JP2003197969A - GaN系半導体発光素子およびそれを用いた発光装置 - Google Patents

GaN系半導体発光素子およびそれを用いた発光装置

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JP2003197969A
JP2003197969A JP2001390817A JP2001390817A JP2003197969A JP 2003197969 A JP2003197969 A JP 2003197969A JP 2001390817 A JP2001390817 A JP 2001390817A JP 2001390817 A JP2001390817 A JP 2001390817A JP 2003197969 A JP2003197969 A JP 2003197969A
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light emitting
gan
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Hiroaki Okagawa
広明 岡川
Kazuyuki Tadatomo
一行 只友
Yoichiro Ouchi
洋一郎 大内
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Mitsubishi Cable Industries Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/08Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a plurality of light emitting regions, e.g. laterally discontinuous light emitting layer or photoluminescent region integrated within the semiconductor body

Abstract

(57)【要約】 【課題】 白色光のみならず任意の有色光を発する発光
装置の構成に有用なGaN系発光素子を提供し、かつ、
該GaN系発光素子と蛍光体とを組み合わせた発光装置
を提供することにある。 【解決手段】 GaN系結晶層からなる積層構造Sを有
し、該積層構造Sに発光部Eが含まれた素子構造を有す
るGaN系発光素子に、副発光部Fを付与する。該副発
光部Fは、発光部Eから発せられた主発光L1で励起さ
れてフォトルミネッセンス光L2を発する層である。こ
の発光素子と蛍光体とを組み合わせて、発光装置を構成
し、フォトルミネッセンス光L2を出力光に含める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、2以上の波長光を
発することが可能なGaN系半導体発光素子(以下、G
aN系発光素子ともいう)、およびこれに蛍光体を組み
合わせた発光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】GaN系半導体は、青色発光可能なバン
ドギャップの大きな材料として注目され、例えば、In
GaNを発光層材料とした青色発光ダイオード(青色L
ED)や青色半導体レーザ(青色LD)が実用化された
後、近年では、紫外LEDなども商品化されている。
【0003】上記のように、青色〜紫外のGaN系LE
Dが実用化されたことから、これに蛍光体を組み合わ
せ、白色発光可能なLED(白色LED)が検討されて
いる。その1つの例として、青色LEDと黄色蛍光体と
を組み合わせた白色LEDが挙げられる。この白色LE
Dの構成は、図4(a)に模式的に示すように、青色L
EDチップを覆う樹脂モールド中に、黄色蛍光体(青色
光で励起され黄色光を発する蛍光体)を分散させたもの
である。このような構成によって、蛍光体に吸収されず
樹脂モールドを通過する青色光と、蛍光体からの黄色光
とが混ざり合い、白色光が出力されているように見え
