JP2003185640A - Sample holder case, ultrasonic image inspecting apparatus, and its method - Google Patents
Sample holder case, ultrasonic image inspecting apparatus, and its methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料保持具ケー
ス、超音波映像検査装置、および超音波映像検査方法に
関し、特に、電子部品等の精密な試料を媒質に接触させ
ることなく保護しかつ確実に固定し、さらに装置側を変
更することなく試料の全数検査を可能にした超音波映像
検査装置および超音波映像検査方法、さらにこれに適し
た試料保持具ケースに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample holder case, an ultrasonic image inspection apparatus, and an ultrasonic image inspection method, and in particular, protects and reliably protects a precise sample such as an electronic component without bringing it into contact with a medium. The present invention relates to an ultrasonic image inspection apparatus and an ultrasonic image inspection method that enable 100% inspection of samples without changing the device side, and a sample holder case suitable for this.
【0002】[0002]
【従来の技術】材料欠陥を検出し評価するための検査装
置として超音波映像検査装置が知られている。超音波映
像検査装置は、試料を、水槽に溜めた水(液体の媒質)
の中に置き、探触子から出射される超音波を媒質を介し
て試料の中に入射する。探触子は3軸ステージに支持さ
れ、試料の測定表面を走査できるように設けられてい
る。試料の中から反射される超音波は探触子で受信さ
れ、電気信号に変換される。当該電気信号は探傷器回路
に入力され、信号処理が行われる。コンピュータで構成
される制御装置は3軸ステージと探傷器回路の動作を制
御し、試料の測定表面の各測定点で得られた信号に基づ
いて探傷映像を作成し表示装置に表示する。超音波映像
検査装置による測定方法としては、1つの探触子によっ
て送受信を行う反射型測定方法と、試料を挟む2つの探
触子での間で送受信を行う透過型測定方法がある。2. Description of the Related Art An ultrasonic image inspection apparatus is known as an inspection apparatus for detecting and evaluating a material defect. The ultrasonic image inspection device is a water (liquid medium) in which a sample is stored in a water tank.
The ultrasonic wave emitted from the probe is incident on the sample through the medium. The probe is supported by a three-axis stage and provided so as to scan the measurement surface of the sample. The ultrasonic waves reflected from the sample are received by the probe and converted into electric signals. The electrical signal is input to the flaw detector circuit and signal processing is performed. The control device composed of a computer controls the operations of the triaxial stage and the flaw detector circuit, creates a flaw detection image based on the signals obtained at each measurement point on the measurement surface of the sample, and displays it on the display device. As a measurement method using the ultrasonic image inspection apparatus, there are a reflection type measurement method in which transmission and reception is performed by one probe, and a transmission type measurement method in which transmission and reception are performed between two probes sandwiching a sample.
【0003】また超音波映像検査装置に類似または関連
する技術として、「材料評価のための新しい音響映像
法」(日本非破壊検査協会007特別研究委員会、19
90年4月19日発表)がある。この音響映像法は、超
音波映像検査装置や超音波顕微鏡を含む映像方法であ
り、材料欠陥の検出とその評価に広く使われている。上
記文献に開示される音響映像法では、図1に示されるよ
うに、試料(未燒結セラミックス)の上方にポリエチレ
ンシートを配置し、ポリエチレンシートを容器状にして
水を溜め、ポリエチレンシートと試料の間において、試
料に接着テープを貼りさらに当該接着テープの上にゲル
材を設けるようにして、ポリエチレンシートと試料を密
着させている。超音波探触子はポリエチレンシート内の
水の中に配置されている。試料としての上記未燒結セラ
ミックスは、水に接触させると、吸水性を有することか
ら変質してしまうので、上記の装置構成によれば、試料
と水が接触するのを防止する構成を採用している。Also, as a technique similar to or related to the ultrasonic image inspection apparatus, "New acoustic image method for material evaluation" (Japan Nondestructive Inspection Association 007 Special Research Committee, 19
Announced on April 19, 1990). This acoustic imaging method is an imaging method including an ultrasonic image inspection device and an ultrasonic microscope, and is widely used for detecting and evaluating material defects. In the audio-visual method disclosed in the above-mentioned document, as shown in FIG. 1, a polyethylene sheet is arranged above a sample (unsintered ceramics), the polyethylene sheet is made into a container shape, and water is stored in the polyethylene sheet and the sample. Between the samples, an adhesive tape is attached to the sample, and a gel material is provided on the adhesive tape to bring the polyethylene sheet into close contact with the sample. The ultrasonic probe is placed in water in a polyethylene sheet. When the unsintered ceramics as a sample is brought into contact with water, it deteriorates because it has water absorbability. Therefore, according to the above device configuration, a configuration for preventing the sample and water from coming into contact is adopted. There is.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】半導体パッケージなど
の電子部品では、内部の接着剥離や樹脂中の気泡が不良
原因になるため、上記超音波映像検査装置を利用して不
良原因の検査を行うことが多い。このような電子部品を
試料として超音波映像検査を行うとき、水槽の水中内に
電子部品を配置しなければならない。一般に、電子部品
が水に濡れるとその機能が劣化するものが多いので、超
音波映像検査で水槽内に入れて一度測定した電子部品を
正常品として扱うことは極めて少ない。そのため、電子
部品の品質管理の観点で抜き取り検査で超音波探傷を利
用した映像検査装置を利用することはあるが、定常的に
全数の出荷検査に利用されることは少ない。In electronic parts such as semiconductor packages, internal peeling of adhesives and bubbles in the resin cause defects. Therefore, the cause of the defects should be inspected using the ultrasonic image inspection apparatus. There are many. When performing an ultrasonic image inspection using such an electronic component as a sample, the electronic component must be placed in the water of the water tank. In general, the function of many electronic components deteriorates when they get wet with water, so it is extremely rare to treat an electronic component once placed in a water tank by an ultrasonic image inspection as a normal product. Therefore, from the viewpoint of quality control of electronic parts, an image inspection device using ultrasonic flaw detection may be used in the sampling inspection, but it is rarely used for all shipment inspections on a regular basis.
【0005】また水槽内の水の中に入れられた試料は測
定中は移動しないように固定することが必要となる。し
かしながら、水中では浮力が作用し、測定中には水流が
起きるので、試料は動きやすい。測定中に試料が動く
と、正確な測定を行うことはできない。また試料が浮き
上がると、探触子と接触するおそれが高い。そこで、従
来、超音波映像検査装置の水槽内で試料を固定する方法
として、粘着テープ上に並べる方法、またはマグネット
プレートを配置しこの上に並べる方法がある。しかしな
がら、これらの方法によれば、非金属性の試料や割れや
すい試料には使用できず、さらに大量の試料を専用トレ
イから並べ変えるのに手間がかかる。Further, it is necessary to fix the sample contained in the water in the water tank so as not to move during the measurement. However, since the buoyancy acts in water and a water flow occurs during measurement, the sample is easy to move. If the sample moves during measurement, accurate measurement cannot be performed. Further, when the sample floats, there is a high possibility that it will come into contact with the probe. Therefore, conventionally, as a method of fixing the sample in the water tank of the ultrasonic image inspection apparatus, there is a method of arranging on a pressure-sensitive adhesive tape or a method of arranging a magnet plate on this. However, according to these methods, it cannot be used for non-metallic samples or fragile samples, and it takes time and effort to rearrange a large number of samples from the dedicated tray.
【0006】上記のごとく電子部品を試料として超音波
映像検査装置で測定を行う場合において、前述したポリ
エチレンシートを利用した従来技術を利用して電子部品
と水との接触を避けるようにすることもできる。しかし
ながら、前述の従来技術によれば、装置側に構成におい
て大きな変更・改良を加えることが必要であり、コスト
がかかる。さらに媒質である水中において試料を固定す
る場合にも、装置側の構成において変更・改良を施さな
ければならず、問題である。In the case where an ultrasonic image inspection apparatus is used as a sample to measure an electronic component as described above, it is possible to avoid contact between the electronic component and water by using the conventional technique using the polyethylene sheet. it can. However, according to the above-mentioned conventional technique, it is necessary to make large changes and improvements in the configuration on the device side, which is costly. Further, even when the sample is fixed in water, which is a medium, the configuration of the device must be changed / improved, which is a problem.
【0007】本発明の目的は、上記の問題を解決するこ
とにあり、水槽内に配置される試料を水等の媒質に接触
させることなく、かつ確実に水槽内で固定することがで
き、試料が電子部品等である場合に全数調査を可能に
し、電子部品の出荷検査に有効に利用でき、さらに装置
側の構成に大きな変更を生じることなく、比較的に簡単
な構成で、取扱いが容易な超音波映像検査装置および超
音波映像検査方法を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above problems, and it is possible to reliably fix a sample placed in a water tank in a water tank without contacting it with a medium such as water. When it is an electronic component, etc., it is possible to perform a 100% survey, it can be effectively used for shipping inspection of electronic components, and there is no major change in the configuration of the device side. An object of the present invention is to provide an ultrasonic image inspection device and an ultrasonic image inspection method.
【0008】さらに本発明の目的は、上記の超音波映像
検査装置および超音波映像検査方法の実現に適した試料
保持具ケースを提供することにある。A further object of the present invention is to provide a sample holder case suitable for realizing the above-mentioned ultrasonic image inspection apparatus and ultrasonic image inspection method.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
試料保持具ケース、超音波映像検査装置、および超音波
映像検査方法は、上記目的を達成するために、次のよう
に構成される。The sample holder case, the ultrasonic image inspection apparatus, and the ultrasonic image inspection method according to the present invention are configured as follows in order to achieve the above object.
