JP2003327931A - Adhesive substrate having heat radiation plate for fixing lead frame - Google Patents

Adhesive substrate having heat radiation plate for fixing lead frame

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JP2003327931A
JP2003327931A JP2002138107A JP2002138107A JP2003327931A JP 2003327931 A JP2003327931 A JP 2003327931A JP 2002138107 A JP2002138107 A JP 2002138107A JP 2002138107 A JP2002138107 A JP 2002138107A JP 2003327931 A JP2003327931 A JP 2003327931A
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thermoplastic polyimide
lead frame
fixing
dianhydride
polyimide layer
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JP2002138107A
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正尚 小林
Minehiro Mori
峰寛 森
Yoichi Kodama
洋一 児玉
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Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Chemicals Inc
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Publication date
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  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive substrate having a heat radiation plate, having a thermoplastic polyimide excellent in heat resistance after absorbing moisture and fixing the tip end of a lead frame. <P>SOLUTION: This adhesive substrate having the heat radiation plate for fixing the lead frame obtained by laminating a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer in this order on the one side surface of a metal plate becoming the heat radiation plate is characterized by using 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (hereinafter abbreviated sometimes as APB) as a diamine component and 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride (hereinafter abbreviated sometimes as BTDA) as a tetracarboxylic acid dianhydride component of the resin for forming the thermoplastic polyimide layer by 0.900-0.998 molar using ratio of (tetracarboxylic acid dianhydride/APB). <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、吸湿後の耐熱性に
優れた熱可塑性ポリイミドを有し、リードフレーム先端
を固定することを特徴とする金属積層体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal laminate having a thermoplastic polyimide having excellent heat resistance after absorbing moisture and fixing the tip of a lead frame.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体チップの高集積化にともな
い、リードフレームとチップのワイヤーボンディングの
際に高い位置精度が要求され、これを解決するためにリ
ードフレームの外枠を熱硬化性接着剤を用いた耐熱性テ
ープで固定するという方法が用いられている。しかしな
がら、この方法ではワイヤーボンディングの際に接着剤
よりアウトガスが発生し、リードフレームを汚染する問
題がある。また、更なるチップの他ピン化に伴う、リー
ドフレーム先端の狭いピッチ化へ適応する、つまり、リ
ードフレームがばらつかないように先端を固定する必要
がある場合、この方法ではリードフレームの先端固定に
は適用が困難であった。
2. Description of the Related Art In recent years, with the high integration of semiconductor chips, high positional accuracy has been required during wire bonding of the lead frame and the chip. In order to solve this, the outer frame of the lead frame has a thermosetting adhesive. A method of fixing with a heat resistant tape using is used. However, this method has a problem that outgas is generated from the adhesive during wire bonding and the lead frame is contaminated. In addition, if the lead frame tip is adapted to a narrower pitch due to further pinning of the chip, that is, it is necessary to fix the tip so that the lead frame does not fluctuate, this method fixes the tip of the lead frame. Was difficult to apply to.

【0003】一方、チップの発熱による回路の誤動作や
信頼性低下が問題となっており、これらを防止する方法
として、熱伝導率の良い金属等を放熱板としてダイパッ
ド、及びインナーリードの裏面に接着してチップで発生
する熱を外部に放熱させるヒートスプレッダー付きパッ
ケージが開発され実用化されている。
On the other hand, there is a problem of circuit malfunction and reliability deterioration due to heat generation of the chip, and as a method of preventing them, a metal or the like having a high thermal conductivity is used as a heat dissipation plate to be bonded to the back surface of the die pad and the inner lead. Then, a package with a heat spreader for releasing the heat generated by the chip to the outside has been developed and put into practical use.

【0004】放熱板の接着は、両面接着剤付きフィル
ム、もしくは塗布タイプの接着剤を用い、ダイパッド裏
面やインナーリードのボンディング面と反対面に貼り付
けられている。しかしながら、両面接着剤付きフィルム
を用いる方法では、フィルムの材料費が高く、しかも接
着フィルムを放熱板に接着させてからリードフレームに
貼り合わせる工程も必要となるため、生産コストが高
く、通常の半導体装置には適用し難かった。一方塗布タ
イプの接着剤を用いる方法では、スクリーン印刷等の特
殊な方法で接着剤層を塗工するため作業が煩雑になり、
各工程での汚染の問題が発生し、生産コストの面のみな
らず品質上の問題点もあった。
The heat radiating plate is adhered to the back surface of the die pad and the surface opposite to the bonding surface of the inner lead by using a double-sided adhesive film or a coating type adhesive. However, in the method using the film with the double-sided adhesive, the material cost of the film is high, and moreover, the step of adhering the adhesive film to the heat dissipation plate and then adhering it to the lead frame is also required, so that the production cost is high and the ordinary semiconductor It was difficult to apply to the device. On the other hand, in the method using a coating type adhesive, the work is complicated because the adhesive layer is applied by a special method such as screen printing,
There was a problem of contamination in each process, and there were not only production costs but also quality problems.

【0005】これらの問題を解決する方法として、特開
平5−218284号公報に放熱板用の金属箔に接着剤
層を形成し、その後所定の形状に加工し、インナーリー
ドフレームに圧着する方法が提案されている。しかしな
がら、この方法では製造工程は簡略化されるものの、接
着剤を開示するものではなく、通常の熱硬化接着剤を用
いた場合は、接着剤層付き銅箔をリードフレームに接着
する時やワイヤーボンディングの際には、接着剤よりア
ウトガスが発生し、リードフレームを汚染する問題が発
生する。また、一般的な熱可塑性樹脂を用いた場合は、
耐リフロー性が悪いばかりか、ワイヤーボンド時に接着
剤層が軟らかくなり、リードフレームのインナーリード
部が接着剤層中に沈み込み、銅箔と接触し、絶縁性低下
やショートの原因となる。
As a method of solving these problems, Japanese Patent Laid-Open No. 5-218284 discloses a method of forming an adhesive layer on a metal foil for a heat sink, processing it into a predetermined shape, and then crimping it to an inner lead frame. Proposed. However, although this method simplifies the manufacturing process, it does not disclose an adhesive, and when a normal thermosetting adhesive is used, when a copper foil with an adhesive layer is bonded to a lead frame or a wire is used. At the time of bonding, outgas is generated from the adhesive, which causes a problem of contaminating the lead frame. When a general thermoplastic resin is used,
Not only is the reflow resistance poor, but the adhesive layer becomes soft during wire bonding, and the inner lead portions of the lead frame sink into the adhesive layer and come into contact with the copper foil, resulting in reduced insulation and short circuits.

