JP2003068805A - Method of manufacturing film carrier tape for mounting multithread electronic part and exposure processor for the same - Google Patents

Method of manufacturing film carrier tape for mounting multithread electronic part and exposure processor for the same

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simultaneously realize exposure processing for the width of a film carrier tape for mounting multithread electronic parts even on the carrier pattern of the same width or the carrier pattern of different width in accordance with the product wiring patterns of the multiple carrier patterns without exchanging an exposure device. SOLUTION: When a photoresist is exposed, the photoresist is exposed by dislocating it in the transportation direction of an insulating film in accordance with the type of the product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts, which is to be formed on the surface of the insulating film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非常に薄い絶縁フ
ィルムに配線パターンが形成された電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープ(TAB(Tape Automated Bondin
g)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid Array)テープ、
CSP(Chip Size Package)テープ、ASIC(Appli
cation Specific Integrated Circuit)テープ、COF
(Chip OnFilm)テープなど)(以下、単に「電子部品
実装用フィルムキャリアテープ」と言う。)が、複数条
(複数列)形成された多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの製造方法、およびそのための露光処理装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film carrier tape for mounting electronic parts (TAB (Tape Automated Bondin) which has a wiring pattern formed on a very thin insulating film.
g) Tape, T-BGA (Tape Ball Grid Array) tape,
CSP (Chip Size Package) tape, ASIC (Appli
cation Specific Integrated Circuit) tape, COF
(Chip On Film) tape (hereinafter simply referred to as “electronic component mounting film carrier tape”), a method for manufacturing a film carrier tape for mounting multiple components (plural rows), and a method therefor Exposure processing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】エレクトロニクス産業の発達に伴い、I
C(集積回路)、LSI(大規模集積回路)などの電子
部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加して
いるが、昨今の電子機器は、例えば携帯電話に代表され
るように電子機器の小型軽量化、高機能化、高信頼性、
低価格化などが要望されている。
2. Description of the Related Art With the development of the electronics industry, I
The demand for printed wiring boards on which electronic components such as C (integrated circuit) and LSI (large-scale integrated circuit) are mounted is rapidly increasing. However, recent electronic devices include electronic devices such as mobile phones. Compact and lightweight equipment, high functionality, high reliability,
There is a demand for lower prices.

【0003】このような電子機器の小型軽量化などの特
性を実現するための電子部品実装方法として、TABテ
ープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープに
デバイスを実装するのが好適である。従来、このような
電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する場
合、予め得ようとする電子部品実装用フィルムキャリア
テープと同一幅のベースフィルムが使用されている。そ
して、このベースフィルムに導体パターンを形成して電
子部品実装用フィルムキャリアテープを得ている。
As an electronic component mounting method for realizing such characteristics as reduction in size and weight of electronic equipment, it is preferable to mount the device on a film carrier tape for mounting electronic components such as a TAB tape. Conventionally, when manufacturing such a film carrier tape for mounting electronic parts, a base film having the same width as the film carrier tape for mounting electronic parts to be obtained in advance is used. Then, a conductor pattern is formed on this base film to obtain a film carrier tape for mounting electronic components.

【0004】すなわち、ベースフィルム上に形成した導
電性金属層の表面に、スクリーン印刷によってフォトレ
ジスト層を形成し、フォトレジストマスクを用いて、露
光・現像し、導電性金属層をエッチングし、メッキ部以
外にソルダ−レジスト印刷し、露出している導電性金属
層をメッキ処理する等して、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを得ていた。
That is, a photoresist layer is formed by screen printing on the surface of a conductive metal layer formed on a base film, and a photoresist mask is used to expose and develop the conductive metal layer for etching and plating. The film carrier tape for mounting electronic parts was obtained by performing solder resist printing on the parts other than the parts and plating the exposed conductive metal layer.

【0005】しかしながら、このような予め得ようとす
る電子部品実装用フィルムキャリアテープと同一幅のベ
ースフィルムを使用した従来の製造方法では、一系列の
製造ラインで常に1本の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープしか製造することができず、生産性の向上に限
界があった。また、得ようとする電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅が複数種類ある場合、一系列の製
造ラインでの製造では、得ようとする電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープの幅ごとに、これらの幅に適応し
た諸々の部品に交換しなければならない。その一方で、
製造していない幅に対応した諸々の部品は使用されず休
止状態となる。さらに、このような部品の交換作業も短
時間に行うことは難しいため、生産効率が必ずしもよく
なかった。
However, in the conventional manufacturing method using the base film having the same width as the electronic component mounting film carrier tape to be obtained in advance, one electronic component mounting film is always used in one production line. Only carrier tapes could be manufactured, and there was a limit to improvement in productivity. In addition, when there are multiple types of widths of the electronic component mounting film carrier tape to be obtained, in the production in one series of production lines, these widths are obtained for each width of the electronic component mounting film carrier tape to be obtained. Must be replaced with various parts adapted to. On the other hand,
Various parts corresponding to the width not manufactured are not used and are in a dormant state. Further, since it is difficult to replace such parts in a short time, the production efficiency is not always good.

