JP2003207504A - Chip and filter for cytapheresis - Google Patents

Chip and filter for cytapheresis

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JP2003207504A
JP2003207504A JP2002006085A JP2002006085A JP2003207504A JP 2003207504 A JP2003207504 A JP 2003207504A JP 2002006085 A JP2002006085 A JP 2002006085A JP 2002006085 A JP2002006085 A JP 2002006085A JP 2003207504 A JP2003207504 A JP 2003207504A
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JP
Japan
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filter
blood cell
blood
silicon
mesh
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Application number
JP2002006085A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Kitamura
健 北村
Yasuhisa Fujii
泰久 藤井
Toshimitsu Fujiwara
利光 藤原
Shigeo Yamashita
重夫 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To separate constituents of blood from a small amount of blood without clotting or activating the same. <P>SOLUTION: This chip for cytapheresis 10 comprises a first filter base 12 including a mesh filter part 16 of silicon having through micropores arranged like a mesh, and a second filter base 20 including a microporous filter part 21 having through micropores 20b. The first filter base 12 and the second filter base 20 are laminated to be communicated from the mesh filter part 16 to the microporous filter part 12. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、血球分離用チップ
及びフィルターに関し、詳しくは、全血から血球成分を
分離し、血漿又は血清試料を採取するのに好適な血球分
離用チップ及びフィルターに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a blood cell separation chip and filter, and more particularly to a blood cell separation chip and filter suitable for separating blood cell components from whole blood and collecting plasma or serum samples.

【0002】[0002]

【従来の技術】血液を用いた臨床検査や構成成分の培養
などの分野においては、通常、全血から不必要あるいは
妨害物質となる血球成分などを遠心分離して得られる血
漿又は血清を、検体として用いることが多い。ところ
が、遠心分離は大型の遠心分離機が必要となる上に、多
量の血液が必要となる。近年、慢性疾患や免疫検査の検
査などにおいては、患者の負担(苦痛)を軽減させるた
めに、少量の血液で検査する手法の開発が望まれてい
る。
2. Description of the Related Art In the fields such as clinical tests using blood and culturing of constituents, plasma or serum obtained by centrifuging unnecessary blood cells, which are unnecessary or interfering substances, from whole blood is usually used as a specimen. Often used as. However, centrifugation requires a large-sized centrifuge and a large amount of blood. In recent years, it has been desired to develop a method for testing with a small amount of blood in order to reduce the burden (pain) on the patient in tests such as chronic diseases and immunological tests.

【0003】そこで、ガラス繊維フィルター等を用いて
濾過により血球を分離する手法が検討されている。例え
ば、ガラス繊維フィルターに全血を滴下し、滴下面の反
対側に染み出してきた血漿成分をパッドに回収して、こ
のパッド内で試薬と反応させ検査を行う、いわゆるイム
ノクロマトという手法が開示されている。
Therefore, a method of separating blood cells by filtration using a glass fiber filter or the like has been studied. For example, a technique called so-called immunochromatography is disclosed, in which whole blood is dropped on a glass fiber filter, plasma components that have exuded on the opposite side of the dropping surface are collected in a pad, and a test is performed by reacting with a reagent in the pad. ing.

【0004】しかし、この手法では、パッド内で完結す
る検査は問題がないが、液体状の血漿あるいは血清を用
いて行う必要がある検査、例えば、血液凝固試験などに
おいては適用できない。また、定量化が必要な検査には
対応しにくい。
However, this method does not pose a problem for a test completed within the pad, but cannot be applied to a test that needs to be performed using liquid plasma or serum, such as a blood coagulation test. In addition, it is difficult to support inspections that require quantification.

【0005】この問題を解決し、自動分析装置等で検査
が可能な、約100〜800μl(マイクロリットル)
の液体状の血漿あるいは血清を採取する血液濾過ユニッ
トが一部実用化されており、特願平9−196911号
公報、特開平10−227788号公報などに開示され
ている。この手法は、同じくガラス繊維フィルターと微
多孔性膜とを組み合わせてホルダーにセットし、全血を
滴下後、反対側から吸引を行い、液体状の血漿あるいは
血清を採取するものである。
Approximately 100 to 800 μl (microliter) which solves this problem and can be inspected by an automatic analyzer or the like
The blood filtration unit for collecting the liquid plasma or serum is partially put into practical use, and is disclosed in Japanese Patent Application No. 9-196911, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-227788 and the like. In this method, similarly, a glass fiber filter and a microporous membrane are combined and set in a holder, whole blood is dropped, and then suctioned from the opposite side to collect liquid plasma or serum.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平10−
227788号公報などに開示されている血液濾過ユニ
ットは、ガラス繊維フィルターを用いているため、血液
がガラスに接触することによって凝固活性されてしま
い、PT、APTTといった凝固検査においては、正確
な検査を行うことができない。また、フィルターとフィ
ルター受けの隙間から血球成分が回りこんでしまうとい
う問題もある。
However, JP-A-10-
Since the blood filtration unit disclosed in JP-A-227788 and the like uses a glass fiber filter, blood is activated by coagulation when it comes into contact with glass, and accurate tests are required for coagulation tests such as PT and APTT. I can't do it. In addition, there is also a problem that blood cell components flow into the gap between the filter and the filter receiver.

【0007】したがって、本発明が解決しようとする技
術的課題の一つは、少量の血液から、凝固活性すること
なく血球成分を分離することである。
Therefore, one of the technical problems to be solved by the present invention is to separate blood cell components from a small amount of blood without coagulation activity.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記技術的課
題を解決するために、以下の構成の血球分離用チップを
提供する。
In order to solve the above technical problems, the present invention provides a blood cell separation chip having the following constitution.

【0009】血球分離用チップは、血球成分を分離する
タイプのものである。血球分離用チップは、第1及び第
2のフィルター基板を備える。上記第1のフィルター基
板は、貫通する微細孔が網目状に形成されたシリコンの
網目フィルター部を含む。上記第2のフィルター基板
は、貫通する微小孔が形成されたシリコンの微小孔フィ
ルター部を含む。上記第1及び第2のフィルター基板
は、上記網目フィルター部から上記微小孔フィルター部
に連通するように積層される。
The blood cell separation chip is of a type for separating blood cell components. The blood cell separation chip includes first and second filter substrates. The first filter substrate includes a silicon mesh filter portion having penetrating fine holes formed in a mesh shape. The second filter substrate includes a silicon micropore filter portion having micropores penetrating therethrough. The first and second filter substrates are stacked so as to communicate with the mesh filter section and the micropore filter section.

