JP2003255239A - Reflection type image display device and image processing system provided with the same - Google Patents

Reflection type image display device and image processing system provided with the same

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JP2003255239A
JP2003255239A JP2002059866A JP2002059866A JP2003255239A JP 2003255239 A JP2003255239 A JP 2003255239A JP 2002059866 A JP2002059866 A JP 2002059866A JP 2002059866 A JP2002059866 A JP 2002059866A JP 2003255239 A JP2003255239 A JP 2003255239A
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Japan
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visible light
image display
display device
flat plate
minute
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Application number
JP2002059866A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Sasaki
憲一 佐々木
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reflection type image display device and an image processing system having the same, which hardly bring about distortion of a reflected image due to variance in reflection angle of individual pixels and are superior in gradation representing performance and are free from flicker. <P>SOLUTION: The reflection type image display device has a visible light- transmissive plane plate, a plurality of minute elastic bodies which are arranged in an array on the side opposite to the illuminating light incidence side of the visible light-transmissive plane plate and have the surfaces having a property of reflecting visible light, and minute distance driving devices which are arranged at the rear of the minute elastic bodies and individually press the minute elastic bodies in accordance with the signal quantity to bring them into close contact with the visible light-transmissive plane plate. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射型画像表示装
置および該反射型画像表示装置を有する画像処理システ
ムに関するものである。反射型画像表示装置としては、
液晶プロジェクターに用いられる液晶カラーパネル、更
には、米テキサスインスツルメンツ社のマイクロミラー
デバイス(DMD)と呼ばれる反射型イメージ表示デバ
イスがある。本発明はこのような画像表示デバイスの改
良を目指すものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflection type image display device and an image processing system having the reflection type image display device. As a reflective image display device,
There is a liquid crystal color panel used in a liquid crystal projector, and further, there is a reflective image display device called a micro mirror device (DMD) manufactured by Texas Instruments Incorporated. The present invention aims to improve such an image display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より画像表示デバイスに於いては、
投影画像の明るさ、装置のコスト、大きさ、または画質
に関する問題が指摘されている。当該デバイスに於いて
最も一般的なものは、所謂液晶プロジェクタである。液
晶プロジェクタはRGBの三色分解した画像表示用の液
晶パネルを使用し、光源光をRGBの三つに分割しそれ
ぞれの色の液晶パネルを透過させた後、クロスダイクロ
プリズム等その他の光束合成手段を用いて、該三色の画
像を単一の光路に合成し一枚のカラー画像としたのち、
これを投射する。この場合使用される二次元画像表示パ
ネルデバイスは、良く知られた液晶表示板である。一般
に当該装置に使用される液晶表示パネルは透過型液晶で
あり、パネル上に作り込まれた一画素毎に、偏光の回転
角度を調整することにより、照明からの光量を透過させ
る透過率を変化させることが可能である。
2. Description of the Related Art Conventionally, in image display devices,
Issues have been noted regarding the brightness of the projected image, the cost of the device, the size, or the image quality. The most common type of device is a so-called liquid crystal projector. The liquid crystal projector uses a liquid crystal panel for image display in which RGB three colors are separated. The light source light is divided into three RGB light beams and transmitted through the liquid crystal panels of the respective colors, and then other light flux combining means such as a cross dichroic prism. After the three color images are combined into a single optical path using
Project this. The two-dimensional image display panel device used in this case is a well-known liquid crystal display panel. Generally, the liquid crystal display panel used in the device is a transmissive liquid crystal, and the transmittance for transmitting the amount of light from the illumination is changed by adjusting the rotation angle of polarized light for each pixel built in the panel. It is possible to

【0003】一方、米テキサスインスツルメンツ社のマ
イクロミラーデバイス(DMD)と呼ばれる反射型二次
元画像表示パネルデバイスがある。これは図6に示すよ
うに、約17ミクロンピッチという非常に微少なピッチ
で配列した微小な略正方形のミラーアレイで構成され、
VGAやS−VGAなどの画素数にて画素に相当するマ
イクロミラーを配列しているものである。この素子のミ
ラー一枚一枚の角度を、個別に二通りに変化させること
が可能である。
On the other hand, there is a reflective two-dimensional image display panel device called a micromirror device (DMD) manufactured by Texas Instruments Incorporated. As shown in FIG. 6, this is composed of minute substantially square mirror arrays arranged at a very minute pitch of about 17 microns pitch,
Micromirrors corresponding to pixels are arranged by the number of pixels such as VGA and S-VGA. It is possible to individually change the angle of each mirror of this element in two ways.

【0004】その結果該微小ミラーを一画素として、照
明光束を所定の方向に反射させる。表示させない画素は
それに相当する微小ミラーの角度をもう一方の別な角度
に保持することにより、そのミラーで反射された光束は
他の方向へ反射されるので画像としては表示されない。
一方、そのミラーを二通りの状態の間を高速で往復させ
ることにより中間調を表現することが可能である。二つ
の状態のいすれかの状態で停止している時間の長さを設
定することで表示される画像上の特定の画素が明るくな
る、或いは暗くなる時間の長さの割合を自由に設定する
ことにより中間調表現が可能になる。
As a result, the illuminating light beam is reflected in a predetermined direction by using the minute mirror as one pixel. By holding the angle of the minute mirror corresponding to the pixel not to be displayed at the other angle, the light flux reflected by the mirror is reflected in the other direction and thus is not displayed as an image.
On the other hand, it is possible to express halftones by reciprocating the mirror between two states at high speed. By setting the length of time that the image is stopped in one of the two states, you can freely set the ratio of the length of time that a specific pixel on the displayed image becomes bright or dark. This allows halftone expression.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記液
晶表示パネルに関しては、照明光束のうち特定の方向に
偏波した直線偏光に対してのみしか利用できず、そのた
めパネルヘの入射光の偏光方向を事前に一つの方向へ揃
えておく必要がある。そうでないと照明光量の約半分が
液晶パネル入射時に約半分無駄になってしまう。その無
駄を防ぐために、照明光の偏光方向を一つの方向に揃え
るための偏光プリズムを組み合わせた偏光変換素子を使
用するが、その場合にしても、複雑な構造をした偏光変
換素子を製造する際には精密加工技術が必要となり、部
品コストもかかる。反射型の液晶パネルも存在するが、
これも液晶を使うため、本質的に偏光による損失は変わ
らない。
However, the liquid crystal display panel can be used only for the linearly polarized light polarized in a specific direction of the illumination light flux, and therefore the polarization direction of the incident light on the panel is previously determined. It is necessary to align in one direction. Otherwise, about half of the amount of illumination light is wasted when the liquid crystal panel enters. In order to prevent the waste, a polarization conversion element that combines polarization prisms for aligning the polarization direction of illumination light in one direction is used, but even in that case, when manufacturing a polarization conversion element having a complicated structure. Requires precision processing technology, and costs parts. There is also a reflective LCD panel,
Since this also uses liquid crystal, the loss due to polarized light is essentially unchanged.

