JP2003090862A - Head positioning device - Google Patents

Head positioning device

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JP2003090862A
JP2003090862A JP2001281792A JP2001281792A JP2003090862A JP 2003090862 A JP2003090862 A JP 2003090862A JP 2001281792 A JP2001281792 A JP 2001281792A JP 2001281792 A JP2001281792 A JP 2001281792A JP 2003090862 A JP2003090862 A JP 2003090862A
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JP
Japan
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axis
head
axial
positioning device
work
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2001281792A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeki Fukunaga
茂樹 福永
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head positioning device capable of correcting the rotating angle of an attraction nozzle without leading to an enlargement of the circumference of a head or an increase in part cost. SOLUTION: In this head positioning device, the head 6 having the attraction nozzle (work contact part) 7 is connected to the intersection of an X-axial beam 14 reciprocating in X-axial direction and a Y-axial beam 14 reciprocated in Y-axial direction, and the head 6 is positioned to a target position by relatively moving it in X-axial and Y-axial directions by the X-axial and Y-axial beams 14 and 15. The head 6 comprises an X-axial head part 16 connected to the X-axial beam 14 and a Y-axial head part 17 connected to the Y-axial beam 15, which are relatively rotatably connected, and the Y-axial head part 17 having the attraction nozzle 7 is rotated by the positional deviation between both end parts of the Y-axial beam 15.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば吸着ノズル
を有する部品装着装置,あるいは測定端子を有する電気
特性測定装置の、上記吸着ノズル,測定端子を目標位置
に位置決めするようにしたヘッド位置決め装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a head positioning device for positioning a suction nozzle and a measuring terminal at a target position in a component mounting apparatus having a sucking nozzle or an electric characteristic measuring device having a measuring terminal. .

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、電子部品の組立て,実装を自動
的に行なうようにした部品装着装置では、吸着ノズルが
装着されたヘッドの高速化を図るとともに、位置決め精
度を高めることが要請されている。
2. Description of the Related Art For example, in a component mounting apparatus that automatically assembles and mounts electronic components, it is required to increase the speed of a head mounted with a suction nozzle and increase the positioning accuracy. .

【0003】このようなヘッドの高速化,高精度化を図
る観点から、直交2軸機構からなるヘッド位置決め装置
を採用する場合がある。即ち、このヘッド位置決め装置
は、図6に示すように、X軸方向に往復移動する一対の
アクチュエータ50,50にX軸ビーム51の両端部を
接続し、Y軸方向に往復移動する一対のアクチュエータ
52,52にY軸ビーム53の両端部を接続し、上記X
軸,Y軸ビーム51,53の交差部にX軸,Y軸方向そ
れぞれ片方に拘束されるヘッド54を摺動可能に連結
し、該ヘッド54に吸着ノズル55をZ軸方向(図面垂
直方向)に往復移動可能に、かつ軸周りに回転可能に装
着した構造を有している。
From the viewpoint of increasing the speed and precision of such a head, a head positioning device having an orthogonal biaxial mechanism may be adopted. That is, as shown in FIG. 6, this head positioning device connects both ends of the X-axis beam 51 to a pair of actuators 50, 50 that reciprocate in the X-axis direction, and a pair of actuators reciprocate in the Y-axis direction. 52, 52 to both ends of the Y-axis beam 53,
A head 54, which is constrained to one side in each of the X-axis and Y-axis directions, is slidably connected to the intersection of the axis and Y-axis beams 51 and 53, and a suction nozzle 55 is attached to the head 54 in the Z-axis direction (vertical direction in the drawing). It has a structure in which it is reciprocally mounted and rotatable about an axis.

【0004】また上記部品装着装置では、上記吸着ノズ
ルにて吸引保持したワークのX軸,Y軸方向のずれ及び
軸周りでのずれを画像処理することにより求め、このず
れに応じてワークの移動量及び吸着ノズルの回転角度を
補正するようにしている。
Further, in the component mounting apparatus, the deviation of the workpiece sucked and held by the suction nozzle in the X- and Y-axis directions and the deviation around the axis are obtained by image processing, and the workpiece is moved according to the deviation. The amount and the rotation angle of the suction nozzle are corrected.

