JP2003241239A - Optical switch optical system - Google Patents

Optical switch optical system

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JP2003241239A
JP2003241239A JP2002038391A JP2002038391A JP2003241239A JP 2003241239 A JP2003241239 A JP 2003241239A JP 2002038391 A JP2002038391 A JP 2002038391A JP 2002038391 A JP2002038391 A JP 2002038391A JP 2003241239 A JP2003241239 A JP 2003241239A
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JP
Japan
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optical
optical waveguide
switch
coupling
array
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Application number
JP2002038391A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Kosuge
信一 小菅
Akira Takahashi
高橋  彰
Takayuki Ishigame
貴幸 石亀
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Ricoh Optical Industries Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Optical Industries Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an optical switch optical system having a constitution and a disposition which can optimize and uniform the coupling efficiency of light. <P>SOLUTION: The optical switch optical system is constituted of an optical switch element 25 which is arranged between two optical waveguide arrays 21 and 22 and has n×m optical switches for switching optical paths between arbitrary optical waveguides, a first light coupling optical element 23 and a first cata-dioptric element 26 which are arranged between the first optical waveguide array 21 and the optical switch element 25, and a second cata-dioptric element 27 and a second light coupling optical element 24 which are arranged between the optical switch element 25 and the second optical waveguide array 22, and the first and second cata-dioptric elements 26 and 27 are so arranged that optical paths between the first and second optical waveguide arrays 21 and 22 and the optical switch element 25 may be deflected to keep the optical path length between arbitrary optical waveguides of the first optical waveguide array 21 and the second optical waveguide array 22 at a fixed distance. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光回路、光通信、
光情報処理等に応用される光スイッチ光学系に関し、特
に、光導波路端がアレイ状に並んだ2つの光導波路アレ
イの間に配置され、2つの光導波路アレイ間で任意の光
導波路を光結合するための光スイッチ光学系に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical circuit, optical communication,
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical switch optical system applied to optical information processing, etc., and in particular, an optical waveguide end is arranged between two optical waveguide arrays arranged in an array, and an arbitrary optical waveguide is optically coupled between the two optical waveguide arrays. Optical switch optical system for

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光回路等に応用される光スイッチ
光学系の一例として、n個の光導波路(基板上に形成さ
れたn個の光導波路、あるいは並列されたn個の光ファ
イバー等)の光導波路端を一直線上に配置した第1の光
導波路アレイと、m個の光導波路(基板上に形成された
m個の光導波路、あるいは並列されたm個の光ファイバ
ー等)の光導波路端を一直線上に配置した第2の光導波
路アレイとを、平面上にマトリクス配列されたn×m個
の光スイッチを有する光スイッチ素子と光結合用光学素
子を介して結合し、第1の光導波路アレイでのi番目
(i=1〜n)にある光導波路端から、第2の光導波路
アレイのj番目(j=1〜m)の光導波路端へ任意に光
路を切り替える光スイッチ光学系が知られている。この
従来のn×m光スイッチ素子を用いた光スイッチ光学系
では、例えば図3に示すように、n×m個の光スイッチ
15Sを有する光スイッチ素子15のn列の光スイッチ
の配列方向に対応させて第1の光導波路アレイ11の光
導波路端を配置し、m列の光スイッチの配列方向に対応
させて第2の光導波路アレイ12の光導波路端を配置
し、かつ、第1、第2の光導波路アレイ11,12と光
スイッチ素子15の間にそれぞれ光結合用光学素子とし
ての第1、第2のレンズアレイ13,14を配置してい
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an example of an optical switch optical system applied to an optical circuit or the like, n optical waveguides (n optical waveguides formed on a substrate, or n optical fibers arranged in parallel) are used. The first optical waveguide array in which the optical waveguide ends of are arranged in a straight line and the optical waveguide ends of m optical waveguides (m optical waveguides formed on the substrate, or m optical fibers arranged in parallel) And a second optical waveguide array in which are arranged in a straight line are coupled with an optical switch element having n × m optical switches arranged in a matrix on a plane through an optical coupling optical element to form a first optical waveguide. Optical switch optical system for arbitrarily switching the optical path from the i-th (i = 1 to n) optical waveguide