JP2003080017A - 微粒子捕集装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
微粒子捕集装置及びプラズマ処理装置Info
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- JP2003080017A JP2003080017A JP2001280413A JP2001280413A JP2003080017A JP 2003080017 A JP2003080017 A JP 2003080017A JP 2001280413 A JP2001280413 A JP 2001280413A JP 2001280413 A JP2001280413 A JP 2001280413A JP 2003080017 A JP2003080017 A JP 2003080017A
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Abstract
を向上させることができる微粒子捕集装置を提供するこ
とにある。 【解決手段】 排気装置が接続される排気管に設けられ
る微粒子捕集装置において、上記排気装置が接続される
第1の接続部23と上記排気管が接続される第2の接続
部24を有する容器21と、この容器内に設けられ上記
第1の接続部に気密に接続されるとともに周壁にフィル
タ33が設けられた中空状のフィルタ取付け部材26
と、上記容器内に設けられ上記排気装置の吸引力によっ
て上記排気路から上記容器内に吸引された気体が上記フ
ィルタを通過して上記容器内から流出する前にこの気体
を上記フィルタ取付け部材の周囲に沿って旋回させる流
動制御部材35とを具備する。
Description
使用される微粒子捕集装置及びこの微粒子捕集装置が用
いられるプラズマ処理装置に関する。
の被処理材にアルミナやタングステンなどの微粒子とし
ての金属粉末(金属酸化物を含む)をプラズマ溶射によ
ってコーティングするプラズマ溶射装置が知られてい
る。
る。この処理チャンバ内には上記被処理材が設置され、
その状態で処理チャンバ内を減圧してプラズマジェット
を発生させるとともに金属粉末を供給することで、その
金属粉をプラズマジェットによって上記被処理材に溶射
するようにしている。
させる場合、上述したごとく処理チャンバ内を減圧す
る。処理チャンバ内を減圧するには、この処理チャンバ
に排気路を介して排気装置を接続し、この排気装置を作
動させて減圧するようにしている。排気装置としては、
粗引き用のロータリポンプとメカニカルブースタポンプ
を直列に接続したものが用いられることが多い。
には、処理チャンバ内で溶融しなかった金属粉末や溶融
後に凝集した金属が微粒子として多く残留することが避
けられない。微粒子が気体とともに排気装置に吸引され
ると、早期に排気装置の性能低下や損傷を招くことがあ
り、とくに排気装置がロータリポンプとメカニカルポン
プとを直列に接続したタイプであると、そのロータリポ
ンプが損傷し易いということがある。
よりも上流側に、たとえばろ過式などのフィルタ装置を
設け、処理チャンバから排出される気体に含まれる微粒
子を除去するようにしている。
などのフィルタ装置では、微粒子の捕集能力がフィルタ
の能力によって決まってしまうため、気体に含まれる微
粒子が多い場合には早期に目詰まりを起こすことが避け
られない。
にするためには、装置を大型化しなければならないとい
うことがあり、しかも目詰まりが生じ易いことによって
保守点検を頻繁に行わなければならないなどのことによ
って実用的でなく、さらにプラズマ処理装置のように排
気路を通じて排気される気体が高温度であると、耐熱性
を持たせるためにコストアップや装置の複雑化を招くと
いうことがある。
子の捕捉能力を高めることが可能であり、しかも耐熱性
に優れた微粒子捕集装置及びプラズ処理装置を提供する
ことにある。
装置が接続される排気路に設けられる微粒子捕集装置に
おいて、上記排気装置が接続される第1の接続部と上記
排気路が接続される第2の接続部を有する容器と、この
容器内に設けられ上記第1の接続部に気密に接続される
とともに周壁にフィルタが設けられた中空状のフィルタ
取付け部材と、上記容器内に設けられ上記排気装置の吸
引力によって上記排気路から上記容器内に吸引された気
体が上記フィルタを通過して上記容器内から流出する前
にその気体を上記フィルタ取付け部材の周囲に沿って旋
回させる流動制御手段とを具備したことを特徴とする微
粒子捕集装置にある。
上記容器内の上記フィルタ取付け部材と上記第2の接続
部との間に設けられた板状の流動制御部材によって構成
されていることを特徴とする請求項1記載の微粒子捕集
装置にある。
