JP2003070226A - リニア同期モータ - Google Patents

リニア同期モータ

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JP2003070226A
JP2003070226A JP2001253059A JP2001253059A JP2003070226A JP 2003070226 A JP2003070226 A JP 2003070226A JP 2001253059 A JP2001253059 A JP 2001253059A JP 2001253059 A JP2001253059 A JP 2001253059A JP 2003070226 A JP2003070226 A JP 2003070226A
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linear synchronous
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Takeshi Ohashi
健 大橋
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 固定子側の永久磁石の磁化方向及び配列を工
夫することによって、永久磁石列による磁束密度分布を
略正弦波とし、可動子コイルに誘起される逆起電力を正
弦波に近づけることによりコギングトルクを低減して可
動子推力のリップルを小さくする。 【解決手段】 コイルを有する一次側可動子と、複数の
永久磁石を直線に沿って配置した二次側固定子とを備
え、コイルに通電することにより可動子を二次側固定子
に沿って直線的に移動させるリニア同期モータにおい
て、前記複数の永久磁石を隣接して配置すると共に、隣
接する永久磁石の磁化方向を可動子の移動方向及び直角
方向に90°ずつ異ならせたる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リニア同期モータに関
し、特に、二次側固定子を構成する永久磁石の磁化方向
及び配置を工夫してコギングトルクを減少させたリニア
同期モータに関する。本発明によれば、コギングトルク
を小さくできるので、可動子推力のリップル(脈動)が
小さいリニア同期モータを実現できる。本発明に係るリ
ニア同期モータは、例えば、工場、倉庫等での物品搬送
装置、更には、部品装着装置、工作機械等の種々の位置
制御装置に使用して最適である。
【0002】
【従来の技術】リニア同期モータは、周知のように、D
C(直流)ブラシレスモータ(もしくはAC(交流)サ
ーボモータ)を直線状に展開したものに相当し、リニア
同期モータの可動子にはコア(鉄心)を使用するものと
使用しないものとがある。
【0003】可動子にコアを使用しない場合(コアレス
型)には、コアに起因するコギングトルクがないので推
力リップルは無視できる程度に小さいという利点があ
る。しかし、コアがないため磁束を収束できないので可
動子推力が小さいという欠点がある。一方、コイルをコ
アに巻回したコア付型では、可動子推力を大きくできる
一方コアの存在(コイルを巻回するスロットの存在)に
基づくコギングトルクが大きいので可動子推力にリップ
ルが生ずるという問題があった。更に、リニア同期モー
タは、直線状に展開した構造上から、回転型モータのよ
うにコギングトルクを相殺することが困難なため、回転
型モータよりもコギングトルクが大きく、このコギング
トルクを如何にして小さくできるかという課題があっ
た。
【0004】図4(a)を参照して本発明が応用される
従来のリニア同期モータの一例を簡単に説明する。図4
(a)はリニア同期モータ(10で示す)の斜視図であ
り、分かりやすくするため、可動子12をモータから分
離して図示している。リニア同期モータ10は、可動子
12の他に、モータ全体を支持する板状の台14と、こ
の台14の上に設けられた2本のガイドレール16a及
び16b、複数の永久磁石18を配置するバックヨーク
(基板)20(このバックヨーク20の上に配置された
永久磁石列を22で示す)、可動子12が固定され且つ
可動子12と共にガイドレール16に沿って移動可能な
リニアガイド24等を有する。バックヨーク20とこの
基板上に配置した永久磁石列22との組み合わせが二次
側固定子26である。
【0005】更に、図4(a)に示すように、可動子1
2の位置を検出するためのエンコーダ28がガイドレー
ル16bに沿って設けられている。リミットスイッチ3
0は可動子12が磁石列22の端部に移動したときに動
作するスイッチである。可動子12の上部にはステージ
32があり、下部(参照番号34で示す)にはコイルを
巻回したコアが配置されている。このコイルに通電する
