JP2003151437A - Manufacturing method for fluorescent character display tube - Google Patents

Manufacturing method for fluorescent character display tube

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JP2003151437A
JP2003151437A JP2001347368A JP2001347368A JP2003151437A JP 2003151437 A JP2003151437 A JP 2003151437A JP 2001347368 A JP2001347368 A JP 2001347368A JP 2001347368 A JP2001347368 A JP 2001347368A JP 2003151437 A JP2003151437 A JP 2003151437A
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filament
metal
face
metal body
manufacturing
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JP2001347368A
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Japanese (ja)
Inventor
Sakuya Tanimizu
佐久也 谷水
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Noritake Itron Corp
Original Assignee
Noritake Itron Corp
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Publication date
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance productivity of a fluorescent character display tube. SOLUTION: This manufacturing method has an evacuating process to evacuate the inside of a vacuum chamber 1 after disposing a metallic body 20 to which an anode base 33, a filament 31 disposed apart from the anode base 33, and a grid 32 provided between the anode base 33 and the filament 31 and a metallic face 10 in the vacuum chamber 1, a filament activating process to energize the filament 31 with a prescribed voltage for a prescribed time under the evacuated condition after the evacuating process ends, and a sealing process to combine the metallic face 10 and the metallic body 20 and to weld the face jointing both of them after the filament activating process ends.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光表示管の製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fluorescent display tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】蛍光表示管は、真空容器の中で陰極から
放出される電子を蛍光体に衝突発光させ、所望のパター
ンを表示する電子管である。一般的な蛍光表示管は、真
空に保持した外囲器内に蛍光体層を被着形成した陽極
と、この陽極上に張架されたフィラメント陰極と、陽極
とフィラメント陰極との間に設けられたグリッド電極
(制御電極)とを備えており、フィラメント陰極から放
射される熱電子をグリッド電極により制御し、蛍光体層
の表面に衝突させることによって励起発光を行ってい
る。
2. Description of the Related Art A fluorescent display tube is an electron tube that displays a desired pattern by causing electrons emitted from a cathode to collide with a phosphor and emit light in a vacuum container. A general fluorescent display tube is provided between an anode in which a phosphor layer is formed and deposited in an envelope kept in a vacuum, a filament cathode stretched over the anode, and between the anode and the filament cathode. The grid electrode (control electrode) is provided, and thermoelectrons emitted from the filament cathode are controlled by the grid electrode and collide with the surface of the phosphor layer to emit light by excitation.

【0003】従来の一般的な蛍光表示管は、ガラス基板
上に蛍光体層を被着形成した陽極を配置した陽極基板
と、陽極基板上に離間配置したグリッドとフィラメント
とを覆う透明なフェースガラスとから外囲器を構成して
おり、陽極基板とフェースガラスの接合部は低融点ガラ
スで気密封止されている。従来の外囲器を形成する工程
を以下に説明する。従来の外囲器を形成する製造工程
は、陽極基板とフェースガラスを低融点ガラスで封着し
外囲器を形成する封止工程と、外囲器内を真空排気する
排気工程と、フィラメントの活性化を行うフィラメント
活性化工程と、外囲器を外気から遮断する封じ切り工程
とからなる。
A conventional general fluorescent display tube is a transparent face glass which covers an anode substrate having an anode having a phosphor layer formed on a glass substrate and a grid and a filament which are spaced from each other on the anode substrate. An envelope is constituted by and the joint between the anode substrate and the face glass is hermetically sealed with a low melting point glass. The process of forming a conventional envelope will be described below. The conventional manufacturing process for forming an envelope includes a sealing process in which an anode substrate and a face glass are sealed with a low-melting glass to form an envelope, an exhaust process for evacuating the inside of the envelope, and a filament It comprises a filament activation step for activation and a sealing step for shielding the envelope from the outside air.

