JP2003100240A - Anode paste, fluorescent character display tube with the same and manufacturing methods thereof - Google Patents
Anode paste, fluorescent character display tube with the same and manufacturing methods thereofInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は蛍光表示管の陽極層
形成に用いられる陽極ペースト、この陽極ペーストを用
いた蛍光表示管およびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anode paste used for forming an anode layer of a fluorescent display tube, a fluorescent display tube using this anode paste and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電卓、オーディオ、家電製品、計測器、
医療機器などの表示部に所定のパターンあるいはグラフ
ィックを表示する表示素子や、バックライト、プリンタ
ヘッド、ファックス用光源、複写機用光源などの各種光
源、平面テレビ等に自発光型の素子として蛍光表示管が
多用されている。2. Description of the Related Art Calculators, audios, home appliances, measuring instruments,
Fluorescent display as a self-luminous element as a display element that displays a predetermined pattern or graphic on the display part of medical equipment, various light sources such as backlights, printer heads, light sources for fax machines, light sources for copying machines, and flat-screen TVs. Pipes are used a lot.
【０００３】従来の蛍光表示管を構成する陽極基板の部
分拡大断面図を図３に示す。陽極基板７ａは、ガラス基
板２上に薄膜法によりアルミニウム金属等の配線層３を
形成した後、スルーホール４ａを除くほぼ全面にわたっ
て低融点フリットガラスペーストの印刷塗布法により絶
縁層４を形成する。次に、このスルーホール４ａを介し
て電気的に接続された陽極層５をグラファイトペースト
などの導電性カーボンを主成分とする陽極ペーストを用
いてスクリーン印刷法により形成する。この陽極層５上
に、蛍光体粒子からなる蛍光体層６を印刷塗布法により
形成して陽極基板７ａが得られる。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of an anode substrate which constitutes a conventional fluorescent display tube. In the anode substrate 7a, the wiring layer 3 made of aluminum metal or the like is formed on the glass substrate 2 by the thin film method, and then the insulating layer 4 is formed on almost the entire surface except the through holes 4a by the print coating method of the low melting point frit glass paste. Next, the anode layer 5 electrically connected through the through hole 4a is formed by a screen printing method using an anode paste containing conductive carbon such as graphite paste as a main component. A phosphor layer 6 made of phosphor particles is formed on the anode layer 5 by a print coating method to obtain an anode substrate 7a.
【０００４】従来の陽極ペーストは、エチルセルローズ
などのバインダー樹脂を溶解したブチルカルビトールな
どの溶媒に、導電剤として蛍光体と反応しない導電性カ
ーボンを配合して作製されていた。また必要に応じて印
刷性を向上させるための酸化アルミニウムなどの充填材
が混合されていた。The conventional anode paste has been prepared by blending a solvent such as butyl carbitol in which a binder resin such as ethyl cellulose is dissolved with conductive carbon that does not react with the phosphor as a conductive agent. Further, a filler such as aluminum oxide for improving printability was mixed as needed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ニウム配線層３の表面が著しく平滑なため、配線層３と
陽極層５との電気的導通が粉体による点接触による導通
となるため、十分な電気的接続が得られないという問題
がある。また、蛍光体層裏面からの反射光を利用するた
めに、陽極層５として白色の導電性酸化物粒子を用いる
と、接触抵抗が高くなり、やはり十分な電気的接続が得
られないという問題がある。十分な電気的接続が得られ
ないと、発光輝度が向上しないという問題がある。However, since the surface of the aluminum wiring layer 3 is remarkably smooth, the electrical connection between the wiring layer 3 and the anode layer 5 is conducted by the point contact of the powder, so that sufficient electrical conductivity is obtained. There is a problem that the dynamic connection cannot be obtained. Further, when white conductive oxide particles are used as the anode layer 5 in order to utilize the reflected light from the back surface of the phosphor layer, the contact resistance becomes high, and again there is a problem that sufficient electrical connection cannot be obtained. is there. If a sufficient electrical connection cannot be obtained, there is a problem that the emission brightness does not improve.
