JP2003275695A - Washing apparatus - Google Patents

Washing apparatus

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JP2003275695A
JP2003275695A JP2002075845A JP2002075845A JP2003275695A JP 2003275695 A JP2003275695 A JP 2003275695A JP 2002075845 A JP2002075845 A JP 2002075845A JP 2002075845 A JP2002075845 A JP 2002075845A JP 2003275695 A JP2003275695 A JP 2003275695A
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JP
Japan
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cleaned
carbon dioxide
air
cleaning
objects
Prior art date
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JP2002075845A
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Japanese (ja)
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Shigeya Chimura
重弥 千村
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the washing effect by preventing the generation of a stain caused by dew condensation due to a temperature fall and the adhesion of waste refuse or dust in the open air when a powder solid of carbon dioxide is sprayed on an object to be washed to perform washing. <P>SOLUTION: A washing apparatus is constituted so that powdery solids 57, 58 and 59 of carbon dioxide are formed from liquid carbon dioxide and sprayed on objects 60, 61 and 62 to be washed to remove the contaminant having adhered to the surface of the object to be washed. This washing apparatus is equipped with a heating means 7 for heating the peripheries of the objects 60, 61 and 62 to be washed and a washing chamber 2 isolating the peripheries of the objects 60, 61 and 62 to be washed from the open air. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被洗浄物を洗浄す
る洗浄装置に関し、特に粉末状固体からなる二酸化炭素
を用いて洗浄を行う洗浄装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning device for cleaning an object to be cleaned, and more particularly to a cleaning device for cleaning using carbon dioxide composed of powdery solid.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は、二酸化炭素の液体から二酸化炭
素の粉末状固体を生成し、被洗浄物に吹き付けることに
より、被洗浄物の表面に付着した汚れを除去する洗浄装
置を示す。この洗浄装置は、液化二酸化炭素用ガス容器
(ボンベ)101に二酸化炭素用高圧バルブ102を介
して配管103が接続されている。配管103には、ノ
ズル104,105,106が適宜間隔で装着されてお
り、液化二酸化炭素から生成した粉末状固体107,1
08,109をそれぞれのノズル104,105,10
6から被洗浄物60,61,62に吹き付けて洗浄す
る。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a cleaning device for removing a dirt adhering to the surface of an object to be cleaned by producing a powdery solid of carbon dioxide from a liquid of carbon dioxide and spraying it on the object to be cleaned. In this cleaning apparatus, a pipe 103 is connected to a liquefied carbon dioxide gas container (cylinder) 101 via a carbon dioxide high pressure valve 102. Nozzles 104, 105, and 106 are attached to the pipe 103 at appropriate intervals, and powdery solids 107 and 1 generated from liquefied carbon dioxide are generated.
08 and 109 are respectively connected to the nozzles 104, 105 and 10
6 to spray on the objects to be cleaned 60, 61, 62 for cleaning.

【0003】また、同様に、手持ち用のノズルを人が保
持し、被洗浄物に対して二酸化炭素を吹き付けて、被洗
浄物に付着している汚れなどをその表面から除去するこ
とも行われている。
Similarly, a person holds a hand-held nozzle, blows carbon dioxide to the object to be cleaned, and removes dirt and the like adhering to the object to be cleaned from the surface thereof. ing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】二酸化炭素を用いた洗
浄では、二酸化炭素の粉末状固体が低温であるため、二
酸化炭素の粉末状固体を被洗浄物に吹き付けることによ
り、被洗浄物の温度が低下し、この温度低下によって、
洗浄終了後に周辺空気中に含まれる水分が結露し、水滴
が被洗浄物の表面に付着する。そして、付着した水滴が
乾燥することによって被洗浄物の表面にしみとなって残
る問題を有している。
In cleaning using carbon dioxide, since the carbon dioxide powder solid is at a low temperature, the temperature of the object to be cleaned can be reduced by spraying the carbon dioxide powder solid onto the object to be cleaned. And this temperature drop
After the cleaning is completed, moisture contained in the ambient air is condensed, and water drops adhere to the surface of the object to be cleaned. Then, there is a problem that the adhered water drops are left as stains on the surface of the object to be cleaned by drying.

