JP2003251140A - 放電式反応設備 - Google Patents
放電式反応設備Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アークおよびグローが存在する領域を拡張
し，これにより分解反応，合成反応等を確実に生じさせ
ると共にそれらの反応を能率良く進行させることができ
るようにした前記放電式反応設備を提供する。 【解決手段】 放電式反応設備１は，一端にガス入口８
を，他端にガス出口９をそれぞれ有するハウジング３
と，そのハウジング３内を，ガス入口８からガス出口９
に向かう複数のガス流路Ｐに区画すると共に相隣る両ガ
ス流路Ｐ間を連通する複数のガス孔１５を持つ複数の電
極板１４と，ガス流路Ｐおよびガス孔１５に被反応ガス
を流通させた状態において，相隣る両電極板１４間に放
電電圧を印加する電源装置２４とを備えている。
し，これにより分解反応，合成反応等を確実に生じさせ
ると共にそれらの反応を能率良く進行させることができ
るようにした前記放電式反応設備を提供する。 【解決手段】 放電式反応設備１は，一端にガス入口８
を，他端にガス出口９をそれぞれ有するハウジング３
と，そのハウジング３内を，ガス入口８からガス出口９
に向かう複数のガス流路Ｐに区画すると共に相隣る両ガ
ス流路Ｐ間を連通する複数のガス孔１５を持つ複数の電
極板１４と，ガス流路Ｐおよびガス孔１５に被反応ガス
を流通させた状態において，相隣る両電極板１４間に放
電電圧を印加する電源装置２４とを備えている。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は放電式反応設備，特
に，放電の作用で被反応ガスを分解したり，その被反応
ガスより化学物質を合成する場合等に用いられる反応設
備に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来，この種の反応設備における一対の
電極は，例えばニードル形をなし，それら両電極の先端
部間にアーク放電を，また両電極の先端部以外にグロー
放電をそれぞれ発生させるようになっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来設備
によると，アークおよびグローに接触する被反応ガスの
単位時間当りの量が少なく，その結果，分解反応，合成
反応等が生じなかったり，またそれらが生じたとしても
それらの進行が極めて遅い，という問題があった。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は，アークおよび
グローが存在する領域を拡張し，これにより分解反応，
合成反応等を確実に生じさせると共にそれらの反応を能
率良く進行させることができるようにした前記放電式反
応設備を提供することを目的とする。 【０００５】前記目的を達成するため本発明によれば，
一端にガス入口を，他端にガス出口をそれぞれ有するハ
ウジングと，そのハウジング内を，前記ガス入口から前
記ガス出口に向かう複数のガス流路に区画すると共に相
隣る両ガス流路間を連通する複数のガス孔を持つ複数の
電極板と，前記ガス流路および前記ガス孔に被反応ガス
を流通させた状態において，相隣る両電極板間に放電電
圧を印加する電源装置とを備えている放電式反応設備が
提供される。 【０００６】前記のように，相隣る両電極板間のガス流
路およびガス孔に被反応ガスを流通させながら相隣る両
電極板間に放電電圧を印加すると，それら電極板のほぼ
全部のガス孔口縁部にアーク放電が発生し，また各ガス
孔口縁部を囲む平面領域のほぼ全体にグロー放電が発生
する。これにより，被反応ガスの分解，そのガスを用い
た合成等が可能であり，しかもその分解等を能率良く進
行させることが可能である。 【０００７】 【発明の実施の形態】図１に示す放電式反応設備１にお
いて，放電反応器２におけるハウジング３のガス入口側
にファン４を収容したケーシング５の排出側が接続さ
れ，またそのケーシング５の吸引管６に被反応ガスを捕
集した捕集器Ａが接続される。一方，放電反応器２にお
けるハウジング３のガス出口側には排出管７を介して回
収器Ｂが接続される。図２〜４に明示するように，放電
反応器２のハウジング３はセラミックス（例えば，２Ｍ
ｇＯ・２Ａｌ2 Ｏ3 ・５ＳｉＯ2 ）より構成されて角筒
形をなし，その一端にガス入口８を，他端にガス出口９
をそれぞれ有する。 【０００８】そのハウジング３の上，下壁１０，１１内
面にガス入口８からガス出口９に至る複数の溝１２，１
３が形成され，上壁１０側の各溝１２は下壁１１側の各
溝１３と対向し，また上，下壁１０，１１において．相
隣る両溝１２，１２；１３，１３の間隔ｄは等しい。相
対向する上，下の溝１２，１３を一組とし，各組の両溝
１２，１３に電極板１４の上，下縁部がそれぞれ嵌込ま
れており，これら複数の電極板１４によってハウジング
７内はガス入口８からガス出口９に向かう複数のガス流
路Ｐに区画される。図５に示すように，各電極板１４は
ステンレス鋼製パンチングメタルより構成され，その全
体に分散する複数のガス孔１５は相隣る両ガス流路Ｐ間
を連通する。 【０００９】ハウジング７の上壁１０外面に２つの棒状
をなすステンレス鋼製導電体１６，１７が固定されてお
り，図３において，例えば左端の電極板１４から右端の
電極板１４に向ってそれらに番号を符したとき，奇数番
号の電極板１４が一方の導電体１６に電気的に接続さ
