JP2003254925A - 隔膜式ガスセンサ - Google Patents
隔膜式ガスセンサInfo
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- JP2003254925A JP2003254925A JP2002060521A JP2002060521A JP2003254925A JP 2003254925 A JP2003254925 A JP 2003254925A JP 2002060521 A JP2002060521 A JP 2002060521A JP 2002060521 A JP2002060521 A JP 2002060521A JP 2003254925 A JP2003254925 A JP 2003254925A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゼロ校正やスパン校正を定期的に行うことな
く所望の測定を精度よく行うことのできる隔膜式ガスセ
ンサを提供すること。 【解決手段】 内部液５を収容した筒状のセンサボディ
１の端部に隔膜３を設けた隔膜式ガスセンサにおいて、
前記内部液５として純水を用い、この内部液５にイオン
交換樹脂７を添加するとともに、前記センサボディ１の
内部に導電率センサ６を設け、前記隔膜３を通過したガ
スのイオン化に起因する内部液５の導電率変化に基づい
て前記ガスの濃度を測定するようにした。
く所望の測定を精度よく行うことのできる隔膜式ガスセ
ンサを提供すること。 【解決手段】 内部液５を収容した筒状のセンサボディ
１の端部に隔膜３を設けた隔膜式ガスセンサにおいて、
前記内部液５として純水を用い、この内部液５にイオン
交換樹脂７を添加するとともに、前記センサボディ１の
内部に導電率センサ６を設け、前記隔膜３を通過したガ
スのイオン化に起因する内部液５の導電率変化に基づい
て前記ガスの濃度を測定するようにした。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、試料中のアンモ
ニア、亜硝酸、炭酸ガスなどの測定に用いられる隔膜式
ガスセンサに関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、試料中のアンモニアを測定する
隔膜式ガスセンサとして、従来より、図４に示すような
ものが公知である。この図４において、４１は例えばプ
ラスチックよりなる筒状のセンサボディで、その下端開
口部が隔膜４２で封止されている。この隔膜４２は、ア
ンモニアガスのみを透過させるもので、例えばフッ素樹
脂よりなる。そして、この隔膜４２で封止されたセンサ
ボディの内部には、中性の塩化アンモニウム溶液からな
る比較電極内部液４３、この比較電極内部液４３に浸漬
された銀／塩化銀からなる比較電極内極４４およびｐＨ
測定用のガラス電極４５が収容されている。このガラス
電極４５は、下端部にｐＨ応答部４６が形成された支持
管４７内に、例えば塩化カリウムよりなるｐＨ電極内部
液４８、比較電極内極４４と同材質のｐＨ電極内極４９
を備えてなるもので、ｐＨ応答部４６を隔膜４２に密着
するようにして設けられている。なお、５０は隔膜固定
用リング、５１，５２は比較電極内極４４およびｐＨ電
極内極４９にそれぞれ接続される銀線よりなる電気信号
取り出し用のリード線である。 【０００３】上記構成の隔膜式ガスセンサにおいては、
アンモニアガスが隔膜４２を通過する際、下記（１）式 ＮＨ3 ↑＋Ｈ2 Ｏ→ＮＨ4 + ＋ＯＨ- ……（１） に示すように、アンモニアガスが比較電極内部液４３で
アンモニウムイオンとなり、隔膜４２に密着したｐＨ応
答部４６の周辺において、アルカリ側にｐＨが変化す
る。ここで、アンモニウムイオンとｐＨ（この場合、水
酸イオン）の変化は当量であるため、ｐＨの変化でアン
モニア濃度の測定が可能になる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の隔膜式ガスセンサにおいては、隔膜４２に密着させ
るため、ｐＨ測定用のガラス電極４５のｐＨ応答部４６
としてフラットな形状を有するフラット形ｐＨ電極を用
いる必要があるため、次のような不都合がある。すなわ
