JP2003215378A - Method for forming particulate film - Google Patents

Method for forming particulate film

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JP2003215378A
JP2003215378A JP2002015212A JP2002015212A JP2003215378A JP 2003215378 A JP2003215378 A JP 2003215378A JP 2002015212 A JP2002015212 A JP 2002015212A JP 2002015212 A JP2002015212 A JP 2002015212A JP 2003215378 A JP2003215378 A JP 2003215378A
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fine particle
particle film
forming
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high frequency
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Inventor
Masahiko Abe
正彦 阿部
Hiroyuki Yamazaki
浩之 山崎
Masaki Oda
政紀 織田
Shinya Tsukamoto
晋也 塚本
Toshiro Sakai
俊郎 酒井
Aritomo Yamaguchi
有朋 山口
Hideki Sakai
秀樹 酒井
Nobuyuki Momosawa
信幸 桃澤
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NIPPON BORON KK
Nippon Boron KK
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NIPPON BORON KK
Nippon Boron KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means of easily arranging fine particles to produce a periodic structure of μm order. <P>SOLUTION: In a method for forming a particulate film, fine particles are arranged in a hyperbola type quadruple electrode by applying an electric field which varies at high frequency. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電場の印加により
微小粒子を整列させる微小粒子膜の形成方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for forming a fine particle film in which fine particles are aligned by applying an electric field.

【0002】[0002]

【従来の技術】コロイド粒子等の微小粒子を二次元や三
次元的に規則配列させた微小粒子結晶は、非線形光学材
料・光学素子として利用できることから、光デバイスの
高効率化、微小化が期待されている。そのため、近年で
はこのような微小粒子結晶を作製する研究が盛んに行わ
れている。
2. Description of the Related Art A fine particle crystal in which fine particles such as colloidal particles are regularly arranged in a two-dimensional or three-dimensional manner can be used as a non-linear optical material / optical element. Has been done. Therefore, in recent years, researches for producing such fine particle crystals have been actively conducted.

【0003】例えば、フォトニック結晶に特徴的な光の
伝搬特性を活かしたマイクロフォトニックデバイスを実
現するためには、結晶中に光を強く閉じこめることが可
能な三次元フォトニック結晶の作製技術の確立が必要で
ある。
For example, in order to realize a microphotonic device that makes use of the light propagation characteristics characteristic of a photonic crystal, a technique for producing a three-dimensional photonic crystal capable of strongly confining light in the crystal has been proposed. It needs to be established.

【0004】このような、三次元フォトニック結晶の作
製についてはこれまでにも種々の方法が試みられてお
り、マイクロ波からミリ波の波長領域においては、機械
的にドリルを用いて誘電体に穴を開けるという手法が用
いられている。しかし、光学波長の領域にフォトニック
バンドギャップを持つフォトニック結晶の作製となると
半波長程度の微細三次元加工が必要不可欠となり、上記
の手法は採用できない。
Various methods have been attempted up to now for the production of such a three-dimensional photonic crystal. In the wavelength region of microwave to millimeter wave, a dielectric is mechanically used to form a dielectric. The technique of making a hole is used. However, when manufacturing a photonic crystal having a photonic bandgap in the optical wavelength region, fine three-dimensional processing of about a half wavelength is indispensable, and the above method cannot be adopted.

【0005】これまでに様々な半導体プロセス技術を用
いたフォトニック結晶の作製方法が報告されており、こ
れらを用いて三次元フォトニック結晶を作製することも
考えられるが、従来の半導体プロセス技術は、基本的に
薄膜形成とエッチングという二次元加工が基本であるた
めに、これらの手法を用いて数十周期におよぶ三次元フ
ォトニック結晶を作製することは本質的に困難である。
Up to now, there have been reported methods for producing a photonic crystal using various semiconductor process technologies, and it is possible to use these to produce a three-dimensional photonic crystal. Since two-dimensional processing, that is, thin film formation and etching, is fundamental, it is essentially difficult to produce a three-dimensional photonic crystal with several tens of cycles using these methods.

