JP2003147099A - Aromatic polyimide film having low heat shrinkage stress and high adhesion and method for producing the same - Google Patents

Aromatic polyimide film having low heat shrinkage stress and high adhesion and method for producing the same

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JP2003147099A
JP2003147099A JP2002232648A JP2002232648A JP2003147099A JP 2003147099 A JP2003147099 A JP 2003147099A JP 2002232648 A JP2002232648 A JP 2002232648A JP 2002232648 A JP2002232648 A JP 2002232648A JP 2003147099 A JP2003147099 A JP 2003147099A
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JP
Japan
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polyimide film
heat shrinkage
shrinkage stress
aromatic polyimide
film
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Application number
JP2002232648A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Uhara
賢治 鵜原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Du Pont Toray Co Ltd
Original Assignee
Du Pont Toray Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aromatic polyimide film simultaneously improved in heat shrinkage stress and adhesion. SOLUTION: This aromatic polyimide film having low heat shrinkage-stress and high adhesion is characterized by having <=10 MPa heat shrinkage stress and 75-150 mN/m surface free energy and has >=1×10<15> spins/g electron spin density.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は熱収縮応力及び接着
性を同時に改善した低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミ
ドフィルムおよびその製造方法に関する。特に高精細F
PC(可撓性の印刷回路、Flexible Printed Circui
t)、高精細COF(Chip on Film)回路およびそれに
用いられるカバーレイ、裏打ち用フィルム(スティフナ
ー)およびリードフレーム押さえテープ用に用いられる
低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルムおよびそ
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a low-heat-shrinkage-stress and high-adhesion aromatic polyimide film in which heat-shrinkage stress and adhesiveness are simultaneously improved, and a method for producing the same. Especially high definition F
PC (Flexible Printed Circui
t), a high-definition COF (Chip on Film) circuit and a coverlay used for the same, a backing film (stiffener), and a low heat shrinkage stress and high adhesion aromatic polyimide film used for a lead frame holding tape, and a method for producing the same.

【0002】更には金属との接着性および金属蒸着品の
平面性を同時に改善した80μmピッチ以下の高精細配
線が構成されるCOF(Chip on Film)回路用基板に用
いられる低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルム
およびその製造方法に関する。
Further, low heat shrinkage stress and high adhesion fragrance used for a COF (Chip on Film) circuit substrate in which high-definition wiring with a pitch of 80 μm or less, which has improved adhesion to metal and flatness of metal vapor deposition product at the same time, is formed. Group polyimide film and a method for manufacturing the same.

【0003】[0003]

【従来の技術】近年、エレクトロニクスの高度化、特に
高周波用に用いられるプリント基板の要求が高まりつつ
ある。特にコストダウンの目的で大面積で処理されるこ
とが多くなり、また高温で使用される用途も多くなって
きている。このため、寸法安定性及び接着性への要求が
厳しくなっており、またそれらの特性が同時に改良され
たポリイミドフィルムの需要が増大している。従来、ポ
リイミドフィルム表面を放電処理する方法はあったが、
好ましい熱収縮応力とを同時に満足した物が容易に得ら
れなかった。
2. Description of the Related Art In recent years, the sophistication of electronics, especially the demand for printed circuit boards used for high frequencies has been increasing. In particular, for the purpose of cost reduction, the treatment is often performed in a large area, and the use at high temperature is also increasing. For this reason, the requirements for dimensional stability and adhesiveness are becoming strict, and the demand for polyimide films having improved properties at the same time is increasing. Conventionally, there was a method of discharging the polyimide film surface,
It was not possible to easily obtain a product which simultaneously satisfied the preferable heat shrinkage stress.

【0004】特公平7−35106公報において、ポリ
イミドフィルムを予め低温プラズマにより表面処理した
後、熱処理する方法で得られたポリイミドフィルムが提
案されているが、この方法で得られたポリイミドフィル
ムは前工程である低温プラズマ処理で得られた表面の官
能基が後工程の熱処理を受け、分子運動により内部に潜
り込んだり、経時変化を受けたりするため効果が減少す
る。また該公報では好ましい熱収縮率が得られプリント
基板のカールが小さくなるとしており、接着性も不十分
であった。
Japanese Patent Publication No. 35106/1995 proposes a polyimide film obtained by subjecting a polyimide film to a surface treatment in advance with low-temperature plasma and then heat-treating the polyimide film. The functional group on the surface obtained by the low-temperature plasma treatment is subjected to a heat treatment in a post-process, so that the functional group may sneak into the inside due to molecular motion or undergo a change over time, so that the effect is reduced. Further, in this publication, a preferable heat shrinkage ratio is obtained and the curl of the printed circuit board is reduced, and the adhesiveness is insufficient.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、発明者の鋭意
検討結果、張り合わせ構成品のカールは応力のアンバラ
ンスであることを見出し、本発明を完成した。高周波用
に用いられるプリント基板、または大面積で処理される
場合は、熱収縮応力を低くすることが良好なプリント基
板を得る効果的な方法であることが明らかとなった。
However, as a result of earnest studies by the inventor, it was found that the curl of the laminated component is an imbalance of stress, and the present invention was completed. It has been clarified that reducing the heat shrinkage stress is an effective method for obtaining a good printed circuit board when used for a high frequency printed circuit board or a large area.

【0006】本発明は熱収縮応力および接着性とが同時
に改良された芳香族ポリイミドフィルムを提供する。
The present invention provides an aromatic polyimide film having simultaneously improved heat shrinkage stress and adhesion.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明にかかわるポリイ
ミドフィルムは、熱収縮応力が10(MPa)以下で表面
自由エネルギーが75[mN/m]〜150[mN/
m]である低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィル
ムである。さらには、電子スピン密度が1×10 15 [s
pins/g]以上である低熱収縮応力高接着芳香族ポリイ
ミドフィルムである。さらには、水接触角が55°以下
である低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルムで
ある。
[Means for Solving the Problems] Polly according to the present invention
Mid film has a surface with a heat shrinkage stress of 10 (MPa) or less
Free energy is 75 [mN / m] to 150 [mN / m
m] low heat shrinkage stress high adhesion aromatic polyimide fill
It is. Furthermore, the electron spin density is 1 × 10. 15[S
pins / g] or more, low heat shrinkage stress, high adhesion aromatic poly
It is a mid film. Furthermore, the water contact angle is 55 ° or less
With low heat shrinkage stress and high adhesion aromatic polyimide film
is there.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明のポリイミドフィルムは次
の一般式(I)で表される構造単位を有するポリイミド
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polyimide film of the present invention is a polyimide having a structural unit represented by the following general formula (I).