【0005】このような吸着ノズルの軸周りの補正を行
なう場合、従来、上記ヘッドにより吸着ノズルを回転可
能に支持し、該吸着ノズルを回転機構を介してサーボモ
ータにより回転させることによりワークの位置補正を行
なうのが一般的である。
In the case of performing such correction around the axis of the suction nozzle, conventionally, the position of the workpiece is supported by rotatably supporting the suction nozzle by the head and rotating the suction nozzle by a servomotor through a rotation mechanism. It is common to make a correction.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ように吸着ノズルを回転機構を介してサーボモータによ
り回転角度の補正を行なう構造を採用した場合には、吸
着ノズルを軸支するヘッド周りが大型化するとともに、
部品点数が増える分だけコストが上昇するという問題が
ある。
By the way, when the structure in which the suction angle is corrected by the servo motor through the rotation mechanism as in the above-mentioned conventional structure is adopted, the head surrounding the suction nozzle is supported. As the size increases,
There is a problem that the cost increases as the number of parts increases.

【0007】本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされ
たもので、ヘッド周りの大型化及び部品コストの上昇を
招くことなく吸着ノズルの回転角度の補正を行なうこと
ができるヘッド位置決め装置を提供することを目的とし
ている。
The present invention has been made in view of the above conventional circumstances, and provides a head positioning device capable of correcting the rotation angle of a suction nozzle without increasing the size around the head and increasing the cost of parts. The purpose is to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、X軸
方向に往復駆動されるX軸ビームと、該X軸ビームと直
交するY軸方向に往復駆動されるY軸ビームとの交差部
にワーク当接部を有するヘッドを連結し、上記X軸,Y
軸ビームにより上記ヘッドをX軸,Y軸方向に相対移動
させることにより目標位置に位置決めするようにしたヘ
ッド位置決め装置において、上記ヘッドを、X軸ビーム
に連結されたX軸ヘッド部とY軸ビームに連結されたY
軸ヘッド部とを相対回転可能に連結したものとし、上記
ワーク当接部を有するX軸,Y軸ヘッド部の何れか一方
を、上記X軸ビーム又はY軸ビームの両端部の位置偏差
により回転させることを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, an X-axis beam reciprocally driven in the X-axis direction and a Y-axis beam reciprocally driven in a Y-axis direction orthogonal to the X-axis beam intersect each other. A head having a work contact portion is connected to the above-mentioned X-axis and Y-axis.
In a head positioning device configured to position a head at a target position by relatively moving the head in the X-axis and Y-axis directions by an axial beam, the head is connected to the X-axis beam, and an X-axis head unit and a Y-axis beam are provided. Y connected to
A shaft head portion is connected so as to be capable of relative rotation, and either one of the X-axis and Y-axis head portions having the work contact portion is rotated by the positional deviation of both ends of the X-axis beam or the Y-axis beam. The feature is to let.

【0009】請求項2の発明は、請求項1において、上
記X軸,Y軸ビームが、各ビームの両端部に接続された
リニアモータにより往復駆動されることを特徴としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the X-axis and Y-axis beams are reciprocally driven by linear motors connected to both ends of each beam.

【0010】請求項3の発明は、請求項1又は2におい
て、上記X軸,Y軸ビームが、それぞれ2本のビーム部
を平行をなすように配置して構成されていることを特徴
としている。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the X-axis beam and the Y-axis beam are each formed by arranging two beam portions in parallel. .

【0011】請求項4の発明は、請求項1において、上
記ワーク当接部が、ワークを吸引保持する吸着ノズルで
あることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the work contact portion is a suction nozzle for sucking and holding the work.

【0012】請求項5の発明は、請求項1において、上
記ワーク当接部が、ワークの電気的特性を測定する測定
端子であることを特徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect, the work contact portion is a measuring terminal for measuring the electrical characteristics of the work.

【0013】[0013]

【発明の作用効果】請求項1の発明にかかるヘッド位置
決め装置によれば、ヘッドをX軸ヘッド部とY軸ヘッド
部とを相対回転可能に連結したものとし、ワーク当接部
を有する一方のヘッド部を該一方のビームの位置偏差に
より回転させるようにしたので、ワーク当接部の軸周り
のずれに応じてビームに偏差を持たせることにより、上
記ワーク当接部のずれを補正することが可能となり、ワ
ーク当接部を回転させるための回転機構,サーボモータ
等を不要にできる。その結果、ヘッド周りをコンパクト
にでき、装置全体を小型化できるとともに、部品コスト
を低減できる。
According to the head positioning device of the first aspect of the present invention, the head is such that the X-axis head section and the Y-axis head section are rotatably connected to each other, and one of the heads has a work contact section. Since the head portion is rotated by the positional deviation of the one beam, the deviation of the work contact portion is corrected by giving the deviation to the beam according to the deviation of the work contact portion around the axis. It is possible to eliminate the need for a rotating mechanism, a servomotor, etc. for rotating the workpiece contact portion. As a result, the area around the head can be made compact, the entire apparatus can be made compact, and the cost of parts can be reduced.