【0006】このような問題に対処するために、本発明
者等は、既に、特願2001−100329号におい
て、一つの同一の幅広のフィルムに、複数条(複数列)
にフィルムキャリアテープを形成した電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープの製造方法であって、絶縁フィル
ムが、少なくとも、所望のキャリアパターン幅の整数倍
の幅と、前記絶縁フィルムの両縁部近傍に形成される位
置決め孔形成部の幅とを合計したフィルム幅、例えば、
156mm幅を有する絶縁フィルムとして、大量生産に
好適な電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方
法を提供した。
In order to deal with such a problem, the present inventors have already proposed in Japanese Patent Application No. 2001-100329 a plurality of articles (a plurality of rows) on one and the same wide film.
A method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components, comprising forming a film carrier tape on the insulating film, wherein the insulating film is formed at least at an integral multiple of a desired carrier pattern width and in the vicinity of both edges of the insulating film. Film width that is the sum of the width of the positioning hole forming part, for example,
Provided is a method for producing a film carrier tape for mounting electronic parts, which is suitable for mass production as an insulating film having a width of 156 mm.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法は、大量生産には好適な方法であるが、少量生産には
不向きである。すなわち、従来のTABテープのような
絶縁フィルム、接着剤層および導電性金属箔から形成さ
れる電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、テー
プ搬送用のスプロケット孔の他に、IC実装用のデバイ
スホール、フレックススリットなどを穿設する金型が製
品種類毎に必要であり、少量多品種の製品にはコストが
かかることになる。
However, although this method is suitable for mass production, it is not suitable for small volume production. That is, in a film carrier tape for mounting electronic parts, which is formed of an insulating film such as a conventional TAB tape, an adhesive layer and a conductive metal foil, in addition to a sprocket hole for transporting a tape, a device hole for mounting IC, A die for forming a flex slit or the like is required for each product type, and a small amount of a wide variety of products will be costly.

【0008】ところで、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープとして、最近では、COF(チップオンフィル
ム(Chip On Film))と呼ばれる樹脂フィルムと導電性
金属箔とからなる2層テープで、デバイスホールがなく
ICが実装されるタイプの電子部品実装用フィルムキャ
リアテープが普及している。このCOFでは、従来のよ
うなデバイスホールが不要であり、テープ搬送用のスプ
ロケット孔だけを穿設すれば良いので、デバイスホール
などをプレスする金型は不要である。従って、製品の種
類が異なっても、スプロケットホールを穿設する標準の
金型で対処が可能である。
By the way, recently, as a film carrier tape for mounting electronic parts, a two-layer tape composed of a resin film called COF (Chip On Film) and a conductive metal foil has been used. 2. Description of the Related Art Film carrier tapes for mounting electronic parts of the type that are mounted are widely used. In this COF, a device hole as in the past is not necessary, and since only a sprocket hole for tape transportation needs to be formed, a mold for pressing the device hole or the like is unnecessary. Therefore, even if the type of product is different, it is possible to deal with it by using a standard mold for forming the sprocket hole.

【0009】このため、本発明者等は、このようなCO
Fにおいて、一つの同一の幅広のフィルムに、複数条
(複数列)に異なる製品パターンのフィルムキャリアテ
ープを形成した電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を製造する方法として、少なくとも二つの別々の露光レ
ンズを備えた露光装置、または、少なくとも二つの別々
の露光装置を用いて、特に、別々のフォトレジストマス
クを用いれば、異なった製品パターンを露光するだけ
で、標準の金型で対処が可能であるので、少量多品種生
産に好適であることを知見して、本発明を完成したもの
である。
Therefore, the present inventors have found that such CO
In F, at least two separate exposure lenses are used as a method for producing a film carrier tape for mounting electronic parts, in which film carrier tapes having different product patterns are formed in a plurality of lines (a plurality of rows) on one same wide film. With the provided exposure apparatus, or at least two separate exposure apparatuses, in particular, if different photoresist masks are used, it is possible to deal with the standard mold only by exposing different product patterns. The inventors have completed the present invention by finding that they are suitable for small-quantity multi-product production.

【0010】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、露光装
置を取り替えることなく、複数のキャリアの製品配線パ
ターンの種類に応じて、同じ幅のキャリアパターンであ
っても、異なる幅のキャリアパターンであっても、同時
に多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅にわ
たって露光処理を行うことができ、しかも、露光装置を
取り替えるなどの煩雑な作業が不要であり、生産性も良
く、コストも低減することができる多条電子部品実装用
フィルムキャリアテープの製造方法、およびそのための
露光処理装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above conventional problems, and an object thereof is the same according to the types of product wiring patterns of a plurality of carriers without replacing the exposure apparatus. Whether the carrier pattern has a width or a carrier pattern with a different width, the exposure process can be performed over the width of the film carrier tape for mounting multiple electronic components at the same time, and the exposure device is complicated to replace. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a film carrier tape for mounting multiple electronic components, which does not require work, has good productivity, and can reduce cost, and an exposure processing apparatus therefor.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するために発明
なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの製造方法は、少なくとも2条の異な
った製品配線パターンを備えた電子部品実装用フィルム
キャリアを、同一の絶縁フィルム表面に同時に形成した
多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法
であって、前記絶縁フィルム上に形成した導電性金属層
表面に、フォトレジスト層を形成して、前記フォトレジ
スト層を、フォトレジストマスクを介して、所望のパタ
ーン形状にフォトレジストを露光する工程において、前
記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィル
ムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、別々に
露光することを特徴とする。
The present invention has been made in order to achieve the problems and objects in the prior art as described above, and a method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention comprises: A method for manufacturing a film carrier tape for mounting multiple electronic components, wherein the film carriers for mounting electronic components having at least two different product wiring patterns are simultaneously formed on the same insulating film surface. A photoresist layer is formed on the surface of the conductive metal layer formed in, and the photoresist layer is formed on the surface of the insulating film in the step of exposing the photoresist to a desired pattern shape through a photoresist mask. Special exposure is performed according to the type of product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be exposed. To.

【0012】また、本発明の多条電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの露光処理装置は、少なくとも2条の
電子部品実装用フィルムキャリアを、同一の絶縁フィル
ム表面に同時に形成した多条電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの製造方法において、前記絶縁フィルム上
に形成した導電性金属層表面にフォトレジスト層を形成
した絶縁フィルムに、前記フォトレジスト層を、フォト
レジストマスクを介して、所望のパターン形状にフォト
レジストを露光する露光処理装置であって、前記フォト
レジストを露光する際に、前記絶縁フィルム表面に形成
すべき電子部品実装用フィルムキャリアの製品配線パタ
ーンの種類に応じて、別々に露光する少なくとも二つの
露光レンズを備えることを特徴とする。
Further, the exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple electronic components according to the present invention is for mounting multiple electronic components in which at least two electronic component mounting film carriers are simultaneously formed on the same insulating film surface. In the method for producing a film carrier tape, an insulating film having a photoresist layer formed on the surface of a conductive metal layer formed on the insulating film, the photoresist layer, through a photoresist mask, to a desired pattern shape photo An exposure processing device for exposing a resist, wherein at the time of exposing the photoresist, the exposure is performed separately according to the type of a product wiring pattern of a film carrier for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film. It is characterized by having one exposure lens.