【0010】第1の試料保持具ケース(請求項1に対
応)は、内部空間に試料が配置されるケース本体と、こ
のケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形
成された蓋部材と、ケース本体と蓋部材の間に設けられ
る弾性フィルムと、排気通路部を備え、測定時に、試料
が配置されたケース本体を蓋部材で閉じ、弾性フィルム
を試料に密着させるように構成されている。The first sample holder case (corresponding to claim 1) includes a case main body in which a sample is placed in an internal space, and a lid member which is attached to the case main body so as to be openable and closable and has an opening formed therein. An elastic film provided between the case body and the lid member and an exhaust passage portion are provided, and the case body in which the sample is placed is closed by the lid member during measurement, and the elastic film is brought into close contact with the sample. .
【0011】上記の試料保持具ケースでは、内部空間に
試料を置いた後、測定状態にセットすると、蓋部材に設
けた弾性フィルムが試料に密着する。弾性フィルムとし
ては好ましくは高分子フィルムやゴム膜が使用される。
高分子フィルムの場合には真空ポンプを利用して内部空
間は強制排気されて負圧にされる。ゴム膜の場合には、
内部空間が排気通路部を介して外部につながり、内部空
間の空気が外部に自由に逃げられるようになっている。
弾性フィルムが高分子フィルムの場合、当該弾性フィル
ムが試料に密着された状態の試料保持具ケースを、その
ままの状態に保持して超音波映像検査装置の水槽の中に
配置する。弾性フィルムがゴム膜の場合、超音波映像検
査装置の水槽中に試料保持具ケースを配置すると、水
(液体の媒質)の自重により弾性フィルムが伸び、弾性
フィルムが試料に密着する。水槽の中で試料保持具ケー
スは所定の定位置に保持されるので、水槽内で試料の位
置は固定状態で保持される。超音波映像検査装置で、超
音波探触子は蓋部材の開口および弾性フィルムを介して
試料に対して超音波を照射する。かかる構成を有する試
料保持具ケースに基づいて、水槽内に配置される試料が
水と接触するのを防ぎ、かつ水槽内での試料の位置を固
定する。In the sample holder case described above, when the sample is placed in the internal space and then set in the measurement state, the elastic film provided on the lid member comes into close contact with the sample. A polymer film or a rubber film is preferably used as the elastic film.
In the case of a polymer film, a vacuum pump is used to forcibly evacuate the internal space to a negative pressure. In the case of rubber film,
The internal space is connected to the outside via the exhaust passage portion, and the air in the internal space can freely escape to the outside.
When the elastic film is a polymer film, the sample holder case in which the elastic film is in close contact with the sample is held as it is and placed in the water tank of the ultrasonic image inspection apparatus. When the elastic film is a rubber film, when the sample holder case is arranged in the water tank of the ultrasonic image inspection apparatus, the elastic film stretches due to the weight of water (liquid medium), and the elastic film adheres to the sample. Since the sample holder case is held at a predetermined fixed position in the water tank, the position of the sample is held in a fixed state in the water tank. In the ultrasonic image inspection apparatus, the ultrasonic probe irradiates the sample with ultrasonic waves through the opening of the lid member and the elastic film. Based on the sample holder case having such a configuration, the sample placed in the water tank is prevented from coming into contact with water, and the position of the sample in the water tank is fixed.
【0012】第2の試料保持具ケース(請求項2に対応)
は、上記の構成において、好ましくは、上記弾性フィル
ムは高分子フィルムであり、測定時に、ケース本体を蓋
部材で閉じた状態で、排気通路部を介して内部空間を真
空ポンプで真空排気し高分子フィルムを試料に密着させ
るように構成される。弾性フィルムが高分子フィルムで
あるときには、真空ポンプを利用して強制的に排気し、
高分子フィルムと試料の測定面との間の密着性を高め
る。Second sample holder case (corresponding to claim 2)
In the above configuration, preferably, the elastic film is a polymer film, and at the time of measurement, the internal space is evacuated by a vacuum pump through the exhaust passage while the case body is closed by the lid member. It is configured to adhere the molecular film to the sample. When the elastic film is a polymer film, it is forcibly evacuated using a vacuum pump,
Improves adhesion between the polymer film and the measurement surface of the sample.
【0013】第3の試料保持具ケース(請求項3に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、排気通路部
に開閉バルブが設けられ、真空排気後に開閉バルブを閉
じて真空ポンプから外すことを特徴とする。開閉バルブ
を設け、内部空間を負圧にした状態で開閉バルブを閉じ
ると、逆流を防止でき、試料保持具ケースを単体として
扱うことができる。The third sample holder case (corresponding to claim 3) preferably has an opening / closing valve in the exhaust passage portion, and the opening / closing valve is closed after the vacuum exhaust to remove it from the vacuum pump. Is characterized by. By providing an opening / closing valve and closing the opening / closing valve in a state where the internal space has a negative pressure, backflow can be prevented and the sample holder case can be handled as a single unit.
【0014】第4の試料保持具ケース(請求項4に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、試料保持具
ケースの全体が液体媒質中に置かれ、かつ排気通路部は
三方バルブの1つの開口部にホースで接続され、三方バ
ルブの他の2つの開口部のうち1つは真空ポンプに接続
され、他の1つは外部に開放されていることを特徴とす
る。この構成によれば、試料保持具ケースに常に真空ポ
ンプを接続した状態に保持でき、大量の試料を探傷検査
でき、全数検査を行うことが可能となる。試料保持具ケ
ースに試料を入れたり出したりするときには、試料保持
具ケースは水槽の中から取り出される。The fourth sample holder case (corresponding to claim 4) is preferably arranged such that the entire sample holder case is placed in the liquid medium and the exhaust passage portion is a three-way valve. One of the other two openings of the three-way valve is connected to a vacuum pump, and the other one is open to the outside. According to this configuration, the sample holder case can be held in a state where the vacuum pump is always connected, a large number of samples can be inspected for flaw detection, and 100% inspection can be performed. When a sample is put in or taken out from the sample holder case, the sample holder case is taken out from the water tank.
【0015】第5の試料保持具ケース(請求項5に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、弾性フィル
ムはゴム膜であり、測定時にケース本体を蓋部材で閉じ
た状態で外側からゴム膜に液体媒質の圧力を加えると、
排気通路部を介して内部空間の空気が外部へ排出され、
ゴム膜を試料に密着させるように構成される。弾性フィ
ルムにゴム膜利用することにより、真空ポンプを利用し
た強制排気の構成を省略でき、測定時においてゴム膜を
試料の測定面に密着させることが可能となる。The fifth sample holder case (corresponding to claim 5) preferably has a structure in which the elastic film is a rubber film, and the case body is closed from the outside with a lid member during measurement. When the pressure of the liquid medium is applied to the membrane,
The air in the internal space is discharged to the outside through the exhaust passage,
It is configured to bring the rubber film into close contact with the sample. By using a rubber film as the elastic film, the configuration of forced exhaust using a vacuum pump can be omitted, and the rubber film can be brought into close contact with the measurement surface of the sample during measurement.
【0016】第6の試料保持具ケース(請求項6に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、排気通路部
は通気管を通して大気に開放されていることを特徴とす
る。この構成によれば、水槽内に試料保持具ケースを沈
めたときに、超音波の媒質である水の自重によってゴム
膜が伸びるとき、内部空間の空気が排気通路および通気
管を通して大気に逃がすことができ、ゴム膜を試料の測
定面に密着させることが可能となる。The sixth sample holder case (corresponding to claim 6) is characterized in that in the above construction, the exhaust passage portion is preferably open to the atmosphere through a ventilation pipe. According to this configuration, when the sample holder case is submerged in the water tank, when the rubber film stretches due to the weight of water, which is an ultrasonic medium, the air in the internal space escapes to the atmosphere through the exhaust passage and the ventilation pipe. The rubber film can be brought into close contact with the measurement surface of the sample.
【0017】第7の試料保持具ケース(請求項7に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、排気通路部
は予備室に接続されていることを特徴とする。この構成
によれば、予備室を設けることによって内部空間の空気
を外部に逃がすことが可能となっている。The seventh sample holder case (corresponding to claim 7) is characterized in that, in the above structure, the exhaust passage portion is preferably connected to the preliminary chamber. According to this structure, the air in the internal space can be released to the outside by providing the auxiliary chamber.
【0018】第8の試料保持具ケース(請求項8に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、複数の試料
を載せたトレイを内部空間に配置することを特徴とす
る。この構成によれば、複数の試料を同時に探傷検査す
ることができる。また複数の試料を載せる専用のトレイ
に、半導体デバイスの製造工程で使用されている搬送ト
レイを利用することができるという利点がある。The eighth sample holder case (corresponding to claim 8) is characterized in that, in the above structure, preferably a tray on which a plurality of samples are placed is arranged in the internal space. According to this configuration, it is possible to simultaneously perform flaw detection inspection on a plurality of samples. Further, there is an advantage that the carrier tray used in the semiconductor device manufacturing process can be used as a dedicated tray for mounting a plurality of samples.
【0019】第9の試料保持具ケース(請求項9に対
応)は、上記の構成において、好ましくは、蓋部材の開
口部に、複数の試料のそれぞれに対応する開口を形成す
るための格子状枠部を設けたことを特徴とする。この構
成によれば、蓋部材の強度を高めることができると共
に、弾性フィルムの支持を確実にし、弾性フィルムの保
護を図ることができる。In the above structure, the ninth sample holder case (corresponding to claim 9) preferably has a lattice shape for forming an opening corresponding to each of the plurality of samples in the opening of the lid member. It is characterized in that a frame portion is provided. According to this structure, the strength of the lid member can be increased, the elastic film can be reliably supported, and the elastic film can be protected.