ことによりコイルに発生する磁場と磁石列の周期磁場と
の吸引力と反発力とにより可動子12を水平方向に駆動
し、可動子12の位置はエンコーダ28により検出され
る。尚、リニア同期モータ自体は公知であり、本発明は
リニア同期モータの永久磁石の磁化方向及び配置に関す
るので、リニア同期モータの制御装置等については説明
を省略する。
【0006】図4(b)は、図4(a)で説明した二次
側固定子26の概略を示す側面図である。図4(b)に
示すように、永久磁石を配置するバックヨーク20の上
には複数の永久磁石18が、所定の間隔を置いて一定方
向(可動子12の移動方向36)に配置されている。永
久磁石18の磁化方向は、可動子12の移動方向に対し
て直角であり、所定間隔を置いた隣の磁石とは夫々磁化
方向が180°異なっている。
【0007】上述したように、コイルをコアに巻回した
コア付型のリニア同期モータでは、可動子推力を大きく
できる反面、コアの存在(コイルを巻回するためのスロ
ットの存在)に基づくコギングトルクが大きいため可動
子推力がリップル(脈動)するという問題があった。こ
の可動子推力のトルクリップルは、可動子コイルに誘起
される逆起電力が正弦波でないことによるものであり、
この逆起電力を正弦波に近づけることによって可動子推
力リップルを減少させることができる。このため、従来
から、永久磁石を固定子側に設けたリニア同期モータで
は、可動子コイルに誘起される逆起電力を正弦波に近づ
けるために下記の様な提案がなされてきた。
【0008】その内の一は、固定子の永久磁石をスキュ
ー(skew)させることである。例えば、図4(b)の例の
ように永久磁石30を可動子12の運動方向に直角に配
置するのではなく、可動子12の運動方向に対して斜め
に配置する方法である。リニアモータに使用される永久
磁石は通常板状なので、リニアモータでの永久磁石のス
キューは、永久磁石を湾曲した形状とする回転型モータ
でのスキューに比べて容易である。
【0009】更に、可動子12の歯(ティース)の形
状、コイルを収納するスロット端部の形状を工夫した
り、或いは、可動子12の歯をスキューさせたりする方
法もある。更に又、可動子コイルのピッチの調節、固定
子の磁極数と可動子の歯数との比率等を工夫し、可動子
コイルに誘起される逆起電力を正弦波に近づける努力が
なされてきた。
【発明が解決しようとする課題】
【0010】しかしながら、コア付のリニア同期モータ
は、回転型同期モータに比べ、コギングトルクが大きい
ため、上述の従来の方法を単独で使用するのではなく、
複数組み合わせて使用するのが普通であった。しかし、
この様にするとコギングトルクを或る程度まで低減でき
る反面、可動子推力が大幅に低下するという問題があっ
た。
【0011】
【発明の目的】したがって、本発明の目的は、固定子側
の永久磁石の磁化方向及び配列を工夫することによっ
て、永久磁石列による磁束密度分布を略正弦波とするこ
とにより、可動子コイルに誘起される逆起電力を正弦波
に近づけることによって従来の問題を解決することであ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、コイルを有す
る一次側可動子と、複数の永久磁石を直線に沿って配置
した二次側固定子とを備え、コイルに通電することによ
り可動子を二次側固定子に沿って直線的に移動させるリ
ニア同期モータにおいて、前記複数の永久磁石を隣接し
て配置すると共に、隣接する永久磁石の磁化方向を可動
子の移動方向及び直角方向に90°ずつ異ならせたこと
を特徴とするリニア同期モータである。
【0013】
【実施の形態】本発明の実施の形態を図1〜図3を参照
して説明する。
【0014】図1(a)は、本発明の第1の実施の形態を
説明する図であり、複数の永久磁石40を隣接させてバ
ックヨーク41上に配置した永久磁石列42を示してい
る。磁石列42の上の矢印44は可動子(図示せず)の
移動方向を示し、参照番号46は磁石列42の上方に形
成される磁束密度の分布(周期磁場)を指す。
【0015】永久磁石40の内部の矢印は磁石の磁化方
向を示し、隣接する永久磁石40の磁化方向は可動子の
移動方向44及びこの移動方向44に直角の方向に90
°ずつ異なっている。外形寸法及び磁気特性の等しい
(略等しい)複数の永久磁石40を図1(a)のように
配列することにより、可動子の移動方向に直角の磁場
(図面では上下方向の矢印の磁場)と、可動子の移動方
向に並行する磁場(図面では水平方向の矢印の磁場)が
重畳する結果、磁石列42の両端部を除いて、磁石列4
2の上方に形成される磁束密度の分布(周期磁場)46
を正弦波(略正弦波)とすることができる。従って、可
動子コイルに誘起される逆起電力も略正弦波となり、基
本波(正弦波)に対する高調波成分を小さくできるの
