JP2003215034A - Thermal lens type analyzer - Google Patents

Thermal lens type analyzer

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JP2003215034A
JP2003215034A JP2002020129A JP2002020129A JP2003215034A JP 2003215034 A JP2003215034 A JP 2003215034A JP 2002020129 A JP2002020129 A JP 2002020129A JP 2002020129 A JP2002020129 A JP 2002020129A JP 2003215034 A JP2003215034 A JP 2003215034A
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JP
Japan
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light
thermal lens
intensity
excitation
analysis
Prior art date
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Application number
JP2002020129A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoru Kamiyoshi
哲 神吉
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal lens type analyzer capable of detecting fluctuations of light intensity from a light source. <P>SOLUTION: The thermal lens type analyzer 20 has an excitation laser 2 emitting excitation light, an LD 4 emitting detection light, and a flow channel 15 through which a liquid sample is supplied. The excitation light of the excitation laser 2 is branched by a beam sampler 11, and the intensity of the excitation light branched is detected by a PD 12. The detection light of the LD 4 is branched by a beam sampler 13, and the intensity of the detection light branched is detected by a PD 14. A date processing system 10 connected to these PDs 12, 14, by data processing for analyzing the liquid sample, cancels analytical measured data, when the intensity of the excitation light detected by the PDs 12, 14 is a value out of a predetermined acceptable range. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱レンズ方式分析
装置に関し、特に溶液試料の分析を行う熱レンズ方式分
析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal lens type analyzer, and more particularly to a thermal lens type analyzer for analyzing a solution sample.

【0002】[0002]

【従来の技術】熱レンズ方式分析装置は、熱レンズ効果
を利用した分光分析装置であり、マイクロ化学システム
において試料の分析を行うために用いられ、チップ内の
溶液試料に励起光を出射する励起レーザーと、熱レンズ
効果を検出するための検出光を出射するプローブ用レー
ザーとを備える。
2. Description of the Related Art A thermal lens type analyzer is a spectroscopic analyzer utilizing the thermal lens effect, which is used for analyzing a sample in a microchemical system and emits excitation light to a solution sample in a chip. A laser and a probe laser that emits detection light for detecting the thermal lens effect are provided.

【0003】上記熱レンズにより、チップ内の溶液試料
に励起光を集光照射した際に溶液中の特定試料が励起光
を吸収することに起因してその後に放出される熱エネル
ギーにより溶媒が局所的に温度上昇して屈折率が変化す
る。
By the thermal lens, when the solution sample in the chip is focused and irradiated with the excitation light, the specific sample in the solution absorbs the excitation light, and the heat energy released thereafter causes the solvent to be locally generated. The temperature rises and the refractive index changes.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示すように、熱レンズ方式分析装置が備えるレーザーの
光の強度は、使用時間の経過と共にレーザーの劣化によ
り低下する。また、レーザー光には、使用時間におい
て、ランダムなノイズや揺らぎが存在する。このため、
レーザー光は、その強度が常に一定ではない。
However, as shown in FIG. 5, the light intensity of the laser provided in the thermal lens type analyzer decreases with the lapse of time due to deterioration of the laser. In addition, the laser light has random noise and fluctuations during use. For this reason,
The intensity of laser light is not always constant.

【0005】本発明の目的は、光源からの光の強度の変
動を検出することができる熱レンズ方式分析装置を提供
することにある。
An object of the present invention is to provide a thermal lens system analyzer capable of detecting a variation in the intensity of light from a light source.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項1記載の熱レンズ方式分析装置は、溶液試
料を収容するチップと、当該チップ内に収容された溶液
試料に熱レンズを形成するように光を照射する光源と、
前記溶液試料からの光に基づいて分析用測定データを取
得する取得手段とを備える熱レンズ方式分析装置におい
て、前記光源からの光の強度をモニターするモニター手
段を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, a thermal lens type analyzer according to claim 1 is a chip for containing a solution sample and a thermal lens for the solution sample contained in the chip. A light source for irradiating light so as to form
The thermal-lens type analyzer including an acquisition unit that acquires measurement data for analysis based on light from the solution sample is provided with a monitor unit that monitors the intensity of the light from the light source.

【0007】請求項1記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、光源からの光の強度をモニターするので、光源か
らの光の強度の変動を検出することができる。
According to the thermal lens system analyzer of the first aspect, since the intensity of the light from the light source is monitored, it is possible to detect the variation in the intensity of the light from the light source.

【0008】請求項2記載の熱レンズ方式分析装置は、
請求項1記載の熱レンズ方式分析装置において、前記モ
ニター手段は、前記取得された分析用測定データの補正
を行うデータ処理部を備えることを特徴とする。
The thermal lens system analyzer according to claim 2 is
The thermal lens system analyzer according to claim 1, wherein the monitor means includes a data processing unit that corrects the acquired analysis measurement data.

