JP2003315304A - Oxygen sensor element - Google Patents

Oxygen sensor element

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JP2003315304A
JP2003315304A JP2002123054A JP2002123054A JP2003315304A JP 2003315304 A JP2003315304 A JP 2003315304A JP 2002123054 A JP2002123054 A JP 2002123054A JP 2002123054 A JP2002123054 A JP 2002123054A JP 2003315304 A JP2003315304 A JP 2003315304A
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air introduction
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable oxygen sensor element capable of preventing the occurrences of a crack due to a rapid temperature rise while maintaining the strength of the element. <P>SOLUTION: The oxygen sensor element comprises a sensor section having a plate-shaped solid electrolyte substrate 22 whose end is sealed in which an air inlet hole 22a is formed. A reference electrode 23 is formed on an inner wall of the air inlet hole 22a. A measuring electrode 24 of platinum is formed on a surface of the substrate 22 opposite to the reference electrode 23. The length Ws of an end face of the air inlet hole 22a located on the side of the reference electrode 23 as taken in a direction perpendicular to the direction of the length of the element inside the air inlet hole 22a is greater than the width W of the reference electrode 23 as taken in the direction perpendicular to the direction of the length of the element, and greater than the length Wh of the opposite end face of the air inlet hole 22a. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、自動車等の内燃機
関における空気と燃料の比率を制御するための酸素セン
サ素子に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oxygen sensor element for controlling the ratio of air to fuel in an internal combustion engine such as an automobile.

【0002】[0002]

【従来技術】現在、自動車等の内燃機関においては、排
出ガス中の酸素濃度を検出して、その検出値に基づいて
内燃機関に供給する空気および燃料供給量を制御するこ
とにより、内燃機関からの有害物質、例えばCO、H
C、NOxを低減させる方法が採用されている。
2. Description of the Related Art Currently, in an internal combustion engine of an automobile or the like, the oxygen concentration in the exhaust gas is detected, and the amount of air and fuel supplied to the internal combustion engine is controlled based on the detected value so that Harmful substances such as CO, H
A method of reducing C and NOx is adopted.

【0003】この検出素子として、主として酸素イオン
導電性を有するジルコニアを主分とする固体電解質から
なり、一端が封止された円筒管の外面および内面にそれ
ぞれ一対の電極層(外面:測定電極、内面:基準電極)
が形成された固体電解質型の酸素センサが用いられてい
る。
As this detecting element, a pair of electrode layers (outer surface: measuring electrode, respectively) are formed on the outer surface and the inner surface of a cylindrical tube mainly composed of zirconia having oxygen ion conductivity and having one end sealed. (Inner surface: reference electrode)
A solid electrolyte type oxygen sensor in which is formed is used.

【0004】このような酸素センサにおいて、一般に、
空気と燃料の比率が1付近の制御に用いられている、い
わゆる理論空燃比センサ(λセンサ)としては、測定電
極の表面に、保護層としてセラミック多孔質層が設けら
れており、所定温度で円筒管両側に発生する酸素濃度差
を検出し、エンジン吸気系の空燃比の制御が行われてい
る。この際、理論空燃比センサは約700℃付近の作動
温度までに加熱する必要があり、そのために、円筒管の
内側には、センサ部を作動温度まで加熱するため棒状ヒ
ータが挿入されている。
In such an oxygen sensor, generally,
As a so-called theoretical air-fuel ratio sensor (λ sensor) used for controlling the ratio of air to fuel near 1, a ceramic porous layer is provided as a protective layer on the surface of the measuring electrode, and at a predetermined temperature. The air-fuel ratio of the engine intake system is controlled by detecting the oxygen concentration difference generated on both sides of the cylindrical pipe. At this time, the stoichiometric air-fuel ratio sensor needs to be heated to an operating temperature of about 700 ° C. Therefore, a rod-shaped heater is inserted inside the cylindrical tube to heat the sensor unit to the operating temperature.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年排
気ガス規制の強化傾向が強まり、エンジン始動直後から
のCO、HC、NOxの検出が必要になってきた。この
ような要求に対して、上述のように、ヒータを円筒管内
に挿入してなる間接加熱方式の円筒型酸素センサでは、
センサ部が活性化温度に達するまでに要する時間(活性
化時間)が遅いために排気ガス規制に充分対応できない
という問題があった。
However, in recent years, the tendency to tighten exhaust gas regulations has become stronger, and it has become necessary to detect CO, HC, and NOx immediately after the engine is started. In response to such a demand, as described above, in the indirect heating type cylindrical oxygen sensor in which the heater is inserted into the cylindrical tube,
There is a problem that exhaust gas regulations cannot be sufficiently met because the time required for the sensor unit to reach the activation temperature (activation time) is slow.

【0006】近年、この問題を回避する方法として、図
4の概略断面図に示すように平板状の固体電解質基板5
1の外面および大気導入孔54の内面に測定電極52と
準電極53とをそれぞれ設けたセンサ部とセラミック絶
縁層55の内部に白金ヒータ56を埋設したヒータ部と
が一体化された酸素センサ素子が提案されている。
In recent years, as a method for avoiding this problem, as shown in the schematic sectional view of FIG.
1. An oxygen sensor element in which a sensor portion provided with a measurement electrode 52 and a quasi electrode 53 on the outer surface of 1 and an inner surface of an air introduction hole 54 and a heater portion having a platinum heater 56 embedded in a ceramic insulating layer 55 are integrated. Is proposed.