【０００６】本発明は、このような問題に対処するため
になされたもので、アルミニウム金属等の配線層を用い
た場合であつても、また陽極層として白色の導電性酸化
物粒子を用いた場合であっても、接触抵抗を小さくでき
る陽極ペースト、この陽極ペーストを用いた蛍光表示管
およびその製造方法の提供を目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and even when a wiring layer made of aluminum metal or the like is used, white conductive oxide particles are used as an anode layer. Even in the case, it is an object of the present invention to provide an anode paste that can reduce the contact resistance, a fluorescent display tube using the anode paste, and a manufacturing method thereof.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の陽極ペースト
は、導電性カーボンおよび導電性酸化物粒子から選ばれ
た少なくとも一つの主剤と、この主剤を保持するバイン
ダー樹脂と、このバインダー樹脂を溶解または分散させ
る溶媒と、焼成により導電性酸化物薄膜となる金属アル
コキシドとを含有することを特徴とする。また、特に上
記主剤が導電性酸化物粒子からなることを特徴とする。The anode paste of the present invention comprises at least one main agent selected from conductive carbon and conductive oxide particles, a binder resin that holds the main agent, and a binder resin that dissolves or dissolves the binder resin. It is characterized by containing a solvent to be dispersed and a metal alkoxide which becomes a conductive oxide thin film by firing. In addition, it is characterized in that the main component is composed of conductive oxide particles.
【０００８】焼成により導電性酸化物薄膜となる金属ア
ルコキシドを陽極ペーストに含有することにより、主剤
が導電性酸化物薄膜で被覆され、粉体による点接触から
導電性酸化物薄膜を介した面接触になる。その結果、十
分な導電性が得られる。特に導電性カーボンよりも導電
性が劣る酸化亜鉛などの導電性酸化物粒子の場合、より
接触抵抗を小さくできる。By including a metal alkoxide, which becomes a conductive oxide thin film by firing, in the anode paste, the main component is coated with the conductive oxide thin film, and the point contact by the powder causes the surface contact through the conductive oxide thin film. become. As a result, sufficient conductivity is obtained. In particular, in the case of conductive oxide particles such as zinc oxide having conductivity lower than that of conductive carbon, the contact resistance can be further reduced.
【０００９】本発明の蛍光表示管は、基板上に形成され
たアルミニウム配線層と、このアルミニウム配線層上に
形成された絶縁層と、この絶縁層に形成されたスルーホ
ールを介して電気的に接続された陽極層と、この陽極層
上に形成された蛍光体層を有する陽極基板を備え、上記
陽極層が上述した陽極ペーストを焼成して得られる陽極
層であることを特徴とする。また、上記蛍光体層は導電
性酸化物薄膜が被覆されてなることを特徴とする。本発
明の陽極ペーストを用いることにより、蛍光体のコント
ラストを大幅に低下させることなく、陽極層と配線層と
の電気的接触抵抗を低下させることができる。また、導
電性酸化物薄膜が結着剤としても働き、陽極層と配線層
間だけでなく、陽極層と蛍光体層との付着強度も高くな
り、結果として、接触抵抗も低くなり、発光輝度も高く
なる。The fluorescent display tube of the present invention is electrically connected through an aluminum wiring layer formed on a substrate, an insulating layer formed on the aluminum wiring layer, and a through hole formed in the insulating layer. An anode substrate having a connected anode layer and a phosphor layer formed on the anode layer is provided, and the anode layer is an anode layer obtained by firing the above-mentioned anode paste. Further, the phosphor layer is characterized by being coated with a conductive oxide thin film. By using the anode paste of the present invention, the electrical contact resistance between the anode layer and the wiring layer can be lowered without significantly lowering the contrast of the phosphor. In addition, the conductive oxide thin film also functions as a binder, and the adhesion strength between the anode layer and the wiring layer as well as between the anode layer and the phosphor layer is increased, resulting in lower contact resistance and emission brightness. Get higher
【００１０】本発明の蛍光表示管の製造方法は、基板上
にアルミニウム配線層を形成する工程と、このアルミニ
ウム配線層上に絶縁層を形成する工程と、この絶縁層に
形成されたスルーホールを介して電気的に接続される陽
極層を形成する工程と、この陽極層上に蛍光体層を形成
する工程とを備えてなり、上記陽極層を形成する工程
は、上述した陽極ペーストを塗布した後、焼成する工程
であることを特徴とする。また、上記陽極層を形成する
工程および蛍光体層を形成する工程が、スビンコート法
により上記陽極層を塗布した後、印刷法により蛍光体層
を塗布し、同時露光によりパターニング後、焼成するこ