【0014】請求項2の発明では、X軸,Y軸ビームを
リニアモータにより往復駆動したので、ヘッドの高速化
を図ることができるとともに、位置決め精度を高めるこ
とができる。
According to the second aspect of the invention, since the X-axis and Y-axis beams are reciprocally driven by the linear motor, it is possible to speed up the head and enhance the positioning accuracy.

【0015】請求項3の発明では、X軸,Y軸ビームを
2本のビーム部を平行に配置して構成したので、ヘッド
の支持剛性を高めることができ、高速化による位置決め
精度を確保できる。
According to the third aspect of the present invention, since the X-axis and Y-axis beams are arranged by arranging the two beam portions in parallel, the supporting rigidity of the head can be increased, and the positioning accuracy can be secured by increasing the speed. .

【0016】請求項4の発明は、ワーク当接部を吸着ノ
ズルにより構成したので、上述のように吸着ノズルにて
吸引保持したワークの軸周りのずれを上記ビームの位置
偏差により補正することができ、回転機構,サーボモー
タを不要にでき、請求項1と同様の効果が得られる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the work contact portion is constituted by the suction nozzle, the deviation around the axis of the work suction-held by the suction nozzle as described above can be corrected by the positional deviation of the beam. Therefore, the rotating mechanism and the servomotor can be eliminated, and the same effect as that of the first aspect can be obtained.

【0017】請求項5の発明は、ワーク当接部を測定端
子により構成したので、例えば基板に実装された電子部
品の電気的特性を検査する場合の測定端子の軸周りのず
れを上記ビームの位置偏差により補正することができ、
請求項1と同様の効果が得られる。
According to the fifth aspect of the present invention, the work contact portion is constituted by the measuring terminal. Therefore, for example, when inspecting the electrical characteristics of the electronic component mounted on the substrate, the deviation of the measuring terminal from the axis is measured. It can be corrected by position deviation,
The same effect as that of the first aspect can be obtained.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0019】図1ないし図5は、請求項1,2,3,4
の発明の一実施形態によるヘッド位置決め装置を説明す
るための図であり、図1はヘッド位置決め装置を備えた
部品装着装置の平面図、図2はヘッド位置決め装置の制
御ブロック図、図3はヘッドの断面図、図4,図5はヘ
ッドの回転動作を示す斜視図である。
1 to 5 show claims 1, 2, 3, 4
2 is a diagram for explaining a head positioning device according to an embodiment of the invention of FIG. 1, FIG. 1 is a plan view of a component mounting device including the head positioning device, FIG. 2 is a control block diagram of the head positioning device, and FIG. 3 is a head. 4 is a perspective view showing the rotating operation of the head.

【0020】図において、1は本実施形態のヘッド位置
決め装置を備えた部品装着装置を示しており、これは矩
形状の固定ベッド2に部品供給部3,部品装着部4を設
けるとともに、両者の間に部品撮像部5を配設した概略
構造のものである。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a component mounting device provided with the head positioning device of the present embodiment, which is a rectangular fixed bed 2 provided with a component supply part 3 and a component mounting part 4 and both of them. It has a schematic structure in which a component image pickup section 5 is arranged between them.

【0021】上記固定ベッド2の上方にはヘッド6がX
軸,Y軸方向に相対移動可能に配設されており、該ヘッ
ド6の下面には吸着ノズル7がZ軸方向に移動可能に装
着されている。そして上記部品供給部3に供給されたワ
ークWを吸着ノズル7にて吸引保持し、ヘッド6をX
軸,Y軸方向に相対移動させてワークWを部品装着部4
にセッティングされた基板(不図示)に装着する。
Above the fixed bed 2 is a head 6
The head 6 is provided with a suction nozzle 7 movably in the Z-axis direction. Then, the work W supplied to the component supply unit 3 is suction-held by the suction nozzle 7, and the head 6 is moved to X-axis.
The workpiece W is moved relative to the axial and Y-axis directions to place the workpiece W on the component mounting portion 4.
It is attached to the substrate (not shown) set in the.

【0022】上記部品撮像部5は、上記ヘッド6が部品
供給部3から部品装着部4に移動する際に上記吸着ノズ
ル7に吸着保持されたワークWをカメラ(不図示)によ
り撮像し、撮像されたワークWの吸着ノズル6の中心点
に対するX軸,Y軸のずれを求めるとともに、軸周りθ
におけるずれを求め、これらのずれに応じてワークWの
位置補正量を算出するように構成されている。
The component image pickup unit 5 picks up an image of the work W sucked and held by the suction nozzle 7 by a camera (not shown) when the head 6 moves from the component supply unit 3 to the component mounting unit 4, and picks up an image. The deviation of the X-axis and the Y-axis with respect to the center point of the suction nozzle 6 of the workpiece W thus obtained is obtained, and
Are calculated, and the position correction amount of the work W is calculated according to these deviations.