【0006】また、液晶を用いない例えばDMD素子の
場合であっても以下のような問題点が存在する。本来ミ
ラーの保持位置は二箇所しかないため、投影される像の
光量は1か0の二通りしかない。中間調成分を表示しよ
うとする際、それでは不都合なのでマイクロミラーを高
い周波数で連続駆動させ、光量の来る時間と来ない時間
を交互に切り替え、その時間の長さの比を変えることに
より中間調成分を表示していた。そのため通常の画像表
示の場合殆ど常時連続的に反転駆動している必要があ
り、素子の耐久性、信頼性に懸念を残す。
Further, even in the case of a DMD element which does not use liquid crystal, there are the following problems. Originally, since there are only two holding positions of the mirror, there are only two light amounts of the projected image, 1 or 0. Since it is inconvenient when displaying the halftone component, the micromirror is continuously driven at a high frequency, the time when the light amount comes and the time when it does not come are alternately switched, and the ratio of the length of the time period is changed to change the halftone component. Was being displayed. Therefore, in the case of a normal image display, it is necessary to perform continuous inversion driving almost always, and there is a concern about the durability and reliability of the element.

【0007】また、同素子の場合、各画素に相当するマ
イクロミラーがそれぞれ傾きを代えて画像を表示する
が、数万のミラーの全ての角度が正確に揃っていなけれ
ばならない。部分的に角度がばらつくと画像がひずんで
しまう。また、上記中間調の表示の際には、ある一つの
画素に注目した場合、その画素の光点は画面上の所定の
位置から画面外の所定の位置の間を画面上を横断しなが
ら往復運動をすることになる。勿論、画面上の所定の位
置に於いて静止している時間に応じてその画素の表示階
調が決定されるが、画面からその画素の明るさが消え去
るとき、その画素は明るいまま画面上を移動して行くの
は避けられない。かなりの高速で移動するのではある
が、いずれにせよ静止した状態から加速して行くのには
他ならないため、低速域ではこれがちらつきとして知覚
されることが考えられる。また、一般的な中間調を多く
含む画像に於いては、画面中の至る所でこの光点の移動
が発生しているので、画面を見ていると気づかないうち
にちらつきによる疲労が発生することが懸念される。
Further, in the case of the same element, the micromirrors corresponding to the respective pixels display images by changing their inclinations respectively, but all angles of tens of thousands of mirrors must be accurately aligned. If the angle partially varies, the image will be distorted. Further, in the case of displaying the above-mentioned halftone, when focusing on a certain pixel, the light spot of the pixel reciprocates while traveling across the screen from a predetermined position on the screen to a predetermined position outside the screen. You will be exercising. Of course, the display gradation of the pixel is determined according to the time when the pixel is stationary at a predetermined position on the screen, but when the brightness of the pixel disappears from the screen, the pixel remains bright on the screen. It's inevitable to move around. It moves at a fairly high speed, but in any case it is nothing but accelerating from a stationary state, so it is considered that this is perceived as flicker in the low speed range. In addition, in an image that includes a lot of general halftones, the movement of this light spot occurs everywhere in the screen, so fatigue occurs due to flickering without noticing it when looking at the screen. Is concerned.

【0008】そこで、本発明は、上記課題を解決し、各
画素毎の反射角度のばらつきによる反射画像の歪みが生
じず、階調表現性能に優れ、ちらつきの起こりにくい反
射型画像表示装置および該反射型画像表示装置を有する
画像処理システムを提供することを目的とするものであ
る。
Therefore, the present invention solves the above-described problems, does not cause distortion of a reflected image due to variations in the reflection angle of each pixel, is excellent in gradation expression performance, and is less likely to cause flicker, and a reflection type image display device. It is an object of the present invention to provide an image processing system having a reflective image display device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、つぎの(1)〜(10)のように構成した反射型画
像表示装置および該反射型画像表示装置を有する画像処
理システムを提供するものである。 (1)可視光透過性平板と、該可視光透過性平板の照明
光が入射する面と反対面側にアレイ配置された表面が可
視光反射性を有する複数個の微小弾性体と、これらの微
小弾性体の後方側に配設され信号量に応じて該微小弾性
体のそれぞれを個別に押圧して該可視光透過性平板に密
着させる微小距離駆動装置と、を有することを特徴とす
る反射型画像表示装置。 (2)照明光が入射する面には可視域光束に対する反射
防止のコーティングが施されると共に該面とは反対側の
面には誘電体の積層による反射膜が施されてなる平板
と、該反射膜が施された面側にアレイ配置された表面が
可視光反射性を有する複数個の微小弾性体と、これらの
微小弾性体の後方側に配設され信号量に応じて該微小弾
性体のそれぞれを個別に押圧して該可視光透過性平板に
密着させる微小距離駆動装置と、を有することを特徴と
する反射型画像表示装置。 (3)前記微小弾性体は、一画素に対応して一個の割合
で二次元アレイ配列される一方、該微小弾性体のそれぞ
れに一個づつ対応させて前記微小距離駆動装置が二次元
アレイ配列されていることを特徴とする上記(1)また
は上記(2)に記載の反射型画像表示装置。 (4)前記微小弾性体は、直径1000μm以下の球体
であることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれか
に記載の反射型画像表示装置。 (5)前記球体は、前記可視光透過性平板に形成された
前記球体を一画素づつ区画して配置する隔壁によって位
置決めして配置されていることを特徴とする上記(4)
に記載の反射型画像表示装置。 (6)前記可視光透過性平板に形成された隔壁は、ガラ
ス製の可視光透過性平板をガラスエッチングまたはガラ
ス研削等することによって形成されていることを特徴と
する上記(5)に記載の反射型画像表示装置。 (7)前記可視光透過性平板に形成された隔壁は、樹脂
製の可視光透過性平板と共に樹脂成型によって形成され
ることを特徴とする上記(5)に記載の反射型画像表示
装置。 (8)前記球体は、隣接する球体同士と接触する部分に
おいて接続されていることを特徴とする上記(4)に記
載の反射型画像表示装置。 (9)前記微小弾性体は、半径500μm以下の半球状
の突起部であり、該半球状の突起部が一枚の薄い板上に
配列されていることを特徴とする上記(1)〜(3)の
いずれかに記載の反射型画像表示装置。 (10)上記(1)〜(9)のいずれかに記載の反射型
画像表示装置と、該反射型画像表示装置に画像情報を供
給する画像情報供給装置とを有することを特徴とする画
像処理システム。
In order to solve the above-mentioned problems, a reflection type image display device and an image processing system having the reflection type image display device configured as in the following (1) to (10) are provided. To do. (1) A visible light-transmissive flat plate, and a plurality of micro elastic bodies whose surface arranged in an array on the side opposite to the surface on which the illumination light of the visible light-transmissive flat plate is incident have visible light reflectivity. A minute distance driving device which is disposed on the rear side of the micro elastic body and individually presses each of the micro elastic bodies according to the signal amount to bring them into close contact with the visible light transmitting flat plate. Type image display device. (2) A flat plate having a surface on which the illuminating light is incident is coated with an antireflection coating for a visible light flux, and a surface opposite to the surface is provided with a reflective film formed by laminating dielectrics, A plurality of minute elastic bodies whose surfaces are arrayed on the surface side provided with the reflection film and have visible light reflectivity, and the minute elastic bodies arranged on the rear side of these minute elastic bodies according to the signal amount. And a minute distance driving device that individually presses each of them to bring them into close contact with the visible light-transmissive flat plate. (3) The minute elastic bodies are arranged in a two-dimensional array at a ratio of one corresponding to one pixel, and the minute distance driving devices are arranged in a two-dimensional array corresponding to each one of the minute elastic bodies. The reflective image display device according to (1) or (2) above. (4) The reflective image display device according to any one of (1) to (3), wherein the micro elastic body is a sphere having a diameter of 1000 μm or less. (5) The sphere is positioned and arranged by a partition wall which divides the sphere formed on the visible light transmitting flat plate into pixels and arranges the sphere.
The reflective image display device according to item 1. (6) The partition wall formed on the visible light transmitting flat plate is formed by subjecting a visible light transmitting flat plate made of glass to glass etching, glass grinding, or the like. Reflective image display device. (7) The reflective image display device according to (5), wherein the partition wall formed on the visible light transmitting flat plate is formed by resin molding together with the resin visible light transmitting flat plate. (8) The reflection type image display device according to (4), wherein the spheres are connected at a portion in contact with adjacent spheres. (9) The microelastic body is a hemispherical protrusion having a radius of 500 μm or less, and the hemispherical protrusion is arranged on one thin plate. (1) to () The reflective image display device according to any one of 3). (10) Image processing comprising: the reflective image display device according to any one of (1) to (9), and an image information supply device that supplies image information to the reflective image display device. system.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】上記構成を適用することにより、
階調表現を画素の移動によることなく、その画素の位置
を画面上で常に変わらず静止させ、画素毎の反射面面積
を連続的に制御することによって階調表示を可能にする
ことができる。これは具体的には、弾性変形可能な微小
な表面反射特性を有する球形又は半球面ミラーをアレイ
配置し、これを平面ガラスの裏側に置いて、該ガラスを
照明しその裏面側からの反射光を画像表示の画像として
投影するように構成する。但しこの時裏面から全反射し
てこない条件に設定されている。該表面反射ミラーであ
る球面又は半球体ミラーは後ろ側から該平面ガラスヘと
圧着されて該圧着されて平面になった部分から照明光束
を反射し、その部分の面積は該球面ミラーヘの押圧力に
比例して連続的に変化させる。その結果連続的な面積階
調表現が可能になる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION By applying the above configuration,
It is possible to realize gradation display by expressing the gradation by keeping the position of the pixel stationary on the screen without changing the pixel and continuously controlling the reflective surface area of each pixel. Specifically, it is an array of spherical or hemispherical mirrors having elastically deformable microscopic surface reflection characteristics, placed on the back side of flat glass, illuminating the glass, and reflecting light from the back side. Is projected as an image for image display. However, at this time, the condition is set so that total reflection does not occur from the back surface. The spherical or hemispherical mirror which is the surface reflection mirror is pressure-bonded to the flat glass from the rear side, and the illumination light flux is reflected from the flattened portion by the pressure-bonding, and the area of the portion depends on the pressing force on the spherical mirror. Change in proportion and continuously. As a result, continuous area gradation expression is possible.

