JP2003247984A - Organic halide concentration calibrating device - Google Patents

Organic halide concentration calibrating device

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JP2003247984A
JP2003247984A JP2002045801A JP2002045801A JP2003247984A JP 2003247984 A JP2003247984 A JP 2003247984A JP 2002045801 A JP2002045801 A JP 2002045801A JP 2002045801 A JP2002045801 A JP 2002045801A JP 2003247984 A JP2003247984 A JP 2003247984A
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憲弘 福田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic halide concentration calibrating device for accurately measuring the concentration of the organic halide in a PCB treatment installation, for example. <P>SOLUTION: This device is equipped with a standard container 12 with the organic halide 11 of a fixed concentration sealed within, a purge gas supply pipe 14 for supplying the container 12 with a purge gas 13 for purging the halide 11 sealed within, and a standard gas introducing pipe 16 for introducing a standard gas 15 accompanied by the halide 11 of the fixed concentration into a mass spectroscope 50 by the supplied gas 13. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばPCB処理
設備の有機ハロゲン化物の濃度を正確に測定するための
有機ハロゲン化物濃度校正装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic halide concentration calibrating device for accurately measuring the concentration of organic halides in, for example, PCB processing equipment.

【0002】[0002]

【背景技術】近年では、PCB(Polychlorinated biph
enyl, ポリ塩化ビフェニル:ビフェニルの塩素化異性体
の総称)が強い毒性を有することから、その製造および
輸入が禁止されている。このPCBは、1954年頃か
ら国内で製造開始されたものの、カネミ油症事件をきっ
かけに生体・環境への悪影響が明らかになり、1972
年に行政指導により製造中止、回収の指示(保管の義
務)が出された経緯がある。
BACKGROUND ART In recent years, PCB (Polychlorinated biph)
Since enyl, polychlorinated biphenyl: a generic term for chlorinated isomers of biphenyl) is highly toxic, its production and import are prohibited. Although this PCB was first manufactured in Japan around 1954, its adverse effects on the living body and environment became clear as a result of the Kanemi Yusho incident.
In the past year, there was a history of instructions to discontinue production and collection (duty of storage) due to administrative guidance.

【0003】PCBは、ビフェニル骨格に塩素が1〜1
0個置換したものであり、置換塩素の数や位置によって
理論的に209種類の異性体が存在し、現在、市販のP
CB製品において約100種類以上の異性体が確認され
ている。また、この異性体間の物理・化学的性質や生体
内安定性および環境動体が多様であるため、PCBの化
学分析や環境汚染の様式を複雑にしているのが現状であ
る。さらに、PCBは、残留性有機汚染物質のひとつで
あって、環境中で分解されにくく、脂溶性で生物濃縮率
が高く、さらに半揮発性で大気経由の移動が可能である
という性質を持つ。また、水や生物など環境中に広く残
留することが報告されている。この結果、PCBは体内
で極めて安定であるので、体内に蓄積され慢性中毒(皮
膚障害、肝臓障害等)を引き起し、また発癌性、生殖・
発生毒性が認められている。
PCB has 1 to 1 chlorine in the biphenyl skeleton.
It has 0 substitutions, and theoretically there are 209 kinds of isomers depending on the number and position of the substituted chlorine.
About 100 or more isomers have been confirmed in CB products. In addition, the physical and chemical properties among these isomers, the in vivo stability, and the environmental dynamics are so diverse that the chemical analysis of PCB and the mode of environmental pollution are complicated at present. Further, PCB is one of the persistent organic pollutants, is not easily decomposed in the environment, is fat-soluble, has a high bioconcentration rate, and is semi-volatile, and is capable of being transferred through the atmosphere. In addition, it has been reported that it widely remains in the environment such as water and living things. As a result, since PCB is extremely stable in the body, it accumulates in the body and causes chronic poisoning (skin disorders, liver disorders, etc.), carcinogenicity, reproduction and reproduction.
Developmental toxicity is noted.

【0004】PCBは、従来からトランスやコンデンサ
などの絶縁油として広く使用されてきた経緯があるの
で、PCBを処理する必要があり、本出願人は先に、P
CBを無害化処理する水熱分解装置を提案した(特開平
11−253796号公報、特開2000−12658
8号公報他参照)。この水熱分解装置の概要の一例を図
8に示す。
Since PCB has been widely used as an insulating oil for transformers and capacitors, it is necessary to treat the PCB.
A hydrothermal decomposition apparatus for detoxifying CB has been proposed (JP-A-11-253796 and JP-A-2000-12658).
No. 8, etc.). An example of the outline of this hydrothermal decomposition apparatus is shown in FIG.

【0005】図8に示すように、水熱分解装置120
は、筒形状の一次反応器122と、油123a、PCB
123b、NaOH123c、水123dの各液123
を加圧する加圧ポンプ124a〜dと、当該混合液を予
熱する予熱器125と、配管を巻いた構成の二次反応器
126と、冷却器127および減圧弁128とを備えて
なるものである。また、減圧弁127の下流には、気液
分離器129、活性炭槽130が配置されており、排ガ
ス(CO2 )131は煙突132から外部へ排出され、
排水(H2 O,NaCl)133は別途、必要に応じて
排水処理される。また、酸素の配管135は、一次反応
器125に対して直結している。
As shown in FIG. 8, the hydrothermal decomposition apparatus 120
Is a cylindrical primary reactor 122, oil 123a, PCB
123b, NaOH 123c, water 123d
It is provided with pressurizing pumps 124a to 124d for pressurizing, a preheater 125 for preheating the liquid mixture, a secondary reactor 126 having a pipe wound structure, a cooler 127 and a pressure reducing valve 128. . Further, a gas-liquid separator 129 and an activated carbon tank 130 are arranged downstream of the pressure reducing valve 127, and exhaust gas (CO 2 ) 131 is discharged from a chimney 132 to the outside.
Waste water (H 2 O, NaCl) 133 is separately treated as necessary. The oxygen pipe 135 is directly connected to the primary reactor 125.