【0023】上記固定ベッド2の各側縁部にはそれぞれ
X1軸,X2軸,Y1軸,Y2軸リニアモータ10,1
1,12,13が配設されている。この各リニアモータ
10〜13は上記各側縁部に敷設固定された固定レール
10a〜13aと、該固定レール10a〜13a上を直
線状に往復移動する可動部材10a13bとからなるも
のである。
X1 axis, X2 axis, Y1 axis, and Y2 axis linear motors 10, 1 are provided on the respective side edges of the fixed bed 2.
1, 12, 13 are arranged. Each of the linear motors 10 to 13 is composed of fixed rails 10a to 13a laid and fixed to each of the side edge portions, and a movable member 10a13b that linearly reciprocates on the fixed rails 10a to 13a.

【0024】上記X1軸,X2軸側の可動部材10b,
11b間には2本の円筒状ビーム部14a,14bを平
行をなすように配置してなるX軸ビーム14が架け渡し
て連結されている。また上記Y1軸,Y2軸側の可動部
材12b,13b間には2本の円筒状ビーム部15a,
15bを平行をなすように配置してなるY軸ビーム15
が架け渡して連結されている。このX軸ビーム14,Y
軸ビーム15の交差部に上記ヘッド6が搭載されてい
る。
The movable members 10b on the X1 axis and X2 axis sides,
An X-axis beam 14 formed by arranging two cylindrical beam portions 14a and 14b in parallel with each other is connected between 11b. Two cylindrical beam portions 15a are provided between the movable members 12b and 13b on the Y1 axis and Y2 axis sides.
Y-axis beam 15 in which 15b are arranged in parallel
Are bridged and connected. This X-axis beam 14, Y
The head 6 is mounted at the intersection of the axial beams 15.

【0025】上記ヘッド6は上側のX軸ヘッド部16と
下側のY軸ヘッド部17とからなり、該Y軸ヘッド部1
7に突出形成されたボス部17aを上記X軸ヘッド部1
6に形成された挿通孔16a内に回転軸受18を介して
挿入することによってX軸ヘッド部16とY軸ヘッド部
17とは相対回転可能に連結されている。
The head 6 comprises an upper X-axis head section 16 and a lower Y-axis head section 17, and the Y-axis head section 1
The boss portion 17a formed on the X-axis head portion 1
The X-axis head unit 16 and the Y-axis head unit 17 are relatively rotatably connected to each other by being inserted into the insertion hole 16a formed in the bearing 6 through the rotary bearing 18.

【0026】上記X軸ヘッド部16には2つのビーム挿
通孔16b,16bが形成されており、該各ビーム挿通
孔16bにX軸ビーム14の各ビーム部14a,14b
が直動軸受19,19を介在させて摺動可能に挿通され
ている。また上記Y軸ヘッド部17には2つのビーム挿
通孔17b,17bが形成されており、該各ビーム挿通
孔17bにはY軸ビーム15の各ビーム部15a,15
bが直動軸受20,20を介在させて摺動可能に挿通さ
れている。これによりヘッド6はX軸,Y軸方向に相対
移動可能に支持されている。
Two beam insertion holes 16b and 16b are formed in the X-axis head portion 16, and the beam portions 14a and 14b of the X-axis beam 14 are respectively formed in the beam insertion holes 16b.
Are slidably inserted through the linear motion bearings 19, 19. Further, two beam insertion holes 17b, 17b are formed in the Y-axis head portion 17, and the beam portions 15a, 15 of the Y-axis beam 15 are formed in the respective beam insertion holes 17b.
b is slidably inserted through the linear motion bearings 20, 20. As a result, the head 6 is supported so as to be relatively movable in the X-axis and Y-axis directions.

【0027】上記Y1軸,Y2軸の可動部材12b,1
3bには回転軸受40,41を介して回転可動部材12
b′,13b′が回動可能に連結されている。この各回
転可動部材12b′,13b′には逃がし凹部12c,
13cが形成されており、該逃がし凹部12c,13c
内に上記ビーム部15a,15bの一端部がリニアブッ
シュ42,43を介在させて摺動可能に係合している。
これにより各可動部材12b,13bのY軸方向におけ
る移動量の差を吸収するようになっている。
Movable members 12b, 1 for the Y1 axis and Y2 axis
3b includes rotary movable members 12 through rotary bearings 40 and 41.
b'and 13b 'are rotatably connected. These rotary movable members 12b 'and 13b' have relief recesses 12c,
13c is formed, and the escape recesses 12c and 13c are formed.
One ends of the beam portions 15a and 15b are slidably engaged with the linear bushes 42 and 43 interposed therebetween.
This absorbs the difference in the amount of movement of the movable members 12b and 13b in the Y-axis direction.

