JP2003329404A - 液圧流量制御弁における位置検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造が簡単で小形化も容易な液圧流量制御弁
における位置検出器で、温度条件の厳しい場所にも対応
が容易で、外部磁気による出力の変動が少なく、製造も
簡単な液圧流量制御弁における位置検出器を提供する。 【構成】 液圧流量制御弁における位置検出が、導電体
（２）または磁性体あるいは非磁性導電体との重合部の
変化で捉えられるように配置されたコイル（１）に、パ
ルス状の電圧を印加し、コンデンサ（４）に充電、また
は放電を行わせ、その放電時の電圧がコンパレータ
（５）のしきい値を超えるまでの時間を電圧に変換す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スプールの移動に
応じた電圧または電流を出力させる場合、あるいはスプ
ールの移動を感知して所定の位置にあるかどうかを判定
して、スイッチ出力を発生させるような場合の用途に使
用する液圧流量制御弁における位置検出器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の液圧流量制御弁における位置検出
器の例は、軸方向の位置検出にポテンショメータや図１
１に示すような差動変圧器（１９）が用いられるが、ポ
テンショメータは摺動型のため摺動部が摩耗し長期間の
使用に問題があり、差動変圧器（１９）は通常３個以上
のコイルを使用するため形状が複雑で、外形も大きく取
り付ける場所に制限がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】位置検出器として差動
変圧器を使用する場合、温度補償も兼ねて差動結合させ
るため、２個の検出コイルは同軸上に配置されるので、
全長は検出距離の２倍以上の長さを必要とし、また励磁
コイルを含め、計３個のコイルを使用するため小形化に
適さず、小形機器や設置スペースの狭いところでは形状
的制約を受けるという問題点があり、計測原理から位置
計測のため磁性体を使用するので、外部磁気の影響を受
け易いという問題点があった。

【０００４】本発明は、従来の液圧流量制御弁用の位置
検出器の問題点に鑑み、小形で、非接触または摺動部を
なくし、温度変化や外部磁気の影響による出力の変化も
少なく、構造が簡単な液圧流量制御弁用の位置検出器を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液圧流量制御弁用の位置検出器は、図１ま
たは図８に示すように、コイル、導電体または磁性体
（あるいは非磁性導電体）、抵抗、コンデンサ、コンパ
レータまたはバッファ、固定周波数パルス発振器、フリ
ップフロップ素子および電圧変換部、出力変換部により
構成される。

【０００６】本液圧流量制御弁用の位置検出器には、図
１、図２および図３のようにスプールの外端に導電体ま
たは磁性体（あるいは非磁性導電体）を設置する形状、
図４、図５および図６のようにスプールの他端を穿設す
る形状がある。

【０００７】また、本位置検出器には、図１、図２、図
４および図６のようにコイルの外（又は内）側に導電体
（または磁性体）を設置する形状、図３および図５のよ
うにコイルの外側に非磁性導電体を設置する形状があ
る。

【０００８】また、コイルと導電体（または磁性体）の
相対位置は、コイル内部を導電体（または磁性体）が重
合する形式（図１および図６）、コイル外部を導電体
（または磁性体あるいは非磁性導電体）が重合する形式
（図２、図３、図４および図５）がある。

【０００９】ここでは、コイルのインダクタンス変化を
捉える回路として、図１と図８のように２種類の回路を
示した。いずれの方式もコイルのインダクタンス変化を
時間の変化で捉えるという考え方は同じであるが、コイ
ルに印加する発振回路と、取り出し時間が異なる。

【００１０】本回路に用いるコンパレータは、反転出力
の比較器であり、入力電圧が低電圧から上昇するとき
は、しきい値を超えるまでハイレベルを出力し、しきい
値を超えるとローレベルを出力する。また、入力電圧が
高電圧側から下降するときは、しきい値を超えるまでは
ローレベルを出力し、しきい値を超えるとハイレベルを
出力する。また、しきい値にヒステリシスを持たせるこ
とにより、安定して連続発振を続けさせることができ
る。具体的には、コンパレータの他にオペアンプや論理
素子のシュミットインバータなどが利用できる。