【0020】第10の試料保持具ケース(請求項10に
対応)は、上記の構成において、好ましくは、弾性フィ
ルムの試料接触面側に粘着材またはゲル材の媒質膜を設
けたことを特徴とする。この構成によれば、弾性フィル
ムと試料との間の密着性を高めることができる。The tenth sample holder case (corresponding to claim 10) is characterized in that, in the above construction, a medium film of an adhesive material or a gel material is preferably provided on the sample contact surface side of the elastic film. To do. According to this structure, the adhesiveness between the elastic film and the sample can be enhanced.
【0021】超音波映像検査装置(請求項11に対応)
は、探傷信号生成回路で作られた電気信号を超音波探触
子で超音波に変換し液体媒質を介して試料に照射し、こ
の試料から戻る超音波を超音波探触子で電気信号に変換
して試料の内部を映像化する装置であり、さらに、試料
を内部に収容しかつ液体媒質を溜める容器内に配置され
る試料保持具ケースを備える。この試料保持具ケース
は、内部空間に試料が配置されるケース本体と、このケ
ース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形成さ
れた蓋部材と、ケース本体と蓋部材の間に設けられる弾
性フィルムと、排気通路部を備えている。試料保持具ケ
ースでは、測定時には、試料が配置されたケース本体を
蓋部材で閉じ、排気通路部を介して内部空間を排気して
弾性フィルムを試料に密着させる。Ultrasonic image inspection apparatus (corresponding to claim 11)
Uses an ultrasonic probe to convert the electrical signal generated by the flaw detection signal generation circuit into ultrasonic waves, irradiates the sample through a liquid medium, and the ultrasonic waves returned from this sample are converted into electrical signals with the ultrasonic probe. It is a device for converting and visualizing the inside of a sample, and further comprises a sample holder case arranged in a container for accommodating the sample therein and storing a liquid medium. This sample holder case includes a case body in which a sample is placed in an internal space, a lid member that is openably and closably attached to the case body and has an opening formed therein, and an elastic member provided between the case body and the lid member. It has a film and an exhaust passage. In the sample holder case, at the time of measurement, the case body in which the sample is placed is closed by a lid member, and the internal space is evacuated through the exhaust passage portion to bring the elastic film into close contact with the sample.
【0022】上記の超音波映像検査装置によれば、試料
を液体媒質である水の中にセットするときに、試料保持
具ケース内に配置してセットするので、試料を液体媒質
との直接的な接触から保護でき、かつセット位置を固定
して保持することができる。また電子部品等の精密な試
料の探傷検査に有効である。According to the above-mentioned ultrasonic image inspection apparatus, when the sample is set in water which is a liquid medium, the sample is arranged and set in the case of the sample holder, so that the sample is directly attached to the liquid medium. It is possible to protect it from various contacts, and it is possible to fix and hold the set position. It is also effective for flaw detection inspection of precise samples such as electronic parts.
【0023】超音波映像検査方法は(請求項12に対
応)は、探傷信号生成回路で作られた電気信号を超音波
探触子で超音波に変換し媒質を介して試料に照射し、こ
の試料から戻る超音波を超音波探触子で電気信号に変換
して試料の内部を映像化する超音波映像検査装置に適用
され、媒質の外で、ケース本体の内部空間に試料を配置
し、内側に弾性フィルムを備えかつ開口部が形成された
蓋部材でケース本体の内部空間を閉じ、排気通路部を介
して内部空間を真空ポンプで真空排気して弾性フィルム
を試料に密着させ、排気通路部に設けられた開閉バルブ
を閉状態にして真空ポンプから試料保持具ケースを外
し、この試料保持具ケースを媒質の中に入れるようにし
た方法である。The ultrasonic image inspection method (corresponding to claim 12) is such that an electric signal generated by a flaw detection signal generating circuit is converted into ultrasonic waves by an ultrasonic probe, and the ultrasonic waves are irradiated onto a sample through a medium. It is applied to an ultrasonic image inspection device that converts the ultrasonic waves returned from the sample into an electric signal with an ultrasonic probe and visualizes the inside of the sample, placing the sample in the internal space of the case body outside the medium, The inner space of the case body is closed by a lid member having an elastic film inside and an opening is formed, and the inner space is evacuated by a vacuum pump through the exhaust passage part to bring the elastic film into close contact with the sample, and the exhaust passage In this method, a sample holder case is removed from the vacuum pump by closing an open / close valve provided in the section, and the sample holder case is put into a medium.
【0024】上記の超音波映像検査方法によれば、電子
部品等の精密試料を液体媒質である水に接触させること
なく超音波探傷検査を行うことができ、かつ媒質容器で
ある水槽の中で試料を容易に固定することができる。According to the above-mentioned ultrasonic image inspection method, ultrasonic flaw inspection can be performed without bringing a precision sample such as an electronic component into contact with water, which is a liquid medium, and in a water tank which is a medium container. The sample can be easily fixed.
【0025】上記の方法において、複数の試料をトレイ
に配置し、このトレイをケース本体の内部空間に配置す
る(請求項13に対応)。多数の試料を同時に探傷検査
でき、量産工程に適している。In the above method, a plurality of samples are placed in a tray, and the tray is placed in the internal space of the case body (corresponding to claim 13). It is suitable for mass production because it can inspect many samples at the same time.
【0026】[0026]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【0027】実施形態で説明される構成、形状、大きさ
および配置関係については本発明が理解・実施できる程
度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構
成要素の組成(材質)については例示にすぎない。従っ
て本発明は、以下に説明される実施形態に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範
囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができ
る。The configurations, shapes, sizes, and arrangement relationships described in the embodiments are merely shown to the extent that the present invention can be understood and put into practice, and the numerical values and the compositions (materials) of the respective constituent elements. Is only an example. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, and can be modified into various forms without departing from the scope of the technical idea shown in the claims.
【0028】図1〜図4を参照して本発明に係る超音波
映像検査装置の第1の実施形態を説明する。第1実施形
態に係る超音波映像検査装置において試料保持具ケース
の構成に特徴がある。図1は測定時の装置構成、図2は
真空吸引時の使用状態、図3は試料保持具ケースの斜視
図、図4は試料保持具ケースの縦断面図である。A first embodiment of an ultrasonic image inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. The ultrasonic image inspection apparatus according to the first embodiment is characterized by the configuration of the sample holder case. 1 is a device configuration during measurement, FIG. 2 is a use state during vacuum suction, FIG. 3 is a perspective view of a sample holder case, and FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of the sample holder case.
【0029】図1において基台11の上に3軸スキャナ
12が設けられている。3軸スキャナ12は、図1に示
したX,Y,Zの各軸方向への超音波探触子(超音波プ
ローブ)13の移動を可能する移動機構を有している。
3軸スキャナ12は、基台11の上に立つ少なくとも2
本の支柱14と、2本の支柱14の間に掛渡されている
棒状フレーム15と、フレーム15上で移動するごとく
取り付けられた支持部16とから構成されている。支持
部16の下部に上記の超音波探触子13をZ軸方向に移
動できるように取り付けられている。超音波探触子13
は超音波出射面を下方を向けて配置されている。基台1
1の上には水槽17が置かれている。水槽17の中には
超音波を伝播する水(液体媒質)18が溜められてい
る。水槽17内の水18の中に試料保持具ケース19が
配置されている。試料保持具ケース19の中に試料20
が収容されている。In FIG. 1, a triaxial scanner 12 is provided on a base 11. The triaxial scanner 12 has a moving mechanism that allows the ultrasonic probe (ultrasonic probe) 13 to move in the X, Y, and Z axis directions shown in FIG.
The 3-axis scanner 12 has at least two units that stand on the base 11.
It is composed of a book pillar 14, a bar-shaped frame 15 suspended between the two pillars 14, and a support portion 16 attached so as to move on the frame 15. The ultrasonic probe 13 is attached to the lower part of the support 16 so as to be movable in the Z-axis direction. Ultrasonic probe 13
Is disposed with the ultrasonic wave emitting surface facing downward. Base 1
A water tank 17 is placed above 1. Water (liquid medium) 18 that propagates ultrasonic waves is stored in the water tank 17. A sample holder case 19 is arranged in the water 18 in the water tank 17. Sample 20 in the sample holder case 19
Is housed.