end of the waveguide array to the j-th (j = 1 to m) optical waveguide end of the second optical waveguide array It has been known. In this conventional optical switch optical system using an n × m optical switch element, for example, as shown in FIG. 3, the optical switch element 15 having n × m optical switches 15S is arranged in the array direction of the optical switches of n columns. The optical waveguide ends of the first optical waveguide array 11 are arranged correspondingly, the optical waveguide ends of the second optical waveguide array 12 are arranged corresponding to the arrangement direction of the m rows of optical switches, and The first and second lens arrays 13 and 14 as optical elements for optical coupling are arranged between the second optical waveguide arrays 11 and 12 and the optical switch element 15, respectively.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】近年、光回路等の小型
化により、波動光学的な振る舞いが無視できなくなって
いる。ここで、図3に示す従来例のように、第1、第2
の光導波路アレイ11,12の光導波路端と、第1、第
2のレンズアレイ13,14を、光スイッチ素子15の
配列方向(または光スイッチ素子の入・出射面)に対応
して平行に配置した場合、光導波路間の光路長Lが、結
合する光導波路によって変化するため、光の波動的な発
散により光導波路相互のカップリングロスが光路長Lの
変化に対応して異なってしまうという問題がある。すな
わち、図4に模式的に示すように、2つの光導波路1
6,19を2つのレンズ17,18を用いて結合する場
合に、(a)のレンズ17,18間の光路長Lが最適な
距離Lの場合の光導波路間結合に対して、(b)のレ
ンズ17,18間の光路長Lが最適な距離Lよりも短
い場合の光導波路間結合や、(c)のレンズ17,18
間の光路長Lが最適な距離Lよりも長い場合の光導波
路間結合のときには、光の結合効率が悪くなりカップリ
ングロスが発生する。従って図3のような光学系配置の
場合には、光スイッチ素子15に対する第1、第2の光
導波路アレイ11,12の各光導波路の配置位置によっ
て光導波路間(またはレンズ間)の光路長Lが変化する
ため、結合する光導波路によってカップリングロスが異
なることになる。例えば、第1、第2の光導波路アレイ
11,12の略中央に配置された光導波路同士を結合す
る場合のレンズ間の光路長Lが図4(a)に示すような
最適な距離Lとなるように配置した場合、第1、第2
の光導波路アレイ11,12の両端側に配置された光導
波路間では図4(b),(c)と同様に光路長が最適な
距離よりも短いまたは長い光導波路間結合となり、大き
なカップリングロスが発生することになる。このときの
最適なレンズ間隔Lに対してレンズ間隔Lが変化した
場合のカップリングロスの計算結果を図5に示す。
In recent years, due to the miniaturization of optical circuits and the like, the wave-optical behavior cannot be ignored. Here, as in the conventional example shown in FIG.
The optical waveguide ends of the optical waveguide arrays 11 and 12 and the first and second lens arrays 13 and 14 are parallel to each other in correspondence with the arrangement direction of the optical switch element 15 (or the input / output surface of the optical switch element). When the optical waveguides are arranged, the optical path length L between the optical waveguides varies depending on the optical waveguides to be coupled, so that the coupling loss between the optical waveguides varies depending on the variation of the optical path length L due to the wave divergence of light. There's a problem. That is, as schematically shown in FIG.
When coupling 6 and 19 using the two lenses 17 and 18, for the coupling between the optical waveguides when the optical path length L between the lenses 17 and 18 in (a) is the optimum distance L 0 , Between the optical waveguides when the optical path length L between the lenses 17 and 18 is shorter than the optimum distance L 0, and the lenses 17 and 18 in FIG.
In the case of coupling between optical waveguides when the optical path length L between them is longer than the optimum distance L 0 , the coupling efficiency of light deteriorates and coupling loss occurs. Therefore, in the case of the optical system arrangement as shown in FIG. 3, the optical path length between the optical waveguides (or between lenses) depends on the arrangement position of each optical waveguide of the first and second optical waveguide arrays 11 and 12 with respect to the optical switch element 15. Since L changes, the coupling loss depends on the optical waveguide to be coupled. For example, the optical path length L between the lenses when the optical waveguides arranged substantially at the centers of the first and second optical waveguide arrays 11 and 12 are coupled to each other is the optimum distance L 0 as shown in FIG. 4A. When arranged so that
Between the optical waveguides arranged on both end sides of the optical waveguide arrays 11 and 12, the optical path length is shorter or longer than the optimum distance as in FIGS. 4B and 4C, resulting in large coupling. Loss will occur. FIG. 5 shows the calculation result of the coupling loss when the lens distance L changes with respect to the optimum lens distance L 0 at this time.