【0004】封止工程では、フィラメントとグリッドを
取り付けた陽極基板とフェースガラスとを接合面に低融
点ガラスを挟んだ状態でジグを用いて固定した後、不活
性ガス雰囲気の連続電気炉で所定温度条件により所定時
間加熱することにより陽極基板とフェースガラスとを封
着し外囲器を形成する。排気工程では、フェースガラス
に取り付けられた排気管を真空排気系に接続し、外囲器
を加熱しながら所定時間真空排気することにより外囲器
内の脱ガスを行い、所定の真空度を達成する。
In the sealing step, an anode substrate having a filament and a grid attached thereto and a face glass are fixed with a jig with a low melting point glass sandwiched between them on a joint surface, and then they are fixed in a continuous electric furnace in an inert gas atmosphere. By heating for a predetermined time depending on the temperature conditions, the anode substrate and the face glass are sealed to form an envelope. In the exhaust process, the exhaust pipe attached to the face glass is connected to a vacuum exhaust system, and the envelope is degassed for a predetermined time while heating the envelope to degas the inside of the envelope and achieve a predetermined degree of vacuum. To do.

【0005】フィラメント活性化工程では、外囲器を所
定条件で排気した後、排気状態のままフィラメントを所
定電圧で所定時間加熱することにより、フィラメントに
塗布されているアルカリ土類金属の炭酸塩を酸化物に熱
分解させるとともに、塗布に用いた有機バインダーを分
解気化させ、陰極の活性化を行う。封じ切り工程では、
排気管をガスバーナで溶融し封着した後、外気側の排気
管を切断し外囲器を外気から遮断する。
In the filament activation step, after the envelope is evacuated under a predetermined condition, the filament is heated at a predetermined voltage for a predetermined time in an evacuated state so that the alkaline earth metal carbonate applied to the filament is removed. While thermally decomposing into an oxide, the organic binder used for coating is decomposed and vaporized to activate the cathode. In the sealing process,
After melting the exhaust pipe with a gas burner and sealing it, the exhaust pipe on the outside air side is cut to shut off the envelope from the outside air.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法では、封止工程において、外囲器を形成するた
めに陽極基板とフェースガラスの合わせ面を低融点ガラ
スで接合しているので、これらを低融点ガラスの溶融温
度に加熱する必要があり、製造に時間がかかっていた。
また、排気工程では、フェースガラスに取り付けられた
排気管を通して排気するため排気コンダクタンスが小さ
く、排気に時間がかかっていた。このように、従来の製
造方法は、封止工程や排気工程に時間がかかるため生産
性の大幅な向上が望めなかった。本発明は前述した課題
を解決するためになされたものであり、蛍光表示管の製
造工程において、封止工程と排気工程に要する時間を短
縮し、生産性を大幅に向上する製造方法を提供すること
を目的とする。
However, in the conventional manufacturing method, since the mating surfaces of the anode substrate and the face glass are bonded with the low melting point glass in order to form the envelope in the sealing step, these Was required to be heated to the melting temperature of the low melting point glass, and it took time to manufacture.
Further, in the exhaust process, exhaust is conducted through an exhaust pipe attached to the face glass, so that the exhaust conductance is small and it takes time to exhaust. As described above, in the conventional manufacturing method, it is not possible to expect a great improvement in productivity because the sealing process and the exhaust process take time. The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a manufacturing method that shortens the time required for the sealing step and the exhaust step in the manufacturing process of a fluorescent display tube and greatly improves the productivity. The purpose is to

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、表示窓を有す
る金属フェースと金属ボディとからなる外囲器内に陽極
基板とグリッドと電子放出材料が被覆されたフィラメン
トとを格納した蛍光表示管の製造方法であって、真空チ
ャンバー内に、陽極基板と、この陽極基板から離間して
配設されるフィラメントと、陽極基板とフィラメントの
間に設けられるグリッドとが取り付けられた金属ボディ
と、金属フェースとを配置した後、真空チャンバー内を
真空に排気する排気工程と、排気工程終了後、排気した
状態でフィラメントに所定電圧で所定時間通電するフィ
ラメント活性化工程と、フィラメント活性化工程終了
後、金属フェースと金属ボディを組み合わせ、両者の合
わせ面を溶接する封止工程とを有することによって特徴
づけられる。ここで、封止工程の一例は、電子ビームに
より溶接する。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a fluorescent display tube in which an anode substrate, a grid, and a filament coated with an electron-emitting material are housed in an envelope consisting of a metal face having a display window and a metal body. A metal body having a positive electrode substrate, a filament arranged apart from the positive electrode substrate, and a grid provided between the positive electrode substrate and the filament in a vacuum chamber; After arranging the face, an exhaust step of exhausting the inside of the vacuum chamber to a vacuum, a filament activation step of energizing the filament with a predetermined voltage for a predetermined time in the exhausted state after the exhaust step, and after the filament activation step, It is characterized by having a sealing process of combining a metal face and a metal body and welding the mating surfaces of both. Here, an example of the sealing step is welding with an electron beam.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。はじめに、本発明の実施の形態にお
ける蛍光表示管の製造装置について説明する。図1は、
この実施の形態における蛍光表示管の製造装置の構成を
示す説明図である。この製造装置は、図1に示すよう
に、真空チャンバ1を備えており、この真空チャンバ1
の内部に合わせ機構2と、加熱機構3と、通電機構4
と、電子ビーム溶接機構5とが配置されている。また、
真空チャンバ1は排気管6を介して図示しない真空排気
手段に接続されており、この真空排気手段により10-3
〜10-5Pa程度の圧力まで排気可能に構成されてい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, an apparatus for manufacturing a fluorescent display tube according to the embodiment of the present invention will be described. Figure 1
It is explanatory drawing which shows the structure of the manufacturing apparatus of the fluorescent display tube in this Embodiment. This manufacturing apparatus includes a vacuum chamber 1 as shown in FIG.
Inside of, the matching mechanism 2, the heating mechanism 3, and the energizing mechanism 4
And the electron beam welding mechanism 5 are arranged. Also,
The vacuum chamber 1 is connected to a vacuum exhaust unit (not shown) through an exhaust pipe 6, and the vacuum exhaust unit 10 -3
It is configured to be able to exhaust up to a pressure of about 10 −5 Pa.