れ，また偶数番号の電極板１４が他方の導電体１７に電
気的に接続される。 【００１０】その電気的接続構造は次のように構成され
ている。即ち，図６に明示するように各導電体１６，１
７の各電極板１４対応位置に形成されたねじ孔１８に小
ねじ１９のねじ部ａがねじ込まれており，そのねじ孔１
８から突出するねじ部ａの先端側が，ハウジング７の上
壁１０に形成された挿通孔２０内にて電極板１４の上端
面に当接し，一方，ねじ頭ｂは各導電体１６，１７の凹
部２１内に収められている。 【００１１】両導電体１６，１７はリード線２２，２３
を介して電源装置としての交流電源装置２４に接続さ
れ，その交流電源装置２４は各ガス通路Ｐおよび各ガス
孔１５に被反応ガスを流通させた状態において，相隣る
両電極板１４間に放電電圧を印加する。この場合，相隣
る両電極板１４間の放電距離ＤｓはＤｓ≒６mm（許容範
囲は３〜１０mm）であり，また電極板１４の使用数は２
０枚である。 【００１２】次に，前記アーク放電式反応設備１をガソ
リンエンジンの排気ガス処理に用いた場合について説明
する。 【００１３】〔例−１〕 （１） 排気量１８６ｃｃのガソリンエンジンの排気管
にゴムバックよりなる捕集器Ａを接続し，そのガソリン
エンジンを１０分間アイドリング運転して，排気ガスを
捕集器Ａに捕集した。 【００１４】（２） 捕集器Ａに捕集された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度をガステッ
ク（ＧＡＳＴＥＣ）検知器および検知管No. １０を用い
て測定した。 【００１５】（３） 図１に示すように捕集器Ａの出，
入口を吸引管６に接続した後，ファン４を送風量１．１
ｍ3 ／min にて作動させ，また交流電源装置２４により
相隣る両電極板１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡ
の高放電電圧を印加した。これにより，相隣る両電極板
１４間にアーク放電およびグロー放電が発生した。アー
ク放電は，各電極板１４のほぼ全部のガス孔１５口縁部
に発生し，またグロー放電は各ガス孔１５口縁部を囲む
平面領域のほぼ全体に発生していた。 【００１６】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスを，テドラーバックよりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後ファン４の作動を停止し，また交流電
源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電電
圧の印加を停止した。 【００１７】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度を測定し
た。 【００１８】表１は測定結果を示す。 【００１９】 【表１】 【００２０】表１より，放電処理によって，ＮＯ濃度が
約６４．７％減少したことが判る。この事実から，前記
放電式反応設備１は排気ガス浄化装置として有効であ
る，と言える。 【００２１】〔例−II〕 （１） 排気量 １８６ｃｃのガソリンエンジンの排気
管にゴムバックよりなる捕集器Ａを接続し，そのガソリ
ンエンジンを１６００rpm で１０分間運転して，排気ガ
スを捕集器Ａに捕集した。 【００２２】（２） 捕集器Ａに捕集された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度をガステッ
ク（ＧＡＳＴＥＣ）検知器および検知管No. １０を用い
て測定した。 【００２３】（３） 図１に示すように捕集器Ａの出，
入口を吸引管６に接続した後，ファン４を送風量１．１
ｍ3 ／min にて作動させ，また交流電源装置１２により
相隣る両電極板１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡ
の高放電電圧を印加した。これにより，前記同様に，相
隣る両電極板１４間にアーク放電およびグロー放電が発
生した。 【００２４】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスを，テドラーバックよりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後ファン４の作動を停止し，また交流電
源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電電
圧の印加を停止した。 【００２５】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度を測定し
た。 【００２６】表２は測定結果を示す。 【００２７】 【表２】 【００２８】表２より，放電処理によって，ＮＯ濃度が
約５６．３％減少したことが判る。 【００２９】〔例−III 〕 （１） 排気量１８６ｃｃのガソリンエンジンの排気管
に吸引管６を接続し，次いでそのガソリンエンジンをア
イドリング運転（無負荷状態で）すると共にファン４を
送風量１．１ｍ3 ／min にて作動させて，排気管より不
作動中の放電反応器２を経た排気ガスをテドラーバック
よりなる回収器Ｂに回収した。ガソリンエンジンのアイ
ドリング運転開始から１０分間経過後その運転を停止す
