JP2003310570A - 磁場検出用コイル、磁場検出用コイルの製造方法、磁場検出用組合せコイルおよび磁場測定装置 - Google Patents

磁場検出用コイル、磁場検出用コイルの製造方法、磁場検出用組合せコイルおよび磁場測定装置

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JP2003310570A
JP2003310570A JP2002117908A JP2002117908A JP2003310570A JP 2003310570 A JP2003310570 A JP 2003310570A JP 2002117908 A JP2002117908 A JP 2002117908A JP 2002117908 A JP2002117908 A JP 2002117908A JP 2003310570 A JP2003310570 A JP 2003310570A
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coil
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Yoshiaki Adachi
善昭 足立
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Kanazawa Institute of Technology (KIT)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の磁場検出用コイルを高密度に配設可能
とする。 【解決手段】 z方向の磁場を検出する第1の微弱磁場
検出用コイル1−zと、その外周側に同軸状に配設され
たx方向の磁場を検出する第2の微弱磁場検出用コイル
1−xと、その外周側に同軸状に配設されたy方向の磁
場を検出する第3の微弱磁場検出用コイル1−yとを具
備してなる。 【効果】 全体として1つの円筒形の形状に出来ると共
にその円筒の軸方向およびそれに直交する2方向の磁場
を検出できるから、多数の磁場検出用コイルを高密度に
配設可能となり、測定精度を向上することが出来る。単
一の観測点で磁場ベクトル量を測定できるようになる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁場検出用コイ
ル、磁場検出用コイルの製造方法、磁場検出用組合せコ
イルおよび磁場測定装置に関する。さらに詳しくは、多
数の磁場検出用組合せコイルを高密度に配設可能とした
磁場検出用コイル、磁場検出用コイルの製造方法、単一
の観測点での磁場ベクトル量を測定可能とすると共に量
産性に優れた磁場検出用組合せコイルおよび磁場測定装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】図11は、円筒の軸方向の磁場を検出で
きる微弱磁場検出用コイル51−zを示す構成図であ
る。この微弱磁場検出用コイル51−zは、円状の第1
のコイル51と、第1のコイル51から所定距離dだけ
離隔して平行に配設された円状の第2のコイル52と、
第1のコイル51の第1端aと第2のコイル52の第1
端aを接続する第1の接続エレメント61と、第1のコ
イル51と第2のコイル52の間に位置すると共に一端
を第2のコイル52の第2端bに接続する第2の接続エ
レメント62とを具備し、第1のコイル51の第2端b
および第2の接続エレメント62の他端を信号取出端子
とした構成である。
【0003】図12に示すように、第1のコイル51と
第2のコイル52とで形成される円筒の軸方向をz方向
とし、第1のコイル51よりも第2のコイル52の方が
被検体に近いものとする。被検体で微弱なz方向磁場が
発生したとき、被検体から遠い第1のコイル51には比
較的弱いz方向磁場mzが加わり、被検体に近い第2の
コイル52には比較的強いz方向磁場Mzが加わり、そ
れぞれに電流iz51,iz52が誘起される。電流iz51
と電流iz52の方向は逆になるが、z方向磁場mzより
もz方向磁場Mzの方が強いため、電流iz51よりも電
流iz52の方が大きく、両者の差分が出力電流として流
れる。この出力電流により、被検体で発生した微弱なz
方向磁場を検出できる。
【0004】図13に示すように、被検体で微弱なx方
向磁場が発生したとき、被検体から遠い第1のコイル5
1には比較的弱いx方向磁場mxが加わり、被検体に近
い第2のコイル52には比較的強いx方向磁場Mxが加
わる。x方向磁場mxにより第1のコイル51に誘起さ
れる電流を矢印α1,β1で示すが、同じ大きさで向き
が逆になり、打ち消されるため、第1のコイル51に誘
起される電流は実際は0になる。同様に、x方向磁場M
xにより第2のコイル52に誘起される電流を矢印α
2,β2で示すが、同じ大きさで向きが逆になり、打ち
消されるため、第2のコイル52に誘起される電流は実
際は0になる。また、エレメント61,62に誘起され
