JP2003322616A

JP2003322616A - 屈折率測定法及びそれを用いた屈折率測定装置

Info

Publication number: JP2003322616A
Application number: JP2002128240A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kato; 健次加藤; Naoki Matsuda; 直樹松田; Mei Ki Chii; メイキチー
Original assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2002-04-30
Filing date: 2002-04-30
Publication date: 2003-11-14
Anticipated expiration: 2022-04-30
Also published as: JP3702340B2

Abstract

(57)【要約】【課題】スラブ光導波路を利用して、気体、液体又は
固体の有効屈折率の変化及び、スラブ光導波路表面の有
効屈折率変化を高分解能に測定する方法を提供する。【解決手段】マルチモードのスラブ光導波路中に同時
に多数の次数のモードの光を透過させ、該導波路と接す
るように配置された試料の屈折率に対応して透過可能な
透過光のモードの次数を変化させ、これにより得られる
透過光の強度またはスペクトルを測定する屈折率測定
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スラブ光導波路を
利用して、気体、液体又は固体の有効屈折率の変化及
び、スラブ光導波路表面の有効屈折率変化をきわめて高
分解能に測定する屈折率測定法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、気体、液体又は固体の有効屈折率
の変化を測定する方法としては、プリズムを用いた方法
が一般的である。その原理は測定対象と接しているプリ
ズム面での内部全反射の臨界角を測定するものである。
実際の測定では、種々の手法が知られているが、大きく
分ければ、収束光を用いる方法と平行光を用いる方法が
ある。

【０００３】収束光を用いる方法では、プリズムの測定
を行う反射面に対してレンズ等を用いて収束光を照射
し、その反射光を何らかの位置検出能のある検出器を用
いて検出する。一般的には、多チャンネルのＣＣＤ検出
器を用いて、角度の変化を検出器上の反射光のあたって
いるセルのアドレスとして検出する。収束光を利用して
超薄膜の測定や界面への吸着による有効屈折率の変化を
測定する方法として、表面プラズモン共鳴法（ＳＰＲ
法）がある。この手法は、特に抗原抗体反応を利用した
界面への吸着を極めて高感度に検出する方法として知ら
れている。

【０００４】平行光を用いる方法では、平行光をプリズ
ムに入射して、光の入射角を変えながら反射光の強度を
モニターして反射光強度が減少する角度、つまり臨界角
からプリズムに接している測定対象の屈折率を求める。

【０００５】しかしながら、これらのプリズムを用いた
方法では、臨界角を正確に求めるためには光源を単色化
する必要があり、また、きわめて平行性の高い光源が必
要であり、光源に対する要求条件が高かった。そのた
め、高精度測定では、ヘリウムネオンレーザーなどのレ
ーザー光源が必要であった。また、これらの方法では、
プリズムの駆動系や角度測定手段にも高精度のものが必
要とされていた。

【０００６】一方、気体、液体又は固体の有効屈折率の
変化を測定する方法にはプリズムを用いない方法もあ
り、その例としては、光導波路内での偏光を利用する干
渉法が知られている。この方法では、プリズムの駆動系
や角度測定手段を高精度にしなければならないという問
題は生じない。

【０００７】干渉法では、チャンネル導波路を利用して
支持体の上に干渉計を構成し、干渉計の一方の光路に試
料となる液体や薄膜等を接触させて、他方の光路との光
路差を干渉計にて検出し、試料の屈折率の微小な変化を
高感度に測定する。干渉法では、光導波路内での偏光を
利用して干渉計を構成することができる。また、偏光子
を用いてスラブ光導波路コア内を通過する光をＳ偏光と
Ｐ偏光とに分け、出口側でまた一つの偏光とすることで
両者の偏光を干渉させることもできる。この際に、Ｓ偏
光とＰ偏光とではコアに接して置かれた試料の屈折率の
影響され方が違うことから、屈折率変化を検出すること
が可能である。

