JP2003215180A - Method and instrument for measuring specific resistance - Google Patents

Method and instrument for measuring specific resistance

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JP2003215180A
JP2003215180A JP2002009360A JP2002009360A JP2003215180A JP 2003215180 A JP2003215180 A JP 2003215180A JP 2002009360 A JP2002009360 A JP 2002009360A JP 2002009360 A JP2002009360 A JP 2002009360A JP 2003215180 A JP2003215180 A JP 2003215180A
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JP
Japan
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electrode
test body
electrodes
measuring
specific resistance
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Application number
JP2002009360A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuki Yabushita
延樹 藪下
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Non Destructive Inspection Co Ltd
Original Assignee
Non Destructive Inspection Co Ltd
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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an instrument that can easily and continuously measure a local specific resistance in a testing subject. <P>SOLUTION: The specific resistance of a testing subject S is measured by impressing a potential to the subject S via electrodes C, D for impression, and by finding a potential in each portion of the testing subject S, using measuring electrodes P1-P3, Q. A dolly 10 is provided to travel on a surface of the subject S, the electrodes for the impression and the measuring electrodes are provided on the dolly 10, or the electrodes C, D for the impression and the one side electrodes P1-P3 out of the measuring electrodes are provided on the dolly 10, and the other side electrode Q is provided on the surface of the testing subject S. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、いわゆる比抵抗映
像法にみられるような比抵抗測定方法と、これに使用す
る比抵抗測定装置に関するものである。さらに詳しく
は、試験体に印加用電極を介して電位を与えると共に、
測定用電極と前記試験体とを導通させて前記試験体の各
部位における比抵抗を測定する比抵抗測定方法及びこれ
に使用する測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resistivity measuring method as seen in so-called resistivity imaging and a resistivity measuring device used for the method. More specifically, while applying a potential to the test body via the application electrode,
The present invention relates to a specific resistance measuring method for measuring the specific resistance at each part of the test body by electrically connecting the measuring electrode and the test body, and a measuring device used for the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、比抵抗測定方法の一種である比抵
抗映像法は、一般的に地質探査等かなり大がかりな対象
物の大まかな比抵抗を知る用途に用いられている。ま
た、コンクリート構造物等にも比抵抗映像法を用いる場
合には、コンクリート表面に電極として導電性ゴムを貼
り付けたり、平板電極を粘土で固定している。そして、
電極をコンクリート等と電気的に十分接触させようとす
ると、広い接触面積を確保せねばならず、電極が広くな
らざるを得ない。
2. Description of the Related Art Conventionally, the resistivity imaging method, which is a kind of resistivity measuring method, is generally used for knowing the approximate resistivity of a considerably large object such as geological exploration. Further, when the resistivity imaging method is used for concrete structures and the like, conductive rubber is attached as an electrode to the concrete surface, or a flat plate electrode is fixed with clay. And
If the electrode is to be brought into sufficient electrical contact with concrete or the like, a wide contact area must be secured, and the electrode must be widened.

【0003】したがって、上述した従来型の電極接触手
法のもとで比抵抗映像法を実施するには、測定点を高密
度に確保することができなかった。その結果、同手法は
かなり荒い測定にしか用いることができず、探査という
言葉からもその点は伺い知ることができる。
Therefore, in order to carry out the resistivity imaging method based on the above-mentioned conventional electrode contact method, it was not possible to secure a high density of measurement points. As a result, the method can only be used for fairly rough measurements, and the term exploration can be used to tell that point.

【0004】しかも、上述のような荒い測定では、試験
体の途中に測定を妨げる介在物が存在したり、試験体が
良導電性の部材で一様に囲まれて印加電極の取付部に制
約がある場合等には、局所的な比抵抗を正確に求めるこ
とが困難であった。
Moreover, in the above-mentioned rough measurement, inclusions that hinder the measurement are present in the middle of the test body, or the test body is uniformly surrounded by a member having good conductivity, and the mounting portion of the application electrode is restricted. In some cases, it was difficult to accurately obtain the local resistivity.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】かかる従来の実状に鑑
みて、本発明は、試験体の局所的な比抵抗を簡易且つ連
続的に測定することの可能な比抵抗測定方法及び比抵抗
測定装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of such a conventional situation, the present invention provides a specific resistance measuring method and a specific resistance measuring apparatus capable of simply and continuously measuring the local specific resistance of a test body. To provide.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る比抵抗測定方法の第一の特徴は、試験
体に印加用電極を介して電位を与えると共に、測定用電
極により前記試験体の各部位における電位を求めること
により前記試験体の比抵抗を測定する方法であって、前
記試験体表面を走行する台車を設け、前記印加用電極及
び前記測定用電極を前記台車に設けたことにある。
In order to achieve the above object, the first characteristic of the method for measuring the specific resistance according to the present invention is that a potential is applied to a test body through an electrode for application and the electrode for measurement is used to A method for measuring the specific resistance of the test body by determining the potential at each site of the test body, wherein a carriage that travels on the surface of the test body is provided, and the application electrode and the measurement electrode are provided on the carriage. There is something.

【0007】同特徴によれば、台車に印加用電極及び測
定用電極が搭載されているので、試験体表面の自由な部
位に各電極を位置させることができる。したがって、介
在物や取り囲み物が試験体に存在する場合でも、これら
の影響を避け得る部分を選択してその部分の比抵抗を測
定することができる。
According to the same feature, since the application electrode and the measurement electrode are mounted on the carriage, each electrode can be positioned at a free portion on the surface of the test body. Therefore, even if inclusions or enclosures are present in the test body, it is possible to select a portion that can avoid these effects and measure the specific resistance of that portion.

