JP2003315394A - 交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法 - Google Patents
交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多連チップ部品のように外部端子の間隔が狭
い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連チッ
プを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特性）
を同時に安定して測定することができるようにする。 【解決手段】 多連チップ部品の一つである２素子入り
コンデンサアレイ１の片側素子の外部端子１ａに測定用
プローブ端子２ａを当接させ、プローブ端子２ａと測定
器４ａの容量計５とを信号ケーブル３ａで接続し、プロ
ーブ端子２ｂと測定器４ｂの容量計５とを信号ケーブル
３ｂで接続するとともに、測定器４ａ及び４ｂへの供給
周波数ｆ１，ｆ２を共通化するようにする。
い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連チッ
プを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特性）
を同時に安定して測定することができるようにする。 【解決手段】 多連チップ部品の一つである２素子入り
コンデンサアレイ１の片側素子の外部端子１ａに測定用
プローブ端子２ａを当接させ、プローブ端子２ａと測定
器４ａの容量計５とを信号ケーブル３ａで接続し、プロ
ーブ端子２ｂと測定器４ｂの容量計５とを信号ケーブル
３ｂで接続するとともに、測定器４ａ及び４ｂへの供給
周波数ｆ１，ｆ２を共通化するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップ部品の特性
測定装置に係るもので、特に多連チップ部品の交流イン
ピーダンス（以下、特性という）を同時に測定する場合
でも、浮遊容量の影響を受けることなく安定して特性測
定の高速処理を行い得る交流インピーダンスのマルチ測
定装置及びそのマルチ測定方法に関する。
測定装置に係るもので、特に多連チップ部品の交流イン
ピーダンス（以下、特性という）を同時に測定する場合
でも、浮遊容量の影響を受けることなく安定して特性測
定の高速処理を行い得る交流インピーダンスのマルチ測
定装置及びそのマルチ測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】多連チップ部品の特性を同時に測定する
ものとして、たとえば図３に示すようなマルチ測定装置
がある。すなわち、同図は、多連チップ部品である２素
子入りコンデンサアレイ１のマルチ特性を測定する場合
を示すものであり、２素子入りコンデンサアレイ１の
内、一方の素子の一対を成す外部端子１ａに測定用プロ
ーブ端子２ａを当接させ、他方の素子の外部端子１ｂに
プローブ端子２ｂを当接させることで、同時に両素子の
特性を測定することができるようになっている。
ものとして、たとえば図３に示すようなマルチ測定装置
がある。すなわち、同図は、多連チップ部品である２素
子入りコンデンサアレイ１のマルチ特性を測定する場合
を示すものであり、２素子入りコンデンサアレイ１の
内、一方の素子の一対を成す外部端子１ａに測定用プロ
ーブ端子２ａを当接させ、他方の素子の外部端子１ｂに
プローブ端子２ｂを当接させることで、同時に両素子の
特性を測定することができるようになっている。
【０００３】一方のプローブ端子２ａの信号ケーブル３
ａは測定器１４ａの容量計１５に接続され、他方のプロ
ーブ端子２ｂの信号ケーブル３ｂは測定器１４ｂの容量
計１５に接続されている。各容量計１５には、それぞれ
測定用の供給周波数発生器１６及びオフセット量設定器
１７が設けられている。
ａは測定器１４ａの容量計１５に接続され、他方のプロ
ーブ端子２ｂの信号ケーブル３ｂは測定器１４ｂの容量
計１５に接続されている。各容量計１５には、それぞれ
測定用の供給周波数発生器１６及びオフセット量設定器
１７が設けられている。
【０００４】このような測定器１４ａ，１４ｂにおいて
コンデンサアレイ１のマルチ特性測定を行う場合、各測
定用の供給周波数発生器１６で発生させた供給周波数
を、たとえば測定器１４ａではｆ１１、測定器１４ｂで
はｆ１２とし、ｆ１１，ｆ１２を同一周波数、たとえば
１ｋＨｚに設定して測定するようにしている。ところ
が、両測定用の供給周波数発生器１６は互に独立して設
定が行われるため、両供給周波数ｆ１１，ｆ１２が一致
していても互いの位相にずれが生じ、或いは振幅にも差
が生じ、さらにドリフトによる周波数自体の変動等によ
り、プローブ端子２ａ，２ｂ間及び信号ケーブル３ａ，
３ｂ間に交流の差電圧が発生し、測定経路の浮遊容量Ｃ
ｓを通して電流の漏れが発生し、特性測定の不安定要因
となって特性測定値に誤差を生じてしまう。
コンデンサアレイ１のマルチ特性測定を行う場合、各測