で、可動子推力のリップルを大幅に減少させることが可
能である。
【0016】図1(a)に示す複数の永久磁石40は、
接着剤を用いて直接接合するか、或いは、薄い非磁性体
を間に介在させて接続してもよい。このように、単純な
形状の複数の永久磁石40を、その磁化方向を考慮して
配列すれば、容易に正弦波或いは略正弦波の磁束密度分
布(周期磁場)を得ることができる。従って、可動子コ
イルに誘起される逆起電力は、永久磁石列42の端部を
除いて高調波成分の少ない正弦波となり、可動子の推力
リップルを非常に小さくできる。本発明者による実験に
よれば、後述するように、基本波に対する高調波成分を
約10%以下とすることができた。
【0017】図1で示す第1の実施の形態及び後述する
第2及び第3の実施の形態で使用する永久磁石は、フェ
ライト磁石、鋳造磁石、希土類磁石、ボンド磁石等が使
用可能であり磁石の種類を問わない。しかし、コギング
トルクを下げると可動子推力が低下するという従来の問
題は、高磁気特性を有する希土類燒結磁石、希土類ボン
ド磁石を使用した場合に特に顕著となるので、本発明
は、NdFeB系或いはSmCo系の高磁気特性を有する希土類
磁石を使用した場合にその効果が発揮される。
【0018】図1(b)を参照して本発明の第2の実施
の形態を説明する。この第2の実施の形態は、図1
(a)に示した磁石列42を1対(42a及び42bで
示す)平行して配置したものである。参照番号50a及
び50bは夫々磁石列42a及び42b用のバックヨー
クである。磁石列42a及び42bの間には2個の可動
子(図示せず)を磁石列42a及び42bに対応させて
配置する。2個の可動子の移動方向を参照番号52a及
び52bで示す。この第2の実施の形態によれば、図1
(a)に示した第1の実施の形態に比べて可動子の推力
を2倍にすることができる。更に、磁石列42aと42
bが形成する周期磁場を180°ずらすようにすれば、
磁石列42aと42bに対応させた可動子に働く吸引力
及び反発力を相殺させることができるので、移動中の可
動子を保持するリニアガイドにかかる負荷を極めて小さ
くすることが可能であり、リニアガイドの製作コスト削
減及び寿命の点で顕著な効果を得ることができる。
【0019】図2を参照して本発明の第3の実施の形態
を説明する。第3の実施の形態では、バックヨーク60
の上に配置した複数の永久磁石62は可動子の移動方向
(破線68で示す)に対してスキューしている(尚、磁
石列を64、二次側固定子を66で示す)。即ち、第3
の実施の形態の各磁石62の磁化方向は、上述の第1及
び第2の実施の形態と同様であるが、永久磁石62の夫
々は可動子の移動方向68に対して角度がつけられてい
る。このように、永久磁石62をスキューさせれば、永
久磁石の磁化の“ばらつき”、永久磁石の磁化角度の
“ばらつき”、永久磁石の配置誤差、永久磁石の寸法の
“ばらつき”等を吸収することができ、磁石列の上部に
形成される磁場を乱すことなく正弦波の周期磁場を得る
ことができる。第1〜第3の実施の形態では、隣接する
永久磁石の磁化方向を可動子の移動方向及び直角方向に
90°ずつ異ならせているので、4個の永久磁石ごとに
正弦波磁場の1周期を形成している。従って、スキュー
は1/4周期ごとに行われる。換言すれば、第3の実施
の形態では、1ピッチ(1周期)の1/4ピッチ毎にス
キューを行っていると言える。
【0020】図3を参照し、第3の実施の形態を応用し
た具体例を説明する。図3は、リニア同期モータの可動
子の移動方向に直角の断面図であり、二次側固定子66
以外の構造は図4(a)に示したものと同様である。従
って、バックヨーク、磁石列、固定子以外は図4(a)
で用いた参照番号を使用している。
【0021】図3において、二次側固定子66は、永久
磁石としてNdFeB燒結磁石(信越化学工業(株)製のN4
8M))を使用し、図2の実施の形態と同様に1/4ピ
ッチでスキューさせている。永久磁石は、夫々、9mm
(横)×5mm(縦)×100mm(奥行)の直方体であり
隙間なく配置した。可動子は珪素鋼鈑(0.5mm厚)を積
層したコアにコイルを100ターン巻回して作製した。こ
のような可動子に3相交流電流を流し、200ATの起
磁力のときに可動子の推力は750Nであり、推力リッ
プル(トルクリップル)は約8%であった。従来例との
比較のため、上述の永久磁石、バックヨーク、可動子と
同一のものを使用し、夫々の磁石を4mmの間隔を置い
て配置した(図4(b)参照)。このときの可動子推力
は690Nであり、推力リップルは約23%であった。
更に、可動子コイルに誘起された逆起電力を測定したと
ころ、第3の実施の形態では、基本波(正弦波)の逆起
電力は約0.05mV、第5次、第7次、第11次、及
び第13次の高調波が測定されたが、その合計値は0.
