JP2003207279A - Transfer tray and heat treatment furnace - Google Patents
Transfer tray and heat treatment furnaceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物を搬送ト
レイに載せて搬送ローラ上を搬送させつつ熱処理を行う
熱処理炉及びこれに用いられる搬送トレイに関し、更に
詳しくは、搬送トレイの材質に係るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment furnace for carrying out a heat treatment while placing an object to be processed on a conveyance tray and conveying it on a conveyance roller, and more specifically to a conveyance tray used therefor. It is related.
【０００２】[0002]
【従来の技術】真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で被
処理物を熱処理（焼入、焼戻、焼鈍、焼結など）する熱
処理炉として、ローラハース式の熱処理炉が知られてい
る。ローラハース式の熱処理炉は、搬送ローラ上に搬送
トレイを載置し、この搬送トレイ上に被処理物を載せ
て、搬送トレイごと被処理物を搬送しつつ連続的に熱処
理を行う炉である。搬送ローラは、被処理物の搬送方向
に対して直交して所定間隔おきに複数本設けられてお
り、それぞれ同方向に同速度で回転される。2. Description of the Related Art A roller hearth type heat treatment furnace is known as a heat treatment furnace for heat treating (quenching, tempering, annealing, sintering, etc.) an object to be treated in a vacuum or an inert gas atmosphere. The roller hearth type heat treatment furnace is a furnace in which a transfer tray is placed on a transfer roller, an object to be processed is placed on the transfer tray, and the object to be processed is transferred together with the transfer tray to continuously perform heat treatment. A plurality of transport rollers are provided at predetermined intervals orthogonal to the transport direction of the object to be processed, and are rotated in the same direction at the same speed.
【０００３】搬送トレイには、被処理物を支持して搬送
するのに十分な機械的強度や、例えば２０００℃近い高
温処理に耐え得る耐熱性が要求される。このような要求
を満足する材料として炭素系複合材料でなる搬送トレイ
が公知である。The transport tray is required to have sufficient mechanical strength to support and transport the object to be processed and heat resistance to withstand high temperature processing of, for example, about 2000.degree. A carrier tray made of a carbon-based composite material is known as a material satisfying such requirements.
【０００４】図７〜１０は、その従来の搬送トレイ１を
示す。図７は搬送トレイ１の平面図を、図８は正面（背
面）図を、図９は側面図を、図１０は図７における［１
０］−［１０］線方向の断面図をそれぞれ示す。搬送ト
レイ１は、外枠を形成する４本のメインフレーム２ａ、
２ｂと、内枠を形成する５本のサブフレーム３、更には
４本の支持板４を格子状に組み合わせてなる。メインフ
レーム２ａ、２ｂ、サブフレーム３、及び支持板４は何
れも帯板状を呈している。7 to 10 show the conventional carrying tray 1. 7 is a plan view of the transport tray 1, FIG. 8 is a front (rear) view, FIG. 9 is a side view, and FIG.
0]-[10] line direction cross-sectional views are respectively shown. The carrying tray 1 includes four main frames 2a forming an outer frame,
2b, five sub-frames 3 forming the inner frame, and further four support plates 4 are combined in a grid pattern. Each of the main frames 2a and 2b, the subframe 3, and the support plate 4 has a strip plate shape.
【０００５】短尺のメインフレーム２ｂの両端部及びサ
ブフレーム３の両端部は、長尺のメインフレーム２ａに
嵌め込まれている。支持板４は、短尺のメインフレーム
２ｂ及びサブフレーム３と直交して、被処理物が載せら
れる上面側に係合している。更に、メインフレーム２
ａ、２ｂで形成される４箇所の角部の内側には補強板５
が嵌め込まれている。Both ends of the short main frame 2b and both ends of the sub-frame 3 are fitted in the long main frame 2a. The support plate 4 is orthogonal to the short main frame 2b and the subframe 3 and is engaged with the upper surface side on which the object to be processed is placed. Furthermore, mainframe 2
A reinforcing plate 5 is provided inside the four corners formed by a and 2b.
Is fitted.
