JP2002323414A - Quantity-of-residue measuring instrument - Google Patents

Quantity-of-residue measuring instrument

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JP2002323414A
JP2002323414A JP2001131056A JP2001131056A JP2002323414A JP 2002323414 A JP2002323414 A JP 2002323414A JP 2001131056 A JP2001131056 A JP 2001131056A JP 2001131056 A JP2001131056 A JP 2001131056A JP 2002323414 A JP2002323414 A JP 2002323414A
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JP
Japan
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measuring
residual
measured
amount
residue
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001131056A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Deguchi
祥啓 出口
Masakazu Tateishi
正和 立石
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a quantity-of-residue measuring instrument that can quickly measure the quantities of residues left on the surfaces of a washed container and member. SOLUTION: This instrument measures the quantity of the residue 12 left on the surface of, for example, a container 11 which is an object to be measured. The instrument is provided with an aspirator 13 which closely adheres to the surface 11a of the container 11 in a watertight state, a pressure reducing means (not shown in the figure) which reduces the pressure in the aspirator 13, and a vaporizing means 14 which vaporizes the residue 12 sucked into the aspirator 13. This instrument is also provided with a measuring means (mass spectrometer) 50 which measures the produced vapor 15.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄処理した容器
及び部材の表面に残留する残留物を迅速に測定すること
ができる残留物量測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a residue measuring device capable of quickly measuring residues remaining on the surfaces of containers and members that have been subjected to a cleaning treatment.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばトランスやコンデンサ等の電気機
器などにおいては、従来、優れた絶縁特性を有するポリ
塩化ビフェニル類(PCB類)が絶縁油に利用されてい
た。このPCB類は、人体や環境に対して悪影響を与え
るため、現在、上記電気機器などの絶縁体としての利用
はもちろんのこと、その製造や使用が禁止されている。
このため、PCB類を絶縁油に利用した上記電気機器な
どにおいては、当該絶縁油を内部から抜き出して無害化
処理すると共に、PCB類の付着残留する容器及びその
構成部品等の部材を洗浄処理している。
2. Description of the Related Art For example, in electrical equipment such as transformers and capacitors, polychlorinated biphenyls (PCBs) having excellent insulating properties have been used as insulating oils. Since these PCBs have an adverse effect on the human body and the environment, their use and production as well as insulators for the above-mentioned electrical equipment are currently prohibited.
For this reason, in the above-mentioned electric equipment and the like using PCBs as insulating oil, the insulating oil is extracted from the inside and subjected to detoxification treatment, and at the same time, members such as containers and components of PCBs with residual adhesion are cleaned. ing.

【0003】このPCB類の付着残留した部材の洗浄処
理は、従来、当該部材をn−ヘキサン等のような有機溶
剤中に浸漬して超音波洗浄し、部材の表面に付着残留す
るPCB類濃度が規定値(10μg/m2 )以下になる
まで繰り返し行うようにしている(通常、5〜6回程
度)。
[0003] In the cleaning treatment of a member having PCBs remaining thereon, conventionally, the member is immersed in an organic solvent such as n-hexane and subjected to ultrasonic cleaning to obtain a concentration of PCBs remaining on the surface of the member. Is repeated until the value becomes equal to or less than a specified value (10 μg / m 2 ) (usually about 5 to 6 times).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】その後、該洗浄が良好
であるかを確認する場合には、例えば所定面積を脱脂綿
等でふきとりそのふきとり物を有機溶剤で抽出して残留
量を測定するいわゆるふきとり検査を行なって、所定値
(例えばPCBの場合には、表面濃度が10μg/
2 )以下であることを確認している。しかしながら、
該ふきとり検査は手間と時間とがかかり、迅速な判定が
できないという、問題がある。この結果、PCB等の有
害物質を大量処理するような場合には、簡易で迅速な判
定法が望まれている。
Thereafter, in order to check whether the cleaning is good, for example, a predetermined area is wiped with absorbent cotton or the like, and the wiped material is extracted with an organic solvent to measure a residual amount. An inspection is performed and a predetermined value (for example, in the case of PCB, the surface concentration is 10 μg /
m 2 ). However,
There is a problem in that the wipe test requires time and effort and cannot be performed quickly. As a result, when a large amount of harmful substances such as PCBs are processed, a simple and quick determination method is desired.

【0005】また、PCBに限らずに、容器の残留物質
の有無を確認して洗浄の適否を迅速に判断する場合に
は、従来のいわゆるふきとり検査では時間がかかり、代
替の分析手段の出現が望まれている。
[0005] In addition to the PCB, when it is necessary to confirm the presence or absence of residual substances in a container and quickly judge the suitability of cleaning, the conventional so-called wiping test takes time, and the emergence of alternative analysis means. Is desired.

【0006】さらに、洗浄物に限らず、PCBが付着残
留した部材等のPCB残留量を計測したいという要望が
あるが、上述したような有機溶剤で抽出してその残留P
CBを抽出して分析する場合には、手間と時間がかか
り、迅速計測の要望がある。
[0006] Further, there is a demand not only for the cleaning object but also for measuring the residual amount of PCB such as a member to which PCB has adhered. However, the residual P is extracted by using an organic solvent as described above.
When extracting and analyzing CB, it takes time and effort, and there is a demand for quick measurement.

