JP2003198114A - Spherical body pasting apparatus - Google Patents

Spherical body pasting apparatus

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JP2003198114A
JP2003198114A JP2001394650A JP2001394650A JP2003198114A JP 2003198114 A JP2003198114 A JP 2003198114A JP 2001394650 A JP2001394650 A JP 2001394650A JP 2001394650 A JP2001394650 A JP 2001394650A JP 2003198114 A JP2003198114 A JP 2003198114A
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正樹 武居
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spherical body pasting apparatus capable of pasting a spherical body such as a solder ball to a spherical body pasting place of a target work one by one without fail. <P>SOLUTION: A spherical body pasting apparatus 10 comprises a stage 16 for supporting a target work, a tray 22 for storing spherical bodies, a nozzle 26 for suctioning the spherical bodies stored in the tray 22 and pasting the suctioned spherical bodies to a target work, and a control section for matching the position of the nozzle 26 with that of the spherical body pasting place of the target work to paste them. A recess 26c is provided to the tip of the nozzle 26, which has a diameter slightly larger than that of the spherical body and a depth slightly shallower than the diameter of the spherical body. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はBGA、CSP素子
等を実装するために、はんだボール等の球状体を基板な
どの被加工品に貼り付ける装置に関し、より詳細には、
ノズルがはんだボール等の球状体を常に一つずつ吸着
し、被加工品に貼り付けることを可能とした球状体の貼
付装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for attaching a spherical body such as a solder ball to a work piece such as a substrate for mounting a BGA, a CSP device and the like.
The present invention relates to a spherical body sticking apparatus capable of always sticking spherical bodies such as solder balls one by one and sticking them to a workpiece.

【0002】[0002]

【従来の技術】BGAやCSP素子等を実装する場合に
おいて、はんだボール等の球状体を基板等の被加工品に
貼り付ける方法は、基板のはんだボールを貼り付ける位
置に合わせて貫通孔を設けた治具により、はんだボール
を基板に誘導して、基板にはんだボールを貼り付けする
ものが多い。また、試作基板は、はんだボールの貼り付
け位置を特定することが困難であることから、はんだボ
ールの貼り付け位置を顕微鏡をのぞきながら確認して手
作業によりはんだボールを貼り付ける方法が主流であっ
た。しかしながら、試作基板等においては、基板を試作
するたびに治具を製作すると、時間とコストがかかりす
ぎてしまい、製品のコストアップにつながるといった課
題があった。そこで、はんだボールの貼り付け作業を自
動化するために、はんだボールをエアの吸引により吸着
するノズルと、基板のパターンを認識して、認識結果か
らはんだボール貼付位置を選択可能なプログラムを格納
した記憶装置を備えたはんだボール貼付装置が提供され
た。
2. Description of the Related Art When mounting a BGA or CSP element or the like, a method of attaching a spherical body such as a solder ball to a work piece such as a substrate is to provide a through hole in accordance with the position where the solder ball of the substrate is attached. In many cases, a jig is used to guide the solder balls to the substrate and to attach the solder balls to the substrate. Also, since it is difficult to specify the solder ball attachment position on the prototype board, the mainstream method is to confirm the solder ball attachment position through a microscope and attach the solder balls manually. It was However, in the case of a prototype board or the like, if a jig is manufactured every time a board is prototyped, it takes too much time and cost, which leads to an increase in product cost. Therefore, in order to automate the solder ball sticking operation, a memory that stores a program that can recognize the nozzle that sucks the solder ball by sucking air and the board pattern and select the solder ball sticking position from the recognition result is stored. A solder ball application device provided with the device is provided.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】これにより、はんだボ
ールの貼り付け作業が自動化されたものの、はんだボー
ルが小型になってきたりすると、非常に軽量になるた
め、エアの吸引によりノズル先端部に複数のはんだボー
ルが吸着されてしまう場合があり、はんだボールを1つ
ずつ正確に基板へ貼り付けることが非常に困難であると
いう課題があった。また、はんだボールが収納されてい
るトレイには、ノズルの進入部分が設けられており、は
んだボールをノズルに吸着させやすくするために、トレ
イ内にエアを送り、はんだボールを攪拌させているが、
はんだボールがノズルの進入部分から外部に吹き飛ばさ
れてしまうといった課題もあった。このように、はんだ
ボール貼付装置に代表される球状体の貼付装置球状体が
小さくなると正確な貼り付け作業や整然とした作業環境
の確保が困難であるという課題を有している。
As a result, although the solder ball sticking operation is automated, when the solder ball becomes smaller, it becomes very light weight, and therefore a plurality of nozzles are attached to the tip of the nozzle by sucking air. However, there is a problem in that it is very difficult to accurately attach the solder balls one by one to the substrate. Further, the tray in which the solder balls are stored is provided with a nozzle entry portion, and air is sent into the tray to agitate the solder balls in order to facilitate the suction of the solder balls to the nozzles. ,
There was also a problem that the solder balls would be blown outside from the entry portion of the nozzle. As described above, there is a problem in that it is difficult to ensure an accurate sticking operation and an orderly work environment when the sticking device spherical body represented by the solder ball sticking device is small.