【0013】また、本発明の多条電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの露光処理装置は、少なくとも2条の
電子部品実装用フィルムキャリアを、同一の絶縁フィル
ム表面に同時に形成した多条電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの製造方法において、前記絶縁フィルム上
に形成した導電性金属層表面にフォトレジスト層を形成
した絶縁フィルムに、前記フォトレジスト層を、フォト
レジストマスクを介して、所望のパターン形状にフォト
レジストを露光する露光処理装置であって、前記フォト
レジストを露光する際に、前記絶縁フィルム表面に形成
すべき電子部品実装用フィルムキャリアの製品配線パタ
ーンの種類に応じて、別々に露光する少なくとも二つの
露光装置備えることを特徴とする。
The exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple electronic components according to the present invention is a device for mounting multiple electronic components in which at least two electronic component mounting film carriers are simultaneously formed on the same insulating film surface. In the method for producing a film carrier tape, an insulating film having a photoresist layer formed on the surface of a conductive metal layer formed on the insulating film, the photoresist layer, through a photoresist mask, to a desired pattern shape photo An exposure processing device for exposing a resist, wherein at the time of exposing the photoresist, the exposure is performed separately according to the type of a product wiring pattern of a film carrier for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film. One exposure device is provided.

【0014】このように構成することによって、露光装
置を取り替えることなく、複数のキャリアの製品配線パ
ターンの種類に応じて、同時に多条電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの幅にわたって露光処理を行うこと
ができ、しかも、露光装置を取り替えるなどの煩雑な作
業が不要であり、生産性も良く、コストも低減すること
ができる。
With such a configuration, it is possible to perform exposure processing over the width of the film carrier tape for mounting multiple electronic components simultaneously according to the types of product wiring patterns of a plurality of carriers without replacing the exposure device. Moreover, complicated work such as replacement of the exposure device is not required, and the productivity is good and the cost can be reduced.

【0015】また、少なくとも二つの露光装置を配置し
た構成では、幅広の電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープであっても、従来の露光装置をそのまま並べて配置
するだけで良いのでコストの低減が図れる。この場合、
前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィ
ルムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、絶縁
フィルムの搬送方向に位置をずらして別々に露光するよ
うにしてもよく、フィルムの搬送方向に位置をずらして
別々に露光する少なくとも二つの露光レンズ、または、
少なくとも二つの露光装置を備えてもよい。
Further, in the structure in which at least two exposure devices are arranged, cost can be reduced because it is sufficient to arrange the conventional exposure devices side by side as they are even for a wide film carrier tape for mounting electronic parts. in this case,
Depending on the type of the product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film, the insulating film may be displaced in the conveying direction and exposed separately, and may be exposed in the conveying direction of the film. At least two exposure lenses that shift and expose separately, or
At least two exposure devices may be provided.

【0016】また、前記フォトレジストを露光する際
に、前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用
フィルムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、
絶縁フィルムの搬送方向に同じ位置にて別々に露光して
もよく、絶縁フィルムの搬送方向に同じ位置にて別々に
露光する少なくとも二つの露光レンズ、または、少なく
とも二つの露光装置を備えてもよい。
When exposing the photoresist, depending on the type of the product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film,
The insulating film may be separately exposed at the same position in the transport direction, or may be provided with at least two exposure lenses or at least two exposure devices that separately expose at the same position in the transport direction of the insulating film. .

【0017】また、本発明では、前記多条電子部品実装
用フィルムキャリアテープの電子部品実装用フィルムキ
ャリアの製品配線パターンの種類毎の幅が、同じ幅の電
子部品実装用フィルムキャリアであることを特徴とす
る。また、本発明では、前記多条電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの電子部品実装用フィルムキャリアの
製品配線パターンの種類毎の幅が、異なる幅のパターン
の電子部品実装用フィルムキャリアであることを特徴と
する。
Further, according to the present invention, the width of each of the product wiring patterns of the film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts of the above-mentioned multi-row electronic carrier is the same width. Characterize. Further, in the present invention, the width of each type of product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts is a film carrier for mounting electronic parts having different widths. And

【0018】このように構成することによって、露光装
置を取り替えることなく、複数のキャリアの製品配線パ
ターンの種類に応じて、同じ幅のキャリアパターンであ
っても、異なる幅のキャリアパターンであっても、同時
に多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅にわ
たって露光処理を行うことができる。
With such a configuration, the carrier patterns having the same width or different widths can be used according to the types of product wiring patterns of a plurality of carriers without replacing the exposure device. At the same time, it is possible to perform exposure processing across the width of the film carrier tape for mounting multiple-line electronic components.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態(実施例)について説明する。図1は、本
発明の多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの露
光処理装置の第1の実施例の概略図、図2は、図1の露
光処理装置の露光方法を説明する概略図、図3は、図1
の露光処理装置に基づいて製造される多条電子部品実装
用フィルムキャリアテープの例を模式的に示す平面図で
ある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments (examples) of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of an exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple-line electronic components of the present invention, and FIG. 3 is shown in FIG.
FIG. 3 is a plan view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting multiple electronic components, which is manufactured based on the exposure processing apparatus of FIG.

【0020】本発明の多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの製造方法は、従来のように、ベースフィル
ムに導電性金属層を形成し、この導電性金属層の表面に
スクリーン印刷によってフォトレジスト層を形成し、フ
ォトレジストマスクを用いて、露光・現像し、導電性金
属層をエッチングし、メッキ部以外にソルダ−レジスト
印刷し、露出している導電性金属層をメッキ処理する等
して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを得る方
法に適用することができる。
According to the method for producing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component of the present invention, a conductive metal layer is formed on a base film, and a photoresist layer is formed on the surface of the conductive metal layer by screen printing as in the conventional method. Then, using a photoresist mask, exposing and developing, etching the conductive metal layer, solder-resist printing other than the plating portion, and plating the exposed conductive metal layer, It can be applied to a method for obtaining a film carrier tape for mounting electronic parts.