【0007】本発明は、上記問題に鑑み、洗浄処理した
容器及びその構成部品等の部材の表面に残留する残留物
を迅速に測定することができる残留物量測定装置を提供
することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a residue measuring apparatus capable of quickly measuring the residue remaining on the surface of a member such as a container subjected to a cleaning treatment and its components. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の第1の発明は、測定対象物の残留物質の残留量を測
定する残留物量測定装置であって、上記測定対象物に水
密状態で密着してなる吸引器と、該容器内を減圧する減
圧手段と、該容器内に外部より残留物質を気化させる気
化手段と、該気化した計測対象物を計測する計測手段と
を具備してなることを特徴とする残留物量測定装置にあ
る。
According to a first aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems, there is provided a residue amount measuring apparatus for measuring a residual amount of a residual substance of an object to be measured. A suction device, a pressure reducing means for reducing the pressure inside the container, a vaporizing means for vaporizing a residual substance from the outside of the container, and a measuring means for measuring the vaporized measurement object. The residue amount measuring device is characterized in that:

【0009】第2の発明は、測定対象物の残留物質の残
留量を測定する残留物量測定装置であって、上記測定対
象物を載置する平板と、該平板と水密状態で密着してな
る略半球状のおわん型吸引容器と、該容器内を減圧する
減圧手段と、該容器内に外部より残留物質を気化させる
気化用高温気体を導入する手段と、該導入された高温気
体により気化した計測対象物を計測する計測手段とを具
備してなることを特徴とする残留物量測定装置にある。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a residue measuring apparatus for measuring a residual amount of a residual substance in an object to be measured. A substantially hemispherical bowl-shaped suction container, a decompression means for depressurizing the inside of the container, a means for introducing a high-temperature gas for vaporization for evaporating a residual substance from the outside into the container, and a vaporization by the introduced high-temperature gas A residual amount measuring apparatus comprising: a measuring means for measuring an object to be measured.

【0010】第3の発明は、第1又は2の発明におい
て、上記残留分析の気化を外部から高温不活性ガスを導
入して行なうことを特徴とする残留物量測定装置にあ
る。
A third aspect of the present invention is the residue measuring apparatus according to the first or second aspect, wherein the vaporization of the residual analysis is performed by introducing a high-temperature inert gas from the outside.

【0011】第4の発明は、第1又は2の発明におい
て、上記計測手段の気化を吸引器内に設けた加熱手段の
加熱により行なうことを特徴とする残留物量測定装置に
ある。
According to a fourth aspect, in the first or second aspect, there is provided a residue amount measuring apparatus, wherein the vaporization of the measuring means is performed by heating a heating means provided in the suction device.

【0012】第5の発明は、第1又は2の発明におい
て、上記気化計測対象物を計測手段へ送給する送給管を
保温してなることを特徴とする残留物量測定装置にあ
る。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first or second aspect, there is provided an apparatus for measuring the amount of residues, wherein a feed pipe for feeding the vaporized measurement object to the measuring means is kept warm.

【0013】第6の発明は、第1又は2の発明におい
て、上記計測手段が質量分析装置であることを特徴とす
る残留物量測定装置にある。
According to a sixth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the measuring means is a mass spectrometer.

【0014】第7の発明は、第1又は2の発明におい
て、上記計測対象物がPCBが付着した付着物の洗浄後
のものであることを特徴とする残留物量測定装置にあ
る。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the residue measuring apparatus according to the first or second aspect, wherein the object to be measured is a substance after cleaning of the adhered substance on which the PCB is adhered.

【0015】第8の発明は、第2の発明において、上記
計測対象物がPCBが付着した部材又はPCBを拭き取
った拭き取り物であることを特徴とする残留物量測定装
置にある。
An eighth invention is the residue measuring apparatus according to the second invention, wherein the object to be measured is a member to which the PCB is adhered or a wiping object obtained by wiping the PCB.

【0016】第9の発明は、第1乃至7の残留物量測定
装置を用い、PCB処理設備の洗浄工程の終了した洗浄
品のPCB付着量を計測することを特徴とする残留物量
測定方法にある。
A ninth aspect of the present invention is a method for measuring the amount of residue, wherein the amount of PCB adhered to a cleaned product after the cleaning step of the PCB processing equipment is measured using the first to seventh residue amount measuring devices. .

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.

【0018】[第1の実施の形態]図1は本実施の形態
にかかる残留物量測定装置の断面概略図であり、図2は
その測定状況を示す図面である。これらの図面に示すよ
うに、本実施の形態にかかる残留物量測定装置10は、
測定対象物である例えば容器11の表面に残留した残留
物質(例えばPCB)12の残留量を測定する装置であ
って、上記測定対象物である容器11の表面11aに水
密状態で密着してなる吸引器13と、該吸引器13内を
減圧する図示しない減圧手段と、該吸引器13内の残留
物質を気化させる気化手段14と、該気化された気化物
15を計測する計測手段(例えば質量分析装置)50と
を具備してなるものである。
[First Embodiment] FIG. 1 is a schematic sectional view of an apparatus for measuring the amount of residues according to the present embodiment, and FIG. 2 is a drawing showing the measurement state. As shown in these drawings, the residue amount measuring device 10 according to the present embodiment includes:
This is a device for measuring the residual amount of the residual substance (for example, PCB) 12 remaining on the surface of the container 11 which is the object to be measured, for example, which is in close contact with the surface 11a of the container 11 which is the object to be measured in a watertight manner. Aspirator 13, depressurizing means (not shown) for decompressing the interior of the aspirator 13, vaporizing means 14 for vaporizing the residual substance in the aspirator 13, and measuring means for measuring the vaporized substance 15 (for example, mass (Analysis device) 50.