【0009】合わせ機構2は、蛍光表示管の外囲器を構
成する金属フェース10と金属ボディ20をそれぞれ互
いの合わせ面を対向させて保持する金属フェース取付部
2aと金属ボディ取付部2bを有し、合わせ面同士が接
触するように金属フェース10を移動させる機能を有す
る。また、この合わせ機構2は、金属フェース10と金
属ボディ20を接地するためのアースに接続された導電
部を有する。金属フェース10は、金属板をキャップ状
に加工した後、頂部を開口して表示窓を形成したもので
あり、表示窓には透明なガラス板11がはめ込まれ、低
融点ガラス12によって金属とガラスの合わせ面で接着
され、気密シールされている。
The alignment mechanism 2 has a metal face attachment portion 2a and a metal body attachment portion 2b for holding the metal face 10 and the metal body 20 constituting the envelope of the fluorescent display tube so that their mating surfaces face each other. However, it has a function of moving the metal face 10 so that the mating surfaces contact each other. In addition, the matching mechanism 2 has a conductive portion connected to the ground for grounding the metal face 10 and the metal body 20. The metal face 10 is formed by processing a metal plate into a cap shape and then opening a top portion to form a display window. A transparent glass plate 11 is fitted into the display window, and the low melting point glass 12 is used to form the metal and the glass. The mating surfaces are bonded together and hermetically sealed.

【0010】金属ボディ20は、金属の平板に複数のリ
ードピン21を貫通配置したものである。この場合、貫
通部分は気密シールとリードピン21の絶縁を行うた
め、ハーメチックシール22で構成されている。金属フ
ェース10と金属ボディ20の構成材量は、鉄、426
合金、チタン及びコバールのいずれかを用いることがで
きる。この実施の形態では、金属フェース10に426
合金を用い、金属ボディ20に鉄を用いた。なお、鉄を
用いる場合、周知の防錆処理を施すことは言うまでもな
い。
The metal body 20 is formed by penetrating a plurality of lead pins 21 on a metal flat plate. In this case, the penetrating portion is formed of a hermetic seal 22 in order to insulate the lead pin 21 from the airtight seal. The amount of constituent materials of the metal face 10 and the metal body 20 is iron, 426.
Any of alloys, titanium and kovar can be used. In this embodiment, the metal face 10 has 426
An alloy was used, and iron was used for the metal body 20. Needless to say, when iron is used, a well-known rustproofing treatment is performed.

【0011】金属ボディ20には、フィラメント31と
グリッド32が取り付けられた陽極基板33が載置さ
れ、ポリイミド系樹脂34により接着されている。フィ
ラメント31は、アルカリ土類金属の炭酸塩と有機バイ
ンダーの混合物で被覆された線径が数十μm程度のタン
グステン芯線であり、フィラメント保持金具(図示せ
ず)により陽極基板33の上方に離間して配設されてい
る。グリッド32は、メッシュ状の金属薄板であり、グ
リッド支持枠(図示せず)によりフィラメント31と陽
極基板33の間に配設されている。
An anode substrate 33, to which a filament 31 and a grid 32 are attached, is placed on the metal body 20 and adhered by a polyimide resin 34. The filament 31 is a tungsten core wire having a wire diameter of about several tens of μm, which is coated with a mixture of an alkaline earth metal carbonate and an organic binder, and is separated above the anode substrate 33 by a filament holding metal fitting (not shown). Are arranged. The grid 32 is a mesh-shaped thin metal plate, and is arranged between the filament 31 and the anode substrate 33 by a grid supporting frame (not shown).