ると共にファン４の作動を停止した。 【００３０】（２） 回収器Ｂに回収された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度，ＮＯ2濃度，Ｏ2 濃度およ
びＣＯ2 濃度をガステック（ＧＡＳＴＥＣ）検知器およ
び検知管No. １０を用いて測定した。 【００３１】（３） ガソリンエンジンをアイドリング
運転すると共にファン４を送風量１．１ｍ3 ／min にて
作動させ，また交流電源装置１２により相隣る両電極板
１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡの高放電電圧を
印加した。これにより，前記同様に，相隣る両電極板１
４間にアーク放電およびグロー放電が発生した。 【００３２】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスをテドラーバック６よりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後，ガソリンエンジンのアイドリング運
転を停止すると共にファン４の作動を停止し，また交流
電源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電
電圧の印加を停止した。 【００３３】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度，ＮＯ2濃度，Ｏ2 濃度およ
びＣＯ2 濃度を測定した。 【００３４】表３は測定結果を示す。 【００３５】 【表３】 【００３６】表３より次のことが判る。即ち，ガソリン
エンジンのアイドリング運転開始直後においてはＮＯが
存在せずにＮＯ2 が存在していたこと，その後生じたＮ
Ｏおよび当初存在していたＮＯ2 が完全に分解されたこ
と，ＣＯ2 の約２０％が分解されたこと，これらの分解
に伴いＯ2 濃度が約２７％上昇したこと，である。 【００３７】前記設備１は例えば空中窒素を用いたＮＯ
2 の合成，笑気の分解等にも適用可能である。 【００３８】 【発明の効果】本発明によれば，前記のように構成する
ことによって所期の反応を確実に発生させ，またその反
応を能率良く進行させることが可能な放電式反応設備を
提供することができる。
に，放電の作用で被反応ガスを分解したり，その被反応
ガスより化学物質を合成する場合等に用いられる反応設
備に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来，この種の反応設備における一対の
電極は，例えばニードル形をなし，それら両電極の先端
部間にアーク放電を，また両電極の先端部以外にグロー
放電をそれぞれ発生させるようになっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来設備
によると，アークおよびグローに接触する被反応ガスの
単位時間当りの量が少なく，その結果，分解反応，合成
反応等が生じなかったり，またそれらが生じたとしても
それらの進行が極めて遅い，という問題があった。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は，アークおよび
グローが存在する領域を拡張し，これにより分解反応，
合成反応等を確実に生じさせると共にそれらの反応を能
率良く進行させることができるようにした前記放電式反
応設備を提供することを目的とする。 【０００５】前記目的を達成するため本発明によれば，
一端にガス入口を，他端にガス出口をそれぞれ有するハ
ウジングと，そのハウジング内を，前記ガス入口から前
記ガス出口に向かう複数のガス流路に区画すると共に相
隣る両ガス流路間を連通する複数のガス孔を持つ複数の
電極板と，前記ガス流路および前記ガス孔に被反応ガス
を流通させた状態において，相隣る両電極板間に放電電
圧を印加する電源装置とを備えている放電式反応設備が
提供される。 【０００６】前記のように，相隣る両電極板間のガス流
路およびガス孔に被反応ガスを流通させながら相隣る両
電極板間に放電電圧を印加すると，それら電極板のほぼ
全部のガス孔口縁部にアーク放電が発生し，また各ガス
孔口縁部を囲む平面領域のほぼ全体にグロー放電が発生
する。これにより，被反応ガスの分解，そのガスを用い
た合成等が可能であり，しかもその分解等を能率良く進
行させることが可能である。 【０００７】 【発明の実施の形態】図１に示す放電式反応設備１にお
いて，放電反応器２におけるハウジング３のガス入口側
にファン４を収容したケーシング５の排出側が接続さ
れ，またそのケーシング５の吸引管６に被反応ガスを捕
集した捕集器Ａが接続される。一方，放電反応器２にお
けるハウジング３のガス出口側には排出管７を介して回
収器Ｂが接続される。図２〜４に明示するように，放電
反応器２のハウジング３はセラミックス（例えば，２Ｍ
ｇＯ・２Ａｌ2 Ｏ3 ・５ＳｉＯ2 ）より構成されて角筒
形をなし，その一端にガス入口８を，他端にガス出口９
をそれぞれ有する。 【０００８】そのハウジング３の上，下壁１０，１１内
面にガス入口８からガス出口９に至る複数の溝１２，１
３が形成され，上壁１０側の各溝１２は下壁１１側の各
溝１３と対向し，また上，下壁１０，１１において．相
隣る両溝１２，１２；１３，１３の間隔ｄは等しい。相
対向する上，下の溝１２，１３を一組とし，各組の両溝
１２，１３に電極板１４の上，下縁部がそれぞれ嵌込ま
れており，これら複数の電極板１４によってハウジング