【0008】本発明に係る比抵抗測定方法の第二の特徴
は、試験体に印加用電極を介して電位を与えると共に、
測定用電極により前記試験体の各部位における電位を求
めることにより前記試験体の比抵抗を測定する方法であ
って、前記試験体表面を走行する台車を設け、前記印加
用電極及び前記測定用電極のうちの一方を前記台車に設
け、前記測定用電極の他方を前記試験体表面に設けたこ
とにある。同特徴によれば、試験体の各位置での各深さ
についての比抵抗を測定することができる。また、他方
の測定用電極と一方の測定用電極とが一定の範囲内にあ
れば、第一の特徴同様の測定の自由度を有する。しか
も、測定用電極間の距離を台車の走行により自由に変更
することができる。
The second characteristic of the method for measuring the specific resistance according to the present invention is that a potential is applied to a test body through an applying electrode, and
A method for measuring the specific resistance of the test body by determining the potential at each site of the test body by a measuring electrode, wherein a carriage running on the surface of the test body is provided, and the applying electrode and the measuring electrode are provided. One of the electrodes is provided on the trolley, and the other of the measurement electrodes is provided on the surface of the test body. According to this feature, it is possible to measure the specific resistance at each position of the test body at each depth. Further, if the other measuring electrode and the one measuring electrode are within a certain range, the same degree of freedom of measurement as the first feature is obtained. Moreover, the distance between the measuring electrodes can be freely changed by traveling the trolley.

【0009】また、上記第一、第二の特徴方法におい
て、前記測定用電極が3電極以上設けられ、2以上の電
極が前記台車に設けられていることが望ましい。同特徴
によれば、複数の測定電極間の電圧を組合せによりそれ
ぞれ求めることができる。特に、第二の特徴方法との組
合せでは、2つの電極それぞれに対する電圧の差分でこ
れら2つの電極間の電圧も求めることができ、これによ
り比較的広い範囲と局所的部分との双方について比抵抗
を求めることができる。
In the first and second characteristic methods, it is desirable that the measuring electrodes are provided in three or more electrodes and two or more electrodes are provided in the carriage. According to this feature, the voltages between the plurality of measurement electrodes can be obtained by combining them. In particular, in combination with the second characteristic method, the voltage between these two electrodes can also be obtained by the difference in voltage between the two electrodes, and this makes it possible to obtain a specific resistance for both a relatively wide range and a local portion. Can be asked.

【0010】前記印加用電極又は前記測定用電極を構成
するにあたっては、これらの少なくとも一つが前記試験
体に向かって導電性の液体を噴出する導電性の噴出口で
あり、この液流を介して前記電極と前記試験体とを導通
させて測定を行ってもよい。同構成によれば、導電性の
液体を噴出口から噴出し、この液体によって噴出口と試
験体とを導通させるので、試験体の表面状体によらず試
験体と電極とを確実に安定して導通させることができ
る。また、車輪やそりの機械的な接触を有しないので、
反力も極めて小さく、連続移動に非常に有利である。
In constructing the application electrode or the measurement electrode, at least one of them is a conductive jet port for jetting a conductive liquid toward the test body, and the liquid flow is used to pass through the liquid flow. The measurement may be performed by electrically connecting the electrode and the test body. According to this configuration, the electrically conductive liquid is ejected from the ejection port, and the ejection port and the test body are electrically connected by this liquid, so that the test body and the electrode are reliably stabilized regardless of the surface-like body of the test body. Can be made to conduct. Also, because it has no mechanical contact with wheels or sleds,
The reaction force is also extremely small, which is very advantageous for continuous movement.

【0011】さらに、前記測定用電極は、これらの少な
くとも1つを静電気測定表面電位計により前記試験体表
面の電位を測定するための非接触電極として構成するこ
ともできる。
Further, the measuring electrode may be constructed such that at least one of them is a non-contact electrode for measuring the potential of the surface of the test body by an electrostatic measuring surface potential meter.

【0012】本発明にかかる比抵抗測定装置の特徴は、
上記特徴方法のいずれかに用いるものであって、試験体
に電位を与えるための印加用電極と、前記試験体の各部
位における電位を求めることにより前記試験体の比抵抗
を測定するための少なくとも測定用電極を備えたことに
ある。特に、移動台車に各要素を積載すれば、連続移動
して高密度に試験体各位置における比抵抗を測定するこ
とができる。
The characteristics of the resistivity measuring device according to the present invention are as follows:
What is used for any of the above characteristic methods, at least for measuring the specific resistance of the test body by determining the potential at each part of the test body and the application electrode for applying a potential to the test body. It is equipped with a measuring electrode. In particular, if each element is loaded on the moving carriage, it is possible to continuously move and measure the specific resistance at each position of the test body with high density.

【0013】[0013]

【発明の効果】このように、上記本発明に係る比抵抗測
定方法及び比抵抗測定用装置の特徴によれば、各電極の
移動により局所的部分の比抵抗を簡易にしかも連続的に
測定できるようになった。その結果、コンクリート構造
物や鉄鋼構造物の検査をさらに詳細に行い得るようにな
った。本発明のその他の目的、構成及び効果について
は、以下の発明の実施の形態の欄で明らかになるであろ
う。
As described above, according to the features of the resistivity measuring method and the resistivity measuring device according to the present invention, the resistivity of the local portion can be easily and continuously measured by the movement of each electrode. It became so. As a result, it has become possible to perform more detailed inspections of concrete structures and steel structures. Other objects, configurations and effects of the present invention will become apparent in the section of the following embodiments of the invention.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に図1〜5を参照しながら、本
発明の第一の実施形態について説明する。本実施形態の
適用対象となる試験体Sには、コンクリート構造物、鉄
鋼部材を用いた構造物、岩盤などあらゆるものが含まれ
る。本実施形態における導電性の液体としては水を用
い、特に導電性を良好にさせる場合、例えば塩化ナトリ
ウムを溶解させた食塩水を用いればよい。実験では食塩
濃度0.4%程度の食塩水により良好な結果が得られ
た。その他、導電性の液体としては、例えば水銀等の液
体金属を用いることもできる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The test body S to which the present embodiment is applied includes all kinds of concrete structures, structures using steel members, bedrock, and the like. Water is used as the conductive liquid in the present embodiment, and particularly when the conductivity is improved, for example, a saline solution in which sodium chloride is dissolved may be used. In the experiment, good results were obtained with a saline solution having a salt concentration of about 0.4%. In addition, a liquid metal such as mercury can be used as the conductive liquid.

【0015】図4に示すように、本発明にかかる比抵抗
測定用装置1は台車10と制御ユニット60とを備えて
いる。この台車10は、さらに後述する四個の電極車輪
30を備えている。そして、第一電極車輪31(C)と
第二電極車輪32(D)間に電圧を印加し、図4では3
電極のみ例示する複数の噴出電極40(P1〜Pn)の
いずれかとアース69(Q)との間の電位を測定するこ
とにより、例えば点R1,R2,R3で示すこれらの間
の比抵抗の測定を行う。
As shown in FIG. 4, the resistivity measuring apparatus 1 according to the present invention comprises a carriage 10 and a control unit 60. This trolley 10 is further provided with four electrode wheels 30 described later. Then, a voltage is applied between the first electrode wheel 31 (C) and the second electrode wheel 32 (D), and in FIG.
By measuring the potential between any one of the plurality of ejection electrodes 40 (P1 to Pn) whose electrodes are only illustrated and the ground 69 (Q), for example, the measurement of the specific resistance between them shown by points R1, R2, and R3. I do.