【0012】陽極基板33は、ガラス基板35と、この
ガラス基板35上に形成された配線層36と、配線層3
6を覆う絶縁層37と、絶縁層37上に所定の表示パタ
ーンで形成され絶縁層37に設けられたスルーホールを
介して配線層36に接続された陽極38と、陽極38上
に付着した蛍光体39とから構成されている。また、配
線層36は、一部が絶縁層37の外部に露出して複数の
配線パッドを形成しており、これらの配線パッドには各
リードピン21と接続する金属ワイヤ23、フィラメン
ト保持金具及びグリッド支持枠のいずれかが接続され
る。これにより各リードピン21は、フィラメント3
1、グリッド32及び陽極38のいずれかと接続され
る。
The anode substrate 33 includes a glass substrate 35, a wiring layer 36 formed on the glass substrate 35, and a wiring layer 3
6, an anode 38 connected to the wiring layer 36 via a through hole formed in the insulating layer 37 in a predetermined display pattern on the insulating layer 37, and a fluorescent substance attached to the anode 38. It is composed of a body 39. A part of the wiring layer 36 is exposed to the outside of the insulating layer 37 to form a plurality of wiring pads, and these wiring pads are connected to the lead pins 21 by the metal wires 23, the filament holding metal fittings, and the grid. One of the support frames is connected. As a result, each lead pin 21 is connected to the filament 3
1, the grid 32 and the anode 38 are connected.

【0013】加熱機構3は、合わせ機構2に保持された
金属フェース10と金属ボディ20を取り囲むように配
置されたヒータで構成され、輻射熱により金属フェース
10、金属ボディ20及び陽極基板33を加熱する機能
を有する。通電機構4は、フィラメント31の両端に接
続されたリードピン21に通電スイッチ7を介して所定
電圧の交流電源8を接続するように構成されており、通
電スイッチ7を閉じることによりフィラメント31に所
定電圧が印加されてフィラメント31が1000℃程度
に加熱される。
The heating mechanism 3 is composed of a heater arranged so as to surround the metal face 10 and the metal body 20 held by the aligning mechanism 2, and heats the metal face 10, the metal body 20 and the anode substrate 33 by radiant heat. Have a function. The energizing mechanism 4 is configured to connect an AC power source 8 having a predetermined voltage to the lead pins 21 connected to both ends of the filament 31 via the energizing switch 7, and by closing the energizing switch 7, the filament 31 is supplied with a predetermined voltage. Is applied to heat the filament 31 to about 1000 ° C.

【0014】電子ビーム溶接機構5は、金属フェース1
0と金属ボディ20を溶接するための電子ビームを放出
する電子銃を有し、照射する電子ビームを所定の経路に
従って所定速度で移動させる機能を有する。この実施の
形態の電子銃は、加速電圧60KVで10〜20mAの
ビーム電流が得られる。この電子銃によれば、金属フェ
ース10や金属ボディ20に厚さ0.3〜1.0mmの
426合金を用いた場合、5〜6m/分の加工速度が得
られる。
The electron beam welding mechanism 5 includes a metal face 1
0 has an electron gun for emitting an electron beam for welding the metal body 20 and has a function of moving the irradiated electron beam at a predetermined speed along a predetermined path. The electron gun of this embodiment can obtain a beam current of 10 to 20 mA at an acceleration voltage of 60 KV. According to this electron gun, when the metal face 10 or the metal body 20 is made of a 426 alloy having a thickness of 0.3 to 1.0 mm, a processing speed of 5 to 6 m / min can be obtained.