【0010】上記構成において、シリコンは、例えば陽
極化成により、貫通する微細孔を網目状に形成したり、
貫通する微小孔を形成することができる。つまり、シリ
コンの網目フィルター部や微小孔フィルター部を形成す
ることができる。
In the above-mentioned structure, silicon is formed into a fine mesh of through holes by, for example, anodization, or
It is possible to form minute holes penetrating therethrough. That is, it is possible to form the mesh filter portion and the micropore filter portion of silicon.

【0011】上記構成によれば、少量の血液は、まず、
網目フィルター部に導入される。血球成分は網目フィル
ター部の微細孔を進む速度が相対的に遅く、他の成分は
相対的に速いので、網目フィルタ部からは、大部分の血
球成分が分離された血液成分が流出する。網目フィルタ
部を通過した血液成分は、次に、微小孔フィルター部に
導入される。微小孔フィルター部の微小孔は、血球成分
が微小孔を通過できない大きさに形成しておくことによ
り、網目フィルタ部を通過した血液成分中に含まれてい
た血球成分も微小孔フィルター部で分離され、微小孔フ
ィルター部を通過した血液成分が血球成分を含まないよ
うにすることができる。
According to the above construction, the small amount of blood is
It is introduced into the mesh filter section. The blood cell component has a relatively low speed of advancing through the fine pores of the mesh filter portion, and the other components are relatively fast, so that the blood component in which most of the blood cell component is separated flows out from the mesh filter portion. The blood component that has passed through the mesh filter section is then introduced into the micropore filter section. The micropores in the micropore filter section are formed to a size that prevents blood cell components from passing through the micropores, so that the blood cell components contained in the blood components that have passed through the mesh filter section are also separated by the micropore filter section. Thus, the blood component that has passed through the micropore filter portion can be prevented from containing a blood cell component.

【0012】上記構成によれば、血液が触れる網目フィ
ルター部と微細孔フィルター部とは、血液に対して凝固
不活性のシリコンであるので、血液成分は凝固活性され
ない。
According to the above construction, the mesh filter portion and the micropore filter portion which are in contact with blood are made of silicon which is inactive to blood, so that blood components are not activated to coagulate.

【0013】したがって、少量の血液から、凝固活性す
ることなく血球成分を分離することができる。
Therefore, the blood cell component can be separated from a small amount of blood without coagulation activity.

【0014】上記構成において、第1及び第2のフィル
ター基板は、網目フィルター部及び微小孔フィルター部
のみをシリコンで形成し、他の部分をシリコン以外で形
成してもよい。
In the above structure, in the first and second filter substrates, only the mesh filter portion and the micropore filter portion may be formed of silicon, and the other portions may be formed of other than silicon.

【0015】好ましくは、網目フィルター部及び微小孔
フィルター部の周囲もシリコンで形成する。これによ
り、網目フィルター部や微小孔フィルター部の周囲に隙
間が生じないようにして、血球成分の回り込みやすり抜
けをなくし、血球分離効率を向上することができる。
Preferably, the periphery of the mesh filter portion and the micropore filter portion is also made of silicon. As a result, it is possible to prevent gaps from being formed around the mesh filter portion and the micropore filter portion, prevent the blood cell component from wrapping around and slip through, and improve the blood cell separation efficiency.

【0016】より好ましくは、第1及び第2のフィルタ
ー基板全体をシリコンで形成する。これにより、網目フ
ィルター部や微小孔フィルター部を、第1及び第2のフ
ィルター基板の一部に、容易に形成することができる。
また、フィルター基板を積層することが容易であり、厚
みが小さい血球分離用チップを形成することが可能であ
る。また、網目フィルター部や微小孔フィルター部以外
の血液が触れる部分(例えば、流路)もシリコンで構成
し、血液の凝固活性を防止することができる。
More preferably, the entire first and second filter substrates are made of silicon. Thereby, the mesh filter portion and the micropore filter portion can be easily formed on a part of the first and second filter substrates.
In addition, it is easy to stack filter substrates, and it is possible to form a blood cell separation chip having a small thickness. In addition, a portion (for example, a flow path) other than the mesh filter portion and the micropore filter portion that comes into contact with blood can be made of silicon to prevent blood coagulation activity.

【0017】好ましくは、上記網目フィルター部に形成
された上記微細孔の孔径が5μm〜50μmであり、か
つ、上記微小孔フィルター部に形成された上記微細孔の
孔径が0.5μm〜5μmである。
Preferably, the fine pores formed in the mesh filter section have a pore diameter of 5 μm to 50 μm, and the fine pores formed in the fine pore filter section have a pore diameter of 0.5 μm to 5 μm. .

【0018】すなわち、網目フィルター部の微細孔は、
速度差により血球成分を分離するためには、大略血球成
分の外形より大きくすること(5μm〜)が必要であ
る。一方、血球以外の血漿などの成分がすばやく流出
し、血球成分である赤血球、白血球、血小板などの流路
抵抗が大きくなり、確率的に網目構造体中に保持されて
いる時間が長くなり、流出が遅くなるようにするために
は、網目フィルター部の微細孔は大き過ぎないこと(〜
50μm)が必要である。
That is, the fine pores of the mesh filter are
In order to separate blood cell components due to the difference in speed, it is necessary to make them larger than the outer shape of blood cell components (5 μm or more). On the other hand, components other than blood cells such as plasma rapidly flow out, the flow path resistance of blood cell components such as red blood cells, white blood cells, and platelets increases, and the time retained in the network structure probabilistically becomes longer and flows out. In order to slow down the mesh size, the fine pores in the mesh filter should not be too large (~
50 μm) is required.