とを特徴とする。本発明の陽極ペーストを用いて塗布・
焼成することにより、薄層であっても電気的接触抵抗を
低下させ、同時露光が可能となり、生産性が向上する。A method of manufacturing a fluorescent display tube according to the present invention comprises a step of forming an aluminum wiring layer on a substrate, a step of forming an insulating layer on the aluminum wiring layer, and a through hole formed in the insulating layer. The method comprises a step of forming an anode layer electrically connected via a step of forming a phosphor layer on the anode layer, and the step of forming the anode layer is performed by applying the above-mentioned anode paste. It is characterized in that it is a step of firing later. Further, the step of forming the anode layer and the step of forming the phosphor layer, after coating the anode layer by a spin coating method, apply the phosphor layer by a printing method, patterning by simultaneous exposure, and baking. Characterize. Application using the anode paste of the present invention
By firing, even if it is a thin layer, the electrical contact resistance is reduced, simultaneous exposure becomes possible, and productivity is improved.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】本発明に使用できる主剤としての
導電性酸化物粒子は、導電性があり、発生ガス等により
蛍光体層に影響を与えない無機酸化物であればよい。そ
のような酸化物としては、Ｉｎ2Ｏ3、ＺｎＯ、ＩＴＯ、
ＳｎＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＷＯ3等の微粉末が例示
できる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The conductive oxide particles as the main component that can be used in the present invention may be inorganic oxides that are conductive and do not affect the phosphor layer due to the generated gas or the like. Such oxides include In 2 O 3 , ZnO, ITO,
Fine powders of SnO 2 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , WO 3 and the like can be exemplified.
【００１２】導電性酸化物の平均粒子径は 1μm 以下で
ある。好ましくは 1μm 以下、0.05μm 以上である。 1
μm をこえると、配線層表面との接触点が減少して表面
酸化物層を破壊できる程度が劣り、導電性が向上しな
い。また、平均粒子径が小さくなりすぎると、粒子の凝
集などが生じ接触点の減少に寄与しなくなるため、0.05
μm 以上が好ましい。The average particle diameter of the conductive oxide is 1 μm or less. It is preferably 1 μm or less and 0.05 μm or more. 1
When it exceeds μm, the number of contact points with the surface of the wiring layer decreases, the degree to which the surface oxide layer can be destroyed is deteriorated, and the conductivity is not improved. If the average particle size is too small, particle agglomeration or the like does not contribute to the reduction of contact points, so 0.05
It is preferably at least μm.
【００１３】本発明に使用できる主剤としての導電性カ
ーボンは、蛍光体層と反応せず電気伝導性に優れ、かつ
黒色度に優れた炭素材であれば使用できる。好ましい導
電性カーボンは黒鉛（グラファイト）粉末である。As the conductive carbon as the main component which can be used in the present invention, any carbon material which does not react with the phosphor layer and has excellent electric conductivity and blackness can be used. A preferred conductive carbon is graphite powder.
【００１４】本発明に使用できる、焼成により導電性酸
化物薄膜となる金属アルコキシドは、アルコールの水酸
基の水素を金属で置換した化合物であり、溶液となりや
すく、導電性酸化物粒子等をその溶液に浸漬、乾燥、焼
成で均一な表面コーティングができるので好ましい。な
お、金属アルコキシドの配合量は多いほうが好ましい
が、導電性酸化物換算で 6 重量％以上では安定性に問
題があり好ましくない。The metal alkoxide which can be used in the present invention and which becomes a conductive oxide thin film by firing is a compound in which hydrogen of the hydroxyl group of alcohol is replaced with a metal, and easily becomes a solution, and conductive oxide particles and the like are added to the solution. It is preferable because a uniform surface coating can be obtained by dipping, drying and firing. It is preferable that the amount of the metal alkoxide compounded is large, but if it is 6% by weight or more in terms of conductive oxide, there is a problem in stability, which is not preferable.