ち、フラット形ｐＨ電極は、そのｐＨ応答部４６がきわ
めて薄く（例えば５０〜１００μｍ程度）、このような
薄いｐＨ応答部４６は、ガラスを機械的および手加工に
よって研磨して前記所定の厚さに形成する必要があり、
かなりに熟練者によってさえ、これを製作するのが困難
であり、その結果、製造コストがアップせざるを得ない
といった不都合があった。 【０００５】そして、上記従来の隔膜式ガスセンサの最
大の欠点は、ｐＨ測定用ガラス電極４５を用いているた
め、電極起電力の測定履歴による経時変化やドリフト、
感度劣化等があるため、２点校正を定期的に行ってゼロ
校正やスパン校正を行う必要があることである。 【０００６】なお、試料中の亜硝酸、炭酸ガスなどを測
定する場合にも、上記フラット形ｐＨ電極を組み込んだ
隔膜式ガスセンサが用いられるが、このような隔膜式ガ
スセンサにおいても、上述した問題点が同様に生じてい
る。 【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ゼロ校正やスパン校正を定期的
に行うことなく所望の測定を精度よく行うことのできる
隔膜式ガスセンサを提供することである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、内部液を収容した筒状のセンサボディ
の端部に隔膜を設けた隔膜式ガスセンサにおいて、前記
内部液として純水を用い、この内部液にイオン交換樹脂
を添加するとともに、前記センサボディの内部に導電率
センサを設け、前記隔膜を通過したガスのイオン化に起
因する内部液の導電率変化に基づいて前記ガスの濃度を
測定するようにしている。 【０００９】上記構成の隔膜式ガスセンサにおいては、
内部液中にイオン交換樹脂を添加しているので、ゼロ点
の変動が極力抑制される。また、等量導電率はイオン化
した測定試料のガス分圧と一定の関係があるので、スパ
ン校正の必要がなくなる。したがって、ゼロ校正やスパ
ン校正を行わなくても、所定精度の測定を行うことがで
きる。 【００１０】 【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１および図２は、この発明の隔
膜式ガスセンサの一例を示すもので、これらの図におい
て、１は例えばプラスチックよりなる円筒状のセンサボ
ディである。このセンサボディ１の下端部にはセンサ部
２が形成されている。このセンサ部２は、以下のように
構成されている。 【００１１】すなわち、センサボディ１の下端開口部
は、ガスのみを透過させる隔膜３で封止されている。こ
の実施の形態においては、隔膜３は、例えばフッ素樹脂
よりなり、センサボディ１の開口端の外周壁に螺着され
るリング体４によって下端開口部を封止するように張設
されている。なお、１ａはセンサボディ１の下端外周に
形成される雄ねじ部、４ａはリング体４の内周壁に形成
される雌ねじ部である。 【００１２】前記隔膜２で封止されたセンサボディ１の
内部には、純水よりなる内部液５が設けられるととも
に、内部液５内に浸漬されるようにして導電率センサ６
が設けられている。そして、内部液５には、イオン交換
樹脂７が混入されている。また、導電率センサ６は、例
えばプラスチックよりなる円筒状の支持体８の下端部に
２個一対の電極９ａ，９ｂよりなる導電率測定電極９を
形成してなるもので、この実施の形態においては、支持
体８の下端を封止する絶縁体１０の中心に平面視円形の
電極９ａを形成し、この電極９ａと同心円状にリング状
の電極９ｂを互いに電気的に絶縁した状態で設け、これ
らの電極９ａ，９ｂからなる導電率測定電極９を隔膜３
に密着させている。なお、電極９ａ，９ｂは、リード線
１１ａ，１１ｂを介して交流電源（図示していない）に
接続されている。 【００１３】前記導電率測定電極９において、各電極９
ａ，９ｂは耐酸性並びに耐アルカリ性を有する金属、例
えば金、白金、チタンなどで構成するのがよい。また、
導電率測定電極９のセル定数としては、特に低濃度にお
ける測定感度の点から０．１〜０．０１ｃｍ-1とするの
が好ましい。 【００１４】上記構成の隔膜式ガスセンサを用いて、例
えば液体試料中のアンモニアガス（ＮＨ3 （Ｇ））の濃
度を測定する場合、まず、センサ部２を純水中に浸す。