【0006】これらの接着剤はインナーリード材料であ
る銅合金からの銅イオンのマイグレーションを引き起こ
し易く、長期信頼性という点でも問題を抱えているた
め、大幅な改善が望まれている。一方、特開平7−23
5626号公報には接着層としてポリイミドを用いてい
るが、吸湿後の耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A11
3-A LEVEL1:85℃・85%RHで168時間処理後、22
0℃リフローソルダー3サイクル後の基板の異常がある
ものもあり、信頼性の面で問題もあった。
Since these adhesives easily cause migration of copper ions from the copper alloy as the inner lead material and have a problem in terms of long-term reliability, a great improvement is desired. On the other hand, JP-A-7-23
Although polyimide is used as an adhesive layer in Japanese Patent No. 5626, heat resistance after absorbing moisture JEDEC STANDARD TEST METHOD A11
3-A LEVEL1: After treatment at 85 ℃ ・ 85% RH for 168 hours, 22
There were some abnormalities in the substrate after 3 cycles of 0 ° C. reflow soldering, and there was a problem in terms of reliability.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題に鑑み、吸湿後の耐熱性に優れた熱可塑性ポリイミ
ドを有し、リードフレーム先端を固定する放熱板付き接
着基材を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an adhesive base material with a heat dissipation plate, which has a thermoplastic polyimide excellent in heat resistance after absorbing moisture and which fixes the lead frame tip. That is.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決するために鋭意検討を重ねた結果、放熱板となる
金属板の片面に非熱可塑性ポリイミド層、熱可塑性ポリ
イミド層の順に積層する放熱板付きリードフレーム固定
用接着基材において、熱可塑性ポリイミド層を形成する
樹脂のジアミン成分として1,3−ビス(3−アミノフ
ェノキシ)ベンゼン(以下APBと略す)、テトラカル
ボン酸二無水物成分として、3,3’,4,4’−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下BTDAと
略す)を含有するテトラカルボン酸二無水物を用い、そ
の使用モル比(テトラカルボン酸二無水物/APB)が
0.900〜0.998の場合、温度85℃、湿度85
%RH環境下で168時間放置した後のはんだ耐熱温度
が220℃以上であることを見出し、本発明を完成し
た。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above problems, and as a result, a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer are formed in this order on one surface of a metal plate to be a heat dissipation plate. In a laminated adhesive base material for fixing a lead frame with a heat sink, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (hereinafter abbreviated as APB) as a diamine component of a resin forming a thermoplastic polyimide layer, tetracarboxylic acid dianhydride As a product component, a tetracarboxylic dianhydride containing 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter abbreviated as BTDA) is used, and its molar ratio (tetracarboxylic dianhydride is used. / APB) is 0.900 to 0.998, the temperature is 85 ° C and the humidity is 85.
The present invention was completed by finding that the soldering heat resistance temperature is 220 ° C. or higher after being left for 168 hours in the% RH environment.

【0009】即ち、本発明は、放熱板となる金属板の片
面に非熱可塑性ポリイミド層、熱可塑性ポリイミド層の
順に積層する放熱板付きリードフレーム固定用接着基材
において、熱可塑性ポリイミド層を形成する樹脂のジア
ミン成分として1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)
ベンゼン(以下APBと略すことがある)、テトラカル
ボン酸二無水物成分として、3,3’,4,4’−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下BTDAと
略すことがある)を含有するものを用い、その使用モル
比(テトラカルボン酸二無水物/APB)が0.900
〜0.998であることを特徴とする放熱板付きリード
フレーム固定用接着基材を提供するものである。
That is, according to the present invention, the thermoplastic polyimide layer is formed in the adhesive base material for fixing the lead frame with the heat radiating plate, in which the non-thermoplastic polyimide layer and the thermoplastic polyimide layer are laminated in this order on one surface of the metal plate to be the heat radiating plate. 1,3-bis (3-aminophenoxy) as diamine component of resin
Benzene (hereinafter sometimes abbreviated as APB) and tetracarboxylic dianhydride component containing 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as BTDA) And the molar ratio (tetracarboxylic dianhydride / APB) used is 0.900.
The present invention provides an adhesive base material for fixing a lead frame with a heat dissipation plate, wherein the adhesive base material has a heat conductivity of 0.998.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明は、放熱板となる金属板の片面にリードフレーム
のインナーリード部が接着剤層中に沈み込み、金属板と
接触し、絶縁性低下やショートの発生を抑えるために非
熱可塑性ポリイミドを積層し、接着層を形成する非熱可
塑性ポリイミドが積層された放熱板付きリードフレーム
固定用接着基材であり、積層される熱可塑性ポリイミド
層のジアミン成分としてAPB、テトラカルボン酸二無
水物としてBTDAを用いることが重要である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below.
The present invention, the inner lead portion of the lead frame is sunk into the adhesive layer on one surface of the metal plate to be a heat dissipation plate, contact with the metal plate, non-thermoplastic polyimide in order to suppress the occurrence of insulation deterioration and short circuit An adhesive base material for fixing a lead frame with a heat sink, in which non-thermoplastic polyimide is laminated to form an adhesive layer. APB is used as the diamine component of the laminated thermoplastic polyimide layer, and BTDA is used as the tetracarboxylic dianhydride. Is important to use.