【０００６】上述したメインフレーム２ａ、２ｂ、サブ
フレーム３、支持板４、補強板５は、全て炭素系複合材
料でなる。具体的には、炭素繊維を樹脂で固めた複合材
料でなる。その他、金属、例えば高融点金属のタングス
テン（Ｗ）でなる搬送トレイも従来より用いられてい
る。The main frames 2a and 2b, the sub frame 3, the support plate 4, and the reinforcing plate 5 described above are all made of a carbon-based composite material. Specifically, it is a composite material in which carbon fibers are hardened with a resin. In addition, a carrier tray made of metal, for example, tungsten (W), which is a refractory metal, has been conventionally used.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】炭素系複合材料でなる
搬送トレイには、搬送ローラとの接触部における摩耗
や、被処理物への浸炭などの問題がある。一方、Ｗでな
る搬送トレイは、摩耗しにくく、被処理物への浸炭も起
こらないという利点を有するが、炭素系複合材料でなる
搬送トレイに比べて、コスト高であり、また、重量が重
く搬送ローラによる搬送性や、取扱い性で炭素系複合材
料でなる搬送トレイよりも劣るという問題がある。更
に、Ｗは熱容量が炭素系複合材料に比べて一桁程大きい
ため、炉内の昇温に必要な熱エネルギーが大となるとい
う問題もある。The carrying tray made of a carbon composite material has problems such as wear at the contact portion with the carrying roller and carburization of the object to be treated. On the other hand, the carrier tray made of W has the advantages of being less likely to be worn and not carburizing the object to be treated, but is more expensive and heavier than the carrier tray made of the carbon-based composite material. There is a problem in that it is inferior to the transport tray made of a carbon-based composite material in terms of transportability by a transport roller and handling. Further, since W has a heat capacity larger than that of the carbon-based composite material by about one digit, there is a problem that the heat energy required for raising the temperature in the furnace becomes large.
【０００８】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、その
目的とするところは、搬送トレイとして必要とされる様
々な材質的な要求に柔軟に対応できる搬送トレイ及びこ
の搬送トレイを備えた熱処理炉を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a transport tray which can flexibly meet various material requirements required as a transport tray, and a heat treatment furnace having the transport tray. To provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明では、搬送トレイ
を、（炭素系複合材料＋金属材料）、（炭素系複合材料
＋セラミック材料）、（炭素系複合材料＋金属材料＋セ
ラミック材料）の何れかの組み合わせで構成している。
そして、本発明の熱処理炉は、上記構成の搬送トレイを
搬送ローラ上に備えている。In the present invention, a carrying tray is made of (carbon-based composite material + metal material), (carbon-based composite material + ceramic material), (carbon-based composite material + metal material + ceramic material). It is configured by any combination.
Further, the heat treatment furnace of the present invention includes the transport tray having the above configuration on the transport rollers.
【００１０】すなわち、本発明では、搬送トレイを全て
同じ材料で構成するのではなく、部分的に材料を変えて
いる。材料の組み合わせに際しては、処理温度や炉内の
環境などに応じて好ましい組み合わせが選択される。具
体的には、軽量性、コスト面、少ない熱エネルギーでの
昇温性などを考慮して、大部分を炭素系複合材料で構成
し、炭素系複合材料の使用が問題になるような箇所に
は、金属材料やセラミック材料を用いる。例えば、搬送
ローラとの接触部は搬送ローラと同材質にしたり、被処
理物との接触部は、浸炭を防ぐために炭素系複合材料以
外の材質にする。また、搬送トレイの構造を、複数のフ
レームからなる格子状とすれば、使用される各種条件な
どに応じて、部分的な材料の組み替えを容易に行うこと
ができる。That is, in the present invention, the material of the transport tray is partially changed instead of being made of the same material. When the materials are combined, a preferable combination is selected according to the processing temperature and the environment in the furnace. Specifically, considering the lightness, cost, temperature rise with a small amount of heat energy, etc., most of them are composed of carbon-based composite materials, and the use of carbon-based composite materials poses a problem. Uses a metal material or a ceramic material. For example, the contact part with the transfer roller is made of the same material as the transfer roller, and the contact part with the object to be treated is made of a material other than the carbon-based composite material in order to prevent carburization. Further, if the structure of the transport tray is a lattice shape composed of a plurality of frames, it is possible to easily carry out a partial rearrangement of the materials according to various conditions used.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１２】図１は、本実施の形態による搬送トレイ１
１の斜視図を示す。図２はその平面図を、図３はその側
面図を、図４はその正面（背面）図を、それぞれ示す。
搬送トレイ１１は、主として、２本のメインフレーム１
２と、９本の短尺のサブフレーム１３と、１本の長尺の
サブフレーム１４とを格子状に組み合わせて構成され
る。FIG. 1 shows a carrying tray 1 according to this embodiment.