これによってゼロ点の確認が行われる。次に、センサ部
２を液体試料に浸す。このとき、試料をｐＨ１２以上の
アルカリ性にしておく。 【００１５】ところで、アンモニアガスとアンモニアイ
オンＮＨ4 + は、下記（２）式のような反応式の関係を
有する。 【００１６】 【化１】 【００１７】そして、前記センサ部２を液体試料に浸す
ことにより、液体試料中のアンモニアガスが隔膜３を透
過する。このとき、隔膜３を通過する際、 ＮＨ3 （Ｇ）＋Ｈ2 Ｏ→ＮＨ4 + ＋ＯＨ- ……（３） なる反応により、アンモニウムイオン（ＮＨ4 + ）と水
酸イオン（ＯＨ- ）が生じ、アンモニアガスのイオン化
に起因して内部液５の導電率に変化が生ずる。この導電
率（等量導電率）を導電率測定電極９によって測定する
ことにより、アンモニアガスの濃度を得ることができ
る。 【００１８】また、前記隔膜式ガスセンサを用いて、例
えば液体試料中の亜硝酸ガス（ＨＮＯ2 を測定する場
合、まず、センサ部２を純水中に浸す。これによってゼ
ロ点の確認が行われる。次に、センサ部２を液体試料に
浸す。このとき、試料をｐＨ２以下の酸性にしておく。 【００１９】ところで、亜硝酸ガスと亜硝酸イオン（Ｎ
Ｏ2 - ）は、下記（４）式のような反応式の関係を有す
る。 【００２０】 【化２】 【００２１】そして、前記センサ部２を液体試料に浸す
ことにより、液体試料中の亜硝酸ガスが隔膜３を透過す
る。このとき、隔膜３を通過する際、 ＨＮＯ2 →ＮＯ2 - ＋Ｈ+ ……（５） なる反応により、亜硝酸イオン（Ｎ０2 - ）と水素イオ
ン（Ｈ+ ）が生じ、亜硝酸ガスのイオン化に起因して内
部液５の導電率に変化が生ずる。この導電率（等量導電
率）を導電率測定電極９によって測定することにより、
亜硝酸ガスの濃度を得ることができる。 【００２２】上述のように、この発明の隔膜式ガスセン
サにおいては、内部液５中にイオン交換樹脂６を添加し
ているので、ゼロ点の変動が極力抑制される。また、等
量導電率はイオン化した測定試料のガス分圧と一定の関
係があるので、スパン校正の必要がなくなる。したがっ
て、ゼロ校正やスパン校正を行わなくても、所定精度の
測定を行うことができる。 【００２３】なお、上述の実施の形態においては、導電
率測定電極９を構成する二つの電極９ａ，９ｂを同心円
状に設けていたが、図３に示すように、両電極９ａ，９
ｂを櫛歯のように形成して、互いに対向配置してもよ
く、さらに、二つの電極９ａ，９ｂを互いに点対象また
は線対象となるように配置してあってもよい。 【００２４】また、内部液５としてイオン交換水を用い
てもよい。さらに、内部液５として純水にグリセリンを
添加して蒸発を防止するようにしてもよい。 【００２５】 【発明の効果】以上説明したように、この発明は、内部
液を収容した筒状のセンサボディの端部に隔膜を設けた
隔膜式ガスセンサにおいて、前記内部液として純水を用
い、この内部液にイオン交換樹脂を添加するとともに、
前記センサボディの内部に導電率センサを設け、前記隔
膜を通過したガスのイオン化に起因する内部液の導電率
変化に基づいて前記ガスの濃度を測定するようにしてい
るので、ゼロ校正やスパン校正を行う必要がなく、した
がって、長期にわたって各種のガスを精度よく測定する
ことができる。
ニア、亜硝酸、炭酸ガスなどの測定に用いられる隔膜式
ガスセンサに関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、試料中のアンモニアを測定する
隔膜式ガスセンサとして、従来より、図４に示すような
ものが公知である。この図４において、４１は例えばプ
ラスチックよりなる筒状のセンサボディで、その下端開
口部が隔膜４２で封止されている。この隔膜４２は、ア
ンモニアガスのみを透過させるもので、例えばフッ素樹
脂よりなる。そして、この隔膜４２で封止されたセンサ
ボディの内部には、中性の塩化アンモニウム溶液からな
る比較電極内部液４３、この比較電極内部液４３に浸漬
された銀／塩化銀からなる比較電極内極４４およびｐＨ
測定用のガラス電極４５が収容されている。このガラス
電極４５は、下端部にｐＨ応答部４６が形成された支持
管４７内に、例えば塩化カリウムよりなるｐＨ電極内部
液４８、比較電極内極４４と同材質のｐＨ電極内極４９