定用の供給周波数発生器１６で発生させた供給周波数
を、たとえば測定器１４ａではｆ１１、測定器１４ｂで
はｆ１２とし、ｆ１１，ｆ１２を同一周波数、たとえば
１ｋＨｚに設定して測定するようにしている。ところ
が、両測定用の供給周波数発生器１６は互に独立して設
定が行われるため、両供給周波数ｆ１１，ｆ１２が一致
していても互いの位相にずれが生じ、或いは振幅にも差
が生じ、さらにドリフトによる周波数自体の変動等によ
り、プローブ端子２ａ，２ｂ間及び信号ケーブル３ａ，
３ｂ間に交流の差電圧が発生し、測定経路の浮遊容量Ｃ
ｓを通して電流の漏れが発生し、特性測定の不安定要因
となって特性測定値に誤差を生じてしまう。
【０００５】その場合、オフセット量設定器１７により
供給周波数ｆ１１，ｆ１２の要素のずれ量であるオフセ
ット量を調整することで一定の誤差量を軽減することは
可能であるが、不安定要因により変動する誤差量につい
てはオフセット量の調整では解決することができない。
供給周波数ｆ１１，ｆ１２の要素のずれ量であるオフセ
ット量を調整することで一定の誤差量を軽減することは
可能であるが、不安定要因により変動する誤差量につい
てはオフセット量の調整では解決することができない。
【０００６】また、コンデンサアレイ１の外部端子１
ａ，１ｂのように間隔が狭い場合は浮遊容量Ｃｓの影響
を受けやすいため、隣接する素子を交互に測定すること
で浮遊容量Ｃｓの影響を受け難くする方法も多用されて
いる。
ａ，１ｂのように間隔が狭い場合は浮遊容量Ｃｓの影響
を受けやすいため、隣接する素子を交互に測定すること
で浮遊容量Ｃｓの影響を受け難くする方法も多用されて
いる。
【０００７】このような隣接する素子を交互に測定する
ものとして、たとえば特開平１１−３３７５９９号公報
では、図４に示すような静電容量測定方法を提案してい
る。すなわち、コンデンサアレイ２０の外部端子２０ａ
に測定用プローブ端子２１を当接させ、プローブ端子２
１と切換器２２とを接続し、切換器２２の接点３１ａ，
３１ｂ，３１ｃがコンデンサアレイ２０のコンデンサ素
子Ｃ１に、接点３２ａ，３２ｂ，３２ｃがコンデンサ素
子Ｃ２に、接点３３ａ，３３ｂ，３３ｃがコンデンサ素
子Ｃ３に、接点３４ａ，３４ｂ，３４ｃがコンデンサ素
子Ｃ４にそれぞれ接続されている。
ものとして、たとえば特開平１１−３３７５９９号公報
では、図４に示すような静電容量測定方法を提案してい
る。すなわち、コンデンサアレイ２０の外部端子２０ａ
に測定用プローブ端子２１を当接させ、プローブ端子２
１と切換器２２とを接続し、切換器２２の接点３１ａ，
３１ｂ，３１ｃがコンデンサアレイ２０のコンデンサ素
子Ｃ１に、接点３２ａ，３２ｂ，３２ｃがコンデンサ素
子Ｃ２に、接点３３ａ，３３ｂ，３３ｃがコンデンサ素
子Ｃ３に、接点３４ａ，３４ｂ，３４ｃがコンデンサ素
子Ｃ４にそれぞれ接続されている。
【０００８】また、接点３１ａ，３２ａ及び３１ｂ，３
２ｂは測定器２３ａに接続され、接点３３ａ，３４ａ及
び３３ｂ，３４ｂは測定器２３ｂに接続されている。ま
た、接点３１ａ，３１ｂ，３２ｃ，３３ａ，３３ｂ及び
３４ｃは初期状態で開放されている所謂Ａ接点で、接点
３１ｃ，３２ａ，３２ｂ，３３ｃ，３４ａ及び３４ｂは
初期状態で短絡されている所謂Ｂ接点である。
２ｂは測定器２３ａに接続され、接点３３ａ，３４ａ及
び３３ｂ，３４ｂは測定器２３ｂに接続されている。ま
た、接点３１ａ，３１ｂ，３２ｃ，３３ａ，３３ｂ及び
３４ｃは初期状態で開放されている所謂Ａ接点で、接点
３１ｃ，３２ａ，３２ｂ，３３ｃ，３４ａ及び３４ｂは
初期状態で短絡されている所謂Ｂ接点である。
【０００９】初期状態においてコンデンサ素子Ｃ１は接
点３１ｃにより、コンデンサ素子Ｃ３は接点３３ｃによ
りそれぞれ短絡されており、コンデンサ素子Ｃ２は接点
３２ａ，３２ｂにより測定器２３ａと、コンデンサ素子
Ｃ４は接点３４ａ，３４ｂにより測定器２３ｂとそれぞ
れ接続され、コンデンサ素子Ｃ２及びＣ４の特性が測定
されるようになっている。
点３１ｃにより、コンデンサ素子Ｃ３は接点３３ｃによ
りそれぞれ短絡されており、コンデンサ素子Ｃ２は接点
３２ａ，３２ｂにより測定器２３ａと、コンデンサ素子
Ｃ４は接点３４ａ，３４ｂにより測定器２３ｂとそれぞ
れ接続され、コンデンサ素子Ｃ２及びＣ４の特性が測定
されるようになっている。
【００１０】次に、切換器２２を切換えると、接点３１
ａ，３１ｂ，３２ｃ，３３ａ，３３ｂ及び３４ｃが短絡
し、接点３１ｃ，３２ａ，３２ｂ，３３ｃ，３４ａ及び
３４ｂが開放される。そのため、コンデンサ素子Ｃ２及
びＣ４が接点３２ｃ，３４ｃによりそれぞれ短絡され、
コンデンサ素子Ｃ１が接点３１ａ，３１ｂにより測定器
２３ａと、コンデンサ素子Ｃ３が接点３３ａ，３３ｂに
より測定器２３ｂとそれぞれ接続されて特性が測定され
るようになっている。
ａ，３１ｂ，３２ｃ，３３ａ，３３ｂ及び３４ｃが短絡
し、接点３１ｃ，３２ａ，３２ｂ，３３ｃ，３４ａ及び
３４ｂが開放される。そのため、コンデンサ素子Ｃ２及