【0015】次に、図2を参照して、この実施の形態に
おける蛍光表示管の製造工程を説明する。この実施の形
態における蛍光表示管の製造工程は、真空チャンバー内
に、陽極基板と、この陽極基板から離間して配設される
フィラメントと、陽極基板とフィラメントの間に設けら
れるグリッドとが取り付けられた金属ボディと、金属フ
ェースとを配置した後、真空チャンバー内を真空に排気
する排気工程と、排気工程終了後、排気した状態でフィ
ラメントに所定電圧で所定時間通電するフィラメント活
性化工程と、フィラメント活性化工程終了後、金属フェ
ースと金属ボディを組み合わせ、両者の合わせ面を溶接
する封止工程とを有する。
Next, the manufacturing process of the fluorescent display tube according to this embodiment will be described with reference to FIG. In the manufacturing process of the fluorescent display tube in this embodiment, an anode substrate, a filament arranged apart from the anode substrate, and a grid provided between the anode substrate and the filament are attached in a vacuum chamber. An exhaust step of evacuating the inside of the vacuum chamber to a vacuum after disposing the metal body and the metal face, and a filament activation step of energizing the filament with a predetermined voltage for a predetermined time after the exhaust step, After the activation step, a sealing step of combining the metal face and the metal body and welding the mating surfaces of them is included.

【0016】最初に、排気工程について説明する。図2
(a)に示すように、金属フェース10と金属ボディ2
0とを合わせ機構2に取り付けた状態で真空チャンバ1
内が所定の圧力となるまで排気する。この場合、陽極基
板33と、この陽極基板33から離間して配設されるフ
ィラメント31と、陽極基板33とフィラメント31と
の間に設けられるグリッド32とが取り付けられた金属
ボディ20を合わせ機構2の金属ボディ取付部2bに取
り付ける。このとき、通電機構4をフィラメント31に
接続されたリードピン21に接続する。
First, the exhaust process will be described. Figure 2
As shown in (a), the metal face 10 and the metal body 2
Vacuum chamber 1 with 0 attached to mechanism 2
Exhaust until the inside pressure reaches the specified pressure. In this case, the metal body 20 to which the anode substrate 33, the filament 31 arranged apart from the anode substrate 33, and the grid 32 provided between the anode substrate 33 and the filament 31 are attached is combined with the metal body 20. It is attached to the metal body attachment portion 2b. At this time, the energizing mechanism 4 is connected to the lead pin 21 connected to the filament 31.

【0017】さらに、金属フェース10を合わせ機構2
の金属フェース取付部2aに取り付ける。このような状
態で真空チャンバ1を密閉し、真空排気手段により真空
チャンバ1内の圧力が10-3〜10-5Paとなるまで排
気する。排気中は、加熱機構3により金属フェース1
0、金属ボディ20及び陽極基板33を輻射熱3aで加
熱し、脱ガスを行う。この工程では、真空チャンバ1内
が所定の圧力以下となったら加熱をやめ、次のフィラメ
ント活性化工程に進む。
Further, the metal face 10 is fitted to the mechanism 2
It is attached to the metal face attachment portion 2a. In such a state, the vacuum chamber 1 is sealed, and the vacuum chamber 1 is evacuated by the vacuum evacuation means until the pressure in the vacuum chamber 1 becomes 10 −3 to 10 −5 Pa. During the exhaust, the metal face 1 is heated by the heating mechanism 3.
0, the metal body 20 and the anode substrate 33 are heated by radiant heat 3a to degas. In this step, when the pressure in the vacuum chamber 1 becomes equal to or lower than a predetermined pressure, heating is stopped and the process proceeds to the next filament activation step.

【0018】フィラメント活性化工程では、図2(b)
に示すように、排気した状態で通電機構4によりフィラ
メント31に接続されたリードピン21に通電し、フィ
ラメント31を被覆している電子放出材料を活性化させ
る。この場合、フィラメント31に接続されたリードピ
ン21に所定の交流電圧を印加してフィラメント31を
約1000℃に加熱し、フィラメント31を被覆してい
るアルカリ土類金属の炭酸塩を酸化物に熱分解させると
ともに、被覆物に含まれる有機バインダーを分解気化さ
せる。
In the filament activation process, as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the lead pin 21 connected to the filament 31 is energized by the energizing mechanism 4 in the exhausted state to activate the electron emitting material covering the filament 31. In this case, a predetermined AC voltage is applied to the lead pin 21 connected to the filament 31 to heat the filament 31 to about 1000 ° C., and the alkaline earth metal carbonate covering the filament 31 is thermally decomposed into an oxide. At the same time, the organic binder contained in the coating is decomposed and vaporized.

