JP2003186516A - 装置運行自動化システム、先行処理判断サーバ、作業手続き管理サーバ、製造装置、プログラム、記録媒体および装置運行自動化方法 - Google Patents
装置運行自動化システム、先行処理判断サーバ、作業手続き管理サーバ、製造装置、プログラム、記録媒体および装置運行自動化方法Info
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- JP2003186516A JP2003186516A JP2001380459A JP2001380459A JP2003186516A JP 2003186516 A JP2003186516 A JP 2003186516A JP 2001380459 A JP2001380459 A JP 2001380459A JP 2001380459 A JP2001380459 A JP 2001380459A JP 2003186516 A JP2003186516 A JP 2003186516A
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 人手または移載機を用いたウェーハの分割お
よび合成による作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを
招くことがなく、他に移載機を必要とすることもなく、
製造時間の長大化と製造装置の稼働率の低下とを招くこ
とがない装置運行自動化システムおよび方法等を提供す
る。 【解決手段】 製造装置２０上でウェーハ等の材料の分
割を行って所定の枚数だけ先行処理し、先行処理された
所定の枚数のウェーハ等をＡＭＨＳ７０により測定装置
２６へ自動的に搬送して測定装置２６で加工結果を測定
することができる。測定結果に基づく加工条件の補正
は、先行処理判断部３５から生産装置制御部６０へレシ
ピのパラメータの補正という形で行われる。測定が終了
したウェーハは再びＡＭＨＳ７０により製造装置２０側
へ自動的に搬送され、製造装置２０上で先行処理された
ウェーハと先行処理されなかったウェーハとを合流する
ことができる。
よび合成による作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを
招くことがなく、他に移載機を必要とすることもなく、
製造時間の長大化と製造装置の稼働率の低下とを招くこ
とがない装置運行自動化システムおよび方法等を提供す
る。 【解決手段】 製造装置２０上でウェーハ等の材料の分
割を行って所定の枚数だけ先行処理し、先行処理された
所定の枚数のウェーハ等をＡＭＨＳ７０により測定装置
２６へ自動的に搬送して測定装置２６で加工結果を測定
することができる。測定結果に基づく加工条件の補正
は、先行処理判断部３５から生産装置制御部６０へレシ
ピのパラメータの補正という形で行われる。測定が終了
したウェーハは再びＡＭＨＳ７０により製造装置２０側
へ自動的に搬送され、製造装置２０上で先行処理された
ウェーハと先行処理されなかったウェーハとを合流する
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、装置運行自動化シ
ステムおよび方法等に関し、特に半導体製造工程におい
て、キャリア内の材料群を加工する前に一部の材料を用
いた先行処理および検査を必要とする製造工程の自動化
を行う装置運行自動化システムおよび方法等に関する。
ステムおよび方法等に関し、特に半導体製造工程におい
て、キャリア内の材料群を加工する前に一部の材料を用
いた先行処理および検査を必要とする製造工程の自動化
を行う装置運行自動化システムおよび方法等に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程の中でも極めて微細な加
工を行う工程では、加工対象となる材料に対する適切な
加工条件の設置が必要である。この加工条件は、製造工
程の前工程における処理結果または製造装置のコンディ
ション等により、その最適値は常に変動しているのが実
情である。このため、従来、キャリア内の加工対象とな
る材料、例えばキャリア内の半導体ウェーハ（以下、単
に「ウェーハ」という）群から１ないし数枚のウェーハ
を先行的に取出して先行処理し、その処理結果を検査装
置で検査し、検査結果に応じて加工条件を検証し、必要
に応じて加工条件の設定値を変更した後、先行処理され
なかった残りのウェーハの処理を開始する作業が行われ
ていた。
工を行う工程では、加工対象となる材料に対する適切な
加工条件の設置が必要である。この加工条件は、製造工
程の前工程における処理結果または製造装置のコンディ
ション等により、その最適値は常に変動しているのが実
情である。このため、従来、キャリア内の加工対象とな
る材料、例えばキャリア内の半導体ウェーハ（以下、単
に「ウェーハ」という）群から１ないし数枚のウェーハ
を先行的に取出して先行処理し、その処理結果を検査装
置で検査し、検査結果に応じて加工条件を検証し、必要
に応じて加工条件の設定値を変更した後、先行処理され
なかった残りのウェーハの処理を開始する作業が行われ
ていた。
【０００３】上述の従来の作業の手順は、まず、あるキ
ャリアから取り出し先行処理した１ないし数枚のウェー
ハ（先行ウェーハ）を、製造装置上の同一のキャリアに
戻し、次に作業員がこのキャリアをいったん製造装置か
ら搬出し、人手または移載機により先行ウェーハを別の
キャリアへ移し替え、この別のキャリアを検査装置へ運
んでいた。検査装置における検査後は、当該キャリアを
製造装置へ再搬送していた。
ャリアから取り出し先行処理した１ないし数枚のウェー
ハ（先行ウェーハ）を、製造装置上の同一のキャリアに
戻し、次に作業員がこのキャリアをいったん製造装置か
ら搬出し、人手または移載機により先行ウェーハを別の
キャリアへ移し替え、この別のキャリアを検査装置へ運
んでいた。検査装置における検査後は、当該キャリアを
製造装置へ再搬送していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の作業にお
いては、先行処理を行う前は先行ウェーハと先行処理さ
れないウェーハとを区別するための人手または移載機に
よるウェーハの分割作業が必要であった。先行処理後は
先行ウェーハと先行処理されなかったウェーハとの人手
または移載機による合成作業が必要であった。このため
作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを招くという問題
があった。さらに、製造装置および検査装置の他に移載
機が必要となるという問題があった。
いては、先行処理を行う前は先行ウェーハと先行処理さ
れないウェーハとを区別するための人手または移載機に
よるウェーハの分割作業が必要であった。先行処理後は
先行ウェーハと先行処理されなかったウェーハとの人手
または移載機による合成作業が必要であった。このため
作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを招くという問題
があった。さらに、製造装置および検査装置の他に移載
機が必要となるという問題があった。
【０００５】上述の従来の作業においては、先行ウェー
ハを同一のキャリアに戻し、このキャリアを製造装置か
ら搬出していたため、当該キャリアの検査装置への搬送
と製造装置への再搬送という一連の作業が終了するま
で、製造装置は待機している必要があった。この待機の
時間は製造時間の長大化を招くと共に、製造装置の稼働
率の低下を招くという問題があった。
ハを同一のキャリアに戻し、このキャリアを製造装置か
ら搬出していたため、当該キャリアの検査装置への搬送
と製造装置への再搬送という一連の作業が終了するま
で、製造装置は待機している必要があった。この待機の
時間は製造時間の長大化を招くと共に、製造装置の稼働
率の低下を招くという問題があった。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記問題を解決
するためになされたものであり、人手または移載機を用
いたウェーハの分割および合成による作業手順の煩雑化
と作業工数の増大とを招くことがなく、他に移載機を必
要とすることもなく、製造時間の長大化と製造装置の稼
働率の低下とを招くことがない装置運行自動化システム
および方法等を提供することにある。
するためになされたものであり、人手または移載機を用
いたウェーハの分割および合成による作業手順の煩雑化
と作業工数の増大とを招くことがなく、他に移載機を必
要とすることもなく、製造時間の長大化と製造装置の稼
働率の低下とを招くことがない装置運行自動化システム
および方法等を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の装置運行自動
化システムは、キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムであって、製造装置の識別子および
ロットの識別子を受信した場合、該製造装置で該ロット
に含まれる材料を加工する際にロットの一部を先行処理
した結果に応じて該製造装置における加工条件の設定を
行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含
まれる材料に対する加工と測定との内容を示すパラメー
タを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場
合、該パラメータの値を返信する先行処理判断手段と、
製造装置の識別子を受信した場合、前記先行処理判断手
段の判断と共に該製造装置が次に加工する材料を含むロ
ットの識別子を返信する割当て手段と、ロットの合成ま
たは分割の通知を受信した場合、ロットと該ロットが格
納されているキャリアとの対応関係を管理し、ロットの
識別子を受信した場合、該ロットが格納されているキャ
リアの識別子を返信する製品管理手段と、製造装置に依
存しない内容のレシピを受信した場合、該レシピの内容
を製造装置に依存した内容へ変換するレシピ管理手段
と、キャリアからロットを取り出して先行処理を示す内
容のレシピにより該ロットに含まれる材料を加工し、該
ロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納する要
求を受信し且つ該要求を受け入れる場合、該製造装置と
該測定装置とを含む生産装置へ先行処理の指示を行い、
生産装置に対する処理要求を待ち指定で受信した場合、
該生産装置に対して処理終了後にキャリア取り外し可能
状態へ移行せず指示待ち状態へ移行する指示を行い、生
産装置に対する強制的なキャリア取り外し可能状態への
移行要求を受信した場合、該生産装置に対して強制的に
キャリア取り外し可能状態へ移行する指示を行う生産装
置制御手段と、キャリアを生産装置の所定のポートへ搬
送させる要求を受信した場合、自動搬送装置に対して該
要求を指示する自動搬送装置統合制御手段と、前記自動
搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを生産装置の所
定のポートへ搬送させる要求を送信する作業手続き管理
手段とを備え、前記作業手続き管理手段から前記割当て
手段へ製造装置の識別子が送信され、該製造装置の識別
子とロットの識別子とが前記割当て手段から前記先行処
理判断手段へ送信され、前記先行処理判断手段が該製造
装置における該ロットに含まれる材料の加工について先
行処理の必要性を認める判断を行い、該判断と共に該ロ
ットの識別子が前記割当て手段から前記作業手続き管理
手段へ返信された場合、前記作業手続き管理手段は、前
記製品管理手段に対し、前記割当て手段から返信された
ロットの識別子で示されるロットの分割を通知した後、
該ロットの識別子を送信して該ロットが格納されている
キャリアの識別子を返信させ、前記生産装置制御手段に
対し、該キャリアから所定の数のロットを取り出して先
行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる材
料を加工した後、該所定の数のロットを該キャリアと異
なる他のキャリアへ格納する要求を行い、前記生産装置
制御手段は、前記作業手続き管理手段から示された先行
処理を示す内容のレシピであって製造装置に依存しない
内容のレシピを、前記レシピ管理手段へ送信して製造装
置に依存した内容のレシピへ変換させ、前記先行処理判
断手段に対し、ロットの識別子、該レシピおよび該製造
装置の識別子を送信して該レシピ中のパラメータの値を
返信させ、該パラメータの値を設定したレシピに基づき
生産装置に対して先行処理を指示し、前記作業手続き管
理手段は、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、前記
生産装置制御手段により先行処理を指示された所定の数
のロットが格納された他のキャリアを測定装置の所定の
ポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬送装置統合
制御手段に対し、該他のキャリアを製造装置の所定のポ
ートへ搬送する要求を送信して、前記生産装置制御手段
に対し、製造装置に対するロットに含まれる材料の加工
要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数
のロットが該キャリア中のロットと合流した後、前記製
品管理手段に対しロットの合成を通知し、前記生産装置
制御手段に対し、製造装置に対するロットが合成された
キャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送
信し、前記生産装置制御手段は、製造装置に対してロッ
トが合成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態へ
の移行を指示することを特徴とする。
化システムは、キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムであって、製造装置の識別子および
ロットの識別子を受信した場合、該製造装置で該ロット
に含まれる材料を加工する際にロットの一部を先行処理
した結果に応じて該製造装置における加工条件の設定を
行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含
まれる材料に対する加工と測定との内容を示すパラメー
タを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場
合、該パラメータの値を返信する先行処理判断手段と、
製造装置の識別子を受信した場合、前記先行処理判断手
段の判断と共に該製造装置が次に加工する材料を含むロ
ットの識別子を返信する割当て手段と、ロットの合成ま
たは分割の通知を受信した場合、ロットと該ロットが格
納されているキャリアとの対応関係を管理し、ロットの
識別子を受信した場合、該ロットが格納されているキャ
リアの識別子を返信する製品管理手段と、製造装置に依
存しない内容のレシピを受信した場合、該レシピの内容
を製造装置に依存した内容へ変換するレシピ管理手段
と、キャリアからロットを取り出して先行処理を示す内
容のレシピにより該ロットに含まれる材料を加工し、該
ロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納する要
求を受信し且つ該要求を受け入れる場合、該製造装置と
該測定装置とを含む生産装置へ先行処理の指示を行い、
生産装置に対する処理要求を待ち指定で受信した場合、
該生産装置に対して処理終了後にキャリア取り外し可能
状態へ移行せず指示待ち状態へ移行する指示を行い、生
産装置に対する強制的なキャリア取り外し可能状態への
移行要求を受信した場合、該生産装置に対して強制的に
キャリア取り外し可能状態へ移行する指示を行う生産装
置制御手段と、キャリアを生産装置の所定のポートへ搬
送させる要求を受信した場合、自動搬送装置に対して該
要求を指示する自動搬送装置統合制御手段と、前記自動
搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを生産装置の所
定のポートへ搬送させる要求を送信する作業手続き管理
手段とを備え、前記作業手続き管理手段から前記割当て
手段へ製造装置の識別子が送信され、該製造装置の識別
子とロットの識別子とが前記割当て手段から前記先行処
理判断手段へ送信され、前記先行処理判断手段が該製造
装置における該ロットに含まれる材料の加工について先
行処理の必要性を認める判断を行い、該判断と共に該ロ
ットの識別子が前記割当て手段から前記作業手続き管理
手段へ返信された場合、前記作業手続き管理手段は、前
記製品管理手段に対し、前記割当て手段から返信された
ロットの識別子で示されるロットの分割を通知した後、
該ロットの識別子を送信して該ロットが格納されている
キャリアの識別子を返信させ、前記生産装置制御手段に
対し、該キャリアから所定の数のロットを取り出して先
行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる材
料を加工した後、該所定の数のロットを該キャリアと異
なる他のキャリアへ格納する要求を行い、前記生産装置
制御手段は、前記作業手続き管理手段から示された先行
処理を示す内容のレシピであって製造装置に依存しない
内容のレシピを、前記レシピ管理手段へ送信して製造装
置に依存した内容のレシピへ変換させ、前記先行処理判
断手段に対し、ロットの識別子、該レシピおよび該製造
装置の識別子を送信して該レシピ中のパラメータの値を
返信させ、該パラメータの値を設定したレシピに基づき
生産装置に対して先行処理を指示し、前記作業手続き管
理手段は、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、前記
生産装置制御手段により先行処理を指示された所定の数
のロットが格納された他のキャリアを測定装置の所定の
ポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬送装置統合
制御手段に対し、該他のキャリアを製造装置の所定のポ
ートへ搬送する要求を送信して、前記生産装置制御手段
に対し、製造装置に対するロットに含まれる材料の加工
要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数
のロットが該キャリア中のロットと合流した後、前記製
品管理手段に対しロットの合成を通知し、前記生産装置
制御手段に対し、製造装置に対するロットが合成された
キャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送
信し、前記生産装置制御手段は、製造装置に対してロッ
トが合成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態へ
の移行を指示することを特徴とする。
【０００８】ここで、この発明の装置運行自動化システ
ムにおいて、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理
手段に対しロットの分割を通知する場合、キャリア内に
おけるロットの論理的分割とキャリア別のロットの物理
的分割とを分けて指示することができる。
ムにおいて、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理
手段に対しロットの分割を通知する場合、キャリア内に
おけるロットの論理的分割とキャリア別のロットの物理
的分割とを分けて指示することができる。
【０００９】ここで、この発明の装置運行自動化システ
ムにおいて、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理
手段に対しロットの合成を通知する場合、キャリア内に
おけるロットの論理的合成とキャリア別のロットの物理
的合成とを分けて指示することができる。
ムにおいて、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理
手段に対しロットの合成を通知する場合、キャリア内に
おけるロットの論理的合成とキャリア別のロットの物理
的合成とを分けて指示することができる。
【００１０】ここで、この発明の装置運行自動化システ
ムにおいて、前記手作業手続き管理手段は、前記製造装
置に対し１キャリア内の材料群毎に複数の処理を時間差
をもって与えることができる。
ムにおいて、前記手作業手続き管理手段は、前記製造装
置に対し１キャリア内の材料群毎に複数の処理を時間差
をもって与えることができる。
【００１１】ここで、この発明の装置運行自動化システ
ムにおいて、前記製造装置はキャリアを保持するロード
ポートを有しており、該製造装置は、１キャリア内の材
料群毎に時間差をもって与えられた複数の処理を、該キ
ャリアをロードポートに保持した状態で処理することが
できる。
ムにおいて、前記製造装置はキャリアを保持するロード
ポートを有しており、該製造装置は、１キャリア内の材
料群毎に時間差をもって与えられた複数の処理を、該キ
ャリアをロードポートに保持した状態で処理することが
できる。
【００１２】ここで、この発明の装置運行自動化システ
ムにおいて、前記ロットに含まれる材料は半導体ウェー
ハとすることができる。
ムにおいて、前記ロットに含まれる材料は半導体ウェー
ハとすることができる。
【００１３】この発明の先行処理判断サーバは、キャリ
アに格納された所定の材料を含むロットに対し該材料を
加工して製品を製造する製造装置、該製造装置による材
料の加工結果を測定する測定装置および該製造装置と該
測定装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の
各装置の運行を自動化する装置運行自動化システムにお
ける、製造装置でロットの一部の先行処理を行うか否か
の判断を行う先行処理判断サーバであって、前記製造装
置の識別子およびロットの識別子を受信した場合、該製
造装置で該ロットに含まれる材料を加工する際にロット
の一部を先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置に
より前記測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結
果に応じて該製造装置における加工条件の設定を行うか
否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含まれる
材料に対する加工と測定との内容を示すパラメータを含
むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場合、該パ
ラメータの値を返信することを特徴とする。
アに格納された所定の材料を含むロットに対し該材料を
加工して製品を製造する製造装置、該製造装置による材
料の加工結果を測定する測定装置および該製造装置と該
測定装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の
各装置の運行を自動化する装置運行自動化システムにお
ける、製造装置でロットの一部の先行処理を行うか否か
の判断を行う先行処理判断サーバであって、前記製造装
置の識別子およびロットの識別子を受信した場合、該製
造装置で該ロットに含まれる材料を加工する際にロット
の一部を先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置に
より前記測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結
果に応じて該製造装置における加工条件の設定を行うか
否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含まれる
材料に対する加工と測定との内容を示すパラメータを含
むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場合、該パ
ラメータの値を返信することを特徴とする。
【００１４】この発明の割当てサーバは、キャリアに格
納された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工し
て製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加
工結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装
置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置
の運行を自動化する装置運行自動化システムにおける、
製造装置に加工するロットを割当てる割当てサーバであ
って、前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装
置でロットに含まれる材料を加工する際にロットの一部
を先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前
記測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応
じて該製造装置における加工条件の設定を行うか否かの
判断を得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロ
ットの識別子を返信することを特徴とする。
納された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工し
て製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加
工結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装
置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置
の運行を自動化する装置運行自動化システムにおける、
製造装置に加工するロットを割当てる割当てサーバであ
って、前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装
置でロットに含まれる材料を加工する際にロットの一部
を先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前
記測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応
じて該製造装置における加工条件の設定を行うか否かの
判断を得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロ
ットの識別子を返信することを特徴とする。
【００１５】この発明の作業手続き管理サーバは、キャ
リアに格納された所定の材料を含むロットに対し該材料
を加工して製品を製造する製造装置、該製造装置による