【0016】制御ユニット60における電源61には直
流又は交流状の矩形波で片電圧が100Vや150Vの
インバーター電源等を用いることができ、シャント抵抗
62に並列に接続された印加側電圧計63により、電源
61による印加電流が測定される。台車10の第一電極
車輪31(C)と第二電極車輪32(D)との間に電圧
が印加される。
As the power supply 61 in the control unit 60, an inverter power supply or the like having a DC or AC rectangular wave and a single voltage of 100 V or 150 V can be used, and a voltmeter 63 on the application side connected in parallel to the shunt resistor 62 can be used. The current applied by the power supply 61 is measured. A voltage is applied between the first electrode wheel 31 (C) and the second electrode wheel 32 (D) of the carriage 10.

【0017】複数の噴出電極40のうち、第一噴出電極
P1,第二噴出電極P2、…、第n噴出電極Pnはそれ
ぞれ独立した電極であり、測定側電圧計68で電圧を読
みとれるように第一リレー67aの切り替えにより選択
的に使用される。この測定側電圧計68は例えばシング
ルエンド入力の測定装置として構成することができ、こ
の場合、後述するように各端子の入力差分を求めること
で各端子間の電位を求めることができる。マルチチャン
ネル形式の測定器を使用すれば、各電極の入力は並列的
に処理可能である。
Of the plurality of ejection electrodes 40, the first ejection electrode P1, the second ejection electrode P2, ..., And the nth ejection electrode Pn are independent electrodes so that the voltage can be read by the measuring side voltmeter 68. It is selectively used by switching the first relay 67a. The measurement side voltmeter 68 can be configured as a single-ended input measuring device, and in this case, the potential between the terminals can be obtained by obtaining the input difference between the terminals as described later. If a multi-channel type measuring instrument is used, the input of each electrode can be processed in parallel.

【0018】測定側電圧計68の他の電極は、アース6
9(Q)により試験体Sに接続される。なお、アース6
9は杭状のものを試験体Sに打ち込んでもよいが、図3
に例示するワイヤブラシ又は粘土等を利用して試験体S
を傷つけずに電気的に十分な接触を確保することが望ま
しい。台車10の走行距離はスケールなどによる実測で
計測しても構わないが、試験体Sに取り付けたエンコー
ダー80により計測することも可能である。
The other electrode of the measuring side voltmeter 68 is the ground 6
It is connected to the test body S by 9 (Q). In addition, earth 6
The pile 9 may be driven into the test piece S as shown in FIG.
Specimen S using wire brush or clay
It is desirable to ensure sufficient electrical contact without damaging the. The travel distance of the dolly 10 may be measured by a scale or the like, but it can also be measured by the encoder 80 attached to the test body S.

【0019】また、試験体Sは例えばトンネルの内壁等
に相当することもあり、台車10を試験体Sの下側から
上向きに接触させる必要がある。この場合、例えばロボ
ットアーム機構により台車を支持して移動させればよ
く、台車10の座標アドレスはロボットアームの駆動量
により導出することができる。
Further, the test body S may correspond to, for example, the inner wall of the tunnel, and it is necessary to bring the carriage 10 into contact with the test body S from below. In this case, for example, the carriage may be supported and moved by the robot arm mechanism, and the coordinate address of the carriage 10 can be derived from the drive amount of the robot arm.

【0020】ここで、C及びDの距離をLa、P1,P
2…PnとQとの距離をLbとする。本実施形態はいわ
ゆるシュランベルジャ配置を採用しており、この場合、
先の距離Laは距離Lbの5倍以上必要である。
Here, the distances C and D are La, P1, P
2 ... Let Lb be the distance between Pn and Q. This embodiment adopts a so-called Schramberger arrangement. In this case,
The above distance La needs to be five times or more the distance Lb.

【0021】C、Dへの電圧印加によるPn,Q間の電
位Vは次の通りとなる。
The potential V between Pn and Q due to the voltage application to C and D is as follows.

【0022】 V=4Lb・ρI/((La2−Lb2)π) (1)V = 4Lb · ρI / ((La 2 −Lb 2 ) π) (1)

【0023】よって、Pn−Q間の試験体Sの比抵抗ρ
は次式のようになる。
Therefore, the specific resistance ρ of the test body S between Pn and Q
Is as follows.

【0024】 ρ=V・(La2−Lb2)π/(4Lb・I) (2)Ρ = V · (La 2 −Lb 2 ) π / (4Lb · I) (2)

【0025】かかる原理で第一リレー67aを順次選択
することで異なる電極Pn−Q間の比抵抗を求めること
ができる。
By sequentially selecting the first relays 67a based on such a principle, the specific resistance between the different electrodes Pn-Q can be obtained.

【0026】次に、図1〜4を参照しながら、台車10
の構造について説明する。台車10は主フレーム20,
電極車輪30及び噴出電極40を備えている。主フレー
ム20は、絶縁性材料よりなる板状体であり、その前後
下面には、小アングル23により電極車輪30が各々取
り付けられる。
Next, with reference to FIGS.
The structure of will be described. The trolley 10 is a main frame 20,
The electrode wheel 30 and the ejection electrode 40 are provided. The main frame 20 is a plate-shaped body made of an insulating material, and the electrode wheels 30 are attached to the front and rear lower surfaces thereof by small angles 23.