【0019】上記吸引器13は、本実施の形態において
は、半球状のスカート部の下端開口縁部13aの材質を
容器11との密着性が向上するような例えばフッ素樹脂
(例えば「テフロン(商品名)」)等の水密性向上の材
質として外部と遮断するようにしている。また、図示し
ない減圧手段での吸引器13内の減圧は1〜760to
rr,5〜200torrとするのが好ましい。
In the present embodiment, in the present embodiment, the suction device 13 is made of a material such as a fluororesin (for example, “Teflon (trademark)” that improves the adhesion to the container 11 by changing the material of the lower opening edge 13 a of the hemispherical skirt. No.))) and other materials to improve watertightness so as to shut off the outside. Further, the pressure inside the suction device 13 is reduced by 1 to 760 to
rr, preferably 5 to 200 torr.

【0020】ここで、本実施の形態においては、上記吸
引器13の上端開口部には、気化物15を分析する質量
分析装置50へ送給する送給管16が設けられている。
また、この送給管16には、高温の不活性ガス17を導
入する導入管18が内挿されており、吸引器13内部へ
高温の不活性ガス17を導入するようにしている。
Here, in the present embodiment, a feed pipe 16 for feeding the mass spectrometer 50 for analyzing the vapor 15 is provided at the upper end opening of the suction device 13.
An introduction pipe 18 for introducing a high-temperature inert gas 17 is inserted into the supply pipe 16 so that the high-temperature inert gas 17 is introduced into the suction device 13.

【0021】上記導入される不活性ガス17は、例えば
ヘリウム(He)、窒素(N2 )等を用いるのが好まし
い。また、残留物質が気化するようにガスを100〜2
00℃程度に加熱している。なお、本発明においては、
気化手段は本実施の形態に限定されるものではなく、例
えば内部に加熱手段を設けて気化させるようにしてもよ
い。
As the inert gas 17 to be introduced, for example, helium (He), nitrogen (N 2 ) or the like is preferably used. Further, the gas is supplied to the gas for 100 to 2 so that the residual substance is vaporized.
It is heated to about 00 ° C. In the present invention,
The vaporizing means is not limited to the present embodiment, and for example, a vaporizing means may be provided inside for vaporizing.

【0022】また、気化した残留物質が分析装置へ導入
される過程で送給管16の管内に付着するのを防止する
ために、送給管16及び吸引器13の外周を例えば加温
手段(ニクロム線等)等を備えた保温手段19で加温す
るようにしている。
Further, in order to prevent the vaporized residual substance from adhering to the inside of the feed pipe 16 in the course of being introduced into the analyzer, the outer circumferences of the feed pipe 16 and the suction device 13 are heated, for example, by heating means ( Heating means 19 provided with a nichrome wire or the like is used.

【0023】図3は容器を開口部側からみた斜視図であ
り、その開口部Dを所定開口径として、残留濃度の計測
を行なっている。例えばPCBを例にすると、トランス
等の容器表面の残留濃度は10μg/m 2 と規定されて
おり、また構成部品等は0.01mg/kg以下となるよ
うに規定されている。
FIG. 3 is a perspective view of the container as viewed from the opening side.
And measuring the residual concentration using the opening D as a predetermined opening diameter.
Are doing. For example, taking a PCB as an example, a transformer
The residual concentration on the surface of the container is 10 μg / m TwoStipulated
And the component parts etc. are less than 0.01mg / kg
Stipulated.

【0024】[第2の実施の形態]図4は第2の実施の
形態にかかる残留物量測定装置の断面概略図である。図
4に示すように、本実施の形態にかかる残留物量測定装
置10は、測定対象物である例えばトランスやコンデン
サを構成する容器片や碍子や各種破砕片やコイル(裁断
物を含む)等の測定対象物21の表面に残留した残留物
質(例えばPCB)12の残留量を測定する装置であっ
て、上記測定対象物11を載置する平滑面を有する平板
22と、該平板22と水密状態で密着してなる吸引器1
3と、該吸引器13内を減圧する図示しない減圧手段
と、該吸引器13内の残留物質を気化させる気化手段1
4と、該気化された残留物質15を計測する計測手段で
ある質量分析装置50とを具備してなるものである。
[Second Embodiment] FIG. 4 is a schematic sectional view of a residue measuring apparatus according to a second embodiment. As shown in FIG. 4, the residue amount measuring apparatus 10 according to the present embodiment includes a measuring object such as a container piece, an insulator, various crushed pieces, a coil (including a cut piece) or the like constituting a transformer or a capacitor. An apparatus for measuring the residual amount of a residual substance (for example, PCB) 12 remaining on the surface of a measurement object 21, a flat plate 22 having a smooth surface on which the measurement object 11 is placed, and a watertight state with the flat plate 22 Suction device 1
3, depressurizing means (not shown) for depressurizing the inside of the suction device 13, and vaporizing means 1 for evaporating the residual substance in the suction device 13
4 and a mass spectrometer 50 which is a measuring means for measuring the vaporized residual substance 15.