【０００８】しかしながら、干渉計の構成には高度の加
工技術が必要であった。また、プリズムを用いた方法と
同様に、高精度測定のためには単色性の高い光源が必要
であり、レーザー光の利用が前提となっていた。さら
に、分けた光を出口側でまた一つの偏光とするために偏
光子が必要であるが、この偏光子は高価であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、光導波路を
利用して、高分解能に屈折率を測定する方法を提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】厚さ０．１ｍｍ程度のス
ラブ型石英コア光導波路では、数十〜数百次の非常に高
次のモードの伝播光が存在することが知られている。こ
れらの高次モードの伝播光強度は、コアに接する物質の
屈折率の変化にきわめて敏感であり、僅かな屈折率変化
の違いにより透過効率が大きく変化する。本発明者らは
鋭意検討を重ねた結果、光源から発射された光を厚みが
比較的大きいマルチモードのスラブ光導波路コア層に導
入して、該スラブ光導波路コア層中に複数の伝播モード
の光を同時に透過させるとともに、該導波路コア層と接
するように試料を配置することにより、該試料の屈折率
に従って透過可能な透過光のモードの次数が変化し透過
光の強度が変化すること、そして、透過光の強度ないし
はスペクトルを測定することにより試料の屈折率を高感
度に測定できることを見出した。本発明はこのような知
見に基づきなされるに至ったものである。

【００１１】すなわち、本発明は、（１）マルチモード
のスラブ光導波路中に同時に多数の次数のモードの光を
透過させ、該導波路と接するように配置された試料の屈
折率に対応して透過可能な透過光のモードの次数を変化
させ、これにより得られる透過光の強度を測定すること
を特徴とする屈折率測定法、（２）マルチモードのスラ
ブ光導波路中に同時に多数の次数のモードの光を透過さ
せ、該導波路と接するように配置された試料の屈折率に
対応して透過可能な透過光のモードの次数を変化させ、
これにより得られる透過光のスペクトルを測定すること
を特徴とする屈折率測定法、（３）特定の高次光を角度
依存性の違いから特定して検出し、その強度変化を測定
することを特徴とする（１）項に記載の屈折率測定法、
（４）透過光の波長依存性の違いを色味の違いとして目
視で測定することを特徴とする（２）項に記載の屈折率
測定法、および（５）光源から発射された光をスラブ光
導波路コア層内に導入する光導入部、試料との接触表面
を有する光導波路コア層をもつスラブ光導波路、該スラ
ブ光導波路コア層の内部で全反射を繰り返した光を出射
する光出射部、および試料が配置される試料セルからな
る試料測定部を有することを特徴とする（１）〜（４）
項のいずれか１項に記載の方法に使用する屈折率測定装
置を提供するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。本発明では、厚みの比較的大きい、好ましくは厚
さ１μｍ〜１ｍｍのスラブ光導波路コア層中に伝播する
高次モードの伝播光をプローブとして用い、導波路を透
過してくる高次モード光の波長依存性を測定することに
より、スラブ光導波路コア層に接する気体、液体又は固
体の屈折率の変化及び、スラブ光導波路コア層表面の有
効屈折率変化を高感度に測定する。本発明によれば、１
０^-6程度の屈折率変化を検出することができる。

【００１３】本発明では、スラブ光導波路を使用する。
図１に本発明の好ましい一実施態様を示す。図１は、ス
ラブ光導波路を使用した屈折率測定装置の一実施例を示
す模式図である。この装置は、流体試料を測定するフロ
ーセル型装置の一例である。装置は、スラブ光導波路コ
ア層１、試料セル２、光源から発射された光をスラブ光
導波路コア層１内に導入する光導入部（入射光側カップ
リングプリズム３）、およびスラブ光導波路コア層１内
で全反射を繰り返した光を出射する光出射部（出射光側
カップリングプリズム４）からなる試料測定部を有す
る。

【００１４】スラブ光導波路コア層１は試料セル２中の
チャンバー５内の試料と接するように配置され、スラブ
光導波路コア層１の試料と接する面の反対側には、光源
から発射された光をスラブ光導波路コア層内に導入する
光導入部およびスラブ光導波路コア層の内部で全反射を
繰り返した光を出射する光出射部が設けられる。光導入
部および光出射部は、装置に照射された光が光導入部か
らスラブ光導波路コア層１内へ入り該コア層１内を透過
して光出射部から出るように、所定の間隔で設けられ
る。図１では、入射光側カップリングプリズム３が光導
入部であり、出射光側カップリングプリズム４が光出射
部である。試料セル２の両端には試料入口６および試料
出口７が設けられ、試料セル２内には測定試料が導入さ
れる前記チャンバー５が設けられている。チャンバー５
はスラブ光導波路コア層１の表面に接する。