【0019】一方、微小孔フィルター部では、分離する
血球成分の大きさに応じて選択すればよいが、血球成分
を漏れなく分離できるようにするには、微小孔の孔径は
赤血球の外形より小さいこと(〜5μm)が必要であ
る。逆に、あまりに小さいと、微小孔の加工が困難であ
り、また、流路抵抗が増大し、血球以外の血液成分の流
出速度が遅くなり、血球分離効率が低下するので、ある
程度の大きさ(0.5μm〜)は必要である。
On the other hand, in the micropore filter portion, it may be selected according to the size of the blood cell component to be separated, but in order to be able to separate the blood cell component without leakage, the pore diameter of the micropore is smaller than the outer shape of red blood cells. (~ 5 μm) is required. On the other hand, if the size is too small, it is difficult to process the micropores, the flow path resistance increases, the outflow rate of blood components other than blood cells slows down, and the blood cell separation efficiency decreases. 0.5 μm-) is necessary.

【0020】ところで、陽極化成によりシリコンを多孔
質化すれば、微細孔を形成することができる。陽極化成
によれば、微細孔の大きさや密度などを自由に制御でき
るので、網目フィルター部の形成に好適である。多孔質
シリコンを陽極化成で形成する場合、p型シリコンの方
が、n型シリコンに比べ、効率よくかつ簡単に、網目状
に微細孔を形成することができる。
By the way, if silicon is made porous by anodization, fine pores can be formed. According to the anodization, the size and density of the fine pores can be freely controlled, which is suitable for forming the mesh filter portion. When porous silicon is formed by anodization, p-type silicon can form mesh-like fine holes more efficiently and easily than n-type silicon.

【0021】好ましくは、上記第1のフィルター基板の
上記網目フィルター部は、p型シリコンである。
[0021] Preferably, the mesh filter portion of the first filter substrate is p-type silicon.

【0022】上記構成によれば、p型シリコンを陽極化
成により多孔質化することで、第1のフィルター基板の
網目フィルター部を効率よく形成することができる。
According to the above structure, the mesh filter portion of the first filter substrate can be efficiently formed by making p-type silicon porous by anodizing.

【0023】好ましくは、上記第2のフィルター基板の
上記微小孔フィルター部は、n型シリコンである。
Preferably, the micropore filter portion of the second filter substrate is n-type silicon.

【0024】上記構成において、n型のシリコンは、取
り扱いの容易さのためにある程度の厚みがあっても、陽
極化成により細長い微小孔を形成することができる。
In the above structure, the n-type silicon can form elongated fine pores by anodization even if it has a certain thickness for easy handling.

【0025】また、本発明は、以下の構成の血球分離用
フィルターを提供する。
The present invention also provides a blood cell separating filter having the following constitution.

【0026】血球分離用フィルターは、血球成分を分離
するためのフィルターである。血球分離用フィルター
は、貫通する微細孔が網目状に形成されたシリコンから
なるフィルター部材を備える。
The blood cell separation filter is a filter for separating blood cell components. The blood cell separation filter includes a filter member made of silicon in which fine holes penetrating are formed in a mesh shape.

【0027】上記構成において、シリコンは、例えば陽
極化成により多孔質化することにより、貫通する微細孔
を網目状に形成することができる。フィルター部材に形
成された微細孔の孔径が血球成分のサイズより大きい場
合、微細孔を通過する際の血球成分と他の成分との速度
差により、血球成分を分離することができる。フィルタ
ー部材に形成された微細孔の孔径が血球成分のサイズよ
り小さく、血球成分が微細孔を通過できない場合、他の
成分のみが微細孔を通過するようにして、血球成分を分
離することができる。
In the above structure, the silicon can be made porous by, for example, anodization to form fine pores penetrating therethrough in a mesh form. When the pore size of the micropores formed in the filter member is larger than the size of the blood cell component, the blood cell component can be separated due to the difference in speed between the blood cell component and the other component when passing through the micropore. When the pore size of the micropores formed in the filter member is smaller than the size of the blood cell component and the blood cell component cannot pass through the micropore, only other components can pass through the micropore to separate the blood cell component. .

【0028】上記構成において、血液成分に触れるフィ
ルター部材が、血液に対して凝固不活性のシリコンであ
るので、血液成分は凝固活性されない。
In the above structure, since the filter member that comes into contact with the blood component is silicon that is coagulation-inactive with respect to blood, the blood component is not coagulation-activated.

【0029】したがって、少量の血液から、凝固活性す
ることなく血球成分を分離することができる。
Therefore, blood cell components can be separated from a small amount of blood without coagulation activity.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施形態に係る
血球分離用チップについて、図1〜図10を参照しなが
ら説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a blood cell separation chip according to each embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0031】まず、第1実施形態に係る血球分離用チッ
プ30について、図1〜図9に基づいて説明する。
First, the blood cell separation chip 30 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.

【0032】図8に示したように、血球分離用チップ1
0は、第1のフィルター基板12と、第2のフィルター
基板20と、チップ基板30と、ガラス板38とが、順
に積層され、一体化されている。
As shown in FIG. 8, a blood cell separation chip 1
In No. 0, the first filter substrate 12, the second filter substrate 20, the chip substrate 30, and the glass plate 38 are sequentially laminated and integrated.

【0033】第1のフィルター基板12は、網目フィル
ター部16を有する。網目フィルター部16は、例えば
陽極化成により多孔質化されたシリコンを用いることが
できる。
The first filter substrate 12 has a mesh filter portion 16. For the mesh filter portion 16, for example, silicon made porous by anodization can be used.

【0034】すなわち、図1に示すように、n型のシリ
コンの一部にp拡散領域14を設けた基板12を用意
する。p拡散領域14は、例えばイオン注入法によ
り、フォトレジストをマスクにして、網目フィルター部
16に対応する位置に不純物を選択的に添加することに
より形成する。
That is, as shown in FIG. 1, a substrate 12 having ap + diffusion region 14 in a part of n-type silicon is prepared. The p + diffusion region 14 is formed by, for example, an ion implantation method by using a photoresist as a mask and selectively adding an impurity to a position corresponding to the mesh filter portion 16.