【0021】ところで、このような露光工程において、
フォトレジストに所定の配線パターンを露光する際に
は、(1)図3(a)に示したように、同一の絶縁フィ
ルム10上に、例えば、製品Aの部分と製品Bの部分と
で、35mm幅の同じ幅の電子部品フィルムキャリアを
形成する場合、(2)図3(b)に示したように、例え
ば、48mm幅の同じ幅の電子部品フィルムキャリアを
形成する場合においても、製品Aの部分と製品Bの部分
とで、配線パターンが異なり、しかも製品Aの部分の幅
が48mm、製品Bの部分の幅が96mm(48×2=
96mm)のように、製品毎の幅が異なる場合、(3)
図3(c)に示したように、製品Aの部分と製品Bの部
分とで、配線パターンが異なり、しかも製品Aの部分の
幅が35×2=70mm、製品Bの部分の幅が70mm
のように、製品毎の幅が異なる場合、の何れの場合にお
いても、このような配線パターンに組み合わせにともな
って、その都度、これに適合した露光装置に交換しなけ
ればならず、煩雑な作業が必要であり、生産性も悪くコ
ストも高くつくことになる。
By the way, in such an exposure process,
When a predetermined wiring pattern is exposed on the photoresist, (1) as shown in FIG. 3A, for example, the product A part and the product B part are formed on the same insulating film 10. In the case of forming an electronic component film carrier having the same width of 35 mm, (2) as shown in FIG. 3B, even when the electronic component film carrier having the same width of 48 mm is formed, the product A And the product B have different wiring patterns, and the width of the product A is 48 mm and the width of the product B is 96 mm (48 × 2 =
96mm), if the width of each product is different, (3)
As shown in FIG. 3C, the wiring pattern is different between the product A portion and the product B portion, and the width of the product A portion is 35 × 2 = 70 mm, and the width of the product B portion is 70 mm.
In each case, the width of each product is different, and in each case, the wiring pattern must be replaced with an exposure apparatus suitable for each combination of wiring patterns. Is required, resulting in poor productivity and high cost.

【0022】このため、本発明の露光工程では、図1に
示したような露光処理装置1を用いている。この露光処
理装置1では、絶縁フィルム10に導電性金属層を形成
した後、導電性金属層表面にフォトレジスト層を形成し
た絶縁フィルム10が巻かれた送り出しリール12と、
この送り出しリール12から、絶縁フィルム10を挟持
して送り出す一対の送り出しローラ14と、この送り出
しローラ14で送り出された絶縁フィルムを搬送する一
対の巻き取りローラ16と、巻取りローラで搬送された
絶縁フィルム10を巻き取る巻き取りリール18を備え
ている。
Therefore, in the exposure process of the present invention, the exposure processing apparatus 1 as shown in FIG. 1 is used. In this exposure processing apparatus 1, after forming a conductive metal layer on the insulating film 10, a delivery reel 12 around which the insulating film 10 having a photoresist layer formed on the surface of the conductive metal layer is wound,
From the delivery reel 12, a pair of delivery rollers 14 that sandwich and deliver the insulating film 10, a pair of take-up rollers 16 that convey the insulating film delivered by the delivery roller 14, and an insulation that is delivered by the take-up roller A winding reel 18 for winding the film 10 is provided.

【0023】そして、これらの送り出しローラ14と、
巻き取りローラ16との間で、フォトレジストマスクを
使用して所望のパターン形状に紫外線によりフォトレジ
ストを露光する露光装置20が配置されている。この露
光装置20は、図1に示したように、絶縁フィルム10
の搬送方向に一定間隔離間して配置された第1の露光レ
ンズ22と、第2の露光レンズ24を備えている。
Then, these feed rollers 14 and
An exposure device 20 that exposes the photoresist to ultraviolet light in a desired pattern shape using a photoresist mask is arranged between the take-up roller 16 and the take-up roller 16. As shown in FIG. 1, the exposure device 20 includes an insulating film 10
The first exposure lens 22 and the second exposure lens 24, which are arranged at a constant interval in the transport direction of, are provided.

【0024】これらの第1の露光レンズ22と、第2の
露光レンズ24は、フォトレジストを露光する際に、絶
縁フィルム10の表面に形成すべき電子部品実装用フィ
ルムキャリアパターンに応じて、絶縁フィルムの搬送方
向に位置をずらして露光するように構成したものであ
る。すなわち、この露光装置20では、 図2(a)に示したように、同一の絶縁フィルム10
上に、例えば、製品Aの部分と製品Bの部分とで、35
mm幅の同じ幅の電子部品フィルムキャリアを形成する
場合、 図2(b)に示したように、例えば、48mm幅の同
じ幅の電子部品フィルムキャリアを形成する場合におい
ても、製品Aの部分と製品Bの部分とで、配線パターン
が異なり、しかも製品Aの部分の幅が48mm、製品B
の部分の幅が96mm(48×2=96mm)のよう
に、製品毎の幅が異なる場合、 図2(c)に示したように、製品Aの部分と製品Bの
部分とで、配線パターンが異なり、しかも製品Aの部分
の幅が35×2=70mm、製品Bの部分の幅が70m
mのように、製品毎の幅が異なる場合、のいずれの場合
においても、製品Aの部分を、第1の露光レンズ22で
露光し、製品Bの部分を第2の露光レンズ24で露光す
るようになっている。
The first exposure lens 22 and the second exposure lens 24 are insulated according to the film carrier pattern for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film 10 when the photoresist is exposed. The exposure is performed by shifting the position in the transport direction of the film. That is, in this exposure apparatus 20, as shown in FIG. 2A, the same insulating film 10 is used.
Above, for example, in the part of product A and the part of product B, 35
When forming an electronic component film carrier having the same width of mm, as shown in FIG. 2B, for example, when forming an electronic component film carrier having the same width of 48 mm, the product A portion The wiring pattern differs from that of product B, and the width of product A is 48 mm.
In the case where the widths of the parts are 96 mm (48 × 2 = 96 mm) and the widths of the respective products are different, as shown in FIG. 2C, the wiring pattern is different between the product A part and the product B part. The width of the product A is 35 × 2 = 70 mm, and the width of the product B is 70 m.
In each of the cases where the width of each product is different as in m, the part of the product A is exposed by the first exposure lens 22 and the part of the product B is exposed by the second exposure lens 24. It is like this.