【0011】これにより、反射面は基本的には第一のガ
ラス面により全画素に関して決まり、反射面角度の機械
的なばらつきは原理的に生じないので、各画素毎の反射
角度のばらつきによる反射画像の歪みを生じにくくする
ことができる。また、反射面の面積を無段階にコントロ
ールできるので、階調表現性能に優れ、また、上記した
DLPのように、階調表現時に明るい画素のまま画面上
を高速横断しないので、ちらつきを防止することが可能
となる。
As a result, the reflecting surface is basically determined by the first glass surface for all pixels, and mechanical variation in the angle of the reflecting surface does not occur in principle. Therefore, reflection due to variation in the reflecting angle of each pixel is caused. Image distortion can be made less likely to occur. In addition, since the area of the reflecting surface can be controlled steplessly, the gradation expression performance is excellent. Further, unlike the DLP described above, bright pixels are not traversed on the screen at high speed during gradation expression, thus preventing flicker. It becomes possible.

【0012】[0012]

【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 [実施例1]図1に示すのは、本発明による実施例1の
二次元画像形成デバイスであり、反射型平面パネル状デ
バイスである。図1(a)は本デバイスの或る数画素列
の断面構造を模式化して示したものである。図1(a)
の下段には、同実施例1の構成を照明/反射側(画素を
正面から見たとき)を、上段の各状態に対応させて模式
的に表現したものである。本デバイスは図5に示すよう
に正面斜め方向から略平行、又は略拡散、略収束などの
光束を照射し、反射された画像を投影レンズによりスク
リーンに投影して使用するものである。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. [Embodiment 1] FIG. 1 shows a two-dimensional image forming device according to Embodiment 1 of the present invention, which is a reflective flat panel device. FIG. 1A is a schematic view showing the cross-sectional structure of a certain number of pixel rows of this device. Figure 1 (a)
In the lower part, the configuration of the first embodiment is schematically represented on the illumination / reflection side (when the pixel is viewed from the front) corresponding to each state in the upper part. As shown in FIG. 5, the present device irradiates a light flux that is substantially parallel, substantially diffused, or substantially converged from the front oblique direction, and projects the reflected image on a screen using a projection lens for use.

【0013】同図に示すように第一のガラスの裏側に
は、画素毎に壁で区切られた区画が二次元アレイ状に配
列、該区画には一画素あたり一個に相当する、その表面
が可視域光に於いて高反射率である表面処理を施された
乃至は少なくとも表面が高反射率である材質で、弾性変
形する球体が、区画の壁によって位置決めされ、配置さ
れている。該区画の一つ一つの裏側には圧電素子、静電
吸着を利用した駆動素子(又はそのような微小な駆動
源)が置かれており、該弾性球体をガラス窓に押し付け
ることが可能な配置構成を有している。
As shown in the figure, on the back side of the first glass, partitions partitioned by walls for each pixel are arranged in a two-dimensional array, and each partition has one surface corresponding to one surface. An elastically deformable sphere, which has been subjected to a surface treatment having a high reflectance in visible light or at least a surface of which has a high reflectance, is positioned and arranged by a partition wall. A piezoelectric element, a driving element utilizing electrostatic attraction (or such a minute driving source) are placed on the back side of each of the sections, and the elastic sphere can be pressed against the glass window. Have a configuration.