【0007】しかしながら、このヒータ一体型酸素セン
サは、上述の従来の間接加熱方式と異なり、直接加熱方
式であるために急速昇温が可能ではあるが、本来、大気
導入孔54内に形成されるべき基準電極53や基準電極
53のリードパターン等が積層時のわずかなズレによっ
て、基準電極53や基準電極53のリードパターンの端
部の一部が固体電解質基板内に埋設された状態となり、
その結果、急速昇温による熱衝撃の繰り返しによって埋
設された部分からクラック等が発生し、センサ素子の寿
命を短くしてしまうために、不良品となり、その結果、
製造時の歩留まりを低下させる大きな要因となってい
た。
However, unlike the above-described conventional indirect heating method, this heater-integrated oxygen sensor is capable of rapid temperature rise because it is a direct heating method, but it is originally formed in the air introduction hole 54. The reference electrode 53 and the lead pattern of the reference electrode 53 should be slightly misaligned at the time of stacking so that a part of the end portion of the reference electrode 53 and the lead pattern of the reference electrode 53 is embedded in the solid electrolyte substrate.
As a result, cracks and the like occur from the embedded part due to repeated thermal shock due to rapid temperature rise, shortening the life of the sensor element, resulting in a defective product.
It has been a major factor in lowering the production yield.

【0008】さらに、酸素センサ素子においては、大気
導入孔54は、不可欠の要素であるが、この大気導入孔
54によって素子自体の強度が低下するという問題があ
った。
Further, in the oxygen sensor element, the air introduction hole 54 is an indispensable element, but there is a problem that the strength of the element itself is lowered by the air introduction hole 54.

【0009】従って、本発明は、素子の強度を保ちつ
つ、急速昇温によるクラックの発生を防ぐことができる
信頼性の高い酸素センサ素子を提供する。
Therefore, the present invention provides a highly reliable oxygen sensor element capable of preventing the occurrence of cracks due to rapid temperature rise while maintaining the strength of the element.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の問題
について検討した結果、空気導入孔を所定の形状に制御
することによって、素子の強度を高めることができると
ともに、急速昇温に対する耐久性をも高めることができ
ることを見出し、本発明に至った。
As a result of studying the above problems, the present inventor has found that controlling the air introduction hole to have a predetermined shape can enhance the strength of the element and also endure it against a rapid temperature rise. The inventors have found that it is also possible to enhance the properties and have reached the present invention.

【0011】即ち、本発明の酸素センサ素子は、固体電
解質基板の先端部が封止された大気導入孔を有する平板
体であって、前記大気導入孔の内壁に基準電極を形成
し、前記基準電極と対向する固体電解質基板の表面に測
定電極をそれぞれ設けたセンサ部を具備する酸素センサ
素子において、前記大気導入孔内部の素子の長手方向に
対して直行する方向における前記基準電極形成側の底面
長さが、素子の長手方向に対して直行する方向での前記
基準電極幅より長く、且つ大気導入孔内の対向する底面
長さより長いことを特徴とするものであり、該酸素セン
サ素子には、セラミック絶縁層中に発熱体を埋設したヒ
ータ部を具備することが望ましい。
That is, the oxygen sensor element of the present invention is a flat plate body having an air introduction hole in which the tip of the solid electrolyte substrate is sealed, and a reference electrode is formed on the inner wall of the air introduction hole. In an oxygen sensor element having a sensor section in which a measurement electrode is provided on the surface of a solid electrolyte substrate facing the electrode, a bottom surface of the reference electrode formation side in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the element inside the air introduction hole. The length is longer than the reference electrode width in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the element, and is longer than the opposing bottom surface length in the air introduction hole, the oxygen sensor element, It is desirable to provide a heater section in which a heating element is embedded in the ceramic insulating layer.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の酸素センサ素子の
基本構造の例を、図面をもとに説明する。図1は、本発
明の酸素センサ素子の一例を説明するための概略断面
図、図2に他の例を説明するための概略断面図である。
これらは、一般的に理論空撚比センサ素子と呼ばれるも
のであり、図1、図2の例ではいずれもセンサ部20と
ヒータ部21を具備するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An example of the basic structure of an oxygen sensor element of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the oxygen sensor element of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining another example.
These are generally called theoretical air-twisting ratio sensor elements, and each of them includes a sensor section 20 and a heater section 21 in the examples of FIGS.

【0013】図1の酸素センサ素子においては、ジルコ
ニアからなる酸素イオン導電性を有する固体電解質基板
22と、この固体電解質基板22の対向する両面には、
空気に接する基準電極23と、排気ガスと接する測定電
極24とが形成されており、酸素濃度を検知する機能を
有するセンサ部20を形成している。
In the oxygen sensor element of FIG. 1, a solid electrolyte substrate 22 made of zirconia and having oxygen ion conductivity, and on both surfaces of the solid electrolyte substrate 22 facing each other,
A reference electrode 23 in contact with air and a measurement electrode 24 in contact with exhaust gas are formed to form a sensor unit 20 having a function of detecting oxygen concentration.

【0014】即ち、固体電解質基板22は先端が封止さ
れた平板状の中空形状からなり、この中空部が大気導入
孔22aを形成している。そして、この大気導入孔22
aの内壁には、空気などの基準ガスと接触する基準電極
23が被着形成され、この基準電極23と対向する固体
電解質基板22の外面に、排気ガスなどの被測定ガスと
接触する測定電極24が形成されている。
That is, the solid electrolyte substrate 22 has a flat plate-like hollow shape with a sealed tip, and this hollow portion forms an air introduction hole 22a. Then, this air introduction hole 22
A reference electrode 23 that contacts a reference gas such as air is deposited on the inner wall of a, and a measurement electrode that contacts a measurement gas such as exhaust gas is formed on the outer surface of the solid electrolyte substrate 22 facing the reference electrode 23. 24 are formed.