【0028】このようにY軸ビーム15の各ビーム15
a,15bに逃がし構造を設けたので、2本のビーム部
15a,15bを採用した場合のY1軸,Y2軸の負荷
慣性を均等に配分できる。
In this way, each beam 15 of the Y-axis beam 15 is
Since the escape structures are provided on the a and 15b, the load inertias of the Y1 axis and the Y2 axis when the two beam portions 15a and 15b are adopted can be evenly distributed.

【0029】上記Y軸ヘッド部17の下面に上記吸着ノ
ズル7が配置されている。この吸着ノズル7は、上記Y
軸ヘッド部17に取付け固定されたノズルホルダ21内
にノズル本体22をZ軸方向に昇降可能に挿入配置した
構造のものである。このノズルホルダ21は、下方に開
口する有底筒状のホルダ本体23の下面に蓋部材24を
接続固定した構造のものであり、上記ホルダ本体23内
の中心部には円柱状のばね受け部23aが一体形成され
ている。
The suction nozzle 7 is arranged on the lower surface of the Y-axis head portion 17. This suction nozzle 7 is
It has a structure in which a nozzle body 22 is inserted and arranged in a nozzle holder 21 mounted and fixed to the shaft head portion 17 so as to be able to move up and down in the Z-axis direction. The nozzle holder 21 has a structure in which a lid member 24 is connected and fixed to the lower surface of a bottomed cylindrical holder main body 23 that opens downward, and a cylindrical spring receiving portion is provided in the center of the holder main body 23. 23a is integrally formed.

【0030】上記ノズル本体22は、上方に開口する有
底円筒状の摺動部材25の下面にノズルチップ26を接
続形成した構造のものである。上記摺動部材25にはス
トッパ25aが形成されており、該ストッパ25aは蓋
部材24に形成されたストッパ孔24aに係合してお
り、これによりノズル本体22の軸周りの回転及び抜け
が防止されている。
The nozzle body 22 has a structure in which a nozzle tip 26 is connected and formed on a lower surface of a bottomed cylindrical sliding member 25 having an opening. A stopper 25a is formed on the sliding member 25, and the stopper 25a is engaged with a stopper hole 24a formed in the lid member 24, thereby preventing the nozzle body 22 from rotating around the axis and coming off. Has been done.

【0031】また上記ノズルチップ26の軸心には吸着
孔26aが形成され、該吸着孔26aは蓋部材24に形
成された吸引通路24bに連通している。この吸引通路
24bの外面開口には吸引ホース27が接続されてい
る。この吸引ホース27の延長端には真空吸引装置(不
図示)が接続されており、この真空吸引装置による負圧
は吸引通路24bから吸着孔26aを介してノズルチッ
プ26の下端面に開口するワーク吸着口26bに達す
る。
A suction hole 26a is formed in the axis of the nozzle tip 26, and the suction hole 26a communicates with a suction passage 24b formed in the lid member 24. A suction hose 27 is connected to the outer surface opening of the suction passage 24b. A vacuum suction device (not shown) is connected to the extension end of the suction hose 27, and the negative pressure generated by the vacuum suction device is opened from the suction passage 24b to the lower end surface of the nozzle tip 26 through the suction hole 26a. It reaches the suction port 26b.

【0032】また上記摺動部材25の底面とホルダ本体
23のばね受け部23aとの間にはノズル本体22を下
方に付勢するコイルバネ28が配設されている。
A coil spring 28 for urging the nozzle body 22 downward is disposed between the bottom surface of the sliding member 25 and the spring receiving portion 23a of the holder body 23.

【0033】上記吸着ノズル7内にはワークWの吸着時
及び装着時の衝撃を吸収するボイスコイルモータ30が
配設されている。このボイスコイルモータ30は上記ホ
ルダ本体23の内周面に配置固定された磁石31と、上
記摺動部材25の外周面に配置固定されたコイル32と
を対向させた構造のものであり、ボイスコイルモータ3
0への電流を制御することにより吸着時,装着時の付勢
力を可変するようになっている。上記蓋部材24には光
学式リニヤスケールヘッド44が、摺動部材25には光
学スケール45が配設され、該摺動部材25の移動量を
検出するようになっている。
A voice coil motor 30 is provided in the suction nozzle 7 for absorbing shocks when the work W is sucked and mounted. The voice coil motor 30 has a structure in which a magnet 31 arranged and fixed on the inner peripheral surface of the holder body 23 and a coil 32 arranged and fixed on the outer peripheral surface of the sliding member 25 face each other. Coil motor 3
By controlling the current to 0, the urging force at the time of adsorption and mounting can be varied. The lid member 24 is provided with an optical linear scale head 44, and the sliding member 25 is provided with an optical scale 45 to detect the movement amount of the sliding member 25.