【0019】ここで、アルカリ土類金属の炭酸塩は、例
えば(Ba,Sr,Ca)CO3を用いる。(Ba,S
r,Ca)CO3は、熱分解により熱電子放出源となる
(Ba,Sr,Ca)Oを生成する。アルカリ土類金属
の炭酸塩や有機バインダーの熱分解により生じる主とし
てCO2からなるガスは、真空排気手段により排気され
る。この工程では、フィラメント31に所定時間通電
後、真空チャンバ1内が所定の圧力以下となったら、次
の封止工程に進む。
Here, as the alkaline earth metal carbonate, for example, (Ba, Sr, Ca) CO 3 is used. (Ba, S
r, Ca) CO 3 produces (Ba, Sr, Ca) O serving as a thermionic emission source by thermal decomposition. A gas mainly composed of CO 2 generated by thermal decomposition of an alkaline earth metal carbonate or an organic binder is exhausted by a vacuum exhaust means. In this step, after the filament 31 is energized for a predetermined time, when the inside of the vacuum chamber 1 becomes a predetermined pressure or less, the process proceeds to the next sealing step.

【0020】封止工程では、図2(c)に示すように、
合わせ機構2により金属フェース10を移動させて金属
フェース10と金属ボディ20の合わせ面同士を接触さ
せた後、電子ビーム溶接機構5によりこの合わせ面に電
子ビーム5aを照射し溶接する。この場合、真空チャン
バ1内の圧力を10-3〜10-5Pa、電子ビームの加速
電圧を60KV、ビーム電流を10〜20mA、金属フ
ェース10と金属ボディ20の厚さをそれぞれ0.3〜
1.0mmとした。この条件で426合金からなる金属
フェース10と鉄からなる金属ボディ20を溶接したと
ころ、5〜6m/分の溶接速度が得られた。
In the sealing step, as shown in FIG.
After the metal face 10 is moved by the aligning mechanism 2 to bring the mating faces of the metal face 10 and the metal body 20 into contact with each other, the electron beam welding mechanism 5 irradiates and welds the electron beam 5a. In this case, the pressure in the vacuum chamber 1 is 10 −3 to 10 −5 Pa, the electron beam acceleration voltage is 60 KV, the beam current is 10 to 20 mA, and the thickness of the metal face 10 and the metal body 20 is 0.3 to respectively.
It was 1.0 mm. When the metal face 10 made of 426 alloy and the metal body 20 made of iron were welded under these conditions, a welding speed of 5 to 6 m / min was obtained.

【0021】以上説明した工程を行うことにより、図3
(a)に示すように、金属フェース10と金属ボディ2
0の合わせ面に溶接によるシール部25が形成され、内
部が真空に保持された金属ケースの外囲器が完成する。
これらの工程による処理時間と、従来の製造工程による
処理時間を比較したところ、従来に比べて封止・排気工
程のリードタイムが約1/10に短縮した。よって、こ
の実施の形態によれば、蛍光表示管の生産性が大幅に向
上する効果が得られる。
By carrying out the steps described above, FIG.
As shown in (a), the metal face 10 and the metal body 2
The sealing portion 25 is formed by welding on the mating surface of 0, and the envelope of the metal case whose inside is held in vacuum is completed.
Comparing the processing time of these processes with the processing time of the conventional manufacturing process, the lead time of the sealing / evacuation process was shortened to about 1/10 of the conventional time. Therefore, according to this embodiment, the effect of significantly improving the productivity of the fluorescent display tube can be obtained.

【0022】この実施の形態では、キャップ状の金属フ
ェース10と板状の金属ボディ20で外囲器を構成した
が、金属フェース10と金属ボディ20の形状はこれに
限られるものではない。例えば、図3(b)に示すよう
に、金属フェース10と金属ボディ20の形状を共にキ
ャップ状としてもよいし、図3(c)に示すように、金
属フェース10を板状とし、金属ボディ20をキャップ
状としてもよい。なお、金属フェース10を板状とした
場合は、図1の金属フェース取付部2aに金属ボディ2
0を取り付け、金属ボディ取付部2bに金属フェース1
0を取り付けるようにするとよい。
In this embodiment, the envelope is composed of the cap-shaped metal face 10 and the plate-shaped metal body 20, but the shape of the metal face 10 and the metal body 20 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 3 (b), both the metal face 10 and the metal body 20 may be cap-shaped, or as shown in FIG. 3 (c), the metal face 10 is plate-shaped and the metal body is made of metal. 20 may be cap-shaped. When the metal face 10 has a plate shape, the metal face 2 is attached to the metal face mounting portion 2a of FIG.
0 is attached, and the metal face 1 is attached to the metal body attaching portion 2b.
0 should be attached.

