JP2003299372A - Actuator with positioning function and electric device with actuator - Google Patents

Actuator with positioning function and electric device with actuator

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JP2003299372A
JP2003299372A JP2002101311A JP2002101311A JP2003299372A JP 2003299372 A JP2003299372 A JP 2003299372A JP 2002101311 A JP2002101311 A JP 2002101311A JP 2002101311 A JP2002101311 A JP 2002101311A JP 2003299372 A JP2003299372 A JP 2003299372A
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JP
Japan
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actuator
moving body
detected
positioning function
detection
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002101311A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Haruhiko Hasegawa
春彦 長谷川
Akihiro Iino
朗弘 飯野
Yukio Akiyama
幸夫 秋山
Takayuki Kosaka
貴之 小坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2002101311A priority Critical patent/JP2003299372A/en
Publication of JP2003299372A publication Critical patent/JP2003299372A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator with a positioning function, which is excellent in quakeproofing an has high reliability and can perform high-performance positioning control. <P>SOLUTION: This actuator includes a drive part 302 which produces a driving force, a movable body 303 which is operated by the drive part 302, a body 305 to be detected having a part 304 to be read which interlocks with the movable body 303 and provides positional information, a detecting part 306 for detecting the position of the movable body 303 by obtaining the positional information of the body 305 to be detected, a control circuit 324 for transmitting a driving signal to the drive part 302 so that the movable body 303 performs prescribed operation based on a detected signal outputted from the detecting part 306, and a restraining member 307 for restraining operation in one direction among directions other than the operating direction for the body 305 to be detected. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータに
より駆動される移動体の位置を制御する電子機器に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to electronic equipment for controlling the position of a moving body driven by an actuator.

【0002】[0002]

【従来の技術】アクチュエータにより駆動される移動体
の位置を制御する技術が、昨今、各種電子装置に使用さ
れている。移動体の位置決め制御を行う方法としては、
例えば、アクチュエータの駆動力によって移動する移動
体の位置情報を検出し、この位置情報をもとに移動体の
動作をフィードバック制御することによって、移動体の
位置決めを行う方法がある。
2. Description of the Related Art Recently, a technique for controlling the position of a moving body driven by an actuator is used in various electronic devices. As a method of controlling the positioning of the moving body,
For example, there is a method of positioning the moving body by detecting the position information of the moving body that is moved by the driving force of the actuator and performing feedback control of the operation of the moving body based on this position information.

【0003】移動体の位置検出には、例えば、インクリ
メンタル型のエンコーダがある。図9にインクリメンタ
ル型のエンコーダに使用される被検出体200の平面図
を示す。なお、図9は回転移動をする移動体の位置検出
に用いられる。円盤形の被検出体200の外周側には被
読み取り部201が備えられている。被検出体200の
最外周側には被検出体200の絶対位置情報を提供する
ためのスリット201a、その内周側には移動量の情報
を提供するための複数のスリット層201bが2層にわ
たって放射状に等間隔で備えられている。
For detecting the position of the moving body, for example, there is an incremental encoder. FIG. 9 shows a plan view of the detected object 200 used in the incremental encoder. It should be noted that FIG. 9 is used for detecting the position of a moving body that rotates. A read portion 201 is provided on the outer peripheral side of the disc-shaped detected body 200. A slit 201a for providing absolute position information of the detected object 200 is provided on the outermost peripheral side of the detected object 200, and a plurality of slit layers 201b for providing information on the amount of movement are provided on the inner peripheral side over two layers. It is provided radially at equal intervals.

【0004】被検出体200に設けられたスリットは、
例えば、ガラス平板の一方の面において、スリット20
1a及び201bを形成する部分以外に金属等で蒸着膜
202を形成することにより、ガラス平板上にスリット
201a及び201bが形成され、蒸着膜202がある
部分は光を反射し、蒸着膜202が無い部分は光を透過
することができる。
The slit provided in the object 200 to be detected is
For example, on one surface of the glass plate, the slit 20
The slits 201a and 201b are formed on the glass plate by forming the vapor deposition film 202 with a metal or the like on the portions other than the portions where the vapor deposition films 1a and 201b are formed, and the portion where the vapor deposition film 202 is present reflects light and the vapor deposition film 202 is not present. The portion can transmit light.

【0005】インクリメンタル型のエンコーダは被検出
体200の他に、被検出体200の位置情報を検出する
ために、発光素子と受光素子を有した検出部を備えてい
る。対向して設けられた発光素子と受光素子の間を被読
み取り部201が通過させられることによって、スリッ
トが通過する間は、発光素子から発せられた光が被検出
体200を透過し受光素子が光を受け、またスリットで
ない部分が通過する間は、発光素子から発せられた光が
透過できず受光素子が光を受けることができない。
In addition to the object 200 to be detected, the incremental encoder is provided with a detector having a light emitting element and a light receiving element for detecting position information of the object 200 to be detected. By allowing the read portion 201 to pass between the light-emitting element and the light-receiving element provided facing each other, the light emitted from the light-emitting element passes through the object to be detected 200 while the light-receiving element is passing through the slit. While the light is received and the portion other than the slit passes, the light emitted from the light emitting element cannot be transmitted and the light receiving element cannot receive the light.

【0006】等間隔に設けられたスリットが複数通過す
ると、受光の有無によりスリットの通過を計測し、移動
量、移動方向、絶対位置等が求められる。この位置情報
をもとにフィードバック制御によって、移動体の位置決
めを行う。
When a plurality of slits provided at equal intervals pass, the passage of the slits is measured depending on the presence or absence of light reception, and the amount of movement, moving direction, absolute position, etc. are obtained. Positioning of the moving body is performed by feedback control based on this position information.

【0007】一方、移動体を駆動するアクチュエータと
して、従来から電磁型のアクチュエータがしばしば使用
される。しかし電磁型のアクチュエータの場合出力が小
さいため、更にはそれ自身の位置決め分解能が低いた
め、一般にアクチュエータの出力軸と移動体の間に減速
歯車列を介することにより移動体を駆動するのに必要な
動力、更には高い分解能を得ることが多い。
On the other hand, as an actuator for driving a moving body, an electromagnetic type actuator is often used conventionally. However, in the case of an electromagnetic actuator, the output is small, and furthermore, the positioning resolution of itself is low, so it is generally necessary to drive the moving body by interposing a reduction gear train between the output shaft of the actuator and the moving body. Power and even high resolution are often obtained.

【0008】しかしながら、歯車間ではバックラッシュ
が生じるため、位置決め制御を行う際の精度等が悪化す
る恐れがある。また、減速歯車列を設けるスペースが必
要となり、機器全体が大型化する恐れがある。そのた
め、駆動源として超音波アクチュエータを使用する場合
がある。超音波アクチュエータは電磁型のアクチュエー
タよりもトルクが大きく位置決め分解能が高いため、減
速歯車列を用いることなく直接的に移動体を駆動するこ
とができる。
However, since backlash occurs between the gears, there is a possibility that the accuracy and the like when performing the positioning control will deteriorate. Further, a space for providing the reduction gear train is required, which may increase the size of the entire device. Therefore, an ultrasonic actuator may be used as a drive source. Since the ultrasonic actuator has larger torque and higher positioning resolution than the electromagnetic actuator, it is possible to directly drive the moving body without using the reduction gear train.

【0009】また、超音波アクチュエータは保持トルク
を有するため停止時には電力を消費しない。そのため、
バックラッシュの問題が生じないので高精度な位置決め
が行われ、小型で消費電力の少ない位置決め機能付きア
クチュエータの駆動源として適している。
Further, since the ultrasonic actuator has a holding torque, it does not consume electric power when stopped. for that reason,
Since the problem of backlash does not occur, highly accurate positioning is performed, and it is suitable as a driving source for an actuator with a positioning function that is small and consumes less power.

【0010】図10は、従来の位置決め機能付きアクチ
ュエータ100の断面図である。なお、図10は駆動源
として回転駆動型の超音波アクチュエータ101を使用
している。支持台102に中心軸103が固定されてお
り、圧電素子104が下面に接着され上面に突起部10
5を有した圧電振動子106が中心軸103に固定され
ている。移動体107はボールベアリング108を介し
て中心軸103に支持されている。なお、ボールベアリ
ング108の外輪108aは移動体107に圧入されて
おり、内輪108bは中心軸103がある程度の隙間を
もって挿入されている。内輪108bはばね座109を
介してコイルばね110によって加圧されている。コイ
ルばね110の上端はばね押さえ111を介して中心軸
103に固定された押さえリング112によって押さえ
られている。
FIG. 10 is a sectional view of a conventional actuator 100 with a positioning function. In FIG. 10, a rotary drive type ultrasonic actuator 101 is used as a drive source. A central shaft 103 is fixed to a support base 102, a piezoelectric element 104 is adhered to the lower surface, and a protrusion 10 is formed on the upper surface.
A piezoelectric vibrator 106 having 5 is fixed to the central shaft 103. The moving body 107 is supported by the central shaft 103 via a ball bearing 108. The outer ring 108a of the ball bearing 108 is press-fitted into the moving body 107, and the inner ring 108b has the central shaft 103 inserted with a certain gap. The inner ring 108b is pressed by a coil spring 110 via a spring seat 109. The upper end of the coil spring 110 is pressed by a pressing ring 112 fixed to the central shaft 103 via a spring pressing 111.

【0011】移動体107は伝達されたコイルばね11
0の加圧力によって圧電振動子106に押さえつけられ
る。圧電振動子106にリード線113を介して駆動信
号を入力すると圧電振動子106が振動し移動体107
と突起部105の間に摩擦力が生じて振動を移動体10
7の回転運動に変換することができる。
The moving body 107 is transmitted to the coil spring 11
The piezoelectric vibrator 106 is pressed by a pressing force of 0. When a drive signal is input to the piezoelectric vibrator 106 via the lead wire 113, the piezoelectric vibrator 106 vibrates and the moving body 107
A frictional force is generated between the movable body 10 and the protrusion 105 to generate vibration.
Can be converted into a rotational movement of 7.

【0012】移動体107には被検出体114が固定さ
れている。被検出体114の外周に被読み取り部115
が備えられている。検出部116は被読み取り部115
を挟み込んで備えられた発光素子116a及び受光素子
116bと、両者を保持する素子保持部117を備えて
いる。
An object 114 to be detected is fixed to the moving body 107. The read portion 115 is provided on the outer circumference of the detected object 114.
Is provided. The detection unit 116 includes the read unit 115.
It is provided with a light emitting element 116a and a light receiving element 116b sandwiched between and an element holding portion 117 for holding both.