【0034】そして上記部品装置装置1はヘッド6を目
標とする供給位置,装着位置に位置決め制御するコント
ローラ33を備えている。
The component device 1 is provided with a controller 33 for controlling the positioning of the head 6 at a target supply position and mounting position.

【0035】このコントローラ33は、X1軸側のリニ
アモータ10に沿うように配設されたX軸位置センサ3
4からの可動部材10bの位置検出信号を読み込むとと
もに、Y1軸,Y2軸の各リニアモータ12,13に沿
うように配設されたY1軸,Y2軸位置センサ35,3
6からの各摺動部材12b,13bの位置検出信号を読
み込み、これら検出値に基づいて吸着ノズル7の中心が
目標とする供給位置,装着位置と一致するように各可動
部材10b〜13bのX軸,Y軸方向移動量を制御する
ように構成されている。上記各位置センサ34〜36に
は光学式のリニアスケール,あるいは磁気センサ等が採
用されている。
The controller 33 is an X-axis position sensor 3 arranged along the X1-axis side linear motor 10.
The position detection signal of the movable member 10b from 4 is read, and the Y1 axis and Y2 axis position sensors 35 and 3 arranged along the Y1 axis and Y2 axis linear motors 12 and 13, respectively.
The position detection signals of the respective sliding members 12b and 13b from 6 are read, and the X of each movable member 10b to 13b is adjusted so that the center of the suction nozzle 7 coincides with the target supply position and mounting position based on these detected values. It is configured to control the movement amount in the axis and Y-axis directions. An optical linear scale, a magnetic sensor, or the like is used for each of the position sensors 34 to 36.

【0036】上記X1軸,X2軸のリニアモータ10,
11は共通のX軸ドライバ37により駆動され、Y1
軸,Y2軸の各リニアモータ12,13はそれぞれY1
軸ドライバ38,Y2軸ドライバ39により独立駆動さ
れる。
The X1 axis and X2 axis linear motors 10,
11 is driven by a common X-axis driver 37, and Y1
Axis and Y2 axis linear motors 12 and 13 are Y1
It is independently driven by the axis driver 38 and the Y2-axis driver 39.

【0037】また上記コントローラ33は上述の部品撮
像部5からのX軸,Y軸の補正信号に基づいて上記各可
動部材10b〜13bのX軸,Y軸方向移動量を補正す
るように構成されている。
Further, the controller 33 is configured to correct the movement amounts of the movable members 10b to 13b in the X-axis and Y-axis directions based on the X-axis and Y-axis correction signals from the component image pickup section 5. ing.

【0038】さらに上記コントローラ33は部品撮像部
5からの軸周りθの補正信号に基づいてY軸ビーム15
の各ビーム部15a,15bに位置偏差を持たせるよう
にY1軸,Y2軸の各可動部材12b,13bの移動量
を変化させるように構成されている。これによりY軸ヘ
ッド部17がX軸ヘッド部16に対して所定角度だけ回
転し、これに伴ってノズルチップ26が所定角度回転し
てワークWの軸周りθが補正される。
Further, the controller 33 controls the Y-axis beam 15 based on the correction signal from the component imaging section 5 about the axis θ.
The moving amounts of the movable members 12b and 13b on the Y1 axis and the Y2 axis are changed so that the beam portions 15a and 15b have a positional deviation. As a result, the Y-axis head section 17 rotates by a predetermined angle with respect to the X-axis head section 16, and the nozzle tip 26 accordingly rotates by a predetermined angle, and the θ around the axis of the work W is corrected.

