JP2003243431A5 -

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搬送テープに実装された素子に樹脂を塗布して上記素子を封止するポッティング装置において、
上記樹脂の塗布状態を検査する検査装置を有し、
この検査装置は、上記搬送テープの表側と裏側に対向配置された発光手段および受光手段と、
上記発光手段と上記受光手段との間に配置され、開口部が上記搬送テープの被検査部位に対応して設けられたマスク部材と、を有することを特徴とするポッティング装置。
前記発光手段および前記受光手段を一体的に移動させる駆動部を設け、この駆動部によって前記発光手段および前記受光手段を移動させ、前記受光手段の受光量によって前記塗布状態の良否を検出することを特徴とする請求項１記載のポッティング装置。
前記搬送テープの停止状態時に、前記塗布状態を前記検査装置により検査することを特徴とする請求項１または２記載のポッティング装置。
搬送テープの表側と裏側に対向配置された発光手段および受光手段と、上記発光手段と上記受光手段との間に配置され、開口部が上記搬送テープの被検査部位に対応して設けられたマスク部材と、を有することを特徴とする封止状態検査装置。