びＣ４が接点３２ｃ，３４ｃによりそれぞれ短絡され、
コンデンサ素子Ｃ１が接点３１ａ，３１ｂにより測定器
２３ａと、コンデンサ素子Ｃ３が接点３３ａ，３３ｂに
より測定器２３ｂとそれぞれ接続されて特性が測定され
るようになっている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】このように上述した先
行技術では、隣接するコンデンサ素子の一方を短絡し、
他方のコンデンサ素子の特性を測定するようにしている
ため、隣接する素子間の浮遊容量の影響を無くすことが
できる。
行技術では、隣接するコンデンサ素子の一方を短絡し、
他方のコンデンサ素子の特性を測定するようにしている
ため、隣接する素子間の浮遊容量の影響を無くすことが
できる。
【００１２】ところが、隣接する素子間の浮遊容量を無
視することができるものの、測定器２３ａと２３ｂが独
立しているため、図３で説明した測定周波数や振幅、或
いは位相差の問題がある。また、切換器２２の有接点回
路を経由することにより接触不良を原因とする測定誤差
や、切換時間による高速化への制約等の問題もある。
視することができるものの、測定器２３ａと２３ｂが独
立しているため、図３で説明した測定周波数や振幅、或
いは位相差の問題がある。また、切換器２２の有接点回
路を経由することにより接触不良を原因とする測定誤差
や、切換時間による高速化への制約等の問題もある。
【００１３】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、多連チップ部品のように外部端子の間隔
が狭い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連
チップを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特
性）を同時に安定して測定することができる交流インピ
ーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法を提
供することができるようにするものである。
たものであり、多連チップ部品のように外部端子の間隔
が狭い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連
チップを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特
性）を同時に安定して測定することができる交流インピ
ーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法を提
供することができるようにするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の交流インピーダ
ンスのマルチ測定装置は、多連チップ部品の外部端子に
当接して特性を測定する複数のプローブ端子と、複数の
測定器と、複数のプローブ端子と複数の測定器を接続す
る複数の信号ケーブルとを有する測定装置であって、複
数の測定器への供給周波数を共通化していることを特徴
とする。また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測
定装置は、複数の測定器の何れか一の測定器に周波数発
生器を設け、周波数発生器の出力を全ての測定器に分岐
させて供給するようにすることができる。また、本発明
の交流インピーダンスのマルチ測定装置は、測定器の全
てに周波数発生器を設け、これらの周波数発生器を同期
させることにより、供給周波数を共通化させるようにす
ることができる。また、本発明の交流インピーダンスの
マルチ測定装置は、複数の測定器に浮遊容量による測定
誤差を補正するオフセット量設定器が設けられているよ
うにすることができる。本発明の交流インピーダンスの
マルチ測定方法は、多連チップ部品の外部端子に複数の
プローブ端子を当接する工程と、プローブ端子から信号
ケーブルで接続した複数の測定器により特性を測定する
工程とを有する特性測定方法であって、複数の測定器の
供給周波数を共通化させる工程を有することを特徴とす
る。また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方
法は、複数の測定器の何れか一の測定器に設けた周波数
発生器の出力を全ての測定器に分岐させて供給する工程
を有するようにすることができる。また、本発明の交流
インピーダンスのマルチ測定方法は、測定器の全てに設
けた周波数発生器を同期させることにより、供給周波数
を共通化させる工程を有するようにすることができる。
また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方法
は、複数の測定器に設けられているオフセット量設定器
によるオフセット量の設定により、浮遊容量による測定
誤差を補正する工程を有するようにすることができる。
また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方法
