JP2003121484A - Temperature characteristic measuring jig for electronic part, temperature characteristic measuring device with it, and temperature characteristic measuring method for electronic part - Google Patents

Temperature characteristic measuring jig for electronic part, temperature characteristic measuring device with it, and temperature characteristic measuring method for electronic part

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JP2003121484A JP2001311783A JP2001311783A JP2003121484A JP 2003121484 A JP2003121484 A JP 2003121484A JP 2001311783 A JP2001311783 A JP 2001311783A JP 2001311783 A JP2001311783 A JP 2001311783A JP 2003121484 A JP2003121484 A JP 2003121484A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain high reliability for a measurement result of temperature characteristics of an electronic part such as a quartz resonator. SOLUTION: The quartz resonator 10 to be measured and a reference resonator 11 are housed inside a chamber A. A temperature inside the chamber A is set to a predetermined temperature by means of a Pelitier element 6. When a frequency deviation of the reference resonator 11 matching the predetermined temperature is attained, a switching unit 8 is switched for carrying out measuring operation of a resonance frequency on the quartz resonator 10, and a measurement result is outputted to a network analyzer 3.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子等に代
表される電子部品の環境温度変化に伴う特性変化を測定
するために使用される温度特性測定治具及びその測定治
具を備えた温度特性測定装置並びに電子部品の温度特性
測定方法に係る。特に、本発明は、温度特性測定の高精
度化を図るための対策に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention comprises a temperature characteristic measuring jig used for measuring a characteristic change of an electronic component represented by a crystal oscillator or the like due to an environmental temperature change, and a measuring jig thereof. The present invention relates to a temperature characteristic measuring device and a temperature characteristic measuring method for electronic components. In particular, the present invention relates to measures for improving the accuracy of temperature characteristic measurement.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、水晶振動子等の電子部品にあ
っては使用環境の温度変化によって特性がどのように変
化するかを予め知っておくことが必要である。例えば、
水晶振動子の場合、環境温度の変化に応じて共振周波数
やCI(クリスタルインピーダンス)が変化するため、
種々の環境温度における共振周波数やCIを予め測定し
ておくことが必要である。
2. Description of the Related Art Conventionally, it has been necessary to know in advance how electronic parts such as a crystal oscillator change their characteristics due to temperature changes in the operating environment. For example,
In the case of a crystal unit, the resonance frequency and CI (Crystal Impedance) change according to changes in the ambient temperature.
It is necessary to measure the resonance frequency and CI at various environmental temperatures in advance.

【0003】これまで、水晶振動子の周波数温度特性を
測定するための装置としては、大型の温度特性測定装置
が使用されていた。この種の測定装置は、測定温度範囲
(例えば−20℃〜70℃の範囲)において、先ず、測
定室内の温度を−20℃に設定した状態で水晶振動子の
共振周波数を測定し、その後、測定室内の温度を2deg
ずつ上昇させながら、それぞれの温度環境下での共振周
波数を測定していくようにしている。
Heretofore, a large temperature characteristic measuring apparatus has been used as an apparatus for measuring the frequency temperature characteristic of the crystal unit. In this type of measuring device, in the measurement temperature range (for example, in the range of -20 ° C to 70 ° C), first, the resonance frequency of the crystal unit is measured with the temperature inside the measurement chamber set to -20 ° C, and then, The temperature in the measuring room is 2deg
The resonance frequency is measured under each temperature environment while increasing the temperature.

【0004】しかしながら、この種の温度特性測定装置
を使用した測定方法では、予め設定されている測定温度
範囲の全てに亘って共振周波数の測定を完了するまでに
要する時間が長くなり(例えば8時間程度の時間が必要
であり)、水晶振動子の試作段階などのように早期に温
度特性の測定結果が知りたい場合にはその要求に応える
ことができない。
However, in the measuring method using this type of temperature characteristic measuring device, the time required to complete the measurement of the resonance frequency over the entire preset measuring temperature range becomes long (for example, 8 hours). If it is necessary to know the measurement result of the temperature characteristics at an early stage, such as the stage of trial manufacture of a crystal unit, it is not possible to meet the demand.

【0005】そこで、早期に温度特性の測定結果を知り
得るための測定方法として以下の方法が行われている。
つまり、測定対象である水晶振動子を設置可能な測定治
具をπ治具を介してネットワークアナライザに接続す
る。そして、測定治具に水晶振動子を設置し、炭酸ガス
や窒素ガス等の冷却ガスを水晶振動子に吹き付けたり、
温風を水晶振動子に吹き付けたりして水晶振動子周辺の
環境温度を変化させながらネットワークアナライザに表
示される周波数特性を読み取っていくようにしている。
これによれば、水晶振動子の急冷却及び急加熱が可能と
なり、短時間で水晶振動子周辺の環境温度を上記測定温
度範囲内で変化させることができ、温度特性の測定結果
を早期に知ることが可能となる。
Therefore, the following method is used as a measuring method for obtaining the measurement result of the temperature characteristic at an early stage.
That is, a measurement jig on which the crystal oscillator to be measured can be installed is connected to the network analyzer via the π jig. Then, a crystal oscillator is installed on the measurement jig, and a cooling gas such as carbon dioxide gas or nitrogen gas is sprayed on the crystal oscillator,
The frequency characteristics displayed on the network analyzer are read while changing the environmental temperature around the crystal unit by blowing hot air onto the crystal unit.
According to this, the crystal unit can be rapidly cooled and rapidly heated, and the environmental temperature around the crystal unit can be changed within the measurement temperature range in a short time, and the measurement result of the temperature characteristic can be known at an early stage. It becomes possible.

【0006】また、上記冷却ガスを水晶振動子に吹き付
けるのに代えて、ドライアイス等を収容した冷却箱内に
水晶振動子を所定時間入れて冷却しておき、この水晶振
動子を冷却箱から取り出した後に、測定治具に設置し、
温風を吹き付けるなどして水晶振動子を加熱しながら上
記ネットワークアナライザに表示される周波数特性を読
み取っていくことも行われている。
Further, instead of blowing the cooling gas onto the crystal unit, the crystal unit is placed in a cooling box containing dry ice or the like for a predetermined time to cool, and the crystal unit is removed from the cooling box. After taking it out, install it on the measuring jig,
It is also practiced to read the frequency characteristic displayed on the network analyzer while heating the crystal oscillator by blowing warm air.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、温度特性の
測定結果を早期に知ることを可能にした上記各方法で
は、何れも水晶振動子周辺の環境温度を正確に測定する
ことなしにネットワークアナライザに表示される周波数
特性を読み取っているため、温度特性を高精度で測定す
ることは不可能であった。
However, in each of the above methods that enable the measurement result of the temperature characteristic to be known at an early stage, the network analyzer can be used without accurately measuring the ambient temperature around the crystal unit. Since the displayed frequency characteristic is read, it was impossible to measure the temperature characteristic with high accuracy.

【0008】つまり、例えば上記前者の方法では、冷却
ガスを水晶振動子に吹き付ける時間を設定して、この吹
き付け終了後の水晶振動子の温度を予測し、この状態か
ら温度特性測定を開始する。その後、温風を水晶振動子
に吹き付け、この温風の吹き付け時間と水晶振動子の温
度上昇とが比例関係にあると仮定した上で、所定時間毎
に周波数特性を測定していく。つまり、水晶振動子の環
境温度を把握しないまま温度特性を測定していくといっ
た方法であるため、測定結果に高い信頼性が得られてい
るとは言えなかった。
That is, for example, in the former method, the time for blowing the cooling gas to the crystal unit is set, the temperature of the crystal unit after the end of the blowing is predicted, and the temperature characteristic measurement is started from this state. After that, hot air is blown to the crystal oscillator, and the frequency characteristic is measured every predetermined time, assuming that the blowing time of the hot air and the temperature rise of the crystal oscillator are in a proportional relationship. In other words, since it is a method of measuring the temperature characteristic without grasping the environmental temperature of the crystal unit, it cannot be said that the measurement result has high reliability.