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、青色光と黄色
光とを組み合わせた白色光は、色純度が悪く(即ち、3
原色の光を完全には含んでおらず)、照明として用いる
には好ましくない。一方、図4(b)に模式的に示すよ
うに、紫外LEDと、RGB白色蛍光体とを組み合わ
せ、色純度の良好な白色光を発生させる試みもなされて
いる。RGB白色蛍光体は、LEDからの主発光に励起
されて3原色(R、G、B、3波長)の蛍光を発する蛍
光体成分を含むものである。3原色の混色による色純度
の良好な白色光は、演色性が高く、好ましい照明用光源
となり得る。
【0005】しかし、このようなRGB白色蛍光体を用
いたものは、特定色の蛍光についての変換効率、特に赤
色についての変換効率が悪いために、該赤色蛍光体の含
有量を増加して補正する必要がある。よって、そのため
に白色光の出力が弱くなるという問題がある。
【0006】本発明の課題は、上記問題を解決し、白色
光のみならず任意の有色光を発する発光装置の構成に有
用なGaN系発光素子を提供し、かつ、該GaN系発光
素子と蛍光体とを組み合わせた発光装置を提供すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記問題
点を解決すべく研究を行った結果、GaN系半導体材料
が、組成によっては赤色光を発することも可能であるこ
とに着目し、そのような組成のGaN系結晶を素子に付
与することによって、好ましいGaN系発光素子、発光
装置を構成し得ることを見出し、本発明を完成させた。
即ち、本発明は、次の特徴を有するものである。
【0008】(1)GaN系結晶層からなる積層構造を
有し、該積層構造に、p型層とn型層とを有して構成さ
れる発光部が含まれた素子構造を有するGaN系半導体
発光素子であって、発光部から発せられた主発光で励起
されてフォトルミネッセンス光を発するGaN系結晶か
らなる副発光部を、該積層構造内の結晶層としてまたは
該積層構造外に付帯する部分として備えていることを特
徴とする、GaN系半導体発光素子。
【0009】(2)当該GaN系半導体発光素子の素子
構造が、結晶基板とその上に成長した上記積層構造とを
有するものであって、副発光部が、発光部内の発光に係
る層と結晶基板との間に位置している、上記(1)記載
のGaN系半導体発光素子。
【0010】(3)当該GaN系半導体発光素子の素子
構造が、結晶基板と、その上にn型層から先に成長した
上記積層構造とを有するものであって、該積層構造は、
上層側にp型電極を形成するためのp型コンタクト層を
有し、該p型コンタクト層が副発光部を兼ねている、上
記(1)記載のGaN系半導体発光素子。
【0011】(4)副発光部がInGaN層を有する、
上記(1)〜(3)のいずれかに記載のGaN系半導体
発光素子。
【0012】(5)副発光部が、互いに異なる組成比の
InGaN層を有する、上記(1)〜(3)のいずれか
に記載のGaN系半導体発光素子。
【0013】(6)副発光部が積層構造であって、該積
層構造には、互いに異なる組成比のInGaN層および
/または互いに同じ組成比のInGaN層が含まれてい
る、上記(1)〜(3)のいずれかに記載のGaN系半
導体発光素子。
【0014】(7)フォトルミネッセンス光が赤色光を
含んでいる、上記(1)記載のGaN系半導体発光素
子。
【0015】(8)主発光が紫外線である、上記(1)
記載のGaN系半導体発光素子。
【0016】(9)上記請求項(1)〜(8)のいずれ
かに記載のGaN系半導体発光素子と、該発光素子の主
発光によって蛍光を発する蛍光体とが組み合わせられた
構成を有し、該発光素子が発する主発光、フォトルミネ
ッセンス光、および蛍光体が発する蛍光の中から選ばれ
る2以上の光を出力光として発することを特徴とする、
発光装置。
【0017】(10)出力光が白色光となるように、上
記GaN系半導体発光素子と蛍光体との組み合わせが選
択されている、上記(9)記載の発光装置。
【0018】
【発明の実施の形態】先ず、本発明によるGaN系発光