【0025】本実施の形態においては、吸引器内部に赤
外線ヒータ23を設けてなり、吸引器13の内面を該赤
外線の反射が良好なような反射面としている。
In the present embodiment, an infrared heater 23 is provided inside the suction device, and the inner surface of the suction device 13 is a reflection surface that reflects the infrared light well.

【0026】なお、測定は平板22の上に測定対象物を
載せ、吸引器で該対象物を覆い、外部の減圧手段で減圧
することで所定圧力とした後、赤外線ヒータ23を加熱
して残留物質を気化させている。
In the measurement, an object to be measured is placed on the flat plate 22, the object is covered with a suction device, and the pressure is reduced by an external pressure reducing means to a predetermined pressure. The substance is being vaporized.

【0027】本実施の形態の残留物量測定装置によれ
ば、第1の実施の形態の装置では直接密着させてその表
面の残留物濃度を計測することが不可能な部材の該部材
表面の残留物の残留量を測定することができる。
According to the residual amount measuring apparatus of the present embodiment, the apparatus of the first embodiment is in direct contact with the apparatus of the first embodiment to measure the residual concentration on the surface. The residual amount of the object can be measured.

【0028】また、本実施の形態において測定する対象
物として、洗浄後の部材に限定されるものではなく、例
えばPCBが付着した部材やPCB等の有害物質を拭き
取った拭き取り物等の有害物質測定量を計測するように
してもよい。
The object to be measured in the present embodiment is not limited to the member after cleaning, but may be, for example, a member to which PCB is adhered or a harmful substance such as a wiped object obtained by wiping harmful substances such as PCB. The amount may be measured.

【0029】[第3の実施の形態]図5は本実施の形態
にかかる残留物量測定装置の残留物を計測する質量分析
計測装置の概略図の一例である。図5に示すように、本
実施の形態にかかる有機ハロゲン化物の検出装置50
は、気化残留物の有機ハロゲン化物の濃度を検出する検
出装置であって、気化物質51を真空チャンバー52内
へ連続的に洩れだし分子線53として導入する試料導入
手段であるキャピラリカラム54と、上記洩れだし分子
線53にレーザ光55を照射し、レーザイオン化させる
レーザ照射手段54と、レーザイオン化した分子を収束
させる複数のイオン電極からなる収束部56と、該収束
された分子を選択濃縮するイオントラップ57と、一定
周期で放出されたイオンをリフレクトロン58で反射さ
せ、反射されたイオンを検出するイオン検出器59を備
えた飛行時間型質量分析装置60とを具備してなるもの
である。そして、この検出器59により検出された信号
強度の比較から測定対象のPCB濃度を求めることがで
きる。計測されたPCB濃度は、洗浄設備や監視司令室
へ送り、洗浄工程での洗浄の適否を監視している。
[Third Embodiment] FIG. 5 is an example of a schematic diagram of a mass spectrometer for measuring the residue of the residue measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 5, an organic halide detection device 50 according to the present embodiment is shown.
Is a detection device for detecting the concentration of the organic halide in the vaporized residue, a capillary column 54 which is a sample introduction means for continuously leaking the vaporized substance 51 into the vacuum chamber 52 and introducing it as a molecular beam 53, A laser irradiation means 54 for irradiating the leaked molecular beam 53 with a laser beam 55 for laser ionization, a converging section 56 composed of a plurality of ion electrodes for converging the laser ionized molecules, and selectively concentrating the converged molecules. It comprises an ion trap 57 and a time-of-flight mass spectrometer 60 provided with an ion detector 59 for reflecting ions emitted at a constant period by a reflectron 58 and detecting the reflected ions. . Then, from the comparison of the signal intensities detected by the detector 59, the PCB concentration of the measurement target can be obtained. The measured PCB concentration is sent to a cleaning facility or a monitoring command room to monitor the suitability of cleaning in the cleaning process.

【0030】図6(a)及び(b)にPCBを検出した
イオン検出器からのシグナルを示す。ここで、横軸は飛
行時間(秒)であり、縦軸はイオン信号強度(V)であ
る。なお、4塩素のPCBについては図6(a)の拡大
図として図2(b)に示した。この計測システムを用い
ることにより、PCB濃度を検出感度が0.01mg/N
3 、検出時間が1分以内の高感度迅速分析が可能とな
る。
FIGS. 6A and 6B show signals from the ion detector which detected PCB. Here, the horizontal axis is the flight time (second), and the vertical axis is the ion signal intensity (V). FIG. 2B is an enlarged view of FIG. 6A for the 4-chlorine PCB. By using this measurement system, the detection sensitivity of the PCB concentration is 0.01 mg / N.
High sensitivity and rapid analysis with m 3 and detection time within 1 minute is possible.