【0009】請求項2記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、取得された分析用測定データの補正を行うので、
光源からの光の強度の変動に応じて正確な測定値が得る
ことができる。
According to the thermal lens system analyzing apparatus of the second aspect, since the acquired measurement data for analysis is corrected,
Accurate measurement values can be obtained according to variations in the intensity of light from the light source.

【0010】請求項3記載の熱レンズ方式分析装置は、
請求項2記載の熱レンズ方式分析装置において、前記デ
ータ処理部は、前記モニターした光源からの光の強度が
所定の許容範囲外の値であるときに、前記補正を、当該
分析用測定データをキャンセルすることによって行うこ
とを特徴とする。
The thermal lens system analyzer according to claim 3 is
The thermal lens analysis apparatus according to claim 2, wherein the data processing unit corrects the correction measurement data when the intensity of light from the monitored light source is out of a predetermined allowable range. The feature is that it is performed by canceling.

【0011】請求項3記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、モニターした光源からの光の強度が所定の許容範
囲外の値であるときに分析用測定データをキャンセルす
るので、光源からの光の強度の変動が大きいときに分析
用測定データをキャンセルすることができる。
According to the thermal lens system analyzer of the third aspect, the measurement data for analysis is canceled when the intensity of the monitored light from the light source is out of a predetermined allowable range. It is possible to cancel the measurement data for analysis when there is a large fluctuation in the intensity.

【0012】請求項4記載の熱レンズ方式分析装置は、
請求項2記載の熱レンズ方式分析装置において、光源の
使用時間tの関数である光の強度関数I(t)に基づい
て、前記分析用測定データの値を補正することを特徴と
する。
The thermal lens system analyzer according to claim 4 is
The thermal lens system analyzer according to claim 2 is characterized in that the value of the analysis measurement data is corrected based on a light intensity function I (t) which is a function of a light source usage time t.

【0013】請求項4記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、光源の使用時間tの関数である光の強度関数I
(t)に基づいて分析用測定データの値を補正するの
で、請求項2記載の熱レンズ方式分析装置による効果を
確実に奏することができる。
According to the thermal lens type analyzer of the fourth aspect, the light intensity function I which is a function of the usage time t of the light source is used.
Since the value of the measurement data for analysis is corrected based on (t), the effect of the thermal lens system analysis device according to the second aspect can be reliably exhibited.

【0014】請求項5記載の熱レンズ方式分析装置は、
請求項4記載の熱レンズ方式分析装置において、前記光
の強度関数I(t)は一次関数から成ることを特徴とす
る。
The thermal lens system analyzer according to claim 5 is
The thermal lens analysis device according to claim 4, wherein the light intensity function I (t) is a linear function.

【0015】請求項5記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、一次関数から成る光の強度関数I(t)に基づい
て分析用測定データの値を補正するので、請求項4記載
の熱レンズ方式分析装置による効果を容易に奏すること
ができる。
According to the thermal lens type analyzer of the fifth aspect, the value of the measurement data for analysis is corrected based on the light intensity function I (t) consisting of a linear function. Therefore, the thermal lens of the fourth aspect. The effect of the system analyzer can be easily obtained.

【0016】請求項6記載の熱レンズ方式分析装置は、
請求項2乃至5のいずれか1項に記載の熱レンズ方式分
析装置において、前記補正を行うときにアラームを発す
る警報手段を備えることを特徴とする。
The thermal lens system analyzer according to claim 6 is
The thermal lens system analyzer according to any one of claims 2 to 5, further comprising: an alarm unit that issues an alarm when the correction is performed.

【0017】請求項6記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、補正を行うときにアラームを発するので、光源か
らの光の強度の変動が大きいときことを検出したのを容
易に知らせることができる。
According to the thermal lens system analyzing apparatus of the sixth aspect, since an alarm is issued when the correction is performed, it is possible to easily inform that the variation in the intensity of the light from the light source is detected. .

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
熱レンズ方式分析装置を図面を参照しながら詳述する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a thermal lens system analyzer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0019】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
熱レンズ方式分析装置の概略構成を示す図である。
FIG. 1 is a view showing the schematic arrangement of a thermal lens system analyzer according to the first embodiment of the present invention.