【0013】移動体107と伴に被検出体114が回転
すると、被読み取り部115の移動が検出部116によ
り検出される。検出部116はこの情報を制御回路部
(図示せず)に伝え、制御回路部は目標位置に移動体1
07が移動されるように圧電素子104に駆動信号を入
力する。このようなフィードバック制御により移動体1
07の位置決めを行う。
When the detected body 114 rotates together with the moving body 107, the movement of the read section 115 is detected by the detection section 116. The detection unit 116 transmits this information to the control circuit unit (not shown), and the control circuit unit moves the mobile unit 1 to the target position.
A drive signal is input to the piezoelectric element 104 so that 07 is moved. By such feedback control, the moving body 1
07 positioning is performed.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】近年、各種電子装置に
おいて、アクチュエータにより駆動される移動体の移動
量を制御する位置決め制御技術が必要不可欠になってお
り、昨今の産業の発展に伴いますます高性能な位置決め
制御が要求されている。この要求を満たすために、イン
クリメンタル型のエンコーダと超音波アクチュエータを
組み合わせた位置決め機能付きアクチュエータがアクチ
ュエータ付き電子機器にしばしば使用される。
In recent years, positioning control technology for controlling the amount of movement of a moving body driven by an actuator has become indispensable in various electronic devices, and it is becoming increasingly high with the recent industrial development. High-performance positioning control is required. In order to meet this demand, an actuator with a positioning function, which is a combination of an incremental encoder and an ultrasonic actuator, is often used in electronic devices with an actuator.

【0015】より高分解能の位置決め制御を行うには検
出の分解能を高くする必要があり、そのためには、例え
ば、移動体107が回転移動を行う場合はスリット密度
を移動角度に対して増やせばよい。
In order to perform higher resolution positioning control, it is necessary to increase the detection resolution. For that purpose, for example, when the moving body 107 makes a rotational movement, the slit density should be increased with respect to the movement angle. .

【0016】これを実現するには、被検出体114の径
を大型化しスリットを設ける部分の面積を拡大する方法
と、スリットの形成をより細密にする方法の2つがあ
る。
To achieve this, there are two methods: a method of increasing the diameter of the object to be detected 114 to increase the area of the portion where the slit is provided, and a method of forming the slit more finely.

【0017】前者の方法の場合、円盤形の被検出体11
4の最外周は回転中心から大きく離れてしまう。そのた
め、例えば、外部からの衝撃、振動等により被検出体1
14の外周付近に上下方向の外力が加わった場合、てこ
の原理により移動体107の中心部に大きな力が発生す
る。その力がコイルばね110の加圧力を超えてしまう
と、ベアリング内輪108bと中心軸103に隙間が存
在しているが故に被検出体114が回転中心に対して傾
いてしまい、被検出体114の最外周は大きく受光素子
116b側もしくは発光素子116a側にぶれてしま
う。また、被検出体114内部に振動が発生した際に外
周側の変位が大きくなる。
In the case of the former method, the disk-shaped object to be detected 11 is detected.
The outermost circumference of 4 is far away from the center of rotation. Therefore, for example, the object to be detected 1 is subject to external impact, vibration, or the like.
When an external force in the vertical direction is applied to the vicinity of the outer circumference of 14, a large force is generated in the central portion of the moving body 107 due to the principle of leverage. When the force exceeds the pressing force of the coil spring 110, the detected body 114 tilts with respect to the center of rotation because a gap exists between the bearing inner ring 108b and the central shaft 103, and the detected body 114 The outermost circumference is largely shaken toward the light receiving element 116b side or the light emitting element 116a side. Further, when vibration occurs inside the detected body 114, the displacement on the outer peripheral side becomes large.

【0018】したがって、被読み取り部115が発光素
子116a、受光素子116b、または素子保持部11
7等に接触し、被読み取り部115や発光素子116a
もしくは受光素子116bが損傷を受けてしまう恐れが
ある。特に被読み取り部115が蒸着膜等で形成されて
いる場合、比較的傷が付きやいためスリット形状が破損
しやすく位置検出精度が悪化する可能性がある。また、
発光素子116aもしくは受光素子116bが破損して
しまえば検出不可能という事態も起こり得る。そのた
め、位置決めの信頼性が低下する。
Therefore, the portion to be read 115 is the light emitting element 116a, the light receiving element 116b, or the element holding portion 11.
7 and the like to be read, and the portion to be read 115 and the light emitting element 116a
Alternatively, the light receiving element 116b may be damaged. In particular, when the read portion 115 is formed of a vapor deposition film or the like, the slit shape is likely to be damaged because the scratches are relatively likely to occur, and the position detection accuracy may be deteriorated. Also,
If the light emitting element 116a or the light receiving element 116b is damaged, it may be impossible to detect. Therefore, the reliability of positioning is reduced.

【0019】また、被検出体114の動きに伴い大きく
被検出体114が動いた場合、移動体107と突起部1
05の摺動面が損傷し起動不良を引き起こすこともあ
る。被検出体114と受光素子116bの距離を離し、
被読み取り部115が発光素子116a、受光素子11
6b、または素子保持部117等に接触しないようにす
ると、スリットを透過してきた光が回折等でぼやけてし
まい検出ミスを起こしやすくなるため、検出の信頼性が
低下する。
Further, when the detected body 114 largely moves along with the movement of the detected body 114, the moving body 107 and the projection 1
The sliding surface of 05 may be damaged and start-up failure may occur. The distance between the detection object 114 and the light receiving element 116b is increased,
The part to be read 115 includes the light emitting element 116a and the light receiving element 11.
6b or the element holding portion 117 or the like is prevented from coming into contact with the light, the light transmitted through the slit is blurred due to diffraction or the like, and a detection error is likely to occur, resulting in a decrease in detection reliability.

【0020】ぶれを防ぐためにベアリング内輪108b
と中心軸103の隙間を無くせばよいが、超音波アクチ
ュエータの原理上、加圧力を移動体107に伝達する必
要があるため、移動体107を回転軸103のスラスト
方向に対して移動可能にしなければならない。そのた
め、内輪108bと中心軸103の間の隙間はある程度
必要である。
Bearing inner ring 108b for preventing blurring
Although it is sufficient to eliminate the gap between the central axis 103 and the central axis 103, it is necessary to transmit the pressing force to the moving body 107 on the principle of the ultrasonic actuator. Therefore, the moving body 107 must be movable in the thrust direction of the rotating shaft 103. I have to. Therefore, a certain amount of clearance is required between the inner ring 108b and the central shaft 103.

【0021】内輪108bと中心軸103の間の隙間を
小さくすると、加圧力の伝達が円滑に行えず超音波アク
チュエータの回転が不安定になり、最悪の場合停止して
しまうことも考えられる。
If the gap between the inner ring 108b and the central shaft 103 is reduced, it is possible that the transmission of the pressing force cannot be carried out smoothly and the rotation of the ultrasonic actuator becomes unstable, and in the worst case, it stops.

【0022】内輪108bと中心軸103の間の隙間を
できるだけ小さくし隙間に潤滑剤を介在させ加圧力の伝
達を妨げないようにする方法もあるが、潤滑剤が移動体
107と突起部105の間に流れ込み移動体107の起
動トルクが低下する恐れ、また内輪108bと中心軸1
03の間に生じる移動量は微少であるため、隙間に介在
する潤滑剤の層の一部がとぎれやすく加圧力の伝達を妨
げる恐れがある。被検出体114の振動による外周部の
変位を減らすために被検出体114の厚みを増やすこと
も考えられるが、被検出体114の慣性が増加し、位置
決め制御する際の応答性が悪化する問題を引き起こす。
There is also a method in which the gap between the inner ring 108b and the central shaft 103 is made as small as possible so that the lubricant is interposed in the gap so as not to hinder the transmission of the pressing force. There is a risk that the starting torque of the moving body 107 may decrease due to the flow between the inner ring 108b and the central shaft 1.
Since the amount of movement generated during the period 03 is small, a part of the lubricant layer interposed in the gap is likely to be interrupted, which may hinder the transmission of the pressing force. Although it is conceivable to increase the thickness of the detected body 114 in order to reduce the displacement of the outer peripheral portion due to the vibration of the detected body 114, the inertia of the detected body 114 increases and the responsiveness at the time of positioning control deteriorates. cause.

【0023】更に、被検出体114の回転中に被読み取
り部115が上下にぶれ受光素子116bと被読み取り
部115の距離が長くなると、スリットを透過してきた
光が回折等でぼやけてしまい検出ミスを起こしやすくな
るため、検出の信頼性が低下する。
Further, when the read part 115 vertically moves and the distance between the light receiving element 116b and the read part 115 becomes long during the rotation of the detected object 114, the light transmitted through the slit becomes blurred due to diffraction etc. Is more likely to occur, which lowers the reliability of detection.

【0024】後者の方法の場合、細密なスリットを成形
するにはコストが高くなり、また生産技術的にも限界が
ある。また、スリットが細密になるほど被読み取り部1
15の検出が難しくなり、被読み取り部115の光の有
無を精度良く検出するには、被読み取り部115と受光
素子116bの距離をより短くする必要があり、前者の
方法と同様、被読み取り部115が発光素子116a、
受光素子116b、または素子保持部117等に接触
し、被読み取り部115や発光素子116aもしくは受
光素子116bが損傷を受けてしまう恐れがある。
In the case of the latter method, the cost is high to form a fine slit, and there is a limit in production technology. Further, the finer the slits, the portion to be read 1
15 becomes difficult to detect, and in order to accurately detect the presence / absence of light in the read portion 115, it is necessary to make the distance between the read portion 115 and the light receiving element 116b shorter, which is similar to the former method. 115 is a light emitting element 116a,
The light receiving element 116b, the element holding portion 117, or the like may come into contact with the light receiving element 115, the light emitting element 116a, or the light receiving element 116b to be damaged.

【0025】更に、スリットが細密になるほど、スリッ
トを構成する部分の強度が低下するため、被読み取り部
115に力が加わった際に、ますますスリット形状が破
損しやすくなる結果に陥る。
Further, the finer the slits, the lower the strength of the portion forming the slits, and when a force is applied to the read portion 115, the slit shape is more likely to be damaged.

【0026】このような事情に鑑み、本発明は、高分解
能な位置検出を実現可能にする前述の2つの方法をいず
れかもしくは両者を採用した場合であっても、耐震性に
優れ信頼性の高い高性能な位置決め制御を行うことがで
きる位置決め機能付きアクチュエータおよびアクチュエ
ータ付き電子機器を提供することを目的としている。
In view of such circumstances, the present invention is excellent in seismic resistance and reliable even when either or both of the above-mentioned two methods for realizing high-resolution position detection are adopted. An object of the present invention is to provide an actuator with a positioning function and electronic equipment with an actuator that can perform high-performance positioning control.