【0004】そこで、本発明はこれらの課題を解決すべ
くなされたものであり、その目的とするところは、球状
体の貼付装置において、球状体をノズルに一つだけ吸着
支持することができて、球状体の貼り付け操作を確実に
行うことができ、また、球状体の収納トレイから球状体
が吹き飛ばされないようにすることを可能とする球状体
の貼付装置を提供することにある。
Therefore, the present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to allow only one spherical body to be adsorbed and supported by a nozzle in a spherical body sticking apparatus. An object of the present invention is to provide a spherical body sticking device capable of surely performing the sticking operation of the spherical body and preventing the spherical body from being blown off from the tray for storing the spherical body.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するべ
く、本発明は以下の構成を備える。すなわち、被加工品
を支持するステージと、球状体を収納するトレイと、ト
レイに収納された球状体を吸着し、吸着した球状体を被
加工品に貼り付けるためのノズルと、ノズルと前記被加
工品の球状体の貼り付け位置とを位置合わせして貼り付
ける制御部とにより構成される球状体貼付装置におい
て、前記ノズルの先端部には、球状体よりもわずかに大
径で、球状体の径よりもわずかに浅い深さを有する凹部
が設けられていることを特徴とする球状体貼付装置であ
る。また、前記制御部が、被加工品の球状体の貼り付け
位置を撮影するためのカメラと、カメラにより撮影され
た画像を処理する演算装置と、演算装置の演算結果に基
づいて、ノズルと被加工品の球状体を貼り付ける位置と
を位置合わせするための位置合わせ機構を備えてている
ことを特徴とする球状体貼付装置である。これらによ
り、球状体を基板等に貼り付ける際に、吸着ノズルを基
板等に接近させることができるようになったので、球状
体を正確に基板に貼り付けを行うことができる。
In order to achieve the above object, the present invention has the following constitution. That is, a stage for supporting the workpiece, a tray for storing the spherical body, a nozzle for adsorbing the spherical body accommodated in the tray and adhering the adsorbed spherical body to the workpiece, the nozzle and the nozzle. In a spherical body sticking apparatus configured by a control unit for sticking together a pasting position of a spherical body of a processed product, a spherical body having a diameter slightly larger than the spherical body at the tip of the nozzle. The spherical body sticking device is characterized in that a concave portion having a depth slightly shallower than the diameter is provided. In addition, the control unit, a camera for photographing the attachment position of the spherical body of the workpiece, an arithmetic unit for processing the image photographed by the camera, based on the calculation result of the arithmetic unit, the nozzle and the nozzle A spherical body sticking device comprising a positioning mechanism for aligning a position where a spherical body of a processed product is stuck. As a result, when the spherical body is attached to the substrate or the like, the suction nozzle can be brought close to the substrate or the like, so that the spherical body can be accurately attached to the substrate.

【0006】また、前記トレイには、前記ノズルが進入
する部分にシャッターを設けていることを特徴とする球
状体貼付装置である。さらに、前記シャッターは、ノズ
ル中央部分からノズルの外側部分へ向けて放射状に切り
込みを設けることにより形成されていることを特徴とす
る球状体貼付装置である。さらにまた、前記シャッター
は切り込みの中心部周辺において、切り込みの外側から
切り込みの中心側にかけて徐々に部材厚が薄くなるテー
パー状に形成されていることを特徴とする球状体貼付装
置である。また、前記シャッターはゴムからなることを
特徴とする球状体貼付装置である。これらにより、球状
体の収納トレイから球状体が吹き飛ばされるおそれがな
くなる。また、吸着ノズルに球状体が複数吸着されそう
になった場合において、シャッターがすり切りの作用を
なすので、吸着ノズルには常に一つの球状体が吸着され
るようになる。
Further, in the spherical body sticking device, the tray is provided with a shutter at a portion where the nozzle enters. Further, in the spherical body sticking device, the shutter is formed by radially providing cuts from a central portion of the nozzle toward an outer portion of the nozzle. Furthermore, in the spherical body sticking device, the shutter is formed in a taper shape in which the member thickness gradually decreases from the outside of the cut to the center side of the cut around the center of the cut. Further, in the spherical body sticking device, the shutter is made of rubber. As a result, there is no possibility of the spherical body being blown off from the spherical body storage tray. Further, when a plurality of spherical bodies are likely to be adsorbed by the suction nozzle, the shutter acts as a scraper, so that one spherical body is always adsorbed by the suction nozzle.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る球状体の貼
付装置の好適な実施の形態について図面と共に詳細に説
明する。なお、本実施の形態においては、基板にはんだ
ボールを貼り付けるためのはんだボール貼付装置に本発
明を適用したものについて説明をすすめていくことにす
る。図1は、はんだボールの貼付装置の全体構成を示す
説明図である。本実施の形態のはんだボール貼付装置1
0は、被加工品としての基板12を供給するベルトコン
ベア14と、基板12をエアにより吸着固定するステー
ジ16と、ステージ16を支持して、X−Y方向に移動
可能な第1のテーブル18と、はんだボール20を収納
するトレイ22と、トレイ22をY方向に移動させるた
めの第2のテーブル24と、収納トレイ22に収納され
ているはんだボール20を吸着し、基板12に貼り付け
るためのノズル26と、基板12の配線パターンを撮影
するためのカメラ28および、カメラ28により撮影さ
れた基板12の配線パターンの画像データに基づいて、
基板12へのはんだボール20の貼り付けを制御する制
御部とを備える。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a device for attaching a spherical body according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the present embodiment, a description will be given of a solder ball sticking device for sticking solder balls to a substrate to which the present invention is applied. FIG. 1 is an explanatory view showing the overall configuration of a solder ball sticking apparatus. Solder ball sticking apparatus 1 of the present embodiment
Reference numeral 0 denotes a belt conveyor 14 for supplying a substrate 12 as a workpiece, a stage 16 for adsorbing and fixing the substrate 12 with air, and a first table 18 supporting the stage 16 and movable in the XY directions. A tray 22 for housing the solder balls 20, a second table 24 for moving the tray 22 in the Y direction, and a solder ball 20 housed in the housing tray 22 for adsorbing and adhering to the substrate 12. Of the nozzle 26, a camera 28 for photographing the wiring pattern of the substrate 12, and image data of the wiring pattern of the substrate 12 photographed by the camera 28,
A control unit that controls the attachment of the solder balls 20 to the substrate 12 is provided.