素子(当該発光素子)を説明する。図1に素子構造の一
例を示すように、当該発光素子は、GaN系結晶層1〜
6からなる積層構造Sを有し、該積層構造Sには、n型
層2、発光層3、p型層4を有して構成される発光部E
が含まれている。当該発光素子の重要な特徴は、副発光
部Fを備えている点であって、該副発光部Fは、発光部
Eから発せられた主発光L1によって励起され、フォト
ルミネッセンス光(以下、PL光ともいう)L2を発す
るGaN系結晶からなる部分である。同図の例では、該
副発光部Fは、該積層構造内の結晶層となっているが、
後述のように該積層構造外に付帯する層や部分であって
もよい。
【0019】上記構成とすることによって、当該発光素
子から発せられる光には、主発光L1と、任意の波長の
PL光L2とを含めることができる。これによって、例
えば、当該発光素子と蛍光体とを組み合わせて1つの発
光装置を構成する場合には、該PL光を新たな波長成分
として出力光に追加することもでき、また、蛍光体から
発せられる特定の波長光を該PL光によって補強するこ
とも可能になる。よって、過度な蛍光体の使用を解消す
ることも可能になる。
【0020】当該発光素子は、LED、LDなどであっ
てよいが、以下に、LEDを例として挙げて本発明の説
明を行う。また、素子構造にも限定は無いが、図1に例
示するように、結晶基板B上に積層構造Sを気相成長さ
せたものを例として説明する。該積層構造S中のp型、
n型の層は、どちらが下側(結晶基板側)であってもよ
いが、高品質な結晶を得やすいことなどの製造上の理由
から、n型の層を下側とする態様が好ましい。以下、n
型の層を下側として素子構造を説明するがこれに限定さ
れるものではない。
【0021】発光部は、電流注入によって光を発生し得
るようにn型層とp型層とを有して構成され、発光に係
る層(発光層)を持つ。pn接合(2層)構造の発光層
は空乏層である。好ましい発光部の構造としては、量子
井戸構造(単一量子井戸(SQW)構造、多重量子井戸
(MQW)構造、SQW構造が積層されたものなど)、
DH構造が挙げられる。図1、2では、発光層を符号3
で示しているが、n型クラッド層/量子井戸構造/p型
クラッド層の構成による発光部の構造では、厳密には発
光層はその中の井戸層である。
【0022】副発光部はGaN系材料からなり、〔主発
光波長≦PL光波長〕、特に〔主発光波長<PL光波
長〕となるように、GaN系材料の組成比を決定すれば
よい。
【0023】主発光は、青色光などであってもよいが、
従来の技術の説明でも述べたように、紫外LEDとRG
B白色蛍光体との組み合わせは色純度が好ましいので、
主発光を紫外線とする態様が好ましい。
【0024】主発光とPL光との波長の組み合わせは限
定されないが、例えば、従来の技術で述べたように、紫
外LEDとRGB白色蛍光体とを組み合わせた白色LE
Dとする構成では、蛍光体の変換効率に起因して赤色成
分の光が欠乏するという問題がある。従って、PL光を
問題の赤色光の補強用に用いることは好ましい態様であ
る。
【0025】GaN系結晶によって得られる紫外線の波
長は300nm〜430nmである。紫外線発光可能な
GaN系結晶のなかでも、InXGa1-XN(0.02≦
X≦0.12、このときの発光波長375nm〜430
nm)は、出力が大きく好ましい材料である。該InX
Ga1-XNには、必要に応じてAl組成を加えてもよ
い。
【0026】RGB白色蛍光体で問題とする赤色光と
は、波長590nm〜720nm程度の光である。副発
光部からこのような赤色光を発生させる場合には、該赤
色光がPL光として発生するように、副発光部に用いら
れるGaN系材料の組成比を適宜決定すればよい。
【0027】前記の赤色光をより具体的に例示すると、
RGB白色蛍光体に含まれる赤色蛍光体(例えばErド
ープY22S)から発せられる赤色蛍光は、波長590
nm〜630nmに数本の半値幅の狭いピークを有し、
720nm付近にピークを有する。InGaNのIn組
成を50%程度とすると、中心波長650nmのブロー
ドな発光が得られ、蛍光体と同等の赤色光を発し得る。