は、多連チップ部品を構成する全ての素子を同時に測定
する工程を有するようにすることができる。本発明に係
る交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ
測定方法においては、多連チップ部品の外部端子に当接
して特性を測定する複数のプローブ端子と、複数の測定
器と、複数のプローブ端子と複数の測定器を接続する複
数の信号ケーブルとを有し、複数の測定器への供給周波
数を共通化するようにする。
ンスのマルチ測定装置は、多連チップ部品の外部端子に
当接して特性を測定する複数のプローブ端子と、複数の
測定器と、複数のプローブ端子と複数の測定器を接続す
る複数の信号ケーブルとを有する測定装置であって、複
数の測定器への供給周波数を共通化していることを特徴
とする。また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測
定装置は、複数の測定器の何れか一の測定器に周波数発
生器を設け、周波数発生器の出力を全ての測定器に分岐
させて供給するようにすることができる。また、本発明
の交流インピーダンスのマルチ測定装置は、測定器の全
てに周波数発生器を設け、これらの周波数発生器を同期
させることにより、供給周波数を共通化させるようにす
ることができる。また、本発明の交流インピーダンスの
マルチ測定装置は、複数の測定器に浮遊容量による測定
誤差を補正するオフセット量設定器が設けられているよ
うにすることができる。本発明の交流インピーダンスの
マルチ測定方法は、多連チップ部品の外部端子に複数の
プローブ端子を当接する工程と、プローブ端子から信号
ケーブルで接続した複数の測定器により特性を測定する
工程とを有する特性測定方法であって、複数の測定器の
供給周波数を共通化させる工程を有することを特徴とす
る。また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方
法は、複数の測定器の何れか一の測定器に設けた周波数
発生器の出力を全ての測定器に分岐させて供給する工程
を有するようにすることができる。また、本発明の交流
インピーダンスのマルチ測定方法は、測定器の全てに設
けた周波数発生器を同期させることにより、供給周波数
を共通化させる工程を有するようにすることができる。
また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方法
は、複数の測定器に設けられているオフセット量設定器
によるオフセット量の設定により、浮遊容量による測定
誤差を補正する工程を有するようにすることができる。
また、本発明の交流インピーダンスのマルチ測定方法
は、多連チップ部品を構成する全ての素子を同時に測定
する工程を有するようにすることができる。本発明に係
る交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ
測定方法においては、多連チップ部品の外部端子に当接
して特性を測定する複数のプローブ端子と、複数の測定
器と、複数のプローブ端子と複数の測定器を接続する複
数の信号ケーブルとを有し、複数の測定器への供給周波
数を共通化するようにする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００１６】図１は、本発明の交流インピーダンスのマ
ルチ測定装置の一実施の形態を示す図、図２は、図１の
交流インピーダンスのマルチ測定装置の構成を変えた場
合の他の実施の形態を示す図である。なお、以下に説明
する図において、図３と共通する部分には同一符号を付
し重複する説明を省略する。
ルチ測定装置の一実施の形態を示す図、図２は、図１の
交流インピーダンスのマルチ測定装置の構成を変えた場
合の他の実施の形態を示す図である。なお、以下に説明
する図において、図３と共通する部分には同一符号を付
し重複する説明を省略する。
【００１７】図１において、多連チップ部品の一つであ
る２素子入りコンデンサアレイ１の片側素子の外部端子
１ａに測定用プローブ端子２ａが当接され、プローブ端
子２ａと測定器４ａの容量計５とが信号ケーブル３ａで
接続されている。一方、２素子入りコンデンサアレイ１
の他方の素子の外部端子１ｂにはプローブ端子２ｂが当
接され、プローブ端子２ｂと測定器４ｂの容量計５とが
信号ケーブル３ｂで接続されている。測定用の周波数を
測定器４ａ及び４ｂの容量計５へ供給する供給周波数発
生器６は測定器４ａにのみ設けられている。ここで、測
定器４ａの容量計５へは供給周波数発生器６から供給周
波数ｆ１が供給され、測定器４ｂの容量計５へは信号ケ
ーブル８により分岐された供給周波数発生器６からの供
給周波数ｆ２が供給される。これら供給周波数ｆ１，ｆ
２は、同一であり、且つ電圧振幅及び位相差とも完全に
一致しているものとして単一の供給周波数発生器６から
供給されるものである。
る２素子入りコンデンサアレイ１の片側素子の外部端子
１ａに測定用プローブ端子２ａが当接され、プローブ端