【0014】通常は該弾性球体は加圧されておらず、ガ
ラス板には接触していないか、非常に軽微な面積で接触
しているにとどまる。該圧電素子に、画像信号が送信さ
れ、該弾性球体を加圧する場合、画像信号のその画素の
明るさに応じて該圧電素子が加圧する力は連続的に変化
する。ガラス板に押し付けられた該球面反射体は、押し
付けられた部分はガラス板の形状に倣って平面となり、
第一のガラスの表側から見ると、該弾性球体はその表面
の高反射面特性により微小な円形の平面ミラーとなって
見える。ガラス板に押しつけられる押圧力に応じて、該
微小ミラーの面積(直径)が変わり、個々に連続的に径
の変化する微小な円形ミラーの二次元アレイに相当する
状態になる。もちろん押圧に対して接触面積の変化が線
形でないなどの条件が考えられるので、最終的に所望の
静止画像乃至は動画像を表示するのに適した、画像信号
に対して非線形な押圧制御を行なうなどの工夫が必要と
なる。
Usually, the elastic spheres are not pressed and are not in contact with the glass plate, or are in contact with a very small area. When an image signal is transmitted to the piezoelectric element and the elastic sphere is pressed, the force applied by the piezoelectric element continuously changes according to the brightness of the pixel of the image signal. The spherical reflector pressed against the glass plate, the pressed portion becomes a flat surface following the shape of the glass plate,
When viewed from the front side of the first glass, the elastic sphere appears as a minute circular flat mirror due to the high reflective surface characteristics of its surface. The area (diameter) of the minute mirrors changes in accordance with the pressing force applied to the glass plate, and the state corresponds to a two-dimensional array of minute circular mirrors whose diameters change continuously and individually. Of course, the condition that the change of the contact area is not linear with respect to the pressing is conceivable. Therefore, nonlinear pressing control suitable for displaying a desired still image or moving image is finally performed. It is necessary to devise such as.

【0015】本実施例に於いて第一のガラスには、その
裏面側では画素毎に対応して区画に分けられており、こ
れはガラス板自体をエッチングにて凹凸加工したもの、
または樹脂製の区画壁構造をガラス板に転写成形したも
のであっても問題はない。この第一のガラスを図1
(b)に図示している。画素数やガラスの大きさ、区画
の深さなどは判りやすいように実際のものとは異なる模
式的なものである。
In the present embodiment, the first glass is divided into compartments on the back surface side corresponding to each pixel, which is obtained by etching the glass plate itself,
Alternatively, there is no problem even if the partition wall structure made of resin is transfer-molded on a glass plate. This first glass is shown in Figure 1.
It is shown in FIG. The number of pixels, the size of the glass, the depth of the sections, etc. are schematic and different from the actual ones for easy understanding.

【0016】弾性球体は、柔らかい樹脂材料、例えば合
成ゴム若しくは合成樹脂で成形された略球体であって、
例えば表面に高反射率で若干の柔軟性を有するコーティ
ングがなされている。該コーティングは、柔軟性を有す
る金属薄膜などで、該弾性球体の変形範囲に於いて膜剥
がれなどを起こさない柔軟性を有していれば構わない。
又は球体自体が高い可視光反射率を有する材質で作られ
ていても同様である。また、該第一のガラスの弾性球体
が接触する面に於いては、弾性球体の高反射表面コート
が何度も繰り返し接触したり離れたりするため、膜成分
又は球体を構成する材質の吸着や貼り付きなどが起こら
ないように、且つ減圧時に速やかにガラス表面から微小
円形ミラーの領域が消失するように、表面に親油性など
の表面処理を施すことは効果的である。また、第一ガラ
ス板は前述のようにガラスでなくとも必要な特性さえ満
足できれば全てが樹脂などでも差支えない。
The elastic sphere is a substantially spherical body formed of a soft resin material such as synthetic rubber or synthetic resin,
For example, a coating having a high reflectance and some flexibility is provided on the surface. The coating may be a flexible metal thin film or the like as long as it has flexibility that does not cause film peeling in the deformation range of the elastic sphere.
The same applies even if the sphere itself is made of a material having a high visible light reflectance. Further, on the surface of the first glass that is in contact with the elastic spheres, the highly reflective surface coat of the elastic spheres may repeatedly come in and out of contact with the surface of the elastic spheres. It is effective to subject the surface to a surface treatment such as lipophilicity so that sticking or the like does not occur and the area of the fine circular mirror disappears from the glass surface promptly during depressurization. Further, as described above, the first glass plate may be made of resin or the like as long as it can satisfy the required characteristics even if it is not glass.

【0017】「押圧力を強くした場合=ミラー面積大」
であるが、各画素の開口部分を形成する隔壁内の形状は
正方形乃至長方形であるため、弾性球体の弾力性や押圧
力に依っては、ミラーの最大面積は上記隔壁内部に内接
するかそれより小さめの直径を有する円が最大になる場
合もある。しかしながら、更なる高い開口効率を実現し
たい場合には、弾性球体の材質を非常に柔らかい物に
し、また背面からの押圧力を十分かけられるようにする
ことも考えられる。この場合押圧変形により弾性球体
は、第一のガラス面を含む各隔壁に倣ってかなり変形し
て略直方体の形状まで変形して隔壁内と押圧面で形成さ
れる空間の隅まで略一杯近く充填されるかのようになり
第一のガラスの照明側から見ると、ほぼ矩形に近い形状
の反射面の画素になっている。
"Increasing pressing force = large mirror area"
However, since the shape of the partition wall forming the opening portion of each pixel is square or rectangular, the maximum area of the mirror is inscribed inside the partition wall or not depending on the elasticity and pressing force of the elastic sphere. A circle with a smaller diameter may be the largest. However, if it is desired to achieve a higher opening efficiency, it is conceivable that the elastic sphere is made of a very soft material so that the pressing force from the back surface can be sufficiently applied. In this case, due to the pressing deformation, the elastic sphere is considerably deformed following each partition wall including the first glass surface to be transformed into a substantially rectangular parallelepiped shape, and the space inside the partition wall and the corner of the space formed by the pressing surface are filled almost completely. When viewed from the illuminating side of the first glass, it becomes a pixel of the reflection surface having a shape close to a rectangle.

【0018】また、弾性球体の代わりに水銀滴を使用す
ることも考えられる。これは第一のガラス面を撥水銀処
理しておくことで弾性球体表面ミラーのように振る舞
い、押圧力を高めたときには、簡単に空間に倣って区隔
内に充満するため、第一ガラス側から見た場合に完全な
矩形ミラーアレイに見えるのがメリット(開口効率が高
くなる)である。水銀を使用することは装置廃却時点に
於いてその回収と処理のプロセスが確立されていなけれ
ば環境面から問題であるが、一般的に近い将来に於い
て、当該装置を含め様々な工業製品が、廃却時にその全
数をメーカーで回収処理することが義務づけられること
も、十分考えられるのでそのような場合には、水銀を使
用することも可能性が考えられる。
It is also conceivable to use mercury drops instead of elastic spheres. It behaves like an elastic spherical surface mirror by treating the first glass surface with mercury-repellent treatment, and when the pressing force is increased, it easily fills the compartments following the space. The advantage is that it looks like a perfect rectangular mirror array when viewed from above (higher aperture efficiency). The use of mercury is an environmental problem if the recovery and treatment processes are not established at the time of disposal of the equipment, but generally in the near future, various industrial products including the equipment will be used. However, it is fully possible that the manufacturer will be required to collect and process all of them at the time of disposal, and in such a case, it may be possible to use mercury.

