JP2003121337A

JP2003121337A - 粒子径の計測装置と計測方法

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Publication number: JP2003121337A
Application number: JP2002205896A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kusuzawa; 英夫楠澤
Original assignee: Sysmex Corp
Current assignee: Sysmex Corp
Priority date: 2001-08-07
Filing date: 2002-07-15
Publication date: 2003-04-23

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で、単純なデータ処理で粒子径の
計測を行うこと。【解決手段】レーザ光源と、そのレーザ光源から出射
されるレーザ光を受けてそのコヒーレンスを低下させて
出射するコヒーレンス低下素子と、コヒーレンス低下素
子の出射光を輪帯光に変換する輪帯光形成部と、その輪
帯光を対象粒子に集光して照射する内面反射ミラーと、
照射された対象粒子からの散乱光を輪帯光の内側で受光
する対物レンズと、対物レンズを介して前記散乱光を受
光するための受光素子と、受光素子によって得られる散
乱光の強度から単調増加関数により粒子径を算出する演
算部とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は粒子径の計測装置
と計測方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の粒子径計測方法としては、電解質
溶液に対象粒子を懸濁させてその体積を電気的に検知す
る電気的検知法（例えば特開昭４６−６８４０号公報参
照）や、対象粒子を光学的に撮像して、得られた画像か
ら粒子径を解析する画像解析法（例えば、特開平８−１
３６４３９号公報参照）などが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】また、光散乱を利用す
る粒子径計測方法としては、その散乱の特徴から粒子径
を推定する方法が知られている。しかし、粒子の大きさ
との間に良好な対応関係がなりたつような散乱の特徴を
見出すことが容易でなく、散乱光強度からの粒子径の算
出が複雑になるという問題点がある。この発明は、コヒ
ーレンスを低下させたレーザ光で対象粒子を暗視野照明
することにより、対象粒子の粒径が簡単に計測できる原
理を見出し、その原理を用いて能率よく粒子径を測定す
ることが可能な粒子径計測装置と方法を提供するもので
ある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明は、レーザ光源
と、そのレーザ光源から出射されるレーザ光を受けてそ
のコヒーレンスを低下させて出射するコヒーレンス低下
素子と、コヒーレンス低下素子の出射光を輪帯光に変換
する輪帯光形成部と、その輪帯光を対象粒子に集光して
照射する内面反射ミラーと、照射された対象粒子からの
散乱光を輪帯光の内側で受光する対物レンズと、対物レ
ンズからの光を受光するための受光素子と、受光素子に
よって得られる散乱光の強度から単調増加関数により粒
子径を算出する演算部とを備える粒径計測装置を提供す
るものである。

【０００５】

【発明の実施の形態】この発明の装置の対象粒子は、血
液や尿などに含まれる有形物質、ファインセラミック
ス、顔料、化粧品用パウダー、トナー、研磨用パウダー
のような無機物の粉体、および食品添加物のような有機
物の粒体を含む。粒子径としては、１〜２０μｍ程度で
ある。また、この計測装置によって計測される対象粒子
は、溶液中に浮遊する状態のものであってもよいし、ガ
ラスのような板の上に固定された状態のものであっても
よい。

【０００６】この発明の１つの特徴は、暗視野照明、つ
まり輪帯光を対象レンズの外側から集光して対象粒子を
照明し、対象物からの散乱光を輪帯光の内側で受光する
点にある。この発明の他の特徴としてはレーザ光源から
出射されるレーザ光のコヒーレンスを低下させるコヒー
レンス低下素子を用いる点にある。

【０００７】この発明において、受光素子によって得ら
れる散乱光強度から単調増加関数により粒子径が算出さ
れる原理を次に説明する。レーザ光源から出射されるレ
ーザ光、つまりコヒーレント光を対象粒子上に集光した
場合、光の定在波は図８で示すように、光強度（照度）
Ｉが相対位置Ｌに対して明らかに変化する照度分布が対
象粒子上に形成される。一方、この発明のように、コヒ
ーレント光のコヒーレンスを低下させたパーシャルコヒ
ーレント光を対象粒子上に集光すると、光の定常波は図
９のようになる。なお、図８、９の横軸は対象粒子上の
相対位置Ｌ、縦軸は相対照度Ｉである。図９は図８に比
較して照度の振幅が小さくなり、照度分布の縞の間隔が
短くなっている。その上、図９では光のオフセット成分
（ある一定の明るさ）の上に微小な縞の変化が重畳して
いる。