を備えてなるもので、ｐＨ応答部４６を隔膜４２に密着
するようにして設けられている。なお、５０は隔膜固定
用リング、５１，５２は比較電極内極４４およびｐＨ電
極内極４９にそれぞれ接続される銀線よりなる電気信号
取り出し用のリード線である。 【０００３】上記構成の隔膜式ガスセンサにおいては、
アンモニアガスが隔膜４２を通過する際、下記（１）式 ＮＨ3 ↑＋Ｈ2 Ｏ→ＮＨ4 + ＋ＯＨ- ……（１） に示すように、アンモニアガスが比較電極内部液４３で
アンモニウムイオンとなり、隔膜４２に密着したｐＨ応
答部４６の周辺において、アルカリ側にｐＨが変化す
る。ここで、アンモニウムイオンとｐＨ（この場合、水
酸イオン）の変化は当量であるため、ｐＨの変化でアン
モニア濃度の測定が可能になる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の隔膜式ガスセンサにおいては、隔膜４２に密着させ
るため、ｐＨ測定用のガラス電極４５のｐＨ応答部４６
としてフラットな形状を有するフラット形ｐＨ電極を用
いる必要があるため、次のような不都合がある。すなわ
ち、フラット形ｐＨ電極は、そのｐＨ応答部４６がきわ
めて薄く（例えば５０〜１００μｍ程度）、このような
薄いｐＨ応答部４６は、ガラスを機械的および手加工に
よって研磨して前記所定の厚さに形成する必要があり、
かなりに熟練者によってさえ、これを製作するのが困難
であり、その結果、製造コストがアップせざるを得ない
といった不都合があった。 【０００５】そして、上記従来の隔膜式ガスセンサの最
大の欠点は、ｐＨ測定用ガラス電極４５を用いているた
め、電極起電力の測定履歴による経時変化やドリフト、
感度劣化等があるため、２点校正を定期的に行ってゼロ
校正やスパン校正を行う必要があることである。 【０００６】なお、試料中の亜硝酸、炭酸ガスなどを測
定する場合にも、上記フラット形ｐＨ電極を組み込んだ
隔膜式ガスセンサが用いられるが、このような隔膜式ガ
スセンサにおいても、上述した問題点が同様に生じてい
る。 【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ゼロ校正やスパン校正を定期的
に行うことなく所望の測定を精度よく行うことのできる
隔膜式ガスセンサを提供することである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、内部液を収容した筒状のセンサボディ
の端部に隔膜を設けた隔膜式ガスセンサにおいて、前記
内部液として純水を用い、この内部液にイオン交換樹脂
を添加するとともに、前記センサボディの内部に導電率
センサを設け、前記隔膜を通過したガスのイオン化に起
因する内部液の導電率変化に基づいて前記ガスの濃度を
測定するようにしている。 【０００９】上記構成の隔膜式ガスセンサにおいては、
内部液中にイオン交換樹脂を添加しているので、ゼロ点
の変動が極力抑制される。また、等量導電率はイオン化
した測定試料のガス分圧と一定の関係があるので、スパ
ン校正の必要がなくなる。したがって、ゼロ校正やスパ
ン校正を行わなくても、所定精度の測定を行うことがで
きる。 【００１０】 【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１および図２は、この発明の隔
膜式ガスセンサの一例を示すもので、これらの図におい
て、１は例えばプラスチックよりなる円筒状のセンサボ
ディである。このセンサボディ１の下端部にはセンサ部
２が形成されている。このセンサ部２は、以下のように
構成されている。 【００１１】すなわち、センサボディ１の下端開口部
は、ガスのみを透過させる隔膜３で封止されている。こ
の実施の形態においては、隔膜３は、例えばフッ素樹脂
よりなり、センサボディ１の開口端の外周壁に螺着され
るリング体４によって下端開口部を封止するように張設
されている。なお、１ａはセンサボディ１の下端外周に
形成される雄ねじ部、４ａはリング体４の内周壁に形成
される雌ねじ部である。 【００１２】前記隔膜２で封止されたセンサボディ１の
内部には、純水よりなる内部液５が設けられるととも
に、内部液５内に浸漬されるようにして導電率センサ６
が設けられている。そして、内部液５には、イオン交換