７内はガス入口８からガス出口９に向かう複数のガス流
路Ｐに区画される。図５に示すように，各電極板１４は
ステンレス鋼製パンチングメタルより構成され，その全
体に分散する複数のガス孔１５は相隣る両ガス流路Ｐ間
を連通する。 【０００９】ハウジング７の上壁１０外面に２つの棒状
をなすステンレス鋼製導電体１６，１７が固定されてお
り，図３において，例えば左端の電極板１４から右端の
電極板１４に向ってそれらに番号を符したとき，奇数番
号の電極板１４が一方の導電体１６に電気的に接続さ
れ，また偶数番号の電極板１４が他方の導電体１７に電
気的に接続される。 【００１０】その電気的接続構造は次のように構成され
ている。即ち，図６に明示するように各導電体１６，１
７の各電極板１４対応位置に形成されたねじ孔１８に小
ねじ１９のねじ部ａがねじ込まれており，そのねじ孔１
８から突出するねじ部ａの先端側が，ハウジング７の上
壁１０に形成された挿通孔２０内にて電極板１４の上端
面に当接し，一方，ねじ頭ｂは各導電体１６，１７の凹
部２１内に収められている。 【００１１】両導電体１６，１７はリード線２２，２３
を介して電源装置としての交流電源装置２４に接続さ
れ，その交流電源装置２４は各ガス通路Ｐおよび各ガス
孔１５に被反応ガスを流通させた状態において，相隣る
両電極板１４間に放電電圧を印加する。この場合，相隣
る両電極板１４間の放電距離ＤｓはＤｓ≒６mm（許容範
囲は３〜１０mm）であり，また電極板１４の使用数は２
０枚である。 【００１２】次に，前記アーク放電式反応設備１をガソ
リンエンジンの排気ガス処理に用いた場合について説明
する。 【００１３】〔例−１〕 （１） 排気量１８６ｃｃのガソリンエンジンの排気管
にゴムバックよりなる捕集器Ａを接続し，そのガソリン
エンジンを１０分間アイドリング運転して，排気ガスを
捕集器Ａに捕集した。 【００１４】（２） 捕集器Ａに捕集された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度をガステッ
ク（ＧＡＳＴＥＣ）検知器および検知管No. １０を用い
て測定した。 【００１５】（３） 図１に示すように捕集器Ａの出，
入口を吸引管６に接続した後，ファン４を送風量１．１
ｍ3 ／min にて作動させ，また交流電源装置２４により
相隣る両電極板１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡ
の高放電電圧を印加した。これにより，相隣る両電極板
１４間にアーク放電およびグロー放電が発生した。アー
ク放電は，各電極板１４のほぼ全部のガス孔１５口縁部
に発生し，またグロー放電は各ガス孔１５口縁部を囲む
平面領域のほぼ全体に発生していた。 【００１６】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスを，テドラーバックよりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後ファン４の作動を停止し，また交流電
源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電電
圧の印加を停止した。 【００１７】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度を測定し
た。 【００１８】表１は測定結果を示す。 【００１９】 【表１】 【００２０】表１より，放電処理によって，ＮＯ濃度が
約６４．７％減少したことが判る。この事実から，前記
放電式反応設備１は排気ガス浄化装置として有効であ
る，と言える。 【００２１】〔例−II〕 （１） 排気量 １８６ｃｃのガソリンエンジンの排気
管にゴムバックよりなる捕集器Ａを接続し，そのガソリ
ンエンジンを１６００rpm で１０分間運転して，排気ガ
スを捕集器Ａに捕集した。 【００２２】（２） 捕集器Ａに捕集された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度をガステッ
ク（ＧＡＳＴＥＣ）検知器および検知管No. １０を用い
て測定した。 【００２３】（３） 図１に示すように捕集器Ａの出，
入口を吸引管６に接続した後，ファン４を送風量１．１
ｍ3 ／min にて作動させ，また交流電源装置１２により
相隣る両電極板１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡ
の高放電電圧を印加した。これにより，前記同様に，相
隣る両電極板１４間にアーク放電およびグロー放電が発
生した。 【００２４】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスを，テドラーバックよりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後ファン４の作動を停止し，また交流電
源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電電
圧の印加を停止した。 【００２５】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度およびＮＯ2 濃度を測定し
た。 【００２６】表２は測定結果を示す。 【００２７】 【表２】 【００２８】表２より，放電処理によって，ＮＯ濃度が