【0004】以上のように、図3に示す従来の光学系配
置では、第1、第2の光導波路アレイの光導波路間の光
路長Lが、光スイッチ素子に対する各光導波路の配置位
置によって大きく変化するため、光の結合効率が悪く、
各光導波路へ結合される信号強度がばらついてしまうと
いう問題がある。また、図3の光学系配置で最適な光導
波路結合を行うためには、光結合用光学素子であるレン
ズアレイ13,14の各レンズの焦点距離について、そ
れぞれの光路長に対して個々に最適化しなければならな
くなるため、レンズアレイの加工が難しいという問題が
ある。
As described above, in the conventional optical system arrangement shown in FIG. 3, the optical path length L between the optical waveguides of the first and second optical waveguide arrays is large depending on the arrangement position of each optical waveguide with respect to the optical switch element. Change, so the light coupling efficiency is poor,
There is a problem that the intensity of the signal coupled to each optical waveguide varies. Further, in order to perform the optimal optical waveguide coupling in the optical system arrangement of FIG. 3, the focal lengths of the lenses of the lens arrays 13 and 14 which are optical coupling optical elements are individually optimized for the respective optical path lengths. Therefore, there is a problem that it is difficult to process the lens array.

【0005】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
り、光導波路端がアレイ状に並んだ2つの光導波路アレ
イの間に光スイッチ素子を配置し、光スイッチ素子によ
り、一方の光導波路アレイの任意の光導波路から他方の
光導波路アレイの任意の光導波路へレンズアレイ等の光
結合用光学素子を介して光結合する場合に、光の結合効
率を最適かつ均等にすることができる構成及び配置の光
スイッチ光学系を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances. An optical switch element is arranged between two optical waveguide arrays whose optical waveguide ends are arranged in an array, and one optical waveguide array is provided by the optical switch element. A configuration capable of optimizing and equalizing the light coupling efficiency when optically coupling an arbitrary optical waveguide of the other optical waveguide of the other optical waveguide array via an optical coupling optical element such as a lens array; It is an object to provide an optical switch optical system having an arrangement.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段として、本発明は、n個の光導波路の光導波路端
を一直線上に配置した第1の光導波路アレイと、m個の
光導波路の光導波路端を一直線上に配置した第2の光導
波路アレイとを、光スイッチ素子と光結合用光学素子を
介して結合し、2つの光導波路アレイ間で任意の光導波
路を光結合するための光スイッチ光学系において、第1
の光導波路アレイと第2の光導波路アレイの間に配置さ
れ任意の光導波路間の光路を切り替えるn×m個の光ス
イッチを有する光スイッチ素子と、第1の光導波路アレ
イと光スイッチ素子の間に配置される第1の光結合用光
学素子及び第1の光反射屈折素子と、光スイッチ素子と
第2の光導波路アレイの間に配置される第2の光反射屈
折素子及び第2の光結合用光学素子とによって構成さ
れ、第1、第2の光反射屈折素子は、第1、第2の光導
波路アレイと光スイッチ素子との間の光路を偏向して、
第1の光導波路アレイと第2の光導波路アレイの任意の
光導波路間の光路長を一定の距離に保つように配置した
ことを特徴としたものである(請求項1)。
As a means for achieving the above object, the present invention provides a first optical waveguide array in which the optical waveguide ends of n optical waveguides are arranged in a straight line, and m optical waveguides. A second optical waveguide array in which the optical waveguide ends of the waveguides are arranged in a straight line is coupled through an optical switch element and an optical coupling optical element, and an arbitrary optical waveguide is optically coupled between the two optical waveguide arrays. In the optical switch optical system for
An optical switch element having n × m optical switches arranged between the optical waveguide array and the second optical waveguide array for switching an optical path between arbitrary optical waveguides; and a first optical waveguide array and an optical switch element. A first light-coupling optical element and a first light-reflecting and refracting element which are arranged between the second optical reflecting element and the second optical-reflecting and refracting element which are arranged between the optical switch element and the second optical waveguide array. And an optical element for optical coupling, the first and second light reflection / refraction elements deflect the optical path between the first and second optical waveguide arrays and the optical switch element,
The first optical waveguide array and the second optical waveguide array are arranged so that the optical path length between arbitrary optical waveguides is maintained at a constant distance (claim 1).

【0007】より詳しく述べると、本発明の光スイッチ
光学系においては、n個の光導波路端が直線Ln上に配
置された第1の光導波路アレイと、m個の光導波路端が
直線Lm上に配置された第2の光導波路アレイを、互い
の光導波路端が平行(Ln‖Lm)になるように対向し
て配置し、第1、第2の光結合用光学素子は第1、第2
の光導波路アレイの光導波路端に対向して配置し、2つ
の光導波路アレイ間に配置される光スイッチ素子は各光
スイッチの反射面の法線方向S⊥が第1、第2の光導波
路アレイの光導波路端と平行(Ln‖S⊥)になるよう
に配置し、かつ、光スイッチ素子の各光スイッチでの光
束の入射角と反射角をθとし、第1、第2の光結合用
光学素子と光スイッチ素子との間に配置される第1、第
2の光反射屈折素子により偏向され各光導波路アレイか
らの光路に対して曲げられる光路の角度をθi、θjと
したとき、各角度の関係が、 |θi|=|θj|=90°−|θ| となるように第1、第2の光反射屈折素子を配置するこ
とにより、光スイッチ素子により結合される直線Lnと
直線Lm上にある任意の光導波路間の光路長が一定の距
離Lに保たれ、第1、第2の光結合用光学素子によっ
て光導波路間の最適な光結合が行われることを特徴とし
たものである(請求項2)。
More specifically, in the optical switch optical system according to the present invention, the first optical waveguide array in which n optical waveguide ends are arranged on the straight line Ln and the m optical waveguide ends are arranged on the straight line Lm. The second optical waveguide array arranged in the first optical coupling element and the second optical waveguide array are disposed so as to oppose each other so that their optical waveguide ends are parallel (Ln | Lm). Two
The optical switch element that is disposed so as to face the optical waveguide end of the optical waveguide array of No. 1 is a first and second optical waveguide in which the normal direction S⊥ of the reflecting surface of each optical switch is The first and second light beams are arranged so as to be parallel to the optical waveguide end of the array (Ln / S /), and the incident angle and reflection angle of the light flux at each optical switch of the optical switch element are θ 0. When the angles of the optical paths that are deflected by the first and second light reflecting and refracting elements arranged between the coupling optical element and the optical switch element and bent with respect to the optical paths from the respective optical waveguide arrays are θi and θj. , The straight lines connected by the optical switch element by arranging the first and second light reflection / refraction elements so that the relation of each angle becomes | θi | = | θj | = 90 ° − | θ 0 | any distance optical path length is constant between the optical waveguide L located on Ln and the line Lm It kept, first, in which is characterized in that the optimum optical coupling between the optical waveguides is carried out by the second optical coupling optics (claim 2).

【0008】ここで、本発明の光スイッチ光学系におい
ては、光スイッチ素子として、光マイクロデバイスまた
は電気光学偏向器を用いたことを特徴としている(請求
項3)。尚、ここで言う光マイクロデバイスとは、ME
MS(Micro Electro-Mechanical Systems)、あるいは
MOEMS(Micro Opto-Electro-Mechanical System
s)と呼ばれる、マイクロマシーニング技術を用いて半
導体基板上に電気、機械、光学部品を形成したものであ
る。
In the optical switch optical system of the present invention, an optical microdevice or an electro-optical deflector is used as the optical switch element (claim 3). The optical microdevice referred to here is ME
MS (Micro Electro-Mechanical Systems) or MOEMS (Micro Opto-Electro-Mechanical Systems)
s), which is used to form electrical, mechanical, and optical components on a semiconductor substrate using micromachining technology.