【0015】また、排気ガスによる電極の被毒を防止す
る観点から、測定電極24表面には電極保護層としてセ
ラミック多孔質層25が形成されている。
From the viewpoint of preventing poisoning of the electrode by exhaust gas, a ceramic porous layer 25 is formed on the surface of the measuring electrode 24 as an electrode protective layer.

【0016】本発明によれば、かかる酸素センサ素子に
おいて、大気導入孔22a内部の素子の長手方向に対し
て直行する方向での基準電極23形成側の底面長さWs
が、素子の長手方向に対して直行する方向での基準電極
23の幅Wより長く、且つ対向する底面の長さWhより
長いことが重要である。基準電極23側の底面長さWs
が、基準電極23の幅Wより短くなると、基準電極23
の両端が固体電解質基板22内に埋設されてしまい、急
速昇温時の熱衝撃によりクラックを生じやすくなってし
まう。また、基準電極23側の底面長さWsと基準電極
23の幅Wが同じであれば積層時のわずかなずれによっ
て、基準電極23が固体電解質基板22内に埋設される
ため、急速昇温時の熱衝撃によりクラックを生じる。一
方、基準電極23側の底面長さWsが、対向する底面の
長さWhと同じか、あるいは短くなると、素子の強度が
落ちるためにエンジン中で破壊される恐れが生じ、信頼
性に欠ける。
According to the present invention, in such an oxygen sensor element, the bottom surface length Ws on the side where the reference electrode 23 is formed in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the element inside the air introduction hole 22a.
However, it is important that the width is longer than the width W of the reference electrode 23 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the element and longer than the length Wh of the bottom surface facing each other. Bottom length Ws on the reference electrode 23 side
Becomes shorter than the width W of the reference electrode 23,
Both ends are embedded in the solid electrolyte substrate 22, and cracks are likely to occur due to thermal shock during rapid temperature rise. Further, if the bottom surface length Ws on the reference electrode 23 side and the width W of the reference electrode 23 are the same, the reference electrode 23 is embedded in the solid electrolyte substrate 22 due to a slight misalignment during stacking, so that the temperature rises rapidly. The thermal shock of causes cracks. On the other hand, if the bottom surface length Ws on the side of the reference electrode 23 is equal to or shorter than the length Wh of the opposed bottom surface, the strength of the element is reduced and the element may be broken in the engine, resulting in lack of reliability.

【0017】より具体的には、基準電極23の幅W、基
準電極23側の底面長さWs、対向する底面の長さWh
とは、W/Wsが0.7〜0.95,Wh/Wsが0.
5〜0.95であることが適当である。
More specifically, the width W of the reference electrode 23, the bottom surface length Ws on the reference electrode 23 side, and the length Wh of the opposed bottom surface.
Means that W / Ws is 0.7 to 0.95 and Wh / Ws is 0.
A value of 5 to 0.95 is suitable.

【0018】本発明においては、基準電極23および測
定電極24はいずれも多孔質の白金からなるもので、白
金粒子内にはジルコニア相が存在するとともに、白金粒
子内にジルコニア相が0.1〜10体積%の割合で含有
されていることによって、白金粒子の粒成長を抑制する
ことができる結果、ガス応答性のよい測定電極24を形
成することができる。
In the present invention, both the reference electrode 23 and the measurement electrode 24 are made of porous platinum, and the zirconia phase exists in the platinum particles and the zirconia phase is 0.1 to 0.1 in the platinum particles. The content of 10% by volume can suppress the grain growth of platinum particles, and as a result, the measurement electrode 24 having good gas responsiveness can be formed.

【0019】一方、ヒータ部21は、電気絶縁性を有す
るセラミック絶縁層26に白金などの発熱体27が埋設
された構造からなり、図1の酸素センサ素子において
は、ヒータ部21は、センサ部20とともに焼成によっ
て一体化された構造からなり、図2の酸素センサ素子に
おいては、センサ部20とヒータ部21とは、それぞれ
別体で形成され、接合材28によって接合された構造か
らなる。
On the other hand, the heater section 21 has a structure in which a heating element 27 such as platinum is embedded in a ceramic insulating layer 26 having an electric insulation property. In the oxygen sensor element of FIG. 1, the heater section 21 is a sensor section. The oxygen sensor element of FIG. 2 has a structure in which the sensor unit 20 and the heater unit 21 are formed separately from each other and joined by a joining material 28.

【0020】特に、センサ部20の固体電解質基板22
とヒータ部21のセラミック絶縁層26との熱膨張係数
差が大きい場合には、図2の構造からなることが望まし
く、特に、接合箇所は、白金発熱体27や電極23、2
4が形成されていない使用時において、温度の低い部分
にて接合することが望ましい。
In particular, the solid electrolyte substrate 22 of the sensor section 20
When the difference in thermal expansion coefficient between the ceramic insulating layer 26 of the heater 21 and the ceramic insulating layer 26 is large, the structure shown in FIG. 2 is preferably used.
4 is not formed, it is desirable to join at a low temperature portion during use.