【0006】そのため近年では、マイクロおよびサブミ
クロンオーダーの微小粒子を三次元的に充填配列化する
ことによって簡便にマイクロメートルオーダーの三次元
的な周期構造体の作製する方法が開発されている。
Therefore, in recent years, a method for easily producing a three-dimensional periodic structure of the order of micrometers has been developed by packing and arranging micro particles of the order of micro and submicrons in a three-dimensional manner.

【0007】これらの方法の例としては、高分子分散液
を基板に滴下し、水を蒸発させることにより三次元的に
自己組織化させる移流集積法や、粒子を一つずつを電子
顕微鏡観察下でマニピュレートし三次元まで積み上げる
方法などがある。しかし移流集積法は、自在に配列状態
を制御することはできず、欠陥が多いことが知られてい
る。また、粒子一つずつマニピュレートする方法は自在
な配列状態を構築できる利点もあるが、操作がきわめて
困難でかつ簡便性に欠ける。
Examples of these methods include a convective accumulation method in which a polymer dispersion is dropped on a substrate and water is evaporated to self-assemble three-dimensionally, or particles are observed one by one under an electron microscope. There is a method of manipulating and stacking up to three dimensions. However, it is known that the advection integration method cannot control the array state freely and has many defects. Further, the method of manipulating particles one by one has the advantage that a freely arranged state can be constructed, but the operation is extremely difficult and lacks in simplicity.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、マイク
ロメートルオーダーの周期構造体を作製するための、簡
便に微小粒子を配列化する手段の提供が求められてお
り、本発明の課題はこのような手段を提供することであ
る。
As described above, there is a demand for providing means for easily arranging fine particles for producing a periodic structure of the order of micrometers, and the object of the present invention is to solve the problems. It is to provide such a means.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく、鋭意研究を行った結果、配列手段として
特定の電場を用いれば、一度に大量の粒子を動かすこと
ができ、溶液中での配列制御が可能であることおよびこ
の方法により可逆的に配列状態の制御が可能であること
を見出し、本発明を完成した。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a large amount of particles can be moved at a time by using a specific electric field as an arranging means. The present inventors have completed the present invention by finding that the arrangement can be controlled in a solution and that the arrangement can reversibly control the arrangement.

【0010】すなわち本発明は、双曲線型四重電極内に
おいて、高周波数で変動する電場を印加することにより
微小粒子を整列させることを特徴とする微小粒子膜の形
成方法を提供するものである。
That is, the present invention provides a method for forming a fine particle film characterized by aligning fine particles in a hyperbolic quadrupole electrode by applying an electric field varying at a high frequency.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本明細書中において、微小粒子と
は、その形状が均一な形状の、ほぼ10nmから数mm
の範囲の粒径を有する粒子を意味する。ここで、「均一
な形状」とは、使用される粒子が配列されたときに規則
的な構造体となる形状であることを意味し、特にその形
状が制限されるものではないが、大きさが揃っているこ
とが重要であり、球状や、棒状、板状等の形状の粒子が
使用される。また、この微小粒子の材質については、特
に制約はなく、有機物微小粒子あるいは無機物微小粒子
が使用され、例えば、ポリスチレンラテックス粒子、ポ
リアクリレート粒子、ポリメチルメタクリレート粒子、
ポリウレタン粒子等の高分子樹脂粒子や、シリカ微小粒
子等を用いることが好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present specification, the term “fine particle” refers to a particle having a uniform shape of approximately 10 nm to several mm.
Means particles having a particle size in the range of. Here, the “uniform shape” means that the particles used have a regular structure when arranged, and the shape is not particularly limited, but the size is not limited. Is important, and spherical, rod-shaped, or plate-shaped particles are used. The material of the fine particles is not particularly limited, organic fine particles or inorganic fine particles are used, for example, polystyrene latex particles, polyacrylate particles, polymethylmethacrylate particles,
It is preferable to use polymer resin particles such as polyurethane particles and silica fine particles.

【0012】本発明方法を実施するには、上記した双曲
線型四重電極内において、高周波数で変動する電場を印
加することが必要である。
In order to carry out the method of the present invention, it is necessary to apply an electric field that fluctuates at a high frequency in the above-mentioned hyperbolic quadrupole electrode.