【0025】この場合、これらの露光レンズ22、24
には、共通の1枚のフォトレジストマスクを用いてもよ
いが、多品種に対応するためには、第1の露光レンズ2
2には、第1のフォトレジストマスク26を、第2の露
光レンズ24には、第2のフォトレジストマスク28
を、別々に用いるのが好ましい。なお、図2において、
矩形状の斜線の部分は、露光範囲を示しており、この露
光範囲の搬送方向、幅方向の大きさは、これらのフォト
レジストマスク26、28で調整するようになってい
る。
In this case, these exposure lenses 22 and 24
A common single photoresist mask may be used for this purpose, but in order to handle a wide variety of products, the first exposure lens 2
2 is a first photoresist mask 26, and the second exposure lens 24 is a second photoresist mask 28.
Are preferably used separately. In addition, in FIG.
The rectangular shaded area indicates the exposure range, and the size of this exposure range in the carrying direction and the width direction is adjusted by these photoresist masks 26 and 28.

【0026】この場合、第1の露光レンズ22と、第2
の露光レンズ24との間の離間距離としては、特に限定
されるものではない。このように構成することによっ
て、露光装置を取り替えることなく、複数のキャリアの
製品配線パターンの種類に応じて、同じ幅のキャリアパ
ターンであっても、異なる幅のキャリアパターンであっ
ても、同時に多条電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの幅にわたって露光処理を行うことができ、しかも、
煩雑な作業が不要であり、生産性も良く、コストも低減
することができる。
In this case, the first exposure lens 22 and the second exposure lens 22
The distance between the exposure lens 24 and the exposure lens 24 is not particularly limited. With such a configuration, it is possible to simultaneously increase the number of carrier patterns having the same width or different widths according to the types of product wiring patterns of a plurality of carriers without replacing the exposure apparatus. Exposure processing can be performed across the width of the film carrier tape for mounting electronic components, and
No complicated work is required, productivity is good, and cost can be reduced.

【0027】従って、特に、例えば、COF(チップオ
ンフィルム(Chip On Film))と呼ばれる樹脂フィルム
と導電性金属箔とからなる2層テープで、デバイスホー
ルがなくICが実装されるタイプの電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに適用すれば、少なくとも二つの別
々の露光レンズを備えた露光装置、または、少なくとも
二つの別々の露光装置を用いて、特に、別々のフォトレ
ジストマスクを用いれば、異なった製品パターンを露光
するだけで、標準の金型で対処が可能であるので、少量
多品種生産に好適である。
Therefore, in particular, for example, a two-layer tape composed of a resin film called COF (Chip On Film) and a conductive metal foil, an electronic component of a type in which an IC is mounted without a device hole When applied to a mounting film carrier tape, different exposure products are provided with at least two separate exposure lenses, or at least two separate exposure devices, especially if different photoresist masks are used. Since it is possible to deal with the problem with a standard mold simply by exposing the pattern, it is suitable for small-quantity multi-product production.

【0028】なお、この実施例では、絶縁フィルム10
のフィルムキャリア部分が、製品部分Aと製品部分Bの
2種類の場合に、露光装置20を第1の露光レンズ22
と、第2の露光レンズ24の2つの露光装置を用いた
が、絶縁フィルムのフィルムキャリア部分の製品部分の
種類の数に応じて、露光装置の数を設定できることはも
ちろんである。
In this embodiment, the insulating film 10 is used.
When there are two types of film carrier parts, product part A and product part B, the exposure device 20 is set to the first exposure lens 22.
The two exposure devices of the second exposure lens 24 are used, but it goes without saying that the number of exposure devices can be set according to the number of types of product parts of the film carrier part of the insulating film.

【0029】さらに、この実施例のように、露光面積よ
りも、露光レンズやフォトレジストマスクの面積が大き
い場合に、第1の露光レンズ22と、第2の露光レンズ
24を、絶縁フィルムの搬送方向に位置をずらして露光
するように構成したが、図示しないが、第1の露光レン
ズ22と、第2の露光レンズ24を、絶縁フィルム10
の搬送方向に同じ位置に並列に配置して、別々に露光す
ることも可能である。
Further, as in this embodiment, when the area of the exposure lens or the photoresist mask is larger than the exposure area, the first exposure lens 22 and the second exposure lens 24 are transported by the insulating film. Although it is configured such that the exposure is performed by shifting the position in the direction, although not shown, the first exposure lens 22 and the second exposure lens 24 are connected to the insulating film 10.
It is also possible to arrange them in parallel at the same position in the transport direction of and expose separately.

【0030】また、複数の露光レンズを、絶縁フィルム
の搬送方向に位置をずらして配置する露光レンズ群と、
絶縁フィルム10の搬送方向に同じ位置に並列に配置す
る露光レンズ群を適宜組み合わせて使用することももち
ろん可能である。このような露光レンズの配置の条件
は、下記の実施例の露光装置に配置においても同様に適
用できる。
Further, an exposure lens group in which a plurality of exposure lenses are arranged with their positions shifted in the transport direction of the insulating film,
It is of course possible to appropriately combine and use the exposure lens groups arranged in parallel at the same position in the transport direction of the insulating film 10. The conditions for disposing the exposure lens as described above can be similarly applied to the disposition of the exposure apparatus of the following embodiments.