【００１５】上記金属アルコキシド、導電性酸化物粒子
および／または導電性カーボンは、バインダー樹脂とと
もに、これらを溶解または分散させる溶媒に加えられ
る。本発明に使用できるバインダー樹脂および溶媒は周
知の材料を用いることができる。一例を挙げれば、バイ
ンダー樹脂としては、エチルセルローズ、ポリビニルア
ルコール、ニトロセルローズを、溶媒としては、ブチル
カルビトール、ターピネオール、ブチルカルビトールア
セテート等がある。また、バインダー樹脂の配合割合は
適宜選択できる。特にバインダー樹脂に感光性バインダ
ー樹脂を用いればフォトリソ法によるパターン形成が可
能となるため好ましい。The above metal alkoxide, conductive oxide particles and / or conductive carbon are added together with a binder resin to a solvent for dissolving or dispersing them. Well-known materials can be used for the binder resin and the solvent that can be used in the present invention. For example, the binder resin may be ethyl cellulose, polyvinyl alcohol, or nitrocellulose, and the solvent may be butyl carbitol, terpineol, butyl carbitol acetate, or the like. Moreover, the compounding ratio of the binder resin can be appropriately selected. In particular, it is preferable to use a photosensitive binder resin as the binder resin because a pattern can be formed by the photolithography method.
【００１６】なお、陽極ペーストには、印刷工程、特に
スクリーン印刷工程においてペーストだれ、耐刷性、寸
法精度を向上させるために印刷性向上剤を配合できる。
印刷性向上剤としては、シリカ粉（ＳｉＯ2）、酸化ア
ルミニウム粉（Ａｌ2Ｏ3）、酸化チタン粉（ＴｉＯ2）
等が挙げられる。また、陽極ペーストは、スクリーン印
刷あるいはスピンコート塗布できる性状にバインダー樹
脂および溶媒量を調整される。A printability improver may be added to the anode paste in order to improve paste sagging, printing durability and dimensional accuracy in the printing process, particularly the screen printing process.
As the printability improver, silica powder (SiO 2 ), aluminum oxide powder (Al 2 O 3 ), titanium oxide powder (TiO 2 ).
Etc. Further, the binder resin and the amount of solvent of the anode paste are adjusted so that they can be screen-printed or spin-coated.
【００１７】本発明の蛍光表示管について図１および図
２により説明する。図１は蛍光表示管の断面図であり、
図２は蛍光表示管を構成する陽極基板の部分拡大断面図
である。蛍光表示管１は、陽極基板７と、この陽極基板
７上方にグリット８と陰極９とを設け、フェースガラス
１０およびスペーサガラス１１を用いて封着して真空引
きして形成される。陽極基板７は、ガラス基板２上にア
ルミニウムの薄膜法により配線層３を形成した後、スル
ーホール４ａを除くほぼ全面にわたって低融点フリット
ガラスペーストの印刷塗布法により絶縁層４を形成し、
スルーホール４ａを介して電気的に接続された陽極層５
を陽極ペーストの印刷塗布法またはスピンコート法によ
り形成する。この陽極層５上に、蛍光体層６を印刷塗布
法より塗布したのち焼成して陽極基板７が得られる。The fluorescent display tube of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view of a fluorescent display tube,
FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the anode substrate that constitutes the fluorescent display tube. The fluorescent display tube 1 is formed by providing an anode substrate 7, a grit 8 and a cathode 9 above the anode substrate 7, sealing them with a face glass 10 and a spacer glass 11, and drawing a vacuum. In the anode substrate 7, after the wiring layer 3 is formed on the glass substrate 2 by the thin film method of aluminum, the insulating layer 4 is formed on the substantially entire surface except the through holes 4a by the print coating method of the low melting point frit glass paste.