【0009】[0009]

【化1】 [Chemical 1]

【0010】R1およびR3はテトラカルボン酸二無水
物残基であり、R2およびR4は二価のジアミン化合物
残基である。好ましいテトラカルボン酸二無水物残基と
しては、次の一般式(II)で表される。
R1 and R3 are tetracarboxylic dianhydride residues, and R2 and R4 are divalent diamine compound residues. A preferable tetracarboxylic dianhydride residue is represented by the following general formula (II).

【0011】[0011]

【化2】 [Chemical 2]

【0012】より好ましくは、(III)であり、More preferably (III),

【0013】[0013]

【化3】 [Chemical 3]

【0014】もっとも好ましくは(IV)である。Most preferred is (IV).

【0015】[0015]

【化4】 [Chemical 4]

【0016】好ましいジアミン化合物残基としては、次
の一般式(V)で表される。
The preferred diamine compound residue is represented by the following general formula (V).

【0017】[0017]

【化5】 [Chemical 5]

【0018】より好ましくは、(VI)であり、More preferably (VI),

【0019】[0019]

【化6】 [Chemical 6]

【0020】もっとも好ましくはR2が(VII)で、Most preferably R2 is (VII)

【0021】[0021]

【化7】 [Chemical 7]

【0022】R4が(VIII)である。R4 is (VIII).

【0023】[0023]

【化8】 [Chemical 8]

【0024】芳香族ポリイミドフィルムが少なくとも
3,4’−オキシジアニリンおよびピロメリット酸二無
水物から重合されるポリイミドフィルムである。更に具
体的に好ましいポリイミドフィルムの組成として、ジア
ミン成分が少なくともパラフェニレンジアミン(PP
D)、オキシジアニリン類(ODA)、酸二無水物が少
なくともビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPD
A)、ピロメリット酸二無水物(PMDA)からなり、
PPD/ODAのモル比が10/90〜40/60、B
PDA/PMDAのモル比が10/90〜40/60の
組成物から重合されるポリアミック酸から誘導される芳
香族ポリイミドフィルムである。
The aromatic polyimide film is a polyimide film polymerized from at least 3,4'-oxydianiline and pyromellitic dianhydride. As a more specifically preferred composition of the polyimide film, the diamine component is at least paraphenylenediamine (PP
D), oxydianilines (ODA), and at least biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPD)
A), consisting of pyromellitic dianhydride (PMDA),
PPD / ODA molar ratio 10/90 to 40/60, B
It is an aromatic polyimide film derived from a polyamic acid polymerized from a composition having a PDA / PMDA molar ratio of 10/90 to 40/60.

【0025】また、芳香族ポリイミドフィルムが少なく
とも4,4’−オキシジアニリン、パラフェニレンジア
ミン、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロ
メリット酸二無水物から重合される芳香族ポリイミドフ
ィルム。特に好ましいポリイミドフィルムの組成とし
て、ジアミン成分が少なくとも3,4’−オキシジアニ
リン(34’ODA)、4,4’−オキシジアニリン
(44’ODA)、酸二無水物が少なくともビフェニル
テトラカルボン酸二無水物(BPDA)、ピロメリット
酸二無水物(PMDA)からなり、PPD/ODAのモ
ル比が20/80〜80/20、BPDA/PMDAの
モル比が0/100〜40/60の組成物から重合され
るポリアミック酸から誘導されるポリイミドフィルムで
ある。
An aromatic polyimide film in which the aromatic polyimide film is polymerized from at least 4,4'-oxydianiline, paraphenylenediamine, biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride. As a particularly preferred composition of the polyimide film, the diamine component is at least 3,4′-oxydianiline (34′ODA), 4,4′-oxydianiline (44′ODA), and the acid dianhydride is at least biphenyltetracarboxylic acid. Composition consisting of dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA), molar ratio of PPD / ODA is 20 / 80-80 / 20, molar ratio of BPDA / PMDA is 0 / 100-40 / 60. A polyimide film derived from a polyamic acid polymerized from an object.

【0026】熱収縮応力は10(MPa)以下である。好ま
しくは5(MPa)以下で、更に好ましくは1(MPa)以下で
あり、もっとも好ましくは0.5(MPa)以下である。1
0(MPa)を超えると高寸法精細用フレキシブル印刷回路
基板として用いた場合、銅エッチング後、部分的に歪み
や応力集中が生じることにより寸法変化が生じ、その結
果平面性が悪化したりカールが発生する。平面性が悪化
したりカールが大きいと高寸法精細用フレキシブル印刷
回路基板の電気設備への組み込み時に操作しにくくな
る。
The heat shrinkage stress is 10 (MPa) or less. It is preferably 5 (MPa) or less, more preferably 1 (MPa) or less, and most preferably 0.5 (MPa) or less. 1
When it exceeds 0 (MPa), when it is used as a flexible printed circuit board for high-dimensional definition, after copper etching, partial distortion or stress concentration occurs, resulting in dimensional change, resulting in poor flatness and curling. Occur. If the flatness is deteriorated or the curl is large, it becomes difficult to operate the flexible printed circuit board for high-definition definition when it is installed in the electric equipment.

【0027】またフィルム表面の自由エネルギーの範囲
は75[mN/m]以上である。更に好ましくは85
[mN/m]で、もっとも好ましくは95[mN/m]
である。この値が大きい程良いが、検討した範囲から算
出して上限は150[mN/m]であろう。75[mN
/m]未満では、ポリイミドで使用される一部の接着剤
との接着性が低くなる。
The free energy range of the film surface is 75 [mN / m] or more. More preferably 85
[MN / m], most preferably 95 [mN / m]
Is. The larger this value is, the better, but the upper limit calculated from the range studied is 150 [mN / m]. 75 [mN
/ M], the adhesiveness with a part of the adhesive used in polyimide becomes low.

【0028】フィルム中の好ましい電子スピン密度は1
×1015 [spins/g]以上である。好ましくは1×1
16 [spins/g]で、更に好ましくは1×1017[spin
s/g]である。電子スピン密度が1×1015 [spins/
g]未満では蒸着金属との接着性が不十分となる。電子
スピン密度はフィルム中のラジカル量を表し、多いほど
接着性が良くなる傾向がある。上限は処理能力の限界か
ら算出して1×1025[spins/g]であろう。ラジカル
量を高めるためには、製造時のイミド化温度を利用し、
例えば500℃以下で容易に分解するモノマー、ラジカ
ル発生剤またはポリマーを添加し分解させラジカルを発
生させることも好ましい。また製造時のイミド化時の加
熱によりポリイミドフィルムの一部を加熱分解すること
またはイオン注入などの方法も有効である。
The preferred electron spin density in the film is 1.
× 10 15 [spins / g] or more. Preferably 1 × 1
0 16 [spins / g], and more preferably 1 × 10 17 [spin
s / g]. Electron spin density is 1 × 10 15 [spins /
If it is less than g], the adhesion to the vapor-deposited metal will be insufficient. The electron spin density represents the amount of radicals in the film, and the larger the electron spin density, the better the adhesiveness. The upper limit would be 1 × 10 25 [spins / g] calculated from the limit of throughput. To increase the amount of radicals, use the imidization temperature during production,
For example, it is also preferable to add a monomer, a radical generator or a polymer that is easily decomposed at 500 ° C. or lower to decompose and generate a radical. In addition, a method of thermally decomposing a part of the polyimide film by heating at the time of imidization at the time of production or ion implantation is also effective.