【0008】ベルトコンベア14ははんだボール20を
貼り付けする基板12をステージ16近傍まで搬送する
ための搬送手段である。ステージ16はX−Y方向に移
動可能な第1のテーブル18に設けられ、第1のテーブ
ル18の移動と共に基板12がX−Y方向に移動可能と
なっている。さらに、基板12をエアの吸引により吸着
固定するための吸着孔16aが設けられている。本実施
の形態のはんだボール貼付装置10で使用しているはん
だボール20は、直径が約0.3mmであり、トレイ2
2に収納されている。トレイ22は第2のテーブル24
に載置され、Y方向に移動可能になっている。第1のテ
ーブル18および第2のテーブル24は演算装置等を備
えた制御部により位置の調整がなされる。28はカメラ
である。カメラ28はCCDなどに代表される小型カメ
ラが主に用いられている。カメラ28によって撮影され
た映像は、制御部に備えられた演算装置により処理さ
れ、モニタ30に画像データとして表示される。モニタ
30は、基板12へのはんだボール20の貼り付け位置
を選択可能とするプログラムと連携しており、モニタ3
0を見ながら、はんだボール20の貼り付け位置を決定
することが可能な構成になっている。
The belt conveyor 14 is a conveying means for conveying the substrate 12 to which the solder balls 20 are attached to the vicinity of the stage 16. The stage 16 is provided on a first table 18 which is movable in the XY directions, and the substrate 12 is movable in the XY directions along with the movement of the first table 18. Further, a suction hole 16a for sucking and fixing the substrate 12 by suction of air is provided. The solder ball 20 used in the solder ball sticking apparatus 10 of the present embodiment has a diameter of about 0.3 mm, and the tray 2
It is stored in 2. The tray 22 is the second table 24
It is mounted on the and is movable in the Y direction. The positions of the first table 18 and the second table 24 are adjusted by a control unit including an arithmetic device and the like. 28 is a camera. A small camera represented by a CCD or the like is mainly used as the camera 28. The video image captured by the camera 28 is processed by the arithmetic device provided in the control unit and displayed on the monitor 30 as image data. The monitor 30 cooperates with a program that allows the position where the solder balls 20 are attached to the substrate 12 to be selected.
The configuration is such that the attachment position of the solder ball 20 can be determined while watching 0.

【0009】図2ははんだボールをノズルにより吸着さ
せる機構を示す説明図である。図3はノズル先端部の構
造を示す説明図である。また、図4はトレイのシャッタ
ーの平面図である。図5はノズルとシャッターとの相互
の関係を示す説明図である。26はエアの吸引により、
はんだボール20を吸着固定し、基板12に貼り付ける
ためのノズルである。ノズル26は図3に示すように、
外側円筒部26aと内側円筒部26bとを接着により一
体に形成した二重構造に形成される。外側円筒部26a
の内径は、はんだボール20の径よりわずかに大きく形
成され、内側円筒部の内径は、はんだボールの径より小
さく形成されている。
FIG. 2 is an explanatory view showing a mechanism for attracting solder balls by a nozzle. FIG. 3 is an explanatory view showing the structure of the tip of the nozzle. FIG. 4 is a plan view of the tray shutter. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the mutual relationship between the nozzle and the shutter. 26 is air suction,
It is a nozzle for adsorbing and fixing the solder ball 20 and adhering it to the substrate 12. The nozzle 26, as shown in FIG.
The outer cylindrical portion 26a and the inner cylindrical portion 26b are integrally formed by adhesion to have a double structure. Outer cylindrical portion 26a
The inner diameter of is formed to be slightly larger than the diameter of the solder ball 20, and the inner diameter of the inner cylindrical portion is formed to be smaller than the diameter of the solder ball.

【0010】このようにして組み立てられたノズル26
の先端部には、はんだボール20の径よりわずかに広い
内径で、はんだボール20の径よりわずかに浅い深さを
有する凹部26cが形成される。これにより、内側円筒
部26bにはんだボール20を吸着させた状態で、はん
だボール20が外側円筒部26aと内側円筒部26bで
囲まれた凹部26c内に収納されるようになっている。
本実施の形態における凹部26cは、ノズル先端の凹部
26cにはんだボール20を吸着させた状態で、はんだ
ボール20の外面の一部がノズル先端から突出するよう
に形成されている。
The nozzle 26 assembled in this way
A concave portion 26c having an inner diameter slightly larger than the diameter of the solder ball 20 and a depth slightly shallower than the diameter of the solder ball 20 is formed at the tip of the. As a result, the solder balls 20 are housed in the recessed portion 26c surrounded by the outer cylindrical portion 26a and the inner cylindrical portion 26b in a state where the solder balls 20 are attracted to the inner cylindrical portion 26b.
The recess 26c in the present embodiment is formed such that a part of the outer surface of the solder ball 20 projects from the nozzle tip in a state where the solder ball 20 is adsorbed by the recess 26c at the nozzle tip.