る電流を矢印γ1,γ2で示すが、同じ大きさで向きが
逆になり、打ち消される。よって、出力電流は流れな
い。つまり、被検体で発生した微弱なx方向磁場は検出
できない。同様に、被検体で発生した微弱なy方向磁場
も検出できない。
【0005】さらに、被検体に比べて著しく遠方にある
雑音源から微弱磁場検出用コイル51−zに加わる雑音
磁場の強さは、第1のコイル51と第2のコイル52と
で同じ強さになる。よって、雑音磁場によって第1のコ
イル51と第2のコイル52とに誘起される電流は同じ
大きさで向きが逆になり、打ち消されて、出力電流とは
ならない。よって、雑音磁場の影響は受けない。
【0006】以上のように、微弱磁場検出用コイル51
−zは、円筒の軸方向の磁場だけを検出できる。
【0007】図14は、従来の微弱磁場測定装置の一例
を示す構成図である。この微弱磁場測定装置500は、
被検体(例えば脳)で発生する微弱磁場(例えば100
fT以下)を測定するために直交するz軸,y軸,x軸
の各方向に円筒の軸を向けた微弱磁場検出用コイル51
−z,51−y,51−xと、微弱磁場検出用コイル5
1−z,51−y,51−xからの出力電流による磁場
がそれぞれ入力されるセンサチップ2−z,2−y,2
−xと、センサチップ2−z,2−y,2−xから出力
された検出信号Pz,Py,Pxをデジタルデータに変
換するA/D変換器Pz,Py,Pxと、デジタルデー
タを蓄積するデータ蓄積装置DLと、デジタルデータを
解析すると共にフィードバック信号fz,fy,fxを
出力するデータ処理装置DPと、フィードバック信号f
z,fy,fxによるフィードバック磁場を形成するフ
ィードバックコイル4−z,4−y,4−xとを具備し
ている。
【0008】微弱磁場検出用コイル51−z,51−
y,51−xと、センサチップ2−z,2−y,2−x
と、フィードバックコイル4−z,4−y,4−xと
は、超低温槽CR中に収容されている。
【0009】微弱磁場検出用コイル51−x,51−y
は、微弱磁場検出用コイル51−zと向きが異なるが、
同じ構成である。微弱磁場検出用コイル51−z,51
−y,51−xが1組になって微弱磁場検出用組合せコ
イルを構成する。
【0010】図14では、図示の都合上、微弱磁場検出
用組合せコイルを1つだけしか描いていないが、実際に
は、被検体を覆うように分布させて、多数の微弱磁場検
出用組合せコイルを配設する。
【0011】図15は、平面に垂直な方向の磁場を検出
できる微弱磁場検出用コイル501−xを示す構成図で
ある。この微弱磁場検出用コイル501−xは、凸状に
屈曲した第1のコイル501と、凸状に屈曲した第2の
コイル502と、第1のコイル501の第2端bと第2
のコイル502の第2端bを接続する第1のエレメント
503を構成する第1の接続エレメント503u,50
3dと、第1のコイル501と第2のコイル502の間
に位置すると共に一端を第2のコイル502の第1端a
に接続したエレメント504を構成する第2の接続エレ
メント504d,504uとを具備し、第1のコイル5
01の第1端aおよびエレメント504の他端cを信号
取出端子とした構成である。
【0012】図16に示すように、第1のコイル501
および第2のコイル502を含む平面を垂直に貫く方向
をx方向とし、第1のコイル501と第2のコイル50
2の並び方向をz方向とし、第1のコイル501よりも
第2のコイル502の方が被検体に近いものとする。被
検体で微弱なx方向磁場が発生したとき、被検体から遠
い第1のコイル501には比較的弱いx方向磁場mxが
加わり、被検体に近い第2のコイル502には比較的強
いx方向磁場Mxが加わり、それぞれに電流ix501,
ix502が誘起される。電流ix501と電流ix502の方
向は逆になるが、x方向磁場mxよりもx方向磁場Mx
の方が強いため、電流ix501よりも電流ix502の方が
大きく、両者の差分が出力電流Ixとして流れる。この
出力電流Ixにより、被検体で発生した微弱なx方向磁
場を検出できる。なお、y方向磁場,z方向磁場は、磁
束がコイルに鎖交しないため、検知しない。
【0013】さらに、被検体に比べて著しく遠方にある
雑音源から微弱磁場検出用コイル501−xに加わる雑
音磁場の強さは、第1のコイル501と第2のコイル5
02とで同じ強さになる。よって、雑音磁場によって第
1のコイル501と第2のコイル502とに誘起される
電流は同じ大きさで向きが逆になり、打ち消されて、出
力電流とはならない。よって、雑音磁場の影響は受けな
い。
【0014】図17は、従来の微弱磁場検出用組合せコ
イルの一例を示す構成図である。この微弱磁場検出用組
合せコイル601は、第1の微弱磁場検出用コイル51
−zと、その微弱磁場検出用コイル51−zをコーナー
で挟むように配設された第2の微弱磁場検出用コイル5
01−xおよび第3の微弱磁場検出用コイル501−y
とを具備してなる。
【0015】第1の微弱磁場検出用コイル51−zは、
図11を参照して説明した構成である(円筒上に形成さ