【0021】また、センサ部とヒータ部とを全面にて接
合する場合には、センサ部20とヒータ部21との熱膨
張係数の違いによる応力を緩和するため、例えばセンサ
部20のジルコニア固体電解質基板22とヒータ部21
のアルミナセラミック絶縁層26との複合材料、アルミ
ナとジルコニアとを複合化合物層を介在させることが望
ましい。
Further, when the sensor portion and the heater portion are bonded to each other over the entire surface, stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the sensor portion 20 and the heater portion 21 is relaxed, so that, for example, the zirconia solid electrolyte of the sensor portion 20 is used. Substrate 22 and heater section 21
It is desirable to interpose a composite material of the alumina ceramic insulating layer 26, and a composite compound layer of alumina and zirconia.

【0022】本発明の酸素センサ素子において用いられ
る固体電解質は、ZrO2を含有するセラミックスから
なることが望ましく、安定化剤として、Y23およびY
23、Sc23、Sm23、Nd23、Dy23等の
希土類酸化物を酸化物換算で1〜30モル%、好ましく
は3〜15モル%含有する部分安定化ZrO2あるいは
安定化ZrO2が用いられる。
The solid electrolyte used in the oxygen sensor element of the present invention is preferably made of a ceramic containing ZrO 2 , and Y 2 O 3 and Y 2 are used as stabilizers.
b 2 O 3, Sc 2 O 3, Sm 2 O 3, Nd 2 O 3, Dy 2 O 3 or the like 1 to 30 mol% of rare earth oxide in terms of oxide of the portion preferably containing 3 to 15 mol% Stabilized ZrO 2 or stabilized ZrO 2 is used.

【0023】また、ZrO2中のZrを1〜20原子%
をCeで置換したZrO2を用いることにより、イオン
導電性が大きくなり、応答性がさらに改善されるといっ
た効果がある。
Further, Zr in ZrO 2 is 1 to 20 atomic%.
By using ZrO 2 in which is substituted with Ce, there is an effect that ionic conductivity is increased and responsiveness is further improved.

【0024】さらに、焼結性を改善する目的で、上記Z
rO2に対して、Al23やSiO2を添加含有させるこ
とができるが、多量に含有させると、高温におけるクリ
ープ特性が悪くなることから、Al23およびSiO2
の添加量は総量で5重量%以下、特に2重量%以下であ
ることが望ましい。
Further, for the purpose of improving the sinterability, the above Z
against rO 2, Al 2 O 3 and has a SiO 2 may be contained additives, the inclusion in a large amount, since the creep characteristic is deteriorated at high temperatures, Al 2 O 3 and SiO 2
It is desirable that the total amount of added is 5% by weight or less, especially 2% by weight or less.

【0025】固体電解質基板22の表面に被着形成され
る基準電極23、測定電極24は、いずれも白金、ある
いは白金と、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび
金の群から選ばれる1種との合金が用いられる。また、
センサ動作時に、電極中の金属の粒成長を防止する目的
と、応答性に係わる白金粒子と固体電解質と気体との、
いわゆる3相界面の接点を増大する目的で、上述のセラ
ミック固体電解質成分を1〜50体積%、特に10〜3
0体積%の割合で上記電極中に混合してもよい。
The reference electrode 23 and the measurement electrode 24 deposited on the surface of the solid electrolyte substrate 22 are both platinum or an alloy of platinum and one alloy selected from the group of rhodium, palladium, ruthenium and gold. Used. Also,
At the time of sensor operation, the purpose of preventing the particle growth of the metal in the electrode, the platinum particles related to the response, the solid electrolyte and the gas,
For the purpose of increasing the number of contacts at the so-called three-phase interface, the above-mentioned ceramic solid electrolyte component is contained in an amount of 1 to 50% by volume, particularly 10 to 3%.
You may mix in the said electrode in the ratio of 0 volume%.

【0026】また、電極形状としては、四角形でも楕円
形でもよい。また、電極の厚さは、3〜20μm、特に
5〜10μmが好ましい。
The shape of the electrodes may be square or elliptical. Further, the thickness of the electrode is preferably 3 to 20 μm, and particularly preferably 5 to 10 μm.

【0027】一方、白金発熱体27を埋設するセラミッ
ク絶縁層26としては、アルミナセラミックスからなる
相対密度が80%以上、開気孔率が5%以下の緻密質な
セラミックスによって構成されていることが望ましい。
On the other hand, as the ceramic insulating layer 26 in which the platinum heating element 27 is embedded, it is desirable that the ceramic insulating layer 26 be made of dense ceramics having a relative density of 80% or more and an open porosity of 5% or less. .

【0028】この際、焼結性を改善する目的でセラミッ
ク絶縁相26中にMg、Ca、Siを総和で1〜10質
量%含有していてもよいが、Na、K等のアルカリ金属
の含有量としては、マイグレーションによりヒータ部2
1の電気絶縁性を悪くするため、酸化物換算で50pp
m以下に制御することが望ましい。
At this time, for the purpose of improving the sinterability, the ceramic insulating phase 26 may contain Mg, Ca, and Si in a total amount of 1 to 10% by mass, but contains an alkali metal such as Na or K. As for the amount, the heater portion 2 is used due to migration.
50 pp in terms of oxide in order to worsen the electrical insulation property of 1.
It is desirable to control to m or less.

【0029】また、相対密度を上記の範囲とすることに
よって、基板強度が高くなる結果、酸素センサ自体の機
械的な強度を高めることができる。
By setting the relative density within the above range, the strength of the substrate increases, and as a result, the mechanical strength of the oxygen sensor itself can be increased.