【0011】熱可塑性ポリアミド酸またはポリイミドの
製造方法の一例を以下に述べる。先ず撹拌機、還流冷却
機および窒素導入管を備えた容器中で、ジアミン類を有
機溶剤に溶解する。次に、この溶液に窒素雰囲気下にお
いて芳香族テトラカルボン酸二無水物をジアミンに対し
て0.900〜0.998モル当量になるように添加
し、好ましくは0〜90℃で24時間撹拌してポリアミ
ド酸溶液を得る。このポリアミド酸溶液を好ましくは1
00〜200℃で撹拌、反応脱水することによりポリイ
ミド溶液を得る。これらのポリアミド酸溶液およびポリ
イミド溶液は粘度調節のために、有機溶剤にて希釈して
も差し支えない。
An example of the method for producing the thermoplastic polyamic acid or polyimide will be described below. First, diamines are dissolved in an organic solvent in a container equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen introducing pipe. Next, an aromatic tetracarboxylic dianhydride was added to this solution in a nitrogen atmosphere so as to be 0.900 to 0.998 molar equivalents to the diamine, and preferably stirred at 0 to 90 ° C. for 24 hours. A polyamic acid solution is obtained. This polyamic acid solution is preferably 1
A polyimide solution is obtained by stirring and reaction dehydration at 00 to 200 ° C. These polyamic acid solution and polyimide solution may be diluted with an organic solvent in order to adjust the viscosity.

【0012】本発明の放熱板付きリードフレーム固定用
基材を作製するには、上述した熱可塑性ポリイミド系樹
脂を含有する溶液、あるいは、その前駆体であるポリア
ミド酸を含有する溶液は芳香族テトラカルボン酸二無水
物をジアミンに対して0.900〜0.998モル当量
とすることが重要である。これは、0.900未満であ
るとフィルム形成が困難になり、0.998を超える範
囲では分子量が増大し、重合時の粘度が高くなるため、
重合不良が生ずる。また、1.0を超えるようであれ
ば、ガラス転移点以上での分子量が低下し、つまり、弾
性率が低下するため、はんだ耐熱試験で発生するパッケ
ージ中の水蒸気圧に負けてしまい、樹脂内部に膨れが生
ずる。
To produce the base material for fixing the lead frame with the heat sink of the present invention, a solution containing the above-mentioned thermoplastic polyimide resin or a solution containing the polyamic acid as a precursor thereof is aromatic tetra It is important to set the carboxylic acid dianhydride to 0.900 to 0.998 molar equivalent with respect to the diamine. This is because if it is less than 0.900, it becomes difficult to form a film, and if it exceeds 0.998, the molecular weight increases and the viscosity during polymerization increases.
Poor polymerization occurs. On the other hand, if it exceeds 1.0, the molecular weight at the glass transition point or more is lowered, that is, the elastic modulus is lowered, so that it loses the water vapor pressure in the package generated in the solder heat resistance test, and Swelling occurs.

【0013】尚、熱可塑性ポリイミドのテトラカルボン
酸二無水物成分は、BTDAの他に、3,3’,4,
4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下BP
DAと略すことがある)を、モル比(BTDA:BPD
A)が、10:90〜100:0の範囲で用いることも
可能である。
The tetracarboxylic dianhydride component of the thermoplastic polyimide is 3,3 ', 4, in addition to BTDA.
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter BP
DA is sometimes abbreviated as a molar ratio (BTDA: BPD
It is also possible to use A) in the range of 10:90 to 100: 0.

【0014】非熱可塑性ポリイミドの製造方法の一例を
挙げると、ジアミン成分として、p−フェニレンジアミ
ン(以下、PPDと略す場合がある)、4,4-ジアミ
ノビフェニルエーテル、4,4’−ビス(3−アミノフ
ェノキシ)ビフェニル等を用い、テトラカルボン酸成分
として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、ピロメリット酸無水物等を使用し、N,
N’-ジメチルアセトアミドとN−メチル−2−ピロリド
ン混合溶媒等に溶解し混合し、23℃、6時間程度反応
させる方法を挙げることができる。
As an example of the method for producing a non-thermoplastic polyimide, p-phenylenediamine (hereinafter sometimes abbreviated as PPD), 4,4-diaminobiphenyl ether, 4,4′-bis (diamine component) is used as a diamine component. 3-aminophenoxy) biphenyl or the like is used, and as the tetracarboxylic acid component, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, or the like is used.
There may be mentioned a method in which N′-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone are mixed and dissolved in a mixed solvent and reacted at 23 ° C. for about 6 hours.

【0015】非熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液を製造
する際のアミノ成分としては、フェニレンジアミン及び
ジアミノフェニルエーテルから選ばれた少なくとも一種
のジアミンが挙げられ、好ましくは、PPD、4,4-
ジアミノビフェニルエーテル(以下、ODAと略記する
ことがある)、4,4’−ビス(3−アミノフェノキ
シ)ビフェニル(以下、m−BAと略記することがあ
る)等が挙げられる。
The amino component used in producing the precursor solution of the non-thermoplastic polyimide includes at least one diamine selected from phenylenediamine and diaminophenyl ether, and preferably PPD, 4,4-
Examples thereof include diaminobiphenyl ether (hereinafter sometimes abbreviated as ODA), 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl (hereinafter sometimes abbreviated as m-BA), and the like.

【0016】非熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液を製造
する際の酸無水物成分としては、ピロメリット酸二無水
物(以下、PMDAと略記することがある)、ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物から選ばれた少なくとも一
種のテトラカルボン酸二無水物を例示することができ
る。好ましくは3,3’,4,4’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、ピロメリット酸無水物等が例示で
きる。
The acid anhydride component for producing the precursor solution of the non-thermoplastic polyimide is selected from pyromellitic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as PMDA) and biphenyltetracarboxylic dianhydride. It is possible to exemplify at least one kind of tetracarboxylic acid dianhydride. Preferred examples include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride.

【0017】本発明の放熱板付きリードフレーム固定用
基材を作製するには、非熱可塑性ポリイミド系樹脂を含
有する溶液、あるいは、その前駆体であるポリアミド酸
を含有する溶液を、金属箔に塗布し乾燥すれば良い。本
発明に使用される非熱可塑性ポリイミドの厚みの範囲は
好ましくは3〜100μmの範囲であるが、最終的に放
熱板として機能させるのであれば、その厚みは5μm以
上20μm以下がより好ましい。3μm未満では金属箔
の表面粗度を覆うことができないため、ワイヤーボンデ
ィング時に金属箔と導通を起こすことがある。
To prepare the lead frame fixing base material with a heat sink of the present invention, a solution containing a non-thermoplastic polyimide resin or a solution containing a precursor thereof, polyamic acid, is applied to a metal foil. It can be applied and dried. The thickness range of the non-thermoplastic polyimide used in the present invention is preferably in the range of 3 to 100 μm, but the thickness is more preferably 5 μm or more and 20 μm or less if it finally functions as a heat dissipation plate. If the thickness is less than 3 μm, the surface roughness of the metal foil cannot be covered, and thus the metal foil may become conductive during wire bonding.