【００１１】電圧変換部（２１）は、コンデンサの放電
の過渡状態をコンパレータのしきい値で判定することに
より得られる時間を電圧に変換する部分である。

【００１２】出力変換部（２２）は被検出物の変位に対
応した電圧、または電流を出力するか、予め指定した位
置に対して被検出物がどちら側にあるかを比較・判定し
てスイッチ出力を発生させるものである。

【００１３】この液圧流量制御弁における位置検出器に
おいて、コンパレータによりコイルに電圧を印加する
と、被検出物である導電体または磁性体（あるいは非磁
性導電体）とコイルが重合する量に応じてコイルのイン
ダクタンスが変化し、これに応じてコンパレータ入力部
の電圧が変化する。

【００１４】このインダクタンスの変化は導電体をコイ
ルに挿入（あるいは被嵌）する場合は、コイルより発生
する磁束により導電体表面に渦電流が発生し、それが損
失となりインダクタンスを減少させる方向に働き、磁性
体を挿入（あるいは被嵌）する場合は磁性体がコイルよ
り発する磁束を集中させる働きをしてインダクタンスを
増加させる。

【００１５】また、導電性の磁性体の場合は、それぞれ
相反する特性を兼ね備えるため、インダクタンスが増加
するか減少するかは影響の強いほうの特性で決まる。イ
ンダクタンスが増加するとコンデンサの充放電の時間が
長くなり、インダクタンスが減少するとコンデンサの充
放電の時間が短くなる。よって、非磁性導電体にコイル
を挿入（あるいは被嵌）することにより、確実にインダ
クタンスを減少させる効果を得ることが出来る。

【００１６】さらに、直流磁気の影響を受けない非磁性
導電体とコイル（一般的に樹脂絶縁被膜付き銅線）のみ
で検出部を構成できるので、周辺の直流磁気により出力
が変動しない。

【００１７】コンデンサの充放電の過渡状態を観測する
ことで、コイルのインダクタンス変化すなわちコイルと
導電体または磁性体（あるいは非磁性導電体）の重合距
離または重合面積の変化が把握できる。以下に図を用い
て説明する。

【００１８】図７は図１の回路を用いたときの動作を示
す。ａは固定周波数パルス発振器（９）の出力を示し、
ｂはフリップフロップ素子（８）の出力を示し、ｃはコ
ンパレータ（５）の入力側の状態を示し、ｄはコンパレ
ータ（５）の出力を示す。

【００１９】図７において、固定周波数パルス発振器
（９）の出力の立ち上がり（図７の）時に、フリップ
フロップ素子（８）の出力をハイレベルにしバッファ
（７）よりコイル（１）に電圧を印加する。そのとき、
コンパレータ（５）の入力側は、コイル（１）のインダ
クタンス、抵抗（６）、およびコンデンサ（４）によっ
て決まる時定数でコンデンサ（４）に電荷が充電され電
圧が上昇する（図７の）。そして、コンパレータ
（５）の高電圧側のしきい値（ＶＨ）を越えると、コン
パレータ（５）はローレベルを出力する（図７の）。
ここでは、フリップフロップ素子（８）を通して、バッ
ファ（７）の出力はローレベルになり、コンデンサ
（４）が放電を始める。

【００２０】図７の、即ちコンパレータ（５）の低電
圧側のしきい値（ＶＬ）を越えるとコンパレータ（５）
はハイレベルを出力するが、フリップフロップ素子
（８）によりバッファ（７）の出力はローレベルのまま
とする。その後、固定周波数パルス発振器（９）の出力
の立ち上がり（図７の）をうけて、上記の動作を繰り
返す。

【００２１】これら一連の動作のなかで、図７のから
までの時間ｔを電圧等に変換して出力とする。他の方
法として、図７のから、またはからまでの時間
を計測する方法も考えられるが、からまでの時間を
抽出する方法が変化量が多く、安定した出力が得られ
る。

【００２２】図７における実際に電圧に変換する方法を
示す。固定周波数パルス発振器（９）の出力の立ち上が
り（図７の）からコンデンサ（４）の放電時にコンパ
レータ（５）がハイレベルを出力するとき（図７の）
までの時間ｔでハイレベルを出力する回路を追加し、そ
の波形の実効値をとることでｔ／Ｔの関係を有する出力
電圧を得る。ここで、Ｔは一定であるからｔの変化、即
ちコイル（１）のインダクタンスの変化に比例した出力
が得られる。