【0030】また、測定電極24の表面に形成されるセ
ラミック多孔質層25は、厚さ10〜800μmで、気
孔率が10〜50%のジルコニア、アルミナ、γ−アル
ミナおよびスピネルの群から選ばれる少なくとも1種に
よって形成されていることが望ましい。
The ceramic porous layer 25 formed on the surface of the measuring electrode 24 has a thickness of 10 to 800 μm and is selected from the group consisting of zirconia, alumina, γ-alumina and spinel having a porosity of 10 to 50%. It is desirable to be formed of at least one kind.

【0031】この多孔質層25の厚さが10μmより薄
いか、あるいは気孔率が50%を超えると、電極被毒物
質P、Si等が容易に電極に達して電極性能が低下す
る。それに対して、多孔質層25の厚さが800μmを
超えるか、あるいは気孔率が10%より小さくなるとガ
スの多孔質層25中の拡散速度が遅くなり、電極のガス
応答性が悪くなる。特に、多孔質層25の厚さとしては
気孔率にもよるが、100〜500μmが適当である。
When the thickness of the porous layer 25 is less than 10 μm or the porosity exceeds 50%, the electrode poisoning substances P, Si, etc. easily reach the electrode and the electrode performance is deteriorated. On the other hand, when the thickness of the porous layer 25 exceeds 800 μm or the porosity becomes smaller than 10%, the gas diffusion rate in the porous layer 25 becomes slow, and the gas responsiveness of the electrode deteriorates. In particular, the thickness of the porous layer 25 is preferably 100 to 500 μm, though it depends on the porosity.

【0032】ヒータ部21におけるセラミック絶縁層2
6内に埋設された白金発熱体27は、金属として白金単
味、あるいは白金とロジウム、パラジウム、ルテニウム
の群から選ばれる1種との合金を用いることができる。
Ceramic insulating layer 2 in heater portion 21
The platinum heating element 27 embedded in 6 can use platinum alone as a metal, or an alloy of platinum and one kind selected from the group of rhodium, palladium and ruthenium.

【0033】なお、ヒータ部21における発熱体27の
発熱パターンとしては、長手方向に伸び、長手方向の端
部で折り返した構造のみならず、ミアンダ構造であって
もよい。
The heating pattern of the heating element 27 in the heater section 21 may be not only a structure extending in the longitudinal direction and being folded back at the end in the longitudinal direction, but also a meander structure.

【0034】また、本発明の酸素センサ素子は、素子全
体の厚さとしては、0.8〜1.5mm、特に1.0〜
1.2mm、素子の長さとしては45〜55mm、特に
45〜50mmが急速昇温性と素子のエンジン中への取
付け具合との関係から好ましい。
In the oxygen sensor element of the present invention, the total thickness of the element is 0.8 to 1.5 mm, particularly 1.0 to
1.2 mm and the length of the element is preferably 45 to 55 mm, and particularly preferably 45 to 50 mm in view of the relationship between the rapid temperature rising property and the mounting condition of the element in the engine.

【0035】次に、本発明の酸素センサ素子の製造方法
について、図1の酸素センサ素子の製造方法を例にして
図3の分解斜視図をもとに説明する。
Next, a method of manufacturing the oxygen sensor element of the present invention will be described with reference to the exploded perspective view of FIG. 3 by taking the method of manufacturing the oxygen sensor element of FIG. 1 as an example.

【0036】まず、固体電解質のグリーンシート41を
作製する。このグリーンシート41は、例えば、ジルコ
ニアの酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質
粉末に対して、適宜、成形用有機バインダーを添加して
ドクターブレード法や、押出成形や、静水圧成形(ラバ
ープレス)あるいはプレス形成などの周知の方法により
作製される。
First, a solid electrolyte green sheet 41 is prepared. This green sheet 41 is obtained by, for example, appropriately adding a molding organic binder to a ceramic solid electrolyte powder having oxygen ion conductivity of zirconia, a doctor blade method, an extrusion molding, or a hydrostatic molding (rubber press). Alternatively, it is produced by a known method such as press forming.

【0037】次に、上記のグリーンシート41の両面
に、それぞれ測定電極24および基準電極23となるパ
ターン42aやリードパターン42b、パット43a、
スルホール43bなどを例えば、白金を含有する導電性
ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリ
ーン印刷、パット印刷、ロール転写で印刷形成する。
Next, on both surfaces of the green sheet 41, the patterns 42a, the lead patterns 42b, the pads 43a, which serve as the measurement electrode 24 and the reference electrode 23, are formed.
The through holes 43b and the like are formed by, for example, using a conductive paste containing platinum by a slurry dip method, screen printing, pad printing, or roll transfer.

【0038】次に、大気導入孔44を形成したグリーン
シート45およびグリーンシート46を作製する。本発
明によれば、大気導入孔44に対して、図1の大気導入
孔22aで示したような断面形状に加工する。例えば、
図4(a)の断面図に示すように、予めグリーンシート
45にパンチングなどによって大気導入孔44を形成し
た後、図4(b)に示すように、大気導入孔44の縁部
に所定の型bを押し当てることによって、所定の角度の
テーパaを形成する。
Next, a green sheet 45 and a green sheet 46 having the air introduction hole 44 formed therein are prepared. According to the present invention, the air introduction hole 44 is processed into a cross-sectional shape as shown by the air introduction hole 22a in FIG. For example,
As shown in the cross-sectional view of FIG. 4A, after the air introduction hole 44 is formed in the green sheet 45 in advance by punching or the like, as shown in FIG. By pressing the mold b, a taper a having a predetermined angle is formed.