【0018】本発明の放熱板付きリードフレーム固定用
基材を作製するには、上述した熱可塑性ポリイミド系樹
脂を含有する溶液、あるいは、その前駆体であるポリア
ミド酸を含有する溶液を、熱可塑性ポリイミド上に塗布
し乾燥すれば良い。本発明に使用される熱可塑性ポリイ
ミドの厚みは、好ましくは5〜100μmの範囲である
が、最終的に放熱板として機能させるのであれば、その
厚みは5μm以上20μm以下がより好ましい。5μm
未満ではワイヤーボンディング時に熱可塑性ポリイミド
との十分な接着力が発現しない場合がある。
To produce the base material for fixing the lead frame with the heat sink of the present invention, a solution containing the above-mentioned thermoplastic polyimide resin or a solution containing the precursor polyamic acid is thermoplastic. It may be applied on the polyimide and dried. The thickness of the thermoplastic polyimide used in the present invention is preferably in the range of 5 to 100 μm, but if it finally functions as a heat sink, the thickness is more preferably 5 μm or more and 20 μm or less. 5 μm
If the amount is less than the above, sufficient adhesive force with the thermoplastic polyimide may not be exhibited during wire bonding.

【0019】本発明に使用される金属箔の厚みの範囲
は、好ましくは3μm〜200μmであるが、最終的に
は放熱板として機能させるのであれば、その厚みは50
μm以上がより好ましい。金属箔厚みの上限は、ポリイ
ミド系樹脂を連続的に塗布することを考えると、200
μm程度である。金属箔の種類としては、公知の金属
箔、具体的には銅、ニッケル、アルミニウム、ステンレ
ス鋼、合金箔全てが適用可能であるが、圧延銅箔、電解
銅箔、銅合金箔、ステンレス箔が、コスト面、熱伝導
性、剛性等の観点から好適である。
The thickness range of the metal foil used in the present invention is preferably 3 μm to 200 μm, but if it finally functions as a heat sink, the thickness is 50.
It is more preferably at least μm. The upper limit of the metal foil thickness is 200, considering that polyimide resin is continuously applied.
It is about μm. As the type of metal foil, known metal foils, specifically, copper, nickel, aluminum, stainless steel, and alloy foils are all applicable, but rolled copper foils, electrolytic copper foils, copper alloy foils, and stainless steel foils are available. It is suitable from the viewpoints of cost, heat conductivity, rigidity, and the like.

【0020】ポリアミド酸を塗工する金属箔面は、粘着
力を向上させるために、銅箔の表面処理などでよく行な
われる電解メッキにより粒子を付着させたり、交流エッ
チングなどを行なう。
On the metal foil surface to which the polyamic acid is applied, in order to improve the adhesive strength, particles are attached by electrolytic plating which is often carried out in the surface treatment of copper foil and AC etching is carried out.

【0021】金属箔上あるいはポリイミドフィルム上に
本発明のポリイミド溶液またはポリアミド酸溶液を塗布
・乾燥させる方法には特に限定はなく、従来公知のコン
パコーター、Tダイ、ロールコーター、ナイフコータ
ー、リバースコーターなどの塗布装置を使用して、塗布
し、十分な時間と温度をかけて加熱乾燥し、硬化させれ
ばよい。
The method of coating and drying the polyimide solution or polyamic acid solution of the present invention on a metal foil or a polyimide film is not particularly limited, and conventionally known compa coater, T-die, roll coater, knife coater, reverse coater. It may be applied by using an application device such as the above, heated and dried for a sufficient time and temperature, and cured.

【0022】乾燥後のイミド化方法は、イナートオーブ
ンによるバッチ法でも、イミド化炉による連続式でも、
公知の方法が用いられ、特にその方法、条件に制限はな
いが、好ましくはイミド化炉による連続式である。イミ
ド化は通常200〜450℃で行われ、溶剤含有量がポ
リイミド100重量部に対して0.5重量部を超えない
範囲までイミド化する。
The imidization method after drying may be a batch method using an inert oven or a continuous method using an imidizing furnace.
A known method is used, and the method and conditions are not particularly limited, but a continuous method using an imidization furnace is preferable. The imidization is usually carried out at 200 to 450 ° C., and the imidization is carried out to the range where the solvent content does not exceed 0.5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide.

【0023】[0023]

【実施例】合成例1 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てABP10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA9.0モルをそれぞれ秤量し、N,N−ジメチル
アセトアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間反
応した。反応後の固形分濃度は30重量%であった。得
られたポリアミック酸の粘度は2000cpsであり、
塗工に適したものであった。
EXAMPLES Synthesis Example 1 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of ABP as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
Each 9.0 mol of TDA was weighed, mixed in a N, N-dimethylacetamide solvent, and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 30% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid is 2000 cps,
It was suitable for coating.

【0024】合成例2 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA9.4をそれぞれ秤量し、N,N−ジメチルアセ
トアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間反応し
た。反応後の固形分濃度は30重量%であった。得られ
たポリアミック酸の粘度は4000cpsであり、塗工
に適したものであった。
Synthesis Example 2 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of APB as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
TDA9.4 was weighed and mixed in a N, N-dimethylacetamide solvent and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 30% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid was 4000 cps, which was suitable for coating.

【0025】合成例3 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA9.98モルをそれぞれ秤量し、N,N−ジメチ
ルアセトアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間
反応した。反応後の固形分濃度は20重量%であった。
得られたポリアミック酸の粘度は30000cpsであ
り、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 3 <Synthesis of thermoplastic polyimide precursor> 10 mol of APB as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
Each 9.98 mol of TDA was weighed, mixed in an N, N-dimethylacetamide solvent, and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 20% by weight.
The viscosity of the obtained polyamic acid was 30,000 cps, which was suitable for coating.