れている)。第2の微弱磁場検出用コイル501−x
は、図15を参照して説明した構成である(平面基板上
に形成されている)。第3の微弱磁場検出用コイル50
1−yは、第2の微弱磁場検出用コイル501−xをx
y面内で90°回転させた構成である。これにより、直
交3軸方向の磁場を検出できるようになる。
【0016】図18は、従来の微弱磁場測定装置の他例
を示す構成図である。この微弱磁場測定装置600は、
被検体で発生する直交3軸方向の磁場を検出する微弱磁
場検出用組合せコイル601(図17参照)と、微弱磁
場検出用組合せコイル601からの出力電流による磁場
がそれぞれ入力されるセンサチップ2−z,2−y,2
−xと、センサチップ2−z,2−y,2−xから出力
された検出信号Pz,Py,Pxをデジタルデータに変
換するA/D変換器Pz,Py,Pxと、デジタルデー
タを蓄積するデータ蓄積装置DLと、デジタルデータを
解析すると共にフィードバック信号fz,fy,fxを
出力するデータ処理装置DPと、フィードバック信号f
z,fy,fxによるフィードバック磁場を形成するフ
ィードバックコイル4−z,4−y,4−xとを具備し
ている。この微弱磁場測定装置600の動作は、図14
の微弱磁場測定装置500にかかる動作と同様である。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】微弱磁場測定装置で例
えば直交3軸方向の脳磁場分布を測定するためのは、脳
を覆うように分布させて多数の微弱磁場検出用組合せコ
イルを配設する必要がある。しかし、図11に示した微
弱磁場検出用コイル(z方向については51−z)を用
いる場合、1つの微弱磁場検出用組合せコイルが3つの
円筒からなるため、1つの微弱磁場検出用組合せコイル
の占有体積が大きくなり、多数の微弱磁場検出用組合せ
コイルを配設する密度を高くできない問題点がある。ま
た、3つの円筒が空間的に干渉するため、磁場ベクトル
量を単一の観測点で測定できない問題点がある。
【0018】図17に示した微弱磁場検出用組合せコイ
ル601を用いる場合、専有面積を節減できるが、微弱
磁場検出用コイル51−z,501−x,501−yの
コイル中心が完全には一致しないため、厳密な意味では
単一の観測点での測定を行えない問題点がある。また、
組み立てに手間がかかる上に、高精度の製品を量産し難
い問題点がある。
【0019】そこで、本発明の目的は、多数の磁場検出
用組合せコイルを高密度に配設可能とした磁場検出用コ
イルの製造方法、単一の観測点での磁場ベクトル量を測
定可能とすると共に量産性に優れた磁場検出用コイル、
磁場検出用組合せコイルおよび磁場測定装置を提供する
ことにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】第1の観点では、本発明
は、半円弧状の第1のコイル(11)と、前記第1のコ
イル(11)に近接して平行に配設された半円弧状の第
2のコイル(12)と、前記第1のコイル(11)およ
び前記第2のコイル(12)の各端を含む平面に平行な
平面に対し対称に配設された半円弧状の第3のコイル
(13)および半円弧状の第4のコイル(14)と、前
記第2のコイル(12)から離隔して平行に配設された
半円弧状の第5のコイル(15)と、前記第5のコイル
(15)に近接して平行に配設された半円弧状の第6の
コイル(16)と、前記第5のコイル(15)および前
記第6のコイル(16)の各端を含む平面に平行な平面
に対し対称に配設された半円弧状の第7のコイル(1
7)および半円弧状の第8のコイル(18)と、前記第
1のコイル(11)の第1端(a)と前記第2のコイル
(12)の第1端(a)を接続する第1のエレメント
(21)と、前記第2のコイル(12)の第2端(b)
と前記第8のコイル(18)の第1端(a)を接続する
と共に前記第7のコイル(17)と前記第8のコイル
(18)の間に位置する第2のエレメント(22)を構
成する第1の接続エレメント(22u,22d)と、前
記第7のコイル(17)の第2端(b)と前記第8のコ
イル(18)の第2端(b)を接続する第3のエレメン
ト(23)と、前記第6のコイル(16)の第2端
(b)と前記第7のコイル(17)の第1端(a)を接
続する第4のエレメント(24)と、前記第5のコイル
(15)の第1端(a)と前記第6のコイル(16)の
第1端(a)を接続する第5のエレメント(25)と、
前記第5のコイル(15)の第2端(b)と前記第3の
コイル(13)の第1端(a)を接続すると共に前記第
1のコイル(11)と前記第2のコイル(12)の間に
位置する第6のエレメント(26)を構成する第2の接
続エレメント(26d,26u)と、前記第3のコイル
(13)の第2端(b)と前記第4のコイル(14)の
第2端(b)を接続する第7のエレメント(27)と、
前記第4のコイル(14)と前記第3のコイル(13)
の間に位置すると共に一端を前記第4のコイル(14)