約５６．３％減少したことが判る。 【００２９】〔例−III 〕 （１） 排気量１８６ｃｃのガソリンエンジンの排気管
に吸引管６を接続し，次いでそのガソリンエンジンをア
イドリング運転（無負荷状態で）すると共にファン４を
送風量１．１ｍ3 ／min にて作動させて，排気管より不
作動中の放電反応器２を経た排気ガスをテドラーバック
よりなる回収器Ｂに回収した。ガソリンエンジンのアイ
ドリング運転開始から１０分間経過後その運転を停止す
ると共にファン４の作動を停止した。 【００３０】（２） 回収器Ｂに回収された，処理前の
排気ガスにおけるＮＯ濃度，ＮＯ2濃度，Ｏ2 濃度およ
びＣＯ2 濃度をガステック（ＧＡＳＴＥＣ）検知器およ
び検知管No. １０を用いて測定した。 【００３１】（３） ガソリンエンジンをアイドリング
運転すると共にファン４を送風量１．１ｍ3 ／min にて
作動させ，また交流電源装置１２により相隣る両電極板
１４間に７ｋＶ，１５ｋＨｚ，〜０ｍＡの高放電電圧を
印加した。これにより，前記同様に，相隣る両電極板１
４間にアーク放電およびグロー放電が発生した。 【００３２】（４） 放電反応器２から排出された排気
ガスをテドラーバック６よりなる回収器Ｂに回収し，放
電開始１分経過後，ガソリンエンジンのアイドリング運
転を停止すると共にファン４の作動を停止し，また交流
電源装置１２による，相隣る両電極板１４間への高放電
電圧の印加を停止した。 【００３３】（５） 回収器Ｂ内の排気ガスについて，
前記同様の方法でＮＯ濃度，ＮＯ2濃度，Ｏ2 濃度およ
びＣＯ2 濃度を測定した。 【００３４】表３は測定結果を示す。 【００３５】 【表３】 【００３６】表３より次のことが判る。即ち，ガソリン
エンジンのアイドリング運転開始直後においてはＮＯが
存在せずにＮＯ2 が存在していたこと，その後生じたＮ
Ｏおよび当初存在していたＮＯ2 が完全に分解されたこ
と，ＣＯ2 の約２０％が分解されたこと，これらの分解
に伴いＯ2 濃度が約２７％上昇したこと，である。 【００３７】前記設備１は例えば空中窒素を用いたＮＯ
2 の合成，笑気の分解等にも適用可能である。 【００３８】 【発明の効果】本発明によれば，前記のように構成する
ことによって所期の反応を確実に発生させ，またその反
応を能率良く進行させることが可能な放電式反応設備を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】放電式反応設備の概略正面図である。
【図２】図１の２矢視図である。
【図３】図２の３−３線断面図である。
【図４】図２の４−４線断面図である。
【図５】電極板の正面図である。
【図６】図３の要部拡大図である。
【符号の説明】
１ 放電式反応設備
２ 放電反応器
３ ハウジング
８ ガス入口
９ ガス出口
１４ 電極板
１５ ガス孔
２４ 交流電源装置（電源装置）
Ｐ ガス流路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3G091 AA17 AA28 BA14 BA39 FA12
4D002 AA12 AC10 BA07 GA03 GB20
4G075 AA03 AA37 BA01 BA05 CA16
CA17 EC21 FA02 FB02 FB04
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 一端にガス入口（８）を，他端にガス出
口（９）をそれぞれ有するハウジング（３）と，そのハ
ウジング（３）内を，前記ガス入口（８）から前記ガス
出口（９）に向かう複数のガス流路（Ｐ）に区画すると
共に相隣る両ガス流路（Ｐ）間を連通する複数のガス孔
（１５）を持つ複数の電極板（１４）と，前記ガス流路
（Ｐ）および前記ガス孔（１５）に被反応ガスを流通さ
せた状態において，相隣る両電極板（１４）間に放電電
圧を印加する電源装置（２４）とを備えていることを特
徴とする放電式反応設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002052082A JP2003251140A (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | 放電式反応設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002052082A JP2003251140A (ja) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | 放電式反応設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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-
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005129247A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
| JP4494750B2 (ja) * | 2003-10-21 | 2010-06-30 | 日本碍子株式会社 | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
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