【0006】上記装置において、加圧ポンプ124によ
る加圧により一次反応器122内は、26MPaまで昇
圧される。また、予熱器125は、PCB、H2Oおよ
びNaOHの混合処理液123を300℃程度に予熱す
る。また、一次反応器122内には酸素が噴出してお
り、内部の反応熱により380℃〜400℃まで昇温す
る。この段階までに、PCBは、脱塩素反応および酸化
分解反応を起こし、NaCl、CO2およびH2Oに分解
されている。つぎに、冷却器127では、二次反応器1
26からの流体を100℃程度に冷却すると共に後段の
減圧弁128にて大気圧まで減圧する。そして、気液分
離器129によりCO2および水蒸気と処理水とが分離
され、CO2および水蒸気は、活性炭槽130を通過し
て環境中に排出される。
In the above apparatus, the pressure inside the primary reactor 122 is increased to 26 MPa by pressurization by the pressurizing pump 124. Further, the preheater 125 preheats the mixed treatment liquid 123 of PCB, H 2 O and NaOH to about 300 ° C. In addition, oxygen is jetting out into the primary reactor 122, and the reaction heat inside raises the temperature to 380 ° C to 400 ° C. By this stage, the PCB has undergone a dechlorination reaction and an oxidative decomposition reaction and has been decomposed into NaCl, CO 2 and H 2 O. Next, in the cooler 127, the secondary reactor 1
The fluid from 26 is cooled to about 100 ° C. and is depressurized to atmospheric pressure by the depressurization valve 128 at the subsequent stage. Then, the gas-liquid separator 129 separates CO 2 and steam from treated water, and the CO 2 and steam pass through the activated carbon tank 130 and are discharged into the environment.

【0007】このような処理装置を用いてPCB含有容
器(例えばトランスやコンデンサ)等を処理すること
で、完全無害化がなされているが、さらにその施設内に
おけるPCB濃度の迅速監視が重要である。従来、ガス
サンプリングを行いPCBを液体に濃縮させ、その濃縮
液を分析する方法が採用されているが、この計測には数
時間から数十時間を要するため、迅速監視ができなかっ
た。
By treating a PCB-containing container (for example, a transformer or a condenser) with such a treatment device, it has been made completely harmless. However, it is important to quickly monitor the PCB concentration in the facility. . Conventionally, a method of performing gas sampling, concentrating PCB into a liquid, and analyzing the concentrated liquid has been adopted, but this measurement requires several hours to several tens of hours, and thus rapid monitoring cannot be performed.

【0008】しかしながら、監視のためのガス中の微量
PCBの計測方法として、従来では多光子イオン化検出
器と飛行時間型分析器(Time of Flight Mass Spectrosc
opy:TOFMAS) とを組み合わせた質量スペクトル分析装置
が提案されている。この従来の分析装置の概要を図9を
参照して説明する。
However, as a method for measuring a trace amount of PCB in the gas for monitoring, conventionally, a multiphoton ionization detector and a time-of-flight mass spectrometer (Time of Flight Mass Spectroscopy) are used.
A mass spectrum analyzer in combination with opy: TOFMAS) has been proposed. The outline of this conventional analyzer will be described with reference to FIG.

【0009】図9に示すように、試料ガス1をパルスノ
ズル2から真空チャンバ3内に超音速自由噴流として供
給し、その自由噴流は断熱膨張により冷却される。その
ような冷却により、振動・回転準位が低エネルギー側に
偏って波長選択性が増大したガスは、レーザ4のような
共鳴多光子を効率よく吸収したそのイオン化効率が増大
する。イオン化されたガス中の分子は、加速電極5によ
り加速され、質量に反比例する加速度を与えられてフラ
イトチューブ6内で飛行し、リフレクトン7で反射し
て、検出器8に入射する。該フライトチューブ6の中で
の飛行時間を計測することによりその分子又は原子であ
る粒子の質量が計算により求められ、検出器8の信号強
度の比較から測定対象のPCB濃度を求めることができ
る。
As shown in FIG. 9, the sample gas 1 is supplied from the pulse nozzle 2 into the vacuum chamber 3 as a supersonic free jet, and the free jet is cooled by adiabatic expansion. Due to such cooling, the vibration / rotational level is biased to the low energy side and the wavelength selectivity is increased, so that the ionization efficiency of the laser 4, which efficiently absorbs resonant multiphotons, is increased. Molecules in the ionized gas are accelerated by the acceleration electrode 5, are given an acceleration inversely proportional to the mass, fly in the flight tube 6, are reflected by the reflectons 7, and enter the detector 8. By measuring the time of flight in the flight tube 6, the mass of the particle, which is the molecule or atom, can be calculated, and the PCB concentration of the measurement object can be calculated by comparing the signal intensities of the detector 8.

【0010】このような装置では、微量物質の検出を行
うことができる点で原理的にはすぐれているが、レーザ
パルス時間幅がナノ秒レーザを用いているので、検出感
度が低いという問題がある。
Although such a device is excellent in principle in that it can detect a trace amount of substance, it has a problem of low detection sensitivity because it uses a nanosecond laser with a laser pulse time width. is there.

【0011】また、上記有機ハロゲン化物の分解装置で
は、作業環境等中のPCB濃度が常に所定値以下である
ことを確認する必要があるので、上記PCBの分析は極
微量であるので所定時間毎に測定装置が正常であること
を確認するための校正が必要となる。
Further, in the above-mentioned organic halide decomposing apparatus, it is necessary to confirm that the PCB concentration in the working environment or the like is always below a predetermined value. In addition, calibration is required to confirm that the measuring device is normal.

【0012】本発明は、上記問題に鑑み、例えばPCB
等の微量成分濃度を監視するに際し、迅速且つ高感度な
分析が可能な有機ハロゲン化物濃度校正装置を提供する
ことを課題とする。
In view of the above problems, the present invention is directed to, for example, a PCB.
An object of the present invention is to provide an organic halide concentration calibrating device capable of performing a quick and highly sensitive analysis when monitoring the concentrations of trace components such as.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の第1の発明は、内部に所定濃度の有機ハロゲン化物
を封入した標準容器と、該標準容器に上記有機ハロゲン
化物を追い出す追出しガスを供給し、所定濃度の有機ハ
ロゲン化物を同伴させ、質量分析装置へ導入する標準ガ
ス導入管と、を具備することを特徴とする有機ハロゲン
化物濃度校正装置にある。
A first aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is to provide a standard container in which an organic halide having a predetermined concentration is sealed, and a purging gas for expelling the organic halide in the standard container. And a standard gas introduction pipe for introducing an organic halide of a predetermined concentration and introducing the same into the mass spectrometer, the organic halide concentration calibrating device.

【0014】第2の発明は、第1の発明において、上記
標準容器を雰囲気温度+5〜10℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
A second aspect of the present invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first aspect of the present invention, which is equipped with a heat retaining means for holding the standard container at an ambient temperature of +5 to 10 ° C.

【0015】第3の発明は、第1の発明において、上記
標準ガス導入管を150℃±20℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
A third aspect of the present invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first aspect of the present invention, further comprising a heat retaining means for holding the standard gas introducing pipe at 150 ° C. ± 20 ° C.

【0016】第4の発明は、第1の発明において、上記
標準容器内に複数の細孔を有するディスクが内装されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
A fourth invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first invention, characterized in that the standard container is internally provided with a disk having a plurality of pores.

【0017】第5の発明は、第1の発明において、上記
標準容器内にグラスファイバー又はビーズが充填されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
A fifth invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first invention, characterized in that the standard container is filled with glass fiber or beads.