【0039】このように本実施形態によれば、X軸ヘッ
ド部16にY軸ヘッド部17を回転可能に連結し、該Y
軸ヘッド部17に吸着ノズル7を取付け固定し、Y軸ヘ
ッド部17をY軸ビーム15の各ビーム部15a,15
bの位置偏差により回転させるようにしたので、吸着ノ
ズル7のワークWの軸周りθのずれに応じて各ビーム部
15a,15bに偏差を持たせることにより、上記ワー
クWのずれを補正することができ、従来の回転機構,サ
ーボモータを不要にできる。その結果、ヘッド周りをコ
ンパクトにでき、装置全体を小型化できるとともに、部
品コストを低減できる。
As described above, according to this embodiment, the Y-axis head section 17 is rotatably connected to the X-axis head section 16, and the Y-axis head section 17 is rotated.
The suction nozzle 7 is attached and fixed to the shaft head portion 17, and the Y-axis head portion 17 is fixed to each of the beam portions 15a, 15 of the Y-axis beam 15.
Since the rotation is performed according to the position deviation of b, the deviation of the work W can be corrected by giving deviation to each of the beam portions 15a and 15b in accordance with the deviation of the work W of the suction nozzle 7 around the axis θ. Therefore, the conventional rotating mechanism and servo motor can be eliminated. As a result, the area around the head can be made compact, the entire apparatus can be made compact, and the cost of parts can be reduced.

【0040】本実施形態では、X軸,Y軸ビーム14,
15をリニアモータ10〜13により往復駆動したの
で、ヘッド6の高速化を図ることができるとともに、位
置決め精度を高めることができる。
In this embodiment, the X-axis and Y-axis beams 14,
Since 15 is reciprocally driven by the linear motors 10 to 13, the head 6 can be speeded up and the positioning accuracy can be improved.

【0041】また上記X軸,Y軸ビーム14,15を2
本のビーム部14a,14b,15a,15bを平行に
配置して構成したので、ヘッド6の支持剛性を高めるこ
とができ、高速化による位置決め精度を確保できる。
In addition, the X-axis and Y-axis beams 14 and 15 are
Since the beam portions 14a, 14b, 15a, 15b of the book are arranged in parallel, the supporting rigidity of the head 6 can be increased, and the positioning accuracy can be secured by increasing the speed.

【0042】また上記X軸,Y軸ビーム14,15の各
2本のビーム部14a,14b,15a,15bでヘッ
ド6を囲むように支持したので、直交2軸機構を直動軸
受19,20等の比較的シンプルな構成部品で、かつヘ
ッド6を摺動可能に支持できる。
Since the head 6 is supported by the two beam portions 14a, 14b, 15a and 15b of the X-axis and Y-axis beams 14 and 15 so as to surround the head 6, the orthogonal biaxial mechanism is directly driven by the linear bearings 19 and 20. The head 6 can be slidably supported with relatively simple components such as.

【0043】さらに上記各ビーム部14a,14b,1
5a,15bで囲まれたヘッド6の中心部に吸着ノズル
7を配置したので、ノズル本体22をZ軸方向に昇降駆
動する際の剛性を確保することができる。特にボイスコ
イルモータ30を搭載した場合の高速駆動にも十分対応
でき、Z軸方向の振動を小さくすることができる。
Further, each of the beam portions 14a, 14b, 1
Since the suction nozzle 7 is arranged at the center of the head 6 surrounded by 5a and 15b, it is possible to secure the rigidity when the nozzle body 22 is driven up and down in the Z-axis direction. In particular, it is possible to sufficiently support high-speed driving when the voice coil motor 30 is mounted, and it is possible to reduce vibration in the Z-axis direction.

【0044】なお、上記実施形態では、部品装着装置に
備えられたヘッド位置決め装置を例に説明したが、本発
明は電気特性測定装置にも適用でき、この場合にはヘッ
ドに測定端子を装着することとなる。この場合にも、上
記実施形態と略同様の効果が得られる。
In the above embodiment, the head positioning device provided in the component mounting device has been described as an example, but the present invention can also be applied to the electrical characteristic measuring device. In this case, the measuring terminals are mounted on the head. It will be. Also in this case, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態によるヘッド位置決め装置
が配設部品装着装置の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a placement device mounting apparatus in which a head positioning device according to an embodiment of the present invention is used.

【図2】上記ヘッド位置決め装置の制御ブロック図であ
る。
FIG. 2 is a control block diagram of the head positioning device.

【図3】上記ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the head.

【図4】上記ヘッドの回転動作を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a rotating operation of the head.

【図5】上記ヘッドの回転動作を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a rotating operation of the head.