【0039】その後、この大気導入孔44を形成したグ
リーンシート45とグリーンシート46とをグリーンシ
ート41に対してアクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤
を介在させるか、あるいはローラ等で圧力を加えながら
機械的に接着することによりセンサ部用の積層体Aを作
製する。
Thereafter, the green sheet 45 and the green sheet 46 having the air introduction holes 44 formed therein are made to interpose an adhesive such as an acrylic resin or an organic solvent to the green sheet 41, or while applying pressure with a roller or the like. A laminate A for the sensor unit is produced by mechanically adhering.

【0040】さらに、この時に使用する白金を含有する
導電性ペーストとしては、上述のセラミック固体電解質
成分からなるジルコニアを1〜50体積%、特に10〜
30体積%の割合で包含する白金粒子を用いて、その他
に、エチルセルロース等の有機樹脂成分を含有するもの
を用いることが望ましい。このようなZrO2含有の白
金粒子を用いることによって、センサを高温度で使用す
る場合、白金粒子の焼結を抑制することが出来るので、
安定したセンシング機能を保持することが出来るのであ
る。
Further, as the platinum-containing conductive paste used at this time, 1 to 50% by volume, especially 10 to 10% by volume of zirconia composed of the above-mentioned ceramic solid electrolyte component is used.
It is desirable to use platinum particles that are included at a ratio of 30% by volume and to additionally contain organic resin components such as ethyl cellulose. By using such platinum particles containing ZrO2, it is possible to suppress the sintering of the platinum particles when the sensor is used at a high temperature.
It is possible to maintain a stable sensing function.

【0041】次に、図3に示すようにジルコニアグリー
ンシート47表面にアルミナ粉末からなるペーストをス
ラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印
刷、ロール転写で印刷し、セラミック絶縁層48aを形
成する。
Next, as shown in FIG. 3, a paste made of alumina powder is printed on the surface of the zirconia green sheet 47 by a slurry dip method, screen printing, pad printing or roll transfer to form a ceramic insulating layer 48a.

【0042】次に、セラミック絶縁層48aの表面に、
発熱パターン49およびリードパターン50を印刷塗布
する。そして、アルミナなどの絶縁性ペーストを塗布し
てセラミック絶縁層48bを印刷塗布することにより、
ヒータ部21の積層体Bを作製する。
Next, on the surface of the ceramic insulating layer 48a,
The heating pattern 49 and the lead pattern 50 are applied by printing. Then, an insulating paste such as alumina is applied and the ceramic insulating layer 48b is applied by printing,
The laminated body B of the heater portion 21 is produced.

【0043】なお、上記のヒータ部21の積層体を作製
するにあたり、セラミック絶縁層48a、48bは、上
記のように絶縁性ペーストの印刷塗布によって形成する
他に、アルミナなどのセラミックスラリーを用いてドク
ターブレード法などのシート成形方法によって絶縁性シ
ートを形成して積層することもできる。
In producing the laminated body of the heater portion 21, the ceramic insulating layers 48a and 48b are formed by printing and applying the insulating paste as described above, or by using a ceramic slurry such as alumina. An insulating sheet can be formed and laminated by a sheet forming method such as a doctor blade method.

【0044】この後、センサ部20の積層体Aとヒータ
部21の積層体Bをアクリル樹脂や有機溶媒などの接着
剤を介在させるか、あるいはローラ等で圧力を加えなが
ら両者を機械的に接着することにより接着一体化した
後、これらを焼成する。焼成は、大気中または不活性ガ
ス雰囲気中、1300℃〜1700℃の温度範囲で1〜
10時間焼成する。なお、焼成時には、焼成時のセンサ
部Aの反りを抑制するため、錘として平滑なアルミナ等
の基板を積層体の上に置くことにより反り量を低減する
ことができる。
Thereafter, the laminated body A of the sensor portion 20 and the laminated body B of the heater portion 21 are made to interpose an adhesive such as an acrylic resin or an organic solvent, or they are mechanically adhered while applying pressure with a roller or the like. These are fired after they are bonded and integrated. The firing is performed in the temperature range of 1300 ° C. to 1700 ° C.
Bake for 10 hours. In addition, in order to suppress the warpage of the sensor unit A during firing, the amount of warpage can be reduced by placing a smooth substrate such as alumina as a weight on the laminate.

【0045】また、センサ部の積層体Aとヒータ部の積
層体Bとを同時焼成して一体化する場合には、両者の熱
膨張係数差による応力の発生を低減するために、例え
ば、センサ部を形成する固体電解質成分とヒータ部のセ
ラミック絶縁層を形成する絶縁成分との複合材料を介在
させることが望ましい。
Further, when the laminated body A of the sensor portion and the laminated body B of the heater portion are simultaneously fired and integrated, in order to reduce the generation of stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the two, for example, a sensor is used. It is desirable to interpose a composite material of a solid electrolyte component forming the part and an insulating component forming the ceramic insulating layer of the heater part.

【0046】その後、必要に応じて、焼成後の測定電極
の表面に、プラズマ溶射法等により、アルミナ、ジルコ
ニア、スピネルの群から選ばれる少なくとも1種のセラ
ミックスを形成することによってヒータ部が一体化され
た酸素センサ素子を形成することができる。
Thereafter, if necessary, at least one ceramic selected from the group consisting of alumina, zirconia, and spinel is formed on the surface of the measurement electrode after firing by plasma spraying or the like to integrate the heater portion. Oxygen sensor elements can be formed.