【0027】図3に示すように、試験体Sの表面を走行
する走行手段の一例である電極車輪30は車軸35の周
りに多くのワイヤ37を放射状に配置し、円盤36に固
着してある。そして、図2に示すように台車の前後にお
いて、一対の電極車輪30,30をそれぞれ各小アング
ル23,23に挿通し、車軸35,35どうしを絶縁体
である樹脂カプラー39により連結することで、各電極
車輪30,30間の絶縁性を確保している。すなわち、
左第一電極車輪31a,右第一電極車輪31b,左第二
電極車輪32a,右第二電極車輪32bが互いに絶縁さ
れた関係となっており、1台の台車で2列に及ぶ2系統
の測定又は2系統を組み合わせた測定を容易に行うこと
ができる。
As shown in FIG. 3, an electrode wheel 30, which is an example of a traveling means for traveling on the surface of the test body S, has many wires 37 arranged radially around an axle 35 and fixed to a disk 36. . Then, as shown in FIG. 2, by inserting the pair of electrode wheels 30, 30 into the respective small angles 23, 23 in the front and rear of the bogie, and connecting the axles 35, 35 with a resin coupler 39 which is an insulator. Insulation between the electrode wheels 30 is ensured. That is,
The left first electrode wheel 31a, the right first electrode wheel 31b, the left second electrode wheel 32a, and the right second electrode wheel 32b are in a mutually insulated relationship, and one truck has two systems of two rows. It is possible to easily perform the measurement or the measurement in which the two systems are combined.

【0028】前記主フレーム20の下面には複数の角棒
21を介して主フレームと同様の絶縁材料よりなる下フ
レーム22が取り付けられている。そして、これら主フ
レーム20と下フレーム22との間に噴出電極40が複
数個独立して支持されている。
A lower frame 22 made of the same insulating material as that of the main frame is attached to the lower surface of the main frame 20 through a plurality of square bars 21. A plurality of ejection electrodes 40 are independently supported between the main frame 20 and the lower frame 22.

【0029】各噴出電極40は、上記主フレーム20と
下フレーム22とを貫通する金属製の口金45をナット
46により下フレーム22に固定している。さらに他の
ナット46で口金45の中間部に導線47aの接続され
た端子47を固定している。
In each ejection electrode 40, a metal base 45 penetrating the main frame 20 and the lower frame 22 is fixed to the lower frame 22 by a nut 46. Further, another nut 46 fixes the terminal 47 to which the conducting wire 47a is connected to the intermediate portion of the base 45.

【0030】但し、導線47aをはんだ付けで金属製の
口金45に固定してもよい。
However, the conductor wire 47a may be fixed to the metal base 45 by soldering.

【0031】口金45は中空であり、絶縁管48を介し
て供給される水の噴出口45aをその下端に有する。図
1,4に示すように、各噴出電極40に繋がる各絶縁管
48は噴出口45aと試験体表面とのクリアランスより
も長い距離(かなり長い距離)を引き回されて結合さ
れ、ポンプ49に接続される。噴出口45aから噴出さ
れた水は、図1、11(a)において符号Waに示すよ
うに柱状をなして試験体Sの表面に衝突することで試験
体Sとの導電が確保され、また、符号Wbに示すように
四方に飛散するので、この導電は水流により全方向に確
保できる。
The base 45 is hollow and has a jet port 45a of water supplied through an insulating pipe 48 at its lower end. As shown in FIGS. 1 and 4, each insulating tube 48 connected to each ejection electrode 40 is connected by being drawn around a distance (a considerably long distance) longer than the clearance between the ejection port 45a and the surface of the test body, and connected to the pump 49. Connected. The water ejected from the ejection port 45a has a columnar shape as shown by reference numeral Wa in FIGS. 1 and 11 (a), and collides with the surface of the test body S to ensure conductivity with the test body S. Since it scatters in all directions as indicated by the symbol Wb, this conductivity can be secured in all directions by the water flow.

【0032】噴出電極40は、導電車輪30と同様に台
車10の長手方向に複数個等間隔で並べられると共に、
長手方向に直交する左右に電極の列が並べられる。な
お、噴出電極40は不等間隔で並べてもよい。そして、
右列の第一〜第n噴出電極P1a〜Pnaと右第一導電
車輪31aとを組み合わせる他、例えば左列の第一〜第
n噴出電極P1b〜Pnbと左第一導電車輪31bとを
組み合わせてもよい。測定点は選択した各電極車輪30
と導電電極との間の位置が定められる。
A plurality of ejection electrodes 40 are arranged at equal intervals in the longitudinal direction of the carriage 10 as with the conductive wheel 30, and
A row of electrodes is arranged on the left and right sides orthogonal to the longitudinal direction. The ejection electrodes 40 may be arranged at unequal intervals. And
In addition to combining the first to nth ejection electrodes P1a to Pna in the right column and the right first conductive wheel 31a, for example, combining the first to nth ejection electrodes P1b to Pnb in the left column and the left first conductive wheel 31b. Good. The measurement point is each electrode wheel 30 selected
A position between the and the conductive electrode is defined.

【0033】ここで、図4,5を参照しながら、上述の
構成による比抵抗の測定についてさらに詳述する。な
お、図では、導電車輪30及び噴出電極40の右列又は
左列のいずれかを用いる場合について説明する。まず、
図4に示すように、電極Qを試験体Sに接触させ、さら
に台車10を試験体S上に接触させる。電極C,Dは第
一、第二電極車輪31,32であり、電源61により電
極CD間に電圧を印加する。そして、67aにより選択
された第一〜第n噴出電極P1〜Pnと電極Qとの使用
により、図4の点R1,R2,R3にそれぞれ対応して
図5の電圧V1,V2,V3…Vnが求められる。ま
た、電圧V1,V2,V3…Vnの差分を計算に求める
ことにより、点R12,R13,R23にそれぞれ対応
して差分電圧ΔV12,ΔV13,ΔV23…が求めら
れる。そして、これらの電圧を利用して各点間近傍部分
の比抵抗が上記式(2)により求められる。
Now, with reference to FIGS. 4 and 5, the measurement of the specific resistance by the above-mentioned structure will be described in more detail. In the drawing, a case where either the right column or the left column of the conductive wheels 30 and the ejection electrodes 40 is used will be described. First,
As shown in FIG. 4, the electrode Q is brought into contact with the test body S, and the carriage 10 is further brought into contact with the test body S. The electrodes C and D are the first and second electrode wheels 31 and 32, and a voltage is applied between the electrodes CD by the power supply 61. Then, by using the first to nth ejection electrodes P1 to Pn selected by 67a and the electrode Q, the voltages V1, V2, V3 ... Vn of FIG. 5 corresponding to points R1, R2, R3 of FIG. 4 respectively. Is required. Further, by obtaining the difference between the voltages V1, V2, V3 ... Vn by calculation, the difference voltages ΔV12, ΔV13, ΔV23 ... Are obtained corresponding to the points R12, R13, R23, respectively. Then, using these voltages, the specific resistance in the vicinity of each point is obtained by the above equation (2).