【0009】さらに本発明の光スイッチ光学系において
は、光反射屈折素子として、ミラーアレイ、プリズム、
プリズムアレイ、回折光学素子の何れかを用いることが
できる(請求項4)。また、本発明の光スイッチ光学系
においては、光結合用光学素子として、レンズアレイ、
バイナリーレンズ、回折光学素子、ホログラフィック素
子の何れかを用いることができる(請求項5)。さらに
また、本発明の光スイッチ光学系においては、光結合用
光学素子と光反射屈折素子を一体とした光学素子を用い
ることもできる(請求項6)。
Furthermore, in the optical switch optical system of the present invention, a mirror array, prism,
Either a prism array or a diffractive optical element can be used (claim 4). Further, in the optical switch optical system of the present invention, a lens array, as an optical element for optical coupling,
Any of a binary lens, a diffractive optical element, and a holographic element can be used (Claim 5). Furthermore, in the optical switch optical system of the present invention, an optical element in which an optical element for optical coupling and a light reflecting and refracting element are integrated can be used (claim 6).

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成、動作及び作
用を、図示の実施例に基づいて詳細に説明する。図1は
本発明の一実施例を示す光スイッチ光学系の概略構成図
である。この光スイッチ光学系は、n個の光導波路
(1,2,・・・,n)の光導波路端を一直線上に配置し
た第1の光導波路アレイ21と、m個の光導波路(1,
2,・・・,m)の光導波路端を一直線上に配置した第2
の光導波路アレイ22とを、基板平面上にマトリクス配
列されたn×m個の光スイッチ25Sを有する光スイッ
チ素子25と光結合用光学素子23,24を介して結合
し、第1の光導波路アレイ21でのi番目(i=1〜
n)にある光導波路端から、第2の光導波路アレイ22
のj番目(j=1〜m)の光導波路端へ任意に光路を切
り替える光スイッチ光学系である。そして、この光スイ
ッチ光学系は、第1の光導波路アレイ21と第2の光導
波路アレイ22の間に配置され任意の光導波路間の光路
を切り替えるn×m個の光スイッチを有する光スイッチ
素子25と、第1の光導波路アレイ21と光スイッチ素
子25の間に配置される第1の光結合用光学素子23及
び第1の光反射屈折素子26と、光スイッチ素子25と
第2の光導波路アレイ22の間に配置される第2の光反
射屈折素子27及び第2の光結合用光学素子24とによ
って構成され、第1、第2の光反射屈折素子26,27
は、第1、第2の光導波路アレイ21,22と光スイッ
チ素子25との間の光路を偏向して、第1の光導波路ア
レイ21と第2の光導波路アレイ22の任意の光導波路
間の光路長を一定の距離Lに保つように配置したもの
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the configuration, operation and action of the present invention will be described in detail with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical switch optical system showing an embodiment of the present invention. This optical switch optical system includes a first optical waveguide array 21 in which the optical waveguide ends of n optical waveguides (1, 2, ..., N) are arranged in a straight line, and m optical waveguides (1,
2, ..., M) second in which the ends of the optical waveguides are arranged in a straight line
The optical waveguide array 22 is coupled to the optical switch element 25 having n × m optical switches 25S arranged in a matrix on the substrate plane via the optical coupling optical elements 23 and 24 to form a first optical waveguide. I-th (i = 1 to 1) in the array 21
n) from the end of the optical waveguide to the second optical waveguide array 22.
Is an optical switch optical system that arbitrarily switches the optical path to the j-th (j = 1 to m) optical waveguide end. This optical switch optical system is provided between the first optical waveguide array 21 and the second optical waveguide array 22 and has an n × m optical switch that switches the optical path between arbitrary optical waveguides. 25, the first optical coupling optical element 23 and the first light reflection / refraction element 26, which are arranged between the first optical waveguide array 21 and the optical switching element 25, the optical switching element 25 and the second optical waveguide. The second light reflection / refraction element 27 and the second optical coupling optical element 24 are arranged between the waveguide arrays 22, and the first and second light reflection / refraction elements 26 and 27 are provided.
Is for deflecting the optical path between the first and second optical waveguide arrays 21 and 22 and the optical switch element 25, and between the arbitrary optical waveguides of the first optical waveguide array 21 and the second optical waveguide array 22. Is arranged so that the optical path length of is maintained at a constant distance L 0 .

【0011】尚、図1の実施例においては、第1、第2
の光結合用光学素子23,24として、レンズアレイを
用いている。また、図1の実施例においては、第1、第
2の光反射屈折素子26,27として、透明な平行平板
状部材の中に複数の反射面を形成したミラーアレイを用
いている。
In the embodiment of FIG. 1, the first and second
Lens arrays are used as the optical elements 23 and 24 for optical coupling. Further, in the embodiment shown in FIG. 1, as the first and second light reflecting / refracting elements 26 and 27, a mirror array in which a plurality of reflecting surfaces are formed in a transparent parallel plate member is used.