【０００８】ところで、この発明では図９に示される定
在波の光で対象粒子を暗視野照明するので、このオフセ
ット成分は散乱に寄与しないため受光素子により検出さ
れない。従って、図９に示す微小な明暗の変化のみが対
象粒子から検出されることになる。

【０００９】一般に、或る照度分布（照度縞）が対象粒
子表面上に存在することがその粒子が光散乱する基本現
象であると考えることができる。この考えに基づき、照
度縞間隔が長い場合と短い場合について、粒子表面にど
のように照度縞が発生するかを図１０と図１１に模式的
に示す。ここでは１つの照度縞を１個の破線の丸として
いる。実際には粒子表面全体にくまなく照度縞が発生す
るが、説明を容易にするために、粒子表面に破線の丸を
一列に並べた場合について説明する。

【００１０】図１０の（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すよ
うに破線の丸が大きい場合、大きさの異なる粒子Ｐａ，
Ｐｂ，Ｐｃに対して破線の丸が配置されるとその数は５
個又は４個になり、中間の大きさの粒子Ｐｂに対して破
線の丸の数が４．５個となるような配置をとることは不
可能である。つまり、破線の丸が大きい場合には粒子表
面に破線の丸がくまなく存在できない。従って、破線の
丸が大きい場合には、粒子表面積に対して表面に存在で
きる破線の丸の数が離散的な数値を取らざる得ない。こ
れが、粒子径により散乱強度が極端に変化することを意
味している。

【００１１】一方、図１１の（ａ），（ｂ），（ｃ）に
示すように破線の丸が小さい場合には大きさの異なる粒
子Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃに対してその離散の程度が小さくな
る。つまり、粒子表面に破線の丸がくまなく存在できる
ので、粒子表面積の増大に対して散乱光強度は単調増加
し、かつ、粒子の表面積−散乱光強度の関係は近似的に
連続関数とみなせる。

【００１２】ここで、粒子表面積は粒子径の２乗関数で
あることから、粒子径をＸとすると、散乱強度ＹはＹ＝
ａＸ²＋ｂＸ＋Ｃと表現できる。なお、ａが小さいとき
にはＹは緩やかな放物線を描くことになり、ある粒子径
の範囲では、粒子径ＸとＹとの関係は一次関数に近似さ
れる。このように、本発明で得られる粒子径は散乱光強
度から単調増加関数により算出される。

【００１３】レーザ光源としては、連続あるいはパルス
状のレーザー光を照射することが可能な例えば、Ａｒレ
ーザーや、ＬＤ励起ＹＡＧ＋ＫＴＰレーザーや半導体レ
ーザーなどを用いることができる。

【００１４】コヒーレンス低下素子としては、光強度の
むらがないようにレーザー光のコヒーレンスを低下させ
ることが可能な各種の装置を用いることができる。コヒ
ーレンス低下素子は、時間コヒーレンスを低下させる光
学素子および空間コヒーレンスを低下させる光学素子の
一方または、両方から構成されてもよい。

【００１５】時間コヒーレンスを低下させる光学素子
は、自己位相変調用光ファイバーであり、空間コヒーレ
ンスを低下させる光学素子は、カレイドスコープであっ
てもよい。

【００１６】上記、時間コヒーレンス低下素子は、光の
スペクトル幅を広げる光位相変調素子から構成すること
ができる。

【００１７】この場合の光位相変調素子としては、マイ
クロ波共振器の中に、例えば、ＬｉＮｂＯ₃やＬｉＴａ
Ｏ₃やＴｅＯ₂等の電気光学結晶（非線形結晶とも呼ばれ
る）を配置したものを用いることができる。光位相変調
素子としては、例えば、ＮＥＷＦＯＣＵＳ，Ｉｎｃ．
の"ＢｕｌｋＥｌｅｃｔｒｏ−ＯｐｔｉｃＭｏｄｕ
ｌａｔｏｒ４８４１"が使用できる。