【００１５】本発明で使用される屈折率測定装置１１
は、試料セル２中の試料に接するように透明な光導波路
コア層１を配置したものである。図１では試料セル２の
上に光導波路コア層１が蓋をするように配置されてい
る。光導波路コア層１の厚さは１μｍ〜１ｍｍが好まし
く、２μｍ〜０．５ｍｍがより好ましく、１０μｍ〜
０．２ｍｍがさらに好ましい。光導波路コア層１の材質
は、ソーダガラス、石英、プラスチック、サファイヤな
ど透明で光学的に安定なものであればよい。光導波路コ
ア層１内に導入された光は光導波路コア層１内を全反射
しながら進む。

【００１６】試料セル２はガラス、石英、ポリメチルメ
タクリレート（ＰＭＭＡ）などを使用することができ
る。厚さは特に制限はないが例えば１ｍｍ〜５ｍｍ程度
である。試料セルの大きさは、小さいほど試料が少なく
て済むので好ましいが、小さすぎるとセルの作製が困難
になる。したがって大きさに特に制限はないが例えば、
外形が長さ約５ｃｍ、幅約３ｃｍ、高さ約１．５ｃｍ
で、内法が長さ約４ｃｍ、幅約２ｃｍ、深さ約１ｃｍの
ものを使用することができる。ただし、内法の深さにつ
いては０．１ｍｍ以上が好ましい。

【００１７】本発明において、光源は白熱灯、発光ダイ
オード、レーザー、ダイオードレーザーなどが用いられ
る。スペクトルを測定する場合や色調の変化を見る場合
には、白色光を使用することが好ましい。この場合、白
色光とはある波長幅をもつ光ということであり、白い色
の光という意味ではない。白色光を用いることにより高
価なレーザーを使用する必要がなくなり、装置が簡便か
つ安価になる。

【００１８】光導波路へ光の導入する方法としては、例
えば、カップリングプリズムを用いる方法、光導波路表
面にカップリング用の回折格子状の規則的な凹凸を設け
る方法、光導波路表面にカップリング用の回折格子状の
規則的なコーティングによる縞模様を設ける方法、光導
波路端面を研磨して光の入出射を可能にする方法などが
挙げられる。

【００１９】本発明において測定される試料は、気体、
液体又は固体のいかなる状態でもよい。ただし、測定試
料は後述するようにスラブ光導波路コア層に接している
ことが必要である。すなわち本発明では、スラブ光導波
路コア層に接した溶液やガスなどの流体の屈折率を測定
することにより試料の特性、例えば物質濃度を測定する
ことができる。また、スラブ光導波路コア層表面に特定
の物質と結合しやすい物質を物理吸着又は化学結合によ
りコーティングさせて、特定の物質がその表面に結合し
たことによる微少な有効屈折率変化を検知することによ
り表面薄膜や吸着物質等の特性、例えば厚みや物質濃度
を測定することもできる。

【００２０】図２は、有効屈折率と吸着層の厚さとの関
係を示すグラフである。縦軸は有効屈折率を、横軸は吸
着層の厚さを示す。図２から明らかなように、吸着層の
厚さが１ｎｍ変化すると有効屈折率が０．０００００３
変化することがわかる。後述する実施例２の場合よりも
１ケタ高精度に屈折率変化が検出可能と仮定すると、計
算上０．３ｎｍ程度の数分子からなる非常に薄い吸着層
を検出することができる。したがって、スラブ光導波路
コアの表面にある物質と結合しやすい物質をコーティン
グさせ、ある物質がその表面に結合したことによる微少
な有効屈折率変化を測定することにより特定の物質濃度
を測定することが可能である。

【００２１】図１を参照しながら本発明の屈折率測定法
を説明する。まず、ポンプ１４を用いて試料入口６から
試料液１３をチャンバー５に導入する。なお、測定試料
が固体の場合は直接チャンバー５に設置する。ただし、
いずれの場合でも測定試料はスラブ光導波路コア層１の
表面と接している。