【００２３】また、この方法は図７のにおいて、再び
バッファ（７）をハイレベルにする回路を追加し、周期
Ｔ内でコンデンサへの充電、放電を何度か繰り返すと図
７の時間ｔが長くとれる。この方法により、小形、小径
のコイルでインダクタンスの小さいコイルにおいても時
間ｔ、周期Ｔを長くすることができ安定した出力を得る
ことができる。

【００２４】次に、図８の回路の動作について図９を用
いて説明する。電源投入時は、コンパレータ（５）の入
力側はローレベルであるからハイレベルを出力する（図
９の）。そのとき、コンパレータ（５）の入力側は、
コイル（１）のインダクタンス、抵抗（６）、及びコン
デンサ（４）によって決まる時定数でコンデンサ（４）
に電荷が充電され電圧が上昇する（図９の）。そし
て、コンパレータ（５）の高電圧側のしきい値（ＶＨ）
を越えると、コンパレータ（５）はローレベルを出力す
る（図９の）。そのため、コンデンサ（４）は放電を
始める（図９の）。コンパレータ（５）の低電圧側の
しきい値（ＶＬ）を越えるとコンパレータ（５）はハイ
レベルを出力する（図９の）。よって、この回路は、
発振を続ける。コイルのインダクタンスが変化すると、
周期Ｔが変化するので、周期Ｔを電圧に変換して出力と
する。

【００２５】図８の回路によって実際に電圧に変換する
方法を示す。コンパレータ（５）の立ち上がり（図９の
）、または立ち下り（図９の）時に一定時間ｔ１、
及びｔ２の矩形波を生成し、その波形の実効値をとるこ
とで、（ｔ１＋ｔ２）／Ｔの関係を有する出力電圧を得
る。ここで、ｔ１、ｔ２が固定で、Ｔが変化するので、
出力はコイルのインダクタンスの変化に比例したもので
はないが、回路構成が簡単である。

【００２６】また、その他の電圧変換の方法として、コ
ンデンサの放電時にコンパレータのしきい値を通過する
までの時間をカウンターや、タイマーをもちいて計測
し、その値に比例した電圧に変換して出力する方法も容
易に考えられる。

【００２７】また、図１、及び図８の回路において、コ
ンパレータ（５）のしきい値にヒステリシスがない場合
も、コイルの逆起電力によるオーバーシュートにより発
振を維持できる可能性があるが、不安定なため、コンパ
レータのしきい値にヒステリシスを設け、図７および図
９に示す電位差（ＶＨとＶＬの差）△Ｖを十分に確保し
て、安定して発振させることが重要である。

【００２８】さらに、本液圧流量制御弁における位置検
出器は、コイルを空心コイルとし、被検出物を非磁性の
導電体（図３および図５の（１４））とすることによ
り、直流磁気に反応しない材料で構成することも可能な
ため、外部の直流磁気の影響を受けないものが構成で
き、また交流磁気に対しては小径のコイルを用いること
で、影響を少なくすることができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例にもと
づき図面を参照して説明する。図１において、スプール
（１１）に導電体（２）または磁性体を装設し、導電体
（２）または磁性体の外周にコイル（１）を隙間をもた
せて被嵌し、スプール（１１）すなわち導電体（２）ま
たは磁性体の位置の変化とともにコイル（１）との重合
距離（１０）が変化するように配置することで変位検出
部を構成させ、コイル（１）の一端に抵抗（６）、バッ
ファ（７）、フリップフロップ回路（８）、固定周波数
パルス発振器（９）を接続し、コイル（１）の他端にヒ
ステリシスを有するしきい値を備えた反転出力のコンパ
レータ（５）の入力側を接続し、出力側はフリップフロ
ップ回路（８）のリセット部に接続し、コイル（１）と
このコンパレータ（５）間にコンデンサ（４）を接続
し、その他極は０Ｖまたはグランド（３）に接地する。
コンパレータ（５）の出力を電圧変換部（２１）および
出力変換部（２２）を通して出力する。

【００３０】図２は、スプール（１１）に他端が穿設さ
れた導電体（２）または磁性体を装設し、導電体（２）
または磁性体の内周にコイル（１）を隙間をもたせて挿
入することで、変位検出部を構成させる形状である。