【0005】また、二酸化炭素の粉末状固体を被洗浄物
に吹き付ける際に、周辺の空気中に含まれる微細なゴミ
や塵などを巻き込んで、これらが被洗浄物の表面に付着
する問題も有している。このような現象を引き起こすた
め、二酸化炭素を用いた洗浄では、洗浄効果が十分に得
られないものとなっている。
In addition, when the carbon dioxide powder solid is sprayed on the object to be cleaned, fine dust or dust contained in the surrounding air may be entrained and adhered to the surface of the object to be cleaned. is doing. Since such a phenomenon is caused, the cleaning effect using carbon dioxide is not sufficient.

【0006】本発明は、このような従来の問題点を考慮
してなされたものであり、粉末固体状の二酸化炭素を用
いて行う洗浄であっても、十分な洗浄効果を得ることが
可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of such conventional problems, and it is possible to obtain a sufficient cleaning effect even in the case of cleaning using carbon dioxide in the form of powder solid. An object is to provide a cleaning device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の洗浄装置は、二酸化炭素の液体から二酸化
炭素の粉末状固体を生成し、この粉末状固体を被洗浄物
に吹き付けることにより、被洗浄物の表面に付着した汚
れを除去する洗浄装置において、前記被洗浄物周辺を加
熱する加熱手段と、被洗浄物周辺を外気から隔離する洗
浄室とを備えていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the cleaning apparatus of the present invention produces a powdery solid of carbon dioxide from a liquid of carbon dioxide, and sprays the powdery solid onto an object to be cleaned. A cleaning device for removing dirt adhering to the surface of an object to be cleaned, comprising: heating means for heating the area around the object to be cleaned; and a cleaning chamber for isolating the area around the object to be cleaned from the outside air. .

【0008】請求項1の発明では、加熱手段が被洗浄物
の周辺を加熱することによって、周辺空気中の水分の結
露を防止するため、結露に起因したしみが発生すること
がなくなる。また、洗浄室が被洗浄物の周辺を隔離する
ことによって、周辺の空気中の微細なゴミや塵が被洗浄
物に付着することがなくなる。これらによって被洗浄物
の表面を十分に洗浄することができる。
According to the first aspect of the present invention, the heating means heats the periphery of the object to be cleaned to prevent the dew condensation of the moisture in the surrounding air, so that the stain caused by the dew condensation does not occur. Further, since the cleaning chamber isolates the periphery of the object to be cleaned, fine dust or dust in the surrounding air does not adhere to the object to be cleaned. By these, the surface of the object to be cleaned can be sufficiently cleaned.

【0009】請求項2の発明は、請求項1記載の洗浄装
置であって、前記加熱手段は、被洗浄物に対して加熱さ
れた空気を送風する加熱送風機であることを特徴とす
る。
A second aspect of the present invention is the cleaning apparatus according to the first aspect, wherein the heating means is a heating blower for blowing heated air to the object to be cleaned.

【0010】請求項2の発明では、加熱送風機が加熱空
気を被洗浄物に対して吹き付けるため、被洗浄物を迅速
に加熱して被洗浄物への結露の発生を効果的に防止する
ことができるため、シミの発生を確実に防止することが
できる。
According to the second aspect of the present invention, since the heating blower blows the heated air onto the object to be cleaned, it is possible to quickly heat the object to be cleaned and effectively prevent the occurrence of dew condensation on the object to be cleaned. Therefore, it is possible to reliably prevent the generation of stains.

【0011】請求項3の発明は、請求項1記載の洗浄装
置であって、前記洗浄室は、供給される空気から微細な
ゴミなどを除去する清浄機または/及び供給される空気
中の水分及び水蒸気を除去する乾燥機を備えていること
を特徴とする。
A third aspect of the present invention is the cleaning apparatus according to the first aspect, wherein the cleaning chamber removes fine dust and the like from the supplied air and / or moisture in the supplied air. And a dryer for removing water vapor.