【0020】図1において、熱レンズ方式分析装置20
は筐体1を有し、この筐体1内には、所定波長、例えば
532nmの励起光を出射する励起レーザー2(光源)
と、励起レーザー2から出射された励起光を変調するチ
ョッパー3と、励起光とは異なる波長の検出光を出射す
るプローブ用半導体レーザー(以下、「LD」という)
4(光源)と、励起レーザー2から出射された励起光及
びLD4から出射された検出光を合波するダイクロイッ
クミラー5と、流路15が設けられたマイクロ化学シス
テム用チップ6と、合波された励起光及び検出光をチッ
プ6中の溶液試料に合焦するSMLレンズ7(日本板硝
子株式会社製「屈折分布型セルフォックマイクロレン
ズ」)と、溶液試料を通過した励起光のうち特定波長の
光を検出するフォトダイオード(以下、「PD」とい
う)8と、PD8及びチョッパー3に夫々接続されたロ
ックインアンプ9と、ロックインアンプ9に接続された
データ処理システム10(データ処理部)とが配されて
いる。チョッパー3は、AOM(音響光学素子:Acoust
o-Optic Modulator)であってもよい。
In FIG. 1, a thermal lens system analyzer 20 is shown.
Has a housing 1, and inside the housing 1, an excitation laser 2 (light source) that emits excitation light of a predetermined wavelength, for example, 532 nm.
And a chopper 3 that modulates the excitation light emitted from the excitation laser 2 and a probe semiconductor laser that emits detection light having a wavelength different from that of the excitation light (hereinafter referred to as "LD").
4 (light source), a dichroic mirror 5 that combines the excitation light emitted from the excitation laser 2 and the detection light emitted from the LD 4, and the microchemical system chip 6 provided with the flow path 15 SML lens 7 that focuses the excitation light and the detection light on the solution sample in chip 6 (“Refraction distribution type Selfoc microlens” manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd.) A photodiode (hereinafter, referred to as “PD”) 8 for detecting light, a lock-in amplifier 9 connected to each of the PD 8 and the chopper 3, and a data processing system 10 (data processing unit) connected to the lock-in amplifier 9. Are arranged. The chopper 3 is an AOM (acousto-optic device: Acoust
o-Optic Modulator).

【0021】励起レーザー2とダイクロイックミラー5
の間には、励起レーザー2から出射された励起光を分波
する532nm用ビームサンプラー11及びビームサン
プラー11により分波された励起光を検出する532n
m用モニターPD12が、LD4とダイクロイックミラ
ー5の間には、LD4から出射された検出光を分波する
LD用ビームサンプラー13及びビームサンプラー13
により分波された検出光を検出するLD用モニターPD
14が夫々配置されており、これらのPD12,14は
データ処理システム10(データ処理部)に接続されて
いる(モニター手段)。
Excitation laser 2 and dichroic mirror 5
In between, a beam sampler 11 for 532 nm that splits the pumping light emitted from the pumping laser 2 and a pumping light that is split by the beam sampler 11 are detected 532n.
Between the LD 4 and the dichroic mirror 5, the m monitor PD 12 includes an LD beam sampler 13 and a beam sampler 13 for demultiplexing the detection light emitted from the LD 4.
Monitor PD for detecting the detection light demultiplexed by
14 are arranged respectively, and these PDs 12 and 14 are connected to the data processing system 10 (data processing unit) (monitoring means).

【0022】以下、図1の分光分析装置1の作動を説明
する。
The operation of the spectroscopic analyzer 1 shown in FIG. 1 will be described below.

【0023】図1において、チップ6に設けられた、例
えば幅100μm、深さ300μmの流路15中に溶液
試料が供給される。励起レーザー2は、所定波長、例え
ば532nmの励起光を出射し、この励起光は、チョッ
パー3により変調される。変調された励起光は、ダイク
ロイックミラー5を透過してSMLレンズ7を介して流
路15中に供給された溶液試料に集光照射される。その
照射された励起光は、流路15中に供給された溶媒中の
試料に吸収されて、その集光照射位置を中心にして熱レ
ンズが形成される。試料に照射された励起光のうち試料
に吸収されなかった光は図示しないカットオフフィルタ
により反射させることによりPD8に入射しないように
なっている。
In FIG. 1, the solution sample is supplied into the channel 15 provided in the chip 6 and having a width of 100 μm and a depth of 300 μm, for example. The excitation laser 2 emits excitation light having a predetermined wavelength, for example, 532 nm, and this excitation light is modulated by the chopper 3. The modulated excitation light passes through the dichroic mirror 5 and is focused and irradiated onto the solution sample supplied into the flow path 15 via the SML lens 7. The irradiated excitation light is absorbed by the sample in the solvent supplied into the flow path 15, and a thermal lens is formed around the condensed irradiation position. Of the excitation light applied to the sample, the light not absorbed by the sample is reflected by a cut-off filter (not shown) so that it does not enter the PD 8.

【0024】一方、LD4は、励起光とは異なる波長の
検出光を出射し、この検出光は、ダイクロイックミラー
5で励起レーザー2から出射された励起光と同軸になる
ように下方向に曲げられてSMLレンズ7に入射し、こ
のSMLレンズ7により流路15中に供給された溶液試
料に集光照射される。LD4から出射される検出光は、
励起光により試料に集光照射された熱レンズ内を透過し
て発散又は集光する。この試料から発散又は集光した後
の出射された光はプローブ光となり、そのプローブ光は
PD8により検出される。この検出されたプローブ光は
ロックインアンプ9に入力される。なお、励起レーザー
からの励起光は検出光を兼ねることもできる。
On the other hand, the LD 4 emits detection light having a wavelength different from that of the excitation light, and the detection light is bent downward by the dichroic mirror 5 so as to be coaxial with the excitation light emitted from the excitation laser 2. Incident on the SML lens 7, and the solution sample supplied into the flow path 15 is focused and irradiated by the SML lens 7. The detection light emitted from the LD4 is
The excitation light diffuses or collects by passing through the inside of the thermal lens where the sample is condensed and irradiated. The light emitted after diverging or condensing from this sample becomes probe light, and the probe light is detected by the PD 8. The detected probe light is input to the lock-in amplifier 9. The excitation light from the excitation laser can also serve as the detection light.