【0031】[第4の実施の形態]次に、本発明の残留
物量測定装置を備えた用いたPCB無害化処理設備につ
いて図7を参照して説明する。図7に示すように、PC
B無害化処理システムは、有害物質であるPCBが付着
又は含有又は保存されている被処理物を無害化する有害
物質処理システムであって、被処理物1001である有害物
質( 例えばPCB)1002 を保存する容器1003から有害物
質1002を分離する分離手段1004と、被処理物1001を構成
する構成材1001a,b,…を解体する解体手段1005のい
ずれか一方又は両方を有する前処理手段1006と、前処理
手段1006において処理された被処理物を構成する構成材
であるコア1001aをコイル1001bと鉄心1001cとに分離
するコア分離手段1007と、分離されたコイル1001bを銅
線1001dと紙・木1001eとに分離するコイル分離手段10
08と、上記コア分離手段1008で分離された鉄心1001cと
解体手段1005で分離された金属製の容器 (容器本体及び
蓋等)1003 とコイル分離手段1008で分離された銅線1001
dとを洗浄液1010で洗浄する洗浄手段1011と、洗浄後の
洗浄廃液1012及び前処理手段で分離した有害物質1002の
いずれか一方又は両方を分解処理する有害物質分解処理
手段1013と、上記洗浄手段1011で洗浄された容器1002や
コイル・鉄心等の無機物1008の表面に残留しているPC
B濃度を上述した計測装置で測定する測定手段1016と
を、具備してなるものである。
[Fourth Embodiment] Next, a PCB detoxification treatment facility using a residue amount measuring apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG.
The B detoxification processing system is a harmful substance treatment system for detoxifying an object to be treated on which a harmful substance, PCB is attached, contained, or stored. A separation means 1004 for separating the harmful substance 1002 from the container 1003 to be stored, and a pretreatment means 1006 having one or both of the disassembly means 1005 for disassembling the constituent materials 1001a, b,. Core separating means 1007 for separating a core 1001a, which is a constituent material of the object to be processed, in the preprocessing means 1006 into a coil 1001b and an iron core 1001c; Coil separating means 10
08, the iron core 1001c separated by the core separation means 1008 and the metal container (container body and lid etc.) 1003 separated by the disassembly means 1005 and the copper wire 1001 separated by the coil separation means 1008
a cleaning means 1011 for cleaning d with a cleaning liquid 1010; a harmful substance decomposition processing means 1013 for decomposing one or both of a cleaning waste liquid 1012 after cleaning and a harmful substance 1002 separated by the pretreatment means; PC remaining on the surface of containers 1002 and inorganic materials 1008 such as coils and iron cores cleaned in 1011
And a measuring means 1016 for measuring the B concentration with the above-described measuring device.

【0032】ここで、本発明で無害化処理する有害物質
としては、PCBの他に例えば、塩化ビニルシート、有
害廃棄塗料、廃棄燃料、有害薬品、廃棄樹脂、未処理爆
薬等を挙げることができるが、環境汚染に起因する有害
物質であればこれらに限定されるものではない。
The harmful substances to be detoxified in the present invention include, in addition to PCBs, for example, vinyl chloride sheets, hazardous waste paints, waste fuels, hazardous chemicals, waste resins, untreated explosives and the like. However, as long as it is a harmful substance caused by environmental pollution, it is not limited thereto.

【0033】また、本発明で被処理物としては、例えば
絶縁油としてPCBを用いてなるトランスやコンデン
サ、有害物質である塗料等を保存している保存容器を例
示することができるが、これらに限定されるものではな
い。
Examples of the object to be treated in the present invention include, for example, transformers and capacitors using PCB as an insulating oil, and storage containers for storing paints that are harmful substances. It is not limited.

【0034】また、蛍光灯用の安定器においても従来は
PCBが用いられていたので無害化処理する必要があ
り、この場合には、容量が小さいので前処理することな
く、分離手段1009に直接投入することで無害化処理する
ことができる。
Also, in the ballast for fluorescent lamps, PCB has been conventionally used, so that it is necessary to perform detoxification treatment. In this case, since the capacity is small, it is not necessary to perform pretreatment and directly to the separation means 1009. Detoxification treatment can be performed by charging.

【0035】また、上記有害物質が液体等の場合には、
有害物質分解処理手段1013に直接投入することで無害化
処理がなされ、その保管した容器は構成材の無害化処理
により、処理することができる。処理後の液について
は、PCBの排出基準である3ppb以下であることを
確認する必要がある。なお、有害物質処理手段1013の構
成は、種々の分解処理装置を用いることができるが、炭
酸ナトリウムを用いた高温高圧の水熱分解装置を用いる
とより好ましい。
When the harmful substance is a liquid or the like,
Detoxification processing is performed by directly charging the harmful substance decomposition processing means 1013, and the stored container can be processed by detoxification processing of the constituent materials. It is necessary to confirm that the liquid after the treatment is 3 ppb or less, which is the PCB discharge standard. Although various decomposing apparatuses can be used for the configuration of the harmful substance processing means 1013, it is more preferable to use a high-temperature and high-pressure hydrothermal decomposition apparatus using sodium carbonate.