Anode layer 5 electrically connected through through hole 4a
Is formed by a printing application method or a spin coating method of an anode paste. A phosphor layer 6 is applied onto the anode layer 5 by a print coating method and then baked to obtain an anode substrate 7.
【００１８】また、蛍光体層は、導電性酸化物薄膜が被
覆された蛍光体粒子を用いることが好ましい。導電性酸
化物薄膜としては、上述のＩｎ2Ｏ3、ＺｎＯ、ＩＴＯ、
ＳｎＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＷＯ3等の薄膜が例示で
き、被覆方法も上述の金属アルコキシドを蛍光体ペース
トに配合して、塗布する方法が挙げられる。For the phosphor layer, it is preferable to use phosphor particles coated with a conductive oxide thin film. Examples of the conductive oxide thin film include In 2 O 3 , ZnO, ITO,
Thin films of SnO 2 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , WO 3 and the like can be exemplified, and the coating method also includes a method in which the above-mentioned metal alkoxide is blended in a phosphor paste and applied.
【００１９】陽極基板７の好適な作製方法として、陽極
層５を陽極ペーストのスピンコート法により 2〜5μm
の厚さに形成し、その後陽極ペースト上に蛍光体層を印
刷塗布法またはスピンコート法より 10〜15μm の厚さ
に形成し、同時露光によりパターニングする方法が挙げ
られる。この方法により、製造工程数を少なくでき、か
つパターニングの精度が向上する。As a preferred method for producing the anode substrate 7, the anode layer 5 is formed in a thickness of 2 to 5 μm by spin coating of an anode paste.
To form a phosphor layer on the anode paste by a print coating method or a spin coating method to a thickness of 10 to 15 μm, and patterning by simultaneous exposure. By this method, the number of manufacturing steps can be reduced and the patterning accuracy is improved.
【００２０】陽極基板７は、陽極ペーストをパターニン
グ後、400 〜600 ℃の酸化性雰囲気中で焼成すること
で、より良好な導通が得られる。酸化性雰囲気、例えば
大気中で焼成することにより、バインダー樹脂が揮散し
て陽極層が形成される。400 ℃未満であると、導電性酸
化物粒子の被覆層が十分に形成されず、また 600 ℃を
こえるとアルミニウム金属層が破断するおそれがある。
なお、陽極基板の製造工程におけるアルミニウム配線層
形成工程、絶縁層形成工程、蛍光体層形成工程等は、周
知の工程を採用できる。For the anode substrate 7, better conductivity can be obtained by baking the anode paste in an oxidizing atmosphere at 400 to 600 ° C. after patterning the anode paste. By firing in an oxidizing atmosphere, for example, air, the binder resin is volatilized and the anode layer is formed. If it is lower than 400 ° C, the coating layer of the conductive oxide particles may not be sufficiently formed, and if it exceeds 600 ° C, the aluminum metal layer may be broken.
Well-known steps can be adopted for the aluminum wiring layer forming step, the insulating layer forming step, the phosphor layer forming step, and the like in the manufacturing process of the anode substrate.
【００２１】[0021]
【実施例】実施例１
バインダー樹脂としての感光性バインダー（東京応化工
業社製 ＯＰＶ Ａ−１）に主剤となる導電性酸化亜鉛
（ＺｎＯ）と、インジウム・スズオキサイド（ＩＴＯ）
アルコキシド溶液（槌屋社製、ＡＫＥ−０７５１Ｑ）と
を、ＺｎＯに対するＩＴＯの重量比で 0.1 重量％とな
るように配合して、スクリーン印刷用陽極ペーストを得
た。得られた陽極ペーストおよび蛍光体ペーストを用い
て、図１に示す蛍光表示管を組み立てた。蛍光体ペース
トは赤色系蛍光体（ＬＤＰ−Ｒ４ＫＳ）を用いた。蛍光
表示管における輝度、陽極電流、発光効率をそれぞれ測
定した。結果を表１に示す。Example 1 Conductive zinc oxide (ZnO) as a main component of a photosensitive binder (OPV A-1 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) as a binder resin, and indium tin oxide (ITO).