【0047】なお、上記の方法では、ヒータ部21はセ
ンサ部20と同時焼成して形成した場合について説明し
たが、センサ部20とヒータ部21とはそれぞれ別体で
焼成した後、ガラスなどの適当な無機接合材によって接
合することによって一体化することも可能である。
In the above method, the heater portion 21 was formed by firing the sensor portion 20 at the same time. However, after the sensor portion 20 and the heater portion 21 are fired separately, they are made of glass or the like. It is also possible to integrate them by joining with a suitable inorganic joining material.

【0048】[0048]

【実施例】図1に示す理論空燃比センサを、図4に従い
以下のようにして作製した。
EXAMPLE The stoichiometric air-fuel ratio sensor shown in FIG. 1 was manufactured as follows according to FIG.

【0049】まず、市販の純度が99.9%アルミナ粉
末と、Siを0.1重量%含む5モル%Y23含有のジ
ルコニア粉末と、平均粒子径が0.1μmで8モル%の
イットリアからなるジルコニアを30体積%結晶内に含
有する白金粉末と、アルミナ粉末を20体積%含有す
る白金粉末をそれぞれ準備した。
First, commercially available alumina powder having a purity of 99.9%, zirconia powder containing 5% by weight of Y 2 O 3 containing 0.1% by weight of Si, and 8% by mole of an average particle diameter of 0.1 μm. A platinum powder containing 30% by volume of zirconia composed of yttria and a platinum powder containing 20% by volume of alumina powder were prepared.

【0050】まず、5モル%Y23含有のジルコニア粉
末にポリビニルアルコール溶液を添加してスラリーを作
製し、押出成形により焼結後の厚さが0.4mmになる
ようなジルコニアのグリーンシート41を作製した。
First, a polyvinyl alcohol solution was added to zirconia powder containing 5 mol% Y 2 O 3 to prepare a slurry, and a zirconia green sheet having a thickness after sintering of 0.4 mm was obtained by extrusion molding. 41 was produced.

【0051】その後、グリーンシート41の両面に、白
金粉末を含有する導電性ペーストをスクリーン印刷し
て、測定電極と基準電極のパターン42a、リードパタ
ーン42b、パット43a、スルホール43bをそれぞ
れ印刷形成した後、大気導入孔44を形成したグリーン
シート45、およびグリーンシート46をアクリル樹脂
の接着剤により積層しセンサ部用積層体Aを得た。な
お、大気導入孔44の縁部に対しては、図4に示すよう
にして適宜、所定の型を用いてテーパaを形成した。
After that, a conductive paste containing platinum powder is screen-printed on both sides of the green sheet 41 to form the measurement electrode and reference electrode patterns 42a, lead patterns 42b, pads 43a, and through holes 43b, respectively. The green sheet 45 having the air introduction hole 44 formed therein and the green sheet 46 were laminated with an acrylic resin adhesive to obtain a sensor unit laminate A. In addition, as shown in FIG. 4, a taper a was appropriately formed on the edge portion of the air introduction hole 44 by using a predetermined mold.

【0052】次に、ジルコニアグリーンシート47表面
に上述のアルミナ粉末からなるペーストを用いてスクリ
ーン印刷してセラミック絶縁層48aを焼成後約10μ
mになるように形成した後、発熱パターン49およびリ
ード部50を、アルミナを含有する白金を含有する導電
性ペーストを用いてスクリーン印刷で印刷形成し、さら
にこの表面にもう一度アルミナ粉末からなるペーストを
スクリーン印刷してセラミック絶縁層48bを形成する
ことにより、ヒータ部用積層体Bを作製した。
Next, the surface of the zirconia green sheet 47 is screen-printed with the paste made of the above-mentioned alumina powder to burn the ceramic insulating layer 48a, and then the ceramic insulating layer 48a is burned to about 10 μm.
m, the heating pattern 49 and the lead portion 50 are formed by screen printing using a conductive paste containing platinum containing alumina, and a paste made of alumina powder is again formed on this surface. The ceramic insulating layer 48b was screen-printed to form the heater unit laminate B.

【0053】この後、前述の製造方法に従いセンサ部用
積層体Aとヒータ部用積層体Bを接合してヒータ一体化
センサ素子の積層体を1500℃、1時間焼成してヒー
タ一体化センサ素子を作製した。
Thereafter, the laminated body A for the sensor portion and the laminated body B for the heater portion are joined according to the above-described manufacturing method, and the laminated body of the heater integrated sensor element is fired at 1500 ° C. for 1 hour to form the heater integrated sensor element. Was produced.

【0054】この際、基準電極と大気導入孔上下底面の
幅を変化させて、表1に示したような理論空燃比型(λ
型)のヒータ一体化の酸素センサ素子を作製した。
At this time, by changing the widths of the reference electrode and the upper and lower bottom surfaces of the air introduction hole, the theoretical air-fuel ratio type (λ
(Type) heater integrated oxygen sensor element was produced.

【0055】この実施条件それぞれにつき、各50本ず
つ作製した酸素センサ素子について、それぞれ超音波探
傷により、基準電極と大気導入孔の位置ずれの確認を行
い、積層歩留まりを求めた。また、良品20本について
は、4点曲げ強度を測定し、平均値を計算により求め
た。
For each of the 50 oxygen sensor elements produced under each of these operating conditions, the positional deviation between the reference electrode and the air introduction hole was confirmed by ultrasonic flaw detection, and the stacking yield was determined. Further, with respect to 20 non-defective products, 4-point bending strength was measured and an average value was calculated.