1 shows a perspective view of FIG. 2 is a plan view thereof, FIG. 3 is a side view thereof, and FIG. 4 is a front (rear) view thereof.
The transport tray 11 is mainly composed of two main frames 1
2 and 9 short sub-frames 13 and one long sub-frame 14 are combined in a grid pattern.
【００１３】メインフレーム１２とサブフレーム１３、
１４は何れも帯板状を呈している。メインフレーム１２
とサブフレーム１３、１４は、具体的には以下のような
係合関係にて組み合わされている。メインフレーム１２
の上面には複数の凹部が形成されており、これら各凹部
に、短尺のサブフレーム１３の両端の上部に形成された
段部が係合している。同様に、外側の一対の短尺のサブ
フレーム１３の上面に形成された凹部に、長尺のサブフ
レーム１４の両端の上部に形成された段部が係合してい
る。更に、内側の短尺のサブフレーム１３の中央部にそ
れぞれ形成された凹部に、長尺のサブフレーム１４に形
成された凹部が係合している。The main frame 12 and the sub frame 13,
All 14 are strip-shaped. Mainframe 12
Specifically, the subframes 13 and 14 are combined in the following engagement relationship. Mainframe 12
A plurality of recesses are formed on the upper surface of the, and stepped portions formed on the upper ends of both ends of the short subframe 13 are engaged with these recesses. Similarly, stepped portions formed at the upper ends of both ends of the long subframe 14 are engaged with the recesses formed on the upper surfaces of the pair of outer short subframes 13. Furthermore, the recesses formed in the long sub-frame 14 are engaged with the recesses formed in the center of the inner short sub-frame 13, respectively.
【００１４】また、４本の丸棒状のバックル１５が、両
端にねじを形成したタイロッド１７及びナット１８を介
して、メインフレーム１２に連結されている。具体的に
は、バックル１５の両端部それぞれに、タイロッド１７
の一端が螺着され、このタイロッド１７の他端が２本の
メインフレーム１２にそれぞれ螺着されている。また、
バックル１５は、長尺のサブフレーム１４を貫通してい
る。更に、メインフレーム１２及びサブフレーム１３、
１４で囲まれる空間のうちの４箇所には、円形の貫通孔
が形成された平板状のガセット１６が取り付けられてい
る。これらバックル１５やガセット１６は、メインフレ
ーム１２とサブフレーム１３、１４とで構成される格子
状の形状を安定して保持するための補強材として機能す
る。Further, four round bar-shaped buckles 15 are connected to the main frame 12 via tie rods 17 and nuts 18 having threads formed on both ends. Specifically, the tie rods 17 are provided on both ends of the buckle 15.
One end of the tie rod 17 is screwed, and the other end of the tie rod 17 is screwed to the two main frames 12. Also,
The buckle 15 penetrates the long subframe 14. Further, the main frame 12 and the sub frame 13,
Flat plate-shaped gussets 16 each having a circular through hole are attached to four of the spaces surrounded by 14. The buckle 15 and the gusset 16 function as a reinforcing member for stably holding the lattice-like shape formed by the main frame 12 and the subframes 13 and 14.
【００１５】上述した搬送トレイ１１において、メイン
フレーム１２以外の、全ての部材（サブフレーム１３、
１４、バックル１５、ガセット１６、タイロッド１７、
ナット１８）は、炭素系複合材料でなる。具体的には、
炭素繊維を樹脂で固めた複合材料でなる。In the transport tray 11 described above, all members (subframe 13,
14, buckle 15, gusset 16, tie rod 17,
The nut 18) is made of a carbon-based composite material. In particular,
It is a composite material in which carbon fibers are hardened with resin.