An alkoxide solution (AKE-0751Q, AKE-0751Q) was mixed so that the weight ratio of ITO to ZnO was 0.1% by weight to obtain an anode paste for screen printing. The fluorescent display tube shown in FIG. 1 was assembled using the obtained anode paste and phosphor paste. As the phosphor paste, a red phosphor (LDP-R4KS) was used. The brightness, the anode current, and the luminous efficiency of the fluorescent display tube were measured. The results are shown in Table 1.
【００２２】実施例２
インジウム・スズオキサイド（ＩＴＯ）アルコキシド溶
液をＩＴＯ塗布液（住友大阪セメント社製、ＳＩＥ−０
１）に変える以外は、実施例１と同様にしてスクリーン
印刷用陽極ペーストを得た。得られたペーストを用いて
実施例１と同様にして蛍光表示管を得て評価した。結果
を表１に示す。Example 2 An indium tin oxide (ITO) alkoxide solution was replaced with an ITO coating solution (manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., SIE-0).
An anode paste for screen printing was obtained in the same manner as in Example 1 except for changing to 1). Using the obtained paste, a fluorescent display tube was obtained and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
【００２３】比較例１
インジウム・スズオキサイド（ＩＴＯ）アルコキシド溶
液を用いない以外は、実施例１と同様にしてスクリーン
印刷用陽極ペーストを得た。得られたペーストを用いて
実施例１と同様にして蛍光表示管を得て評価した。結果
を表１に示す。Comparative Example 1 An anode paste for screen printing was obtained in the same manner as in Example 1 except that the indium tin oxide (ITO) alkoxide solution was not used. Using the obtained paste, a fluorescent display tube was obtained and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
【００２４】[0024]
【表１】 [Table 1]
【００２５】表１に示すように、各実施例は、陽極電流
値が高く、輝度および発光効率も高かった。As shown in Table 1, in each example, the anode current value was high, and the brightness and the luminous efficiency were also high.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明の陽極ペーストは、焼成により導
電性酸化物薄膜となる金属アルコキシドを含有するの
で、配線層が極めて平滑な薄膜の金属電極であっても、
電気的接触が点接触から面接触となり、下地配線層との
接触抵抗が低い陽極層を容易に形成できる。また、蛍光
体層との界面における付着強度が上がり、蛍光体層との
界面における接触抵抗も低下する。また、主剤が導電性
酸化物粒子からなるので、輝度がより向上する。Since the anode paste of the present invention contains a metal alkoxide which becomes a conductive oxide thin film when fired, even if the wiring layer is a very smooth thin film metal electrode,
The electrical contact changes from point contact to surface contact, and the anode layer having a low contact resistance with the underlying wiring layer can be easily formed. In addition, the adhesion strength at the interface with the phosphor layer increases, and the contact resistance at the interface with the phosphor layer also decreases. Further, since the main component is conductive oxide particles, the brightness is further improved.
【００２７】本発明の蛍光表示管は、陽極基板の陽極層
が上記陽極ペーストを焼成して得られるので、陽極層と
配線層との電気的接触抵抗を低下させる。その結果、高
輝度で均一な発光特性を有する蛍光表示管が得られる。In the fluorescent display tube of the present invention, since the anode layer of the anode substrate is obtained by firing the above-mentioned anode paste, the electrical contact resistance between the anode layer and the wiring layer is reduced. As a result, a fluorescent display tube having high brightness and uniform emission characteristics can be obtained.
【００２８】本発明の蛍光表示管の製造方法は、本発明
の陽極ペーストを塗布した後、焼成する工程であるの
で、陽極基板における各層の界面における付着強度が上
がる。また、スピンコート法により上記陽極層を塗布し
た後、印刷法により蛍光体層を塗布し、同時露光により
パターニング後、焼成するので、薄層であっても電気的
接触抵抗を低下させ、同時露光が可能となり、生産性が
向上する。Since the method for manufacturing a fluorescent display tube of the present invention is a step of applying the anode paste of the present invention and then baking it, the adhesion strength at the interface of each layer on the anode substrate is increased. Also, after coating the anode layer by spin coating, coating the phosphor layer by printing, patterning by simultaneous exposure, and baking, so even if it is a thin layer, electrical contact resistance is reduced, and simultaneous exposure is performed. Is possible and productivity is improved.