【0019】[実施例2]図2に示すのは本発明による
実施例2の二次元画像形成デバイスである反射型平面パ
ネル状デバイスである。図2は本デバイスの或る数画素
列の断面構造を模式化して示したものである。図2の下
段には、同実施例2の構成を照明/反射側(画素を正面
から見たとき)を、上段の各状態に対価させて模式的に
表現したものである。本デバイスは図5に示すように正
面斜め方向から略平行、又は略拡散、略収束などの光束
を照射し、反射された画像を投影レンズによりスクリー
ンに投影して使用するものである。
[Embodiment 2] FIG. 2 shows a reflection type flat panel device which is a two-dimensional image forming device according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 2 is a schematic view showing the cross-sectional structure of a certain number of pixel rows of this device. The lower part of FIG. 2 schematically illustrates the configuration of the second embodiment on the illumination / reflection side (when the pixel is viewed from the front) corresponding to each state of the upper part. As shown in FIG. 5, the present device irradiates a light flux that is substantially parallel, substantially diffused, or substantially converged from the front oblique direction, and projects the reflected image on a screen using a projection lens for use.

【0020】同図に示すように第一のガラスの裏側には
一画素毎に、その表面が可視域光に於いて高反射率であ
る表面処理を施された乃至は少なくとも表面が高反射率
である材質で、弾性変形する球体が二次元アレイ状に直
接配列し、一画素に一個に相当する該弾性変形球体が配
置されている。弾性球体の位置決めは隣同士の弾性球体
と側面で接していることにより、各弾性球体が面内方向
に動けなくなり、これにより実現されている。また、た
だ隣接して置かれているだけではなく、隣接する前後左
右の弾性球体との接触面(点)に於いて球体同士が(接
着などにより)接続されている方が位置が固定されるの
で好ましい。
As shown in the figure, on the back side of the first glass, the surface of each pixel is subjected to a surface treatment which has a high reflectance in visible light, or at least the surface has a high reflectance. The elastically deformable spheres of the material are directly arranged in a two-dimensional array, and one elastically deformable sphere is arranged for each pixel. The positioning of the elastic spheres is realized by the fact that the elastic spheres cannot move in the in-plane direction because they are in contact with the adjacent elastic spheres on the side surface. In addition, the positions are fixed not only when they are placed adjacent to each other, but also when the spheres are connected (by adhesion or the like) at the contact surfaces (points) with the adjacent front, rear, left and right elastic spheres. Therefore, it is preferable.

【0021】該弾性球体の一つ一つの裏側には圧電素子
又はそれに類する駆動装置が置かれており、該弾性球体
をガラス板に押し付けることが可能な配置を有してい
る。通常は該弾性球体は加圧されておらず、ガラス板に
は接触していないか、非常に軽く微小な面積で接触して
いるにとどまる。該圧電素子に、画像信号が送信され、
該弾性球体を加圧する場合、画像信号のその画素の明る
さに応じて該圧電素子が加圧する力は連続的に変化す
る。ガラス板に押し付けられた該球面反射体は、押し付
けられた部分はガラス板の形状に倣って平面となり、そ
の表面の鏡面性により微小な円形の平面ミラーとなる。
ガラス板に押しつけられる押圧力に応じて、該微小ミラ
ーの面積(直径)が変わり、連続的に径の変化する微小
円形ミラーの2次元アレイに相当する状態になる。
A piezoelectric element or a driving device similar thereto is placed on the back side of each elastic sphere, and the elastic sphere has an arrangement capable of being pressed against a glass plate. Normally, the elastic spheres are not pressed and are not in contact with the glass plate, or are only very lightly in contact with a very small area. An image signal is transmitted to the piezoelectric element,
When the elastic sphere is pressed, the force applied by the piezoelectric element continuously changes according to the brightness of the pixel of the image signal. The spherical reflector pressed against the glass plate becomes a flat surface following the shape of the glass plate at the pressed portion, and becomes a minute circular flat mirror due to the specularity of the surface.
The area (diameter) of the minute mirror changes in accordance with the pressing force applied to the glass plate, and the state becomes a state corresponding to a two-dimensional array of minute circular mirrors whose diameter continuously changes.

【0022】実施例1に対して、本実施例2は弾性球体
を壁による区画で区切らずにそのまま配置するために、
実施例1では反射投影光束の変調に対して無効になって
しまっていた区画の壁の厚み分がそのままなくなり、一
画素当たりに占める弾性球体の面積の割合が増やすこと
ができる。即ち一画素当たりの弾性球体の大きさを大き
くできるので、最大画素明るさ時の最も押し付けられた
弾性球体による平面ミラーのサイズが隔壁のない部分だ
け大きくすることができる。このため画素ピッチに占め
る反射率の可変面積の割合、即ち各画素の開口効率を向
上することができるため表示パネルとしての像の明るさ
をアップすることができる。このことは、図2の下段に
表現されている。これを図1(a)の下段と比較するこ
とで各画素の明るさ可変レンジの拡大が明らかになる。
In contrast to the first embodiment, in the second embodiment, since the elastic sphere is arranged as it is without being divided by the partition by the wall,
In the first embodiment, the wall thickness of the partition that has become ineffective for the modulation of the reflected projection light flux disappears as it is, and the ratio of the area of the elastic sphere to one pixel can be increased. That is, since the size of the elastic sphere per pixel can be increased, the size of the plane mirror formed by the most pressed elastic sphere at the time of maximum pixel brightness can be increased only in the part without the partition. Therefore, the ratio of the variable area of the reflectance to the pixel pitch, that is, the aperture efficiency of each pixel can be improved, so that the brightness of the image as the display panel can be increased. This is expressed in the lower part of FIG. The expansion of the variable brightness range of each pixel becomes clear by comparing this with the lower part of FIG.

【0023】弾性球体は、柔らかい樹脂材料、例えば合
成ゴム或いは合成樹脂で成形された略球体であって、表
面には高反射率で若干の柔軟性を有するコーティングが
なされている。該コーティングは、柔軟性を有する金属
薄膜などで、該弾性球体の変形範囲に於いて膜剥がれな
どを起こさない柔軟性を有していれば構わない。また、
該第一のガラスの弾性球体が接触する面に於いては、弾
性球体の高反射表面コートが何度も繰り返し接触したり
離れたりするため、膜成分の吸着や貼り付きなどが起こ
らないように、表面に親油性などの表面処理を施すこと
は好ましい。また、第一ガラス板はガラスでなくとも特
性さえ満足できれば樹脂などでも差支えない。
The elastic sphere is a substantially spherical body molded from a soft resin material such as synthetic rubber or synthetic resin, and has a coating having a high reflectance and a little flexibility on the surface. The coating may be a flexible metal thin film or the like as long as it has flexibility that does not cause film peeling in the deformation range of the elastic sphere. Also,
On the surface of the first glass that is in contact with the elastic spheres, the highly reflective surface coating of the elastic spheres repeatedly contacts and separates, so that adsorption or sticking of film components does not occur. It is preferable to apply a surface treatment such as lipophilicity to the surface. Further, the first glass plate is not limited to glass and may be resin or the like as long as the characteristics can be satisfied.