【0036】図8に水熱装置の概略を示す。図8にに示
すように、水熱分解装置120は、サイクロンセパレー
タ121を併設した筒形状の一次反応器122と、PC
B、H2OおよびNaOHの処理液123を加圧する加
圧ポンプ124と、当該混合液を予熱する予熱器125
と、配管を巻いた構成の二次反応器126と、冷却器1
27および減圧弁128とを備えてなるものである。ま
た、減圧弁127の下流には、気液分離器129、活性
炭槽130が配置されており、排ガス(CO2)131
は煙突132から外部へ排出され、排水(H2 O,Na
Cl)133は別途、必要に応じて排水処理される。ま
た、処理液123となるPCBの配管134には、H2
OおよびNaOHがそれぞれ導入される。また、酸素の
配管135は、一次反応器125に対して直結してい
る。
FIG. 8 schematically shows a hydrothermal apparatus. As shown in FIG. 8, the hydrothermal decomposition apparatus 120 includes a cylindrical primary reactor 122 provided with a cyclone separator 121, and a PC.
B, a pressurizing pump 124 for pressurizing the processing liquid 123 of H 2 O and NaOH, and a preheater 125 for preheating the mixed liquid
, A secondary reactor 126 having a configuration wound with piping, and a cooler 1
27 and a pressure reducing valve 128. Further, a gas-liquid separator 129 and an activated carbon tank 130 are disposed downstream of the pressure reducing valve 127, and the exhaust gas (CO 2 ) 131
Is discharged from the chimney 132 to the outside, and the wastewater (H 2 O, Na
Cl) 133 is separately subjected to drainage treatment as needed. In addition, H 2 is supplied to the piping 134 of the PCB that becomes the processing liquid 123.
O and NaOH are each introduced. The oxygen pipe 135 is directly connected to the primary reactor 125.

【0037】上記装置において、加圧ポンプ124によ
る加圧により一次反応器122内は、26MPaまで昇
圧される。また、予熱器125は、PCB、H2Oおよ
びNaOHの混合処理液123を300℃程度に予熱す
る。また、一次反応器122内には酸素が噴出してお
り、内部の反応熱により380℃〜400℃まで昇温す
る。サイクロンセパレータ121は、一次反応器122
内で析出したNa2CO3の結晶粒子の大きなものを分離
し、Na2CO3の微粒子を二次反応器126に送る。こ
のサイクロンセパレータ121の作用により、二次反応
器126の閉塞が防止される。この段階までに、PCB
は、脱塩素反応および酸化分解反応を起こし、NaC
l、CO2およびH2Oに分解されている。つぎに、冷却
器127では、二次反応器126からの流体を100℃
程度に冷却すると共に後段の減圧弁128にて大気圧ま
で減圧する。そして、気液分離器129によりCO2
よび水蒸気と処理水とが分離され、CO2および水蒸気
は、活性炭槽130を通過して環境中に排出される。
In the above apparatus, the pressure inside the primary reactor 122 is increased to 26 MPa by pressurization by the pressurizing pump 124. Further, the preheater 125 preheats the mixed treatment liquid 123 of PCB, H 2 O and NaOH to about 300 ° C. Further, oxygen is jetted into the primary reactor 122, and the temperature rises to 380 ° C to 400 ° C due to internal reaction heat. The cyclone separator 121 includes a primary reactor 122
The large Na 2 CO 3 crystal particles precipitated inside are separated, and the fine particles of Na 2 CO 3 are sent to the secondary reactor 126. The operation of the cyclone separator 121 prevents the secondary reactor 126 from being blocked. By this stage, the PCB
Causes a dechlorination reaction and an oxidative decomposition reaction,
1, CO 2 and H 2 O. Next, in the cooler 127, the fluid from the secondary reactor 126 is cooled to 100 ° C.
At the same time, the pressure is reduced to atmospheric pressure by the pressure reducing valve 128 at the subsequent stage. Then, the CO 2 and steam and the treated water are separated by the gas-liquid separator 129, and the CO 2 and steam pass through the activated carbon tank 130 and are discharged into the environment.

【0038】本実施の形態にかかるPCB処理システム
は、上記洗浄手段1011で洗浄された容器1002やコイル・
鉄心等の無機物1008の表面に付着するPCB濃度を判定
するものである。
The PCB processing system according to the present embodiment comprises a container 1002 and a coil
This is for determining the concentration of PCB adhering to the surface of an inorganic substance 1008 such as an iron core.

【0039】この計測システムを設けることで洗浄工程
での洗浄の適否を迅速に且つ効率よく監視することがで
きる。この結果、洗浄工程が適切に行われているかの監
視を常に行いつつ分解処理することができ、万一洗浄不
良が発見された場合には、再度洗浄工程で洗浄を行なう
ようにすることができ、外部への汚染物質の排出をなく
し、環境に配慮した対策を講じることができる。
By providing this measuring system, it is possible to quickly and efficiently monitor the suitability of the cleaning in the cleaning process. As a result, the disassembly process can be performed while always monitoring whether the cleaning process is being performed properly. If a cleaning defect is found, the cleaning process can be performed again. Eliminating pollutants to the outside, and taking environmentally friendly measures.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上、説明したように本発明の第1の発
明によれば、測定対象物の残留物質の残留量を測定する
残留物量測定装置であって、上記測定対象物に水密状態
で密着してなる吸引器と、該容器内を減圧する減圧手段
と、該容器内に外部より残留物質を気化させる気化手段
と、該気化した計測対象物を計測する計測手段とを具備
してなるので、測定対象物の表面に残留した有害物質を
迅速に測定することができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, there is provided a residue amount measuring device for measuring a residual amount of a residual substance of an object to be measured, wherein the apparatus is provided in a watertight state. A suction device that is in close contact with the container, a pressure reducing unit that reduces the pressure in the container, a vaporizing unit that vaporizes a residual substance in the container from outside, and a measuring unit that measures the vaporized measurement target. Therefore, harmful substances remaining on the surface of the measurement object can be quickly measured.