【００１８】この光位相変調素子の使用方法としては、
電気光学結晶内にレーザーを透過させておき、マイクロ
波共振器に、外部から駆動手段によりマイクロ波を入力
することによって、電気光学結晶内を透過するレーザー
のスペクトル幅を広げ、時間的コヒーレンスを低下させ
る。従って、上記電気光学結晶から光位相変調素子を作
製することが可能である。

【００１９】このとき、マイクロ波共振器の共振により
小さい入力パワーで大きな電界を作り出すことができ、
その電界と結晶の電気光学効果が有効に働く方向に結晶
を配置しておくと、効率良く光周波の位相変調を行うこ
とができる。ここで、光周波とは光の波長のことであ
り、例えば、０．５３２μｍの波長の光である場合に
は、光の速度は３×１０⁸ｍ／ｓｅｃであるので、５６
３Ｔ（テラ）Ｈｚの周波数の光に相当する。

【００２０】また、この発明のコヒーレンス低下素子
を、時間コヒーレンスを低下させるシングルモードの光
ファイバーから構成することができる。さらに、コヒー
レンス低下素子を、光の空間伝搬をランダムにし、空間
コヒーレンスを低下させる光ファイバーおよび波面変換
素子から構成することもできる。

【００２１】この場合の光ファイバーとしては、使用す
るレーザー光の波長に対してシングルモードで伝搬する
シングルモードの光ファイバーを用いることが好まし
い。シングルモード光ファイバーを使用すると、入射パ
ルス光の２次元的な光強度分布の変動を抑えるととも
に、伝搬するコア内において光エネルギー密度が高くな
るので、自己集束効果、自己位相変調効果を生じ、空間
的コヒーレンスを低下させるだけでなく、時間的コヒー
レンスを低下させることも可能である。

【００２２】波面変換素子としては、内面を光学研磨し
たステンレスシームレスパイプや、両端面と円周面を光
学研磨し、さらに円周外面には光を反射させるためのア
ルミ蒸着を施したガラス円柱、あるいは、大口径のマル
チモード光ファイバーを用いることができる。

【００２３】この波面変換素子は、レーザー光を集光レ
ンズで絞った後、光強度分布におけるリップルが光学シ
ステムの分解能以下になるように選ぶ。要するに、リッ
プルの影響が受光素子の検出データに表れないようにす
る。

【００２４】その際、使用するパルスレーザー光源の特
性によりリップルの周期が変化するため、良好な検出デ
ータを得るためには、レーザー照明系の集光レンズを含
む照明光学系は、ケラー照明系を採用するのが好まし
い。

【００２５】なお、波面変換素子としてマルチモード光
ファイバーを用いる場合には、そのマルチモード光ファ
イバーを直線状に固定しておくことにより、２次元的光
強度分布を一層安定させることができる。

【００２６】光ファイバーと波面変換素子とを用いる場
合には、レーザーを、まず、光ファイバーに入射し、光
ファイバーからの出射光を直接波面変換素子に入射する
ようにする。

【００２７】また、この発明においては、コヒーレンス
低下素子を、光のスペクトル幅を広げる（時間コヒーレ
ンスを低下させる）光位相変調素子と、光の空間伝搬を
ランダムにする（空間コヒーレンスを低下する）マルチ
モードの光ファイバーおよび波面変換素子とから構成す
ることができる。その場合、低コヒーレンス化手段は、
光の進行方向に対して、光位相変調素子、マルチモード
の光ファイバー、波面変換素子の順に配置することが好
ましい。

【００２８】この発明において、コヒーレンス低下素子
の出射光を輪帯光に変換する輪帯光形成部は、頂点がコ
ヒーレンス低下素子に対向しコヒーレンス低下素子から
の出射光を放射状に反射する円錐状外面反射ミラーと、
円錐状外面反射ミラーをとり囲みその反射光をうけて輪
帯光を形成する円錐状内面反射ミラーとからなってもよ
い。

【００２９】ここで、受光素子としては、フォトダイオ
ード、フォトトランジスタ、フォトマルチプライヤーチ
ューブ又はＣＣＤなどを用いることができる。

【００３０】また、演算部には、少なくとも単調増加関
数を用いて粒子径を演算する機能を有するものが要求さ
れるが、これはＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭなどを内蔵する
マイクロコンピュータで構成できる。