005mV以下(10%以下)であった。これに対し、
上述の従来例では、基本波(正弦波)の逆起電力は同じ
く約0.05mVであったが、第5次、第7次、第11
次、及び第13次の高調波が特に大きく、その合計値は
約0.03mVであった。このように、上述の実験結果
によれば、図4(b)に示した従来の固定子を使用した
場合と比較し、逆起電力を大幅に低減でき、したがって
推力リップルを大幅に小さくすることができた。
【0022】更に、第1及び第2実施例についても上記
と同様の実験を行なった。その結果、コイルに誘起され
る逆起電力は略正弦波であり、前記逆起電力の基本波で
ある正弦波に対する高調波成分は略10%以下であっ
た。
【0023】尚、第3の実施の形態で説明した永久磁石
のスキューは、第2の実施の形態にも応用可能である。
更に、本発明の実施の形態ではコア付のリニア同期モー
タについて説明したが、コアレスのリニア同期モータに
も応用できることは勿論である。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定子側の永久磁石の磁化方向及び配列を工夫すること
によって、永久磁石列による磁束密度分布を略正弦波と
することにより、可動子コイルに誘起される逆起電力を
正弦波に近づけることによって従来の問題を解決するこ
とが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1及び第2の実施の形態を説明す
る図。
【図2】 本発明の第3の実施の形態を説明する図。
【図3】 本発明の実施の形態に係る二次側固定子を実
際のリニア同期モータに組込んだ様子を示す断面図。
【図4】 従来のリニア同期モータの概略を示す図。
【符号の説明】
40、62: 永久磁石 42、42a、42b、64: 永久磁石列 44、52a、52b、68: 可動子の移動方向 46: 永久磁石列によって形成される周期磁場

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コイルを有する一次側可動子と、複数の
    永久磁石を直線に沿って配置した二次側固定子とを備
    え、コイルに通電することにより可動子を二次側固定子
    に沿って直線的に移動させるリニア同期モータにおい
    て、前記複数の永久磁石を隣接して配置すると共に、隣
    接する永久磁石の磁化方向を可動子の移動方向及び直角
    方向に90°ずつ異ならせたことを特徴とするリニア同
    期モータ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、コイルに誘起される
    逆起電力は略正弦波であり、前記逆起電力の基本波であ
    る正弦波に対する高調波成分は略10%以下であること
    を特徴とするリニア同期モータ。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記複数の永久磁石
    からなる永久磁石列を2個間隔を置いて平行に配置し、
    平行に配置された前記2個の永久磁石列の間に該2個の
    永久磁石列の夫々に対応させて2個の可動子を配置した
    ことを特徴とするリニア同期モータ。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかにおいて、前記
    二次側固定子の複数の永久磁石は、前記可動子の移動方
    向に対してスキューしていることを特徴とするリニア同
    期モータ。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007006545A (ja) * 2005-06-21 2007-01-11 Yaskawa Electric Corp 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ、揺動モータ
KR100675798B1 (ko) * 2005-02-16 2007-02-02 삼성전자주식회사 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지
DE112006002589T5 (de) 2005-09-30 2008-08-14 Thk Co., Ltd. Linearer Synchronmotor und Linearmotor-Stellglied
EP2131484A1 (en) * 2008-06-06 2009-12-09 Robert Bosch GmbH Reduction of force ripple in a permanent magnet linear synchronous motor