【0025】PD8により検出されたプローブ光の強度
は、励起光が溶媒中の試料に吸収されることにより形成
された上記熱レンズに応じて変化すると共に、チョッパ
ー3による励起光変調周期に同期して変化するものであ
る。そこで、このPD8により検出されたプローブ光
は、ロックインアンプ9に入力され、ロックインアンプ
9により増幅されて信号化されると共に、この増幅され
て信号化されたプローブ光は、ロックインアンプ9によ
りチョッパー3による励起光変調周期に同期して検波さ
れる。データ処理システム10は、検波されたプローブ
光を溶液試料の測定値として分析用にデータ化して、分
析用測定データ処理を実行すると共に溶液試料の分析を
行う。
The intensity of the probe light detected by the PD 8 changes in accordance with the thermal lens formed by the absorption of the excitation light by the sample in the solvent and is synchronized with the excitation light modulation period by the chopper 3. It changes. Therefore, the probe light detected by the PD 8 is input to the lock-in amplifier 9, amplified by the lock-in amplifier 9 and converted into a signal, and the amplified probe-lighted signal is locked in the lock-in amplifier 9. Is detected in synchronization with the excitation light modulation period by the chopper 3. The data processing system 10 converts the detected probe light into data for analysis as a measurement value of a solution sample, performs analysis measurement data processing, and analyzes the solution sample.

【0026】また、532nm用ビームサンプラー11
及びPD12を介して励起光強度を検出すると共に、L
D用ビームサンプラー13及びPD14を介して検出光
強度を検出し、夫々検出された光の強度がデータ処理シ
ステム10に入力される。
A beam sampler 11 for 532 nm
And the excitation light intensity is detected via PD12, and L
The detected light intensities are detected via the D beam sampler 13 and the PD 14, and the detected light intensities are input to the data processing system 10.

【0027】図2は、図1の熱レンズ方式分析装置20
によって実行される分析用測定データ処理のフローチャ
ートである。
FIG. 2 is a thermal lens type analyzer 20 of FIG.
It is a flow chart of measurement data processing for analysis performed by.

【0028】本処理は、図1の熱レンズ方式分析装置2
0のデータ処理システム10によって実行され、ビーム
サンプラー11及びPD12を介して検出された励起光
強度が所定の許容範囲外の値であるときに分析用測定デ
ータをキャンセルするものである。
This process is performed by the thermal lens system analyzer 2 of FIG.
0 is executed by the data processing system 10 and the measurement data for analysis is canceled when the excitation light intensity detected through the beam sampler 11 and the PD 12 is out of a predetermined allowable range.

【0029】図2において、まず、励起光強度の上限値
・下限値を設定する(ステップS1)。この励起光強度
の上限値・下限値は、実験的に定められるものであり、
励起光が定常光から成るときの励起光強度200mJに
対して、上限値は、例えば30%増の260mJ、下限
値は、例えば30%減の140mJである(図3
(a))。
In FIG. 2, first, the upper and lower limits of the excitation light intensity are set (step S1). The upper limit value and the lower limit value of this excitation light intensity are determined experimentally,
With respect to the excitation light intensity of 200 mJ when the excitation light is the stationary light, the upper limit value is, for example, 30% increase of 260 mJ, and the lower limit value is, for example, 30% decrease of 140 mJ (FIG. 3).
(A)).

【0030】そして、励起光強度を検出し、且つ図1を
用いて上述したように溶液試料の分析用測定データを取
得し(取得手段)(ステップS2)、検出された励起光
強度が上限値以上であるか否かを判別し(ステップS
3)、次いで、検出された励起光強度が下限値以下であ
るか否かを判別する(ステップS4)。
Then, the excitation light intensity is detected, and the measurement data for analysis of the solution sample is acquired as described above with reference to FIG. 1 (acquisition means) (step S2), and the detected excitation light intensity is the upper limit value. It is determined whether or not the above (step S
3) Then, it is determined whether the detected excitation light intensity is less than or equal to the lower limit value (step S4).

