JP2003208719A - Optical recording/reproducing medium, stamper for producing optical recording/reproducing medium and optical recording /reproducing device - Google Patents

Optical recording/reproducing medium, stamper for producing optical recording/reproducing medium and optical recording /reproducing device

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JP2003208719A
JP2003208719A JP2002119740A JP2002119740A JP2003208719A JP 2003208719 A JP2003208719 A JP 2003208719A JP 2002119740 A JP2002119740 A JP 2002119740A JP 2002119740 A JP2002119740 A JP 2002119740A JP 2003208719 A JP2003208719 A JP 2003208719A
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optical recording
reproducing
recording
pit
reproducing medium
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惣銘 遠藤
Katsuhiko Otomo
勝彦 大友
Yasuhiro Shiyuuda
育弘 秀田
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Sony Corp
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical recording/reproducing medium with a practically high recording density capable of sufficiently obtaining a push-pull signal amplitude even in pits for executing stable tracking servo without causing fluctuation in recording and reproducing characteristics. <P>SOLUTION: The optical recording and reproducing medium where pits corresponding to recording information are formed along recording tracks is configured such that a format inverting the ruggedness of a pit position detecting format is adopted for a recording format of the pits 3, and the track pitch of the pits is selected to be 4/3 or over and 3/2 or below of the track pitch of a cut-off frequency corresponding to a wavelength λ of reproduction light and a numerical aperture NA of an objective lens used for reproducing recording information of the optical recording and reproducing medium. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録情報に対応す
るピットが記録トラックに沿って形成された光学記録再
生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ及び光学記録
再生装置に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recorded information are formed along recording tracks, a stamper for manufacturing the optical recording / reproducing medium, and an optical recording / reproducing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学記録再生媒体として、円盤状に形成
されて成り、光学的に記録及び/又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。
2. Description of the Related Art As an optical recording / reproducing medium, various optical discs formed in a disk shape and optically recorded and / or reproduced have been put into practical use. Such optical discs include read-only optical discs in which embossed pits corresponding to data are formed in advance on the disc substrate, magneto-optical discs for recording data by utilizing the magneto-optical effect, and phase change of recording films. There is a phase-change type optical disk that records data by utilizing it.

【0003】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成されるいわゆる案内溝であり、グルー
ブとグルーブの開口端間をランドと称す。
Among these optical discs, writable optical discs such as magneto-optical discs and phase change type optical discs usually have grooves along the recording tracks formed on the disc substrate. Here, the groove is a so-called guide groove formed along the recording track mainly for enabling tracking servo, and a gap between the groove and an opening end of the groove is called a land.

【0004】そしてグルーブが形成されて成る光ディス
クでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られ
るプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号に
よって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッ
シュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラ
ック中心に対して対称に配置された2つの光検出器によ
り検出し、それら2つの光検出器からの出力の差をとる
ことにより得られる。
In an optical disk having a groove formed therein, tracking servo is usually performed by a tracking error signal based on a push-pull signal obtained from light reflected and diffracted by the groove. Here, the push-pull signal is obtained by detecting the light diffracted and diffracted by the groove with two photodetectors symmetrically arranged with respect to the track center, and taking the difference between the outputs from these two photodetectors. Is obtained by

【0005】ところで、従来、これらの光ディスクで
は、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能
を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そ
して、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、デ
ータの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、
光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数
NAを大きくしたりすることにより、光学的に実現させ
てきた。
By the way, conventionally, in these optical discs, a high recording density has been achieved by improving the reproduction resolution of an optical pickup mounted in a reproducing apparatus. The improvement of the reproduction resolution of the optical pickup is mainly to shorten the wavelength λ of the laser light used for reproducing the data,
This has been achieved optically by increasing the numerical aperture NA of the objective lens that focuses the laser light on the optical disk.

【0006】従来、CD(Compact Disc)の追記型のい
わゆるCD−Rや光磁気ディスクの書換え型のMD(Mi
ni Disc )、DVD(Digital Versatile Disc)の追記
型のDVD−RやDVD+R、又はDVDの書換え可能
型のいわゆるDVD+RW或いはDVD−RW(いずれ
も光ディスクの登録商標)の各フォーマットでは、グル
ーブに記録するグルーブ記録フォーマットが提案されて
いる。ISO系の光磁気ディスクの各フォーマットで
は、ランドに記録するランド記録フォーマットが提案さ
れている。
Conventionally, a write-once type CD-R of a CD (Compact Disc) and a rewritable MD (Mi of a magneto-optical disc) are used.
ni Disc), a write-once type DVD-R or DVD + R of a DVD (Digital Versatile Disc), or a rewritable type of DVD, so-called DVD + RW or DVD-RW (both are registered trademarks of an optical disc). A groove recording format has been proposed. For each format of the ISO type magneto-optical disk, a land recording format for recording on a land has been proposed.

【0007】一方DVD−RAM(Random Access Memo
ry)等においては、光ディスクの高密度化を実現する一
つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録する
ことにより、トラック密度を従来の2倍にして高密度化
をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案され
ている。
On the other hand, DVD-RAM (Random Access Memo)
In ry) etc., as one method for realizing high density of an optical disc, so-called land / groove recording in which the track density is doubled to increase the density by recording on both the groove and the land. A scheme has been proposed.

【0008】また、近年次世代光ディスクとして開発が
進められているDVR(Digital Video Recorable )
や、MDが小型化されたμ−Disc等の高密度光ディ
スクにおいても、ランドグルーブ記録方式が検討されて
おり、これにより高記録密度化がはかられている。
Further, DVR (Digital Video Recorable) which has been developed as a next-generation optical disk in recent years
Also, for a high density optical disc such as a μ-Disc in which the MD is downsized, a land / groove recording method has been studied, and thereby a high recording density is achieved.

【0009】しかしながら、DVD−RAM等において
ランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグル
ーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそ
れぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないこ
とから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。
However, when performing land-groove recording on a DVD-RAM or the like, in recording on the land and recording on the groove, the optimum recording / reproducing characteristics cannot be obtained unless the focus points are adjusted during recording / reproduction. There is a drawback in that the optical system is complicated.

【0010】また、"ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
neration And Conduction On Land/Groove Disc"におい
て、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記
録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなよ
うに、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを
均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体
において、記録再生特性の異なる領域が存在するという
問題がある。
In addition, "ISOM 2000 Simulation Of Heat Ge
In "neration And Conduction On Land / Groove Disc", it is clear that the recording beam shape is different between recording on the land and recording on the groove. It is difficult to make them uniform, and there is a problem that there are regions with different recording / reproducing characteristics in the same optical recording / reproducing medium.

【0011】更にまた、DVR等の高密度光ディスクに
おいて、読み取り面に近い方、即ちDVRの場合は、光
照射側に近いランド上の記録再生特性は良好であるが、
読み取り面から遠い方、即ちDVRの場合光照射側から
遠いグルーブでの記録再生特性を良好に保持することは
困難な結果を得ている。
Furthermore, in a high-density optical disc such as a DVR, the recording / reproducing characteristics on the land closer to the reading surface, that is, on the land closer to the light irradiation side are good in the case of the DVR,
It has been difficult to maintain good recording / reproducing characteristics in the groove farther from the reading surface, that is, in the case of DVR, farther from the light irradiation side.

【0012】DVR−ROM(Read Only Memory)ディ
スク等において、このようなランドグルーブ記録方式の
フォーマットで信号を直接記録することは現状では可能
であるが、ランド上の記録とグルーブ上の記録とで記録
再生特性を良好で且つ均一にすることが望まれている。
Although it is possible at present to directly record a signal on a DVR-ROM (Read Only Memory) disk or the like in such a land-groove recording format, recording on a land and recording on a groove are possible. It is desired to make recording and reproducing characteristics good and uniform.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、DV
R等の高密度光ディスクにおいて、グルーブ部は読み取
り面に遠い方であり、このグルーブ部での記録再生特性
を良好にすることは困難である。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
In a high density optical disk such as R, the groove portion is far from the reading surface, and it is difficult to improve the recording / reproducing characteristics in this groove portion.

【0014】これに対し、光学記録再生媒体の製造工程
において、基板に形成する凹凸パターンを反転して製造
する方法が考えられる。すなわち、通常の光学記録再生
媒体の製造過程においては、フォトリソグラフィ等によ
ってガラス原盤上の感光層に微細な凹凸パターンを形成
した後、メッキ等によって例えばNiより成るマスター
スタンパを形成する。
On the other hand, in the manufacturing process of the optical recording / reproducing medium, a method of manufacturing by inverting the concavo-convex pattern formed on the substrate can be considered. That is, in the usual manufacturing process of an optical recording / reproducing medium, a fine stamping pattern is formed on a photosensitive layer on a glass master by photolithography or the like, and then a master stamper made of, for example, Ni is formed by plating or the like.

【0015】そしてこのマスタースタンパを金型等に載
置して樹脂を射出する射出成形法、または、基板上に、
例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂層にこのスタ
ンパーを押圧して、目的とする凹凸パターンを形成す
る、いわゆる2P(Photo-Polymerization)法によっ
て、表面に所定の微細な凹凸パターンが形成された光学
記録再生媒体の基板を形成することができる。
Then, this master stamper is placed on a mold or the like and an injection molding method of injecting a resin, or on a substrate,
For example, a predetermined fine concave-convex pattern is formed on the surface by a so-called 2P (Photo-Polymerization) method in which an ultraviolet curable resin is applied and the stamper is pressed against the resin layer to form a desired concave-convex pattern. The substrate of the optical recording / reproducing medium can be formed.

【0016】従って、上述したように、グルーブ部が読
み取り光から遠い側に設けられて記録再生特性が良好に
保持できない場合は、上述のマスタースタンパの複製ス
タンパ、即ちいわゆるマザースタンパを、電気メッキ法
等によって転写形成することにより、凹凸パターンを逆
にして、基板上のグルーブパターンを、読み取り光に近
い側に設ける構成として、記録再生特性の向上をはかる
ことができる。
Therefore, as described above, when the groove portion is provided on the side far from the reading light and the recording / reproducing characteristics cannot be maintained well, the duplicate stamper of the master stamper, that is, the so-called mother stamper is electroplated. By performing transfer formation by means such as the above, the concavo-convex pattern is reversed and the groove pattern on the substrate is provided on the side closer to the reading light, so that the recording / reproducing characteristics can be improved.

【0017】しかしながら、グルーブ記録又はランド記
録フォーマットを採る場合は、ランドグルーブ記録フォ
ーマットを採る場合と同様の高記録密度を達成しようと
すると、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合の
2倍のトラック密度にすること、即ちトラックピッチを
半分とする必要があり、プッシュプル信号等のトラッキ
ングサーボ信号の振幅量が小さくなり、安定にトラッキ
ングすることや、ウォブル信号の再生が難しくなる。
However, in the case of adopting the groove recording or land recording format, if an attempt is made to achieve the same high recording density as in the case of adopting the land groove recording format, the track density becomes twice as high as that in the case of adopting the land groove recording format. That is, the track pitch needs to be halved, and the amplitude amount of the tracking servo signal such as the push-pull signal becomes small, which makes it difficult to perform stable tracking and reproduce the wobble signal.

【0018】例えば、ランドグルーブ記録フォーマット
は、トラックピッチが0.60μm、即ちランド幅が
0.30μm、グルーブ幅が0.30μmとされてお
り、プッシュプル信号振幅は90%程度である。
For example, in the land-groove recording format, the track pitch is 0.60 μm, that is, the land width is 0.30 μm and the groove width is 0.30 μm, and the push-pull signal amplitude is about 90%.

【0019】しかし、グルーブ記録フォーマットで同様
の記録密度を達成する場合は、トラックピッチを0.3
2μmとすると、プッシュプル信号振幅は18%程度で
ある。
However, in order to achieve the same recording density in the groove recording format, the track pitch is set to 0.3.
If it is 2 μm, the push-pull signal amplitude is about 18%.

【0020】従来の光ディスクにおいて、トラックピッ
チは、再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数の
トラックピッチの2倍〜3/2程度とされている。ここ
で、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ0とな
る周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ
光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光する
対物レンズの開口数をNAとしたとき、2NA/λで表
される。
In the conventional optical disc, the track pitch is set to about twice to 3/2 of the track pitch of the cutoff frequency of the optical pickup of the reproducing apparatus. Here, the cut-off frequency is a frequency at which the reproduction signal amplitude becomes almost 0. The wavelength of the laser beam used for reproducing the data is λ, and the aperture of the objective lens for converging the laser beam on the optical disc. When the number is NA, it is represented by 2NA / λ.