【0011】このようにノズル26を外側円筒部26a
の内側に内側円筒部26bを引き込ませて設けた二重構
造としたことにより、吸着されたはんだボール20を基
板12に貼り付けする際においては、ノズル26の先端
面を基板12のはんだペーストの直前まで接近させた位
置ではんだボール20を貼り付けることが可能になる。
ノズル26の先端面を基板12のはんだペーストに近づ
けてはんだボール20のエア吸着を解除すると、ノズル
26の外側円筒部26aの内側側壁によりガイドされて
はんだボール20が落下することにより、はんだボール
20を基板12に対して精密に位置決めして貼り付けす
ることが可能となる。
As described above, the nozzle 26 is connected to the outer cylindrical portion 26a.
By adopting a double structure in which the inner cylindrical portion 26b is drawn inside, the tip end surface of the nozzle 26 is attached to the solder paste of the substrate 12 when the attracted solder balls 20 are attached to the substrate 12. It is possible to attach the solder ball 20 at a position brought close to immediately before.
When the tip end surface of the nozzle 26 is brought close to the solder paste of the substrate 12 and the air adsorption of the solder ball 20 is released, the solder ball 20 is guided by the inner side wall of the outer cylindrical portion 26a of the nozzle 26, and the solder ball 20 falls. Can be precisely positioned and attached to the substrate 12.

【0012】図2において、22ははんだボール20を
収納するトレイである。トレイ22には、ノズル26が
進入可能なシャッター22aを設けている。シャッター
22aはトレイ22の上蓋に相当する部分に設けられ、
シリコンゴム等の滑りのよい材料により形成され、図4
に示すようにノズル26の進入口として、ノズル26の
中心軸との交点から外側に向けて放射状に延びる平面視
十文字型に形成された切り込み22bが設けられてい
る。トレイ22からはんだボール20を取り出す際は、
切り込み22bの中心からトレイ22にノズル26を進
入させる。ノズル26を切り込み22bの中央部分から
トレイ22に進入させると、シャッター22aが図5の
破線の状態に弾性変形する。
In FIG. 2, reference numeral 22 is a tray for storing the solder balls 20. The tray 22 is provided with a shutter 22a into which the nozzle 26 can enter. The shutter 22a is provided in a portion corresponding to the upper lid of the tray 22,
It is made of a material having good sliding property such as silicone rubber, and is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, a notch 22b formed in a cross shape in plan view extending radially outward from the intersection with the central axis of the nozzle 26 is provided as the entrance of the nozzle 26. When taking out the solder balls 20 from the tray 22,
The nozzle 26 is inserted into the tray 22 from the center of the cut 22b. When the nozzle 26 is inserted into the tray 22 from the central portion of the cut 22b, the shutter 22a elastically deforms to the state of the broken line in FIG.

【0013】エア供給手段によりトレイ22の下部から
はトレイ22内にエアが常時送入されており、これによ
ってはんだボール20が攪拌されている。ノズル26か
らエアを吸引すると、ノズル26の先端の凹部26cに
はんだボール20が吸着する。はんだボール20は非常
に軽量であるため、ノズル26の凹部26c以外にもエ
ア吸引力によりはんだボール20、20、・・・が図5
に示すようにブドウの房状に吸引されてしまう。本発明
によれば、ノズル26をトレイ22から抜き出す際に、
シャッター22aがノズル26に吸引されたはんだボー
ル20、20、20・・・をすり切りする状態になるた
め、ノズル先端の凹部26c以外に吸着されたはんだボ
ール20、20、・・・はトレイ22内に払い落とされ
ることになる。したがって、ノズル26がトレイ22か
ら引き抜かれた時には、ノズル先端の凹部26cに一つ
のはんだボール20が吸着された状態にすることができ
るのである。
Air is constantly sent from the lower portion of the tray 22 into the tray 22 by the air supply means, and the solder balls 20 are agitated by this. When air is sucked from the nozzle 26, the solder ball 20 is sucked into the recess 26 c at the tip of the nozzle 26. Since the solder balls 20 are extremely lightweight, the solder balls 20, 20, ...
As shown in, it is sucked into a tuft of grapes. According to the present invention, when the nozzle 26 is pulled out from the tray 22,
Since the shutter 22a is in a state of scraping off the solder balls 20, 20, 20, ... Suctioned by the nozzle 26, the solder balls 20, 20, .. Will be paid off. Therefore, when the nozzle 26 is pulled out from the tray 22, one solder ball 20 can be adsorbed in the recess 26c at the tip of the nozzle.

【0014】図6はシャッターの他の実施の形態を示す
説明図である。本実施の形態においては、トレイ22の
上蓋部分に設けられたシャッター22aの切り込み部の
先端部周辺の形状を根元(外側)部分から先端(中央)
部分に徐々に部材の厚さが薄くなるようなテーパー状に
形成したことを特徴としている。部材の厚さを薄く形成
した部分が変形しやすくなっていることにより、シャッ
ター22aを介してトレイ22内にノズル26が進入し
た場合、ノズル26の進入に伴い、シャッター22aの
切り込みの先端部分(中央部分)が変形して、シャッタ
ー22aの切り込みの先端部分(中央部分)部分は、ノ
ズル26の外周面にならって折れ曲がるようにして変形
し、根元(外側)部分の変形量は小さくなる。
FIG. 6 is an explanatory view showing another embodiment of the shutter. In the present embodiment, the shape around the tip of the notch of the shutter 22a provided in the upper lid portion of the tray 22 is changed from the root (outer) portion to the tip (center).
It is characterized in that the part is formed in a taper shape so that the thickness of the member is gradually reduced. When the nozzle 26 enters the tray 22 through the shutter 22a, the tip portion of the cut of the shutter 22a ( The central portion) is deformed, the tip portion (central portion) of the cut of the shutter 22a is deformed so as to be bent along the outer peripheral surface of the nozzle 26, and the deformation amount of the root (outer) portion is reduced.