【0029】ポリイミドの一部を加熱分解させる条件は
TGAで評価できる。1%熱減量温度より200℃低い
温度以上で加熱することが目安となる。一般に芳香族ポ
リイミドの1%熱減量温度は520℃〜550℃である
ので、この温度を超えると逆に熱架橋が進みすぎるので
好ましくない。好ましい加熱条件は、200℃以上であ
り、更に好ましくは300℃以上であり、最も好ましく
は400℃以上である。雰囲気ガスは窒素または空気で
ある。ポリイミドを加熱しラジカルを発生させると、そ
の一部が熱架橋を引き起こす。発生ラジカルを安定化さ
せ熱架橋を防ぐことが好ましいが、適度な熱架橋がある
ことも良い。
The conditions for thermally decomposing a part of the polyimide can be evaluated by TGA. The standard is to heat at a temperature of 200 ° C lower than the 1% heat loss temperature. Generally, the 1% heat loss temperature of an aromatic polyimide is 520 ° C. to 550 ° C., so if the temperature exceeds this temperature, thermal crosslinking will proceed excessively, which is not preferable. The preferred heating conditions are 200 ° C. or higher, more preferably 300 ° C. or higher, and most preferably 400 ° C. or higher. The atmosphere gas is nitrogen or air. When polyimide is heated to generate radicals, a part of the radicals causes thermal crosslinking. It is preferable to stabilize the generated radicals and prevent thermal crosslinking, but it is also possible to have appropriate thermal crosslinking.

【0030】ラジカル発生剤としては300℃以上の高
温処理により分解しラジカルを発生できる有機物が好ま
しい。好ましくは300℃以上で1重量%以上分解し、
ポリイミドフィルム中に安定ラジカルを存在させる置換
基を持った芳香環を有する有機物が好ましい。ここで芳
香環はラジカルを長寿命で安定化させる働きをし、ラジ
カル半減期が分オーダー以上の長い種が好ましい。
The radical generator is preferably an organic substance capable of decomposing by a high temperature treatment at 300 ° C. or higher to generate radicals. Preferably decomposed at 1% by weight or more at 300 ° C or higher,
An organic substance having an aromatic ring having a substituent that causes a stable radical to exist in the polyimide film is preferable. Here, the aromatic ring functions to stabilize the radical for a long life, and a species having a long radical half-life of minutes order or longer is preferable.

【0031】例えばラジカル発生剤として、ベンゾイル
パーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、クメンハイ
ドロパーオキサイドなどがある。添加量として0.01
〜10重量%、好ましくは0.1〜1重量%である。
Examples of the radical generator include benzoyl peroxide, dicumyl peroxide and cumene hydroperoxide. 0.01 as addition amount
It is 10 to 10% by weight, preferably 0.1 to 1% by weight.

【0032】水接触角は55°以下が好ましい。更に好
ましくは50°で、特に好ましくは45°である。水接
触角が55°を超えるとポリイミドで使用される接着剤
または金属との接着性が低下する場合がある。測定の有
効数字から算出すると水接触角の下限は1°であろう。
The water contact angle is preferably 55 ° or less. It is more preferably 50 °, and particularly preferably 45 °. When the water contact angle exceeds 55 °, the adhesiveness with the adhesive or the metal used in polyimide may decrease. The lower limit of the water contact angle would be 1 °, calculated from the significant figures of the measurement.

【0033】水接触角、表面自由エネルギーおよびフィ
ルム中の電子スピン密度はいずれも好ましい接着性を得
るための要件である。
The water contact angle, the surface free energy and the electron spin density in the film are all requirements for obtaining favorable adhesion.

【0034】本発明の好ましい熱収縮応力と接着性を得
るための代表的な加工方法は、熱処理を行った後、更に
表面自由エネルギーを高める接着付与処理を施すことが
よい。
As a typical processing method for obtaining the preferable heat shrinkage stress and adhesiveness of the present invention, it is preferable to carry out a heat treatment and then an adhesion imparting treatment for further increasing the surface free energy.

【0035】熱処理と接着付与処理は引き続き連続で行
うことが好ましい。
It is preferable that the heat treatment and the adhesion-imparting treatment are successively performed.

【0036】逆に接着付与処理後熱処理を行う場合は、
後段の熱処理温度(T℃)と熱処理時間(s分)との関
係は、T×s≦600、である。即ち、高温で長時間熱
処理を行うと表面の極性分子が分子運動することによ
り、表面自由エネルギーが低下する傾向があるため、低
温で短時間処理が好ましい。また接着付与処理と熱処理
とは連続して行うことが好ましい。
On the contrary, when heat treatment is performed after the adhesion-imparting treatment,
The relationship between the subsequent heat treatment temperature (T ° C.) and the heat treatment time (s minutes) is T × s ≦ 600. That is, when heat treatment is performed at high temperature for a long time, surface free energy tends to be lowered due to molecular motion of polar molecules on the surface, and therefore short-time treatment at low temperature is preferable. Further, it is preferable that the adhesion imparting treatment and the heat treatment are continuously performed.

【0037】接着付与処理方法は、火炎処理、放電処
理、コロナ処理、紫外線処理、逆スパッター、電磁波、
レーザー処理など光、高熱または電気などのエネルギー
により分子エネルギー状態を励起させ、直接あるいは間
接的に極性基を発生させる方法がある。好ましくはプラ
ズマ放電処理、逆スパッター、コロナ放電処理、アーク
放電処理およびグロー放電処理である。もっとも好まし
くは、紫外光を伴う常圧プラズマ放電処理、常圧コロナ
放電処理、逆スパッター、常圧グロー放電処理である。
The adhesion applying treatment method includes flame treatment, discharge treatment, corona treatment, ultraviolet treatment, reverse sputtering, electromagnetic wave,
There is a method of directly or indirectly generating a polar group by exciting a molecular energy state by light such as laser treatment, energy of high heat or electricity. Preferred are plasma discharge treatment, reverse sputtering, corona discharge treatment, arc discharge treatment and glow discharge treatment. Most preferable are atmospheric pressure plasma discharge treatment with ultraviolet light, atmospheric pressure corona discharge treatment, reverse sputtering, and atmospheric pressure glow discharge treatment.