【００３１】図３は、スプール（１１）に他端が穿設さ
れた突出体（１５）を装設し、突出体（１５）の穿設さ
れた内周に非磁性導電体（１４）を嵌着して固着し、そ
の内側にコイル（１）を隙間をもたせて挿入すること
で、変位検出部を構成させる形状である。

【００３２】図４は、導電体（２）または磁性体で作製
されたスプール（１１）の他端に、軸方向に穿設した穴
の内側に隙間をもたせてコイル（１）を挿入すること
で、変位検出部を構成させる形状である。

【００３３】図５は、スプール（１１）の他端に、軸方
向に穿設した穴の内周に非磁性導電体（１４）を嵌着し
て固着し、その内側に隙間をもたせてコイル（１）を挿
入することで、変位検出部を構成させる形状である。

【００３４】図６は、スプール（１１）の他端に、軸方
向に穿設し、さらにその中心部に導電体（２）又は磁性
体を固着し、導電体（２）又は磁性体の外周に隙間をも
たせてコイル（１）を被嵌することで、変位検出部を構
成させる形状である。

【００３５】図１、図２、図４および図６においては、
スプール（１１）が導電体（２）又は磁性体で作製され
ている場合はスプール（１１）と導電体（２）又は磁性
体は一体化することができる。

【００３６】図１０は、スプール（１１）の駆動をボイ
スコイル（１７）およびヨーク部（１８）で構成される
フォースモータで行う液圧流量制御弁に適用した例で、
スプール（１１）に導電体（２）又は磁性体を装設し、
その外周にコイル（１）を隙間をもたせて被嵌し、変位
検出部を構成させる形状である。

【００３７】図１０における変位検出部の構成は図１に
示す方案と同一であるが、スプール（１１）の駆動をフ
ォースモータで行う液圧流量制御弁においても、図２、
図３、図４、図５および図６で説明したのと同様の変位
検出部を適用することができる。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。

【００３９】本発明の液圧流量制御弁の位置検出部は１
つのコイルと１つの導電体（または磁性体あるいは非磁
性導電体）のみで構成されるため、差動変圧器やレゾル
バのように、複数のコイル間の相対位置が厳密に定めら
れる機構と比較して、液圧流量制御弁の外形、全長等を
小さくできるので、従来形状的、または寸法的に困難で
あった様々な場所に用いることができる。

【００４０】検出部がコイルと導電体（または磁性体あ
るいは非磁性導電体）のみで構成できるので、コイルと
導電体（または磁性体あるいは非磁性導電体）の高
（低）温度対策が容易で、使用温度条件の厳しい環境に
も対応できる。

【００４１】非磁性導電体（１４）を挿入することで、
感度が上昇し、スプール（１１）の移動に敏感になり、
微細な移動の検知が可能になり、また、スプール（１
１）の材料が例えばプラスティックあるいはセラミック
等の非金属材料であっても本発明の位置検出器がそのま
ま適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】スプール（１１）に導電体（２）または磁性体
を装設し、導電体（２）または磁性体の外周にコイル
（１）を被嵌して変位検出部を構成させた液圧流量制御
弁の位置検出器の全体ブロック図。

【図２】スプール（１１）に他端が穿設された導電体
（２）または磁性体を装設し、導電体（２）または磁性
体の内周にコイル（１）を挿入することで変位検出部を
構成させた液圧流量制御弁の位置検出器。

【図３】スプール（１１）に他端が穿設された突出体
（１５）を装設し、突出体（１５）の穿設された内周に
非磁性導電体（１４）を嵌着して固着し、その内側にコ
イル（１）を隙間をもたせて挿入することで変位検出部
を構成させた液圧流量制御弁の位置検出器。

【図４】導電体（２）または磁性体で作製されたスプー
ル（１１）の他端に、軸方向に穿設した穴の内側にコイ
ル（１）を挿入することで変位検出部を構成させた液圧
流量制御弁の位置検出器。

【図５】スプール（１１）の他端に、軸方向に穿設した
穴の内周に非磁性導電体（１４）を嵌着して固着し、そ
の内側にコイル（１）を挿入することで変位検出部を構
成させた液圧流量制御弁の位置検出器。