【0018】第6の発明は、第4又は5の発明におい
て、上記標準容器内の底部に追出しガスを供給する供給
管の供給口が臨むように挿入され、供給されたガスを容
器上部から排出することを特徴とする有機ハロゲン化物
濃度校正装置にある。
A sixth aspect of the invention is the fuel cell system according to the fourth or fifth aspect of the invention, in which the standard gas is inserted into the bottom of the standard container so as to face the supply port of the supply pipe for supplying the purge gas, and the supplied gas is discharged from the upper part of the container. The organic halide concentration calibrating device is characterized in that

【0019】第7の発明は、第1の発明において、上記
標準容器内面がポリテトラフルオロエチレン又は酸化ケ
イ素のコーティング層が形成されていることを特徴とす
る有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
A seventh invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first invention, characterized in that the inner surface of the standard container is formed with a coating layer of polytetrafluoroethylene or silicon oxide.

【0020】第8の発明は、第1の発明において、上記
標準容器が着脱自在であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
An eighth aspect of the present invention is the organic halide concentration calibrating device according to the first aspect, wherein the standard container is detachable.

【0021】第9の発明は、第8の発明において、上記
着脱自在の標準容器が密閉容器に内装されていることを
特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
A ninth aspect of the invention is the organic halide concentration calibrating device according to the eighth aspect of the invention, in which the detachable standard container is housed in a closed container.

【0022】第10の発明は、第9の発明において、上
記標準容器内に検知物質を供給すると共に、上記密閉容
器内に該検知物質を検出するセンサを設けたことを特徴
とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
A tenth aspect of the present invention is the organic halide according to the ninth aspect, characterized in that a detection substance is supplied to the standard container and a sensor for detecting the detection substance is provided in the closed container. It is in the concentration calibration device.

【0023】第11の発明は、第10の発明において、
上記検知物質が水素であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
An eleventh invention is the tenth invention, wherein
The organic halide concentration calibrating device is characterized in that the detection substance is hydrogen.

【0024】第12の発明は、第1の発明において、上
記測定試料がPCBであることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
A twelfth invention is the organic halide concentration calibrating apparatus according to the first invention, wherein the measurement sample is PCB.

【0025】第13の発明は、第1乃至12のいずれか
一項の有機ハロゲン化物濃度校正装置と、測定ラインか
らの試料を真空チャンバー内へ連続的に導入する試料導
入手段と、導入された試料にレーザを照射し、レーザイ
オン化させるレーザ照射手段と、レーザイオン化した分
子を収束させる収束部と、該収束された分子を選択濃縮
するイオントラップと、一定周期で放出されたイオンを
検出するイオン検出器を備えた飛行時間型質量分析装置
とを具備してなることを特徴とする有機微量成分の検出
装置にある。
A thirteenth aspect of the present invention introduces the organic halide concentration calibrating device according to any one of the first to twelfth aspects, and sample introducing means for continuously introducing the sample from the measurement line into the vacuum chamber. Laser irradiation means for irradiating a sample with laser to perform laser ionization, a converging unit for converging laser ionized molecules, an ion trap for selectively concentrating the converged molecules, and an ion for detecting ions emitted at a constant period. A time-of-flight mass spectrometer equipped with a detector is provided, which is a detector for organic trace components.

【0026】第14の発明は、第13の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記試料導入手段がキャピラ
リカラムであり、その先端がイオン収束部に臨んでいる
ことを特徴とする有機微量成分の検出装置にある。
A fourteenth invention is the organic trace component detection apparatus of the thirteenth invention, wherein the sample introducing means is a capillary column, and the tip of the capillary column faces the ion converging portion. In the detection device.

【0027】第15の発明は、第13の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記レーザのパルス波長が2
80nm以下であることを特徴とする有機微量成分の検
出装置にある。
A fifteenth invention is the invention of the thirteenth invention for detecting an organic trace component, wherein the pulse wavelength of the laser is 2
An organic trace component detection device is characterized by having a thickness of 80 nm or less.

【0028】第16の発明は、第13の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記レーザのパルス時間幅が
500ピコ秒以下であることを特徴とする有機微量成分
の検出装置にある。
[0028] A sixteenth invention is the organic trace element detector of the thirteenth invention, wherein the pulse time width of the laser is 500 picoseconds or less.

【0029】第17の発明は、第13の有機微量成分の
検出装置を用い、所定測定回数毎に有機ハロゲン化物濃
度校正装置で有機ハロゲン化物の濃度を校正しつつ有機
ハロゲン化物を計測することを特徴とする有機微量成分
の検出方法にある。
A seventeenth aspect of the invention is to measure the organic halide while calibrating the concentration of the organic halide with an organic halide concentration calibrating device at a predetermined number of times of measurement, using the thirteenth organic trace component detecting device. It is in the method of detecting a characteristic organic trace component.

【0030】第18の発明は、第17の発明において、
上記測定試料がPCBであることを特徴とする有機微量
成分の検出方法にある。
The eighteenth invention is the seventeenth invention, wherein
The above-mentioned measurement sample is PCB, which is a method for detecting organic trace components.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.

【0032】[第1の実施の形態]図1は本実施の形態
にかかる有機ハロゲン化物濃度校正装置の概略図であ
る。図1に示すように本実施の形態にかかる有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置10は、内部に所定濃度の有機ハロ
ゲン化物11を封入した標準容器12と、該標準容器1
2に上記封入された有機ハロゲン化物11を追い出す追
出しガス13を供給する追い出しガス供給管14と、該
供給されたガス13により所定濃度の有機ハロゲン化物
11を同伴させた標準ガス15を質量分析装置50へ導
入する標準ガス導入管16とを具備するものである。
[First Embodiment] FIG. 1 is a schematic view of an organic halide concentration calibrating apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, an organic halide concentration calibrating device 10 according to the present embodiment includes a standard container 12 in which an organic halide 11 having a predetermined concentration is enclosed, and the standard container 1
2 is a mass spectroscope which includes a purge gas supply pipe 14 for supplying a purge gas 13 for purging the enclosed organic halide 11 and a standard gas 15 accompanied by the supplied gas 13 with an organic halide 11 having a predetermined concentration. And a standard gas introduction pipe 16 to be introduced into 50.

【0033】また、追い出しガス供給管14から分枝さ
れ、標準容器にガスを供給する供給ライン21とガス排
出ライン22には各々バルブ23、24が介装されてい
る。また、追い出しガス供給管14と標準ガス導入管1
6との流路を開閉するバルブ25が介装されている。
Further, valves 23 and 24 are provided on the supply line 21 and the gas discharge line 22 which are branched from the purge gas supply pipe 14 and which supply gas to the standard container. Also, the purge gas supply pipe 14 and the standard gas introduction pipe 1
A valve 25 that opens and closes the flow path with 6 is interposed.