【0028】副発光部の配置位置は限定されないが、大
きくは次の3種類に分けることができる。これらの態様
は併設してもよい。 発光層と結晶基板との間。 発光層よりも上方。 GaN系積層構造外の任意の位置。
【0029】上記の態様は、図1に示すように、副発
光部がn型側の結晶層として配置される態様である。副
発光部は、それ自体だけのために独立した層でもよい
が、n型コンタクト層、n型クラッド層などとの兼用層
でもよく、これらの層を多層構造としてその中に含めて
もよい。また、結晶基板がGaN系結晶である場合に
は、該結晶基板と副発光部とを兼用し、上記の態様に
含めてもよい。
【0030】上記の態様は、副発光部が、p型側の結
晶層(クラッド層をも含む)として配置される態様であ
る(図2(a))。上記の場合と同様、副発光部は、
独立した層として設けてもよいが、p型コンタクト層、
p型クラッド層などと兼用してもよく、また、これらの
層を多層構造としてその中に含めてもよい。
【0031】上記の態様において、p型コンタクト層
をInGaNからなる副発光部で兼用することは、好ま
しい態様の1つである。即ち、p型GaNコンタクト層
を用いた従来のGaN系発光素子では、p型コンタクト
抵抗が、1×10-3Ωcm2程度と高く、良いものでも
1×10-4Ωcm2程度である。これに対して、InG
aNをp型コンタクト層の材料として用いることが報告
されている。これによると、アクセプタ準位が浅くな
り、Hall濃度が増加するという利点や、コンタクト
抵抗が1×10-6Ωcm2程度にまで下がるという利点
が得られるとされている。
【0032】しかしながら、上記のような報告は、あく
までコンタクト層だけの改善に着目したものであって、
発光層の材料よりもバンドギャップの小さいInGaN
をp型コンタクト層に用いた場合、通常の実装方向で
は、p型コンタクト層が主発光取り出し側の最上層とし
て位置するため、この層での吸収により主発光の出力が
低下するという問題がある。これに対して、本発明で
は、単にInGaNをp型コンタクト層に用いるだけで
なく、該InGaNの組成を必要なPL光(赤色光な
ど)を発する組成へと限定する。これによって、p型I
nGaNコンタクト層の上記利点を得ながらも、同時
に、PL光によって、目的の波長光の追加や補強が可能
となる。
【0033】上記の態様では、例えば、結晶基板の裏
面など、GaN系積層構造以外の任意の位置であってよ
い。上記、の態様、特にでは、副発光部の結晶品
質が発光層の結晶品質(ひいては発光効率)に大きく影
響するので重要であるのに対して、このの態様にで
は、上記、の態様に求めるほど高品質な結晶でなく
ともよい。
【0034】副発光部は、単一の層とするだけでなく、
必要な波長光の分だけ、異なる組成比のGaN系結晶層
を有するものであってもよい。また、副発光部のGaN
系結晶の組成を1種類だけとする場合であっても、強い
PL光を発生させるには、厚い層が必要である。しか
し、副発光部にInGaNを用いる場合、InGaNの
膜厚を厚くすると結晶品質が低下し、PL光が弱くなる
為、厚膜にする事は好ましくない。この問題は、複数種
のInGaN層を厚く積層する場合も同様である。そこ
で、副発光部の構造を、InGaN/Gan/InGa
N/GaN/InGaNのように、高品質成長可能なG
aN系結晶層を介して多層に分散させることによって、
結晶の品質を低下させることなく、しかも、トータルと
して必要なInGaN層の厚さが得られる。
【0035】本発明でいうGaN系半導体とは、InX
GaYAlZN(0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦Z≦1、
X+Y+Z=1)で示される化合物半導体であって、例
えば、AlN、GaN、AlGaN、InGaNなどが
重要な化合物として挙げられる。
【0036】素子構造の形成に用いられる結晶基板は、
GaN系結晶が成長可能なものであればよい。好ましい
結晶基板としては、例えば、サファイア(C面、A面、
R面)、SiC(6H、4H、3C)、GaN、Al
N、Si、スピネル、ZnO、GaAs、NGOなどが