【0021】上述のDVRの場合、開口数NA=0.8
5、再生光の波長λ=406nmであるから、カットオ
フ周波数(2NA/λ)は、4187本/mmであり、
この場合のトラックピッチは0.239μmである。
In the case of the above DVR, numerical aperture NA = 0.8
5. Since the reproduction light wavelength λ = 406 nm, the cutoff frequency (2NA / λ) is 4187 lines / mm,
The track pitch in this case is 0.239 μm.

【0022】DVRのトラックピッチを0.32μmと
すると、カットオフ周波数に対応するトラックピッチ
(0.239μm)の4/3(0.32/0.239=
1.339)程度となる。
Assuming that the track pitch of the DVR is 0.32 μm, 4/3 (0.32 / 0.239 =) of the track pitch (0.239 μm) corresponding to the cutoff frequency.
It becomes about 1.339).

【0023】通常トラックピッチがカットオフ周波数に
対応するトラックピッチの2倍〜3/2程度とされるの
は、安定したトラッキングサーボや安定したウォブル信
号の再生を実現するために、トラッキングサーボ信号振
幅を充分なレベルにて得られるようにする必要があるか
らである。
Normally, the track pitch is set to be about twice to 3/2 of the track pitch corresponding to the cutoff frequency, in order to realize stable tracking servo and stable wobble signal reproduction. Is required to be obtained at a sufficient level.

【0024】近年の高密度光ディスクでは、トラッキン
グエラー信号としてプッシュプル信号が用いられている
が、トラッキングサーボを安定に行うには、プッシュプ
ル信号振幅比が0.15程度以上である必要がある。更
に、ウォブル信号の再生を安定に行うようにすることが
望まれている。
A push-pull signal is used as a tracking error signal in recent high-density optical disks, but the push-pull signal amplitude ratio must be about 0.15 or more in order to perform stable tracking servo. Furthermore, it is desired to stably reproduce the wobble signal.

【0025】また一方、グルーブ上の記録とは別に、ピ
ットとしてTOC(Table Of Contents )等の情報を記
録するフォーマットが提案されている。しかし、ピット
はグルーブに比べて円周方向の密度が約半分であるた
め、トラッキングサーボ信号振幅(プッシュプル信号振
幅)が半分になる欠点があった。
On the other hand, in addition to recording on the groove, a format for recording information such as TOC (Table Of Contents) as pits has been proposed. However, the density of the pits in the circumferential direction is about half that of the pits, so that the tracking servo signal amplitude (push-pull signal amplitude) is halved.

【0026】つまり、上述のDVRのトラックピッチを
0.32μmとして高密度化をはかると、ピットのプッ
シュプル信号振幅は9%(18%/2)程度となってし
まい、トラッキングサーボが困難となる。
That is, if the DVR track pitch is set to 0.32 μm for high density, the pit push-pull signal amplitude becomes about 9% (18% / 2), which makes tracking servo difficult. .

【0027】尚、本出願人の出願に係る特開平9−30
6034号公開公報において、記録トラックにピットが
形成される光学式記録媒体において、その基板の屈折率
をn、再生に使用される光の波長をλとしたとき、ピッ
トの深さをλ/(4n)〜λ/(2n)とし、ピットの
幅を0.3μm〜0.6μmとし、ピットが形成された
記録トラック上においてピットが形成された領域の方
が、ピットが形成されていない領域よりも多くする構成
を提案している。
Incidentally, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-30 filed by the present applicant
In the 6034 publication, in an optical recording medium in which pits are formed on a recording track, when the refractive index of the substrate is n and the wavelength of light used for reproduction is λ, the pit depth is λ / ( 4n) to λ / (2n), the pit width is 0.3 μm to 0.6 μm, and the pit-formed area on the recording track on which the pit is formed is better than the non-pit-formed area. I also propose a configuration to increase.

【0028】しかしながらこの場合、上述のDVR等に
おけるような、カットオフ周波数に対応するトラックピ
ッチの4/3程度のトラックピッチとされた高記録密度
の光学記録再生媒体において適用するには、ピットの記
録トラック方向に沿う方向の密度や、ピットの深さ及び
幅を考慮する必要があり、良好な記録再生特性を確実に
保持することのできる高密度の光学記録再生媒体の実現
が望まれていた。
However, in this case, in order to apply to a high recording density optical recording / reproducing medium having a track pitch of about 4/3 of the track pitch corresponding to the cutoff frequency as in the above-mentioned DVR, etc. It is necessary to consider the density in the direction along the recording track direction, the depth and width of the pits, and it has been desired to realize a high-density optical recording / reproducing medium capable of reliably maintaining good recording / reproducing characteristics. .

【0029】本発明は、上述したような問題を解決し、
記録再生特性の変動を生じることなく、また安定したト
ラッキングサーボを行うためにピット部においてもプッ
シュプル信号振幅が十分得られる実用的な高記録密度の
光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパ、
更に光学記録再生装置を提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems,
A practical high recording density optical recording / reproducing medium and a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium, which can obtain a sufficient push-pull signal amplitude even in the pit portion for stable tracking servo without causing fluctuations in recording / reproducing characteristics. ,
Another object is to provide an optical recording / reproducing device.

【0030】[0030]

【課題を解決するための手段】本発明は、記録情報に対
応するピットが記録トラックに沿って形成された光学記
録再生媒体にあって、ピットの記録フォーマットを、ピ
ットポジション検出フォーマットの凹凸を逆にしたフォ
ーマットとして構成し、ピットのトラックピッチを、光
学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ
及び対物レンズの開口数NAに対応するカットオフ周波
数のトラックピッチの4/3以上3/2以下として構成
する。
According to the present invention, in an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, the recording format of the pits is reversed from the unevenness of the pit position detection format. The pit track pitch is the wavelength λ of the reproducing light for reproducing the recorded information on the optical recording / reproducing medium.
And the track pitch of the cutoff frequency corresponding to the numerical aperture NA of the objective lens is set to 4/3 or more and 3/2 or less.

【0031】更に本発明は、記録情報に対応するピット
が記録トラックに沿って形成された光学記録再生媒体を
製造するための光学記録再生媒体製造用スタンパにあっ
て、ピットに対応するピットパターンの記録フォーマッ
トを、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆に
したフォーマットとして構成し、ピットパターンのトラ
ックピッチを、光学記録再生媒体の記録情報を再生する
再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数NAに対応す
るカットオフ周波数のトラックピッチの4/3以上3/
2以下として構成する。
Furthermore, the present invention provides a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium for manufacturing an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, in which a pit pattern corresponding to the pits is formed. The recording format is formed by reversing the irregularities of the pit position detection format, and the track pitch of the pit pattern is set to the wavelength λ of the reproducing light for reproducing the record information of the optical recording / reproducing medium and the numerical aperture NA of the objective lens. 4/3 or more of track pitch of corresponding cutoff frequency 3 /
Configured as 2 or less.

【0032】また更に本発明は、上述の構成における光
学記録再生媒体を用いて光学記録再生装置を構成する。
即ち、記録情報に対応するピットが記録トラックに沿っ
て形成された光学記録再生媒体を用いる光学記録再生装
置にあって、光学記録再生媒体のピットの記録フォーマ
ットを、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆
にしたフォーマットとして構成し、光学記録再生媒体の
ピットのトラックピッチを、光学記録再生媒体の記録情
報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数
NAに対応するカットオフ周波数のトラックピッチの4
/3以上3/2以下として構成する。
Furthermore, the present invention constitutes an optical recording / reproducing apparatus using the optical recording / reproducing medium having the above-mentioned structure.
That is, in an optical recording / reproducing apparatus using an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, the recording format of the pits of the optical recording / reproducing medium is reversed to the unevenness of the pit position detection format. The track pitch of the pits of the optical recording / reproducing medium is the track pitch of the cutoff frequency corresponding to the wavelength λ of the reproducing light for reproducing the recorded information of the optical recording / reproducing medium and the numerical aperture NA of the objective lens. Of 4
It is configured as / 3 or more and 3/2 or less.

【0033】上述したように、本発明においては、ピッ
トの記録フォーマットを、ピットポジション検出フォー
マットの凹凸を逆にしたスペースポジション検出フォー
マットとして構成すると共に、ピットのトラックピッチ
を、光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の
波長λ及び対物レンズの開口数に対応するカットオフ周
波数にもとづいたトラックピッチの4/3以上3/2以
下とする高密度構成とすることによって、記録トラック
の延長方向に沿う方向、例えばディスク状媒体における
円周方向のピットの密度即ちピットデューティを50%
よりも増加させることとなる。これにより、高密度構成
の光学記録再生媒体において、プッシュプル信号振幅の
増大化をはかって確実に良好なトラッキングサーボ特性
を得ることができる。
As described above, in the present invention, the pit recording format is configured as a space position detection format in which the irregularities of the pit position detection format are reversed, and the pit track pitch is recorded on the optical recording / reproducing medium. Extending the recording track by adopting a high-density structure in which the track pitch is 4/3 or more and 3/2 or less based on the cut-off frequency corresponding to the wavelength λ of the reproducing light for reproducing information and the numerical aperture of the objective lens. The pit density, that is, the pit duty, in the circumferential direction of the disk-shaped medium is 50%.
Will be increased. As a result, in the high density optical recording / reproducing medium, it is possible to surely obtain good tracking servo characteristics by increasing the push-pull signal amplitude.

【0034】ピットポジション検出方式は、現在一般的
に用いられているエッジ検出方式よりピットの円周方向
即ち記録トラックの延長方向に沿う方向の密度、いわゆ
るピットデューティが低い。
The pit position detection method has a lower density in the circumferential direction of the pits, that is, a direction along the extension direction of the recording track, that is, a so-called pit duty, than the edge detection method which is generally used at present.

【0035】例えば、2−7変調方式(3T−8T)の
場合、3Tのピットデューティは33.3%であり、8
Tのピットデューティは12.5%である。2−7変調
のピットポジション検出の場合、平均のピットデューテ
ィは22.7%になり、プッシュプル信号振幅は減少
し、安定なトラッキングサーボが困難になる。
For example, in the case of the 2-7 modulation method (3T-8T), the pit duty of 3T is 33.3%.
The pit duty of T is 12.5%. In the case of 2-7 modulation pit position detection, the average pit duty becomes 22.7%, the push-pull signal amplitude decreases, and stable tracking servo becomes difficult.

【0036】これに対し、本発明においては、ピットポ
ジション検出フォーマットの凹凸を逆にしたスペースポ
ジション検出フォーマットとして構成する。このスペー
スポジション検出フォーマットは、ピットポジション検
出方式の凹凸が逆であるから、そのピットデューティは
77.3%になり、プッシュプル信号振幅の減少は少な
く、安定なトラッキングサーボが可能になる。
On the other hand, in the present invention, the pit position detection format is formed as a space position detection format with the irregularities reversed. In this space position detection format, the unevenness of the pit position detection method is reversed, so that the pit duty is 77.3%, the push-pull signal amplitude does not decrease so much, and stable tracking servo becomes possible.

【0037】更に、ピットポジション検出フォーマット
のピット長を例えば0.5Tマーク長程度とした場合を
想定し、その凹凸を変換したスペースポジション検出フ
ォーマットを採用することによって、更にピットデュー
ティを向上させることができ、89.4%程度とするこ
とができる。
Further, assuming that the pit length of the pit position detection format is, for example, about 0.5T mark length, and adopting the space position detection format in which the unevenness is converted, the pit duty can be further improved. It is possible to set it to about 89.4%.

【0038】従って、本発明構成を、狭トラックピッチ
の高記録密度光学記録再生媒体に適用する場合には、充
分なプッシュプル信号振幅を安定に得ることができて、
記録再生特性の劣化を回避することができる。
Therefore, when the structure of the present invention is applied to a high recording density optical recording / reproducing medium having a narrow track pitch, a sufficient push-pull signal amplitude can be stably obtained,
It is possible to avoid deterioration of recording / reproducing characteristics.

【0039】[0039]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明するが、本発明は以下の例に限定
されることなく、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の
構成を採り得ることはいうまでもない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following examples, and various modifications are possible within the scope of the present invention. It goes without saying that the configuration can be adopted.

【0040】上述したように、本発明においては、記録
情報に対応するピットが記録トラックに沿って形成さ
れ、そのフォーマットを、ピットポジション検出方式の
凹凸を逆にしたスペースポジション検出方式とする。
As described above, in the present invention, the pits corresponding to the recording information are formed along the recording track, and the format thereof is the space position detecting system in which the irregularities of the pit position detecting system are reversed.