上記排気路を、上記容器に流入する気体がこの容器の内
周面に沿って流れる角度で上記容器に接続して構成され
ていることを特徴とする請求項1記載の微粒子捕集装置
にある。
材は角筒状であって、その4つの側壁にそれぞれ耐熱性
の上記フィルタが設けられていることを特徴とする請求
項1記載の微粒子捕集装置にある。
いて、ガスを励起してプラズマを発生させるための処理
チャンバと、この処理チャンバに排気路を介して接続さ
れ上記処理チャンバ内を減圧する排気装置と、上記排気
路に設けられ上記処理チャンバから排出される微粒子を
捕捉するための微粒子捕集装置とを具備し、上記微粒子
捕集装置は請求項1に記載された構成であることを特徴
とするプラズマ処理装置にある。
末端が閉塞されたトラップ部に形成され、上記排気路の
末端部よりも上流側の部分には分岐管が上記排気路に対
して所定の角度で一端を接続して設けられ、この分岐管
の他端が上記微粒子捕集装置の第2の接続部に接続され
ていることを特徴とする請求項5記載のプラズマ処理装
置にある。
子捕集装置の容器内に流入すると、膨張及び容器内を旋
回することで温度低下するから、それによって耐熱性の
向上を図ることができ、また気体が容器内を旋回するこ
とで、気体に含まれる微粒子が自重によって本体内に沈
積するため、気体に含まれる微粒子の一部をフィルタの
目詰まりを招くことなく捕捉することができる。
明の一実施の形態を説明する。
溶射装置を示し、このプラズマ溶射装置は処理チャンバ
1を備えている。この処理チャンバ1の一側壁には供給
口体4が設けられている。この供給口体4にはプラズマ
ジェット用のガスを供給するガス供給部2と、タングス
テンやアルミナなどの微粒子としての金属粉末(金属酸
化物を含む)を供給する原料供給部3とが接続されてい
る。
物5を設置したならば、この処理チャンバ1内にプラズ
マジェット用のガスおよび金属粉末を上記被処理物に向
けて所定の速度で供給する。
れた陰極6と陽極となる上記供給口体4とに電圧を印加
して放電を発生させて上記ガス供給部2から供給される
ガスを励起すると、上記ガスがプラズマ化してプラズマ
ジェットが発生し、このプラズマジェットによって金属
粉末が上記被処理物5に溶射されることになる。つま
り、被処理物5の表面にはタングステンやアルミナなど
の金属をコーティングすることができるようになってい
る。なお、プラズマ溶射装置の構造は上述した構造に限
定されるものでない。
排気管11が接続されている。この排気管11の末端部
は末端を閉塞板11aで閉塞することで、後述するごと
く微粒子を堆積させるトラップ部12に形成され、この
トラップ部12の上流側である排気管11の閉塞端より
も所定距離、たとえば1m上流側には排気管11の一部
をなす分岐管13が上記排気管11と所定の角度、この
実施の形態ではほぼ垂直に一端を接続している。
末端が下方に向かって傾斜した状態(垂直を含む)に設
けられることが好ましい。
14を介して排気装置15が排気管11の一部をなす接
続管15aによって接続され、この排気装置15によっ
て上記処理チャンバ1内が減圧される。減圧時に、処理
チャンバ1から排出される気体にはプラズマジェットに
よって溶融されなかった金属粉末や凝集した金属粉末、
つまり微粒子が含まれる。
微粒子は上記トラップ部12と上記微粒子捕集装置14
とで捕捉される。
体が排気装置15の吸引力によって排気管11を流れて
くると、その気体に含まれる微粒子のうち、比較的粒径
の大きな微粒子は図4に矢印Aで示すように慣性力によ
って分岐管13の方向に曲がりきれずにトラップ部12
に流れ、ここに堆積する。つまり、気体に含まれる微粒
子のうち、比較的粒径の大きな微粒子はトラップ部12
に捕集される。
いため、トラップ部12に捕集されず、気体とともに同
図に矢印Bで示すように分岐杆13から微粒子捕集装置
14に流入し、この微粒子捕集装置14で捕捉される。
の容器21を有する。この容器21の一側面は開口して
おり、その開放面は着脱可能な蓋体22によって気密に
閉塞されている。
3が設けられ、上記蓋体22が設けられた開口部と対向
する側壁には第2の接続部24が設けられている。上記
第1の接続部23には上記排気装置15が接続され、上
記第2の接続部24には上記分岐管13の他端が接続さ
れている。
3に対応する部分には接続管体25が設けられている。
この接続管体25にはフィルタ取付け部材26が着脱可
能かつ気密に保持されている。このフィルタ取付け部材
26は断面形状が正方形の角筒状であって、上端面が閉
塞され、下端面には上記接続管体25に図示しないOリ
ングを介して気密に嵌合する接続口体27が設けられて
いる。
には、図4に示すようにそれぞれ上下方向に所定間隔で
4つの取付け短管28が設けられている。この取付け短