の第1端(a)に接続する第8のエレメント(28)と
を具備してなり、前記第1のコイル(11)の第2端
(b)および前記第8のエレメント(28)の他端を信
号取出端子としたことを特徴とする磁場検出用コイル
(1−x)を提供する。
【0021】上記第1の観点による磁場検出用コイル
(1−x)では、後で詳述するように、第1のコイル
(11)〜第8のコイル(18)で形成される円筒の軸
をz方向とし、第1のコイル(11)および第2のコイ
ル(12)の各端(a,b,a,b)を含む平面をzy
平面に平行とするとき、x方向の磁場だけを検出でき
る。また、第1のコイル(11)〜第8のコイル(1
8)で形成される円筒の軸をz方向とし、第1のコイル
(11)および第2のコイル(12)の各端を含む平面
をzx平面に平行とすれば、y方向の磁場だけを検出す
る磁場検出用コイル(1−y)とすることが出来る。そ
して、これら磁場検出用コイル(1−x,1−y)を従
来の磁場検出用コイル(51−z)の円筒と同軸に組み
合わせれば、z,y,x方向の磁場を検出する1つの磁
場検出用組合せコイルを1つの円筒で構成できる。よっ
て、1つの磁場検出用組合せコイルの占有体積を小さく
でき、多数の磁場検出用組合せコイルを高密度に配設す
ることが出来る。
【0022】第2の観点では、本発明は、フレキシブル
基板(FL)上に導体パターン(11’,12’,1
3’,14’,15’,16’,17’,18’,2
1’,22’,22u’,22d’,23’,24’,
25’,26’,26d’,26u’,27’,2
8’)を形成してなるシート状コイル部品(1’−x)
を円筒状に丸めて請求項1に記載の磁場検出用コイル
(1−x)を製造することを特徴とする磁場検出用コイ
ル(1−x)の製造方法を提供する。上記第2の観点に
よる磁場検出用コイル(1−x)の製造方法では、フレ
キシブル・プリント基板を利用するため、特性のそろっ
た多数の磁場検出用コイル(1−x)を容易に製造する
ことが出来る。
【0023】第3の観点では、本発明は、円状の第1の
コイル(31)と、前記第1のコイル(31)から離隔
して平行に配設された円状の第2のコイル(32)と、
前記第1のコイル(31)の第1端(a)と前記第2の
コイル(32)の第1端(a)を接続する第1の接続エ
レメント(41)と、前記第1のコイル(31)と前記
第2のコイル(32)の間に位置すると共に一端を前記
第2のコイル(32)の第2端(b)に接続する第2の
接続エレメント(42)とを具備し、前記第1のコイル
(31)の第2端(b)および前記第2の接続エレメン
ト(42)の他端を信号取出端子とした第1の磁場検出
用コイル(1−z)と、前記第1の磁場検出用コイル
(1−z)の外周側または内周側に同軸状に配設された
上記構成の第2の磁場検出用コイル(1−x)と、前記
第2の磁場検出用コイル(1−x)の外周側または内周
側に同軸状に配設され且つ前記第2の磁場検出用コイル
(1−x)をその中心軸の周りに90°回転させた構造
を有する第3の磁場検出用コイル(1−y)とを具備し
たことを特徴とする磁場検出用組合せコイル(201)
を提供する。上記第3の観点による磁場検出用組合せコ
イル(201)では、後で詳述するように、z,y,x
方向の磁場を検出する1つの磁場検出用組合せコイルを
1つの円筒で構成できる。従って、1つの磁場検出用組
合せコイルの占有体積を小さくでき、多数の磁場検出用
組合せコイルを配設する密度を高くすることが出来る。
また、第1の磁場検出用コイル(1−z)と第2の磁場
検出用コイル(1−x)と第3の磁場検出用コイル(1
−y)とを同軸状に配設するので、各コイルの中心を完
全に一致させることが可能となり、直交3軸方向の磁場
を単一の観測点で測定できるようになる。さらに、各コ
イルが円筒状なので、手間をかけずに組み立て精度を高
めることが可能となり、高精度の製品を量産できるよう
になる。
【0024】第4の観点では、本発明は、上記構成の磁
場検出用コイル(1−x)または磁場検出用組合せコイ
ル(201)と、該コイル(1−x,201)からの出
力信号を基に磁場を検出する磁場検出手段(2−x,2
−y,2−z)とを具備したことを特徴とする磁場測定
装置(200)を提供する。上記第4の観点による磁場
測定装置(200)では、多数の磁場検出用コイル(1
−x)または磁場検出用組合せコイル(201)を、例
えば脳を覆うように分布させて且つ高密度に配設でき
る。よって、測定精度を向上することが出来る。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、図に示す実施形態により本
発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明
が限定されるものではない。
【0026】−第1の実施形態− 図1は、第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
を示す斜視図である。この微弱磁場検出用コイル1−x