【図６】スプール（１１）の他端に、軸方向に穿設し、
さらにその中心部に導電体（２）又は磁性体を固着し、
導電体（２）又は磁性体の外周にコイル（１）を被嵌す
ることで、変位検出部を構成させた液圧流量制御弁の位
置検出器。

【図７】図１のブロック図のタイミングチャート図。

【図８】図１と発振方法を変えた液圧流量制御弁の位置
検出器の全体ブロック図。

【図９】図８のブロック図のタイミングチャート図。

【図１０】スプール（１１）の駆動方式がフォースモー
タ式による液圧流量制御弁の場合で、スプール（１１）
の変位検出部構成を図１と同一方案で行った場合の図。

【図１１】従来の差動変圧器を備えた液圧流量制御弁の
例図。

【符号の説明】

１ コイル ２ 導電体（または磁性体） ３ 接地部 ４ コンデンサ ５ ヒステリシスを有するしきい値を備えた反転出
力のコンパレータ ６ 抵抗 ７ バッファ ８ フリップフロップ素子 ９ 固定周波数パルス発振器 １０ 重合距離 １１ スプール １２ ボディ １３ トルクモータ部 １４ 非磁性導電体 １５ 突出体 １６ コイル固定体 １７ ボイスコイル １８ ヨーク部 １９ 差動変圧器 ２１ 電圧変換部 ２２ 出力変換部 ２３ 液圧供給口 ２４ 液圧制御口１ ２５ 液圧制御口２ ２６ 液圧排出口１ ２７ 液圧排出口２

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三木 正之 京都府京都市下京区七条御所ノ内南町102 番地 株式会社リベックス内 Ｆターム(参考） 2F063 AA02 BA06 CA16 CA34 DA05 GA04 GA08 LA13 LA16 LA19 LA30 2F077 CC02 FF02 FF12 FF31 FF39 TT06 TT09 TT36 TT82 VV02