【0013】本発明において使用される双曲線型四重電
極は、既に文献(ワタライら、”Langmuir”, Vol.13,
2417-2420, 1997)で報告されているが、図1に示すよ
うな形状の電極である。この電極は、対極が同極になる
ように電場が印加され、電極の中心にいくほど電場が弱
くなる特徴があるものである。そして、電場がかかる部
分は、4つの電極で囲まれた、略ひし形の部分であり、
対極の電極間距離は特に制約されるものではないが、5
0から2000μm程度である。
The hyperbolic quadrupole electrode used in the present invention has already been disclosed in the literature (Wataray et al., “Langmuir”, Vol. 13,
2417-2420, 1997), the electrode has a shape as shown in FIG. An electric field is applied to this electrode so that the counter electrode has the same polarity, and the electric field becomes weaker toward the center of the electrode. Then, the part to which the electric field is applied is a substantially diamond-shaped part surrounded by four electrodes,
The distance between the electrodes of the counter electrode is not particularly limited, but 5
It is about 0 to 2000 μm.

【0014】この電極内において、配列させる微小粒子
は、例えば、蒸留水や脱イオン水等の溶媒に懸濁させて
おくことが好ましいが、必要により、この溶媒中に塩化
カリウム等の電解質媒体を加えることもできる。電解質
媒体を使用する場合、その濃度は、1mM程度までとす
ることが好ましい。
In this electrode, the fine particles to be arranged are preferably suspended in a solvent such as distilled water or deionized water. If necessary, an electrolyte medium such as potassium chloride may be added to the solvent. It can also be added. When an electrolyte medium is used, its concentration is preferably up to about 1 mM.

【0015】この双曲線型四重電極に、例えば、800
Hzから10MHz程度の高周波数で変動する単純な交
流電場を印加すると、微小粒子は誘導泳動により電場の
弱い方向へ泳動し、単分子膜状に配列する。この配列に
要する時間は、微小粒子の種類、粒子径、液中濃度にも
よるが、数分ないし数十分程度で単分子膜を形成する。
This hyperbolic quadrupole electrode is provided with, for example, 800
When a simple AC electric field that fluctuates at a high frequency of about 10 MHz from 10 Hz is applied, the microparticles migrate in a weak electric field direction by induction migration and are arranged in a monomolecular film shape. The time required for this arrangement depends on the type of fine particles, particle size, and concentration in liquid, but a monomolecular film is formed in about several minutes to several tens of minutes.

【0016】上記の方法で、単分子膜が形成されるが、
多層膜を形成するには、更に上記のように単分子膜が形
成された上記双曲線型四重電極に、直流に重畳させて、
例えば、800Hzから10MHz程度の高周波数で変
動する交流を印加すれば良い。そうすると、直流による
微小粒子と負極の静電的反発力と、交流による負の誘電
泳動力が作用し、電極外から微小粒子を集め、多層に配
列する。この配列に要する時間も、微小粒子の種類、粒
子径、液中濃度によるが、数分ないし数十分程度であ
る。なお、上記の直流は、5秒ないし30秒程度の間隔
で正負を交番することが望ましい。
A monolayer is formed by the above method,
In order to form a multi-layered film, the hyperbolic quadrupole electrode on which the monomolecular film is formed as described above is superposed on a direct current,
For example, an alternating current varying at a high frequency of about 800 Hz to 10 MHz may be applied. Then, the electrostatic repulsive force between the fine particles and the negative electrode due to the direct current and the negative dielectrophoretic force due to the alternating current act to collect the fine particles from the outside of the electrode and arrange them in multiple layers. The time required for this arrangement depends on the type of the fine particles, the particle size, and the concentration in the liquid, but is about several minutes to several tens of minutes. It is desirable that the above-mentioned direct current alternates between positive and negative at intervals of about 5 to 30 seconds.