は、半円弧状の第1のコイル11と、第1のコイル11
に近接して平行に配設された半円弧状の第2のコイル1
2と、第1のコイル11および第2のコイル12の各端
a,b,a,bを含む平面に平行な平面に対し対称に配
設された半円弧状の第3のコイル13および半円弧状の
第4のコイル14と、第2のコイル12から距離dだけ
離隔して平行に配設された半円弧状の第5のコイル15
と、第5のコイル15に近接して平行に配設された半円
弧状の第6のコイル16と、第5のコイル15および第
6のコイル16の各端a,b,a,bを含む平面に平行
な平面に対し対称に配設された半円弧状の第7のコイル
17および半円弧状の第8のコイル18と、第1のコイ
ル11の第1端aと第2のコイル12の第1端aを接続
する第1のエレメント21と、第2のコイル12の第2
端bと第8のコイル18の第1端aを接続すると共に第
7のコイル17と第8のコイル18の間に位置する第2
のエレメント22を構成する第1の接続エレメント22
u,22dと、第7のコイル17の第2端bと第8のコ
イル18の第2端bを接続する第3のエレメント23
と、第6のコイル16の第2端bと第7のコイル17の
第1端aを接続する第4のエレメント24と、第5のコ
イル15の第1端aと第6のコイル16の第1端aを接
続する第5のエレメント25と、第5のコイル15の第
2端bと第3のコイル13の第1端aを接続すると共に
第1のコイル11と第2のコイル12の間に位置する第
6のエレメント26を構成する第2の接続エレメント2
6d,26uと、第3のコイル13の第2端bと第4の
コイル14の第2端bを接続する第7のエレメント27
と、第4のコイル14と第3のコイル13の間に位置す
ると共に一端を第4のコイル14の第1端aに接続する
第8のエレメント28とを具備し、第1のコイル11の
第2端bおよび第8のエレメント28の他端cを信号取
出端子とした構成である。
【0027】寸法例を示すと、第1のコイル11の半径
は8mm、第1のコイル11と第2のコイル12の間隔
は16mm、距離dは40mmである。
【0028】図2に示すように、第1のコイル11〜第
8のコイル18で形成される円筒の軸方向をz方向と
し、第1のコイル11よりも第8のコイル18の方が被
検体に近いものとする。また、第1のコイル11および
第2のコイル12の各端a,b,a,bを含む平面をz
y平面に平行とする。被検体で微弱なx方向磁場が発生
したとき、被検体から遠い第1のコイル11〜第4のコ
イル14には比較的弱いx方向磁場mxが加わり、被検
体に近い第5のコイル15〜第8のコイル18には比較
的強いx方向磁場Mxが加わり、それぞれに電流ix11
〜ix18が誘起される。また、第1のエレメント21〜
第8のエレメント28にも、それぞれに電流ix21〜i
x28が誘起される。
【0029】出力電流Ix=−(ix11+ix21+ix
12+ix26+ix13+ix27+ix14+ix28)+(i
x22+ix18+ix23+ix17+ix24+ix16+ix
25+ix15)となるが、x方向磁場mxよりもx方向磁
場Mxの方が強いため、第1項よりも第2項の方が大き
く、両者の差分が出力電流Ixとして流れる。この出力
電流Ixにより、被検体で発生した微弱なx方向磁場を
検出できる。
【0030】次に、図3に示すように、被検体で微弱な
y方向磁場が発生したとき、被検体から遠い第1のコイ
ル11〜第4のコイル14には比較的弱いy方向磁場m
yが加わり、被検体に近い第5のコイル15〜第8のコ
イル18には比較的強いy方向磁場Myが加わる。y方
向磁場myにより第1のコイル11に誘起される電流を
矢印α1,β1で示すが、同じ大きさで向きが逆にな
り、打ち消されるため、第1のコイル11に誘起される
電流は実際は0になる。同様に、y方向磁場myにより
第2のコイル12〜第4のコイル14に誘起される電流
は0になる。同様に、y方向磁場Myにより第5のコイ
ル15〜第8のコイル18に誘起される電流は0にな
る。よって、出力電流は流れない。つまり、被検体で発
生した微弱なy方向磁場は検出しない。
【0031】次に、図4に示すように、被検体で微弱な
z方向磁場が発生したとき、被検体から遠い第1のコイ
ル11〜第4のコイル14には比較的弱いz方向磁場m
zが加わり、被検体に近い第5のコイル15〜第8のコ
イル18には比較的強いz方向磁場Mzが加わり、それ
ぞれに電流iz11〜iz18が誘起される。
【0032】z方向磁場mzにより第1のコイル11に
誘起される電流iz11と第3のコイル13に誘起される
電流iz13とは、同じ大きさで向きが逆になり、打ち消
される。同様に、z方向磁場mzにより第2のコイル1
2に誘起される電流iz12と第4のコイル14に誘起さ
れる電流iz14とは、同じ大きさで向きが逆になり、打
ち消される。同様に、z方向磁場Mzにより第5のコイ
ル15に誘起される電流iz15と第7のコイル17に誘
起される電流iz17とは、同じ大きさで向きが逆にな