【0027】[0027]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、駆動力を発生する駆動部と、駆動部によ
り動作される移動体と、移動体と連動し位置情報を提供
するための被読み取り部を備えた被検出体と、被検出体
の位置情報を得ることで移動体の位置を検出する検出部
と、検出部から出力される信号をもとに移動体が所定の
動作をするように駆動部を動作させる制御回路部と、前
記被検出体に対して前記被検出体の前記所定の動作方向
以外の方向の動きを抑制する少なくとも一つの抑制部材
とを備えることを特徴とする位置決め機能付きアクチュ
エータである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a driving unit for generating a driving force, a moving body operated by the driving unit, and position information in cooperation with the moving body. For detecting the position of the moving body by obtaining the position information of the detected body, and the moving body based on the signal output from the detecting unit. A control circuit unit that operates the drive unit so as to operate; and at least one suppressing member that suppresses movement of the detected body in a direction other than the predetermined operation direction with respect to the detected body. It is a featured actuator with a positioning function.

【0028】また本発明は、上記に記載の位置決め機能
付きアクチュエータにおいて、前記抑制部材は、前記駆
動部もしくは前記検出部の少なくともどちらか一方に設
けられ、前記移動体、もしくは前記被検出体、あるいは
前記移動体か前記被検出体に備えられた緩衝部材に接触
することによって機能することを特徴とする。
According to the present invention, in the actuator with a positioning function described above, the suppressing member is provided on at least one of the drive section and the detection section, and the moving body, the detected body, or It functions by contacting a buffer member provided on the moving body or the detected body.

【0029】また本発明は、上記に記載の位置決め機能
付きアクチュエータにおいて、前記抑制部材は、前記被
読み取り部には接触しない位置に設けられていることを
特徴とすることを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that, in the actuator with the positioning function described above, the suppressing member is provided at a position where it does not come into contact with the portion to be read.

【0030】また本発明は、上記に記載の位置決め機能
付きアクチュエータにおいて、前記抑制部材は、前記移
動体もしくは前記被検出体のいずれかの前記被読み取り
部と重ならない位置に設けられ、前記被検出部の動作方
向に延びた形状を有しているかもしくは前記被検出部の
動作方向に一つ以上備えられており、前記検出部もしく
は前記駆動部あるいは前記検出部か前記駆動部に備えら
れた前記緩衝部材に接触することによって、作用するこ
とを特徴とする。
According to the present invention, in the actuator with a positioning function described above, the suppressing member is provided at a position which does not overlap with the read portion of either the moving body or the detected body, and the detected body is detected. The detection unit or the drive unit, or the detection unit or the drive unit, the shape of the detection unit or the drive unit being one or more provided in the operation direction of the detected unit. It is characterized in that it acts by coming into contact with the cushioning member.

【0031】また本発明は、上記に記載の位置決め機能
付きアクチュエータにおいて、前記駆動部は、圧電振動
子に発生する振動を動力源とする超音波アクチュエータ
であることを特徴とする。
Further, according to the present invention, in the actuator with a positioning function described above, the drive section is an ultrasonic actuator using a vibration generated in the piezoelectric vibrator as a power source.

【0032】また本発明は、上記に記載の位置決め機能
付きアクチュエータと、前記移動体の動作により可動す
る負荷部を有することを特徴とするアクチュエータ付き
電子機器である。
Further, the present invention is an electronic device with an actuator, comprising: the actuator with a positioning function described above; and a load section movable by the operation of the moving body.

【0033】[0033]

【発明の実施の形態】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0034】[0034]

【実施例】以下、図面を参照しつつ、本発明の位置決め
機能付きアクチュエータおよびアクチュエータ付き電子
機器についての説明を行う。なお、以下の実施の形態
は、あくまでも本発明の説明のためのものであり、本発
明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者
であれば、これらの各要素または全要素を含んだ各種の
実施の形態を採用することが可能であるが、これらの実
施の形態も本発明の範囲に含まれる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An actuator with a positioning function and an electronic device with an actuator according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The following embodiments are merely for the purpose of explaining the present invention and do not limit the scope of the present invention. Therefore, a person skilled in the art can adopt various embodiments including these respective elements or all the elements, but these embodiments are also included in the scope of the present invention.

【0035】(第1の実施の形態)図8は、本発明の第1
の実施の形態にかかるアクチュエータ付き電子機器30
0を説明するブロック図である。図8に示すアクチュエ
ータ付き電子機器300は、位置決め機能付きアクチュ
エータ301と負荷部325によって構成されている。
位置決め機能付きアクチュエータ301は、駆動力を発
生する駆動部302と、駆動部302により動作される
移動体303と、移動体303と連動し位置情報を提供
するための被読み取り部304を備えた被検出体305
と、被検出体305の位置情報を得ることで移動体30
3の位置を検出する検出部306と、検出部306から
出力される検出信号をもとに移動体303が所定の動作
をするように駆動部302に駆動信号を伝送する制御回
路部324と、被検出体305に対して被検出体の動作
方向以外の方向の動きのうちいずれかの方向の動きを抑
制する抑制部材307を備えている。負荷部325は移
動体303の動作により可動する。
(First Embodiment) FIG. 8 shows a first embodiment of the present invention.
Electronic Device with Actuator 30 According to Embodiment
It is a block diagram explaining 0. The actuator-equipped electronic device 300 shown in FIG. 8 includes an actuator 301 with a positioning function and a load section 325.
The actuator 301 with a positioning function includes a driving unit 302 that generates a driving force, a moving body 303 that is operated by the driving unit 302, and a read unit 304 that interlocks with the moving body 303 and provides position information. Detecting body 305
And the moving object 30 by obtaining the position information of the detected object 305.
3, a detection unit 306 that detects the position of 3, and a control circuit unit 324 that transmits a drive signal to the drive unit 302 so that the moving body 303 performs a predetermined operation based on the detection signal output from the detection unit 306, The detection member 305 is provided with a suppressing member 307 that suppresses movement in any direction other than the movement direction of the detection target. The load unit 325 is movable by the operation of the moving body 303.

【0036】図1は、本発明の第1の実施の形態にかか
る位置決め機能付きアクチュエータ301の断面図であ
る。なお、第1の実施の形態においては駆動部302に
回転駆動型の超音波アクチュエータを使用している。超
音波アクチュエータの原理は、例えば特開平7−170
772記載のものを用いる。駆動部302は、支持台3
08と、支持台308に固定された中心軸309と、圧
電素子310を下面に接着し上面に突起部311を有し
中心軸309に圧入により固定されている圧電振動子3
12と、圧電素子310に制御回路部から送られる駆動
信号を伝送し半田等で圧電素子310に接合されたリー
ド線313と、移動体303をばね座314を介して圧
電素子310に押しつけるためのコイル状の加圧ばね3
15と、加圧ばね315の上端をばね押さえ316を介
して中心軸309に固定する押さえリング317によっ
て構成されている。
FIG. 1 is a sectional view of an actuator 301 with a positioning function according to the first embodiment of the present invention. In the first embodiment, the drive unit 302 uses a rotary drive type ultrasonic actuator. The principle of the ultrasonic actuator is, for example, JP-A-7-170.
The one described in 772 is used. The drive unit 302 includes the support base 3
08, the central axis 309 fixed to the support base 308, and the piezoelectric element 310 adhered to the lower surface and the protrusion 311 on the upper surface, and the piezoelectric vibrator 3 fixed to the central axis 309 by press fitting.
12, a lead wire 313 that transmits a drive signal sent from the control circuit unit to the piezoelectric element 310 and is joined to the piezoelectric element 310 with solder or the like, and for pressing the moving body 303 against the piezoelectric element 310 via the spring seat 314. Coil-shaped pressure spring 3
15 and a pressing ring 317 that fixes the upper end of the pressure spring 315 to the central shaft 309 via a spring pressing member 316.

【0037】移動体303は、突起部311との摺動性
を向上させるために特殊な樹脂等で形成されたリング状
の摺動板318と、被検出体305を固定するための被
検出体固定部材320を備えており、更に中心軸309
との相対的な動作を円滑にするための軸受けとして転が
りのベアリング319を備えている。
The moving body 303 is a ring-shaped sliding plate 318 made of a special resin or the like for improving slidability with respect to the protrusion 311, and a detected body for fixing the detected body 305. A fixing member 320 is provided, and a central shaft 309 is further provided.
A rolling bearing 319 is provided as a bearing for smoothing the relative movement with the.

【0038】加圧ばね315の加圧力を移動体303に
効率よく伝達するために、ベアリング319の外輪31
9aは移動体に圧入されているが、内輪319bは中心
軸309との間にある程度の隙間を持たせ、中心軸30
9に対して移動体303がスラスト方向に移動可能とし
ている。
In order to efficiently transmit the pressure force of the pressure spring 315 to the moving body 303, the outer ring 31 of the bearing 319 is used.
9a is press-fitted into the moving body, but the inner ring 319b has a certain gap with the central shaft 309 so that the central shaft 30
The movable body 303 is movable in the thrust direction with respect to No. 9.

【0039】なお、軸受けは転がり軸受けに限ることは
なく滑り軸受け等でも構わない。
The bearings are not limited to rolling bearings, and sliding bearings or the like may be used.

【0040】駆動部302は、駆動信号を入力されると
圧電振動子312を振動させ、加圧ばね315の加圧力
によって摺動板318を介して突起部311に押しつけ
られた移動体303を回転駆動する被検出体305は被
検出体固定部材320により圧入、接着、螺子等で固定
されている。なお、被検出体固定部材320を使わず直
接移動体303と被検出体305を固定することも可能
である。
The drive unit 302 vibrates the piezoelectric vibrator 312 when a drive signal is input, and rotates the moving body 303 pressed against the protrusion 311 via the sliding plate 318 by the pressing force of the pressure spring 315. The to-be-detected object 305 to be driven is fixed by a to-be-detected object fixing member 320 by press fitting, adhesion, screws or the like. It is also possible to directly fix the moving body 303 and the detected body 305 without using the detected body fixing member 320.