【0035】陽極化成は、例えば図2及び図3に示すよ
うに、陽極化成用治具1を用いて行う。具体的には、一
対のテフロン(登録商標)製のホルダー2,4の間にO
リング6を介して基板12を挟持し、ボルト8で固定す
る。そして、ホルダー2,4内の空間にフッ酸の溶液9
a,9bを満たし、基板12の両側に配置された電極
3,5間に電流を流す。これによって、基板12のう
ち、p拡散領域14が選択的に多孔質化され、図4の
概念図に示すように、表裏面間を貫通する多数の微細孔
18が網目状に形成される。微細孔18の孔径は、化成
電流と化成時間を変えることで、制御することができ
る。p型シリコンは、n型シリコンに比べ、非常に効率
よく多孔質化することができるので、p拡散領域14
を効率よく多孔質化することができる。
The anodization is performed by using an anodizing jig 1 as shown in FIGS. 2 and 3, for example. Specifically, the O between the pair of holders 2 and 4 made of Teflon (registered trademark)
The substrate 12 is sandwiched via the ring 6 and fixed with bolts 8. Then, a solution of hydrofluoric acid 9 is placed in the spaces inside the holders 2 and 4.
An electric current is caused to flow between the electrodes 3 and 5 which are arranged on both sides of the substrate 12 by filling the a and 9b. As a result, the p + diffusion region 14 of the substrate 12 is selectively made porous, and as shown in the conceptual diagram of FIG. 4, a large number of fine holes 18 penetrating between the front and back surfaces are formed in a mesh shape. . The hole diameter of the fine holes 18 can be controlled by changing the formation current and the formation time. Since p-type silicon can be made porous more efficiently than n-type silicon, p + diffusion region 14
Can be efficiently made porous.

【0036】第2のフィルター基板20は、図8に示す
ように、微小孔フィルター部21を有する。微小孔フィ
ルター部21は、断面V字状の導入部20aと、導入部
20aの頂点から下方に延在する直線状の微小孔20b
とからなる。第2のフィルター基板20には、例えば図
5に示す工程で、微小孔フィルター部21を形成するこ
とができる。
As shown in FIG. 8, the second filter substrate 20 has a micropore filter portion 21. The micropore filter portion 21 includes an introduction portion 20a having a V-shaped cross section and a linear micropore 20b extending downward from the apex of the introduction portion 20a.
Consists of. The micropore filter portion 21 can be formed on the second filter substrate 20 in the process shown in FIG. 5, for example.

【0037】すなわち、図5(a)に示すように、シリ
コン酸化膜22が表面に形成された(100)面のn型
シリコン20を用意する。そして、フォトリソグラフィ
ー技術を用いてフォトレジストをマスクにして、図5
(b)において符号22aで示すように、シリコン酸化
膜22を部分的に除去する。次に、シリコン酸化膜22
をマスクにして、KOHでシリコン20の異方性エッチ
ングを行う。シリコン20の(100)面を、異方性エ
ッチングを用いて加工した場合、図5(c)において符
号20aで示す部分が除去され、(100)面に54.
7°の角度で交差する4つの(111)面によって、エ
ッチング溝の側壁が形成される。
That is, as shown in FIG. 5A, a (100) plane n-type silicon 20 having a silicon oxide film 22 formed on its surface is prepared. Then, the photoresist is used as a mask by using the photolithography technique, and FIG.
The silicon oxide film 22 is partially removed as indicated by reference numeral 22a in FIG. Next, the silicon oxide film 22
Is used as a mask to anisotropically etch the silicon 20 with KOH. When the (100) plane of the silicon 20 is processed by anisotropic etching, the portion indicated by reference numeral 20a in FIG.
The sidewalls of the etching groove are formed by four (111) planes intersecting at an angle of 7 °.

【0038】このような形状を形成したシリコン20
を、先程と同様に、図2及び図3に示した陽極化成用治
具1を用いて陽極化成を行う。これにより、シリコン2
0の異方性エッチングで形成した窪み部分20aの頂点
の部分に電界が集中し、図5(d)において符号20b
で示すように、エッチングが直線状に進む。これを進め
ると、図5(e)のように、微小孔20bが貫通する。
この際も、化成電流と化成時間を変えることで、微小孔
20bの孔径を制御することができる。
Silicon 20 having such a shape
In the same manner as described above, anodization is performed using the anodizing jig 1 shown in FIGS. 2 and 3. This allows silicon 2
The electric field is concentrated at the apex of the recessed portion 20a formed by the anisotropic etching of 0, and the reference numeral 20b in FIG.
As shown by, the etching proceeds linearly. When this is advanced, as shown in FIG. 5 (e), the minute holes 20b penetrate.
Also in this case, the diameter of the micropores 20b can be controlled by changing the formation current and the formation time.

【0039】そして、図5(f)に示すように、マスク
として使ったシリコン酸化膜22を除去し、直線的に縦
方向に貫通した多数の微小孔20bを持つ第2のフィル
ター基板20が完成する。
Then, as shown in FIG. 5F, the silicon oxide film 22 used as the mask is removed, and the second filter substrate 20 having a large number of minute holes 20b linearly penetrating in the vertical direction is completed. To do.

【0040】チップ基板30は、図7に示すように、表
面にフィルター受け部35が形成され、裏面に流路36
が形成され、貫通穴37を介して連通するようになって
いる。フィルター受け部35の底面には、第1溝35a
が貫通穴37を中心に放射状に形成され、第2溝35b
が貫通穴37を中心に同心円状に形成されている。
As shown in FIG. 7, the chip substrate 30 has a filter receiving portion 35 formed on its front surface and a flow path 36 on its rear surface.
Are formed so as to communicate with each other through the through hole 37. The bottom surface of the filter receiving portion 35 has a first groove 35a.
Are radially formed around the through hole 37, and the second groove 35b is formed.
Are formed concentrically around the through hole 37.

【0041】チップ基板30は、例えばシリコンを用
い、図6に示した工程で形成することができる。
The chip substrate 30 can be formed by the process shown in FIG. 6 using silicon, for example.