【0012】請求項3の発明では、清浄機が空気中から
ゴミなどを除去して清浄な空気とし、乾燥機が空気中の
水分及び水蒸気を除去するため、これらを洗浄室に配置
することにより、ゴミ等の被洗浄物への付着を防止でき
ると共に、シミの発生を防止することができる。
According to the third aspect of the present invention, the purifier removes dust and the like from the air to obtain clean air, and the dryer removes moisture and water vapor in the air. It is possible to prevent dust and the like from adhering to the object to be cleaned and prevent the generation of stains.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施の形
態により、具体的に説明する。なお、各実施の形態にお
いて、同一の部材には同一の符号を付して対応させてあ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be specifically described below with reference to the illustrated embodiments. In the respective embodiments, the same members are designated by the same reference numerals and correspond to each other.

【0014】(実施の形態1)図1は、本発明の実施の
形態1の洗浄装置1を示し、二酸化炭素の粉末状固体の
供給源となるボンベ56と、被洗浄物60,61,62
を周囲から隔離する洗浄室2と、空気清浄機3と、ヒー
タ7とを備えている。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a cleaning apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention, in which a cylinder 56 serving as a supply source of carbon dioxide powder solid and objects to be cleaned 60, 61, 62.
Is provided with a cleaning chamber 2 that isolates the air from the surroundings, an air cleaner 3, and a heater 7.

【0015】ボンベ56は液化二酸化炭素を貯留するも
のであり、二酸化炭素用高圧バルブ55を介して配管5
4が接続されることにより、配管54に供給する二酸化
炭素の供給量を調整することが可能となっている。配管
54は洗浄室1内に挿入され、挿入された配管54の先
端には複数のノズル51,52,53が取り付けられて
いる。ノズル51,52,53は洗浄室1の中程の高さ
に設置されている。
The cylinder 56 stores liquefied carbon dioxide, and the pipe 5 is connected via the carbon dioxide high-pressure valve 55.
By connecting No. 4, it is possible to adjust the supply amount of carbon dioxide supplied to the pipe 54. The pipe 54 is inserted into the cleaning chamber 1, and a plurality of nozzles 51, 52, 53 are attached to the tip of the inserted pipe 54. The nozzles 51, 52, 53 are installed at the middle height of the cleaning chamber 1.

【0016】洗浄室2は、下側の開口部8,9以外は密
閉状態となっており、その内部に被洗浄物60,61,
62がセットされることにより、被洗浄物60,61,
62を周囲から隔離する。開口部8,9は汚れた空気や
微細なゴミ、塵等を洗浄室2内から排出するためのもの
である。
The cleaning chamber 2 is hermetically sealed except for the lower openings 8 and 9, and the objects to be cleaned 60, 61, and
By setting 62, the objects to be cleaned 60, 61,
Isolate 62 from the environment. The openings 8 and 9 are for discharging dirty air, fine dust, dust, and the like from the cleaning chamber 2.

【0017】空気清浄機3は、洗浄室2の上部に取り付
けられており、フィルタ10及びファン11を備えてい
る。ファン11はその駆動によって外部の空気を取り入
れ、フィルタ10は取り入れた空気を濾過して外気中の
ゴミや塵を除去する。従って、空気清浄機3は、ゴミ、
塵等が混入していない清浄な空気4を洗浄室2内に供給
する。
The air purifier 3 is attached to the upper part of the cleaning chamber 2 and has a filter 10 and a fan 11. The fan 11 drives the fan to take in the outside air, and the filter 10 filters the taken-in air to remove dust and dirt in the outside air. Therefore, the air cleaner 3 is
Clean air 4 containing no dust is supplied into the cleaning chamber 2.