【0034】次いで、台車10を任意のピッチだけ移動
させ、同様の操作を行う。これにより、さらに他の部分
の比抵抗を求めることができる。また、このように、上
記構成によれば、平面方向及び多段階の深さ方向に対す
る比抵抗測定が可能であり、これにより試験体Sを三次
元的に検査することが可能となる。なお、上記説明で
は、他方の測定用電極としてアース69を用いた。しか
し、第一リレー67aに連動させて第二リレー67bを
も切り替え、第一〜第三電極P1〜P3を一対の測定用
差動入力電極の双方として用いることもできる。
Then, the carriage 10 is moved by an arbitrary pitch and the same operation is performed. As a result, it is possible to obtain the specific resistance of another portion. Further, as described above, according to the above-described configuration, it is possible to measure the specific resistance in the plane direction and the multi-step depth direction, and thereby the test body S can be inspected three-dimensionally. In the above description, the earth 69 is used as the other measuring electrode. However, it is also possible to switch the second relay 67b by interlocking with the first relay 67a and use the first to third electrodes P1 to P3 as both of the pair of measurement differential input electrodes.

【0035】次に、本発明のさらに別の実施形態を列挙
する。なお、上述の実施形態と同様の部材については同
様の符号を付してある。図6に示す第二実施形態では、
全ての測定用電極に噴出電極Pe,P1〜nが用いられ
ている点が異なる。また、本実施形態では、印加用電極
が電極車輪31.32であり、全ての電極が試験体表面
Sに対して相対移動可能となっている。
Next, another embodiment of the present invention will be listed. The same members as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals. In the second embodiment shown in FIG. 6,
The difference is that the ejection electrodes Pe, P1 to n are used for all the measurement electrodes. Further, in the present embodiment, the electrode for application is the electrode wheel 31.32, and all the electrodes are movable relative to the surface S of the test body.

【0036】同構成によれば、アース噴出電極Peと各
噴出電極P1〜nとの組合せにより、各点Rn、Rnm
(n,mは整数)に対応する比抵抗を求めることができ
る。また、鉄板等の障害物S1,S2がコンクリート等
の試験体S内外に介在していても、上述の差分を求める
ことで比抵抗を算出することも可能である。例えば、P
e−P3の電圧とPe−P4の電圧の差分を求めること
で、点R34に対応する比抵抗を求めることも可能であ
る。
According to this structure, the points Rn and Rnm are formed by combining the ground ejection electrode Pe and the ejection electrodes P1 to Pn.
The specific resistance corresponding to (n and m are integers) can be obtained. Further, even if the obstacles S1 and S2 such as iron plates are present inside and outside the test body S such as concrete, the specific resistance can be calculated by obtaining the above-mentioned difference. For example, P
It is also possible to obtain the specific resistance corresponding to the point R34 by obtaining the difference between the voltage of e-P3 and the voltage of Pe-P4.

【0037】また、同構成によれば、試験体Sからの張
出板S3上に車輪32が乗り出したとしても、測定が可
能である。張出板S3が鋼板等比抵抗の低い異なる部材
であるときは、上述の距離Laは例えば距離La’に修
正される。また、印加用電極として噴出電極を用いれ
ば、より広範囲の測定が可能となる。なお、印加用電極
をすべて台車10上に搭載すれば、試験体Sの周囲に鋼
板S3等が存在しても、正確な測定が可能となる。
Further, according to the configuration, even if the wheel 32 is set on the projecting plate S3 from the test body S, the measurement can be performed. When the overhanging plate S3 is a member such as a steel plate having a low specific resistance, the above-mentioned distance La is corrected to, for example, the distance La '. Further, if a jetting electrode is used as the applying electrode, a wider range of measurement becomes possible. If all the application electrodes are mounted on the dolly 10, accurate measurement can be performed even if the steel plate S3 or the like exists around the test body S.

【0038】図7(a)に示す第三実施形態では、第一
〜第三非接触電極71,72,73…(P1,P2,P
3…)が用いられている。電源61は直流電源であり、
その一端は第一電極車輪31(C)に、他端側は第二電
極車輪32(D)にそれぞれ接続されている。
In the third embodiment shown in FIG. 7A, the first to third non-contact electrodes 71, 72, 73 ... (P1, P2, P).
3 ...) is used. The power supply 61 is a DC power supply,
One end thereof is connected to the first electrode wheel 31 (C), and the other end side thereof is connected to the second electrode wheel 32 (D).

【0039】測定側電圧計68は非接触型の振動容量型
静電式電圧計100として構成されている。この電圧計
100では各電極において、図7(b)に示すように、
発信器101からのパルスが電極ユニット74内の音叉
75付与され、音叉75に固着された電極76が振動す
る。電極ユニット74は図示省略するが各電極71〜7
3毎に設けられ、図示しない切り替えスイッチにより単
一の電圧計100に選択的に接続される。
The measuring side voltmeter 68 is configured as a non-contact type vibration capacitance type electrostatic voltmeter 100. In this voltmeter 100, at each electrode, as shown in FIG.
The pulse from the oscillator 101 is applied to the tuning fork 75 in the electrode unit 74, and the electrode 76 fixed to the tuning fork 75 vibrates. The electrode unit 74 is not shown in the drawing, but each electrode 71 to 7
Each voltmeter 3 is provided and selectively connected to a single voltmeter 100 by a changeover switch not shown.

【0040】電極76は電極ユニット74に形成した孔
74aから外部に露出する。電極76と試験体S表面と
の間に生じる静電容量Ciが前記振動により変動し、電
極76に表面電位を交流変調した信号が生じる。
The electrode 76 is exposed to the outside through a hole 74a formed in the electrode unit 74. The capacitance Ci generated between the electrode 76 and the surface of the test body S fluctuates due to the vibration, and a signal in which the surface potential is AC-modulated is generated at the electrode 76.