【0015】シャッター22aは、ノズルと接触する部
分の近傍において、根元(外側)から先端(中央側)部
分にかけて部材の厚さが徐々に薄くなるようなテーパー
状に形成されていることにより、ノズル26に対してシ
ャッター22aが鋭角に接触し、ノズル26とのすべり
性が向上し、ノズル26がトレイ22から引き抜かれる
際においては、ノズル26に吸着したはんだボール20
をすり切りする効果が向上して、より確実に余分なはん
だボール20を取り除くことができるため。
The shutter 22a is formed in a taper shape in which the thickness of the member is gradually reduced from the root (outside) to the tip (center side) in the vicinity of the portion in contact with the nozzle. The shutter 22a comes into contact with the nozzle 26 at an acute angle to improve the sliding property with the nozzle 26, and when the nozzle 26 is pulled out from the tray 22, the solder ball 20 attracted to the nozzle 26
This is because the effect of cutting off the solder is improved and the extra solder balls 20 can be removed more reliably.

【0016】また、シャッター22aの根元(外側)部
分の変形量が大きいと、ノズル26を進入させた際にシ
ャッター22aの切り込み部分に隙間が生じ、トレイ2
2内にエアを吹き込んではんだボール20を攪拌させる
と、トレイ22からはんだボール20が飛び出してしま
うことが考えられる。本実施の形態のように、シャッタ
ー22aの根元(外側)部分を厚く形成し、その部分の
変形量を小さくすると、シャッター22aの切り込み部
分に隙間が生じにくくなり、トレイ22の内部からはん
だボール20が飛び出してしまうことを効果的に防止す
ることができる。
If the amount of deformation of the root (outer) portion of the shutter 22a is large, a gap is created in the cut portion of the shutter 22a when the nozzle 26 is inserted, and the tray 2
When air is blown into 2 to agitate the solder balls 20, it is possible that the solder balls 20 jump out from the tray 22. If the root (outer) portion of the shutter 22a is formed thick and the amount of deformation of that portion is reduced as in the present embodiment, a gap is less likely to be created in the cut portion of the shutter 22a, and the solder ball 20 is removed from the inside of the tray 22. Can be effectively prevented from popping out.

【0017】さらに、図7に示すようにシャッター22
aの切り込み数を増やすことによっても、シャッター2
2aの先端(中央)部分の変形量を大きくして、根元
(外側)部分の変形量を小さくさせることによりトレイ
22の密閉性を高めることや、ノズル26に吸着された
余分なはんだボール20をすり切りする効果を高めるこ
とができる。
Further, as shown in FIG.
By increasing the number of cuts in a, the shutter 2
By increasing the amount of deformation of the tip (center) portion of 2a and decreasing the amount of deformation of the root (outer side) portion, the sealing performance of the tray 22 is improved, and the extra solder balls 20 adsorbed by the nozzle 26 are removed. It is possible to enhance the effect of cutting.

【0018】さらにまた、図8に示すようにシャッター
22aを二重構造としてもよい。図8におけるシャッタ
ー22aは、上側半分22bをNBRにより成形し、下
側半分22cをウレタンにより成形し、上側半分22b
と下側半分22cを接着剤または溶融により一体に形成
した二重構造としたものである。また、他の実施の形態
と同様に、シャッター22aは、根元(外側)から先端
(内側)部分にかけて部材の厚さが徐々に薄くなるよう
なテーパー状に形成されている。このようなシャッター
22aにおいて、上側半分22bの部材材料に耐磨耗性
に優れたものを用いることにより、ノズル26との接触
による劣化を抑えることができ、また、下側半分22c
の部材材料に強度の高いものを用いることにより、シャ
ッター22aの強度およびすり切り性を確保することが
可能である。これにより、劣化が少なく、すり切り性の
高いシャッター22aとすることができ、好適である。
Furthermore, as shown in FIG. 8, the shutter 22a may have a double structure. In the shutter 22a in FIG. 8, the upper half 22b is formed by NBR, the lower half 22c is formed by urethane, and the upper half 22b is formed.
The lower half 22c and the lower half 22c are integrally formed by an adhesive or melting. Further, like the other embodiments, the shutter 22a is formed in a taper shape such that the thickness of the member gradually decreases from the root (outer side) to the tip (inner side) portion. In such a shutter 22a, it is possible to suppress deterioration due to contact with the nozzle 26 by using a material having excellent wear resistance for the material of the upper half 22b, and the lower half 22c.
It is possible to secure the strength and the wear resistance of the shutter 22a by using a high-strength member material. Accordingly, the shutter 22a with less deterioration and high abrasion resistance can be obtained, which is preferable.

【0019】続いて、本発明におけるはんだボール貼付
装置10により基板12にはんだボール20を貼り付け
る手順について説明する。図9は、はんだボール貼付装
置の作動状態を示す説明図である。まず、基板12がベ
ルトコンベア14により搬送されてくる(S1)。所定
位置まで基板12が搬送された後、第1のテーブル18
に設けられたステージ16に載置され、ステージ16の
吸着孔16aからエアを吸引することにより吸着固定さ
れる(S2)。カメラ28によりステージ16上の基板
12のパターンを撮影し、撮影画像が演算装置(図示せ
ず)に送信される(S3)。演算装置では、撮影画像を
解析し、基板12のパターンをモニタ30に出力する
(S4)。モニタ30に出力されたパターンは、はんだ
ボール20を基板12に貼り付ける位置を選択する演算
装置内のプログラムと連携しており、モニタ30の画面
上で、貼り付け位置を決定することができる。
Next, the procedure for attaching the solder balls 20 to the substrate 12 by the solder ball attaching apparatus 10 of the present invention will be described. FIG. 9 is an explanatory diagram showing an operating state of the solder ball sticking apparatus. First, the substrate 12 is conveyed by the belt conveyor 14 (S1). After the substrate 12 is transported to a predetermined position, the first table 18
It is mounted on the stage 16 provided in the stage 16 and sucked and fixed by sucking air from the suction hole 16a of the stage 16 (S2). The pattern of the substrate 12 on the stage 16 is photographed by the camera 28, and the photographed image is transmitted to a computing device (not shown) (S3). The arithmetic device analyzes the photographed image and outputs the pattern of the substrate 12 to the monitor 30 (S4). The pattern output to the monitor 30 is linked with a program in the arithmetic unit that selects the position where the solder ball 20 is attached to the substrate 12, and the attachment position can be determined on the screen of the monitor 30.