【0009】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、水晶振動子等の電子
部品の温度特性の測定結果に高い信頼性が得られるよう
にすることにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a highly reliable measurement result of temperature characteristics of electronic parts such as a crystal resonator. is there.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】−発明の概要− 上記の目的を達成するために、本発明は、測定対象であ
る電子部品と同環境下に置かれた物体を利用して測定空
間の環境温度を認識し、これにより得られた環境温度に
基づいて測定対象である電子部品の温度特性の測定を実
行するようにしている。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above-mentioned object, the present invention uses an object placed under the same environment as an electronic component to be measured to measure the environment of the measurement space. The temperature is recognized, and the temperature characteristic of the electronic component, which is the measurement target, is measured based on the environmental temperature obtained thereby.

【0011】−解決手段− 具体的には、環境温度の変化に伴う電子部品の特性変化
を測定するために使用される測定治具を前提とする。こ
の測定治具に対し、測定対象電子部品を収容するための
測定空間と、この測定空間内の温度を任意に調整可能な
温度調整手段と、測定空間内において、測定対象電子部
品と同様の収容状態に置かれていると共に環境温度に応
じて特性が変化する基準電子部品とを備えさせる。そし
て、基準電子部品の特性を測定し、その測定結果である
特性に対応する環境温度を測定対象電子部品の環境温度
と認識して、この認識した環境温度に関連付けて測定対
象電子部品の特性測定動作を実行するように構成してい
る。
-Solution Means-Specifically, it is premised on a measuring jig used for measuring a characteristic change of an electronic component due to a change in environmental temperature. A measurement space for accommodating the measurement target electronic component, a temperature adjusting means capable of arbitrarily adjusting the temperature in the measurement space, and a storage space similar to the measurement target electronic component in the measurement space. A reference electronic component that is placed in a state and whose characteristics change according to the ambient temperature is provided. Then, the characteristic of the reference electronic component is measured, the environmental temperature corresponding to the characteristic that is the measurement result is recognized as the environmental temperature of the measurement target electronic component, and the characteristic measurement of the measurement target electronic component is performed in association with the recognized environmental temperature. Is configured to perform the action.

【0012】また、他の解決手段として、測定対象電子
部品を収容するための測定空間と、この測定空間内の温
度を任意に調整可能な温度調整手段と、測定空間内にお
いて、測定対象電子部品と同様の収容状態に置かれて測
定空間内の温度を測定する基準電子部品とを備えさせ、
基準電子部品による温度測定結果に基づき、環境温度に
関連付けて測定対象電子部品の特性測定動作を実行する
ように構成している。
As another means for solving the problems, a measuring space for accommodating the electronic component to be measured, a temperature adjusting means capable of arbitrarily adjusting the temperature in the measuring space, and an electronic component to be measured in the measuring space are provided. It is equipped with a reference electronic component that is placed in the same accommodation state as that for measuring the temperature in the measurement space,
Based on the temperature measurement result by the reference electronic component, the characteristic measuring operation of the measurement target electronic component is executed in association with the environmental temperature.

【0013】これらの特定事項により、測定空間内の温
度、つまり、測定対象電子部品の環境温度を高い精度で
測定しながら、この測定対象電子部品の温度特性を測定
することができる。特に、前者の構成においては、環境
温度に応じて特性が変化する基準電子部品を採用したこ
とにより、測定空間の温度を直接測定することなしに環
境温度を認識している。このため、温度変化に対する特
性変化の追従性の高い基準電子部品を採用することによ
り、測定対象電子部品の温度特性を高い精度で測定する
ことが可能になる。
By these specific items, it is possible to measure the temperature in the measurement space, that is, the environmental temperature of the measurement target electronic component with high accuracy while measuring the temperature characteristic of the measurement target electronic component. In particular, in the former configuration, by adopting the reference electronic component whose characteristics change according to the ambient temperature, the ambient temperature is recognized without directly measuring the temperature in the measurement space. For this reason, by adopting the reference electronic component having a high trackability of the characteristic change with respect to the temperature change, it becomes possible to measure the temperature characteristic of the electronic component to be measured with high accuracy.

【0014】具体的な測定動作を行うための構成として
は以下に掲げるものがある。つまり、出力ラインを備え
させ、測定対象電子部品の環境温度が測定実行温度に達
するまでは基準電子部品の特性測定結果を出力ラインに
出力する一方、基準電子部品の特性測定結果により測定
対象電子部品の環境温度が測定実行温度に達したと判断
した時点で測定対象電子部品の特性測定結果を出力ライ
ンに出力する出力切り換え手段を備えさせる。これによ
れば、基準電子部品の特性測定結果の出力ラインと測定
対象電子部品の特性測定結果の出力ラインとを共有化す
ることができ、回路構成の簡素化を図ることができる。
The following are examples of the configuration for performing a specific measurement operation. That is, an output line is provided, and the characteristic measurement result of the reference electronic component is output to the output line until the environmental temperature of the measurement target electronic component reaches the measurement execution temperature, while the measurement target electronic component is output according to the characteristic measurement result of the reference electronic component. An output switching means for outputting the characteristic measurement result of the measurement target electronic component to the output line when it is determined that the environmental temperature has reached the measurement execution temperature. According to this, the output line of the characteristic measurement result of the reference electronic component and the output line of the characteristic measurement result of the measurement target electronic component can be shared, and the circuit configuration can be simplified.

【0015】測定対象電子部品を水晶振動デバイスと
し、基準電子部品も測定対象電子部品と同種の水晶振動
デバイスとした場合には、基準電子部品の周波数偏差を
認識することによって測定空間内の温度を高い精度で測
定することが可能になり、測定対象電子部品の温度特性
を極めて高精度で測定することが可能となる。
When the electronic component to be measured is a crystal vibrating device and the reference electronic component is also a crystal vibrating device of the same type as the electronic component to be measured, the temperature in the measurement space can be determined by recognizing the frequency deviation of the reference electronic component. It is possible to measure with high accuracy, and it is possible to measure the temperature characteristics of the electronic component to be measured with extremely high accuracy.

【0016】更に、この場合、基準電子部品として使用
する水晶振動デバイスは、環境温度に対して周波数偏差
が一意的に決まるものであり、且つ環境温度の変化量に
対する周波数偏差の変化量が、「零周波数温度係数」の
特性を有する水晶振動デバイスのその変化量よりも大き
い特性を有するものとすることが望ましい。ここで言う
「零周波数温度係数」の特性を有する水晶振動デバイス
とは、ある温度(例えば25℃)付近において、環境温
度の変化量に対する周波数偏差の変化量が極端に小さく
なる特性を有するものであり、特性を数式で表した場合
の温度係数が「0」となるものである。ATカット水晶
振動子などでは、この特性を有するものが一般に使用さ
れている。本解決手段の如く、基準電子部品として、環
境温度の変化量に対する周波数偏差の変化量が大きいも
のを採用することにより、基準電子部品の周波数偏差の
測定による測定空間内の温度測定が高精度で行えること
になる。
Further, in this case, the quartz crystal vibration device used as the reference electronic component has a frequency deviation uniquely determined with respect to the environmental temperature, and the variation of the frequency deviation with respect to the variation of the environmental temperature is " It is desirable to have a characteristic larger than the amount of change of the quartz crystal vibrating device having the characteristic of “zero frequency temperature coefficient”. The crystal vibrating device having the characteristic of "zero frequency temperature coefficient" here has a characteristic that the variation of the frequency deviation with respect to the variation of the environmental temperature becomes extremely small near a certain temperature (for example, 25 ° C). Yes, the temperature coefficient when the characteristic is expressed by a mathematical expression is “0”. An AT-cut crystal resonator or the like is generally used that has this characteristic. As in the present solution, by adopting the reference electronic component having a large variation amount of the frequency deviation with respect to the variation amount of the environmental temperature, it is possible to measure the temperature in the measurement space with high accuracy by measuring the frequency deviation of the reference electronic component. You can do it.