【0041】また被検出体305は円盤形の形状をして
おり、その下面には被読み取り部304を備えている。
被読み取り部304は、例えば、図9に示したように、
外周側に放射状のスリットが多数形成されている。この
スリットは、例えば、光を透過可能なガラス等で被検出
体305を作成し、円板にスリットを形成する部分以外
に金属等で蒸着膜を形成することにより、ガラス平板上
にスリットが形成され、蒸着膜がある部分は光を反射
し、蒸着膜が無い部分は光を透過することができる。ま
た、被検出体305は、光を透過性の悪い金属等の材料
で作成し、スリットを形成する部分をエッチング、切削
等で削除し、スリットを形成することも可能である。
The object 305 to be detected has a disk shape, and a reading portion 304 is provided on the lower surface thereof.
The read section 304 is, for example, as shown in FIG.
A large number of radial slits are formed on the outer peripheral side. This slit is formed on a glass flat plate, for example, by forming the detection object 305 with glass or the like that can transmit light and forming a vapor deposition film with a metal or the like on a portion other than the portion where the slit is formed on the disk. Thus, the portion with the vapor deposition film can reflect light, and the portion without the vapor deposition film can transmit light. Further, it is also possible to form the slit in the detected body 305 by forming light with a material such as a metal having poor transparency and removing the portion forming the slit by etching, cutting or the like.

【0042】検出部306は、被読み取り部304を挟
み込むように発光素子321及び受光素子322を備
え、両者を保持する素子保持部323を備えており、こ
こでは駆動部302の支持台308の上に固定されてい
る。
The detecting section 306 includes a light emitting element 321 and a light receiving element 322 so as to sandwich the read section 304, and an element holding section 323 for holding both of them. Here, on the supporting base 308 of the driving section 302. It is fixed to.

【0043】移動体303と伴に被検出体305が回転
すると、被読み取り部304の移動量、移動方向、絶対
位置等が検出部306により検出される。検出部306
はこの情報を制御回路部に伝え、制御回路部は目標位置
に移動体303が移動されるように圧電素子310に駆
動信号を入力する。このようなフィードバック制御によ
り移動体303の位置を所定の場所へ位置決めする。
When the detected body 305 rotates together with the moving body 303, the detecting section 306 detects the moving amount, moving direction, absolute position, etc. of the read section 304. Detection unit 306
Transmits this information to the control circuit unit, and the control circuit unit inputs a drive signal to the piezoelectric element 310 so that the moving body 303 is moved to the target position. The position of the moving body 303 is positioned at a predetermined place by such feedback control.

【0044】駆動部302に超音波アクチュエータを用
いることで、小型で応答性に優れ高精度な位置決め機能
付きアクチュエータが可能になる。
By using an ultrasonic actuator for the drive unit 302, it is possible to provide an actuator with a positioning function that is small in size, excellent in responsiveness, and highly accurate.

【0045】抑制部材307は、検出部306の素子保
持部323に突起状に一体的に形成されている。
The suppressing member 307 is integrally formed as a protrusion on the element holding portion 323 of the detecting portion 306.

【0046】一般に検出の性能を向上させるために、受
光素子322と被読み取り部304の距離は比較的短く
なることが多いため、受光素子322と被読み取り部3
04が接触しやすい。抑制部材307は、被検出体30
5の回転面が衝撃等によって所定の位置からぶれてしま
っても、被読み取り部304と受光素子322が接触す
るよりも先に被検出体305と抑制部材307が接触す
ることで、被読み取り部304と受光素子322または
素子保持部323との接触を防ぐ、更には強度の低い被
読み取り部304が損傷してしまうのを防ぐ働きをす
る。
In general, in order to improve the detection performance, the distance between the light receiving element 322 and the read portion 304 is often relatively short, so that the light receiving element 322 and the read portion 3 are often used.
04 is easy to contact. The suppression member 307 is the detection target 30.
Even if the rotating surface of 5 shakes from a predetermined position due to an impact or the like, the detected body 305 and the suppressing member 307 come into contact with each other before the read portion 304 and the light receiving element 322 come into contact with each other. It functions to prevent the contact between 304 and the light receiving element 322 or the element holding portion 323, and further to prevent the read portion 304 having low strength from being damaged.

【0047】そのため、被検出体305の回転面がぶれ
てしまっても被読み取り部304に接触することがない
位置に抑制部材307は設置されることが望ましい。
Therefore, it is desirable that the suppressing member 307 be installed at a position where it does not come into contact with the read portion 304 even if the rotational surface of the detected body 305 is shaken.

【0048】また、被読み取り部304と受光素子32
2の最短距離よりも被検出体305と抑制部材307の
最短距離の方を小さくするのが望ましい。
Further, the read portion 304 and the light receiving element 32
It is desirable to make the shortest distance between the detected body 305 and the suppressing member 307 smaller than the shortest distance of 2.

【0049】また、抑制部材307は被検出体305の
回転中心と受光素子322を結ぶ直線上近傍であって被
読み取り部304よりも外周側に設けられることが望ま
しく、それは、被検出体305の回転面が傾いてしまう
ぶれの場合、被読み取り部304と受光素子322また
は素子保持部323との最短距離よりも被検出体305
と抑制部材307の最短距離の方を多少大きくしていた
としても、被読み取り部304と受光素子322または
素子保持部323との接触を防ぐことができるからであ
る。しかしながら、抑制部材307は被検出体305の
回転中心と受光素子322を結ぶ直線上近傍であって、
被読み取り部304よりも外周側以外の場所に設けられ
ても構わない。
Further, it is desirable that the suppressing member 307 be provided near the straight line connecting the center of rotation of the detection object 305 and the light receiving element 322 and on the outer peripheral side of the reading section 304, which is the detection object 305. When the rotation surface is tilted and shaken, the detected object 305 is more than the shortest distance between the read section 304 and the light receiving element 322 or the element holding section 323.
This is because even if the shortest distance of the suppressing member 307 is made slightly larger, it is possible to prevent contact between the read portion 304 and the light receiving element 322 or the element holding portion 323. However, the suppressing member 307 is in the vicinity of the straight line connecting the rotation center of the detected body 305 and the light receiving element 322,
It may be provided at a location other than the outer peripheral side of the read section 304.

【0050】また、抑制部材307は素子保持部323
と一体的に形成されているため、樹脂等で一体に成形す
ることができ大量生産にむいている。
Further, the suppressing member 307 is the element holding portion 323.
Since it is integrally formed with, it can be integrally molded with resin or the like, and is suitable for mass production.

【0051】また、抑制部材307を素子保持部323
の受光素子322側に設けているため、抑制部材307
は小さな体積かつ単純な形状で構成できる。
Further, the suppression member 307 is attached to the element holding portion 323.
Since it is provided on the light receiving element 322 side of the
Can be constructed with a small volume and simple shape.

【0052】また、抑制部材307は受光素子322の
例えば外周側に設けることも可能で、その場合は受光素
子322を被検出体305の接触を防ぎやすい。
Further, the suppressing member 307 can be provided, for example, on the outer peripheral side of the light receiving element 322, in which case the light receiving element 322 can easily prevent contact with the object 305 to be detected.

【0053】また、抑制部材307は被検出体305と
常時接触する形状にし、より安定した被検出体305の
面ぶれの防止を可能することもできる。
Further, the suppressing member 307 may be shaped so as to be in constant contact with the object 305 to be detected, so that more stable surface deviation of the object 305 can be prevented.

【0054】また、被検出体305受ける面積を広く
し、より安定した被検出体305の面ぶれの防止を可能
するために、抑制部材307の上端面積を広げる、また
は複数の抑制部材307を設けてもよい。なお、抑制部
材307を素子保持部323とは別体に設け、接着、螺
子等で素子保持部323に固定しても良い。このように
抑制部材307を設け被検出体305の面ぶれを抑制す
ることで、高分解能な位置検出を行うために被検出体3
05を大型化したり、被読み取り部304を細密にする
ことで回転角度あたりのスリット密度を増やしたりした
場合でも、接触による被読み取り部304、発光素子3
21及び受光素子322等の損傷を防ぎ、また被読み取
り部304、発光素子321及び受光素子322の隙間
の距離関係が変わることで生じる被読み取り部304の
検出ミスを低減できるので、検出の性能が損なわれない
ため、また、加圧ばね315による加圧力を移動体30
3に円滑に伝達しつつ、被検出体305の面ぶれを抑制
でき、突起部311のくい込みによる移動体303の損
傷を防ぐことにより超音波アクチュエータの性能が損な
われることがないため、振動、衝撃等による不具合を起
こさない高分解能、高信頼性、高精度の位置決めが可能
な位置決め機能付きアクチュエータ301が実現でき
る。
Further, in order to widen the area to be received by the object 305 to be detected and to prevent more stable surface deviation of the object 305, the upper end area of the suppressing member 307 is increased or a plurality of suppressing members 307 are provided. May be. Note that the suppressing member 307 may be provided separately from the element holding portion 323, and may be fixed to the element holding portion 323 with an adhesive, a screw, or the like. In this way, the suppression member 307 is provided to suppress the surface deviation of the detected object 305, so that the detected object 3 can be detected for high-resolution position detection.
05, the read portion 304 and the light emitting element 3 due to contact are increased even if the read portion 304 is made fine and the slit density per rotation angle is increased.
21 and the light receiving element 322 are prevented from being damaged, and the detection error of the read portion 304 caused by the change in the distance relationship between the read portion 304, the light emitting element 321, and the light receiving element 322 can be reduced. Since it is not damaged, the pressure applied by the pressure spring 315 is applied to the moving body 30.
3 can be smoothly transmitted to the detection target body 305, the surface deviation of the detection target body 305 can be suppressed, and the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing the moving body 303 from being damaged by the protrusion 311 biting in. It is possible to realize the actuator 301 with a positioning function that can perform high-resolution, high-reliability, and high-accuracy positioning without causing problems due to the above.

【0055】また、移動体303と連動する負荷部32
5を設けることにより、振動、衝撃等による不具合を起
こさず、高分解能、高信頼性、高精度に位置決めされる
負荷部325を備えたアクチュエータ付き電子機器30
0を実現できる。
In addition, the load section 32 that interlocks with the moving body 303.
5 is provided, the electronic device 30 with an actuator is equipped with a load section 325 that is positioned with high resolution, high reliability, and high accuracy without causing problems such as vibration and shock.
0 can be realized.

【0056】(第2の実施の形態)図2は、本発明の第
2の実施の形態にかかる位置決め機能付きアクチュエー
タ401の断面図である。本発明の第2の実施の形態に
かかる位置決め機能付きアクチュエータ401は、図1
の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の形状に変
更を加えたものであり、その他の駆動部、移動体、被検
出体、検出部、制御回路部の機能、効果等は、本発明の
第1の形態で示した位置決め機能付きアクチュエータ3
01と同様である。
(Second Embodiment) FIG. 2 is a sectional view of an actuator 401 with a positioning function according to a second embodiment of the present invention. The actuator 401 with a positioning function according to the second embodiment of the present invention is shown in FIG.
The shape of the suppressing member 307 according to the first embodiment of the present invention is modified, and other functions, effects, and the like of the driving unit, the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit are the same as those of the present invention. Actuator 3 with positioning function shown in the first embodiment of
The same as 01.