材料の加工結果を測定する測定装置および該製造装置と
該測定装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置
の各装置の運行を自動化する装置運行自動化システムに
おける、該自動搬送装置に対し、製造装置と測定装置と
を含む生産装置の所定のポートへキャリアを搬送させる
要求を送信する作業手続き管理サーバであって、ロット
の識別子を受信した場合、該ロットの識別子で示される
ロットの分割を通知し、この後、該ロットの識別子を送
信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を受
信して、該キャリアから所定の数のロットを取り出して
先行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる
材料を加工し該所定の数のロットを該キャリアと異なる
他のキャリアへ格納する要求を送信し、前記自動搬送装
置に対し先行処理を指示された所定の数のロットが格納
された他のキャリアを前記測定装置の所定のポートへ搬
送する要求を送信し、前記自動搬送装置に対し該他のキ
ャリアを該製造装置の所定のポートへ搬送する要求を送
信し、該製造装置に対しロットに含まれる材料の加工要
求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数の
ロットが該キャリア中のロットと合流した後、ロットの
合成を通知し、該製造装置に対しロットが合成されたキ
ャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送信
することを特徴とする。
リアに格納された所定の材料を含むロットに対し該材料
を加工して製品を製造する製造装置、該製造装置による
材料の加工結果を測定する測定装置および該製造装置と
該測定装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置
の各装置の運行を自動化する装置運行自動化システムに
おける、該自動搬送装置に対し、製造装置と測定装置と
を含む生産装置の所定のポートへキャリアを搬送させる
要求を送信する作業手続き管理サーバであって、ロット
の識別子を受信した場合、該ロットの識別子で示される
ロットの分割を通知し、この後、該ロットの識別子を送
信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を受
信して、該キャリアから所定の数のロットを取り出して
先行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる
材料を加工し該所定の数のロットを該キャリアと異なる
他のキャリアへ格納する要求を送信し、前記自動搬送装
置に対し先行処理を指示された所定の数のロットが格納
された他のキャリアを前記測定装置の所定のポートへ搬
送する要求を送信し、前記自動搬送装置に対し該他のキ
ャリアを該製造装置の所定のポートへ搬送する要求を送
信し、該製造装置に対しロットに含まれる材料の加工要
求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数の
ロットが該キャリア中のロットと合流した後、ロットの
合成を通知し、該製造装置に対しロットが合成されたキ
ャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送信
することを特徴とする。
【００１６】ここで、この発明の作業手続き管理サーバ
において、前記製造装置に対し１キャリア内の材料群毎
に複数の処理を時間差をもって与えることができる。
において、前記製造装置に対し１キャリア内の材料群毎
に複数の処理を時間差をもって与えることができる。
【００１７】この発明の製造装置は、キャリアに格納さ
れた所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して製
品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工結
果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置と
の間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の運
行を自動化する装置運行自動化システムにおける製造装
置であって、キャリアを少なくとも２つ保持可能なロー
ドポートを備え、材料の加工後にキャリアを取り外し可
能状態へ移行するか否かを判断し、強制的なキャリアの
取り外し可能状態への移行を指示された場合、キャリア
を取り外し可能状態へ移行させることを特徴とする。
れた所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して製
品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工結
果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置と
の間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の運
行を自動化する装置運行自動化システムにおける製造装
置であって、キャリアを少なくとも２つ保持可能なロー
ドポートを備え、材料の加工後にキャリアを取り外し可
能状態へ移行するか否かを判断し、強制的なキャリアの
取り外し可能状態への移行を指示された場合、キャリア
を取り外し可能状態へ移行させることを特徴とする。
【００１８】ここで、この発明の製造装置において、１
キャリア内の材料群毎に時間差をもって与えられた複数
の処理を、該キャリアを前記ロードポートに保持した状
態で処理することができる。
キャリア内の材料群毎に時間差をもって与えられた複数
の処理を、該キャリアを前記ロードポートに保持した状
態で処理することができる。
【００１９】この発明のプログラムは、キャリアに格納
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した
場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する
際にロットの一部を先行処理した結果に応じて該製造装
置における加工条件の設定を行うか否かの判断を行い、
ロットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と
測定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造
装置の識別子を受信した場合、該パラメータの値を返信
する先行処理判断手段、製造装置の識別子を受信した場
合、前記先行処理判断手段の判断と共に該製造装置が次
に加工する材料を含むロットの識別子を返信する割当て
手段、ロットの合成または分割の通知を受信した場合、
ロットと該ロットが格納されているキャリアとの対応関
係を管理し、ロットの識別子を受信した場合、該ロット
が格納されているキャリアの識別子を返信する製品管理
手段、製造装置に依存しない内容のレシピを受信した場
合、該レシピの内容を製造装置に依存した内容へ変換す
るレシピ管理手段、キャリアからロットを取り出して先
行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる材
料を加工し、該ロットを該キャリアと異なる他のキャリ
アへ格納する要求を受信し且つ該要求を受け入れる場
合、該製造装置と該測定装置とを含む生産装置へ先行処
理の指示を行い、生産装置に対する処理要求を待ち指定
で受信した場合、該生産装置に対して処理終了後にキャ
リア取り外し可能状態へ移行せず指示待ち状態へ移行す
る指示を行い、生産装置に対する強制的なキャリア取り
外し可能状態への移行要求を受信した場合、該生産装置
に対して強制的にキャリア取り外し可能状態へ移行する
指示を行う生産装置制御手段、キャリアを生産装置の所
定のポートへ搬送させる要求を受信した場合、自動搬送
装置に対して該要求を指示する自動搬送装置統合制御手
段、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを
生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を送信する作
業手続き管理手段として機能させるものであり、前記作
業手続き管理手段から前記割当て手段へ製造装置の識別
子が送信され、該製造装置の識別子とロットの識別子と
が前記割当て手段から前記先行処理判断手段へ送信さ
れ、前記先行処理判断手段が該製造装置における該ロッ
トに含まれる材料の加工について先行処理の必要性を認
める判断を行い、該判断と共に該ロットの識別子が前記
割当て手段から前記作業手続き管理手段へ返信された場
合、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手段に対
し、前記割当て手段から返信されたロットの識別子で示
されるロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を
送信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を
返信させ、前記生産装置制御手段に対し、該キャリアか
ら所定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容の
レシピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該
所定の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ
格納する要求を行い、前記生産装置制御手段は、前記作
業手続き管理手段から示された先行処理を示す内容のレ
シピであって製造装置に依存しない内容のレシピを、前
記レシピ管理手段へ送信して製造装置に依存した内容の
レシピへ変換させ、前記先行処理判断手段に対し、ロッ
トの識別子、該レシピおよび該製造装置の識別子を送信
して該レシピ中のパラメータの値を返信させ、該パラメ
ータの値を設定したレシピに基づき生産装置に対して先
行処理を指示し、前記作業手続き管理手段は、前記自動
搬送装置統合制御手段に対し、前記生産装置制御手段に
より先行処理を指示された所定の数のロットが格納され
た他のキャリアを測定装置の所定のポートへ搬送する要
求を送信し、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、該
他のキャリアを製造装置の所定のポートへ搬送する要求
を送信して、前記生産装置制御手段に対し、製造装置に
対するロットに含まれる材料の加工要求を待ち指定で送
信し、該他のキャリア中の所定の数のロットが該キャリ
ア中のロットと合流した後、前記製品管理手段に対しロ
ットの合成を通知し、前記生産装置制御手段に対し、製
造装置に対するロットが合成されたキャリアの強制的な
取り外し可能状態への移行要求を送信し、前記生産装置
制御手段は、製造装置に対してロットが合成されたキャ
リアの強制的な取り外し可能状態への移行を指示するよ
うに機能させるためのプログラムである。
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した
場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する
際にロットの一部を先行処理した結果に応じて該製造装
置における加工条件の設定を行うか否かの判断を行い、
ロットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と
測定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造
装置の識別子を受信した場合、該パラメータの値を返信
する先行処理判断手段、製造装置の識別子を受信した場
合、前記先行処理判断手段の判断と共に該製造装置が次
に加工する材料を含むロットの識別子を返信する割当て
手段、ロットの合成または分割の通知を受信した場合、
ロットと該ロットが格納されているキャリアとの対応関
係を管理し、ロットの識別子を受信した場合、該ロット
が格納されているキャリアの識別子を返信する製品管理
手段、製造装置に依存しない内容のレシピを受信した場
合、該レシピの内容を製造装置に依存した内容へ変換す
るレシピ管理手段、キャリアからロットを取り出して先
行処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる材
料を加工し、該ロットを該キャリアと異なる他のキャリ
アへ格納する要求を受信し且つ該要求を受け入れる場
合、該製造装置と該測定装置とを含む生産装置へ先行処
理の指示を行い、生産装置に対する処理要求を待ち指定
で受信した場合、該生産装置に対して処理終了後にキャ
リア取り外し可能状態へ移行せず指示待ち状態へ移行す
る指示を行い、生産装置に対する強制的なキャリア取り
外し可能状態への移行要求を受信した場合、該生産装置
に対して強制的にキャリア取り外し可能状態へ移行する
指示を行う生産装置制御手段、キャリアを生産装置の所
定のポートへ搬送させる要求を受信した場合、自動搬送
装置に対して該要求を指示する自動搬送装置統合制御手
段、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを
生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を送信する作
業手続き管理手段として機能させるものであり、前記作
業手続き管理手段から前記割当て手段へ製造装置の識別
子が送信され、該製造装置の識別子とロットの識別子と
が前記割当て手段から前記先行処理判断手段へ送信さ
れ、前記先行処理判断手段が該製造装置における該ロッ
トに含まれる材料の加工について先行処理の必要性を認
める判断を行い、該判断と共に該ロットの識別子が前記
割当て手段から前記作業手続き管理手段へ返信された場
合、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手段に対
し、前記割当て手段から返信されたロットの識別子で示
されるロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を
送信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を
返信させ、前記生産装置制御手段に対し、該キャリアか
ら所定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容の
レシピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該
所定の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ
格納する要求を行い、前記生産装置制御手段は、前記作
業手続き管理手段から示された先行処理を示す内容のレ
シピであって製造装置に依存しない内容のレシピを、前
記レシピ管理手段へ送信して製造装置に依存した内容の
レシピへ変換させ、前記先行処理判断手段に対し、ロッ
トの識別子、該レシピおよび該製造装置の識別子を送信
して該レシピ中のパラメータの値を返信させ、該パラメ
ータの値を設定したレシピに基づき生産装置に対して先
行処理を指示し、前記作業手続き管理手段は、前記自動
搬送装置統合制御手段に対し、前記生産装置制御手段に
より先行処理を指示された所定の数のロットが格納され
た他のキャリアを測定装置の所定のポートへ搬送する要
求を送信し、前記自動搬送装置統合制御手段に対し、該
他のキャリアを製造装置の所定のポートへ搬送する要求
を送信して、前記生産装置制御手段に対し、製造装置に
対するロットに含まれる材料の加工要求を待ち指定で送
信し、該他のキャリア中の所定の数のロットが該キャリ
ア中のロットと合流した後、前記製品管理手段に対しロ
ットの合成を通知し、前記生産装置制御手段に対し、製
造装置に対するロットが合成されたキャリアの強制的な
取り外し可能状態への移行要求を送信し、前記生産装置
制御手段は、製造装置に対してロットが合成されたキャ
リアの強制的な取り外し可能状態への移行を指示するよ
うに機能させるためのプログラムである。
【００２０】この発明のプログラムは、キャリアに格納
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、前記製造装置の識別子およびロットの識別子を受信
した場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工
する際にロットの一部を先行処理し、該ロットの一部を
前記搬送装置により前記測定装置へ搬送し、該測定装置
に測定させた結果に応じて該製造装置における加工条件
の設定を行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロ
ットに含まれる材料に対する加工と測定との内容を示す
パラメータを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信
した場合、該パラメータの値を返信するように機能させ
るためのプログラムである。
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、前記製造装置の識別子およびロットの識別子を受信
した場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工
する際にロットの一部を先行処理し、該ロットの一部を
前記搬送装置により前記測定装置へ搬送し、該測定装置
に測定させた結果に応じて該製造装置における加工条件
の設定を行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロ
ットに含まれる材料に対する加工と測定との内容を示す
パラメータを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信
した場合、該パラメータの値を返信するように機能させ
るためのプログラムである。
【００２１】この発明のプログラムは、キャリアに格納
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装置
でロットに含まれる材料を加工する際にロットの一部を
先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前記
測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応じ
て該製造装置における加工条件の設定を行うか否かの判
断を得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロッ
トの識別子を返信するように機能させるためのプログラ
ムである。
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装置
でロットに含まれる材料を加工する際にロットの一部を
先行処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前記
測定装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応じ
て該製造装置における加工条件の設定を行うか否かの判
断を得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロッ
トの識別子を返信するように機能させるためのプログラ
ムである。
【００２２】この発明のプログラムは、キャリアに格納
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、ロットの識別子を受信した場合、該ロットの識別子
で示されるロットの分割を通知し、この後、該ロットの
識別子を送信して該ロットが格納されているキャリアの
識別子を受信して、該キャリアから所定の数のロットを
取り出して先行処理を示す内容のレシピにより該ロット
に含まれる材料を加工し該所定の数のロットを該キャリ
アと異なる他のキャリアへ格納する要求を送信し、前記
自動搬送装置に対し先行処理を指示された所定の数のロ
ットが格納された他のキャリアを前記測定装置の所定の
ポートへ搬送する要求を送信し、該測定装置による該他
のキャリア中の所定の数のロットに含まれる材料の測定
が終了した後、前記製造装置に対し測定結果に応じた加
工条件の設定を指示し、前記自動搬送装置に対し該他の
キャリアを該製造装置の所定のポートへ搬送する要求を
送信し、該製造装置に対しロットに含まれる材料の加工
要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数
のロットが該キャリア中のロットと合流した後、ロット
の合成を通知し、該製造装置に対しロットが合成された
キャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送
信するように機能させるプログラムである。
された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工して
製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の加工
結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定装置
との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装置の
運行を自動化するプログラムであって、コンピュータ
を、ロットの識別子を受信した場合、該ロットの識別子
で示されるロットの分割を通知し、この後、該ロットの
識別子を送信して該ロットが格納されているキャリアの
識別子を受信して、該キャリアから所定の数のロットを
取り出して先行処理を示す内容のレシピにより該ロット
に含まれる材料を加工し該所定の数のロットを該キャリ
アと異なる他のキャリアへ格納する要求を送信し、前記
自動搬送装置に対し先行処理を指示された所定の数のロ
ットが格納された他のキャリアを前記測定装置の所定の
ポートへ搬送する要求を送信し、該測定装置による該他
のキャリア中の所定の数のロットに含まれる材料の測定
が終了した後、前記製造装置に対し測定結果に応じた加
工条件の設定を指示し、前記自動搬送装置に対し該他の
キャリアを該製造装置の所定のポートへ搬送する要求を
送信し、該製造装置に対しロットに含まれる材料の加工
要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定の数
のロットが該キャリア中のロットと合流した後、ロット
の合成を通知し、該製造装置に対しロットが合成された
キャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を送
信するように機能させるプログラムである。
【００２３】この発明の記録媒体は、本発明のプログラ
ム（請求項１３ないし１６のいずれかに記載のプログラ
ム）を記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体であ
る。
ム（請求項１３ないし１６のいずれかに記載のプログラ
ム）を記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体であ
る。
【００２４】この発明の装置自動化方法は、キャリアに
格納された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工
して製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の
加工結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定
装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装
置の運行を自動化するシステムの装置運行自動化方法で
あって、該システムは、製造装置の識別子およびロット
の識別子を受信した場合、該製造装置で該ロットに含ま
れる材料を加工する際にロットの一部を先行処理した結
果に応じて該製造装置における加工条件の設定を行うか
否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含まれる
材料に対する加工と測定との内容を示すパラメータを含
むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場合、該パ
ラメータの値を返信する先行処理判断部と、製造装置の
識別子を受信した場合、前記先行処理判断手段の判断と
共に該製造装置が次に加工する材料を含むロットの識別
子を返信する割当て部と、ロットの合成または分割の通
知を受信した場合、ロットと該ロットが格納されている
キャリアとの対応関係を管理し、ロットの識別子を受信
した場合、該ロットが格納されているキャリアの識別子
を返信する製品管理部と、製造装置に依存しない内容の
レシピを受信した場合、該レシピの内容を製造装置に依
存した内容へ変換するレシピ管理部と、キャリアからロ
ットを取り出して先行処理を示す内容のレシピにより該
ロットに含まれる材料を加工し、該ロットを該キャリア
と異なる他のキャリアへ格納する要求を受信し且つ該要
求を受け入れる場合、該製造装置と該測定装置とを含む
生産装置へ先行処理の指示を行い、生産装置に対する処
理要求を待ち指定で受信した場合、該生産装置に対して
処理終了後にキャリア取り外し可能状態へ移行せず指示
待ち状態へ移行する指示を行い、生産装置に対する強制
的なキャリア取り外し可能状態への移行要求を受信した
場合、該生産装置に対して強制的にキャリア取り外し可
能状態へ移行する指示を行う生産装置制御部と、キャリ
アを生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を受信し
た場合、自動搬送装置に対して該要求を指示する自動搬
送装置統合制御部と、前記自動搬送装置統合制御手段に
対し、キャリアを生産装置の所定のポートへ搬送させる
要求を送信する作業手続き管理部とを備えており、前記
装置運行自動化方法は、前記作業手続き管理部から前記
割当て部へ製造装置の識別子が送信され、該製造装置の
識別子とロットの識別子とが前記割当て部から前記先行
処理判断部へ送信され、前記先行処理判断部が該製造装
置における該ロットに含まれる材料の加工について先行
処理の必要性を認める判断を行い、該判断と共に該ロッ
トの識別子が前記割当て部から前記作業手続き管理部へ
返信される先行処理判断工程と、前記作業手続き管理部
が、前記製品管理部に対し、前記先行処理判断工程にお
いて前記割当て部から返信されたロットの識別子で示さ
れるロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を送
信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を返
信させ、前記生産装置制御部に対し、該キャリアから所
定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシ
ピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を行う先行処理要求工程と、前記生産装置制御
部が、前記先行処理要求工程において前記作業手続き管
理部から示された先行処理を示す内容のレシピであって
製造装置に依存しない内容のレシピを、前記レシピ管理
部へ送信して製造装置に依存した内容のレシピへ変換さ
せ、前記先行処理判断部に対し、ロットの識別子、該レ
シピおよび該製造装置の識別子を送信して該レシピ中の
パラメータの値を返信させ、該パラメータの値を設定し
たレシピに基づき生産装置に対して先行処理を指示する
先行処理指示工程と、前記先行処理指示工程における指
示に基づき生産装置で先行処理を行う先行処理工程と、
前記作業手続き管理部が、前記自動搬送装置統合制御部
に対し、前記生産装置制御部により先行処理を指示され
た所定の数のロットが格納された他のキャリアを測定装
置の所定のポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬
送装置統合制御部に対し、該他のキャリアを製造装置の
所定のポートへ搬送する要求を送信して、前記生産装置
制御部に対し、製造装置に対するロットに含まれる材料
の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所
定の数のロットが該キャリア中のロットと合流した後、
前記製品管理部に対しロットの合成を通知し、前記生産
装置制御部に対し、製造装置に対するロットが合成され
たキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を
送信する先行処理後工程と、前記生産装置制御部が、製
造装置に対してロットが合成されたキャリアの強制的な
取り外し可能状態への移行を指示するキャリア取り外し
指示工程とを備えたことを特徴とする。
格納された所定の材料を含むロットに対し該材料を加工
して製品を製造する製造装置、該製造装置による材料の
加工結果を測定する測定装置および該製造装置と該測定
装置との間でキャリアの搬送を行う自動搬送装置の各装
置の運行を自動化するシステムの装置運行自動化方法で
あって、該システムは、製造装置の識別子およびロット
の識別子を受信した場合、該製造装置で該ロットに含ま
れる材料を加工する際にロットの一部を先行処理した結
果に応じて該製造装置における加工条件の設定を行うか
否かの判断を行い、ロットの識別子、ロットに含まれる
材料に対する加工と測定との内容を示すパラメータを含
むレシピおよび製造装置の識別子を受信した場合、該パ
ラメータの値を返信する先行処理判断部と、製造装置の
識別子を受信した場合、前記先行処理判断手段の判断と
共に該製造装置が次に加工する材料を含むロットの識別
子を返信する割当て部と、ロットの合成または分割の通
知を受信した場合、ロットと該ロットが格納されている
キャリアとの対応関係を管理し、ロットの識別子を受信
した場合、該ロットが格納されているキャリアの識別子
を返信する製品管理部と、製造装置に依存しない内容の
レシピを受信した場合、該レシピの内容を製造装置に依
存した内容へ変換するレシピ管理部と、キャリアからロ
ットを取り出して先行処理を示す内容のレシピにより該
ロットに含まれる材料を加工し、該ロットを該キャリア
と異なる他のキャリアへ格納する要求を受信し且つ該要
求を受け入れる場合、該製造装置と該測定装置とを含む
生産装置へ先行処理の指示を行い、生産装置に対する処
理要求を待ち指定で受信した場合、該生産装置に対して
処理終了後にキャリア取り外し可能状態へ移行せず指示
待ち状態へ移行する指示を行い、生産装置に対する強制
的なキャリア取り外し可能状態への移行要求を受信した
場合、該生産装置に対して強制的にキャリア取り外し可
能状態へ移行する指示を行う生産装置制御部と、キャリ
アを生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を受信し
た場合、自動搬送装置に対して該要求を指示する自動搬
送装置統合制御部と、前記自動搬送装置統合制御手段に
対し、キャリアを生産装置の所定のポートへ搬送させる
要求を送信する作業手続き管理部とを備えており、前記
装置運行自動化方法は、前記作業手続き管理部から前記
割当て部へ製造装置の識別子が送信され、該製造装置の
識別子とロットの識別子とが前記割当て部から前記先行
処理判断部へ送信され、前記先行処理判断部が該製造装
置における該ロットに含まれる材料の加工について先行
処理の必要性を認める判断を行い、該判断と共に該ロッ
トの識別子が前記割当て部から前記作業手続き管理部へ
返信される先行処理判断工程と、前記作業手続き管理部
が、前記製品管理部に対し、前記先行処理判断工程にお
いて前記割当て部から返信されたロットの識別子で示さ
れるロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を送
信して該ロットが格納されているキャリアの識別子を返
信させ、前記生産装置制御部に対し、該キャリアから所
定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシ
ピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を行う先行処理要求工程と、前記生産装置制御
部が、前記先行処理要求工程において前記作業手続き管
理部から示された先行処理を示す内容のレシピであって
製造装置に依存しない内容のレシピを、前記レシピ管理
部へ送信して製造装置に依存した内容のレシピへ変換さ
せ、前記先行処理判断部に対し、ロットの識別子、該レ
シピおよび該製造装置の識別子を送信して該レシピ中の
パラメータの値を返信させ、該パラメータの値を設定し
たレシピに基づき生産装置に対して先行処理を指示する
先行処理指示工程と、前記先行処理指示工程における指
示に基づき生産装置で先行処理を行う先行処理工程と、
前記作業手続き管理部が、前記自動搬送装置統合制御部
に対し、前記生産装置制御部により先行処理を指示され
た所定の数のロットが格納された他のキャリアを測定装
置の所定のポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬
送装置統合制御部に対し、該他のキャリアを製造装置の
所定のポートへ搬送する要求を送信して、前記生産装置
制御部に対し、製造装置に対するロットに含まれる材料
の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所
定の数のロットが該キャリア中のロットと合流した後、
前記製品管理部に対しロットの合成を通知し、前記生産
装置制御部に対し、製造装置に対するロットが合成され
たキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を
送信する先行処理後工程と、前記生産装置制御部が、製
造装置に対してロットが合成されたキャリアの強制的な
取り外し可能状態への移行を指示するキャリア取り外し
指示工程とを備えたことを特徴とする。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態を詳細に説明する。
【００２６】実施の形態１．図１は、本発明の装置運行
自動化システムおよび方法の概要を示す。図１におい
て、符号１０は製品の材料となるウェーハが格納された
キャリアをストックしておくストッカ、１２は製品ロッ
ト（以下、「ロット」という）のウェーハ群が格納され
たキャリア、１４は製品ロットを格納したキャリアを保
持するロット用ロードポート、１６は先行ウェーハを格
納したキャリアを保持する先行ウェーハのキャリア用ロ
ードポート、１８は塗布および現像を行う塗布／現像機
（Coater/Developer : Ｃ／Ｄ）、２２はステッパ、２
４は先行ウェーハが格納されたキャリア、２６は先行ウ
ェーハの加工結果を測定する目ずれ測定器等の測定装置
である。Ｃ／Ｄ１８とステッパ２２とを合わせてインラ
インステッパ（製造装置）２０と呼ぶ。以下では場合に
より製造装置２０またはインラインステッパ２０と参照
するが、いずれも同じ装置のことである。
自動化システムおよび方法の概要を示す。図１におい
て、符号１０は製品の材料となるウェーハが格納された
キャリアをストックしておくストッカ、１２は製品ロッ
ト（以下、「ロット」という）のウェーハ群が格納され
たキャリア、１４は製品ロットを格納したキャリアを保
持するロット用ロードポート、１６は先行ウェーハを格
納したキャリアを保持する先行ウェーハのキャリア用ロ
ードポート、１８は塗布および現像を行う塗布／現像機
（Coater/Developer : Ｃ／Ｄ）、２２はステッパ、２
４は先行ウェーハが格納されたキャリア、２６は先行ウ
ェーハの加工結果を測定する目ずれ測定器等の測定装置
である。Ｃ／Ｄ１８とステッパ２２とを合わせてインラ
インステッパ（製造装置）２０と呼ぶ。以下では場合に
より製造装置２０またはインラインステッパ２０と参照
するが、いずれも同じ装置のことである。
【００２７】次に、本発明の装置運行自動化システムの
オペレーション・フローの概要を説明する。まず、スト
ッカ１０からロボット・アーム付き搬送装置（不図示）
等により、ウェーハ群が格納されたキャリア１２を取り
出す（Ｐ１）。キャリア１２をロット用ロードポート１
４に保持する（Ｐ２）。製造装置２０がロット用ロード
ポート１４に保持されたキャリア１２から１ないし数枚
の所定の枚数のウェーハを分割して先行処理した後、先
行ウェーハのキャリア用ロードポート１６に保持された
キャリア２４へ取り出す。先行ウェーハが格納されたキ
ャリア２４を測定装置２６へ搬送する（Ｐ３）。測定装
置２６で先行ウェーハを測定した後、先行ウェーハの入
ったキャリア２４は製造装置２０へ再搬送され、キャリ
ア１２に残されていたウェーハ群と合流させる（Ｐ
４）。測定結果に基づく加工条件の補正は、後述するレ
シピのパラメータの補正という形で行われる。
オペレーション・フローの概要を説明する。まず、スト
ッカ１０からロボット・アーム付き搬送装置（不図示）
等により、ウェーハ群が格納されたキャリア１２を取り
出す（Ｐ１）。キャリア１２をロット用ロードポート１
４に保持する（Ｐ２）。製造装置２０がロット用ロード
ポート１４に保持されたキャリア１２から１ないし数枚
の所定の枚数のウェーハを分割して先行処理した後、先
行ウェーハのキャリア用ロードポート１６に保持された
キャリア２４へ取り出す。先行ウェーハが格納されたキ
ャリア２４を測定装置２６へ搬送する（Ｐ３）。測定装
置２６で先行ウェーハを測定した後、先行ウェーハの入
ったキャリア２４は製造装置２０へ再搬送され、キャリ
ア１２に残されていたウェーハ群と合流させる（Ｐ
４）。測定結果に基づく加工条件の補正は、後述するレ
シピのパラメータの補正という形で行われる。
【００２８】図２は、本発明の装置運行自動化システム
のブロック図を示す。図２において、符号２０はキャリ
ア１２（図１参照）に格納されたウェーハ等の所定の材
料を含むロットに対し、ウェーハを加工して製品を製造
する製造装置、２６は製造装置２０による材料の加工結
果を測定する測定装置、７０は製造装置２０と測定装置
２６との間でキャリア２４（図１参照）の搬送を行う自
動搬送システム（Automated Material Handling System
: ＡＭＨＳ、自動搬送装置）である。以下、本発明の
装置運行自動化システムにおけるソフトウェアの構成要
素につき説明する。まず、各構成要素の基本的な機能を
与えられた入力に対する処理と出力とを用いて説明す
る。次に、システム全体の基本的な動作を説明する。各
構成要素の他の機能および具体的な命令（要求または指
示等）の例については後述する。
のブロック図を示す。図２において、符号２０はキャリ
ア１２（図１参照）に格納されたウェーハ等の所定の材
料を含むロットに対し、ウェーハを加工して製品を製造
する製造装置、２６は製造装置２０による材料の加工結
果を測定する測定装置、７０は製造装置２０と測定装置
２６との間でキャリア２４（図１参照）の搬送を行う自
動搬送システム（Automated Material Handling System
: ＡＭＨＳ、自動搬送装置）である。以下、本発明の
装置運行自動化システムにおけるソフトウェアの構成要
素につき説明する。まず、各構成要素の基本的な機能を
与えられた入力に対する処理と出力とを用いて説明す
る。次に、システム全体の基本的な動作を説明する。各
構成要素の他の機能および具体的な命令（要求または指
示等）の例については後述する。
【００２９】図２において、符号３５は、製造装置２０
の識別子およびロットの識別子を受信した場合、製造装
置２０でロットに含まれる材料を加工する際にロットの
一部を先行処理した結果に応じて製造装置２０における
加工条件の設定を行うか否かの判断を行う先行処理判断
部（先行処理判断手段、先行処理サーバ）である。先行
処理判断部３５は、製品の品質と各装置の品質とに基づ
き先行処理が必要であるか否かの判断を行う。さらに、
ロットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と
測定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造
装置２０の識別子を受信した場合、このパラメータの値
の返信も行う。
の識別子およびロットの識別子を受信した場合、製造装
置２０でロットに含まれる材料を加工する際にロットの
一部を先行処理した結果に応じて製造装置２０における
加工条件の設定を行うか否かの判断を行う先行処理判断
部（先行処理判断手段、先行処理サーバ）である。先行
処理判断部３５は、製品の品質と各装置の品質とに基づ
き先行処理が必要であるか否かの判断を行う。さらに、
ロットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と
測定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造
装置２０の識別子を受信した場合、このパラメータの値
の返信も行う。
【００３０】符号３０は、製造装置２０の識別子を受信
した場合、先行処理判断部３５の判断と共にこの製造装
置２０が次に加工する材料を含むロットの識別子を返信
する割当て部（割当て手段、割当てサーバ）である。割
当て部３０は、スケジューラとディスパッチャとの両方
の機能を有している。
した場合、先行処理判断部３５の判断と共にこの製造装
置２０が次に加工する材料を含むロットの識別子を返信
する割当て部（割当て手段、割当てサーバ）である。割
当て部３０は、スケジューラとディスパッチャとの両方
の機能を有している。
【００３１】符号４０は、ロットの合成または分割の通
知を受信した場合、ロットとそのロットが格納されてい
るキャリア１２等との対応関係を管理する製品管理部
（製品管理手段）である。製品管理部４０は、ロットの
識別子を受信した場合、このロットが格納されているキ
ャリア１２等の識別子を返信する。
知を受信した場合、ロットとそのロットが格納されてい
るキャリア１２等との対応関係を管理する製品管理部
（製品管理手段）である。製品管理部４０は、ロットの
識別子を受信した場合、このロットが格納されているキ
ャリア１２等の識別子を返信する。
【００３２】符号６５は、製造装置２０に依存しない内
容のレシピを受信した場合、このレシピの内容を製造装
置２０に依存した内容へ変換するレシピ管理部（レシピ
管理手段）である。
容のレシピを受信した場合、このレシピの内容を製造装
置２０に依存した内容へ変換するレシピ管理部（レシピ
管理手段）である。
【００３３】符号６０は、「キャリア１２からロットを
取り出して先行処理を示す内容のレシピによりこのロッ
トに含まれる材料を加工し、このロットをキャリア１２
と異なる他のキャリアへ格納せよ」という要求を受信
し、且つこの要求を受け入れる場合、製造装置２０と測
定装置２６とを含む生産装置１００へ先行処理の指示を
行う生産装置制御部（生産装置制御手段）である。生産
装置制御部６０は、生産装置１００に対する処理要求を
「待ち」指定で受信した場合、生産装置１００に対して
処理終了後にキャリア１２等を取り外し可能な状態へ移
行させず、指示待ち状態へ移行させる指示を行う。さら
に、生産装置制御部６０は、生産装置１００に対する強
制的なキャリア１２取り外し可能状態への移行要求を受
信した場合、生産装置１００に対して強制的にキャリア
取り外し可能状態へ移行させる指示を行う。
取り出して先行処理を示す内容のレシピによりこのロッ
トに含まれる材料を加工し、このロットをキャリア１２
と異なる他のキャリアへ格納せよ」という要求を受信
し、且つこの要求を受け入れる場合、製造装置２０と測
定装置２６とを含む生産装置１００へ先行処理の指示を
行う生産装置制御部（生産装置制御手段）である。生産
装置制御部６０は、生産装置１００に対する処理要求を
「待ち」指定で受信した場合、生産装置１００に対して
処理終了後にキャリア１２等を取り外し可能な状態へ移
行させず、指示待ち状態へ移行させる指示を行う。さら
に、生産装置制御部６０は、生産装置１００に対する強
制的なキャリア１２取り外し可能状態への移行要求を受
信した場合、生産装置１００に対して強制的にキャリア
取り外し可能状態へ移行させる指示を行う。
【００３４】符号５０は、キャリア２４を生産装置１０
０の所定のポートへ搬送させる要求を受信した場合、Ａ
ＭＨＳ７０に対してこの要求を指示するＡＭＨＳ統合制
御部（自動搬送装置統合制御手段）である。
０の所定のポートへ搬送させる要求を受信した場合、Ａ
ＭＨＳ７０に対してこの要求を指示するＡＭＨＳ統合制
御部（自動搬送装置統合制御手段）である。
【００３５】符号４５は、ＡＭＨＳ統合制御部５０に対
し、キャリア２４を生産装置１００の所定のポートへ搬
送させる要求を送信する作業手続き管理部（作業手続き
管理手段、作業手続き管理サーバ）である。
し、キャリア２４を生産装置１００の所定のポートへ搬
送させる要求を送信する作業手続き管理部（作業手続き
管理手段、作業手続き管理サーバ）である。
【００３６】符号５５は、キャリア１２等の耐久材の位
置が変化したことを受信してその位置を管理する耐久材
管理部である。
置が変化したことを受信してその位置を管理する耐久材
管理部である。
【００３７】次に、図２を用いてシステム全体の基本的
な動作である本発明の装置運行自動化方法を説明する。
まず、作業手続き管理部３０から割当て部３０へ製造装
置２０の識別子が送信される。割当て部３０はこの製造
装置２０の識別子とロットの識別子とを先行処理判断部
３５へ送信する。先行処理判断部３５は、製造装置２０
においてこのロットに含まれる材料の加工につき先行処
理の必要性があるかどうかを判断する。先行処理判断部
３５が必要性を認める判断を行った場合、この判断は割
当て部３０へ送信され、割当て部３０はこの判断と共に
ロットの識別子を作業手続き管理部４５へ返信する（先
行処理判断工程）。
な動作である本発明の装置運行自動化方法を説明する。
まず、作業手続き管理部３０から割当て部３０へ製造装
置２０の識別子が送信される。割当て部３０はこの製造
装置２０の識別子とロットの識別子とを先行処理判断部
３５へ送信する。先行処理判断部３５は、製造装置２０
においてこのロットに含まれる材料の加工につき先行処
理の必要性があるかどうかを判断する。先行処理判断部
３５が必要性を認める判断を行った場合、この判断は割
当て部３０へ送信され、割当て部３０はこの判断と共に
ロットの識別子を作業手続き管理部４５へ返信する（先
行処理判断工程）。
【００３８】次に、作業手続き管理部４５は、製品管理
部４０に対し、先行処理判断工程において割当て部３０
から返信されたロットの識別子で示されるロットの分割
を通知する。続いて製品管理部４０にこのロットの識別
子を送信して、このロットが格納されているキャリア１
２等の識別子を返信させる。作業手続き管理部４５は、
生産装置制御部６０に対し、「キャリア１２等から所定
の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシピ
によりこのロットに含まれる材料を加工した後、この所
定の数のロットをキャリア１２等と異なる他のキャリア
へ格納せよ」という要求を行う（先行処理要求工程）。
部４０に対し、先行処理判断工程において割当て部３０
から返信されたロットの識別子で示されるロットの分割
を通知する。続いて製品管理部４０にこのロットの識別
子を送信して、このロットが格納されているキャリア１
２等の識別子を返信させる。作業手続き管理部４５は、
生産装置制御部６０に対し、「キャリア１２等から所定
の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシピ
によりこのロットに含まれる材料を加工した後、この所
定の数のロットをキャリア１２等と異なる他のキャリア
へ格納せよ」という要求を行う（先行処理要求工程）。
【００３９】生産装置制御部６０は、先行処理要求工程
において作業手続き管理部４５から示された先行処理を
示す内容のレシピであって、製造装置２０に依存しない
内容のレシピをレシピ管理部６５へ送信する。レシピ管
理部６５は受信したレシピを製造装置２０に依存した内
容のレシピへ変換して返信する。生産装置制御部６０
は、先行処理判断部３５に対し、ロットの識別子、上記
レシピおよび製造装置２０の識別子を送信して上記レシ
ピ中のパラメータの値を返信させる。生産装置制御部６
０は、このパラメータの値を設定したレシピに基づき生
産装置１００に対して先行処理を指示する（先行処理指
示工程）。
において作業手続き管理部４５から示された先行処理を
示す内容のレシピであって、製造装置２０に依存しない
内容のレシピをレシピ管理部６５へ送信する。レシピ管
理部６５は受信したレシピを製造装置２０に依存した内
容のレシピへ変換して返信する。生産装置制御部６０
は、先行処理判断部３５に対し、ロットの識別子、上記
レシピおよび製造装置２０の識別子を送信して上記レシ
ピ中のパラメータの値を返信させる。生産装置制御部６
０は、このパラメータの値を設定したレシピに基づき生
産装置１００に対して先行処理を指示する（先行処理指
示工程）。
【００４０】生産装置１００は先行処理指示工程におけ
る指示に基づき先行処理を行う（先行処理工程）。
る指示に基づき先行処理を行う（先行処理工程）。
【００４１】作業手続き管理部４５は、ＡＭＨＳ統合制
御部５０に対し、「生産装置制御部６０により先行処理
を指示された所定の数のロットが格納された他のキャリ
ア２４等を測定装置２６の所定のポートへ搬送せよ」と
いう要求を送信する。次に、ＡＭＨＳ統合制御部５０に
対し、「上記他のキャリア２４等を製造装置２０の所定
のポートへ搬送せよ」という要求を送信する。続いて生
産装置制御部６０に対し、製造装置２０に対するロット
に含まれる材料の加工要求を「待ち」指定で送信する。
上記他のキャリア２４等の中の所定の数のロットがキャ
リア１２等の中のロットと合流した後、製品管理部４０
に対しロットの合成を通知する。続いて、生産装置制御
部６０に対し、製造装置２０に対し「ロットが合成され
たキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行」要求
を送信する（先行処理後工程）。
御部５０に対し、「生産装置制御部６０により先行処理
を指示された所定の数のロットが格納された他のキャリ
ア２４等を測定装置２６の所定のポートへ搬送せよ」と
いう要求を送信する。次に、ＡＭＨＳ統合制御部５０に
対し、「上記他のキャリア２４等を製造装置２０の所定
のポートへ搬送せよ」という要求を送信する。続いて生
産装置制御部６０に対し、製造装置２０に対するロット
に含まれる材料の加工要求を「待ち」指定で送信する。
上記他のキャリア２４等の中の所定の数のロットがキャ
リア１２等の中のロットと合流した後、製品管理部４０
に対しロットの合成を通知する。続いて、生産装置制御
部６０に対し、製造装置２０に対し「ロットが合成され
たキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行」要求
を送信する（先行処理後工程）。
【００４２】生産装置制御部６０は、製造装置２０に対
し「ロットが合成されたキャリア１２等の強制的な取り
外し可能状態への移行」を指示する（キャリア取り外し
指示工程）。
し「ロットが合成されたキャリア１２等の強制的な取り
外し可能状態への移行」を指示する（キャリア取り外し
指示工程）。
【００４３】次に、上述した各構成要素の他の機能およ
び具体的な命令（要求または指示等）の例について説明
する。以下で、命令の形式は、命令の名前（パラメータ
変数１：パラメータ変数１の値、パラメータ変数２：パ
ラメータ変数２の値、・・・パラメータ変数Ｎ：パラメー
タ変数Ｎの値）である。例えば、「受信 isPilotRequi
red(Machine:EQ1, materialGroup:SG1)」という命令
は、受信する命令の名前が「isPilotRequired」、パラ
メータ変数１が「製造装置Machine」、パラメータ変数
１の値が「EQ1」、パラメータ変数２が「ロットmateria
lGroup」、パラメータ変数２の値が「SG1」である。以
下、簡略化のためにパラメータ変数とパラメータ変数の
値とを「パラメータ変数：パラメータ変数の値（例。Ma
chine:EQ1）」のように表す。
び具体的な命令（要求または指示等）の例について説明
する。以下で、命令の形式は、命令の名前（パラメータ
変数１：パラメータ変数１の値、パラメータ変数２：パ
ラメータ変数２の値、・・・パラメータ変数Ｎ：パラメー
タ変数Ｎの値）である。例えば、「受信 isPilotRequi
red(Machine:EQ1, materialGroup:SG1)」という命令
は、受信する命令の名前が「isPilotRequired」、パラ
メータ変数１が「製造装置Machine」、パラメータ変数
１の値が「EQ1」、パラメータ変数２が「ロットmateria
lGroup」、パラメータ変数２の値が「SG1」である。以
下、簡略化のためにパラメータ変数とパラメータ変数の
値とを「パラメータ変数：パラメータ変数の値（例。Ma
chine:EQ1）」のように表す。
【００４４】先行処理判断部３５．
受信 isPilotRequired(Machine:EQ1, materialGroup:S
G1) 応答 Reply(yes) 製造装置２０（Machine:EQ1）とロット（materialGrou