【0031】ステップS3及びS4の判別の結果、検出
された励起光強度が上限値以上であるか(図3のA)、
又は下限値以下であるとき(図3のB)、即ち許容範囲
外の値であるときは、図示しない警報装置によりアラー
ムを発し(ステップS5)、分析用測定データをキャン
セルし(ステップS6)、本処理を終了する。
As a result of the discrimination in steps S3 and S4, is the detected excitation light intensity above the upper limit (A in FIG. 3)?
Alternatively, when it is less than or equal to the lower limit (B in FIG. 3), that is, when the value is outside the allowable range, an alarm is issued by an alarm device (not shown) (step S5), and the measurement data for analysis is canceled (step S6). This process ends.

【0032】また、ステップS3及びS4の判別の結
果、検出された励起光強度が、上限値未満であるか、下
限値を超えるとき、即ち許容範囲内の値であるときは、
本処理を終了する。
As a result of the determination in steps S3 and S4, when the detected excitation light intensity is below the upper limit value or above the lower limit value, that is, within the allowable range,
This process ends.

【0033】図2の処理によれば、検出された励起光強
度が、上限値以上であるか(図3のA)、又は下限値以
下であるとき(図3のB)、即ち許容範囲外であるとき
は(ステップS3又はS4でYES)、励起レーザー2
の劣化や励起光に存在するランダムなノイズや揺らぎが
(図3(a))溶液試料の分析用測定データの値に影響
している(図3(b))ことを考慮して、分析用測定デ
ータをキャンセルする(ステップS6)ので、励起レー
ザー2の劣化や励起光に存在するランダムなノイズや揺
らぎが大きいときに分析用測定データをキャンセルする
ことができる。
According to the processing of FIG. 2, when the detected excitation light intensity is equal to or higher than the upper limit value (A in FIG. 3) or lower than the lower limit value (B in FIG. 3), that is, outside the allowable range. If it is (YES in step S3 or S4), the excitation laser 2
In consideration of the fact that the noise and fluctuations present in the excitation light and the random noise and fluctuations present in the excitation light (Fig. 3 (a)) affect the values of the measurement data for analysis of the solution sample (Fig. 3 (b)). Since the measurement data is canceled (step S6), the measurement data for analysis can be canceled when the deterioration of the excitation laser 2 or the random noise or fluctuation present in the excitation light is large.

【0034】また、検出された励起光強度が許容範囲外
であるときは(ステップS3又はS4でYES)、警報
装置によりアラームを発する(ステップS5)ので、励
起レーザー2の劣化や励起光に存在するランダムなノイ
ズや揺らぎが大きいことを検出したのを容易に知らせる
ことができる。
When the detected excitation light intensity is out of the allowable range (YES in step S3 or S4), an alarm is issued by the alarm device (step S5). It is possible to easily inform that the random noise or large fluctuation is detected.

【0035】上記第1の実施の形態では、励起レーザー
2の励起光強度が許容範囲外の値であるときに分析用測
定データをキャンセルするとしたが、分析用測定データ
を取得することを禁止してもよい。
In the first embodiment, the analysis measurement data is canceled when the excitation light intensity of the excitation laser 2 is out of the allowable range. However, acquisition of the analysis measurement data is prohibited. May be.

【0036】以下、本発明の第2の実施の形態に係る熱
レンズ方式分析装置を説明する。
A thermal lens system analyzer according to the second embodiment of the present invention will be described below.

【0037】本発明の第2の実施の形態に係る熱レンズ
方式分析装置の構成は、図1の熱レンズ方式分析装置2
0と同じである。
The configuration of the thermal lens system analyzer according to the second embodiment of the present invention is the same as that of the thermal lens system analyzer 2 of FIG.
Same as 0.

【0038】図4は、図1の熱レンズ方式分析装置20
によって実行される分析用測定データ処理のフローチャ
ートである。
FIG. 4 is a thermal lens type analyzer 20 of FIG.
It is a flow chart of measurement data processing for analysis performed by.

【0039】本処理は、図1の熱レンズ方式分析装置2
0のデータ処理システム10によって実行され、励起レ
ーザー2が劣化しているときに分析用測定データを励起
レーザー2の劣化分だけ補正するものである。
This processing is performed by the thermal lens system analyzer 2 of FIG.
It is executed by the zero data processing system 10 and corrects the measurement data for analysis by the deterioration amount of the excitation laser 2 when the excitation laser 2 is deteriorated.

【0040】図4において、まず、励起レーザー2購入
時の励起レーザー2の光強度をデータ処理システム10
に格納し(ステップS1)、励起レーザー2の使用時間
に対する励起レーザー2の劣化に基づくレーザー光の強
度の低下の度合いを示した検量線をデータ処理システム
10に格納する(ステップS2)。この検量線は、レー
ザー販売業者が提供しているものであってもよい。
In FIG. 4, first, the light intensity of the excitation laser 2 when the excitation laser 2 is purchased is measured by the data processing system 10.
(Step S1), and a calibration curve showing the degree of decrease in the intensity of the laser light due to the deterioration of the excitation laser 2 with respect to the usage time of the excitation laser 2 is stored in the data processing system 10 (step S2). This calibration curve may be provided by a laser vendor.