樹脂７が混入されている。また、導電率センサ６は、例
えばプラスチックよりなる円筒状の支持体８の下端部に
２個一対の電極９ａ，９ｂよりなる導電率測定電極９を
形成してなるもので、この実施の形態においては、支持
体８の下端を封止する絶縁体１０の中心に平面視円形の
電極９ａを形成し、この電極９ａと同心円状にリング状
の電極９ｂを互いに電気的に絶縁した状態で設け、これ
らの電極９ａ，９ｂからなる導電率測定電極９を隔膜３
に密着させている。なお、電極９ａ，９ｂは、リード線
１１ａ，１１ｂを介して交流電源（図示していない）に
接続されている。 【００１３】前記導電率測定電極９において、各電極９
ａ，９ｂは耐酸性並びに耐アルカリ性を有する金属、例
えば金、白金、チタンなどで構成するのがよい。また、
導電率測定電極９のセル定数としては、特に低濃度にお
ける測定感度の点から０．１〜０．０１ｃｍ-1とするの
が好ましい。 【００１４】上記構成の隔膜式ガスセンサを用いて、例
えば液体試料中のアンモニアガス（ＮＨ3 （Ｇ））の濃
度を測定する場合、まず、センサ部２を純水中に浸す。
これによってゼロ点の確認が行われる。次に、センサ部
２を液体試料に浸す。このとき、試料をｐＨ１２以上の
アルカリ性にしておく。 【００１５】ところで、アンモニアガスとアンモニアイ
オンＮＨ4 + は、下記（２）式のような反応式の関係を
有する。 【００１６】 【化１】 【００１７】そして、前記センサ部２を液体試料に浸す
ことにより、液体試料中のアンモニアガスが隔膜３を透
過する。このとき、隔膜３を通過する際、 ＮＨ3 （Ｇ）＋Ｈ2 Ｏ→ＮＨ4 + ＋ＯＨ- ……（３） なる反応により、アンモニウムイオン（ＮＨ4 + ）と水
酸イオン（ＯＨ- ）が生じ、アンモニアガスのイオン化
に起因して内部液５の導電率に変化が生ずる。この導電
率（等量導電率）を導電率測定電極９によって測定する
ことにより、アンモニアガスの濃度を得ることができ
る。 【００１８】また、前記隔膜式ガスセンサを用いて、例
えば液体試料中の亜硝酸ガス（ＨＮＯ2 を測定する場
合、まず、センサ部２を純水中に浸す。これによってゼ
ロ点の確認が行われる。次に、センサ部２を液体試料に
浸す。このとき、試料をｐＨ２以下の酸性にしておく。 【００１９】ところで、亜硝酸ガスと亜硝酸イオン（Ｎ
Ｏ2 - ）は、下記（４）式のような反応式の関係を有す
る。 【００２０】 【化２】 【００２１】そして、前記センサ部２を液体試料に浸す
ことにより、液体試料中の亜硝酸ガスが隔膜３を透過す
る。このとき、隔膜３を通過する際、 ＨＮＯ2 →ＮＯ2 - ＋Ｈ+ ……（５） なる反応により、亜硝酸イオン（Ｎ０2 - ）と水素イオ
ン（Ｈ+ ）が生じ、亜硝酸ガスのイオン化に起因して内
部液５の導電率に変化が生ずる。この導電率（等量導電
率）を導電率測定電極９によって測定することにより、
亜硝酸ガスの濃度を得ることができる。 【００２２】上述のように、この発明の隔膜式ガスセン
サにおいては、内部液５中にイオン交換樹脂６を添加し
ているので、ゼロ点の変動が極力抑制される。また、等
量導電率はイオン化した測定試料のガス分圧と一定の関
係があるので、スパン校正の必要がなくなる。したがっ
て、ゼロ校正やスパン校正を行わなくても、所定精度の
測定を行うことができる。 【００２３】なお、上述の実施の形態においては、導電
率測定電極９を構成する二つの電極９ａ，９ｂを同心円
状に設けていたが、図３に示すように、両電極９ａ，９
ｂを櫛歯のように形成して、互いに対向配置してもよ
く、さらに、二つの電極９ａ，９ｂを互いに点対象また
は線対象となるように配置してあってもよい。 【００２４】また、内部液５としてイオン交換水を用い
てもよい。さらに、内部液５として純水にグリセリンを
添加して蒸発を防止するようにしてもよい。 【００２５】 【発明の効果】以上説明したように、この発明は、内部
液を収容した筒状のセンサボディの端部に隔膜を設けた
隔膜式ガスセンサにおいて、前記内部液として純水を用
い、この内部液にイオン交換樹脂を添加するとともに、
前記センサボディの内部に導電率センサを設け、前記隔
膜を通過したガスのイオン化に起因する内部液の導電率
変化に基づいて前記ガスの濃度を測定するようにしてい