【0018】ヒータ7はプレート構造となっており、洗
浄室2の床面に設置されることにより、その上に被洗浄
物60,61,62がセットされる。ヒータ7は40〜
100℃程度で発熱することにより、被洗浄物60,6
1,62周辺を加熱する。
The heater 7 has a plate structure and is installed on the floor surface of the cleaning chamber 2 so that the objects 60, 61 and 62 to be cleaned are set thereon. 40 for heater 7
The objects to be cleaned 60, 6 are generated by generating heat at about 100 ° C.
Heat around 1,62.

【0019】この実施の形態では、あらかじめ空気清浄
機3を駆動することにより、汚れた空気及びゴミなどを
下部の開口部8,9から矢印5,6で示すように、洗浄
室2の外部に排出して洗浄室2内をゴミなどが混在して
いない清浄な状態に保っておく。また、40〜100℃
の任意の温度に設定されたヒータ7の上に被洗浄物6
0,61,62を設置して、これらの温度を同程度の温
度に保っておく。
In this embodiment, by driving the air purifier 3 in advance, dirty air, dust, and the like are transferred from the lower openings 8 and 9 to the outside of the cleaning chamber 2 as shown by arrows 5 and 6. It is discharged and the inside of the cleaning chamber 2 is kept in a clean state free from dust and the like. Also, 40 to 100 ° C
6 to be cleaned on the heater 7 set to an arbitrary temperature of
0, 61, and 62 are installed to keep these temperatures at the same level.

【0020】その後、ボンベ56に取り付けられいてる
二酸化炭素用高圧バルブ55を開放することにより、複
数のノズル51,52,53の先端から二酸化炭素の粉
末状固体57,58,59を被洗浄物60,61,62
に吹き付ける。このように被洗浄物60,61,62に
対して二酸化炭素の粉末状固体57,58,59を吹き
付けることにより、被洗浄物60,61,62の表面に
付着している汚れを洗浄する。
Thereafter, the carbon dioxide high-pressure valve 55 attached to the cylinder 56 is opened to remove carbon dioxide powder solids 57, 58, 59 from the tips of the plurality of nozzles 51, 52, 53 and the object to be cleaned 60. , 61, 62
Spray on. By spraying carbon dioxide powder solids 57, 58, and 59 onto the objects to be cleaned 60, 61, and 62 in this manner, the dirt adhering to the surfaces of the objects to be cleaned 60, 61, and 62 is cleaned.

【0021】この実施の形態では、温度の低い二酸化炭
素の粉末状固体57,58,59を被洗浄物60,6
1,62に吹き付けても、被洗浄物が温められているた
め、被洗浄物に水蒸気が結露することがなく、結露に起
因したしみが発生することがなくなると共に、洗浄室2
内が清浄された空気で満たされているため、ゴミ等が被
洗浄物に付着することがなくなる。このため被洗浄物の
周辺0,61,62の表面を清浄に洗浄することができ
る。
In this embodiment, carbon dioxide powder solids 57, 58, 59 having a low temperature are transferred to the objects 60, 6 to be cleaned.
Even if it is sprayed on 1, 62, the object to be cleaned has been warmed, so that water vapor does not condense on the object to be cleaned, and stains due to dew condensation are not generated, and the cleaning chamber 2
Since the inside is filled with clean air, dust and the like do not adhere to the object to be cleaned. Therefore, the surfaces of the objects to be cleaned 0, 61, 62 can be cleaned cleanly.

【0022】(実施の形態2)図2は、本発明の実施の
形態2を示す。この実施の形態では、実施の形態1の構
成に加えて、洗浄室2上部の空気清浄機3に対し、接続
部15を介して配管部16を接続している。配管部16
には、空気を乾燥させる乾燥機17を接続しており、配
管部18を介して乾燥機17へ非図示のコンプレッサな
どから空気を供給するようになっている。
(Second Embodiment) FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment, the pipe portion 16 is connected to the air cleaner 3 above the cleaning chamber 2 via the connection portion 15. Piping section 16
A dryer 17 for drying air is connected to the air conditioner, and air is supplied to the dryer 17 from a compressor (not shown) or the like via a pipe portion 18.