【0038】好ましい加工方法を以下に説明する。A preferred processing method will be described below.

【0039】熱収縮応力を10(MPa)以下にする好まし
い最高熱処理温度条件は、150℃以上500℃以下で
ある。好ましくは250℃以上である。更に好ましくは
300℃以上である。
A preferable maximum heat treatment temperature condition for reducing the heat shrinkage stress to 10 (MPa) or less is 150 ° C. or more and 500 ° C. or less. It is preferably 250 ° C. or higher. More preferably, it is 300 ° C. or higher.

【0040】連続処理を行う場合の最高熱処理温度が2
00℃未満では、理由は不明であるが最終的に生成され
る電子スピンの発生速度が遅いかあるいは減少するので
好ましくない。バッチ処理で低温で熱処理する場合は1
時間から数日程度の熱処理を行うこともできるが、長尺
品での熱処理時間は高温で1秒から10分程度が好まし
い。
The maximum heat treatment temperature for continuous treatment is 2
If the temperature is lower than 00 ° C, the reason for which the reason is unknown is that the generation rate of the finally generated electron spin is slow or decreases, which is not preferable. 1 when heat treatment is performed at low temperature in batch processing
The heat treatment can be performed for about several days depending on the time, but the heat treatment time for a long product is preferably about 1 second to 10 minutes at a high temperature.

【0041】また熱収縮応力を小さくする好ましい方法
として、多段階の温度で熱処理を行うことが好ましい。
この場合、最初の熱処理温度は続いて熱処理される温度
より高温とする。例えば多段熱処理法として440℃、
1分で熱処理した後330℃、1分で熱処理する方法が
ある。フィルムを巻いたロールを加熱オーブン中に放置
する方法、または無張力下で熱処理される方法がある。
熱収縮応力を小さくするだけならば、無張力が好まし
い。接着付与処理を長巻きで連続的に行う場合はフィル
ムの長さ方向に1〜10[kg/m]の張力で処理をす
ることが好ましい。また、張力をかけながら連続的に熱
風で加熱処理を施した後、冷却処理を施すことがよい。
好ましい範囲は2[kg/m]〜7[kg/m]であ
る。
As a preferable method for reducing the heat shrinkage stress, it is preferable to carry out heat treatment at multi-step temperatures.
In this case, the temperature of the first heat treatment is higher than the temperature of the subsequent heat treatment. For example, as a multi-step heat treatment method, 440 ° C,
There is a method of performing heat treatment at 330 ° C. for 1 minute after heat treatment at 1 minute. There is a method in which the roll wound with the film is left in a heating oven, or a method in which it is heat-treated under no tension.
If only heat shrinkage stress is reduced, no tension is preferable. When the adhesion-imparting treatment is continuously performed by long winding, it is preferable to perform the treatment with a tension of 1 to 10 [kg / m] in the length direction of the film. Further, it is preferable to perform a heat treatment with hot air continuously while applying tension and then perform a cooling treatment.
A preferred range is 2 [kg / m] to 7 [kg / m].

【0042】長さ方向の張力が1[kg/m]未満であ
るとフィルムにしわが生じ、連続巻き取り時に蛇行する
問題が生じる場合がある。また10[kg/m]を超え
ると熱収縮応力が大きくなる場合がある。
If the tension in the lengthwise direction is less than 1 [kg / m], wrinkles may occur in the film, causing a problem of meandering during continuous winding. If it exceeds 10 [kg / m], the heat shrinkage stress may increase.

【0043】熱処理の加熱源は熱風、赤外線ヒータなど
による熱輻射、および電磁波である。
The heat source for the heat treatment is hot air, heat radiation from an infrared heater or the like, and electromagnetic waves.

【0044】接着付与処理は熱処理に引き続き連続して
行われることが好ましい。放電処理を行う直前に熱処理
を行う理由は、低水分含有とし、接着付与処理を著しく
効果的にするためである。
The adhesion-imparting treatment is preferably carried out continuously after the heat treatment. The reason why the heat treatment is performed immediately before the discharge treatment is that the moisture content is low and the adhesion imparting treatment is remarkably effective.

【0045】予め熱処理工程を経ることにより、フィル
ム中の含水率が浸漬飽和水分量の10分の1以下にする
ことが出来る。接着付与処理直前または接着付与処理時
の水分率は1%以下が好ましい。より好ましくは0.5
%以下である。もっとも好ましくは0.1%である。理
由は不明であるが、フィルム中の含水量が高いと放電処
理の効果が著しく小さくなる。ポリイミドフィルムの飽
和水分量は通常約3%であるので、空気中の湿度により
接着付与効果が変動するという問題があった。好ましい
本製造方法により驚くべき効果が得られ、安定的に低熱
収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルムが得られる。
By preliminarily undergoing a heat treatment step, the water content in the film can be reduced to 1/10 or less of the saturated water content in immersion. The water content immediately before the adhesion imparting treatment or at the time of the adhesion imparting treatment is preferably 1% or less. More preferably 0.5
% Or less. Most preferably, it is 0.1%. Although the reason is unknown, when the water content in the film is high, the effect of the electric discharge treatment is significantly reduced. Since the saturated moisture content of the polyimide film is usually about 3%, there is a problem that the adhesion imparting effect varies depending on the humidity in the air. The preferred production method of the present invention produces a surprising effect, and stably provides a low heat shrinkage stress and high adhesion aromatic polyimide film.

【0046】熱処理に引き続いて連続的に放電処理を行
わない場合は、フィルムが吸湿しないように乾燥状態で
保管することが好ましい。そのために、乾燥室での保
管、乾燥剤との併用および防湿フィルムでの梱包も好ま
しい。
When the discharge treatment is not continuously performed after the heat treatment, it is preferable to store the film in a dry state so as not to absorb moisture. Therefore, storage in a drying room, combined use with a desiccant, and packaging with a moisture-proof film are also preferable.

【0047】次に放電加工を行う。上述したように低圧
プラズマおよび常圧プラズマは好ましい方法である。プ
ラズマ処理に於ける雰囲気ガスとして、酸素、窒素、ア
ルゴン、二酸化炭素、空気、水素及びこれらの混合気体
から選ばれたガスである。このとき水分は1000pp
m以下とすることが好ましい。もっとも好ましくはアル
ゴンである。
Next, electric discharge machining is performed. As mentioned above, low pressure plasma and atmospheric pressure plasma are the preferred methods. The atmosphere gas in the plasma treatment is a gas selected from oxygen, nitrogen, argon, carbon dioxide, air, hydrogen and a mixed gas thereof. At this time, the water content is 1000 pp
It is preferably m or less. Most preferably, it is argon.