【0017】更に、上記したように多層化した微小粒子
は、再度高周波の交流を印加することにより、三次元状
に配列した多層化膜となる。この多層化膜が得られるま
での時間は、前記と同様、微小粒子の種類等によるが数
分ないし十数分である。
Further, the fine particles multilayered as described above become a multilayered film arranged three-dimensionally by applying a high frequency alternating current again. The time until the multilayered film is obtained is, depending on the type of fine particles and the like, a few minutes to a dozen minutes, as described above.

【0018】上記のようにして、分散した微小粒子を規
則性を持って配列させることができる。そして、双曲線
型四重電極としてある程度の高さを持つ電極を利用し、
前記した操作を繰り返せば、3重以上の多層の三次元状
に配列した多層化微小粒子膜を得ることが可能となる。
As described above, the dispersed fine particles can be arranged with regularity. And using an electrode with a certain height as a hyperbolic quadrupole electrode,
By repeating the above-mentioned operation, it becomes possible to obtain a multi-layered fine particle film in which three or more layers are three-dimensionally arranged.

【0019】このようにして得られた微小粒子の単分子
膜や三次元状に配列した多層化膜は、その状態でコロイ
ド結晶とすれば、種々の光デバイス等として利用するこ
とが可能になる。また、これのみに限られず、いわゆる
ナノ技術分野において、種々のデバイスを作製するため
に有利に利用することができる。
The monomolecular film of the fine particles and the multilayered film arranged three-dimensionally obtained in this way can be used as various optical devices etc. by forming colloidal crystals in that state. . Further, the present invention is not limited to this, and can be advantageously used for producing various devices in the so-called nanotechnology field.

【0020】[0020]

【実施例】以下実施例を挙げ、本発明を更に詳しく説明
するが、本発明はこれら実施例等に何ら制約されるもの
ではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0021】参 考 例 1 双曲線型四重電極の作製:電場印加のために、図2に示
す装置を作成した。また、双曲線型四重電極としては、
40mm×100mmのスライドグラス上に、ルテニウ
ム製の電極を、図1の様な形状で配置した。対極間の距
離は、最小で0.4mmであり、隣接する電極間の距離
は、最小で80μmとした。なお、対極は常に同極にな
るようにした。
Reference Example 1 Preparation of hyperbolic quadrupole electrode: A device shown in FIG. 2 was prepared for applying an electric field. In addition, as a hyperbolic quadrupole electrode,
An electrode made of ruthenium was arranged in a shape as shown in FIG. 1 on a slide glass of 40 mm × 100 mm. The minimum distance between the counter electrodes was 0.4 mm, and the minimum distance between adjacent electrodes was 80 μm. The counter electrode was always the same.

【0022】実 施 例 1 微小粒子膜の形成(1) コロイド粒子として、直径が5μm、ζ電位が−64m
Vのポリスチレンラテックス(デューク・サイエンティ
フィック社製;以下、「PSL」という)を用い、これ
を注射用蒸留水に、0.5w%となるよう懸濁させて、
試料懸濁液を得た。
Example 1 Formation of Microparticle Film (1) Colloidal particles having a diameter of 5 μm and a ζ potential of −64 m
V polystyrene latex (manufactured by Duke Scientific Co .; hereinafter referred to as "PSL") was used and suspended in distilled water for injection at 0.5 w%,
A sample suspension was obtained.

【0023】この試料懸濁液を、参考例1の双曲線型四
重電極に入れた(図3)。次いで、周波数1MHz、電
圧1.5Vrmsの交流を印加し、電場印加下での粒子
の挙動を微分干渉光学顕微鏡により観察した。最初は分
散していたポリスチレンラテックスが電極の中心に向か
って誘電泳動するのが観察され、約15分程度でPSL
の単分子膜が形成された(図4)。
This sample suspension was placed in the hyperbolic quadrupole electrode of Reference Example 1 (FIG. 3). Then, an alternating current having a frequency of 1 MHz and a voltage of 1.5 Vrms was applied, and the behavior of the particles under application of an electric field was observed with a differential interference optical microscope. At first, it was observed that the dispersed polystyrene latex dielectrophores toward the center of the electrode, and in about 15 minutes PSL
Was formed (Fig. 4).