【0031】図4は、本発明の多条電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの露光処理装置の第2の実施例の概
略図である。この実施例の露光処理装置1では、図1に
示した第1の実施例の露光処理装置1と同じ構成部材に
ついては、同じ参照番号を付してその詳細な説明を省略
する。
FIG. 4 is a schematic diagram of a second embodiment of an exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple-line electronic components of the present invention. In the exposure processing apparatus 1 of this embodiment, the same components as those of the exposure processing apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0032】図1に示した第1の実施例の露光処理装置
1では、露光装置20自体が、絶縁フィルム10の搬送
方向に一定間隔離間して配置された第1の露光レンズ2
2と、第2の露光レンズ24を備えていたが、この実施
例の露光処理装置1では、絶縁フィルム10の搬送方向
に一定間隔離間して配置された第1の露光装置30と第
2の露光装置40の少なくとも二つの露光装置を設けた
点が相違する。
In the exposure processing apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. 1, the exposure apparatus 20 itself has a first exposure lens 2 arranged at a constant distance in the transport direction of the insulating film 10.
2 and the second exposure lens 24, the exposure processing apparatus 1 of this embodiment has the first exposure apparatus 30 and the second exposure apparatus 30 which are arranged at a constant distance in the transport direction of the insulating film 10. The difference is that at least two exposure devices of the exposure device 40 are provided.

【0033】なお、これらの露光装置30、40におい
ても、共通の1枚のフォトレジストマスクを用いてもよ
いが、多品種に対応するためには、第1の露光装置30
には、第1のフォトレジストマスク32を、第2の露光
装置40には、第2のフォトレジストマスク42を、別
々に用いるのが好ましい。このように少なくとも二つの
露光装置を配置することによって、幅広の電子部品実装
用フィルムキャリアテープであっても、従来の露光装置
をそのまま並べて配置するだけで良いのでコストの低減
が図れることになる。
A common photoresist mask may be used also in these exposure apparatuses 30 and 40, but in order to cope with various types, the first exposure apparatus 30 is used.
It is preferable that the first photoresist mask 32 and the second photoresist mask 42 are separately used for the second exposure apparatus 40 and the second exposure apparatus 40, respectively. By arranging at least two exposure devices in this way, cost reduction can be achieved because it is sufficient to arrange conventional exposure devices side by side even for a wide film carrier tape for mounting electronic components.

【0034】以上、本発明の好ましい実施の態様を説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例え
ば、上記実施例では、COF(チップオンフィルム(Ch
ip On Film))について説明したが、TAB(Tape Aut
omated Bonding)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid A
rray)テープ、CSP(Chip Size Package)テープ、A
SIC(Application Specific Integrated Circuit)
テープなどのその他の電子部品実装用フィルムキャリア
テープに適用することも可能であるなど本発明の目的を
逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
Although the preferred embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this. For example, in the above embodiment, COF (chip on film (Ch
ip On Film)), TAB (Tape Aut
omated Bonding) tape, T-BGA (Tape Ball Grid A)
rray) tape, CSP (Chip Size Package) tape, A
SIC (Application Specific Integrated Circuit)
The present invention can be applied to other film carrier tapes for mounting electronic parts such as tapes, and various modifications can be made without departing from the object of the present invention.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
フォトレジストを露光する際に、絶縁フィルム表面に形
成すべき電子部品実装用フィルムキャリアパターンの製
品配線パターンの種類に応じて、絶縁フィルムの搬送方
向に位置をずらして露光する少なくとも二つの別々の露
光レンズを備えた露光装置、または、少なくとも二つの
別々の露光装置で露光するようにしたので、露光装置を
取り替えることなく、複数のキャリアの製品配線パター
ンの種類に応じて、同じ幅のキャリアパターンであって
も、異なる幅のキャリアパターンであっても、同時に多
条電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅にわたっ
て露光処理を行うことができ、しかも、露光装置を取り
替えるなどの煩雑な作業が不要であり、生産性も良く、
コストも低減することができる。
As described above, according to the present invention,
When exposing the photoresist, at least two separate exposures are performed by shifting the position in the transport direction of the insulating film according to the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier pattern to be formed on the insulating film surface. Since exposure is performed with an exposure device equipped with a lens or at least two separate exposure devices, it is possible to use the same width carrier pattern according to the type of product wiring pattern of multiple carriers without replacing the exposure device. Even if there are carrier patterns of different widths, it is possible to perform exposure processing over the width of the film carrier tape for mounting multiple-line electronic components at the same time, and there is no need for complicated operations such as replacing the exposure device. , Good productivity,
The cost can also be reduced.

【0036】従って、特に、例えば、COF(チップオ
ンフィルム(Chip On Film))と呼ばれる樹脂フィルム
と導電性金属箔とからなる2層テープで、デバイスホー
ルがなくICが実装されるタイプの電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに適用すれば、少なくとも二つの別
々の露光レンズを備えた露光装置、または、少なくとも
二つの別々の露光装置を用いて、特に、別々のフォトレ
ジストマスクを用いれば、異なった製品パターンを露光
するだけで、標準の金型で対処が可能であるので、少量
多品種生産に好適である。
Therefore, in particular, for example, a two-layer tape composed of a resin film called COF (Chip On Film) and a conductive metal foil, an electronic component of a type in which an IC is mounted without a device hole When applied to a mounting film carrier tape, different exposure products are provided with at least two separate exposure lenses, or at least two separate exposure devices, especially if different photoresist masks are used. Since it is possible to deal with the problem with a standard mold simply by exposing the pattern, it is suitable for small-quantity multi-product production.

【0037】さらに、少なくとも二つの露光装置を配置
した構成では、幅広の電子部品実装用フィルムキャリア
テープであっても、従来の露光装置をそのまま並べて配
置するだけで良いのでコストの低減が図れるなど幾多の
顕著で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明であ
る。
Further, in the structure in which at least two exposure devices are arranged, even for a wide film carrier tape for mounting electronic parts, it is sufficient to arrange the conventional exposure devices side by side as they are, so that the cost can be reduced. It is an extremely excellent invention that has a remarkable and distinctive effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明の多条電子部品実装用フィルム
キャリアテープの露光処理装置の第1の実施例の概略図
である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of an exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component of the present invention.