【0034】上記標準容器12は図示しない恒温保持手
段により内部の雰囲気温度を容器外部の温度より+5〜
30℃に保持するようにしている。これは、内部に封入
された有機ハロゲン化物11の飽和濃度を一定に保持す
るためである。
The ambient temperature of the standard container 12 is +5 to +5 than that of the outside of the container by a constant temperature holding means (not shown).
It is kept at 30 ° C. This is to keep the saturation concentration of the organic halide 11 sealed inside constant.

【0035】ここで、上記有機ハロゲン化物11がPC
Bの場合における飽和蒸気圧とPCBの濃度との関係を
下記「表1」に示す。なお、PCBにおいては塩素数が
2〜4の場合には、恒温槽による温度制御を35℃(室
温(=25℃)+10℃)とするのが好ましい。また、
PCBにおいては塩素数が5〜7の場合には、恒温槽に
よる温度制御を50℃(室温(=25℃)+25℃)と
するのが好ましい。
Here, the organic halide 11 is PC
The relationship between the saturated vapor pressure and the concentration of PCB in the case of B is shown in "Table 1" below. When the number of chlorine in the PCB is 2 to 4, it is preferable that the temperature control by the constant temperature bath is 35 ° C. (room temperature (= 25 ° C.) + 10 ° C.). Also,
When the number of chlorine in the PCB is 5 to 7, it is preferable that the temperature control by the constant temperature bath is 50 ° C. (room temperature (= 25 ° C.) + 25 ° C.).

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】上記PCBの市販物質であるカネクロール
KC300(商品名:鐘が淵化学社製)には、2塩素P
CB、3塩素PCB、4塩素PCBが混在している。カ
ネクロールKC400(商品名:鐘が淵化学社製)に
は、3塩素PCB、4塩素PCB、5塩素PCBが混在
している。カネクロールK60(商品名:鐘が淵化学社
製)には、5塩素PCB、6塩素PCB、7塩素PCB
が混在している。
Kanechlor KC300 (trade name: manufactured by Kanega Fuchi Chemical Co., Ltd.), which is a commercially available substance of the above PCB, contains 2 chlorine P
CB, 3 chlorine PCB, and 4 chlorine PCB are mixed. Kanechlor KC400 (trade name: Kanega Fuchi Chemical Co., Ltd.) contains 3 chlorine PCBs, 4 chlorine PCBs, and 5 chlorine PCBs. Kanechlor K60 (trade name: manufactured by Kanega Fuchi Kagaku) has 5 chlorine PCB, 6 chlorine PCB, 7 chlorine PCB
Are mixed.

【0038】上記PCBを所定の飽和状態とするには、
標準容器内に標準溶液(例えばnヘキサン)に溶かした
PCB液を供給し、真空状態にして1時間脱気し、nヘ
キサンを除去し、その後密閉状態として100℃で1時
間保持し、内部を均一化して飽和状態とする。
To bring the PCB into a predetermined saturation state,
A PCB solution dissolved in a standard solution (for example, n-hexane) was supplied into the standard container, degassed in a vacuum for 1 hour, n-hexane was removed, and then sealed at 100 ° C. for 1 hour, It is made uniform and saturated.

【0039】上記標準ガス導入管16には、管内を15
0℃±20℃に保持する保温手段(例えばヒータ)26
が設けられており、管の内部に有機ハロゲン化物が付着
するのを防止するようにしている。
The inside of the standard gas introducing pipe 16 is 15
Insulating means (for example, heater) 26 for keeping at 0 ° C ± 20 ° C
Is provided to prevent the organic halide from adhering to the inside of the tube.

【0040】また、上記標準ガス導入管16から標準容
器12までの距離Dを上記標準ガス導入管16の管径
(φ)の10倍程度とするのが好ましい。これは、上記
距離が短い場合には、バルブ24を開放した際に加熱さ
れたガスが標準容器内に入り込むのを防ぐためである。
Further, it is preferable that the distance D from the standard gas introducing pipe 16 to the standard container 12 is about 10 times the pipe diameter (φ) of the standard gas introducing pipe 16. This is to prevent the heated gas from entering the standard container when the valve 24 is opened when the distance is short.

【0041】上記PCB処理設備における排ガスの規制
値は現在0.15mg/Nm3 (=15ppb/V)で
あるので、その1/5量をPCB標準として質量分析装
置での校正ガスとして用いるとよい。よって、図2に示
すように、標準ガス導入管16には希釈ガス(空気又は
窒素等)27を供給する希釈ガス供給管28が接続さ
れ、所定濃度に希釈して標準ガス15としている。
Since the regulated value of exhaust gas in the above-mentioned PCB treatment equipment is 0.15 mg / Nm 3 (= 15 ppb / V) at present, 1/5 of that amount should be used as a calibration gas in a mass spectrometer as a PCB standard. . Therefore, as shown in FIG. 2, a dilution gas supply pipe 28 for supplying a dilution gas (air or nitrogen etc.) 27 is connected to the standard gas introduction pipe 16 and diluted to a predetermined concentration to form the standard gas 15.

【0042】また、図3に示すように、上記標準容器1
2内には複数の細孔を有する複数のディスク31が積層
されて内装されていると共に、上記標準容器12内の底
部に追出しガス13を供給する供給管の供給口21aが
臨むように挿入されている。そして、追い出しガス13
を一度底部まで導入した後に、複数に積層されたディス
ク31の無数の細孔を介してガスを通過させ、飽和PC
Bを外部へ同伴するようにしている。これにより、濃度
が均一なPCBの標準品を質量分析装置へ導入すること
ができる。なお、図3中符号32は温度計を図示する。
Further, as shown in FIG. 3, the standard container 1 described above is used.
A plurality of discs 31 having a plurality of pores are laminated and installed in the interior of the chamber 2, and the supply port 21a of the supply pipe for supplying the purge gas 13 is inserted so as to face the bottom of the standard container 12. ing. And the drive gas 13
Gas is introduced into the bottom once, and then the gas is passed through the innumerable pores of the plurality of stacked discs 31 to obtain saturated PC.
B is accompanied outside. As a result, a standard PCB product having a uniform concentration can be introduced into the mass spectrometer. Reference numeral 32 in FIG. 3 indicates a thermometer.

【0043】また、図4に示すように、上記ディスク3
1の代わりに、標準容器内にグラスファイバー又はビー
ズ33を充填するようにしてもよい。
Further, as shown in FIG.
Instead of 1, glass fibers or beads 33 may be filled in a standard container.

【0044】上記標準容器12の内面には、例えばポリ
テトラフルオロエチレン又は酸化ケイ素等のコーティン
グ層を形成するようにしてもよい。これは、PCBが容
器の壁内に浸透しないようにするためである。
A coating layer of, for example, polytetrafluoroethylene or silicon oxide may be formed on the inner surface of the standard container 12. This is to prevent the PCB from penetrating into the wall of the container.