【0012】次に図1に示す構成の光スイッチ光学系の
配置例について、図2を参照してより詳しく説明する。
本実施例の光スイッチ光学系においては、図2に示すよ
うに、n個の光導波路端が直線Ln上に配置された第1
の光導波路アレイ21と、m個の光導波路端が直線Lm
上に配置された第2の光導波路アレイ22を、互いの光
導波路端が平行(Ln‖Lm)になるように対向して配
置し、第1、第2のレンズアレイ23,24は第1、第
2の光導波路アレイ21,22の光導波路端に対向して
配置し、2つの光導波路アレイ間に配置される光スイッ
チ素子25は各光スイッチ25Sの反射面の法線方向S
⊥が第1、第2の光導波路アレイ21,22の光導波路
端と平行(Ln‖S⊥)になるように配置し、かつ、光
スイッチ素子25の各光スイッチ25Sでの光束の入射
角と反射角をθとし、第1、第2のレンズアレイ2
3,24と光スイッチ素子25との間に配置される第
1、第2のミラーアレイ26,27により偏向され、各
光導波路アレイ21,22からの光路に対して曲げられ
る光路の角度をθi、θjとしたとき、各角度の関係
が、 |θi|=|θj|=90°−|θ| となるように第1、第2のミラーアレイ26,27を配
置している。このような配置とすることにより、光スイ
ッチ素子25により結合される直線Lnと直線Lm上に
ある任意の光導波路間の光路長が一定の距離Lに保た
れ、第1、第2のレンズアレイ23,24によって光導
波路間の最適な光結合が行われる。
Next, an example of arrangement of the optical switch optical system having the configuration shown in FIG. 1 will be described in more detail with reference to FIG.
In the optical switch optical system of the present embodiment, as shown in FIG. 2, the first n optical waveguide ends are arranged on the straight line Ln.
Optical waveguide array 21 and m optical waveguide ends are straight lines Lm
The second optical waveguide array 22 disposed above is disposed so as to face each other so that the optical waveguide ends are parallel (Ln | Lm), and the first and second lens arrays 23 and 24 are the first optical array. , The optical switch element 25 disposed facing the optical waveguide ends of the second optical waveguide arrays 21 and 22 and disposed between the two optical waveguide arrays is the normal direction S of the reflection surface of each optical switch 25S.
Arrangement such that ⊥ is parallel to the optical waveguide ends of the first and second optical waveguide arrays 21 and 22 (Ln‖S⊥), and the incident angle of the light flux at each optical switch 25S of the optical switch element 25. And the reflection angle is θ 0 , the first and second lens arrays 2
The angle of the optical path that is deflected by the first and second mirror arrays 26 and 27 arranged between the optical switching elements 25 and 3, 24 and is bent with respect to the optical paths from the optical waveguide arrays 21 and 22 is θi. , Θj, the first and second mirror arrays 26 and 27 are arranged so that the relationship between the angles is | θi | = | θj | = 90 ° − | θ 0 |. With such an arrangement, the optical path length between the arbitrary optical waveguides on the straight line Ln and the straight line Lm coupled by the optical switch element 25 is kept at a constant distance L 0 , and the first and second lenses are provided. Optimal optical coupling between the optical waveguides is performed by the arrays 23 and 24.

【0013】本実施例では、図1、図2に示すように、
光スイッチ素子25に対して、第1、第2のミラーアレ
イ26,27を介して第1、第2のレンズアレイ23,
24と第1、第2の光導波路アレイ21,22を配置す
ることによって、第1の光導波路アレイ21のi番目
(i=1〜n)にある光導波路端からの光路を、第2の
光導波路アレイ22のj番目(j=1〜m)の光導波路
端へ光路を切り替える場合、どの光導波路へも光路長が
同じ距離Lとなり、図3に示した従来例のような光路
長変化がなくなり、図5に示したレンズ間隔Lに対する
カップリングロスの計算結果での最適な光導波路間結合
距離Lに光路長を設定することで、光スイッチ素子2
5による光路切り替えに対しても常に最適な、また光導
波間の信号強度のばらつきがない光結合を可能とするこ
とができる。また、第1、第2のレンズアレイ23,2
4においても、光路長が同じ伝搬長での光結合を最適化
するので、レンズアレイの各レンズの焦点距離を画一化
できるため、レンズアレイの加工が容易になる。
In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2,
For the optical switch element 25, the first and second lens arrays 23,
By disposing 24 and the first and second optical waveguide arrays 21 and 22, the optical path from the i-th (i = 1 to n) optical waveguide end of the first optical waveguide array 21 can be changed to the second optical path. When the optical path is switched to the j-th (j = 1 to m) optical waveguide end of the optical waveguide array 22, the optical path length becomes the same distance L 0 to all the optical waveguides, and the optical path length as in the conventional example shown in FIG. There is no change, and the optical path length is set to the optimum coupling distance L 0 between the optical waveguides in the calculation result of the coupling loss with respect to the lens interval L shown in FIG.
Even when the optical path is switched by the optical path switching method 5, it is possible to realize optical coupling which is always optimal and has no variation in signal intensity between the optical waveguides. In addition, the first and second lens arrays 23, 2
Also in No. 4, since the optical coupling is optimized with the propagation lengths having the same optical path length, the focal lengths of the respective lenses of the lens array can be made uniform, which facilitates the processing of the lens array.