【００１６】メインフレーム１２は、図４に示されるよ
うに、サブフレーム１３よりも下方に突出しており、こ
のメインフレーム１２の下面のみが搬送ローラに接す
る。そして、このメインフレーム１２は、例えばタング
ステン（Ｗ）でなる。As shown in FIG. 4, the main frame 12 projects below the sub-frame 13, and only the lower surface of the main frame 12 contacts the transport rollers. The main frame 12 is made of tungsten (W), for example.
【００１７】更に、本実施の形態の搬送トレイ１１は、
図１に１点鎖線で示されるように、被処理物が載せられ
る中央部に、例えば窒化ホウ素（ＢＮ）でなる敷板１９
を載置して備えている。Further, the carrying tray 11 of this embodiment is
As shown by the alternate long and short dash line in FIG. 1, a floor plate 19 made of, for example, boron nitride (BN) is provided in the central portion on which the object to be processed is placed.
Is installed and equipped.
【００１８】次に、上記搬送トレイ１１を備えた熱処理
炉について説明する。図５は、その熱処理炉２０の概略
断面図を示し、図６は、搬送ローラ２２の平面図を示
す。Next, a heat treatment furnace equipped with the transport tray 11 will be described. FIG. 5 shows a schematic sectional view of the heat treatment furnace 20, and FIG. 6 shows a plan view of the transport roller 22.
【００１９】断熱ケーシング２１に囲まれて処理室２７
が構成されている。断熱ケーシング２１の底部に支持部
２３を介して一対のガイドレール２４が取り付けられ、
これらガイドレール２４の間に複数本の搬送ローラ２２
がその軸方向を搬送方向と直交させて並列して設けられ
ている。搬送ローラ２２は、一対のガイドレール２４に
対して一体化された軸受２５に、回転自在に両端が支持
されている。その他、処理室２７には、加熱手段として
のヒータｈや、処理室２７内を排気するための真空排気
手段（図示せず）などが設けられている。The processing chamber 27 is surrounded by the heat insulating casing 21.
Is configured. A pair of guide rails 24 are attached to the bottom of the heat insulating casing 21 via a support portion 23,
A plurality of transport rollers 22 are provided between the guide rails 24.
Are provided in parallel with their axial directions orthogonal to the transport direction. Both ends of the transport roller 22 are rotatably supported by bearings 25 integrated with the pair of guide rails 24. In addition, the processing chamber 27 is provided with a heater h as a heating unit, a vacuum exhaust unit (not shown) for exhausting the inside of the processing chamber 27, and the like.
【００２０】搬送ローラ２２の回転駆動は、処理室２７
外に配置された駆動源（図示せず）により行われ、搬送
ローラ２２の一端に結合され、断熱ケーシング２１の外
方に突出する連絡部２６を介して、同方向に同速度で回
転される。例えば、各搬送ローラ２２を１本の無端チェ
ーンで駆動するなどの形態が採用される。The rotation of the transport roller 22 is driven by the processing chamber 27.
It is performed by a driving source (not shown) arranged outside, is coupled to one end of the transport roller 22, and is rotated in the same direction and at the same speed via the connecting portion 26 protruding to the outside of the heat insulating casing 21. . For example, a mode is adopted in which each conveying roller 22 is driven by one endless chain.
【００２１】被処理物２８は、搬送トレイ１１上に載置
された敷板１９上に載せられる。そして、搬送トレイ１
１は、搬送ローラ２２の回転により搬送され、被処理物
２８は、処理室２７内を搬送されながら熱処理される。
このような熱処理炉は、例えば、ＴａやＮｂコンデンサ
の焼結炉として用いられる。The object to be processed 28 is placed on the floor plate 19 placed on the transport tray 11. And the transport tray 1
1 is carried by the rotation of the carrying roller 22, and the object 28 to be processed is heat-treated while being carried in the processing chamber 27.
Such a heat treatment furnace is used, for example, as a sintering furnace for Ta and Nb capacitors.
【００２２】上述したように、本実施の形態では、搬送
トレイ１１の大部分は炭素系複合材料で構成し、搬送ロ
ーラ２２と接触するメインフレーム１２のみを例えばＷ
にしている。このような構成のため、炭素系複合材料の
有する軽量、安価、昇温に際して省電力であるという利
点を損なうことなく、且つ、搬送ローラ２２との接触部
（メインフレーム１２）の摩耗を防ぐことができる。更
に、例えばＢＮでなる敷板１９によって、被処理物２８
と、炭素系複合材料との接触を避けることができるの
で、被処理物２８の浸炭や炭素系複合材料との溶着など
を防ぐことができる。As described above, in the present embodiment, most of the carrying tray 11 is made of a carbon-based composite material, and only the main frame 12 that contacts the carrying roller 22 is made of, for example, W.