【0045】また、図5に示すように、上記標準容器1
2を脱着部材41を介しての着脱自在のカートリッジ式
とすることもできる。これにより、標準容器12装着が
容易となり、複数の種類の標準品を装着が可能となる。
Further, as shown in FIG. 5, the standard container 1 described above is used.
2 may be a cartridge type which is detachable via the detachable member 41. As a result, the standard container 12 can be easily mounted, and a plurality of types of standard products can be mounted.

【0046】また、図5に示すように、この着脱式の容
器とする際に、該標準容器12を密閉容器42内で覆う
ようにしてもよい。このような密閉容器42で覆うよう
にすることで、着脱の際におけるPCBの漏れ等があっ
た場合に、外部への漏洩を防止することができる。
Further, as shown in FIG. 5, the standard container 12 may be covered in the closed container 42 when this detachable container is used. By covering with such an airtight container 42, it is possible to prevent leakage of the PCB to the outside when there is leakage of the PCB during attachment / detachment.

【0047】また、上記標準容器12内には検知物質を
供給し、密閉容器42の内部に該検知物質を検知するセ
ンサを設けることで、装着の不良を早期に発見すること
もできる。
Further, by supplying a detection substance into the standard container 12 and providing a sensor for detecting the detection substance inside the closed container 42, it is possible to detect the mounting failure early.

【0048】上記検知物質としては例えば水素等が好ま
しく、供給する追出しガス13に数%程度を混合し、公
知の検知手段をカートリッジを覆う密閉容器42内壁に
装着しておくことで、迅速な漏れの検知が可能となる。
この結果、検知物質の検知により、装着不良が発見でき
ることになる。なお、混合する水素は100%でもよい
が、漏洩時の問題を考慮すると、好ましくは水素の爆発
限界の4%以下とするのがよい。
As the above-mentioned detection substance, for example, hydrogen or the like is preferable, and by mixing about several% of the supply gas 13 to be supplied and mounting a known detection means on the inner wall of the hermetically sealed container 42 covering the cartridge, a rapid leak is obtained. Can be detected.
As a result, the mounting failure can be detected by detecting the detection substance. The hydrogen to be mixed may be 100%, but considering the problem at the time of leakage, it is preferably 4% or less of the explosion limit of hydrogen.

【0049】なお、カートリッジ式の標準容器12を覆
う密閉容器内に有機ハロゲン化物の測定ライン100の
採取口を別途設けることで、後述する質量分析装置60
にてオンラインで測定する事も可能である。
A mass spectrometer 60, which will be described later, is provided by separately providing a sampling port for the organic halide measuring line 100 in a closed container that covers the cartridge type standard container 12.
It is also possible to measure online at.

【0050】[第2の実施の形態]図1は本実施の形態
にかかる有機微量成分の検出装置の概略図である。図4
に示すように、本実施の形態にかかる有機微量成分の検
出装置50は、有機微量成分の濃度を検出する検出装置
であって、図1に示す有機ハロゲン化物濃度校正装置1
0と、通常の試料導入管51からの測定試料100を真
空チャンバー52内へ連続的に洩れだし分子線53とし
て導入する試料導入手段であるキャピラリカラム54
と、上記洩れだし分子線53にレーザ光55を照射し、
レーザイオン化させるレーザ照射手段54と、レーザイ
オン化した分子を収束させる複数のイオン電極からなる
収束部56と、該収束された分子を選択濃縮するイオン
トラップ57と、一定周期で放出されたイオンをリフレ
クトロン58で反射させ、反射されたイオンを検出する
イオン検出器59を備えた飛行時間型質量分析装置60
とを具備してなるものである。なお、試料導入管には真
空ポンプ61が設けられており、試料の一部のみを上記
キャピラリカラム54へ導入している。そして、この検
出器59により検出された信号強度の比較から測定対象
のPCB濃度を求めることができる。計測されたPCB
濃度は、監視司令室へ送ると共に、例えばモニタ装置
(図示せず)等により外部へ公表するようにしてもよ
い。
[Second Embodiment] FIG. 1 is a schematic view of an organic trace component detection apparatus according to the present embodiment. Figure 4
As shown in FIG. 1, the organic trace component detection device 50 according to the present embodiment is a detection device that detects the concentration of organic trace components, and is the organic halide concentration calibration device 1 shown in FIG.
0 and a capillary column 54 which is a sample introduction means for continuously leaking a measurement sample 100 from a normal sample introduction tube 51 into the vacuum chamber 52 and introducing it as a molecular beam 53.
Then, the leaking molecular beam 53 is irradiated with a laser beam 55,
Laser irradiation means 54 for laser ionization, a converging part 56 composed of a plurality of ion electrodes for converging laser ionized molecules, an ion trap 57 for selectively concentrating the converged molecules, and a reflection of ions emitted at a constant period. Time-of-flight mass spectrometer 60 equipped with an ion detector 59 that reflects the ions reflected by the Ron 58 and detects the reflected ions.
And is provided. A vacuum pump 61 is provided in the sample introduction tube, and only a part of the sample is introduced into the capillary column 54. Then, the PCB concentration of the measurement object can be obtained by comparing the signal intensities detected by the detector 59. PCB measured
The concentration may be sent to the monitoring command room and may be disclosed to the outside by, for example, a monitor device (not shown).

【0051】上記ハロゲン化物濃度校正装置10を設け
ることにより、PCB処理施設内におけるPCB濃度を
連続して測定するに際し、飛行時間型質量分析装置60
の測定変動があった場合でも迅速に校正することができ
る。
By providing the above-mentioned halide concentration calibrating device 10, the time-of-flight mass spectrometer 60 is used for continuously measuring the PCB concentration in the PCB processing facility.
It is possible to calibrate quickly even if there is a measurement fluctuation.

【0052】また、試料導入管51と追い出しガス供給
管14の各々にはモニタリング用の所定濃度の内部標準
ガス(例えばモノクロルベンゼン)35が供給され、該
モニタリング用ガスを監視することで、測定の変動を検
知することができる。
Further, an internal standard gas (for example, monochlorobenzene) 35 having a predetermined concentration for monitoring is supplied to each of the sample introducing pipe 51 and the expelling gas supply pipe 14, and the monitoring gas is monitored to measure. Fluctuations can be detected.

【0053】すなわち、通常の測定では、PCBの濃度
はほぼ零であるので、実際に零なのか若しくは装置に異
常又は配管に詰まり等があって零を示しているか等の適
正か否かを判断するできない。しかし、上記モニタリン
グガスを供給することで常に一定濃度のピークとして検
知されるので、その変動により装置や配管等の異常を迅
速に検知することができる。
That is, in normal measurement, the concentration of PCB is almost zero, so it is determined whether it is actually zero or whether it is zero due to an abnormality in the device or clogging of the piping. I can't do it. However, by supplying the above-mentioned monitoring gas, it is always detected as a peak with a constant concentration, and therefore the abnormality in the device, piping, etc. can be promptly detected due to the fluctuation.