【0014】ここで、図1、図2に示す構成の光スイッ
チ光学系において、光スイッチ素子25としては、光マ
イクロデバイス(MEMS、あるいはMOEMS)や、
電気光学偏向器を用いることができる。光マイクロデバ
イス(MEMS、あるいはMOEMS)の具体例として
は、n×m個の回転駆動可能な微小反射ミラーと駆動用
アクチュエータをマイクロマシーニング技術を用いて半
導体基板上に集積し、各反射ミラーを静電駆動や電磁駆
動等により駆動制御する光マイクロミラーデバイスや、
基板に対して垂直あるいは平行方向にスライド移動可能
なn×m個の微小ミラーと駆動用アクチュエータをマイ
クロマシーニング技術を用いて半導体基板上に集積し、
各反射ミラーを静電駆動や電磁駆動等により駆動制御す
るスライドミラーデバイスなどがある。また、n×m本
の交差配列された光導波路の交差部に溝を設け、該溝内
に屈折率整合液等の液体を封入し、熱毛細管現象を利用
した方式やサーマルジェット方式などにより光の反射と
透過を切り替える導波路型光スイッチなどもある。
Here, in the optical switch optical system having the configuration shown in FIGS. 1 and 2, as the optical switch element 25, an optical microdevice (MEMS or MOEMS),
An electro-optic deflector can be used. As a specific example of the optical microdevice (MEMS or MOEMS), n × m rotationally drivable minute reflecting mirrors and driving actuators are integrated on a semiconductor substrate by using a micromachining technique, and each reflecting mirror is integrated. An optical micromirror device that is driven and controlled by electrostatic drive or electromagnetic drive,
N × m micromirrors that can slide vertically or parallel to the substrate and a driving actuator are integrated on a semiconductor substrate by using micromachining technology.
There is a slide mirror device that drives and controls each reflection mirror by electrostatic drive or electromagnetic drive. In addition, a groove is provided at the intersection of n × m optical waveguides that are arranged in a crossed arrangement, and a liquid such as a refractive index matching liquid is sealed in the groove, and light is generated by a method utilizing a thermal capillary phenomenon or a thermal jet method. There is also a waveguide type optical switch that switches between reflection and transmission.

【0015】さらに、電気光学偏向器としては、ニオブ
酸リチウム(LiNbO)等の電気光学効果を有する
材料を用いてn×m本の交差配列された光導波路を形成
し、光導波路の交差部に電極を設けて反射障壁部とし、
電界によって屈折率を変化させて光の反射と透過を切り
替える方式のものなどがある。
Further, as the electro-optical deflector, a material having an electro-optical effect, such as lithium niobate (LiNbO 3 ), is used to form n × m optical waveguides arranged in a crossed array, and the crossing portions of the optical waveguides are formed. An electrode is provided on the
There is a system in which the refractive index is changed by an electric field to switch between reflection and transmission of light.

【0016】次に、図1、図2に示す構成の光スイッチ
光学系においては、光反射屈折素子26,27としてミ
ラーアレイを用いた例を示したが、光反射屈折素子とし
ては、ミラーアレイの他に、プリズム、プリズムアレ
イ、回折光学素子などを用いることができる。
Next, in the optical switch optical system having the configuration shown in FIGS. 1 and 2, an example in which a mirror array is used as the light reflection / refraction elements 26 and 27 has been shown. Besides, a prism, a prism array, a diffractive optical element, or the like can be used.

【0017】また、図1、図2に示す構成の光スイッチ
光学系においては、光結合用光学素子23,24として
レンズアレイを用いた例を示したが、光結合用光学素子
としては、レンズアレイの他に、バイナリーレンズ、回
折光学素子、ホログラフィック素子などを用いることが
できる。
Further, in the optical switch optical system having the structure shown in FIGS. 1 and 2, the lens array is used as the optical coupling optical elements 23 and 24, but the optical coupling optical element is a lens. In addition to the array, a binary lens, a diffractive optical element, a holographic element, or the like can be used.