【0042】図6(a)に示すように、表裏面にシリコ
ン酸化膜32,34を形成されたシリコン30を用意す
る。例えば、厚さ400μmのシリコン30の表裏面
に、厚さ1.5μのシリコン酸化膜32,34がそれぞ
れ形成されたものを用いる。
As shown in FIG. 6A, silicon 30 having silicon oxide films 32 and 34 formed on the front and back surfaces is prepared. For example, a silicon 30 having a thickness of 400 μm, on which silicon oxide films 32 and 34 having a thickness of 1.5 μ are formed on the front and back surfaces, respectively, are used.

【0043】次に、表面について、フォトリソグラフィ
ー技術を用いて、シリコン酸化膜32をドライエッチン
グする工程を2回行う。すなわち、シリコン酸化膜32
にフォトレジストを塗布し、所定のマスクパターンを露
光し、現像する。そして、シリコン酸化膜32をドライ
エッチングした後、フォトレジストを剥離する。1回目
の工程では、図6(b)において符号32aで示したよ
うに、フィルター受け部35の第1溝35a及び第2溝
35bとなる部分に対応して、シリコン酸化膜32を除
去する。2回目の工程では、図6(c)において符号3
2bで示したように、フィルター受け部35全体に対応
してシリコン酸化膜32を除去し、段差を設ける。
Next, the step of dry etching the silicon oxide film 32 is performed twice on the surface by using the photolithography technique. That is, the silicon oxide film 32
Photoresist is applied to, and a predetermined mask pattern is exposed and developed. Then, after the silicon oxide film 32 is dry-etched, the photoresist is removed. In the first step, as shown by reference numeral 32a in FIG. 6B, the silicon oxide film 32 is removed corresponding to the portions to be the first groove 35a and the second groove 35b of the filter receiving portion 35. In the second process, reference numeral 3 in FIG.
As shown by 2b, the silicon oxide film 32 is removed corresponding to the entire filter receiving portion 35 to provide a step.

【0044】裏面についても、同様に2回の工程によ
り、シリコン酸化膜34を除去する。1回目の工程で
は、図6(d)において符号34aで示したように、貫
通穴37となる部分に対応して、シリコン酸化膜34を
除去する。2回目の工程では、図6(e)において符号
34bで示したように、流路36に対応する部分を除去
し、段差を設ける。
Also on the back surface, the silicon oxide film 34 is similarly removed by two steps. In the first step, as shown by reference numeral 34a in FIG. 6D, the silicon oxide film 34 is removed corresponding to the portion to be the through hole 37. In the second step, as shown by reference numeral 34b in FIG. 6E, the portion corresponding to the flow path 36 is removed and a step is provided.

【0045】次に、ICP(Inductively
Coupled Plasma)エッチング装置によ
り、段差を有したシリコン酸化膜32,34をマスクに
するシリコン30のドライエッチングと、シリコン酸化
膜32,34のドライエッチングとを、交互に繰り返し
行う。
Next, ICP (Inductively)
With a Coupled Plasma etching apparatus, dry etching of the silicon 30 using the silicon oxide films 32 and 34 having steps as a mask and dry etching of the silicon oxide films 32 and 34 are alternately repeated.

【0046】すなわち、表面について、シリコン30の
ドライエッチングを行い、図6(f)に示したように、
シリコン30から、フィルター受け部35の第1溝35
aと第2溝35bに対応する部分30aを除去する。次
に、シリコン酸化膜32のドライエッチングを行い、図
6(g)に示したように、フィルター受け部35の全体
に対応する部分32cを除去する。次に、シリコン30
のドライエッチングを行い、図6(h)に示したよう
に、シリコン30から、フィルター受け部35全体に対
応する部分30bを除去する。
That is, the silicon 30 is dry-etched on the surface, and as shown in FIG.
From the silicon 30, the first groove 35 of the filter receiving portion 35
The portion 30a corresponding to a and the second groove 35b is removed. Next, the silicon oxide film 32 is dry-etched to remove the portion 32c corresponding to the entire filter receiving portion 35, as shown in FIG. Next, silicon 30
6D, the portion 30b corresponding to the entire filter receiving portion 35 is removed from the silicon 30 as shown in FIG. 6 (h).

【0047】裏面についても、同様に、シリコン30の
ドライエッチングを行い、図6(i)に示したように、
シリコン30から、貫通穴37に対応する部分30cを
除去する。次に、シリコン酸化膜34のドライエッチン
グを行い、図6(j)に示したように、流路36に対応
する部分34cのシリコン酸化膜34を除去する。次
に、シリコン30のドライエッチングを行い、図6
(k)に示したように、シリコン30から、流路36に
対応する部分30dと、貫通穴37に対応する部分30
eとを除去する。
Similarly, on the back surface, dry etching of the silicon 30 is performed, and as shown in FIG.
The portion 30c corresponding to the through hole 37 is removed from the silicon 30. Next, the silicon oxide film 34 is dry-etched to remove the silicon oxide film 34 in the portion 34c corresponding to the flow path 36, as shown in FIG. Next, dry etching of the silicon 30 is performed, and FIG.
As shown in (k), from the silicon 30, a portion 30d corresponding to the flow path 36 and a portion 30 corresponding to the through hole 37.
e and are removed.

【0048】最後に、残ったシリコン酸化膜32,34
をフッ酸に浸けて、ウエットエッチングでシリコン30
から除去する。
Finally, the remaining silicon oxide films 32 and 34
Dip silicon in hydrofluoric acid and use wet etching to remove silicon 30
To remove from.

【0049】所望の形状に形成されたチップ基板30に
は、図8に示すように、吸引穴39が形成されたガラス
板38が、陽極接合により接合される。ガラス板38
は、血液に対する凝固不活性化処理が施される。
As shown in FIG. 8, a glass plate 38 having suction holes 39 is bonded to the chip substrate 30 formed in a desired shape by anodic bonding. Glass plate 38
Is subjected to coagulation inactivation treatment on blood.

【0050】第1のフィルター基板12、第2のフィル
ター基板20、チップ基板30は、直接接合(拡散接
合)によって貼り付けられ、一体化される。
The first filter substrate 12, the second filter substrate 20, and the chip substrate 30 are attached and integrated by direct bonding (diffusion bonding).