p:SG1）とを与えて、先行処理が必要かどうかを返させ
る。必要な場合、応答Reply(yes)を返させる。先行処理
判断部３５は、今までの生産装置１００からの加工デー
タ、測定装置２６からの測定データ、さらに生産装置１
００および加工工程のデータに基づいて、製造装置２０
（Machine:EQ1）でロット（materialGroup:SG1）を加工
する際に、先行処理が必要かどうかを、製品に要求され
る品質と生産装置１００の状態とを加味して判断する。 （２）受信 requestVariableParatmeter(Machine:EQ1,
substrateGroup:SGP1,Recipe:先行処理) 応答 Reply(Parameter1:****, Parammeter2:****) ロットと製造装置２０とが決定しても、今までの製造装
置２０での加工結果をトレースして(後述のData Collec
tion命令でトレースできる)微調整が必要になることが
ある。そのためにレシピの一部を修正する必要がある。
レシピの一部をなすParameter1, Parameter2などの値を
問い合わせるのがこの命令である。requestVariablePar
ameterでは、製造装置２０(Machine:EQ1)とロット(subs
trateGroup:SGP1)とレシピ（Recipe:先行処理）とを与
える。応答ではParameter1, 2・・・の具体的な値が返答さ
れる。
G1) 応答 Reply(yes) 製造装置２０（Machine:EQ1）とロット（materialGrou
p:SG1）とを与えて、先行処理が必要かどうかを返させ
る。必要な場合、応答Reply(yes)を返させる。先行処理
判断部３５は、今までの生産装置１００からの加工デー
タ、測定装置２６からの測定データ、さらに生産装置１
００および加工工程のデータに基づいて、製造装置２０
（Machine:EQ1）でロット（materialGroup:SG1）を加工
する際に、先行処理が必要かどうかを、製品に要求され
る品質と生産装置１００の状態とを加味して判断する。 （２）受信 requestVariableParatmeter(Machine:EQ1,
substrateGroup:SGP1,Recipe:先行処理) 応答 Reply(Parameter1:****, Parammeter2:****) ロットと製造装置２０とが決定しても、今までの製造装
置２０での加工結果をトレースして(後述のData Collec
tion命令でトレースできる)微調整が必要になることが
ある。そのためにレシピの一部を修正する必要がある。
レシピの一部をなすParameter1, Parameter2などの値を
問い合わせるのがこの命令である。requestVariablePar
ameterでは、製造装置２０(Machine:EQ1)とロット(subs
trateGroup:SGP1)とレシピ（Recipe:先行処理）とを与
える。応答ではParameter1, 2・・・の具体的な値が返答さ
れる。
【００４５】割当て部３０．
（１）受信 whatNextForMaterialGroup(MaterialGrou
p:SGP1) 応答 reply(Machine:EQ2, MaterialGroup:SGP1) ロット（MaterialGroup:SGP1）を与えて、このロット
（MaterialGroup:SGP1） が次にどの生産装置１００（Machine:EQ2）で作業すべ
きかを応答させる。 受信 whatNextForResource(Machine:EQ1) 応答 reply(Machine:EQ1, MaterialGroup:SGP1) 生産装置１００（Machine:EQ1）を与えて、この生産装
置１００（Machine:EQ1）が次にどのロット（MaterialG
roup:SGP1）を作業すべきかを応答させる。応答replyの
前に先行処理判断部３５isPilotRequiredを送信して問
い合わせる点に本発明の装置自動化システム及び方法等
の特徴がある。
p:SGP1) 応答 reply(Machine:EQ2, MaterialGroup:SGP1) ロット（MaterialGroup:SGP1）を与えて、このロット
（MaterialGroup:SGP1） が次にどの生産装置１００（Machine:EQ2）で作業すべ
きかを応答させる。 受信 whatNextForResource(Machine:EQ1) 応答 reply(Machine:EQ1, MaterialGroup:SGP1) 生産装置１００（Machine:EQ1）を与えて、この生産装
置１００（Machine:EQ1）が次にどのロット（MaterialG
roup:SGP1）を作業すべきかを応答させる。応答replyの
前に先行処理判断部３５isPilotRequiredを送信して問
い合わせる点に本発明の装置自動化システム及び方法等
の特徴がある。
【００４６】製品管理部４０．
受信 carrierOfSG(MaterialGroup: SGP1)
応答 reply(MaterialContainer:CA)
製品管理部４０は、ロットとロットが格納されているキ
ャリア１２等との対応関係を保持する。この命令はロッ
ト（MaterialGroup: SGP1）を与えて、それが格納され
ているキャリア（MaterialContainer:CA）を返させるも
のである。 （２）受信 informLotCombine(SourceMaterialGroupLi
st: (SG1, SGP1), DestMaterialGroupInfo(SG1, WaferI
DList3)) ロット（SG1）とロット（SGP1）とが合成されてロット
（SG1）になったことを通知する命令。リスト（WaferID
List3）はロット（SG1）の各ウェーハがキャリア１２等
の中でどのスロットに位置するかを示すリストである。
製品管理部４０はこの命令を受信すると部内のロットデ
ータを合成する。 （３）受信 informLotSplit (SourceMaterialGroup:SG
1, DestMaterialGroupInfoList: ((SG1, WaferIDList1)
(SGP1, WaferIDList2))) ロット（SG1）が分割されて、ロット（SG1）とロット
（SGP1）とになったことを通知する命令。リスト（Wafe
rIDList1）は分割後のロット（SG1）の各ウェーハがキ
ャリア１２等の中でどのスロットに位置するかを示すリ
ストである。同様にリスト（WaferIDList2）はロット
（SGP1）の各ウェーハがキャリア１２等の中でどのスロ
ットに位置するかを示すリストである。製品管理部４０
はこの命令を受信すると部内のロットデータを合成す
る。
ャリア１２等との対応関係を保持する。この命令はロッ
ト（MaterialGroup: SGP1）を与えて、それが格納され
ているキャリア（MaterialContainer:CA）を返させるも
のである。 （２）受信 informLotCombine(SourceMaterialGroupLi
st: (SG1, SGP1), DestMaterialGroupInfo(SG1, WaferI
DList3)) ロット（SG1）とロット（SGP1）とが合成されてロット
（SG1）になったことを通知する命令。リスト（WaferID
List3）はロット（SG1）の各ウェーハがキャリア１２等
の中でどのスロットに位置するかを示すリストである。
製品管理部４０はこの命令を受信すると部内のロットデ
ータを合成する。 （３）受信 informLotSplit (SourceMaterialGroup:SG
1, DestMaterialGroupInfoList: ((SG1, WaferIDList1)
(SGP1, WaferIDList2))) ロット（SG1）が分割されて、ロット（SG1）とロット
（SGP1）とになったことを通知する命令。リスト（Wafe
rIDList1）は分割後のロット（SG1）の各ウェーハがキ
ャリア１２等の中でどのスロットに位置するかを示すリ
ストである。同様にリスト（WaferIDList2）はロット
（SGP1）の各ウェーハがキャリア１２等の中でどのスロ
ットに位置するかを示すリストである。製品管理部４０
はこの命令を受信すると部内のロットデータを合成す
る。
【００４７】レシピ管理部６５．
（１）受信 getProcessPrograms(Machine:EQ1, Substr
ateGroup:最初の１枚、Recipe:先行処理) 応答reply(先行処理のPPID) レシピ（Recipe:先行処理）は加工および測定の内容を
表す。同じ内容の加工または測定であっても、具体的な
生産装置１００によって具体的なレシピは機種の差等で
異なっている可能性がある。そこで、生産装置１００に
依存しないレシピ（Recipe:先行処理）から生産装置１
００に依存するレシピへの変換が必要になる。レシピ管
理部６５はこの変換を行う。命令getProcessProgramsは
生産装置１００（Machine:EQ1）とロット（SubstrateGr
oup:最初の１枚）とを与えて、具体的なレシピ(先行処
理のPPID)を返答させるものである。
ateGroup:最初の１枚、Recipe:先行処理) 応答reply(先行処理のPPID) レシピ（Recipe:先行処理）は加工および測定の内容を
表す。同じ内容の加工または測定であっても、具体的な
生産装置１００によって具体的なレシピは機種の差等で
異なっている可能性がある。そこで、生産装置１００に
依存しないレシピ（Recipe:先行処理）から生産装置１
００に依存するレシピへの変換が必要になる。レシピ管
理部６５はこの変換を行う。命令getProcessProgramsは
生産装置１００（Machine:EQ1）とロット（SubstrateGr
oup:最初の１枚）とを与えて、具体的なレシピ(先行処
理のPPID)を返答させるものである。
【００４８】生産装置制御部６０．
（１）受信 requestJob(JobType:Process, SubstrateG
roup:SGP1（先行ウェーハ）, Recipe:先行処理, FromCa
rrier:CA, ToCarrier:CB, DeadLine) 応答 Reply(Job:PJ1) ジョブタイプ（JobType:Process）は、ジョブタイプがP
rocess、すなわち生産装置での処理等のプロセスである
ことを意味する。より詳しくは、製造装置２０でのウェ
ーハの加工および測定装置２６でのウェーハの測定の両
方を示す。生産装置制御部は、ジョブタイプ（JobType:
Porcess）のrequestJob命令しか受け付けない。デッド
ライン（DeadLine）は、プロセス実行完了の要求納期
（年月日時分秒）を示す。ロット（SubstrateGroup:SGP
1（先行ウェーハ））のSubstrateGroupはロット（ウェ
ーハの集まり）を示す。よってこの例の場合、ロットは
SGP1という意味になる。なお、本明細書の例ではSGP1は
先行ウェーハを示す。レシピ（Recipe:先行処理）は、
加工のレシピが先行処理用のレシピであることを示す。
フロムキャリア（FromCarrier:CA）はキャリアCAからウ
ェーハを取り出して加工することを意味する。トウキャ
リア（ToCarrier:CB）は、加工後のウェーハをキャリア
CBに格納することを示す。キャリアからのウェーハの取
り出しおよびキャリアへのウェーハの格納は生産装置１
００の持つ機能である。したがって、この命令全体の意
味は「キャリアCAからロットSG1を取り出しレシピ先行
処理で加工しキャリアCBへ格納せよ」という、生産装置
制御部６０への命令を表す。これに対して生産装置制御
部６０は、コマンドを受け付けるか拒否するかの返答が
出来る。受け付ける場合には、ジョブを自分の内部に生
成し、その名前を命令requestJobの要求者に返す。この
命令は後述のフローチャート中で命令reply(Job TJ1)等
と示してあるものである。応答（Job:PJ1）の意味は、
コマンドを受けて生成したジョブのIDがPJ1であること
を示す。
roup:SGP1（先行ウェーハ）, Recipe:先行処理, FromCa
rrier:CA, ToCarrier:CB, DeadLine) 応答 Reply(Job:PJ1) ジョブタイプ（JobType:Process）は、ジョブタイプがP
rocess、すなわち生産装置での処理等のプロセスである
ことを意味する。より詳しくは、製造装置２０でのウェ
ーハの加工および測定装置２６でのウェーハの測定の両
方を示す。生産装置制御部は、ジョブタイプ（JobType:
Porcess）のrequestJob命令しか受け付けない。デッド
ライン（DeadLine）は、プロセス実行完了の要求納期
（年月日時分秒）を示す。ロット（SubstrateGroup:SGP
1（先行ウェーハ））のSubstrateGroupはロット（ウェ
ーハの集まり）を示す。よってこの例の場合、ロットは
SGP1という意味になる。なお、本明細書の例ではSGP1は
先行ウェーハを示す。レシピ（Recipe:先行処理）は、
加工のレシピが先行処理用のレシピであることを示す。
フロムキャリア（FromCarrier:CA）はキャリアCAからウ
ェーハを取り出して加工することを意味する。トウキャ
リア（ToCarrier:CB）は、加工後のウェーハをキャリア
CBに格納することを示す。キャリアからのウェーハの取
り出しおよびキャリアへのウェーハの格納は生産装置１
００の持つ機能である。したがって、この命令全体の意
味は「キャリアCAからロットSG1を取り出しレシピ先行
処理で加工しキャリアCBへ格納せよ」という、生産装置
制御部６０への命令を表す。これに対して生産装置制御
部６０は、コマンドを受け付けるか拒否するかの返答が
出来る。受け付ける場合には、ジョブを自分の内部に生
成し、その名前を命令requestJobの要求者に返す。この
命令は後述のフローチャート中で命令reply(Job TJ1)等
と示してあるものである。応答（Job:PJ1）の意味は、
コマンドを受けて生成したジョブのIDがPJ1であること
を示す。
【００４９】上述の命令の他の例として以下の命令があ
る。 （２）受信 requestJob(JobType:Porcess, SubstrateG
roup:SGP1, Recipe:合流, DeadLine、待て) この命令には、最後に「待て」という指定が追加されて
いる。通常は生産装置制御部６０またはその制御下にあ
る生産装置１００は、プロセスを完了すると自動的に後
述の命令inform(Machine **, Port **, to:ReadyToUnLo
ad, MaterialContainer **)を発してシステムにキャリ
アの取り外しを要求する。しかし、命令requestJob要求
時に「待て」という指定を追加することによって、生産
装置１００が、プロセス完了後もキャリア取り外し可能
状態ReadyToUnLoad状態にならず、上位からの次の指示
を待つようにする。本願発明の装置自動化システムの特
徴は、このような指示をすること、および生産装置１０
０がこのような指示に対応することにある。 （３）受信 getMachineType() 応答 reply(machineType FixedBuffer) 命令getMachineTypeは生産装置１００のタイプを問い合
わせる通信である。生産装置１００のタイプとしてはタ
イプ（FixedBuffer）およびタイプ（InternalBuffer）
の２種類が存在する。 （４）受信 getPortReservation(Port:EQ1LP1, Materi
alContainer:CA) 応答 Reply(Port:EQ1LP1) 命令getPortReservationは、ＡＭＨＳ統合制御部５０が
キャリア１２等の搬送を起動しようとする際、搬送先の
生産装置１００のポートを予約するためのコマンドであ
る。ポート（Port:EQ1LP1）は予約しようとするポー
ト、キャリア（MaterialContainer:CA）は搬送するキャ
リアを表す。よってこの命令の意味は「ポートEQ1LP1を
キャリアCAのために予約する」という生産装置制御部６
０への要求を表す。応答reply(Port:EQ1LP1)は予約でき
た時には予約されたポート(Port:EQ1LP1)を返す。予約
できなかった場合はNullを返す。 （５）受信 carrierCompleteCommand(MaterialContain
er:CA) この命令は、生産装置制御部６０に「キャリアCAを強制
的にアンロード可能にせよ」という要求を示す。これは
上述の命令requestJobの「待て」の指定と組み合わせて
使用する。この命令も本発明の装置自動化システムの特
徴的な命令である。上位からReadyToUnloadを待てとい
う指示または上位から強制的にReadyToUnloadを出せと
いう指示の組合せがあり得るが、本命例は「上位から強
制的にReadyToUnloadを出せ」の部分を示したものであ
る。 （６）送信 inform(Machine:EQ1, Port:EQ1LP2, to:Re
adyToUnload, MaterialContainer:CB) この命令は生産装置のポートの状態が変化したことを通
知するものである。装置（Machine:EQ1）は対象となる
生産装置１００、ポート（Port: EQ1LP）はそのポー
ト、状態（to:ReadyToUnload）は状態変化後の状態、
（キャリアMaterialContainer:CB）は搬送するキャリア
を示す。ポートの状態としては、ReadyToLoad（ロード
可能。つまりこのポートはキャリアを受入れ可能）、Tr
ansferBlocked（ロードもアンロードも出来ない）、Rea
dyToUnload（アンロード可能、つまりこのポートはキャ
リアを取り外し可能）の３種類がある。したがって、こ
の命令の意味は「生産装置EQ1のポートEQ1LP2はキャリ
アCBを取り外すことが可能な状態になった」というもの
である。 （７）送信 Data Collection この命令は、プロセス結果（測定結果データを含む）を
先行処理判断部３５に通知する命令である。具体的な変
数は生産装置１００により種々異なる。
る。 （２）受信 requestJob(JobType:Porcess, SubstrateG
roup:SGP1, Recipe:合流, DeadLine、待て) この命令には、最後に「待て」という指定が追加されて
いる。通常は生産装置制御部６０またはその制御下にあ
る生産装置１００は、プロセスを完了すると自動的に後
述の命令inform(Machine **, Port **, to:ReadyToUnLo
ad, MaterialContainer **)を発してシステムにキャリ
アの取り外しを要求する。しかし、命令requestJob要求
時に「待て」という指定を追加することによって、生産
装置１００が、プロセス完了後もキャリア取り外し可能
状態ReadyToUnLoad状態にならず、上位からの次の指示
を待つようにする。本願発明の装置自動化システムの特
徴は、このような指示をすること、および生産装置１０
０がこのような指示に対応することにある。 （３）受信 getMachineType() 応答 reply(machineType FixedBuffer) 命令getMachineTypeは生産装置１００のタイプを問い合
わせる通信である。生産装置１００のタイプとしてはタ
イプ（FixedBuffer）およびタイプ（InternalBuffer）
の２種類が存在する。 （４）受信 getPortReservation(Port:EQ1LP1, Materi
alContainer:CA) 応答 Reply(Port:EQ1LP1) 命令getPortReservationは、ＡＭＨＳ統合制御部５０が
キャリア１２等の搬送を起動しようとする際、搬送先の
生産装置１００のポートを予約するためのコマンドであ
る。ポート（Port:EQ1LP1）は予約しようとするポー
ト、キャリア（MaterialContainer:CA）は搬送するキャ
リアを表す。よってこの命令の意味は「ポートEQ1LP1を
キャリアCAのために予約する」という生産装置制御部６
０への要求を表す。応答reply(Port:EQ1LP1)は予約でき
た時には予約されたポート(Port:EQ1LP1)を返す。予約
できなかった場合はNullを返す。 （５）受信 carrierCompleteCommand(MaterialContain
er:CA) この命令は、生産装置制御部６０に「キャリアCAを強制
的にアンロード可能にせよ」という要求を示す。これは
上述の命令requestJobの「待て」の指定と組み合わせて
使用する。この命令も本発明の装置自動化システムの特
徴的な命令である。上位からReadyToUnloadを待てとい
う指示または上位から強制的にReadyToUnloadを出せと
いう指示の組合せがあり得るが、本命例は「上位から強
制的にReadyToUnloadを出せ」の部分を示したものであ
る。 （６）送信 inform(Machine:EQ1, Port:EQ1LP2, to:Re
adyToUnload, MaterialContainer:CB) この命令は生産装置のポートの状態が変化したことを通
知するものである。装置（Machine:EQ1）は対象となる
生産装置１００、ポート（Port: EQ1LP）はそのポー
ト、状態（to:ReadyToUnload）は状態変化後の状態、
（キャリアMaterialContainer:CB）は搬送するキャリア
を示す。ポートの状態としては、ReadyToLoad（ロード
可能。つまりこのポートはキャリアを受入れ可能）、Tr
ansferBlocked（ロードもアンロードも出来ない）、Rea
dyToUnload（アンロード可能、つまりこのポートはキャ
リアを取り外し可能）の３種類がある。したがって、こ
の命令の意味は「生産装置EQ1のポートEQ1LP2はキャリ
アCBを取り外すことが可能な状態になった」というもの
である。 （７）送信 Data Collection この命令は、プロセス結果（測定結果データを含む）を
先行処理判断部３５に通知する命令である。具体的な変
数は生産装置１００により種々異なる。
【００５０】ＡＭＨＳ統合制御部５０．
（１）受信 requestJob(JobType:Transport, DeadLin
e, Container:CA, DestMachine:EQ1, DestPort:EQ1LP1) 応答reply(Job:TJ1) この命令requestJobは、各部に仕事(Job)の実行を要求
するための命令である。ジョブタイプ（JobType:Transp
ort）は、ジョブタイプ（仕事のタイプ）がTransportす
なわち搬送であることを示す。ＡＭＨＳ統合制御部は、
ジョブタイプ（JobType:Transport）の命令requestJob
しか受け付けない。要求納期（DeadLine）は搬送実行完
了の要求納期（年月日時分秒）を示す。キャリア（Cont
ainer:CA）のContainerはキャリアを示す。よってこの
例の場合、キャリアはCAという意味になる。装置（Dest
Machine:EQ1）は搬送先の生産装置１００を示す。本明
細書において生産装置１００とは製造装置と測定装置の
両方を総称して言う。この例では搬送先の生産装置はEQ
1であることを示す。ポート（DestPort:EQ1LP1）のDest
Portは搬送先の装置のポート（キャリアを載せたりはず
したりする場所）を示す。この例では搬送先装置ポート
はEQ1LP1である。したがって、この命令の意味は「キャ
リアCAを装置EQ1のポートEQ1LP1へ搬送せよ」という、
ＡＭＨＳ統合制御部への命令となる。これに対してＡＭ
ＨＳ統合制御部５０は、命令を受け付けるか拒否するか
の返答が出来る。受け付ける場合には、ジョブを自分の
内部に生成し、その名前を命令requestJobの要求者に返
す。この命令は後述のフローチャート中で応答reply(Jo
b:TJ1)等と示してあるものである。Job: TJ1の意味は、
命令を受けて生成したジョブのIDがTJ1であることを示
す。後述のフローチャート中では搬送のジョブ（ＡＭＨ
Ｓ統合制御部５０内で動作）はTJ1, TJ2, TJ3等で示
し、プロセスジョブ（生産装置制御部内で動作）はPJ1,
PJ2, PJ3等で表している。 （２）送信 informJobStateChange(Job:TJ1, Previous
State, newState:COMPLETED) この命令informJobStateChangeは、各部内のジョブの状
態が変化したことを作業手続管理部４５へ報告するもの
である。これはＡＭＨＳ統合制御部５０および生産装置
制御部６０の両者に共通である。ジョブ（Job:TJ1）は
ジョブの名前がTJ1であることを示す。状態（PreviousS
tate）は状態変化が起きる前の状態を示す。例えば状態
（PreviousState QUEUED）等のように具体的な値も一緒
に記載される。状態（NewState:COMPLETED）は状態変化
後の状態がCOMPLETED状態（ジョブが完了した状態）で
あることを示す。したがって、この命令は「ジョブTJ1
が完了した」ことを表している。ジョブの状態としては
EXECUTINGとCOMPLETEDとがある。状態EXECUTINGはジョ
ブが実行中であることを示す。従ってinformJobStateCh
ange(Job:TJ1, previousSate, newState:EXECUTING)は
「ジョブ:TJ1が実行開始した」ことを表す。
e, Container:CA, DestMachine:EQ1, DestPort:EQ1LP1) 応答reply(Job:TJ1) この命令requestJobは、各部に仕事(Job)の実行を要求
するための命令である。ジョブタイプ（JobType:Transp
ort）は、ジョブタイプ（仕事のタイプ）がTransportす
なわち搬送であることを示す。ＡＭＨＳ統合制御部は、
ジョブタイプ（JobType:Transport）の命令requestJob
しか受け付けない。要求納期（DeadLine）は搬送実行完
了の要求納期（年月日時分秒）を示す。キャリア（Cont
ainer:CA）のContainerはキャリアを示す。よってこの
例の場合、キャリアはCAという意味になる。装置（Dest
Machine:EQ1）は搬送先の生産装置１００を示す。本明
細書において生産装置１００とは製造装置と測定装置の
両方を総称して言う。この例では搬送先の生産装置はEQ
1であることを示す。ポート（DestPort:EQ1LP1）のDest
Portは搬送先の装置のポート（キャリアを載せたりはず