挙げられる。また、これらの結晶を表層として有する基
材であってもよい。なお、基板の面方位は特に限定され
なく、更にジャスト基板でも良いしオフ角を付与した基
板であっても良い。
【0037】GaN系発光素子の基本的な素子構造に加
えて、GaN系結晶の転位などの結晶欠陥密度を低下さ
せるための種々の構造・手法(低温成長バッファ層、選
択成長可能な構造)や、発光層で発生した光をより多く
外部に取り出すための種々の構造(電極構造、反射層構
造、上下を逆に実装し得るフリップチップ構造など)な
どを適宜設けることが好ましい。
【0038】GaN系結晶層の成長方法としては、HV
PE法、MOVPE法、MBE法などが挙げられる。厚
膜を作製する場合はHVPE法が好ましく、薄膜を形成
する場合はMOVPE法やMBE法が好ましい。
【0039】次に、本発明による当該発光素子と、蛍光
体とを組み合わせた発光装置について説明する。当該発
光装置は、図3に示すように、当該発光素子10と、該
発光素子の主発光L1によって蛍光L3を発する蛍光体
20とを組み合わせた構成を有する。よって、当該発光
装置の出力光は、図3に示すように、(発光素子の主発
光L1、PL光L2、蛍光体が発する蛍光L3)の中か
ら選ばれる2以上の光を含むものとなる。
【0040】主発光L1を特定の有色光とし、PL光L
2、蛍光L3と共に3者を全て出力してもよいが、主発
光L1を紫外線とし、蛍光体にRGB白色蛍光体を用い
て、RGB白色光の蛍光L3を出力させ、かつPL光L
2を色度の補正用として用いる態様が好ましい。これに
よって、発光素子10の温度上昇等に伴う出力光の色度
の変化が抑制され、また、当該発光素子から意図的に放
出させているPL光の有用性が顕著となる。図3の例で
は、主発光(紫外線)L1は紫外線反射膜によって出力
させず、PL光(赤色光)L2と、蛍光(RGB白色
光)L3だけを出力光としており、蛍光L3の赤色光欠
乏をPL光L2で補強し、3原色光のバランスの取れた
演色性良好な白色光としている。
【0041】蛍光体は、公知の材料を用いてもよい。代
表的な3原色のものを挙げると、赤色蛍光体材料として
22S:Eu(「:Eu」は、Euの添加を表す。以
下同様)、緑色蛍光体材料としてBaMgAl1017
(Eu、Mn)、青色蛍光体材料としてBaMgAl10
17:Euなどが挙げられる。RGB白色蛍光体は、こ
れらを組み合わせればよい。
【0042】上記した蛍光体の材料は、蛍光を発する物
質そのものであって、実際に蛍光体として当該発光素子
と組み合わせて発光装置を構成する場合には、塗布可能
な蛍光塗料や、組立て可能な蛍光体部品などとするのが
好ましい態様である。そのために、該蛍光体の材料に対
して、種々の基材との混ぜ合わせ、化合、基板への担
持、固化など、種々の加工を施してもよい。発光素子と
蛍光体とを組み合わせて1つの発光装置とするための結
合方法、結合構造自体は、公知技術を参照してもよい。
【0043】
【実施例】実施例1 本実施例では、当該発光素子として、主発光(波長38
2nmの紫外線)と、赤色のPL光(波長650nm)
を発するGaN系LEDを製作し、これにRGB白色蛍
光体を組み合わせて、白色発光可能な発光装置(白色L
ED)を形成した。
【0044】素子構造は、図1に示すように、副発光部
を結晶基板と発光部との間に位置させる態様とした。ま
た、発光装置の構造は、発光素子全体にRGB白色蛍光
体材料を塗布し、発光素子をRGB白色蛍光体材料で覆
う態様とした。
【0045】(発光素子の製作)MOVPE装置にC面
サファイア基板を装着し、水素雰囲気下で1100℃ま
で昇温し、サーマルエッチングを行った。温度を500
℃まで下げ、III 族原料としてトリメチルガリウム(以
下TMG)を、N原料としてアンモニアを流し、厚さ3
0nmのGaN低温バッファ層を成長させた。
【0046】続いて温度を1000℃に昇温し、原料と
してTMG、アンモニア、SiH4を流し、Siドープ
のn型GaN結晶層(コンタクト層)を3μm成長させ
た。
【0047】(副発光部)さらに、温度を700℃と