【0041】図1Aにおいて、Sはスペースポジション
検出方式によるスペースポジション変調信号の一例を示
し、3はこの信号Sに対応するピットの形状を模式的に
示したものである。また、図1Bにおいては、上記スペ
ースポジション変調信号に対応するピットエッジポジシ
ョン検出方式による変調信号S1 と、この信号S1 に対
応するピット3の形状を模式的に示す。図1Bにおい
て、信号S1 に部分的に矢印3TM 、3TS 、8TM
8Ts 、4TM を付して示す領域は、それぞれ3Tマー
ク、3Tスペース、8Tマーク、8Tスペース、4Tマ
ークを示す。
In FIG. 1A, S is an example of a space position modulation signal according to the space position detection method, and 3 is a schematic view of the shape of a pit corresponding to this signal S. In addition, FIG. 1B schematically shows a modulation signal S 1 according to the pit edge position detection method corresponding to the space position modulation signal and the shape of the pit 3 corresponding to the signal S 1 . In FIG. 1B, the signal S 1 is partially shown by arrows 3T M , 3T S , 8T M ,
The areas indicated by 8T s and 4T M indicate 3T mark, 3T space, 8T mark, 8T space, and 4T mark, respectively.

【0042】更に、図1Cにおいては、上記スペースポ
ジション変調信号及びエッジポジション変調信号に対応
するピットポジション検出方式による変調信号S2 を、
そのピット長を1Tマークと同程度の長さとした場合
と、この信号S2 に対応するピット3の形状を模式的に
示す。
Further, in FIG. 1C, the modulation signal S 2 by the pit position detection method corresponding to the space position modulation signal and the edge position modulation signal is
The case where the pit length is approximately the same as the 1T mark and the shape of the pit 3 corresponding to the signal S 2 are schematically shown.

【0043】また、図1Dにおいては、ピットポジショ
ン検出方式による変調信号S2 を、そのピット長を1T
マークの半分の長さ即ち0.5T相当の長さとした場合
の変調信号S3 と、これに対応するピット3を示し、図
1Eにおいては、この変調信号S3 の凹凸を反転したス
ペースポジション変調信号S4 及びこれに対応するピッ
ト3を示す。図1Eにおいて、スペースポジション変調
信号S4 の各ピット3のスペースは0.5T相当の長さ
となる。
Further, in FIG. 1D, the modulation signal S 2 according to the pit position detection method has a pit length of 1T.
A modulation signal S 3 and a pit 3 corresponding to the modulation signal S 3 when the length of the mark is half, that is, a length corresponding to 0.5T is shown. In FIG. 1E, the space position modulation in which the unevenness of the modulation signal S 3 is inverted is shown. The signal S 4 and the corresponding pit 3 are shown. In FIG. 1E, the space of each pit 3 of the space position modulation signal S 4 has a length corresponding to 0.5T.

【0044】これらを比較して明らかなように、図1A
に示すスペースポジション検出方式を採る場合は、ピッ
トデューティがピットエッジ検出方式及びピットポジシ
ョン検出方式と比較して格段に向上し、図1Eに示すス
ペースを更に短くしたスペースポジション検出方式で
は、ピットデューティが更に向上することがわかる。
As can be seen by comparing these, FIG.
When the space position detection method shown in Fig. 1 is adopted, the pit duty is significantly improved as compared with the pit edge detection method and the pit position detection method, and in the space position detection method shown in Fig. 1E in which the space is further shortened, the pit duty is It can be seen that it is further improved.

【0045】図2は上述のスペースポジション検出方式
によって、ピット3を記録し、また光学記録再生媒体に
グルーブ4、この場合ウォブルグルーブを設けた場合の
模式的な平面構成を示す。
FIG. 2 shows a schematic plan structure in which the pits 3 are recorded by the above-mentioned space position detection method, and the optical recording / reproducing medium is provided with the grooves 4, in this case, wobbled grooves.

【0046】本発明構成においては、光学記録再生媒体
の記録情報を再生する再生用光の波長をλ、この光学記
録再生媒体の再生用光の入射側からピットに至る媒質の
屈折率をnとしたときに、ピットの位相深さxを、 λ/13.71n≦x≦λ/5.18n (1) とし、またピットの幅wと、このピットのトラックピッ
チpとの比を、 0.406≦w/p≦0.531 ‥‥(2) として構成する。
In the configuration of the present invention, the wavelength of the reproducing light for reproducing the recorded information on the optical recording / reproducing medium is λ, and the refractive index of the medium from the incident side of the reproducing light of this optical recording / reproducing medium to the pit is n. Then, the phase depth x of the pit is set to λ / 13.71n ≦ x ≦ λ / 5.18n (1), and the ratio of the width w of the pit to the track pitch p of this pit is set to 0. 406 ≦ w / p ≦ 0.531 (2)

【0047】即ち例えば図3にその一例の模式的な断面
図を示すように、基板1の上に、光入射面に近い側に、
即ち図示の例では上側に突出する凸部形状のピット3及
びグルーブ4が形成されて成り、この上に例えば反射層
5、第1の誘電体層6、記録層7、第2の誘電体層8及
び光透過性の保護層9を順次積層形成して光学記録再生
媒体10を構成する。
That is, for example, as shown in a schematic sectional view of one example in FIG. 3, on the substrate 1, on the side close to the light incident surface,
That is, in the illustrated example, the pits 3 and the grooves 4 are formed so as to project upward, and for example, the reflective layer 5, the first dielectric layer 6, the recording layer 7, and the second dielectric layer are formed thereon. 8 and the light-transmissive protective layer 9 are sequentially laminated to form the optical recording / reproducing medium 10.

【0048】54は対物レンズ等の光ピックアップを示
し、レーザ光等の再生用入射光Lがピット3上に照射さ
れる。この場合は、保護層9が上述の光入射面からピッ
トに至る媒質となり、その屈折率をnとし、また、再生
用入射光Lの波長をλとして、前述の式(1)と(2)
とを用いる。図3においてwはピットの幅、pはピット
のトラックピッチを示す。
Reference numeral 54 denotes an optical pickup such as an objective lens, and the pit 3 is irradiated with incident light L for reproduction such as laser light. In this case, the protective layer 9 serves as a medium that extends from the light incident surface to the pit, the refractive index thereof is n, and the wavelength of the reproducing incident light L is λ, and the above equations (1) and (2) are used.
And are used. In FIG. 3, w indicates the width of the pit and p indicates the track pitch of the pit.

【0049】尚、図1において説明したスペースポジシ
ョン検出方式の変調方式は2−7変調の例を示したが、
その他1−7変調方式又はEFM変調方式による場合に
も本発明を適用することができる。
The modulation method of the space position detection method described in FIG. 1 is an example of 2-7 modulation.
The present invention can also be applied to the case of other 1-7 modulation system or EFM modulation system.

【0050】次に、このような光学記録再生媒体の製造
工程の一例を図4A〜Cの製造工程図を参照して説明す
る。
Next, an example of the manufacturing process of such an optical recording / reproducing medium will be described with reference to the manufacturing process drawings of FIGS.

【0051】図4Aにおいて、11はガラス等より成る
原盤用基板を示す。この原盤用基板11の表面に、フォ
トレジスト等より成る感光層12が被着形成され、後述
する光学記録装置によって所定のパターン露光及び現像
によって、記録情報に対応するパターンのピットパター
ン13及びグルーブパターン14が、例えば原盤用基板
11の表面を露出するように、即ち感光層12が除去さ
れたいわば凹状パターンとして形成される。
In FIG. 4A, reference numeral 11 denotes a master substrate made of glass or the like. A photosensitive layer 12 made of a photoresist or the like is adhered and formed on the surface of the master substrate 11, and a pit pattern 13 and a groove pattern having a pattern corresponding to recorded information are formed by performing predetermined pattern exposure and development by an optical recording device described later. 14 is formed, for example, so as to expose the surface of the master substrate 11, that is, as a so-called concave pattern in which the photosensitive layer 12 is removed.

【0052】その後、図示しないが、このパターニング
された感光層12上を覆って、全面的に無電界メッキ法
等により、ニッケル被膜等より成る導電化膜を被着した
後、導電化膜が被着された原盤用基板11を電鋳装置に
取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に例えば3
00±5μm程度の厚さになるようにニッケルメッキ層
を形成する。
Thereafter, although not shown, a conductive film made of a nickel film or the like is deposited on the entire surface of the patterned photosensitive layer 12 by electroless plating or the like, and then the conductive film is coated. The master substrate 11 thus attached is attached to an electroforming device and, for example, 3 is formed on the conductive film layer by electroplating.
A nickel plating layer is formed to have a thickness of about 00 ± 5 μm.

【0053】続いて、ニッケルメッキ層が厚く被着され
た原盤用基板11から、ニッケルメッキ層をカッター等
で剥離し、凹凸パターンが形成された感光層をアセトン
等を用いて洗浄して、図4Bに示すように、原盤11上
でのピットパターン13が反転したパターンの反転ピッ
トパターン13n及びグルーブパターン14が反転した
パターンの反転グルーブパターン14nが形成されたス
タンパ15、即ちいわゆるマスタースタンパが形成され
る。
Subsequently, the nickel plating layer is peeled off from the master substrate 11 on which the nickel plating layer is thickly deposited by a cutter or the like, and the photosensitive layer on which the concavo-convex pattern is formed is washed with acetone or the like. As shown in FIG. 4B, a stamper 15 on which a reversal pit pattern 13n in which the pit pattern 13 on the master 11 is reversed and a reversal groove pattern 14n in which the groove pattern 14 is reversed, that is, a so-called master stamper is formed. It

【0054】その後、このスタンパ15の凹凸パターン
が形成された面上に例えば離型剤を塗布した後、例えば
電気メッキ法により、図4Cに示すように、スタンパ1
5の凹凸パターンを転写したマザースタンパ16を形成
する。
After that, for example, a release agent is applied to the surface of the stamper 15 on which the concavo-convex pattern is formed, and then the stamper 1 is formed by, for example, an electroplating method, as shown in FIG. 4C.
A mother stamper 16 to which the uneven pattern 5 is transferred is formed.

【0055】このマザースタンパ16は、図4Aにおい
て説明した原盤用基板11上の感光層12のパターンと
同様に、所定のピットパターン13及びグルーブパター
ン14が凹状に形成されて成る。従って、このマザース
タンパ16から射出成形等によって形成した基板上のグ
ルーブは、基板から突出したパターンとされ、そのグル
ーブ面は、再生用光の入射側に近い側とすることができ
る。
The mother stamper 16 has a predetermined pit pattern 13 and a groove pattern 14 formed in a concave shape similar to the pattern of the photosensitive layer 12 on the master substrate 11 described in FIG. 4A. Therefore, the groove formed on the substrate by injection molding or the like from the mother stamper 16 has a pattern protruding from the substrate, and the groove surface can be on the side close to the incident side of the reproduction light.

【0056】これらスタンパ15乃至はマザースタンパ
16のピットパターンの深さ、幅及びトラックピッチ
も、上述の光学記録再生媒体と同様に選定する。
The depth, width and track pitch of the pit pattern of the stamper 15 or the mother stamper 16 are also selected similarly to the above optical recording / reproducing medium.

【0057】即ち、光学記録再生媒体の光入射面からピ
ットに至る媒質の屈折率をn、ピットの記録情報を再生
する再生用の入射光の波長をλ、ピットパターン13の
位相深さをx’としたときに、 λ/13.71n≦x’≦λ/5.18n となるように構成する。
That is, the refractive index of the medium from the light incident surface of the optical recording / reproducing medium to the pit is n, the wavelength of the incident light for reproducing the recorded information of the pit is λ, and the phase depth of the pit pattern 13 is x. , Λ / 13.71n ≦ x ′ ≦ λ / 5.18n.

【0058】また図4Cにおいてその一例を示すよう
に、ピットパターン13の幅をw’、トラックピッチを
p’としたときに、 0.406≦w’/p’≦0.531 とする。
As shown in an example in FIG. 4C, when the width of the pit pattern 13 is w'and the track pitch is p ', 0.406≤w' / p'≤0.531.

【0059】次に、上述の図4Aにおいて説明した、原
盤11の上の感光層12に対する具体的な露光工程を、
光学記録装置の構成例と共に詳細に説明する。
Next, the specific exposure process for the photosensitive layer 12 on the master 11 described in FIG. 4A will be described.
It will be described in detail together with a configuration example of the optical recording device.