り、打ち消される。また、z方向磁場Mzにより第6の
コイル16に誘起される電流iz16と第8のコイル18
に誘起される電流iz18とは、同じ大きさで向きが逆に
なり、打ち消される。よって、出力電流は流れない。つ
まり、被検体で発生した微弱なz方向磁場は検出しな
い。
【0033】さらに、被検体に比べて著しく遠方にある
雑音源から微弱磁場検出用コイル1−xに加わる雑音磁
場の強さは、第1のコイル11〜第8のコイル18で同
じ強さになり、第1のコイル11〜第8のコイル18に
誘起される電流は打ち消されて、出力電流とはならな
い。よって、雑音磁場の影響は受けない。
【0034】以上のように、微弱磁場検出用コイル1−
xは、円筒の軸に直交する1方向の磁場だけを検出でき
る。
【0035】図5は、微弱磁場検出用コイル1−xを製
造するためのシート状コイル部品1’−xを示す説明図
である。このシート状コイル部品1’−xは、フレキシ
ブル基板FLの両面に導体パターン11’〜18’,2
1’,22’,22u’,22d’,23’〜26’,
26d’,26u’,27’,28’およびスルーホー
ルH1〜H6を形成したものである。図6に示すよう
に、シート状コイル部品1’−xを円筒ボビン30に巻
き付ければ、微弱磁場検出用コイル1−xを製造するこ
とが出来る。
【0036】なお、シート状コイル部品1’−xを用い
ずに、円筒ボビン30上に導電線材を直に配線すること
で、微弱磁場検出用コイル1−xを形成してもよい。
【0037】−第2の実施形態− 図7は、第2の実施形態にかかる微弱磁場検出用組合せ
コイルを示す構成図である。この微弱磁場検出用組合せ
コイル201は、第1の微弱磁場検出用コイル1−z
と、その外周側に同軸状に配設された第2の微弱磁場検
出用コイル1−xと、その外周側に同軸状に配設された
第3の微弱磁場検出用コイル1−yとを具備してなる。
【0038】第1の微弱磁場検出用コイル1−zは、円
状の第1のコイル31と、第1のコイル31から距離D
だけ離隔して平行に配設された円状の第2のコイル32
と、第1のコイル31の第1端aと第2のコイル32の
第1端aを接続する第1の接続エレメント41と、第1
のコイル31と第2のコイル32の間に位置すると共に
一端を第2のコイル32の第2端bに接続する第2の接
続エレメント42とを具備し、第1のコイル31の第2
端bおよび第2の接続エレメント42の他端cを信号取
出端子とした構成である。
【0039】第2の微弱磁場検出用コイル1−xは、第
1の実施形態で説明した構成である。第3の微弱磁場検
出用コイル1−yは、第2の微弱磁場検出用コイル1−
xをその中心軸の周りに90°回転させた構成である。
【0040】なお、第1の微弱磁場検出用コイル1−z
も、図8に示す如きシート状コイル部品1’−zを円筒
ボビンに巻き付けて製造することが出来る。
【0041】微弱磁場検出用コイル1−zのコイル32
のz位置を、微弱磁場検出用コイル1−x,1−yのコ
イル16,18のz位置に一致させることで、コイル3
2を被検体に可及的に近接させることが可能となり、z
方向の磁場を高感度で検出できるようになる(ただし、
1−zによるz方向磁場の測定点と、1−x,1−yに
よるx,y方向磁場の測定点とが完全には一致しなくな
る)。
【0042】また、図9の微弱磁場検出用組合せコイル
201’に示すように、微弱磁場検出用コイル1−zの
コイル32のz位置を、微弱磁場検出用コイル1−x,
1−yのエレメント23,25の線分Lの1/2に相当
するz位置とすることで、1−zによるz方向磁場の測
定点と、1−x,1−yによるx,y方向磁場の測定点
とを完全に一致させ、厳密な意味で単一の測定点での測
定を行えるようになる(ただし、図7の状態に比して、
z方向磁場の検出感度はわずかに低下する)。なお、距
離D’は、微弱磁場検出用コイル1−zのコイル31の
z位置と、微弱磁場検出用コイル1−x,1−yのコイ
ル11,13のz位置とが一致するように決めてもよい
し、図7の距離Dと同じにしてコイル31zのz位置を
L/2だけ高くしてもよい(磁場測定時のパラメータを
加減することで適切な検出特性に調整できる)。
【0043】−第3の実施形態− 図10は、第3の実施形態に係る微弱磁場測定装置を示
す構成図である。この微弱磁場測定装置100は、被検
体(例えば脳)で発生する微弱磁場を測定するための微
弱磁場検出用組合せコイル201と、その微弱磁場検出
用組合せコイル201を構成する微弱磁場検出用コイル
1−z,1−y,1−xからの出力電流Iz,Iy,I
xによる磁場がそれぞれ入力されるセンサチップ2−
z,2−y,2−xと、センサチップ2−z,2−y,
2−xから出力された検出信号Pz,Py,Pxをデジ
タルデータに変換するA/D変換器Pz,Py,Px
と、デジタルデータを蓄積するデータ蓄積装置DLと、
デジタルデータを解析すると共に磁束固定ループ(Flux
Locked Loop)の制御のためにフィードバック信号f
z,fy,fxを出力するデータ処理装置DPと、フィ