【0017】温度調整手段としてペルチェ素子を採用し
た場合には、測定空間内の温度を容易に任意の値に設定
することができ、且つ加熱源及び冷熱源の小型化を図る
ことができて治具全体の小型化を図ることができる。ま
た、従来のような冷却ガスを使用することなしに環境温
度を降下させることができるため、コストの削減を図る
こともできる。
When a Peltier element is used as the temperature adjusting means, the temperature in the measurement space can be easily set to an arbitrary value, and the heating source and the cooling heat source can be downsized, which is a cure. It is possible to reduce the size of the entire tool. Further, since the environmental temperature can be lowered without using a cooling gas as in the conventional case, the cost can be reduced.

【0018】上述した温度特性測定治具にその測定結果
を出力するための出力手段を接続して構成される温度特
性測定装置も本発明の技術的思想の範疇である。特に、
この出力手段としてネットワークアナライザを使用した
場合には、測定対象電子部品の温度変化に伴う共振特性
の変化の状態を連続的にモニタすることが可能となる。
例えば、水晶振動デバイスの共振周波数を測定する際の
スプリアスの発生及びその変化の状態を連続的にモニタ
できる。また、測定したい温度点近傍で、所定温度毎に
ネットワークアナライザで計測された共振波形を数値デ
ータとして記憶するという動作を繰り返すようにすれ
ば、温度変化に伴う連続的な共振波形の変化の様子を記
録、確認できる。これによって、不具合モードの特定等
を行う際に有効なデータを取得することができる。
A temperature characteristic measuring device constructed by connecting an output means for outputting the measurement result to the temperature characteristic measuring jig described above is also within the scope of the technical idea of the present invention. In particular,
When a network analyzer is used as this output means, it becomes possible to continuously monitor the state of change in the resonance characteristics of the measurement target electronic component due to temperature change.
For example, it is possible to continuously monitor the state of spurious generation and its change when measuring the resonance frequency of the crystal vibrating device. Also, by repeating the operation of storing the resonance waveform measured by the network analyzer for each predetermined temperature as numerical data in the vicinity of the temperature point to be measured, the continuous change of the resonance waveform due to the temperature change can be seen. You can record and check. This makes it possible to obtain effective data when specifying the failure mode and the like.

【0019】また、これら温度特性測定治具や温度特性
測定装置により実行される温度特性測定方法も本発明の
技術的思想の範疇である。
The temperature characteristic measuring method executed by the temperature characteristic measuring jig and the temperature characteristic measuring device is also within the scope of the technical idea of the present invention.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。本形態では温度特性の測定対象で
ある電子部品として水晶振動子を適用した場合について
説明する。つまり、環境温度に応じて水晶振動子の共振
周波数がどのように変化するかを測定するための治具及
び装置として本発明を適用した場合について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, a case where a crystal oscillator is applied as an electronic component whose temperature characteristic is measured will be described. That is, a case will be described in which the present invention is applied as a jig and a device for measuring how the resonance frequency of the crystal unit changes according to the ambient temperature.

【0021】(第1実施形態) −温度特性測定装置の構成説明− 図1は本形態に係る温度特性測定装置1の概略構成を示
す図である。この図に示すように、本温度特性測定装置
1は、温度特性測定治具2と、この温度特性測定治具2
に接続された出力手段としてのネットワークアナライザ
3とを備えている。以下、温度特性測定治具2について
説明する。
(First Embodiment) -Description of Configuration of Temperature Characteristic Measuring Apparatus-FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a temperature characteristic measuring apparatus 1 according to the present embodiment. As shown in this figure, the temperature characteristic measuring device 1 includes a temperature characteristic measuring jig 2 and a temperature characteristic measuring jig 2
And a network analyzer 3 as output means connected to the. The temperature characteristic measuring jig 2 will be described below.

【0022】この温度特性測定治具2は、測定対象であ
る水晶振動子10及び後述する基準振動子11を共に載
置可能な治具ベース4、この治具ベース4との間でチャ
ンバ(測定空間)Aを構成する開閉自在なカバー5、こ
のカバー5の上面に密着された温度調整手段としてのペ
ルチェ素子6、このペルチェ素子6の上面に密着された
ヒートシンク7を備えている。
The temperature characteristic measuring jig 2 is a jig base 4 on which both the crystal oscillator 10 to be measured and a reference oscillator 11 described later can be placed, and a chamber (measurement An openable / closable cover 5 that constitutes a space A, a Peltier element 6 as a temperature adjusting means that is in close contact with the upper surface of the cover 5, and a heat sink 7 that is in close contact with the upper surface of the Peltier element 6.

【0023】上記治具ベース4は、平板状であって、そ
の上面に測定対象電子部品としての水晶振動子10を載
置するための第1凹部41及び基準電子部品としての基
準振動子11を載置するための第2凹部42がそれぞれ
形成されている。また、この治具ベース4には、水晶振
動子10及び基準振動子11が載置された状態で、これ
ら振動子10,11の図示しない外部端子に対応した位
置にベース厚さ方向に貫通する貫通孔43,44が形成
されている。そして、これら貫通孔43,44には各振
動子10,11の外部端子に接触可能な第1及び第2の
コンタクトプローブ45,46が挿通されている。ここ
では、第1凹部41に臨むものを第1コンタクトプロー
ブ45,45と呼び、第2凹部42に臨むものを第2コ
ンタクトプローブ46,46と呼ぶ。
The jig base 4 has a flat plate shape, and has a first concave portion 41 for mounting the crystal resonator 10 as an electronic component to be measured and a reference oscillator 11 as a reference electronic component on the upper surface thereof. Second recesses 42 for mounting are formed respectively. Further, in a state where the crystal oscillator 10 and the reference oscillator 11 are mounted on the jig base 4, the oscillator 10 and 11 penetrate in the base thickness direction at positions corresponding to external terminals (not shown). Through holes 43 and 44 are formed. Then, the first and second contact probes 45, 46 capable of contacting the external terminals of the vibrators 10, 11 are inserted through the through holes 43, 44. Here, those facing the first recess 41 are referred to as first contact probes 45, 45, and those facing the second recess 42 are referred to as second contact probes 46, 46.