【0018】さらにまた、図1、図2に示す構成の光ス
イッチ光学系においては、光結合用光学素子23,24
と光反射屈折素子26,27を一体とした光学素子を用
いることもできる。例えば、ミラーアレイ、プリズム、
プリズムアレイ、回折光学素子などの光反射屈折素子の
一面にレンズアレイ等を接合して一体化するか、あるい
は一体形成した光学素子を用いれば、光スイッチ光学系
の構成を簡素化することができ、組み付けや位置合わせ
の手間も軽減することができる。
Furthermore, in the optical switch optical system having the structure shown in FIGS. 1 and 2, the optical elements 23 and 24 for optical coupling are provided.
It is also possible to use an optical element in which the light reflection and refraction elements 26 and 27 are integrated. For example, mirror array, prism,
The structure of the optical switch optical system can be simplified by bonding a lens array or the like to one surface of a light reflecting / refracting element such as a prism array or a diffractive optical element to form an integrated structure, or by using an integrally formed optical element. Also, it is possible to reduce the time and effort for assembly and alignment.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光スイッ
チ光学系は、第1の光導波路アレイと第2の光導波路ア
レイの間に配置され任意の光導波路間の光路を切り替え
るn×m個の光スイッチを有する光スイッチ素子と、第
1の光導波路アレイと光スイッチ素子の間に配置される
第1の光結合用光学素子及び第1の光反射屈折素子と、
光スイッチ素子と第2の光導波路アレイの間に配置され
る第2の光反射屈折素子及び第2の光結合用光学素子と
によって構成され、第1、第2の光反射屈折素子は、第
1、第2の光導波路アレイと光スイッチ素子との間の光
路を偏向して、第1の光導波路アレイと第2の光導波路
アレイの任意の光導波路間の光路長を一定の距離に保つ
ように配置したことにより、第1の光導波路アレイの任
意の光導波路からの光路を、第2の光導波路アレイの任
意の光導波路へ光路を切り替える場合、どの光導波路へ
も光路長が同じ距離となり、光路長変化がなくなるの
で、光スイッチ素子による光路切り替えに対しても常に
任意の光導波路間の光結合の最適化ができ、信号強度の
ばらつきがない光結合を行うことができる。また、光結
合用光学素子にレンズアレイを用いた場合にも、光路長
が同じ伝搬長での光結合を最適化するので、レンズアレ
イの各レンズを同じ焦点距離で最適化できるため、レン
ズアレイの加工がしやすくなる。
As described above, the optical switch optical system of the present invention is arranged between the first optical waveguide array and the second optical waveguide array and switches the optical path between arbitrary optical waveguides n × m. An optical switch element having a plurality of optical switches, a first optical coupling optical element and a first optical catadioptric element arranged between the first optical waveguide array and the optical switch element,
The second light reflection / refraction element and the second optical coupling optical element are arranged between the optical switch element and the second optical waveguide array. 1, the optical path between the second optical waveguide array and the optical switch element is deflected to keep the optical path length between arbitrary optical waveguides of the first optical waveguide array and the second optical waveguide array at a constant distance. With this arrangement, when the optical path from the arbitrary optical waveguide of the first optical waveguide array is switched to the arbitrary optical waveguide of the second optical waveguide array, the optical path length is the same for all the optical waveguides. Since there is no change in the optical path length, the optical coupling between arbitrary optical waveguides can always be optimized even when the optical path is switched by the optical switching element, and the optical coupling can be performed without variations in signal intensity. Even when a lens array is used as the optical element for optical coupling, the optical coupling with the same optical path length is optimized, so that each lens of the lens array can be optimized with the same focal length. Will be easier to process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す光スイッチ光学系の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical switch optical system showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す光スイッチ光学系の配置説明図であ
る。
FIG. 2 is a layout explanatory view of the optical switch optical system shown in FIG.

【図3】従来技術の一例を示す光スイッチ光学系の概略
構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an optical switch optical system showing an example of a conventional technique.

【図4】2つの光導波路を2つのレンズを用いて結合す
る場合の説明図であり、(a)はレンズ間の光路長が最
適な状態を模式的に示す図、(b)はレンズ間の光路長
が最適な状態よりも短いときの状態を模式的に示す図、
(c)はレンズ間の光路長が最適な状態よりも長いとき
の状態を模式的に示す図である。
4A and 4B are explanatory views when two optical waveguides are coupled by using two lenses, FIG. 4A is a diagram schematically showing a state in which an optical path length between lenses is optimum, and FIG. A diagram schematically showing a state when the optical path length of is shorter than the optimum state,
(C) is a figure which shows typically the state when the optical path length between lenses is longer than the optimal state.