【0030】探触子13は3軸スキャナ12によって3
軸方向に移動され、かつ探触子13の下端の超音波出射
面は水18の中に埋没されている。探触子13は、3軸
スキャナ12の移動動作に基づき試料20の測定面(X
Y面)を走査し、あるいはZ軸方向に移動させる。コン
ピュータ21は探傷器回路22と3軸スキャナ12の動
作を制御する。探傷器回路22はパルス的電気信号を出
力し、探触子13に与える。探触子13は当該電気信号
を超音波を変換し、この超音波を水18の中に出射す
る。探触子13から出射された超音波は試料保持具ケー
ス19内にセットされた試料20に入射される。試料2
0の内部では超音波の反射エコーが生じる。試料内部で
生じた反射エコーは探触子13により電気信号に変換さ
れ、探傷器回路22で受信される。試料20の内部から
戻ってくる反射エコー信号によって試料内部の欠陥状態
を知ることができる。コンピュータ21は探傷器回路2
2の動作を制御しかつ3軸スキャナ12の移動動作を制
御することにより、試料20上の測定面の各点で反射エ
コーに係る電気信号を取得する。得られた反射エコーに
係る電気信号に基づいて探傷映像を作成し、表示装置2
3の画面に当該探傷映像を表示する。The probe 13 is moved by the 3-axis scanner 12 to
The ultrasonic wave emitting surface which is moved in the axial direction and which is at the lower end of the probe 13 is buried in the water 18. The probe 13 moves the measurement surface (X
Scan (Y plane) or move in the Z-axis direction. The computer 21 controls the operations of the flaw detector circuit 22 and the triaxial scanner 12. The flaw detector circuit 22 outputs a pulsed electric signal and supplies it to the probe 13. The probe 13 converts the electric signal into ultrasonic waves and emits the ultrasonic waves into the water 18. The ultrasonic waves emitted from the probe 13 enter the sample 20 set in the sample holder case 19. Sample 2
Inside 0, reflected echoes of ultrasonic waves occur. The reflected echo generated inside the sample is converted into an electric signal by the probe 13 and received by the flaw detector circuit 22. The defect state inside the sample can be known from the reflected echo signal returned from the inside of the sample 20. The computer 21 is a flaw detector circuit 2
By controlling the operation of No. 2 and the moving operation of the three-axis scanner 12, the electric signal related to the reflection echo is acquired at each point of the measurement surface on the sample 20. A flaw detection image is created based on the obtained electric signal related to the reflection echo, and the display device 2
The flaw detection image is displayed on the screen of No. 3.
【0031】試料保持具ケース19は、図1に示される
測定時の状態で、その内部空間は、真空ポンプにより強
制的に真空排気されて負圧の状態にあり、かつ水密の状
態に保持されている。試料20は試料保持具ケース19
によって保護されかつその内部に固定されている。試料
20は電子部品等の精密試料である。The sample holder case 19 is kept in a watertight state in the state shown in FIG. 1 at the time of measurement, in which the internal space is forcibly evacuated by a vacuum pump to be in a negative pressure state. ing. The sample 20 is a sample holder case 19
Protected by and fixed within it. The sample 20 is a precision sample such as an electronic component.
【0032】試料保持具ケース19は、図3と図4に示
されるように、上部が開放されたケース本体31と、こ
れに蝶番機構32で開閉自在に取り付けられた蓋部材3
3とから構成されている。蓋部材33は、矩形の形状を
有し、かつ矩形開口33aが形成された矩形リングフレ
ームの形態を有している。蓋部材33の下面には弾性を
有するシート状の高分子フィルム(高分子膜)34が取
り付けられている。この高分子フィルム34は、高分子
物質で作られた膜状部材でかつ所要の弾性を有するもの
である。高分子フィルム34としては例えばポリエチレ
ンのフィルムが用いられる。蓋部材33が蝶番機構32
の周りで開いた状態では、ケース本体31は内部空間3
5が開放された状態になり、ケース本体31の内部空間
35に試料20を置くことができる。蓋部材33が閉じ
た状態では、図3と図4に示すごとく、蓋部材33とケ
ース本体31の上面との間に高分子フィルム34が挟ま
れて配置された状態になる。弾性を有しかつシート状の
高分子フィルム34が配置されることによってケース本
体31の内部空間35は水密状態に保持されると共に、
蓋部材33の矩形開口33aを通して外部から高分子フ
ィルム34に圧力が直接的に加わるようになっている。As shown in FIGS. 3 and 4, the sample holder case 19 has a case main body 31 having an open upper part, and a lid member 3 attached to the case main body 31 by a hinge mechanism 32 so as to be openable and closable.
3 and 3. The lid member 33 has a rectangular shape and a rectangular ring frame in which a rectangular opening 33a is formed. A sheet-shaped polymer film (polymer film) 34 having elasticity is attached to the lower surface of the lid member 33. The polymer film 34 is a film-shaped member made of a polymer material and has a required elasticity. As the polymer film 34, for example, a polyethylene film is used. The lid member 33 is the hinge mechanism 32.
When opened around, the case main body 31 has the inner space 3
5 is opened, and the sample 20 can be placed in the internal space 35 of the case main body 31. When the lid member 33 is closed, as shown in FIGS. 3 and 4, the polymer film 34 is sandwiched between the lid member 33 and the upper surface of the case body 31. By arranging the sheet-shaped polymer film 34 having elasticity, the internal space 35 of the case body 31 is kept watertight, and
Pressure is directly applied to the polymer film 34 from the outside through the rectangular opening 33a of the lid member 33.
【0033】試料保持具ケース19で、ケース本体31
の内部空間35に電子部品等の試料20を置いてケース
本体31に対して蓋部材33が閉じたとき、留め金36
によって蓋部材33はケース本体31に固定される。図
3と図4はこの状態を示している。In the sample holder case 19, the case body 31
When the sample 20 such as an electronic component is placed in the internal space 35 of the container and the lid member 33 is closed with respect to the case body 31, the clasp 36
Thus, the lid member 33 is fixed to the case body 31. 3 and 4 show this state.
【0034】試料保持具ケース19のケース本体31に
は、内部空間35と外部をつなぐ排気通路部としての排
気孔37が形成され、当該排気孔37の途中には開閉バ
ルブ38が設けられている。開閉バルブ38の外部摘み
38aを開状態にすると排気孔37は通気状態になり、
閉状態すると内部空間35は外部と遮断される。排気孔
37の外側突起部にはホース39が接続されている。ホ
ース39の先端部は図3および図4に示されない排気用
真空ポンプ(図2に示す40)に接続される。真空ポン
プ40によって試料保持具ケース19の内部空間35は
真空排気される。試料保持具ケース19の内部空間35
が真空排気されると、高分子フィルム34は内部空間3
5の負圧によって内部空間側に吸引され、その結果、図
4に示されるごとく、高分子フィルム34は試料20の
状面(測定面)に密着した状態になる。高分子フィルム
34は弾性を有し、シール材として機能する。開閉バル
ブ38を開状態にすると、排気孔37は外部の大気圧に
通じるので、内部空間3の負圧状態は解除され、試料2
0への高分子フィルム34の密着状態は解除される。An exhaust hole 37 is formed in the case body 31 of the sample holder case 19 as an exhaust passage portion connecting the internal space 35 and the outside, and an opening / closing valve 38 is provided in the exhaust hole 37. . When the outer knob 38a of the opening / closing valve 38 is opened, the exhaust hole 37 is vented,
When closed, the internal space 35 is cut off from the outside. A hose 39 is connected to the outer protrusion of the exhaust hole 37. The tip of the hose 39 is connected to an evacuation vacuum pump (40 shown in FIG. 2) not shown in FIGS. 3 and 4. The internal space 35 of the sample holder case 19 is evacuated by the vacuum pump 40. Internal space 35 of sample holder case 19
When the polymer film 34 is evacuated,
The negative pressure of 5 sucks it toward the inner space, and as a result, as shown in FIG. 4, the polymer film 34 comes into close contact with the surface (measurement surface) of the sample 20. The polymer film 34 has elasticity and functions as a sealing material. When the opening / closing valve 38 is opened, the exhaust hole 37 communicates with the external atmospheric pressure, so that the negative pressure state of the internal space 3 is released and the sample 2
The adhered state of the polymer film 34 to 0 is released.
【0035】次に、上記超音波映像検査装置および試料
保持具ケース19の使用方法を説明する。半導体チップ
等の精密な電子部品を試料20として超音波を利用して
探傷検査を行うとき、試料保持具ケース19の蓋部材3
3を開き、ケース本体31の内部空間35に当該試料2
0を配置する。このとき試料20の測定面を上側にして
配置する。その後、蓋部材33を閉じて留め金36で固
定する。通気孔37の外側突起部はホース39を介して
真空ポンプ40に接続されている。この状態が図2に示
されている。開閉バルブ38を開いた状態で、真空ポン
プ40により試料保持具ケース19の内部空間35を真
空排気し当該内部空間35を吸引する。その結果、内部
空間35は負圧の状態になる。所定の負圧状態になった
とき、開閉バルブ38を閉じ、ホース39を試料保持具
ケース19から外す。その後、図1に示すように、水槽
17内の水18の中に試料保持具ケース19を配置す
る。この状態で前述のごとく超音波映像検査装置によっ
て試料20の探傷検査が行われる。試料20に関する探
傷検査が完了すると、試料保持具ケース19を水槽17
から出し、さらに試料保持具ケース19の蓋部材33を
あけて試料20を取り出す。その後、他の試料について
同様に測定を継続する。Next, a method of using the ultrasonic image inspection apparatus and the sample holder case 19 will be described. When a flaw detection inspection is performed by using ultrasonic waves as a sample 20 of a precision electronic component such as a semiconductor chip, the lid member 3 of the sample holder case 19 is used.
3 is opened, and the sample 2 is placed in the internal space 35 of the case body 31.
Place 0. At this time, the measurement surface of the sample 20 is arranged so as to face upward. Then, the lid member 33 is closed and fixed with the clasp 36. The outer protrusion of the vent hole 37 is connected to a vacuum pump 40 via a hose 39. This state is shown in FIG. With the opening / closing valve 38 open, the internal space 35 of the sample holder case 19 is evacuated by the vacuum pump 40 to suck the internal space 35. As a result, the internal space 35 is in a negative pressure state. When a predetermined negative pressure is reached, the open / close valve 38 is closed and the hose 39 is removed from the sample holder case 19. After that, as shown in FIG. 1, the sample holder case 19 is placed in the water 18 in the water tank 17. In this state, the flaw detection inspection of the sample 20 is performed by the ultrasonic image inspection apparatus as described above. When the flaw inspection on the sample 20 is completed, the sample holder case 19 is placed in the water tank 17
Then, the lid member 33 of the sample holder case 19 is opened and the sample 20 is taken out. After that, the measurement is continued similarly for other samples.