【0024】上記カバー5は、薄板状のアルミニウムに
よって形成された断面ハット状の部材であって、治具ベ
ース4に取り付けられた状態では、その外周縁部51の
全周囲が治具ベース4に密着して治具ベース4との間で
構成するチャンバAを密閉空間とするようになってい
る。更に、このカバー5の高さ寸法は、各凹部41,4
2の底面とカバー5の上面との間隔寸法が振動子10,
11の高さ寸法に一致するように設定されている。つま
り、治具ベース4に振動子10,11を載置した状態で
カバー5を治具ベース4上に取り付けることにより、こ
のカバー5と振動子10,11の上面とが密着する構成
とされている。尚、治具ベース4に対するカバー5の取
り付け構造としてはボルト止めその他の締結手段が採用
されている。また、このカバー5の構成材料としては、
アルミニウムに限らず熱伝導率の高い材料であればよ
く、例えば銅等も採用可能である。このような材料を採
用することにより、ペルチェ素子6からの温熱または冷
熱をチャンバA内に迅速且つ均一に伝達することが可能
となる。
The cover 5 is a hat-shaped member made of thin plate aluminum and has a hat-shaped cross section. When the cover 5 is attached to the jig base 4, the entire periphery of the outer peripheral edge portion 51 is the jig base 4. The chamber A, which is in close contact with the jig base 4 and constitutes the closed space, is formed. Further, the height dimension of the cover 5 is such that
The distance between the bottom surface of 2 and the top surface of the cover 5 is the vibrator 10,
It is set to match the height dimension of 11. That is, by mounting the cover 5 on the jig base 4 with the vibrators 10 and 11 placed on the jig base 4, the cover 5 and the upper surfaces of the vibrators 10 and 11 are in close contact with each other. There is. As a structure for attaching the cover 5 to the jig base 4, bolting or other fastening means is adopted. Moreover, as a constituent material of the cover 5,
The material is not limited to aluminum as long as it has a high thermal conductivity, and copper or the like can be used. By adopting such a material, it becomes possible to quickly and uniformly transfer the hot or cold heat from the Peltier element 6 into the chamber A.

【0025】上記ペルチェ素子6は、図示しないが半導
体を一対の金属板で挟んで構成されたものであって、電
流の通電により一方の面で吸熱が他方の面で発熱がそれ
ぞれ生じるよう構成されたものである。そして、電流の
方向を切り換えることによって吸熱面と発熱面とを切り
換えることが可能であり、これによってカバー5を介し
てチャンバA内の冷却と加熱とを切り換えることが可能
となっている。このペルチェ素子6に対する印加電圧と
表裏面に発生する温度差との関係は、例えば印加電圧を
0〜15Vの範囲で調整することにより、表裏面に発生
する温度差を0〜90degの範囲内で所望の値に設定す
ることができるようになっている。これにより、チャン
バA内の温度を−20℃〜+70℃の範囲で任意の値に
設定することが可能である。
Although not shown, the Peltier element 6 is formed by sandwiching a semiconductor between a pair of metal plates, and is constructed so that heat is absorbed on one surface and heat is generated on the other surface when a current is applied. It is a thing. Then, the heat absorption surface and the heat generation surface can be switched by switching the direction of the electric current, which makes it possible to switch cooling and heating inside the chamber A through the cover 5. The relationship between the applied voltage to the Peltier element 6 and the temperature difference generated on the front and back surfaces is, for example, by adjusting the applied voltage in the range of 0 to 15 V, so that the temperature difference generated on the front and back surfaces is within the range of 0 to 90 deg. It can be set to a desired value. Thereby, the temperature in the chamber A can be set to an arbitrary value within the range of -20 ° C to + 70 ° C.

【0026】上記ヒートシンク7は、ペルチェ素子6の
上面側の放熱を促進するためのものであって、ヒートシ
ンク下面の略全面がペルチェ素子6の上面の全面に密着
していると共に、ヒートシンク上面には複数枚の放熱フ
ィン71,71,…が形成されている。
The heat sink 7 is for promoting heat dissipation on the upper surface side of the Peltier element 6, and substantially the entire lower surface of the heat sink is in close contact with the entire upper surface of the Peltier element 6, and the upper surface of the heat sink is A plurality of radiating fins 71, 71, ... Are formed.

【0027】次に、上述の如く構成された温度特性測定
治具2とネットワークアナライザ3との接続状態につい
て説明する。温度特性測定治具2の第1凹部41に臨む
第1コンタクトプローブ45,45及び第2凹部42に
臨む第2コンタクトプローブ46,46は出力切り換え
手段としてのスイッチングユニット8を介してネットワ
ークアナライザ3に接続されている。このスイッチング
ユニット8は、図中破線で示すように第1コンタクトプ
ローブ45,45をネットワークアナライザ3に接続す
る状態と、図中実線で示すように第2コンタクトプロー
ブ46,46をネットワークアナライザ3に接続する状
態とが切り換え可能となっている。この切り換え動作に
より、前者の場合には、測定対象である水晶振動子10
の周波数特性がネットワークアナライザ3に表示される
一方、後者の場合には、基準振動子11の周波数特性が
ネットワークアナライザ3に表示されることになる。
Next, the connection state between the temperature characteristic measuring jig 2 and the network analyzer 3 configured as described above will be described. The first contact probes 45, 45 facing the first recess 41 of the temperature characteristic measuring jig 2 and the second contact probes 46, 46 facing the second recess 42 are connected to the network analyzer 3 via the switching unit 8 as an output switching means. It is connected. This switching unit 8 connects the first contact probes 45, 45 to the network analyzer 3 as shown by the broken line in the figure, and connects the second contact probes 46, 46 to the network analyzer 3 as shown by the solid line in the figure. It is possible to switch between the state of turning on and the state of turning on. Due to this switching operation, in the former case, the crystal resonator 10 to be measured is
While the frequency characteristic of 1 is displayed on the network analyzer 3, the frequency characteristic of the reference oscillator 11 is displayed on the network analyzer 3 in the latter case.

【0028】次に、上記基準振動子11について説明す
る。本形態における測定対象である水晶振動子10がA
Tカット水晶振動子である場合、この基準振動子11と
してもATカット水晶振動子が採用される。また、この
基準振動子11は、測定対象である水晶振動子10のパ
ッケージと同一材料及び同一形状のパッケージを備えて
いる。そして、この基準振動子11としては、以下の周
波数温度特性を備えたものが採用されている。一般的に
使用されるATカット水晶振動子は、図2(環境温度と
周波数偏差との関係を示す図)に破線で示すように、あ
る温度(図2のものでは25℃)付近において、環境温
度の変化量に対する周波数偏差の変化量が小さくなる特
性のものが使用されている。これは、この温度付近で使
用した場合に、環境温度がある程度変化しても周波数偏
差の変動が抑えられるようにして水晶振動子に安定した
性能を維持させるためである。これに対し、基準振動子
11として採用されるATカット水晶振動子は、図2に
実線で示すように、何れの温度域においても環境温度の
変化量に対する周波数偏差の変化量が上記一般的なAT
カット水晶振動子よりも大きくなっている特性のものが
使用されている。言い換えると、周波数偏差の値と環境
温度の値とが高い精度で一意的に対応している特性のも
のである。上記一般的なATカット水晶振動子の特性
は、この特性を数式で表した場合の温度係数が「0」の
ものであり、一般に「零周波数温度係数」の特性を有す
るものと呼ばれている。これに対し、上記基準振動子1
1として採用されるATカット水晶振動子は、上記一般
的なATカット水晶振動子に用いられている水晶片とは
切断角度が異なる水晶片を使用したものであって、温度
に対して周波数偏差が一意的に決まる特性を有してお
り、零周波数温度係数の特性を有する振動子に対して反
時計回り(またはCCW方向)に回転した特性と呼ばれ
ている。
Next, the reference oscillator 11 will be described. In the present embodiment, the crystal oscillator 10 that is the measurement target is A
In the case of a T-cut crystal oscillator, an AT-cut crystal oscillator is also used as this reference oscillator 11. Further, the reference oscillator 11 includes a package of the same material and the same shape as the package of the crystal oscillator 10 to be measured. As the reference oscillator 11, one having the following frequency-temperature characteristic is adopted. A commonly used AT-cut crystal unit has an environment near a certain temperature (25 ° C. in FIG. 2) as shown by a broken line in FIG. 2 (a diagram showing the relationship between environmental temperature and frequency deviation). A characteristic is used in which the amount of change in frequency deviation with respect to the amount of change in temperature is small. This is because when used near this temperature, fluctuations in frequency deviation are suppressed even if the environmental temperature changes to some extent, and the crystal resonator maintains stable performance. On the other hand, in the AT-cut crystal unit used as the reference oscillator 11, as shown by the solid line in FIG. AT
It has a characteristic that it is larger than the cut crystal unit. In other words, the value of the frequency deviation and the value of the environmental temperature uniquely correspond to each other with high accuracy. The characteristics of the general AT-cut crystal resonator described above have a temperature coefficient of "0" when this characteristic is expressed by a mathematical expression, and are generally called "zero frequency temperature coefficient" characteristics. . On the other hand, the reference oscillator 1
The AT-cut crystal unit adopted as No. 1 uses a crystal unit having a cutting angle different from that of the crystal unit used in the general AT-cut crystal unit, and has a frequency deviation with respect to temperature. Has a characteristic that is uniquely determined, and is called a characteristic rotated counterclockwise (or CCW direction) with respect to a vibrator having a characteristic of zero frequency temperature coefficient.