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液圧流量制御弁において、スプール（１
   １）の中心部に導電体（２）又は磁性体を装設し、導電
   体（２）又は磁性体の外周に隙間もたせてコイル（１）
   を被嵌して配置し、コイル（１）を液圧流量制御弁（以
   下制御弁と称す）の固定側（例えばボディ（１２））に
   コイル固定体（１６）により固着し、制御弁に供給され
   た液流体がトルクモータ部（１３）によりスプール（１
   １）の両端に面圧力差を発生させ、この面圧力差によっ
   てスプール（１１）すなわち導電体（２）又は磁性体が
   コイル（１）の内周を移動したとき、コイル（１）と導
   電体（２）又は磁性体間の重合距離（１０）又は面積が
   変化するように構成し、このコイル（１）に短波形を印
   加すると、導電体（２）又は磁性体の移動に応じて重合
   距離（１０）又は面積が変化するため、コイル（１）と
   導電体（２）又は磁性体間の渦電流損およびインダクタ
   ンスが変化して、短波形の減衰状態が変化するので、こ
   の短波形の減衰状態を観測して導電体（２）又は磁性体
   の移動距離すなわちスプール（１１）の移動距離あるい
   はスプール（１１）の位置を検出できるように構成した
   液圧流量制御弁における位置検出器。
2. 【請求項２】 液圧流量制御弁において、スプール（１
   １）の中心部に他端が穿設された導電体（２）又は磁性
   体を装設し、この導電体（２）又は磁性体の穿設された
   内周に隙間をもたせてコイル（１）を挿入して配置し、
   コイル（１）を制御弁の固定側（例えばボディ（１
   ２））にコイル固定体（１６）により固着し、制御弁に
   供給された液流体がトルクモータ部（１３）によりスプ
   ール（１１）の両端に面圧力差を発生させ、この面圧力
   差によってスプール（１１）すなわち導電体（２）又は
   磁性体がコイル（１）の外周を移動したとき、コイル
   （１）と導電体（２）又は磁性体間の重合距離（１０）
   又は面積が変化するように構成し、このコイル（１）に
   短波形を印加すると、導電体（２）又は磁性体の移動に
   応じて重合距離（１０）又は面積が変化するため、コイ
   ル（１）と導電体（２）又は磁性体間の渦電流損および
   インダクタンスが変化して、短波形の減衰状態が変化す
   るので、この短波形の減衰状態を観測して導電体（２）
   又は磁性体の移動距離すなわちスプール（１１）の移動
   距離あるいはスプール（１１）の位置を検出できるよう
   に構成した液圧流量制御弁における位置検出器。
3. 【請求項３】 液圧流量制御弁において、スプール（１
   １）の中心部に他端が穿設された突出体（１５）を装設
   し、この突出体（１５）の穿設された内周に非磁性導電
   体（１４）を嵌着して固設し、その内側に隙間をもたせ
   てコイル（１）を挿入して配置し、コイル（１）を制御
   弁の固定側（例えばボディ（１２））にコイル固定体
   （１６）により固着し、制御弁に供給された液流体がト
   ルクモータ部（１３）によりスプール（１１）の両端に
   面圧力差を発生させ、この面圧力差によってスプール
   （１１）すなわち非磁性導電体（１４）がコイル（１）
   の外周を移動したとき、コイル（１）と非磁性導電体
   （１４）間の重合距離（１０）又は面積が変化するよう
   に構成し、このコイル（１）に短波形を印加すると、非
   磁性導電体（１４）の移動に応じて重合距離（１０）又
   は面積が変化するため、コイル（１）と非磁性導電体
   （１４）の渦電流損およびインダクタンスが変化して、
   短波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状
   態を観測して非磁性導電体（１４）の移動距離すなわち
   スプール（１１）の移動距離あるいはスプール（１１）
   の位置を検出できるように構成した液圧流量制御弁にお
   ける位置検出器。
4. 【請求項４】 液圧流量制御弁において、導電体（２）
   又は磁性体で作製されたスプール（１１）の中心部に、
   軸方向に穿設した穴の内側に隙間をもたせてコイル
   （１）を挿入して配置し、コイル（１）を制御弁の固定
   側（例えばボディ（１２））にコイル固定体（１６）に
   より固着し、制御弁に供給された液流体がトルクモータ
   部（１３）によりスプール（１１）の両端に面圧力差を
   発生させ、この面圧力差によって導電体（２）又は磁性
   体で作成されたスプール（１１）がコイル（１）の外周
   を移動したとき、コイル（１）とスプール（１１）間の
   重合距離（１０）又は面積が変化するように構成し、こ
   のコイル（１）に短波形を印加すると、スプール（１
   １）の移動に応じて重合距離（１０）又は面積が変化す
   るため、コイル（１）とスプール（１１）間の渦電流損
   およびインダクタンスが変化して、短波形の減衰状態が
   変化するので、この短波形の減衰状態を観測してスプー
   ル（１１）の移動距離あるいはスプール（１１）の位置
   を検出できるように構成した液圧流量制御弁における位
   置検出器。
5. 【請求項５】 液圧流量制御弁において、スプール（１
   １）の中心部に、軸方向に穿設した穴の内周に非磁性導
   電体（１４）を嵌着して固着し、その内側に隙間をもた
   せてコイル（１）を挿入して配置し、コイル（１）を制
   御弁の固定側（例えばボディ（１２））にコイル固定体