WO2010053031A1 (ja) 2008-11-05 2010-05-14 三菱重工業株式会社 リニアアクチュエータ
WO2010084940A1 (ja) * 2009-01-23 2010-07-29 日立金属株式会社 可動子及びリニアモータ
WO2015145550A1 (ja) * 2014-03-24 2015-10-01 富士機械製造株式会社 リニアモータ
CN108023460A (zh) * 2018-02-02 2018-05-11 上海莫戈纳机电科技有限公司 线性电机

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675798B1 (ko) * 2005-02-16 2007-02-02 삼성전자주식회사 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지
JP2007006545A (ja) * 2005-06-21 2007-01-11 Yaskawa Electric Corp 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ、回転型モータ、揺動モータ
DE112006002589T5 (de) 2005-09-30 2008-08-14 Thk Co., Ltd. Linearer Synchronmotor und Linearmotor-Stellglied
US7888827B2 (en) 2005-09-30 2011-02-15 Thk Co., Ltd. Linear synchronous motor and linear motor actuator
EP2131484A1 (en) * 2008-06-06 2009-12-09 Robert Bosch GmbH Reduction of force ripple in a permanent magnet linear synchronous motor
WO2009146821A1 (en) * 2008-06-06 2009-12-10 Robert Bosch Gmbh Reduction of force ripple in a permanent magnet linear synchronous motor
WO2010053031A1 (ja) 2008-11-05 2010-05-14 三菱重工業株式会社 リニアアクチュエータ
US8723375B2 (en) 2008-11-05 2014-05-13 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Linear actuator
KR20110107352A (ko) * 2009-01-23 2011-09-30 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 가동자 및 리니어 모터
WO2010084940A1 (ja) * 2009-01-23 2010-07-29 日立金属株式会社 可動子及びリニアモータ
US8723376B2 (en) 2009-01-23 2014-05-13 Hitachi Metals, Ltd. Mover and linear motor
JP5510338B2 (ja) * 2009-01-23 2014-06-04 日立金属株式会社 リニアモータ
TWI460966B (zh) * 2009-01-23 2014-11-11 Hitachi Metals Ltd Moving elements and linear motors
US9071124B2 (en) 2009-01-23 2015-06-30 Hitachi Metals, Ltd. Mover and linear motor
KR101652842B1 (ko) * 2009-01-23 2016-09-09 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 가동자 및 리니어 모터
EP2390991A4 (en) * 2009-01-23 2017-08-09 Hitachi Metals, Ltd. Moving member and linear motor
WO2015145550A1 (ja) * 2014-03-24 2015-10-01 富士機械製造株式会社 リニアモータ
JPWO2015145550A1 (ja) * 2014-03-24 2017-04-13 富士機械製造株式会社 リニアモータ
CN108023460A (zh) * 2018-02-02 2018-05-11 上海莫戈纳机电科技有限公司 线性电机

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