【0057】抑制部材402は、素子保持部323の受
光素子322側で、被検出体305の回転中心と受光素
子322を結ぶ直線上近傍であって被読み取り部304
よりも外周側に設けられている。
The suppressing member 402 is on the light receiving element 322 side of the element holding portion 323, in the vicinity of the straight line connecting the rotation center of the detection object 305 and the light receiving element 322, and on the read portion 304.
It is provided on the outer peripheral side.

【0058】抑制部材402の形状は、L字型の断面を
有しており、L字型の内角側の上面402aで被検出体
305の下面、L字型の内角側の側面402bで被検出
体305の外周側側面を受けることが可能になってい
る。
The suppressing member 402 has an L-shaped cross section, and the upper surface 402a of the L-shaped inner corner side is the lower surface of the object 305 and the side surface 402b of the L-shaped inner corner is the object to be detected. It is possible to receive the outer peripheral side surface of the body 305.

【0059】そのため、振動等で被検出体305の面ぶ
れを抑制するだけではなく、被検出体305の回転軸と
中心軸309がずれたり中心軸309自体が振動したり
してしまう等の問題が生じた場合でも、被検出体305
の軸ぶれを抑制する、また被検出体305の半径方向に
おける受光素子322と被読み取り部304のぶれを抑
制することが可能である。したがって、本発明の第1の
実施の形態に示した位置決め機能付きアクチュエータ3
01よりも被読み取り部304の検出ミスの発生をいっ
そう低減することが可能となる。
Therefore, in addition to suppressing the surface deviation of the detected object 305 due to vibration, etc., there is a problem that the rotation axis of the detected object 305 and the central axis 309 are displaced or the central axis 309 itself vibrates. Even if the
It is possible to suppress the axial blurring of the object, and to suppress the blurring of the light receiving element 322 and the read portion 304 in the radial direction of the detected object 305. Therefore, the actuator 3 with the positioning function shown in the first embodiment of the present invention
It is possible to further reduce the occurrence of the detection error of the read portion 304 compared with 01.

【0060】また、抑制部材307の断面形状をコ字型
にして、被検出体305の上側への面ぶれを抑制するこ
とも可能である。このように抑制部材402を設け被検
出体305の面ぶれを抑制することで、高分解能な位置
検出を行うために被検出体305を大型化したり、被読
み取り部304を細密にすることで回転角度あたりのス
リット密度を増やしたりした場合でも、接触による被読
み取り部304、発光素子321及び受光素子322等
の損傷を防ぎ、また被読み取り部304、発光素子32
1及び受光素子322の隙間の距離関係が変わることで
生じる被読み取り部304の検出ミスを低減できるの
で、検出の性能が損なわれないため、また、加圧ばね3
15による加圧力を移動体303に円滑に伝達しつつ、
被検出体305の面ぶれを抑制でき、突起部311のく
い込みによる移動体303の損傷を防ぐことにより超音
波アクチュエータの性能が損なわれることがないため、
振動、衝撃等による不具合を起こさない高分解能、高信
頼性、高精度の位置決めが可能な位置決め機能付きアク
チュエータ401が実現できる。
Further, the suppressing member 307 may have a U-shaped cross section to suppress the surface deviation of the object 305 to be detected. As described above, the suppression member 402 is provided to suppress the surface deviation of the detected object 305, thereby increasing the size of the detected object 305 for high-resolution position detection or by rotating the read part 304 to be fine. Even when the slit density per angle is increased, the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like are prevented from being damaged by contact, and the read portion 304 and the light emitting element 32 are prevented.
1 and the light receiving element 322, the detection error of the read portion 304 caused by the change in the distance relationship can be reduced, so that the detection performance is not impaired.
While smoothly transmitting the pressing force of 15 to the moving body 303,
Since the surface deviation of the detected body 305 can be suppressed, and the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing the moving body 303 from being damaged by the protrusion 311 biting in,
It is possible to realize the actuator 401 with a positioning function capable of performing high-resolution, high-reliability, and high-accuracy positioning without causing problems such as vibration and shock.

【0061】(第3の実施の形態)図3は、本発明の第
3の実施の形態にかかる位置決め機能付きアクチュエー
タ501の断面図である。本発明の第3の実施の形態に
かかる位置決め機能付きアクチュエータ501は、図1
の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の形状及び
設置場所に変更を加えたものであり、その他の駆動部、
移動体、被検出体、検出部、制御回路部の機能、効果等
は、本発明の第1の形態で示した位置決め機能付きアク
チュエータ301と同様である。
(Third Embodiment) FIG. 3 is a sectional view of an actuator 501 with a positioning function according to a third embodiment of the present invention. An actuator 501 with a positioning function according to a third embodiment of the present invention is shown in FIG.
The shape and the installation location of the suppressing member 307 according to the first embodiment of the present invention are changed, and other drive units,
The functions, effects, and the like of the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit are the same as those of the actuator 301 with the positioning function shown in the first embodiment of the present invention.

【0062】抑制部材502は、検出部306の近傍に
設けられており、支持台308に固定されている。抑制
部材502が支持台308に固定されていることによ
り、加工が容易な金属等で作成し、圧入等で容易に取り
付けることができる。そのため生産コストを抑えること
ができ、低価格なで高性能な位置決め機能付きアクチュ
エータ501を提供することができる。
The suppressing member 502 is provided near the detecting portion 306 and is fixed to the support base 308. Since the suppressing member 502 is fixed to the support base 308, the suppressing member 502 can be made of a metal or the like that can be easily processed, and can be easily attached by press fitting or the like. Therefore, the production cost can be suppressed, and the actuator 501 with a high-performance positioning function can be provided at a low price.

【0063】また、抑制部材502が検出部306の近
傍に設置されていることにより、安定して被検出体30
5の面ぶれを抑制することができる。また、より安定さ
せるために、複数の抑制部材502を支持台308に設
置することも可能である。このように抑制部材502を
設け被検出体305の面ぶれを抑制することで、高分解
能な位置検出を行うために被検出体305を大型化した
り、被読み取り部304を細密にすることで回転角度あ
たりのスリット密度を増やしたりした場合でも、接触に
よる被読み取り部304、発光素子321及び受光素子
322等の損傷を防ぎ、また被読み取り部304、発光
素子321及び受光素子322の隙間の距離関係が変わ
ることで生じる被読み取り部304の検出ミスを低減で
きるので、検出の性能が損なわれないため、また、加圧
ばね315による加圧力を移動体303に円滑に伝達し
つつ、被検出体305の面ぶれを抑制でき、突起部31
1のくい込みによる移動体303の損傷を防ぐことによ
り超音波アクチュエータの性能が損なわれることがない
ため、振動、衝撃等による不具合を起こさない高分解
能、高信頼性、高精度の位置決めが可能な位置決め機能
付きアクチュエータ501が実現できる。
Further, since the suppressing member 502 is installed in the vicinity of the detecting portion 306, the detected object 30 can be stably maintained.
The surface runout of No. 5 can be suppressed. Further, a plurality of suppressing members 502 can be installed on the support base 308 for more stability. By providing the suppression member 502 in this way to suppress the surface deviation of the detected object 305, the detected object 305 is made large in size for high-resolution position detection, or the read part 304 is made fine to rotate. Even when the slit density per angle is increased, damage to the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like due to contact is prevented, and the distance relationship between the read portion 304, the light emitting element 321, and the light receiving element 322 is large. The detection error of the read part 304 caused by the change of the detection target can be reduced, the detection performance is not impaired, and the detection target 305 can be transmitted while smoothly transmitting the pressure applied by the pressure spring 315 to the moving body 303. Surface protrusion of the protrusion 31 can be suppressed.
Since the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing the moving body 303 from being damaged due to the bite of No. 1, positioning that enables high-resolution, high-reliability and highly-accurate positioning without causing problems due to vibration, shock, etc. The actuator 501 with a function can be realized.

【0064】(第4の実施の形態)図4は、本発明の第
4の実施の形態にかかる位置決め機能付きアクチュエー
タ601の断面図である。本発明の第4の実施の形態に
かかる位置決め機能付きアクチュエータ601は、図1
の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の形状及び
設置場所に変更を加えたものであり、その他の駆動部、
移動体、被検出体、検出部、制御回路部の機能、効果等
は、本発明の第1の形態で示した位置決め機能付きアク
チュエータ301と同様である。
(Fourth Embodiment) FIG. 4 is a sectional view of an actuator 601 with a positioning function according to a fourth embodiment of the present invention. An actuator 601 with a positioning function according to the fourth embodiment of the present invention is shown in FIG.
The shape and the installation location of the suppressing member 307 according to the first embodiment of the present invention are changed, and other drive units,
The functions, effects, and the like of the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit are the same as those of the actuator 301 with the positioning function shown in the first embodiment of the present invention.

【0065】抑制部材602は被検出体305の回転中
心と受光素子322を結ぶ直線上で受光素子322と回
転中心に対して180度反対側近傍で被検出体305の
被読み取り部304よりも外周側に設けられている。
The suppressing member 602 is located on the straight line connecting the center of rotation of the object to be detected 305 and the light receiving element 322 in the vicinity of the side opposite to the light receiving element 322 and the center of rotation by 180 degrees, and is located at the outer periphery of the read part 304 of the object to be detected 305. It is provided on the side.

【0066】この場合、被読み取り部304と受光素子
322及び素子保持部323との接触を防止するには、
抑制部材602からみて被検出体305の面ぶれの傾き
が上側にぶれるのを抑制する必要がある。そのため、抑
制部材602は被検出体305の面ぶれが生じた際に、
被検出体305の上面に接触することで機能するため
に、被検出体305の上面に覆い被さるように形状をし
ている。
In this case, in order to prevent the read portion 304 from contacting the light receiving element 322 and the element holding portion 323,
When viewed from the suppressing member 602, it is necessary to suppress the inclination of the surface deviation of the detection object 305 from moving upward. Therefore, the suppressing member 602 is
Since it functions by contacting the upper surface of the detected object 305, it is shaped so as to cover the upper surface of the detected object 305.

【0067】それと同時に、抑制部材602からみて下
側に傾く面ぶれ及び軸ぶれに対しても抑制できるよう
に、コ字型の断面形状を有している。
At the same time, it has a U-shaped cross-sectional shape so as to be able to suppress a surface shake and a shaft shake that are inclined downward as viewed from the suppressing member 602.

【0068】また、抑制部材602は駆動部302の支
持台308に圧入によって固定するため安価な位置決め
機能付きアクチュエータ601を提供することができ
る。
Further, since the suppressing member 602 is fixed to the support base 308 of the drive section 302 by press fitting, it is possible to provide an inexpensive actuator 601 having a positioning function.