【0024】実 施 例 2 微小粒子膜の形成(2) 実施例1のようにして形成された、PSL単分子膜につ
いて、次に高周波数の交流を重畳した直流を印加した。
直流は、1.5Vとし、15秒毎に正負を交番させた。
また、重畳させる交流は、周波数1MHz、電圧1.5
Vrmsとした。この印加により、電極外からPSLを
集め、約15分後には、PSLの多層膜が形成された
(図5)。
Example 2 Formation of Fine Particle Film (2) For the PSL monomolecular film formed as in Example 1, a direct current superposed with a high frequency alternating current was applied.
The direct current was set to 1.5 V, and positive and negative alternating every 15 seconds.
The alternating current to be superimposed has a frequency of 1 MHz and a voltage of 1.5.
Vrms. By this application, PSL was collected from outside the electrode, and after about 15 minutes, a PSL multilayer film was formed (FIG. 5).

【0025】実 施 例 3 微小粒子膜の形成(3) 更に、実施例2のようにして形成された多層化膜につい
て、再度周波数1MHz、電圧1.5Vrmsの交流を
印加した。約3分後に、三次元的に配列した多層膜が得
られた(図6)。
Example 3 Formation of Fine Particle Film (3) Further, alternating current having a frequency of 1 MHz and a voltage of 1.5 Vrms was applied again to the multilayer film formed as in Example 2. After about 3 minutes, a three-dimensionally arranged multilayer film was obtained (FIG. 6).

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、電場操作のみで粒子の
単分子膜化や、多層膜化および三次元的な充填配列化を
形成させることが可能である。
According to the present invention, it is possible to form particles into a monomolecular film, a multilayer film, and a three-dimensional packing arrangement by only operating an electric field.

【0027】そして、双曲線型四重電極をある程度の厚
みとすることにより、かなりの多層の微小粒子膜を形成
させることが可能であり、さらに電場印加時間を制御す
れば積み上げる層の数の制御も可能になると考えられ
る。
By forming the hyperbolic quadrupole electrode to a certain degree of thickness, it is possible to form a considerably multi-layered fine particle film, and further control the number of layers to be stacked by controlling the electric field application time. It will be possible.

【0028】そして更に、本発明者らが別に発明した微
小粒子の結合方法と組み合わせることにより、単分子膜
や多層膜を固定することが可能となり、新たなデバイス
の開発のための手法として極めて有用なものである。
Furthermore, by combining with the method for bonding fine particles that the present inventors have invented separately, it becomes possible to fix a monomolecular film or a multilayer film, which is extremely useful as a method for developing a new device. It is something.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 双曲線型四重電極の形状を示す図面FIG. 1 is a drawing showing the shape of a hyperbolic quadrupole electrode.

【図2】 電場印加装置のブロック図を示す図面FIG. 2 is a drawing showing a block diagram of an electric field applying device.

【図3】 電場印加前の試料懸濁液の状態を示す図面FIG. 3 is a drawing showing a state of a sample suspension before applying an electric field.

【図4】 交流電場印加後の試料懸濁液の状態を示す図
FIG. 4 is a drawing showing a state of a sample suspension after application of an alternating electric field.

【図5】 交流が重畳された直流電場を印加後の試料懸
濁液の状態を示す図面
FIG. 5 is a drawing showing a state of a sample suspension after applying a DC electric field on which AC is superimposed.

【図6】 再度交流電場印加後の試料懸濁液の状態を示
す図面 以 上
FIG. 6 Above a drawing showing the state of the sample suspension after the AC electric field is applied again.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 織田 政紀 埼玉県さいたま市別所1−20−5 鹿島荘 105号 (72)発明者 塚本 晋也 石川県松任市千代野西6−9−10 (72)発明者 酒井 俊郎 長野県伊那市西春近5103 (72)発明者 山口 有朋 神奈川県横浜市青葉区桂台2−12−32 (72)発明者 酒井 秀樹 神奈川県鎌倉市玉縄2−17−30 (72)発明者 桃澤 信幸 千葉県流山市江戸川台西4−191 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA12 PA00 TA43 4G075 AA24 CA14 CA25 DA02 DA18 EC21    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Masaki Oda             1-20-5 Bessho, Saitama City, Saitama Prefecture Kashimaso             No. 105 (72) Inventor Shinya Tsukamoto             6-9-10 Chiyono Nishi, Matsuto City, Ishikawa Prefecture (72) Inventor Toshiro Sakai             5103 Nishiharu, Ina City, Nagano Prefecture (72) Inventor Ariomo Yamaguchi             2-12-32 Katsuradai, Aoba-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (72) Inventor Hideki Sakai             2-17-30 Tamawa, Kamakura City, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Nobuyuki Momozawa             4-191 Edogawadainishi, Nagareyama City, Chiba Prefecture F term (reference) 2H047 KA03 KA12 PA00 TA43                 4G075 AA24 CA14 CA25 DA02 DA18                       EC21