【0036】上記の第1実施形態に係る超音波映像検査
装置によれば、電子部品などの精密試料を水18に接触
させることなく超音波探傷検査を行うことができ、かつ
試料保持具ケース19に収容して探傷検査できるので、
水槽17内で試料を容易に固定することができる。特
に、試料保持具ケース19を用意するだけよく、超音波
映像検査装置の構成に特に変更を加える必要がないの
で、簡単に実現することができる。超音波探傷を行う測
定の際において、高分子フィルム34は試料20の測定
面に密着しているので、探触子13から出射された超音
波は効率よく試料20の内部に入射される。According to the ultrasonic image inspection apparatus according to the first embodiment described above, ultrasonic flaw inspection can be performed without bringing a precision sample such as an electronic component into contact with the water 18, and the sample holder case 19 can be used. Since it can be stored in
The sample can be easily fixed in the water tank 17. In particular, since it is sufficient to prepare the sample holder case 19, and it is not necessary to change the configuration of the ultrasonic image inspection apparatus, it can be easily realized. During the measurement with ultrasonic flaw detection, the polymer film 34 is in close contact with the measurement surface of the sample 20, so that the ultrasonic waves emitted from the probe 13 are efficiently incident on the inside of the sample 20.
【0037】弾性を有する高分子フィルム34は、検査
される試料20ごとにケース本体31の内部を真空排気
して負圧とし試料20に密着させられるので、検査を長
く継続すると破損や傷みが生じる。そこで、高分子フィ
ルム34は適宜なタイミングで交換される。The polymer film 34 having elasticity is evacuated to a negative pressure inside the case body 31 for each sample 20 to be inspected so as to be brought into close contact with the sample 20. Therefore, if the inspection is continued for a long time, damage or damage will occur. . Therefore, the polymer film 34 is replaced at an appropriate timing.
【0038】次に図5〜図9を参照して本発明に係る超
音波映像検査装置の第2の実施形態を説明する。第2実
施形態に係る超音波映像検査装置では、前述した試料保
持具ケースを利用して電子部品等の精密な試料を全数検
査できる構成に特徴がある。図5は測定時の装置構成、
図6は試料保持具ケースの斜視図、図7は試料保持具ケ
ースの縦断面図、図8と図9は三方バルブの動作状態を
示す図である。各図において第1実施形態で説明した要
素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。Next, a second embodiment of the ultrasonic image inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. The ultrasonic image inspection apparatus according to the second embodiment is characterized in that all the precise samples such as electronic parts can be inspected by using the sample holder case described above. Figure 5 shows the device configuration during measurement,
FIG. 6 is a perspective view of the sample holder case, FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of the sample holder case, and FIGS. 8 and 9 are diagrams showing the operating state of the three-way valve. In each figure, the elements substantially the same as the elements described in the first embodiment are designated by the same reference numerals.
【0039】図5において、基台11の上に3軸スキャ
ナ12が取り付けられ、3軸スキャナ12に超音波探触
子13が取り付けられている。さらに基台11の上には
水18が溜められた水槽17が置かれている。水槽17
内の水18の中には本実施形態に係る試料保持具ケース
51が配置されている。探触子13には探傷器回路22
から探傷用電気信号が与えられる。表示装置23を備え
たコンピュータ21は、3軸スキャナ12と探傷器回路
22の各動作を制御する。In FIG. 5, a triaxial scanner 12 is attached on a base 11, and an ultrasonic probe 13 is attached to the triaxial scanner 12. Further, a water tank 17 in which water 18 is stored is placed on the base 11. Aquarium 17
A sample holder case 51 according to the present embodiment is arranged in the water 18 therein. The probe 13 has a flaw detector circuit 22.
Gives an electric signal for flaw detection. The computer 21 including the display device 23 controls each operation of the three-axis scanner 12 and the flaw detector circuit 22.
【0040】超音波映像検査装置の外側には真空ポンプ
40が配置される。真空ポンプ40の吸引・真空排気動
作は、好ましくは、コンピュータ21で制御され、自動
化される。試料保持具ケース51の排気孔はホース52
および三方バルブ53を介して真空ポンプ40に接続さ
れている。三方バルブ53は、試料保持具ケース51に
つながる口部と真空ポンプ40につながる口部とリーク
口53aを備えている。試料保持具ケース51内には破
線で示すように試料20が収容されている。探触子13
から試料20に対して超音波が出射され、試料20から
の反射エコーが探触子13で受信される。A vacuum pump 40 is arranged outside the ultrasonic image inspection apparatus. The suction / vacuum operation of the vacuum pump 40 is preferably controlled by the computer 21 and automated. The exhaust hole of the sample holder case 51 has a hose 52.
Also, it is connected to the vacuum pump 40 via a three-way valve 53. The three-way valve 53 includes a mouth portion connected to the sample holder case 51, a mouth portion connected to the vacuum pump 40, and a leak port 53a. The sample 20 is accommodated in the sample holder case 51 as indicated by the broken line. Probe 13
The ultrasonic wave is emitted from the sample 20 to the sample 20, and the reflected echo from the sample 20 is received by the probe 13.
【0041】試料保持具ケース51は、図6と図7に示
されるように、ケース本体31と矩形枠体状の蓋部材3
3と両者を連結する蝶番機構32と留め金36とから構
成されている。ケース本体31と蓋部材33の間には高
分子フィルム34が設けられている。高分子フィルム3
4は内部の真空排気に基づく負圧により試料20に密着
すると共に、蓋部材33を閉じたときのケース内部を水
密にするためのシール材として機能する。図7に示され
るように、試料保持具ケース51のケース本体31の一
部の壁部に排気孔37が形成されている。排気孔37の
外側突起は前述のごとくホース52に接続されている。
なお第1実施形態の場合とは異なり、この実施形態によ
る試料保持具ケース51では開閉バルブは設けられてい
ない。開閉バルブの代わりに、前述した三方バルブ53
がバルブ開閉動作を行うことになる。As shown in FIGS. 6 and 7, the sample holder case 51 includes a case body 31 and a rectangular frame-shaped lid member 3.
3 and a hinge mechanism 32 connecting the two and a clasp 36. A polymer film 34 is provided between the case body 31 and the lid member 33. Polymer film 3
Reference numeral 4 makes a close contact with the sample 20 by a negative pressure based on the vacuum exhaust inside, and also functions as a sealing material for making the inside of the case watertight when the lid member 33 is closed. As shown in FIG. 7, an exhaust hole 37 is formed in a part of the wall of the case body 31 of the sample holder case 51. The outer protrusion of the exhaust hole 37 is connected to the hose 52 as described above.
Unlike the case of the first embodiment, the sample holder case 51 according to this embodiment is not provided with an opening / closing valve. Instead of the open / close valve, the above-described three-way valve 53
Will open and close the valve.
【0042】図8と図9に三方バルブ53の動作状態を
示す。図8は、バルブ部材53bが真空ポンプ40とケ
ース本体31の排気孔37をつなぐ状態にあることを示
している。この状態は、真空排気時の状態である。これ
によって蓋部材33が閉じられた試料保持具ケース51
の内部空間35は真空ポンプ40によって強制的に真空
排気される。図9は、バルブ部材53bが試料保持具ケ
ース51の排気孔37とリーク口53aとを接続し、試
料保持具ケース51の内部空間35をリーク口53aを
経由して外気へ開放する状態を示している。三方バルブ
53での上記の接続動作も、同様に制御手段であるコン
ピュータ21によって制御される。8 and 9 show the operating state of the three-way valve 53. FIG. 8 shows that the valve member 53b connects the vacuum pump 40 and the exhaust hole 37 of the case body 31. This state is the state during vacuum evacuation. Thereby, the sample holder case 51 in which the lid member 33 is closed
The internal space 35 is forcedly evacuated by the vacuum pump 40. FIG. 9 shows a state in which the valve member 53b connects the exhaust hole 37 of the sample holder case 51 to the leak port 53a and opens the internal space 35 of the sample holder case 51 to the outside air via the leak port 53a. ing. The above-mentioned connecting operation of the three-way valve 53 is similarly controlled by the computer 21 which is a control means.
【0043】第2実施形態に係る超音波映像検査装置の
構成によれば、制御手段であるコンピュータ21によっ
て超音波探傷の検査動作を行う探傷器回路22、探触子
13による走査動作を実現する3軸スキャナ12、真空
ポンプ40の動作、三方バルブ53の接続動作をそれぞ
れタイミングよく制御することにより、多数の試料20
の探傷検査を自動的に行うことが可能となる。ただし試
料保持具ケース51への試料20のセットは人為的な手
作業で行われる。従って、作業者が水槽17内の試料保
持具ケース51を取り出して試料20の交換を行い、再
度水槽17内に試料保持具ケース51を戻して、真空排
気、探傷検査を行い、その後、試料保持具ケース51の
内部を大気圧状態に戻して、再び、試料交換を行う。According to the configuration of the ultrasonic image inspection apparatus according to the second embodiment, the computer 21 as the control means realizes the scanning operation by the flaw detector circuit 22 and the probe 13 for performing the ultrasonic flaw inspection operation. By controlling the operations of the three-axis scanner 12, the vacuum pump 40, and the connection operation of the three-way valve 53 with good timing, a large number of samples 20 can be obtained.
It is possible to automatically perform the flaw detection inspection. However, setting of the sample 20 in the sample holder case 51 is performed manually. Therefore, the operator takes out the sample holder case 51 in the water tank 17 to replace the sample 20, returns the sample holder case 51 to the water tank 17 again, performs vacuum exhaustion and flaw inspection, and then holds the sample holder. The inside of the tool case 51 is returned to atmospheric pressure, and the sample is exchanged again.