【0069】更に、発光素子321及び受光素子322
から十分離れた場所に抑制部材602が設置されている
ため、抑制部材602と被検出体305の接触の際に発
生しうる摩耗粉が発光素子321及び受光素子322に
付着することがないため、摩耗粉により光が遮られるこ
とがなく検出の精度が悪化することがない。
Further, the light emitting element 321 and the light receiving element 322
Since the suppressing member 602 is installed at a position sufficiently distant from, the abrasion powder that may be generated when the suppressing member 602 and the detection object 305 come into contact with each other does not adhere to the light emitting element 321 and the light receiving element 322. The abrasion powder does not block the light, and the detection accuracy does not deteriorate.

【0070】第4の実施の形態は、抑制部材602を検
出部306または検出部306の近傍に設置することが
困難な場合に非常に有効である。このように抑制部材6
02を設け被検出体305の面ぶれを抑制することで、
高分解能な位置検出を行うために被検出体305を大型
化したり、被読み取り部304を細密にすることで回転
角度あたりのスリット密度を増やしたりした場合でも、
接触による被読み取り部304、発光素子321及び受
光素子322等の損傷を防ぎ、また被読み取り部30
4、発光素子321及び受光素子322の隙間の距離関
係が変わることで生じる被読み取り部304の検出ミス
を低減できるので、検出の性能が損なわれないため、ま
た、加圧ばね315による加圧力を移動体303に円滑
に伝達しつつ、被検出体305の面ぶれを抑制でき、突
起部311のくい込みによる移動体303の損傷を防ぐ
ことにより超音波アクチュエータの性能が損なわれるこ
とがないため、振動、衝撃等による不具合を起こさない
高分解能、高信頼性、高精度の位置決めが可能な位置決
め機能付きアクチュエータ601が実現できる。
The fourth embodiment is very effective when it is difficult to install the suppressing member 602 in the detecting section 306 or in the vicinity of the detecting section 306. In this way, the suppressing member 6
02 is provided to suppress surface deviation of the detected object 305,
Even when the size of the detected object 305 is increased in order to detect the position with high resolution, or the slit density per rotation angle is increased by making the read part 304 fine,
Damage to the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like due to contact is prevented, and the read portion 30
4. Since the detection error of the read portion 304 caused by the change in the distance relationship of the gap between the light emitting element 321 and the light receiving element 322 can be reduced, the detection performance is not impaired, and the pressure applied by the pressure spring 315 can be reduced. While smoothly transmitting to the moving body 303, surface deviation of the detected body 305 can be suppressed, and the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing damage to the moving body 303 due to the biting of the protrusion 311. Thus, it is possible to realize the actuator 601 with a positioning function capable of high-resolution, high-reliability, and high-accuracy positioning without causing problems such as impact.

【0071】(第5の実施の形態)図5は、本発明の第
5の実施の形態にかかる位置決め機能付きアクチュエー
タ701の断面図である。本発明の第5の実施の形態に
かかる位置決め機能付きアクチュエータ701は、図1
の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の形状及び
設置場所に変更を加えたものであり、その他の駆動部、
移動体、被検出体、検出部、制御回路部の機能、効果等
は、本発明の第1の形態で示した位置決め機能付きアク
チュエータ301と同様である。
(Fifth Embodiment) FIG. 5 is a sectional view of an actuator 701 with a positioning function according to a fifth embodiment of the present invention. An actuator 701 with a positioning function according to a fifth embodiment of the present invention is shown in FIG.
The shape and the installation location of the suppressing member 307 according to the first embodiment of the present invention are changed, and other drive units,
The functions, effects, and the like of the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit are the same as those of the actuator 301 with the positioning function shown in the first embodiment of the present invention.

【0072】抑制部材702は、位置検出を妨げないよ
う被読み取り部304と重ならない位置で、被検出体3
05の被読み取り部304よりも外周側に接着等によっ
て固定されている。また、抑制部材702の平面形状は
円板状の被検出体305と同心円状のリング形状であ
る。抑制部材702が被検出体305の被読み取り部3
04よりも外周側にあること、更に抑制部材702の平
面形状がリング形状であるため、安定して被検出体30
5の面ぶれを抑制することができる。
The restraint member 702 is placed at a position where it does not overlap the read portion 304 so as not to interfere with the position detection, and
It is fixed to the outer peripheral side of the to-be-read portion 304 of 05 by adhesion or the like. Further, the planar shape of the suppressing member 702 is a ring shape that is concentric with the disk-shaped detected body 305. The suppressing member 702 is the read portion 3 of the detected object 305.
04, and the suppression member 702 has a ring-shaped planar shape, so that the detected object 30 can be stably obtained.
The surface runout of No. 5 can be suppressed.

【0073】また、抑制部材702がリング状で、回転
移動する部材自体に設けられているので、抑制部材70
2の接触面が一箇所に集中することがなく、抑制部材7
02の摩耗が低減される。そのため耐久性が向上する。
なお、抑制部材702は被読み取り部304よりも内周
側に設けられても構わない。このように抑制部材702
を設け被検出体305の面ぶれを抑制することで、高分
解能な位置検出を行うために被検出体305を大型化し
たり、被読み取り部304を細密にすることで回転角度
あたりのスリット密度を増やしたりした場合でも、接触
による被読み取り部304、発光素子321及び受光素
子322等の損傷を防ぎ、また被読み取り部304、発
光素子321及び受光素子322の隙間の距離関係が変
わることで生じる被読み取り部304の検出ミスを低減
できるので、検出の性能が損なわれないため、また、加
圧ばね315による加圧力を移動体303に円滑に伝達
しつつ、被検出体305の面ぶれを抑制でき、突起部3
11のくい込みによる移動体303の損傷を防ぐことに
より超音波アクチュエータの性能が損なわれることがな
いため、振動、衝撃等による不具合を起こさない高分解
能、高信頼性、高精度の位置決めが可能な位置決め機能
付きアクチュエータ701が実現できる。
Further, since the suppressing member 702 has a ring shape and is provided on the member itself which rotates and moves, the suppressing member 70
The contact surface of 2 does not concentrate in one place, and the suppressing member 7
02 wear is reduced. Therefore, durability is improved.
The suppressing member 702 may be provided on the inner peripheral side of the read portion 304. In this way, the suppressing member 702
By suppressing the surface deviation of the detection target 305, the size of the detection target 305 is increased in order to perform high-resolution position detection, or the read unit 304 is made fine to reduce the slit density per rotation angle. Even when the number is increased, damage to the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like due to contact is prevented, and the distance relationship of the gap between the read portion 304, the light emitting element 321, and the light receiving element 322 changes. Since the detection error of the reading unit 304 can be reduced, the detection performance is not impaired, and the surface deflection of the detected object 305 can be suppressed while smoothly transmitting the pressure applied by the pressure spring 315 to the moving body 303. , Protrusion 3
Since the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing damage to the moving body 303 due to the biting in of 11, positioning with high resolution, high reliability, and high accuracy that does not cause problems due to vibration, shock, etc. The actuator with function 701 can be realized.

【0074】(第6の実施の形態)図6は、本発明の第
6の実施の形態にかかる位置決め機能付きアクチュエー
タ801の断面図である。本発明の第6の実施の形態に
かかる位置決め機能付きアクチュエータ801は、図1
の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の形状及び
設置場所に変更を加えたものであり、その他の駆動部、
移動体、被検出体、検出部、制御回路部の機能、効果等
は、本発明の第1の形態で示した位置決め機能付きアク
チュエータ301と同様である。
(Sixth Embodiment) FIG. 6 is a sectional view of an actuator 801 with a positioning function according to a sixth embodiment of the present invention. An actuator 801 with a positioning function according to a sixth embodiment of the present invention is shown in FIG.
The shape and the installation location of the suppressing member 307 according to the first embodiment of the present invention are changed, and other drive units,
The functions, effects, and the like of the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit are the same as those of the actuator 301 with the positioning function shown in the first embodiment of the present invention.

【0075】抑制部材802は、移動体303に一体的
に周状に形成されている。そのため、抑制部材802は
移動体303を旋盤等で加工する際に削りだして作成す
ることができる。したがって、加工が容易でなおかつ組
立性も向上する。このように抑制部材802を設け被検
出体305の面ぶれを抑制することで、高分解能な位置
検出を行うために被検出体305を大型化したり、被読
み取り部304を細密にすることで回転角度あたりのス
リット密度を増やしたりした場合でも、接触による被読
み取り部304、発光素子321及び受光素子322等
の損傷を防ぎ、また被読み取り部304、発光素子32
1及び受光素子322の隙間の距離関係が変わることで
生じる被読み取り部304の検出ミスを低減できるの
で、検出の性能が損なわれないため、また、加圧ばね3
15による加圧力を移動体303に円滑に伝達しつつ、
被検出体305の面ぶれを抑制でき、突起部311のく
い込みによる移動体303の損傷を防ぐことにより超音
波アクチュエータの性能が損なわれることがないため、
振動、衝撃等による不具合を起こさない高分解能、高信
頼性、高精度の位置決めが可能な位置決め機能付きアク
チュエータ801が実現できる。
The restraining member 802 is formed in a circumferential shape integrally with the moving body 303. Therefore, the suppressing member 802 can be created by shaving when the moving body 303 is processed by a lathe or the like. Therefore, the processing is easy and the assemblability is improved. As described above, the suppression member 802 is provided to suppress the surface deviation of the detected object 305, thereby increasing the size of the detected object 305 to perform high-resolution position detection or by rotating the read part 304 to be fine. Even when the slit density per angle is increased, the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like are prevented from being damaged by contact, and the read portion 304 and the light emitting element 32 are prevented.
1 and the light receiving element 322, the detection error of the read portion 304 caused by the change in the distance relationship can be reduced, so that the detection performance is not impaired.
While smoothly transmitting the pressing force of 15 to the moving body 303,
Since the surface deviation of the detected body 305 can be suppressed, and the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing the moving body 303 from being damaged by the protrusion 311 biting in,
It is possible to realize the actuator 801 with a positioning function that can perform high resolution, high reliability, and highly accurate positioning without causing problems due to vibration, shock, and the like.

【0076】(第7の実施の形態)図7は、本発明の第
7の実施の形態にかかるアクチュエータ付き電子機器9
01の断面図である。本発明第7の実施の形態にかかる
アクチュエータ付き電子機器901は、位置決め機能付
きアクチュエータ902と、移動体303の動作により
可動する負荷部904を有している。
(Seventh Embodiment) FIG. 7 shows an electronic device 9 with an actuator according to a seventh embodiment of the present invention.
It is sectional drawing of 01. An electronic device 901 with an actuator according to the seventh embodiment of the present invention has an actuator 902 with a positioning function and a load section 904 that is movable by the operation of the moving body 303.