るので、ゼロ校正やスパン校正を行う必要がなく、した
がって、長期にわたって各種のガスを精度よく測定する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の隔膜式ガスセンサの一例を示す要部
の斜視図である。 【図２】前記隔膜式ガスセンサのセンサ部近傍の構成を
示すもので、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は横断面図であ
る。 【図３】導電率センサの他の構成例を示す図である。 【図４】従来の隔膜式ガスセンサを説明するための図で
ある。 【符号の説明】 １…センサボディ、３…隔膜、５…内部液、６…導電率
センサ、７…イオン交換樹脂。
の斜視図である。 【図２】前記隔膜式ガスセンサのセンサ部近傍の構成を
示すもので、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は横断面図であ
る。 【図３】導電率センサの他の構成例を示す図である。 【図４】従来の隔膜式ガスセンサを説明するための図で
ある。 【符号の説明】 １…センサボディ、３…隔膜、５…内部液、６…導電率
センサ、７…イオン交換樹脂。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 内部液を収容した筒状のセンサボディの
端部に隔膜を設けた隔膜式ガスセンサにおいて、前記内
部液として純水を用い、この内部液にイオン交換樹脂を
添加するとともに、前記センサボディの内部に導電率セ
ンサを設け、前記隔膜を通過したガスのイオン化に起因
する内部液の導電率変化に基づいて前記ガスの濃度を測
定することを特徴とする隔膜式ガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002060521A JP2003254925A (ja) | 2002-03-06 | 2002-03-06 | 隔膜式ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002060521A JP2003254925A (ja) | 2002-03-06 | 2002-03-06 | 隔膜式ガスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254925A true JP2003254925A (ja) | 2003-09-10 |
Family
ID=28669846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002060521A Pending JP2003254925A (ja) | 2002-03-06 | 2002-03-06 | 隔膜式ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003254925A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021010400A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 水質計測システム |
-
2002
- 2002-03-06 JP JP2002060521A patent/JP2003254925A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021010400A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 水質計測システム |
| JP2021013908A (ja) * | 2019-07-16 | 2021-02-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 水質計測システム |
| JP7027379B2 (ja) | 2019-07-16 | 2022-03-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 水質計測システム |
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