【0056】この後、積層により基準電極と大気導入孔
の位置ずれのない良品20本に対して、対して水素、メ
タン、窒素、酸素の混合ガスを用いて空燃比を12と2
3の混合ガスを0.5秒間隔で交互にセンサ素子に吹き
付けながら、100時間、素子のヒータに12V印加さ
せることにより、素子の破損の有無を確認し、破損した
本数を表1に示した。結果を表1に示す。
After that, the air-fuel ratio was set to 12 and 2 by using a mixed gas of hydrogen, methane, nitrogen, and oxygen for 20 non-defective products in which the reference electrode and the air introduction hole were not misaligned by stacking.
By applying 12 V to the heater of the element for 100 hours while alternately spraying the mixed gas of 3 onto the sensor element at intervals of 0.5 seconds, it was confirmed whether or not the element was damaged, and the number of damaged elements is shown in Table 1. . The results are shown in Table 1.

【0057】[0057]

【表1】 [Table 1]

【0058】表1の結果より、素子の大気導入孔の上底
面長さWsが基準電極幅Wと同じか、それより短い試料
No.1〜6は積層不良の割合が多く、いずれも歩留ま
りが50%以下であった。
From the results shown in Table 1, it can be seen from Sample No. 3 that the upper bottom length Ws of the air introduction hole of the device is equal to or shorter than the reference electrode width W. Nos. 1 to 6 had a large proportion of stacking faults, and all had a yield of 50% or less.

【0059】また、大気導入孔上底面長さWsより基準
電極幅Wの方が短い試料であっても、WsがWhと同
じ、またはWs<Whの試料No.11、12はいずれ
も4点曲げ強度が低く、素子のヒータに12V印加して
急速昇温させる事により破損した。
Even if the reference electrode width W is shorter than the length Ws of the bottom surface of the air introduction hole, Ws is the same as Wh, or Ws <Wh. Both Nos. 11 and 12 had low 4-point bending strength, and were damaged by applying 12 V to the heater of the element to rapidly raise the temperature.

【0060】これに対して、一方、本発明品はいずれも
歩留まりが高く、12V印加試験によっても破損する事
がない素子であった。
On the other hand, all the products of the present invention had a high yield and were not damaged even by the 12V application test.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、空
気導入孔を所定の大きさに制御することによって、素子
の強度を保ちつつ、急速昇温によるクラックの発生を防
ぐことができ、信頼性の高い酸素センサ素子を提供する
事ができる。
As described in detail above, according to the present invention, by controlling the air introduction hole to a predetermined size, it is possible to prevent the occurrence of cracks due to rapid temperature rise while maintaining the strength of the element. It is possible to provide a highly reliable oxygen sensor element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の酸素センサ素子の一例を説明するため
の概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view for explaining an example of an oxygen sensor element of the present invention.

【図2】本発明の酸素センサ素子の他の例を説明するた
めの概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view for explaining another example of the oxygen sensor element of the present invention.

【図3】図2の酸素センサ素子の製造方法を説明するた
めの分解斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view for explaining a method of manufacturing the oxygen sensor element of FIG.

【図4】本発明における大気導入孔を形成する方法を説
明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining a method of forming an air introduction hole in the present invention.

【図5】従来のヒータ一体型酸素センサ素子の構造を説
明するための概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining the structure of a conventional heater-integrated oxygen sensor element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、22 ・・・固体電解質基板 1a、22a・・・大気導入孔 2、24 ・・・測定電極 3、23 ・・・基準電極 4、25 ・・・セラミック多孔質層 5、26 ・・・セラミック絶縁層 6、27 ・・・白金発熱体 20 ・・・センサ部 21 ・・・ヒータ部 28 ・・・接合材 1, 22 ... Solid electrolyte substrate 1a, 22a ... Atmosphere introduction hole 2, 24 ... Measuring electrodes 3, 23 ... Reference electrode 4, 25 ... Ceramic porous layer 5, 26 ... Ceramic insulating layer 6,27 ・ ・ ・ Platinum heating element 20 ... Sensor part 21 ・ ・ ・ Heater part 28 ... Bonding material

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】固体電解質基板の先端部が封止された大気
導入孔を有する平板体であって、前記大気導入孔の内壁
に基準電極を形成し、前記基準電極と対向する固体電解
質基板の表面に測定電極をそれぞれ設けたセンサ部を具
備する酸素センサ素子において、前記大気導入孔内部の
素子の長手方向に対して直行する方向における前記基準
電極形成側の底面長さが、素子の長手方向に対して直行
する方向での前記基準電極幅より長く、且つ大気導入孔
内の対向する底面長さより長いことを特徴とする酸素セ
ンサ素子。
1. A flat plate body having an air introduction hole in which a front end portion of a solid electrolyte substrate is sealed, wherein a reference electrode is formed on an inner wall of the air introduction hole, and the solid electrolyte substrate is opposed to the reference electrode. In an oxygen sensor element having a sensor portion provided with measurement electrodes on the surface, the bottom length of the reference electrode formation side in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the element inside the air introduction hole is the longitudinal direction of the element. Is longer than the reference electrode width in a direction perpendicular to the above, and longer than the opposing bottom surface length in the air introduction hole.
【請求項2】セラミック絶縁層中に発熱体を埋設したヒ
ータ部を具備する請求項1記載の酸素センサ素子。
2. The oxygen sensor element according to claim 1, further comprising a heater section in which a heating element is embedded in a ceramic insulating layer.
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