ードバック信号fz,fy,fxによるフィードバック
磁場を形成するフィードバックコイル4−z,4−y,
4−xとを具備している。通常、z方向は、被検体に対
する法線方向である。x方向,y方向は、被検体に対す
る接線方向である。
【0044】微弱磁場検出用組合せコイル201と、セ
ンサチップ2−z,2−y,2−xと、フィードバック
コイル4−z,4−y,4−xとは、超低温槽CR中に
収容されている。
【0045】図10では、図示の都合上、微弱磁場検出
用組合せコイル201を1つだけしか描いていないが、
実際には、被検体(例えば脳)を覆うように分布させ
て、多数の微弱磁場検出用組合せコイルを配設する。
【0046】上記微弱磁場測定装置100によれば、微
弱磁場検出用コイル1−x,1−y,1−zにより直交
3軸方向の磁場を正確に測定できるようになる。また、
1つの微弱磁場検出用組合せコイル201を1つの円筒
で構成できるから、1つの微弱磁場検出用組合せコイル
の占有体積を小さくでき、多数の微弱磁場検出用組合せ
コイル201を配設する密度を高くすることが出来る。
よって、測定精度を向上することが出来る。
【0047】
【発明の効果】本発明の磁場検出用コイルによれば、全
体として円筒形の形状に出来ると共に、その円筒の軸に
直交する1方向の磁場のみを検出できる。本発明の磁場
検出用コイルの製造方法によれば、特性のそろった多数
の磁場検出用コイルを容易に製造することが出来る。本
発明の磁場検出用組合せコイルによれば、全体として1
つの円筒形の形状に出来ると共にその円筒の軸方向およ
びそれに直交する2方向の磁場を検出できる。これによ
り、単一の測定点で磁場ベクトル量を検出できるように
なる。本発明の磁場測定装置によれば、測定精度を向上
することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
を示す斜視図である。
【図2】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
にx方向磁場が加わったときの電流分布を示す説明図で
ある。
【図3】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
にy方向磁場が加わったときの電流分布を示す説明図で
ある。
【図4】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
にz方向磁場が加わったときの電流分布を示す説明図で
ある。
【図5】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
を製造するためのシート状コイル部品を示す説明図であ
る。
【図6】第1の実施形態にかかる微弱磁場検出用コイル
を製造するための工程を示す説明図である。
【図7】第2の実施形態にかかる微弱磁場検出用組合せ
コイルを示す構成図である。
【図8】微弱磁場検出用コイルを製造するためのシート
状コイル部品を示す説明図である。
【図9】厳密な意味で単一の測定点での測定を行えるよ
うに各コイルを位置決めした状態を示す構成図である。
【図10】第3の実施形態にかかる微弱磁場測定装置を
示す構成図である。
【図11】従来の微弱磁場検出用コイルの一例を示す斜
視図である。
【図12】図11の微弱磁場検出用コイルにz方向磁場
が加わったときの電流分布を示す説明図である。
【図13】図11の微弱磁場検出用コイルにx方向磁場
が加わったときの電流分布を示す説明図である。
【図14】従来の微弱磁場測定装置の一例を示す構成図
である。
【図15】従来の微弱磁場検出用コイルの他例を示す斜
視図である。
【図16】図15の微弱磁場検出用コイルにx方向磁場
が加わったときの電流分布を示す説明図である。
【図17】従来の微弱磁場検出用組合せコイルの一例を
示す構成図である。
【図18】従来の微弱磁場測定装置の他例を示す構成図
である。
【符号の説明】
1−x,1−y,1−z 微弱磁場検出用コ
イル 2−x,2−y,2−z センサチップ 3−x,3−y,3−z 入力コイル 4−z,4−y,4−x フィードバックコ
イル 11〜18 半円弧状のコイル 21〜28 エレメント 200 微弱磁場測定装置 201,201’ 微弱磁場検出用組
合せコイル

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半円弧状の第1のコイル(11)と、前
    記第1のコイル(11)に近接して平行に配設された半
    円弧状の第2のコイル(12)と、前記第1のコイル
    (11)および前記第2のコイル(12)の各端(a,
    b,a,b)を含む平面に平行な平面に対し対称に配設
    された半円弧状の第3のコイル(13)および半円弧状
    の第4のコイル(14)と、前記第2のコイル(12)
    から離隔して平行に配設された半円弧状の第5のコイル
    (15)と、前記第5のコイル(15)に近接して平行