【0077】位置決め機能付きアクチュエータ902
は、図1の第1の実施の形態にかかる抑制部材307の
形状及び設置場所に変更を加えたものであり、その他の
駆動部、移動体、被検出体、検出部、制御回路部の機
能、効果等は、本発明の第1の実施の形態で示した位置
決め機能付きアクチュエータ301と同様である。抑制
部材903は、素子保持部323に被検出体305を挟
み込むように2つ設置されている。抑制部材903aは
発光素子321側に設置されており、被検出体305の
上方向のぶれを抑制する働きがある。また、抑制部材9
03bは受光素子322側に設置されており、被検出体
305の下方向のぶれを抑制する働きがある。
Actuator 902 with positioning function
Is a modification of the shape and installation location of the suppressing member 307 according to the first embodiment of FIG. 1, and other functions of the drive unit, the moving body, the detected body, the detection unit, and the control circuit unit. The effects and the like are similar to those of the actuator 301 with a positioning function shown in the first embodiment of the present invention. Two suppressing members 903 are installed so as to sandwich the detected body 305 in the element holding portion 323. The suppression member 903a is installed on the light emitting element 321 side, and has a function of suppressing upward blurring of the detected body 305. In addition, the suppressing member 9
03b is installed on the light receiving element 322 side and has a function of suppressing downward blurring of the detected body 305.

【0078】抑制部材903は回転中心と受光素子32
2を結ぶ直線上近傍であり、被読み取り部304に接触
しない位置で、なおかつ被読み取り部304の近傍に設
けられている。また、被検出体305は緩衝部材907
を備えており、被検出体305の回転面がぶれると緩衝
部材907は抑制部材903と接触する。緩衝部材90
7aは抑制部材903aと、緩衝部材907bは抑制部材
903bと接触する働きがある。緩衝部材907は接触
時の摩擦を低減するために潤滑性の高い材料で作成する
のが好ましい。また、接触時の衝撃を低減するために適
当な弾性を持った材料で作成することも好ましい。
The suppressing member 903 is provided with the center of rotation and the light receiving element 32.
It is provided in the vicinity of the straight line connecting the two, at a position where it does not contact the read portion 304, and in the vicinity of the read portion 304. Further, the detected object 305 is a cushioning member 907.
The cushioning member 907 comes into contact with the suppressing member 903 when the rotating surface of the detected object 305 shakes. Buffer member 90
7a has a function of contacting the suppressing member 903a, and the buffer member 907b has a function of contacting the suppressing member 903b. The cushioning member 907 is preferably made of a highly lubricious material to reduce friction at the time of contact. It is also preferable to use a material having an appropriate elasticity to reduce the impact at the time of contact.

【0079】負荷部904は、ここでは移動体303に
取り付け部材907を介して固定されている。移動体は
上方に向かって螺子が切られており、螺子によって中心
軸309を逃げる形状をした取り付け部材907が固定
されており、取り付け部材907の上面に負荷部904
が接着により固定されている。負荷部904は移動体3
03の動作より可動し、移動体303が位置決め制御さ
れることにより、負荷部904も同様に位置決めされ
る。負荷部904は、ここでは鏡面904aを有してお
り、光を反射するミラーの働きをする。
The load section 904 is fixed to the moving body 303 via a mounting member 907 here. The moving body is screwed upward, and a mounting member 907 having a shape that allows the central shaft 309 to escape is fixed by the screw, and the load portion 904 is attached to the upper surface of the mounting member 907.
Are fixed by adhesion. The load unit 904 is the moving body 3
Since the movable body 303 is moved by the operation of 03 and the positioning control of the moving body 303 is performed, the load portion 904 is similarly positioned. The load portion 904 has a mirror surface 904a here, and functions as a mirror that reflects light.

【0080】これにより、負荷部904の鏡面904a
の位置を制御することができ、例えば、負荷部904の
上方から発せられた光線905を鏡面904aで反射さ
せ、反射光906の方向を移動体303の位置によって
制御することができる光制御機器が実現できる。
As a result, the mirror surface 904a of the load section 904 is formed.
Is a light control device capable of controlling the position of the moving body 303 by reflecting the light beam 905 emitted from above the load portion 904 on the mirror surface 904a and controlling the direction of the reflected light 906 by the position of the moving body 303. realizable.

【0081】負荷部として、位置によって透過する波
長、強度が変化するフィルタ等を使用することで、光の
波長、強度等を変化させる光制御機器を実現することも
可能である。これら光制御機器は、光通信機器、測定機
器、医療機器等の分野で応用が可能である。また、時計
や測定器の表示部等に使用されるような指針等を負荷部
とし、移動体の位置によって指示する位置を変える指示
装置等を実現することも可能である。このように抑制部
材903を設け被検出体305の面ぶれを抑制すること
で、高分解能な位置検出を行うために被検出体305を
大型化したり、被読み取り部304を細密にすることで
回転角度あたりのスリット密度を増やしたりした場合で
も、接触による被読み取り部304、発光素子321及
び受光素子322等の損傷を防ぎ、また被読み取り部3
04、発光素子321及び受光素子322の隙間の距離
関係が変わることで生じる被読み取り部304の検出ミ
スを低減できるので、検出の性能が損なわれないため、
また、加圧ばね315による加圧力を移動体303に円
滑に伝達しつつ、被検出体305の面ぶれを抑制でき、
突起部311のくい込みによる移動体303の損傷を防
ぐことにより超音波アクチュエータの性能が損なわれる
ことがないため、振動、衝撃等による不具合を起こさな
い高分解能、高信頼性、高精度の位置決めが可能な位置
決め機能付きアクチュエータ902が実現できる。
It is also possible to realize an optical control device that changes the wavelength, intensity, etc. of light by using a filter or the like whose wavelength and intensity are transmitted depending on the position as the load section. These optical control devices can be applied in the fields of optical communication devices, measuring devices, medical devices, and the like. It is also possible to realize an indicator device or the like that changes the position to be instructed according to the position of the moving body by using a pointer or the like used for a display part of a timepiece or a measuring device as a load part. As described above, the suppression member 903 is provided to suppress the surface deviation of the detected object 305, thereby increasing the size of the detected object 305 for high-resolution position detection or by rotating the read part 304 to be fine. Even when the slit density per angle is increased, damage to the read portion 304, the light emitting element 321, the light receiving element 322, and the like due to contact is prevented, and the read portion 3
04, since the detection error of the read portion 304 caused by the change in the distance relationship of the gap between the light emitting element 321 and the light receiving element 322 can be reduced, the detection performance is not impaired.
Further, it is possible to smoothly transfer the pressure applied by the pressure spring 315 to the moving body 303 and suppress the surface deviation of the detected body 305.
Since the performance of the ultrasonic actuator is not impaired by preventing damage to the moving body 303 due to the protrusion 311 biting in, it is possible to perform high-resolution, high-reliability, and high-accuracy positioning without causing problems such as vibration and shock. The actuator 902 having a simple positioning function can be realized.

【0082】また、移動体303と連動する負荷部90
4を設けることにより、振動、衝撃等による不具合を起
こさず、高分解能、高信頼性、高精度に位置決めされる
負荷部904を備えたアクチュエータ付き電子機器を実
現できる。なお、以上に示した図1から図8までの実施
の形態において、移動体は駆動部より直接駆動されてい
るが、移動体は減速歯車列等の動力伝達機構を介して駆
動されてもよい。
Further, the load section 90 interlocking with the moving body 303.
By providing No. 4, it is possible to realize an electronic device with an actuator that includes a load section 904 that is positioned with high resolution, high reliability, and high accuracy without causing problems such as vibration and shock. Although the moving body is directly driven by the drive unit in the embodiments shown in FIGS. 1 to 8 described above, the moving body may be driven via a power transmission mechanism such as a reduction gear train. .

【0083】また、抑制部材が接触する相手側に接触部
の破損を防止し潤滑性を向上させるために、抑制部材の
材質を適当な弾性を有したものにしたり、抑制部材また
は接触する相手側に緩衝部材を設けたりすることで、衝
撃を吸収し接触面の耐摩耗性及び潤滑性を向上させるこ
とも好ましい。
Further, in order to prevent damage to the contact portion on the other side with which the suppressing member comes into contact and improve lubricity, the material of the suppressing member should be one having appropriate elasticity, or the suppressing member or the other side with which the suppressing member contacts. It is also preferable to provide a cushioning member to absorb the shock and improve the wear resistance and lubricity of the contact surface.

【0084】また、接触が生じる部分の摩擦を減少させ
移動体の動作に対する負荷を軽減させるため、抑制部材
の接触が生じ得る部分を潤滑性のよい樹脂や含油材等で
構成したり、接触が生じ得る部分に潤滑油等を塗布した
りしてもよい。また、抑制部材は滑り接触によって被検
出体のぶれを抑制する働きであったが、抑制部材もしく
はそれが接触される側に車輪等を設け転がり接触にする
ことも可能である。
Further, in order to reduce the friction of the portion where the contact occurs and reduce the load on the operation of the moving body, the portion where the contact of the suppressing member may occur is made of resin or oil-containing material having good lubricity, or the contact is suppressed. Lubricating oil or the like may be applied to a portion that may occur. Further, although the suppressing member has a function of suppressing the shake of the detected object by the sliding contact, it is possible to provide a wheel or the like on the suppressing member or a side on which the suppressing member comes into contact so as to make rolling contact.

【0085】また、抑制部材は被検出体のぶれを抑制す
るために接触する相手側に常時接触し、より安定に被検
出体のぶれを抑制する構成も可能である。また、抑制部
材の接触面は、被検出体のぶれを安定して抑制するため
広い面積を持たせることもでき、接触による摩擦抵抗を
軽減させるため狭い面積にすることもできる。
Further, it is also possible to adopt a configuration in which the suppressing member is always in contact with the other side with which the object to be detected is contacted in order to suppress the object to be shaken, and more stably suppresses the object to be shaken. Further, the contact surface of the suppressing member may have a large area for stably suppressing the shake of the detection target, and may have a narrow area for reducing the frictional resistance due to the contact.

【0086】また、抑制部材の設置位置は、接触摩擦に
よる損失トルクを軽減させるため回転中心に近づけて設
置することも可能である。また、抑制部材は、作用する
原理に接触を用いたが、例えば、磁力等を用いて、非接
触で被検出体のぶれを抑制する働きを持つものでもよ
い。また、抑制部材の設置場所は本発明の位置決め機能
付きアクチュエータを構成するものに設置されていると
は限らず、例えば、位置決め機能付きアクチュエータが
組み込まれる電子機器等に設置されても良い。
The suppressing member may be installed near the center of rotation in order to reduce the torque loss due to contact friction. Further, although the suppressing member uses contact as the principle of operation, it may have a function of suppressing the shake of the detection target in a non-contact manner by using magnetic force or the like. Further, the installation place of the suppressing member is not limited to the place constituting the actuator with a positioning function of the present invention, and may be installed in, for example, an electronic device in which the actuator with a positioning function is incorporated.