【図2】図2は、図1の露光処理装置の露光方法を説明
する概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an exposure method of the exposure processing apparatus of FIG.

【図3】図3は、図1の露光処理装置に基づいて製造さ
れる多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの例を
模式的に示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting multiple electronic components, which is manufactured based on the exposure processing apparatus of FIG.

【図4】図4は、本発明の多条電子部品実装用フィルム
キャリアテープの露光処理装置の第2の実施例の概略図
である。
FIG. 4 is a schematic view of a second embodiment of an exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple-line electronic components of the present invention.

【符号の説明】 1 露光処理装置 10 絶縁フィルム 12 送り出しリール 14 送り出しローラ 16 巻き取りローラ 18 巻き取りリールリール 20 露光装置 22 第1の露光レンズ 24 第2の露光レンズ 26 第1のフォトレジストマスク 28 第2のフォトレジストマスク 30 第1の露光装置 32 第1のフォトレジストマスク 40 第2の露光装置 42 第2のフォトレジストマスク[Explanation of symbols] 1 Exposure processing equipment 10 Insulating film 12 Delivery reel 14 Sending roller 16 Take-up roller 18 Take-up reel Reel 20 Exposure equipment 22 First exposure lens 24 Second exposure lens 26 First Photoresist Mask 28 Second Photoresist Mask 30 First exposure apparatus 32 First Photoresist Mask 40 Second exposure apparatus 42 Second Photoresist Mask