【0041】そして、励起光強度を検出し、且つ図1を
用いて上述したように溶液試料の分析用測定データを取
得する(取得手段)(ステップS3)。この際に、検出
された励起光強度は、励起レーザー2が溶液試料に励起
光を照射する前において、ビームサンプラー11及びP
D12を介してデータ処理システム10に入力される。
Then, the excitation light intensity is detected, and the measurement data for analysis of the solution sample is acquired as described above with reference to FIG. 1 (acquisition means) (step S3). At this time, the detected excitation light intensity is measured by the beam sampler 11 and P before the excitation laser 2 irradiates the solution sample with the excitation light.
Input to the data processing system 10 via D12.

【0042】次いで、ステップS3で検出された励起光
強度と、ステップS2で格納された検量線とを比較する
(ステップS4)。検出された励起光強度は励起レーザ
ー2購入時の励起レーザー2の強度よりも低下している
ものであり、ステップS5で比較された結果に基づい
て、溶液試料の分析用測定データを励起レーザー2の劣
化分だけ補うための補正係数を決定し(ステップS
5)、ステップS5で決定された補正係数を用いて溶液
試料の分析用測定データの値の補正を行い、溶液試料の
分析用測定データを励起レーザー2の劣化分だけ補った
値に変更し(ステップS6)、本処理を終了する。
Next, the excitation light intensity detected in step S3 is compared with the calibration curve stored in step S2 (step S4). The detected excitation light intensity is lower than the intensity of the excitation laser 2 at the time of purchase of the excitation laser 2, and the measurement data for analysis of the solution sample is converted into the excitation laser 2 based on the result compared in step S5. A correction coefficient to compensate for the deterioration amount of
5), the value of the analytical measurement data of the solution sample is corrected using the correction coefficient determined in step S5, and the analytical measurement data of the solution sample is changed to a value that compensates for the deterioration of the excitation laser 2 ( In step S6), this process ends.

【0043】図4の処理によれば、検出された励起光強
度と、格納された検量線との比較結果(ステップS4)
に基づいて、補正係数を決定し(ステップS5)、溶液
試料の分析用測定データの値の補正を行う(ステップS
6)ので、励起レーザー2の劣化に応じて正確な測定値
が得ることができる。
According to the processing of FIG. 4, the comparison result between the detected excitation light intensity and the stored calibration curve (step S4)
The correction coefficient is determined based on the above (step S5), and the value of the measurement data for analysis of the solution sample is corrected (step S5).
Since 6), accurate measurement values can be obtained according to the deterioration of the excitation laser 2.

【0044】上記ステップS1〜S2において、励起レ
ーザー2購入時の励起レーザー2の光強度と、励起レー
ザー2の使用時間に対する検量線とを格納するとした
が、励起レーザー2の購入時や溶液試料の測定前に、基
準サンプルに対して励起光強度が異なる少なくとも2点
をNDフィルター等を用いて測定し、励起光強度に応じ
た測定値の検量線を作成し、この検量線を格納してもよ
い。
In the above steps S1 and S2, the light intensity of the excitation laser 2 at the time of purchase of the excitation laser 2 and the calibration curve with respect to the usage time of the excitation laser 2 are stored. Before measurement, at least two points having different excitation light intensities with respect to the reference sample are measured by using an ND filter or the like, and a calibration curve of the measured value corresponding to the excitation light intensity is created and stored even if this calibration curve is stored. Good.

【0045】上記図4の処理において、溶液試料の分析
用測定データの値の補正を行うときに(ステップS
6)、警報装置によりアラームを発してもよい。これに
より、励起レーザー2の劣化や励起光に存在するランダ
ムなノイズや揺らぎが大きいことを検出したのを容易に
知らせることができる。
In the process shown in FIG. 4, when the value of the measurement data for analysis of the solution sample is corrected (step S
6), an alarm device may give an alarm. As a result, it is possible to easily notify that the deterioration of the excitation laser 2 or the random noise or fluctuation present in the excitation light is large.

【0046】また、上記図4の処理において、補正係数
を検量線に基づいて決定するとしたが、検量線に代え
て、補正関数I(t)(tは、励起レーザー2の使用時
間)としてもよい。この補正関数I(t)は、溶液試料
に励起光を照射する前の励起光強度に基づいて励起光の
検出を行う度に補正係数が、例えば図5に示したように
変動するものであり、補正係数をこの補正関数I(t)
に基づいて決定してもよい。これにより、励起光検出時
における励起レーザー2の劣化や励起光に存在するラン
ダムなノイズや揺らぎの大きさに応じてより正確な測定
値が得ることができる。
Although the correction coefficient is determined based on the calibration curve in the processing of FIG. 4, the correction function I (t) (t is the operating time of the excitation laser 2) may be used instead of the calibration curve. Good. This correction function I (t) is such that the correction coefficient fluctuates every time the excitation light is detected based on the excitation light intensity before the solution sample is irradiated with the excitation light, for example, as shown in FIG. , The correction coefficient is the correction function I (t)
May be determined based on. As a result, more accurate measurement values can be obtained according to the deterioration of the excitation laser 2 at the time of detecting the excitation light, the random noise existing in the excitation light, and the magnitude of fluctuation.