【0024】[実施例3]図3に示すのは、本発明によ
る実施例3の二次元画像形成デバイスであり反射型平面
パネル状デバイスである。図3(a)は本デバイスの或
る数画素列の断面構造を模式化して示したものである。
図3(a)の下段には、同実施例1の構成を照明/反射
側(画素を正面から見たとき)を、上段の各状態に対応
させて模式的に表現したものである。本デバイスは図5
に示すように正面斜め方向から略平行、又は略拡散、略
収束などの光束を照射し、反射された画像を投影レンズ
によりスクリーンに投影して使用するものである。
[Embodiment 3] FIG. 3 shows a two-dimensional image forming device of Embodiment 3 according to the present invention, which is a reflection type flat panel device. FIG. 3A schematically shows the cross-sectional structure of a certain pixel row of the device.
The lower part of FIG. 3A schematically shows the configuration of the first embodiment on the illumination / reflection side (when the pixel is viewed from the front) corresponding to each state of the upper part. This device is shown in Figure 5.
As shown in (1), a light flux that is substantially parallel, substantially diffused, or substantially convergent is emitted from the front oblique direction, and the reflected image is projected onto a screen by a projection lens for use.

【0025】同図に示すように第一のガラスの裏側に
は、一枚の柔軟な合成ゴム又は合成樹脂製のシート状の
ものが置かれている。これを別途図示したのが図3
(b)である。図3(b)には同シートの模式的斜視図
と断面を示している。その表面が可視域光に於いて高反
射率である表面処理を施された乃至は少なくとも表面が
高反射率である材質で、弾性変形する表面を有する略半
球体形状の突起物を二次元アレイ状に配置構成したエン
ボス状に成形加工されている。この半球凸形状の突起
は、一つが一画素に対応している。この該半球突起物の
アレイの裏側には、該半球突起一つに対して一個づつこ
の半球を押圧する圧電素子(又は同様の駆動力発生装
置)が2次元アレイ状に配列されているので、該弾性半
球体突起部を個別にガラス窓に押し付けることが可能な
配置構成を有している。
As shown in the figure, a sheet of flexible synthetic rubber or synthetic resin is placed on the back side of the first glass. This is shown separately in FIG.
It is (b). FIG. 3B shows a schematic perspective view and a cross section of the sheet. A two-dimensional array of substantially hemispherical projections whose surface is elastically deformed, or whose surface has been subjected to a surface treatment with high reflectance in visible light, or at least the surface of which is a material with high reflectance. It is formed and processed into an embossed shape that is arranged and configured. One of the protrusions having a hemispherical convex shape corresponds to one pixel. On the back side of the array of hemispherical projections, piezoelectric elements (or similar driving force generators) for pressing the hemispheres one by one are arranged in a two-dimensional array. The elastic hemispherical projection has an arrangement configuration capable of being individually pressed against the glass window.

【0026】通常は該弾性半球体突起部は加圧されてお
らす、ガラス板には接触していないか、非常に軽微な面
積で接触しているにとどまる。該圧電素子に、画像信号
が送信され、該弾性半球体突起を加圧する場合、画像信
号のその画素の明るさに応じて該圧電素子が加圧する力
は連続的に変化する。ガラス板に押し付けられた該球面
反射体は、押し付けられた部分はガラス板の形状に倣っ
て平面となり、第一のガラスの表側から見ると、該弾性
球体はその表面の鏡面性により微小な円形の平面ミラー
となって見える。ガラス板に押しつけられる押圧力に応
じて、該微小ミラーの面積(直径)が変わり、個々に連
続的に径の変化する微小な円形ミラーの二次元アレイに
相当する状態になる。
Usually, the elastic hemispherical protrusions are pressed, and are not in contact with the glass plate, or are in contact with a very small area. When an image signal is transmitted to the piezoelectric element and the elastic hemispherical protrusion is pressed, the force applied by the piezoelectric element continuously changes according to the brightness of the pixel of the image signal. The spherical reflector pressed against the glass plate has a pressed part which becomes a flat surface following the shape of the glass plate, and when viewed from the front side of the first glass, the elastic sphere is a minute circular shape due to the specularity of its surface. It looks like a flat mirror. The area (diameter) of the minute mirrors changes in accordance with the pressing force applied to the glass plate, and the state corresponds to a two-dimensional array of minute circular mirrors whose diameters change continuously and individually.

【0027】本実施例に於いて第一のガラスには、実施
例1に示したような、その裏面側では画素毎に対価して
区画に分けられており、これはガラス板自体をエッチン
グにて凹凸加工したもの、または樹脂製の区画壁構造を
ガラス板に転写成形したものであっても問題はない。ま
た、本実施例の通り、或いは実施例2に示したものと同
様に、全くの平板でも可能である。
In the present embodiment, the first glass is divided into sections on the back side thereof in consideration of each pixel as shown in the first embodiment, which is used for etching the glass plate itself. There is no problem even if it is processed by concavo-convex processing and a resin partition wall structure is transferred and molded on a glass plate. Further, as in the present embodiment or similar to that shown in the second embodiment, a completely flat plate is also possible.

【0028】弾性球体は、柔らかい樹脂材料で成形され
た略球体であって、表面には高反射率で若干の柔軟性を
有するコーティングがなされている。該コーティング
は、柔軟性を有する金属薄膜などで、該弾性球体の変形
範囲に於いて膜剥がれなどを起こさない柔軟性を有して
いれば構わない。また、該第一のガラスの弾性半球体突
起物が接触する面に於いては、弾性球体の高反射表面コ
ートが何度も繰り返し接触したり離れたりするため、膜
成分の吸着や貼り付きなどが起こらないように、且つ減
圧時に速やかにガラス表面から微小円形ミラーの領域が
消失するように、表面に親油性などの表面処理を施すこ
とは効果的である。また、第一ガラス板はガラスでなく
とも必要な特性さえ満足できれば樹脂などでも差支えな
い。
The elastic sphere is a substantially sphere formed of a soft resin material, and the surface thereof is coated with a high reflectance and a little flexibility. The coating may be a flexible metal thin film or the like as long as it has flexibility that does not cause film peeling in the deformation range of the elastic sphere. In addition, since the highly reflective surface coating of the elastic sphere repeatedly contacts and leaves the surface of the first glass that contacts the elastic hemispherical protrusion, adsorption or sticking of film components, etc. It is effective to subject the surface to a surface treatment such as lipophilicity so that the above phenomenon does not occur and the area of the fine circular mirror disappears from the glass surface promptly during depressurization. Further, the first glass plate is not limited to glass and may be made of resin or the like as long as the required characteristics can be satisfied.