したりする場所）を示す。この例では搬送先装置ポート
はEQ1LP1である。したがって、この命令の意味は「キャ
リアCAを装置EQ1のポートEQ1LP1へ搬送せよ」という、
ＡＭＨＳ統合制御部への命令となる。これに対してＡＭ
ＨＳ統合制御部５０は、命令を受け付けるか拒否するか
の返答が出来る。受け付ける場合には、ジョブを自分の
内部に生成し、その名前を命令requestJobの要求者に返
す。この命令は後述のフローチャート中で応答reply(Jo
b:TJ1)等と示してあるものである。Job: TJ1の意味は、
命令を受けて生成したジョブのIDがTJ1であることを示
す。後述のフローチャート中では搬送のジョブ（ＡＭＨ
Ｓ統合制御部５０内で動作）はTJ1, TJ2, TJ3等で示
し、プロセスジョブ（生産装置制御部内で動作）はPJ1,
PJ2, PJ3等で表している。 （２）送信 informJobStateChange(Job:TJ1, Previous
State, newState:COMPLETED) この命令informJobStateChangeは、各部内のジョブの状
態が変化したことを作業手続管理部４５へ報告するもの
である。これはＡＭＨＳ統合制御部５０および生産装置
制御部６０の両者に共通である。ジョブ（Job:TJ1）は
ジョブの名前がTJ1であることを示す。状態（PreviousS
tate）は状態変化が起きる前の状態を示す。例えば状態
（PreviousState QUEUED）等のように具体的な値も一緒
に記載される。状態（NewState:COMPLETED）は状態変化
後の状態がCOMPLETED状態（ジョブが完了した状態）で
あることを示す。したがって、この命令は「ジョブTJ1
が完了した」ことを表している。ジョブの状態としては
EXECUTINGとCOMPLETEDとがある。状態EXECUTINGはジョ
ブが実行中であることを示す。従ってinformJobStateCh
ange(Job:TJ1, previousSate, newState:EXECUTING)は
「ジョブ:TJ1が実行開始した」ことを表す。
【００５１】作業手続き管理部４５．
作業手続き管理部４５は、一連のフローを進めるための
判断をし、他の部にジョブをリクエストしたり問合せを
したりする。 （１）生産装置制御部６０からのinform(machine ***,
Port ***, to ReadyToLoad)（ロード可能の通知）を受
信して、割当て部３０へ次にこの生産装置１００で作業
すべきロットをwhatNextForResource命令で問い合わせ
る。 （２）生産装置制御部６０からのinform(machine ***,
Port ***, to ReadyToUnload, MaterialContainer ***)
（アンロード可能の通知）を受信して、割当て部３０へ
次にこのロットが作業されるべき生産装置１００を命令
whatNextForMaterialGroupで問い合わせる。 （３）先行処理が完了した時（informJobStateChangeで
通知。内部判断必要。）に、割当て部３０へ次にこの生
産装置１００で作業すべきロットを命令whatNextForRes
ourceで問い合わせる。 （４）アノード割り当て部３０の応答replyに基づい
て、ロットのキャリアを製品管理部４０に問合せ、キャ
リアの搬送先となる生産装置１００のポートを命令getP
ortReservationで予約し、ＡＭＨＳ統合制御部５０に命
令reqestJobで搬送を要求する。 （５）ロットの分割または合成を決定した時、製品管理
部４０にそれを命令informLotSplitまたは命令informLo
tCombineで通知する。 （６）命令informJobStateChangeによりプロセスジョブ
の完了または搬送ジョブの完了を受信すると、予め各部
内に定義されたフローに従って、次の命令を発行する。
特に本発明の装置自動管理システムでは、ロットSGP1の
装置EQ1のプロセスPJ3の処理と、ロットSG1の装置EQ1で
のプロセスPJ4の処理とを命令requestJobで要求する際
に、「待て」の指示を追加する。ロットSGP1の装置EQ1
でのプロセスPJ3の処理と、ロットSG1の装置EQ1でのプ
ロセスPJ4の処理との両方が完了したことを監視し、両
方が完了した時点で命令carrierCompleteCommandを生産
装置制御部６０へ送信する。
判断をし、他の部にジョブをリクエストしたり問合せを
したりする。 （１）生産装置制御部６０からのinform(machine ***,
Port ***, to ReadyToLoad)（ロード可能の通知）を受
信して、割当て部３０へ次にこの生産装置１００で作業
すべきロットをwhatNextForResource命令で問い合わせ
る。 （２）生産装置制御部６０からのinform(machine ***,
Port ***, to ReadyToUnload, MaterialContainer ***)
（アンロード可能の通知）を受信して、割当て部３０へ
次にこのロットが作業されるべき生産装置１００を命令
whatNextForMaterialGroupで問い合わせる。 （３）先行処理が完了した時（informJobStateChangeで
通知。内部判断必要。）に、割当て部３０へ次にこの生
産装置１００で作業すべきロットを命令whatNextForRes
ourceで問い合わせる。 （４）アノード割り当て部３０の応答replyに基づい
て、ロットのキャリアを製品管理部４０に問合せ、キャ
リアの搬送先となる生産装置１００のポートを命令getP
ortReservationで予約し、ＡＭＨＳ統合制御部５０に命
令reqestJobで搬送を要求する。 （５）ロットの分割または合成を決定した時、製品管理
部４０にそれを命令informLotSplitまたは命令informLo
tCombineで通知する。 （６）命令informJobStateChangeによりプロセスジョブ
の完了または搬送ジョブの完了を受信すると、予め各部
内に定義されたフローに従って、次の命令を発行する。
特に本発明の装置自動管理システムでは、ロットSGP1の
装置EQ1のプロセスPJ3の処理と、ロットSG1の装置EQ1で
のプロセスPJ4の処理とを命令requestJobで要求する際
に、「待て」の指示を追加する。ロットSGP1の装置EQ1
でのプロセスPJ3の処理と、ロットSG1の装置EQ1でのプ
ロセスPJ4の処理との両方が完了したことを監視し、両
方が完了した時点で命令carrierCompleteCommandを生産
装置制御部６０へ送信する。
【００５２】耐久材管理部５５．
（１）受信 getUnit(MaterialContainer:CA)
応答reply(unit)
キャリア（MaterialContainer:CA）のユニット（キャリ
アの種類）を問い合わせる命令とその応答である。ＡＭ
ＨＳ統合制御部５０がキャリア１２等のストッカ１０に
おける保管先を決定する際、ユニットを使って決定する
ために用いられる。 （２）受信 requestSlotInform(MaterialContainer:C
A) 応答reply(CarrierPropertiesList) キャリア１２等のスロットの内容を問い合わせる命令と
その応答である。CarrierPropertiesListはどのスロッ
トにウェーハが存在するかの情報を示す。 （３）受信 setMaterialTrackingLocation(materialCo
ntainer:CA, materialTrackingLocation:通過するAMHS) 耐久材管理部５５は、キャリア１２等の耐久材の位置を
管理する。この命令は耐久材の位置が変化したことを通
知する。materialTrackingLocationは位置を示す。この
例の場合、ＡＭＨＳ統合制御部５０が一般には複数のＡ
ＭＨＳ７０を使ってキャリア２４等を搬送するため、キ
ャリア２４等がＡＭＨＳ７０を変わるたびにこの報告で
キャリア２４等の位置を更新している。
アの種類）を問い合わせる命令とその応答である。ＡＭ
ＨＳ統合制御部５０がキャリア１２等のストッカ１０に
おける保管先を決定する際、ユニットを使って決定する
ために用いられる。 （２）受信 requestSlotInform(MaterialContainer:C
A) 応答reply(CarrierPropertiesList) キャリア１２等のスロットの内容を問い合わせる命令と
その応答である。CarrierPropertiesListはどのスロッ
トにウェーハが存在するかの情報を示す。 （３）受信 setMaterialTrackingLocation(materialCo
ntainer:CA, materialTrackingLocation:通過するAMHS) 耐久材管理部５５は、キャリア１２等の耐久材の位置を
管理する。この命令は耐久材の位置が変化したことを通
知する。materialTrackingLocationは位置を示す。この
例の場合、ＡＭＨＳ統合制御部５０が一般には複数のＡ
ＭＨＳ７０を使ってキャリア２４等を搬送するため、キ
ャリア２４等がＡＭＨＳ７０を変わるたびにこの報告で
キャリア２４等の位置を更新している。
【００５３】以下、図３ないし図９に本発明の装置自動
化方法のフローチャートを示す。図３ないし図９は一連
の連続したフローチャートであり、例えば図３の下部は
図４の上部へと繋がっており、図４の下部は図５の上部
へと繋がっている。しかし、図面の都合上、図３ないし
図９に分けて示してある。図３ないし図９で、生産装置
制御部６０は製造装置２０側の制御を行うインラインス
テッパ（EQ1）と測定装置２６側の制御を行う目ずれ測
定器（EQ2）とに分けてある。さらに図面の都合上、省
略符号を用いており、符号「ＳＤ」割当て部３０、「Ｆ
Ｏ」は作業手続き管理部４５を表す。各工程はステップ
番号（Ｓ１０等）が付されており、特にコメントを要す
る工程にはステップ番号としてＡ、Ｂ等の英記号が付さ
れている。図６ないし図８のうち、左側に「並行する」
と付されているステップＭからステップＳ１９２まで
と、ステップＳ１９４からステップＳ２１８までとは、
並行して処理される部分を示している。
化方法のフローチャートを示す。図３ないし図９は一連
の連続したフローチャートであり、例えば図３の下部は
図４の上部へと繋がっており、図４の下部は図５の上部
へと繋がっている。しかし、図面の都合上、図３ないし
図９に分けて示してある。図３ないし図９で、生産装置
制御部６０は製造装置２０側の制御を行うインラインス
テッパ（EQ1）と測定装置２６側の制御を行う目ずれ測
定器（EQ2）とに分けてある。さらに図面の都合上、省
略符号を用いており、符号「ＳＤ」割当て部３０、「Ｆ
Ｏ」は作業手続き管理部４５を表す。各工程はステップ
番号（Ｓ１０等）が付されており、特にコメントを要す
る工程にはステップ番号としてＡ、Ｂ等の英記号が付さ
れている。図６ないし図８のうち、左側に「並行する」
と付されているステップＭからステップＳ１９２まで
と、ステップＳ１９４からステップＳ２１８までとは、
並行して処理される部分を示している。
【００５４】ステップＡ．図３に示されるように、ま
ず、空キャリアは最初からインラインステッパEQ1（６
０）に置かれているものとする。インラインステッパEQ
1（６０）から作業手続き管理部４５へ命令inform(Mach
ine EQ1, Port:EQ1LP1, to:ReadyToLoad)を送信する
（ステップＳ１０）。作業手続き管理部４５は割当て部
３０へ命令whatNextForResource(Machine:EQ1)を送信す
る（ステップＳ１２）。割当て部３０は先行処理判断部
３５へ命令isPilotRequired(Machine:EQ1, materialGro
up:SG1)を送信する（ステップＳ１４）。
ず、空キャリアは最初からインラインステッパEQ1（６
０）に置かれているものとする。インラインステッパEQ
1（６０）から作業手続き管理部４５へ命令inform(Mach
ine EQ1, Port:EQ1LP1, to:ReadyToLoad)を送信する
（ステップＳ１０）。作業手続き管理部４５は割当て部
３０へ命令whatNextForResource(Machine:EQ1)を送信す
る（ステップＳ１２）。割当て部３０は先行処理判断部
３５へ命令isPilotRequired(Machine:EQ1, materialGro
up:SG1)を送信する（ステップＳ１４）。
【００５５】ステップＢ．先行処理判断部３５はインラ
インステッパEQ1（６０）でサブストレート・グループ
ＳＧ1の処理に、先行処理が必要であると判断する。先
行処理判断部３５は割当て部３０へ応答（yes）を返信
する（ステップS１６）。
インステッパEQ1（６０）でサブストレート・グループ
ＳＧ1の処理に、先行処理が必要であると判断する。先
行処理判断部３５は割当て部３０へ応答（yes）を返信
する（ステップS１６）。
【００５６】ステップＣ．ＳＤ（割当て部）３０はＳＧ
１を先行ウェーハＳＧＰ１と残りＳＧ１とに分割するこ
とを決定する。割当て部３０はＦＯ（作業手続き管理
部）４５へ先行処理であることをReply(machine:EQ1, m
aterialGroup:SGP1、先行処理)により通知する（ステッ
プＳ１８）。
１を先行ウェーハＳＧＰ１と残りＳＧ１とに分割するこ
とを決定する。割当て部３０はＦＯ（作業手続き管理
部）４５へ先行処理であることをReply(machine:EQ1, m
aterialGroup:SGP1、先行処理)により通知する（ステッ
プＳ１８）。
【００５７】ステップＤ．ＦＯ４５は、これが先行であ
ることを知って、SGP1とSG1とをキャリアＣＡで一緒に
運ぶことを決定する。ＦＯは、Product ManagementにＳ
Ｇ１がＳＧＰ１とＳＧ１に分かれたことを、informLotS
plit(SourceMaterialGroup:SG1, DestMaterialGroupInf
oList:((SG1, WaferIDList1)(SGP1, WaferIDList2)))に
より通知する（ステップＳ２０）。作業手続き管理部４
５は製品管理部４０へ命令carrierOfSG(materialGroup:
SGP1)を送信する（ステップＳ２２）。製品管理部４０
は作業手続き管理部４５へ応答reply(MaterialContaine
r:CA)を返信する（ステップＳ２４）。作業手続き管理
部４５はインラインステッパEQ1（６０）へ命令getPort
Reservation(Port:EQ1LP1, MaterialContainer:CA)を送
信する（ステップS２６）。インラインステッパEQ1（６
０）は作業手続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ1LP1)
を返信する（ステップS２８）。作業手続き管理部４５
はＡＭＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType:T
ransport, DeadLine, Container:CA, DestMachine:EQ1,
DestPort:EQ1LP1)を送信する（ステップＳ３０）。Ａ
ＭＨＳ統合制御部５０は作業手続き管理部４５へ応答Re
ply(Job TJ1)を返信する（ステップＳ３２）。ＡＭＨＳ
統合制御部５０は作業手続き管理部４５へ命令informJo
bStateChange(Job TJ1, previousState, newState EXEC
UTING)を送信する（ステップＳ３４）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０は耐久材管理部５５へ命令getUnit(MaterialCo
ntainer:CA)を送信する（ステップＳ３６）。耐久材管
理部５５はＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を返信する。
ることを知って、SGP1とSG1とをキャリアＣＡで一緒に
運ぶことを決定する。ＦＯは、Product ManagementにＳ
Ｇ１がＳＧＰ１とＳＧ１に分かれたことを、informLotS
plit(SourceMaterialGroup:SG1, DestMaterialGroupInf
oList:((SG1, WaferIDList1)(SGP1, WaferIDList2)))に
より通知する（ステップＳ２０）。作業手続き管理部４
５は製品管理部４０へ命令carrierOfSG(materialGroup:
SGP1)を送信する（ステップＳ２２）。製品管理部４０
は作業手続き管理部４５へ応答reply(MaterialContaine
r:CA)を返信する（ステップＳ２４）。作業手続き管理
部４５はインラインステッパEQ1（６０）へ命令getPort
Reservation(Port:EQ1LP1, MaterialContainer:CA)を送
信する（ステップS２６）。インラインステッパEQ1（６
０）は作業手続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ1LP1)
を返信する（ステップS２８）。作業手続き管理部４５
はＡＭＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType:T
ransport, DeadLine, Container:CA, DestMachine:EQ1,
DestPort:EQ1LP1)を送信する（ステップＳ３０）。Ａ
ＭＨＳ統合制御部５０は作業手続き管理部４５へ応答Re
ply(Job TJ1)を返信する（ステップＳ３２）。ＡＭＨＳ
統合制御部５０は作業手続き管理部４５へ命令informJo
bStateChange(Job TJ1, previousState, newState EXEC
UTING)を送信する（ステップＳ３４）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０は耐久材管理部５５へ命令getUnit(MaterialCo
ntainer:CA)を送信する（ステップＳ３６）。耐久材管
理部５５はＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を返信する。
【００５８】続いて図４に示すように、インラインステ
ッパEQ1（６０）はＡＭＨＳ統合制御部５０へ命令getMa
chineType()を送信する（ステップS４０）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０はインラインステッパEQ1（６０）へ応答R
eply(MachineType FixedBuffer)を返信する（ステップS
４２）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管理部５５
へ一連の命令setMaterialTrackingLocation(materialCo
ntainer:CA,materialTrackingLocation:通過するＡＭＨ
Ｓ)、setMaterialTrackingLocation(materialContaine
r:CA, materialTrackingLocation:通過するＡＭＨＳ)を
送信する（ステップＳ４４ないしＳ５０）。
ッパEQ1（６０）はＡＭＨＳ統合制御部５０へ命令getMa
chineType()を送信する（ステップS４０）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０はインラインステッパEQ1（６０）へ応答R
eply(MachineType FixedBuffer)を返信する（ステップS
４２）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管理部５５
へ一連の命令setMaterialTrackingLocation(materialCo
ntainer:CA,materialTrackingLocation:通過するＡＭＨ
Ｓ)、setMaterialTrackingLocation(materialContaine
r:CA, materialTrackingLocation:通過するＡＭＨＳ)を
送信する（ステップＳ４４ないしＳ５０）。
【００５９】ステップＥ．製品キャリアCAがインライン
ステッパEQ1に到着する。ＡＭＨＳ統合制御部５０から
耐久材管理部５５へ命令setMaterialTrackingLocation
(materialContainer:CA,materialTrackingLocation EQ1
LP1)を送信する（ステップＳ５２）。ＡＭＨＳ統合制御
部５０から耐久材管理部５５へ命令requestSlotInform
(MaterialContainer:CA)を送信する（ステップＳ５
４）。耐久材管理部５５からＭＨＳ統合制御部５０へ応
答Reply(CarrierPropertiesList)を返信する（ステップ
Ｓ５６）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から作業手続き管理
部４５へ命令informJobStateChange(Job:TJ1, previous
State, newState:COMPLETED)を送信する（ステップＳ５
８）。
ステッパEQ1に到着する。ＡＭＨＳ統合制御部５０から
耐久材管理部５５へ命令setMaterialTrackingLocation
(materialContainer:CA,materialTrackingLocation EQ1
LP1)を送信する（ステップＳ５２）。ＡＭＨＳ統合制御
部５０から耐久材管理部５５へ命令requestSlotInform
(MaterialContainer:CA)を送信する（ステップＳ５
４）。耐久材管理部５５からＭＨＳ統合制御部５０へ応
答Reply(CarrierPropertiesList)を返信する（ステップ
Ｓ５６）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から作業手続き管理
部４５へ命令informJobStateChange(Job:TJ1, previous
State, newState:COMPLETED)を送信する（ステップＳ５
８）。
【００６０】ステップＦ．ＦＯ（作業手続き管理部）４
５がインラインステッパEQ1（６０）へ先行ウェーハＳ
ＧＰ１の処理を要求する。作業手続き管理部４５からイ
ンラインステッパEQ1（６０）へ命令requestJob(JobTyp
e:Porcess, SubstrateGroup:SGP1（先行ウェーハ）, Re
cipe:先行処理, FromCarrier:CA, ToCarrier:CB,DeadLi
ne)を送信する（ステップＳ６０）。インラインステッ
パEQ1（６０）からレシピ管理部６５へ命令getProcessP
rograms(Machine:EQ1, SubstrateGroup:SGP1, Recipe:
先行処理)を送信する（ステップＳ６２）。レシピ管理
部６５からインラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply
(先行処理のPPID)を返信する（ステップＳ６４）。イン
ラインステッパEQ1（６０）から先行処理判断部３５へ
命令requestVariableParameter(Machine:EQ1, substrat
egroup:SGP1, Recipe:先行処理)を送信する（ステップ
Ｓ６６）。先行処理判断部３５からインラインステッパ
EQ1（６０）へ応答Reply(Parameter1:****, Parameter
2:****)を返信する（ステップＳ６８）。インラインス
テッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ応答Rep
ly(Job PJ1)を返信する（ステップＳ７０）。インライ
ンステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ命
令informJobStateChange(Job:PJ1, previousState, new
State:EXECUTING)を送信する（ステップＳ７２）。
５がインラインステッパEQ1（６０）へ先行ウェーハＳ
ＧＰ１の処理を要求する。作業手続き管理部４５からイ
ンラインステッパEQ1（６０）へ命令requestJob(JobTyp
e:Porcess, SubstrateGroup:SGP1（先行ウェーハ）, Re
cipe:先行処理, FromCarrier:CA, ToCarrier:CB,DeadLi
ne)を送信する（ステップＳ６０）。インラインステッ
パEQ1（６０）からレシピ管理部６５へ命令getProcessP
rograms(Machine:EQ1, SubstrateGroup:SGP1, Recipe:
先行処理)を送信する（ステップＳ６２）。レシピ管理
部６５からインラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply
(先行処理のPPID)を返信する（ステップＳ６４）。イン
ラインステッパEQ1（６０）から先行処理判断部３５へ
命令requestVariableParameter(Machine:EQ1, substrat
egroup:SGP1, Recipe:先行処理)を送信する（ステップ
Ｓ６６）。先行処理判断部３５からインラインステッパ
EQ1（６０）へ応答Reply(Parameter1:****, Parameter
2:****)を返信する（ステップＳ６８）。インラインス
テッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ応答Rep
ly(Job PJ1)を返信する（ステップＳ７０）。インライ
ンステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ命
令informJobStateChange(Job:PJ1, previousState, new
State:EXECUTING)を送信する（ステップＳ７２）。
【００６１】ステップＧ．図５に示されるように、先行
処理が行われる。インラインステッパEQ1（６０）から
作業手続き管理部４５へ命令informJobStateChange(Job
PJ1, previousState, newState COMPLETED)を送信する
（ステップＳ７４）。インラインステッパEQ1（６０）
から先行処理判断部３５へ命令Data Collectionを送信
する（ステップＳ７６）。
処理が行われる。インラインステッパEQ1（６０）から
作業手続き管理部４５へ命令informJobStateChange(Job