【００３１】この発明の装置は、液体を吐出するノズル
をさらに備え、対象粒子がその液体内に含まれ、対物レ
ンズはノズルの先端方向から散乱光を受光してもよい。
また、壁面に透明部分を有するセルをさらに備え、ノズ
ルはその先端が透明部分に対向するようにセルに挿入さ
れ、対物レンズはセルの外から透明部分を介して対象粒
子の散乱光を受光してもよい。

【００３２】この発明は別の観点から、レーザ光源から
出射されるレーザ光のコヒーレンスを低下させ、コヒー
レンスの低下したレーザ光で対象粒子を暗視野照明し、
照明された対象粒子の散乱光の強度を計測し、散乱光強
度に比例する値を粒子径とする粒子形測定方法と装置を
提供するものである。

【００３３】

【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明
を詳述する。これによってこの発明が限定されるもので
はない。

【００３４】図１はこの発明による粒子径計測装置の構
成を示す構成説明図である。図１に示すように、主鏡筒
１の一端には、セル２３の近傍に対物レンズ３と対物レ
ンズ３を囲む円錐状内面反射ミラー３ａとが設けられ、
他端には集光レンズ４と受光素子（例えばフォトダイオ
ード）５が設けられている。

【００３５】さらに、照明鏡筒６の下端部には変換素子
２２が固定され、変換素子２２は透光枚７を備え、透光
板７の下面には、中央部に円錐状外面反射ミラー８が接
着され、周縁部に円錐状内面反射ミラー９が接着されて
いる。照明鏡筒６の外部には、レーザー光源１０と入射
レンズ１４とコヒーレンス低下素子１１とからなる光源
ユニット２０が設けられ、主鏡筒１の中央部には環状の
平面ミラー１３が設けられている。

【００３６】図２は図１におけるコヒーレンス低下素子
１１の詳細断面図である。図２に示すようにコヒーレン
ス低下素子１１は保持具１９内に光ファイバー１２を備
え、光ファイバー１２の出射光はコリメートレンズ１５
およびビームエキスパンダーレンズ１２ａ、１２ｂを介
して外部へ出射される。なお、１６ａと１６ｂはそれぞ
れ光束を絞るための視野アイリス（絞り）である。

【００３７】この実施例においては、レーザー光源１０
には波長５３２ｎｍの半導体レーザ（スペクトラフィジ
クス社製７３００）を使用し、コヒーレンス低下素子１
１の光ファイバー１２にはカライドスコープ（住友電工
（株）製大口径マルチモード光ファイバーＭＫＨ−０８
型）を使用している。また透光板７にはレーザー光の波
長程度の粗さに両面を仕上げた厚さ３ｍｍのＰＭＭＡ製
の平板を用いている。

【００３８】図３はセル２３の詳細断面図であり、セル
２３の本体２３ａは半球状の凹部２３ｂを有し、凹部２
３ｂの開口にはリング状スペーサ２３ｃを介して透明ガ
ラス板２３ｅが接合され、それによって凹部２３ｂは密
閉されている。

【００３９】本体２３ａは耐薬品性を有するステンレス
鋼（ＳＵＳ３１６）からなる。ノズル２１はステンレス
鋼（ＳＵＳ３１６）からなり、半球状凹部２３ｂの中央
に位置するように本体２３ａを貫通して設けられる。リ
ング状スペーサ２３ｃには２つの排液チューブ２３ｆ，
２３ｇが貫通している。

【００４０】このような構成において、セル２３にノズ
ル２１の先端から粒子含有液（対象粒子を含む溶液）が
吐出されると、その流れが層流になるようにノズル１の
内径やノズル内壁の形態に合わせてその流速が決定され
る。

【００４１】次に、図１に示すようにレーザー光源１０
から出射され入射レンズ１４を通過した光束は、コヒー
レンス低下素子１１によってコヒーレンスが低下し、光
強度分布が平坦化される。コヒーレント低下素子１１か
ら出射した光束Ｌは円錐状外面反射ミラー８に入射して
水平方向に３６０度放射状に反射される。

【００４２】放射状に反射された光束は、円錐状内面反
射ミラー９によって垂直方向に反射され輪帯光Ｌ１に変
換される。輪帯光に変換された光束Ｌ１は透光板７を介
して環状平面ミラー１３によって対物レンズ３の方向に
反射され、さらに円錐状内面反射ミラー３ａによって反
射されて対物レンズ３の外側から３６０度にわたってセ
ル２３へ入射する。