【0060】先ず、この光学記録装置の構成について説
明する。上述のパターン露光工程においては、レーザビ
ームを対物レンズで集光し、原盤用基板の上のフォトレ
ジストを露光する方法が一般的に採られている。このよ
うな光学記録装置の一例を図5に示す。
First, the structure of this optical recording apparatus will be described. In the above-mentioned pattern exposure step, a method of converging a laser beam with an objective lens and exposing a photoresist on a master substrate is generally adopted. An example of such an optical recording device is shown in FIG.

【0061】図5において、20は気体レーザ等の光源
を示す。光源としては、特に限定されるものではなく、
適宜選択して用いることができるが、この例において
は、Krレーザ(波長λ=351nm)の記録用レーザ
光を発振するレーザ源を用いた。
In FIG. 5, reference numeral 20 denotes a light source such as a gas laser. The light source is not particularly limited,
Although it can be appropriately selected and used, in this example, a laser source that oscillates a recording laser beam of a Kr laser (wavelength λ = 351 nm) was used.

【0062】光源20から出射されたレーザ光は、電気
光学変調器(EOM)21、検光子22を通過した後、
ビームスプリッターBS2及びビームスプリッターBS
1によって一部反射される。ビームスプリッターBS2
及びBS1を透過したレーザ光は、フォトディテクター
(PD)24によって検出され、図示しないが、記録光
パワー制御回路等の制御部において、比較電圧と比較し
て変調器21にフィードバックされる。
The laser light emitted from the light source 20 passes through an electro-optic modulator (EOM) 21 and an analyzer 22,
Beam splitter BS2 and beam splitter BS
It is partially reflected by 1. Beam splitter BS2
The laser light that has passed through BS1 and BS1 is detected by a photo detector (PD) 24, and is fed back to the modulator 21 in comparison with a comparison voltage in a control unit such as a recording light power control circuit (not shown).

【0063】ビームスプリッターBS1、BS2で反射
されたレーザ光LB1 及びLB2 は、変調光学系OM1
及びOM2に導かれる。変調光学系OM1において、レ
ーザ光をレンズL11で集光し、その焦点面上にAOM
1(Acousto-Optic Modulator;音響光学変調器)を配置
する。
The laser beams LB 1 and LB 2 reflected by the beam splitters BS1 and BS2 are modulated optical system OM1.
And OM2. In the modulation optical system OM1, the laser light is condensed by the lens L11 and the AOM is formed on the focal plane thereof.
1 (Acousto-Optic Modulator) is arranged.

【0064】このAOM1には、記録信号に対応する超
音波がドライバ25から入力され、この超音波に基づい
てレーザ光の強度が強度変調される。レーザ光は、AO
M1の回折格子により回折され、その回折光のうち1次
回折光のみがスリットを透過するようになされる。
An ultrasonic wave corresponding to the recording signal is input to the AOM 1 from the driver 25, and the intensity of the laser light is intensity-modulated based on the ultrasonic wave. Laser light is AO
Only the first-order diffracted light of the diffracted light which is diffracted by the diffraction grating of M1 is transmitted through the slit.

【0065】強度変調を受けた1次回折光は、レンズL
12によって集光された後、ミラーM1により反射され
て進行方向が90°曲げられた上で、λ/2波長板HW
Pを介して移動光学テーブル40に水平に且つ光軸に沿
って導入され、偏光ビームスプリッタPBSに入射す
る。
The first-order diffracted light subjected to the intensity modulation is reflected by the lens L.
After being condensed by 12, the light is reflected by the mirror M1 and the traveling direction is bent by 90 °, and then the λ / 2 wave plate HW
It is introduced horizontally to the movable optical table 40 via P and along the optical axis, and enters the polarization beam splitter PBS.

【0066】同様に、変調光学系OM2において、レー
ザ光はレンズL21で集光され、その焦点面上に配置さ
れたAOM2に入射され、ドライバ26から入力される
記録信号に対応する超音波に基づいてレーザ光が強度変
調される。発散したレーザ光は同様にレンズL22によ
って集光された後、ミラーM2によって反射されて進行
方向が90°曲げられて、移動光学テーブル40に水平
に且つ光軸に沿って導入される。
Similarly, in the modulation optical system OM2, the laser light is condensed by the lens L21, is incident on the AOM2 arranged on the focal plane thereof, and is based on the ultrasonic wave corresponding to the recording signal input from the driver 26. The intensity of the laser light is modulated. The diverged laser light is similarly condensed by the lens L22, reflected by the mirror M2, bent in the traveling direction by 90 °, and introduced horizontally to the movable optical table 40 along the optical axis.

【0067】レーザ光LB2 によってグルーブを形成
し、かつこのグルーブをウォブルグルーブとする場合
は、移動光学テーブル40上の偏向光学系ODにおいて
光学偏向が施された上で、ミラーM4によって反射され
て再び進行方向が90°曲げられて、偏光ビームスプリ
ッタPBSに入射する。
When a groove is formed by the laser beam LB 2 and this groove is used as a wobbled groove, it is optically deflected by the deflection optical system OD on the moving optical table 40 and then reflected by the mirror M4. The traveling direction is bent again by 90 ° and enters the polarization beam splitter PBS.

【0068】そして、偏光ビームスプリッタPBSを透
過したレーザ光LB1 及び偏光ビームスプリッタPBS
によって再度90°進行方向が曲げられたレーザ光LB
2 は、拡大レンズL3によって所定のビーム径とされた
上でミラーM5によって反射されて対物レンズ52へと
導かれ、この対物レンズ52によって、原盤用基板11
の上の感光層12に集光される。原盤用基板11は、図
示しないが回転駆動手段により矢印aで示すように回転
される。一点鎖線cは、基板11の中心軸を示す。
Then, the laser beam LB 1 transmitted through the polarization beam splitter PBS and the polarization beam splitter PBS
Laser beam LB whose traveling direction is bent again by 90 °
2 is made to have a predetermined beam diameter by the magnifying lens L3, is reflected by the mirror M5, and is guided to the objective lens 52. By this objective lens 52, the master substrate 11
Is focused on the photosensitive layer 12 above. Although not shown, the master substrate 11 is rotated by a rotation driving means as indicated by an arrow a. The alternate long and short dash line c indicates the central axis of the substrate 11.

【0069】記録用のレーザ光LB1 及びLB2 は、移
動光学テーブル40によって平行移動される。これによ
り、レーザ光の照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応す
る潜像が、感光層12の全面にわたって形成されること
となる。
The recording laser beams LB 1 and LB 2 are translated by the moving optical table 40. As a result, a latent image corresponding to the concavo-convex pattern corresponding to the irradiation trajectory of the laser light is formed on the entire surface of the photosensitive layer 12.

【0070】ここで、偏向光学系ODは、ウェッジプリ
ズム47、音響光学偏向器(AOD:Acousto Optical
Deflector)48、ウェッジプリズム49により構成され
る。レーザ光LB2 は、ウェッジプリズム47を介して
音響光学偏向器48に入射し、この音響光学偏向器48
によって、所望する露光パターンに対応するように光学
偏向が施される。
Here, the deflection optical system OD includes a wedge prism 47 and an acousto-optical deflector (AOD).
Deflector) 48 and wedge prism 49. The laser light LB 2 enters the acousto-optic deflector 48 via the wedge prism 47, and the acousto-optic deflector 48
Thus, the optical deflection is performed so as to correspond to the desired exposure pattern.

【0071】この音響光学偏向器48に使用される音響
光学素子としては、例えば、酸化テルル(TeO2 )か
ら成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏
向器48によって光学偏向が施されたレーザ光LB
2 は、ウェッジプリズム49を介して偏向光学系ODか
ら出射される。
As the acousto-optic element used for the acousto-optic deflector 48, for example, an acousto-optic element made of tellurium oxide (TeO 2 ) is suitable. Then, the laser beam LB optically deflected by the acousto-optic deflector 48.
2 is emitted from the deflection optical system OD via the wedge prism 49.

【0072】尚、ウェッジプリズム47、49は、音響
光学偏向器48の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすようにレーザ光LB2 が入射すると共
に、音響光学偏向器48によってレーザ光LB2 に対し
て光学偏向を施しても、ビームの水平高さが変わらない
ようにする機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプ
リズム47、49と音響光学偏向器48は、音響光学偏
向器48の音響光学素子の格子面がレーザ光LB2 に対
してブラッグ条件を満たし、且つ偏向光学系ODから出
射されたときのレーザ光の水平高さが変わらないように
配置される。
The wedge prisms 47 and 49 allow the laser light LB 2 to enter the grating surface of the acousto-optic device of the acousto-optic deflector 48 so as to satisfy the Bragg condition, and the acousto-optic deflector 48 causes the laser light LB 2 to enter. It has a function of preventing the horizontal height of the beam from changing even if LB 2 is optically deflected. In other words, the wedge prisms 47 and 49 and the acousto-optic deflector 48 are arranged such that the grating surface of the acousto-optic element of the acousto-optic deflector 48 satisfies the Bragg condition for the laser beam LB 2 and is emitted from the deflection optical system OD. It is arranged so that the horizontal height of the laser light does not change.

【0073】また、音響光学偏向器48には、この音響
光学偏向器48を駆動するための駆動用ドライバ50が
取り付けられており、この駆動用ドライバ50には、電
圧制御発振器(VCO:Voltage Controlled Oscillato
r)51からの高周波信号が、正弦波で変調され供給され
る。そして、感光層の露光の際には、所望する露光パタ
ーンに応じた信号が電圧制御発振器51から駆動用ドラ
イバ50に入力され、この信号に応じて駆動用ドライバ
50によって音響光学偏向器48が駆動され、これによ
り、レーザ光LB2 に対して所望のウォブリングに対応
した光学偏向が施される。
Further, a driving driver 50 for driving the acousto-optic deflector 48 is attached to the acousto-optic deflector 48, and the driving driver 50 has a voltage controlled oscillator (VCO). Oscillato
r) The high frequency signal from 51 is supplied after being modulated with a sine wave. At the time of exposing the photosensitive layer, a signal according to a desired exposure pattern is input from the voltage control oscillator 51 to the driving driver 50, and the driving driver 50 drives the acousto-optic deflector 48 according to this signal. Thus, the laser beam LB 2 is optically deflected in accordance with the desired wobbling.

【0074】具体的には、例えば、周波数194.1k
Hzにてグルーブをウォブリングさせることにより、グ
ルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例え
ば中心周波数が224MHzの高周波信号を周波数19
4.1kHzの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振
器51から駆動用ドライバ50に供給する。
Specifically, for example, the frequency is 194.1k.
When address information is added to the groove by wobbling the groove at Hz, for example, a high frequency signal having a center frequency of 224 MHz is generated at a frequency of 19
A sine wave signal is supplied from the voltage controlled oscillator 51 to the driving driver 50 with a control signal of 4.1 kHz.

【0075】そして、この信号に応じて、駆動用ドライ
バ50によって音響光学偏向器48を駆動し、この音響
光学偏向器48の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数194.1kHzのウォブリン
グに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施
す。これにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポ
ット位置が、周波数194.1kHz、振幅±9nmに
て、原盤用基板11の半径方向に振動するように光学偏
向を行った。
In response to this signal, the driving driver 50 drives the acousto-optic deflector 48 to change the Bragg angle of the acousto-optic element of the acousto-optic deflector 48, whereby the frequency of 194.1 kHz. The laser beam is optically deflected so as to correspond to the wobbling. As a result, optical deflection was performed so that the spot position of the laser light focused on the photosensitive layer oscillated in the radial direction of the master substrate 11 at a frequency of 194.1 kHz and an amplitude of ± 9 nm.

【0076】ここで、偏光ビームスプリッタPBSは、
S偏光を反射し、P偏光を透過するようになされ、光学
偏向されたレーザ光LB2 はS偏光であり、PBSにお
いて反射するようになされる。
Here, the polarization beam splitter PBS is
The S-polarized light is reflected and the P-polarized light is transmitted, and the optically deflected laser beam LB 2 is S-polarized light and is reflected by the PBS.

【0077】また、第1の変調光学系OM1から出射さ
れたレーザ光LB1 は、λ/2波長板HWPを通過する
ことにより偏光方向が90°回転させられているのでP
偏光となっており、PBSを透過する。
Since the laser beam LB 1 emitted from the first modulation optical system OM1 passes through the λ / 2 wave plate HWP, the polarization direction is rotated by 90 °, so P
It is polarized and passes through PBS.