【0048】高電圧印加電極に印加する高電圧の周波数
は20kHzから100MHzの範囲で選択するのが好
ましい。より好ましい周波数は50kHzから500k
Hzである。処理強度としては、50W・min/m2以上
の処理電力密度で処理するのが良く、より好ましくは8
0W・min/m2以上である。
The frequency of the high voltage applied to the high voltage applying electrode is preferably selected in the range of 20 kHz to 100 MHz. More preferable frequency is 50 kHz to 500 kHz
Hz. The processing strength is preferably 50 W · min / m 2 or more, and more preferably 8 or more.
It is 0 W · min / m 2 or more.

【0049】ホ゜リイミト゛フィルムの分子構造は酸かジアミン成
分に屈曲性部分が含まれることが好ましい。何故か判ら
ないが、屈曲成分に由来する柔軟部分が放電処理により
特異的に処理されることによりミクロ粗面化しやすくな
ると推定している。従って、屈曲成分と直線成分をもつ
3成分以上からなるホ゜リイミト゛フィルムが特に好ましい。
In the molecular structure of the polyimide film, the acid or diamine component preferably contains a flexible portion. Although it is unknown for some reason, it is presumed that the flexible portion derived from the bending component is likely to be micro-roughened by being specifically treated by the electric discharge treatment. Therefore, a polyimid film composed of three or more components having a bending component and a linear component is particularly preferable.

【0050】本発明に関わる熱収縮応力と接着性が改善
されたホ゜リイミト゛フィルムは、FPCのヘ゛ースフィルムまたはそのカ
バーフィルム(裏打ち)、リードフレーム抑えテープとして
好適である。
The polyimid film having improved heat shrinkage stress and adhesiveness according to the present invention is suitable as a base film of FPC or a cover film (lining) thereof, or a lead frame suppressing tape.

【0051】また本発明のフィルムは、接着性が改良さ
れた面に直接接着される基材が薄い構成である用途分野
に用いられる。配線が80μmピッチおよびそれ以下で
ある高寸法精度が要求される用途に対し好ましく用いら
れる。とくにピッチが60μmまたは40μm、更には
20μmである高寸法精度が要求される用途に対し好ま
しく用いられる。具体的用途としては、PDPやLCD
などディスプレイ用途やHDDのワイヤレスサスペンシ
ョン用途などであり、特にCOF用途のフレキシブル印
刷回路用基板で用いられるポリイミドフィルムであり、
それに直接接着される基材として接着剤または銅金属が
ある。
The film of the present invention is also used in a field of application in which the substrate directly bonded to the surface having improved adhesion has a thin structure. It is preferably used for applications requiring high dimensional accuracy, in which the wiring has a pitch of 80 μm or less. Particularly, it is preferably used for applications requiring a high dimensional accuracy such as a pitch of 60 μm or 40 μm, and further 20 μm. Specific applications include PDP and LCD
It is a polyimide film used in flexible printed circuit boards for COF applications, such as display applications and HDD wireless suspension applications.
Adhesives or copper metal are the substrates that are directly bonded to it.

【0052】[0052]

【実施例】以下に、本発明に関わる低熱収縮応力高接着
芳香族ポリイミドフィルムについて説明する。ここでい
うホ゜リイミト゛フィルムは厚み5μm以上をいう。上限は処理可
能であれば特に限定しないが、300μm以下であろ
う。次の実施例においては、別記しない限りすべてのパ
−セントは重量による。また、以下に用いたポリイミド
フィルムは処理中または評価中以外は全て真空デシケー
タ中で室温保管した物を用いた。
EXAMPLES The low heat shrinkage stress and high adhesion aromatic polyimide film according to the present invention will be described below. The polyimide film referred to herein has a thickness of 5 μm or more. The upper limit is not particularly limited as long as it can be treated, but may be 300 μm or less. In the following examples, all percentages are by weight unless otherwise stated. The polyimide films used below were all stored at room temperature in a vacuum desiccator except during processing or evaluation.

【0053】測定および評価 1.ポリイミドフィルムの熱収縮応力 引っ張り様式の試験片について、TMA(セイコー電子
工業株社製、TMA/SS120C型)を使用し、室温
(25℃)から定長モードで測定した。試験片として
は、幅5mm、測定長20mmのものを使用し、昇温速
度10℃/min、最高温度500℃の条件で測定し
た。縦軸熱収縮応力、横軸温度のグラフを描き、最高熱
収縮応力を熱収縮応力とした。 2.熱収縮率 JIS−B−0601(1994)に準じ、ポリイミドフィ
ルムの熱処理前後の寸法収縮率を測定する。熱処理条件
は、300℃×2時間。 3.密着強度 真空デシケータ中に保管した表面処理後のサンフ゜ルを用い
て、アクリル系接着剤(デュポン(株)製”ハ゜イララック
ス”)を用いて上記処理フィルムと銅箔(三井金属鉱業
(株)製電解銅箔”3EC”35μm厚)とをラミネート
し、185℃×1時間で接着剤の硬化反応を行い、フィ
ルム/接着剤/銅箔積層板(以下FC積層板とする)を作
成した。得られたFC積層板を幅10mm長さ30cmのサンフ゜
ルを切り出し、引張試験器((株)A&D社製テンシロン万能
試験機UTA−300KN)によりヒ゜ールテストスヒ゜ート゛50
mm/minで90度剥離の引張試験を行った。値はn=5の
平均を取った。
Measurement and Evaluation 1. The heat shrinkage stress tensile type test piece of the polyimide film was measured in a constant length mode from room temperature (25 ° C.) using TMA (Seiko Denshi Kogyo KK, TMA / SS120C type). A test piece having a width of 5 mm and a measurement length of 20 mm was used, and measurement was performed under conditions of a temperature rising rate of 10 ° C./min and a maximum temperature of 500 ° C. A graph of heat shrinkage stress on the vertical axis and temperature on the horizontal axis was drawn, and the maximum heat shrinkage stress was taken as the heat shrinkage stress. 2. Thermal shrinkage According to JIS-B-0601 (1994), the dimensional shrinkage of the polyimide film before and after heat treatment is measured. The heat treatment condition is 300 ° C. × 2 hours. 3. Adhesion strength Using the sample after surface treatment stored in a vacuum desiccator, and using an acrylic adhesive ("Pyralax" manufactured by DuPont), the above treated film and copper foil (electrolysis manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) Copper foil “3EC” (thickness: 35 μm) was laminated and the adhesive was cured at 185 ° C. for 1 hour to prepare a film / adhesive / copper foil laminate (hereinafter referred to as FC laminate). A sample having a width of 10 mm and a length of 30 cm was cut out from the obtained FC laminated plate, and a pole test speed 50 was obtained by a tensile tester (A & D Tensilon universal tester UTA-300KN).
A tensile test of 90 ° peeling was performed at mm / min. Values were averaged for n = 5.