【0054】また、標準ガス15として校正する場合に
おいても、上記モニタリングガス35を供給すること
で、そのピークと標準ガスのピークとの比率が常に一定
であれば、標準ガスも適正であることを確認することが
できる。この、両者の測定した標準校正の測定チャート
の一例を図6に示す。
Also, in the case of calibrating as the standard gas 15, by supplying the monitoring gas 35, if the ratio between the peak and the standard gas is always constant, the standard gas is appropriate. You can check. An example of the measurement chart of the standard calibration measured by both is shown in FIG.

【0055】以下、測定装置の概要について説明する
が、本発明の校正装置に適用できる測定装置は以下の装
置に限定されるものではない。
The outline of the measuring device will be described below, but the measuring device applicable to the calibration device of the present invention is not limited to the following device.

【0056】上記ガス置換された採取試料51を導入す
る上記キャピラリカラム54は、イオン収束部56にそ
の先端が臨んでいるのが好ましく、具体的には、イオン
収束部56を構成する電極の内の最もキャピラリカラム
側の電極と面一又は電極よりもイオントラップ側へ突き
出しているようにするとよい。
It is preferable that the tip of the capillary column 54 into which the gas-exchanged sample 51 is introduced faces the ion converging portion 56. Specifically, among the electrodes forming the ion converging portion 56. It is preferable that the electrode is flush with the electrode closest to the capillary column or protrudes toward the ion trap side with respect to the electrode.

【0057】また、上記キャピラリカラムの材質は、石
英又はステンレスであることが好ましい。また、ステン
レス製とした場合には、イオン収束部56により電場を
かけることにより、制御が可能となる。
The material of the capillary column is preferably quartz or stainless steel. Further, when it is made of stainless steel, control can be performed by applying an electric field by the ion converging unit 56.

【0058】上記キャピラリカラムの孔径は1mm以
下、好適にはレーザ3mm程度とするのがよい。また、
キャピラリカラムの吹き出し口からレーザ照射位置まで
の距離は近ければ近いほどよいが、あまり近すぎてもレ
ーザ光により先端が破損するので、破損しない程度まで
近づけて(例えば1〜2mm程度)イオン化効率を向上
させることが好ましい。
The hole diameter of the capillary column is 1 mm or less, preferably about 3 mm for the laser. Also,
The closer the distance from the outlet of the capillary column to the laser irradiation position is, the better. However, if the distance is too close, the tip will be damaged by the laser light, so the ionization efficiency should be close enough to avoid damage (for example, about 1 to 2 mm). It is preferable to improve.

【0059】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光55のパルス波長は、後述すつ実施例に示すよう
に、300nm以下、好ましくは280nm以下、より
好ましくは266±10nm程度とするのがよい。これ
は300nmを超えると測定対象である有機微量成分の
イオン化が良好に行われないからである。
The pulse wavelength of the laser beam 55 emitted from the laser irradiating means 56 is 300 nm or less, preferably 280 nm or less, more preferably 266 ± 10 nm, as will be described later in Examples. . This is because if the thickness exceeds 300 nm, the ionization of the organic trace component, which is the object of measurement, will not be performed well.

【0060】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光56のパルス時間幅は500ピコ(10-12 )秒
以下、より好ましくは200ピコ秒以下のパルスレーザ
であることが好ましい。これはパルス時間幅がナノ秒
(10-9)のレーザでは検出感度が低く好ましくないか
らである。
The pulse time width of the laser beam 56 emitted from the laser irradiating means 56 is preferably 500 pico (10 -12 ) seconds or less, more preferably 200 pico seconds or less. This is because a laser having a pulse time width of nanosecond (10 −9 ) has low detection sensitivity and is not preferable.

【0061】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光のパルス繰り返し周波数は10MHz以上、特に
好適には76MHzであることが好ましい。これはパル
ス繰り返し周波数を向上させることで連続的にイオン化
効率が向上するからである。
The pulse repetition frequency of the laser light emitted from the laser irradiating means 56 is preferably 10 MHz or higher, and particularly preferably 76 MHz. This is because the ionization efficiency is continuously improved by improving the pulse repetition frequency.

【0062】このように、レーザ光のパルス時間幅を5
00ピコ秒(10-12 )以下と短くすることにより、レ
ーザ光によるPCBの分解を抑制し、検出感度を向上す
ることができる。
In this way, the pulse time width of the laser light is set to 5
By shortening it to 00 picoseconds (10 −12 ) or less, it is possible to suppress the decomposition of PCB by the laser beam and improve the detection sensitivity.

【0063】上記計測装置を用い、所定測定回数又は時
間が経過した場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置1
0からの標準ガス15で装置の校正をすることで、例え
ばPCB分解処理設備内のPCB濃度を迅速且つ的確に
長期間に亙って測定することができる。
Using the above measuring device, the organic halide concentration calibrating device 1 is used when a predetermined number of times of measurement or time has elapsed.
By calibrating the device with the standard gas 15 from 0, for example, the PCB concentration in the PCB decomposition treatment facility can be measured quickly and accurately over a long period of time.