【0020】オペレータにより貼り付け位置が決定され
ると、はんだボール20を収納しているトレイ22がノ
ズル26に接近する(S5)。ノズル26がトレイ22
のシャッター22a部分からトレイ22内に進入し、ト
レイ22の下部から図示しないエア供給手段によりエア
を吹き込んでトレイ22内のはんだボール20を攪拌さ
せる。続いて、ノズル26がエアを吸引すると、攪拌さ
れていたはんだボール20がノズル26の先端部付近に
吸着される(S6)。ノズル26をトレイ22から引き
抜きながら、ノズル26先端部に吸着されている余分な
はんだボール20をシャッター22aによりすり切り、
ノズル26先端の凹部26cに一つのはんだボール20
を吸着させる(S7)。
When the sticking position is determined by the operator, the tray 22 containing the solder balls 20 approaches the nozzle 26 (S5). Nozzle 26 is tray 22
From the shutter 22a portion into the tray 22, and the air is blown from below the tray 22 by the air supply means (not shown) to agitate the solder balls 20 in the tray 22. Then, when the nozzle 26 sucks air, the agitated solder ball 20 is adsorbed near the tip of the nozzle 26 (S6). While pulling out the nozzle 26 from the tray 22, the excess solder balls 20 adsorbed at the tip of the nozzle 26 are scraped off by a shutter 22a.
One solder ball 20 is provided in the recess 26c at the tip of the nozzle 26.
Is adsorbed (S7).

【0021】ノズル26がトレイ22から完全に引き抜
かれると、トレイ22が本装置の奥側に引き下がる(S
8)。トレイ22が引き下がった後、ノズル26が第1
のテーブル18上のステージ16に吸着された基板12
に接近し、先にオペレータにより決定された、はんだボ
ール20の貼り付け位置にはんだボール20を貼り付け
る(S9)。ステージ16には、ヒータ(図示せず)が
設けられており、はんだボール20を貼り付けする前に
基板12のはんだペーストを加熱する。はんだペースト
が十分加熱されたら、ノズルのはんだボール20を基板
12に貼り付ける。はんだボール20は、ノズル26の
エア吸引を解除することにより、直接基板12に貼り付
ける場合と、ノズル26の内部から圧縮空気等をはんだ
ボール20に吹き付けることにより、はんだボール20
をノズル26先端の凹部26cから離れさせ、基板12
の貼り付け位置のはんだペーストにはんだボール20を
貼り付ける。
When the nozzle 26 is completely pulled out from the tray 22, the tray 22 is pulled down to the inner side of the apparatus (S).
8). After the tray 22 is pulled down, the nozzle 26 is
Substrate 12 adsorbed on stage 16 on table 18 of
And the solder ball 20 is attached to the attachment position of the solder ball 20 previously determined by the operator (S9). A heater (not shown) is provided on the stage 16 and heats the solder paste on the substrate 12 before the solder balls 20 are attached. When the solder paste is sufficiently heated, the solder ball 20 of the nozzle is attached to the substrate 12. The solder ball 20 is directly attached to the substrate 12 by releasing the air suction of the nozzle 26, and the solder ball 20 is blown with compressed air or the like from the inside of the nozzle 26.
From the recess 26c at the tip of the nozzle 26,
The solder balls 20 are attached to the solder paste at the attachment position of.

【0022】はんだボール20はノズル26から離れ、
貼り付け位置のはんだペーストまで自由落下する。はん
だボール20は非常に軽量であるため、わずかな空気の
流れがあってもその影響を受け、所定位置から位置ずれ
してはんだペーストに貼り付いてしまうことがあった
が、ノズル26先端の凹部26cを構成する外側円筒部
26aの内側側壁により、はんだボール20は落下する
方向がガイドされているので、空気の流れの影響を受け
にくくなり、はんだボール20を基板12のはんだペー
ストの位置にピンポイントで貼り付けることが可能にな
る。以上(S1〜S9)の動作を繰り返すことにより、
基板12の所定位置すべてにはんだボール20を貼り付
ける。以上に説明した各可動部分は図示しない制御部に
よりそれぞれの動作が制御されている。
The solder ball 20 is separated from the nozzle 26,
Freely drops to the solder paste at the attachment position. Since the solder ball 20 is extremely lightweight, it may be affected by even a slight air flow and may be displaced from a predetermined position and stick to the solder paste. Since the solder ball 20 is guided in the falling direction by the inner side wall of the outer cylindrical portion 26a that constitutes 26c, it is less affected by the flow of air, and the solder ball 20 is pinned to the position of the solder paste on the substrate 12. It becomes possible to paste in points. By repeating the above operations (S1 to S9),
The solder balls 20 are attached to all the predetermined positions of the substrate 12. The operation of each movable part described above is controlled by a controller (not shown).