【0029】本実施例は実施例2と同様に第一ガラス面
上の円形ミラー部分の大きさが最大に近くなった場合で
も、半球突起物の位置決めは元々同一のシート上に所定
の間隔にて成形されているため、確実になされている。
そのため実施例1の場合のように弾性球体を位置決めす
るための区画壁が不要である。そのため、実施例2と同
様に画素ピッチに対する有効開口部の割合、即ち開口効
率が高くできる。
In the present embodiment, as in the case of the second embodiment, even if the size of the circular mirror portion on the first glass surface is close to the maximum, the hemispherical projections are originally positioned on the same sheet at a predetermined interval. Since it is formed by molding, it is surely done.
Therefore, unlike the case of the first embodiment, the partition wall for positioning the elastic sphere is unnecessary. Therefore, as in the second embodiment, the ratio of the effective openings to the pixel pitch, that is, the opening efficiency can be increased.

【0030】[実施例4]図4に示すのは、本発明によ
る実施例4の二次元画像形成デバイスであり反射型平面
パネル状デバイスである。図4(a)は本デバイスの或
る数画素列の断面構造を模式化して示したものである。
図4(a)の下段には、同実施例4の構成を照明/反射
側(画素を正面から見たとき)を、上段の各状態に対応
させて模式的に表現したものである。
[Embodiment 4] FIG. 4 shows a two-dimensional image forming device of Embodiment 4 according to the present invention, which is a reflection type flat panel device. FIG. 4A is a schematic view showing the cross-sectional structure of a certain number of pixel rows of this device.
The lower part of FIG. 4A schematically shows the configuration of the fourth embodiment on the illumination / reflection side (when the pixel is viewed from the front) corresponding to each state of the upper part.

【0031】上記実施例1から実施例3までの各実施例
では弾性球体又は半球体アレイ等の表面が弾力性を有す
る高反射率の反射特性を有するという構成により、該表
面がミラーとしての役割を果たしているものであった。
本実施例4は、これとは逆に第一のガラスの裏面側(該
弾性球体等が接触する面)に、例えば積層誘電体膜など
で無接触状態に於いて可視域で高反射率を呈する膜を付
けておく。
In each of the first to third embodiments, the surface of the elastic sphere or hemisphere array or the like has the elasticity and the high reflection property of the reflectance, so that the surface serves as a mirror. Was being played.
In contrast to this, Example 4 has a high reflectance in the visible region in the non-contact state on the back surface side of the first glass (the surface on which the elastic spheres or the like come into contact), for example, with a laminated dielectric film or the like. Attach the film to be presented.

【0032】更にまたこの該積層誘電体膜は、弾性球体
等の表面材質が接触すると積層誘電体膜の条件が変わ
り、該接触面の反射率だけが一気に低下するという構成
としている。この様子を説明したのが図4(b)と図4
(c)である。図4(c)に提示したのは、第一のガラ
スの裏面側の端部を模式的に示したもので、球体が接触
していない場合(状態A)と球体が接触している場合
(状態B)であり、この図の場合ガラス側に積層誘電体
多層膜(総数はN層)が付けられている。
Furthermore, in this laminated dielectric film, when the surface material such as an elastic sphere comes into contact with the laminated dielectric film, the conditions of the laminated dielectric film are changed and only the reflectance of the contact surface is suddenly lowered. This situation is explained in FIG. 4 (b) and FIG.
It is (c). What is presented in FIG. 4 (c) is a schematic illustration of the back-side end of the first glass, where the sphere is not in contact (state A) and the sphere is in contact ( This is the state B), and in this case, the laminated dielectric multilayer film (total number of N layers) is attached to the glass side.

【0033】上からの矢印は第一のガラス基板内を伝搬
してくる光線であり、図4(c)の状態Aの場合は詳細
に図示するのは困難なので若干省略してあるが積層膜の
機能により光束は第一のガラス内部へと大半が反射され
る。また、図4(c)の状態Bに示したのは、該誘電体
膜に球体が接触した場合であって、このとき積層膜の反
射率は最終層に球体の材質が加わることにより変化し、
大きく低下する。そのためAでは反射していた光束がB
では球体の内部へと伝搬し吸収されることになる。
The arrow from the top is a light beam propagating in the first glass substrate, and in the case of state A of FIG. 4C, it is difficult to illustrate it in detail, so it is omitted a little, but it is a laminated film. Most of the light flux is reflected inside the first glass by the function of. Further, the state B of FIG. 4C shows the case where the sphere comes into contact with the dielectric film, and at this time, the reflectance of the laminated film changes due to the addition of the sphere material to the final layer. ,
Greatly reduced. Therefore, the luminous flux reflected at A is B
Then, it propagates inside the sphere and is absorbed.

【0034】図4(b)に示したのは、上記AとBの状
態での分光反射率グラフである。状態Aでは、可視光域
400nm〜700nmに於いてほぼフラットな高い反
射率を保っており、球体の材質が加わった状態Bでは、
同じグラフに示したように、可視域に於ける反射率は急
激に低下する。なお、ここの例では膜は第一のガラス側
に付けられて、弾性球体の表面はその材質そのままであ
るという構造を開示したが、球体の表面に積層膜を一部
又は大半を付ける構成でも、図4(b)の状態が実現で
きれば差し支えない。そして、第一のガラスに何も接触
していない状態において、基板側から照射される光束に
対して可視域で高反射率を維持していることが実現され
ていればよい。
FIG. 4B shows a spectral reflectance graph in the above A and B states. In the state A, a high reflectance that is almost flat is maintained in the visible light range of 400 nm to 700 nm, and in the state B in which the spherical material is added,
As shown in the same graph, the reflectance in the visible region drops sharply. In this example, the film is attached to the first glass side, and the structure in which the surface of the elastic sphere is the same as that of the material is disclosed, but the laminated film may be partly or mostly attached to the surface of the sphere. It does not matter if the state of FIG. 4B can be realized. Then, it is sufficient that a high reflectance is maintained in the visible range with respect to the luminous flux emitted from the substrate side in a state where nothing is in contact with the first glass.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明によれば、各画素毎の反射角度の
ばらつきによる反射画像の歪みが生じず、階調表現性能
に優れ、ちらつきの起こりにくい反射型画像表示装置お
よび該反射型画像表示装置を有する画像処理システムを
実現することができる。
According to the present invention, the reflection image is not distorted due to the variation of the reflection angle for each pixel, the gradation expression performance is excellent, and the flicker does not easily occur, and the reflection image display. An image processing system having a device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1における二次元画像形成デバ
イスの構成を示すものであり、(a)は本デバイスの或
る数画素列の断面構造の模式図、(b)は第一のガラス
側の部分構成を補足的に説明するための模式図である。
FIG. 1 shows a configuration of a two-dimensional image forming device according to a first embodiment of the present invention, (a) is a schematic view of a cross-sectional structure of a certain pixel row of the present device, and (b) is a first diagram. It is a schematic diagram for supplementally explaining the partial structure by the side of glass.