【0041】第2の発明によれば、測定対象物の残留物
質の残留量を測定する残留物量測定装置であって、上記
測定対象物を載置する平板と、該平板と水密状態で密着
してなる略半球状のおわん型吸引容器と、該容器内を減
圧する減圧手段と、該容器内に外部より残留物質を気化
させる気化用高温気体を導入する手段と、該導入された
高温気体により気化した計測対象物を計測する計測手段
とを具備してなるので、測定対象物が平滑面でない場合
や、構成部材(破断片等)でも簡易迅速に有害物質の残
留量を測定することができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a residue measuring apparatus for measuring a residual amount of a residual substance in an object to be measured, wherein the flat plate on which the object is mounted is in close contact with the flat plate in a watertight state. A substantially hemispherical bowl-shaped suction container, a depressurizing means for depressurizing the inside of the container, a means for introducing a high-temperature gas for vaporizing a residual substance from the outside into the container, and the introduced high-temperature gas. Since it is provided with a measuring means for measuring the vaporized measurement target, the residual amount of the harmful substance can be easily and quickly measured even when the measurement target is not a smooth surface or even in a component (fragment, etc.). .

【0042】第3の発明によれば、第1又は2の発明に
おいて、上記残留分析の気化を外部から高温不活性ガス
を導入して行なうので、導入された不活性ガスにより有
害物質の気化が速やかに行なわれ、測定対象物の表面に
残留した有害物質を迅速に測定することができる。
According to the third invention, in the first or second invention, the vaporization of the residual analysis is performed by introducing a high-temperature inert gas from the outside. Hazardous substances remaining on the surface of the object to be measured can be quickly measured by performing the measurement quickly.

【0043】第4の発明によれば、第1又は2の発明に
おいて、上記計測手段の気化を吸引器内に設けた加熱手
段の加熱により行なうので、不活性ガス導入手段を設け
ることなく、加熱手段により有害物質の気化を行なうこ
とができる。
According to the fourth aspect, in the first or second aspect, since the vaporization of the measuring means is performed by heating the heating means provided in the suction device, the heating means is provided without providing the inert gas introducing means. By means, harmful substances can be vaporized.

【0044】第5の発明によれば、第1又は2の発明に
おいて、上記気化計測対象物を計測手段へ送給する送給
管を保温してなるので、送給管内に気化した有害物質が
付着することがなく、高精度分析ができる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the feed pipe for feeding the vaporized measurement object to the measuring means is kept warm, so that vaporized harmful substances are contained in the feed pipe. High precision analysis can be performed without adhesion.

【0045】第6の発明によれば、第1又は2の発明に
おいて、上記計測手段が質量分析装置であるので、高精
度の有害物質の分析が可能となる。
According to the sixth aspect, in the first or second aspect, since the measuring means is a mass spectrometer, it is possible to analyze harmful substances with high accuracy.

【0046】第7の発明によれば、第1又は2の発明に
おいて、上記計測対象物がPCBが付着した付着物の洗
浄後のものであるので、PCBの残留量を迅速に測定す
ることができる。
According to the seventh aspect, in the first or the second aspect, since the object to be measured is the one after cleaning of the adhered substance on which the PCB is adhered, it is possible to quickly measure the residual amount of the PCB. it can.

【0047】第8の発明によれば、第2の発明におい
て、上記計測対象物がPCBが付着した部材又はPCB
を拭き取った拭き取り物であるので、PCBの残留量や
拭き取り物の残量を迅速に測定することができる。
According to an eighth aspect, in the second aspect, the object to be measured is a member to which a PCB is attached or a PCB
Therefore, the residual amount of the PCB and the remaining amount of the wiped object can be quickly measured.

【0048】第9の発明によれば、第1乃至7の残留物
量測定装置を用い、PCB処理設備の洗浄工程の終了し
た洗浄品のPCB付着量を計測するので、従来のような
拭き取り試験のような時間を要することなく、迅速に残
留量を測定することができる。
According to the ninth aspect of the present invention, the amount of PCB attached to the cleaned product after the cleaning process of the PCB processing equipment is measured using the first to seventh residual amount measuring devices. The residual amount can be quickly measured without requiring such time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態にかかる残留物量測定装置の
一例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a residue amount measuring device according to a first embodiment.

【図2】第1の実施の形態にかかる残留物量測定装置の
一例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view illustrating an example of a residue amount measuring device according to the first embodiment.

【図3】第1の実施の形態にかかる残留物量測定装置の
一例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a residue amount measuring device according to the first embodiment.