【００２２】次に、白色光源１０から発射された光を入
射光側レンズ８で集光し、入射光側カップリングプリズ
ム３に導入する。入射光側カップリングプリズム３を通
じて光導波路コア層１内に光を透過させ、出射光側カッ
プリングプリズム４から出射した光を出射光側レンズ９
を通じて検出器１２へ送り、光の強度を測定する。検出
器１２により出射光の強度を測定し、レコーダ１５によ
り記録する。光の強度の測定方法は常法により行うこと
ができ、例えば、フォトダイオードを使った光パワーメ
ーターを用いて測定することができる。なお、白色光源
と入射光側レンズとの間および出射光側レンズ９と検出
器１２との間には、光ファイバーを使用することが好ま
しい。この光ファイバーの使用により、レンズとプリズ
ムの距離や角度を容易かつ微妙に調整することができ
る。

【００２３】出射光の強度から、光導波路コア層１に接
する試料の屈折率変化を高感度に測定することができ
る。図３に光導波路コア中を伝播することができる伝播
光のモード次数の最高次数の計算値を図示する。図３
は、厚さ０．１ｍｍのスラブ型石英光導波路コア中を伝
播することができる伝播光のモード次数の最高次数の計
算値を示すグラフである。縦軸はＴＥモードの透過光の
モード次数の最大値を、横軸は溶液の屈折率を示す。図
１に示したような装置において光導波路の厚さと屈折
率、プリズムの屈折率と辺の角度、光源波長を一定と仮
定すると、透過可能な透過光の最大の次数は、図３に示
されるように光導波路に接する試料の屈折率に依存す
る。水の屈折率は約１．３３３であるが、図３から、試
料の屈折率が１．３３３から０．１程度増加するだけ
で、透過可能な透過光の最大次数が１８０から８０程度
まで大きく減少することがわかる。これは、透過光全体
の強度が減少ないしは色味が変化することを示す。すな
わち、出射光の強度又はスペクトルを測定することによ
り、光導波路コア層１に接する試料の屈折率変化を高感
度に測定することができる。なお、図３に示すように、
コアに接する液体の屈折率が増加するのに従い、透過可
能なモードが減少していき、コアと同じ屈折率まで増加
すると、モードがゼロになり光が伝播しなくなる。

【００２４】また、上記の方法において、特定の高次光
を検出し、その強度変化を測定することもできる。特定
の高次光の検出は、角度依存性の違いを利用する。図３
は試料の屈折率が１．３３３から０．１程度増加するだ
けで、透過可能な透過光の最大次数が１８０から８０程
度まで大きく減少することがわかる。これは、透過光全
体の強度が減少することを示すと同時に、屈折率が１．
３３３〜１．４３３の範囲で適当な次数の透過光の強度
又はスペクトルをモニターすることにより屈折率変化を
高感度に測定することができることを示すものである。

【００２５】図４に図３の一部を拡大して図示する。図
４は、図３のグラフの一部拡大図である。図４に示すよ
うに、計算値では液体の屈折率の増加に従って階段状に
モードが減少している。すなわち、前述のとおり、光導
波路の厚さと屈折率、プリズムの屈折率と辺の角度、光
源波長を一定と仮定すると、透過可能な透過光の最大次
数は導波路に接する試料の屈折率に依存する。図４を参
照しながら説明すると、例えば次数１８５の透過光は試
料の屈折率が１．３３５以下でないと透過することがで
きない。そのため、試料の屈折率が１．３３５付近でわ
ずかに変化するだけで光の強度が大きく変化する。

【００２６】したがって、透過可能ななるべく高い次数
の光を検出できるような角度に合わせておいて、そのと
きの光強度を測定することにより、光導波路コア層に接
する試料の屈折率変化を高感度に測定することができ
る。具体的には、まず試料のない状態（例えば、イオン
交換水）で入射角を少しずつ直角に近づけていき、より
高次の光を選択する。光が検出可能である最も直角に近
い角度にすることで、その状態における透過可能な最も
高次の透過光を選択したことになる。その状態で角度を
固定しておき、次に試料を導入して光強度を測定する。