子２ａと測定器４ａの容量計５とが信号ケーブル３ａで
接続されている。一方、２素子入りコンデンサアレイ１
の他方の素子の外部端子１ｂにはプローブ端子２ｂが当
接され、プローブ端子２ｂと測定器４ｂの容量計５とが
信号ケーブル３ｂで接続されている。測定用の周波数を
測定器４ａ及び４ｂの容量計５へ供給する供給周波数発
生器６は測定器４ａにのみ設けられている。ここで、測
定器４ａの容量計５へは供給周波数発生器６から供給周
波数ｆ１が供給され、測定器４ｂの容量計５へは信号ケ
ーブル８により分岐された供給周波数発生器６からの供
給周波数ｆ２が供給される。これら供給周波数ｆ１，ｆ
２は、同一であり、且つ電圧振幅及び位相差とも完全に
一致しているものとして単一の供給周波数発生器６から
供給されるものである。
【００１８】このような構成では、２素子入りコンデン
サアレイ１の特性を同時に測定する際、測定器４ａに設
けられている供給周波数発生器６から測定用の供給周波
数ｆ１，ｆ２が測定器４ａ及び４ｂの容量計５へ供給さ
れる。このとき、供給周波数ｆ１，ｆ２は、上述したよ
うに、測定器４ａに設けられている供給周波数発生器６
から供給されるため、同一でり、且つ電圧振幅及び位相
差とも完全に一致しているものとなる。
サアレイ１の特性を同時に測定する際、測定器４ａに設
けられている供給周波数発生器６から測定用の供給周波
数ｆ１，ｆ２が測定器４ａ及び４ｂの容量計５へ供給さ
れる。このとき、供給周波数ｆ１，ｆ２は、上述したよ
うに、測定器４ａに設けられている供給周波数発生器６
から供給されるため、同一でり、且つ電圧振幅及び位相
差とも完全に一致しているものとなる。
【００１９】また、プローブ端子２ａと測定器４ａ及び
プローブ端子２ｂと測定器４ｂを結ぶ信号ケーブル３ａ
及び３ｂとで構成される測定経路の測定電圧は、上述し
た理由から、周波数、電圧、及び位相とも完全に一致し
ている。そのため、浮遊容量Ｃｓ１は直流成分による一
定の値となる。
プローブ端子２ｂと測定器４ｂを結ぶ信号ケーブル３ａ
及び３ｂとで構成される測定経路の測定電圧は、上述し
た理由から、周波数、電圧、及び位相とも完全に一致し
ている。そのため、浮遊容量Ｃｓ１は直流成分による一
定の値となる。
【００２０】そこで、測定器４ａ，４ｂのそれぞれに設
けられているオフセット量設定器７で浮遊容量Ｃｓ１に
相当するオフセット量を設定することにより、浮遊容量
Ｃｓ１による測定誤差がキャンセルされるので、浮遊容
量Ｃｓ１による影響を受けること無く、２素子入りコン
デンサアレイ１の特性が同時に安定して測定される。
けられているオフセット量設定器７で浮遊容量Ｃｓ１に
相当するオフセット量を設定することにより、浮遊容量
Ｃｓ１による測定誤差がキャンセルされるので、浮遊容
量Ｃｓ１による影響を受けること無く、２素子入りコン
デンサアレイ１の特性が同時に安定して測定される。
【００２１】次に、図１の交流インピーダンスのマルチ
測定装置の構成を変えた場合の他の実施の形態を、図２
により説明する。
測定装置の構成を変えた場合の他の実施の形態を、図２
により説明する。
【００２２】図２では、測定器４ｃ及び４ｄへの供給周
波数発生器６ａ及び６ｂを測定器４ｃ及び４ｄのそれぞ
れに設け、供給周波数発生器６ａ及び６ｂを信号ケーブ
ル９で接続することで同期をとるようにしている。
波数発生器６ａ及び６ｂを測定器４ｃ及び４ｄのそれぞ
れに設け、供給周波数発生器６ａ及び６ｂを信号ケーブ
ル９で接続することで同期をとるようにしている。
【００２３】このような構成では、供給周波数発生器６
ａ及び６ｂが信号ケーブル９での接続により同期がとら
れているため、各測定器４ｃ及び４ｄへの供給周波数ｆ
３及びｆ４が一致し、且つ位相差も生じない。ただし、
信号ケーブル９の接続による同期の介在により、電圧振
幅に多少の差が生じ、浮遊容量Ｃｓ２は図１の実施の形
態より多くなる可能性があるが、図１の実施の形態と同
様に、浮遊容量Ｃｓ２に相当するオフセット量を設定す
ることで、浮遊容量Ｃｓ２に対する測定誤差は確実にキ
ャンセルされる。
ａ及び６ｂが信号ケーブル９での接続により同期がとら
れているため、各測定器４ｃ及び４ｄへの供給周波数ｆ
３及びｆ４が一致し、且つ位相差も生じない。ただし、
信号ケーブル９の接続による同期の介在により、電圧振
幅に多少の差が生じ、浮遊容量Ｃｓ２は図１の実施の形
態より多くなる可能性があるが、図１の実施の形態と同
様に、浮遊容量Ｃｓ２に相当するオフセット量を設定す
ることで、浮遊容量Ｃｓ２に対する測定誤差は確実にキ
ャンセルされる。
【００２４】このように、以上の各実施の形態では、多
連チップ部品の一つである２素子入りコンデンサアレイ
１の片側素子の外部端子１ａに測定用プローブ端子２ａ
を当接させ、プローブ端子２ａと測定器４ａの容量計５
とを信号ケーブル３ａで接続し、プローブ端子２ｂと測
定器４ｂの容量計５とを信号ケーブル３ｂで接続すると
ともに、測定器４ａ及び４ｂへの供給周波数を共通化す
るようにした。
連チップ部品の一つである２素子入りコンデンサアレイ