【0026】合成例4 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てABP10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA9.5モルをそれぞれ秤量し、N,N−ジメチル
アセトアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間反
応した。反応後の固形分濃度は30重量%であった。得
られたポリアミック酸の粘度は7000cpsであり、
塗工に適したものであった。
Synthesis Example 4 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of ABP as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride.
Each of 9.5 mol of TDA was weighed, mixed in an N, N-dimethylacetamide solvent, and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 30% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid is 7000 cps,
It was suitable for coating.

【0027】合成例5 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA4.85、BPDA4.85モルをそれぞれ秤量
し、N,N−ジメチルアセトアミド溶媒中で混合し、4
0℃において4時間反応した。反応後の固形分濃度は3
0重量%であった。得られたポリアミック酸の粘度は9
000cpsであり、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 5 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of APB as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
4.85 mol of TDA and 4.85 mol of BPDA were weighed and mixed in an N, N-dimethylacetamide solvent, and 4
The reaction was carried out at 0 ° C for 4 hours. The solid content concentration after the reaction is 3
It was 0% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid is 9
It was 000 cps and was suitable for coating.

【0028】合成例6 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA2.75、BPDA7.0モルをそれぞれ秤量
し、N,N−ジメチルアセトアミド溶媒中で混合し、4
0℃において4時間反応した。反応後の固形分濃度は3
0重量%であった。得られたポリアミック酸の粘度は8
000cpsであり、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 6 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of APB as diamine component and B as tetracarboxylic dianhydride
2.75 mol of TDA and 7.0 mol of BPDA were weighed and mixed in a N, N-dimethylacetamide solvent, and 4
The reaction was carried out at 0 ° C for 4 hours. The solid content concentration after the reaction is 3
It was 0% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid is 8
It was 000 cps and was suitable for coating.

【0029】合成例7 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
TDA10.5モルをそれぞれ秤量し、N,N−ジメチ
ルアセトアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間
反応した。反応後の固形分濃度は30重量%であった。
得られたポリアミック酸の粘度は18000cpsであ
り、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 7 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of APB as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
10.5 mol of TDA was weighed and mixed in a N, N-dimethylacetamide solvent, and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 30% by weight.
The viscosity of the obtained polyamic acid was 18,000 cps, which was suitable for coating.

【0030】合成例8 <熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分とし
てAPB10モル、テトラカルボン酸二無水物としてB
PDA9.8モルをそれぞれ秤量し、N,N−ジメチル
アセトアミド溶媒中で混合し、40℃において4時間反
応した。反応後の固形分濃度は30重量%であった。得
られたポリアミック酸の粘度は18000cpsであ
り、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 8 <Synthesis of Thermoplastic Polyimide Precursor> 10 mol of APB as a diamine component and B as a tetracarboxylic dianhydride
Each 9.8 mol of PDA was weighed, mixed in an N, N-dimethylacetamide solvent, and reacted at 40 ° C. for 4 hours. The solid content concentration after the reaction was 30% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid was 18,000 cps, which was suitable for coating.

【0031】合成例9 <非熱可塑性ポリイミド前駆体の合成>ジアミン成分と
して、PPDを7.7モル、ODAを1.15モル、m
−BPを1.15モル秤量した。テトラカルボン酸成分
として、BPDAを5.4モル、PMDAを4.45モ
ル秤量した。N,NジメチルアセトアミドとN−メチル−
2−ピロリドン混合溶媒に溶解し混合した。溶媒の比率
は、前者23重量%、後者77重量%であった。反応温
度、時間は、23℃、6時間であった。また、反応時の
固形分濃度は、20重量%である。得られたポリアミッ
ク酸ワニスの粘度は25℃において20000cpsで
あり、塗工に適したものであった。
Synthesis Example 9 <Synthesis of Non-Thermoplastic Polyimide Precursor> As the diamine component, 7.7 mol of PPD, 1.15 mol of ODA and m
1.15 mol of BP was weighed. As tetracarboxylic acid components, 5.4 mol of BPDA and 4.45 mol of PMDA were weighed. N, N dimethylacetamide and N-methyl-
It was dissolved in a 2-pyrrolidone mixed solvent and mixed. The solvent ratio was 23% by weight of the former and 77% by weight of the latter. The reaction temperature and time were 23 ° C. and 6 hours. The solid content concentration during the reaction is 20% by weight. The viscosity of the obtained polyamic acid varnish was 20000 cps at 25 ° C., which was suitable for coating.

【0032】実施例1 市販の銅箔(ジャパンエナジー(株)製、商品名:BH
Y−22B−T、厚み:18μm)の片面に、コーター
ドライヤーを用いて、合成例9のポリアミック酸を塗布
し、60℃〜200℃で6分間乾燥し、その上に合成例
1のポリアミック酸を塗布し、60℃〜200℃で5分
間乾燥し、次いで、200〜270℃で2分間キュアを
行い、ポリイミド層を形成し、片面銅張積層板を作製し
た。塗布厚みは、乾燥・キュア後に非熱可塑性ポリイミ
ド層が5μm、熱可塑性ポリイミド層が30μmとなる
ようにした。得られた片面銅張積層板とリードフレーム
材として、42アロイ(日立金属株式会社製、YEF4
2)を、パルスボンダー(ケル株式会社製、TC−13
20UD)を用いて、300℃、30kg/cm2、1
秒で加熱圧着した。得られた試験片を用い、IPC−T
M−650method、2,4,9に従って90°剥
離試験を行った。その結果、42アロイとの剥離接着強
度は1.62kg/cmであった。一方、得られた試験
片を用い、エポキシ系封止樹脂でトランスファーモール
ドし、試料を作製した。このようにして得られた試験片
は、吸湿後の耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-
A LEVEL1:85℃・85%RHで168時間処理後、220
℃リフローソルダー3サイクル後の基板の異常有無につ
いて、断面観察によって確認したところ、異常は確認さ
れなかった。試料の異常有無について、結果を表1に示
す。
Example 1 Commercially available copper foil (manufactured by Japan Energy Co., Ltd., trade name: BH)
Y-22B-T, thickness: 18 μm), the polyamic acid of Synthesis Example 9 was applied to one surface of the polyamic acid of Synthesis Example 1 using a coater dryer and dried at 60 ° C. to 200 ° C. for 6 minutes. Was applied, dried at 60 ° C. to 200 ° C. for 5 minutes, and then cured at 200 to 270 ° C. for 2 minutes to form a polyimide layer, thereby producing a single-sided copper-clad laminate. The coating thickness was such that the non-thermoplastic polyimide layer had a thickness of 5 μm and the thermoplastic polyimide layer had a thickness of 30 μm after drying and curing. As the obtained single-sided copper-clad laminate and lead frame material, 42 alloy (YEF4 manufactured by Hitachi Metals, Ltd.)
2) is a pulse bonder (TC-13, manufactured by Kell Co., Ltd.)
20 UD) at 300 ° C., 30 kg / cm 2 , 1
It was thermocompression bonded in seconds. Using the obtained test piece, IPC-T
A 90 ° peel test was performed according to M-650method, 2, 4, 9. As a result, the peel adhesion strength with 42 alloy was 1.62 kg / cm. On the other hand, the obtained test piece was used for transfer molding with an epoxy-based sealing resin to prepare a sample. The test piece thus obtained is heat-resistant after absorbing moisture JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-
A LEVEL1: 220 ° C ・ 85% RH, after processing for 168 hours, 220
The presence or absence of abnormality of the substrate after 3 cycles of the reflow soldering process at ℃ was confirmed by cross-section observation, but no abnormality was confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal.