【0029】このような基準振動子11を採用すること
により、この基準振動子11の周波数偏差を測定すれば
チャンバA内の温度が高精度で測定することができるよ
うになっている。
By adopting such a reference oscillator 11, the temperature inside the chamber A can be measured with high accuracy by measuring the frequency deviation of the reference oscillator 11.

【0030】尚、上述した如く、基準振動子11は、測
定対象である水晶振動子10と同種のもの(上述のもの
では何れもATカット水晶振動子)であることが好まし
いが、互いに異なる種類の水晶振動子であってもよい。
例えば、測定対象である水晶振動子10がATカット水
晶振動子であるのに対し、基準振動子11として音叉型
水晶振動子やBTカット水晶振動子等を採用してもよ
い。これらの振動子は図3に示すように2次の温度特性
を有する。この場合、図中に破線で示す二次曲線の頂点
を25℃程度に設定した場合には、上記測定温度範囲内
において周波数偏差の値と環境温度の値とを一意的に対
応させることができない。このため、これらの振動子を
基準振動子11として採用する場合には、図中二次曲線
の頂点を大幅に高い値若しくは大幅に低い値に設定し、
上記測定温度範囲内において周波数偏差の値と環境温度
の値とを一意的に対応させることができるようにしてお
くことが好ましい(図中に実線で示す二次曲線では頂点
を70℃に設定している)。これは水晶片の切断角度を
適切に設定することにより容易に得ることができる。
As described above, the reference oscillator 11 is preferably of the same type as the crystal oscillator 10 to be measured (all of the above are AT-cut crystal oscillators), but different types. It may be a crystal oscillator.
For example, while the crystal oscillator 10 to be measured is an AT cut crystal oscillator, a tuning fork type crystal oscillator or a BT cut crystal oscillator may be adopted as the reference oscillator 11. These vibrators have a second-order temperature characteristic as shown in FIG. In this case, if the vertex of the quadratic curve shown by the broken line in the figure is set to about 25 ° C., the value of the frequency deviation and the value of the environmental temperature cannot be uniquely associated with each other within the measured temperature range. . Therefore, when adopting these oscillators as the reference oscillator 11, the vertex of the quadratic curve in the figure is set to a significantly high value or a significantly low value,
It is preferable that the value of the frequency deviation and the value of the environmental temperature can be uniquely associated with each other within the above measurement temperature range (the peak is set to 70 ° C. in the quadratic curve shown by the solid line in the figure). ing). This can be easily obtained by appropriately setting the cutting angle of the crystal piece.

【0031】−温度特性測定装置1による測定動作の説
明− 次に、上述の如く構成された温度特性測定装置1による
水晶振動子10の周波数温度特性の測定動作について説
明する。本形態では、測定温度範囲を−20℃〜+70
℃とし、チャンバ内温度を−20℃とした後に周波数温
度特性の測定を開始し、2deg毎に+70℃まで水晶振
動子10の周波数温度特性の測定を順次行っていく場合
について説明する。
-Explanation of Measuring Operation by Temperature Characteristic Measuring Device 1- Next, the measuring operation of the frequency temperature characteristic of the crystal unit 10 by the temperature characteristic measuring device 1 constructed as described above will be explained. In this embodiment, the measurement temperature range is −20 ° C. to +70.
A case will be described in which the measurement of the frequency-temperature characteristic is started after the temperature is set to be 0 ° C. and the chamber temperature is set to −20 ° C., and the frequency-temperature characteristic of the crystal resonator 10 is sequentially measured up to + 70 ° C. every 2 deg.

【0032】先ず、カバー5を治具ベース4から取り外
してチャンバA内空間を開放し、上記各振動子10,1
1を各凹部41,42内にそれぞれ載置する。この載置
後、カバー5を治具ベース4に取り付けてチャンバAを
密閉空間とする。また、スイッチングユニット8は、図
1に実線で示すように、第2コンタクトプローブ46,
46をネットワークアナライザ3に接続する状態とし、
基準振動子11の周波数特性がネットワークアナライザ
3に表示されるようにしておく。
First, the cover 5 is removed from the jig base 4 to open the inner space of the chamber A, and the vibrators 10 and 1 described above are opened.
1 is placed in each recess 41, 42. After this placement, the cover 5 is attached to the jig base 4 to make the chamber A a closed space. Further, the switching unit 8 includes the second contact probe 46, as shown by the solid line in FIG.
46 is connected to the network analyzer 3,
The frequency characteristic of the reference oscillator 11 is displayed on the network analyzer 3.

【0033】この状態からペルチェ素子6に通電を行
い、その下面が吸熱動作を、上面が放熱動作を行うよう
にする。これにより、チャンバA内空間は冷却されてい
く。この場合にペルチェ素子6に印加される電圧は下面
温度が−20℃となる値である。この冷却動作に伴って
基準振動子11は共振周波数が変化していく。この変化
の状態はネットワークアナライザ3に表示される。
From this state, the Peltier element 6 is energized so that its lower surface performs a heat absorbing operation and its upper surface performs a heat radiating operation. As a result, the space inside the chamber A is cooled. In this case, the voltage applied to the Peltier device 6 has a value such that the lower surface temperature is −20 ° C. The resonance frequency of the reference oscillator 11 changes with the cooling operation. The state of this change is displayed on the network analyzer 3.

【0034】そして、基準振動子11の周波数偏差が環
境温度−20℃における値に一致した時点で周波数温度
特性の測定を開始する。つまり、スイッチングユニット
8を、図1に破線で示すように、第1コンタクトプロー
ブ45,45がネットワークアナライザ3に接続する状
態とし、測定対象である水晶振動子10の周波数特性が
ネットワークアナライザ3に表示されるようにする。そ
して、この状態をネットワークアナライザ3の記憶装置
に記憶するか若しくは出力する。
Then, when the frequency deviation of the reference oscillator 11 coincides with the value at the ambient temperature of -20 ° C., the measurement of the frequency temperature characteristic is started. That is, the switching unit 8 is brought into a state in which the first contact probes 45, 45 are connected to the network analyzer 3, as shown by the broken line in FIG. 1, and the frequency characteristic of the crystal oscillator 10 to be measured is displayed on the network analyzer 3. To be done. Then, this state is stored in the storage device of the network analyzer 3 or output.