【0047】図4の処理は、図2の処理の後に実行され
るのが好ましい。これにより、励起レーザー2の劣化や
励起光に存在するランダムなノイズや揺らぎを考慮して
分析用測定データをキャンセルした後に励起レーザー2
の劣化等を考慮して分析用測定データを励起レーザー2
の劣化分だけ補った値に変更するので、より正確な測定
データを得ることができる。
The process of FIG. 4 is preferably executed after the process of FIG. As a result, the pumping laser 2 is canceled after the measurement data for analysis is canceled in consideration of the deterioration of the pumping laser 2 and the random noise and fluctuation existing in the pumping light.
Of the measurement data for analysis in consideration of deterioration of the laser
Since the value is changed to a value that compensates for the deterioration amount of, more accurate measurement data can be obtained.

【0048】また、上記第1及び第2の実施の形態で
は、励起レーザー2の励起光強度を検出したが、LD4
の検出光強度を検出してもよい。この場合は、励起光強
度の許容範囲に代えて、検出光強度の許容範囲を設定す
る。より好ましくは、励起レーザー2及びLD4の励起
光強度を検出するのが望ましい。この場合は、励起光強
度の許容範囲と検出光強度の許容範囲の双方を設定す
る。
In the first and second embodiments, the pumping light intensity of the pumping laser 2 is detected.
The detected light intensity of may be detected. In this case, the permissible range of the detected light intensity is set instead of the permissible range of the excitation light intensity. More preferably, it is desirable to detect the excitation light intensity of the excitation laser 2 and the LD 4. In this case, both the allowable range of the excitation light intensity and the allowable range of the detected light intensity are set.

【0049】上記モニター手段を用いる分析装置は、熱
レンズを分析対象試料内に生起させる熱レンズ方式分析
装置に限られない。光源から出射された光量の揺らぎや
光源の経時的な劣化による光量の低下が分析の正確度に
影響を及ぼす分析装置に適用することができる。
The analyzer using the above-mentioned monitoring means is not limited to the thermal lens type analyzer which causes the thermal lens in the sample to be analyzed. The present invention can be applied to an analyzer in which fluctuations in the amount of light emitted from a light source and a decrease in the amount of light due to deterioration of the light source affect the accuracy of analysis.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1記
載の熱レンズ方式分析装置によれば、光源からの光の強
度をモニターするので、光源からの光の強度の変動を検
出することができる。
As described in detail above, according to the thermal lens system analyzer of the first aspect, since the intensity of the light from the light source is monitored, it is possible to detect the variation in the intensity of the light from the light source. You can

【0051】請求項2記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、取得された分析用測定データの補正を行うので、
光源からの光の強度の変動に応じて正確な測定値が得る
ことができる。
According to the thermal lens system analyzer of the second aspect, since the acquired measurement data for analysis is corrected,
Accurate measurement values can be obtained according to variations in the intensity of light from the light source.

【0052】請求項3記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、モニターした光源からの光の強度が所定の許容範
囲外の値であるときに分析用測定データをキャンセルす
るので、光源からの光の強度の変動が大きいときに分析
用測定データをキャンセルすることができる。
According to the thermal lens type analyzer of the third aspect, since the measurement data for analysis is canceled when the intensity of the light from the monitored light source is out of the predetermined allowable range, the light from the light source is canceled. It is possible to cancel the measurement data for analysis when there is a large fluctuation in the intensity.

【0053】請求項4記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、光源の使用時間tの関数である光の強度関数I
(t)に基づいて分析用測定データの値を補正するの
で、請求項2記載の熱レンズ方式分析装置による効果を
確実に奏することができる。
According to the thermal lens system analyzer of the fourth aspect, the light intensity function I which is a function of the usage time t of the light source is used.
Since the value of the measurement data for analysis is corrected based on (t), the effect of the thermal lens system analysis device according to the second aspect can be reliably exhibited.

【0054】請求項5記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、一次関数から成る光の強度関数I(t)に基づい
て分析用測定データの値を補正するので、請求項4記載
の熱レンズ方式分析装置による効果を容易に奏すること
ができる。
According to the thermal lens type analyzer of the fifth aspect, the value of the measurement data for analysis is corrected based on the light intensity function I (t) which is a linear function. Therefore, the thermal lens of the fourth aspect. The effect of the system analyzer can be easily obtained.