【0078】後述する実施例においては、対物レンズの
開口数NAを0.9とした。AOM1及びAOM2の音
響光学素子としては、酸化テルル(TeO2 )を用い
た。入力端子からドライバ25及び26を介して供給さ
れる信号は、ピットを形成する場合は、2−7変調のス
ペースポジション信号とし、グルーブを形成する場合は
一定レベルのDC(直流)信号である。
In the examples described later, the numerical aperture NA of the objective lens is 0.9. Tellurium oxide (TeO 2 ) was used for the acousto-optic elements of AOM1 and AOM2. The signal supplied from the input terminal through the drivers 25 and 26 is a space position signal of 2-7 modulation when forming a pit, and is a DC (direct current) signal of a constant level when forming a groove.

【0079】またこの例では、変調光学系OM1及びO
M2の光学レンズとしては、集光レンズL11及びL2
1の焦点距離を80mm、コリメートレンズL12及び
L22の焦点距離を100mmとし、また移動光学テー
ブル40の拡大レンズL3の焦点距離を50mmとし
た。
Further, in this example, the modulation optical systems OM1 and O
The optical lenses of M2 include condenser lenses L11 and L2.
The focal length of 1 was 80 mm, the focal lengths of the collimating lenses L12 and L22 were 100 mm, and the focal length of the magnifying lens L3 of the moving optical table 40 was 50 mm.

【0080】上述の構成による光学記録装置における露
光条件は、ウォブルグルーブに対しレーザパワー0.3
0mJ/mとし、ピットはレーザパワー0.25mJ/
m程度として、第1の変調光学系OM1によって、ピッ
ト変調即ち2−7変調スペースポジション信号、また第
2の変調光学系OM2によってDC変調信号を、トラッ
クピッチ0.32μmとして、原盤用基板11上の感光
層12にスパイラル状にパターン露光を行った。
The exposure condition in the optical recording apparatus having the above-mentioned structure is that the laser power is 0.3 with respect to the wobble groove.
0 mJ / m, pit laser power is 0.25 mJ / m
On the substrate 11 for a master, a pit modulation, that is, a 2-7 modulation space position signal by the first modulation optical system OM1 and a DC modulation signal by the second modulation optical system OM2 are set to a track pitch of 0.32 μm. The photosensitive layer 12 was subjected to spiral pattern exposure.

【0081】前述の図1A〜Cにおいて説明したよう
に、通常、2−7変調はピットエッジ検出方式の場合、
ピットの記録トラックに沿う方向、ディスク状の媒体の
場合円周方向の密度(ピットデューティ)は50%であ
る。プッシュプル信号振幅比はピットデューティに比例
する。つまり、ピットデューティが50%のピットエッ
ジ検出の場合はプッシュプル信号振幅はグルーブの50
%に減少する。ピットポジション検出はピットデューテ
ィが22.7%になり、プッシュプル信号振幅は更に減
少し22.7%になる。
As described with reference to FIGS. 1A to 1C described above, in the case of the pit edge detection method, 2-7 modulation is usually used.
The density (pit duty) in the direction along the recording track of pits and in the circumferential direction in the case of a disk-shaped medium is 50%. The push-pull signal amplitude ratio is proportional to the pit duty. That is, in the case of pit edge detection with a pit duty of 50%, the push-pull signal amplitude is 50
%. When detecting the pit position, the pit duty becomes 22.7%, and the push-pull signal amplitude further decreases to 22.7%.

【0082】しかしながら、本発明においては、上述し
たように、スペースポジション検出方式によりピット3
を形成することにより、2−7変調方式の場合、平均の
ピットデューティは77.8%になり、プッシュプル信
号振幅は77.3%に保持することができる。
However, in the present invention, as described above, the pit 3 is formed by the space position detection method.
, The average pit duty becomes 77.8% and the push-pull signal amplitude can be kept at 77.3%.

【0083】更に、前述の図1Eにおいて説明したよう
に、スペースポジション検出方式のスペース長を0.5
Tスペース長とする場合、平均のピットデューティは8
4.2〜89.4%となる。スペース長を1T〜0.5
Tの適切な値に選定することにより、実質的にピットデ
ューティを、68.3〜89.4%の広い範囲にするこ
とができ、トラッキングサーボ及びスペースポジション
検出の安定な再生が可能となる。
Further, as described with reference to FIG. 1E, the space length of the space position detection system is set to 0.5.
The average pit duty is 8 when T space length is used.
It becomes 4.2 to 89.4%. Space length from 1T to 0.5
By selecting an appropriate value of T, the pit duty can be substantially set in a wide range of 68.3 to 89.4%, and stable reproduction of tracking servo and space position detection becomes possible.

【0084】そして、上述のパターン露光を行った後、
原盤用基板11を感光層12が上部になるように現像機
のターンテーブルに載置して、この原盤用基板11の表
面が水平面となるようにして回転させる。この状態で、
感光層12上に現像液を滴下して、感光層12の現像処
理を行い、信号形成領域に、記録信号に基づく凹凸パタ
ーンが形成され、上述の図4Aにおいて説明した光学記
録再生媒体製造用の原盤を形成する。
Then, after performing the above-mentioned pattern exposure,
The master substrate 11 is placed on the turntable of the developing machine so that the photosensitive layer 12 is on the upper side, and is rotated so that the surface of the master substrate 11 is horizontal. In this state,
A developing solution is dropped on the photosensitive layer 12 to develop the photosensitive layer 12, and a concavo-convex pattern based on a recording signal is formed in the signal forming area, which is used for manufacturing the optical recording / reproducing medium described in FIG. 4A. The master is formed.

【0085】そしてこの後、上述の図4B〜Cにおいて
説明した製造工程によって、上述の光学記録装置による
パターン露光と現像工程によって作製した凹凸パターン
とは反転する凹凸パターンが形成された光学記録再生媒
体製造用スタンパ、この場合いわゆるマザースタンパを
形成し、更にこのマザースタンパから射出成形法又は2
P法等によって、後述の実施例においては射出成形によ
りポリカーボネート等の光透過性樹脂より成る光学記録
再生媒体用の基板を成形する。
Then, after this, the optical recording / reproducing medium on which the concavo-convex pattern that is the reverse of the concavo-convex pattern formed by the pattern exposure and developing process by the above-mentioned optical recording device is formed by the manufacturing process described in FIGS. A manufacturing stamper, in this case a so-called mother stamper, is formed, and the mother stamper is further subjected to an injection molding method or 2
By the P method or the like, a substrate for an optical recording / reproducing medium made of a light-transmitting resin such as polycarbonate is molded by injection molding in Examples described later.

【0086】そして、成形した基板の厚さを1.1mm
とし、その信号形成面に、Al合金等から成る反射層
5、ZnS−SiO2 等より成る第1の誘電体層6、G
eSbTe合金等より成る相変化材料より成る記録層
7、ZnS−SiO2 等より成る第2の誘電体層8を順
次スパッタリング等によって成膜する。その後、第2の
誘電体層5の上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法によ
り塗布し、この紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し
硬化させることによって、厚さ0.1mmの保護層9を
形成する。
Then, the thickness of the molded substrate is 1.1 mm.
On the signal forming surface thereof, a reflection layer 5 made of Al alloy or the like, a first dielectric layer 6 made of ZnS—SiO 2 or the like, G
A recording layer 7 made of a phase change material made of eSbTe alloy or the like and a second dielectric layer 8 made of ZnS—SiO 2 or the like are sequentially formed by sputtering or the like. After that, an ultraviolet curable resin is applied on the second dielectric layer 5 by a spin coating method, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays to be cured to form a protective layer 9 having a thickness of 0.1 mm. To do.

【0087】このような製造工程を経て、図1及び図2
において説明した、本発明構成によるスペースポジショ
ン検出方式によるピットとウォブリンググルーブの形成
された例えばDVRフォーマットの光学記録再生媒体が
形成される。
1 and 2 through the manufacturing process as described above.
As described above, an optical recording / reproducing medium of, for example, a DVR format in which pits and wobbling grooves are formed by the space position detecting method according to the present invention is formed.

【0088】このようにして形成した光学記録再生媒体
の凹凸パターンの再生特性の評価を、波長λ=406n
m、開口数NA=0.85の光学系を備えた光学記録再
生装置を用いて行う。この装置の模式的な構成を図6に
示す。
The evaluation of the reproduction characteristics of the concavo-convex pattern of the optical recording / reproducing medium thus formed was carried out by the wavelength λ = 406n.
m is used, and an optical recording / reproducing apparatus equipped with an optical system having a numerical aperture NA = 0.85 is used. A schematic configuration of this device is shown in FIG.

【0089】図6において、61は波長λ=406nm
の半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレ
ーザビームは、コリメートレンズ62で平行光とされ、
グレーティング63によって、0次光(主ビーム)及び
±1次光(副ビーム)の3つのビームに分けられる。こ
れらの3つのビーム(P偏光)は、偏光ビームスプリッ
タ64、1/4波長板65を円偏光として透過して、前
述の図3において説明したように、開口数NA=0.8
5の対物レンズよりなる光ピックアップ66によって、
光学記録再生媒体10の所定の記録トラック上に集光さ
れる。主ビームの中央のスポットは記録情報の記録再生
に用いられ、副ビームの光スポットはトラッキングエラ
ーの検出用に用いられる。68は光学記録再生媒体10
を矢印bで示すように回転させる回転手段を示す。実線
dは、光学記録再生媒体10の回転軸を示す。
In FIG. 6, 61 is the wavelength λ = 406 nm.
Shows a light source such as a semiconductor laser, and the laser beam emitted from this is collimated by the collimator lens 62,
The grating 63 divides the beam into three beams of 0th order light (main beam) and ± 1st order light (sub beam). These three beams (P-polarized light) pass through the polarization beam splitter 64 and the quarter-wave plate 65 as circularly polarized light, and as described above with reference to FIG. 3, the numerical aperture NA = 0.8.
By the optical pickup 66 composed of the objective lens 5
The light is focused on a predetermined recording track of the optical recording / reproducing medium 10. The central spot of the main beam is used for recording / reproducing recorded information, and the optical spot of the sub beam is used for detecting tracking error. 68 is an optical recording / reproducing medium 10
Shows a rotating means for rotating as shown by an arrow b. A solid line d indicates the rotation axis of the optical recording / reproducing medium 10.

【0090】そして、光学記録再生媒体10からの反射
光は、光ピックアップ66、1/4波長板65を再び経
由して円偏光はS偏光になり偏光ビームスプリッタ64
に反射され、組み合わせレンズ71とレンズ74とに入
射させる。
Then, the reflected light from the optical recording / reproducing medium 10 passes through the optical pickup 66 and the quarter-wave plate 65 again, and the circularly polarized light becomes S-polarized light.
And is made incident on the combination lens 71 and the lens 74.

【0091】組み合わせレンズ71に入射されたレーザ
光は、レーザビームに非点収差を与えるレンズを介して
フォトダイオード72に入射され、ビームの強度に応じ
た電気信号に変換され、サーボ信号(フォーカスエラー
信号及びトラッキングエラー信号)として、サーボ回路
に出力される。フォトダイオード72は分割されたディ
テクタ73(A〜H)を有する。主ビームの戻り光はデ
ィテクタ73の中央部に位置する4分割ディテクタのA
〜Dに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ73の両
側部に位置するE〜Hに入射する。
The laser light incident on the combination lens 71 is incident on the photodiode 72 through a lens which gives astigmatism to the laser beam, is converted into an electric signal corresponding to the intensity of the beam, and is converted into a servo signal (focus error). Signal and tracking error signal) are output to the servo circuit. The photodiode 72 has a divided detector 73 (A to H). The return light of the main beam is a four-divided detector A located at the center of the detector 73.
To D, and the return light of the sub beam enters E to H located on both sides of the detector 73.

【0092】また、偏光ビームスプリッタ70で反射さ
れたレーザ光は、レンズ74を介してもう一方のフォト
ダイオード75に入射される。フォトダイオード75は
ディテクタ76(G)を有し、偏光ビームスプリッタ7
0において反射されたレーザ光が検出される。
The laser beam reflected by the polarization beam splitter 70 is incident on the other photodiode 75 via the lens 74. The photodiode 75 has a detector 76 (G), and the polarization beam splitter 7
The laser light reflected at 0 is detected.