【0033】実施例2 市販の銅箔を日本電解製、商品名:SLP−105W
B、厚み:105μmにし、熱可塑性ポリイミドとして
合成例2のポリアミック酸を使用し、塗布厚みが乾燥・
キュア後に非熱可塑性ポリイミド層が10μm、熱可塑
性ポリイミド層が20μmとなるようにした以外は実施
例1と同様に封止樹脂付き片面銅張積層板を作製した。
このようにして得られた封止樹脂付き片面銅張積層板
は、吸湿後の耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-
A LEVEL1:85℃・85%RHで168時間処理後、220
℃リフローソルダー3サイクル後の基板の異常有無につ
いて、断面観察によって確認したところ、異常は確認さ
れなかった。試料の異常有無について、結果を表1に示
す。一方、42アロイとの剥離接着強度は1.39kg
/cmであった。
Example 2 Commercially available copper foil manufactured by Nippon Denshoku Co., Ltd., trade name: SLP-105W
B, thickness: 105 μm, the polyamic acid of Synthesis Example 2 was used as the thermoplastic polyimide, and the coating thickness was dry.
A single-sided copper-clad laminate with a sealing resin was produced in the same manner as in Example 1 except that the non-thermoplastic polyimide layer had a thickness of 10 μm and the thermoplastic polyimide layer had a thickness of 20 μm after curing.
The one-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained has heat resistance after moisture absorption JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-
A LEVEL1: 220 ° C ・ 85% RH, after processing for 168 hours, 220
The presence or absence of abnormality of the substrate after 3 cycles of the reflow soldering process at ℃ was confirmed by cross-section observation, but no abnormality was confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy is 1.39 kg.
Was / cm.

【0034】実施例3 実施例2における銅箔の代わりにステンレス箔(日本金
属株式会社製、商品名:SUS301EH−TA、厚
み:60μm厚)にし、熱可塑性ポリイミドとして合成
例3のポリアミック酸を使用し、塗布厚みが乾燥・キュ
ア後に非熱可塑性ポリイミド層が20μm、熱可塑性ポ
リイミド層が5μmとなるようにした以外は実施例1と
同様に封止樹脂付き片面銅張積層板を作製した。このよ
うにして得られた封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿
後の耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL
1:85℃・85%RHで168時間処理後、220℃リフ
ローソルダー3サイクル後の基板の異常有無について、
断面観察によって確認したところ、異常は確認されなか
った。試料の異常有無について、結果を表1に示す。一
方、42アロイとの剥離接着強度は1.52kg/cm
であった。
Example 3 Instead of the copper foil in Example 2, stainless steel foil (manufactured by Nippon Metal Co., Ltd., trade name: SUS301EH-TA, thickness: 60 μm thickness) was used, and the polyamic acid of Synthesis Example 3 was used as the thermoplastic polyimide. Then, a single-sided copper-clad laminate with a sealing resin was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating thickness was 20 μm for the non-thermoplastic polyimide layer and 5 μm for the thermoplastic polyimide layer after drying and curing. The single-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained has a heat resistance after moisture absorption JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL
1: After processing for 168 hours at 85 ° C / 85% RH and after 220 cycles of 220 ° C reflow soldering
No abnormalities were found when confirmed by cross-sectional observation. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy is 1.52 kg / cm.
Met.

【0035】実施例4 実施例2における銅箔の代わりにステンレス箔(日鉱金
属株式会社製、商品名:SUS304H−TA、厚み:
30μm厚)にし、熱可塑性ポリイミドとして合成例4
のポリアミック酸を使用し、塗布厚みが乾燥・キュア後
に非熱可塑性ポリイミド層が5μm、熱可塑性ポリイミ
ド層が10μmとなるようにした以外は実施例1と同様
に封止樹脂付き片面銅張積層板を作製した。このように
して得られた封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿後の
耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1:8
5℃・85%RHで168時間処理後、220℃リフロー
ソルダー3サイクル後の基板の異常有無について、断面
観察によって確認したところ、異常は確認されなかっ
た。試料の異常有無について、結果を表1に示す。一
方、42アロイとの剥離接着強度は1.82kg/cm
であった。
Example 4 Instead of the copper foil in Example 2, stainless steel foil (manufactured by Nikko Metal Co., Ltd., trade name: SUS304H-TA, thickness:
(Thickness of 30 μm) and used as a thermoplastic polyimide in Synthesis Example 4
Single-sided copper-clad laminate with sealing resin in the same manner as in Example 1 except that the non-thermoplastic polyimide layer has a thickness of 5 μm and the thermoplastic polyimide layer has a thickness of 10 μm after the coating thickness is dried and cured by using the polyamic acid Was produced. The single-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained is heat-resistant after moisture absorption JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1: 8
After processing for 168 hours at 5 ° C. and 85% RH and after 220 cycles of 220 ° C. reflow soldering, the presence or absence of abnormality in the substrate was confirmed by cross-sectional observation, but no abnormality was confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy is 1.82 kg / cm.
Met.