【0044】上記のごとき第2実施形態に係る装置構成
によれば、多数の試料を探傷検査でき、電子部品等の全
数検査を行うことができる。According to the apparatus configuration according to the second embodiment as described above, a large number of samples can be inspected for flaws, and 100% of electronic components can be inspected.
【0045】次に試料保持具ケースに関して他の実施形
態を説明する。Next, another embodiment of the sample holder case will be described.
【0046】図10は試料保持具ケース61の内部に複
数の試料20を配置させるためのトレイ62を設けた構
造を有している。トレイ62は、本来、複数の試料20
を同時に搬送するための搬送用トレイである。電子部品
の製造工程では、通常、専用のトレイで搬送されるの
で、当該搬送トレイをそのまま試料保持具ケース61の
内部空間に収容させる。その他の構成は、第2実施形態
の試料保持具ケース51と同じである。ケース本体31
に形成された排気孔37を経由して排気を行うと、内部
空間が負圧となって高分子フィルム34は複数の試料2
0の測定面の各々に密着する。これによって多数の試料
20を同時に探傷検査することができる。上記のトレイ
62を利用する構成によって、試料20の載せ替えの必
要がなくなり、多数の試料20の探傷検査の測定が可能
になる。FIG. 10 has a structure in which a tray 62 for placing a plurality of samples 20 is provided inside a sample holder case 61. Originally, the tray 62 is composed of a plurality of samples 20.
Is a transport tray for simultaneously transporting. In the manufacturing process of electronic components, since it is usually transported by a dedicated tray, the transport tray is directly accommodated in the internal space of the sample holder case 61. Other configurations are the same as those of the sample holder case 51 of the second embodiment. Case body 31
When the gas is exhausted through the exhaust hole 37 formed in, the internal space becomes a negative pressure and the polymer film 34 becomes
It adheres to each of the 0 measurement surfaces. Thus, a large number of samples 20 can be simultaneously inspected for flaw detection. With the configuration using the tray 62 described above, it is not necessary to replace the samples 20, and it is possible to perform flaw detection inspection measurements on a large number of samples 20.
【0047】図11は、図10に示した試料保持具ケー
スの変形例である。この試料保持具ケース71では、蓋
部材33の矩形開口において桟となる格子状枠72が形
成されている。この格子状枠72で形成される複数の矩
形開口(窓)73の形成位置はトレイ62に置かれた各
試料20に対応している。さらに蓋部材33の内側面に
固定される高分子フィルム34は、押え枠体74によっ
て格子状枠72の内面に固定される。従って本実施形態
による試料保持具ケース71によれば、真空排気によっ
て試料保持具ケース71の内部空間に負圧状態を作ると
き、高分子フィルムの全体が下方に弾性変形するのでは
なく、格子状枠72によって形成された小さく矩形開口
73ごとに対応する高分子フィルム34の部分が弾性変
形して試料20の測定面に密着する。従って、高分子フ
ィルム34の変形領域や変形量を試料ごとに制限して、
取扱い性を向上し、高分子フィルム34の保護を図り、
さらに高分子フィルム34と各試料20との密着性およ
びその密着均一性を高めている。FIG. 11 shows a modification of the sample holder case shown in FIG. In this sample holder case 71, a grid-like frame 72 is formed as a crosspiece in the rectangular opening of the lid member 33. The formation positions of the plurality of rectangular openings (windows) 73 formed by the lattice-shaped frame 72 correspond to each sample 20 placed on the tray 62. Further, the polymer film 34 fixed to the inner surface of the lid member 33 is fixed to the inner surface of the lattice-shaped frame 72 by the holding frame body 74. Therefore, according to the sample holder case 71 according to the present embodiment, when a negative pressure state is created in the internal space of the sample holder case 71 by evacuation, the entire polymer film does not elastically deform downward, but has a lattice shape. The portion of the polymer film 34 corresponding to each small rectangular opening 73 formed by the frame 72 elastically deforms and comes into close contact with the measurement surface of the sample 20. Therefore, the deformation area and the deformation amount of the polymer film 34 are limited for each sample,
Improves handling and protects the polymer film 34,
Further, the adhesion between the polymer film 34 and each sample 20 and its adhesion uniformity are improved.
【0048】図12は、前述のごとく電子部品の製造工
程における搬送トレイを超音波映像検査装置における試
料保持具の専用トレイ62として利用する場合の変形例
である。この実施形態によれば、前述した実施形態にお
けるケース本体や蓋部材が不要となる。すなわち、高分
子フィルムで作られた袋体81を用意し、その入口部に
排気孔部材82を設けるだけでよい。この構成によれ
ば、袋体81の入口から複数の試料20を搭載したトレ
イ62を内部に入れ、当該入口に排気孔部材82を設
け、前述の実施形態のごとく真空ポンプで排気すれば、
使用することが可能となる。上記構成によれば、ケース
本体や蓋部材を省略することができるので、コストが低
減する。FIG. 12 shows a modified example in which the carrier tray in the manufacturing process of electronic parts is used as the dedicated tray 62 of the sample holder in the ultrasonic image inspection apparatus as described above. According to this embodiment, the case main body and the lid member in the above-described embodiments are unnecessary. That is, it is only necessary to prepare the bag 81 made of a polymer film and provide the exhaust hole member 82 at the inlet thereof. According to this configuration, if the tray 62 on which a plurality of samples 20 are mounted is put into the inside from the inlet of the bag 81, the exhaust hole member 82 is provided at the inlet, and exhaust is performed by the vacuum pump as in the above-described embodiment,
Can be used. According to the above configuration, the case body and the lid member can be omitted, so that the cost is reduced.
【0049】図13は、透過型の超音波探触子を有する
超音波映像検査装置に適した試料保持具ケースの実施形
態を示す。この試料保持具ケース91では、ケース本体
92は、試料20をセット・配置する開口空間を有しか
つ排気孔部93を有する枠体である。ケース本体92の
上側および下側に高分子フィルム94,95を固定して
成る矩形枠状の蓋部材96,97を取り付けるように構
成されている。蓋部材96,97をケース本体92に取
り付ける手段は任意の手段を用いることができる。ケー
ス本体92に対して蓋部材96,97を取り付けて排気
孔部93から前述したような方法で真空排気すると、上
下の高分子フィルム94,95は負圧の作用で試料20
の上面と下面に密着する。図13に示されるような状態
で水槽内の水中に試料保持具ケース91を配置し、透過
型超音波探触子によって探傷検査が行われる。FIG. 13 shows an embodiment of a sample holder case suitable for an ultrasonic image inspection apparatus having a transmission type ultrasonic probe. In the sample holder case 91, the case main body 92 is a frame body having an opening space for setting and arranging the sample 20 and an exhaust hole portion 93. Rectangular frame-shaped lid members 96 and 97 formed by fixing polymer films 94 and 95 to the upper and lower sides of the case main body 92 are attached. Any means can be used for attaching the lid members 96 and 97 to the case body 92. When the lid members 96 and 97 are attached to the case main body 92 and vacuum exhaust is performed from the exhaust hole portion 93 by the above-described method, the upper and lower polymer films 94 and 95 are subjected to a negative pressure, and thus the sample 20
Adhere to the upper and lower surfaces of. The sample holder case 91 is placed in the water in the water tank in the state as shown in FIG. 13, and the flaw detection inspection is performed by the transmission type ultrasonic probe.
【0050】上記の各実施形態において、試料20の測
定表面を覆うごとく設けられる弾性フィルムが高分子フ
ィルム34である場合、試料を劣化させないようにする
ために或る程度の少量の媒質が用いられることが好まし
い。このため、第1の例としては、試料20の測定表面
に媒質を塗布した後に、高分子フィルム34が試料20
の当該測定表面を覆うごとく密着させられる。また他の
例としては、高分子フィルムとして、試料の測定表面に
密着させる面にゲル材料の媒質膜を備えたものを用いる
ことができる。また高分子フィルムとして、試料の測定
表面に密着させる面に粘着性(粘着材)の媒質膜を備え
たものを用いることもできる。試料の密着面にゲル材料
を用いた複合型の高分子フィルムは、さらに、高分子フ
ィルムを試料から剥がすときに試料のダメージを小さく
する作用も有する。In each of the above embodiments, when the elastic film provided so as to cover the measurement surface of the sample 20 is the polymer film 34, a certain small amount of medium is used in order to prevent the sample from deteriorating. It is preferable. Therefore, as a first example, the polymer film 34 is applied to the sample 20 after the medium is applied to the measurement surface of the sample 20.
It is made to adhere so that the said measurement surface of may be covered. Further, as another example, a polymer film having a medium film of a gel material on the surface to be brought into close contact with the measurement surface of the sample can be used. Further, as the polymer film, a film having an adhesive (adhesive material) medium film on the surface to be brought into close contact with the measurement surface of the sample can be used. The composite type polymer film using the gel material on the contact surface of the sample also has an action of reducing damage to the sample when the polymer film is peeled from the sample.