【0093】ディテクタ73のA〜Hにより出力される
信号A〜Hが、図示しないが所定の回路系において、以
下のように加算減算処理されて所定の信号が出力され
る。この例においては、所定の間隔に配置して照射した
上記3本のレーザ光を利用した差動プッシュプル(DP
P:Differntial Push-Pull)方式によりトラッキングサ
ーボ信号を得た。即ち、 光学記録再生媒体の再生信号=(A+B+C+D) ピット再生信号(例えばEFM信号)=(A+B+C+
D) プッシュプル信号=(B+C)−(A+D) 差動プッシュプル(トラッキングサーボ)信号=(B+
C)−(A+D)−k(E−F)+(G−H) (kは所定の定数)とする。このような構成による光学
記録再生装置により、以下の実施例において、上述の本
発明構成による光学記録再生媒体の評価を行った。
The signals A to H output by the detectors A to H are subjected to addition and subtraction processing as described below in a predetermined circuit system (not shown) to output a predetermined signal. In this example, a differential push-pull (DP) using the above-mentioned three laser beams arranged and irradiated at a predetermined interval is used.
A tracking servo signal was obtained by the P: Differential Push-Pull method. That is, reproduction signal of optical recording / reproduction medium = (A + B + C + D) pit reproduction signal (for example, EFM signal) = (A + B + C +)
D) Push-pull signal = (B + C)-(A + D) Differential push-pull (tracking servo) signal = (B +
C)-(A + D) -k (EF) + (GH) (k is a predetermined constant). The optical recording / reproducing apparatus having such a configuration evaluated the above-described optical recording / reproducing medium according to the present invention in the following examples.

【0094】〔実施例〕以下の例においては、スペース
ポジション検出方式においてスペース長を1Tとした場
合とした例を示し、フォトレジストより成る感光層の厚
さを変えることにより、ピットの深さdを17、23、
34、47、55nmとして光学記録再生媒体A〜Eを
作製した。更に、各々の光学記録再生媒体のカッティン
グ露光パワー、即ち上述の図5において説明した変調光
学系OM1における露光パワーを変えることにより、ピ
ットの幅wを130、155、170、190nmとし
変化させた。トラックピッチpは、上述したように32
0nmとした。以下の表1に、各例におけるピット信号
量を示す。位相深さx(=λ/d・n)を求める場合に
用いた屈折率nは1.48(上記図3において示す保護
層9の材料の屈折率)、再生用入射光の波長λは上述の
通り406nmである。
[Embodiment] In the following example, the space position detection method is used in which the space length is 1T, and the pit depth d is changed by changing the thickness of the photosensitive layer made of photoresist. 17, 23,
Optical recording / reproducing media A to E having a thickness of 34, 47, and 55 nm were produced. Further, the pit width w was changed to 130, 155, 170, and 190 nm by changing the cutting exposure power of each optical recording / reproducing medium, that is, the exposure power in the modulation optical system OM1 described in FIG. The track pitch p is 32 as described above.
It was set to 0 nm. Table 1 below shows the pit signal amount in each example. The refractive index n used to obtain the phase depth x (= λ / d · n) is 1.48 (the refractive index of the material of the protective layer 9 shown in FIG. 3), and the wavelength λ of the reproducing incident light is as described above. As 406 nm.

【0095】[0095]

【表1】 [Table 1]

【0096】この表1から明らかなように、光学記録再
生媒体A、Eにおいては安定なトラッキングサーボを行
うことができなかった。しかしながら、光学記録再生媒
体B、C、Dの全面において、安定なトラッキングサー
ボを行うことができた。
As is apparent from Table 1, stable tracking servo could not be performed on the optical recording / reproducing media A and E. However, stable tracking servo could be performed on the entire surfaces of the optical recording / reproducing media B, C, and D.

【0097】更にこの2−7変調のスペースポジション
検出のピット信号を安定に再生できる領域は、光学記録
再生媒体B、C、Dのピットの幅が130nm以上17
0nm以下の範囲であった。ピットの幅が190nmの
領域は隣接トラックのクロストーク等の影響でスペース
ポジション検出によるピットの記録信号を安定に再生で
きなかった。即ちこの場合は、ピットの位相深さをλ/
11.93n以上λ/5.84n以下とし、ピットの幅
とトラックピッチとの比を、0.406以上0.594
以下とする場合に良好に信号の再生を行うことができる
ことがわかる。
Further, in the area where the pit signal for space position detection of 2-7 modulation can be stably reproduced, the pit width of the optical recording / reproducing media B, C and D is 130 nm or more.
It was in the range of 0 nm or less. In the region where the pit width is 190 nm, the recorded signal of the pit due to the space position detection cannot be stably reproduced due to the influence of crosstalk between adjacent tracks. That is, in this case, the pit phase depth is λ /
The ratio of the pit width to the track pitch is 0.406 or more and 0.594 or more.
It can be seen that the signal can be reproduced well in the following cases.

【0098】次に、スペースポジション検出方式におい
てスペース長を0.5T相当とした場合について、同様
にフォトレジストの深さを変えることによって、ピット
深さを17nm、20nm、23nm、34nm、47
nm、53nmの光学記録再生媒体F〜Kを製造した。
更に各光学記録再生媒体のカッティング露光パワー、即
ち上述の図5において説明した変調光学系OM1におけ
る露光パワーを変えることにより、ピットの幅wを13
0、155、170、190nmとし変化させた。トラ
ックピッチpは、上述したように320nmとした。以
下の表2に、各例におけるピット信号量を示す。位相深
さx(=λ/d・n)を求める場合に用いた屈折率nは
1.48(上記図3において示す保護層9の材料の屈折
率)、再生用入射光の波長λは上述の通り406nmで
ある。
Next, in the case where the space length is equivalent to 0.5T in the space position detection method, the pit depth is 17 nm, 20 nm, 23 nm, 34 nm, 47 by changing the photoresist depth in the same manner.
nm and 53 nm optical recording / reproducing media F to K were manufactured.
Further, by changing the cutting exposure power of each optical recording / reproducing medium, that is, the exposure power in the modulation optical system OM1 described with reference to FIG.
It was changed to 0, 155, 170 and 190 nm. The track pitch p is 320 nm as described above. Table 2 below shows the pit signal amount in each example. The refractive index n used to obtain the phase depth x (= λ / d · n) is 1.48 (the refractive index of the material of the protective layer 9 shown in FIG. 3), and the wavelength λ of the reproducing incident light is as described above. As 406 nm.

【0099】[0099]

【表2】 [Table 2]

【0100】上述の表2において、光学記録再生媒体F
は、安定なトラッキングサーボを得ることができなかっ
た。光学記録再生媒体G〜Kの全面において、安定なト
ラッキングサーボを得ることができた。更に、2−7変
調のスペースポジション検出を安定に再生できる領域
は、光学記録再生媒体G〜Kの、ピット幅が130nm
以上170nm以下であった。ピット幅が190nmの
領域は、隣接トラックのクロストーク等の影響で、スペ
ースポジション検出を安定に再生できなかった。即ち、
この場合においては、ピットの位相深さはλ/13.7
1n以上λ/5.18n以下とし、ピットの幅とトラッ
クピッチとの比を、0.406以上0.531以下とす
る場合に良好に再生信号を得ることができることがわか
る。
In Table 2 above, the optical recording / reproducing medium F is used.
Could not obtain a stable tracking servo. Stable tracking servo could be obtained over the entire surface of the optical recording / reproducing media G to K. Further, in the area where the 2-7 modulation space position detection can be stably reproduced, the pit width of the optical recording / reproducing media G to K is 130 nm.
It was 170 nm or less. In the region where the pit width is 190 nm, the space position detection cannot be stably reproduced due to the influence of crosstalk between adjacent tracks. That is,
In this case, the pit phase depth is λ / 13.7.
It can be seen that when 1n or more and λ / 5.18n or less and the ratio of the pit width to the track pitch is 0.406 or more and 0.531 or less, a good reproduction signal can be obtained.

【0101】前述したように、DVRのトラックピッチ
0.32μmは、カットオフ周波数のトラックピッチ
(0239μm)の4/3程度しかなく、従来必要とさ
れた3/2未満(0.32/0.239=1.339)
であり、充分なトラッキングサーボ信号振幅(プッシュ
プル信号振幅)が得られない。
As described above, the DVR track pitch of 0.32 μm is only about 4/3 of the cutoff frequency track pitch (0239 μm), which is less than 3/2 (0.32 / 0. 239 = 1.339)
Therefore, a sufficient tracking servo signal amplitude (push-pull signal amplitude) cannot be obtained.

【0102】しかしながら、上述したように、狭トラッ
クピッチとされても、スペースポジション検出によっ
て、スペース長を1T相当としてピットを記録した光学
記録再生媒体において、ピットの深さが23nm以上4
7nm以下、即ち位相深さxを、 λ/11.93n≦x≦λ/5.84n とし、且つピットの幅wとトラックピッチpの比を、 0.406≦w/p≦0.531 とする最適なピット形状とする場合に、良好なピット信
号の再生特性を実現できた。
However, as described above, even if the track pitch is narrow, the pit depth is 23 nm or more in an optical recording / reproducing medium in which pits are recorded with the space length corresponding to 1T by space position detection.
7 nm or less, that is, the phase depth x is λ / 11.93n ≦ x ≦ λ / 5.84n, and the ratio of the pit width w to the track pitch p is 0.406 ≦ w / p ≦ 0.531. Good reproduction characteristics of the pit signal could be realized when the optimum pit shape was adopted.

【0103】更に、1−7変調のスペースポジション検
出(ピットデューティ68.3%)、EFM変調のスペ
ースポジション検出(ピットデューティ78.8%)の
各方式によるピットを上述のピット形状において行い、
良好なピット信号の再生特性を実現できた。
Further, pits by the 1-7 modulation space position detection (pit duty 68.3%) and the EFM modulation space position detection (pit duty 78.8%) are performed in the above pit shape,
Good reproduction characteristics of the pit signal were realized.

【0104】更に、スペースポジション検出において、
スペース長を0.5T相当としてピットを記録した光学
記録再生媒体において、位相深さxを λ/13.71n≦x≦5.18n とし、ピットの幅wとトラックピッチpとの比を、 0.406≦w/p≦0.531 とすることによって、良好なピット信号の再生特性を実
現できた。
Furthermore, in space position detection,
In an optical recording / reproducing medium having pits recorded with a space length equivalent to 0.5T, the phase depth x is set to λ / 13.71n ≦ x ≦ 5.18n, and the ratio of the pit width w to the track pitch p is 0. By setting .406 ≦ w / p ≦ 0.531, good pit signal reproduction characteristics could be realized.

【0105】更にこの場合に、1−7変調のスペースポ
ジション検出(ピットデューティ84.2%)、EFM
変調のスペースポジション検出(ピットデューティ8
9.4%)の各方式によるピットを上述のピット形状に
おいて行い、良好なピット信号の再生特性を実現でき
た。
Further, in this case, space position detection of 1-7 modulation (pit duty 84.2%), EFM
Modulation space position detection (pit duty 8
The pits according to each method of 9.4%) were formed in the above-mentioned pit shape, and good reproduction characteristics of the pit signal could be realized.

【0106】つまり、スペースポジション検出方式にお
いて、スペース長を1T相当とする場合、即ちピットデ
ューティを68.3〜78.8%とする場合も、更にス
ペース長を0.5T相当として、ピットデューティを8
4.2〜89.4%とする場合においても、安定したト
ラッキングサーボ及びスペースポジション検出の再生が
可能となることがわかる。ピットデューティが78.8
%を越え84.2%未満の領域は、スペースポジション
検出方式においてスペース長を0.5T〜1T相当の適
切な値に選定することによって、同様に安定な再生信号
を得ることができる。
That is, in the space position detection method, even when the space length is set to 1T, that is, when the pit duty is set to 68.3 to 78.8%, the space length is set to 0.5T and the pit duty is set to 0.5T. 8
It can be seen that stable reproduction of tracking servo and space position detection is possible even when the ratio is 4.2 to 89.4%. Pit duty is 78.8
In the area of more than 8% and less than 84.2%, a similarly stable reproduction signal can be obtained by selecting a suitable space length value of 0.5T to 1T in the space position detection method.