I have to. Due to such a configuration, the carbon-based composite material does not impair the advantages of light weight, low cost, and power saving at the time of temperature rise, and prevents abrasion of the contact portion (main frame 12) with the transport roller 22. You can Further, by using the floor plate 19 made of, for example, BN, the processed object 28
Since it is possible to avoid contact with the carbon-based composite material, it is possible to prevent carburization of the object to be treated 28, welding with the carbon-based composite material, and the like.
【００２３】本発明は以上述べた実施の形態に限定され
ることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形
が可能である。The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
【００２４】炭素系複合材料に組み込まれる金属材料と
しては、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏなどが、セラミック材料として
は、ＢＮ、Ｙ2Ｏ3などが一例として挙げられる。上記材
料は、処理条件や使用環境などに応じて、適宜選択され
様々に組み合わせられる。例えば、メインフレーム１２
をセラミック材料で構成することも考えられ、もちろ
ん、敷板１９をＷなどの金属としてもよい。また、搬送
ローラとの接触部は、搬送ローラと同材料にすることが
摩耗抑制の点では好ましい。更に、被処理物との接触部
は、被処理物との反応を最も抑制できる材料などが適宜
選択される。Examples of the metal material incorporated in the carbon-based composite material include W, Ta and Mo, and examples of the ceramic material include BN and Y 2 O 3 . The above materials are appropriately selected and variously combined according to the processing conditions and the use environment. For example, mainframe 12
Can be made of a ceramic material, and of course, the floor plate 19 may be made of a metal such as W. Further, it is preferable that the contact portion with the transport roller is made of the same material as that of the transport roller in terms of suppressing wear. Further, for the contact portion with the object to be treated, a material or the like that can most suppress the reaction with the object to be treated is appropriately selected.
【００２５】また、上記の敷板１９に代えて、例えば溶
射、蒸着、ＣＶＤ、スパッタリングなどの手法によって
炭素系複合材料の表面（被処理物との接触部）に、上記
金属材料やセラミック材料の薄膜を形成してもよい。あ
るいは、被処理物との接触部のフレームを上記金属材料
あるいはセラミック材料のフレームに代えて組み込んで
もよい。Further, in place of the floor plate 19 described above, a thin film of the metal material or the ceramic material is formed on the surface (contact portion with the object to be processed) of the carbon-based composite material by a method such as thermal spraying, vapor deposition, CVD or sputtering. May be formed. Alternatively, the frame of the contact portion with the object to be processed may be incorporated instead of the frame of the metal material or the ceramic material.
【００２６】更には、搬送トレイの構造も格子状に限ら
ず、板状や容器状であっても良い。しかし、上記実施の
形態のように、複数のフレームを組み合わせてなる格子
状とすれば、各種条件に応じて、容易に搬送トレイの一
部分を所望の材料に変更できるという利点がある。一例
として、上記実施の形態では、メインフレーム１２をＷ
で構成したが、例えばＴａでなる搬送ローラに搬送トレ
イを用いたい場合には、Ｔａでなる別のメインフレーム
に容易に変更でき、各種条件に対して柔軟に対処でき
る。Further, the structure of the transfer tray is not limited to the lattice shape, and may be a plate shape or a container shape. However, as in the above-described embodiment, the lattice shape formed by combining a plurality of frames has an advantage that a part of the transport tray can be easily changed to a desired material according to various conditions. As an example, in the above embodiment, the main frame 12 is
However, for example, when it is desired to use the transport tray for the transport roller made of Ta, it can be easily changed to another main frame made of Ta, and various conditions can be dealt with flexibly.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、炭
素系複合材料の、ローラ搬送による摩耗や被処理物への
浸炭などが防げると共に、炭素系複合材料が有している
軽量、安価、昇温に必要な熱エネルギーを小さくできる
（省電力）などの効果を奏することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to prevent abrasion of a carbon-based composite material due to roller conveyance, carburization of an object to be treated, and the like, and to reduce the weight of the carbon-based composite material. It is possible to obtain effects such as low cost and reduction of heat energy required for temperature rise (power saving).