【図6】本発明の成立過程を説明するためのヘッド位置
決め装置の平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a head positioning device for explaining a formation process of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 部品装着装置 6 ヘッド 7 吸着ノズル(ワーク当接部) 10〜13 リニアモータ 14 X軸ビーム 14a,14b ビーム部 15 Y軸ビーム 15a,15b ビーム部 16 X軸ヘッド部 17 Y軸ヘッド部 1 component mounting device 6 heads 7 Suction nozzle (work contact part) 10-13 Linear motor 14 X-axis beam 14a, 14b beam section 15 Y-axis beam 15a, 15b beam section 16 X-axis head section 17 Y-axis head section

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F078 CA08 CB05 CB09 CB12 CB16 CC02 CC04 2G003 AA00 AG11 AG13 AG20 AH00 AH01 3C030 AA15 BC02 DA35 DA37 5E313 AA01 AA11 EE01 EE24 FF24 FF26 FF28    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2F078 CA08 CB05 CB09 CB12 CB16                       CC02 CC04                 2G003 AA00 AG11 AG13 AG20 AH00                       AH01                 3C030 AA15 BC02 DA35 DA37                 5E313 AA01 AA11 EE01 EE24 FF24                       FF26 FF28

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X軸方向に往復駆動されるX軸ビーム
と、該X軸ビームと直交するY軸方向に往復駆動される
Y軸ビームとの交差部にワーク当接部を有するヘッドを
連結し、上記X軸,Y軸ビームにより上記ヘッドをX
軸,Y軸方向に相対移動させることにより目標位置に位
置決めするようにしたヘッド位置決め装置において、上
記ヘッドを、X軸ビームに連結されたX軸ヘッド部とY
軸ビームに連結されたY軸ヘッド部とを相対回転可能に
連結したものとし、上記ワーク当接部を有するX軸,Y
軸ヘッド部の何れか一方を、上記X軸ビーム又はY軸ビ
ームの両端部の位置偏差により回転させることを特徴と
するヘッド位置決め装置。
1. A head having a work contact portion is connected to an intersection of an X-axis beam reciprocally driven in the X-axis direction and a Y-axis beam reciprocally driven in a Y-axis direction orthogonal to the X-axis beam. Then, the head is moved to X by the X-axis and Y-axis beams.
In a head positioning device configured to position at a target position by moving the head relative to an X-axis head part connected to an X-axis beam and a Y-axis head part in which the head is positioned at a target position by relative movement in the Y-axis direction.
An X-axis head and a Y-axis head section connected to the axial beam are connected so as to be rotatable relative to each other, and the X-axis and Y-axis having the work contact section are provided.
A head positioning device characterized in that any one of the axial head portions is rotated by a positional deviation of both ends of the X-axis beam or the Y-axis beam.
【請求項2】 請求項1において、上記X軸,Y軸ビー
ムが、各ビームの両端部に接続されたリニアモータによ
り往復駆動されることを特徴とするヘッド位置決め装
置。
2. The head positioning device according to claim 1, wherein the X-axis and Y-axis beams are reciprocally driven by linear motors connected to both ends of each beam.
【請求項3】 請求項1又は2において、上記X軸,Y
軸ビームが、それぞれ2本のビーム部を平行をなすよう
に配置して構成されていることを特徴とするヘッド位置
決め装置。
3. The X-axis, Y-axis according to claim 1 or 2,
A head positioning device, wherein each of the axial beams is configured by arranging two beam portions so as to be parallel to each other.
【請求項4】 請求項1において、上記ワーク当接部
が、ワークを吸引保持する吸着ノズルであることを特徴
とするヘッド位置決め装置。
4. The head positioning device according to claim 1, wherein the work contact portion is a suction nozzle that sucks and holds the work.
【請求項5】 請求項1において、上記ワーク当接部
が、ワークの電気的特性を測定する測定端子であること
を特徴とするヘッド位置決め装置。
5. The head positioning device according to claim 1, wherein the work contact portion is a measurement terminal for measuring electrical characteristics of the work.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009010133A (en) * 2007-06-27 2009-01-15 Mitsubishi Electric Corp Profiling device
KR100892207B1 (en) * 2001-11-30 2009-04-07 쥬키 가부시키가이샤 Xy pointing device and electronic component mounting apparatus
JP2015055575A (en) * 2013-09-12 2015-03-23 株式会社村田製作所 Electric characteristic measurement device of electronic component
JP2018523825A (en) * 2015-08-07 2018-08-23 エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. Positioning device for parallel inspection apparatus for inspecting printed circuit board, and parallel inspection apparatus for inspecting printed circuit board

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100892207B1 (en) * 2001-11-30 2009-04-07 쥬키 가부시키가이샤 Xy pointing device and electronic component mounting apparatus
JP2009010133A (en) * 2007-06-27 2009-01-15 Mitsubishi Electric Corp Profiling device
JP2015055575A (en) * 2013-09-12 2015-03-23 株式会社村田製作所 Electric characteristic measurement device of electronic component
JP2018523825A (en) * 2015-08-07 2018-08-23 エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. Positioning device for parallel inspection apparatus for inspecting printed circuit board, and parallel inspection apparatus for inspecting printed circuit board

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