【0041】この交流変調信号がプリアンプ77及び増
幅器102により増幅され、これを同期検波器103に
より同期検波することで表面電位の出力信号を得る。こ
の出力信号は静電容量Ciに依存し、静電容量Ciは電
極76と試験体Sとの距離dに依存し、台車10の走行
時における上下移動が測定誤差に影響する。
This AC modulation signal is amplified by the preamplifier 77 and the amplifier 102, and is synchronously detected by the synchronous detector 103 to obtain an output signal of the surface potential. This output signal depends on the electrostatic capacitance Ci, and the electrostatic capacitance Ci depends on the distance d between the electrode 76 and the test body S, and the vertical movement of the trolley 10 during traveling affects the measurement error.

【0042】そこで、同期検波出力を積分器104で積
分し、高圧発生器に入力して基準点106を介して電極
ユニット74にフィードバックする。これにより、電極
ユニット74の電位は上昇し、試験体Sの被測定面と同
電位となり、上記静電容量Ciはうち消される。そし
て、インピーダンス整合回路107により高圧発生器1
05の内部で発生した電圧を分圧し、出力インピーダン
スを0.01オーム以下として出力するため、先の距離
dに依存せず正確な電位を求めることができる。
Therefore, the synchronous detection output is integrated by the integrator 104, input to the high voltage generator and fed back to the electrode unit 74 via the reference point 106. As a result, the potential of the electrode unit 74 rises to the same potential as the surface to be measured of the test body S, and the capacitance Ci is erased. Then, the impedance matching circuit 107 is used to generate the high voltage generator 1.
Since the voltage generated inside 05 is divided and the output impedance is output as 0.01 ohm or less, an accurate potential can be obtained without depending on the distance d.

【0043】上記実施形態では、電極車輪30をスチー
ル製のワイヤ37により構成した。しかし、この電極車
輪30はカーボンや導電プラスチック等、導電部材のワ
イヤ37により構成することができる。電極車輪30は
弾性のある導電性部材で構成すればよく、例えば、導電
ゴム、スチールウール等の導電部材を軸や円盤に巻き付
けて構成してもよい。但し、コンクリートや鋳鉄の表面
に対する接触の良好性及び耐久性の点から、ワイヤを放
射状に配置した電極車輪30を用いることが最も望まし
い。なお、ワイヤやスチールウールは表面に微細な凹凸
を形成でき、これが試験体の表面凹凸に喰い込むので、
その意味でも接触状態は良好となる。
In the above embodiment, the electrode wheel 30 is composed of the steel wire 37. However, the electrode wheel 30 can be composed of the wire 37 of a conductive member such as carbon or conductive plastic. The electrode wheel 30 may be formed of an elastic conductive member, and may be formed by winding a conductive member such as conductive rubber or steel wool around a shaft or a disk. However, it is most desirable to use the electrode wheel 30 in which the wires are radially arranged from the viewpoint of good contact with the surface of concrete or cast iron and durability. In addition, since wire and steel wool can form fine irregularities on the surface and this bites into the surface irregularities of the test body,
In that sense, the contact state is good.

【0044】上記実施形態では車輪全てを電極車輪30
とした。しかし、車輪の一部を電極車輪30とし、残り
をゴムやプラスチックの転動専用車輪としても良い。
In the above embodiment, all the wheels are electrode wheels 30.
And However, a part of the wheels may be the electrode wheels 30, and the rest may be rubber or plastic rolling wheels.

【0045】上記実施形態では、C,D電極を第一、第
二電極車輪31,32に固定した。しかし、C,D電極
は電極車輪31〜34及び噴出電極40のいずれかで切
り替えるようにしてもよい。
In the above embodiment, the C and D electrodes are fixed to the first and second electrode wheels 31 and 32. However, the C and D electrodes may be switched by any one of the electrode wheels 31 to 34 and the ejection electrode 40.

【0046】上記実施形態では、各台車位置で前記複数
の噴出電極40を選択して1チャンネル毎に測定を行っ
た。しかし、測定側電圧計68を複数チャンネル分設
け、又は、パーソナルコンピューターで多チャンネルを
クロックにより切り替え、複数チャンネルで並行して上
述の測定を行うことも可能である。
In the above embodiment, the plurality of ejection electrodes 40 are selected at each carriage position and the measurement is performed for each channel. However, it is also possible to provide the measurement side voltmeter 68 for a plurality of channels, or to switch the multiple channels by a clock with a personal computer and perform the above-mentioned measurement in parallel on the plurality of channels.

【0047】上記実施形態では、台車を1台のみ用い
た。しかし、2台の台車を用い、その1台にC電極を、
他のものにD電極を設けても良い。
In the above embodiment, only one truck is used. However, using two carriages, one of which has a C electrode
The D electrode may be provided on another device.

【0048】上記実施形態ではいわゆるシュランベルジ
ャ配置として本発明を実施したが、本発明はこれに限ら
れるものではない。図8に示す三極法では、例えば、図
6の第一電極車輪31及び第一〜三噴出電極P1〜3を
D極、C極とし、第四〜n噴出電極P4〜nをP極,第
二電極車輪32をQ極にそれぞれ割り付けると良い。上
記(2)式の代わりにC・P極間で次式が成立する。
In the above embodiment, the present invention is implemented as a so-called Schramberger arrangement, but the present invention is not limited to this. In the three-electrode method shown in FIG. 8, for example, the first electrode wheel 31 and the first to third ejection electrodes P1 to P3 in FIG. 6 are D poles and C poles, and the fourth to nth ejection electrodes P4 to n are P poles, It is advisable to allocate the second electrode wheel 32 to the Q pole, respectively. Instead of the above equation (2), the following equation holds between the C and P poles.

【0049】 ρ=2n(n+1)πaV/I (3)[0049] ρ = 2n (n + 1) πaV / I (3)

【0050】図9に示す四極法のダイポール・ダイポー
ル配置では、例えば、図6の第一電極車輪31をC極、
第二電極車輪32をP極、第一噴出電極P1をD極、第
n噴出電極PnをQ極にそれぞれ割り付けると良い。上
記(2)式の代わりにD・Q極間で次式が成立する。
In the quadrupole dipole / dipole arrangement shown in FIG. 9, for example, the first electrode wheel 31 of FIG.
It is advisable to allocate the second electrode wheel 32 to the P pole, the first ejection electrode P1 to the D pole, and the nth ejection electrode Pn to the Q pole. Instead of the above equation (2), the following equation holds between the D and Q poles.