【図5】最適なレンズ間隔Lに対してレンズ間隔Lが
変化した場合のカップリングロスの計算値を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing a calculated value of a coupling loss when the lens distance L changes with respect to the optimum lens distance L 0 .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 第1の光導波路アレイ 22 第2の光導波路アレイ 23 第1のレンズアレイ(第1の光結合用光学素
子) 24 第2のレンズアレイ(第2の光結合用光学素
子) 25 光スイッチ素子 25S 光スイッチ 26 第1のミラーアレイ(第1の光反射屈折素
子) 27 第2のミラーアレイ(第2の光反射屈折素
子)
21 First Optical Waveguide Array 22 Second Optical Waveguide Array 23 First Lens Array (First Optical Coupling Optical Element) 24 Second Lens Array (Second Optical Coupling Optical Element) 25 Optical Switch Element 25S Optical Switch 26 First Mirror Array (First Light Reflecting and Refracting Element) 27 Second Mirror Array (Second Light Reflecting and Refracting Element)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石亀 貴幸 岩手県花巻市大畑第10地割109番地・リコ ー光学株式会社内 Fターム(参考) 2H041 AA16 AB13 AC04 AC06 2K002 AA02 AB05 BA06 EA14 EA30 HA02    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Takayuki Ishigame             109, Ohata 10th District, Hanako, Iwate Prefecture, Rico             -In Optical Co., Ltd. F-term (reference) 2H041 AA16 AB13 AC04 AC06                 2K002 AA02 AB05 BA06 EA14 EA30                       HA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】n個の光導波路の光導波路端を一直線上に
配置した第1の光導波路アレイと、m個の光導波路の光
導波路端を一直線上に配置した第2の光導波路アレイと
を、光スイッチ素子と光結合用光学素子を介して結合
し、2つの光導波路アレイ間で任意の光導波路を光結合
するための光スイッチ光学系において、 第1の光導波路アレイと第2の光導波路アレイの間に配
置され任意の光導波路間の光路を切り替えるn×m個の
光スイッチを有する光スイッチ素子と、第1の光導波路
アレイと光スイッチ素子の間に配置される第1の光結合
用光学素子及び第1の光反射屈折素子と、光スイッチ素
子と第2の光導波路アレイの間に配置される第2の光反
射屈折素子及び第2の光結合用光学素子とによって構成
され、第1、第2の光反射屈折素子は、第1、第2の光
導波路アレイと光スイッチ素子との間の光路を偏向し
て、第1の光導波路アレイと第2の光導波路アレイの任
意の光導波路間の光路長を一定の距離に保つように配置
したことを特徴とする光スイッチ光学系。
1. A first optical waveguide array in which the optical waveguide ends of n optical waveguides are arranged in a straight line, and a second optical waveguide array in which the optical waveguide ends of m optical waveguides are arranged in a straight line. In an optical switch optical system for optically coupling an arbitrary optical waveguide between two optical waveguide arrays by coupling the optical switching element and the optical coupling optical element. An optical switch element having n × m optical switches arranged between the optical waveguide arrays and switching an optical path between arbitrary optical waveguides, and a first optical waveguide element arranged between the first optical waveguide array and the optical switch element. An optical coupling optical element and a first optical catadioptric element, and a second optical catadioptric element and a second optical coupling optical element that are arranged between the optical switch element and the second optical waveguide array. The first and second light reflection and refraction elements , The optical path between the first and second optical waveguide arrays and the optical switch element is deflected, and the optical path length between arbitrary optical waveguides of the first optical waveguide array and the second optical waveguide array is fixed by a certain distance. An optical switch optical system characterized in that it is arranged so as to be kept at.
【請求項2】請求項1記載の光スイッチ光学系におい
て、 n個の光導波路端が直線Ln上に配置された第1の光導
波路アレイと、m個の光導波路端が直線Lm上に配置さ
れた第2の光導波路アレイを、互いの光導波路端が平行
(Ln‖Lm)になるように対向して配置し、第1、第
2の光結合用光学素子は第1、第2の光導波路アレイの
光導波路端に対向して配置し、2つの光導波路アレイ間
に配置される光スイッチ素子は各光スイッチの反射面の
法線方向S⊥が第1、第2の光導波路アレイの光導波路
端と平行(Ln‖S⊥)になるように配置し、かつ、光
スイッチ素子の各光スイッチでの光束の入射角と反射角
をθとし、第1、第2の光結合用光学素子と光スイッ
チ素子との間に配置される第1、第2の光反射屈折素子
により偏向され各光導波路アレイからの光路に対して曲
げられる光路の角度をθi、θjとしたとき、各角度の
関係が、 |θi|=|θj|=90°−|θ| となるように第1、第2の光反射屈折素子を配置するこ
とにより、光スイッチ素子により結合される直線Lnと
直線Lm上にある任意の光導波路間の光路長が一定の距
離Lに保たれ、第1、第2の光結合用光学素子によっ
て光導波路間の最適な光結合が行われることを特徴とす
る光スイッチ光学系。
2. The optical switch optical system according to claim 1, wherein a first optical waveguide array in which n optical waveguide ends are arranged on a straight line Ln, and m optical waveguide ends are arranged on a straight line Lm. The arranged second optical waveguide arrays are arranged so as to face each other so that their optical waveguide ends are parallel (Ln | Lm), and the first and second optical coupling optical elements are the first and second optical coupling optical elements. The optical switch element, which is arranged so as to face the optical waveguide end of the optical waveguide array and is arranged between the two optical waveguide arrays, has the first and second optical waveguide arrays in which the normal direction S⊥ of the reflecting surface of each optical switch is Is arranged so as to be parallel to the end of the optical waveguide of (Ln ∥S ⊥), and the incident angle and reflection angle of the light flux at each optical switch of the optical switch element are θ 0, and the first and second optical coupling Is deflected by the first and second light-reflecting and refracting elements arranged between the optical element for optical use and the optical switching element. When the angles of the optical paths bent with respect to the optical paths from the respective optical waveguide arrays are θi and θj, the relationship between the respective angles becomes | θi | = | θj | = 90 ° − | θ 0 | , By arranging the second light reflection / refraction element, the optical path length between arbitrary optical waveguides on the straight line Ln and the straight line Lm coupled by the optical switch element is kept at a constant distance L 0 , and An optical switch optical system characterized in that optimal optical coupling between optical waveguides is performed by a second optical coupling optical element.
【請求項3】請求項1または2記載の光スイッチ光学系
において、 光スイッチ素子として、光マイクロデバイスまたは電気
光学偏向器を用いたことを特徴とする光スイッチ光学
系。
3. The optical switch optical system according to claim 1, wherein an optical microdevice or an electro-optical deflector is used as the optical switch element.
【請求項4】請求項1または2記載の光スイッチ光学系
において、 光反射屈折素子として、ミラーアレイ、プリズム、プリ
ズムアレイ、回折光学素子の何れかを用いたことを特徴
とする光スイッチ光学系。
4. The optical switch optical system according to claim 1 or 2, wherein any one of a mirror array, a prism, a prism array and a diffractive optical element is used as the light reflecting / refracting element. .
【請求項5】請求項1または2記載の光スイッチ光学系
において、 光結合用光学素子として、レンズアレイ、バイナリーレ
ンズ、回折光学素子、ホログラフィック素子の何れかを
用いたことを特徴とする光スイッチ光学系。
5. The optical switch optical system according to claim 1, wherein any one of a lens array, a binary lens, a diffractive optical element and a holographic element is used as the optical element for optical coupling. Switch optics.
【請求項6】請求項1または2記載の光スイッチ光学系
において、 光結合用光学素子と光反射屈折素子を一体とした光学素
子を用いたことを特徴とする光スイッチ光学系。
6. The optical switch optical system according to claim 1 or 2, wherein an optical element in which an optical element for optical coupling and an optical catadioptric element are integrated is used.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7289695B2 (en) 2004-12-07 2007-10-30 Fujitsu Limited Optical switching device and optical member unit
JP2016024929A (en) * 2014-07-18 2016-02-08 スタンレー電気株式会社 Vehicular lighting tool

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