【0051】このようにして形成された血球分離用チッ
プ10は、例えば図9に示すホルダー40にセットして
用いる。
The blood cell separation chip 10 thus formed is set in the holder 40 shown in FIG. 9, for example.

【0052】図9に示したように、ホルダー40は、大
略、フレーム44の凹部45に、血球分離用チップ10
と血液受け43とを挿入し、カバー42をねじ48で固
定する。これにより、血球分離用チップ10の吸引穴3
9の周囲に、吸着パッド46が圧着される。
As shown in FIG. 9, the holder 40 is generally placed in the recess 45 of the frame 44 in the blood cell separation chip 10.
And blood receiver 43 are inserted, and cover 42 is fixed with screw 48. Thereby, the suction hole 3 of the blood cell separation chip 10
The suction pad 46 is pressure-bonded to the periphery of 9.

【0053】全血が血液受け43の貫通穴43aに滴下
され、図示していないが、チューブ挿し込みインターフ
ェイス47にチューブを介して接続された吸引ポンプ等
で吸引される。これに限るものではないが、吸引ポンプ
は、シリンジポンプ又はしごきポンプを用いてもよい。
全血は、血球分離用チップ10内において、血球成分が
網目フィルター部16及び微小孔フィルター部21によ
り分離され、血漿や血清を含む血液成分が血液受け部3
5に落下し、第1溝35a又は第2溝35bから貫通穴
37を通って、流路36に流れる。
Whole blood is dropped into the through hole 43a of the blood receiver 43 and is sucked by a suction pump or the like (not shown) connected to the tube insertion interface 47 via a tube. The suction pump may be, but is not limited to, a syringe pump or an ironing pump.
In the whole blood, in the blood cell separation chip 10, blood cell components are separated by the mesh filter portion 16 and the micropore filter portion 21, and blood components including plasma and serum are blood receiving portion 3
5, it flows into the flow path 36 from the first groove 35a or the second groove 35b through the through hole 37.

【0054】詳しくは、網目フィルター部16で大部分
の血球成分が分離され、分離されずに網目フィルター部
16を通過した血球成分は、微小孔フィルター部21で
分離される。
Specifically, most of the blood cell components are separated by the mesh filter portion 16, and the blood cell components that have passed through the mesh filter portion 16 without separation are separated by the micropore filter portion 21.

【0055】網目フィルター部16は、微細孔18中を
通過する血液成分の速度差により、血球成分の分離を行
う。すなわち、網目フィルター部16の微細孔18内を
血液成分が流れるとき、血球以外の血漿などのサイズの
小さい成分は抵抗なく、相対的に速く流出する。一方、
赤血球、白血球、血小板などサイズの大きい血球成分
は、流路抵抗が大きくなり、確率的に、微細孔18中に
保持されている時間が長くなり、流出が遅くなる。図4
に示したように、微細孔18は網目状に形成され、迷路
のように分岐したり合流するなど、複雑な形状であり、
血球成分は複雑な経路を進む。そのため、血球成分が微
細孔18から流出するには時間がかかる。したがって、
網目フィルター部16からは、大部分の血球成分が分離
された血液成分が流出する。
The mesh filter section 16 separates blood cell components by the difference in speed of blood components passing through the fine holes 18. That is, when the blood component flows through the fine holes 18 of the mesh filter portion 16, small-sized components such as plasma other than blood cells flow out relatively quickly without resistance. on the other hand,
Large-sized blood cell components such as red blood cells, white blood cells, and platelets have a large flow channel resistance, and stochastically hold for a long time in the micropores 18 to slow outflow. Figure 4
As shown in, the fine holes 18 are formed in a mesh shape and have a complicated shape such as branching and joining like a maze,
Blood cell components follow complex pathways. Therefore, it takes time for the blood cell component to flow out from the micropores 18. Therefore,
From the mesh filter unit 16, the blood component in which most of the blood cell components have been separated flows out.

【0056】微小孔フィルター部21は、微小孔20b
のサイズを血球成分のサイズよりも小さくすることで血
球成分の通過を阻止し、これにより血球成分を分離する
ものである。
The micropore filter section 21 has a micropore 20b.
Is smaller than the size of the blood cell component to prevent passage of the blood cell component, thereby separating the blood cell component.

【0057】網目フィルター部16だけでは、完全に血
球成分を分離することができず、血球成分の分離漏れが
生じる恐れがある。微小孔フィルター部21だけでは、
血球成分による微小孔20bの目詰まりで、血球分離効
率が低下する恐れがある。両者を組み合わせれば、全血
から血球成分を効率よく分離することができる。
The mesh filter portion 16 alone cannot completely separate the blood cell components, which may cause separation leakage of the blood cell components. With the micropore filter section 21 alone,
The micropores 20b may be clogged with blood cell components, which may reduce the blood cell separation efficiency. By combining both, blood cell components can be efficiently separated from whole blood.

【0058】次に、血球分離用チップ10の具体例を説
明する。
Next, a specific example of the blood cell separation chip 10 will be described.

【0059】製造例1 第1のフィルター基板12は、厚さ200μmのシリコ
ンを用いた。47%フッ酸とエタノールを1:1に混合
した溶液を用い、電流密度が20mA/cm、化成時
間が30分の条件で陽極化成を行い、孔径が20μm程
度の微細孔18が形成された多孔質シリコンの網目フィ
ルター部16を形成した。第2のフィルター基板20
は、表裏面に1.5μmのシリコン酸化膜が形成された
厚さ100μmのn型シリコンを用いた。異方性エッチ
ングを行った後、47%フッ酸とエタノールを1:1に
混合した溶液を用い、基板裏面から光を照射し、電流密
度が20mA/cm、化成時間が100分の条件で陽
極化成を行い、孔径が1μm程度の微小孔20bを微小
孔フィルター部21に形成した。
Production Example 1 The first filter substrate 12 was made of silicon having a thickness of 200 μm. Anodic formation was carried out using a solution in which 47% hydrofluoric acid and ethanol were mixed in a ratio of 1: 1 under conditions of a current density of 20 mA / cm 2 and a formation time of 30 minutes, and micropores 18 having a pore diameter of about 20 μm were formed. The mesh filter part 16 of porous silicon was formed. Second filter substrate 20
Was 100 μm thick n-type silicon with a 1.5 μm silicon oxide film formed on the front and back surfaces. After anisotropic etching, 47% hydrofluoric acid and ethanol were mixed at a ratio of 1: 1 and irradiated with light from the back surface of the substrate under conditions of current density of 20 mA / cm 2 and formation time of 100 minutes. Anodization was performed to form micropores 20b having a pore diameter of about 1 μm in the micropore filter portion 21.