【0023】この実施の形態の作動は、実施の形態1と
同様であるが、空気清浄機3から取り込む外部の空気を
乾燥機17を介して非図示のコンプレッサなどから供給
することにより、洗浄室2内へ供給する空気4を乾燥さ
せており、これにより、洗浄室2内を乾燥させている。
そして、この乾燥状態で被洗浄物60,61,62の洗
浄を行う。
The operation of this embodiment is the same as that of the first embodiment, but the external air taken in from the air cleaner 3 is supplied from the compressor (not shown) or the like through the dryer 17 so that the cleaning chamber The air 4 supplied into the cleaning chamber 2 is dried, whereby the inside of the cleaning chamber 2 is dried.
Then, the objects to be cleaned 60, 61, 62 are cleaned in this dry state.

【0024】このような実施の形態では、実施の形態1
のように被洗浄物60,61,62の温度を上げるだけ
でなく、洗浄室2内を乾燥させることにより、洗浄の際
の結露をさらに確実に防止した状態で、被洗浄物2の表
面に付着した汚れを除去することができる。
In such an embodiment, the first embodiment
As described above, not only the temperature of the objects to be cleaned 60, 61, 62 is increased, but also the inside of the cleaning chamber 2 is dried so that the surface of the objects to be cleaned 2 can be more reliably prevented from being condensed during cleaning. The adhered dirt can be removed.

【0025】(実施の形態3)図3は、実施の形態3を
示す。この実施の形態では、実施の形態2に用いたプレ
ート構造のヒータ7に代えて、ノズル51,52,53
のそれぞれの近傍に加熱送風機21,22,23を加熱
手段として配置している。それぞれの加熱送風機21,
22,23は、空気清浄機3を通過した空気を加熱する
と共に、加熱した空気を被洗浄物60,61,62に吹
き付けるように作用する。加熱された空気を吹き付ける
ことのできる加熱送風機21〜23を設置する。
(Third Embodiment) FIG. 3 shows a third embodiment. In this embodiment, instead of the heater 7 having the plate structure used in the second embodiment, nozzles 51, 52, 53 are provided.
Heating blowers 21, 22, 23 are arranged as heating means in the vicinity of each of the above. Each heating blower 21,
22 and 23 act to heat the air that has passed through the air purifier 3 and blow the heated air onto the objects to be cleaned 60, 61 and 62. The heating blowers 21 to 23 capable of blowing heated air are installed.

【0026】従って、この実施の形態では、実施の形態
1及び2と同様に被洗浄物60,61,62の温度を下
げるがことないため、二酸化炭素の粉末状固体の吹き付
けによる洗浄の際に結露することを防止することがで
き、しみの発生のない状態で被洗浄物の表面に付着した
汚れを除去することができる。
Therefore, in this embodiment, since the temperature of the objects to be cleaned 60, 61, 62 cannot be lowered as in the case of the first and second embodiments, during cleaning by spraying carbon dioxide powder solids. It is possible to prevent dew condensation, and it is possible to remove stains adhering to the surface of the object to be cleaned without generating stains.

【0027】(実施の形態4)この実施の形態では、二
酸化炭素の粉末状固体を吹き付けるノズル51,52,
53の変形々態を図4により説明する。
(Embodiment 4) In this embodiment, nozzles 51, 52 for spraying carbon dioxide powder solids,
A modification of 53 will be described with reference to FIG.

【0028】この実施の形態では、各ノズル51,5
2,53(ノズル53は図示省略)の先端に加熱のため
のカートリッジヒータ31,32,33(図示省略)を
設置している。各カートリッジヒータ31,32,33
は図示を省略した制御部により、対応したノズルの先端
を任意の温度に加熱するようになっている。
In this embodiment, each nozzle 51, 5
Cartridge heaters 31, 32, 33 (not shown) for heating are installed at the tips of 2, 53 (nozzle 53 is not shown). Each cartridge heater 31, 32, 33
Is heated by a controller (not shown) to an arbitrary temperature at the tip of the corresponding nozzle.