【0054】◎ 密着強度 18N/cm以上で銅箔
と接着剤との界面で剥離。
◎ Adhesion strength 18 N / cm or more, peeling at the interface between the copper foil and the adhesive.

【0055】○ 密着強度 18N/cm以上で接着
剤とポリイミドフィルムとの界面で剥離。
○ Adhesive strength Peeling off at the interface between the adhesive and the polyimide film at 18 N / cm or more.

【0056】△ 密着強度 10N/cm以上18N
/cm未満 × 密着強度 10N/cm未満 4.表面自由エネルギー 接触角計(CA-X型、協和界面科学社製)を用い、エチレ
ングリコール、ヨウ化メチレン、水とフィルムとの接触
角を測定し、フィルム表面の、分散力成分γd、双極子
成分γp、水素結合成分γhを求めた。このとき液体の
分散力成分γd、双極子成分γp、水素結合成分γhは
表1の値を用いた。
△ Adhesion strength 10 N / cm or more 18 N
</ Cm x adhesion strength <10 N / cm 4. Using a surface free energy contact angle meter (CA-X type, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.), the contact angle between ethylene glycol, methylene iodide and water and the film was measured, and the dispersion force component γd and dipole of the film surface were measured. The component γp and the hydrogen bond component γh were determined. At this time, the values shown in Table 1 were used for the dispersion force component γd of the liquid, the dipole component γp, and the hydrogen bond component γh.

【0057】計算は、拡張Fowkesの理論を適用した固体
表面自由エネルギー解析ソフトウェアEG−11(協和
界面科学社製)を用いた。
For the calculation, solid surface free energy analysis software EG-11 (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) to which the extended Fowkes theory was applied was used.

【0058】[0058]

【表1】 [Table 1]

【0059】5.電子スピン密度 ESR測定装置としてJES-FE3XG(日本電子社製)、付属装
置として、マイクロ波周波数カウンター(TR5212、アド
バンテスト社)およびESRデータ・システム(ES-PRIT2
3、日本電子社製)を用いて測定した。
5. JES-FE3XG (manufactured by JEOL Ltd.) as electron spin density ESR measurement device, microwave frequency counter (TR5212, Advantest) and ESR data system (ES-PRIT2) as accessory devices
3, manufactured by JEOL Ltd.).

【0060】マイクロ波出力に対するシグナルの飽和を
避けるため、スピンが多い試料はマイクロ波出力4μ
W、少ない試料はマイクロ波出力20μWで測定した。
測定に際しては、外部標準試料としてMgO中のMn2+
同時に測定した。
In order to avoid the signal saturation with respect to the microwave output, the sample with many spins has a microwave output of 4 μm.
W, a small sample was measured with a microwave output of 20 μW.
At the time of measurement, Mn 2+ in MgO was simultaneously measured as an external standard sample.

【0061】電子スピン密度は観測されるESRシグナル
を数値的に2回積分して得られるESR信号強度より求め
た値で単位重量当たりのラジカル量を表す。ESR信号強
度はキュリー則に従うと仮定し、2次標準試料としてイ
オン注入したポリエチレンフィルムを用いて、ラジカル
量を算出した。ポリエチレンフィルムのスピン数は硫酸
銅5水和物を用いて予め定量化しておく。
The electron spin density is a value calculated from the ESR signal intensity obtained by numerically integrating the observed ESR signal twice, and represents the amount of radicals per unit weight. Assuming that the ESR signal intensity complies with the Curie law, the radical amount was calculated using an ion-implanted polyethylene film as a secondary standard sample. The spin number of the polyethylene film is quantified in advance using copper sulfate pentahydrate.

【0062】用いた測定条件は以下の通り。The measurement conditions used are as follows.

【0063】 測定温度;室温 磁場掃引範囲 ;326.2〜346.2mT 変調 ;100kHz、0.32mT マイクロ波出力 ;4μWまたは20μW、9.43GHz 掃引時間 ;1.5分×20回 時定数 ;0.1秒 データポイント数;2048points キャビティー ;TE011、円筒型 6.金属積層板の反り量評価(カール) ポリイミドフィルムにポリイミドベースの接着剤を塗布
し、この上に銅箔を250℃の温度で貼り合わせた。そ
の後最高温度300℃まで昇温し接着剤を硬化させ、得
られた金属積層板を35mm×120mmのサンプルサ
イズにカットし、25℃、60RH%雰囲気中で24時
間放置した後、それぞれのサンプルの反りを測定した。
反りはサンプルをガラス平板に置き、四隅の高さを測定
平均化した。評価基準は反り量に応じて以下のように判
定した。×レベルは金属配線回路板として用いる場合、
後工程の搬送時に取り扱いが困難となるレベルである。
Measurement temperature; room temperature Magnetic field sweep range; 326.2 to 346.2 mT modulation; 100 kHz, 0.32 mT microwave output; 4 μW or 20 μW, 9.43 GHz sweep time; 1.5 minutes × 20 times time constant; 0 1 second number of data points; 2048 points cavity; TE 011 ; cylindrical type 6. Evaluation of Curvature of Metal Laminated Plate (Curl) A polyimide-based adhesive was applied to a polyimide film, and a copper foil was attached thereto at a temperature of 250 ° C. After that, the maximum temperature is raised to 300 ° C. to cure the adhesive, the obtained metal laminated plate is cut into a sample size of 35 mm × 120 mm, and left in an atmosphere of 25 ° C. and 60 RH% for 24 hours. Warpage was measured.
As for the warp, the sample was placed on a glass plate and the heights of the four corners were measured and averaged. The evaluation criteria were determined as follows according to the amount of warpage. × level is used as a metal wiring circuit board,
It is at a level where handling becomes difficult during transportation in the subsequent process.