【0035】その後、スイッチングユニット8を図1に
実線で示すように再び切り換えると共に、下面温度が−
18℃となる電圧をペルチェ素子6に印加する。これに
より、チャンバA内空間の温度は上昇していき、それに
伴って基準振動子11の共振周波数が変化していく。こ
の変化の状態はネットワークアナライザ3に表示され
る。
Thereafter, the switching unit 8 is switched again as shown by the solid line in FIG.
A voltage of 18 ° C. is applied to the Peltier device 6. As a result, the temperature of the space inside the chamber A rises, and the resonance frequency of the reference oscillator 11 changes accordingly. The state of this change is displayed on the network analyzer 3.

【0036】そして、基準振動子11の周波数偏差が環
境温度−18℃における値に一致した時点で、スイッチ
ングユニット8を図1に破線で示す状態に切り換えて、
測定対象である水晶振動子10の周波数特性をネットワ
ークアナライザ3に表示させ、この状態をネットワーク
アナライザ3の記憶装置に記憶若しくは出力する。
Then, when the frequency deviation of the reference oscillator 11 coincides with the value at the ambient temperature of -18 ° C., the switching unit 8 is switched to the state shown by the broken line in FIG.
The frequency characteristic of the crystal resonator 10 to be measured is displayed on the network analyzer 3, and this state is stored or output in the storage device of the network analyzer 3.

【0037】その後、再びスイッチングユニット8を図
1に実線で示すように切り換え、下面温度が−16℃と
なる電圧をペルチェ素子6に印加する。
After that, the switching unit 8 is switched again as shown by the solid line in FIG. 1, and the voltage at which the lower surface temperature becomes −16 ° C. is applied to the Peltier element 6.

【0038】このようなペルチェ素子6への印加電圧の
切り換えに伴う基準振動子11の周波数偏差の測定と水
晶振動子10の周波数特性の測定とを交互に行ってい
き、チャンバA内温度が+70℃になるまでチャンバA
内の環境温度を次第に上昇させながら2deg毎に水晶振
動子10の周波数特性の測定を行っていく。尚、チャン
バA内の環境温度を常温以上に高める場合には、ペルチ
ェ素子6の下面が放熱動作を上面が吸熱動作をそれぞれ
行うことになる。そして、+70℃での水晶振動子10
の周波数特性の測定が終了すると、ペルチェ素子6への
通電を停止し、カバー5を開放して水晶振動子10をチ
ャンバA内から取り出して周波数温度特性の測定作業を
終了する。
The measurement of the frequency deviation of the reference oscillator 11 and the measurement of the frequency characteristic of the crystal oscillator 10 due to the switching of the applied voltage to the Peltier element 6 are alternately performed, and the temperature in the chamber A is +70. Chamber A up to ℃
The frequency characteristic of the crystal resonator 10 is measured every 2 deg while gradually increasing the internal environmental temperature. When the environmental temperature in the chamber A is raised to room temperature or higher, the lower surface of the Peltier element 6 performs the heat radiation operation and the upper surface thereof performs the heat absorption operation. And the crystal oscillator 10 at + 70 ° C
When the measurement of the frequency characteristic is completed, the power supply to the Peltier element 6 is stopped, the cover 5 is opened, the crystal oscillator 10 is taken out from the chamber A, and the measurement operation of the frequency temperature characteristic is completed.

【0039】−実施形態の効果− 以上説明したように、本形態では、チャンバA内に基準
振動子11を収容しておき、この特性(周波数偏差)を
認識することにより測定対象である水晶振動子10の環
境温度を認識するようにしている。このため、環境温度
を正確に認識しながら共振周波数の測定を行うことがで
き、共振周波数測定結果に高い信頼性を得ることができ
る。特に、本形態では、基準振動子11を水晶振動子1
0と同種のものとして採用しているため、より高い精度
で水晶振動子10の共振周波数を測定することが可能で
ある。特に、基準振動子11の特性を予め正確に測定し
ておくことによって、測定結果の校正を必要とすること
なしに正確な測定結果を得ることができる。
-Effect of Embodiment-As described above, in the present embodiment, the reference oscillator 11 is housed in the chamber A, and the crystal vibration to be measured is recognized by recognizing this characteristic (frequency deviation). The ambient temperature of the child 10 is recognized. Therefore, the resonance frequency can be measured while accurately recognizing the ambient temperature, and the reliability of the resonance frequency measurement result can be obtained. Particularly, in the present embodiment, the reference oscillator 11 is replaced by the crystal oscillator 1
Since it is adopted as the same type as 0, it is possible to measure the resonance frequency of the crystal resonator 10 with higher accuracy. In particular, by accurately measuring the characteristics of the reference oscillator 11 in advance, it is possible to obtain an accurate measurement result without requiring calibration of the measurement result.

【0040】また、本形態の回路構成によれば、温度特
性測定治具2の出力ラインに同一の付加容量を設けた状
態で共振周波数を測定することも可能である。つまり、
水晶振動子10の実装状態における共振周波数を正確に
測定することが可能である。
Further, according to the circuit configuration of the present embodiment, it is possible to measure the resonance frequency with the same additional capacitance provided on the output line of the temperature characteristic measuring jig 2. That is,
It is possible to accurately measure the resonance frequency in the mounted state of the crystal unit 10.

【0041】(第2実施形態)次に、第2実施形態につ
いて説明する。本形態は上記基準振動子11に変えて疑
似電子部品12を備えさせたものである。従って、ここ
では第1実施形態との相違点についてのみ説明する。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment will be described. In this embodiment, a pseudo electronic component 12 is provided instead of the reference oscillator 11. Therefore, only the differences from the first embodiment will be described here.

【0042】図4は本形態に係る温度特性測定装置1の
概略構成を示す図である。この図に示すように、本温度
特性測定装置1は、上記基準振動子11に代えて疑似電
子部品12を備えている。この疑似電子部品12は、測
定対象である水晶振動子10のパッケージと同一材料及
び同一形状のパッケージを備えており、このパッケージ
内に熱電対等の温度センサ13が収容されて構成されて
いる。そして、この温度センサ13の出力ラインはパッ
ケージの底板及び治具ベース4に形成された小径の貫通
孔を経てネットワークアナライザ3に接続されている。
つまり、本形態のものは、疑似電子部品12のパッケー
ジ内の温度を常時監視しながら水晶振動子10の周波数
特性の測定を行っていくようにしている。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of the temperature characteristic measuring apparatus 1 according to this embodiment. As shown in this figure, the temperature characteristic measuring apparatus 1 includes a pseudo electronic component 12 instead of the reference oscillator 11. The pseudo electronic component 12 includes a package of the same material and the same shape as the package of the crystal resonator 10 to be measured, and the temperature sensor 13 such as a thermocouple is housed in the package. The output line of the temperature sensor 13 is connected to the network analyzer 3 through a small-diameter through hole formed in the bottom plate of the package and the jig base 4.
That is, in the present embodiment, the frequency characteristic of the crystal unit 10 is measured while constantly monitoring the temperature inside the package of the pseudo electronic component 12.

【0043】本形態の温度特性測定装置1による測定動
作の説明としては、先ず、上記第1実施形態の場合と同
様にしてチャンバA内温度を−20℃に設定する。この
温度の監視は疑似電子部品12に収容されている温度セ
ンサ13によって行う。つまり、この温度センサ13の
検知温度が−20℃に達した時点から水晶振動子10の
周波数温度特性の測定を開始する。この測定の開始後、
温度センサ13の検知温度が2degだけ上昇する毎に水
晶振動子10の周波数温度特性の測定を実行し、温度セ
ンサ13の検知温度が+70℃に達するまでこの測定動
作を順次行っていく。
As an explanation of the measuring operation by the temperature characteristic measuring apparatus 1 of the present embodiment, first, the temperature inside the chamber A is set to -20 ° C. as in the case of the first embodiment. The temperature is monitored by the temperature sensor 13 housed in the pseudo electronic component 12. That is, the measurement of the frequency-temperature characteristic of the crystal unit 10 is started from the time when the temperature detected by the temperature sensor 13 reaches -20 ° C. After starting this measurement,
Each time the temperature detected by the temperature sensor 13 rises by 2 deg, the frequency temperature characteristic of the crystal unit 10 is measured, and this measurement operation is sequentially performed until the temperature detected by the temperature sensor 13 reaches + 70 ° C.