【0051】 ρ=n(n+1)(n+2)πaV/I (4)[0051] ρ = n (n + 1) (n + 2) πaV / I (4)

【0052】図10に示す四極法のウエンナ配置では、
例えば、図6のアース噴出電極PeをC極、第一噴出電
極P1をP極、第二噴出電極P2をQ極、第三噴出電極
P3をD極にそれぞれ割り付けると良い。上記(2)式
の代わりにP・Q極間で次式が成立する。
In the quadrupole Wenna arrangement shown in FIG.
For example, it is preferable to assign the ground ejection electrode Pe of FIG. 6 to the C pole, the first ejection electrode P1 to the P pole, the second ejection electrode P2 to the Q pole, and the third ejection electrode P3 to the D pole. Instead of the equation (2), the following equation holds between the P and Q poles.

【0053】 ρ=n(n+1)(n+2)πaV/I (5)[0053] ρ = n (n + 1) (n + 2) πaV / I (5)

【0054】上記実施形態では、図11(a)に示すよ
うに噴出口45aの噴出中心軸Xが試験体Sの表面と直
交するように、フレーム22(台車10)に口金45を
取り付けた。しかし、図11(b)に示すように、噴出
中心軸Xが試験体Sの表面と傾斜角度Aをもって傾斜状
態で交差するように、フレーム22(台車10)に口金
45を取り付けてもよい。このように傾斜させること
で、反射水流Wbを四方ではなく一方側に偏らせること
ができ、導電液体である水の回収が容易となる。例え
ば、反射水流Wbの下手側に水の回収装置90を配置す
れば、水の周囲に対する飛散量を低減させることが可能
となる。
In the above embodiment, the mouthpiece 45 is attached to the frame 22 (the trolley 10) so that the ejection center axis X of the ejection port 45a is orthogonal to the surface of the test body S as shown in FIG. 11 (a). However, as shown in FIG. 11B, the mouthpiece 45 may be attached to the frame 22 (the trolley 10) so that the ejection center axis X intersects the surface of the test body S at an inclination angle A in an inclined state. By inclining in this way, the reflected water flow Wb can be biased to one side instead of four directions, and water as the conductive liquid can be easily collected. For example, by disposing the water recovery device 90 on the lower side of the reflected water flow Wb, it is possible to reduce the amount of water scattered around the water.

【0055】上記実施形態では、走行手段として車輪3
0を用いた。この走行手段は台車10を試験体表面に沿
って移動させ得れば足り、例えばソリ等として構成して
もよい。また、走行手段を用いずに固定脚で装置を試験
体S上に固定し、バッチ処理により測定を行っても構わ
ない。
In the above embodiment, the wheels 3 are used as the traveling means.
0 was used. The traveling means only needs to be able to move the carriage 10 along the surface of the test body, and may be configured as a sled or the like. In addition, the device may be fixed on the test body S by the fixed legs without using the traveling means, and the measurement may be performed by batch processing.

【0056】なお、特許請求の範囲の項に記入した符号
は、あくまでも図面との対照を便利にするためのものに
すぎず、該記入により本発明は添付図面の構成に限定さ
れるものではない。
The reference numerals in the claims are merely for convenience of comparison with the drawings, and the present invention is not limited to the configurations of the accompanying drawings by the reference. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる比抵抗測定装置を構成する台車
の側面図である。
FIG. 1 is a side view of a carriage that constitutes a specific resistance measuring device according to the present invention.

【図2】図1の底面図である。FIG. 2 is a bottom view of FIG.

【図3】電極車輪の側面図である。FIG. 3 is a side view of an electrode wheel.

【図4】本発明にかかる比抵抗測定用装置のブロック図
である。
FIG. 4 is a block diagram of an apparatus for measuring a specific resistance according to the present invention.

【図5】本発明に係る電圧測定と電極距離との関係を示
すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between voltage measurement and electrode distance according to the present invention.

【図6】本発明に係る第二実施形態を示す図4相当図で
ある。
FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 4 showing a second embodiment according to the present invention.

【図7】(a)は本発明に係る第三実施形態を示す図4
相当図、(b)は電極近傍部分的の構成を示す概略図で
ある。
FIG. 7 (a) is a view showing a third embodiment according to the present invention.
FIG. 3B is a schematic diagram showing a partial configuration near the electrodes.

【図8】本発明の別実施形態に用いられる三極法の原理
図である。
FIG. 8 is a principle diagram of a triode method used in another embodiment of the present invention.

【図9】本発明の別実施形態に用いられる四極法の原理
図である。
FIG. 9 is a principle diagram of a quadrupole method used in another embodiment of the present invention.

【図10】本発明の別実施形態に用いられるウエンナ配
置の原理図である。
FIG. 10 is a principle view of a wenna arrangement used in another embodiment of the present invention.

【図11】噴出中心軸と試験体表面との関係を示し、
(a)は同軸が試験体表面とほぼ直交する場合、(b)
は同軸が試験体表面と傾斜状態で交差する場合である。
FIG. 11 shows the relationship between the jet central axis and the surface of the test body,
(A) shows the case where the coaxial is almost orthogonal to the surface of the test piece, (b)
Is the case where the coaxial crosses the surface of the test piece in an inclined state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:比抵抗測定用装置,10:台車,20:主フレー
ム,21:角棒,22:下フレーム,23:小アング
ル,30:電極車輪,31:第一電極車輪(31a左第
一電極車輪、31b右第一電極車輪),32:第二電極
車輪,35:車軸,36:円盤,37:ワイヤ,38:
車輪本体,39:樹脂カプラー,40:噴出電極,4
1:第一噴出電極(41a左第一噴出電極、41b右第
一噴出電極),42:第二噴出電極(42a左第二噴出
電極、42b右第二噴出電極),45:口金,45a:
噴出口,46:ナット,47:端子,47a:導線,4
8:絶縁管,49:ポンプ,60:制御ユニット,6
1:電源,62:シャント抵抗,63:印加側電圧計,
64:ダイオード,65:印加側リレー,66:アー
ス,67a:第一リレー,67b:第二リレー,68:
測定側電圧計,69:アース,71〜73:第一〜第三
非接触電極,74:電極ユニット,74a:孔,75:
音叉,76:電極,77プリアンプ,80:エンコーダ
ー,90:水回収装置,100:静電式電圧計,10
1:発信器,102:増幅器、103:同期検波器,1
04:積分器,105:高圧発生器,106:基準点,
107:インピーダンス整合回路,S:試験体,Ci:
仮想静電容量
1: Specific resistance measuring device, 10: trolley, 20: main frame, 21: square bar, 22: lower frame, 23: small angle, 30: electrode wheel, 31: first electrode wheel (31a left first electrode wheel) , 31b right first electrode wheel), 32: second electrode wheel, 35: axle, 36: disk, 37: wire, 38:
Wheel body, 39: resin coupler, 40: ejection electrode, 4
1: First ejection electrode (41a left first ejection electrode, 41b right first ejection electrode), 42: Second ejection electrode (42a left second ejection electrode, 42b right second ejection electrode), 45: Base, 45a:
Jet port, 46: Nut, 47: Terminal, 47a: Conductor wire, 4
8: Insulation pipe, 49: Pump, 60: Control unit, 6
1: power supply, 62: shunt resistance, 63: voltmeter on application side,
64: diode, 65: application side relay, 66: ground, 67a: first relay, 67b: second relay, 68:
Measurement side voltmeter, 69: ground, 71-73: first to third non-contact electrodes, 74: electrode unit, 74a: hole, 75:
Tuning fork, 76: Electrode, 77 preamplifier, 80: Encoder, 90: Water recovery device, 100: Electrostatic voltmeter, 10
1: oscillator, 102: amplifier, 103: synchronous detector, 1
04: integrator, 105: high-voltage generator, 106: reference point,
107: impedance matching circuit, S: test body, Ci:
Virtual capacitance