１の片側素子の外部端子１ａに測定用プローブ端子２ａ
を当接させ、プローブ端子２ａと測定器４ａの容量計５
とを信号ケーブル３ａで接続し、プローブ端子２ｂと測
定器４ｂの容量計５とを信号ケーブル３ｂで接続すると
ともに、測定器４ａ及び４ｂへの供給周波数を共通化す
るようにした。
【００２５】すなわち、浮遊容量が生ずる主要因として
上述したように、並行する測定経路間の測定用の供給周
波数の違い、電圧振幅の差、若しくは位相のずれがあ
り、その周波数、振幅及び位相を一致させることで浮遊
容量を軽減、若しくは無視することができる。そこで、
多連チップ部品を構成する全ての素子の交流インピーダ
ンスを同時に測定する全ての測定器４ａ，４ａの測定周
波数、電圧振幅及び位相を一致させることにより、浮遊
容量の影響をオフセット量の調整によりキャンセルする
ことができる。
上述したように、並行する測定経路間の測定用の供給周
波数の違い、電圧振幅の差、若しくは位相のずれがあ
り、その周波数、振幅及び位相を一致させることで浮遊
容量を軽減、若しくは無視することができる。そこで、
多連チップ部品を構成する全ての素子の交流インピーダ
ンスを同時に測定する全ての測定器４ａ，４ａの測定周
波数、電圧振幅及び位相を一致させることにより、浮遊
容量の影響をオフセット量の調整によりキャンセルする
ことができる。
【００２６】ちなみに、並行する測定経路間の測定周波
数をそれぞれｆ１，ｆ２とすると、両測定経路間に生ず
る干渉周波数は│ｆ１−ｆ２│となるが、両測定用の供
給周波数ｆ１、ｆ２が同じで且つ位相のずれが無い場合
は│ｆ１−ｆ２│＝０、すなわち直流と同等と考えるこ
とができる。また、浮遊容量も変動しない一定の直流成
分のみとなるためオフセット量設定器７でオフセット量
を調整することによりその浮遊容量分をキャンセルする
ことができる。
数をそれぞれｆ１，ｆ２とすると、両測定経路間に生ず
る干渉周波数は│ｆ１−ｆ２│となるが、両測定用の供
給周波数ｆ１、ｆ２が同じで且つ位相のずれが無い場合
は│ｆ１−ｆ２│＝０、すなわち直流と同等と考えるこ
とができる。また、浮遊容量も変動しない一定の直流成
分のみとなるためオフセット量設定器７でオフセット量
を調整することによりその浮遊容量分をキャンセルする
ことができる。
【００２７】具体的には、図１の実施の形態では、供給
周波数発生器６を測定器４ａにのみ設け、測定器４ｂ側
には供給周波数発生器６から信号ケーブル８により分岐
して供給するようにした。
周波数発生器６を測定器４ａにのみ設け、測定器４ｂ側
には供給周波数発生器６から信号ケーブル８により分岐
して供給するようにした。
【００２８】一方、図２の実施の形態では、測定器４ｃ
及び４ｄのそれぞれに供給周波数発生器６ａ及び６ｂを
設け、供給周波数発生器６ａ及び６ｂを信号ケーブル９
で接続することで同期をとるようにした。
及び４ｄのそれぞれに供給周波数発生器６ａ及び６ｂを
設け、供給周波数発生器６ａ及び６ｂを信号ケーブル９
で接続することで同期をとるようにした。
【００２９】これにより、測定器４ａへの供給周波数ｆ
１，ｆ３と測定器４ｂへの供給周波数ｆ２，ｆ４とを同
一とすることができ、且つ電圧振幅及び位相差とも完全
に一致させることができる。また、プローブ端子２ａと
測定器４ａ及びプローブ端子２ｂと測定器４ｂを結ぶ信
号ケーブル３ａ及び３ｂとで構成される測定経路の測定
電圧は、周波数、電圧及び位相とも完全に一致してお
り、発生する浮遊容量Ｃｓ１，Ｃｓ２は直流成分による
一定の値となる。そこで、測定器４ａ，４ｂのそれぞれ
に設けたオフセット量設定器７で浮遊容量Ｃｓ１，Ｃｓ
２に相当するオフセット量を設定することにより、浮遊
容量Ｃｓ１，Ｃｓ２による測定誤差を確実にキャンセル
することができる。
１，ｆ３と測定器４ｂへの供給周波数ｆ２，ｆ４とを同
一とすることができ、且つ電圧振幅及び位相差とも完全
に一致させることができる。また、プローブ端子２ａと
測定器４ａ及びプローブ端子２ｂと測定器４ｂを結ぶ信
号ケーブル３ａ及び３ｂとで構成される測定経路の測定
電圧は、周波数、電圧及び位相とも完全に一致してお
り、発生する浮遊容量Ｃｓ１，Ｃｓ２は直流成分による
一定の値となる。そこで、測定器４ａ，４ｂのそれぞれ
に設けたオフセット量設定器７で浮遊容量Ｃｓ１，Ｃｓ
２に相当するオフセット量を設定することにより、浮遊
容量Ｃｓ１，Ｃｓ２による測定誤差を確実にキャンセル
することができる。
【００３０】しかも、２素子入りコンデンサアレイ１の
素子を同時に測定するようにしているので、従来のよう
に、測定の際、切換えのために有接点回路を経由するこ
とが無いため、接触不良による測定誤差が無いばかり
か、切換時間による高速化への制約等も解消することが
でき、特性測定の高速処理を行うことができる。
素子を同時に測定するようにしているので、従来のよう
に、測定の際、切換えのために有接点回路を経由するこ
とが無いため、接触不良による測定誤差が無いばかり
か、切換時間による高速化への制約等も解消することが
でき、特性測定の高速処理を行うことができる。