PJ1, previousState, newState COMPLETED)を送信する
（ステップＳ７４）。インラインステッパEQ1（６０）
から先行処理判断部３５へ命令Data Collectionを送信
する（ステップＳ７６）。
【００６２】ステップＨ．インラインステッパEQ1（６
０）がキャリアCBのアンロードを要求する。インライン
ステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ命令i
nform(Machine EQ1, Port:EQ1LP2, to:ReadyToUnload,
MaterialContainer:CB)を送信する（ステップＳ７
８）。作業手続き管理部４５から割当て部３０へ命令wh
atNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SGP1)を送信す
る（ステップＳ８０）。割当て部３０から作業手続き管
理部４５へ応答Reply(machine:EQ2, materialGroup:SGP
1)を返信する（ステップＳ８２）。
０）がキャリアCBのアンロードを要求する。インライン
ステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ命令i
nform(Machine EQ1, Port:EQ1LP2, to:ReadyToUnload,
MaterialContainer:CB)を送信する（ステップＳ７
８）。作業手続き管理部４５から割当て部３０へ命令wh
atNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SGP1)を送信す
る（ステップＳ８０）。割当て部３０から作業手続き管
理部４５へ応答Reply(machine:EQ2, materialGroup:SGP
1)を返信する（ステップＳ８２）。
【００６３】ステップＩ．ＦＯがキャリアCBを測定器EQ
2に搬送するようにAMHS７０に要求する。作業手続き管
理部４５から目ずれ測定器EQ2（６０）へ命令getPortRe
servation(Port:EQ2LP1, MaterialContainer:CB)を送信
する（ステップS８４）。目ずれ測定器EQ2（６０）から
作業手続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ2LP1)を返信
する（ステップS８６）。作業手続き管理部４５からＡ
ＭＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType Trans
port, DeadLine, Container CB, DestMachine EQ2, Des
tPortLP1)を送信する（ステップＳ８８）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Jo
b TJ2)を返信する（ステップＳ９０）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobSta
teChange(Job TJ2, previousState, newState EXECUTIN
G)を送信する（ステップＳ９２）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０から耐久材管理部５５へ命令getUint(materialCont
ainer:CB)を送信する（ステップＳ９４）。耐久材管理
部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を送信する（ステップＳ９６）。ＡＭＨＳ統合制御部５
０から目ずれ測定器EQ2（６０）へ命令getMachineTyp
e()を送信する（ステップS９８）。目ずれ測定器EQ2
（６０）からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(Mach
ineTypeFixedBuffer)を返信する（ステップS１００）。
ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管理部５５へ一連の
命令setMaterialTrackingLocation(materialContainer:
CB,materialTrackingLocation 通過するAMHS)、setMate
rialTrackingLocation(materialContainer:CB, materia
lTrackingLocation 通過するAMHS)を送信する（ステッ
プS１０２、S１１０）。
2に搬送するようにAMHS７０に要求する。作業手続き管
理部４５から目ずれ測定器EQ2（６０）へ命令getPortRe
servation(Port:EQ2LP1, MaterialContainer:CB)を送信
する（ステップS８４）。目ずれ測定器EQ2（６０）から
作業手続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ2LP1)を返信
する（ステップS８６）。作業手続き管理部４５からＡ
ＭＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType Trans
port, DeadLine, Container CB, DestMachine EQ2, Des
tPortLP1)を送信する（ステップＳ８８）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Jo
b TJ2)を返信する（ステップＳ９０）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobSta
teChange(Job TJ2, previousState, newState EXECUTIN
G)を送信する（ステップＳ９２）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０から耐久材管理部５５へ命令getUint(materialCont
ainer:CB)を送信する（ステップＳ９４）。耐久材管理
部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を送信する（ステップＳ９６）。ＡＭＨＳ統合制御部５
０から目ずれ測定器EQ2（６０）へ命令getMachineTyp
e()を送信する（ステップS９８）。目ずれ測定器EQ2
（６０）からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(Mach
ineTypeFixedBuffer)を返信する（ステップS１００）。
ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管理部５５へ一連の
命令setMaterialTrackingLocation(materialContainer:
CB,materialTrackingLocation 通過するAMHS)、setMate
rialTrackingLocation(materialContainer:CB, materia
lTrackingLocation 通過するAMHS)を送信する（ステッ
プS１０２、S１１０）。
【００６４】ステップＪ．製品キャリアCBが目ずれ測定
器EQ2（６０）に到着する。図６に示されるように、目
ずれ測定器EQ2（６０）から耐久材管理部５５へ命令set
MaterialTrackingLocation(materialContainer:CB,mate
rialTrackingLocation EQ2LP1)を送信する（ステップＳ
１１２）。目ずれ測定器EQ2（６０）から耐久材管理部
５５へ命令requestSlotInform(MaterialContainer:CB)
を送信する（ステップＳ１１４）。耐久材管理部５５か
ら目ずれ測定器EQ2（６０）へ応答Reply(CarrierProper
tiesList)を返信する（ステップＳ１１６）。ＡＭＨＳ
統合制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令inform
JobStateChange(Job TJ2, previousState, newState CO
MPLETED)を送信する（ステップＳ１１８）。
器EQ2（６０）に到着する。図６に示されるように、目
ずれ測定器EQ2（６０）から耐久材管理部５５へ命令set
MaterialTrackingLocation(materialContainer:CB,mate
rialTrackingLocation EQ2LP1)を送信する（ステップＳ
１１２）。目ずれ測定器EQ2（６０）から耐久材管理部
５５へ命令requestSlotInform(MaterialContainer:CB)
を送信する（ステップＳ１１４）。耐久材管理部５５か
ら目ずれ測定器EQ2（６０）へ応答Reply(CarrierProper
tiesList)を返信する（ステップＳ１１６）。ＡＭＨＳ
統合制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令inform
JobStateChange(Job TJ2, previousState, newState CO
MPLETED)を送信する（ステップＳ１１８）。
【００６５】ステップＫ．ＦＯ４５が目ずれ測定器EQ2
（６０）に先行ウェーハＳＧＰ1の測定を命令requestJo
b(JobType Porcess, SubstrateGroup:SGP1, Recipe:測
定, DeadLine)により要求する（ステップＳ１２０）。
目ずれ測定器EQ2（６０）からレシピ管理部６５へ命令g
etProcessPrograms(Machine:EQ2, SubstrateGroup:SGP
1, Recipe:測定)を送信する（ステップＳ１２２）。レ
シピ管理部６５から目ずれ測定器EQ2（６０）へ応答Rep
ly(測定のPPID)を返信する（ステップＳ１２４）。目ず
れ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４５へ応答R
eply(Job PJ2)を返信する（ステップＳ１２６）。目ず
れ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４５へ命令i
nformJobStateChange(Job PJ2, previousState, newSta
te EXECUTING)を送信する（ステップＳ１２８）。
（６０）に先行ウェーハＳＧＰ1の測定を命令requestJo
b(JobType Porcess, SubstrateGroup:SGP1, Recipe:測
定, DeadLine)により要求する（ステップＳ１２０）。
目ずれ測定器EQ2（６０）からレシピ管理部６５へ命令g
etProcessPrograms(Machine:EQ2, SubstrateGroup:SGP
1, Recipe:測定)を送信する（ステップＳ１２２）。レ
シピ管理部６５から目ずれ測定器EQ2（６０）へ応答Rep
ly(測定のPPID)を返信する（ステップＳ１２４）。目ず
れ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４５へ応答R
eply(Job PJ2)を返信する（ステップＳ１２６）。目ず
れ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４５へ命令i
nformJobStateChange(Job PJ2, previousState, newSta
te EXECUTING)を送信する（ステップＳ１２８）。
【００６６】ステップＬ．目ずれ測定器EQ2（６０）で
測定が行われる。目ずれ測定器EQ2（６０）から先行処
理判断部３５へ命令Data Collectionを送信する（ステ
ップS１３０）。すなわち測定結果が一旦先行処理判断
部３５へ送信される。先行処理判断部３５は、当該測定
結果に応じて製造装置２０における加工条件を作成す
る。目ずれ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ2, previousStat
e, newState COMPLETED)を送信する（ステップS１３
２）。
測定が行われる。目ずれ測定器EQ2（６０）から先行処
理判断部３５へ命令Data Collectionを送信する（ステ
ップS１３０）。すなわち測定結果が一旦先行処理判断
部３５へ送信される。先行処理判断部３５は、当該測定
結果に応じて製造装置２０における加工条件を作成す
る。目ずれ測定器EQ2（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ2, previousStat
e, newState COMPLETED)を送信する（ステップS１３
２）。
【００６７】ステップＭ．以下のステップＭからステッ
プＳ１９２までと、ステップＳ１９４からステップＳ２
１８までとは、上述のように並行して処理される部分を
示す。目ずれ測定器EQ2（６０）がキャリアCBのアンロ
ードを命令inform(Machine EQ2, Port:EQ2LP1, to:Read
yToUnload, MaterialContainer:CB)により要求する（ス
テップＳ１５０）。作業手続き管理部４５は割当て部３
０へ命令whatNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SGP
1)を送信する（ステップＳ１５２）。割当て部３０は作
業手続き管理部４５へ応答Reply(machine:EQ1, materia
lGroup:SGP1、合流しなさい。)を返信する（ステップＳ
１５４）。
プＳ１９２までと、ステップＳ１９４からステップＳ２
１８までとは、上述のように並行して処理される部分を
示す。目ずれ測定器EQ2（６０）がキャリアCBのアンロ
ードを命令inform(Machine EQ2, Port:EQ2LP1, to:Read
yToUnload, MaterialContainer:CB)により要求する（ス
テップＳ１５０）。作業手続き管理部４５は割当て部３
０へ命令whatNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SGP
1)を送信する（ステップＳ１５２）。割当て部３０は作
業手続き管理部４５へ応答Reply(machine:EQ1, materia
lGroup:SGP1、合流しなさい。)を返信する（ステップＳ
１５４）。
【００６８】ステップＮ．ＦＯ４５がキャリアCBをイン
ラインステッパEQ1（６０）に搬送するようにＡＭＨＳ
７０に要求する。作業手続き管理部４５からインライン
ステッパEQ1（６０）へ命令getPortReservation(Port:E
Q1LP2, MaterialContainer:CB)を送信する（ステップＳ
１５６）。インラインステッパEQ1（６０）から作業手
続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ1LP2)を返信する
（ステップＳ１５８）。作業手続き管理部４５からＡＭ
ＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType:Transpo
rt,DeadLine, Container:CB, DestMachine:EQ1, DestPo
rt:LP2)を送信する（ステップＳ１６０）。
ラインステッパEQ1（６０）に搬送するようにＡＭＨＳ
７０に要求する。作業手続き管理部４５からインライン
ステッパEQ1（６０）へ命令getPortReservation(Port:E
Q1LP2, MaterialContainer:CB)を送信する（ステップＳ
１５６）。インラインステッパEQ1（６０）から作業手
続き管理部４５へ応答Reply(Port:EQ1LP2)を返信する
（ステップＳ１５８）。作業手続き管理部４５からＡＭ
ＨＳ統合制御部５０へ命令requestJob(JobType:Transpo
rt,DeadLine, Container:CB, DestMachine:EQ1, DestPo
rt:LP2)を送信する（ステップＳ１６０）。
【００６９】図７に示されるように、ＡＭＨＳ統合制御
部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Job TJ4)
を返信する（ステップＳ１６２）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobStateCh
ange(Job TJ4, previousState, newState EXECUTING)を
送信する（ステップＳ１６４）。ＡＭＨＳ統合制御部５
０から耐久材管理部５５へ命令getUint(materialContai
ner:CB)を送信する（ステップＳ１６６）。耐久材管理
部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を送信する（ステップＳ１６８）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０からインラインステッパEQ1（６０）へ命令getMach
ineType()を送信する（ステップＳ１７０）。インライ
ンステッパEQ1（６０）からＡＭＨＳ統合制御部５０へ
応答Reply(MachineType FixedBuffer)を返信する（ステ
ップＳ１７２）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管
理部５５へ命令setMaterialTrackingLocation(material
Container:CB,materialTrackingLocation 通過するAMH
S)を送信する（ステップＳ１７４）。
部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Job TJ4)
を返信する（ステップＳ１６２）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobStateCh
ange(Job TJ4, previousState, newState EXECUTING)を
送信する（ステップＳ１６４）。ＡＭＨＳ統合制御部５
０から耐久材管理部５５へ命令getUint(materialContai
ner:CB)を送信する（ステップＳ１６６）。耐久材管理
部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply(unit)
を送信する（ステップＳ１６８）。ＡＭＨＳ統合制御部
５０からインラインステッパEQ1（６０）へ命令getMach
ineType()を送信する（ステップＳ１７０）。インライ
ンステッパEQ1（６０）からＡＭＨＳ統合制御部５０へ
応答Reply(MachineType FixedBuffer)を返信する（ステ
ップＳ１７２）。ＡＭＨＳ統合制御部５０から耐久材管
理部５５へ命令setMaterialTrackingLocation(material
Container:CB,materialTrackingLocation 通過するAMH
S)を送信する（ステップＳ１７４）。
【００７０】ステップＯ．製品キャリアCBがインライン
ステッパEQ1（６０）に到着する。インラインステッパE
Q1（６０）から耐久材管理部５５へ命令setMaterialTra
ckingLocation(materialContainer:CB,materialTrackin
gLocation EQ1LP2)を送信する（ステップＳ１７６）。
インラインステッパEQ1（６０）から耐久材管理部５５
へ命令requestSlotInform(materialContainer:CB)を送
信する（ステップＳ１７８）。耐久材管理部５５からイ
ンラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply(CarrierProp
ertiesList)を返信する（ステップＳ１８０）。ＡＭＨ
Ｓ統合制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令info
rmJobStateChange(Job TJ4, previousState, newStateC
OMPLETED)を送信する（ステップＳ１８２）。作業手続
き管理部４５からインラインステッパEQ1（６０）へ命
令requestJob(JobType Porcess, SubstrateGroup:SGP1,
Recipe:合流, DeadLine、待て)を送信する（ステップ
Ｓ１８４）。インラインステッパEQ1（６０）から作業
手続き管理部４５へ応答Reply(Job PJ3)を返信する（ス
テップＳ１８６）。インラインステッパEQ1（６０）か
ら作業手続き管理部４５へ命令informJobStateChange(J
ob PJ３, previousState, newState EXECUTING)を送信
する（ステップＳ１８８）。
ステッパEQ1（６０）に到着する。インラインステッパE
Q1（６０）から耐久材管理部５５へ命令setMaterialTra
ckingLocation(materialContainer:CB,materialTrackin
gLocation EQ1LP2)を送信する（ステップＳ１７６）。
インラインステッパEQ1（６０）から耐久材管理部５５
へ命令requestSlotInform(materialContainer:CB)を送
信する（ステップＳ１７８）。耐久材管理部５５からイ
ンラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply(CarrierProp
ertiesList)を返信する（ステップＳ１８０）。ＡＭＨ
Ｓ統合制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令info
rmJobStateChange(Job TJ4, previousState, newStateC
OMPLETED)を送信する（ステップＳ１８２）。作業手続
き管理部４５からインラインステッパEQ1（６０）へ命
令requestJob(JobType Porcess, SubstrateGroup:SGP1,
Recipe:合流, DeadLine、待て)を送信する（ステップ
Ｓ１８４）。インラインステッパEQ1（６０）から作業
手続き管理部４５へ応答Reply(Job PJ3)を返信する（ス
テップＳ１８６）。インラインステッパEQ1（６０）か
ら作業手続き管理部４５へ命令informJobStateChange(J
ob PJ３, previousState, newState EXECUTING)を送信
する（ステップＳ１８８）。
【００７１】ステップＰ．ロットの合流が行われる。イ
ンラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ3, previousStat
e, newState COMPLETED)を送信する（ステップＳ１９
０）。
ンラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ3, previousStat
e, newState COMPLETED)を送信する（ステップＳ１９
０）。
【００７２】ステップＱ．ＦＯ４５は、製品管理部４０
にロットＳＧ１とロットＳＧＰ１とが合流してロットＳ
Ｇ１になったことを命令informLotCombine(SourceMater
ialGroupList:(SG1,SGP1),DestMaterialGroupInfo(SG1,
WaferIDList3))により通知する（ステップＳ１９
２）。
にロットＳＧ１とロットＳＧＰ１とが合流してロットＳ
Ｇ１になったことを命令informLotCombine(SourceMater
ialGroupList:(SG1,SGP1),DestMaterialGroupInfo(SG1,
WaferIDList3))により通知する（ステップＳ１９
２）。
【００７３】以上までのステップＭからステップＳ１９
２までと、以下のステップＳ１９４からステップＳ２１
８までとは、上述のように並行して処理される。作業手
続き管理部４５から割当て部３０へ命令whatNextForRes
ource(Machine:EQ1)を送信する（ステップＳ１９４）。
２までと、以下のステップＳ１９４からステップＳ２１
８までとは、上述のように並行して処理される。作業手
続き管理部４５から割当て部３０へ命令whatNextForRes
ource(Machine:EQ1)を送信する（ステップＳ１９４）。
【００７４】ステップＲ．ＳＤ３０は先行処理判断部３
５に、インラインステッパEQ1（６０）でのロットSG1の
先行処理が必要かどうか、命令isPilotRequired(Machin
e:EQ1, materialGroup:SG1)を送信して問い合わせる
（ステップＳ１９６）。
５に、インラインステッパEQ1（６０）でのロットSG1の
先行処理が必要かどうか、命令isPilotRequired(Machin
e:EQ1, materialGroup:SG1)を送信して問い合わせる
（ステップＳ１９６）。
【００７５】ステップＳ．図８に示されるように、先行
処理判断部３５はインラインステッパEQ1（６０）でロ
ットＳＧ1の処理に、先行処理が不要であると判断し、
割当て部３０へ応答Reply(No)を返信する（ステップＳ
１９８）。
処理判断部３５はインラインステッパEQ1（６０）でロ
ットＳＧ1の処理に、先行処理が不要であると判断し、
割当て部３０へ応答Reply(No)を返信する（ステップＳ
１９８）。
【００７６】ステップＴ．ＳＤ３０はＦＯ４５に、イン
ラインステッパEQ1（６０）でのロットSG1の処理をする
ように命令Reply(machine:EQ1, materialGroup:SG1)で
指示する（ステップＳ２００）。
ラインステッパEQ1（６０）でのロットSG1の処理をする
ように命令Reply(machine:EQ1, materialGroup:SG1)で
指示する（ステップＳ２００）。
【００７７】ステップＵ．ＦＯ４５がインラインステッ
パEQ1（６０）に後続ウェーハの処理を命令requestJob
(JobType Porcess, SubstrateGroup:SG1, Recipe:処理,
DeadLine、待て)を送信して要求する（ステップＳ２０
２）。インラインステッパEQ1（６０）からレシピ管理