管28は図5に示すように側壁に穿設された取付け孔2
9に一端部が嵌着固定されてなる。
され、この取付け短管28の内部には短冊状に折曲され
て円形状に成形されたフィルタ33が上記段部32に係
合させて装着されている。このフィルタ33は、上記取
付け短管28の他端部に螺合されたリング状のキャップ
34によって脱落不能に保持されている。
耐熱性を有する、たとえばグラスファイバなどの耐熱性
繊維あるいはその他の耐熱性の材料によって形成されて
いる。
4が設けられた一側壁と、この一側壁に対向するフィル
タ取付け部材26の一側面との間に、容器21の高さ方
向ほぼ全長にわたる大きさの流動制御手段を構成する流
動制御部材35が設けられている。この流動制御部材3
5平板状であって、上端には保持部材36が設けられて
いる。上記容器21の上部壁には挿入孔37が形成さ
れ、流動制御部材35は上記挿入孔37から容器21内
に挿入され、上記保持部材36を容器21の上部壁の上
面に気密に接合固定することで保持されている。
上記第2の接続部24に接続された分岐管13から容器
21内に流入する気体の流入方向に対して所定の角度θ
で傾斜し、かつ幅方向両端部と容器21の側壁内面との
間に流路38を形成している。
1内に流入した気体は、同図に矢印Xで示すように容器
21内を旋回する方向、つまりフィルタ取付け部材26
の周囲に沿って旋回する方向に流れるようになってい
る。
器21内に流入すると、気体は容器21で膨張して温度
が低下するとともに、流動制御部材35によってフィル
タ取付け部材26の周囲を旋回しながらこのフィルタ取
付け部材26に設けられたフィルタ33を通過して排気
装置15に吸引される。
35によって容器21内を旋回すると、その間に気体中
に含まれる微粒子が容器21内に沈降堆積する。つま
り、処理チャンバ1から排出された気体に含まれる微粒
子のうち、比較的粒径の大きな微粒子は上記排気管11
に設けられたトラップ部12で除去され、容器21内に
流入した気体に含まれる比較的粒径の小さな微粒子の一
部は容器21内に堆積するから、気体に含まれる微粒子
が減少する。
フィルタ取付け部材26のフィルタ33を通過すること
で、この気体に含まれる微粒子が除去されることにな
る。つまり、フィルタ33で除去される微粒子の量は、
処理チャンバ1から排出される気体に含まれる微粒子の
うちの一部であるから、フィルタ33が早期に目詰まり
するのが防止される。
低下し、しかも容器21内を旋回することによっても温
度低下する。さらに、フィルタ33は耐熱性を備えた材
料によって形成されている。これらのことによって、微
粒子捕集装置14の耐熱性を向上させることができる。
つまり、処理チャンバ1から排出される気体の温度が高
くても、微粒子捕集装置14は熱影響を受け難くなる。
部材26は容器21内に着脱可能に設けられているか
ら、このフィルタ取付け部材26に設けられたフィルタ
33の保守点検を容易に行うことができる。
ものでなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可
能である。たとえば、上記一実施の形態では容器21内
に吸引される気体を旋回させるための流動制御手段とし
て平板状の流動制御部材35を気体の流れ方向に対して
所定の角度で傾斜させて設けたが、この流動制御部材3
5は平板状でなく、フィルタ取付け部材26を囲むよう
に円弧状に湾曲させてもよい。
図6に示すように容器21Aを円筒状に形成するととも
に、分岐管13が接続される第2の接続部24を容器2
1Aの内周面の接線方向に沿う角度で設ける。
13から容器21A内に流入する気体は、同図に矢印で
示すように容器21Aの内周面に沿って流れる。したが
って、このような構成によれば上記一実施の形態のよう
に流動制御部材35を用いずに、容器21A内に流入す
る気体を、この容器21Aの内周面に沿って旋回させる
ことができる。
筒状が好ましいが、角筒状であっても差し支えない。
囲はプラズマ溶射装置に限られず、たとえばプラズマC
VD装置、プラズマエッチング装置など、排出される気
体が高温度で、しかもその気体に微粒子が含まれる他の
プラズマ処理装置にも適用することができ、さらにプラ
ズマ処理装置以外であっても、排出される気体に微粒子
が含まれる装置であれば適用可能である。
含まれる微粒子を容器内に沈降堆積させることができる
から、フィルタを早期に目詰まりさせることなく、長期
にわたって使用することが可能となり、しかも装置全体
を比較的コンパクトに構成することも可能となる。
とともに、旋回してからフィルタを通過することで、そ
の間に気体の温度が低下するから、耐熱性の向上を図る
こともできる。
置の概略的構成図。
の拡大断面図。
成を示す断面図。
Claims (6)