【００４３】図４はセル２３の要部拡大図であり、ノズ
ル２１の先端から粒子含有液Ｓが透明ガラス板２３ｅに
向かって吐出される状態を示している。ノズル２１の先
端において、吐出する粒子含有液Ｓの層流の中に、レー
ザ光Ｌ１による暗視野照明領域Ｒ１が形成される。

【００４４】この場合、レーザ光Ｌ１の光束の強度分布
を均一にすることにより、領域Ｒ１では流れに直交する
方向の距離に対して図５に示すように均一な照明光強度
が得られるので、流れに直交する方向の粒子通過位置に
よる検出散乱光強度のバラツキはなくなる。

【００４５】また、上記のようにコヒーレンス低下素子
１１は、レーザ光源１０からのレーザー光のコヒーレン
スを充分に低下させその光強度分布を平坦化し、透光板
７はその表面がレーザー光の波長程度の粗さによってレ
ーザー光の光位相を変動させ空間コヒーレンスをさらに
低下させる。

【００４６】一方、暗視野照明領域Ｒ１においてレーザ
光Ｌ１により照明された粒子から出た散乱光は、図１の
対物レンズ３に受光されさらに集光レンズ４により受光
素子５へ集光される。そして、演算部３０は、受光素子
５によって検出された散乱光強度から粒子径を算出し、
算出結果を出力部４０に出力させる。

【００４７】図６はこの実施例の粒子径計測装置を用い
て粒子径と散乱光強度との関係を実測した結果の一例を
示す。対象粒子として直径１．５〜１０μｍのラテック
ス粒子を用いている。これによって、粒子径と散乱光強
度とは図６に示すようにほぼ比例関係にある。

【００４８】この関係から、粒子径ｙは散乱光強度ｘの
一次関数（線形関数）ｙ＝ａｘ＋ｂ（ａ，ｂは定数）……（１）として表されることが見出された。従って、演算部３０
は式（１）を用いて粒子径を簡単に算出することができ
る。

【００４９】ここで、セル２３へ粒子含有液の供給と排
出を行う流体系の構成と動作について図７を用いてさら
に説明する。計測工程において、先ず、バルブＶ１，Ｖ
２が開かれ、測定の対象となる粒子を含む粒子含有液
が、陰圧ポンプＰ１の陰圧により測定溶液タンクＴ１か
ら試料チャンバーＣ１へ供給される。その供給が終了す
るとバルブＶ１，Ｖ２は閉じられる。

【００５０】次に、バルブＶ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６が開
かれると、陽圧ポンプＰ２の陽圧により試料チャンバー
Ｃ１から粒子含有液がバルブＶ３とノズル１を介してセ
ル２３内へ吐出される。セル２３内へ吐出された粒子含
有液は排液チューブ２３ｇとバルブＶ４とを介して廃液
チャンバーＣ２へ排出され、さらにバルブＶ５を介して
外部へ排出される。この期間に前述のように散乱光強度
の計測が行われる。この工程が終了すると、バルブＶ
３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６は閉じられる。

【００５１】次に流路の洗浄工程が行われる。つまり、
バルブＶ７，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ８が開かれると、陰圧ポン
プＰ１の陰圧により、洗浄液タンクＴ２から洗浄液がバ
ルブＶ７，試料チャンバーＣ１，バルブＶ３，ノズル
１，セル３，バルブＶ４そして廃液チャンバーＣ２へと
流れ、流路の洗浄が行われる。この工程が終了するとバ
ルブＶ７，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ８は閉じられる。

【００５２】次に、セル２３の洗浄工程が行われる。バ
ルブＶ１０，Ｖ９，Ｖ８が開かれると、陰圧ポンプＰ１
の陰圧により、洗浄液が洗浄液タンクＴ２からバルブＶ
１０と排液チューブ２３ｇを介してセル２３に供給さ
れ、さらにバルブＶ９を介して廃液チャンバーＣ２へ排
出される。この工程が終了するとバルブＶ１０，Ｖ９，
Ｖ８は閉じられる。