   （１６）により固着し、制御弁に供給された液流体がト
   ルクモータ部（１３）によりスプール（１１）の両端に
   面圧力差を発生させ、この面圧力差によってスプール
   （１１）すなわち非磁性導電体（１４）がコイル（１）
   の外周を移動したとき、コイル（１）と非磁性導電体
   （１４）間の重合距離（１０）又は面積が変化するよう
   に構成し、このコイル（１）に短波形を印加すると、非
   磁性導電体（１４）の移動に応じて重合距離（１０）又
   は面積が変化するため、コイル（１）と非磁性導電体
   （１４）間の渦電流損およびインダクタンスが変化し
   て、短波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減
   衰状態を観測して非磁性導電体（１４）の移動距離すな
   わちスプール（１１）の移動距離あるいはスプール（１
   １）の位置を検出できるように構成した液圧流量制御弁
   における位置検出器。
6. 【請求項６】 液圧流量制御弁において、スプール（１
   １）の中心部に軸方向に穿設し、さらにその中心部に導
   電体（２）又は磁性体を固着し、導電体（２）又は磁性
   体の外周に隙間をもたせてコイル（１）を被嵌して配置
   し、コイル（１）を制御弁の固定側（例えばボディ（１
   ２））にコイル固定体（１６）により固着し、制御弁に
   供給された液流体がトルクモータ部（１３）によりスプ
   ール（１１）の両端に面圧力差を発生させ、この面圧力
   差によってスプール（１１）すなわち導電体（２）又は
   磁性体がコイル（１）の内周を移動したとき、コイル
   （１）と導電体（２）又は磁性体間の重合距離（１０）
   又は面積が変化するように構成し、このコイル（１）に
   短波形を印加すると、スプール（１１）すなわち導電体
   （２）又は磁性体の移動に応じて重合距離（１０）又は
   面積が変化するため、コイル（１）と導電体（２）又は
   磁性体間の渦電流損およびインダクタンスが変化して、
   短波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状
   態を観測して導電体（２）又は磁性体の移動距離すなわ
   ちスプール（１１）の移動距離あるいはスプール（１
   １）の位置を検出できるように構成した液圧流量制御弁
   における位置検出器。
7. 【請求項７】 請求項１〜６の液圧流量制御弁における
   位置検出器において、コイル（１）の一端に抵抗
   （６）、バッファ（７）、フリップフロップ素子
   （８）、固定周波数パルス発振器（９）を接続し、コイ
   ル（１）の他端をヒステリシスを有するしきい値を備え
   たコンパレータ（５）の入力側に接続し、コンパレータ
   （５）の出力側はフリップフロップ素子（８）のリセッ
   ト部に接続し、コイル（１）とコンパレータ（５）間に
   コンデンサ（４）を接続し、その他極はグランド（３）
   に接地させ、スプールの移動に応じてコイル（１）の内
   周部（または外周部）を移動する導電体（２）または磁
   性体（あるいは非磁性導電体（１４））を設け、コイル
   （１）と導電体（２）または磁性体（あるいは非磁性導
   電体（１４））との距離、あるいは重合距離（１０）ま
   たは重合面積に応じてコイル（１）のインダクタンスが
   変化するように構成し、固定周波数パルス発振器（９）
   による基準タイミングでコイル（１）に電圧を印加し、
   コイル（１）のインダクタンス、抵抗（６）、およびコ
   ンデンサ（４）によって決まる時定数でコンデンサ
   （４）に充電をおこない、その充電電圧がある一定の電
   圧（コンパレータ（５）の高電圧側のしきい値ＶＨ）に
   達するまでの時間を計測するか、またはその後、フリッ
   プフロップ素子（８）をリセットしバッファ（７）の出
   力をローレベルにすることで、コンデンサ（４）を放電
   させ、その電圧がある一定の電圧（コンパレータ（５）
   の低電圧側のしきい値ＶＬ）に達するまでの時間を計測
   するか、あるいは、ＶＨに達してからＶＬに達するまで
   の時間を計測し、この時間をスプール（１１）の移動距
   離あるいはスプール（１１）の位置として検出する液圧
   流量制御弁における位置検出器。
8. 【請求項８】 請求項１〜６の液圧流量制御弁における
   位置検出器において、コイル（１）の一端に抵抗
   （６）、コンデンサ（４）を接続し、コンデンサ（４）
   の他極はグランドに接続し、コイル（１）の他端に電圧
   変換部（２１）を接続し、抵抗（６）とコンデンサ
   （４）の間と電圧変換部（２１）の間にヒステリシスを
   有するしきい値を備えた反転出力のコンパレータ（５）
   を接続して、コンパレータ（５）の出力を発振させ、ス
   プールの移動に対応したコイル（１）の内周部（または
   外周部）を移動する導電体（２）または磁性体（あるい
   は非磁性導電体（１４））を設け、コイル（１）と導電
   体（２）または磁性体（あるいは非磁性導電体（１
   ４））との距離、あるいは重合距離（１０）または重合
   面積に応じてコイル（１）のインダクタンスが変化する
   ように構成したとき、コイル（１）と抵抗（６）を合せ
   たインピーダンスが変化するため、コンデンサ（４）の
   充放電の時間が変化し、それによりコンパレータ（５）
   の出力の発振周期が変化するので、その周期を観測し、
   この周期の変化をスプール（１１）の移動距離あるいは
   スプール（１１）の位置として検出する液圧流量制御弁
   における位置検出器。