【0036】実施例5 銅箔の代わりにステンレス箔(日鉱金属株式会社製、商
品名:SUS304H−TA、厚み:30μm厚)に
し、熱可塑性ポリイミドとして合成例5のポリアミック
酸を使用し、塗布厚みが乾燥・キュア後に非熱可塑性ポ
リイミド層が10μm、熱可塑性ポリイミド層が10μ
mとなるようにした以外は実施例1と同様に封止樹脂付
き片面銅張積層板を作製した。このようにして得られた
封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿後の耐熱性JEDEC
STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1:85℃・85%RH
で168時間処理後、220℃リフローソルダー3サイ
クル後の基板の異常有無について、断面観察によって確
認したところ、異常は確認されなかった。試料の異常有
無について、結果を表1に示す。一方、42アロイとの
剥離接着強度は2.05kg/cmであった。
Example 5 Instead of copper foil, stainless steel foil (manufactured by Nikko Metal Co., Ltd., trade name: SUS304H-TA, thickness: 30 μm thickness) was used, and the polyamic acid of Synthesis Example 5 was used as the thermoplastic polyimide, and the coating thickness was After drying and curing, the non-thermoplastic polyimide layer is 10 μm and the thermoplastic polyimide layer is 10 μm.
A single-sided copper-clad laminate with a sealing resin was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to m. The single-sided copper-clad laminate with encapsulation resin thus obtained has heat resistance after moisture absorption JEDEC
STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1: 85 ℃ ・ 85% RH
After 168 hours of treatment, the presence or absence of abnormality of the substrate after 3 cycles of 220 ° C. reflow solder was confirmed by cross-sectional observation, but no abnormality was confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy was 2.05 kg / cm.

【0037】実施例6 実施例4におけるステンレス箔の代わりに銅箔(古河サ
ーキットフォイル株式会社製、商品名:F1−WS、厚
み:9μm厚)にし、熱可塑性ポリイミドとして合成例
6のポリアミック酸を使用し、塗布厚みが乾燥・キュア
後に非熱可塑性ポリイミド層が5μm、熱可塑性ポリイ
ミドが5μmとなるようにした以外は実施例1と同様に
封止樹脂付き片面銅張積層板を作製した。このようにし
て得られた封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿後の耐
熱性JEDEC STANDARD TEST METHODA113-A LEVEL1:85℃
・85%RHで168時間処理後、220℃リフローソル
ダー3サイクル後の基板の異常有無について、断面観察
によって確認したところ、異常は確認されなかった。試
料の異常有無について、結果を表1に示す。一方、42
アロイとの剥離接着強度は2.22kg/cmであっ
た。
Example 6 Instead of the stainless steel foil in Example 4, a copper foil (manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd., trade name: F1-WS, thickness: 9 μm thickness) was used, and the polyamic acid of Synthesis Example 6 was used as the thermoplastic polyimide. A single-sided copper-clad laminate with a sealing resin was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating thickness was 5 μm for the non-thermoplastic polyimide layer and 5 μm for the thermoplastic polyimide after the coating thickness was dried and cured. The single-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained has heat resistance after moisture absorption JEDEC STANDARD TEST METHODA113-A LEVEL1: 85 ℃
-After processing at 85% RH for 168 hours, the presence or absence of abnormality of the substrate after 3 cycles of 220 ° C reflow solder was confirmed by cross-section observation, but no abnormality was confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, 42
The peel adhesion strength with the alloy was 2.22 kg / cm.

【0038】比較例1 熱可塑性ポリイミドとして合成例7のポリアミック酸を
使用し、塗布厚みが乾燥・キュア後に非熱可塑性ポリイ
ミド層が10μm、熱可塑性ポリイミド層が10μmと
なるようにした以外は実施例1と同様に封止樹脂付き片
面銅張積層板を作製した。このようにして得られた封止
樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿後の耐熱性JEDEC STAN
DARD TEST METHOD A113-A LEVEL1:85℃・85%RHで1
68時間処理後、220℃リフローソルダー3サイクル
後の基板の異常有無について、断面観察によって確認し
たところ、封止樹脂と熱可塑性ポリイミド間に膨れ、剥
がれの異常が確認された。試料の異常有無について、結
果を表1に示す。一方、42アロイとの剥離接着強度は
1.92kg/cmであった。
Comparative Example 1 An example except that the polyamic acid of Synthesis Example 7 was used as the thermoplastic polyimide and the coating thickness was 10 μm for the non-thermoplastic polyimide layer and 10 μm for the thermoplastic polyimide layer after drying and curing. A single-sided copper clad laminate with a sealing resin was prepared in the same manner as in 1. The single-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained is heat-resistant after moisture absorption.
DARD TEST METHOD A113-A LEVEL1: 1 at 85 ℃ ・ 85% RH
After the treatment for 68 hours, the presence or absence of abnormality in the substrate after 3 cycles of 220 ° C. reflow solder was confirmed by cross-section observation, and abnormalities such as swelling and peeling between the sealing resin and the thermoplastic polyimide were confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy was 1.92 kg / cm.

【0039】比較例2 合成例8のポリアミック酸を使用した以外は実施例2と
同様に封止樹脂付き片面銅張積層板を作製した。このよ
うにして得られた封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿
後の耐熱性JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL
1:85℃・85%RHで168時間処理後、220℃リフ
ローソルダー3サイクル後の基板の異常有無について、
断面観察によって確認したところ、封止樹脂と熱可塑性
ポリイミド間に膨れ、剥がれの異常が確認された。試料
の異常有無について、結果を表1に示す。一方、42ア
ロイとの剥離接着強度は1.68kg/cmであった。
Comparative Example 2 A single-sided copper-clad laminate with a sealing resin was prepared in the same manner as in Example 2 except that the polyamic acid of Synthesis Example 8 was used. The single-sided copper-clad laminate with encapsulating resin thus obtained has a heat resistance after moisture absorption JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL
1: After processing for 168 hours at 85 ° C / 85% RH and after 220 cycles of 220 ° C reflow soldering
As a result of cross-sectional observation, abnormalities of swelling and peeling between the sealing resin and the thermoplastic polyimide were confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy was 1.68 kg / cm.