【0107】更に、スペース長を1Tから0.5Tとし
たときに、良好なピット信号の再生を行い得るピットの
位相深さxの範囲が、上述したように、λ/11.93
n≦x≦λ/5.84nから、λ/13.71n≦x≦
5.18nとなり、最適な位相深さの範囲が広がってい
ることがわかる。つまり、スペース長を1T〜0.5T
の間に選定する場合は、安定な再生特性が得られる最適
なピット位相深さの範囲は、スペース長を小さくする程
徐々に広がるものと思われる。従って、スペース長を1
T〜0.5Tの範囲とするとき、ピットの位相深さをλ
/13.71n≦x≦λ/5.18nの範囲で適切に選
定することによって、安定な再生信号を得ることができ
ることがわかる。
Further, when the space length is changed from 1T to 0.5T, the range of the phase depth x of the pits which can reproduce a good pit signal is, as described above, λ / 11.93.
From n ≦ x ≦ λ / 5.84n, λ / 13.71n ≦ x ≦
Since it is 5.18n, it can be seen that the range of the optimum phase depth is widened. That is, the space length is 1T to 0.5T
It is considered that the optimum pit phase depth range for obtaining stable reproduction characteristics gradually widens as the space length is made smaller, when selected during. Therefore, the space length is 1
When the range is from T to 0.5T, the phase depth of the pit is λ
It is understood that a stable reproduction signal can be obtained by appropriately selecting in the range of /13.71n≦x≦λ/5.18n.

【0108】また、特願2001−199303号出願
に示すように、ウォブルグルーブのアドレス情報を安定
に再生できる領域、即ち光学記録再生媒体B、C、D、
G、H、Iのグルーブ幅が130nm以上190nm以
下のウォブルグルーブ部、この場合再生用光の入射側に
近い面に、1−7変調で記録再生を行い、ディスク全面
においてジッター10%以下の再生ができ、良好な記録
再生特性を実現できた。
Further, as shown in Japanese Patent Application No. 2001-199303, the area where the address information of the wobbled groove can be stably reproduced, that is, the optical recording / reproducing media B, C, D,
G / H / I groove width of 130 nm or more and 190 nm or less, recording / reproducing with 1-7 modulation on the surface near the incident side of the reproducing light in this case, reproducing with jitter of 10% or less on the entire surface of the disk It was possible to realize good recording and reproducing characteristics.

【0109】また、図2において説明した例において、
DVRのPIC(Permanent Information and Control
Data)領域、即ち一般にはTOCと同様に規定される領
域に、スペースポジション検出方式のピットを設ける構
成とすることもできる。また、狭トラックピッチのスペ
ースポジション検出のピットのみを形成する場合にも、
同様に良好な記録再生特性を得ることができた。
In the example described with reference to FIG.
DVR of PIC (P ermanent I nformation and C ontrol
It is also possible to provide the pits of the space position detection method in the (Data) area, that is, in the area generally defined like the TOC. Also, when forming only pits for narrow track pitch space position detection,
Similarly, good recording / reproducing characteristics could be obtained.

【0110】更に、ピットとグルーブが混在するフォー
マットに用いることもできる。尚、トラックピッチをカ
ットオフ周波数に対応するトラックピッチの3/2倍以
上とするときは、ピットのフォーマットが前述のエッジ
検出フォーマット等による場合においても充分なプッシ
ュプル信号が得られることから、本発明においては、カ
ットオフ周波数のトラックピッチの4/3以上3/2以
下のトラックピッチとするものである。
Further, it can be used for a format in which pits and grooves are mixed. When the track pitch is set to 3/2 times or more the track pitch corresponding to the cutoff frequency, a sufficient push-pull signal can be obtained even if the pit format is the edge detection format described above. In the present invention, the track pitch is 4/3 or more and 3/2 or less of the track pitch of the cutoff frequency.

【0111】上述したように、本発明においては、ラン
ドグルーブ記録方式を採る場合と同様に、トラック密度
を従来の2倍に高密度化をはかり、ピット信号の良好な
再生特性を実現できた。読み取り面に近い側にグルーブ
をピットと混在して形成し、フォーカス点を変えること
なく良好なピット信号の再生特性とグルーブの記録再生
特性を両立できる光学記録再生媒体を提供することがで
きる。
As described above, in the present invention, as in the case of adopting the land-groove recording system, the track density is doubled to the conventional one, and good reproduction characteristics of the pit signal can be realized. It is possible to provide an optical recording / reproducing medium in which grooves are formed in a mixed manner with pits on the side closer to the reading surface, and good reproduction characteristics of a pit signal and recording / reproduction characteristics of a groove can be compatible without changing a focus point.

【0112】以上本発明の実施の形態と実施例の各例を
説明したが、本発明は上述の実施例に限定されることな
く、相変化材料による記録層等の各層の材料構成を変更
するとか、またその他例えば記録層として光磁気記録
層、色素材料層を用いる場合や基板材料や構成等、本発
明構成を逸脱しない範囲で種々の変形変更が可能である
ことはいうまでもない。
Although the embodiments and examples of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-mentioned examples, and the material constitution of each layer such as a recording layer made of a phase change material is changed. Needless to say, various other modifications can be made within the scope of the present invention, such as the case where a magneto-optical recording layer or a dye material layer is used as the recording layer, the substrate material and the structure.

【0113】また、情報としては記録情報に限定される
ことなく、信号の記録再生や或いは情報及び信号の記録
再生両方の機能を有する光学記録再生媒体、光学記録再
生媒体製造用スタンパ及び光学記録再生装置にも適用す
ることができる。
Further, the information is not limited to the recorded information, and an optical recording / reproducing medium having a function of recording / reproducing a signal or both recording / reproducing of an information and a signal, a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium, and an optical recording / reproducing. It can also be applied to a device.

【0114】[0114]

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、ピッ
トをスペースポジション検出により記録することによっ
て、ピット部におけるトラッキングサーボ信号振幅(プ
ッシュプル信号振幅)の半減を回避することができ、D
VR−ROM等の、高記録密度化に伴い0.32μm程
度に狭トラックピッチ化された光学記録再生媒体におい
ても、充分なトラッキングサーボ信号振幅が得られ、良
好なピット情報の記録再生特性を保持することができ
る。
As described above, according to the present invention, by recording pits by space position detection, it is possible to avoid halving of the tracking servo signal amplitude (push-pull signal amplitude) in the pit portion.
Even in an optical recording / reproducing medium such as a VR-ROM which has a narrow track pitch of about 0.32 μm with the increase in recording density, a sufficient tracking servo signal amplitude can be obtained and good pit information recording / reproducing characteristics can be maintained. can do.

【0115】また、スペースポジション検出方式は、光
学記録再生媒体を製造する際に、感光層をパターン露光
する信号を制御するのみの簡単な方法で形成することが
できることから、その製造にあたって煩雑な作業を含む
ことなく、従来構成の光学記録装置によって良好な生産
性をもって製造することができる。
Further, since the space position detection system can be formed by a simple method of only controlling the signal for pattern exposure of the photosensitive layer when manufacturing the optical recording / reproducing medium, the manufacturing process is complicated. Can be manufactured with good productivity by using the optical recording device having the conventional structure.

【0116】更に本発明によれば、ピットとグルーブと
を混在させるフォーマットであり、且つピットとグルー
ブとが同一のトラックピッチで形成される光学記録再生
媒体またはこれを用いた光学記録再生装置を提供するこ
とができる。
Further, according to the present invention, there is provided an optical recording / reproducing medium having a format in which pits and grooves are mixed and in which pits and grooves are formed with the same track pitch, or an optical recording / reproducing apparatus using the same. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】ピットの記録方式の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a pit recording method.

【図2】光学記録再生媒体の一例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an example of an optical recording / reproducing medium.

【図3】光学記録再生媒体の一例の略線的拡大断面図で
ある。
FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of an example of an optical recording / reproducing medium.

【図4】Aは光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の
製造工程図である。Bは光学記録再生媒体製造用スタン
パの一例の製造工程図である。Cは光学記録再生媒体製
造用スタンパの一例の製造工程図である。
FIG. 4A is a manufacturing process diagram of an example of a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium. FIG. 3B is a manufacturing process diagram of an example of a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium. C is a manufacturing process diagram of an example of a stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium.

【図5】光学記録装置の一例の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of an example of an optical recording device.

【図6】光学記録再生装置の一例の構成図である。FIG. 6 is a block diagram of an example of an optical recording / reproducing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板、3 ピット、4 グルーブ、5 反射層、6
第1の誘電体層、7記録層、8 第2の誘電体層、9
保護層、10 光学記録再生媒体、11 原盤用基
板、12 感光層、13 ピットパターン、13n 反
転ピットパターン、14 グルーブパターン、14n
反転グルーブパターン、15 スタンパ、16 マザー
スタンパ、20 光源、21 電気光学変調器、22
検光子、24 フォトディテクタ、25、駆動用ドライ
バ、26 駆動用ドライバ、40移動光学テーブル、4
7 ウェッジプリズム、48 音響光学偏向器、49
ウェッジプリズム、50 駆動用ドライバ、51 電圧
制御発振器、52 対物レンズ、54 光ピックアップ
61 光源、62 コリメートレンズ、63 グレー
ティング、64 偏光ビームスプリッタ(PBS)、6
5 1/4波長板、66 光ピックアップ、67 磁気
ヘッド、68 回転手段、70 偏光ビームスプリッ
タ、71 組み合わせレンズ、72 フォトダイオー
ド、73 ディテクタ、74 レンズ、75 フォトダ
イオード、76 ディテクタ
1 substrate, 3 pits, 4 grooves, 5 reflective layers, 6
First dielectric layer, 7 recording layer, 8 second dielectric layer, 9
Protective layer, 10 optical recording / reproducing medium, 11 master substrate, 12 photosensitive layer, 13 pit pattern, 13n reverse pit pattern, 14 groove pattern, 14n
Inverted groove pattern, 15 stamper, 16 mother stamper, 20 light source, 21 electro-optic modulator, 22
Analyzer, 24 Photodetector, 25, Driving driver, 26 Driving driver, 40 Moving optical table, 4
7 Wedge prism, 48 Acousto-optic deflector, 49
Wedge prism, 50 driving driver, 51 voltage controlled oscillator, 52 objective lens, 54 optical pickup 61 light source, 62 collimating lens, 63 grating, 64 polarization beam splitter (PBS), 6
5 1/4 wavelength plate, 66 optical pickup, 67 magnetic head, 68 rotating means, 70 polarization beam splitter, 71 combination lens, 72 photodiode, 73 detector, 74 lens, 75 photodiode, 76 detector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/26 511 G11B 7/26 511 11/105 521 11/105 521F 521H 546 546D (72)発明者 秀田 育弘 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野境 30番地 ソニー宮城株式会社内 Fターム(参考) 5D029 WA02 WA26 WB11 WB17 WD01 WD10 5D075 AA03 CC21 EE03 FG18 GG06 GG14 5D090 AA01 BB05 BB07 BB10 CC14 FF15 GG02 GG03 5D121 CA03 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G11B 7/26 511 G11B 7/26 511 11/105 521 11/105 521F 521H 546 546D (72) Inventor Shu Ikuhiro Tanaka 30 Takara, Niida, Nakata-cho, Tome-gun, Miyagi Prefecture, Kaganosakai, Sony Miyagi Corporation F-term (reference) 5D029 WA02 WA26 WB11 WB17 WD01 WD10 5D075 AA03 CC21 EE03 FG18 GG06 GG02 GG02 GG14 BB14 BB07 BB07 BB07 BB07 BB14