【0060】実施例1 製造例1で作製した血球分離用チップ10と、図9に示
したホルダー40とを用いて、血球分離を行った。ま
ず、健常者から全血200μl(マイクロリットル)を
採血し、血液受け43の貫通穴43aにピペッターを用
いて滴下した。この血液のヘマトクリット値を測定した
ところ、42.9%であった。この全血の滴下と同時
に、血球分離用チップ10からチューブを介して接続さ
れているシリンジポンプで吸引を開始した。吸引速度は
100μl毎分に設定した。これにより、40μlの血
漿を得ることができ、得られた血漿量(V)を使用し
た全血量(V)で除した値(V /V)である血漿
採取効率は、20%であった。また、この方法で得られ
た血漿を、複合因子Tの凝固検査にかけたが、遠心分離
で得られた血漿の結果と変わらない値が得られ、凝固活
性されずに血球分離できたことが確認された。
[0060]Example 1 The blood cell separation chip 10 produced in Production Example 1 and shown in FIG.
Blood cells were separated using the holder 40 prepared above. Well
First, 200 μl (microliter) of whole blood from a healthy person
Collect blood and use a pipettor in the through hole 43a of the blood receiver 43.
And dripped. The hematocrit value of this blood was measured
However, it was 42.9%. Simultaneously with the dropping of this whole blood
From the blood cell separation chip 10 via a tube.
Suction was started with the syringe pump provided. Suction speed
It was set to 100 μl per minute. This gives 40 μl of blood
Plasma can be obtained and the obtained plasma volume (V1) Is used
Total blood volume (V0) Divided by (V 1/ V0) Is plasma
The collection efficiency was 20%. Also obtained this way
Plasma was subjected to a complex factor T coagulation test and was centrifuged.
The value obtained was the same as that of plasma obtained in
It was confirmed that blood cells could be separated without sex.

【0061】以上説明したように、血液のガラスとの接
触による凝固活性を防ぐために、ガラス繊維フィルター
の代わりに、微細孔を持つ網目構造の多孔質シリコン
と、直線的に縦方向に貫通した多数の穴を持つシリコン
を組み合わせることによって、血球分離を行うことがで
きる。これにより、ガラスによる凝固活性が起らず、ま
た、シリコンで形成したフィルターとチップ本体とを隙
間なく接合することができるため、フィルターとフィル
ター受けから血球成分がすり抜けることもなくなる。
As described above, in order to prevent coagulation activity due to contact of blood with glass, instead of the glass fiber filter, porous silicon having a network structure having fine pores and a large number of linearly penetrating longitudinally are used. Blood cells can be separated by combining silicon with holes. As a result, coagulation activity due to glass does not occur, and since the filter made of silicon and the chip body can be joined together without a gap, the blood cell component does not slip through the filter and the filter receiver.

【0062】したがって、少量の血液から、凝固活性す
ることなく、かつ効率よく、血球成分を分離することが
できる。
Therefore, a blood cell component can be efficiently separated from a small amount of blood without causing coagulation activity.

【0063】次に、本発明の第2実施形態に係る血球分
離用フィルターを用いた血球分離装置について、図10
を参照しながら説明する。
Next, a blood cell separating apparatus using a blood cell separating filter according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
Will be described with reference to.

【0064】図10の模式図に示したように、血球分離
装置は、血球分離用フィルター59を保持するフィルタ
ー保持板58が、ベース板50上に重ねられる。血球分
離用フィルター59は、第1実施形態の網目フィルター
部16と同様、p型シリコンを陽極化成した後、適宜形
状に成形され多孔質シリコンである。血球分離用フィル
ター59は、フィルター保持板58から着脱できるよう
に構成されても、フィルター保持板58と一体に構成さ
れてもよい。
As shown in the schematic view of FIG. 10, in the blood cell separating apparatus, a filter holding plate 58 holding a blood cell separating filter 59 is placed on the base plate 50. The blood cell separation filter 59 is porous silicon that is formed into an appropriate shape after anodizing p-type silicon as in the mesh filter portion 16 of the first embodiment. The blood cell separation filter 59 may be configured to be detachable from the filter holding plate 58, or may be integrated with the filter holding plate 58.

【0065】ベース板50には、第1実施形態の微小孔
フィルター部21の微小孔21bと同様の微小孔52
と、流路56とが形成され、連通穴54を介して連通す
るようになっている。流路56の端部には、チューブ6
8が挿入され、シリンジポンプ60で吸引されるように
なっている。シリンジポンプ60は、例えば、シリンジ
62のピストンロッド64をステッピングモータ66で
移動することにより、吸引を行うようになっている。
The base plate 50 has micropores 52 similar to the micropores 21b of the micropore filter portion 21 of the first embodiment.
And a flow path 56 are formed so as to communicate with each other through the communication hole 54. At the end of the flow path 56, the tube 6
8 is inserted and sucked by the syringe pump 60. The syringe pump 60 suctions by moving the piston rod 64 of the syringe 62 with the stepping motor 66, for example.

【0066】血球分離装置は、血球分離用フィルター5
9に滴下された全血が、シリンジポンプ60により吸引
され、血球分離用フィルター59及び微小孔52によ
り、血球成分が分離される。
The blood cell separator is a filter 5 for separating blood cells.
The whole blood dropped on 9 is sucked by the syringe pump 60, and the blood cell component is separated by the blood cell separation filter 59 and the micropores 52.

【0067】シリコンの血球分離用フィルター59を用
いることにより、凝固活性が起らないようにして、少量
の血液から血球成分を分離することができる。
By using the silicon blood cell separation filter 59, the blood cell component can be separated from a small amount of blood while preventing the coagulation activity.