    に配設された半円弧状の第6のコイル(16)と、前記
    第5のコイル(15)および前記第6のコイル(16)
    の各端(a,b,a,b)を含む平面に平行な平面に対
    し対称に配設された半円弧状の第7のコイル(17)お
    よび半円弧状の第8のコイル(18)と、前記第1のコ
    イル(11)の第1端(a)と前記第2のコイル(1
    2)の第1端(a)を接続する第1のエレメント(2
    1)と、前記第2のコイル(12)の第2端(b)と前
    記第8のコイル(18)の第1端(a)を接続すると共
    に前記第7のコイル(17)と前記第8のコイル(1
    8)の間に位置する第2のエレメント(22)を構成す
    る第1の接続エレメント(22u,22d)と、前記第
    7のコイル(17)の第2端(b)と前記第8のコイル
    (18)の第2端(b)を接続する第3のエレメント
    (23)と、前記第6のコイル(16)の第2端(b)
    と前記第7のコイル(17)の第1端(a)を接続する
    第4のエレメント(24)と、前記第5のコイル(1
    5)の第1端(a)と前記第6のコイル(16)の第1
    端(a)を接続する第5のエレメント(25)と、前記
    第5のコイル(15)の第2端(b)と前記第3のコイ
    ル(13)の第1端(a)を接続すると共に前記第1の
    コイル(11)と前記第2のコイル(12)の間に位置
    する第6のエレメント(26)を構成する第2の接続エ
    レメント(26d,26u)と、前記第3のコイル(1
    3)の第2端(b)と前記第4のコイル(14)の第2
    端(b)を接続する第7のエレメント(27)と、前記
    第4のコイル(14)と前記第3のコイル(13)の間
    に位置すると共に一端を前記第4のコイル(14)の第
    1端(a)に接続する第8のエレメント(28)とを具
    備してなり、前記第1のコイル(11)の第2端(b)
    および前記第8のエレメント(28)の他端(c)を信
    号取出端子としたことを特徴とする磁場検出用コイル
    (1−x)。
  2. 【請求項2】 フレキシブル基板(FL)上に導体パタ
    ーン(11’,12’,13’,14’,15’,1
    6’,17’,18’,21’,22’,22u’,2
    2d’,23’,24’,25’,26’,26d’,
    26u’,27’,28’)を形成してなるシート状コ
    イル部品(1’−x)を円筒状に丸めて請求項1に記載
    の磁場検出用コイル(1−x)を製造することを特徴と
    する磁場検出用コイル(1−x)の製造方法。
  3. 【請求項3】 円状の第1のコイル(31)と、前記第
    1のコイル(31)から離隔して平行に配設された円状
    の第2のコイル(32)と、前記第1のコイル(31)
    の第1端(a)と前記第2のコイル(32)の第1端
    (a)を接続する第1の接続エレメント(41)と、前
    記第1のコイル(31)と前記第2のコイル(32)の
    間に位置すると共に一端を前記第2のコイル(32)の
    第2端(b)に接続する第2の接続エレメント(42)
    とを具備し、前記第1のコイル(31)の第2端(b)
    および前記第2の接続エレメント(42)の他端を信号
    取出端子とした第1の磁場検出用コイル(1−z)と、
    前記第1の磁場検出用コイル(1−z)の外周側または
    内周側に同軸状に配設された請求項1に記載の第2の磁
    場検出用コイル(1−x)と、前記第2の磁場検出用コ
    イル(1−x)の外周側または内周側に同軸状に配設さ
    れ且つ前記第2の磁場検出用コイル(1−x)をその中
    心軸の周りに90°回転させた構造を有する第3の磁場
    検出用コイル(1−y)とを具備したことを特徴とする
    磁場検出用組合せコイル(201)。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の磁場検出用コイル(1
    −x)または請求項3に記載の磁場検出用組合せコイル
    (201)と、該コイル(1−x,201)からの出力
    信号を基に磁場を検出する磁場検出手段(2−x,2−
    y,2−z)とを具備したことを特徴とする磁場測定装
    置(200)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018151382A (ja) * 2017-02-15 2018-09-27 バイオセンス・ウエブスター・(イスラエル)・リミテッドBiosense Webster (Israel), Ltd. 折り畳まれた可撓性回路基板にプリントされた多軸位置センサ
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