【図１】本発明の実施の形態による搬送トレイの斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view of a carrying tray according to an embodiment of the present invention.
【図２】同搬送トレイの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the carrying tray.
【図３】同搬送トレイの側面図である。FIG. 3 is a side view of the transport tray.
【図４】同搬送トレイの正面（背面）図である。FIG. 4 is a front (rear) view of the transport tray.
【図５】本発明の実施の形態による熱処理炉の概略断面
図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention.
【図６】同熱処理炉に備えられた搬送ローラの平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view of a conveyance roller provided in the heat treatment furnace.
【図７】従来例の搬送トレイの平面図である。FIG. 7 is a plan view of a conventional transport tray.
【図８】同搬送トレイの正面（背面）図である。FIG. 8 is a front (rear) view of the transport tray.
【図９】同搬送トレイの側面図である。FIG. 9 is a side view of the transport tray.
【図１０】図７における[１０]−[１０]線方向の断面図
である。10 is a cross-sectional view taken along line [10]-[10] in FIG.
１１……搬送トレイ、１２……メインフレーム、１３…
…サブフレーム、１４……サブフレーム、１９……敷
板、２０……熱処理炉、２２……搬送ローラ、２７……
処理室、２８……被処理物。11 ... Transport tray, 12 ... Main frame, 13 ...
... Subframe, 14 ... Subframe, 19 ... Floorboard, 20 ... Heat treatment furnace, 22 ... Conveyor roller, 27 ...
Processing room, 28 ... Object to be processed.
Claims (9)
れる搬送トレイであって、 炭素系複合材料に、金属材料とセラミック材料のどちら
か一方、あるいは両方を組み合わせてなることを特徴と
する搬送トレイ。1. A carrying tray for carrying an object to be processed and carrying it on a carrying roller, wherein the carbon-based composite material is made of either a metal material or a ceramic material, or a combination of both. Transport tray to be used.
れる、金属材料又はセラミック材料でなる敷板を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送トレイ。2. The transport tray according to claim 1, further comprising a floor plate made of a metal material or a ceramic material, which is placed on a portion on which the object to be processed is placed.
セラミック材料にしたことを特徴とする請求項１に記載
の搬送トレイ。3. The transport tray according to claim 1, wherein a contact portion with the object to be processed is made of a metal material or a ceramic material.
なることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに
記載の搬送トレイ。4. The carrier tray according to claim 1, wherein a plurality of frames are combined in a grid pattern.
送ローラ上を搬送される搬送トレイと、前記被処理物を
加熱する加熱手段とを備えた熱処理炉において、 前記搬送トレイは、炭素系複合材料に、金属材料とセラ
ミック材料のどちらか一方、あるいは両方を組み合わせ
てなることを特徴とする熱処理炉。5. A heat treatment furnace comprising a transport roller, a transport tray on which the object to be processed is transported on the transport roller, and a heating means for heating the object to be processed, wherein the transport tray is made of carbon. A heat treatment furnace characterized by comprising a metal-based composite material, a ceramic material, or a combination of both with a metal-based composite material.
られる部分に載置される、金属材料又はセラミック材料
でなる敷板を有することを特徴とする請求項５に記載の
熱処理炉。6. The heat treatment furnace according to claim 5, wherein the transport tray has a floor plate made of a metal material or a ceramic material, which is placed on a portion on which the object to be processed is placed.
触部を金属材料又はセラミック材料にしたことを特徴と
する請求項５に記載の熱処理炉。7. The heat treatment furnace according to claim 5, wherein a contact portion of the carrying tray with the object to be treated is made of a metal material or a ceramic material.
記搬送ローラとの接触部とを同材質にしたことを特徴と
する請求項５乃至請求項７の何れかに記載の熱処理炉。8. The heat treatment furnace according to claim 5, wherein the carrying roller and the contact portion of the carrying tray with the carrying roller are made of the same material.
子状に組み合わせてなることを特徴とする請求項５乃至
請求項８の何れかに記載の熱処理炉。9. The heat treatment furnace according to claim 5, wherein the transport tray is formed by combining a plurality of frames in a grid pattern.
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|---|---|---|---|
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