【0068】なお、本発明は、上記各実施形態に限定さ
れるものではなく、種々の態様で実施可能である。
The present invention is not limited to the above embodiments, but can be implemented in various modes.

【0069】例えば、血球分離用チップは、第1実施形
態で説明した方法とは別の方法で、作製してもよい。ま
た、第1及び第2のフィルター基板は、網目フィルター
部及び微小穴フィルター部以外の部分に、シリコン以外
の材料、例えばセラミックや樹脂などを用いてもよい。
また、網目フィルター部と微小孔フィルター部とが対向
せずに、ずれた位置に配置されてもよい。また、微小孔
フィルター部の微小孔が直線状ではなく、曲がっていて
もよい。
For example, the blood cell separation chip may be manufactured by a method different from the method described in the first embodiment. Further, in the first and second filter substrates, a material other than silicon, such as ceramic or resin, may be used for the portion other than the mesh filter portion and the micropore filter portion.
Further, the mesh filter portion and the micropore filter portion may not be opposed to each other, but may be arranged at a shifted position. Further, the micropores of the micropore filter section may be curved instead of being linear.

【0070】血球分離用フィルターは、チップ以外の装
置やデバイスに組み込んで使用してもよい。
The blood cell separation filter may be used by incorporating it into an apparatus or device other than the chip.

【0071】また、血球分離は、吸引することなく行っ
てもよい。
The blood cell separation may be performed without suction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 陽極化成するシリコンの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of anodized silicon.

【図2】 陽極化成用治具の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of an anodizing jig.

【図3】 陽極化成の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of anodization.

【図4】 多孔質シリコンの概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of porous silicon.

【図5】 第2のフィルター基板の加工工程の説明図で
ある。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a processing step of the second filter substrate.

【図6】 チップ基板の加工工程の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a chip substrate processing step.

【図7】 チップ基板の上面図及び下面図である。FIG. 7 is a top view and a bottom view of the chip substrate.

【図8】 本発明の第1実施形態に係る血球分離用チッ
プの断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view of the blood cell separation chip according to the first embodiment of the present invention.

【図9】 図8の血球分離用チップの使用方法の説明図
である。
9 is an explanatory diagram of a method of using the blood cell separation chip of FIG.

【図10】 本発明の第2実施形態に係る血球分離用フ
ィルターを組み込んだ血球分離装置の概念図である。
FIG. 10 is a conceptual diagram of a blood cell separation device incorporating a blood cell separation filter according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 血球分離用チップ 12 第1のフィルター基板 16 網目フィルター部 18 微細孔 20 第2のフィルター基板 20b 微小孔 21 微小孔フィルター部 59 血球分離用フィルター 10 Blood cell separation chip 12 First filter substrate 16 mesh filter 18 fine holes 20 Second filter substrate 20b micropore 21 Micropore filter part 59 Blood Cell Separation Filter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 利光 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 山下 重夫 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 2G045 BA08 BB04 CA25 HB02 HB03 HB05 JA07 2G052 AA30 AD29 CA03 CA18 CA19 EA03 EA13 JA01 JA16 4D019 AA03 BA01 BB07 BB09 BB10 BD01 BD03 CA10 CB03 CB06   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Toshimitsu Fujiwara             2-3-3 Azuchi-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture             Osaka International Building Minolta Co., Ltd. (72) Inventor Shigeo Yamashita             2-3-3 Azuchi-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture             Osaka International Building Minolta Co., Ltd. F term (reference) 2G045 BA08 BB04 CA25 HB02 HB03                       HB05 JA07                 2G052 AA30 AD29 CA03 CA18 CA19                       EA03 EA13 JA01 JA16                 4D019 AA03 BA01 BB07 BB09 BB10                       BD01 BD03 CA10 CB03 CB06

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 血球成分を分離する血球分離用チップで
あって、 貫通する微細孔が網目状に形成されたシリコンの網目フ
ィルター部を含む第1のフィルター基板と、 貫通する微小孔が形成されたシリコンの微小孔フィルタ
ー部を含む第2のフィルター基板とを備え、 上記第1のフィルター基板と上記第2のフィルター基板
とは、上記網目フィルター部から上記微小孔フィルター
部に連通するように積層されたことを特徴とする、血球
分離用チップ。
1. A blood cell separation chip for separating blood cell components, comprising: a first filter substrate including a silicon mesh filter portion having penetrating micropores formed in a mesh shape; and penetrating micropores. And a second filter substrate including a silicon micropore filter portion, wherein the first filter substrate and the second filter substrate are laminated so as to communicate from the mesh filter portion to the micropore filter portion. A blood cell separation chip characterized in that
【請求項2】 上記網目フィルター部に形成された上記
微細孔の孔径が5μm〜50μmであり、かつ、上記微
小孔フィルター部に形成された上記微小孔の孔径が0.
5μm〜5μmであることを特徴とする、請求項1記載
の血球分離用チップ。
2. The micropores formed in the mesh filter section have a pore size of 5 μm to 50 μm, and the micropores formed in the micropore filter section have a pore size of 0.
The blood cell separation chip according to claim 1, which has a diameter of 5 μm to 5 μm.
【請求項3】 上記第1のフィルター基板の上記網目フ
ィルター部は、p型シリコンであることを特徴とする、
請求項1又は2記載の血球分離用チップ。
3. The mesh filter portion of the first filter substrate is p-type silicon,
The blood cell separation chip according to claim 1.
【請求項4】 上記第2のフィルター基板の上記微小孔
フィルター部は、n型シリコンであることを特徴とす
る、請求項1又は2記載の血球分離用チップ。
4. The blood cell separation chip according to claim 1, wherein the micropore filter portion of the second filter substrate is n-type silicon.
【請求項5】 血球成分を分離する血球分離用フィルタ
ーであって、 貫通する微細孔が網目状に形成されたシリコンからなる
フィルター部材を備えたことを特徴とする、血球分離用
フィルター。
5. A blood cell separation filter for separating blood cell components, comprising a filter member made of silicon with penetrating micropores formed in a mesh shape.
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