【0023】また、この実施の形態では、金属フェース
10と金属ボディ20の合わせ面の溶接に電子ビームを
用いた例について説明したがこれに限るものではなく、
真空中で溶接の可能な溶接手段であればよい。真空中で
溶接の可能な溶接手段として、例えば、炭酸ガスレーザ
のようなレーザ光を用いて溶接を行ってもよい。この場
合、図1の電子ビーム溶接機構5に代えてレーザ溶接機
構を設ければよい。
In this embodiment, the electron beam is used for welding the mating surfaces of the metal face 10 and the metal body 20. However, the present invention is not limited to this.
Any welding means capable of welding in vacuum may be used. As a welding means capable of performing welding in a vacuum, for example, laser light such as a carbon dioxide gas laser may be used for welding. In this case, a laser welding mechanism may be provided instead of the electron beam welding mechanism 5 of FIG.

【0024】従来は、外囲器を封止するために低融点ガ
ラスを用いていたので、低融点ガラスが溶融する温度ま
で外囲器の構成部材を加熱する必要があり、封止工程に
時間がかかっていた。さらに、外囲器に取り付けた排気
コンダクタンスの小さな排気管を通して外囲器の真空排
気を行っていたので排気に時間がかかるとともに、外囲
器内のガス出しが必ずしも十分でなかった。この実施の
形態によれば、真空チャンバ内で外囲器の封止を行うの
で、外囲器の封止と外囲器内の真空排気を同時に行うこ
ととなり、製造工程が簡略化されるとともに、製造時間
も短縮される。
Conventionally, since the low melting point glass has been used to seal the envelope, it is necessary to heat the components of the envelope to a temperature at which the low melting point glass melts, and the sealing step takes time. It was hanging. Further, since the envelope is evacuated through the exhaust pipe having a small exhaust conductance attached to the envelope, it takes a long time to evacuate the gas, and the gas discharge in the envelope is not always sufficient. According to this embodiment, since the envelope is sealed in the vacuum chamber, the envelope is sealed and the chamber is evacuated at the same time, which simplifies the manufacturing process. The manufacturing time is also shortened.

【0025】さらに、電子ビーム溶接により高速で溶接
が可能であり、封止工程の処理時間が秒単位に短縮でき
る。また、真空チャンバ内で金属フェース10、金属ボ
ディ20及び陽極基板33を加熱して脱ガスを行うの
で、排気時間が短縮され、かつ十分なガス出しを行うこ
とが可能である。また、陽極基板33が大気圧を受けな
いため、板厚が一定で薄いガラス基板35が使用できる
ので、陽極基板33の作製が容易である。
Further, the electron beam welding enables high-speed welding, and the processing time of the sealing process can be shortened to the unit of seconds. Further, since the metal face 10, the metal body 20, and the anode substrate 33 are heated in the vacuum chamber to perform degassing, the exhaust time can be shortened and sufficient degassing can be performed. Further, since the anode substrate 33 is not subjected to atmospheric pressure, a thin glass substrate 35 having a constant plate thickness can be used, so that the anode substrate 33 can be easily manufactured.