- 【請求項1】 排気装置が接続される排気路に設けられ
る微粒子捕集装置において、 上記排気装置が接続される第1の接続部と上記排気路が
接続される第2の接続部を有する容器と、 この容器内に設けられ上記第1の接続部に気密に接続さ
れるとともに周壁にフィルタが設けられた中空状のフィ
ルタ取付け部材と、 上記容器内に設けられ上記排気装置の吸引力によって上
記排気路から上記容器内に吸引された気体が上記フィル
タを通過して上記容器内から流出する前にその気体を上
記フィルタ取付け部材の周囲に沿って旋回させる流動制
御手段とを具備したことを特徴とする微粒子捕集装置。 - 【請求項2】 上記流動制御手段は、上記容器内の上記
フィルタ取付け部材と上記第2の接続部との間に設けら
れた板状の流動制御部材によって構成されていることを
特徴とする請求項1記載の微粒子捕集装置。 - 【請求項3】 上記流動制御手段は、上記排気路を、上
記容器に流入する気体がこの容器の内周面に沿って流れ
る角度で上記容器に接続して構成されていることを特徴
とする請求項1記載の微粒子捕集装置。 - 【請求項4】 上記フィルタ取付け部材は角筒状であっ
て、その4つの側壁にそれぞれ耐熱性の上記フィルタが
設けられていることを特徴とする請求項1記載の微粒子
捕集装置。 - 【請求項5】 プラズマ処理装置において、 ガスを励起してプラズマを発生させるための処理チャン
バと、 この処理チャンバに排気路を介して接続され上記処理チ
ャンバ内を減圧する排気装置と、 上記排気路に設けられ上記処理チャンバから排出される
微粒子を捕捉するための微粒子捕集装置とを具備し、 上記微粒子捕集装置は請求項1に記載された構成である
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 【請求項6】 上記排気路の末端部は末端が閉塞された
トラップ部に形成され、上記排気路の末端部よりも上流
側の部分には分岐管が上記排気路に対して所定の角度で
一端を接続して設けられ、この分岐管の他端が上記微粒
子捕集装置の第2の接続部に接続されていることを特徴
とする請求項5記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001280413A JP3551320B2 (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | 微粒子捕集装置及びプラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001280413A JP3551320B2 (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | 微粒子捕集装置及びプラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003080017A true JP2003080017A (ja) | 2003-03-18 |
JP3551320B2 JP3551320B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=19104414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001280413A Expired - Lifetime JP3551320B2 (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | 微粒子捕集装置及びプラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3551320B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008112679A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両用排気管および燃料電池搭載車両 |
-
2001
- 2001-09-14 JP JP2001280413A patent/JP3551320B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008112679A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両用排気管および燃料電池搭載車両 |
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JP3551320B2 (ja) | 2004-08-04 |
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