【0064】[第3の実施の形態]図7に上記計測装置
を用いたPCB無害化処理設備におけるガス中の監視シ
ステムについて説明する。図1に示すように、本実施の
形態にかかるシステムは、有害物質である有機ハロゲン
化物(例えばPCB)が付着又は含有又は保存されてい
る被処理物を無害化する有害物質処理システムであっ
て、被処理物1001である有害物質( 例えばPCB)1002
を保存する容器1003から有害物質1002を抜き出す抜出し
手段1004と、被処理物1001を構成する構成材1001a,
b,…を解体する解体手段1005のいずれか一方又は両方
を有する前処理手段1006と、前処理手段1006において処
理された被処理物を構成する構成材であるコア1001aを
コイル1001bと鉄心1001cとに分離するコア分離手段10
07と、分離されたコイル1001bを銅線1001dと紙・木10
01eとに分離するコイル分離手段1008と、上記コア分離
手段1008で分離された鉄心1001cと解体手段1005で分離
された金属製の容器 (容器本体及び蓋等)1003 とコイル
分離手段1008で分離された銅線1001dとを洗浄液1010で
洗浄する洗浄手段1011と、洗浄後の洗浄廃液1012及び前
処理手段で分離した有害物質1002のいずれか一方又は両
方を分解処理する有害物質分解処理手段1013と、PCB
処理設備である有害物質分解処理手段1013から排出する
排水133 中のPCB濃度を計測する排水モニタリング手
段1100と、PCB処理物を解体する前処理手段1006内の
PCB濃度及び有害物質分解処理手段1013から排出する
排ガス131等のPCB濃度を計測する排気ガスモニタ
リング手段1200とを備えてなるものである。
[Third Embodiment] FIG. 7 shows a monitoring system for gas in a PCB detoxification treatment facility using the above-mentioned measuring device. As shown in FIG. 1, the system according to the present embodiment is a harmful substance treatment system for detoxifying an object to be treated to which an organic halide (eg, PCB), which is a harmful substance, is attached, contained, or stored. , Hazardous substance (eg PCB) 1002 which is the object to be treated 1001
Means 1004 for extracting the harmful substance 1002 from the container 1003 for storing the object, and the constituent material 1001a constituting the object 1001 to be processed,
b, ... Dismantling means 1005 for dismantling one or both of them, pretreatment means 1006, core 1001a which is a constituent material constituting the object processed in pretreatment means 1006, coil 1001b and iron core 1001c Core separation means 10 for separating into
07, separated coil 1001b, copper wire 1001d and paper / wood 10
Coil separating means 1008 for separating into 01e, iron core 1001c separated by the above core separating means 1008, metal container (container body and lid etc.) 1003 separated by disassembling means 1005 and coil separating means 1008 The cleaning means 1011 for cleaning the copper wire 1001d with the cleaning liquid 1010, and the harmful substance decomposition treatment means 1013 for decomposing either one or both of the cleaning waste liquid 1012 after the cleaning and the harmful substance 1002 separated by the pretreatment means, PCB
From the wastewater monitoring means 1100 that measures the PCB concentration in the wastewater 133 discharged from the hazardous substance decomposition processing means 1013 that is the treatment facility, and the PCB concentration and harmful substance decomposition processing means 1013 in the pretreatment means 1006 that disassembles the PCB-treated material. The exhaust gas monitoring means 1200 for measuring the PCB concentration of the exhaust gas 131 or the like to be discharged is provided.

【0065】また、上記有害物質が液体等の場合には、
有害物質分解処理手段1013に直接投入することで無害化
処理がなされ、その保管した容器は構成材の無害化処理
により、処理することができる。
When the harmful substance is a liquid or the like,
The harmful substance is decomposed by directly putting it into the harmful substance decomposition treatment means 1013, and the stored container can be treated by the detoxification treatment of the constituent materials.

【0066】ここで、処理設備から排出される排気ガス
については、活性炭フィルタを通過した後の排ガス中の
PCBの濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て、PCBの排出基準以下であることを確認するように
している。さらに、設備内にとどまらず、設備外の環境
中のPCB濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て監視するようにしてもよい。
Regarding the exhaust gas discharged from the treatment equipment, it is confirmed that the concentration of PCB in the exhaust gas after passing through the activated carbon filter is below the emission standard of PCB using the exhaust gas monitoring means 1200. I am trying to do it. Furthermore, the exhaust gas monitoring means 1200 may be used to monitor the PCB concentration in the environment outside the facility as well as inside the facility.

【0067】上記有害物質処理手段1013としては、図8
に示した水熱酸化分解処理する水熱酸化分解処理手段の
他に、例えば超臨界水酸化処理する超臨界水酸化処理手
段又はバッチ式の水熱酸化分解手段としてもよい。
The harmful substance processing means 1013 is shown in FIG.
In addition to the hydrothermal oxidative decomposition treatment means for hydrothermal oxidative decomposition treatment shown in (1), for example, a supercritical water oxidation treatment means for supercritical water oxidization treatment or a batch type hydrothermal oxidative decomposition treatment may be used.

【0068】本発明で被処理物としては、例えば絶縁油
としてPCBを用いてなるトランスやコンデンサ、有害
物質である塗料等を保存している保存容器を例示するこ
とができるが、これらに限定されるものではない。
Examples of the object to be treated in the present invention include, but are not limited to, transformers and capacitors using PCB as insulating oil, and storage containers for storing paints which are harmful substances. Not something.

【0069】また、蛍光灯用の安定器においても従来は
PCBが用いられていたので無害化処理する必要があ
り、この場合には、容量が小さいので前処理することな
く、分離手段1009に直接投入することで無害化処理する
ことができる。
PCBs have been conventionally used in ballasts for fluorescent lamps, so it is necessary to detoxify them. In this case, since the capacity is small, there is no need for pretreatment, and the separation means 1009 can be directly treated. It can be detoxified by throwing it in.

【0070】よって、本計測装置を用いて、所定時間毎
にPCBの濃度の有無を分析している際に、所定時間経
過(例えば1週間又は10日等)する度に、校正装置か
ら校正ガスを投入することで、常に測定装置が健全であ
ることを実証することができる。
Therefore, when the presence / absence of PCB concentration is analyzed at every predetermined time using this measuring device, the calibration gas is supplied from the calibration device every time a predetermined time elapses (for example, one week or 10 days). It is possible to always prove that the measuring device is sound by inputting.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
上記計測装置を用い、所定測定回数又は時間が経過した
場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置からの標準品で
校正をすることで、例えばPCB分解処理設備内のPC
B濃度を迅速且つ的確に長期間に亙って測定することが
できる。
As described above, according to the present invention,
By using the above-mentioned measuring device and calibrating with a standard product from an organic halide concentration calibrating device when a predetermined number of measurements or time has elapsed, for example, a PC in a PCB decomposition treatment facility
The B concentration can be measured quickly and accurately over a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1の実施の形態にかかる有機ハロゲン化物濃
度校正装置の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of an organic halide concentration calibrating apparatus according to a first embodiment.

【図2】有機ハロゲン化物濃度校正装置の要部概略図で
ある。
FIG. 2 is a schematic view of a main part of an organic halide concentration calibrating device.

【図3】標準容器の概略図である。FIG. 3 is a schematic view of a standard container.

【図4】他の標準容器の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of another standard container.

【図5】他の標準容器の概略図である。FIG. 5 is a schematic view of another standard container.

【図6】標準校正の測定チャート図である。FIG. 6 is a measurement chart of standard calibration.

【図7】PCB無害化処理システムの概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram of a PCB detoxification processing system.

【図8】水熱分解装置の概要図である。FIG. 8 is a schematic diagram of a hydrothermal decomposition apparatus.