し、原料としてトリメチルインジウム(以下TMI)、
TMG、アンモニアを流し、n型In0.5Ga0.5N結晶
層を7nm成長させ副発光部とした。
【0048】温度を1000℃に上げSiドープのn型
GaN結晶層(クラッド層)を1μm成長させた。
【0049】(発光部)さらに、温度を740℃とした
後、GaN障壁層(Siを5×1017cm-3添加、厚さ
10nm)と、InGaN井戸層(主発光波長382n
m、In組成3%、厚さ3nm)とのペアを、4ペア形
成し、p層に接する最後のGaN障壁層(Siを5×1
17cm-3添加、厚さ20nm)を形成し、MQW構造
とした。
【0050】温度を1000℃に昇温後、厚さ30nm
のp型AlGaNクラッド層4、厚さ50nmのp型G
aNコンタクト層を順に形成し、主発光部と副発光部と
を備えた紫外LEDウエハとし、さらに、電極形成、素
子分離を行い、本発明によるInGaN紫外LED(ベ
アチップ状態)とした。
【0051】この紫外LEDの出力を、ベアチップ状
態、20mA通電にて測定したところ、5.5mWであ
った。発光スペクトルは主発光のピークが382nmに
あり、PL光のピークが650nmである物が得られ
た。主発光とPL光のピーク強度の比は10:1であっ
た。
【0052】(発光装置の組み立て)R・G・B蛍光体
をSi樹脂の中に分散させた物を用意し、上記紫外LE
Dを覆う様に塗布し、更にその周りをポリカーボネート
樹脂で覆い、本発明による発光装置を得た。
【0053】得られた発光装置から出力として発せられ
た白色光は、15〔ルーメン/W〕であって、R・G・
B蛍光体の蛍光バランスに起因する赤色光の不足がPL
光で補正され、好ましい演色性を示す白色光となってい
ることがわかった。
【0054】実施例2 本実施例では、上記実施例1における副発光部の位置を
移動し、p型コンタクト層が副発光部を兼用する構成と
したこと以外は、上記実施例1と同様に、発光素子、発
光装置を構成した。p型コンタクト層は、In0.5Ga
0.5N(厚さ5nm、PL光波長650nm)である。
【0055】先ず、発光素子(InGaN紫外LED)
段階での評価として、この素子の出力を、ベアチップ状
態、20mA通電にて測定したところ、実施例1と同じ
出力5.5mWが得られた。また、実施例1の素子と比
べて、20mA動作時の電圧が0.1V低下していた。
これは、InGaNコンタクト層の導入によって、p型
電極との接触抵抗が低下した為と考えられる。発光スペ
クトルは、実施例1と同様、主発光のピークが382n
mにあり、PL光のピークが650nmにあり、主発光
とPL光のピーク強度の比は10:1であった。発光装
置(白色LED)としての評価では、出力として発せら
れた白色光は、15〔ルーメン/W〕であって、実施例
1と同様、赤色光の不足が補正された好ましい演色性を
示す白色光となっていることがわかった。
【0056】比較例1 上記実施例1において副発光部を設けなかったこと以外
は、上記実施例1と同様に、発光素子(従来の紫外LE
D)、発光装置(従来の白色LED)を製作した。発光
素子段階での評価として、この紫外LEDの主発光ピー
ク382nmについての出力を、ベアチップ状態、20
mA通電にて測定したところ、5mWであった。発光装
置としての評価では、出力として発せられた白色光は、
12〔ルーメン/W〕であったが、R・G・B蛍光体の
蛍光バランスに起因する赤色光の不足によって、青みが
かった白色光であった。
【0057】比較例2 本比較例では、比較例1における白色光の赤色光不足
を、赤色蛍光体の増量によって補う実験を行った。R・
G・B蛍光体に含まれる赤色蛍光体の量を、種々の値に
増加したこと以外は、比較例1と同様にして発光装置を
複数製作した。発光装置の出力として発せられた白色光
を評価した結果、実施例1と同様の色味を得る為には、
赤色蛍光体の量を比較例1の3倍にする必要があった。
また、そのときの白色光は5〔ルーメン/W〕であり、
赤色蛍光体の増量の影響を受けて暗くなることがわかっ
た。
【0058】
【発明の効果】本発明によるGaN系発光素子は、主発