【図2】本発明の実施例2における二次元画像形成デバ
イスの或る数画素列の断面構造の模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of a cross-sectional structure of a certain number of pixel rows of a two-dimensional image forming device according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例3における二次元画像形成デバ
イスの構成を示すものであり、(a)は本デバイスの或
る数画素列の断面構造の模式図、(b)は第一のガラス
の裏側の部分構成を補足的に説明するための模式図であ
る。
3A and 3B show a configuration of a two-dimensional image forming device according to a third embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a schematic diagram of a cross-sectional structure of a certain pixel row of the present device, and FIG. It is a schematic diagram for supplementarily explaining the partial structure of the back side of glass.

【図4】本発明の実施例1における二次元画像形成デバ
イスの構成を示すものであり、(a)は本デバイスの或
る数画素列の断面構造の模式図、(b)は球体が接触し
ていない状態Aとそれが接触している状態Bでの分光反
射率グラフ、(c)は第一のガラスの裏面側の端部の構
成を示す模式図である。
4A and 4B are diagrams showing a configuration of a two-dimensional image forming device in Embodiment 1 of the present invention, in which FIG. 4A is a schematic view of a cross-sectional structure of a certain pixel row of the device, and FIG. A spectral reflectance graph in a state A in which it is not in contact with a state B in which it is in contact, (c) is a schematic diagram showing a configuration of an end portion on the back surface side of the first glass.

【図5】本発明の各実施例における二次元画像形成デバ
イスの使用例を説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining a usage example of the two-dimensional image forming device in each embodiment of the present invention.

【図6】従来例であるDLPの構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a conventional DLP.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】可視光透過性平板と、該可視光透過性平板
の照明光が入射する面と反対面側にアレイ配置された表
面が可視光反射性を有する複数個の微小弾性体と、これ
らの微小弾性体の後方側に配設され信号量に応じて該微
小弾性体のそれぞれを個別に押圧して該可視光透過性平
板に密着させる微小距離駆動装置と、を有することを特
徴とする反射型画像表示装置。
1. A visible light-transmissive flat plate, and a plurality of minute elastic bodies whose surface arranged in an array on the side opposite to the surface on which the illumination light enters the visible light-transmissive flat plate have visible light reflectivity. A minute distance driving device which is disposed on the rear side of these minute elastic bodies and individually presses each of the minute elastic bodies according to a signal amount to bring them into close contact with the visible light transmitting flat plate. Reflective image display device.
【請求項2】照明光が入射する面には可視域光束に対す
る反射防止のコーティングが施されると共に該面とは反
対側の面には誘電体の積層による反射膜が施されてなる
平板と、該反射膜が施された面側にアレイ配置された表
面が可視光反射性を有する複数個の微小弾性体と、これ
らの微小弾性体の後方側に配設され信号量に応じて該微
小弾性体のそれぞれを個別に押圧して該可視光透過性平
板に密着させる微小距離駆動装置と、を有することを特
徴とする反射型画像表示装置。
2. A flat plate having a surface on which illumination light is incident, which is provided with an antireflection coating for a visible light beam, and a surface opposite to the surface, which is provided with a reflection film formed by laminating dielectrics. , A plurality of minute elastic bodies whose surfaces are arrayed on the surface side provided with the reflection film and have visible light reflectivity, and the minute elastic bodies arranged on the rear side of these minute elastic bodies according to the signal amount. A reflection type image display device, comprising: a minute distance driving device that individually presses each elastic body to bring it into close contact with the visible light transmitting flat plate.
【請求項3】前記微小弾性体は、一画素に対応して一個
の割合で二次元アレイ配列される一方、該微小弾性体の
それぞれに一個づつ対応させて前記微小距離駆動装置が
二次元アレイ配列されていることを特徴とする請求項1
または請求項2に記載の反射型画像表示装置。
3. The micro elastic body is arranged in a two-dimensional array at a rate of one corresponding to one pixel, and the micro distance driving device is arranged in a two-dimensional array corresponding to each of the micro elastic bodies. It is arranged, It is characterized by the above-mentioned.
Alternatively, the reflective image display device according to claim 2.
【請求項4】前記微小弾性体は、直径1000μm以下
の球体であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか
1項に記載の反射型画像表示装置。
4. The reflection type image display device according to claim 1, wherein the micro elastic body is a sphere having a diameter of 1000 μm or less.
【請求項5】前記球体は、前記可視光透過性平板に形成
された前記球体を一画素づつ区画して配置する隔壁によ
って位置決めして配置されていることを特徴とする請求
項4に記載の反射型画像表示装置。
5. The sphere is positioned and arranged by a partition wall which divides and arranges the sphere formed on the visible light transmitting flat plate into pixels. Reflective image display device.
【請求項6】前記可視光透過性平板に形成された隔壁
は、ガラス製の可視光透過性平板をガラスエッチングま
たはガラス研削等することによって形成されていること
を特徴とする請求項5に記載の反射型画像表示装置。
6. The partition wall formed on the visible light transmitting flat plate is formed by subjecting the glass visible light transmitting flat plate to glass etching or glass grinding. Reflective image display device.
【請求項7】前記可視光透過性平板に形成された隔壁
は、樹脂製の可視光透過性平板と共に樹脂成型によって
形成されることを特徴とする請求項5に記載の反射型画
像表示装置。
7. The reflective image display device according to claim 5, wherein the partition wall formed on the visible light transmitting flat plate is formed by resin molding together with the visible light transmitting flat plate made of resin.
【請求項8】前記球体は、隣接する球体同士と接触する
部分において接続されていることを特徴とする請求項4
に記載の反射型画像表示装置。
8. The spheres are connected to each other at a portion in contact with adjacent spheres.
The reflective image display device according to item 1.
【請求項9】前記微小弾性体は、半径500μm以下の
半球状の突起部であり、該半球状の突起部が一枚の薄い
板上に配列されていることを特徴とする請求項1〜3の
いずれか1項に記載の反射型画像表示装置。
9. The microelastic body is a hemispherical projection having a radius of 500 μm or less, and the hemispherical projection is arranged on one thin plate. The reflective image display device according to any one of 3 above.
【請求項10】請求項1〜9いずれか1項記載の反射型
画像表示装置と、該反射型画像表示装置に画像情報を供
給する画像情報供給装置とを有することを特徴とする画
像処理システム。
10. An image processing system comprising: the reflective image display device according to claim 1; and an image information supply device that supplies image information to the reflective image display device. .
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006043778A (en) * 2003-07-22 2006-02-16 Ngk Insulators Ltd Actuator device
CN100361519C (en) * 2004-03-17 2008-01-09 扬明光学股份有限公司 Projection method for display device
JP2011221183A (en) * 2010-04-07 2011-11-04 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> Imaging lens unit apparatus

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