【図9】従来技術にかかるレーザ計測装置の概略図であ
る。
FIG. 9 is a schematic diagram of a laser measuring device according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 有機ハロゲン化物濃度校正装置 11 所定濃度の有機ハロゲン化物 12 標準容器 13 追出しガス 14 追い出しガス供給管 15 標準ガス 16 標準ガス導入管 50 有機ハロゲン化物の検出装置 51 採取試料 52 真空チャンバー 53 洩れだし分子線 54 キャピラリカラム 55 レーザ光 56 収束部 57 イオントラップ 58 リフレクトロン 59 イオン検出器 60 飛行時間型質量分析装置 10 Organic Halide Concentration Calibration Device 11 Predetermined concentration of organic halide 12 standard containers 13 Expulsion gas 14 Drive-out gas supply pipe 15 standard gas 16 Standard gas inlet pipe 50 Organic halide detector 51 Collected samples 52 Vacuum chamber 53 Leakage molecular beam 54 capillary columns 55 laser light 56 Converging section 57 Ion trap 58 Reflectron 59 Ion detector 60 time-of-flight mass spectrometer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土橋 晋作 長崎県長崎市深堀町五丁目717番1号 三 菱重工業株式会社長崎研究所内   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Shinsaku Dobashi             3-5-1, 717-1, Fukahori-cho, Nagasaki-shi, Nagasaki             Hishi Heavy Industries Ltd. Nagasaki Research Center

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部に所定濃度の有機ハロゲン化物を封
入した標準容器と、 該標準容器に上記有機ハロゲン化物を追い出す追出しガ
スを供給し、所定濃度の有機ハロゲン化物を同伴させ、
質量分析装置へ導入する標準ガス導入管と、を具備する
ことを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。
1. A standard container in which an organic halide having a predetermined concentration is enclosed, and a purging gas for expelling the organic halide is supplied to the standard container to accompany the organic halide having a predetermined concentration,
An apparatus for calibrating an organic halide concentration, comprising: a standard gas introduction pipe introduced into a mass spectrometer.
【請求項2】 請求項1において、 上記標準容器を雰囲気温度+5〜100℃に保持する保
温手段を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃
度校正装置。
2. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, further comprising a heat retaining unit that keeps the standard container at an ambient temperature of +5 to 100 ° C.
【請求項3】 請求項1において、 上記標準ガス導入管を150℃以上に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置。
3. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, further comprising a heat retaining means for holding the standard gas introducing pipe at 150 ° C. or higher.
【請求項4】 請求項1において、 上記標準容器内に複数の細孔を有するディスクが内装さ
れていることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装
置。
4. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, wherein a disk having a plurality of pores is provided inside the standard container.
【請求項5】 請求項1において、 上記標準容器内にグラスファイバー又はビーズが充填さ
れていることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装
置。
5. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, wherein the standard container is filled with glass fiber or beads.
【請求項6】 請求項4又は5において、 上記標準容器内の底部に追出しガスを供給する供給管の
供給口が臨むように挿入され、供給されたガスを容器上
部から排出することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度
校正装置。
6. The method according to claim 4, wherein the supply port of the supply pipe for supplying the purge gas is inserted into the bottom of the standard container so as to face it, and the supplied gas is discharged from the upper part of the container. Organic halide concentration calibration device.
【請求項7】 請求項1において、 上記標準容器内面がポリテトラフルオロエチレン又は酸
化ケイ素のコーティング層が形成されていることを特徴
とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。
7. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, wherein the inner surface of the standard container is provided with a coating layer of polytetrafluoroethylene or silicon oxide.
【請求項8】 請求項1において、 上記標準容器が着脱自在であることを特徴とする有機ハ
ロゲン化物濃度校正装置。
8. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, wherein the standard container is removable.
【請求項9】 請求項8において、 上記着脱自在の標準容器が密閉容器に内装されているこ
とを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。
9. The organic halide concentration calibrating device according to claim 8, wherein the removable standard container is housed in a closed container.
【請求項10】 請求項9において、 上記標準容器内に検知物質を供給すると共に、上記密閉
容器内に該検知物質を検出するセンサを設けたことを特
徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。
10. The organic halide concentration calibrating device according to claim 9, further comprising a sensor for supplying the detection substance into the standard container and a sensor for detecting the detection substance in the closed container.
【請求項11】 請求項10において、 上記検知物質が水素であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置。
11. The organic halide concentration calibrating device according to claim 10, wherein the detection substance is hydrogen.
【請求項12】 請求項1において、 上記測定試料がPCBであることを特徴とする有機ハロ
ゲン化物濃度校正装置。
12. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, wherein the measurement sample is PCB.
【請求項13】 請求項1乃至12のいずれか一項の有
機ハロゲン化物濃度校正装置と、 測定ラインからの試料を真空チャンバー内へ連続的に導
入する試料導入手段と、 導入された試料にレーザを照射し、レーザイオン化させ
るレーザ照射手段と、レーザイオン化した分子を収束さ
せる収束部と、 該収束された分子を選択濃縮するイオントラップと、 一定周期で放出されたイオンを検出するイオン検出器を
備えた飛行時間型質量分析装置とを具備してなることを
特徴とする有機微量成分の検出装置。
13. The organic halide concentration calibrating device according to claim 1, sample introducing means for continuously introducing a sample from a measurement line into a vacuum chamber, and a laser for introducing the sample. A laser irradiation means for irradiating the laser beam for laser ionization, a converging unit for converging the laser ionized molecules, an ion trap for selectively concentrating the converged molecules, and an ion detector for detecting the ions emitted at a constant period. A time-of-flight mass spectrometer provided with the detection apparatus for organic trace components.
【請求項14】 請求項13の有機微量成分の検出装置
において、 上記試料導入手段がキャピラリカラムであり、その先端
がイオン収束部に臨んでいることを特徴とする有機微量
成分の検出装置。
14. The organic trace component detection device according to claim 13, wherein the sample introduction means is a capillary column, and the tip of the capillary column faces the ion converging portion.
【請求項15】 請求項13の有機微量成分の検出装置
において、 上記レーザのパルス波長が280nm以下であることを
特徴とする有機微量成分の検出装置。
15. The organic trace component detection apparatus according to claim 13, wherein the laser has a pulse wavelength of 280 nm or less.
【請求項16】 請求項13の有機微量成分の検出装置
において、 上記レーザのパルス時間幅が500ピコ秒以下であるこ
とを特徴とする有機微量成分の検出装置。
16. The organic trace component detection device according to claim 13, wherein the pulse time width of the laser is 500 picoseconds or less.
【請求項17】 請求項13の有機微量成分の検出装置
を用い、所定測定回数毎に有機ハロゲン化物濃度校正装
置で有機ハロゲン化物の濃度を校正しつつ有機ハロゲン
化物を計測することを特徴とする有機微量成分の検出方
法。
17. The organic trace component detecting device according to claim 13, wherein the organic halide concentration is calibrated by an organic halide concentration calibrating device every predetermined number of measurements, and the organic halide is measured. Method for detecting organic trace components.
【請求項18】 請求項17において、 上記測定試料がPCBであることを特徴とする有機微量
成分の検出方法。
18. The method for detecting an organic trace component according to claim 17, wherein the measurement sample is PCB.
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