【００２７】また、検出器１２に分光器を用いて出射光
の波長スペクトルを測定し、その波長スペクトルから光
導波路コア層１に接する試料の屈折率変化を高感度に測
定することもできる。波長スペクトルの測定は常法によ
り行うことができ、例えば、ＣＣＤ付き分光器を用いて
測定することができる。測定した波長スペクトルの判定
には様々な方法があるが、例えば、短波長側の立ち上が
りの波長の変化に注目し、あらかじめ立ち上がりの波長
を屈折率に対して測定しておくことにより、試料につい
て測定した立ち上がりの波長から屈折率を知ることがで
きる。

【００２８】また、透過光の波長依存性の違いを色味の
違いとして目視で測定することもできる。光導波路に光
を導入した後に出射光側カップリングプリズム、出射光
側レンズまたはその後の光ファイバの出口を目視する
と、光導波路からの出射光が光って見える。屈折率の変
化により、透過光のスペクトルが変化し、それが色調の
変化として感じることができる。屈折率が大きくなるに
したがって色調がより赤みがかって見えるので、あらか
じめ標準の色調を示す色見本を作成しておき、それと比
較することにより半定量的に屈折率を測定することがで
きる。屈折率の変化は濃度の変化に依存するので、出射
光の色から濃度を測定することができる。具体的には、
例えば食塩水や砂糖水について測定した場合に、色味の
変化から簡便に屈折率を測定でき、塩分や糖分を簡便に
知ることができる。

【００２９】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細
に説明するが、本発明はこれに限定されるものではな
い。実施例１図１に示した装置を用いて、透過光の波長スペクトルを
測定した。光源に白色光源を用い、検出器にＣＣＤ分光
器を用いた。使用したスラブ光導波路は厚さ０．１ｍｍ
で石英製である。また、試料セルは、長さ約５ｃｍ、幅
約３ｃｍ、高さ約１．５ｃｍでＰＭＭＡ製のものを用い
た。測定試料は屈折率が１．３３３、１．３６３または
１．３７７である所定の濃度の砂糖水溶液を用いた。測
定結果を図５に示す。図５は、波長スペクトルと出力強
度との関係を示すグラフである。縦軸は出力強度を、横
軸は波長スペクトルを示す。

【００３０】図５から明らかなように、光導波路コアに
接する液体の屈折率の変化に応じてスペクトルが変化し
ていることがわかる。また、屈折率１．３３３の試料
（立ち上がり波長＝約５００ｎｍ）と、屈折率１．３７
７の試料（立ち上がり波長＝約５３０ｎｍ）とを比較す
ると、屈折率の変化０．０４４に対してスペクトルは、
短波長側のカットオフ波長の変化として約３０ｎｍ変化
していた。したがって、簡便な分光器を使用しても１ｎ
ｍ程度の分解能があることから、本発明によれば約０．
００１〜０．００２の屈折率変化が検出可能であること
がわかる。

【００３１】実施例２図１に示した装置を用いて、透過光の光強度を測定し
た。装置は、光源にヘリウムネオンレーザーを用い、検
出器にフォトダイオードを使った小型の光パワーメータ
ーを用いたこと以外は、実施例１と同様である。また、
測定試料には砂糖水溶液を用い、濃度を変えて屈折率の
異なる液体を調製して用いた。測定結果を図６に示す。
図６は、測定試料の屈折率と信号強度との関係を示すグ
ラフである。縦軸は信号強度を、横軸は測定試料の屈折
率を示す。

【００３２】図６から明らかなように、屈折率の変化に
応じて透過光の強度が変化する。図では、屈折率に対応
した信号強度が得られており、屈折率変化０．００１に
対して、信号強度の変化はおよそ１４ｄＢであり十分に
大きい。したがって、信号強度変化測定の分解能が０．
１ｄＢとすると、およそ０．００００１以下という非常
に小さい屈折率変化が測定可能であることがわかる。