【0051】前述の各実施形態では、試料20に密着さ
せる弾性フィルムとして高分子フィルムの例を説明した
が、上記作用を生じる弾性フィルムとしてゴム膜を用い
ることもできる。ゴム膜としては、ラティックスフィル
ムや人工ゴム等が用いられる。ゴム膜の厚みとしては、
例えば図1に示すような利用形態で、超音波探触子から
試料に出射される超音波が十分に試料に対して伝播する
ことができる望ましい厚みである。In each of the above-described embodiments, the example of the polymer film is described as the elastic film brought into close contact with the sample 20, but a rubber film may be used as the elastic film that produces the above-mentioned action. As the rubber film, a lattice film, artificial rubber or the like is used. As the thickness of the rubber film,
For example, in a usage pattern as shown in FIG. 1, the thickness is a desirable thickness with which the ultrasonic waves emitted from the ultrasonic probe to the sample can sufficiently propagate to the sample.
【0052】弾性フィルムとしてゴム膜を用いる試料保
持具ケースの場合には、高分子フィルム34を利用した
前述の実施形態の場合とは異なり、真空ポンプによる強
制排気は行われない。代表的な実施の形態として、試料
保持具ケースの構造は、第1実施形態の図4に示した構
造において、高分子フィルム34の代わりにゴム膜が使
用され、かつ排気孔37は形成されており、排気孔37
の外側突起部には所要の長さのホース39が接続されて
いる。ホース39の先端部には真空ポンプは接続され
ず、大気に開放されている。開閉バルブ38はあっても
なくてもよい。基本的に、試料保持具ケースの内部空間
は、排気孔37とホース39を経由して大気に開放され
ている。この大気への開放状態は、試料保持具ケース内
に電子部品等の試料20を配置し、蓋部材33を閉めて
試料保持具ケースを水槽17の水18内に入れたときも
同じである。すなわち、水槽17内にある試料保持具ケ
ースから上記ホース39が水18の外に出るように引き
出され、試料保持具ケースの内部空間はホース39の先
端部を経由して大気に開放されることになる。In the case of the sample holder case using the rubber film as the elastic film, unlike the case of the above-described embodiment using the polymer film 34, forced evacuation by the vacuum pump is not performed. As a typical embodiment, the structure of the sample holder case is the same as the structure shown in FIG. 4 of the first embodiment except that a rubber film is used instead of the polymer film 34 and the exhaust hole 37 is formed. Cage, exhaust hole 37
A hose 39 having a required length is connected to the outer protruding portion of the. No vacuum pump is connected to the tip of the hose 39, and the hose 39 is open to the atmosphere. The on-off valve 38 may or may not be present. Basically, the internal space of the sample holder case is open to the atmosphere via the exhaust hole 37 and the hose 39. This open state to the atmosphere is the same when the sample 20 such as an electronic component is placed in the sample holder case, the lid member 33 is closed, and the sample holder case is put in the water 18 of the water tank 17. That is, the hose 39 is drawn out from the sample holder case in the water tank 17 so as to go out of the water 18, and the internal space of the sample holder case is opened to the atmosphere via the tip of the hose 39. become.
【0053】試料20を中に入れて蓋部材33を閉じた
状態の試料保持具ケースは、水槽17内に入れられる
と、超音波伝播の液体媒質である水18の重量を受け、
弾性フィルムであるゴム膜がその重量で伸び、ゴム膜は
試料20の測定面に密着することになる。こうして、第
1実施形態で説明した作用と同等の作用・効果で超音波
検査を行うことができる。When the sample holder case in which the sample 20 is placed inside and the lid member 33 is closed is placed in the water tank 17, the sample holder case receives the weight of water 18 which is a liquid medium for ultrasonic wave propagation,
The rubber film, which is an elastic film, extends due to its weight, and the rubber film comes into close contact with the measurement surface of the sample 20. In this way, the ultrasonic inspection can be performed with the same operation and effect as the operation described in the first embodiment.
【0054】弾性フィルムとしてゴム膜を利用する試料
保持具ケース、およびこの試料保持具ケースを用いて成
る超音波映像検査装置によれば、真空ポンプを利用した
試料保持具ケースの内部空間を強制排気を行うことな
く、単に排気孔を形成し、これにホースと接続して内部
空間を大気に開放しておくだけでよいので、構成が簡易
となり、コストを低減できるという利点を有している。According to the sample holder case using the rubber film as the elastic film and the ultrasonic image inspection apparatus using this sample holder case, the internal space of the sample holder case using the vacuum pump is forcibly exhausted. It is only necessary to form the exhaust hole and connect it to the hose to open the internal space to the atmosphere without performing the above, and therefore, there is an advantage that the configuration is simplified and the cost can be reduced.
【0055】なお弾性フィルムとしてゴム膜を利用して
成る試料保持具ケースは、ホースを利用して構成する代
わりに、試料が配置された内部空間の空気を排気孔を通
して逃がすための予備室を付設するように構成すること
もできる。この構成によれば、ホースのごとき付随物を
省略できるので、上記の効果に加えて取扱い性が良好と
なる。The sample holder case made of a rubber film as the elastic film is provided with a preliminary chamber for letting air in the internal space where the sample is placed through an exhaust hole instead of being constructed by using a hose. It can also be configured to do so. According to this structure, since an accessory such as a hose can be omitted, in addition to the above effects, the handleability is improved.
【0056】前述の各実施形態の特徴的構成は適宜に組
合せて構成にすることができるのは勿論である。弾性フ
ィルムとしてゴム膜を使用する実施形態においても、第
1および第2の実施形態および変形例で説明した構成を
必要に応じて採用して構成することができるのは勿論で
ある。前述の各実施形態で波試料に密着するフィルム
(膜)として弾性を有する高分子フィルムやゴム膜を利
用したが、これに限定されない。同様な作用・効果を生
じる他の任意の弾性フィルムを用いることができる。It is needless to say that the characteristic configurations of the above-described respective embodiments can be appropriately combined and configured. Even in the embodiment in which the rubber film is used as the elastic film, it is needless to say that the structures described in the first and second embodiments and the modified examples can be adopted as necessary. In each of the above-described embodiments, a polymer film or rubber film having elasticity is used as the film (film) that is in close contact with the wave sample, but the invention is not limited to this. Any other elastic film that produces a similar action / effect can be used.
【0057】[0057]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、超音波映像検査装置において、液体の媒質の中に
配置される試料のための専用の試料保持具ケースを設け
るようにしたため、試料を水等の媒質に接触させること
なく、かつ確実に媒質容器内で固定することができる。
本発明によれば、試料がICチップ等の精密な電子部品
等である場合に、試料を保護し、かつ正確な位置に固定
して探傷検査を行うことができる。本発明によれば、半
導体デバイスの製造工程において、製造対象である半導
体デバイスの全数調査を行うことができ、電子部品の出
荷検査等に有効に利用することができる。特に、超音波
映像検査装置の装置側の構成に大きな変更を生じること
なく、比較的に簡単な構成で、実現することができる。
試料保持具ケースに試料を配置する場合、弾性フィルム
として高分子フィルムを用いるときには真空ポンプで強
制的に真空排気して内部空間を負圧にするために、高分
子フィルムが試料の測定面に密着し、試料保持具ケース
の内部空間を水密にすることができると共に超音波によ
る探傷検査を良好に行うことができる。超音波映像検査
装置の水槽に対して自在に試料保持具ケースを入れたり
出したりすることができ、取扱いが容易である。As is apparent from the above description, according to the present invention, the ultrasonic image inspection apparatus is provided with the dedicated sample holder case for the sample arranged in the liquid medium. The sample can be securely fixed in the medium container without coming into contact with the medium such as water.
According to the present invention, when the sample is a precision electronic component such as an IC chip, the sample can be protected and fixed at an accurate position for flaw detection inspection. According to the present invention, in a semiconductor device manufacturing process, it is possible to perform a 100% inspection of semiconductor devices to be manufactured, and it can be effectively used for shipping inspection of electronic components. In particular, the ultrasonic image inspection apparatus can be realized with a relatively simple configuration without causing a large change in the configuration on the device side.
When placing a sample in the sample holder case, when using a polymer film as the elastic film, the polymer film is in close contact with the measurement surface of the sample in order to forcibly evacuate with a vacuum pump to create a negative pressure in the internal space. However, the internal space of the sample holder case can be made watertight, and the flaw detection inspection by ultrasonic waves can be performed well. The sample holder case can be freely put in and taken out from the water tank of the ultrasonic image inspection apparatus, and the handling is easy.
【0058】弾性フィルムとしてゴム膜を用いる構成に
よれば、真空ポンプによる強制排気の構成を省略できる
ので、構成が簡易化され、コストを低減し、取扱い性を
向上することができる。According to the structure using the rubber film as the elastic film, the structure of forced evacuation by the vacuum pump can be omitted, so that the structure can be simplified, the cost can be reduced, and the handleability can be improved.
【0059】また搬送トレイ等を利用して専用トレイを
用意し、この専用トレイ上に複数の試料を載せ、この専
用トレイを試料保持具ケース内に配置することにより多
数の試料を効率よく探傷検査することができる。Further, a dedicated tray is prepared by using a transport tray, etc., a plurality of samples are placed on the dedicated tray, and the dedicated tray is arranged in the sample holder case, so that a large number of samples can be efficiently inspected for flaw detection. can do.
【0060】高分子フィルム等の弾性フィルムと試料と
の間に粘着材やゲル材を設けることがによりさらに密着
性を高めると共に、試料の保護を高め、取外し等を用意
に行うことが可能となる。By providing an adhesive material or a gel material between the elastic film such as a polymer film and the sample, the adhesion can be further improved, the sample can be protected, and the sample can be easily removed. .
【図1】本発明の第1実施形態に係る超音波映像検査装
置の測定時の状態を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a measurement state of an ultrasonic image inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図2】第1実施形態における試料保持具ケースの真空
吸引時の使用状態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a usage state of the sample holder case according to the first embodiment during vacuum suction.