Claims (27)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録情報に対応するピットが記録トラッ
クに沿って形成された光学記録再生媒体にあって、 上記ピットの記録フォーマットが、ピットポジション検
出フォーマットの凹凸を逆にしたフォーマットとされて
成り、 上記ピットのトラックピッチが、上記光学記録再生媒体
の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズ
の開口数NAに対応するカットオフ周波数のトラックピ
ッチの4/3以上3/2以下とされて成ることを特徴と
する光学記録再生媒体。
1. An optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, and the recording format of the pits is a format in which the irregularities of the pit position detection format are reversed. The track pitch of the pits is 4/3 or more and 3/2 or less of the track pitch of the cutoff frequency corresponding to the wavelength λ of the reproducing light for reproducing the record information of the optical recording / reproducing medium and the numerical aperture NA of the objective lens. An optical recording / reproducing medium characterized by comprising:
【請求項2】 上記光学記録再生媒体の記録情報を再生
する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再生
用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をnと
したときに、上記ピットの位相深さxが、 λ/13.71n≦x≦λ/5.18n とされ、また上記ピットの幅wと、上記ピットのトラッ
クピッチpとの比が、 0.406≦w/p≦0.531 とされて成ることを特徴とする請求項1に記載の光学記
録再生媒体。
2. When the wavelength of the reproducing light for reproducing the recorded information of the optical recording / reproducing medium is λ, and the refractive index of the medium from the incident side of the reproducing light of the optical recording / reproducing medium to the pit is n. And the phase depth x of the pits is λ / 13.71n ≦ x ≦ λ / 5.18n, and the ratio of the width w of the pits to the track pitch p of the pits is 0.406 ≦ The optical recording / reproducing medium according to claim 1, wherein w / p ≦ 0.531.
【請求項3】 上記ピットの変調方式が、1−7変調方
式、2−7変調方式又はEFM変調方式のうちのどれか
1つの方式とされて成ることを特徴とする請求項1又は
2に記載の光学記録再生媒体。
3. The pit modulation method is one of a 1-7 modulation method, a 2-7 modulation method and an EFM modulation method, and the pit modulation method is characterized in that: The optical recording / reproducing medium described.
【請求項4】 上記ピットの上記記録トラックの延長方
向に沿う方向の密度が、68.3%以上89.4%以下
とされて成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の
光学記録再生媒体。
4. The optical recording according to claim 1, wherein the density of the pits in the direction along the extension direction of the recording track is 68.3% or more and 89.4% or less. Reproduction medium.
【請求項5】 上記光学記録再生媒体が、成形された基
板上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成り、 上記基板にはグルーブが形成され、上記光学記録再生媒
体の記録情報を再生する再生用光の入射側に近い面が上
記グルーブのグルーブ面とされ、上記グルーブ面のみに
記録情報が記録されて成ることを特徴とする請求項1、
2、3又は4に記載の光学記録再生媒体。
5. The optical recording / reproducing medium is formed by forming at least a recording layer and a protective layer on a molded substrate, and a groove is formed on the substrate to reproduce recorded information of the optical recording / reproducing medium. 2. The surface near the incident side of the reproducing light is the groove surface of the groove, and the recording information is recorded only on the groove surface.
2. The optical recording / reproducing medium according to 2, 3 or 4.
【請求項6】 上記グルーブがウォブルグルーブとされ
て成ることを特徴とする請求項5に記載の光学記録再生
媒体。
6. The optical recording / reproducing medium according to claim 5, wherein the groove is a wobbled groove.
【請求項7】 上記グルーブのトラックピッチが上記ピ
ットのトラックピッチと同一とされて成ることを特徴と
する請求項5又は6に記載の光学記録再生媒体。
7. The optical recording / reproducing medium according to claim 5, wherein the track pitch of the groove is the same as the track pitch of the pit.
【請求項8】 上記ピット及び上記グルーブが形成され
る記録トラックが、スパイラル状の軌跡を描いて形成さ
れて成ることを特徴とする請求項5、6又は7に記載の
光学記録再生媒体。
8. The optical recording / reproducing medium according to claim 5, 6 or 7, wherein a recording track on which the pit and the groove are formed is formed so as to draw a spiral trajectory.
【請求項9】 上記ピットと上記グルーブが混在して形
成されて成ることを特徴とする請求項5、6、7又は8
に記載の光学記録再生媒体。
9. The pit and the groove are formed in a mixed manner, and the pit and the groove are formed in a mixed manner.
The optical recording / reproducing medium according to.
【請求項10】 記録情報に対応するピットが記録トラ
ックに沿って形成された光学記録再生媒体を製造するた
めの光学記録再生媒体製造用スタンパにあって、 上記ピットに対応するピットパターンの記録フォーマッ
トが、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆に
したフォーマットとされて成り、 上記ピットパターンのトラックピッチが、上記光学記録
再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対
物レンズの開口数NAに対応するカットオフ周波数のト
ラックピッチの4/3以上3/2以下とされて成ること
を特徴とする光学記録再生媒体製造用スタンパ。
10. A stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium for manufacturing an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, and a recording format of a pit pattern corresponding to the pits. Is a format in which the irregularities of the pit position detection format are reversed, and the track pitch of the pit pattern is the wavelength λ of the reproducing light for reproducing the recorded information of the optical recording / reproducing medium and the numerical aperture NA of the objective lens. A stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium, which has a cut-off frequency of 4/3 or more and 3/2 or less of a track pitch.
【請求項11】 上記光学記録再生媒体の記録情報を再
生する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再
生用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をn
としたときに、上記ピットパターンの位相深さx’が、 λ/13.71n≦x’≦λ/5.18n とされ、また上記ピットパターンの幅w’と、上記ピッ
トパターンのトラックピッチp’との比が、 0.406≦w’/p’≦0.531 とされて成ることを特徴とする請求項10に記載の光学
記録再生媒体製造用スタンパ。
11. The wavelength of the reproducing light for reproducing the recorded information of the optical recording / reproducing medium is λ, and the refractive index of the medium from the incident side of the reproducing light of the optical recording / reproducing medium to the pit is n.
Then, the phase depth x ′ of the pit pattern is set to λ / 13.71n ≦ x ′ ≦ λ / 5.18n, and the width w ′ of the pit pattern and the track pitch p of the pit pattern are set. The stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to claim 10, wherein the ratio with respect to 'is 0.406≤w' / p'≤0.531.
【請求項12】 上記ピットの変調方式が、1−7変調
方式、2−7変調方式又はEFM変調方式のうちのどれ
か1つの方式とされて成ることを特徴とする請求項10
又は11に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
12. The pit modulation method is one of a 1-7 modulation method, a 2-7 modulation method, and an EFM modulation method.
Or a stamper for producing an optical recording / reproducing medium according to item 11.
【請求項13】 上記ピットパターンの上記記録トラッ
クの延長方向に沿う方向の密度が、68.3%以上8
9.4%以下とされて成ることを特徴とする上記請求項
10又は11に記載の光学記録再生媒体製造用スタン
パ。
13. The density of the pit pattern in a direction along the extension direction of the recording track is 68.3% or more 8
12. The stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to claim 10, wherein the stamper is 9.4% or less.
【請求項14】 上記スタンパにグルーブパターンが形
成されて成ることを特徴とする請求項10、11、12
又は13に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
14. The stamper according to claim 10, wherein a groove pattern is formed on the stamper.
Or a stamper for producing an optical recording / reproducing medium according to item 13.
【請求項15】 上記グルーブパターンがウォブルグル
ーブパターンとされて成ることを特徴とする請求項14
に記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
15. The groove pattern is formed as a wobbled groove pattern.
A stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to item 1.
【請求項16】 上記グルーブパターンのトラックピッ
チが上記ピットパターンのトラックピッチと同一とされ
て成ることを特徴とする請求項14又は15に記載の光
学記録再生媒体製造用スタンパ。
16. The stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to claim 14, wherein the track pitch of the groove pattern is the same as the track pitch of the pit pattern.
【請求項17】 上記ピットパターン及び上記グルーブ
パターンが、スパイラル状の軌跡を描いて形成されて成
ることを特徴とする請求項14、15又は16に記載の
光学記録再生媒体製造用スタンパ。
17. The stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to claim 14, wherein the pit pattern and the groove pattern are formed in a spiral locus.
【請求項18】 上記ピットパターンと上記グルーブパ
ターンが混在して形成されて成ることを特徴とする請求
項14、15、16又は17に記載の光学記録再生媒体
製造用スタンパ。
18. The stamper for manufacturing an optical recording / reproducing medium according to claim 14, 15, 16 or 17, wherein the pit pattern and the groove pattern are formed in a mixed manner.
【請求項19】 記録情報に対応するピットが記録トラ
ックに沿って形成された光学記録再生媒体を用いる光学
記録再生装置にあって、 上記光学記録再生媒体の上記ピットの記録フォーマット
が、ピットポジション検出フォーマットの凹凸を逆にし
たフォーマットとされて成り、 上記光学記録再生媒体の上記ピットのトラックピッチ
が、上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用
光の波長λ及び対物レンズの開口数NAに対応するカッ
トオフ周波数のトラックピッチの4/3以上3/2以下
とされて成ることを特徴とする光学記録再生装置。
19. An optical recording / reproducing apparatus using an optical recording / reproducing medium in which pits corresponding to recording information are formed along recording tracks, wherein a recording format of the pits of the optical recording / reproducing medium is pit position detection. The pits of the optical recording / reproducing medium have a track pitch of λ and the numerical aperture NA of the objective lens for reproducing the information recorded on the optical recording / reproducing medium. An optical recording / reproducing apparatus having a cut-off frequency of 4/3 or more and 3/2 or less of the track pitch.
【請求項20】 上記光学記録再生媒体の記録情報を再
生する再生用光の波長をλ、上記光学記録再生媒体の再
生用光の入射側から上記ピットに至る媒質の屈折率をn
としたときに、上記ピットの位相深さxが、 λ/13.71n≦x≦λ/5.18n とされ、また上記ピットの幅wと、上記ピットのトラッ
クピッチpとの比が、 0.406≦w/p≦0.531 とされて成ることを特徴とする請求項19に記載の光学
記録再生装置。
20. The wavelength of the reproducing light for reproducing the recorded information of the optical recording / reproducing medium is λ, and the refractive index of the medium from the incident side of the reproducing light of the optical recording / reproducing medium to the pit is n.
Then, the phase depth x of the pit is λ / 13.71n ≦ x ≦ λ / 5.18n, and the ratio of the width w of the pit to the track pitch p of the pit is 0. 20. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 19, wherein .406 ≦ w / p ≦ 0.531.
【請求項21】 上記光学記録再生媒体の上記ピットの
変調方式が、1−7変調方式、2−7変調方式又はEF
M変調方式のうちのどれか1つの方式とされて成ること
を特徴とする請求項19又は20に記載の光学記録再生
装置。
21. The modulation system of the pits of the optical recording / reproducing medium is 1-7 modulation system, 2-7 modulation system or EF.
21. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 19, wherein the optical recording / reproducing apparatus is one of the M modulation methods.
【請求項22】 上記光学記録再生媒体の上記ピットの
上記記録トラックの延長方向に沿う方向の密度が、6
8.3%以上89.4%以下とされて成ることを特徴と
する請求項19又は20に記載の光学記録再生装置。
22. The density of the pits of the optical recording / reproducing medium in the direction along the extension direction of the recording track is 6
21. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 19, wherein the content is set to 8.3% or more and 89.4% or less.
【請求項23】 上記光学記録再生媒体が、成形された
基板上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成
り、 上記基板にはグルーブが形成され、上記光学記録再生媒
体の記録情報を再生する再生用光の入射側に近い面が上
記グルーブのグルーブ面とされ、上記グルーブ面のみに
記録情報が記録されて成ることを特徴とする請求項1
9、20、21又は22に記載の光学記録再生装置。
23. The optical recording / reproducing medium is formed by forming at least a recording layer and a protective layer on a molded substrate, and a groove is formed on the substrate to reproduce recorded information of the optical recording / reproducing medium. The surface near the incident side of the reproducing light is the groove surface of the groove, and the recording information is recorded only on the groove surface.
The optical recording / reproducing apparatus according to 9, 20, 21 or 22.
【請求項24】 上記光学記録再生媒体の上記グルーブ
がウォブルグルーブとされて成ることを特徴とする請求
項23に記載の光学記録再生装置。
24. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 23, wherein the groove of the optical recording / reproducing medium is a wobbled groove.
【請求項25】 上記光学記録再生媒体の上記グルーブ
のトラックピッチが上記ピットのトラックピッチと同一
とされて成ることを特徴とする請求項23又は24に記
載の光学記録再生装置。
25. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 23, wherein a track pitch of the groove of the optical recording / reproducing medium is the same as a track pitch of the pit.
【請求項26】 上記光学記録再生媒体の上記ピット及
び上記グルーブが形成される記録トラックが、スパイラ
ル状の軌跡を描いて形成されて成ることを特徴とする請
求項23、24又は25に記載の光学記録再生装置。
26. The recording track in which the pits and the grooves of the optical recording / reproducing medium are formed is formed so as to draw a spiral track. Optical recording / reproducing device.
【請求項27】 上記光学記録再生媒体の上記ピットと
上記グルーブが混在して形成されて成ることを特徴とす
る請求項23、24、25又は26に記載の光学記録再
生装置。
27. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 23, 24, 25 or 26, wherein the pits and the grooves of the optical recording / reproducing medium are formed in a mixed manner.
JP2002119740A 2001-11-12 2002-04-22 Optical recording/reproducing medium, stamper for producing optical recording/reproducing medium and optical recording /reproducing device Pending JP2003208719A (en)

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