光と共に有用なPL光を発することができ、該PL光の
作用によって、3原色光の各出力バランスのとれた白色
光や、その他、任意に補正された有色光を発する発光装
置を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるGaN系発光素子の素子構造例を
示す模式図である。ハッチングは、領域を区別し、特定
部分を強調するためだけに施している。
【図2】本発明によるGaN系発光素子の他の素子構造
例を示す模式図である。
【図3】本発明による発光装置の構成例を模式的に示す
断面図である。
【図4】従来の白色LEDの構成例を示す図である。
【符号の説明】
S GaN系結晶層からなる積層構造 E 発光部 F 副発光部 L1 主発光 L2 PL光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大内 洋一郎 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 Fターム(参考) 5F041 AA11 AA12 CA04 CA05 CA12 CA34 CA40 CA65 CA66 CA67 DA12 DA46 EE25

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 GaN系結晶層からなる積層構造を有
    し、該積層構造に、p型層とn型層とを有して構成され
    る発光部が含まれた素子構造を有するGaN系半導体発
    光素子であって、 発光部から発せられた主発光で励起されてフォトルミネ
    ッセンス光を発するGaN系結晶からなる副発光部を、
    該積層構造内の結晶層としてまたは該積層構造外に付帯
    する部分として備えていることを特徴とする、GaN系
    半導体発光素子。
  2. 【請求項2】 当該GaN系半導体発光素子の素子構造
    が、結晶基板とその上に成長した上記積層構造とを有す
    るものであって、副発光部が、発光部内の発光に係る層
    と結晶基板との間に位置している、請求項1記載のGa
    N系半導体発光素子。
  3. 【請求項3】 当該GaN系半導体発光素子の素子構造
    が、結晶基板と、その上にn型層から先に成長した上記
    積層構造とを有するものであって、該積層構造は、上層
    側にp型電極を形成するためのp型コンタクト層を有
    し、該p型コンタクト層が副発光部を兼ねている、請求
    項1記載のGaN系半導体発光素子。
  4. 【請求項4】 副発光部がInGaN層を有する、請求
    項1〜3のいずれかに記載のGaN系半導体発光素子。
  5. 【請求項5】 副発光部が、互いに異なる組成比のIn
    GaN層を有する、請求項1〜3のいずれかに記載のG
    aN系半導体発光素子。
  6. 【請求項6】 副発光部が積層構造であって、該積層構
    造には、互いに異なる組成比のInGaN層および/ま
    たは互いに同じ組成比のInGaN層が含まれている、
    請求項1〜3のいずれかに記載のGaN系半導体発光素
    子。
  7. 【請求項7】 フォトルミネッセンス光が赤色光を含ん
    でいる、請求項1記載のGaN系半導体発光素子。
  8. 【請求項8】 主発光が紫外線である、請求項1記載の
    GaN系半導体発光素子。
  9. 【請求項9】 上記請求項1〜8のいずれかに記載のG
    aN系半導体発光素子と、該発光素子の主発光によって
    蛍光を発する蛍光体とが組み合わせられた構成を有し、 該発光素子が発する主発光、フォトルミネッセンス光、
    および蛍光体が発する蛍光の中から選ばれる2以上の光
    を出力光として発することを特徴とする、発光装置。
  10. 【請求項10】 出力光が白色光となるように、上記G
    aN系半導体発光素子と蛍光体との組み合わせが選択さ
    れている、請求項9記載の発光装置。
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