部６５へ命令getProcessPrograms(Machine:EQ1, Substr
ateGroup:SG1, Recipe:処理)を送信する（ステップＳ２
０４）。レシピ管理部６５からインラインステッパEQ1
（６０）へ応答Reply(処理のPPID)を返信する（ステッ
プＳ２０６）。インラインステッパEQ1（６０）から先
行処理判断部３５へ命令requestVariableParameter(Mac
hine:EQ1, substrategroup:SG1, Recipe:処理)を送信す
る（ステップＳ２０８）。先行処理判断部３５からイン
ラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply(Parameter1:**
**, Parameter2:****)を返信する（ステップＳ２１
０）。つまり、上述のステップＳ１３０の後に先行処理
判断部３５で作成された測定結果に応じた製造装置２０
における加工条件が、上記パラメータの具体的な値とし
て生産装置制御部（インラインステッパEQ1（６０））
へ通知される。すなわち、測定装置２６の測定結果によ
る製造装置２０の加工条件の補正は、具体的にはレシピ
のパラメータの値の補正という形で行われる。インライ
ンステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ応
答Reply(Job PJ4)を返信する８ステップＳ２１２）。イ
ンラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ4, previousStat
e, newState EXECUTING)を送信する（ステップＳ２１
４）。
パEQ1（６０）に後続ウェーハの処理を命令requestJob
(JobType Porcess, SubstrateGroup:SG1, Recipe:処理,
DeadLine、待て)を送信して要求する（ステップＳ２０
２）。インラインステッパEQ1（６０）からレシピ管理
部６５へ命令getProcessPrograms(Machine:EQ1, Substr
ateGroup:SG1, Recipe:処理)を送信する（ステップＳ２
０４）。レシピ管理部６５からインラインステッパEQ1
（６０）へ応答Reply(処理のPPID)を返信する（ステッ
プＳ２０６）。インラインステッパEQ1（６０）から先
行処理判断部３５へ命令requestVariableParameter(Mac
hine:EQ1, substrategroup:SG1, Recipe:処理)を送信す
る（ステップＳ２０８）。先行処理判断部３５からイン
ラインステッパEQ1（６０）へ応答Reply(Parameter1:**
**, Parameter2:****)を返信する（ステップＳ２１
０）。つまり、上述のステップＳ１３０の後に先行処理
判断部３５で作成された測定結果に応じた製造装置２０
における加工条件が、上記パラメータの具体的な値とし
て生産装置制御部（インラインステッパEQ1（６０））
へ通知される。すなわち、測定装置２６の測定結果によ
る製造装置２０の加工条件の補正は、具体的にはレシピ
のパラメータの値の補正という形で行われる。インライ
ンステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４５へ応
答Reply(Job PJ4)を返信する８ステップＳ２１２）。イ
ンラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部４
５へ命令informJobStateChange(Job PJ4, previousStat
e, newState EXECUTING)を送信する（ステップＳ２１
４）。
【００７８】ステップＶ．ウェーハの処理が行われる。
インラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部
４５へ命令informJobStateChange(Job PJ4, previousSt
ate, newState COMPLETED)を送信する（ステップＳ２１
６）。インラインステッパEQ1（６０）から先行処理判
断部３５へ命令Data Collectionを送信する（ステップ
Ｓ２１８）。以上までのステップＳ１９４からステップ
Ｓ２１８までと、ステップＭからステップＳ１９２まで
とが、上述のように並行して処理される。
インラインステッパEQ1（６０）から作業手続き管理部
４５へ命令informJobStateChange(Job PJ4, previousSt
ate, newState COMPLETED)を送信する（ステップＳ２１
６）。インラインステッパEQ1（６０）から先行処理判
断部３５へ命令Data Collectionを送信する（ステップ
Ｓ２１８）。以上までのステップＳ１９４からステップ
Ｓ２１８までと、ステップＭからステップＳ１９２まで
とが、上述のように並行して処理される。
【００７９】ステップＷ．ＦＯ４５は、PJ3とPJ4との両
方がCompleteしたことを確認して、強制キャリアコンプ
リート指示を製品管理部４０に出す。作業手続き管理部
４５からインラインステッパEQ1（６０）へ命令carrier
CompleteCommand(MaterialContainer:CA)を送信する
（ステップＳ２２０）。
方がCompleteしたことを確認して、強制キャリアコンプ
リート指示を製品管理部４０に出す。作業手続き管理部
４５からインラインステッパEQ1（６０）へ命令carrier
CompleteCommand(MaterialContainer:CA)を送信する
（ステップＳ２２０）。
【００８０】ステップＸ．インラインステッパEQ1（６
０）がキャリアCAのアンロードを命令inform(Machine E
Q1, Port:EQ1LP1, to:ReadyToUnload, MaterialContain
er:CA)を作業手続き管理部４５へ送信して要求する（ス
テップＳ２２２）。作業手続き管理部４５は割当て部３
０へ命令whatNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SG
1)を送信する（ステップＳ２２４）。割当て部３０から
作業手続き管理部４５へ応答Reply(machine:Nothing, m
aterial:SG1)を返信する（ステップＳ２２６）。
０）がキャリアCAのアンロードを命令inform(Machine E
Q1, Port:EQ1LP1, to:ReadyToUnload, MaterialContain
er:CA)を作業手続き管理部４５へ送信して要求する（ス
テップＳ２２２）。作業手続き管理部４５は割当て部３
０へ命令whatNextForMaterialGroup(MaterialGroup:SG
1)を送信する（ステップＳ２２４）。割当て部３０から
作業手続き管理部４５へ応答Reply(machine:Nothing, m
aterial:SG1)を返信する（ステップＳ２２６）。
【００８１】ステップＹ．図９にかけて示されるよう
に、ＦＯ４５がキャリアCAをストッカSTK2に搬送するよ
うにＡＭＨＳ７０に命令requestJob(JobType Transpor
t, DeadLine, Container CA, DestMachine STK2、待て)
を送信して要求する（ステップＳ２２８）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Jo
b TJ5)を返信する（ステップＳ２３０）。ＡＭＨＳ統合
制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobS
tateChange(Job TJ5, previousState, newState EXECUT
ING)を送信する（ステップＳ２３２）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０から耐久材管理部５５へ命令getUint(material
Container:CA)を送信する（ステップＳ２３４）。耐久
材管理部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply
(unit)を返信する（ステップＳ２３６）。ＡＭＨＳ統合
制御部５０から耐久材管理部５５へ一連の命令setMater
ialTrackingLocation(materialContainer:CA,materialT
rackingLocation通過するAMHS)、setMaterialTrackingL
ocation(materialContainer:CA, materialTrackingLoca
tion STK2)を送信する（ステップＳ２３８、Ｓ２５
０）。
に、ＦＯ４５がキャリアCAをストッカSTK2に搬送するよ
うにＡＭＨＳ７０に命令requestJob(JobType Transpor
t, DeadLine, Container CA, DestMachine STK2、待て)
を送信して要求する（ステップＳ２２８）。ＡＭＨＳ統
合制御部５０から作業手続き管理部４５へ応答Reply(Jo
b TJ5)を返信する（ステップＳ２３０）。ＡＭＨＳ統合
制御部５０から作業手続き管理部４５へ命令informJobS
tateChange(Job TJ5, previousState, newState EXECUT
ING)を送信する（ステップＳ２３２）。ＡＭＨＳ統合制
御部５０から耐久材管理部５５へ命令getUint(material
Container:CA)を送信する（ステップＳ２３４）。耐久
材管理部５５からＡＭＨＳ統合制御部５０へ応答Reply
(unit)を返信する（ステップＳ２３６）。ＡＭＨＳ統合
制御部５０から耐久材管理部５５へ一連の命令setMater
ialTrackingLocation(materialContainer:CA,materialT
rackingLocation通過するAMHS)、setMaterialTrackingL
ocation(materialContainer:CA, materialTrackingLoca
tion STK2)を送信する（ステップＳ２３８、Ｓ２５
０）。
【００８２】ステップＺ．製品キャリアCAがストッカST
K2に到着する。ＡＭＨＳ統合制御部５０から作業手続き
管理部４５へ命令informJobStateChange(Job TJ5, prev
iousState, newState COMPLETED)を送信する（ステップ
Ｓ２５２）。
K2に到着する。ＡＭＨＳ統合制御部５０から作業手続き
管理部４５へ命令informJobStateChange(Job TJ5, prev
iousState, newState COMPLETED)を送信する（ステップ
Ｓ２５２）。
【００８３】上述の製造装置２０は、生産装置制御部６
０からの指示により、材料の加工後にキャリア１２等を
取り外し可能状態へ移行するか否かを判断することがで
きる。さらに、強制的なキャリアの取り外し可能状態へ
の移行を指示された場合、キャリアを取り外し可能状態
へ移行させることができる。
０からの指示により、材料の加工後にキャリア１２等を
取り外し可能状態へ移行するか否かを判断することがで
きる。さらに、強制的なキャリアの取り外し可能状態へ
の移行を指示された場合、キャリアを取り外し可能状態
へ移行させることができる。
【００８４】上述の製造装置２０に対し、本発明の装置
運行自動化システムの作業手続き管理部４５は、１キャ
リア内の材料群（ウェーハ群等）毎に複数の処理を時間
差をもって与えることができる。上述の製造装置２０
は、１キャリア内の材料群（ウェーハ群等）毎に時間差
をもって与えられた複数の処理を、このキャリア１２等
をロードポート１４または１６等に保持した状態で処理
することができる。
運行自動化システムの作業手続き管理部４５は、１キャ
リア内の材料群（ウェーハ群等）毎に複数の処理を時間
差をもって与えることができる。上述の製造装置２０
は、１キャリア内の材料群（ウェーハ群等）毎に時間差
をもって与えられた複数の処理を、このキャリア１２等
をロードポート１４または１６等に保持した状態で処理
することができる。
【００８５】以上より、本発明の実施の形態１によれ
ば、製造装置２０上でウェーハ等の材料の分割を行って
所定の枚数だけ先行処理し、先行処理された所定の枚数
のウェーハ等をＡＭＨＳ７０により測定装置２６へ自動
的に搬送して測定装置２６で加工結果を測定することが
できる。測定結果に基づく加工条件の補正は、先行処理
判断部３５から生産装置制御部６０へレシピのパラメー
タの補正という形で行われる。測定が終了したウェーハ
は再びＡＭＨＳ７０により製造装置２０側へ自動的に搬
送され、製造装置２０上で先行処理されたウェーハと先
行処理されなかったウェーハとを合流することができ
る。この結果、人手または移載機を用いたウェーハの分
割および合成による作業手順の煩雑化と作業工数の増大
とを招くことがなく、他に移載機を必要とすることもな
く、製造時間の長大化と製造装置の稼働率の低下とを招
くことがない装置運行自動化システムおよび方法等を提
供することができる。
ば、製造装置２０上でウェーハ等の材料の分割を行って
所定の枚数だけ先行処理し、先行処理された所定の枚数
のウェーハ等をＡＭＨＳ７０により測定装置２６へ自動
的に搬送して測定装置２６で加工結果を測定することが
できる。測定結果に基づく加工条件の補正は、先行処理
判断部３５から生産装置制御部６０へレシピのパラメー
タの補正という形で行われる。測定が終了したウェーハ
は再びＡＭＨＳ７０により製造装置２０側へ自動的に搬
送され、製造装置２０上で先行処理されたウェーハと先
行処理されなかったウェーハとを合流することができ
る。この結果、人手または移載機を用いたウェーハの分
割および合成による作業手順の煩雑化と作業工数の増大
とを招くことがなく、他に移載機を必要とすることもな
く、製造時間の長大化と製造装置の稼働率の低下とを招
くことがない装置運行自動化システムおよび方法等を提
供することができる。
【００８６】実施の形態２．上述の各実施の形態に加え
て、本発明の装置運行自動化システムの作業手続き管理
部４５は、製品管理部４０に対しロットの分割を通知す
る場合、キャリア１２等の中におけるロットの論理的分
割とキャリア１２等別のロットの物理的分割とを分けて
指示することができる。例えば、図１に示されるキャリ
ア１２に２５枚のウェーハが格納されている場合、作業
手続き管理部４５はキャリア１２内におけるウェーハ
を、先行処理する予定の１枚のウェーハとその他の２４
枚のウェーハとに論理的に分割して指示することができ
る。この後、２４枚のウェーハをロードポート１４に保
持し、１枚の先行処理されたウェーハをロードポート１
６に保持するように物理的に分割して保持するように指
示することができる。同様にして、作業手続き管理部４
５は、製品管理部４０に対しロットの合成を通知する場
合、キャリア２４の中におけるロット（１枚の測定後の
ウェーハ）とロードポート１４に残されたロット（２４
枚のウェーハ）とを物理的または論理的に合成するよう
に両者を分けて指示することができる。上述の説明では
１キャリア内に２５枚のウェーハが格納されているもの
としたが、キャリアに格納可能なウェーハの枚数は２５
枚に限定されるものではない。
て、本発明の装置運行自動化システムの作業手続き管理
部４５は、製品管理部４０に対しロットの分割を通知す
る場合、キャリア１２等の中におけるロットの論理的分
割とキャリア１２等別のロットの物理的分割とを分けて
指示することができる。例えば、図１に示されるキャリ
ア１２に２５枚のウェーハが格納されている場合、作業
手続き管理部４５はキャリア１２内におけるウェーハ
を、先行処理する予定の１枚のウェーハとその他の２４
枚のウェーハとに論理的に分割して指示することができ
る。この後、２４枚のウェーハをロードポート１４に保
持し、１枚の先行処理されたウェーハをロードポート１
６に保持するように物理的に分割して保持するように指
示することができる。同様にして、作業手続き管理部４
５は、製品管理部４０に対しロットの合成を通知する場
合、キャリア２４の中におけるロット（１枚の測定後の
ウェーハ）とロードポート１４に残されたロット（２４
枚のウェーハ）とを物理的または論理的に合成するよう
に両者を分けて指示することができる。上述の説明では
１キャリア内に２５枚のウェーハが格納されているもの
としたが、キャリアに格納可能なウェーハの枚数は２５
枚に限定されるものではない。
【００８７】以上より、本発明の実施の形態２によれ
ば、作業手続き管理部４５は、製品管理部４０に対しロ
ットの分割を通知する場合、キャリア１２等の中におけ
るロットの論理的分割とキャリア１２等別のロットの物
理的分割とを分けて指示することができる。同様にし
て、作業手続き管理部４５は、製品管理部４０に対しロ
ットの合成を通知する場合、キャリア２４の中における
ロット（１枚の測定後のウェーハ）とロードポート１４
に残されたロット（２４枚のウェーハ）とを物理的また
は論理的に合成するように両者を分けて指示することが
できる。このため、このため実施の形態１に加えて、人
手または移載機を用いたウェーハの分割および合成によ
る作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを招くことがな
く、他に移載機を必要とすることもない装置運行自動化
システムおよび方法等を提供することができる。
ば、作業手続き管理部４５は、製品管理部４０に対しロ
ットの分割を通知する場合、キャリア１２等の中におけ
るロットの論理的分割とキャリア１２等別のロットの物
理的分割とを分けて指示することができる。同様にし
て、作業手続き管理部４５は、製品管理部４０に対しロ
ットの合成を通知する場合、キャリア２４の中における
ロット（１枚の測定後のウェーハ）とロードポート１４
に残されたロット（２４枚のウェーハ）とを物理的また
は論理的に合成するように両者を分けて指示することが
できる。このため、このため実施の形態１に加えて、人
手または移載機を用いたウェーハの分割および合成によ
る作業手順の煩雑化と作業工数の増大とを招くことがな
く、他に移載機を必要とすることもない装置運行自動化
システムおよび方法等を提供することができる。
【００８８】実施の形態３．上述した各実施の形態の機
能を実現するコンピュータ・プログラムを記録した記録
媒体を本発明の装置運行自動化システムに記録媒体入出
力部（不図示）を介して供給し、その装置運行自動化シ
ステムのコンピュータが記録媒体に格納されたコンピュ
ータ・プログラムを読み取り実行することによっても、
本発明の目的が達成されることは言うまでもない。この
場合、記録媒体から読み取られたコンピュータ・プログ
ラム自体が本発明の装置運行自動化システムの新規な機
能を実現することになり、そのコンピュータ・プログラ
ムを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
コンピュータ・プログラムを記録した記録媒体として
は、例えば、ＭＯ、光ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ，
ハードディスク、ＲＯＭ、メモリカード等を用いること
ができる。
能を実現するコンピュータ・プログラムを記録した記録
媒体を本発明の装置運行自動化システムに記録媒体入出
力部（不図示）を介して供給し、その装置運行自動化シ
ステムのコンピュータが記録媒体に格納されたコンピュ
ータ・プログラムを読み取り実行することによっても、
本発明の目的が達成されることは言うまでもない。この
場合、記録媒体から読み取られたコンピュータ・プログ
ラム自体が本発明の装置運行自動化システムの新規な機
能を実現することになり、そのコンピュータ・プログラ
ムを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
コンピュータ・プログラムを記録した記録媒体として
は、例えば、ＭＯ、光ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ，
ハードディスク、ＲＯＭ、メモリカード等を用いること
ができる。
【００８９】以上より、本発明の実施の形態３によれ
ば、上述した各実施の形態の機能を実現するコンピュー
タ・プログラムを記録した記録媒体を本発明の装置運行
自動化システムに供給し、その装置運行自動化システム
のコンピュータが記録媒体に格納されたコンピュータ・
プログラムを読み取り実行することによっても、本発明
の目的を達成することができる。
ば、上述した各実施の形態の機能を実現するコンピュー
タ・プログラムを記録した記録媒体を本発明の装置運行
自動化システムに供給し、その装置運行自動化システム
のコンピュータが記録媒体に格納されたコンピュータ・
プログラムを読み取り実行することによっても、本発明
の目的を達成することができる。
【００９０】
【発明の効果】以上より、本発明の装置運行自動化シス
テムおよび方法等によれば、製造装置２０上でウェーハ
等の材料の分割を行って所定の枚数だけ先行処理し、先
行処理された所定の枚数のウェーハ等をＡＭＨＳ７０に
より測定装置２６へ自動的に搬送して測定装置２６で加
工結果を測定することができる。測定結果に基づく加工
条件の補正は、先行処理判断部３５から生産装置制御部
６０へレシピのパラメータの補正という形で行われる。
測定が終了したウェーハは再びＡＭＨＳ７０により製造
装置２０側へ自動的に搬送され、製造装置２０上で先行
処理されたウェーハと先行処理されなかったウェーハと
を合流することができる。このため、人手または移載機
を用いたウェーハの分割および合成による作業手順の煩
雑化と作業工数の増大とを招くことがなく、他に移載機
を必要とすることもなく、製造時間の長大化と製造装置
の稼働率の低下とを招くことがない装置運行自動化シス
テムおよび方法等を提供することができる。
テムおよび方法等によれば、製造装置２０上でウェーハ
等の材料の分割を行って所定の枚数だけ先行処理し、先
行処理された所定の枚数のウェーハ等をＡＭＨＳ７０に
より測定装置２６へ自動的に搬送して測定装置２６で加
工結果を測定することができる。測定結果に基づく加工
条件の補正は、先行処理判断部３５から生産装置制御部
６０へレシピのパラメータの補正という形で行われる。
測定が終了したウェーハは再びＡＭＨＳ７０により製造
装置２０側へ自動的に搬送され、製造装置２０上で先行
処理されたウェーハと先行処理されなかったウェーハと
を合流することができる。このため、人手または移載機
を用いたウェーハの分割および合成による作業手順の煩
雑化と作業工数の増大とを招くことがなく、他に移載機
を必要とすることもなく、製造時間の長大化と製造装置
の稼働率の低下とを招くことがない装置運行自動化シス
テムおよび方法等を提供することができる。
【図１】 本発明の装置運行自動化システムおよび方法
の概要を示す図である。
の概要を示す図である。
【図２】 本発明の装置運行自動化システムのブロック
図である。
図である。
【図３】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図５】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図６】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図７】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図８】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
【図９】 本発明の装置自動化方法の一例のフローチャ
ートである。
ートである。
１０ ストッカ、 １２，１２ａ，１２ｎ ロットが格
納されたキャリア、１４ ロット用ロードポート、 １
６ 先行ウェーハのキャリア用ロードポート、 １８
塗布／現像機（Ｃ／Ｄ）、 ２０ 製造装置（インライ
ンステッパ）、 ２２ ステッパ、 ２４ 先行ウェー
ハが格納されたキャリア、 ２６ 測定装置、 ３０
割当て部、 ３５ 先行処理判断部、 ４０ 製品管理
部、４５ 作業手続き管理部、 ５０ ＡＭＨＳ統合制
御部、 ５５ 耐久材管理部、 ６０ 生産装置制御
部、 ６５ レシピ管理部、 ７０ 自動搬送システム
（Automated Material Handling System : ＡＭＨ
Ｓ）。
納されたキャリア、１４ ロット用ロードポート、 １
６ 先行ウェーハのキャリア用ロードポート、 １８
塗布／現像機（Ｃ／Ｄ）、 ２０ 製造装置（インライ
ンステッパ）、 ２２ ステッパ、 ２４ 先行ウェー
ハが格納されたキャリア、 ２６ 測定装置、 ３０
割当て部、 ３５ 先行処理判断部、 ４０ 製品管理
部、４５ 作業手続き管理部、 ５０ ＡＭＨＳ統合制
御部、 ５５ 耐久材管理部、 ６０ 生産装置制御
部、 ６５ レシピ管理部、 ７０ 自動搬送システム
（Automated Material Handling System : ＡＭＨ
Ｓ）。
Claims (18)
- 【請求項１】 キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムであって、 製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した場
合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する際
にロットの一部を先行処理した結果に応じて該製造装置
における加工条件の設定を行うか否かの判断を行い、ロ
ットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と測
定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造装
置の識別子を受信した場合、該パラメータの値を返信す
る先行処理判断手段と、 製造装置の識別子を受信した場合、前記先行処理判断手
段の判断と共に該製造装置が次に加工する材料を含むロ
ットの識別子を返信する割当て手段と、 ロットの合成または分割の通知を受信した場合、ロット
と該ロットが格納されているキャリアとの対応関係を管
理し、ロットの識別子を受信した場合、該ロットが格納
されているキャリアの識別子を返信する製品管理手段
と、 製造装置に依存しない内容のレシピを受信した場合、該
レシピの内容を製造装置に依存した内容へ変換するレシ
ピ管理手段と、 キャリアからロットを取り出して先行処理を示す内容の
レシピにより該ロットに含まれる材料を加工し、該ロッ
トを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納する要求を