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G028 AA02 AA04 BC06 CG02 DH03 DH04 FK01 HN02 HN12 HN13 HN14 2G060 AA10 AA14 AA20 AE01 AF07 AG07 AG11 EA01 EA06 EB04 HA02    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2G028 AA02 AA04 BC06 CG02 DH03                       DH04 FK01 HN02 HN12 HN13                       HN14                 2G060 AA10 AA14 AA20 AE01 AF07                       AG07 AG11 EA01 EA06 EB04                       HA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試験体(S)に印加用電極(C,D)を
介して電位を与えると共に、測定用電極(P,P1〜
n,Q)により前記試験体(S)の各部位における電位
を求めることにより前記試験体(S)の比抵抗を測定す
る比抵抗測定方法であって、前記試験体(S)表面を走
行する台車(10)を設け、前記印加用電極(C,D)
及び前記測定用電極(P,P1〜n,Q)を前記台車
(10)に設けたことを特徴とする比抵抗測定方法。
1. An electric potential is applied to a test body (S) through application electrodes (C, D), and measurement electrodes (P, P1 to
A specific resistance measuring method for measuring the specific resistance of the test body (S) by determining the electric potential at each site of the test body (S) by using n, Q), and traveling on the surface of the test body (S). A carriage (10) is provided, and the application electrodes (C, D) are provided.
And a method for measuring a specific resistance, characterized in that the measuring electrodes (P, P1 to n, Q) are provided on the carriage (10).
【請求項2】 試験体(S)に印加用電極(C,D)を
介して電位を与えると共に、測定用電極(P,P1〜
n,Q)により前記試験体(S)の各部位における電位
を求めることにより前記試験体(S)の比抵抗を測定す
る比抵抗測定方法であって、前記試験体(S)表面を走
行する台車(10)を設け、前記印加用電極(C,D)
及び前記測定用電極(P,P1〜n,Q)のうちの一方
を前記台車(10)に設け、前記測定用電極の他方を前
記試験体表面に設けたことを特徴とする比抵抗測定方
法。
2. An electric potential is applied to the test body (S) through the application electrodes (C, D) and the measurement electrodes (P, P1 to P1).
A specific resistance measuring method for measuring the specific resistance of the test body (S) by determining the electric potential at each site of the test body (S) by using n, Q), and traveling on the surface of the test body (S). A carriage (10) is provided, and the application electrodes (C, D) are provided.
And one of the measurement electrodes (P, P1 to n, Q) is provided on the carriage (10), and the other of the measurement electrodes is provided on the surface of the test body. .
【請求項3】 前記測定用電極(P,P1〜n,Q)が
3電極以上設けられ、2以上の電極が前記台車(10)
に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の比
抵抗測定方法。
3. The measuring electrodes (P, P1 to n, Q) are provided in three or more electrodes, and two or more electrodes are in the carriage (10).
The specific resistance measuring method according to claim 2, wherein the specific resistance measuring method is provided in.
【請求項4】 前記印加用電極(C,D)又は前記測定
用電極(P,P1〜n,Q)の少なくとも一つが前記試
験体(S)に向かって導電性の液体を噴出する導電性の
噴出口(45a)であり、この液流を介して前記電極
(C,D,P,P1〜n,Q)と前記試験体(S)とを
導通させて測定を行うことを特徴とする請求項1〜3の
いずれかに記載の比抵抗測定方法。
4. A conductive material in which at least one of the applying electrodes (C, D) or the measuring electrodes (P, P1 to n, Q) ejects a conductive liquid toward the test body (S). And the test body (S) is electrically connected to the electrodes (C, D, P, P1 to n, Q) and the test body (S) through this liquid flow. The specific resistance measuring method according to claim 1.
【請求項5】 前記測定用電極(P,P1〜n,Q)の
少なくとも1つが静電気測定表面電位計により前記試験
体(S)表面の電位を測定するための非接触電極(7
1,72,73)であることを特徴とする請求項1〜4
のいずれかに記載の比抵抗測定方法。
5. A non-contact electrode (7) for at least one of said measuring electrodes (P, P1 to n, Q) for measuring the potential on the surface of said test body (S) by an electrostatic measurement surface electrometer.
1, 72, 73).
The method for measuring specific resistance according to any one of 1.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載の比抵抗
測定方法に用いる比抵抗測定装置であって、試験体
(S)に電位を与えるための印加用電極(C,D)と、
前記試験体(S)の各部位における電位を求めることに
より前記試験体(S)の比抵抗を測定するための測定用
電極(P,P1〜n,Q)を備えたことを特徴とする比
抵抗測定装置。
6. A resistivity measuring device for use in the resistivity measuring method according to claim 1, further comprising an application electrode (C, D) for applying a potential to the test body (S). ,
Ratio comprising a measuring electrode (P, P1 to n, Q) for measuring the specific resistance of the test body (S) by obtaining the potential at each site of the test body (S) Resistance measuring device.
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