【００５３】次に、試料チャンバーＣ１の洗浄工程が行
われる。まず、バルブＶ７，Ｖ２が開かれると、陰圧ポ
ンプＰ１の陰圧により洗浄液が洗浄液タンクＴ２からバ
ルブＶ７を介して試料チャンバーＣ１へ供給される。次
に、バルブＶ７とＶ２が閉じられ、バルブＶ６，Ｖ１１
が開かれると、陽圧ポンプＰ２の陽圧により試料チャン
バーＣ１の洗浄液はバルブＶ１１を介して排出される。
このように、試料チャンバーＣ１に対して洗浄液の供給
と排出を行う工程が複数回くり返されると、試料チャン
バーＣ１の洗浄工程が終了する。

【００５４】

【発明の効果】この発明によれば、コヒーレンスを低下
させたレーザ光で対象粒子を暗視野照明することによ
り、粒子の散乱光強度が粒子径の単調増加関数で表され
るので、単純な装置と簡単なデータ処理で粒子径を効率
よく計測することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による実施例の構成説明図である。

【図２】図１の要部詳細断面図である。

【図３】図１の要部詳細断面図である。

【図４】図３の要部拡大図である。

【図５】図４の限外照明領域の照明光の強度分布図であ
る。

【図６】実施例によって得られた粒子径と散乱光強度と
の関係を示すグラフである。

【図７】実施例の流体系を示す系統図である。

【図８】この発明の原理を説明するための照度分布図で
ある。

【図９】この発明の原理を説明するための照度分布図で
ある。

【図１０】粒子上に形成される照度縞の説明図である。

【図１１】粒子上に形成される照度縞の説明図である。

【符号の説明】

１主鏡筒３対物レンズ３ａ円錐状内面反射ミラー４集光レンズ５受光素子６照明鏡筒７透光板８円錐状外面反射ミラー９円錐状内面反射ミラー１０レーザー光源１１コヒーレンス低下素子１３環状平面ミラー１４入射レンズ２３セル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光源と、そのレーザ光源から出射
されるレーザ光を受けてそのコヒーレンスを低下させて
出射するコヒーレンス低下素子と、コヒーレンス低下素
子の出射光を輪帯光に変換する輪帯光形成部と、その輪
帯光を対象粒子に集光して照射する内面反射ミラーと、
照射された対象粒子からの散乱光を輪帯光の内側で受光
する対物レンズと、対物レンズを介して前記散乱光を受
光するための受光素子と、受光素子によって得られる散
乱光の強度から単調増加関数により粒子径を算出する演
算部とを備える粒径計測装置。
【請求項２】輪帯光形成部は、頂点がコヒーレンス低
下素子に対向しコヒーレンス低下素子からの出射光を放
射状に反射する円錐状外面反射ミラーと、円錐状外面反
射ミラーをとり囲みその反射光をうけて輪帯光を形成す
る円錐状内面反射ミラーとからなるなる請求項１記載の
粒径計測装置。
【請求項３】コヒーレンス低下素子が光ファイバーか
らなる請求項１記載の粒径計測装置。
【請求項４】単調増加関数が一次関数である請求項１
記載の粒径計測装置。
【請求項５】液体を吐出するノズルをさらに備え、対
象粒子がその液体内に含まれ、対物レンズはノズルの先
端方向から散乱光を受光する請求項１記載の粒子径計測
装置。
【請求項６】透明部分を有する壁に囲まれた中空セル
をさらに備え、ノズルはその先端が透明部分に対向する
ようにセルに挿入され、対物レンズはセルの外から透明
部分を介して対象粒子の散乱光を受光する請求項５記載
の粒子径計測装置。
【請求項７】レーザ光源から出射されるレーザ光のコ
ヒーレンスを低下させ、コヒーレンスの低下したレーザ
光で対象粒子に対して暗視野照明を施し、照明された対
象粒子の散乱光の強度を計測し、散乱光強度に実質的に
比例する値を粒子径とする粒子径計測方法。
【請求項８】レーザ光源から出射されるレーザ光のコ
ヒーレンスを低下させるコヒーレンス低下手段と、コヒ
ーレンスの低下したレーザ光で対象粒子に対して暗視野
照明を施す暗視野照明手段と、照明された対象粒子の散
乱強度を計測する計測手段と、散乱強度に実質的に比例
する値を粒子径とする演算手段を備える粒子径計測装
置。