【図１】蛍光表示管の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a fluorescent display tube.
【図２】陽極基板の部分拡大断面図である。FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of an anode substrate.
【図３】従来の陽極基板の部分拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of a conventional anode substrate.
１ 蛍光表示管 ２ ガラス基板 ３ 配線層 ４ 絶縁層 ５ 陽極層 ６ 蛍光体層 ７ 陽極基板 ８ グリット ９ 陰極 １０ フェースガラス １１ スペーサガラス 1 Fluorescent display tube 2 glass substrates 3 wiring layers 4 insulating layers 5 Anode layer 6 Phosphor layer 7 Anode substrate 8 grit 9 cathode 10 face glass 11 Spacer glass
Claims (6)
から選ばれた少なくとも一つの主剤と、この主剤を保持
するバインダー樹脂と、このバインダー樹脂を溶解また
は分散させる溶媒と、焼成により導電性酸化物薄膜とな
る金属アルコキシドとを含有することを特徴とする陽極
ペースト。1. At least one main agent selected from conductive carbon and conductive oxide particles, a binder resin holding the main agent, a solvent for dissolving or dispersing the binder resin, and a conductive oxide by firing. An anode paste containing a metal alkoxide to be a thin film.
ことを特徴とする請求項１記載の陽極ペースト。2. The anode paste according to claim 1, wherein the base material is composed of conductive oxide particles.
と、このアルミニウム配線層上に形成された絶縁層と、
この絶縁層に形成されたスルーホールを介して電気的に
接続された陽極層と、この陽極層上に形成された蛍光体
層を有する陽極基板を備えた蛍光表示管において、 前記陽極層は、請求項１または請求項２項記載の陽極ペ
ーストを焼成して得られることを特徴とする蛍光表示
管。3. An aluminum wiring layer formed on a substrate, and an insulating layer formed on the aluminum wiring layer,
In a fluorescent display tube provided with an anode layer electrically connected through a through hole formed in this insulating layer and an anode substrate having a phosphor layer formed on this anode layer, the anode layer is A fluorescent display tube obtained by firing the anode paste according to claim 1.
覆されてなることを特徴とする請求項３記載の蛍光表示
管。4. The fluorescent display tube according to claim 3, wherein the phosphor layer is coated with a conductive oxide thin film.
工程と、このアルミニウム配線層上に絶縁層を形成する
工程と、この絶縁層に形成されたスルーホールを介して
電気的に接続される陽極層を形成する工程と、この陽極
層上に蛍光体層を形成する工程とを備えてなる蛍光表示
管の製造方法において、 前記陽極層を形成する工程は、請求項１または請求項２
記載の陽極ペーストを塗布した後、焼成する工程である
ことを特徴とする蛍光表示管の製造方法。5. A step of forming an aluminum wiring layer on a substrate, a step of forming an insulating layer on the aluminum wiring layer, and an anode electrically connected through a through hole formed in the insulating layer. In a method for manufacturing a fluorescent display tube, which comprises a step of forming a layer and a step of forming a phosphor layer on the anode layer, the step of forming the anode layer comprises the step of forming the anode layer.
A method of manufacturing a fluorescent display tube, which comprises a step of applying the anode paste described above and then firing.
を形成する工程が、スビンコート法により前記陽極層を
塗布した後、印刷法により蛍光体層を塗布し、同時露光
によりパターニング後、焼成することを特徴とする請求
項５記載の蛍光表示管の製造方法。6. The step of forming the anode layer and the step of forming the phosphor layer include applying the anode layer by a spin coating method, applying the phosphor layer by a printing method, patterning by simultaneous exposure, and baking. The method for manufacturing a fluorescent display tube according to claim 5, wherein:
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