【0044】本形態によれば、水晶振動子10内部の水
晶と同環境下に置かれた温度センサ13によって環境温
度を測定するようにしているので、水晶振動子10の環
境温度を正確に認識しながら共振周波数の測定を行うこ
とができ、共振周波数測定結果に高い信頼性を得ること
ができる。
According to this embodiment, the ambient temperature is measured by the temperature sensor 13 placed in the same environment as the crystal inside the crystal oscillator 10, so that the ambient temperature of the crystal oscillator 10 can be accurately recognized. However, the resonance frequency can be measured, and the resonance frequency measurement result can be highly reliable.

【0045】−その他の実施形態− 上述した各実施形態では、温度特性の測定対象である電
子部品として水晶振動子を適用した場合について説明し
た。本発明はこれに限らず、水晶フィルタ、IC等の種
々の電子部品の温度特性の測定に適用することが可能で
ある。
-Other Embodiments- In each of the above-described embodiments, the case where the crystal unit is applied as the electronic component whose temperature characteristic is to be measured has been described. The present invention is not limited to this, and can be applied to measurement of temperature characteristics of various electronic components such as a crystal filter and an IC.

【0046】また、環境温度の変化に伴う水晶振動子1
0の共振周波数の変化を測定するようにしていたが、C
I(クリスタルインピーダンス)を測定するようにして
もよい。
Further, the crystal unit 1 associated with the change in environmental temperature
I tried to measure the change of the resonance frequency of 0, but C
You may make it measure I (crystal impedance).

【0047】また、上記各実施形態では、チャンバ内温
度を測定温度範囲の下限値まで一旦降下させた後にチャ
ンバ内温度を上昇させながら温度特性の測定を実行する
ようにしていたが、逆に、チャンバ内温度を測定温度範
囲の上限値まで一旦上昇させた後にチャンバ内温度を降
下させながら温度特性の測定を実行するようにしてもよ
い。また、温度特性測定の更なる高精度化を図るために
は、これら両動作によって温度特性をそれぞれ測定する
ことが好ましい。また、測定温度範囲は上述した範囲に
限るものではない。
Further, in each of the above embodiments, the temperature characteristic is measured while the chamber temperature is once lowered to the lower limit value of the measurement temperature range and then the chamber temperature is increased. The temperature characteristics may be measured while the temperature inside the chamber is lowered after the temperature inside the chamber is once raised to the upper limit value of the measurement temperature range. Further, in order to further improve the accuracy of the temperature characteristic measurement, it is preferable to measure the temperature characteristic by both of these operations. The measurement temperature range is not limited to the above range.

【0048】更に、チャンバ内温度を調整するための手
段としてはペルチェ素子6を使用したが、本発明はこれ
に限るものではなく、個別の冷熱源と温熱源とを備えさ
せ、それぞれの動作によってチャンバ内温度を調整する
ようにしてもよい。但し、装置全体の小型化を図るため
には上記ペルチェ素子6を採用することが最も好まし
い。
Further, although the Peltier element 6 is used as the means for adjusting the temperature in the chamber, the present invention is not limited to this, and it is possible to provide an individual cold heat source and a warm heat source, depending on the respective operations. You may make it adjust the temperature in a chamber. However, it is most preferable to adopt the Peltier element 6 in order to reduce the size of the entire apparatus.

【0049】また、上述した第1実施形態では1台のネ
ットワークアナライザ3に対してスイッチングユニット
8によって各振動子10,11の接続状態を切り換える
ようにしていたが、各振動子10,11それぞれに個別
のネットワークアナライザを接続してもよい。これによ
れば、水晶振動子10の共振周波数を常時モニタするこ
とが可能になる。
Further, in the above-mentioned first embodiment, the connection state of each vibrator 10, 11 is switched by the switching unit 8 for one network analyzer 3, but each vibrator 10, 11 is connected. A separate network analyzer may be connected. According to this, it becomes possible to constantly monitor the resonance frequency of the crystal unit 10.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、測定対
象電子部品とは別に環境温度認識のための基準電子部品
を備えさせることにより、測定対象電子部品の環境温度
を高い精度で測定しながら、この測定対象電子部品の温
度特性を測定することができるようにしている。その結
果、測定対象電子部品の温度特性測定結果の信頼性の向
上を図ることができる。
As described above, according to the present invention, the reference electronic component for environmental temperature recognition is provided separately from the electronic component to be measured, so that the environmental temperature of the electronic component to be measured can be measured with high accuracy. However, the temperature characteristic of the electronic component to be measured can be measured. As a result, the reliability of the temperature characteristic measurement result of the measurement target electronic component can be improved.

【0051】また、出力切り換え手段を備えさせて、基
準電子部品の特性測定結果を出力ラインに出力する状態
と、測定対象電子部品の特性測定結果を出力ラインに出
力する状態とを切り換え可能とした場合には、出力ライ
ンの共有化が図れ、回路構成の簡素化に伴って治具の実
用性の向上を図ることができる。
Further, by providing the output switching means, it is possible to switch between a state in which the characteristic measurement result of the reference electronic component is output to the output line and a state in which the characteristic measurement result of the measurement target electronic component is output to the output line. In this case, the output lines can be shared, and the practicality of the jig can be improved with the simplification of the circuit configuration.

【0052】また、測定対象電子部品を水晶振動デバイ
スとし、基準電子部品も測定対象電子部品と同種の水晶
振動デバイスとした場合であって、この基準電子部品に
おける環境温度の変化量に対する周波数偏差の変化量が
「零周波数温度係数」の特性を有するものよりも大きい
特性を有するものとした場合には、基準電子部品の周波
数偏差を測定することによる測定空間内の温度の測定が
高精度で行え、極めて信頼性の高い温度特性測定結果を
得ることができる。
In the case where the measurement target electronic component is a crystal vibrating device and the reference electronic component is a crystal vibrating device of the same type as the measurement target electronic component, the frequency deviation of the reference electronic component with respect to the amount of change in environmental temperature is If the amount of change is greater than that of the zero-frequency temperature coefficient, the temperature in the measurement space can be measured with high accuracy by measuring the frequency deviation of the reference electronic components. Therefore, it is possible to obtain a highly reliable temperature characteristic measurement result.

【0053】更に、温度調整手段としてペルチェ素子を
採用した場合には、測定空間内の温度を容易に任意の値
に設定することができ、且つ加熱源及び冷熱源の小型化
を図ることができて治具全体の小型化を図ることができ
る。また、従来のような冷却ガスを使用することなしに
環境温度を降下させることができるため、コストの削減
を図ることもできる。
Further, when the Peltier element is adopted as the temperature adjusting means, the temperature in the measurement space can be easily set to an arbitrary value, and the heating source and the cooling heat source can be downsized. The overall size of the jig can be reduced. Further, since the environmental temperature can be lowered without using a cooling gas as in the conventional case, the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施形態に係る温度特性測定装置の概略構
成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a temperature characteristic measuring device according to a first embodiment.