【0026】また、陽極基板33が金属ボディ20に接
着されているため、金属ボディ20を介した放熱効果が
得られるので、電子衝撃による陽極基板の温度上昇が抑
制され、蛍光体の発光効率が向上する効果も得られる。
また、クラックや割れの原因となる機械的に脆弱なガラ
ス部分が少なく、かつ外囲器から排気管が突出すること
もないので、蛍光表示管の取付自由度が増す効果が得ら
れる。
Further, since the anode substrate 33 is adhered to the metal body 20, a heat dissipation effect can be obtained through the metal body 20, so that the temperature rise of the anode substrate due to electron impact is suppressed and the luminous efficiency of the phosphor is improved. The effect of improving is also obtained.
In addition, since there are few mechanically fragile glass portions that cause cracks or breaks and the exhaust pipe does not protrude from the envelope, the effect of increasing the degree of freedom in mounting the fluorescent display tube can be obtained.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の蛍光表示
管の製造方法によれば、外囲器の封止と外囲器内の真空
排気を同時に行うことができるので、封止工程と排気工
程に要する時間を短縮でき、生産性を大幅に向上する効
果が得られる。また、封止工程における外囲器の形成に
電子ビーム溶接を用いたので、封止工程の処理時間を秒
単位にすることが可能となり、生産性をさらに向上する
効果が得られる。
As described above, according to the method of manufacturing a fluorescent display tube of the present invention, it is possible to simultaneously seal the envelope and evacuate the inside of the envelope. The time required for the exhaust process can be shortened, and the productivity can be greatly improved. Further, since the electron beam welding is used for forming the envelope in the sealing step, the processing time of the sealing step can be set to the unit of seconds, and the effect of further improving the productivity can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施の形態における蛍光表示管の製
造装置の構成を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a fluorescent display tube manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態における蛍光表示管の製
造工程を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a manufacturing process of the fluorescent display tube according to the embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の実施の形態における蛍光表示管の外
形を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an outer shape of the fluorescent display tube according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…真空チャンバ、2…合わせ機構、2a…金属フェー
ス取付部、2b…金属ボディ取付部、3…加熱機構、3
a…輻射熱、4…通電機構、5…電子ビーム溶接機構、
5a…電子ビーム、6…排気管、7…通電スイッチ、8
…交流電源、10…金属フェース、11…ガラス板、1
2…低融点ガラス、20…金属ボディ、21…リードピ
ン、22…ハーメチックシール、23…金属ワイヤ、2
5…シール部、31…フィラメント、32…グリッド、
33…陽極基板、34…ポリイミド系樹脂、35…ガラ
ス基板、36…配線層、37…絶縁層、38…陽極、3
9…蛍光体。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vacuum chamber, 2 ... Alignment mechanism, 2a ... Metal face attachment part, 2b ... Metal body attachment part, 3 ... Heating mechanism, 3
a ... radiant heat, 4 ... energizing mechanism, 5 ... electron beam welding mechanism,
5a ... Electron beam, 6 ... Exhaust pipe, 7 ... Energizing switch, 8
... AC power supply, 10 ... Metal face, 11 ... Glass plate, 1
2 ... Low melting glass, 20 ... Metal body, 21 ... Lead pin, 22 ... Hermetic seal, 23 ... Metal wire, 2
5 ... Seal part, 31 ... Filament, 32 ... Grid,
33 ... Anode substrate, 34 ... Polyimide resin, 35 ... Glass substrate, 36 ... Wiring layer, 37 ... Insulating layer, 38 ... Anode, 3
9 ... Phosphor.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表示窓を有する金属フェースと金属ボデ
ィとからなる外囲器内に陽極基板とグリッドと電子放出
材料が被覆されたフィラメントとを格納した蛍光表示管
の製造方法であって、 真空チャンバー内に、前記陽極基板と、この陽極基板か
ら離間して配設される前記フィラメントと、前記陽極基
板と前記フィラメントの間に設けられる前記グリッドと
が取り付けられた前記金属ボディと、前記金属フェース
とを配置した後、前記真空チャンバー内を真空に排気す
る排気工程と、 排気工程終了後、排気した状態で前記フィラメントに所
定電圧で所定時間通電するフィラメント活性化工程と、 フィラメント活性化工程終了後、金属フェースと金属ボ
ディを組み合わせ、両者の合わせ面を溶接する封止工程
とを有することを特徴とする蛍光表示管の製造方法。
1. A method of manufacturing a fluorescent display tube, wherein an anode substrate, a grid, and a filament coated with an electron-emitting material are housed in an envelope formed of a metal face having a display window and a metal body, which comprises a vacuum. The metal body having the anode substrate, the filament arranged apart from the anode substrate, and the grid provided between the anode substrate and the filament mounted in a chamber, and the metal face. And an evacuation step of evacuating the inside of the vacuum chamber to a vacuum, and a filament activation step of energizing the filament at a predetermined voltage for a predetermined time after the evacuation step, and after the filament activation step And a sealing process of combining a metal face and a metal body and welding the mating surfaces of the two. Manufacturing method of indicator tube.
【請求項2】 請求項1において、 前記封止工程は、電子ビームにより溶接することを特徴
とする蛍光表示管の製造方法。
2. The method of manufacturing a fluorescent display tube according to claim 1, wherein the sealing step includes welding with an electron beam.
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