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 双曲線型四重電極内において、高周波数
で変動する電場を印加することにより微小粒子を整列さ
せることを特徴とする微小粒子膜の形成方法。
1. A method for forming a fine particle film, which comprises aligning fine particles in a hyperbolic quadrupole electrode by applying an electric field varying at a high frequency.
【請求項2】 高周波数で変動する電場が、高周波数の
交流により与えられるものであり、形成される微小粒子
膜が単分子膜である請求項1記載の微小粒子膜の形成方
法。
2. The method for forming a fine particle film according to claim 1, wherein the electric field fluctuating at a high frequency is given by an alternating current having a high frequency, and the fine particle film formed is a monomolecular film.
【請求項3】 高周波数で変動する電場が、 (1)高周波数の交流 (2)高周波数の交流を重畳した直流 をこの順序で印加することにより得られるものであり、
形成される微小粒子膜が多層化膜である請求項1記載の
微小粒子膜の形成方法。
3. An electric field fluctuating at a high frequency is obtained by (1) applying a high frequency alternating current (2) applying a direct current superposed with a high frequency alternating current in this order,
The method for forming a fine particle film according to claim 1, wherein the formed fine particle film is a multilayer film.
【請求項4】 高周波数で変動する電場が、 (1)高周波数の交流 (2)高周波数の交流を重畳した直流 (3)高周波の交流 をこの順序で印加することにより得られるものであり、
形成される微小粒子膜が三次元的に規則配列された多層
化膜である請求項1記載の微小粒子膜の形成方法。
4. An electric field fluctuating at a high frequency is obtained by (1) applying a high-frequency alternating current (2) applying a high-frequency alternating current (3) high-frequency alternating current in this order. ,
The method for forming a fine particle film according to claim 1, wherein the fine particle film to be formed is a multi-layered film having a three-dimensional regular array.
【請求項5】 高周波数で変動する電場が、800Hz
から10MHzのものである請求項1ないし請求項4の
何れかの項記載の微小粒子膜の形成方法。
5. The electric field fluctuating at high frequency is 800 Hz.
5. The method for forming a fine particle film according to any one of claims 1 to 4, wherein the fine particle film is from 10 MHz to 10 MHz.
【請求項6】 微小粒子が、電解質溶液に懸濁されたも
のである請求項第1項ないし請求項5の何れかの項記載
の微小粒子膜の形成方法。
6. The method for forming a fine particle film according to claim 1, wherein the fine particles are suspended in an electrolyte solution.
【請求項7】 微小粒子が、高分子樹脂粒子である請求
項1ないし請求項6の何れかの項記載の微小粒子膜の形
成方法。
7. The method for forming a fine particle film according to claim 1, wherein the fine particles are polymer resin particles.
【請求項8】 微小粒子が実質的に球状である請求項1
ないし請求項7の何れかの項記載の微小粒子膜の形成方
法。
8. The microparticles are substantially spherical.
9. The method for forming a fine particle film according to claim 7.
【請求項9】 直流が交番するものである請求項3また
は請求項4記載の微小粒子膜の形成方法。
9. The method for forming a fine particle film according to claim 3, wherein direct current is alternating.
【請求項10】 交番周期が、5から30秒である請求
項9記載の微小粒子膜の形成方法。
10. The method for forming a fine particle film according to claim 9, wherein the alternating period is 5 to 30 seconds.
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