at an oscillating frequency according to an oscillating frequency control signal, and a control section that outputs the oscillating frequency control signal to the oscillating section via a control line when an oscillation enable signal is activated. And a switch unit arranged between the signal generation circuit and the control line, which conducts when the oscillation enable signal is inactive and supplies a predetermined signal from the signal generation circuit to the control line. And the oscillator circuit.
【請求項2】 発振周波数制御信号に応じた発振周波数
で発振動作を行なう発振部と、発振許可信号の活性化に
より、制御線を介して前記発振周波数制御信号を前記発
振部に出力する第1制御部と、前記発振許可信号が活性
化される際、パルス信号を出力するパルス生成部と、 前記パルス信号により活性化され、所定信号を出力する
第2制御部と、 前記第2制御部と前記制御線との間に配置され、前記パ
ルス信号により導通して、前記制御線に前記所定信号を
供給するスイッチ部とを備えることを特徴とするオシレ
ータ回路。
2. An oscillating section that oscillates at an oscillating frequency according to an oscillating frequency control signal, and a first output section that outputs the oscillating frequency control signal to the oscillating section via a control line by activating an oscillation enable signal. A controller, a pulse generator that outputs a pulse signal when the oscillation enable signal is activated, a second controller that is activated by the pulse signal and outputs a predetermined signal, and the second controller. An oscillator circuit, comprising: a switch unit arranged between the control line and the switch line, the switch unit being conductive by the pulse signal and supplying the predetermined signal to the control line.
【請求項3】 前記制御線の信号を検出した検出信号に
応じて前記発振部を制御する検出部を備えることを特徴
とする請求項1または2に記載のオシレータ回路。
3. The oscillator circuit according to claim 1, further comprising a detector that controls the oscillator according to a detection signal obtained by detecting the signal on the control line.
【請求項4】 前記発振許可信号に対して所定遅延時間
を付加した遅延信号を出力して前記発振部を制御する遅
延部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記
載のオシレータ回路。
4. The oscillator circuit according to claim 1, further comprising a delay unit that outputs a delay signal obtained by adding a predetermined delay time to the oscillation enable signal to control the oscillation unit. .
【請求項5】 請求項1乃至4の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答して電圧を発生する電圧発生回
路とを備えることを特徴とする半導体装置。
5. The oscillator circuit according to claim 1, further comprising a voltage generation circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. Semiconductor device.
【請求項6】 請求項1乃至4の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答して電圧を発生する電圧発生回
路とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
6. The oscillator circuit according to claim 1, further comprising: a voltage generating circuit that generates a voltage in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. Semiconductor memory device.
【請求項7】 請求項1乃至4の少なくとも何れか1項
に記載のオシレータ回路と、前記オシレータ回路から出
力される発振信号に応答してリフレッシュ周期を制御す
るリフレッシュ制御回路とを備えることを特徴とする半
導体記憶装置。
7. An oscillator circuit according to any one of claims 1 to 4, and a refresh control circuit for controlling a refresh cycle in response to an oscillation signal output from the oscillator circuit. And semiconductor memory device.
【請求項8】 発振周波数制御信号に応じて発振動作が
行なわれる際、発振周波数の制御動作が発振許可信号の
活性化により活性化され、制御状態が予め定められた設
定状態に移行していくことにより前記発振周波数が設定
値に移行していくオシレータ回路の制御方法であって、
前記発振許可信号の非活性時において、前記制御状態が
信号発生部からの信号により所定状態に維持されること
を特徴とするオシレータ回路の制御方法。
8. When the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the oscillation frequency control operation is activated by activation of the oscillation permission signal, and the control state shifts to a preset setting state. A method of controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value by
A method of controlling an oscillator circuit, wherein the control state is maintained in a predetermined state by a signal from a signal generator when the oscillation enable signal is inactive.
【請求項9】 発振周波数制御信号に応じて発振動作が
行なわれる際、発振周波数の第1制御動作が発振許可信
号の活性化により活性化され、制御状態が予め定められ
た設定状態に移行していくことにより前記発振周波数が
設定値に移行していくオシレータ回路の制御方法であっ
て、前記発振許可信号が活性化された以後の所定期間、
前記制御状態を所定状態に移行させる第2制御動作が活
性化されることを特徴とするオシレータ回路の制御方
法。
9. When the oscillation operation is performed in response to the oscillation frequency control signal, the first control operation of the oscillation frequency is activated by activation of the oscillation enable signal, and the control state shifts to a preset setting state. A method of controlling an oscillator circuit in which the oscillation frequency shifts to a set value by going forward, a predetermined period after the oscillation enable signal is activated,
A method of controlling an oscillator circuit, wherein a second control operation for shifting the control state to a predetermined state is activated.
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