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも2条の異なった製品配線パタ
ーンを備えた電子部品実装用フィルムキャリアを、同一
の絶縁フィルム表面に同時に形成した多条電子部品実装
用フィルムキャリアテープの製造方法であって、 前記絶縁フィルム上に形成した導電性金属層表面に、フ
ォトレジスト層を形成して、前記フォトレジスト層を、
フォトレジストマスクを介して、所望のパターン形状に
フォトレジストを露光する工程において、 前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィ
ルムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、別々
に露光することを特徴とする多条電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの製造方法。
1. A method for producing a film carrier tape for mounting multiple electronic components, wherein film carrier for mounting electronic components having at least two different product wiring patterns are simultaneously formed on the same insulating film surface. On the surface of the conductive metal layer formed on the insulating film, a photoresist layer is formed, and the photoresist layer is formed.
In the step of exposing the photoresist into a desired pattern shape through a photoresist mask, depending on the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be formed on the surface of the insulating film, the exposure may be performed separately. A method for producing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component characterized.
【請求項2】 前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子
部品実装用フィルムキャリアの製品配線パターンの種類
に応じて、絶縁フィルムの搬送方向に位置をずらして別
々に露光することを特徴とする請求項1に記載の多条電
子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
2. The exposure is performed separately by shifting the position in the transport direction of the insulating film according to the type of the product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic components to be formed on the surface of the insulating film. 1. A method for producing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to 1.
【請求項3】 前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子
部品実装用フィルムキャリアの製品配線パターンの種類
に応じて、絶縁フィルムの搬送方向に同じ位置にて別々
に露光することを特徴とする請求項1から2のいずれか
に記載の多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの
製造方法。
3. The exposure is performed separately at the same position in the transport direction of the insulating film according to the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be formed on the surface of the insulating film. 3. A method for manufacturing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of 1 and 2.
【請求項4】 前記多条電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配線
パターンの種類毎の幅が、同じ幅の電子部品実装用フィ
ルムキャリアであることを特徴とする請求項1から3の
いずれかに記載の多条電子部品実装用フィルムキャリア
テープの製造方法。
4. A film carrier for mounting electronic components, wherein the width of each film wiring pattern of the film carrier for mounting electronic components of the multi-section electronic component mounting film carrier tape is the same width. Item 4. A method for manufacturing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of Items 1 to 3.
【請求項5】 前記多条電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配線
パターンの種類毎の幅が、異なる幅のパターンの電子部
品実装用フィルムキャリアであることを特徴とする請求
項1から4のいずれかに記載の多条電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの製造方法。
5. The film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts, wherein the width of each type of product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts is different. 5. A method for manufacturing a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to claim 1.
【請求項6】 少なくとも2条の電子部品実装用フィル
ムキャリアを、同一の絶縁フィルム表面に同時に形成し
た多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方
法において、 前記絶縁フィルム上に形成した導電性金属層表面にフォ
トレジスト層を形成した絶縁フィルムに、 前記フォトレジスト層を、フォトレジストマスクを介し
て、所望のパターン形状にフォトレジストを露光する露
光処理装置であって、 前記フォトレジストを露光する際に、前記絶縁フィルム
表面に形成すべき電子部品実装用フィルムキャリアの製
品配線パターンの種類に応じて、別々に露光する少なく
とも二つの露光レンズを備えることを特徴とする多条電
子部品実装用フィルムキャリアテープの露光処理装置。
6. A method for producing a film carrier tape for mounting multiple electronic components, wherein at least two electronic component mounting film carriers are simultaneously formed on the same insulating film surface, wherein a conductive metal is formed on the insulating film. An insulating film having a photoresist layer formed on the surface of the layer, the photoresist layer, through a photoresist mask, an exposure processing device for exposing the photoresist in a desired pattern shape, when exposing the photoresist And a film carrier for mounting multiple electronic components, characterized in that the film carrier for mounting electronic components to be formed on the surface of the insulating film is provided with at least two exposure lenses that are separately exposed in accordance with the type of product wiring pattern. Exposure processing equipment for tape.
【請求項7】 前記フォトレジストを露光する際に、前
記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィル
ムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、絶縁フ
ィルムの搬送方向に位置をずらして別々に露光する少な
くとも二つの露光レンズを備えることを特徴とする請求
項6に記載の多条電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの露光処理装置。
7. When exposing the photoresist, the insulating film is separately moved by shifting the position in the conveying direction according to the type of the product wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts to be formed on the surface of the insulating film. 7. The exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple electronic components according to claim 6, further comprising at least two exposure lenses for exposing.
【請求項8】 前記フォトレジストを露光する際に、前
記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィル
ムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、絶縁フ
ィルムの搬送方向に同じ位置にて別々に露光する少なく
とも二つの露光レンズを備えることを特徴とする請求項
6から7のいずれかに記載の多条電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの露光処理装置。
8. When exposing the photoresist, the insulating film is separately provided at the same position in the transport direction of the insulating film depending on the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be formed on the surface of the insulating film. 8. An exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting multiple electronic components according to claim 6, further comprising at least two exposure lenses for exposing.
【請求項9】 少なくとも2条の電子部品実装用フィル
ムキャリアを、同一の絶縁フィルム表面に同時に形成し
た多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方
法において、 前記絶縁フィルム上に形成した導電性金属層表面にフォ
トレジスト層を形成した絶縁フィルムに、 前記フォトレジスト層を、フォトレジストマスクを介し
て、所望のパターン形状にフォトレジストを露光する露
光処理装置であって、 前記フォトレジストを露光する際に、前記絶縁フィルム
表面に形成すべき電子部品実装用フィルムキャリアの製
品配線パターンの種類に応じて、別々に露光する少なく
とも二つの露光装置を備えることを特徴とする多条電子
部品実装用フィルムキャリアテープの露光処理装置。
9. A method for producing a film carrier tape for mounting multiple electronic components, in which at least two electronic component mounting film carriers are simultaneously formed on the same insulating film surface, wherein a conductive metal is formed on the insulating film. An insulating film having a photoresist layer formed on the surface of the layer, the photoresist layer, through a photoresist mask, an exposure processing device for exposing the photoresist in a desired pattern shape, when exposing the photoresist In addition, according to the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be formed on the surface of the insulating film, at least two exposing device for exposing separately, multiple-line electronic component mounting film carrier, characterized in that Exposure processing equipment for tape.
【請求項10】 前記フォトレジストを露光する際に、
前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィ
ルムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、絶縁
フィルムの搬送方向に位置をずらして別々に露光する少
なくとも二つの露光装置を備えることを特徴とする請求
項9に記載の多条電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの露光処理装置。
10. When exposing the photoresist,
According to the type of the product wiring pattern of the film carrier for electronic component mounting to be formed on the surface of the insulating film, at least two exposure devices for shifting the position in the transport direction of the insulating film and exposing separately are provided. An exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to claim 9.
【請求項11】 前記フォトレジストを露光する際に、
前記絶縁フィルム表面に形成すべき電子部品実装用フィ
ルムキャリアの製品配線パターンの種類に応じて、絶縁
フィルムの搬送方向に同じ位置にて別々に露光する少な
くとも二つの露光装置を備えることを特徴とする請求項
9から10のいずれかに記載の多条電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの露光処理装置。
11. When exposing the photoresist,
According to the type of the product wiring pattern of the electronic component mounting film carrier to be formed on the surface of the insulating film, at least two exposure device for separately exposing at the same position in the transport direction of the insulating film is provided. An exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of claims 9 to 10.
【請求項12】 前記多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配
線パターンの種類毎の幅が、同じ幅の電子部品実装用フ
ィルムキャリアであることを特徴とする請求項6から1
1のいずれかに記載の多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの露光処理装置。
12. A film carrier for mounting electronic parts, wherein the width of each of the product wiring patterns of the film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts is the same width. Item 6 to 1
1. An exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of 1.
【請求項13】 前記多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配
線パターンの種類毎の幅が、異なる幅のパターンの電子
部品実装用フィルムキャリアであることを特徴とする請
求項6から12のいずれかに記載の多条電子部品実装用
フィルムキャリアテープの露光処理装置。
13. A film carrier for mounting electronic parts, wherein the width of each of the product wiring patterns of the film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts is different. 13. An exposure processing apparatus for a film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of claims 6 to 12.
【請求項14】 少なくとも2条の電子部品実装用フィ
ルムキャリアを、同一の絶縁フィルム表面に同時に形成
した多条電子部品実装用フィルムキャリアテープであっ
て、 前記絶縁フィルム表面に形成した電子部品実装用フィル
ムキャリアパターンが、異なる種類の電子部品実装用フ
ィルムキャリアパターンであることを特徴とする多条電
子部品実装用フィルムキャリアテープ。
14. A film carrier tape for mounting electronic parts, wherein at least two film carrier films for mounting electronic parts are simultaneously formed on the surface of the same insulating film, and the film carrier tape for mounting electronic parts is formed on the surface of said insulating film. A film carrier tape for mounting multiple electronic components, wherein the film carrier patterns are different types of film carrier patterns for mounting electronic components.
【請求項15】 前記多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配
線パターンの種類毎の幅が、同じ幅の電子部品実装用フ
ィルムキャリアであることを特徴とする請求項14に記
載の多条電子部品実装用フィルムキャリアテープ。
15. The film carrier for mounting electronic parts, wherein the width of each film wiring pattern of the film carrier for mounting electronic parts of the multi-section electronic component mounting film carrier is the same width. Item 15. A film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to Item 14.
【請求項16】 前記多条電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの電子部品実装用フィルムキャリアの製品配
線パターンの種類毎の幅が、異なる幅のパターンの電子
部品実装用フィルムキャリアであることを特徴とする請
求項14から15のいずれかに記載の多条電子部品実装
用フィルムキャリアテープ。
16. A film carrier for mounting electronic parts, wherein the width of each of the product wiring patterns of the film carrier for mounting electronic parts of the film carrier tape for mounting electronic parts is different. The film carrier tape for mounting a multi-row electronic component according to any one of claims 14 to 15.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7358619B2 (en) 2005-09-01 2008-04-15 Nitto Denko Corporation Tape carrier for TAB
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