【0064】 ○ 反り量 1mm未満 △ 反り量 1mm以上3mm未満 × 反り量 3mm以上 (実施例)N,N−ジメチルホルムアミド(以下DMA
c)中に4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(以下
44’ODA)を全ジアミン基準で70モル%供給して
溶解させ、続いてパラフェニレンジアミン(以下PP
D)(30モル%)及びピロメリット酸二無水物(以下
PMDA)を順次供給し、室温で、約1時間攪拌する。
最終的にテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分
が約100モル%化学量論からなるポリアミド酸濃度2
0重量%の溶液を調製した。
Amount of warp less than 1 mm Δ Amount of warp 1 mm or more and less than 3 mm × Amount of warp 3 mm or more (Example) N, N-dimethylformamide (hereinafter DMA
70 mol% of 4,4′-diaminodiphenyl ether (hereinafter, 44′ODA) was supplied to and dissolved in c), followed by paraphenylenediamine (hereinafter, PP).
D) (30 mol%) and pyromellitic dianhydride (hereinafter referred to as PMDA) are sequentially supplied, and the mixture is stirred at room temperature for about 1 hour.
Finally, the polycarboxylic acid concentration 2 in which the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component are approximately 100 mol% stoichiometry
A 0 wt% solution was prepared.

【0065】このポリアミド酸溶液を氷冷し無水酢酸、
β−ピコリンを加え撹拌した後、加熱支持性のフィルム
とした後、支持体から剥離し、更にイミドへの転化反応
を簡潔すると共に溶媒を乾燥し、厚み25μmのポリイ
ミドフィルムとしてロール状に巻き取った(フィルム
A) DMAc中に3,4’−ジアミノジフェニルエーテル
(以下34’ODA)を全ジアミン基準で50モル%供
給して溶解させ、続いてPMDAを全酸無水物基準で4
9.5モル%供給して反応させ、無水酢酸を0.5モル
%加えアセチル末端封鎖させたポリアミド酸ポリマーA
を調整した。引き続き44’ODA(50モル%)及び
残りのPMDAを順次供給し、室温で、約1時間攪拌し
ポリマーBを重合した。最終的にテトラカルボン酸二無
水物成分とジアミン成分が約100モル%化学量論から
なるポリマーAとポリマーBとの混交組成物から成るポ
リアミド酸濃度20重量%の溶液を調製した。
This polyamic acid solution was ice-cooled and acetic anhydride was added.
After adding β-picoline and stirring, it was made into a heat-supporting film, then peeled from the support, the conversion reaction to imide was simplified and the solvent was dried, and it was wound into a roll as a 25 μm-thick polyimide film. (Film A) 3,4′-diaminodiphenyl ether (hereinafter referred to as 34′ODA) in DMAc was supplied and dissolved at 50 mol% based on the total diamine, and then PMDA was added on the basis of 4% based on the total acid anhydride.
Polyamic acid polymer A in which 9.5 mol% was supplied and reacted, and 0.5 mol% of acetic anhydride was added to block the acetyl end.
Was adjusted. Subsequently, 44'ODA (50 mol%) and the remaining PMDA were sequentially supplied, and the polymer B was polymerized by stirring at room temperature for about 1 hour. Finally, a solution of a polyamic acid concentration of 20% by weight was prepared, which was a mixed composition of the polymer A and the polymer B in which the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component had a stoichiometry of about 100 mol%.

【0066】このポリアミド酸溶液を氷冷しに無水酢
酸、β−ピコリンを加え撹拌した後、加熱支持性のフィ
ルムとした後、支持体から剥離し、更にイミドへの転化
反応を簡潔すると共に溶媒を乾燥し、厚み10μmのポ
リイミドフィルムとしてロール状に巻き取った(フィル
ムB) DMAc中にPPDを全ジアミン基準で20モル%供給
して溶解させ、続いてPMDAを全酸無水物基準で1
9.8モル%供給して反応させ、無水酢酸を0.5モル
%加えアセチル末端封鎖させたポリアミド酸ポリマーA
を調整した。引き続き44’ODA(80モル%)及び
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下BPDA、
25モル%)、PMDA(55モル%)を順次供給し、
室温で、約1時間攪拌しポリマーBを重合した。最終的
にテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分が約1
00モル%化学量論からなるポリマーAとポリマーBと
の混交組成物から成るポリアミド酸濃度20重量%の溶
液を調製した。
This polyamic acid solution was ice-cooled, and acetic anhydride and β-picoline were added and stirred to form a heat-supporting film, which was then peeled from the support to further simplify the conversion reaction to an imide and to use a solvent. Was dried and wound into a roll as a polyimide film having a thickness of 10 μm (Film B) PPD was supplied and dissolved in DMAc in an amount of 20 mol% based on the total amount of diamine, and then PMDA was added to 1% based on the total amount of acid anhydride.
Polyamic acid polymer A in which 9.8 mol% was supplied and reacted, and 0.5 mol% of acetic anhydride was added to block the acetyl end.
Was adjusted. Subsequently, 44'ODA (80 mol%) and biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter BPDA,
25 mol%) and PMDA (55 mol%) are sequentially supplied,
Polymer B was polymerized by stirring at room temperature for about 1 hour. Finally, the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine component are about 1
A solution having a polyamic acid concentration of 20% by weight was prepared from a mixed composition of polymer A and polymer B having a stoichiometry of 00 mol%.

【0067】このポリアミド酸溶液を氷冷しに無水酢
酸、β−ピコリンを加え撹拌した後、加熱支持性のフィ
ルムとした後、支持体から剥離し、更にイミドへの転化
反応を簡潔すると共に溶媒を乾燥し、厚み45μmのポ
リイミドフィルムとしてロール状に巻き取った(フィル
ムC) 実施例1〜7 このポリイミドフィルム(フィルムA、フィルムBまた
はフィルムC)をトンネル型熱風炉に連続的に送り込
み、室温に冷却しながら巻き取った。熱処理中のフィル
ム張力は送りローラと巻き取りローラの回転速度差で調
節し、熱処理時間は各ローラの相対回転速度で調節し
た。その熱処理されたロールフィルムを直ちに760To
rrのアルゴンガスまたは空気雰囲気中でプラズマ処理し
た。電極幅1m、フィルム走行速度は10m/min〜40
m/min、投入電力は1000W〜1400Wとした。こ
のときの張力は3〜5kg/mとした。
This polyamic acid solution was ice-cooled, acetic anhydride and β-picoline were added, and the mixture was stirred to form a heat-supporting film, which was then peeled from the support to further simplify the conversion reaction to an imide and to use a solvent. Was dried and rolled into a roll as a polyimide film having a thickness of 45 μm (Film C) Examples 1 to 7 This polyimide film (Film A, Film B or Film C) was continuously fed to a tunnel hot air oven at room temperature. It was wound up while cooling. The film tension during heat treatment was adjusted by the difference in rotation speed between the feed roller and the take-up roller, and the heat treatment time was adjusted by the relative rotation speed of each roller. The heat-treated roll film is immediately 760To
Plasma treatment was performed in an atmosphere of argon gas or air at rr. Electrode width 1m, film running speed 10m / min-40
m / min, input power was 1000W to 1400W. The tension at this time was 3 to 5 kg / m.