【図3】第1実施形態における試料保持具ケースの外観
斜視図である。FIG. 3 is an external perspective view of a sample holder case according to the first embodiment.
【図4】第1実施形態における試料保持具ケースの測定
時の縦断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of the sample holder case according to the first embodiment during measurement.
【図5】本発明の第2実施形態に係る超音波映像検査装
置の測定時の状態を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a state during measurement of the ultrasonic image inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
【図6】第2実施形態における試料保持具ケースの外観
斜視図である。FIG. 6 is an external perspective view of a sample holder case in the second embodiment.
【図7】第2実施形態における試料保持具ケースの縦断
面図である。FIG. 7 is a vertical sectional view of a sample holder case according to a second embodiment.
【図8】第2実施形態における三方バルブの真空時の接
続状態を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a connection state of a three-way valve in a second embodiment during vacuum.
【図9】第2実施形態における三方バルブのリーク時の
接続状態を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a connection state of the three-way valve when leaking in the second embodiment.
【図10】試料保持具ケースの他の構成例を示す縦断面
図である。FIG. 10 is a vertical cross-sectional view showing another configuration example of the sample holder case.
【図11】試料保持具ケースの他の構成例を示す縦断面
図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view showing another configuration example of the sample holder case.
【図12】試料保持具ケースの他の構成例を示す縦断面
図である。FIG. 12 is a vertical cross-sectional view showing another configuration example of the sample holder case.
【図13】試料保持具ケースの他の構成例を示す縦断面
図である。FIG. 13 is a vertical cross-sectional view showing another configuration example of the sample holder case.
11 基台 12 3軸スキャナ 13 超音波探触子 17 水槽 18 水 19 試料保持具ケース 20 試料 31 ケース本体 32 蝶番機構 33 蓋部材 34 高分子フィルム 35 内部空間 37 排気孔 38 開閉バルブ 39,52 ホース 40 真空ポンプ 51 試料保持具ケース 53 三方バルブ 61,71 試料保持具ケース 62 トレイ 72 格子状枠体 81 高分子フィルムによる袋体 91 試料保持具ケース 11 bases 12 3-axis scanner 13 Ultrasonic probe 17 aquarium 18 water 19 Sample holder case 20 samples 31 Case body 32 Hinge mechanism 33 Lid member 34 Polymer film 35 Internal space 37 Exhaust hole 38 Open / close valve 39,52 hose 40 vacuum pump 51 Sample holder case 53 three-way valve 61,71 Sample holder case 62 trays 72 Lattice frame 81 Polymer film bag 91 Sample holder case
Claims (13)
と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口
部が形成された蓋部材と、前記ケース本体と蓋部材の間
に設けられる弾性フィルムと、排気通路部を備え、測定
時に、前記試料が配置された前記ケース本体を前記蓋部
材で閉じ、前記弾性フィルムを前記試料に密着させるよ
うにしたことを特徴とする試料保持具ケース。1. A case main body in which a sample is placed in an internal space, a lid member attached to the case main body so as to be openable and closable, and having an opening formed therein, and an elastic film provided between the case main body and the lid member. A sample holder case comprising an exhaust passage part, and the case body in which the sample is placed is closed by the lid member during measurement so that the elastic film is brought into close contact with the sample.
り、測定時に前記ケース本体を前記蓋部材で閉じた状態
で、前記排気通路部を介して前記内部空間を真空ポンプ
で真空排気し前記高分子フィルムを前記試料に密着させ
るようにしたことを特徴とする請求項1記載の試料保持
具ケース。2. The elastic film is a polymer film, and the interior space is evacuated by a vacuum pump through the exhaust passage while the case body is closed by the lid member during measurement. The sample holder case according to claim 1, wherein a film is brought into close contact with the sample.
れ、真空排気後に前記開閉バルブを閉じて前記真空ポン
プから外すことを特徴とする請求項2記載の試料保持具
ケース。3. The sample holder case according to claim 2, wherein an opening / closing valve is provided in the exhaust passage portion, and the opening / closing valve is closed and removed from the vacuum pump after vacuum evacuation.
置かれ、かつ前記排気通路部は三方バルブの1つの開口
部にホースで接続され、前記三方バルブの他の2つの開
口部のうち1つは前記真空ポンプに接続され、他の1つ
は外部に開放されていることを特徴とする請求項2記載
の試料保持具ケース。4. The sample holder case is entirely placed in a liquid medium, and the exhaust passage portion is connected to one opening of a three-way valve by a hose, and among the other two openings of the three-way valve. The sample holder case according to claim 2, wherein one is connected to the vacuum pump and the other is open to the outside.
時に前記ケース本体を前記蓋部材で閉じた状態で外側か
ら前記ゴム膜に液体媒質の圧力を加えると、前記排気通
路部を介して前記内部空間の空気が外部へ排出され、前
記ゴム膜を前記試料に密着させたことを特徴とする請求
項1記載の試料保持具ケース。5. The elastic film is a rubber film, and when a pressure of a liquid medium is applied to the rubber film from the outside while the case body is closed by the lid member at the time of measurement, the elastic film passes through the exhaust passage portion. The sample holder case according to claim 1, wherein the air in the internal space is discharged to the outside to bring the rubber film into close contact with the sample.
開放されていることを特徴とする請求項5記載の試料保
持具ケース。6. The sample holder case according to claim 5, wherein the exhaust passage portion is open to the atmosphere through a ventilation pipe.
ることを特徴とする請求項5記載の試料保持具ケース。7. The sample holder case according to claim 5, wherein the exhaust passage portion is connected to a preliminary chamber.
部空間に配置することを特徴とする請求項1〜7のいず
れか1項に記載の試料保持具ケース。8. The sample holder case according to claim 1, wherein a tray holding a plurality of the samples is arranged in the internal space.
試料のそれぞれに対応する開口を形成するための格子状
枠部を設けたことを特徴とする請求項8記載の試料保持
具ケース。9. The sample holder case according to claim 8, wherein the opening portion of the lid member is provided with a lattice-shaped frame portion for forming an opening corresponding to each of the plurality of samples. .
着材またはゲル材の媒質膜を設けたことを特徴とする請
求項1〜9のいずれか1項に記載の試料保持具ケース。10. The sample holder case according to claim 1, wherein a medium film made of an adhesive material or a gel material is provided on the sample contact surface side of the elastic film.
を超音波探触子で超音波に変換し液体媒質を介して試料
に照射し、この試料から戻る超音波を前記超音波探触子
で電気信号に変換して前記試料の内部を映像化する超音
波映像検査装置において、 前記試料を内部に収容しかつ前記液体媒質を溜める容器
内に配置される試料保持具ケースを備え、この試料保持
具ケースは、内部空間に前記試料が配置されるケース本
体と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開
口部が形成された蓋部材と、前記ケース本体と蓋部材の
間に設けられる弾性フィルムと、排気通路部を備え、測
定時に、前記試料が配置された前記ケース本体を前記蓋
部材で閉じ、前記弾性フィルムを前記試料に密着させる
ことを特徴とする超音波映像検査装置。11. An ultrasonic probe converts an electric signal generated by a flaw detection signal generation circuit into ultrasonic waves, irradiates the sample through a liquid medium, and returns ultrasonic waves from the sample to the ultrasonic probe. An ultrasonic image inspection apparatus for converting the electric signal into an electric signal to visualize the inside of the sample, comprising a sample holder case arranged inside a container for accommodating the sample inside and accumulating the liquid medium. The holder case includes a case main body in which the sample is placed in the internal space, a lid member that is openably and closably attached to the case main body, and has an opening formed therein, and an elastic member provided between the case main body and the lid member. An ultrasonic image inspection apparatus comprising a film and an exhaust passage portion, wherein, at the time of measurement, the case main body in which the sample is placed is closed by the lid member, and the elastic film is brought into close contact with the sample.
を超音波探触子で超音波に変換し媒質を介して試料に照
射し、この試料から戻る超音波を前記超音波探触子で電
気信号に変換して前記試料の内部を映像化する超音波映
像検査装置に適用される超音波映像検査方法であり、 前記媒質の外で、ケース本体の内部空間に前記試料を配
置し、内側に弾性フィルムを備えかつ開口部が形成され
た蓋部材で前記ケース本体の前記内部空間を閉じ、排気
通路部を介して前記内部空間を真空ポンプで真空排気し
て前記弾性フィルムを前記試料に密着させ、前記排気通
路部に設けられた開閉バルブを閉状態にして真空ポンプ
から試料保持具ケースを外し、この試料保持具ケースを
前記媒質の中に入れることを特徴とする超音波映像検査
方法。12. An ultrasonic probe is used to convert an electric signal generated by a flaw detection signal generating circuit into ultrasonic waves, and the ultrasonic wave is radiated to a sample through a medium, and ultrasonic waves returning from the sample are ultrasonically reflected by the ultrasonic probe. An ultrasonic image inspection method applied to an ultrasonic image inspection apparatus for converting an electric signal into an image of the inside of the sample, wherein the sample is arranged in an internal space of a case body outside the medium, and inside The inner space of the case body is closed by a lid member having an elastic film on which an opening is formed, and the inner space is evacuated by a vacuum pump through an exhaust passage portion to adhere the elastic film to the sample. Then, the open / close valve provided in the exhaust passage is closed, the sample holder case is removed from the vacuum pump, and the sample holder case is put into the medium.
のトレイを前記ケース本体の前記内部空間に配置するこ
とを特徴とする請求項12記載の超音波映像検査方法。13. The ultrasonic image inspection method according to claim 12, wherein a plurality of the samples are arranged in a tray, and the tray is arranged in the internal space of the case body.
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