【００３１】なお、以上の各実施の形態では、多連チッ
プ部品として２素子入りコンデンサアレイ１の例を説明
したが、２素子入りコンデンサアレイ１に限るものでは
なく、コンデンサアレイ若しくはインダクタアレイ等の
他の多連チップ部品の交流インピーダンス測定に適用す
ることができる。また、多連チップ部品に限らず、近接
して設けられた複数の単体部品の交流インピーダンス測
定にも適用することができる。
プ部品として２素子入りコンデンサアレイ１の例を説明
したが、２素子入りコンデンサアレイ１に限るものでは
なく、コンデンサアレイ若しくはインダクタアレイ等の
他の多連チップ部品の交流インピーダンス測定に適用す
ることができる。また、多連チップ部品に限らず、近接
して設けられた複数の単体部品の交流インピーダンス測
定にも適用することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上の如く本発明に係る交流インピーダ
ンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法によれ
ば、多連チップ部品の外部端子に当接して特性を測定す
る複数のプローブ端子と、複数の測定器と、複数のプロ
ーブ端子と複数の測定器を接続する複数の信号ケーブル
とを有し、複数の測定器への供給周波数を共通化するよ
うにしたので、多連チップ部品のように外部端子の間隔
が狭い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連
チップを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特
性）を同時に安定して測定することができる。
ンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法によれ
ば、多連チップ部品の外部端子に当接して特性を測定す
る複数のプローブ端子と、複数の測定器と、複数のプロ
ーブ端子と複数の測定器を接続する複数の信号ケーブル
とを有し、複数の測定器への供給周波数を共通化するよ
うにしたので、多連チップ部品のように外部端子の間隔
が狭い場合でも浮遊容量の影響を受けること無く、多連
チップを構成する全ての素子の交流インピーダンス（特
性）を同時に安定して測定することができる。
【図１】本発明の交流インピーダンスのマルチ測定装置
の一実施の形態を示す図である。
の一実施の形態を示す図である。
【図２】図１の交流インピーダンスのマルチ測定装置の
構成を変えた場合の他の実施の形態を示す図である。
構成を変えた場合の他の実施の形態を示す図である。
【図３】従来の交流インピーダンスのマルチ測定方法の
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図４】従来の交流インピーダンスのマルチ測定方法の
他の例を示す図である。
他の例を示す図である。
１ コンデンサアレイ
１ａ，１ｂ 外部端子
２ａ，２ｂ プローブ端子
３ａ，３ｂ 信号ケーブル
４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 測定器
５ 容量計
６，６ａ，６ｂ 供給周波数発生器
７ オフセット量設定器
８，９ 信号ケーブル
ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４ 測定周波数
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G028 AA01 AA02 BB06 BB10 CG07
CG08 DH05 DH14 FK01 HN09
2G036 AA03 BB02 BB22
Claims (9)
- 【請求項１】 多連チップ部品の外部端子に当接して特
性を測定する複数のプローブ端子と、複数の測定器と、
前記複数のプローブ端子と前記複数の測定器を接続する
複数の信号ケーブルとを有する測定装置であって、 前記複数の測定器への供給周波数を共通化していること
を特徴とする交流インピーダンスのマルチ測定装置。 - 【請求項２】 前記複数の測定器の何れか一の測定器に
周波数発生器を設け、前記周波数発生器の出力を全ての
前記測定器に分岐させて供給することを特徴とする請求
項１に記載の交流インピーダンスのマルチ測定装置。 - 【請求項３】 前記測定器の全てに周波数発生器を設
け、これらの周波数発生器を同期させることにより、前
記供給周波数を共通化させることを特徴とする請求項１
に記載の交流インピーダンスのマルチ測定装置。 - 【請求項４】 前記複数の測定器に浮遊容量による測定
誤差を補正するオフセット量設定器が設けられているこ
とを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の交流イン
ピーダンスのマルチ測定装置。 - 【請求項５】 多連チップ部品の外部端子に複数のプロ
ーブ端子を当接する工程と、前記プローブ端子から信号
ケーブルで接続した複数の測定器により特性を測定する