受信し且つ該要求を受け入れる場合、該製造装置と該測
定装置とを含む生産装置へ先行処理の指示を行い、生産
装置に対する処理要求を待ち指定で受信した場合、該生
産装置に対して処理終了後にキャリア取り外し可能状態
へ移行せず指示待ち状態へ移行する指示を行い、生産装
置に対する強制的なキャリア取り外し可能状態への移行
要求を受信した場合、該生産装置に対して強制的にキャ
リア取り外し可能状態へ移行する指示を行う生産装置制
御手段と、 キャリアを生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を
受信した場合、自動搬送装置に対して該要求を指示する
自動搬送装置統合制御手段と、 前記自動搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを生産
装置の所定のポートへ搬送させる要求を送信する作業手
続き管理手段とを備え、 前記作業手続き管理手段から前記割当て手段へ製造装置
の識別子が送信され、該製造装置の識別子とロットの識
別子とが前記割当て手段から前記先行処理判断手段へ送
信され、前記先行処理判断手段が該製造装置における該
ロットに含まれる材料の加工について先行処理の必要性
を認める判断を行い、該判断と共に該ロットの識別子が
前記割当て手段から前記作業手続き管理手段へ返信され
た場合、 前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手段に対し、
前記割当て手段から返信されたロットの識別子で示され
るロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を送信
して該ロットが格納されているキャリアの識別子を返信
させ、前記生産装置制御手段に対し、該キャリアから所
定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシ
ピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を行い、 前記生産装置制御手段は、前記作業手続き管理手段から
示された先行処理を示す内容のレシピであって製造装置
に依存しない内容のレシピを、前記レシピ管理手段へ送
信して製造装置に依存した内容のレシピへ変換させ、前
記先行処理判断手段に対し、ロットの識別子、該レシピ
および該製造装置の識別子を送信して該レシピ中のパラ
メータの値を返信させ、該パラメータの値を設定したレ
シピに基づき生産装置に対して先行処理を指示し、 前記作業手続き管理手段は、前記自動搬送装置統合制御
手段に対し、前記生産装置制御手段により先行処理を指
示された所定の数のロットが格納された他のキャリアを
測定装置の所定のポートへ搬送する要求を送信し、前記
自動搬送装置統合制御手段に対し、該他のキャリアを製
造装置の所定のポートへ搬送する要求を送信して、前記
生産装置制御手段に対し、製造装置に対するロットに含
まれる材料の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャ
リア中の所定の数のロットが該キャリア中のロットと合
流した後、前記製品管理手段に対しロットの合成を通知
し、前記生産装置制御手段に対し、製造装置に対するロ
ットが合成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態
への移行要求を送信し、 前記生産装置制御手段は、製造装置に対してロットが合
成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行
を指示することを特徴とする装置運行自動化システム。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置運行自動化システム
において、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手
段に対しロットの分割を通知する場合、キャリア内にお
けるロットの論理的分割とキャリア別のロットの物理的
分割とを分けて指示することを特徴とする装置運行自動
化システム。 - 【請求項３】 請求項１記載の装置運行自動化システム
において、前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手
段に対しロットの合成を通知する場合、キャリア内にお
けるロットの論理的合成とキャリア別のロットの物理的
合成とを分けて指示することを特徴とする装置運行自動
化システム。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の装
置運行自動化システムにおいて、前記手作業手続き管理
手段は、前記製造装置に対し１キャリア内の材料群毎に
複数の処理を時間差をもって与えることを特徴とする装
置運行自動化システム。 - 【請求項５】 請求項４記載の装置運行自動化システム
において、前記製造装置はキャリアを保持するロードポ
ートを有しており、該製造装置は、１キャリア内の材料
群毎に時間差をもって与えられた複数の処理を、該キャ
リアをロードポートに保持した状態で処理することを特
徴とする装置運行自動化システム。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の装
置運行自動化システムにおいて、前記ロットに含まれる
材料は半導体ウェーハであることを特徴とする装置運行
自動化システム。 - 【請求項７】 キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムにおける、製造装置でロットの一部
の先行処理を行うか否かの判断を行う先行処理判断サー
バであって、 前記製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した
場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する
際にロットの一部を先行処理し、該ロットの一部を前記
搬送装置により前記測定装置へ搬送し、該測定装置に測
定させた結果に応じて該製造装置における加工条件の設
定を行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロット
に含まれる材料に対する加工と測定との内容を示すパラ
メータを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信した
場合、該パラメータの値を返信することを特徴とする先
行処理判断サーバ。 - 【請求項８】 キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムにおける、製造装置に加工するロッ
トを割当てる割当てサーバであって、 前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装置でロ
ットに含まれる材料を加工する際にロットの一部を先行
処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前記測定
装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応じて該
製造装置における加工条件の設定を行うか否かの判断を
得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロットの
識別子を返信することを特徴とする割当てサーバ。 - 【請求項９】 キャリアに格納された所定の材料を含む
ロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムにおける、該自動搬送装置に対し、
製造装置と測定装置とを含む生産装置の所定のポートへ
キャリアを搬送させる要求を送信する作業手続き管理サ
ーバであって、 ロットの識別子を含むロットの分割の指示を受信した場
合、該ロットの識別子で示されるロットの分割を通知
し、この後、該ロットの識別子を送信して該ロットが格
納されているキャリアの識別子を受信して、該キャリア
から所定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容
のレシピにより該ロットに含まれる材料を加工し該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を送信し、 前記自動搬送装置に対し先行処理を指示された所定の数
のロットが格納された他のキャリアを前記測定装置の所
定のポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬送装置
に対し該他のキャリアを該製造装置の所定のポートへ搬
送する要求を送信し、該製造装置に対しロットに含まれ
る材料の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア
中の所定の数のロットが該キャリア中のロットと合流し
た後、ロットの合成を通知し、該製造装置に対しロット
が合成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態への
移行要求を送信することを特徴とする作業手続き管理サ
ーバ。 - 【請求項１０】 請求項９記載の作業手続き管理サーバ
において、前記製造装置に対し１キャリア内の材料群毎
に複数の処理を時間差をもって与えることを特徴とする
作業手続き管理サーバ。 - 【請求項１１】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化する装置
運行自動化システムにおける製造装置であって、キャリ
アを少なくとも２つ保持可能なロードポートを備え、材
料の加工後にキャリアを取り外し可能状態へ移行するか
否かを判断し、強制的なキャリアの取り外し可能状態へ
の移行を指示された場合、キャリアを取り外し可能状態
へ移行させることを特徴とする製造装置。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の製造装置において、
１キャリア内の材料群毎に時間差をもって与えられた複
数の処理を、該キャリアを前記ロードポートに保持した
状態で処理することを特徴とする製造装置。 - 【請求項１３】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化するプロ
グラムであって、コンピュータを、 製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した場
合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する際
にロットの一部を先行処理した結果に応じて該製造装置
における加工条件の設定を行うか否かの判断を行い、ロ
ットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と測
定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造装
置の識別子を受信した場合、該パラメータの値を返信す
る先行処理判断手段、 製造装置の識別子を受信した場合、前記先行処理判断手
段の判断と共に該製造装置が次に加工する材料を含むロ
ットの識別子を返信する割当て手段、 ロットの合成または分割の通知を受信した場合、ロット
と該ロットが格納されているキャリアとの対応関係を管
理し、ロットの識別子を受信した場合、該ロットが格納
されているキャリアの識別子を返信する製品管理手段、 製造装置に依存しない内容のレシピを受信した場合、該
レシピの内容を製造装置に依存した内容へ変換するレシ
ピ管理手段、 キャリアからロットを取り出して先行処理を示す内容の
レシピにより該ロットに含まれる材料を加工し、該ロッ
トを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納する要求を
受信し且つ該要求を受け入れる場合、該製造装置と該測
定装置とを含む生産装置へ先行処理の指示を行い、生産
装置に対する処理要求を待ち指定で受信した場合、該生
産装置に対して処理終了後にキャリア取り外し可能状態
へ移行せず指示待ち状態へ移行する指示を行い、生産装
置に対する強制的なキャリア取り外し可能状態への移行
要求を受信した場合、該生産装置に対して強制的にキャ
リア取り外し可能状態へ移行する指示を行う生産装置制
御手段、 キャリアを生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を
受信した場合、自動搬送装置に対して該要求を指示する
自動搬送装置統合制御手段、 前記自動搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを生産
装置の所定のポートへ搬送させる要求を送信する作業手
続き管理手段として機能させるものであり、 前記作業手続き管理手段から前記割当て手段へ製造装置
の識別子が送信され、該製造装置の識別子とロットの識
別子とが前記割当て手段から前記先行処理判断手段へ送
信され、前記先行処理判断手段が該製造装置における該
ロットに含まれる材料の加工について先行処理の必要性
を認める判断を行い、該判断と共に該ロットの識別子が
前記割当て手段から前記作業手続き管理手段へ返信され
た場合、 前記作業手続き管理手段は、前記製品管理手段に対し、
前記割当て手段から返信されたロットの識別子で示され
るロットの分割を通知した後、該ロットの識別子を送信
して該ロットが格納されているキャリアの識別子を返信
させ、前記生産装置制御手段に対し、該キャリアから所
定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容のレシ
ピにより該ロットに含まれる材料を加工した後、該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を行い、 前記生産装置制御手段は、前記作業手続き管理手段から
示された先行処理を示す内容のレシピであって製造装置
に依存しない内容のレシピを、前記レシピ管理手段へ送
信して製造装置に依存した内容のレシピへ変換させ、前
記先行処理判断手段に対し、ロットの識別子、該レシピ
および該製造装置の識別子を送信して該レシピ中のパラ
メータの値を返信させ、該パラメータの値を設定したレ
シピに基づき生産装置に対して先行処理を指示し、 前記作業手続き管理手段は、前記自動搬送装置統合制御
手段に対し、前記生産装置制御手段により先行処理を指
示された所定の数のロットが格納された他のキャリアを
測定装置の所定のポートへ搬送する要求を送信し、前記
自動搬送装置統合制御手段に対し、該他のキャリアを製
造装置の所定のポートへ搬送する要求を送信して、前記
生産装置制御手段に対し、製造装置に対するロットに含
まれる材料の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャ
リア中の所定の数のロットが該キャリア中のロットと合
流した後、前記製品管理手段に対しロットの合成を通知
し、前記生産装置制御手段に対し、製造装置に対するロ
ットが合成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態
への移行要求を送信し、 前記生産装置制御手段は、製造装置に対してロットが合
成されたキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行
を指示するように機能させるためのプログラム。 - 【請求項１４】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化するプロ
グラムであって、コンピュータを、 前記製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した
場合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する
際にロットの一部を先行処理し、該ロットの一部を前記
搬送装置により前記測定装置へ搬送し、該測定装置に測
定させた結果に応じて該製造装置における加工条件の設
定を行うか否かの判断を行い、ロットの識別子、ロット
に含まれる材料に対する加工と測定との内容を示すパラ
メータを含むレシピおよび製造装置の識別子を受信した
場合、該パラメータの値を返信するように機能させるた
めのプログラム。 - 【請求項１５】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化するプロ
グラムであって、コンピュータを、 前記製造装置の識別子を受信した場合、該製造装置でロ
ットに含まれる材料を加工する際にロットの一部を先行
処理し、該ロットの一部を前記搬送装置により前記測定
装置へ搬送し、該測定装置に測定させた結果に応じて該
製造装置における加工条件の設定を行うか否かの判断を
得て、該判断と共に該製造装置が次に加工するロットの
識別子を返信するように機能させるためのプログラム。 - 【請求項１６】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化するプロ
グラムであって、コンピュータを、 ロットの識別子を含むロットの分割の指示を受信した場
合、該ロットの識別子で示されるロットの分割を通知
し、この後、該ロットの識別子を送信して該ロットが格
納されているキャリアの識別子を受信して、該キャリア
から所定の数のロットを取り出して先行処理を示す内容
のレシピにより該ロットに含まれる材料を加工し該所定
の数のロットを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納
する要求を送信し、 前記自動搬送装置に対し先行処理を指示された所定の数
のロットが格納された他のキャリアを前記測定装置の所
定のポートへ搬送する要求を送信し、該測定装置による
該他のキャリア中の所定の数のロットに含まれる材料の
測定が終了した後、前記製造装置に対し測定結果に応じ
た加工条件の設定を指示し、前記自動搬送装置に対し該
他のキャリアを該製造装置の所定のポートへ搬送する要
求を送信し、該製造装置に対しロットに含まれる材料の
加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所定
の数のロットが該キャリア中のロットと合流した後、ロ
ットの合成を通知し、該製造装置に対しロットが合成さ
れたキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求
を送信するように機能させるプログラム。 - 【請求項１７】 請求項１３ないし１６のいずれかに記
載のプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記
録媒体。 - 【請求項１８】 キャリアに格納された所定の材料を含
むロットに対し該材料を加工して製品を製造する製造装
置、該製造装置による材料の加工結果を測定する測定装
置および該製造装置と該測定装置との間でキャリアの搬
送を行う自動搬送装置の各装置の運行を自動化するシス
テムの装置運行自動化方法であって、 該システムは、 製造装置の識別子およびロットの識別子を受信した場
合、該製造装置で該ロットに含まれる材料を加工する際
にロットの一部を先行処理した結果に応じて該製造装置
における加工条件の設定を行うか否かの判断を行い、ロ
ットの識別子、ロットに含まれる材料に対する加工と測
定との内容を示すパラメータを含むレシピおよび製造装
置の識別子を受信した場合、該パラメータの値を返信す
る先行処理判断部と、 製造装置の識別子を受信した場合、前記先行処理判断手
段の判断と共に該製造装置が次に加工する材料を含むロ
ットの識別子を返信する割当て部と、 ロットの合成または分割の通知を受信した場合、ロット
と該ロットが格納されているキャリアとの対応関係を管
理し、ロットの識別子を受信した場合、該ロットが格納
されているキャリアの識別子を返信する製品管理部と、 製造装置に依存しない内容のレシピを受信した場合、該
レシピの内容を製造装置に依存した内容へ変換するレシ
ピ管理部と、 キャリアからロットを取り出して先行処理を示す内容の
レシピにより該ロットに含まれる材料を加工し、該ロッ
トを該キャリアと異なる他のキャリアへ格納する要求を
受信し且つ該要求を受け入れる場合、該製造装置と該測
定装置とを含む生産装置へ先行処理の指示を行い、生産
装置に対する処理要求を待ち指定で受信した場合、該生
産装置に対して処理終了後にキャリア取り外し可能状態
へ移行せず指示待ち状態へ移行する指示を行い、生産装
置に対する強制的なキャリア取り外し可能状態への移行
要求を受信した場合、該生産装置に対して強制的にキャ
リア取り外し可能状態へ移行する指示を行う生産装置制
御部と、 キャリアを生産装置の所定のポートへ搬送させる要求を
受信した場合、自動搬送装置に対して該要求を指示する
自動搬送装置統合制御部と、 前記自動搬送装置統合制御手段に対し、キャリアを生産
装置の所定のポートへ搬送させる要求を送信する作業手
続き管理部とを備えており、 前記装置運行自動化方法は、 前記作業手続き管理部から前記割当て部へ製造装置の識
別子が送信され、該製造装置の識別子とロットの識別子
とが前記割当て部から前記先行処理判断部へ送信され、
前記先行処理判断部が該製造装置における該ロットに含
まれる材料の加工について先行処理の必要性を認める判
断を行い、該判断と共に該ロットの識別子が前記割当て
部から前記作業手続き管理部へ返信される先行処理判断
工程と、 前記作業手続き管理部が、前記製品管理部に対し、前記
先行処理判断工程において前記割当て部から返信された
ロットの識別子で示されるロットの分割を通知した後、
該ロットの識別子を送信して該ロットが格納されている
キャリアの識別子を返信させ、前記生産装置制御部に対
し、該キャリアから所定の数のロットを取り出して先行
処理を示す内容のレシピにより該ロットに含まれる材料
を加工した後、該所定の数のロットを該キャリアと異な
る他のキャリアへ格納する要求を行う先行処理要求工程
と、 前記生産装置制御部が、前記先行処理要求工程において
前記作業手続き管理部から示された先行処理を示す内容
のレシピであって製造装置に依存しない内容のレシピ
を、前記レシピ管理部へ送信して製造装置に依存した内
容のレシピへ変換させ、前記先行処理判断部に対し、ロ
ットの識別子、該レシピおよび該製造装置の識別子を送
信して該レシピ中のパラメータの値を返信させ、該パラ
メータの値を設定したレシピに基づき生産装置に対して
先行処理を指示する先行処理指示工程と、 前記先行処理指示工程における指示に基づき生産装置で
先行処理を行う先行処理工程と、 前記作業手続き管理部が、前記自動搬送装置統合制御部
に対し、前記生産装置制御部により先行処理を指示され
た所定の数のロットが格納された他のキャリアを測定装
置の所定のポートへ搬送する要求を送信し、前記自動搬
送装置統合制御部に対し、該他のキャリアを製造装置の
所定のポートへ搬送する要求を送信して、前記生産装置
制御部に対し、製造装置に対するロットに含まれる材料
の加工要求を待ち指定で送信し、該他のキャリア中の所
定の数のロットが該キャリア中のロットと合流した後、
前記製品管理部に対しロットの合成を通知し、前記生産
装置制御部に対し、製造装置に対するロットが合成され
たキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行要求を
送信する先行処理後工程と、 前記生産装置制御部が、製造装置に対してロットが合成
されたキャリアの強制的な取り外し可能状態への移行を
指示するキャリア取り外し指示工程とを備えたことを特
徴とする装置運行自動化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001380459A JP2003186516A (ja) | 2001-12-13 | 2001-12-13 | 装置運行自動化システム、先行処理判断サーバ、作業手続き管理サーバ、製造装置、プログラム、記録媒体および装置運行自動化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001380459A JP2003186516A (ja) | 2001-12-13 | 2001-12-13 | 装置運行自動化システム、先行処理判断サーバ、作業手続き管理サーバ、製造装置、プログラム、記録媒体および装置運行自動化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003186516A true JP2003186516A (ja) | 2003-07-04 |
Family
ID=27591511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001380459A Pending JP2003186516A (ja) | 2001-12-13 | 2001-12-13 | 装置運行自動化システム、先行処理判断サーバ、作業手続き管理サーバ、製造装置、プログラム、記録媒体および装置運行自動化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003186516A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100411092C (zh) * | 2005-04-15 | 2008-08-13 | 力晶半导体股份有限公司 | 缩短机台闲置时间的方法以及使用该方法的制造系统 |
| CN100424674C (zh) * | 2005-08-22 | 2008-10-08 | 力晶半导体股份有限公司 | 改善物料搬运效率的方法以及使用该方法的制造系统 |
| JP2015168033A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | 株式会社豊田自動織機 | ワークの製造方法 |
-
2001
- 2001-12-13 JP JP2001380459A patent/JP2003186516A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100411092C (zh) * | 2005-04-15 | 2008-08-13 | 力晶半导体股份有限公司 | 缩短机台闲置时间的方法以及使用该方法的制造系统 |
| CN100424674C (zh) * | 2005-08-22 | 2008-10-08 | 力晶半导体股份有限公司 | 改善物料搬运效率的方法以及使用该方法的制造系统 |
| JP2015168033A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | 株式会社豊田自動織機 | ワークの製造方法 |
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