【0029】このような実施の形態では、二酸化炭素の
粉末状固体を吹き付ける際に、ノズル51,52,53
が冷やされて、ノズル51,52,53が結露し、溜ま
った水滴が被洗浄物60,61,62上に落ちることを
防ぐことができる。これにより、しみの発生のない洗浄
を行うことができる。
In this embodiment, the nozzles 51, 52, 53 are used when the carbon dioxide powder solid is sprayed.
It is possible to prevent the water from being cooled and the nozzles 51, 52 and 53 to condense, and the accumulated water droplets drop onto the objects to be cleaned 60, 61 and 62. As a result, it is possible to perform cleaning without generation of stains.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1〜3の発
明によれば、二酸化炭素の粉末状固体を用いた洗浄であ
っても、水滴によるしみを残すことなく、また周辺の空
気中に含まれる微細なゴミや塵などを付着させることな
く、被洗浄物の表面に付着した汚れを除去することが可
能となる。
As described above, according to the first to third aspects of the present invention, even when cleaning is performed using carbon dioxide powder solid, stains due to water droplets are not left in the surrounding air. It is possible to remove the dirt adhering to the surface of the object to be cleaned without adhering the fine dust and dust contained in the.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態1の正面図である。FIG. 1 is a front view of a first embodiment of the present invention.

【図2】実施の形態2の正面図である。FIG. 2 is a front view of the second embodiment.

【図3】実施の形態3の正面図である。FIG. 3 is a front view of the third embodiment.

【図4】実施の形態4におけるノズルの正面図である。FIG. 4 is a front view of a nozzle according to a fourth embodiment.

【図5】従来の洗浄装置を示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a conventional cleaning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 洗浄装置 2 洗浄室 3 空気清浄機 51,52,53 ノズル 57,58,59 二酸化炭素の粉末状固体 60,61,62 被洗浄物 1 cleaning device 2 washing room 3 air purifier 51, 52, 53 nozzles 57,58,59 Carbon dioxide powder solid 60,61,62 Items to be cleaned

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 二酸化炭素の液体から二酸化炭素の粉末
状固体を生成し、この粉末状固体を被洗浄物に吹き付け
ることにより、被洗浄物の表面に付着した汚れを除去す
る洗浄装置において、 前記被洗浄物周辺を加熱する加熱手段と、被洗浄物周辺
を外気から隔離する洗浄室とを備えていることを特徴と
する洗浄装置。
1. A cleaning device for removing dirt adhering to the surface of an object to be cleaned by producing a powdery solid of carbon dioxide from a liquid of carbon dioxide and spraying the powdered solid onto the object to be cleaned, A cleaning device comprising: a heating unit that heats the periphery of the object to be cleaned; and a cleaning chamber that isolates the periphery of the object to be cleaned from the outside air.
【請求項2】 前記加熱手段は、被洗浄物に対して加熱
された空気を送風する加熱送風機であることを特徴とす
る請求項1記載の洗浄装置。
2. The cleaning apparatus according to claim 1, wherein the heating unit is a heating blower that blows heated air to the object to be cleaned.
【請求項3】 前記洗浄室は、供給される空気から微細
なゴミなどを除去する清浄機または/及び供給される空
気中の水分及び水蒸気を除去する乾燥機を備えているこ
とを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
3. The cleaning chamber is equipped with a cleaner for removing fine dust from the supplied air and / or a dryer for removing water and water vapor in the supplied air. The cleaning device according to claim 1.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013175681A (en) * 2012-02-27 2013-09-05 Kyoto Univ Substrate cleaning method, substrate cleaning device, and vacuum processing apparatus
CN110314868A (en) * 2018-03-30 2019-10-11 宝山钢铁股份有限公司 Roller trolley slip ring automatic cleaning apparatus is sent in a kind of cross sliding type roll change

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