工程とを有する特性測定方法であって、 前記複数の測定器の供給周波数を共通化させる工程を有
することを特徴とする交流インピーダンスのマルチ測定
方法。 - 【請求項６】 前記複数の測定器の何れか一の測定器に
設けた周波数発生器の出力を全ての前記測定器に分岐さ
せて供給する工程を有することを特徴とする請求項５に
記載の交流インピーダンスのマルチ測定方法。 - 【請求項７】 前記測定器の全てに設けた周波数発生器
を同期させることにより、前記供給周波数を共通化させ
る工程を有することを特徴とする請求項５に記載の交流
インピーダンスのマルチ測定方法。 - 【請求項８】 前記複数の測定器に設けられているオフ
セット量設定器によるオフセット量の設定により、浮遊
容量による測定誤差を補正する工程を有することを特徴
とする請求項５〜７の何れかに記載の交流インピーダン
スのマルチ測定方法。 - 【請求項９】 前記多連チップ部品を構成する全ての素
子を同時に測定する工程を有することを特徴とする請求
項５〜８の何れかに記載の交流インピーダンスのマルチ
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002115690A JP2003315394A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002115690A JP2003315394A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003315394A true JP2003315394A (ja) | 2003-11-06 |
Family
ID=29533762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002115690A Pending JP2003315394A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 交流インピーダンスのマルチ測定装置及びそのマルチ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003315394A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012108123A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 株式会社村田製作所 | コンデンサアレイの選別方法 |
| CN105353224A (zh) * | 2015-10-29 | 2016-02-24 | 国网智能电网研究院 | 一种大型电工装备导体系统分布电容的测试方法 |
| CN109765429A (zh) * | 2017-11-09 | 2019-05-17 | 日置电机株式会社 | 阻抗测量系统和阻抗测量方法 |
-
2002
- 2002-04-18 JP JP2002115690A patent/JP2003315394A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012108123A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 株式会社村田製作所 | コンデンサアレイの選別方法 |
| JP5464282B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2014-04-09 | 株式会社村田製作所 | コンデンサアレイの選別方法 |
| CN105353224A (zh) * | 2015-10-29 | 2016-02-24 | 国网智能电网研究院 | 一种大型电工装备导体系统分布电容的测试方法 |
| CN105353224B (zh) * | 2015-10-29 | 2019-06-28 | 中电普瑞电力工程有限公司 | 一种大型电工装备导体系统分布电容的测试方法 |
| CN109765429A (zh) * | 2017-11-09 | 2019-05-17 | 日置电机株式会社 | 阻抗测量系统和阻抗测量方法 |
| JP2019086474A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 日置電機株式会社 | インピーダンス測定システムおよびインピーダンス測定方法 |
| CN109765429B (zh) * | 2017-11-09 | 2023-02-24 | 日置电机株式会社 | 阻抗测量系统和阻抗测量方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070316 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070320 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070717 |