【0023】基板12の所定位置のすべてにはんだボー
ル20が貼り付けられた後、再びカメラ28により基板
を撮影する(S10)。撮影画像が演算装置(図示せ
ず)に送信され、演算装置が撮影画像を解析し、基板1
2の状態をモニタ30に出力する(S11)。これによ
り、基板12の所定位置にはんだボール20が貼り付け
られているか否か、また、はんだボール20の貼り付け
状態を確認することができるため、高品位な基板12を
製作することが可能である。
After the solder balls 20 are attached to all the predetermined positions of the board 12, the board 28 is photographed again by the camera 28 (S10). The captured image is transmitted to a computing device (not shown), the computing device analyzes the captured image, and the substrate 1
The state 2 is output to the monitor 30 (S11). As a result, it is possible to confirm whether or not the solder balls 20 are attached to the predetermined positions of the substrate 12 and the attached state of the solder balls 20, so that a high-quality substrate 12 can be manufactured. is there.

【0024】以上に説明したように、本発明を適用した
はんだボールの貼り付け装置によれば、ノズル先端部に
吸着させるはんだボール20は常に1つにすることがで
きるため、基板12の所定位置のはんだペーストにはん
だボール20を貼り付けることができる。また、シャッ
ター22aを設けていることにより、ノズル26に余分
に吸着されたはんだボール20をすり切りしてトレイ2
2内に落下させることができ、ノズル26をトレイ22
から引き抜いた際に、ノズル26に余分に吸着されたは
んだボール20が散らばってしまうことがない。
As described above, according to the solder ball sticking apparatus to which the present invention is applied, the number of the solder balls 20 to be attracted to the tip of the nozzle can be always one. The solder balls 20 can be attached to the solder paste. Further, since the shutter 22a is provided, the solder balls 20 excessively adsorbed by the nozzles 26 are scraped off and the tray 2 is removed.
2 can be dropped into the tray 22,
When the solder balls 20 are pulled out from the nozzles 26, the solder balls 20 excessively adsorbed by the nozzles 26 are not scattered.

【0025】本発明に係るはんだボール貼付装置10
は、以上に説明した実施の形態に限定されるわけではな
い。例えば、ベルトコンベア13等の搬送部を省略し、
人手で被加工物をステージ16に載置する半自動装置と
すれば、本体の製造コストを抑えることが可能である。
また、ノズル26は複数の部材を接着するのではなく、
単体で形成してもよい。さらに、シャッター22aはト
レイ22の上蓋部分ではなく、側壁部分に設けてもよい
し、実施の形態で説明したように一枚のゴム板に切り込
みを入れて形成するだけでなく、小片のゴム板を複数枚
ラップさせてシャッター22aを形成してもよい。さら
にまた、シャッターはプラスチックや金属等からなるも
のでも本発明を構成することは十分に可能である。この
ように発明の精神を逸脱しない限り、実施の形態を変更
してもかまわないのはもちろんである。
Solder ball sticking apparatus 10 according to the present invention
Is not limited to the embodiment described above. For example, omitting the conveyor such as the belt conveyor 13,
A semi-automatic device for manually placing the workpiece on the stage 16 can reduce the manufacturing cost of the main body.
Further, the nozzle 26 does not bond a plurality of members,
It may be formed alone. Further, the shutter 22a may be provided not on the upper lid portion of the tray 22 but on the side wall portion. Not only is the shutter 22a formed by cutting one rubber plate as described in the embodiment, but also a small rubber plate. The shutter 22a may be formed by wrapping a plurality of sheets. Furthermore, the present invention can be sufficiently configured even if the shutter is made of plastic or metal. As a matter of course, the embodiment may be modified without departing from the spirit of the invention.

【0026】以上、本発明を適用した具体的な例として
はんだボールの貼付装置について詳細に説明してきた
が、本発明はこれに限定されるわけではない。例えば、
球状態には、銅球、鉄球、アルミニウム球、プラスチッ
ク球等が考えられ、これらの球状体を被加工品の所定位
置に貼り付けする装置であっても本発明の対象になるの
はもちろんである。
The solder ball sticking device has been described in detail as a specific example to which the present invention is applied, but the present invention is not limited to this. For example,
As the sphere state, copper spheres, iron spheres, aluminum spheres, plastic spheres, etc. are conceivable, and it goes without saying that even a device for sticking these spheres at a predetermined position of a workpiece is not the subject of the present invention. Is.

【0027】[0027]

【発明の効果】ノズル先端部に球状体よりわずかに広い
内幅と、球状体よりわずかに浅い深さを有する凹部を設
けることにより、球状体が多数収納されているトレイに
ノズルを進入させ、エアを吸引することにより球状体を
ノズル先端部に吸着させる際において、常に一つの球状
体だけを吸着させやすくすることができる。また、トレ
イの上蓋部分にシャッターを設けていることにより、ノ
ズル先端凹部以外に吸着された余分な球状体をすり切り
し、ノズル先端部分から落下させることができるため、
ほぼ確実にノズル先端部分に吸着される球状体を一つに
することができる。また、ノズルをトレイから引き抜く
際に、トレイ中の球状体が飛び出してくるおそれがない
ため、トレイ周りが散らかることがなく、球状体を節約
することができる。
EFFECTS OF THE INVENTION By providing a concave portion having a slightly wider inner width than a spherical body and a depth slightly shallower than the spherical body at the tip of the nozzle, the nozzle is allowed to enter a tray containing a large number of spherical bodies, By sucking air, it is possible to easily attract only one spherical body at the time of adsorbing the spherical body to the nozzle tip portion. Further, by providing the shutter on the upper lid portion of the tray, it is possible to scrape off the extra spherical body adsorbed to other than the nozzle tip concave portion and drop it from the nozzle tip portion,
It is possible to almost surely make one spherical body adsorbed to the tip portion of the nozzle. Further, when the nozzle is pulled out from the tray, there is no possibility that the spherical bodies in the tray will pop out, so that the periphery of the tray will not be scattered and the spherical bodies can be saved.