【0087】また、以上に示した種々の形状、設置場
所、設置数、原理等の抑制部材を複数組み合わせること
も可能で、この場合、より安定した性能を得ることも可
能である。更に、第1から第7の実施の形態に示した位
置決め機能付きアクチュエータにおいて、駆動源として
超音波アクチュエータを利用しているが、電磁型アクチ
ュエータ等、種々の原理のアクチュエータにも応用可能
である。なお、エンコーダはインクリメンタル型に限る
ことはなく、原理も光学式に限ることはない。更に、移
動体の動作が回転運動に限ることはない。
It is also possible to combine a plurality of suppressing members having various shapes, installation locations, installation numbers, principles, etc., as described above, and in this case, more stable performance can be obtained. Furthermore, although the ultrasonic actuator is used as a drive source in the actuator with a positioning function shown in the first to seventh embodiments, it can be applied to actuators of various principles such as electromagnetic actuators. The encoder is not limited to the incremental type, and the principle is not limited to the optical type. Further, the movement of the moving body is not limited to the rotational movement.

【0088】[0088]

【発明の効果】以上の通り本発明は、高分解能な位置検
出を実現しつつ耐震性に優れ信頼性の高い高性能な位置
決め機能付きアクチュエータを提供することが可能とな
った。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a high-performance actuator with a positioning function that is highly resistant to earthquakes and highly reliable while realizing high-resolution position detection.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明の第1の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ301の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an actuator 301 with a positioning function according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の第2の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ401の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of an actuator 401 with a positioning function according to a second embodiment of the present invention.

【図3】図3は、本発明の第3の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ501の断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of an actuator with positioning function 501 according to a third embodiment of the present invention.

【図4】図4は、本発明の第4の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ601の断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of an actuator 601 with a positioning function according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】図5は、本発明の第5の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ701の断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of an actuator 701 with a positioning function according to a fifth embodiment of the present invention.

【図6】図6は、本発明の第6の実施の形態にかかる位
置決め機能付きアクチュエータ801の断面図である。
FIG. 6 is a sectional view of an actuator 801 with a positioning function according to a sixth embodiment of the present invention.

【図7】図7は、本発明の第7の実施の形態にかかるア
クチュエータ付き電子機器901の断面図である。
FIG. 7 is a sectional view of an electronic device with actuator 901 according to a seventh embodiment of the present invention.

【図8】図8は、本発明の第1の実施の形態にかかるア
クチュエータ付き電子機器300を説明するブロック図
である。
FIG. 8 is a block diagram illustrating an electronic device with an actuator 300 according to the first embodiment of the present invention.

【図9】図9は、位置決め機能付きアクチュエータに使
用される被検出体200の平面図である。
FIG. 9 is a plan view of an object to be detected 200 used in an actuator with a positioning function.

【図10】図10は、従来の位置決め機能付きアクチュ
エータ100の断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view of a conventional actuator 100 with a positioning function.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

300、901 アクチュエータ付き電子機器 301、401、501、601、701、801、9
02 位置決め機能付きアクチュエータ 302 駆動部 303 移動体 304 被読み取り部 305 被検出体 306 検出部 307、402、502、602、702、802、9
03 抑制部材 308 支持台 309 中心軸 310 圧電素子 311 突起部 312 圧電振動子 313 リード線 314 ばね座 315 加圧ばね 316 ばね押さえ 317 押さえリング 318 摺動板 319 ベアリング 319a 外輪 319b 内輪 320 被検出体固定部材 321 発光素子 322 受光素子 323 素子保持部 324 制御回路部 325、904 負荷部 907 緩衝部材 200 被検出体 201 被読み取り部 201a スリット 201b スリット層 202 蒸着膜 100 従来の位置決め機能付きアクチュエータ 101 超音波アクチュエータ 102 支持台 103 中心軸 104 圧電素子 105 突起部 106 圧電振動子 107 移動体 108 ボールベアリング 108a 外輪 108b 内輪 109 ばね座 110 コイルばね 111 ばね押さえ 112 押さえリング 113 リード線 114 被検出体 115 被読み取り部 116 検出部 116a 発光素子 116b 受光素子 117 素子保持部材
300,901 Electronic devices with actuators 301, 401, 501, 601, 701, 801, 9
02 Actuator with positioning function 302 Drive part 303 Moving body 304 Read part 305 Detected body 306 Detection parts 307, 402, 502, 602, 702, 802, 9
03 Suppression member 308 Support base 309 Central axis 310 Piezoelectric element 311 Projection part 312 Piezoelectric vibrator 313 Lead wire 314 Spring seat 315 Pressure spring 316 Spring retainer 317 Presser ring 318 Sliding plate 319 Bearing 319a Outer ring 319b Inner ring 320 Fixed target object Member 321 Light emitting element 322 Light receiving element 323 Element holding part 324 Control circuit parts 325, 904 Load part 907 Buffer member 200 Detected body 201 Read part 201a Slit 201b Slit layer 202 Vapor deposition film 100 Conventional actuator with positioning function 101 Ultrasonic actuator 102 support base 103 central shaft 104 piezoelectric element 105 protrusion 106 piezoelectric vibrator 107 moving body 108 ball bearing 108a outer ring 108b inner ring 109 spring seat 110 coil spring 111 spring retainer 11 Retaining ring 113 leads 114 the detected body 115 to be read unit 116 detecting unit 116a emitting element 116b light-receiving element 117 element holding member

フロントページの続き (72)発明者 秋山 幸夫 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 小坂 貴之 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Fターム(参考) 2F077 AA25 AA49 CC02 NN02 NN23 NN30 PP19 QQ01 VV01 VV14 2F103 BA08 BA17 BA37 CA02 DA01 DA13 EA12 EB01 EB11 EB23 EB33 GA04 5H680 BB01 BB16 BC08 BC10 CC02 DD01 DD12 DD23 DD35 DD53 DD55 DD65 DD73 EE22 FF24 FF30 Continued front page    (72) Inventor Yukio Akiyama             1-8 Nakase, Nakase, Mihama-ku, Chiba City, Chiba Prefecture             Ico Instruments Co., Ltd. (72) Inventor Takayuki Kosaka             1-8 Nakase, Nakase, Mihama-ku, Chiba City, Chiba Prefecture             Ico Instruments Co., Ltd. F term (reference) 2F077 AA25 AA49 CC02 NN02 NN23                       NN30 PP19 QQ01 VV01 VV14                 2F103 BA08 BA17 BA37 CA02 DA01                       DA13 EA12 EB01 EB11 EB23                       EB33 GA04                 5H680 BB01 BB16 BC08 BC10 CC02                       DD01 DD12 DD23 DD35 DD53                       DD55 DD65 DD73 EE22 FF24                       FF30

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 駆動力を発生する駆動部と、 前記駆動部により動作される移動体と、 前記移動体と連動し位置情報を提供するための被読み取
り部を備えた被検出体と、 前記被検出体の位置情報を得ることで前記移動体の位置
を検出する検出部と、 前記検出部から出力される信号をもとに前記移動体が所
定の動作をするように前記駆動部を駆動させる制御回路
部と、 前記被検出体に対して前記被検出体の前記所定の動作方
向以外の方向の動きを抑制する少なくとも一つの抑制部
材と、を備えることを特徴とする位置決め機能付きアク
チュエータ。
1. A drive unit that generates a drive force, a moving body that is operated by the drive unit, and a detected body that includes a read unit that is interlocked with the moving body and provides position information. A detection unit that detects the position of the moving body by obtaining position information of the detected body, and drives the drive unit so that the moving body performs a predetermined operation based on a signal output from the detection unit. An actuator with a positioning function, comprising: a control circuit section for controlling the detection target; and at least one suppression member that suppresses movement of the detection target in a direction other than the predetermined operation direction with respect to the detection target.
【請求項2】 前記抑制部材は、前記駆動部もしくは前
記検出部の少なくともどちらか一方に設けられ、前記移
動体、もしくは前記被検出体、あるいは前記移動体か前
記被検出体に備えられた緩衝部材に接触することによっ
て機能することを特徴とする請求項1に記載の位置決め
機能付きアクチュエータ。
2. The suppression member is provided on at least one of the drive unit and the detection unit, and is provided in the moving body, the detected body, or a buffer provided in the moving body or the detected body. The actuator with a positioning function according to claim 1, which functions by contacting a member.
【請求項3】 前記抑制部材は、前記被読み取り部には
接触しない位置に設けられていることを特徴とする請求
項1もしくは2項に記載の位置決め機能付きアクチュエ
ータ。
3. The actuator with a positioning function according to claim 1, wherein the suppressing member is provided at a position where it does not come into contact with the read portion.
【請求項4】 前記抑制部材は、前記移動体もしくは前
記被検出体のいずれかの前記被読み取り部と重ならない
位置に設けられ、前記被検出部の動作方向に延びた形状
を有しているかもしくは前記被検出部の動作方向に一つ
以上備えられており、前記検出部もしくは前記駆動部あ
るいは前記検出部か前記駆動部に備えられた前記緩衝部
材に接触することによって、作用することを特徴とする
請求項1に記載の位置決め機能付きアクチュエータ。
4. The suppressing member is provided at a position that does not overlap with the read portion of either the moving body or the detected body, and has a shape extending in the operation direction of the detected portion. Alternatively, at least one is provided in the operation direction of the detected part, and it operates by contacting the detection part, the drive part, or the buffer part provided in the detection part or the drive part. The actuator with a positioning function according to claim 1.
【請求項5】 前記駆動部は、圧電振動子に発生する振
動を動力源とする超音波アクチュエータであることを特
徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の位置決
め機能付きアクチュエータ。
5. The actuator with a positioning function according to claim 1, wherein the drive unit is an ultrasonic actuator using a vibration generated in a piezoelectric vibrator as a power source.
【請求項6】 請求項1から5のいずれか1項に記載の
位置決め機能付きアクチュエータを有し、前記移動体の
動作により可動する負荷部を有することを特徴とするア
クチュエータ付き電子機器。
6. An electronic device with an actuator, comprising: the actuator with a positioning function according to claim 1; and a load section movable by an operation of the moving body.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013200235A (en) * 2012-03-26 2013-10-03 Mitsubishi Electric Corp Read head control mechanism and optical encoder

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