【0055】請求項6記載の熱レンズ方式分析装置によ
れば、補正を行うときにアラームを発するので、光源か
らの光の強度の変動が大きいときことを検出したのを容
易に知らせることができる。
According to the thermal lens system analyzing apparatus of the sixth aspect, since an alarm is issued when the correction is performed, it is possible to easily inform that the variation in the intensity of the light from the light source is detected. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係る熱レンズ方式分析装
置の概略構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a thermal lens system analyzer according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の熱レンズ方式分析装置20によって実行
される分析用測定データ処理のフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart of analysis measurement data processing executed by the thermal lens system analyzer 20 of FIG.

【図3】図2の処理における分析用測定データをキャン
セルすることを示すグラフであり、(a)は、レーザー
光の強度と測定時間との関係を示し、(b)は、溶液試
料の測定値と測定時間との関係を示す。
FIG. 3 is a graph showing cancellation of analytical measurement data in the process of FIG. 2, (a) showing a relationship between laser light intensity and measurement time, and (b) showing measurement of a solution sample. The relationship between the value and the measurement time is shown.

【図4】図1の熱レンズ方式分析装置20によって実行
される分析用測定データ処理のフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart of analysis measurement data processing executed by the thermal lens system analyzer 20 of FIG.

【図5】使用時間に関するレーザーのレーザー光強度の
変化を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a change in laser light intensity of a laser with respect to usage time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 筐体 2 励起レーザー 4 プローブ用半導体レーザー 5 ダイクロイックミラー 6 チップ 7 SMLレンズ 10 データ処理システム 11 532nm用ビームサンプラー 12 532nm用モニターPD 13 LD用ビームサンプラー 14 LD用モニターPD 20 熱レンズ方式分析装置 1 case 2 pump laser 4 Semiconductor laser for probe 5 dichroic mirror 6 chips 7 SML lens 10 Data processing system 11 532nm beam sampler Monitor PD for 12532nm 13 LD beam sampler 14 LD monitor PD 20 Thermal lens type analyzer

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 溶液試料を収容するチップと、当該チッ
プ内に収容された溶液試料に熱レンズを形成するように
光を照射する光源と、前記溶液試料からの光に基づいて
分析用測定データを取得する取得手段とを備える熱レン
ズ方式分析装置において、前記光源からの光の強度をモ
ニターするモニター手段を備えることを特徴とする熱レ
ンズ方式分析装置。
1. A chip for containing a solution sample, a light source for irradiating the solution sample contained in the chip with light so as to form a thermal lens, and measurement data for analysis based on the light from the solution sample. A thermal lens analysis device comprising: an acquisition unit that acquires the light intensity of the light from the light source.
【請求項2】 前記モニター手段は、前記取得された分
析用測定データの補正を行うデータ処理部を備えること
を特徴とする請求項1記載の熱レンズ方式分析装置。
2. The thermal lens system analyzer according to claim 1, wherein the monitor unit includes a data processing unit that corrects the acquired measurement data for analysis.
【請求項3】 前記データ処理部は、前記モニターした
光源からの光の強度が所定の許容範囲外の値であるとき
に、前記補正を、当該分析用測定データをキャンセルす
ることによって行うことを特徴とする請求項2記載の熱
レンズ方式分析装置。
3. The data processing unit performs the correction by canceling the analysis measurement data when the intensity of light from the monitored light source is out of a predetermined allowable range. The thermal lens system analyzer according to claim 2, which is characterized in that.
【請求項4】 前記データ処理部は、前記光源の使用時
間tの関数である光の強度関数I(t)に基づいて、前
記分析用測定データの値を補正することを特徴とする請
求項2記載の熱レンズ方式分析装置。
4. The data processing unit corrects the value of the measurement data for analysis based on an intensity function I (t) of light which is a function of a usage time t of the light source. 2. The thermal lens system analyzer according to 2.
【請求項5】 前記光の強度関数I(t)は一次関数か
ら成ることを特徴とする請求項4記載の熱レンズ方式分
析装置。
5. The thermal lens system analyzer according to claim 4, wherein the light intensity function I (t) is a linear function.
【請求項6】 前記補正を行うときにアラームを発する
警報手段を備えることを特徴とする請求項2乃至5のい
ずれか1項に記載の熱レンズ方式分析装置。
6. The thermal lens system analyzer according to claim 2, further comprising: an alarm unit that outputs an alarm when the correction is performed.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006115079A1 (en) * 2005-04-20 2006-11-02 Nippon Sheet Glass Company, Limited Thermal lens spectrum analysis system and thermal lens signal correction method
JP2011203216A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Yamatake Corp Calorific value calculation formula creation system, method of creating calorific value calculation formula, calorific value measurement system, and method of measuring calorific value
JP2016151572A (en) * 2015-02-19 2016-08-22 アズビル株式会社 Dryness measurement device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006115079A1 (en) * 2005-04-20 2006-11-02 Nippon Sheet Glass Company, Limited Thermal lens spectrum analysis system and thermal lens signal correction method
JP2011203216A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Yamatake Corp Calorific value calculation formula creation system, method of creating calorific value calculation formula, calorific value measurement system, and method of measuring calorific value
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