【0028】さらに、シャッターはその先端部周辺にお
いて、外側から先端側にかけてシャッターの厚さが徐々
に薄くなるようなテーパー状に形成されていることによ
り、ノズルに対して鋭角に接触することになるので、ノ
ズルに吸着された球状体のすり切り効率が向上する。ま
た、部材厚の小さい部分が主に変形するため、シャッタ
ー全体としての変形量が減少するので、切り込み部分に
生じる隙間が小さくなり、トレイ内の球状体が飛び出し
にくくなる。さらにまた、シャッターをゴム製としたこ
とにより、すべり性がよくなり、さらにすり切り効果が
向上するなどといった著効を奏する。
Further, since the shutter is formed in a taper shape in the vicinity of the tip end portion such that the thickness of the shutter gradually decreases from the outer side to the tip end side, the shutter comes into contact with the nozzle at an acute angle. Therefore, the scraping efficiency of the spherical body adsorbed by the nozzle is improved. Further, since the portion having a small member thickness is mainly deformed, the amount of deformation of the shutter as a whole is reduced, so that the gap generated in the cut portion is reduced and the spherical body in the tray is less likely to pop out. Furthermore, since the shutter is made of rubber, the sliding property is improved, and the abrasion effect is further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】はんだボールの貼付装置の全体構成を示す説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an overall configuration of a solder ball sticking device.

【図2】はんだボールをノズルにより吸着させる機構を
示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a mechanism for attracting solder balls by a nozzle.

【図3】ノズル先端部の構造を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a structure of a nozzle tip portion.

【図4】トレイのシャッターの平面図である。FIG. 4 is a plan view of a tray shutter.

【図5】ノズルとシャッターとの相互の関係を示す説明
図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a mutual relationship between a nozzle and a shutter.

【図6】シャッターの他の実施の形態を示す説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing another embodiment of the shutter.

【図7】シャッターの他の実施の形態を示す平面図であ
る。
FIG. 7 is a plan view showing another embodiment of the shutter.

【図8】シャッターの他の実施の形態を示す平面図であ
る。
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment of the shutter.

【図9】はんだボール貼付装置の作動状態を示す説明図
である。
FIG. 9 is an explanatory view showing an operating state of the solder ball sticking device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 はんだボール貼付装置 12 基板 20 はんだボール 22 トレイ 22a シャッター 26 ノズル 26a 外側円筒部 26b 内側円筒部 26c 凹部 28 カメラ 10 Solder ball sticking device 12 substrates 20 solder balls 22 trays 22a shutter 26 nozzles 26a Outer cylindrical portion 26b Inner cylindrical part 26c recess 28 cameras

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被加工品を支持するステージと、球状体
を収納するトレイと、トレイに収納された球状体を吸着
し、吸着した球状体を被加工品に貼り付けるためのノズ
ルと、ノズルと前記被加工品の球状体の貼り付け位置と
を位置合わせして貼り付ける制御部とにより構成される
球状体貼付装置において、 前記ノズルの先端部には、球状体よりもわずかに大径
で、球状体の径よりもわずかに浅い深さを有する凹部が
設けられていることを特徴とする球状体貼付装置。
1. A stage for supporting a workpiece, a tray for storing spherical bodies, a nozzle for adsorbing the spherical bodies stored in the tray, and affixing the adsorbed spherical bodies to the workpiece, and a nozzle. In a spherical body sticking device configured by a control unit for sticking the sticking position of the spherical body of the work piece in alignment with each other, the tip of the nozzle has a diameter slightly larger than that of the spherical body. A spherical body sticking device, wherein a concave portion having a depth slightly shallower than the diameter of the spherical body is provided.
【請求項2】 前記制御部が、被加工品の球状体の貼り
付け位置を撮影するためのカメラと、カメラにより撮影
された画像を処理する演算装置と、演算装置の演算結果
に基づいて、ノズルと被加工品の球状体を貼り付ける位
置とを位置合わせするための位置合わせ機構を備えてて
いることを特徴とする請求項1記載の球状体貼付装置。
2. The control unit, based on a calculation result of the arithmetic unit, a camera for photographing the attachment position of the spherical body of the workpiece, an arithmetic unit for processing an image photographed by the camera, The spherical body sticking apparatus according to claim 1, further comprising a positioning mechanism for positioning the nozzle and a position for sticking the spherical body of the workpiece.
【請求項3】 前記トレイには、前記ノズルが進入する
部分にシャッターを設けていることを特徴とする請求項
1または2記載の球状体貼付装置。
3. The spherical body sticking apparatus according to claim 1, wherein the tray is provided with a shutter at a portion where the nozzle enters.
【請求項4】 前記シャッターは、ノズル中央部分から
ノズルの外側部分へ向けて放射状に切り込みを設けるこ
とにより形成されていることを特徴とする請求項3記載
の球状体貼り付け装置。
4. The spherical body sticking device according to claim 3, wherein the shutter is formed by radially providing notches from a central portion of the nozzle toward an outer portion of the nozzle.
【請求項5】 前記シャッターは切り込みの中心部周辺
において、切り込みの外側から切り込みの中心側にかけ
て徐々に部材厚が薄くなるテーパー状に形成されている
ことを特徴とする請求項3または4記載の球状体貼付装
置。
5. The shutter according to claim 3, wherein the shutter is formed in a tapered shape in which a member thickness is gradually reduced from the outside of the cut to the center side of the cut around the center of the cut. Spherical body sticking device.
【請求項6】 前記シャッターはゴムからなることを特
徴とする請求項3、4または5いずれか一項に記載の球
状体貼付装置。
6. The spherical body sticking device according to claim 3, wherein the shutter is made of rubber.
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