【図2】ATカット水晶振動子における環境温度と周波
数偏差との関係を示すものであって、一般的なATカッ
ト水晶振動子の特性を破線で、基準振動子として採用さ
れるATカット水晶振動子の特性を実線でそれぞれ示す
図である。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the environmental temperature and the frequency deviation in an AT-cut crystal unit, in which the characteristic of a general AT-cut crystal unit is indicated by a broken line, and the AT-cut crystal unit used as a reference unit. It is a figure which shows the characteristic of each child by a solid line.

【図3】音叉型水晶振動子における環境温度と周波数偏
差との関係を示すものであって、一般的な音叉型水晶振
動子の特性を破線で、基準振動子として採用される音叉
型水晶振動子の特性を実線でそれぞれ示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between an environmental temperature and a frequency deviation in a tuning fork type crystal resonator, showing a characteristic of a general tuning fork type crystal resonator with a broken line, and a tuning fork type crystal vibration adopted as a reference resonator. It is a figure which shows the characteristic of each child by a solid line.

【図4】第2実施形態に係る温度特性測定装置の概略構
成を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a temperature characteristic measuring device according to a second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 温度特性測定装置 2 温度特性測定治具 6 ペルチェ素子(温度調整手段) 8 スイッチングユニット(出力切り換え手段) 10 水晶振動子(測定対象電子部品) 11 基準振動子(基準電子部品) 12 疑似電子部品(基準電子部品) A チャンバ(測定空間) 1 Temperature characteristic measuring device 2 Temperature characteristic measurement jig 6 Peltier element (temperature control means) 8 Switching unit (output switching means) 10 Crystal unit (measurement target electronic component) 11 Reference oscillator (reference electronic component) 12 Pseudo electronic parts (standard electronic parts) A chamber (measurement space)

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 環境温度の変化に伴う電子部品の特性変
化を測定するために使用される測定治具であって、 測定対象電子部品を収容するための測定空間と、 上記測定空間内の温度を任意に調整可能な温度調整手段
と、 上記測定空間内において、測定対象電子部品と同様の収
容状態に置かれていると共に環境温度に応じて特性が変
化する基準電子部品とを備え、 上記基準電子部品の特性を測定し、その測定結果である
特性に対応する環境温度を測定対象電子部品の環境温度
と認識して、この認識した環境温度に関連付けて測定対
象電子部品の特性測定動作を実行するよう構成されてい
ることを特徴とする電子部品の温度特性測定治具。
1. A measuring jig used to measure a characteristic change of an electronic component due to a change in environmental temperature, the measuring space for accommodating an electronic component to be measured, and the temperature in the measuring space. And a reference electronic component that is placed in the same storage state as the measurement target electronic component in the measurement space and has a characteristic that changes in accordance with the ambient temperature in the measurement space. Measures the characteristics of electronic components, recognizes the ambient temperature corresponding to the measured characteristics as the ambient temperature of the measurement target electronic component, and executes the characteristic measurement operation of the measurement target electronic component in association with the recognized ambient temperature. A jig for measuring temperature characteristics of electronic parts, which is configured to
【請求項2】 環境温度の変化に伴う電子部品の特性変
化を測定するために使用される測定治具であって、 測定対象電子部品を収容するための測定空間と、 上記測定空間内の温度を任意に調整可能な温度調整手段
と、 上記測定空間内において、測定対象電子部品と同様の収
容状態に置かれて測定空間内の温度を測定する基準電子
部品とを備え、 上記基準電子部品による温度測定結果に基づき、環境温
度に関連付けて測定対象電子部品の特性測定動作を実行
するよう構成されていることを特徴とする電子部品の温
度特性測定治具。
2. A measuring jig used to measure a characteristic change of an electronic component due to a change in environmental temperature, the measuring space for accommodating an electronic component to be measured, and the temperature in the measuring space. And a reference electronic component for measuring the temperature in the measurement space by being placed in the same accommodation state as the electronic component to be measured in the measurement space, A temperature characteristic measuring jig for an electronic component, which is configured to perform a characteristic measuring operation of an electronic component to be measured based on a temperature measurement result in association with an ambient temperature.
【請求項3】 請求項1記載の電子部品の温度特性測定
治具において、 出力ラインを備え、 測定対象電子部品の環境温度が測定実行温度に達するま
では基準電子部品の特性測定結果を出力ラインに出力す
る一方、基準電子部品の特性測定結果により測定対象電
子部品の環境温度が測定実行温度に達したと判断した時
点で測定対象電子部品の特性測定結果を出力ラインに出
力する出力切り換え手段を備えていることを特徴とする
電子部品の温度特性測定治具。
3. The temperature characteristic measuring jig for an electronic component according to claim 1, further comprising an output line, wherein the characteristic measurement result of the reference electronic component is output line until the environmental temperature of the electronic component to be measured reaches the measurement execution temperature. On the other hand, output switching means for outputting the characteristic measurement result of the measurement target electronic component to the output line when it is determined that the environmental temperature of the measurement target electronic component has reached the measurement execution temperature based on the characteristic measurement result of the reference electronic component A jig for measuring temperature characteristics of electronic parts, which is characterized by being provided.
【請求項4】 請求項1または3記載の電子部品の温度
特性測定治具において、 測定対象電子部品は水晶振動デバイスであり、 基準電子部品も上記測定対象電子部品と同種の水晶振動
デバイスであることを特徴とする電子部品の温度特性測
定治具。
4. The jig for measuring temperature characteristics of an electronic component according to claim 1 or 3, wherein the electronic component to be measured is a crystal vibrating device, and the reference electronic component is also a crystal vibrating device of the same kind as the electronic component to be measured. A jig for measuring temperature characteristics of electronic parts, which is characterized in that
【請求項5】 請求項4記載の電子部品の温度特性測定
治具において、 基準電子部品として使用される水晶振動デバイスは、環
境温度に対して周波数偏差が一意的に決まるものであ
り、且つ環境温度の変化量に対する周波数偏差の変化量
が、「零周波数温度係数」の特性を有する水晶振動デバ
イスのその変化量よりも大きい特性を有するものである
ことを特徴とする電子部品の温度特性測定治具。
5. The jig for measuring temperature characteristics of an electronic component according to claim 4, wherein the crystal vibration device used as the reference electronic component has a frequency deviation uniquely determined with respect to the ambient temperature, and The temperature characteristic measurement method for electronic parts is characterized in that the variation amount of the frequency deviation with respect to the variation amount of the temperature is larger than that of the crystal vibrating device having the characteristic of "zero frequency temperature coefficient". Ingredient
【請求項6】 請求項1〜5のうち何れか一つに記載の
電子部品の温度特性測定治具において、 温度調整手段はペルチェ素子であることを特徴とする電
子部品の温度特性測定治具。
6. The temperature characteristic measuring jig for an electronic component according to claim 1, wherein the temperature adjusting means is a Peltier element. .
【請求項7】 上記請求項1〜6のうち何れか一つに記
載の電子部品の温度特性測定治具に、その測定結果を出
力するための出力手段が接続されて構成されていること
を特徴とする電子部品の温度特性測定装置。
7. The temperature characteristic measuring jig for an electronic component according to claim 1, wherein an output means for outputting the measurement result is connected. A characteristic temperature measuring device for electronic parts.
【請求項8】 上記請求項1〜6のうち何れか一つに記
載の電子部品の温度特性測定治具または上記請求項7記
載の電子部品の温度特性測定装置により実行されること
を特徴とする電子部品の温度特性測定方法。
8. An electronic component temperature characteristic measuring jig according to any one of claims 1 to 6 or an electronic component temperature characteristic measuring device according to claim 7. Measuring method for temperature characteristics of electronic parts.
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