【００３３】実施例３実施例２と同様の試験を行い、信号強度と時間との関係
を調べた。測定結果を図７に示す。図７は、信号強度と
時間との関係を示すグラフである。縦軸は信号強度を、
横軸は時間を示す。はじめは水を導入しており、途中か
ら試料液（所定濃度の砂糖水）を導入して、所定時間経
過後資料液の導入を終了して元の水に戻した。図７中、
（ａ）は屈折率１．３３３０３に相当する濃度の砂糖水
の測定データを示し、（ｂ）は屈折率１．３３４１７に
相当する濃度の砂糖水の測定データを示す。図７から明
らかなように、（ａ）では、試料の入出による信号強度
の変化は小さく、また応答速度も遅いのに対し、（ｂ）
では、試料の入出による信号強度の変化が大きく、また
応答速度もきわめて速かった。このことから、（ｂ）で
は屈折率の時間変化を容易かつ極めて速く見ることがで
きることがわかる。このように試料の濃度が変化すると
それに対応して信号強度が変化する。すなわち、連続測
定が可能であることから、液体クロマトグラフィのよう
な検出器として本発明を利用できることがわかる。

【００３４】

【発明の効果】本発明の屈折率測定法によれば、スラブ
光導波路を利用して、気体、液体又は固体の有効屈折率
の変化及び、スラブ光導波路表面の有効屈折率変化を、
簡便かつ高分解能に測定することができる。本発明は、
溶液中の溶質濃度の簡易なその場での測定、ガス濃度の
測定、蒸着膜の膜厚測定、生体物質等の抗原抗体反応な
どによる表面吸着物質の測定による検出などに利用する
ことができる。特に、きわめて簡便な装置により高分解
能の測定が可能になるため、利用の形態としては、一般
的な測定装置の他、種々の装置に組み込まれたセンサー
としての利用、ポータブルの測定装置としてなどに利用
可能である。また、分光器を用いない目視による測定で
は、色味の変化から簡便に屈折率を測定でき、濃度を簡
便に知ることができる。また、抗原抗体反応を利用し、
更にこれにより引き起こされる表面有効屈折率のごく僅
かな変化を高感度に検出することにより、生体物質を測
定する手法での簡便で極めて高感度な検出法として利用
することができ、医学、衛生、バイオ関連技術開発等に
有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、スラブ光導波路を使用した屈折率測定
装置の一実施例を示す模式図である。

【図２】図２は、有効屈折率と吸着層の厚さとの関係を
示すグラフである。

【図３】図３は、厚さ０．１ｍｍのスラブ型石英光導波
路コア中を伝播することができる伝播光のモード次数の
計算値を示すグラフである。

【図４】図４は、図３のグラフの一部拡大図である。

【図５】図５は、波長スペクトルと出力強度との関係を
示すグラフである。

【図６】図６は、測定試料の屈折率と信号強度との関係
を示すグラフである。

【図７】図７は、信号強度と時間との関係を示すグラフ
である。

【符号の説明】

１スラブ光導波路コア層２試料セル３入射光側カップリングプリズム４出射光側カップリングプリズム５チャンバー６試料入口７試料出口８入射光側レンズ９出射光側レンズ１０白色光源１１屈折率測定装置１２検出器１３試料液１４ポンプ１５レコーダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G059 AA02 BB01 BB04 BB08 DD12 EE01 EE02 EE04 GG01 GG02 JJ01 JJ11 JJ12 JJ17 KK01 KK04 KK07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マルチモードのスラブ光導波路中に同時
に多数の次数のモードの光を透過させ、該導波路と接す
るように配置された試料の屈折率に対応して透過可能な
透過光のモードの次数を変化させ、これにより得られる
透過光の強度を測定することを特徴とする屈折率測定
法。
【請求項２】マルチモードのスラブ光導波路中に同時
に多数の次数のモードの光を透過させ、該導波路と接す
るように配置された試料の屈折率に対応して透過可能な
透過光のモードの次数を変化させ、これにより得られる
透過光のスペクトルを測定することを特徴とする屈折率
測定法。
【請求項３】特定の高次光を角度依存性の違いから特
定して検出し、その強度変化を測定することを特徴とす
る請求項１に記載の屈折率測定法。
【請求項４】透過光の波長依存性の違いを色味の違い
として目視で測定することを特徴とする請求項２に記載
の屈折率測定法。
【請求項５】光源から発射された光をスラブ光導波路
コア層内に導入する光導入部、試料との接触表面を有す
る光導波路コア層をもつスラブ光導波路、および該スラ
ブ光導波路コア層の内部で全反射を繰り返した光を出射
する光出射部からなる試料測定部を有することを特徴と
する請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法に使用す
る屈折率測定装置。