【0040】比較例3 合成例5のポリアミック酸の代わりに合成例7のポリア
ミック酸を使用した以外は実施例5と同様に封止樹脂付
き片面ステンレス積層板を作製した。このようにして得
られた封止樹脂付き片面銅張積層板は、吸湿後の耐熱性
JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1:85℃・
85%RHで168時間処理後、220℃リフローソルダ
ー3サイクル後の基板の異常有無について、断面観察に
よって確認したところ、封止樹脂と熱可塑性ポリイミド
間に膨れ、剥がれの異常が確認された。試料の異常有無
について、結果を表1に示す。一方、42アロイとの剥
離接着強度は0.52kg/cmであった。
Comparative Example 3 A single-sided stainless steel laminated plate with a sealing resin was produced in the same manner as in Example 5 except that the polyamic acid of Synthesis Example 7 was used instead of the polyamic acid of Synthesis Example 5. The single-sided copper clad laminate with a sealing resin thus obtained has a heat resistance after absorbing moisture.
JEDEC STANDARD TEST METHOD A113-A LEVEL1: 85 ℃ ・
After processing for 168 hours at 85% RH and after 220 cycles of 220 ° C. reflow solder, the presence or absence of abnormality in the substrate was confirmed by cross-section observation. As a result, abnormalities such as swelling and peeling between the sealing resin and the thermoplastic polyimide were confirmed. The results are shown in Table 1 as to whether or not the sample is abnormal. On the other hand, the peel adhesion strength with 42 alloy was 0.52 kg / cm.

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、放熱板付
きリードフレーム固定用接着基材において、リードフレ
ーム先端を固定するとともに、加湿後における耐熱性試
験において、非熱可塑性ポリイミドと金属箔間、熱可塑
性ポリイミド層内あるいは封止樹脂とポリイミド間にお
いて、膨れや剥がれが発生しないようにできる。
As described above, according to the present invention, in the lead frame fixing adhesive substrate with the heat sink, the lead frame tip is fixed, and in the heat resistance test after humidification, between the non-thermoplastic polyimide and the metal foil. It is possible to prevent swelling and peeling from occurring in the thermoplastic polyimide layer or between the sealing resin and the polyimide.

フロントページの続き Fターム(参考) 4J004 AA11 AA16 AB03 CA08 CE01 FA05 FA08 FA10 4J040 EH031 JA09 JB01 LA07 LA08 MA02 MB03 NA19 NA20 5F067 AA03 BB08 CA04 CC03 CC07 DA05 Continued front page    F-term (reference) 4J004 AA11 AA16 AB03 CA08 CE01                       FA05 FA08 FA10                 4J040 EH031 JA09 JB01 LA07                       LA08 MA02 MB03 NA19 NA20                 5F067 AA03 BB08 CA04 CC03 CC07                       DA05

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 放熱板となる金属板の片面に非熱可塑
性ポリイミド層、熱可塑性ポリイミド層の順に積層する
放熱板付きリードフレーム固定用接着基材において、熱
可塑性ポリイミド層を形成する樹脂のジアミン成分とし
て1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(以
下APBと略すことがある)、テトラカルボン酸二無水
物成分として、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物(以下BTDAと略すことがあ
る)を含有するものを用い、その使用モル比(テトラカ
ルボン酸二無水物/APB)が0.900〜0.998
であることを特徴とする放熱板付きリードフレーム固定
用接着基材。
1. A diamine resin for forming a thermoplastic polyimide layer in an adhesive base material for fixing a lead frame with a heat radiating plate, wherein a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer are laminated in this order on one surface of a metal plate to be a heat radiating plate. 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (hereinafter sometimes abbreviated as APB) as a component, and tetracarboxylic dianhydride as a component, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (Hereinafter sometimes abbreviated as BTDA) is used, and the molar ratio (tetracarboxylic dianhydride / APB) used is 0.900 to 0.998.
An adhesive base material for fixing a lead frame with a heat dissipation plate, characterized in that
【請求項2】 テトラカルボン酸二無水物成分が、
3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物(以下BTDAと略すことがある)と3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
(以下BPDAと略すことがある)であり、そのモル比
(BTDA:BPDA)が、10:90〜100:0で
ある熱可塑性ポリイミドを用いることを特徴とする請求
項1記載の放熱板付きリードフレーム固定用接着基材。
2. A tetracarboxylic dianhydride component,
3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as BTDA) and 3,
A thermoplastic polyimide which is 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as BPDA) and has a molar ratio (BTDA: BPDA) of 10:90 to 100: 0. The adhesive base material for fixing a lead frame with a heat radiating plate according to claim 1, which is used.
【請求項3】 非熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液
が、フェニレンジアミン及びジアミノフェニルエーテル
から選ばれた少なくとも一種のジアミン、並びに、ピロ
メリット酸二無水物及びビフェニルテトラカルボン酸二
無水物から選ばれた少なくとも一種のテトラカルボン酸
二無水物から合成された重縮合物を含む溶液である請求
項1又は2記載の放熱板付きリードフレーム固定用接着
基材。
3. A precursor solution of a non-thermoplastic polyimide is selected from at least one diamine selected from phenylenediamine and diaminophenyl ether, and pyromellitic dianhydride and biphenyltetracarboxylic dianhydride. The adhesive base material for fixing a lead frame with a heat sink according to claim 1 or 2, which is a solution containing a polycondensate synthesized from at least one tetracarboxylic dianhydride.
【請求項4】 金属板が、銅、ニッケル、アルミニウ
ム、ステンレス鋼、またはそれらの合金からなる群から
選ばれるものである請求項1〜3記載の放熱板付きリー
ドフレーム固定用接着基材。
4. The adhesive base material for fixing a lead frame with a heat dissipation plate according to claim 1, wherein the metal plate is selected from the group consisting of copper, nickel, aluminum, stainless steel, or alloys thereof.
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