【0068】その他の条件および結果については表2に
記した。
Other conditions and results are shown in Table 2.

【0069】〔比較例〕比較例1は熱処理のみ、比較例
2は電気処理のみ、比較例3は電気処理を行った後熱処
理を施した。
[Comparative Example] Comparative Example 1 was heat-treated only, Comparative Example 2 was electrical treatment only, and Comparative Example 3 was electrical treatment and then heat-treated.

【0070】比較例4は550℃の高温熱処理を行った
後電気処理を行った。低張力で550℃の高温熱処理を
行うとき収縮によりフィルムに皺が入るため、逆に張力
を高くし搬送する必要があった。また出来たフィルムの
平面性は不良であった。
In Comparative Example 4, a high temperature heat treatment at 550 ° C. was performed, followed by an electric treatment. When the high temperature heat treatment at 550 ° C. is performed with a low tension, the film is wrinkled due to shrinkage, so it is necessary to increase the tension and convey the film. Moreover, the flatness of the produced film was poor.

【0071】結果を表2に記した。The results are shown in Table 2.

【0072】[0072]

【表2】 [Table 2]

【0073】[0073]

【発明の効果】本発明の芳香族ポリイミドフィルムは熱
収縮応力および接着性とが同時に改良されている。
The aromatic polyimide film of the present invention has improved heat shrinkage stress and adhesiveness at the same time.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B29K 79:00 B29K 79:00 B29L 7:00 B29L 7:00 C08L 79:08 C08L 79:08 Z Fターム(参考) 4F071 AA60 AF06 AF34 AF36 AF58 AF61 AG16 AG17 AG18 AG19 AG28 AH12 AH13 BA02 BB02 BC01 BC12 BC17 4F073 AA01 AA29 AA32 BA31 BB01 CA01 CA21 CA45 CA46 CA49 CA62 CA63 CA64 CA65 CA69 GA01 GA03 GA05 HA05 HA12 4F209 AA40 AC03 AD05 AD08 AD32 AG01 AG26 AH36 AM27 AM32 PA13 PA14 PB02 PG01 PG11 PH21 PW05 4J043 PA02 PA04 PA08 PA19 PC065 QB15 QB26 RA05 RA35 SA06 SB01 SB02 TA22 TB01 TB02 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA142 UA151 UB011 UB021 UB061 UB121 UB122 UB131 UB172 UB221 UB281 UB282 UB301 UB302 UB401 UB402 VA011 VA021 VA041 VA051 VA062 XA16 XA19 XB02 XB16 YA06 YA07 YA08 YA13 YA28 YA29 ZA02 ZA31 ZA34 ZA41 ZA60 ZB11 ZB47 ZB50 ZB60 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) // B29K 79:00 B29K 79:00 B29L 7:00 B29L 7:00 C08L 79:08 C08L 79:08 Z F term ( Reference) 4F071 AA60 AF06 AF34 AF36 AF58 AF61 AG16 AG17 AG18 AG19 AG28 AH12 AH13 BA02 BB02 BC01 BC12 BC17 4F073 AA01 AA29 AA32 BA31 BB01 CA01 CA21 CA45 CA46 CA49 CA62 CA63 CA64 CA65 CA69 GA01 GA03 GA05 A05 AD08A03 4F209 4 AH36 AM27 AM32. VA051 VA062 XA16 XA19 XB02 XB16 YA06 YA07 YA08 YA13 YA28 YA29 ZA02 ZA31 ZA34 ZA41 ZA60 ZB11 ZB47 ZB50 ZB60

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 熱収縮応力が10(MPa)以下で表面自
由エネルギーが75[mN/m]〜150[mN/m]
であることを特徴とする低熱収縮応力高接着芳香族ポリ
イミドフィルム。
1. A heat shrinkage stress of 10 (MPa) or less and a surface free energy of 75 [mN / m] to 150 [mN / m].
A low heat shrinkage stress, high adhesion aromatic polyimide film.
【請求項2】 電子スピン密度が1×1015 [spins/
g]以上であることを特徴とする請求項1に記載の低熱
収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルム。
2. The electron spin density is 1 × 10 15 [spins /
g] or more, the low heat shrinkage stress and high adhesion aromatic polyimide film according to claim 1.
【請求項3】 水接触角が55°以下の請求項1または
2に記載の低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィル
ム。
3. The low heat shrinkage stress, high adhesion aromatic polyimide film according to claim 1, which has a water contact angle of 55 ° or less.
【請求項4】 芳香族ポリイミドフィルムが少なくとも
3,4’−オキシジアニリンおよびピロメリット酸二無
水物から重合される請求項1、2および3のいずれかに
記載の低熱収縮応力高接着芳香族ポリイミドフィルム。
4. The low heat shrinkage stress, high adhesion aromatic according to claim 1, wherein the aromatic polyimide film is polymerized from at least 3,4′-oxydianiline and pyromellitic dianhydride. Polyimide film.
【請求項5】 芳香族ポリイミドフィルムが少なくとも
4,4’−オキシジアニリン、パラフェニレンジアミ
ン、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメ
リット酸二無水物から重合される請求項1、2および3
のいずれかに記載される低熱収縮応力高接着芳香族ポリ
イミドフィルム。
5. The aromatic polyimide film is polymerized from at least 4,4′-oxydianiline, paraphenylenediamine, biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride.
A low heat shrinkage stress, high adhesion aromatic polyimide film as described in any one of 1.
【請求項6】芳香族ポリイミドフィルムを200〜50
0℃の温度で熱処理する工程と、その片面または両面に
放電処理を施す工程を経たことを特徴とする熱収縮応力
が10MPa以下、かつ表面自由エネルギーが75〜1
50mN/mである芳香族ポリイミドフィルムの製造方
法。
6. An aromatic polyimide film having a thickness of 200 to 50.
A heat shrinkage stress of 10 MPa or less and a surface free energy of 75 to 1 characterized by undergoing a heat treatment step at a temperature of 0 ° C. and a step of subjecting one or both surfaces to an electric discharge treatment.
A method for producing an aromatic polyimide film having a rate of 50 mN / m.
【請求項7】 前記熱処理時および放電処理時のフィル
ム長手方向の張力が、いずれも10Kg/m以下である
ことを特徴とする請求項6に記載の芳香族ポリイミドフ
ィルムの製造方法。
7. The method for producing an aromatic polyimide film according to claim 6, wherein the tension in the longitudinal direction of the film during the heat treatment and the discharge treatment is 10 kg / m or less.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007091980A (en) * 2005-09-30 2007-04-12 Kaneka Corp Hot melt polyimide film and metal laminate plate by using the same
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