【図4】第2の実施の形態にかかる残留物量測定装置の
一例を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view illustrating an example of a residue amount measuring apparatus according to a second embodiment.

【図5】第3の実施の形態にかかる有機ハロゲン化物の
検出装置の概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of an organic halide detection device according to a third embodiment.

【図6】低塩素PCBの測定結果図である。FIG. 6 is a graph showing measurement results of low chlorine PCB.

【図7】第4の実施の形態にかかるPCB無害化処理シ
ステムの概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram of a PCB detoxification processing system according to a fourth embodiment;

【図8】水熱分解装置の概要図である。FIG. 8 is a schematic diagram of a hydrothermal decomposition apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 残留物量測定装置 11 容器 12 残留物質(例えばPCB) 13 吸引器 14 気化手段 15 気化物 22 平板 23 赤外線ヒータ 50 計測手段(例えば質量分析装置) DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Residual amount measuring apparatus 11 Container 12 Residual substance (for example, PCB) 13 Aspirator 14 Vaporizing means 15 Vaporized substance 22 Flat plate 23 Infrared heater 50 Measurement means (for example, mass spectrometer)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G052 AB22 AC11 AD32 AD42 AD52 CA04 CA12 CA14 DA01 DA13 EB01 EB11 GA24 JA07 JA08 JA09  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G052 AB22 AC11 AD32 AD42 AD52 CA04 CA12 CA14 DA01 DA13 EB01 EB11 GA24 JA07 JA08 JA09

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定対象物の残留物質の残留量を測定す
る残留物量測定装置であって、 上記測定対象物に水密状態で密着してなる吸引器と、 該容器内を減圧する減圧手段と、 該容器内に外部より残留物質を気化させる気化手段と、 該気化した計測対象物を計測する計測手段とを具備して
なることを特徴とする残留物量測定装置。
1. A residue amount measuring device for measuring a residual amount of a residual substance of an object to be measured, comprising: a suction device which is in close contact with the object to be measured in a watertight state; An apparatus for measuring the amount of residue, comprising: vaporizing means for vaporizing a residual substance from the outside in the container; and measuring means for measuring the vaporized measurement target.
【請求項2】 測定対象物の残留物質の残留量を測定す
る残留物量測定装置であって、 上記測定対象物を載置する平板と、該平板と水密状態で
密着してなる略半球状のおわん型吸引容器と、 該容器内を減圧する減圧手段と、 該容器内に外部より残留物質を気化させる気化用高温気
体を導入する手段と、 該導入された高温気体により気化した計測対象物を計測
する計測手段とを具備してなることを特徴とする残留物
量測定装置。
2. A residue amount measuring apparatus for measuring a residual amount of a residual substance of an object to be measured, comprising: a plate on which the object to be measured is placed; and a substantially hemispherical shape which is in tight contact with the plate in a watertight state. A bowl-shaped suction container, a decompression means for depressurizing the inside of the container, a means for introducing a high-temperature gas for vaporization for evaporating a residual substance from the outside into the container, and a measuring object vaporized by the introduced high-temperature gas. A residue measuring device, comprising: a measuring means for measuring.
【請求項3】 請求項1又は2において、 上記残留分析の気化を外部から高温不活性ガスを導入し
て行なうことを特徴とする残留物量測定装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the residual analysis is performed by introducing a high-temperature inert gas from the outside.
【請求項4】 請求項1又は2において、 上記計測手段の気化を吸引器内に設けた加熱手段の加熱
により行なうことを特徴とする残留物量測定装置。
4. An apparatus according to claim 1, wherein said measuring means is vaporized by heating a heating means provided in said suction device.
【請求項5】 請求項1又は2において、 上記気化計測対象物を計測手段へ送給する送給管を保温
してなることを特徴とする残留物量測定装置。
5. The residual amount measuring apparatus according to claim 1, wherein a supply pipe for supplying the vaporization measurement target to the measurement unit is kept warm.
【請求項6】 請求項1又は2において、 上記計測手段が質量分析装置であることを特徴とする残
留物量測定装置。
6. The residual amount measuring apparatus according to claim 1, wherein the measuring means is a mass spectrometer.
【請求項7】 請求項1又は2において、 上記計測対象物がPCBが付着した付着物の洗浄後のも
のであることを特徴とする残留物量測定装置。
7. The residual amount measuring apparatus according to claim 1, wherein the object to be measured is a substance after cleaning of the adhered substance to which the PCB is adhered.
【請求項8】 請求項2において、 上記計測対象物がPCBが付着した部材又はPCBを拭
き取った拭き取り物であることを特徴とする残留物量測
定装置。
8. The residual amount measuring apparatus according to claim 2, wherein the object to be measured is a member to which PCB is attached or a wiped object obtained by wiping PCB.
【請求項9】 請求項1乃至7の残留物量測定装置を用
い、PCB処理設備の洗浄工程の終了した洗浄品のPC
B付着量を計測することを特徴とする残留物量測定方
法。
9. A PC for a cleaned product which has been subjected to a cleaning process of a PCB processing facility using the residue amount measuring apparatus according to claim 1.
A method for measuring the amount of residues, wherein the amount of B is measured.
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